High k dielectrics for future generation memory devices (Invited Paper)
Photo-induced growth of dielectrics with excimer lamps
Transcript of Photo-induced growth of dielectrics with excimer lamps
����������� � ���� �� ������ �� ���� ����� �����
��� �� ���� �� ������� ����� ����
� ��������� �� �������� ��������� �������� ������� ������ ��������� ���� ������ ���� ��� ��� ��������� ������� �������� �������� � ������ �� ���������� � ��� !� � "#$$"% ���&��'� ��&���� � ���
!���"�� # $� �� %&&&
��������
'�� ��� ����� � ������� ��� � ��� ���� �� "�� �� �"����� ()*)+ ��� �� �"����� (*)+ �������� (�����
�����+� ���� ���� �� � ������ � �� �� ����� �� �� � � ����� (!�+ � � ���� � �� !� ��� �������� � � ��������
,���� �� ���� ��"�������� �� ��� ����� ����� ����� �-� �� ������� �������� �� "� ��� ��"�������� � ��
.&/0123 �� ��� �"� �� �� � ��� ���� ���� �4������ ��� ���� ���� ���������� '�� "� ���� �� �"������� ��"��������
�-� � �� ��� ��� ��������� �� ��� ����� ��� ����������� �� ���� ���� � �������� � �"������ ��������������� ��
������� �� ����� ��� ������0�� ����� ��� ���������������� �� ������� ��� ��������� �� 5��� �� ������ ������
������ ��� ���� ��� ������ ������ ��� ��"� ���� ������� ���� �� ���� ����� ������ '��� ���� �"���� ��� � �� ���
�� ����� ������������� � ���� �� ���� ������ � ������� ('�%62� '�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ � �������
(��������� ��� �� �� �����+ ���� 5��� �� ������,)7 ��� ���0��� � �������� ���� �8�� ��� � ��� ���� �� ������
����� � ���� �� '�%62 5��� ��� ������� ��� �-�� ��� �������� �� ��� ����� �� � *) ��������� ���� .#% ��
��������� 9���� ����� ��������� ������ � ����� �� ��� ����������� '�%62 5��� � ��� �� ���� �� :� �� ���
����� �� �� ������� �������� ���� ��� � ��� ����� ;��<��� ��� ��������� �� ��� �� 2�%� .&�# $ ��% ���
%�3.� .&�# $ ��% �� . 9)��. ��"� ���� ����"�� �� ��� ���� ��� '�%62 5��� ��������� �� ����������� ���0���
� ������� ��� ������,)7� ������"������"� �� � �� � �� �������� ���� ���� �� ��� ���� ���� ��� 5��� � ��� ��
�� ��� ���� �����=�� $ ����=��� ��� ����� �� � (3&&�,+ *) ��������� ���� ��� �"�� ����� �� .&�/ $��%�
'���� "���� � � ���� ���� �� ����� ���� � �"����� ����"�� �� 5��� �������� �� ���� ����� �� �� ������� >&&�,��� .&&&�,� '���� � ��� ���� ��<� ��� ����������� � ���� �� '�%62 ���� � ������� ���� ����"� �� :�6% �� ����
������� 7!$9 ����������� � %&&. ?���"�� :���� ;��� $�� ����� ��� "���
���(����) ������,)7@ ?���� ����@ *) ���������@ '��� '�%62 5��@ 7����� � �������@ :��0��� � �������@ :�������� ��"���
� ���� ������
$� ���� � ��"��� � � ����� ���� �� ����"� �� ��
�� ������� ����� ���� (*;:�+ � ���� ��� ���<���� ��
���� ���� ������ ��� �� � ����������� ���� ���
���<���� ��� �� ������ � ����� ����� �� ��� ������
� �8����� �� ��� ��"��� �� ����� ���� � ��� � ����
������� ���� ��� � �A���� ������ ������� (:�6%+ ���<�
���� �� %&.% � ������ �� ��� ��������� ����� �
������ ���� ��� ����� ���������� (5"� ������
����� ���� �+� � ���� ���� ��� ������� � B.C �� �����
���� �� '���� . B%�1C� �� �� �� ���� ���� �� &�. ����������� ��� ������ ��� :�6% ���� ����� ���<����
��� �� ����� ����� %�& �� ��� ���� � ����� ��� �����
��4�� ��� ������ ��� ���������� � ������ �� ���� ��
���������� =���� �������� ��4������ D���"� �
�� ��������� 5�� ���� � ������ � ������� ����� ����
���� �� :�6% �� ���"� ���� ���� ������ � � ������ �����
��� �� �� � ���<� ��������� ���� ���� � ������ ���
����"� �������� ��� ������ � � ��� �� ���� �� ���
"�� � �� (��� '���� .+� !������� "� ��� ���� ������ �
������� ���� ���� ��"� ���� ������ ��"��������� ��
�������� ��������� �� ����� :�6% �� ������ �����
:�����:���� ?��� ���� 32 (%&&.+ .3.10.31.
,� ��������� ���� � '���E F33�%&#�3.G�1.G>@ ���E F33�
%&#�1//�G1%2�
�*+� ������) A8����H�������< (����� �����+�
&&1/�..&.I&.IJ � ��� � ��� ����� � %&&. ?���"�� :���� ;��� $�� ����� ��� "���
���E :&&1/ �..&. (&& +&&%2G �/
���� ���� ��� (7!$9�+ ��� ����� �� '���� %� 9� �
�������� ��� �������� ��������� ��� ��������������
������ �� ����� ������ �� �� �� ���� ������� � B30>C�
$������ ����� ������ ��� �� �� ��� �� ��� ����
, ���� � ��"��"�� ��� �'�.��61 (��'+� ���: .��'�61
(�:'+� '�%62� ��� '�6%� '������ ��������� ('�%62+ ��
�� ���� ����� � �� �� ��� ���� � ������� ��� ����
�������� �� ����� :�6% ����� �� ��� ������������
���� *;:� � ������� �� ���� �� ������ ��� ��� ���
��������� B#0.&C� )� ��� ��� ��� ������ ��5� ������
���� '�%62 ������ � 5��� �� �� ����������I'�%62I
���������� (:�:+� �����I'�%62I����� (9�9+� �����I
'�%62I���������� (9�:+ � ����� ����� ���������
(96:+� ��� ��"� ���� ��� ����� �� ���� ��� ��� � ��
'�%62 ������ � 5��� B..C� �� ��� ���� ����� ���� ���
'�%62 ������ ���� ��� '�KI�����:� ��� ���� ��� ��
������� �� %2> 9��� ���� � ��"��� ��� ��� ������� ��
%2> 9��� 7!$9 ��� ������ � ���� BGC� !������� �
�� ��� ���������� �� ������ � ������� � �� %& ��
�� � ���� .%& �� '�%62 ��< � ��� �� ��� ��� ���
������ �� /L ������� ����� ('�6%+ ��� ���� ������
�� ���� B.%C� 9� � ���� �� <� �� ��� ���������� ��
����� '�0'� ����� ���� 5��� �������� �� ����� ��� ���
'�0� ��< ���� ����� �"����� ���� ��� ������ � ���
������ ���"� 2& �� �� �������� B.1�.3C� D���"� � ����
���������� ��� ������� �� ��� �� ����� ���� ����� �
�� � ����� '�%62 5��� �� :� ��"� ��� ��� ���� ��5�����
������� � ������ ���� ����� �� �� < �� '�%62 ���
���� � 5��� ��� �� ���� ���� ����� :��� ��������
���� �� �� �"� ��� ���� � '�%62 �� �� ������� ��
7!$9� ���������� ���������� ��� �� �� ���<��� �
��� �� ��� ������������ ���� � �� �� ������ ��5�����
����� ��� ��� ��� ������������ � ������ �� ��� ����
���� ��� ���<��� ��� ������� �� �� �����5����� ��
��� �� �������� ��"��� �� ��������� �� ��� �����
���������� ��������� �����=��� '�� ��� �� ��� �����
����� �� ��� ������ ��"� ���"�� �� ����������
)� ��� ��������������� ��������� �����=�� �������
� ��� ��������� ���� "� ��� ����� �� �� 6%� K%6�
K%� D%� KD1� 61 ���� ���� ��� ��� 6% ���������
(!'$+� �� �"����� ���� ���� �8��� (*)6+� ������ ���
� ���� �� �������� � ���� �� ���� �� ��"� �� ���� �� �
��������� ������� B.20%GC� ��"� ���� � ������ ��
��� �"� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� '�%62 5����
:��� � ��� ��� !'$ ��������� � � � ��� �� ��
���"� #&&�, ��� '�%62 5��� � � �������8�� ��� ���
��=����� � ��� ����� ��� ���� �� �� �� ���� �� ���
���<��� ��� B.2C� �� ��� ��� �� *)6 ��� ������
���������� ��� ���<��� ��� �� �� �����5����� ��
��� ���� �� ���� ���� �������� �� ���� ���������
�����=��� M ��� �� �� ���� �������� 5��� ����� ��
��� ��� ���� ����� ����� �� ��� ��������� ����
�� �� �� (�3&&�,+� '���� 1 ���� �8�� ��� � ��� ����
�� '�%62 5��� ��������� ��� �������� �� ��-� ���
�������� �� �� ��� �� ���� ���� ���� ��������� ���
���<��� ��� ��������� �����5����� ���� �� ���
���� .&�>�.&�/$ ��% � �� � ��� .&�1 $ ��% ��
��� ������������ 5���� '�%62 � ��� ���� �� ����� ������
�� ���������� �� � ��� ��8�� 5�� ���<���� ��� �����
�������� ���� � � ��N���� �� � ���� �����=�� $
"� ���� �� ������ ��� ������� ���������� �����=���
�� �� �"��� ������ ����� ���� ����� ���� �����������
��������� �� �������� ����� ���� ���������� (�;7+�
���0��� � �������� ��� "� ��� ������ "��� �����
������ (,)7+ �����=�� ������� ��� ��� ,)7� ���
� ��� � ,)7� �������,)7 ��� ������,)7� ��"�
���� ��� �� ������� '�%62 5��� B/�.>0%3�1&012C� ?��
�����=� ��� ��� �� �� ��� � ����<�� D���"� � ������
����� � ������� ��� �� �� ���� ���"�� �� ���
������� ���� �� ��� ���� �� ��� ����� �� ��� ����
'���� %
$��� ���� ���� ������ �� �� �� �� ������ 96: � ������� � B30>C
9��� ��� , 9��� ��� , 9��� ��� , 9��� ��� ,
��' .&&& '�%62 %20%/ K�%61 .>0%& 9�6 G�/
�:' 2&& ;�$�61 %2 �%61 ..0.3 ;�%6 /�.0/�/
'�6% .&& ;�%��%62 %2 ? %61 .%�20.1 9�$�%63 /�10/�>
;�:61 1& � 6% %% � :�63 .%0.1 ��6 >�G0#�#
�%610� 6% %G�# ;�%61 %. $�%61 G0.% ,�%61 #�&
'���� .
