Photo-induced growth of dielectrics with excimer lamps

19
Photo-induced growth of dielectrics with excimer lamps Ian W. Boyd a , Jun-Ying Zhang a,b, * a Electronic and Electrical Engineering, University College London, Torrington Place, London WC1E 7JE, UK b Structure Research Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, People's Republic of China Received 7 April 2000 Abstract The underlying principles and properties of vacuum ultraviolet VUV) and ultraviolet UV) radiation excimer lamps), generated by a dielectric barrier discharge in a rare-gas Rg) or a mixture of Rg and halogen, are discussed. Compared with conventional sources, these excimer lamps oer narrow-band radiation at various wavelengths from 108±354 nm and over large areas with high eciencies and high power densities. The variety of available wavelengths oers an enormous potential for new industrial applications in materials processing. Previously, photo-oxidation of silicon, germanium and silicon±germanium and photo-deposition of single- and multi-layered ®lms of silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride have been demonstrated by using excimer lamps. This paper reviews the progress on excimer lamp-assisted growth of high dielectric constant Ta 2 O 5 , TiO 2 and PZT) and low dielectric constant polyimide and porous silica) thin ®lms by photo-CVD and sol±gel processing, summarizes the properties of photo- induced growth of Ta 2 O 5 ®lms and discusses the eect and mechanism of low temperature UV annealing with 172 nm radiation. Metal oxide semiconductor capacitors based on the photo-induced Ta 2 O 5 ®lms grown directly on Si at low temperatures exhibit excellent electrical properties. Leakage current densities as low as 5:2 10 7 A cm 2 and 2:41 10 7 A cm 2 at 1 MV cm 1 have been achieved for the as-grown Ta 2 O 5 ®lms deposited by photo-induced sol±gel processing and photo-CVD, respectively-several orders of magnitude lower than for any other as-grown ®lms prepared by any other technique. A subsequent low temperature 400°C) UV annealing step improves these to 10 8 Acm 2 . These values are comparable to those only previously achieved for ®lms annealed at high temperatures between 600°C and 1000°C. These properties make the photo-induced growth of Ta 2 O 5 layers suitable alternative to SiO 2 for high density DRAM application. Ó 2001 Elsevier Science Ltd. All rights reserved. Keywords: Photo-CVD; Excimer lamp; UV annealing; Thin Ta 2 O 5 ®lm; Dielectric constant; Sol±gel processing; Semiconductor devices 1. Introduction As electric devices are scaled down to achieve ultra- large-scale integrated ULSI) circuits, the thickness of their gate oxides must be correspondingly reduced and thickness control becomes a critical issue. If the minia- turization of the devices in integrated circuits trends continue, then the projected silicon dioxide SiO 2 ) thick- ness by 2012 predicted by the semiconductor industry roadmap will reach atomic dimensions ®ve silicon atomic layers), or less than one nanometre [1] as indi- cated in Table 1 [2,3]. It can be seen that for 0.1 lm technology and beyond the SiO 2 gate oxide thickness must be scaled below 2.0 nm and will present extremely dicult fabrication and reliability problems as well as fundamental quantum mechanical diculties. However, an insulating ®lm with a dielectric constant higher than that for SiO 2 can solve this gate dielectric problem, allow the use of a thicker insulating layer with a similar ef- fective capacitance and enable a further decrease in de- vice area see Table 1). Recently, various high dielectric constant materials have been widely investigated as possible candidates to replace SiO 2 in dynamic random Solid-State Electronics 45 2001) 1413±1431 * Corresponding author. Tel.: +44-207-419-3196; fax: +44- 207-388-9325. E-mail address: [email protected] J.-Y. Zhang). 0038-1101/01/$ - see front matter Ó 2001 Elsevier Science Ltd. All rights reserved. PII:S0038-110100)00259-8

Transcript of Photo-induced growth of dielectrics with excimer lamps

����������� � ���� �� ������ �� ���� ����� �����

��� �� ���� �� ������� ����� ����

� ��������� �� �������� ��������� �������� ������� ������ ��������� ���� ������ ���� ��� ��� ��������� ������� �������� �������� � ������ �� ���������� � ��� !� � "#$$"% ���&��'� ��&���� � ���

!���"�� # $� �� %&&&

��������

'�� ��� ����� � ������� ��� � ��� ���� �� "�� �� �"����� ()*)+ ��� �� �"����� (*)+ �������� (�����

�����+� ���� ���� �� � ������ � �� �� ����� �� �� � � ����� (!�+ � � ���� � �� !� ��� �������� � � ��������

,���� �� ���� ��"�������� �� ��� ����� ����� ����� �-� �� ������� �������� �� "� ��� ��"�������� � ��

.&/0123 �� ��� �"� �� �� � ��� ���� ���� �4������ ��� ���� ���� ���������� '�� "� ���� �� �"������� ��"��������

�-� � �� ��� ��� ��������� �� ��� ����� ��� ����������� �� ���� ���� � �������� � �"������ ��������������� ��

������� �� ����� ��� ������0�� ����� ��� ���������������� �� ������� ��� ��������� �� 5��� �� ������ ������

������ ��� ���� ��� ������ ������ ��� ��"� ���� ������� ���� �� ���� ����� ������ '��� ���� �"���� ��� � �� ���

�� ����� ������������� � ���� �� ���� ������ � ������� ('�%62� '�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ � �������

(��������� ��� �� �� �����+ ���� 5��� �� ������,)7 ��� ���0��� � �������� ���� �8�� ��� � ��� ���� �� ������

����� � ���� �� '�%62 5��� ��� ������� ��� �-�� ��� �������� �� ��� ����� �� � *) ��������� ���� .#% ��

��������� 9���� ����� ��������� ������ � ����� �� ��� ����������� '�%62 5��� � ��� �� ���� �� :� �� ���

����� �� �� ������� �������� ���� ��� � ��� ����� ;��<��� ��� ��������� �� ��� �� 2�%� .&�# $ ��% ���

%�3.� .&�# $ ��% �� . 9)��. ��"� ���� ����"�� �� ��� ���� ��� '�%62 5��� ��������� �� ����������� ���0���

� ������� ��� ������,)7� ������"������"� �� � �� � �� �������� ���� ���� �� ��� ���� ���� ��� 5��� � ��� ��

�� ��� ���� �����=�� $ ����=��� ��� ����� �� � (3&&�,+ *) ��������� ���� ��� �"�� ����� �� .&�/ $��%�

'���� "���� � � ���� ���� �� ����� ���� � �"����� ����"�� �� 5��� �������� �� ���� ����� �� �� ������� >&&�,��� .&&&�,� '���� � ��� ���� ��<� ��� ����������� � ���� �� '�%62 ���� � ������� ���� ����"� �� :�6% �� ����

������� 7!$9 ����������� � %&&. ?���"�� :���� ;��� $�� ����� ��� "���

���(����) ������,)7@ ?���� ����@ *) ���������@ '��� '�%62 5��@ 7����� � �������@ :��0��� � �������@ :�������� ��"���

� ���� ������

$� ���� � ��"��� � � ����� ���� �� ����"� �� ��

�� ������� ����� ���� (*;:�+ � ���� ��� ���<���� ��

���� ���� ������ ��� �� � ����������� ���� ���

���<���� ��� �� ������ � ����� ����� �� ��� ������

� �8����� �� ��� ��"��� �� ����� ���� � ��� � ����

������� ���� ��� � �A���� ������ ������� (:�6%+ ���<�

���� �� %&.% � ������ �� ��� ��������� ����� �

������ ���� ��� ����� ���������� (5"� ������

����� ���� �+� � ���� ���� ��� ������� � B.C �� �����

���� �� '���� . B%�1C� �� �� �� ���� ���� �� &�. ����������� ��� ������ ��� :�6% ���� ����� ���<����

��� �� ����� ����� %�& �� ��� ���� � ����� ��� �����

��4�� ��� ������ ��� ���������� � ������ �� ���� ��

���������� =���� �������� ��4������ D���"� �

�� ��������� 5�� ���� � ������ � ������� ����� ����

���� �� :�6% �� ���"� ���� ���� ������ � � ������ �����

��� �� �� � ���<� ��������� ���� ���� � ������ ���

����"� �������� ��� ������ � � ��� �� ���� �� ���

"�� � �� (��� '���� .+� !������� "� ��� ���� ������ �

������� ���� ���� ��"� ���� ������ ��"��������� ��

�������� ��������� �� ����� :�6% �� ������ �����

:�����:���� ?��� ���� 32 (%&&.+ .3.10.31.