'�� � �A���� ���� ����� ���<���� �� ,96: ����� ���� � ��� �� .GG#0%&.% (,E ������ � �������+ B%�1C
'�������� �������� .GG# .GGG %&&. %&&1 %&&> %&&G %&.%
7����� �� (��+ &�%2 &�./ &�.2 &�.1 &�.& &�&# &�&2
���� ������� (��+ %&& 1&& 1&& 1&& 1&& 32& 32&
O��� ������ � (��� � � 1�G+�=�"����� :�6% ���<����
302 103 %01 %01 .�20% �.�2 �.�&
O��� ������ � (��+ '�%62
���<���� (� � .G+
%&0%2 .20%& .&0.2 .&0.2 #�20.& �#�2 �2
.3.3 -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
������8�� � ������ �� �� ���� ��-����� ������ ��
���� ������� ��� ����� ���� ����� ���� �� �����
����� �� ��� ��� ��� � ������ � ��� �� ��� ��A����
�� ��� �������� ���� ����� ����� ���� �� � ��
������ �������� �������� '� ���� ���� ������,)7 ���
���� �� �� ��� ���� ���� �� ����� ������� �-� ���
���� ������ N����� �� "� � �������"� ��� ���� �
����� �"������� ������� � �"��� ���� ����� � �� �����
(�������� ���� ��"� �� �%+� 6� ��� ���� ����� "������
��� *) �������� �� �"������� � �� ����� ��� �
����� ��� �� ����� ��� �� �I!� ���� ��� ��������
� ��� ���� � ������ � �� %&& �� �� ��"� �� �� ����
����� ���� ���� ���� ���� � ��"�������� ��� ��
���� ���� %2& ��� "� � �4���� *) � )*) �� ��
� � ���� ���� �� ���������� ��� ���������� ������
� ������� '�� ��� �� ��� � �� � ������ �� ���� ���� �
��� ��� ��� ������"� ������ �� ��� ���� ���� �� ��
� �� ������� �� �� �4������ � �������
!������� � ��� ���� ����� �� ����� ��� ���� ���
"������ B1>031C� ���� � � ������ �� � ����� ����
���� �������� ���� �"������� ��"�������� �� ��� ����
.&/0123 ��� $���������� �� �� �� �� ��"� �� ����
���� ������� ���� �� ��"� �� � ���� ������� ������
���������� �� ������ � B3303#C ��� ������� B3/022C ����
5���� ��������������� �� ������� �� ����� ��� �����
��0�� ����� B2>02GC� � ��� ����5����� ��� �����
�� ������ B>&0>2C�*)��������� B%%�%3�%>�>>�>#C� �����
��� ������� �� � "� ���� �� ��������� B>/�>GC� �� ���� ��
�� �� � �� N�� ����� �������� B#&�#.C ��� :���������
��������� �� 5��� �� ������ ������ ������ ��� ���� ���
������ ������ ��� �� �� ��������� �� ������,)7 � ��
��-� ��� ���� �� �� ������� ������� �������� ��� ���
� �� ����� ����� B33�32�#%0#2C� '�� ������� ����������
���� (2& ������.+ ��"� ���� ����"�� �� � ��������
������ ��� ������ ��� ���� �� �� � ���� ��� ����� ��
� � �� ��� �� 1&&�,� M��� ����� �� ��� �� ���"� �����
�� ��� 5��� ��������� �� ���� �� ��� ����� �� "� ����
��� ���� �� ��� � � �� ���� ��� !���� �� < �� ���
�� �� ��������������� �� ������ �� ��� ����� �� �
(%2&�,+ ��� ����� ���� ��� ��������� ��� �� �� � ����
�� �� ����� � ���� ���� ���� �� ����������� ������
���� �� ������ ���� � ������ ��� � ��� � D� ���� ��
12&�, B2>�2/C� '�� 5��� ����� �� �� ���� �������
(8I9+ ��� ���� ���� �� �� 3�2� .&.& ��%� ���� ��
���� ���� �� ���� �� ��� ���� "���� ��� ��� ��
��� ����� � ��� ����� �� :� �� � ���� ����� �� � ��
.&1&�, B#>C� �� ���� ���� �� � ��N� ������ ��� ��� �
����� � ������� ��� � ��� ���� ��"��"�� �� ����� �����
$ ��"�� ���������� ���� �� ���� ������ � �������
������� ��������� ('�%62+ ���� 5��� � ��� �� :� ��
������,)7 ��� ���0��� � ������� ���� �� �"�����
����� ��� �-�� �� ��� ����� �� � *) ��������� �� ����
� �������� '�� �������� ������� ���� ��� ��� ������ �
�� ��� ����� �� '�%62 ���� 5��� � � ���� �8�� ���
�������� ���������������� �� ���� ���� ������ � ���
����� ('�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ � ������� ����
5��� �� ���0��� � ������� ��� ���� � ��N� ���� �8���
'�� ����������� ��"��������� �� �� ��� �� ������� ���
���� ��� ��� ���� ���� ����� ���� ������� ��
� �"��� �� ���� ������ ���� ����"� �� ��"�������� *)
����� ��� ����� ���� � �� ����� ��� �� ������� ���
����� �� � ���� ���� � ��������
'���� 1
� ��� ���� �� '�%62 5��� ��������� ��� �������� �� ��-� ��� ������� (�E ���<��� ��� �������+
9����� ��� ��������� ��������� ,������ �� � � , � ($ ��%+ �� .
9)��.
!��� ���
:���� ��� $������� �� /2&�, $�I '�%62I�� (�+ %3 (�+ .&�3
$�I '�%62I��:� (�+ 32 (�+ .&�# B.>C
,)7 �� 32&�, ��� !'$ �������� ��
/&&�, �� 6%� K%6
$�I '�%62I��:� (�+ .&�1
'�KI'�%62I��:� (�+.&�/ B.#C
'�� ��� ��������� ��� 6% �������� ��
/&&�,$�I '�%62I��:� .>0%2 (�+P.&�3 B./C
(�+.&�/
,)7 �� 3&&03#&�, ��� 6% �������� ��
#&&0G&&�,$�I '�%62I��:� .G (�+P.&�1 B.G�%&C
(�+.&�/
�������,)7 �� %&&0>&&�, ��� K%
�������� �� #&&�,$�I '�%62I��:� (�+ %&�1 (�+P.&�% B%.C
(�+ .G (�+.&�>
,)7 �� 3&&�, ��� ������ ��������
�� 3&&�,'�KI '�%62I��:� (�+.&�1 B.2C
(�+.&�/
������,)7 �� %2&03&&�, ��� *)
�������� �� 3&&�,$�I '�%62I��:� (�+ %3 (�+.&�1 � .&�# B.&�%%C
(�+ %& (�+.&�/
(�+ ������������ 5��� ��� (�+ �������� 5���
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.2
� ��������������� �� ������� �� �������
'�� ����� *) ����� ��� �� ���� ���� ��� �� ���
������"� ������������ �� ����� (������ ���� +
������ ����� �� � ������ � �� �� ����� �� (7�7+
(����� �������+ �� � !� �� �� $ �% (� � .%> ��+� Q �%(� � .3> ��+� � R��% (� � .#% ��+ � ������ !�0
������ �������� �� �� $ M� (� � .G1 ��+� Q ,��
(� � %%% ��+� Q M� (� � %3/ ��+� R�,�� (� � 1&/ ��+�
�� .G>& :��"��� ��� D���� B#/C 5 �� � ������ ���
����� �� ����� �� ���� ����� ���� �� ��� ������ �����
B##C ��� ��� �� ��� ��������� �� ��� ������� � ������
� ��� ������ '���� ����� ������� � � ��� "� �
������ ��� ��� �� ��� �������� ������ � ��� �����
������� ��"��� � ���� ��������� ��� �� �� ��� �� � ��
� *) ������� �� ��� ���� ������ ��� � ��� ���� �� ���
��� � ��� <������ �� ���� �� ������ ��"� ���� ������
�������"��� �� 9������ �� ��� B#GC� )��<�"� �� ��� B/&C�
?������� ��� Q��������8 B1>03&�/.�/%C� K���� �� ���
B/1C� ��� ����� ��� ���� B3.031�/3C� �� ��� �������� ��
��� ���� ������� ���� ���� ����� ����� *) �� ��
�� ���� ���� *) ����������� "� � �4������ B3%�#&�/2C�
��� ���� �� ���� �� *) ������� �� ���� ���� ����������
�� ���� �� ��-� ��� ������ ��� ��� ��"�������� �� ����
�� ����� ��"� ���� �������� ��� ��"��������� B1G�2&�
/.�/>0G#C�
M��� . ����� � ������� �� ���� ������� ��� 7�7�
�� � ������� ����� ��� ��� ���� ���� � � �� ���� ��
����� ���� ��� ����� �� ��� ��� ������� ��� ��� ��� �
� ��� ��� ����� �� � ���� ���� ��� ������ ��� � �
����� � � 6� ��� ��� � �� �� 7�7� ��� ���� ���
��� ����� �� � � ���� ���� �� � ������ � �� �� (��
������� + ���� �� ��������� ���� ��� ������ ���
� ����� (M��� .+� �� �� ���� <���� ���� �� � ������ ���
������ "������ �� ������� � ��� � ��� �� �� �����
���� ����� ���� ���� �� ������� � ��� ���� ��� �� �
��� �� ���� ������� �� ���� �� ���� ��� � ��<���� ��
��� ��� � � �� ���� ����� � ��<���� "������� (:��+
BG/C ���� �� ���� �� ������� �� ��� ��� � ��� ����
������� �� ��� ���� ��� ���� ��� ��� ����� �� ��� ����
� ���� ��� ��� ������� '�� �������� ����������� ���
����� :��� �� ��� � �� �� ��� ���� �� �� �� ��
�������� ���E
��� � � ���� �.�
6 ���� ������ ���� ���� ��� � ��<���� ��������
�� � ��=� "� �� ��� ���� M��� % ����� ���� ���
� ��<���� "������ �� ��-� ��� !� ������� �� ���
� ��� � �� ��� ��� & ��� ��� ��� ��8� �� ��� 7�7 ���
�� ����� ���� � ��� � ��� ��� ��8��
'�� !� � � ���� <���� �� �������� � ���� ������
��� ������� ����� � ��� � ���� �� ��"�������� � ��
.&&01&& ��� '���� 3 ���� �8�� ��� ��-� ��� �������
����� ��� ������ �� $ � Q � ��� R� !�� ����� ��
����� �� ���������� '�� ������� ����� (�I��+ � ���
� �� ��� � ��������� �� ��� 1�. �. �& ��� ��� 1�% �. �&������� '�� SS5 �� ������TT ������� �� ��� ��� ��
M��� .� :������ �� ������� ��� 7�7��
M��� %� � ��<���� "������ �� ��-� ��� !��(R�� Q ��� $ + ��
7�7�
'���� 3
!������� ����� ��� ������ �� $ � Q � ��� R� ����� �� ���� � ��� � ����� ��� BGG0.&%C
!� �I�� � �� ���
!������� ���� (��+ ,������ (��+ ,������ (��+ ,������ (��+
$ .&>�3I.&3�/ ..& .%> .//
Q .%1�>I..>�2 .%2 .3> %%& � � � %#&
R� .3>�G>I.%G�2> .2& .#% 1&&
.3.> -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
��"�������� ���� � �� ��� � ��������� �� ��� ������
������ ���� ������ �.�� �
1 �� � �� ��� ��� �� ������
!��% �� ��� �����"� � ��� ������ '�� ��� � ������
� ������� �� � ��������� ������� ��� !�%� !� ������
��� ���� �� ����� ���� �� ��������� �� !� ���������
���� � ������ � �� ������ ��� ���� �� ����� BGGC� M��� 1
� ������ � ��� � ��������� �� � ����� 7�7 ����
��� ����� ������ (� ��� ��+ ��� � ������� ���� ��
������ $� ��� � ��� �� (3& ��� + ��� ���< �� .3# �� ��
�� �� ��� ������� ���� (�+ �� ������ ������� � �� �
� �������� 1�.0.:&� '�� �� ���� �� � ��� � ������ ���
��"������� ���� ���� � �� ��� ������� ����� �� �����
������� '�� 5 �� ������ �� � ��"������� �� .2& ��
����� � �� � � ��� � �� .2& ��� ��� � ������� ��
� ��������� � �� "�� ��������� ������ ����� ������
�.�� � 1�
� � �� ��� ������� ������ �� ��� � ��� ������
'�� ����� ����� ������ (���<��� �� .#% ��+ ��
��� �������� �������� ���� � �� � � ��� �� �� 2&&
��� ��� � ���� � '��� ��A����� ��� � ��� � �� ���
����� �� �� ����� ��� ��"������� �� ��� )*) ���<
����������
$ ��������� ��� �� ���� �� �� !�I������� ����� �
�� ����� �� M��� 3� '�� � � � ��-� ��� � ��������� �� ���
!�I������� ����� ��������� ��� �� ���� ��� '�� ������
���� ��� ���� ����� "���� �� ��� �������� ���� ���� � ��
"� ��� � ��������� �� "� � ��-� ���� M� �������� ���
7�.�% � R�.�% � �������� ���� ���� ��� ��� ���� ��"��
������ ������ ��� ��������� �� �� ���� ���� ���� �� ���
��.�% � R�.�% � ��������� '�� ��.�% � R�.�% � ��������
�� ��� �� ������ ����� ��� ������� ��� 5��� �� � ������
���� ��� ���� �� ����� ��"� ��� �� ���� �"� ��� ��
��� �� ��� "����� � ������ B.&1C� ���<� ��� � ��� ����
�������� ,�1�% � $�1�% ��� ��.�% �$�.�% � ����������
���� �� �� ����� �"� ������ �� N� ��� ��� ��� ����
���� ��� �� � ����� ��� �������
$ �� �� ���� �� ��-� ��� �������� ���� � �� ���
��� � ��"� ���� ��"��������� � �� !� ����� �� !�
������ ��������� ��� ������� ���� � B1>031�/%�/1�/2C�
M��� 2 � ������ ��� �������� ���� � �� $ �%� Q �%� R��%�Q ,�� ��� R�,�� ����� � ���� �� �� ���� �� �������
������ ���<� ���� ����������� "� ���� � �� .0.& ���
���� ����� ���� � ���� � ������� ���� �� ��"��
������� � � �"������� �� ���� ���� ��"���� '���� �����
� � .G1 �� ($ M +� � � %3/ �� (Q M +� � � 1&/ ��
(R�,� +� � � 12. �� (R�M + ������ �� ���� ���� �
�� �� �������� ���� M�% (� � .2# ��+ ��� Q ,�
(� � %%% ��+� �� ��� ���� �� � ���� %& ��-� ���
��"�������� �� �� ���� ���� �� 7�7�� ��������� ����
�������� ����� � �� ��� )*) �� ��� "������ �� � �� ���
���� � B1G�>&C� '���� 2 ����� ��� ���� ���< ��"��
������� ��� ���� � ��������� ������ ��� ���� �� !�
��� !� �������� ����� �� ����� �� ����������
M��� 1� � ��� � ��������� �� � ����� 7�7�
M��� 3� ��������� ��� �� ���� �� �� !� ������� ��� � ��
�������� ����� � ����������
M��� 2� ?������� ���� � �� $ �%� Q �%� R��%� Q ,� ��� R�,�
����� � � �� � 7�7�
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.#
)� ��� ������ ��� ��5� ������ �� ����� �����
�� �� �������� ��� ��� ������ �� �� ����� ���� ����
*) �������� �� ��� ������ � ��� ������� � ����� � ����
*) �������� �� ��� � ���� ����� ��� ���������� ��
)*) �������� B3G�2&�>&C� ,����� ��� ����� �� � ���
�� ���� �� � �� < � ������� �� �� $ ������ ����
�������� �� ��� ����� � =� �8 ����� ��� ���
���� ������� ���� ����� �� ���� ��� ���� "������ ����
� ��� � ��� ������ ���� � '�� ���� �� ��� �� ���
"� ���� �4������ (*) ����I���� ��� ����+ �� �����
����� �� �� �� ���� �� %%�2L B#&C� *���<� ��� �������
����� ��� �� ��� ������ ����� �� �� ������ ��� ����
� ���� � � �� ��� �� < ��� ���� �� � ��� ����� ��
��� ��� � ����� �� � ��� �������� ��� ���� ��� 5����
���� ����� � !� � � � � ����������� ��� ���� �� ���
��� ������� �� � ������� �� ��� � =� �8 ��� ���
���� ��� ���� ��� � ����� ��� �� ��� �������� ���� �
����� $� ���� ������ ���� "������ �� �������� � ��� <)
�������� �� ���=��� �� � ��� ����� ��� '�� � ��
=��� �� ��� ������� "������ �� "� � �"� � ���� ����
� �� 2& D8 �� ��"� �� 9D8� '�� � ��� ���� �� �����
�� ������ ��� ��"� ���� �������"��� ������ B1>�1G�
3.�3%�/%C� '�� ���� �� ������� �� � �� ������ �� ��
�������� �� ��� � �� �� .&.3 ��1 ��� ���� ��� ���� ��
��� ���� ��� � � � ��� ���� �� "���� B##C� '���� �����
����� �� �� ��N���� �� ��� ��8�� ��� � ��� �� ���
���� �� ��� �� ��� ����� �� ��� ������ � ���� ����
��� �� �� ������8�� �� ��� �� ������ �� ��� ���� ��
����� ������ B3.�3%C�
$ �� �� � �� ������ ��� ���� �������� ��� ���
�� ��� ���� �� � �� �� �� ����� ����� ������ ������
�� �������� ���� � �������� �"� � 2&& �% � ��� $
���� ����� ����� �� ��� *) ��������� ���� ������ ��
�� � ������ ��� ���� ��"������� ���� ������ ���
����� ���� �� �� � ����� ��� �� � ��<��� ���� ��
��� ��� ��� ���� �� ������� �� ���� �� ������ ���
�� ��� �"� ��� � ��� �� ��� ������ � M��� > ����� �
���� ���� �� ��� *) ��������� ���� ������ �� � �� ��
����� ���� ������ � ������ � �� ��� ��������� (���
����� ����+ ���� ��� ���� ������� ���� (��� � ��
������+ ���� �� �� ���� ����������� ������������� �
��� ������ �������� � ������� B3.�3%�.&3�.&2C� '��
���� ���� �� ��� *) ��������� �� ���� �� �� ������ 3L
�"� � %2& �% � ��� '�� ���� ������ � � �� ��������
�� ������ ���� ��� ����������
'�� �"� ��� ���� �� ��"�������� ����� �� ��"� ��� ��
��� �� ���� �� ������ N� ���� �� ��� ��"�������
���������� �� �"��� ���� ���� ��� ���� ��� (���� ��
���� �������+ �� ��� ���� ���� �� ��� ��"����� �����
��� ���� ���� � � �� ���� �� ����� ���� ��� ����� ��
��� ��� ������ �� � �"����� ���������� $��� ���� �
2L ������ ���� � �� ��� ���� ���� � ��<��� �� ��� ����
��� � � M� ���� �� � ����� �������� �� �������
2&&0%&&& �� ��������� �� ��� � ���� ���� �� ���� (���
'���� >+� M� � ���� �������8�� � ����� (���� ������
� ���� ��������+ ��� ���� ��� ��� ��� � ����� �� �
�� ���� �� 11&& Q (������� ����� �� �������E 1>22 Q+� ��
���� ��� �������� �� ���� �� ���� � ��� �� �� 6� ���
��� � �� �� ����� ����� ��� ���� ���� � � ��� ��
�� �� ����� ���� ��� ����� �� ������ ��� ��� �"���
��� � ����� � ��� ��� ����� �� � ����� ��� ���
� �"����� ��� ����� ���� ���� � �� ����� ���������
M��� # ����� ��� ��������� "� �� ��� ����� ���� �� %%%
�� ��"������� ����� ���� ���� 3& � ���� ���
���� �� %2�,� $� �� �� ���� ���� ��� .&&L ��"�� �� ���
� ������ *) ��������� �� ��� %%% �� ��� ����� ���� �
�� 3&&& � ��� ����� �����
'���� 2
���< ��"�������� ��� ������ ��� ���� �� ����� ��������
����� �������� � �� "� ��� 7�7�
?���� ��"�������
(��+
������ ��� ��
(�)+
*) ����
K�M .&/ ..�3/
$ �% .%> G�/3
Q �% .3> /�3G
M�% .2/ #�/2
$ � .>2 #�2% )*)
R��% .#% #�%.
$ ,� .#2 #�&/
Q � .G& >�3G
$ M .G1 >�3%
Q � %&# 2�GG
Q ,� %%% 2�2/
Q M %3/ 2�&. *)�,
R�� %21 3�G.
,��% %2G 3�#G
R�� %/1 3�3.
� �% %/G 3�%G *)��
R�,� 1&/ 3�&1
��% 13% 1�>1
R�M 12. 1�21 *)�$
M��� >� *) ��������� � �5�� �� �� �� ����� ���� �������
.3./ -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
�� �� ��� �� ���� ���� ��� �� �� ����� � �� ���
���� ����� �� *) �������� �-� � ��"� �� ���� ����
��"������� �"� ���� ���� �������E (.+ ���� ��������� ��
��� ��5��� ��"�������� (%+ ������� ���� ������ (1+ � ����
�������� ��� �� ������������ �� ��� ����� ��� ��
���� ��� � ������ (3+ �������� ���� ���� � � ���
(���� �� D�+ ��� ��� ���� ����� ��� � �� ������� ��"��
�������� � ������ (2+ N��������� �� ������ �� ��-� ���
������ ���� ��� (>+ ��������� �� ���������� �� �� �� � ����
����� �� ����� ��=� � ��� ����� ��� ������������ ����
��������� �� ���� ����� �� �� �������� � �� ���� �����
��� �� )*) �������� ��� ���� ��� �"���������� �� ����
�� ��� ��"��������� ����� �� �� � � �� ��� ���"�
���� ����"� �� ��"�������� *) ����� ��� ���� � ��
�� ���� �� ����� ��� ������������ :�"� �� �� ���� ��"��
����������� ���� �� ������ � 5�� �� ������ ���� ��
�"����� �� ��� ��������� ��������
� �������� ��� ����������
M��� / ����� � ������� ���� �� �� � �� �� � ��
����� ���� ������ ��� �� ���� ����� '�� �������
������ ��� ���� � ��� �� ��� ��������� ����� ����� �
(���� ��� ���� ����� �+ ���� ���� �� � 9�M%
������ � ����� ��� �� ��� )*) ��������� '�� ����
����� �������� �� �� � �� �� �� ����� ����� ���
���� ����� ������� �� ���� � � ����� �� ��� ���� ����
�� M��� /� ?���� *) ��������� � �� ����� � � �����
(R��%� � � .#% ��+ � � ���� � �� < ����� ��� ��� ���
(Q ,� � � � %%% ��+� ��� ���� ���� �� ��� ��� �����
� �"� ��� � ��� � ��� � ��� ����� ���� � ��������
������ ��� ������ ����� � ��� �������� ��� ���
������ ���� � ���� ���� �� ���� 1& ����% B%>C�
'���� >
;������� �� ��-� ��� ����� ��� ����� (���� �� ��E D������� U 6����� !�������� ,� �� �����+
;��� ��"������� (��+ O� ������ ���� (�+�
;���� ��� � �� � ���� ./2 ��� %23 %&&&
9���� � ��� � �� � ���� %&&0>&& /&&0.&&&
D��� � ��� � �� � ���� 1&&0>&& >&&
R���� ����� *) �� �! ������� ���� � ./20%&&& >&&0.&&&
9� ������� ����� (D�R�+ *) �� �! ������� ���� � ./20%&&& 3&&0.&&&
7��� �� ����� *) ������� ���� � .>&03&& .&&&
7� ����������� ���� �� ����� *) ������� ���� � ..203&& 1&&02&&
� '�� ���� ��� �� ��5��� �� ��� ���� ���� ��� ������ ��������� ����� �� 2&L �� ��� ������� "����
M��� #� *) ��������� �� %%% �� ����� ����� �� � ������ ��
��� ����� �����
M��� /� :������ ���� �� �� ������,)7 ������ ��� �� ����� �� �� � �� �� ����� *) ������
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.G
K����� ������ ����� (. & &+ � ��������� ������ (%03 ��� ������"���+ ���� � �� � ��� �� ���� ����� ����
������ ���� � ������ � !,$� ���� � �� �� ��� '��
���� ��� ����� �� � ��� ���������� ������� .&&�,��� 3&&�, ��� ���� �� ���� � ��� ������ �������
�� ��� ����� ������ '�� ��� �� ����� (K%6+ �����8���
����� ��� ��� ���� ���� ��� ���� ����� �� � 5���
N�� ��� �� %& ��� '�� ������� ������ ���� � ��
�� �� ������ ������� ��� ������� ��������������
�������� ('�(6?�+3(79$?++ ��� ������� ���������
�� � "��� �8�� �� ����� �� �� ������� .&&0.1&�, �� �
����� I��A��� ��� ���� � ����� ��� ���� ��� ������
����� �� �� K% � �� ���� $ ��� ��� ������ �� ����
���� �� �������� ������� � B%>�.&>C� '�� � �������
����� ��� �� �"����� �� .&�> ��� �� � � ���
������ ��� ��� 5���� ���� ��� ��� �� ���� ���
���� � �� ����5 � ������� ������������ *) �������
��� ��� �� �� ��� �� ��� 5��� �� ��-� ��� ����� �
����� �� ����� �� �� ������� 12&�, ��� 3&&�, �� �
5��� � ��� � �� .&&& ��� �� ���� � ��� ������
(GG�GGGL+ �� ���� .#% �� ����� ����� ���� ����
���� � �� ��� ���� �� .&0%&& ����%� ���� �����
���� �������� � �����=�� B.&3�.&2C�
'�� ������ ����������� �� ��� 5��� �� � ���� �
����� �� R� �� ��������� �� ���� ����� (R�:+ ����
� )O ?:,$;$� %%&� R;� '�� ����� � �5��� �� ���
������� �� '�� 6� ��� :� �� � ���� ����� ���� $ � ����
(1 <�)+ ���� � ��� �� &�/ �$ �� �� � ��� � ��� � ��
.&�# '� � '�� ���� �� ������ �� ������� �� ��� 5���
��� ������� �� ���< ����"������ �� ��� R�:
"��� '�� ���<���� ��� �� ���"� ����� �� ��� 5���
�� � ���� ����� ���� � !����� $��?; �� ��������
���� ����� ��� �� � � ��� ������ � ��� ���� �� ���
���� � � ��� �� :� ���� ��� =� �8 �� � ���� ��
���� � M� �� � ����� � ��� � �� (M'�!+ ���� �����
(�� ���� .&&&� �� <�� ?��� + ��� *) ���� �������
��� �� ������"���� '�� ���� ��� � ��� ���� �� ��� 5���
�� � ���� �� �� � � �=��� �� . 9D8 �� D�3.3& ���
D�3%#2 ��������� ������� (-0:� �0:+ �� $�I
'�%62I:� ������ ���� �� � �� ���� �� �"��� ���� $�
��� ����� �� � �� /� .&�3 �% �� ��� � ����� ���
��� ���<�
� �������� ��� ������ �� �� �������
3.�. �";4 ��+�� �� &����*������ ���7��� &��������
'� �� � � ���0��� �������� ������� ��������
('�(6,%D2+2+ ��� ������"�� �� ������� ���� � �����
=������ �� ���� ��� ��� ���� � ��� �� �������� ��
��� ���0��� � ����� ��� ������ ��"��"�� ��� �������
���� ������ � ������� ��� ������ ��� ������ �8������
'�� ��<����� ��� ������ ��� ������ �8����� �������
� �� �"� ��"� �� �� �� � ��� ���� ��� ��������
�� ����� ��� ��������� ����� ������ ���<�� ������� ��
����� � �� �� ����������� ����� <� ����� � ���� �����
�� �8����� �� ��� � ���� ������� ���< ����� �������
�� ��������� M �� ���� ���0��� �������� 5��� �� .&01&&
�� ���<���� �� � � ��� �� �� :� (. & &+ ���� ���� ��
��� ������� ������ ��� ���� � ������� �� "� ���
����� �� ��-� ��� ����� �� ��� �� �� � ������� �����
B3#C�
M��� G ����� �� R�: � �5�� �� � .3 �� �������
����� 5�� �� ��� �� ������ �� 32&�, �� � 5��� � ����
����� ���� �� %& ���� $� �� �� ����� ��� ����� �����
�� ������� ��� ������ �� ��� �� ������� �� �����
��� '�%62 5�� ����� �� � ��� ��� ���� "�� ������� ��
�� ������ � ����� �� 5��� �������� �� �������,)7 ���
��� ����,)7 B.&#C� '�� ����� ���� �� 6I'� ��� ���
����� %�30%�> ���� �� "� � ���� �� ��� ���������� �
���� �� %�2 �� '�%62� ��� ����� ���� ��� %�% ���� ��
5��� ������� ������� �� � ��� � ��� � D� ���� ���
��� %�. ���� ��� ��� �� ���� ������ ����� ���� � ���
��������������� 5��� B.&#C� '�� �"� ��� �� ���"� �����
�������� �� ����� �� �� ���"� 12&�, ��� %�. &�&2����� �� ���� �� ���� ����� �������� �� ��"��������
'�%62 5����
M��� .& ����� ��� '�3�� 6.�� ��� :�%�1 ���� � ��
'�%62 5��� �������� �� �������������� ������������
�� ��� ������� �������� ���0��� 5���� �� � ������ ��
$ ����� (1 <�)+ ������ ����� '�� ������� ��� ���� ��
'�2� 3�#�% ��� '�2� 3�2�% �� ��� 5��� �� � ���� �� ��
%>�2 ��� %/�& �)� ������"���� 7 ��� ��� ������ � ��
��� ��� "��� �� ��� '�2� 3�#�% (%>�2 �)+ ������ �����
� �� '�%62 �� '�& 3�#�% ����� (%.�/ �)+ �� 3�# �)� '��
���� ��������� �������� ������� ��� �� �� '� �� ���
'�2� ��� '�& ������ �� ��� ���� ��� �������� "���� ��
��� ���� �� � B.&/C� $��� .2 ��� ������ (��"�� 1 �� M���
.&�+� �� ��� ���� ��� ���� � �� ��� ��� ��� �������
������ '�& ��� '�2�� M� %& ��� ������ (��"�� 3 �� M���
.&� ��� �+ ���� ��� ����� �� �� '�& ����� ��� ��
M��� G� R�: � �5�� �� � .3 �� ������� ����� 5�� �� ��� ��
������ �� 32&�, ���� � 5��� � �������� ���� �� %& ����
.3%& -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
���� ����� ����� ��� '�2� ��� ��� ������ ��� ������
��� �� �"������� ��� ���� ������ ��� ���� "�� (��"�� 3
�� M��� .&+� ��������� ��� ������ ��� �� ���� �����
�� ������ ���� ���� $� ���� �� ����� �� � '� �����
�� ��� ��� ��� ����� ���� �� 6I'� �� ����� ����
������ ���� ����� ��� �������� �� � ��� ���� ���
���"� ��� ������ �������� (���� ������+ �� � ������
���� ��� ���"�� �������� (���� �������+� ��� ���� ��� ��
� ������ �� ��������� ���� ����
'�� ���<���� ��� �� ���"� ����� �� ���� � � ��� ��
� 1 ��� ������ ���� �� � �������� ���������� ���0���
5��� �� � ����� �� � �� /&�, �� ����� �� M��� ..� �� ��
�� ��� �� ���� ���� "� � ���� � 5��� (���� %3�> ��+
�� � ����"�� ���� ��� ����� "� ������ �� ���<���� � ���
M��� .&� :��� � �� '� 3�� 6 .�� ��� :� %�1 �� '�%62 ���� � �������� �� �������������� ���0��� � ����� �� � ������ �� $ � ����������
�����
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%.
��� 1 ��� ���� ����� ������ &�% ��� '�� ���� ��
� ���"� ����� ���� �� (.�G3+ ��� ������ �� ���� ��
���� �������� �� ���������������� '�%62 5��� �� �
����� �� � �� ./&�, B%GC� R� �����- ����� (R!7+ ��
"����� ��� �� � � �� 5��� �� ��� �� �� ��� ����� $
�<�� �� ���� � �� � � ���� �� � ������ � �
���� ��� ���� "�� �� ������� ���� �� �� �����
(:?9+�
M��� .% ����� ��� ��� "������ �� ��� ����� ��
��� $�I'�%62I:� 96: ���� ������ � ��� ����� ���� %&
�� ���< '�%62 ���� � � ��� �� ����� ���� �� ����
�� ��� ����� �� �� �� � 5��� ���� �� %& ��� ���� ���
���� �- (��"�������� ��� ��� � �������+ ��� ���
���� ���� �������� ���������� �� ���� ���������� *)
� ��������� �� �� �� ��� �� ���� ���� ��� ���<��� �
��� ������� �� ��� *) � ������� 5��� �� ������ ����
���� ���� �� ��� ��� ����� � ������� 5��� �� ��� ����
�� �� �� ���� '��� �� �� �� ���"� ������ �������
� ���� �� *) � ��������� ������ ���� �������
�������� �� ���� '�%62 � ��� ���"�� �� � ����
����� � ����� �� '�%62� '�� ���<��� ��� ������� ����
�� ����� ���� �� ������ ����� �� � ��� �� � �����
����� �� � �� 3&&�, ��� ���<��� ��� ������� ��
��� � ��������� �� �� ���� � ��� ������� ����
�� ������ �� �� �� ��� �� �������� ���� � �� ���
���<��� ���� $� 3&&�,� "���� �� ��� �� 2�%� .&�#
$��% �� . 9)��. �� ��� *) � ������� 5��� �� ��
����"�� ������ ��� ��������� ����� ���� �� �"� ���
� �� � �������� ���� ���� ����� �������� �� 5���
� ��� �� �� �������,)7 ������ ������ ���������
B1.C� $ ����=��� ��� ����� �� � (3&&�,+ ������ ��
*) ��� �"�� ���� �� 1�&� .&�/ $��% �� . 9)��.�
'���� "���� � � ���� ���� �� ����� ���� � �"�����
�� ��� �� 5��� �������� �� ����� �� �� �������
>&&�, ��� .&&&�, B1.C�
�� ��� ���� "�� ���� ��� ��� ��� ��� ��� ��
����� ���� � 5���� �� ��� ���� ��� 5���� $ ������
�������� �� ,)7 ��������� '�%62 5��� ��� ����
���� "�� �� ;� �� ��� B.&GC� '��� �� ���� �� �� �� ���
M���� 0K� ����� (MK+ ��������� ��������� '��
���0"������ ����������� �� ��� �������� � ���� ��
��"�� �� B..&CE
� � 1%
/������
�� /��%�����
1�.�%1�
��%�
��� � � �� ��� ��� ������� ($ ��%+� � () ��.+ �� ���
���� � 5���� 9 �� ��� ���� �� �� ��� � �� ����<�� ���
M��� ..� '��<���� ��� �� ���"� ����� �� ��� 5��� �� ���
� ��� � 1 ��� ������ ���� �� � �������� � ���������� ����
�� �� ����� � ���� �� .2 ��� �� ����� �� � �� /&�,�
M��� .%� ;��<��� ��� ������� "�� ���� � 5��� �� ��� �����
�� 96: ������ � ��� ����� ���� ���� ��� �� 5��� � ��� ��
��-� ��� ����� �� �� ���� ��� ������ *) � ���������
.3%% -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
������ � (�)+ �� ��� �� �� ������ �� ��� '�%620:� ���
�� ���� ��� ���� �� ��� �-���"� ���� �� ���� �� �� ������
?=� (%+ �� �� ������5�� �� �������E
� � % ���
��
��1�
��� � ��� � � � �������� ��� � � ��"��� ������"���E
� � 1
/��� � /��%�����
1�.�%1�
$ ���� �� ��(�I�+ "� �� (.I�+ �� ��� ���<��� ���
���� �� �� ��� '�%62 5�� �� ���� �� �� � �� ����� ����
(M��� .1+� ��������� ���� ��� ��� �� ��������� �� MK
��������� '��� ������� ���� ��� ���<��� �� �� �� �
�������� � ���� �� �� 5��� �������� �� � �����
���� ��� ���� ��� ������� ���� �� '�%62 � ��
���� ��� �������� � �� ��� ����� M� �� ��� �� ���� ���
������� ������� �����
'���� # ����� � ���� ���� �� ��� ���� ��� � ���
� ���� �� ��� *) � ������� 5��� �� ��� �� ��-� ���
����� �� �� ������� ���� 5�� ��������� �� 12&�, ���
*) �������� �� 3&&�,� $� �� �� ����� ��� 5��� �����
�� �� ������� �� ����� ���� �� ������ ����� �� �� ��
������ � �� 3�&� .&.. ��% �� .2&�, �� .�&� .&..