,� ��������� ���� � '���E F33�%&#�3.G�1.G>@ ���E F33�

%&#�1//�G1%2�

�*+� ������) A8����H�������< (����� �����+�

&&1/�..&.I&.IJ � ��� � ��� ����� � %&&. ?���"�� :���� ;��� $�� ����� ��� "���

���E :&&1/ �..&. (&& +&&%2G �/

���� ���� ��� (7!$9�+ ��� ����� �� '���� %� 9� �

�������� ��� �������� ��������� ��� ��������������

������ �� ����� ������ �� �� �� ���� ������� � B30>C�

$������ ����� ������ ��� �� �� ��� �� ��� ����

, ���� � ��"��"�� ��� �'�.��61 (��'+� ���: .��'�61

(�:'+� '�%62� ��� '�6%� '������ ��������� ('�%62+ ��

�� ���� ����� � �� �� ��� ���� � ������� ��� ����

�������� �� ����� :�6% ����� �� ��� ������������

���� *;:� � ������� �� ���� �� ������ ��� ��� ���

��������� B#0.&C� )� ��� ��� ��� ������ ��5� ������

���� '�%62 ������ � 5��� �� �� ����������I'�%62I

���������� (:�:+� �����I'�%62I����� (9�9+� �����I

'�%62I���������� (9�:+ � ����� ����� ���������

(96:+� ��� ��"� ���� ��� ����� �� ���� ��� ��� � ��

'�%62 ������ � 5��� B..C� �� ��� ���� ����� ���� ���

'�%62 ������ ���� ��� '�KI�����:� ��� ���� ��� ��

������� �� %2> 9��� ���� � ��"��� ��� ��� ������� ��

%2> 9��� 7!$9 ��� ������ � ���� BGC� !������� �

�� ��� ���������� �� ������ � ������� � �� %& ��

�� � ���� .%& �� '�%62 ��< � ��� �� ��� ��� ���

������ �� /L ������� ����� ('�6%+ ��� ���� ������

�� ���� B.%C� 9� � ���� �� <� �� ��� ���������� ��

����� '�0'� ����� ���� 5��� �������� �� ����� ��� ���

'�0� ��< ���� ����� �"����� ���� ��� ������ � ���

������ ���"� 2& �� �� �������� B.1�.3C� D���"� � ����

���������� ��� ������� �� ��� �� ����� ���� ����� �

�� � ����� '�%62 5��� �� :� ��"� ��� ��� ���� ��5�����

������� � ������ ���� ����� �� �� < �� '�%62 ���

���� � 5��� ��� �� ���� ���� ����� :��� ��������

���� �� �� �"� ��� ���� � '�%62 �� �� ������� ��

7!$9� ���������� ���������� ��� �� �� ���<��� �

��� �� ��� ������������ ���� � �� �� ������ ��5�����

����� ��� ��� ��� ������������ � ������ �� ��� ����

���� ��� ���<��� ��� ������� �� �� �����5����� ��

��� �� �������� ��"��� �� ��������� �� ��� �����

���������� ��������� �����=��� '�� ��� �� ��� �����

����� �� ��� ������ ��"� ���"�� �� ����������

)� ��� ��������������� ��������� �����=�� �������

� ��� ��������� ���� "� ��� ����� �� �� 6%� K%6�

K%� D%� KD1� 61 ���� ���� ��� ��� 6% ���������

(!'$+� �� �"����� ���� ���� �8��� (*)6+� ������ ���

� ���� �� �������� � ���� �� ���� �� ��"� �� ���� �� �

��������� ������� B.20%GC� ��"� ���� � ������ ��

��� �"� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� '�%62 5����

:��� � ��� ��� !'$ ��������� � � � ��� �� ��

���"� #&&�, ��� '�%62 5��� � � �������8�� ��� ���

��=����� � ��� ����� ��� ���� �� �� �� ���� �� ���

���<��� ��� B.2C� �� ��� ��� �� *)6 ��� ������

���������� ��� ���<��� ��� �� �� �����5����� ��

��� ���� �� ���� ���� �������� �� ���� ���������

�����=��� M ��� �� �� ���� �������� 5��� ����� ��

��� ��� ���� ����� ����� �� ��� ��������� ����

�� �� �� (�3&&�,+� '���� 1 ���� �8�� ��� � ��� ����

�� '�%62 5��� ��������� ��� �������� �� ��-� ���

�������� �� �� ��� �� ���� ���� ���� ��������� ���

���<��� ��� ��������� �����5����� ���� �� ���

���� .&�>�.&�/$ ��% � �� � ��� .&�1 $ ��% ��

��� ������������ 5���� '�%62 � ��� ���� �� ����� ������

�� ���������� �� � ��� ��8�� 5�� ���<���� ��� �����

�������� ���� � � ��N���� �� � ���� �����=�� $

"� ���� �� ������ ��� ������� ���������� �����=���

�� �� �"��� ������ ����� ���� ����� ���� �����������

��������� �� �������� ����� ���� ���������� (�;7+�

���0��� � �������� ��� "� ��� ������ "��� �����

������ (,)7+ �����=�� ������� ��� ��� ,)7� ���

� ��� � ,)7� �������,)7 ��� ������,)7� ��"�

���� ��� �� ������� '�%62 5��� B/�.>0%3�1&012C� ?��

�����=� ��� ��� �� �� ��� � ����<�� D���"� � ������

����� � ������� ��� �� �� ���� ���"�� �� ���

������� ���� �� ��� ���� �� ��� ����� �� ��� ����

'���� %

$��� ���� ���� ������ �� �� �� �� ������ 96: � ������� � B30>C

9��� ��� , 9��� ��� , 9��� ��� , 9��� ��� ,

��' .&&& '�%62 %20%/ K�%61 .>0%& 9�6 G�/

�:' 2&& ;�$�61 %2 �%61 ..0.3 ;�%6 /�.0/�/

'�6% .&& ;�%��%62 %2 ? %61 .%�20.1 9�$�%63 /�10/�>

;�:61 1& � 6% %% � :�63 .%0.1 ��6 >�G0#�#

�%610� 6% %G�# ;�%61 %. $�%61 G0.% ,�%61 #�&

'���� .

'�� � �A���� ���� ����� ���<���� �� ,96: ����� ���� � ��� �� .GG#0%&.% (,E ������ � �������+ B%�1C

'�������� �������� .GG# .GGG %&&. %&&1 %&&> %&&G %&.%

7����� �� (��+ &�%2 &�./ &�.2 &�.1 &�.& &�&# &�&2

���� ������� (��+ %&& 1&& 1&& 1&& 1&& 32& 32&

O��� ������ � (��� � � 1�G+�=�"����� :�6% ���<����

302 103 %01 %01 .�20% �.�2 �.�&

O��� ������ � (��+ '�%62

���<���� (� � .G+

%&0%2 .20%& .&0.2 .&0.2 #�20.& �#�2 �2

.3.3 -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

������8�� � ������ �� �� ���� ��-����� ������ ��

���� ������� ��� ����� ���� ����� ���� �� �����

����� �� ��� ��� ��� � ������ � ��� �� ��� ��A����

�� ��� �������� ���� ����� ����� ���� �� � ��

������ �������� �������� '� ���� ���� ������,)7 ���

���� �� �� ��� ���� ���� �� ����� ������� �-� ���

���� ������ N����� �� "� � �������"� ��� ���� �

����� �"������� ������� � �"��� ���� ����� � �� �����

(�������� ���� ��"� �� �%+� 6� ��� ���� ����� "������

��� *) �������� �� �"������� � �� ����� ��� �

����� ��� �� ����� ��� �� �I!� ���� ��� ��������

� ��� ���� � ������ � �� %&& �� �� ��"� �� �� ����

����� ���� ���� ���� ���� � ��"�������� ��� ��

���� ���� %2& ��� "� � �4���� *) � )*) �� ��

� � ���� ���� �� ���������� ��� ���������� ������

� ������� '�� ��� �� ��� � �� � ������ �� ���� ���� �

��� ��� ��� ������"� ������ �� ��� ���� ���� �� ��

� �� ������� �� �� �4������ � �������

!������� � ��� ���� ����� �� ����� ��� ���� ���

"������ B1>031C� ���� � � ������ �� � ����� ����

���� �������� ���� �"������� ��"�������� �� ��� ����

.&/0123 ��� $���������� �� �� �� �� ��"� �� ����

���� ������� ���� �� ��"� �� � ���� ������� ������

���������� �� ������ � B3303#C ��� ������� B3/022C ����

5���� ��������������� �� ������� �� ����� ��� �����

��0�� ����� B2>02GC� � ��� ����5����� ��� �����

�� ������ B>&0>2C�*)��������� B%%�%3�%>�>>�>#C� �����

��� ������� �� � "� ���� �� ��������� B>/�>GC� �� ���� ��

�� �� � �� N�� ����� �������� B#&�#.C ��� :���������

��������� �� 5��� �� ������ ������ ������ ��� ���� ���

������ ������ ��� �� �� ��������� �� ������,)7 � ��

��-� ��� ���� �� �� ������� ������� �������� ��� ���

� �� ����� ����� B33�32�#%0#2C� '�� ������� ����������

���� (2& ������.+ ��"� ���� ����"�� �� � ��������

������ ��� ������ ��� ���� �� �� � ���� ��� ����� ��

� � �� ��� �� 1&&�,� M��� ����� �� ��� �� ���"� �����

�� ��� 5��� ��������� �� ���� �� ��� ����� �� "� ����

��� ���� �� ��� � � �� ���� ��� !���� �� < �� ���

�� �� ��������������� �� ������ �� ��� ����� �� �

(%2&�,+ ��� ����� ���� ��� ��������� ��� �� �� � ����

�� �� ����� � ���� ���� ���� �� ����������� ������

���� �� ������ ���� � ������ ��� � ��� � D� ���� ��

12&�, B2>�2/C� '�� 5��� ����� �� �� ���� �������

(8I9+ ��� ���� ���� �� �� 3�2� .&.& ��%� ���� ��

���� ���� �� ���� �� ��� ���� "���� ��� ��� ��

��� ����� � ��� ����� �� :� �� � ���� ����� �� � ��

.&1&�, B#>C� �� ���� ���� �� � ��N� ������ ��� ��� �

����� � ������� ��� � ��� ���� ��"��"�� �� ����� �����

$ ��"�� ���������� ���� �� ���� ������ � �������

������� ��������� ('�%62+ ���� 5��� � ��� �� :� ��

������,)7 ��� ���0��� � ������� ���� �� �"�����

����� ��� �-�� �� ��� ����� �� � *) ��������� �� ����

� �������� '�� �������� ������� ���� ��� ��� ������ �

�� ��� ����� �� '�%62 ���� 5��� � � ���� �8�� ���

�������� ���������������� �� ���� ���� ������ � ���

����� ('�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ � ������� ����

5��� �� ���0��� � ������� ��� ���� � ��N� ���� �8���

'�� ����������� ��"��������� �� �� ��� �� ������� ���

���� ��� ��� ���� ���� ����� ���� ������� ��

� �"��� �� ���� ������ ���� ����"� �� ��"�������� *)

����� ��� ����� ���� � �� ����� ��� �� ������� ���

����� �� � ���� ���� � ��������

'���� 1

� ��� ���� �� '�%62 5��� ��������� ��� �������� �� ��-� ��� ������� (�E ���<��� ��� �������+

9����� ��� ��������� ��������� ,������ �� � � , � ($ ��%+ �� .

9)��.

!��� ���

:���� ��� $������� �� /2&�, $�I '�%62I�� (�+ %3 (�+ .&�3

$�I '�%62I��:� (�+ 32 (�+ .&�# B.>C

,)7 �� 32&�, ��� !'$ �������� ��

/&&�, �� 6%� K%6

$�I '�%62I��:� (�+ .&�1

'�KI'�%62I��:� (�+.&�/ B.#C

'�� ��� ��������� ��� 6% �������� ��

/&&�,$�I '�%62I��:� .>0%2 (�+P.&�3 B./C

(�+.&�/

,)7 �� 3&&03#&�, ��� 6% �������� ��

#&&0G&&�,$�I '�%62I��:� .G (�+P.&�1 B.G�%&C

(�+.&�/

�������,)7 �� %&&0>&&�, ��� K%

�������� �� #&&�,$�I '�%62I��:� (�+ %&�1 (�+P.&�% B%.C

(�+ .G (�+.&�>

,)7 �� 3&&�, ��� ������ ��������

�� 3&&�,'�KI '�%62I��:� (�+.&�1 B.2C

(�+.&�/

������,)7 �� %2&03&&�, ��� *)

�������� �� 3&&�,$�I '�%62I��:� (�+ %3 (�+.&�1 � .&�# B.&�%%C

(�+ %& (�+.&�/

(�+ ������������ 5��� ��� (�+ �������� 5���

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.2

� ��������������� �� ������� �� �������

'�� ����� *) ����� ��� �� ���� ���� ��� �� ���

������"� ������������ �� ����� (������ ���� +

������ ����� �� � ������ � �� �� ����� �� (7�7+

(����� �������+ �� � !� �� �� $ �% (� � .%> ��+� Q �%(� � .3> ��+� � R��% (� � .#% ��+ � ������ !�0

������ �������� �� �� $ M� (� � .G1 ��+� Q ,��

(� � %%% ��+� Q M� (� � %3/ ��+� R�,�� (� � 1&/ ��+�

�� .G>& :��"��� ��� D���� B#/C 5 �� � ������ ���

����� �� ����� �� ���� ����� ���� �� ��� ������ �����

B##C ��� ��� �� ��� ��������� �� ��� ������� � ������

� ��� ������ '���� ����� ������� � � ��� "� �

������ ��� ��� �� ��� �������� ������ � ��� �����

������� ��"��� � ���� ��������� ��� �� �� ��� �� � ��

� *) ������� �� ��� ���� ������ ��� � ��� ���� �� ���

��� � ��� <������ �� ���� �� ������ ��"� ���� ������

�������"��� �� 9������ �� ��� B#GC� )��<�"� �� ��� B/&C�

?������� ��� Q��������8 B1>03&�/.�/%C� K���� �� ���

B/1C� ��� ����� ��� ���� B3.031�/3C� �� ��� �������� ��

��� ���� ������� ���� ���� ����� ����� *) �� ��

�� ���� ���� *) ����������� "� � �4������ B3%�#&�/2C�

��� ���� �� ���� �� *) ������� �� ���� ���� ����������

�� ���� �� ��-� ��� ������ ��� ��� ��"�������� �� ����

�� ����� ��"� ���� �������� ��� ��"��������� B1G�2&�

/.�/>0G#C�

M��� . ����� � ������� �� ���� ������� ��� 7�7�

�� � ������� ����� ��� ��� ���� ���� � � �� ���� ��

����� ���� ��� ����� �� ��� ��� ������� ��� ��� ��� �

� ��� ��� ����� �� � ���� ���� ��� ������ ��� � �

����� � � 6� ��� ��� � �� �� 7�7� ��� ���� ���

��� ����� �� � � ���� ���� �� � ������ � �� �� (��

������� + ���� �� ��������� ���� ��� ������ ���

� ����� (M��� .+� �� �� ���� <���� ���� �� � ������ ���

������ "������ �� ������� � ��� � ��� �� �� �����

���� ����� ���� ���� �� ������� � ��� ���� ��� �� �

��� �� ���� ������� �� ���� �� ���� ��� � ��<���� ��

��� ��� � � �� ���� ����� � ��<���� "������� (:��+

BG/C ���� �� ���� �� ������� �� ��� ��� � ��� ����

������� �� ��� ���� ��� ���� ��� ��� ����� �� ��� ����

� ���� ��� ��� ������� '�� �������� ����������� ���

����� :��� �� ��� � �� �� ��� ���� �� �� �� ��

�������� ���E

��� � � ���� �.�

6 ���� ������ ���� ���� ��� � ��<���� ��������

�� � ��=� "� �� ��� ���� M��� % ����� ���� ���

� ��<���� "������ �� ��-� ��� !� ������� �� ���

� ��� � �� ��� ��� & ��� ��� ��� ��8� �� ��� 7�7 ���

�� ����� ���� � ��� � ��� ��� ��8��

'�� !� � � ���� <���� �� �������� � ���� ������

��� ������� ����� � ��� � ���� �� ��"�������� � ��

.&&01&& ��� '���� 3 ���� �8�� ��� ��-� ��� �������

����� ��� ������ �� $ � Q � ��� R� !�� ����� ��

����� �� ���������� '�� ������� ����� (�I��+ � ���

� �� ��� � ��������� �� ��� 1�. �. �& ��� ��� 1�% �. �&������� '�� SS5 �� ������TT ������� �� ��� ��� ��

M��� .� :������ �� ������� ��� 7�7��

M��� %� � ��<���� "������ �� ��-� ��� !��(R�� Q ��� $ + ��

7�7�

'���� 3

!������� ����� ��� ������ �� $ � Q � ��� R� ����� �� ���� � ��� � ����� ��� BGG0.&%C

!� �I�� � �� ���

!������� ���� (��+ ,������ (��+ ,������ (��+ ,������ (��+

$ .&>�3I.&3�/ ..& .%> .//

Q .%1�>I..>�2 .%2 .3> %%& � � � %#&

R� .3>�G>I.%G�2> .2& .#% 1&&

.3.> -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

��"�������� ���� � �� ��� � ��������� �� ��� ������

������ ���� ������ �.�� �

1 �� � �� ��� ��� �� ������

!��% �� ��� �����"� � ��� ������ '�� ��� � ������

� ������� �� � ��������� ������� ��� !�%� !� ������

��� ���� �� ����� ���� �� ��������� �� !� ���������

���� � ������ � �� ������ ��� ���� �� ����� BGGC� M��� 1

� ������ � ��� � ��������� �� � ����� 7�7 ����

��� ����� ������ (� ��� ��+ ��� � ������� ���� ��

������ $� ��� � ��� �� (3& ��� + ��� ���< �� .3# �� ��

�� �� ��� ������� ���� (�+ �� ������ ������� � �� �

� �������� 1�.0.:&� '�� �� ���� �� � ��� � ������ ���

��"������� ���� ���� � �� ��� ������� ����� �� �����

������� '�� 5 �� ������ �� � ��"������� �� .2& ��

����� � �� � � ��� � �� .2& ��� ��� � ������� ��

� ��������� � �� "�� ��������� ������ ����� ������

�.�� � 1�

� � �� ��� ������� ������ �� ��� � ��� ������

'�� ����� ����� ������ (���<��� �� .#% ��+ ��

��� �������� �������� ���� � �� � � ��� �� �� 2&&

��� ��� � ���� � '��� ��A����� ��� � ��� � �� ���

����� �� �� ����� ��� ��"������� �� ��� )*) ���<

����������

$ ��������� ��� �� ���� �� �� !�I������� ����� �

�� ����� �� M��� 3� '�� � � � ��-� ��� � ��������� �� ���

!�I������� ����� ��������� ��� �� ���� ��� '�� ������

���� ��� ���� ����� "���� �� ��� �������� ���� ���� � ��

"� ��� � ��������� �� "� � ��-� ���� M� �������� ���

7�.�% � R�.�% � �������� ���� ���� ��� ��� ���� ��"��

������ ������ ��� ��������� �� �� ���� ���� ���� �� ���

��.�% � R�.�% � ��������� '�� ��.�% � R�.�% � ��������

�� ��� �� ������ ����� ��� ������� ��� 5��� �� � ������

���� ��� ���� �� ����� ��"� ��� �� ���� �"� ��� ��

��� �� ��� "����� � ������ B.&1C� ���<� ��� � ��� ����

�������� ,�1�% � $�1�% ��� ��.�% �$�.�% � ����������

���� �� �� ����� �"� ������ �� N� ��� ��� ��� ����

���� ��� �� � ����� ��� �������

$ �� �� ���� �� ��-� ��� �������� ���� � �� ���

��� � ��"� ���� ��"��������� � �� !� ����� �� !�

������ ��������� ��� ������� ���� � B1>031�/%�/1�/2C�

M��� 2 � ������ ��� �������� ���� � �� $ �%� Q �%� R��%�Q ,�� ��� R�,�� ����� � ���� �� �� ���� �� �������

������ ���<� ���� ����������� "� ���� � �� .0.& ���

���� ����� ���� � ���� � ������� ���� �� ��"��

������� � � �"������� �� ���� ���� ��"���� '���� �����

� � .G1 �� ($ M +� � � %3/ �� (Q M +� � � 1&/ ��

(R�,� +� � � 12. �� (R�M + ������ �� ���� ���� �

�� �� �������� ���� M�% (� � .2# ��+ ��� Q ,�

(� � %%% ��+� �� ��� ���� �� � ���� %& ��-� ���

��"�������� �� �� ���� ���� �� 7�7�� ��������� ����

�������� ����� � �� ��� )*) �� ��� "������ �� � �� ���

���� � B1G�>&C� '���� 2 ����� ��� ���� ���< ��"��

������� ��� ���� � ��������� ������ ��� ���� �� !�

��� !� �������� ����� �� ����� �� ����������

M��� 1� � ��� � ��������� �� � ����� 7�7�

M��� 3� ��������� ��� �� ���� �� �� !� ������� ��� � ��

�������� ����� � ����������

M��� 2� ?������� ���� � �� $ �%� Q �%� R��%� Q ,� ��� R�,�

����� � � �� � 7�7�

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.#

)� ��� ������ ��� ��5� ������ �� ����� �����

�� �� �������� ��� ��� ������ �� �� ����� ���� ����

*) �������� �� ��� ������ � ��� ������� � ����� � ����

*) �������� �� ��� � ���� ����� ��� ���������� ��

)*) �������� B3G�2&�>&C� ,����� ��� ����� �� � ���

�� ���� �� � �� < � ������� �� �� $ ������ ����

�������� �� ��� ����� � =� �8 ����� ��� ���

���� ������� ���� ����� �� ���� ��� ���� "������ ����

� ��� � ��� ������ ���� � '�� ���� �� ��� �� ���

"� ���� �4������ (*) ����I���� ��� ����+ �� �����

����� �� �� �� ���� �� %%�2L B#&C� *���<� ��� �������

����� ��� �� ��� ������ ����� �� �� ������ ��� ����

� ���� � � �� ��� �� < ��� ���� �� � ��� ����� ��

��� ��� � ����� �� � ��� �������� ��� ���� ��� 5����

���� ����� � !� � � � � ����������� ��� ���� �� ���

��� ������� �� � ������� �� ��� � =� �8 ��� ���

���� ��� ���� ��� � ����� ��� �� ��� �������� ���� �

����� $� ���� ������ ���� "������ �� �������� � ��� <)