��% �� 3&&�,� ���� �� ������ �� ����� �������� �� ���
5��� � ��� �� �� �������,)7 � ������� B.&GC� �����
����� � �� � ����� ������ ������� ������ ��� ����
���� ������ �� ��� ����� ����� �� ��� $ ����=���
��� ����� �� � (3&&�,+ ��������� ��� *) � �����
���� ��� �"�� ���� �� /�/� .&.& ��% ('���� #+� '����
"���� � � ���� ���� �� ����� �������� �� 5��� ���
������ �� ���� ����� �� �� ������� #&&�, ��� .&&&�,B%.�...C� � ��<���� 5���� �� � ���� �� �� �� ��� ����
�� %�%03 9)��.� ��������� �� � ������� ����������
$ ���� � �=��� �0: � �� �� 96: ������ � ��� ��
���� ���� ��� 5��� � ��� �� ����� �� �� �� .2&�,�%2&�,� 3&&�, �� � 5��� � �������� ���� �� %& ��� ��
����� �� M��� .3� �� �� �� ���� ���� ��� N�������
"������ :M� ��� �������� ������"�� ��������� ��� ���
����� � ����� �� ������"� 5��� �� ��� ��� ��� '�%62I
:� ���� ���� ���� ����� �� � �� ������� ��� �0: "�
������� ���� �� ��� ������"� "������ ���� ��� ��� N���
���� "������ :M� �� ������ ��������� � ������ ��
������"� � ��� �� ��� $� � ����� �� � �� .2&�,� ���:M� ��� ���� �� �� �.�% )� $� ��� � ���� ����� �� �
�� ����� �� %2&�, ��� 3&&�, ��� :M� "���� �� �
���� �� �&�3 ��� �&�% )� ������"���� $��� *)
M��� .1� M���� 0K� ����� ���� (��(�I�%+ "�� .I�+ �� ���
������� �� 96: ������ � ���� ���� ��� '�%62 5����
'���� #
,���� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� �� � ��� '�%62 5��� �� ��-� ��� ����� �� �� ������� ���� 5�� ��������� �� 12&�, ���
*) �������� �� 3&&�,
'���� �� � (�,+ M���� �� �� �������
(��%+
;��<��� ��� �������
�� . 9)��. ($ ��%+
� ��<���� 5���
(9)��.+
M�������� "������ :M�
()+
.2& 3�&� .&.. 3�3� .&�2 %�% �.�%
%2& %�>� .&.. %�%G� .&�2 1�& �&�33&& .�&� .&.. 2�%� .&�# 1�3 �&�%
*) �������� �� 3&&�, /�/� .&.& 1�&� .&�/ 3�& �&�.
M��� .3� �0: �� ��� ����� �� . 9D8 �� 96: ������ �
��� ����� ���� ���� ��� �� 5��� � ��� �� ����� �� �� ��
.2&�,� %2&�, ��� 3&&�,�
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%1
��������� � � ��� ������ �� &�. ) �� �� ����"���
,��� ��� "� � ���� ���� ��� � ��� ���� �� �� ��������
�� ��� '�%62 ���� � �� ���� �������������� ��� ����� ��
� � ���0��� �����=��
3.". ��� �";4 <�+ ��&����� �� &����*�:=
�� ����������� ,)7 �� '�%62 � �� �������
�������� ('�(6,%D2+2+ ��� ��� �� ������ ��� � ��� �
����������� � �� ��� K%6 ���� .#% �� �������� ���
�� � ��"��"�� ��� ��������� ������E
K%6� �� � 6�.7� �K%�R.��� � �3�
'�� ���"� ������ ������ 6(.7+ �� ��� ����=�����
��� ���� ��� '�(6,%D2+2 ����� ��� �����������
�� ��� � �� ��� �� ������� ������� �� '�%62 ����������
�� ��� ���� ��� � ����
M��� .2 ����� $ ����� ����� �� ��� ���������� ���
�� ��� ������������� (������,)7+ ��� �� ���������
(��� ����,)7+ ��������� '�%62 5���� �� �� �� ����
���� �� ��� ��� ����,)7 ��������� 5��� ��� � ����
��� �� ����� ������� �� ��� ���� ��� ����� �� � ���
�� ����� ���� ����� �� �� '�� � ���� ��� �����
3&&�, �� �� ���� �� ���� ��� ����������� ����������� $
���� ���"����� ��� �� �� .�G# �) ��� �������� � �� ��
$ ����� ���� �� ��� ����� ��������� ���� ��� ����
����� � ��� ������� ���� � �������� ��� � ���
��� � ����� *���<� ��� ��� ����,)7� �� ��� ������
,)7 ��������� 5��� ��� � ���� ��� ���� �������� ���
����� ���� ����� ����� �� � ����� � �� ����
���"����� ��� �� �� &�&#/ �) ��� ��������� �� �����
��������� ���� ��� �� ����� ��� ��������� ����������
��"� ��-� ��� ������ ���������� � � � ��"� ��� ��
��-� ��� �������� � ������� '��� ���� ���"����� ���
� �� �� ��� ����������� � ������� ��� ��� � �"����
��� �"����� �� ��� ���� ���� ���� �� ���� ���
����� �� � ��� ����� ��������� ��� ��� ��� � �������
���� ��� ����� �� �� �� ��� �� .&&�, �� �� ����
'�� ��N��� �� � ��� � �� ��� �� ��� ����� �� ���
5��� ��������� ��� ������ ��� M��� .> ����� ��� �-��
�� ��� ���������� ��� ��� �� ���"� ����� �� 5���
� ��� �� � ����� �� � �� 12&�,� �� �� �� ���� ���� ���
� ���� ��� �� ����� ����� �� ���� � ��� � �� ��� ����
�� &�201�2 ��� ����� ���� �� ���"� ����� "���� �� �
�������� �� ����� ����� �� ��� ��������� ���� �� ��
���� �� ��� ���� �� O��� ����� ����� � ��� �� ���� �� ��
�� ����� ��� �� ��� ����� ���������� '�� �� � �4�
���� ��� ����� �������� ���� � � ���� �� � � ����
���� �� �� �� ���� �� �� �� ��8�� ������ ������
������ ��� ���� ���� '���� �� ����� � �"� �� ���
������ �� ������ ���� ���� �� ��� ��� �� ���������
���������� � �����8�� �� ��� � ���� '�� ��� �� ��
��"� ����� ���� �� ���� �� ��� � ��� � �� ������
M��� .# � ������ � ������ R�: ���� � �� ��� 5���
� ��� �� � ���� ��� ����� �� � �� 12&�,� $� �� ��
����� ���<� �� '� 3�� '� 3�� '� 3�1� '� 3�. ��� 6 .� � �
������ ������� ������ ���� �� , .� (� ��� %/2 �)+ ��
"� � ������ '�� R�: ����� � �5�� �� � G2 �� ���<
������� ����� ���� � ��� �� 12&�, �� ����� �� ���
����� �� M��� .#� '�� ������ ��� ������� ����� ��
����� ���� ����� �� ����� ��� ����� �� ��� 5�� �� ��
���� �� �� =��� ���� �� '�� ����� ���� �� 6I'� ��
���� %�3� �� "� � ���� �� ��� ���������� � ���� �� %�2
�� '�%62� '�� "��� �� %�3 �� ����� ���� ��� %�& ����
�������� �� 5��� � ���� �� ������,)7 ���� � ���
� ��� � �� � ���� B..%C�
'�� M'�! ���� � �� ��� 3&&0%&&& ��. ���� ��
5��� � ��� �� ��-� ��� ���� ��� ����� �� �� � �
M��� .2� $ ����� ���� �� ��� � ���� ��� �� ��� '�%62 ���� �
� ��� �� ������������� (������,)7+ ��� �� ��������� (��� �
����,)7+�
M��� .>� 7��������� ��� ��� �� ���"� ����� �� '�%62 � ��� ��
��-� ��� � ��� �� �� ������,)7 � �����
.3%3 -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
����� �� M��� ./� '�� ���� ����� ����� �� 3&&0/&& ��.
� ��������� �� '�060'� ��� '�06 �� ������ "�� ��
������ ����� � � ���� "�� �� ��� ����� �� �� ���� ���
������� ��� �� ������ �� '�%62 ��� �� ����� ����
���� "������ �� � �"��� �� < B%3�..1�..3C� D���"� � �
���< ���� ����� ���� �� /&&0.&&& ��. ���� �� �� ��
��� � ����� �� �������� ��� ���� ���� "�� �� ��� 5���
� ��� �� ����� �� �� ������� %2&03&&�, B%3�%>�..1�
..3C� $� � ����� �� � �� %2&�,� ��� � �� ������ ���� ��
���� � ��� .2&&0.#&& ��. �� �� ��� ,0D "�� �����
�� � ����� ��<��� � �� ����� �� ����� �� �� ���"�
12&�, ���� ���� � �������� ��
M��� .G � ������ ��� *) ���� �� � ���������� ��
'�%62 5��� �� � ������ �� ���� ��� ����� �� �� '��
�"� ��� � ���������� �� ���� G&L �� ��� "������ �����
�� ��� ���� � �� 5��� � ��� �� ����� �� �� �������
%2&03&&�, �� �� ��� ���� �� "� � ���� =����� '�%62
����� ����� � ���������� �� ���� G/L �� ���� "�� ��
����� � ��� �� .2&�, �� �� ��� ������ ���� � ��������
�� ��� ���� ��������� ����� �� �� $����� �����5���
���� � �� ����� ���� � �� ���� ��� ����� �� ��� ���� ��
���� ���� ������ �� ����� ��"�������� �� ��� ����������
����� �� � �� ������ ��������� �� �� ���� �� ���
���<����� '��� �� �� �������� �� ������ ���� ��� ��������
��� � ��� M'�! ���� ������� '�� ���� �� ������
���� �� ��� ���� ����� ��4���� (�+ �� ��"�� �� B..2CE
� � ����� ������ �2�
��� � / �� � �������� �� �� ��� ������ ��� ��� �� �� ���
������ �������� ��� �� ��� � �� ��<� "���� �� %� 1� .I
%� � 1I%� ��������� �� ��� ��� � �� ��� ���� ���
� ��������� B..2�..>C� '�� ����� �� �����.�% ���� �� ������� ������� �� ��� 5��� � ��� �� ��-� ��� ���� ���
����� �� �� ��� ����� �� M��� %&� $� ������ ��������
��� �� �� 3�.& �) �� ��� 5�� � ��� �� .2&�, ��� ���
�� "�� � �� ��� ���� �� �����.�% "� �� ��� ��� � ���
����� ���� ����� ����� �� �� $� ����� �� �� ���"�
1&&�, ������ �������� ��� ���� �� 3�./ &�&3 �) �� �
��������� ���� �� "� � ���� �� ���� �� ��� �� '�%62
5��� ��������� �� �;7 ��� �������� ����� ��� B%3�
..#C�
M��� %. ����� ��� ���0"������ �� ��� ����� ��
��� $�I'�%62I:� 96: ������ � ��� ����� ���� ��� ���
��������� 5��� � ��� �� ��-� ��� ����� �� �� (%2&�,�
M��� .#� $ ������ R�: ���� � �� ��� 5��� ��������� �� �
���� ��� ����� �� � �� 12&�,� '�� ����� ����� R�: �����
� �5�� �� ������� ����� ���� � ���<���� �� G2 �� ���������
�� �������
M��� ./� M'�! ���� � �� '�%62 5��� � ��� �� %2&�,� 12&�,��� 3&&�, �� ������,)7 � �����
M��� .G� ' ���������� ���� � �� '�%62 5��� � ��� �� =� �8
�� ��-� ��� ����� �� �� �� ������,)7 � �����
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%2
12&�,� 3&&�,+� '�� ���<��� ��� ������� ��� �� ���
����� �� ����� �� � �� ������ ��������� � �� � �����
������ ������� ������ ��� ������� ������ �� ���
����� ���������� ����� �� ��� $� � ����� �� � ��
3&&�,� ���<��� ��� ��������� �� ��� �� %�3.� .&�# $I
��% �� . 9)��. �� �� ����"��� '�� -0: �� ��
�� ����� �� ��� 96: ������ � ���� ���� ���� *) ���
�������� ��� ���� �� �� ��� ��� �� '�%62 �� ��� ��
�������������� ���0��� � �������� ��� ���<��� ���
������� �� ���� � ��������� �� ����� �� '���� /� $�
�� ���� �� ����� ���� ��� ���<��� ��� ������� ���
��� 5��� ����� �� �� ������� �� ���� ���� �� �����
��������� ����� $��� . � *) ���������� ��� 5��� �����
�� �� ������� ������ � �� %�G� .&.. ��% �� ��� ���
��������� 5��� �� 1�#� .&.& ��% ����� ���<��� ���
��������� �� ��� �� .�>1� .&�/ $ ��% �� �� ���� � 5���
�� . 9)��. � � ����"��� '��� �� �� �� � �� � ��
�������� ���� ���� �� ������������ ���� � (%�.G�.&�2 $ ��%+ ��� ���� ���� �� "���� ���� � �"�����
����"�� �� 5��� �������� �� ���� ����� �� �� (>&&0
G&&�,+ B..�./�%.C� :�"� �� �-��� ��� ��� ��� ���
���� �� ���<��� ��� ��� ���� �� ������� �� :�����
3�1� �� ��� -0: ���� ������ �� ��� ���� ���� "�� ����
��� ��� ������� �� ����� ��� ��� �� ����� ���� �
5���� �� ��� ������������ ��� �������� 5���� $ �� �����
���� ��� �������� �� � ���� �� �����%� "� �� (.I�+ �� ��� ���<��� ��� ���� �� �� '�%62 5���� ���������
���� ��� ��� �� ��������� �� MK ����������
$ ���� ���� �� ��� ���<��� ��� ��������� ��
'�%62 5��� �������� �� ��-� ��� ������� �� ����� ��
'���� G� M� ��� ������������ 5��� ��� ���<��� ���
������� �� ������,)7 � ���� �� '�%62 5��� �� ��
���� ���� �� ��� 5��� ��������� �� ��� ��� ��� �������
,)7� M� �������� �� ��� ������,)7 � ������� ���<�
��� ��� ��������� �� ��� �� %�.G� .&�2 $ ��% �� .