�������� �� ���=��� �� � ��� ����� ��� '�� � ��

=��� �� ��� ������� "������ �� "� � �"� � ���� ����

� �� 2& D8 �� ��"� �� 9D8� '�� � ��� ���� �� �����

�� ������ ��� ��"� ���� �������"��� ������ B1>�1G�

3.�3%�/%C� '�� ���� �� ������� �� � �� ������ �� ��

�������� �� ��� � �� �� .&.3 ��1 ��� ���� ��� ���� ��

��� ���� ��� � � � ��� ���� �� "���� B##C� '���� �����

����� �� �� ��N���� �� ��� ��8�� ��� � ��� �� ���

���� �� ��� �� ��� ����� �� ��� ������ � ���� ����

��� �� �� ������8�� �� ��� �� ������ �� ��� ���� ��

����� ������ B3.�3%C�

$ �� �� � �� ������ ��� ���� �������� ��� ���

�� ��� ���� �� � �� �� �� ����� ����� ������ ������

�� �������� ���� � �������� �"� � 2&& �% � ��� $

���� ����� ����� �� ��� *) ��������� ���� ������ ��

�� � ������ ��� ���� ��"������� ���� ������ ���

����� ���� �� �� � ����� ��� �� � ��<��� ���� ��

��� ��� ��� ���� �� ������� �� ���� �� ������ ���

�� ��� �"� ��� � ��� �� ��� ������ � M��� > ����� �

���� ���� �� ��� *) ��������� ���� ������ �� � �� ��

����� ���� ������ � ������ � �� ��� ��������� (���

����� ����+ ���� ��� ���� ������� ���� (��� � ��

������+ ���� �� �� ���� ����������� ������������� �

��� ������ �������� � ������� B3.�3%�.&3�.&2C� '��

���� ���� �� ��� *) ��������� �� ���� �� �� ������ 3L

�"� � %2& �% � ��� '�� ���� ������ � � �� ��������

�� ������ ���� ��� ����������

'�� �"� ��� ���� �� ��"�������� ����� �� ��"� ��� ��

��� �� ���� �� ������ N� ���� �� ��� ��"�������

���������� �� �"��� ���� ���� ��� ���� ��� (���� ��

���� �������+ �� ��� ���� ���� �� ��� ��"����� �����

��� ���� ���� � � �� ���� �� ����� ���� ��� ����� ��

��� ��� ������ �� � �"����� ���������� $��� ���� �

2L ������ ���� � �� ��� ���� ���� � ��<��� �� ��� ����

��� � � M� ���� �� � ����� �������� �� �������

2&&0%&&& �� ��������� �� ��� � ���� ���� �� ���� (���

'���� >+� M� � ���� �������8�� � ����� (���� ������

� ���� ��������+ ��� ���� ��� ��� ��� � ����� �� �

�� ���� �� 11&& Q (������� ����� �� �������E 1>22 Q+� ��

���� ��� �������� �� ���� �� ���� � ��� �� �� 6� ���

��� � �� �� ����� ����� ��� ���� ���� � � ��� ��

�� �� ����� ���� ��� ����� �� ������ ��� ��� �"���

��� � ����� � ��� ��� ����� �� � ����� ��� ���

� �"����� ��� ����� ���� ���� � �� ����� ���������

M��� # ����� ��� ��������� "� �� ��� ����� ���� �� %%%

�� ��"������� ����� ���� ���� 3& � ���� ���

���� �� %2�,� $� �� �� ���� ���� ��� .&&L ��"�� �� ���

� ������ *) ��������� �� ��� %%% �� ��� ����� ���� �

�� 3&&& � ��� ����� �����

'���� 2

���< ��"�������� ��� ������ ��� ���� �� ����� ��������

����� �������� � �� "� ��� 7�7�

?���� ��"�������

(��+

������ ��� ��

(�)+

*) ����

K�M .&/ ..�3/

$ �% .%> G�/3

Q �% .3> /�3G

M�% .2/ #�/2

$ � .>2 #�2% )*)

R��% .#% #�%.

$ ,� .#2 #�&/

Q � .G& >�3G

$ M .G1 >�3%

Q � %&# 2�GG

Q ,� %%% 2�2/

Q M %3/ 2�&. *)�,

R�� %21 3�G.

,��% %2G 3�#G

R�� %/1 3�3.

� �% %/G 3�%G *)��

R�,� 1&/ 3�&1

��% 13% 1�>1

R�M 12. 1�21 *)�$

M��� >� *) ��������� � �5�� �� �� �� ����� ���� �������

.3./ -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

�� �� ��� �� ���� ���� ��� �� �� ����� � �� ���

���� ����� �� *) �������� �-� � ��"� �� ���� ����

��"������� �"� ���� ���� �������E (.+ ���� ��������� ��

��� ��5��� ��"�������� (%+ ������� ���� ������ (1+ � ����

�������� ��� �� ������������ �� ��� ����� ��� ��

���� ��� � ������ (3+ �������� ���� ���� � � ���

(���� �� D�+ ��� ��� ���� ����� ��� � �� ������� ��"��

�������� � ������ (2+ N��������� �� ������ �� ��-� ���

������ ���� ��� (>+ ��������� �� ���������� �� �� �� � ����

����� �� ����� ��=� � ��� ����� ��� ������������ ����

��������� �� ���� ����� �� �� �������� � �� ���� �����

��� �� )*) �������� ��� ���� ��� �"���������� �� ����

�� ��� ��"��������� ����� �� �� � � �� ��� ���"�

���� ����"� �� ��"�������� *) ����� ��� ���� � ��

�� ���� �� ����� ��� ������������ :�"� �� �� ���� ��"��

����������� ���� �� ������ � 5�� �� ������ ���� ��

�"����� �� ��� ��������� ��������

� �������� ��� ����������

M��� / ����� � ������� ���� �� �� � �� �� � ��

����� ���� ������ ��� �� ���� ����� '�� �������

������ ��� ���� � ��� �� ��� ��������� ����� ����� �

(���� ��� ���� ����� �+ ���� ���� �� � 9�M%

������ � ����� ��� �� ��� )*) ��������� '�� ����

����� �������� �� �� � �� �� �� ����� ����� ���

���� ����� ������� �� ���� � � ����� �� ��� ���� ����

�� M��� /� ?���� *) ��������� � �� ����� � � �����

(R��%� � � .#% ��+ � � ���� � �� < ����� ��� ��� ���

(Q ,� � � � %%% ��+� ��� ���� ���� �� ��� ��� �����

� �"� ��� � ��� � ��� � ��� ����� ���� � ��������

������ ��� ������ ����� � ��� �������� ��� ���

������ ���� � ���� ���� �� ���� 1& ����% B%>C�

'���� >

;������� �� ��-� ��� ����� ��� ����� (���� �� ��E D������� U 6����� !�������� ,� �� �����+

;��� ��"������� (��+ O� ������ ���� (�+�

;���� ��� � �� � ���� ./2 ��� %23 %&&&

9���� � ��� � �� � ���� %&&0>&& /&&0.&&&

D��� � ��� � �� � ���� 1&&0>&& >&&

R���� ����� *) �� �! ������� ���� � ./20%&&& >&&0.&&&

9� ������� ����� (D�R�+ *) �� �! ������� ���� � ./20%&&& 3&&0.&&&

7��� �� ����� *) ������� ���� � .>&03&& .&&&

7� ����������� ���� �� ����� *) ������� ���� � ..203&& 1&&02&&

� '�� ���� ��� �� ��5��� �� ��� ���� ���� ��� ������ ��������� ����� �� 2&L �� ��� ������� "����

M��� #� *) ��������� �� %%% �� ����� ����� �� � ������ ��

��� ����� �����

M��� /� :������ ���� �� �� ������,)7 ������ ��� �� ����� �� �� � �� �� ����� *) ������

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3.G

K����� ������ ����� (. & &+ � ��������� ������ (%03 ��� ������"���+ ���� � �� � ��� �� ���� ����� ����

������ ���� � ������ � !,$� ���� � �� �� ��� '��

���� ��� ����� �� � ��� ���������� ������� .&&�,��� 3&&�, ��� ���� �� ���� � ��� ������ �������

�� ��� ����� ������ '�� ��� �� ����� (K%6+ �����8���

����� ��� ��� ���� ���� ��� ���� ����� �� � 5���

N�� ��� �� %& ��� '�� ������� ������ ���� � ��

�� �� ������ ������� ��� ������� ��������������

�������� ('�(6?�+3(79$?++ ��� ������� ���������

�� � "��� �8�� �� ����� �� �� ������� .&&0.1&�, �� �

����� I��A��� ��� ���� � ����� ��� ���� ��� ������

����� �� �� K% � �� ���� $ ��� ��� ������ �� ����

���� �� �������� ������� � B%>�.&>C� '�� � �������

����� ��� �� �"����� �� .&�> ��� �� � � ���

������ ��� ��� 5���� ���� ��� ��� �� ���� ���

���� � �� ����5 � ������� ������������ *) �������

��� ��� �� �� ��� �� ��� 5��� �� ��-� ��� ����� �

����� �� ����� �� �� ������� 12&�, ��� 3&&�, �� �

5��� � ��� � �� .&&& ��� �� ���� � ��� ������

(GG�GGGL+ �� ���� .#% �� ����� ����� ���� ����

���� � �� ��� ���� �� .&0%&& ����%� ���� �����

���� �������� � �����=�� B.&3�.&2C�

'�� ������ ����������� �� ��� 5��� �� � ���� �

����� �� R� �� ��������� �� ���� ����� (R�:+ ����

� )O ?:,$;$� %%&� R;� '�� ����� � �5��� �� ���

������� �� '�� 6� ��� :� �� � ���� ����� ���� $ � ����

(1 <�)+ ���� � ��� �� &�/ �$ �� �� � ��� � ��� � ��

.&�# '� � '�� ���� �� ������ �� ������� �� ��� 5���

��� ������� �� ���< ����"������ �� ��� R�:

"��� '�� ���<���� ��� �� ���"� ����� �� ��� 5���

�� � ���� ����� ���� � !����� $��?; �� ��������

���� ����� ��� �� � � ��� ������ � ��� ���� �� ���

���� � � ��� �� :� ���� ��� =� �8 �� � ���� ��

���� � M� �� � ����� � ��� � �� (M'�!+ ���� �����

(�� ���� .&&&� �� <�� ?��� + ��� *) ���� �������

��� �� ������"���� '�� ���� ��� � ��� ���� �� ��� 5���

�� � ���� �� �� � � �=��� �� . 9D8 �� D�3.3& ���

D�3%#2 ��������� ������� (-0:� �0:+ �� $�I

'�%62I:� ������ ���� �� � �� ���� �� �"��� ���� $�

��� ����� �� � �� /� .&�3 �% �� ��� � ����� ���

��� ���<�

� �������� ��� ������ �� �� �������

3.�. �";4 ��+�� �� &����*������ ���7��� &��������

'� �� � � ���0��� �������� ������� ��������

('�(6,%D2+2+ ��� ������"�� �� ������� ���� � �����

=������ �� ���� ��� ��� ���� � ��� �� �������� ��

��� ���0��� � ����� ��� ������ ��"��"�� ��� �������

���� ������ � ������� ��� ������ ��� ������ �8������

'�� ��<����� ��� ������ ��� ������ �8����� �������

� �� �"� ��"� �� �� �� � ��� ���� ��� ��������

�� ����� ��� ��������� ����� ������ ���<�� ������� ��

����� � �� �� ����������� ����� <� ����� � ���� �����

�� �8����� �� ��� � ���� ������� ���< ����� �������

�� ��������� M �� ���� ���0��� �������� 5��� �� .&01&&

�� ���<���� �� � � ��� �� �� :� (. & &+ ���� ���� ��

��� ������� ������ ��� ���� � ������� �� "� ���

����� �� ��-� ��� ����� �� ��� �� �� � ������� �����

B3#C�

M��� G ����� �� R�: � �5�� �� � .3 �� �������

����� 5�� �� ��� �� ������ �� 32&�, �� � 5��� � ����

����� ���� �� %& ���� $� �� �� ����� ��� ����� �����

�� ������� ��� ������ �� ��� �� ������� �� �����

��� '�%62 5�� ����� �� � ��� ��� ���� "�� ������� ��

�� ������ � ����� �� 5��� �������� �� �������,)7 ���

��� ����,)7 B.&#C� '�� ����� ���� �� 6I'� ��� ���

����� %�30%�> ���� �� "� � ���� �� ��� ���������� �

���� �� %�2 �� '�%62� ��� ����� ���� ��� %�% ���� ��

5��� ������� ������� �� � ��� � ��� � D� ���� ���

��� %�. ���� ��� ��� �� ���� ������ ����� ���� � ���

��������������� 5��� B.&#C� '�� �"� ��� �� ���"� �����

�������� �� ����� �� �� ���"� 12&�, ��� %�. &�&2����� �� ���� �� ���� ����� �������� �� ��"��������

'�%62 5����

M��� .& ����� ��� '�3�� 6.�� ��� :�%�1 ���� � ��

'�%62 5��� �������� �� �������������� ������������

�� ��� ������� �������� ���0��� 5���� �� � ������ ��

$ ����� (1 <�)+ ������ ����� '�� ������� ��� ���� ��

'�2� 3�#�% ��� '�2� 3�2�% �� ��� 5��� �� � ���� �� ��

%>�2 ��� %/�& �)� ������"���� 7 ��� ��� ������ � ��

��� ��� "��� �� ��� '�2� 3�#�% (%>�2 �)+ ������ �����

� �� '�%62 �� '�& 3�#�% ����� (%.�/ �)+ �� 3�# �)� '��

���� ��������� �������� ������� ��� �� �� '� �� ���

'�2� ��� '�& ������ �� ��� ���� ��� �������� "���� ��

��� ���� �� � B.&/C� $��� .2 ��� ������ (��"�� 1 �� M���

.&�+� �� ��� ���� ��� ���� � �� ��� ��� ��� �������

������ '�& ��� '�2�� M� %& ��� ������ (��"�� 3 �� M���

.&� ��� �+ ���� ��� ����� �� �� '�& ����� ��� ��

M��� G� R�: � �5�� �� � .3 �� ������� ����� 5�� �� ��� ��

������ �� 32&�, ���� � 5��� � �������� ���� �� %& ����

.3%& -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

���� ����� ����� ��� '�2� ��� ��� ������ ��� ������

��� �� �"������� ��� ���� ������ ��� ���� "�� (��"�� 3

�� M��� .&+� ��������� ��� ������ ��� �� ���� �����

�� ������ ���� ���� $� ���� �� ����� �� � '� �����

�� ��� ��� ��� ����� ���� �� 6I'� �� ����� ����

������ ���� ����� ��� �������� �� � ��� ���� ���

���"� ��� ������ �������� (���� ������+ �� � ������

���� ��� ���"�� �������� (���� �������+� ��� ���� ��� ��

� ������ �� ��������� ���� ����

'�� ���<���� ��� �� ���"� ����� �� ���� � � ��� ��

� 1 ��� ������ ���� �� � �������� ���������� ���0���

5��� �� � ����� �� � �� /&�, �� ����� �� M��� ..� �� ��

�� ��� �� ���� ���� "� � ���� � 5��� (���� %3�> ��+

�� � ����"�� ���� ��� ����� "� ������ �� ���<���� � ���

M��� .&� :��� � �� '� 3�� 6 .�� ��� :� %�1 �� '�%62 ���� � �������� �� �������������� ���0��� � ����� �� � ������ �� $ � ����������

�����

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%.

��� 1 ��� ���� ����� ������ &�% ��� '�� ���� ��

� ���"� ����� ���� �� (.�G3+ ��� ������ �� ���� ��

���� �������� �� ���������������� '�%62 5��� �� �

����� �� � �� ./&�, B%GC� R� �����- ����� (R!7+ ��

"����� ��� �� � � �� 5��� �� ��� �� �� ��� ����� $

�<�� �� ���� � �� � � ���� �� � ������ � �

���� ��� ���� "�� �� ������� ���� �� �� �����

(:?9+�

M��� .% ����� ��� ��� "������ �� ��� ����� ��

��� $�I'�%62I:� 96: ���� ������ � ��� ����� ���� %&

�� ���< '�%62 ���� � � ��� �� ����� ���� �� ����

�� ��� ����� �� �� �� � 5��� ���� �� %& ��� ���� ���

���� �- (��"�������� ��� ��� � �������+ ��� ���

���� ���� �������� ���������� �� ���� ���������� *)

� ��������� �� �� �� ��� �� ���� ���� ��� ���<��� �

��� ������� �� ��� *) � ������� 5��� �� ������ ����

���� ���� �� ��� ��� ����� � ������� 5��� �� ��� ����

�� �� �� ���� '��� �� �� �� ���"� ������ �������

� ���� �� *) � ��������� ������ ���� �������

�������� �� ���� '�%62 � ��� ���"�� �� � ����

����� � ����� �� '�%62� '�� ���<��� ��� ������� ����

�� ����� ���� �� ������ ����� �� � ��� �� � �����

����� �� � �� 3&&�, ��� ���<��� ��� ������� ��

��� � ��������� �� �� ���� � ��� ������� ����

�� ������ �� �� �� ��� �� �������� ���� � �� ���

���<��� ���� $� 3&&�,� "���� �� ��� �� 2�%� .&�#

$��% �� . 9)��. �� ��� *) � ������� 5��� �� ��

����"�� ������ ��� ��������� ����� ���� �� �"� ���

� �� � �������� ���� ���� ����� �������� �� 5���

� ��� �� �� �������,)7 ������ ������ ���������

B1.C� $ ����=��� ��� ����� �� � (3&&�,+ ������ ��

*) ��� �"�� ���� �� 1�&� .&�/ $��% �� . 9)��.�

'���� "���� � � ���� ���� �� ����� ���� � �"�����

�� ��� �� 5��� �������� �� ����� �� �� �������

>&&�, ��� .&&&�, B1.C�

�� ��� ���� "�� ���� ��� ��� ��� ��� ��� ��

����� ���� � 5���� �� ��� ���� ��� 5���� $ ������

�������� �� ,)7 ��������� '�%62 5��� ��� ����

���� "�� �� ;� �� ��� B.&GC� '��� �� ���� �� �� �� ���

M���� 0K� ����� (MK+ ��������� ��������� '��

���0"������ ����������� �� ��� �������� � ���� ��

��"�� �� B..&CE

� � 1%

/������

�� /��%�����

1�.�%1�

��%�

��� � � �� ��� ��� ������� ($ ��%+� � () ��.+ �� ���

���� � 5���� 9 �� ��� ���� �� �� ��� � �� ����<�� ���

M��� ..� '��<���� ��� �� ���"� ����� �� ��� 5��� �� ���

� ��� � 1 ��� ������ ���� �� � �������� � ���������� ����

�� �� ����� � ���� �� .2 ��� �� ����� �� � �� /&�,�

M��� .%� ;��<��� ��� ������� "�� ���� � 5��� �� ��� �����

�� 96: ������ � ��� ����� ���� ���� ��� �� 5��� � ��� ��

��-� ��� ����� �� �� ���� ��� ������ *) � ���������

.3%% -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

������ � (�)+ �� ��� �� �� ������ �� ��� '�%620:� ���

�� ���� ��� ���� �� ��� �-���"� ���� �� ���� �� �� ������

?=� (%+ �� �� ������5�� �� �������E

� � % ���

��

��1�

��� � ��� � � � �������� ��� � � ��"��� ������"���E

� � 1

/��� � /��%�����

1�.�%1�

$ ���� �� ��(�I�+ "� �� (.I�+ �� ��� ���<��� ���

���� �� �� ��� '�%62 5�� �� ���� �� �� � �� ����� ����

(M��� .1+� ��������� ���� ��� ��� �� ��������� �� MK

��������� '��� ������� ���� ��� ���<��� �� �� �� �

�������� � ���� �� �� 5��� �������� �� � �����

���� ��� ���� ��� ������� ���� �� '�%62 � ��

���� ��� �������� � �� ��� ����� M� �� ��� �� ���� ���

������� ������� �����

'���� # ����� � ���� ���� �� ��� ���� ��� � ���

� ���� �� ��� *) � ������� 5��� �� ��� �� ��-� ���

����� �� �� ������� ���� 5�� ��������� �� 12&�, ���

*) �������� �� 3&&�,� $� �� �� ����� ��� 5��� �����

�� �� ������� �� ����� ���� �� ������ ����� �� �� ��

������ � �� 3�&� .&.. ��% �� .2&�, �� .�&� .&..

��% �� 3&&�,� ���� �� ������ �� ����� �������� �� ���

5��� � ��� �� �� �������,)7 � ������� B.&GC� �����

����� � �� � ����� ������ ������� ������ ��� ����

���� ������ �� ��� ����� ����� �� ��� $ ����=���

��� ����� �� � (3&&�,+ ��������� ��� *) � �����

���� ��� �"�� ���� �� /�/� .&.& ��% ('���� #+� '����

"���� � � ���� ���� �� ����� �������� �� 5��� ���

������ �� ���� ����� �� �� ������� #&&�, ��� .&&&�,B%.�...C� � ��<���� 5���� �� � ���� �� �� �� ��� ����

�� %�%03 9)��.� ��������� �� � ������� ����������

$ ���� � �=��� �0: � �� �� 96: ������ � ��� ��

���� ���� ��� 5��� � ��� �� ����� �� �� �� .2&�,�%2&�,� 3&&�, �� � 5��� � �������� ���� �� %& ��� ��

����� �� M��� .3� �� �� �� ���� ���� ��� N�������

"������ :M� ��� �������� ������"�� ��������� ��� ���

����� � ����� �� ������"� 5��� �� ��� ��� ��� '�%62I

:� ���� ���� ���� ����� �� � �� ������� ��� �0: "�

������� ���� �� ��� ������"� "������ ���� ��� ��� N���

���� "������ :M� �� ������ ��������� � ������ ��

������"� � ��� �� ��� $� � ����� �� � �� .2&�,� ���:M� ��� ���� �� �� �.�% )� $� ��� � ���� ����� �� �

�� ����� �� %2&�, ��� 3&&�, ��� :M� "���� �� �

���� �� �&�3 ��� �&�% )� ������"���� $��� *)

M��� .1� M���� 0K� ����� ���� (��(�I�%+ "�� .I�+ �� ���

������� �� 96: ������ � ���� ���� ��� '�%62 5����

'���� #

,���� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� �� � ��� '�%62 5��� �� ��-� ��� ����� �� �� ������� ���� 5�� ��������� �� 12&�, ���

*) �������� �� 3&&�,

'���� �� � (�,+ M���� �� �� �������

(��%+

;��<��� ��� �������

�� . 9)��. ($ ��%+

� ��<���� 5���

(9)��.+

M�������� "������ :M�

()+

.2& 3�&� .&.. 3�3� .&�2 %�% �.�%

%2& %�>� .&.. %�%G� .&�2 1�& �&�33&& .�&� .&.. 2�%� .&�# 1�3 �&�%

*) �������� �� 3&&�, /�/� .&.& 1�&� .&�/ 3�& �&�.