9)��.� ��� � �� � �� �������� ���� ���� �� ���
��������� ���� � �������� �� ��� ��� ��� �������,)7�
� � ����"�� B%.�../C� $ ����=��� ��������� ���� ��
�����5����� ��� ��� ���<��� ��� ��������� �� ���
� �� �� .&�/ $ ��% �� ��� 5��� � ��� �� �������
,)7 ��� ������,)7 �����=��� D���"� � ��� � ���
��������� ����� �� �� �� �� ��� �� ���� ����� �� ��
(#&&0/&&�,+ ������ ��� � ���� �� *) ��������� �� ��
� ��� �� �� ����� �� �� �� ��� �� 3&&�,� ,��� ��� ����������������� � ������� �� � ��� ���� =�����
'�%62 ���� � �� �� ���� ����� �� � ���� ��� ����
� ���� �����=��
M��� %% ����� ��� �0: �� ��� ����� �� ���
$�I'�%62I:� ������ � �� � � �=��� �� . 9D8 �� ���
������������ ��� �������� 5��� �� ��-� ��� ������ $��
M��� %&� ���� �� �����.�% "�� �� �� ��� 5��� ����� �� M��� .G�
M��� %.� , ���0"������ �� ��� ����� �� $�I'�%62I:� 96:
������ � ��� ����� ���� ��� ������������ 5��� � ��� ��
��-� ��� ����� �� �� (%2&�,� 12&�,� 3&&�,+�
'���� /
,���� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� '�%62 5��� � ��� �� ������,)7 �� ��-� ��� ��������� �����
$�������� ���� (�+ ;��<��� ��� ������� �� .
9)��. ($ ��.+
:M� ()+ M���� �� �� ������� (��%+
& %�.G� .&�2 �.�/ %�G� .&..
&�2 %�22� .&�> �&�/ %�1� .&..
.�& .�>1� .&�/ �&�. 1�#� .&.&
.3%> -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
N������� "������� (:M�+ �� � ���� "�� �� �� ������"�
��������� ��� � ����� �� ������"� 5��� �� ��� ��� ���
'�%62I:� ���� ���� ������ ��������� ��� :M� ���
���� �� �� �.�3 ) ���� ���� �� �&�# ) ��� �&�% )
�� ��������� ����� �� &�2 ��� . �� ������"���� �����
����� � ������ �� ��� �0: ����� ���� �-�� ���
��� ��� � � ������ �� ������"� � ��� �� ��� '��
������ � ������� �� ��� 5��� ��� ���� ����� � �� �0:
���� ������ ���� ��� ��� ��� ������E
� � ������� �>�
��� � � �� ��� ���� �� ��������� �� �� ��� �� ����
��"��� �� "��� , ��� � � � ��� ������ � ������� ���
���<���� �� ��� '�%62� ��� > �� ��� ������ � ��� $
������ � ������� �� %3 ��� �������� �� ��� �� ���
������� 5�� ��� ���� �� ����� �� %& ���� . � ���
������� �� �� ��� �� ������ �� :�6% ���� ���� ���
���� ���� ����� �� R�: ��� M'�! ���� ���� � B%%C�
3.#. ?�����+ �� �������� � ��� ��,�� ������� �
�";4 <�+� �� �: ������
�� � �� �� ��� ����� ��� �������� �� ��� ��
����� �� ��� ���<��� ��� �� '�%62 5��� �� *)
���������� ��� ������ ��� �� � � ������ �� ���
������ 5��� �� � � ��� ��"��������� �� M'�!� M��� %1
����� ��� �"������ �� ��� M'�! ���� � �� ��� 3&&03&&&
��. ���� �� ��� ������������ 5�� �� ������,)7 ���
5�� �������� ���� � .#% �� ����� ����� $� �� ��
����� ��� ���< ���� ����� ���� �� /&&0.&&& ��.� ���
� ����� �� ��� � ����� �� �������� B1.C� ��� ��� ��
���� "�� �� ��� ������������ 5��� D���"� � ���� *)
��������� ��� ������� ���< ��� ���� �����5����� ��
��� ����� ��� D%6 ��� 6D � ��� �� 13&& ��.
�������� �� ��� ������������ 5��� ��"� ���� ���������
���"��� ,����=������ ��� ���� ��� � ��� ���� �� ���
5��� � � �����5����� ��� �"��� '�� ���"�� �� ���
����� ���< �� M'�! �� *) ��������� ��� ���� ����
����� �� 5��� ��������� �� �;7 B%3C� '�� ���< �� .&#&
��. �� �� ��� �� ������ "�� ����� �� :�06 ���� �� ���
:�6% ��� ���� "�� � �� ��� '�%62 5��� �������� �� ��
� �������� ���� �� . � B%%C� ��������� ��� �� ������ ��
:�6% �� ��� '�%62 5�� � ��� ��������� B..GC�
M��� %3 ����� ��� ���� �� � ���������� �� ��� ���
��������� 5�� ������� ���� 5��� �������� �� ��-� ���
6% ��� � ��� �� (. ��� .&&& ��� +� '�� ������
� ���������� �� ��� "������ ����� �� ��� ���� � ��
������������ 5�� �� ���� %%L� ��������� ���� ��� ���
�������� �� ��� 5�� �� � ���� � �� ������� '�� '�
�������� ��� ������� ����� ���� ���� � � ������
'���� G
,���� ���� �� ��� ���<��� ��� ��������� (�+ �� . 9)��. �� '�%62 5��� �������� �� ��-� ��� �������
,)7 �������,)7 6 �� < (������,)7+
������������ ��������� ������������ ��������� ������������ ���������
� ($ ��%+ .&�1 .&�/ .&�1 .&�> %�.G� .&�2 .�>1� .&�/
� (�,+ 22& /&& 2&& #&& 12& 3&&
M��� %%� D��� � �=��� �0: �� ��� ����� �� ��� $�I '�%62I:�
������ � �� ������������ 5�� ��� 5��� �������� �� &�2 ���
. ��
M��� %1� M'�! ���� � �� '�%62 5��� ��������� �� 12&�, ���
*) �������� �� 3&&�,�
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%#
$��� *) ��������� �� .&&& ��� . ��� �� �� ����� ��
G2L ��� >3L� ������"���� '�� �������� 5��� �����
�� � � ����� ��� �� ��� ��������� ������ � ��� � ���
������ ��������� ���� ��������� �� ����� ������
� ��� � �� �� � �-���"� �� ��� �"��� ��� ������
� ��� ���� �� ��� 5��� ���� �� ��� ���� ������ � ��� �
� ������� �� �� ��� � ���� �"���������� �� ������
����� �� ����� � ��� ��� *��� ��� .#% �� ��������
(������ ��� �� �� #�% �)+ ������ ������� �� ��
������ ����������� ������� �� ��� �� ������ �� ���"�
������ ������� ���� � � <���� �� �� �� ��� ���������
������� '���� ���"� ������ ������ (������� 6 �����
��� �8���+ ��� ��� � ��� ��� ��� ���� ��� � �����
'�� ��������� ��� ������ "������ �� ���� �� ��-��
���� ��� ���� �� ���� '�%62 ��� ���"� ������ � ��
���� �� ��� ���� �� ,��� ��� ��� ������� �� ��"� �������
������ ��� ��������� � ����� ��������� ������ �����
�� ���� ���� ��� �� ��� ��� �"����� �� ��� ���� � ���
� ����� $����� �����5��� ���� � �� ����� ���� � �� ����
��� ���� �� � ���������� � ��� ��� ���� ����� ���� ���
���� ��� �� �� ����� ��������� � ��� �� �� �� ���
������ �� �������� � ����� �� ��� 5����
M �� R�:� M'�!� ��� ���� ��� ���� ����� ��
����� �� � ����� � �������� �������� �� ��� *) ���
������� �-��� ���� �� ��� ����� �� ��� ���"� ������
������ � ���� �� ��� *) � �������� �� �������E
(.+ 6% �� �� ������ ���������� ��� ��� .#% ��
� �������� (��������� �� �� #�% �)+�
6% � ���� � .#% ��� � 6�1�� �6�.7� �#�(%+ :���=����� �8��� �� �� �� ��� � �� ��� ��
������ ������ ����� �� ��������� �������
6% �6�1�� �9 � 61 �9�9 �� � ��� � ����� �/�
(1+ '�� �8��� �� ���� �� ��������� �� ���� �����
�� )*) ����� �� .#% ��� ���� � ���� ������ ����� .7
������ ������
61 � ���� � .#% ��� � 6% �6�.7� �G�
'�� ���"� ������ ������ 6(.7+ �� ��� �� ��� ������
����� �� �8��� � � ���� ��� ���� ��� '�%62 � ��� ���
��-�� ���� ��� '�%62� ���� ���� ���� ��� ��� 5�����
��� ��� "������ �� ����� �� M��� %2� '�� �� ����
�� ��� ���� �� "������ �� ��� 5��� ����� �� ��� ��
����� �� ���<��� ��� �������� 6� ��� ���� �����
��� ���"� ������ ������ �� ��� ���� ��� ������ �����
�� ��� '�%62I:� ���� ��� � ���� ��� :� ������ ����
��-�� � �� ��� ���� ��� �� ��� '�%62 � ��� �������
�� ��� �� ������ :�6% �� ��� ���� ��� ��� ��� � ��� ��
��� '�%62 5����
'��� �� �� ��� ���� ��<��� ��� ���� � �� ���
������ �� ���<��� ��� �� '�%62 5��� � � ���
�� �8�� �� �������E
(.+ '�� ���"� ������ ������ ��� ���� ��������
��� ���� �� ����� � ���"��� ��� �������� � ��
���� ������� �� ��� �"�� ���������� �
(%+ '�� ���"� ������ ������ �� �� ���� ��� �������
�� ������ ��� ������ "������ �� ��� ������������
5����
(1+ $ ���� :�6% ���� �� �� ��� �� ��� '�%62I:� ���
�� ��� ��� �� ��� � ��� �� '�%62 �� ��� ������
������� ��� ���"� ������ ��� :� � ��� ����������
������� �� ��� �"�� ���� ����� =����� B./C�
(3+ !���"�� �� ��� ��� ����� � ����� �� ��� ���
��������� 5��� ��� �����5����� �� ���� ��
�� �� �� ��� �� ���� ���� ��� �� ��� ���"� � ������
���� ��� ���"� ������ ������� '�� ��� �� ��� ���"�
������ ������ ���� �� ���� ���� ��� �� ��� ��� �"��
���� �� ��� ���� � ��� ����� $�� �� ����� � ������ ���
M��� %3� :��� �� � ���������� �� ������������ 5�� ��� 5���
�������� �� ��-� ��� 6% � ��� ���
M��� %2� :������ ���� �� �� � ����� �� ��� �������� ��
��� ������ �� ���<��� ��� �� '�%62 5��� �� *) ���
��������
.3%/ -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
���� �� ��� �"�� ���� =������ ��������� �� ��� ��
����� �� ���<��� ��� ������� ������� �� �� ���
��� �� � ����� ���� �� ����� ����������
3.3. ;���� ��� �������� ������� +����� 5�;" ��
�1�6
)� � ������� �������������� ���������� �� ���� ����
������ � ������� ���� ���� �� �� '�6% ��� ��' ����
��� ����� *) �� �� ��� ���� ���� ������� ����
B.%&�.%.C� :����� ��� ������� ���� '�6% 5��� � ��
���� ������� ('�(6,1D#+3+ ��"� ���� �������� � ��
�� �� �� ��� ����� �� �� (/&01&&�,+ �� �����������
���0��� � ������� ���� � .#% �� ����� ���� B.%&C�
!�� ���"� ������ �� ���� �� %�3 �� � ��������� ����
���� � ��"� ���� ���� ��� "��� �� %�2/ �� ��� ��<
���� ���� '�� 5��� �� ��� ������ ���� ������ � ���
� ���� ���� � ���������� "���� ������� /2L ��� G&L
�� ��� "������ ���� �� ��� ���� �� ��' ���� 5��� ��"�
���� ���� ��������� �� ��� ����� �� �� �� ������
�������� ������������ �� � ��' ������� ���� ���0���
������ ���� ��� .#% �� ����� ���� B.%.C� )� � ���
���<��� ��� ��������� (.&�# $ ��%+ �� �� ����"���
���� ���� �� ���� ���� � � ��� �� ��"��������
��� ��� � ������� �� ���� ����� �� ��� '��� �� ����
����������� ��� ��� ��� ���� ������� ���� ����
�� �� �� ��� � ������� ����� �� �� ��� �� ����
� �"���� ���� ���� ��� � ��� ���� ������ ��� ���� ��
���� ����� �� � ����������
3.4. ��( �������� ������� +����� 5&���+�� ��
&����� ���6
$� ��� ���� � ��8�� �� ����� ���� � ��� � � ����
�� ��� ����� �� ���������� ��� ������ � ���������
������ �������< ����� ��� ���� ����������� �� ���
����� ���� ������ ����� �����5��� �� �� �����
����0�������� (��+ ������� '��� �� ���� �����
�� �� ���� ����� ���� ��� ��� �� ����� �� ���
�� �����"��� ������ � ���� ���� ���I� ���� �����"���
������� , ��� ����< ���� ���������� ����������
������� ������� (:6O�+ ��� N� ������ :�6%� ��� �
���� �� ������ � � � ��� ��"�������� ���� < ��
��� ���� %01� 6� ������ ������ � 5��� � � ��� �� ���
���� � ������� � ��� �� ��� ������ � ������� �����
���� ���� ��� �"������� ����� ��� ������ ��� :�6%
�� �� ���� ���� ������ � �� ��� ��� �� ���� �������
��� SS �������<TT ������� ����� ����� ��� �� ����
���� ��������� �� ���� ������ � �=����� B.%%C�
���������� (���+ � � �� ���� �� ��� ���"� ��� ���� ���
��� �� ���� ��� ������ � �������� �� ���� ���� ����
�� ���������� ��� ����� ����� ��� ���� ��� ��� ���������
B.%1C� !���� �� < �� ����������� ���������� �� ���
������ � ������� � ���� ������ � �� ���� ���� ���
���� �� ��� ����������� � �����5��� ��� �� ����� �-���
�� ��� ��� �� ������� ��� 5��� B.%3C� ,���� ��
���� ��"�������� � ��� � �������� ��� �����������
��� �� ��� �� � �"���� ���� ���� � ������� ����
��� ����� �� �� �� �� ���� � -0: ���� ������ ������
���� ��� ���<��� ��� ������� �� ��� � ������� ������
��� �"� �� � �� �� �������� ������ ���� �� ��� ���� �
�������� �� ��� ��� � ������� B.%3C� 9� � ���� �� <
�� ��� ����� �� � ����������� ���������� �� ���
������ � �� �� ����� 5��� � �� '?6: ���0��� ��������
���� �� ����� ���� ����� ���� ��� ������ � �������
�� ��� 5��� �� ����� ������� �� � �������� ����� �� �
B.%2C� $� ��� ����� �� � ������ � ������� "����
�� ��� �� .�# �� �� ����"�� �� ��� 5���� '�� ������
������ � �������� ������� .�# ��� 1�> �� ������ ��
�������� �� ���� �����=� ��� ��"� ���� ��������� ���
���������� �� ���� ���� ������ � ���� � �� ��"����
*;:� ��"����
! ���� ������
'�� � ������� ��� �� ��� ����� �� ����� *)
�� �� ��"� ���� � ��N� �������� ?���� *) �� ��
���� ���� ��=� � ��� ����� � �"����� ���� ���������
�� ������� �������� �"� �� ���� ��� �� � ���� ��
��-� ��� ��"��������� � � �� ���� ������ ���� ����"� ��
��"�������� *) ������ ���� � ��� � ���� �� �����
� ��� �� ������� ��� ����� �� � � ������� ;��� �����
����� (� �� 3&&& �+ ��� ���� �4������ (� �� %%�2L+
�� �� ����"��� '�� ���������� �� ����� �� �� ���
�� �� ��� ����� �� � ���������� �� ���� ������ �
������� ('�%62� '�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ �
������� (�� ��� �� �� �����+ ���� ���� ��� ���� ��
������� ������� ����� ;�� ����� �� � *) ���������
�� �����5����� ��� ��� ���<��� ��� ������� ��
'�%62 ���� 5��� ��� �� ���� �� ������ 96: ������
�� � ��� '�� ���"� ������ ������� � ���� �� .#%
�� �������� � �� R��% ����� � � ������ �� �� ���� ��
���� ���� ��� �� ��� ������ �� ��� ���<��� ���
������� ���� ���� �� ��� ��� ������� �� ������ ���
������ "������� ���"� ��� �������� ��� ��� �����
� ������ ��� ��� ���� ��� :� �� �� � :�6% ���� � ��
'�%62I:� ���� ��� ��� �� ��� � ��� �� '�%62 �� ���� ��
������� ��� '�%62 ���� ��
?������� ���� ��� � ��� ����� ���� ��� 5��� �� ��
��������� (/�/� .&.& ��� 1�#� .&.& ��% �� ������
�������� ���0��� ��� ������,)7� ������"���+ ��� ���
���<��� ��� ��������� �� ����� 5��� �� ��� � �� ��
.&�/ $ ��% �� . 9)��. �� ���� � ������� ���� �
���� ���� ����� � �"����� ���� �� ��� �� 5��� ���
������ �� ���� ����� �� �� ������� >&&�, ��� .&&&�,�� � ����"��� '��� ��� ����� �� � ����������� � ��
������ �-� � � "� � �-���"� ������ �� ��� ������ ��
���� =����� ���� 5��� �� �� � *;:� ��������� ����
��� ���� ��������� ��� �� �� ������ �������� ��
�� �� � �� ���� ��
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%G
��"��� � �������
'�� ���� � ���� ��<� �� ����< 7 � *� Q��������8
($��� ,� �� ��� !���� �� :���8� ����+ �� ����
���������� ���������� '��� �� < ��� �� ��� ���� ���
�� ?�:!, (� ��� K�� O!I.G&G&G+�
#���������
B.C 9��� 7$� :� �� '� 9��� :� ������ MD� ?"����
;��� ��� Q� '��� O� K�� � .GGG@1GGE#2/�
B%C :�������� ����� � $���������� '�� K������� '���
������ !������ �� :�������� �� #.0#/� :�������
$����� .GG#�
B1C :��8 9� K�� � .GGG@1GGE#%G�
B3C ������� ,$� '�� �D� D��� � Q�� :���� 7O� 9�� !��
:� :��� � � .GGG@2>#E3&G�
B2C ��� VR� � R7� M����� :!� '��� � �� $��� ���� ;���
.GG2@>>E%.G#�
B>C :���� !� $����� :� :�� ������� !� $��� ���� ;���
.GG2@>#E1G1G�
B#C '������� :� 9���� 9� Q�����<� Q� Q ���� Q� '� �
�� � ?��� ���� :� .GG%@.1GE1%&�
B/C K����� � �� '�<���� Q� '�A� 9� '��� :���� M����
.GG1@%%>E.33�
BGC Q��� Q�� Q��� ,:� �� < :6� Q��� DQ� $�� :'� �???