M��� .3� �0: �� ��� ����� �� . 9D8 �� 96: ������ �

��� ����� ���� ���� ��� �� 5��� � ��� �� ����� �� �� ��

.2&�,� %2&�, ��� 3&&�,�

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%1

��������� � � ��� ������ �� &�. ) �� �� ����"���

,��� ��� "� � ���� ���� ��� � ��� ���� �� �� ��������

�� ��� '�%62 ���� � �� ���� �������������� ��� ����� ��

� � ���0��� �����=��

3.". ��� �";4 <�+ ��&����� �� &����*�:=

�� ����������� ,)7 �� '�%62 � �� �������

�������� ('�(6,%D2+2+ ��� ��� �� ������ ��� � ��� �

����������� � �� ��� K%6 ���� .#% �� �������� ���

�� � ��"��"�� ��� ��������� ������E

K%6� �� � 6�.7� �K%�R.��� � �3�

'�� ���"� ������ ������ 6(.7+ �� ��� ����=�����

��� ���� ��� '�(6,%D2+2 ����� ��� �����������

�� ��� � �� ��� �� ������� ������� �� '�%62 ����������

�� ��� ���� ��� � ����

M��� .2 ����� $ ����� ����� �� ��� ���������� ���

�� ��� ������������� (������,)7+ ��� �� ���������

(��� ����,)7+ ��������� '�%62 5���� �� �� �� ����

���� �� ��� ��� ����,)7 ��������� 5��� ��� � ����

��� �� ����� ������� �� ��� ���� ��� ����� �� � ���

�� ����� ���� ����� �� �� '�� � ���� ��� �����

3&&�, �� �� ���� �� ���� ��� ����������� ����������� $

���� ���"����� ��� �� �� .�G# �) ��� �������� � �� ��

$ ����� ���� �� ��� ����� ��������� ���� ��� ����

����� � ��� ������� ���� � �������� ��� � ���

��� � ����� *���<� ��� ��� ����,)7� �� ��� ������

,)7 ��������� 5��� ��� � ���� ��� ���� �������� ���

����� ���� ����� ����� �� � ����� � �� ����

���"����� ��� �� �� &�&#/ �) ��� ��������� �� �����

��������� ���� ��� �� ����� ��� ��������� ����������

��"� ��-� ��� ������ ���������� � � � ��"� ��� ��

��-� ��� �������� � ������� '��� ���� ���"����� ���

� �� �� ��� ����������� � ������� ��� ��� � �"����

��� �"����� �� ��� ���� ���� ���� �� ���� ���

����� �� � ��� ����� ��������� ��� ��� ��� � �������

���� ��� ����� �� �� �� ��� �� .&&�, �� �� ����

'�� ��N��� �� � ��� � �� ��� �� ��� ����� �� ���

5��� ��������� ��� ������ ��� M��� .> ����� ��� �-��

�� ��� ���������� ��� ��� �� ���"� ����� �� 5���

� ��� �� � ����� �� � �� 12&�,� �� �� �� ���� ���� ���

� ���� ��� �� ����� ����� �� ���� � ��� � �� ��� ����

�� &�201�2 ��� ����� ���� �� ���"� ����� "���� �� �

�������� �� ����� ����� �� ��� ��������� ���� �� ��

���� �� ��� ���� �� O��� ����� ����� � ��� �� ���� �� ��

�� ����� ��� �� ��� ����� ���������� '�� �� � �4�

���� ��� ����� �������� ���� � � ���� �� � � ����

���� �� �� �� ���� �� �� �� ��8�� ������ ������

������ ��� ���� ���� '���� �� ����� � �"� �� ���

������ �� ������ ���� ���� �� ��� ��� �� ���������

���������� � �����8�� �� ��� � ���� '�� ��� �� ��

��"� ����� ���� �� ���� �� ��� � ��� � �� ������

M��� .# � ������ � ������ R�: ���� � �� ��� 5���

� ��� �� � ���� ��� ����� �� � �� 12&�,� $� �� ��

����� ���<� �� '� 3�� '� 3�� '� 3�1� '� 3�. ��� 6 .� � �

������ ������� ������ ���� �� , .� (� ��� %/2 �)+ ��

"� � ������ '�� R�: ����� � �5�� �� � G2 �� ���<

������� ����� ���� � ��� �� 12&�, �� ����� �� ���

����� �� M��� .#� '�� ������ ��� ������� ����� ��

����� ���� ����� �� ����� ��� ����� �� ��� 5�� �� ��

���� �� �� =��� ���� �� '�� ����� ���� �� 6I'� ��

���� %�3� �� "� � ���� �� ��� ���������� � ���� �� %�2

�� '�%62� '�� "��� �� %�3 �� ����� ���� ��� %�& ����

�������� �� 5��� � ���� �� ������,)7 ���� � ���

� ��� � �� � ���� B..%C�

'�� M'�! ���� � �� ��� 3&&0%&&& ��. ���� ��

5��� � ��� �� ��-� ��� ���� ��� ����� �� �� � �

M��� .2� $ ����� ���� �� ��� � ���� ��� �� ��� '�%62 ���� �

� ��� �� ������������� (������,)7+ ��� �� ��������� (��� �

����,)7+�

M��� .>� 7��������� ��� ��� �� ���"� ����� �� '�%62 � ��� ��

��-� ��� � ��� �� �� ������,)7 � �����

.3%3 -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

����� �� M��� ./� '�� ���� ����� ����� �� 3&&0/&& ��.

� ��������� �� '�060'� ��� '�06 �� ������ "�� ��

������ ����� � � ���� "�� �� ��� ����� �� �� ���� ���

������� ��� �� ������ �� '�%62 ��� �� ����� ����

���� "������ �� � �"��� �� < B%3�..1�..3C� D���"� � �

���< ���� ����� ���� �� /&&0.&&& ��. ���� �� �� ��

��� � ����� �� �������� ��� ���� ���� "�� �� ��� 5���

� ��� �� ����� �� �� ������� %2&03&&�, B%3�%>�..1�

..3C� $� � ����� �� � �� %2&�,� ��� � �� ������ ���� ��

���� � ��� .2&&0.#&& ��. �� �� ��� ,0D "�� �����

�� � ����� ��<��� � �� ����� �� ����� �� �� ���"�

12&�, ���� ���� � �������� ��

M��� .G � ������ ��� *) ���� �� � ���������� ��

'�%62 5��� �� � ������ �� ���� ��� ����� �� �� '��

�"� ��� � ���������� �� ���� G&L �� ��� "������ �����

�� ��� ���� � �� 5��� � ��� �� ����� �� �� �������

%2&03&&�, �� �� ��� ���� �� "� � ���� =����� '�%62

����� ����� � ���������� �� ���� G/L �� ���� "�� ��

����� � ��� �� .2&�, �� �� ��� ������ ���� � ��������

�� ��� ���� ��������� ����� �� �� $����� �����5���

���� � �� ����� ���� � �� ���� ��� ����� �� ��� ���� ��

���� ���� ������ �� ����� ��"�������� �� ��� ����������

����� �� � �� ������ ��������� �� �� ���� �� ���

���<����� '��� �� �� �������� �� ������ ���� ��� ��������

��� � ��� M'�! ���� ������� '�� ���� �� ������

���� �� ��� ���� ����� ��4���� (�+ �� ��"�� �� B..2CE

� � ����� ������ �2�

��� � / �� � �������� �� �� ��� ������ ��� ��� �� �� ���

������ �������� ��� �� ��� � �� ��<� "���� �� %� 1� .I

%� � 1I%� ��������� �� ��� ��� � �� ��� ���� ���

� ��������� B..2�..>C� '�� ����� �� �����.�% ���� �� ������� ������� �� ��� 5��� � ��� �� ��-� ��� ���� ���

����� �� �� ��� ����� �� M��� %&� $� ������ ��������

��� �� �� 3�.& �) �� ��� 5�� � ��� �� .2&�, ��� ���

�� "�� � �� ��� ���� �� �����.�% "� �� ��� ��� � ���

����� ���� ����� ����� �� �� $� ����� �� �� ���"�

1&&�, ������ �������� ��� ���� �� 3�./ &�&3 �) �� �

��������� ���� �� "� � ���� �� ���� �� ��� �� '�%62

5��� ��������� �� �;7 ��� �������� ����� ��� B%3�

..#C�

M��� %. ����� ��� ���0"������ �� ��� ����� ��

��� $�I'�%62I:� 96: ������ � ��� ����� ���� ��� ���

��������� 5��� � ��� �� ��-� ��� ����� �� �� (%2&�,�

M��� .#� $ ������ R�: ���� � �� ��� 5��� ��������� �� �

���� ��� ����� �� � �� 12&�,� '�� ����� ����� R�: �����

� �5�� �� ������� ����� ���� � ���<���� �� G2 �� ���������

�� �������

M��� ./� M'�! ���� � �� '�%62 5��� � ��� �� %2&�,� 12&�,��� 3&&�, �� ������,)7 � �����

M��� .G� ' ���������� ���� � �� '�%62 5��� � ��� �� =� �8

�� ��-� ��� ����� �� �� �� ������,)7 � �����

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%2

12&�,� 3&&�,+� '�� ���<��� ��� ������� ��� �� ���

����� �� ����� �� � �� ������ ��������� � �� � �����

������ ������� ������ ��� ������� ������ �� ���

����� ���������� ����� �� ��� $� � ����� �� � ��

3&&�,� ���<��� ��� ��������� �� ��� �� %�3.� .&�# $I

��% �� . 9)��. �� �� ����"��� '�� -0: �� ��

�� ����� �� ��� 96: ������ � ���� ���� ���� *) ���

�������� ��� ���� �� �� ��� ��� �� '�%62 �� ��� ��

�������������� ���0��� � �������� ��� ���<��� ���

������� �� ���� � ��������� �� ����� �� '���� /� $�

�� ���� �� ����� ���� ��� ���<��� ��� ������� ���

��� 5��� ����� �� �� ������� �� ���� ���� �� �����

��������� ����� $��� . � *) ���������� ��� 5��� �����

�� �� ������� ������ � �� %�G� .&.. ��% �� ��� ���

��������� 5��� �� 1�#� .&.& ��% ����� ���<��� ���

��������� �� ��� �� .�>1� .&�/ $ ��% �� �� ���� � 5���

�� . 9)��. � � ����"��� '��� �� �� �� � �� � ��

�������� ���� ���� �� ������������ ���� � (%�.G�.&�2 $ ��%+ ��� ���� ���� �� "���� ���� � �"�����

����"�� �� 5��� �������� �� ���� ����� �� �� (>&&0

G&&�,+ B..�./�%.C� :�"� �� �-��� ��� ��� ��� ���

���� �� ���<��� ��� ��� ���� �� ������� �� :�����

3�1� �� ��� -0: ���� ������ �� ��� ���� ���� "�� ����

��� ��� ������� �� ����� ��� ��� �� ����� ���� �

5���� �� ��� ������������ ��� �������� 5���� $ �� �����

���� ��� �������� �� � ���� �� �����%� "� �� (.I�+ �� ��� ���<��� ��� ���� �� �� '�%62 5���� ���������

���� ��� ��� �� ��������� �� MK ����������

$ ���� ���� �� ��� ���<��� ��� ��������� ��

'�%62 5��� �������� �� ��-� ��� ������� �� ����� ��

'���� G� M� ��� ������������ 5��� ��� ���<��� ���

������� �� ������,)7 � ���� �� '�%62 5��� �� ��

���� ���� �� ��� 5��� ��������� �� ��� ��� ��� �������

,)7� M� �������� �� ��� ������,)7 � ������� ���<�

��� ��� ��������� �� ��� �� %�.G� .&�2 $ ��% �� .