' ��� ?��� �� 7�" .GG>@31EG.G�
B.&C ����� ���� ;�� �� 7���� � )� ���� ��� $��� ���� ;���
.GG/@#1E%%GG�
B..C :��� �<� D� Q�� '� Q�� � :� K�����<� �� Q������� ��
9<�� Q� �??? ' ��� ?��� �� 7�" .GG&@1#E.G1G�
B.%C ,�"� !M� ��< � � �M� Q �A���<� ��� K�� �
.GG2@1##E%.2�
B.1C ,��������� $� Q����� �;� �� ���� K�� ��<��� :9�
:�����:���� ?��� �� .GGG@31E.&G2�
B.3C ,�"� !�� Q �A���<� ��� � $��� ���� .GG/@/1E.>.1�
B.2C Q������� :� :8<� D� �������� D� :�<�� $� Q�� �
D� 9�8<� �� � ?��� ���� :� [email protected].%3>�
B.>C �������� $� !�� O9� Q ������� :�� '��� :���� M����
.GG2@%2/E%1&�
B.#C :� :,� ,��� 'M� �??? ?��� �� 7�" ;��� .GG>@.#E122�
B./C �� < :�� ���< �Q� ;�� ��� �� < ,6� �� D�� � ?��� ��
9��� .GG%@%.E>12�
B.GC ����� :� M �� '� Q���� �� ����� �� � ?��� ����
:� .GG%@.1#E%/#>�
B%&C Q������� :� ;������ � �� :8<� D� :�<�� $� K�����
���� �� �������� $� � ?��� ���� :� [email protected]&E.>.#�
B%.C $� �� �;� ������� �� ;� �� �;� 7�"��� !$�� :���� � ���
$���� � .GG2@$2.E2�
B%%C ����� ���� 7���� � )� �������� 7?� ���� ��� � ����
7E $��� ���� .GGG@1%E;.�
B%1C :��� �<� D� K�<��� 9� �??? ' ��� ?��� �� 7�"
.GG.@1/E322�
B%3C ����� ���� M��� V� ���� ��� $��� : � :� [email protected]/I
.1GE1%&�
B%2C 7�"��� !$�� $��� ���� ;��� .GG>@>/E.G%3�
B%>C ����� ���� ;�� �� ���� ��� '��� :���� M����
.GG/@11>E13&�
B%#C ����� ,� :����� 9� $��� ���� ;��� .GG&@2>EG&#�
B%/C ����� ���� ���� ��� � 9��� :� ;��� .GG/@.#E.2&#�
B%GC 9 ����� �$� :���� 9� '����� '� '�A� 6� MA��� :�
MA��� :� ��� � $��� ���� .GG1@1%E1>/�
B1&C :��< D6� O����� �� $��� 6�� .G/G@%/E%/&>�
B1.C Q�� �;� Q�� �:� Q��� 6:� $�� :'� ,�� �:� ;�� ���
� ?��� �� 9��� .GG2@%3E.312�
B1%C ;�"���� 7� 6�� ��� �,� 7�"��� !$�� $��� ���� ;���
.GG3@>2E%&%.�
B11C 9���� 9� 6<� :� ��������� Q� Q ���� Q� '� � ��
��� � $��� ���� .G//@%#E2&>�
B13C 6���� :� �������� 9� Q���� �� 9����<� '� � $���
���� .GG%@#.E13#.�
B12C $����� '� ����8�<� :� ���� Q� � ?��� ���� :�
.GG/@.32E%G>.�
B1>C ?������� �� Q��������8 *� $��� ���� .G//@� 3>E%GG�
B1#C ?������� �� Q��������8 *� � � 3&�� $�� O�� ?��� ��
,��� O?, /#� $������� .G/#� ��.#3�
B1/C O���� � �� ?������� �� Q��������8 *� � � M���� ���
:��� �� :���� ��� '�������� �� ;���� :� �� (;:E2+�
�� <� .G/G� �� .22� ./.�
B1GC Q��������8 *� � � $��� ,��� .GG&@>%E.>>#�
B3&C Q��������8 *� $��� : � :� .GG%@23E3.&�
B3.C ����� ���� ���� ��� � $��� ���� .GG>@/&E>11�
B3%C ����� ���� ���� ��� � $��� ���� .GG/@/3E..#3�
B31C ���� ��� ����� ���� K� ���� � 9��� ���� !��
.GG#@� .%.E13G�
B33C �� ���8� �� ���� ��� � $��� ���� .GG3@#>(#+E31#%�
B32C �� ���8� �� ���� ��� $��� ���� ;��� .GG1@>1E.#2#�
B3>C ����� ���� ��� ;��� ���� ��� ��� � $��� ����
.GG/@1#E;%#�
B3#C ����� ���� ��� ���� 7���� � )� ���� ��� '��� :����
M���� .GG/@1./E%2%�
B3/C ?� �� D� 7���� �� Q��������8 *� ,���� ����
.G/G@3E%&%�
B3GC ?� �� D� Q��������8 *� $��� : � :� .GG&@3>E.2/�
B2&C ?� �� D� Q��������8 *� $��� : � :� .GG%@23E33&�
B2.C ����� ���� M��� V� Q��� :;� ���� ��� $��� : � :�
.GG#@.&GI..&E3/#�
B2%C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� .GG>@G>0
G/E1GG�
B21C ����� ���� ���� ��� � 9�� :� ;��� .GG#@.>EGG>�
B23C ����� ���� ���� ��� $��� ���� $ .GG#@>2E1#G�
B22C ����� ���� ���� ��� '��� :���� M���� .GG/@1./E%13�
B2>C ����� ���� ���� ��� ?��� �� ;��� .GG>@1%E%&G#�
B2#C , ��� )� D���� �� �������� 7?� ���� ��� ?��� ��
;��� .GG/@13E#.�
B2/C ����� ���� ���� ��� $��� ���� ;��� .GG#@#.E%G>3�
B2GC , ��� )� ����� ���� ���� ��� K$'6 ����������
������ �� �� ����� ������ �� �� :������� ��" .GG#E3>.�
B>&C ?� �� D� Q��������8 *� '��� ����� 5��� .GG%@%./E%1.�
B>.C ����� ���� '������ Q� �� �� *��"� ����� O� ����� .GG1�
B>%C ?� �� D� ����� ���� Q��������8 *� 9�� !�� :���
� � .GG%@%1>E1G�
B>1C ����� ���� ?� �� D� Q��������8 *� ?��� O� $��� : �
:� .GG1@>GE%GG�
B>3C ����� ���� ?� �� D� Q��������8 *� ?��� O� �
$������� :� '����� .GG3@/E..#G�
B>2C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� : � ���� � $���
.GG>@%3E#./�
B>>C , ��� )� ���� ��� , ��� 7� $�� ��88� �� �� �� � ��
� $��� ���� .GGG@/2E//3.�
.31& -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�
B>#C , ��� )� , ��� 7� $�� ��88� �� �� �� � �� ���� ���
$��� : � :� [email protected]/#�
B>/C Q��������8 *� K$'6 $�" !�� �� <���� �� K���
��� ��� ������ '����=�� �� �������� ,��� ��� ,���
� ���� *��"� ����� *Q� %.0%2 :������� � .GG%�
B>GC K�� !:� 9�7����� �O� Q��������8 *� 9� < O�
:������ D��� "�� :������ ,� � �������� ������
���� $E ,��� .GG3@#GE.3.�
B#&C ����� ���� ���� ��� 9�� !�� :��� � � .GG#@3#.�
B#.C * �<��� '� D� ��� :� :��<��� '� Q� ��� 9� ��E !�
�������� :� Q������ ����� �� :�� ��� '��� �� ����� :� ��
(;:#+ Q����� .GG2� �� .2G�
B#%C �� ���8� �� Q��������8 *� ���� ��� $��� : � :�
.GG1@>GE1G1�
B#1C �� ���8� �� Q��������8 *� ���� ��� :��?� "�� %&32�
.GG3� �� .#3�
B#3C �� ���8� �� ���� ��� ?��� �� ;��� .GG3@1&E>&>�
B#2C �� ���8� �� ���� ��� 9� ����� �� ?���� .GG3@%2E132�
B#>C ?���<�� � O� � ?��� ���� :� [email protected]&E#/#�
B##C O���� � �� Q��������8 *� $��� ���� .GG.@� 2%E.3�
B#/C :��"��� �� D���� ?� K�� � .G>&@./>E.&32�
B#GC 9������ $K� :�����" $Q� :��"� � ):� � $��� :��� ��
.G/&@1%E1.1�
B/&C )��<�"� O$� Q� ����"� KK� ��"��"�<��� ?K� ��<�"��"�
$)� � $��� :��� �� .G/[email protected]�
B/.C ?������� �� O���� � �� � $��� ���� .GG&@>/E%&%>�
B/%C ?������� �� D� �� 9� Q��������8 *� � ���� 7E $��� ����
.G/#@%&E.3%.�
B/1C K���� 9� :�� �� )� :��<���� Q� � � 3. $�� O�����
?��� �� ,��� (O?, //+� 9����������� .G//� �� #3�
B/3C ���� ��� ����� ���� 9�� !�� :��� � � .GG#@3#&E131�
B/2C $������ �7� 7���� �� 9���� 79� Q����� 9�� � $���
���� .GGG@/2E#2&2�
B/>C ����� �� ���� ��� $��� : � :� .GG&@3>E12%�
B/#C Q����� M� ��� OD� $��� : � :� .GG%@23E31&�
B//C Q����� M� 9�� ��� D7� ��� OD� � � K���� ,���
������ ,��� .G/[email protected]/1�
B/GC 9��� ������ ,� M�8���� M� ��� � 9� ������ O� $��� : �
:� .GG1@>GE.%#�
BG&C �������� �� ,������� O� ;�88� � �7� M�� � M� O�� ����
O� ;��� �� '� 988� M� :���� O� ����� ,?� �??? ' ���
������ :���� .GGG@%#E%..�
BG.C :�����" $Q� :����� ;;� :��"� � �)� ���� ?�� '��
.GG/@3.E3%#�
BG%C �� ��� �K� Q���� 9�� � $��� ���� .GG>@/&E22G1�
BG1C Q�����<� �� 6���� $� Q���� � :� :���<� �� Q �����
Q� $��� ���� ��;��� � ��� 6���� .GG#@>2E>&G�
BG3C Q���� � 9� 9���<� Q� :��� D� $��� : � :�
.GG3@/&E2&#�
BG2C K�<�� � '� Q���� � M� 6�� � 9� $��� ���� ;���
.GG&@2#E%&2#�
BG>C ?��D����� $� :������� QD� $��� ���� ;��� .GG/@
#%E.�
BG#C Q��������8 *� ?������� �� ?��� �� � ���� �) M ���
.GG#@#E,303#�
BG/C 9��< �9� , ���� �7� ?��� ��� � ��<���� �� ������ K��
�� <E �����@ .G#/�
BGGC ,��������� ,� ��"���� �9� 7�"����� M� ,����� ���
,������ ,�� 6�� ,��� .GG&@#GE3.�
B.&&C Q����� D$� M� �� �� ;�� !������ 7;� ?�� � ��� ����
!�" .G#3@$ G(%+E#>/�
B.&.C ;�����- D� 6�� ,��� .G//@>/(.+E1.�
B.&%C O ����� '� 7 ����- D�� D���� ��� ���<� Q� � ,���
���� .GG&@G1(#+E32/.�
B.&1C !����� ,�Q� ?���� ���� �� '���� �� ������� �������
"�� 1&� �� ���E :� ���� @ .G/3�
B.&3C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� .GG#@.&GI
..&E3/%�
B.&2C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� [email protected]/I
.1GE1.2�
B.&>C ����� ���� ���� ��� 9����� 9�� D ��� �Q� 6�:����"�� �� ������� �'� Q���� �)� , ��� O9� :����� ��
�� 9�� !�� :��� � � .GGG@2>#E1G#�
B.&#C 6����� '� 9��<��� :� Q���� $� � K���, ��� :�����
.GG%@.3#I.3/E3G1�
B.&/C � ���� 7� :��� 9�� � ����� � ��� ��������� "��� .�
$�� ��� R� �� ��������� �� ���� ������ K�� �� <E
�����@ .GG&�
B.&GC ;� OV� Q���� 7;� ;�� :� $��� ���� ;��� .GG%@>&E1%/>�
B..&C :8� :9� ������ �� ��������� ��"���� K�� �� <E
�����@ .G/.�
B...C $�������"�� '��� !M ����� �� ��� ��� ��� '�%62 �� :�
�� ���� ������� 7!$9 ����������� 9� ����� ��
!����� .GGG@1GE../2�
B..%C ��������� Q� '� � �� ��� � $��� ���� .G/>@%2E;1&>�
B..1C ������ �� 9;��� 7� � ,��� ���� //%@3%E.G>2�
B..3C $� ,D� :������ Q� � ?��� ���� :� .GG%@.1GE
.G2>�
B..2C '� �� O ��� �"�� !� )�� $� ���� :��� :��
.G>>@.2E>%#�
B..>C '� �� $�� ���� ��� ��=�� ��������� �� K��
�� <E �����@ .G#3�
B..#C 7��� ���� D� :���� �!� O��� Q� $��� 6���� .G/2@%3E3G&�
B../C 9Q����� Q$� :����� K�� '��� :���� M���� .GG>@%G&I
%G.E33&�
B..GC 9�� $�� :�� Q$� ����� �9� Q���� 7;� !��� �� 7$�
) ��� !K� 9�� !�� :� :��� � � .GGG@2>#E3#1�
B.%&C Q������ K� ����� ���� ���� ��� : ��� ��� ������
��������� %&&&@.%2E3%3�
B.%.C ����� ���� ���� ��� ��� � $��� ���� .GGG@1/E;1G1�
B.%%C :���� �� :�������� ���� ��������� 6���� .GG3�
�� 13�
B.%1C 9 � <� :�� :�����:���� '����� .GG>@1GE/1�
B.%3C ����� ���� ���� ��� 6����� 9��� .GG/@GE%2.�
B.%2C ����� ���� ���� ��� ?�9!: TGG :� ��� �������� $���
: � :�� �������� �� ����������
-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .31.