9)��.� ��� � �� � �� �������� ���� ���� �� ���

��������� ���� � �������� �� ��� ��� ��� �������,)7�

� � ����"�� B%.�../C� $ ����=��� ��������� ���� ��

�����5����� ��� ��� ���<��� ��� ��������� �� ���

� �� �� .&�/ $ ��% �� ��� 5��� � ��� �� �������

,)7 ��� ������,)7 �����=��� D���"� � ��� � ���

��������� ����� �� �� �� �� ��� �� ���� ����� �� ��

(#&&0/&&�,+ ������ ��� � ���� �� *) ��������� �� ��

� ��� �� �� ����� �� �� �� ��� �� 3&&�,� ,��� ��� ����������������� � ������� �� � ��� ���� =�����

'�%62 ���� � �� �� ���� ����� �� � ���� ��� ����

� ���� �����=��

M��� %% ����� ��� �0: �� ��� ����� �� ���

$�I'�%62I:� ������ � �� � � �=��� �� . 9D8 �� ���

������������ ��� �������� 5��� �� ��-� ��� ������ $��

M��� %&� ���� �� �����.�% "�� �� �� ��� 5��� ����� �� M��� .G�

M��� %.� , ���0"������ �� ��� ����� �� $�I'�%62I:� 96:

������ � ��� ����� ���� ��� ������������ 5��� � ��� ��

��-� ��� ����� �� �� (%2&�,� 12&�,� 3&&�,+�

'���� /

,���� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ���� �� ��� '�%62 5��� � ��� �� ������,)7 �� ��-� ��� ��������� �����

$�������� ���� (�+ ;��<��� ��� ������� �� .

9)��. ($ ��.+

:M� ()+ M���� �� �� ������� (��%+

& %�.G� .&�2 �.�/ %�G� .&..

&�2 %�22� .&�> �&�/ %�1� .&..

.�& .�>1� .&�/ �&�. 1�#� .&.&

.3%> -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

N������� "������� (:M�+ �� � ���� "�� �� �� ������"�

��������� ��� � ����� �� ������"� 5��� �� ��� ��� ���

'�%62I:� ���� ���� ������ ��������� ��� :M� ���

���� �� �� �.�3 ) ���� ���� �� �&�# ) ��� �&�% )

�� ��������� ����� �� &�2 ��� . �� ������"���� �����

����� � ������ �� ��� �0: ����� ���� �-�� ���

��� ��� � � ������ �� ������"� � ��� �� ��� '��

������ � ������� �� ��� 5��� ��� ���� ����� � �� �0:

���� ������ ���� ��� ��� ��� ������E

� � ������� �>�

��� � � �� ��� ���� �� ��������� �� �� ��� �� ����

��"��� �� "��� , ��� � � � ��� ������ � ������� ���

���<���� �� ��� '�%62� ��� > �� ��� ������ � ��� $

������ � ������� �� %3 ��� �������� �� ��� �� ���

������� 5�� ��� ���� �� ����� �� %& ���� . � ���

������� �� �� ��� �� ������ �� :�6% ���� ���� ���

���� ���� ����� �� R�: ��� M'�! ���� ���� � B%%C�

3.#. ?�����+ �� �������� � ��� ��,�� ������� �

�";4 <�+� �� �: ������

�� � �� �� ��� ����� ��� �������� �� ��� ��

����� �� ��� ���<��� ��� �� '�%62 5��� �� *)

���������� ��� ������ ��� �� � � ������ �� ���

������ 5��� �� � � ��� ��"��������� �� M'�!� M��� %1

����� ��� �"������ �� ��� M'�! ���� � �� ��� 3&&03&&&

��. ���� �� ��� ������������ 5�� �� ������,)7 ���

5�� �������� ���� � .#% �� ����� ����� $� �� ��

����� ��� ���< ���� ����� ���� �� /&&0.&&& ��.� ���

� ����� �� ��� � ����� �� �������� B1.C� ��� ��� ��

���� "�� �� ��� ������������ 5��� D���"� � ���� *)

��������� ��� ������� ���< ��� ���� �����5����� ��

��� ����� ��� D%6 ��� 6D � ��� �� 13&& ��.

�������� �� ��� ������������ 5��� ��"� ���� ���������

���"��� ,����=������ ��� ���� ��� � ��� ���� �� ���

5��� � � �����5����� ��� �"��� '�� ���"�� �� ���

����� ���< �� M'�! �� *) ��������� ��� ���� ����

����� �� 5��� ��������� �� �;7 B%3C� '�� ���< �� .&#&

��. �� �� ��� �� ������ "�� ����� �� :�06 ���� �� ���

:�6% ��� ���� "�� � �� ��� '�%62 5��� �������� �� ��

� �������� ���� �� . � B%%C� ��������� ��� �� ������ ��

:�6% �� ��� '�%62 5�� � ��� ��������� B..GC�

M��� %3 ����� ��� ���� �� � ���������� �� ��� ���

��������� 5�� ������� ���� 5��� �������� �� ��-� ���

6% ��� � ��� �� (. ��� .&&& ��� +� '�� ������

� ���������� �� ��� "������ ����� �� ��� ���� � ��

������������ 5�� �� ���� %%L� ��������� ���� ��� ���

�������� �� ��� 5�� �� � ���� � �� ������� '�� '�

�������� ��� ������� ����� ���� ���� � � ������

'���� G

,���� ���� �� ��� ���<��� ��� ��������� (�+ �� . 9)��. �� '�%62 5��� �������� �� ��-� ��� �������

,)7 �������,)7 6 �� < (������,)7+

������������ ��������� ������������ ��������� ������������ ���������

� ($ ��%+ .&�1 .&�/ .&�1 .&�> %�.G� .&�2 .�>1� .&�/

� (�,+ 22& /&& 2&& #&& 12& 3&&

M��� %%� D��� � �=��� �0: �� ��� ����� �� ��� $�I '�%62I:�

������ � �� ������������ 5�� ��� 5��� �������� �� &�2 ���

. ��

M��� %1� M'�! ���� � �� '�%62 5��� ��������� �� 12&�, ���

*) �������� �� 3&&�,�

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%#

$��� *) ��������� �� .&&& ��� . ��� �� �� ����� ��

G2L ��� >3L� ������"���� '�� �������� 5��� �����

�� � � ����� ��� �� ��� ��������� ������ � ��� � ���

������ ��������� ���� ��������� �� ����� ������

� ��� � �� �� � �-���"� �� ��� �"��� ��� ������

� ��� ���� �� ��� 5��� ���� �� ��� ���� ������ � ��� �

� ������� �� �� ��� � ���� �"���������� �� ������

����� �� ����� � ��� ��� *��� ��� .#% �� ��������

(������ ��� �� �� #�% �)+ ������ ������� �� ��

������ ����������� ������� �� ��� �� ������ �� ���"�

������ ������� ���� � � <���� �� �� �� ��� ���������

������� '���� ���"� ������ ������ (������� 6 �����

��� �8���+ ��� ��� � ��� ��� ��� ���� ��� � �����

'�� ��������� ��� ������ "������ �� ���� �� ��-��

���� ��� ���� �� ���� '�%62 ��� ���"� ������ � ��

���� �� ��� ���� �� ,��� ��� ��� ������� �� ��"� �������

������ ��� ��������� � ����� ��������� ������ �����

�� ���� ���� ��� �� ��� ��� �"����� �� ��� ���� � ���

� ����� $����� �����5��� ���� � �� ����� ���� � �� ����

��� ���� �� � ���������� � ��� ��� ���� ����� ���� ���

���� ��� �� �� ����� ��������� � ��� �� �� �� ���

������ �� �������� � ����� �� ��� 5����

M �� R�:� M'�!� ��� ���� ��� ���� ����� ��

����� �� � ����� � �������� �������� �� ��� *) ���

������� �-��� ���� �� ��� ����� �� ��� ���"� ������

������ � ���� �� ��� *) � �������� �� �������E

(.+ 6% �� �� ������ ���������� ��� ��� .#% ��

� �������� (��������� �� �� #�% �)+�

6% � ���� � .#% ��� � 6�1�� �6�.7� �#�(%+ :���=����� �8��� �� �� �� ��� � �� ��� ��

������ ������ ����� �� ��������� �������

6% �6�1�� �9 � 61 �9�9 �� � ��� � ����� �/�

(1+ '�� �8��� �� ���� �� ��������� �� ���� �����

�� )*) ����� �� .#% ��� ���� � ���� ������ ����� .7

������ ������

61 � ���� � .#% ��� � 6% �6�.7� �G�

'�� ���"� ������ ������ 6(.7+ �� ��� �� ��� ������

����� �� �8��� � � ���� ��� ���� ��� '�%62 � ��� ���

��-�� ���� ��� '�%62� ���� ���� ���� ��� ��� 5�����

��� ��� "������ �� ����� �� M��� %2� '�� �� ����

�� ��� ���� �� "������ �� ��� 5��� ����� �� ��� ��

����� �� ���<��� ��� �������� 6� ��� ���� �����

��� ���"� ������ ������ �� ��� ���� ��� ������ �����

�� ��� '�%62I:� ���� ��� � ���� ��� :� ������ ����

��-�� � �� ��� ���� ��� �� ��� '�%62 � ��� �������

�� ��� �� ������ :�6% �� ��� ���� ��� ��� ��� � ��� ��

��� '�%62 5����

'��� �� �� ��� ���� ��<��� ��� ���� � �� ���

������ �� ���<��� ��� �� '�%62 5��� � � ���

�� �8�� �� �������E

(.+ '�� ���"� ������ ������ ��� ���� ��������

��� ���� �� ����� � ���"��� ��� �������� � ��

���� ������� �� ��� �"�� ���������� �

(%+ '�� ���"� ������ ������ �� �� ���� ��� �������

�� ������ ��� ������ "������ �� ��� ������������

5����

(1+ $ ���� :�6% ���� �� �� ��� �� ��� '�%62I:� ���

�� ��� ��� �� ��� � ��� �� '�%62 �� ��� ������

������� ��� ���"� ������ ��� :� � ��� ����������

������� �� ��� �"�� ���� ����� =����� B./C�

(3+ !���"�� �� ��� ��� ����� � ����� �� ��� ���

��������� 5��� ��� �����5����� �� ���� ��

�� �� �� ��� �� ���� ���� ��� �� ��� ���"� � ������

���� ��� ���"� ������ ������� '�� ��� �� ��� ���"�

������ ������ ���� �� ���� ���� ��� �� ��� ��� �"��

���� �� ��� ���� � ��� ����� $�� �� ����� � ������ ���

M��� %3� :��� �� � ���������� �� ������������ 5�� ��� 5���

�������� �� ��-� ��� 6% � ��� ���

M��� %2� :������ ���� �� �� � ����� �� ��� �������� ��

��� ������ �� ���<��� ��� �� '�%62 5��� �� *) ���

��������

.3%/ -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

���� �� ��� �"�� ���� =������ ��������� �� ��� ��

����� �� ���<��� ��� ������� ������� �� �� ���

��� �� � ����� ���� �� ����� ����������

3.3. ;���� ��� �������� ������� +����� 5�;" ��

�1�6

)� � ������� �������������� ���������� �� ���� ����

������ � ������� ���� ���� �� �� '�6% ��� ��' ����

��� ����� *) �� �� ��� ���� ���� ������� ����

B.%&�.%.C� :����� ��� ������� ���� '�6% 5��� � ��

���� ������� ('�(6,1D#+3+ ��"� ���� �������� � ��

�� �� �� ��� ����� �� �� (/&01&&�,+ �� �����������

���0��� � ������� ���� � .#% �� ����� ���� B.%&C�

!�� ���"� ������ �� ���� �� %�3 �� � ��������� ����

���� � ��"� ���� ���� ��� "��� �� %�2/ �� ��� ��<

���� ���� '�� 5��� �� ��� ������ ���� ������ � ���

� ���� ���� � ���������� "���� ������� /2L ��� G&L

�� ��� "������ ���� �� ��� ���� �� ��' ���� 5��� ��"�

���� ���� ��������� �� ��� ����� �� �� �� ������

�������� ������������ �� � ��' ������� ���� ���0���

������ ���� ��� .#% �� ����� ���� B.%.C� )� � ���

���<��� ��� ��������� (.&�# $ ��%+ �� �� ����"���

���� ���� �� ���� ���� � � ��� �� ��"��������

��� ��� � ������� �� ���� ����� �� ��� '��� �� ����

����������� ��� ��� ��� ���� ������� ���� ����

�� �� �� ��� � ������� ����� �� �� ��� �� ����

� �"���� ���� ���� ��� � ��� ���� ������ ��� ���� ��

���� ����� �� � ����������

3.4. ��( �������� ������� +����� 5&���+�� ��

&����� ���6

$� ��� ���� � ��8�� �� ����� ���� � ��� � � ����

�� ��� ����� �� ���������� ��� ������ � ���������

������ �������< ����� ��� ���� ����������� �� ���

����� ���� ������ ����� �����5��� �� �� �����

����0�������� (��+ ������� '��� �� ���� �����

�� �� ���� ����� ���� ��� ��� �� ����� �� ���

�� �����"��� ������ � ���� ���� ���I� ���� �����"���

������� , ��� ����< ���� ���������� ����������

������� ������� (:6O�+ ��� N� ������ :�6%� ��� �

���� �� ������ � � � ��� ��"�������� ���� < ��

��� ���� %01� 6� ������ ������ � 5��� � � ��� �� ���

���� � ������� � ��� �� ��� ������ � ������� �����

���� ���� ��� �"������� ����� ��� ������ ��� :�6%

�� �� ���� ���� ������ � �� ��� ��� �� ���� �������

��� SS �������<TT ������� ����� ����� ��� �� ����

���� ��������� �� ���� ������ � �=����� B.%%C�

���������� (���+ � � �� ���� �� ��� ���"� ��� ���� ���

��� �� ���� ��� ������ � �������� �� ���� ���� ����

�� ���������� ��� ����� ����� ��� ���� ��� ��� ���������

B.%1C� !���� �� < �� ����������� ���������� �� ���

������ � ������� � ���� ������ � �� ���� ���� ���

���� �� ��� ����������� � �����5��� ��� �� ����� �-���

�� ��� ��� �� ������� ��� 5��� B.%3C� ,���� ��

���� ��"�������� � ��� � �������� ��� �����������

��� �� ��� �� � �"���� ���� ���� � ������� ����

��� ����� �� �� �� �� ���� � -0: ���� ������ ������

���� ��� ���<��� ��� ������� �� ��� � ������� ������

��� �"� �� � �� �� �������� ������ ���� �� ��� ���� �

�������� �� ��� ��� � ������� B.%3C� 9� � ���� �� <

�� ��� ����� �� � ����������� ���������� �� ���

������ � �� �� ����� 5��� � �� '?6: ���0��� ��������

���� �� ����� ���� ����� ���� ��� ������ � �������

�� ��� 5��� �� ����� ������� �� � �������� ����� �� �

B.%2C� $� ��� ����� �� � ������ � ������� "����

�� ��� �� .�# �� �� ����"�� �� ��� 5���� '�� ������

������ � �������� ������� .�# ��� 1�> �� ������ ��

�������� �� ���� �����=� ��� ��"� ���� ��������� ���

���������� �� ���� ���� ������ � ���� � �� ��"����

*;:� ��"����

! ���� ������

'�� � ������� ��� �� ��� ����� �� ����� *)

�� �� ��"� ���� � ��N� �������� ?���� *) �� ��

���� ���� ��=� � ��� ����� � �"����� ���� ���������

�� ������� �������� �"� �� ���� ��� �� � ���� ��

��-� ��� ��"��������� � � �� ���� ������ ���� ����"� ��

��"�������� *) ������ ���� � ��� � ���� �� �����

� ��� �� ������� ��� ����� �� � � ������� ;��� �����

����� (� �� 3&&& �+ ��� ���� �4������ (� �� %%�2L+

�� �� ����"��� '�� ���������� �� ����� �� �� ���

�� �� ��� ����� �� � ���������� �� ���� ������ �

������� ('�%62� '�6% ��� ��'+ ��� ��� ������ �

������� (�� ��� �� �� �����+ ���� ���� ��� ���� ��

������� ������� ����� ;�� ����� �� � *) ���������

�� �����5����� ��� ��� ���<��� ��� ������� ��

'�%62 ���� 5��� ��� �� ���� �� ������ 96: ������

�� � ��� '�� ���"� ������ ������� � ���� �� .#%

�� �������� � �� R��% ����� � � ������ �� �� ���� ��

���� ���� ��� �� ��� ������ �� ��� ���<��� ���

������� ���� ���� �� ��� ��� ������� �� ������ ���

������ "������� ���"� ��� �������� ��� ��� �����

� ������ ��� ��� ���� ��� :� �� �� � :�6% ���� � ��

'�%62I:� ���� ��� ��� �� ��� � ��� �� '�%62 �� ���� ��

������� ��� '�%62 ���� ��

?������� ���� ��� � ��� ����� ���� ��� 5��� �� ��

��������� (/�/� .&.& ��� 1�#� .&.& ��% �� ������

�������� ���0��� ��� ������,)7� ������"���+ ��� ���

���<��� ��� ��������� �� ����� 5��� �� ��� � �� ��

.&�/ $ ��% �� . 9)��. �� ���� � ������� ���� �

���� ���� ����� � �"����� ���� �� ��� �� 5��� ���

������ �� ���� ����� �� �� ������� >&&�, ��� .&&&�,�� � ����"��� '��� ��� ����� �� � ����������� � ��

������ �-� � � "� � �-���"� ������ �� ��� ������ ��

���� =����� ���� 5��� �� �� � *;:� ��������� ����

��� ���� ��������� ��� �� �� ������ �������� ��

�� �� � �� ���� ��

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .3%G

��"��� � �������

'�� ���� � ���� ��<� �� ����< 7 � *� Q��������8

($��� ,� �� ��� !���� �� :���8� ����+ �� ����

���������� ���������� '��� �� < ��� �� ��� ���� ���

�� ?�:!, (� ��� K�� O!I.G&G&G+�

#���������

B.C 9��� 7$� :� �� '� 9��� :� ������ MD� ?"����

;��� ��� Q� '��� O� K�� � .GGG@1GGE#2/�

B%C :�������� ����� � $���������� '�� K������� '���

������ !������ �� :�������� �� #.0#/� :�������

$����� .GG#�

B1C :��8 9� K�� � .GGG@1GGE#%G�

B3C ������� ,$� '�� �D� D��� � Q�� :���� 7O� 9�� !��

:� :��� � � .GGG@2>#E3&G�

B2C ��� VR� � R7� M����� :!� '��� � �� $��� ���� ;���

.GG2@>>E%.G#�

B>C :���� !� $����� :� :�� ������� !� $��� ���� ;���

.GG2@>#E1G1G�

B#C '������� :� 9���� 9� Q�����<� Q� Q ���� Q� '� �

�� � ?��� ���� :� .GG%@.1GE1%&�

B/C K����� � �� '�<���� Q� '�A� 9� '��� :���� M����

.GG1@%%>E.33�

BGC Q��� Q�� Q��� ,:� �� < :6� Q��� DQ� $�� :'� �???

' ��� ?��� �� 7�" .GG>@31EG.G�

B.&C ����� ���� ;�� �� 7���� � )� ���� ��� $��� ���� ;���

.GG/@#1E%%GG�

B..C :��� �<� D� Q�� '� Q�� � :� K�����<� �� Q������� ��

9<�� Q� �??? ' ��� ?��� �� 7�" .GG&@1#E.G1G�

B.%C ,�"� !M� ��< � � �M� Q �A���<� ��� K�� �

.GG2@1##E%.2�

B.1C ,��������� $� Q����� �;� �� ���� K�� ��<��� :9�

:�����:���� ?��� �� .GGG@31E.&G2�

B.3C ,�"� !�� Q �A���<� ��� � $��� ���� .GG/@/1E.>.1�

B.2C Q������� :� :8<� D� �������� D� :�<�� $� Q�� �

D� 9�8<� �� � ?��� ���� :� [email protected].%3>�

B.>C �������� $� !�� O9� Q ������� :�� '��� :���� M����

.GG2@%2/E%1&�

B.#C :� :,� ,��� 'M� �??? ?��� �� 7�" ;��� .GG>@.#E122�

B./C �� < :�� ���< �Q� ;�� ��� �� < ,6� �� D�� � ?��� ��

9��� .GG%@%.E>12�

B.GC ����� :� M �� '� Q���� �� ����� �� � ?��� ����

:� .GG%@.1#E%/#>�

B%&C Q������� :� ;������ � �� :8<� D� :�<�� $� K�����

���� �� �������� $� � ?��� ���� :� [email protected]&E.>.#�

B%.C $� �� �;� ������� �� ;� �� �;� 7�"��� !$�� :���� � ���

$���� � .GG2@$2.E2�

B%%C ����� ���� 7���� � )� �������� 7?� ���� ��� � ����

7E $��� ���� .GGG@1%E;.�

B%1C :��� �<� D� K�<��� 9� �??? ' ��� ?��� �� 7�"

.GG.@1/E322�

B%3C ����� ���� M��� V� ���� ��� $��� : � :� [email protected]/I

.1GE1%&�

B%2C 7�"��� !$�� $��� ���� ;��� .GG>@>/E.G%3�

B%>C ����� ���� ;�� �� ���� ��� '��� :���� M����

.GG/@11>E13&�

B%#C ����� ,� :����� 9� $��� ���� ;��� .GG&@2>EG&#�

B%/C ����� ���� ���� ��� � 9��� :� ;��� .GG/@.#E.2&#�

B%GC 9 ����� �$� :���� 9� '����� '� '�A� 6� MA��� :�

MA��� :� ��� � $��� ���� .GG1@1%E1>/�

B1&C :��< D6� O����� �� $��� 6�� .G/G@%/E%/&>�

B1.C Q�� �;� Q�� �:� Q��� 6:� $�� :'� ,�� �:� ;�� ���

� ?��� �� 9��� .GG2@%3E.312�

B1%C ;�"���� 7� 6�� ��� �,� 7�"��� !$�� $��� ���� ;���

.GG3@>2E%&%.�

B11C 9���� 9� 6<� :� ��������� Q� Q ���� Q� '� � ��

��� � $��� ���� .G//@%#E2&>�

B13C 6���� :� �������� 9� Q���� �� 9����<� '� � $���

���� .GG%@#.E13#.�

B12C $����� '� ����8�<� :� ���� Q� � ?��� ���� :�

.GG/@.32E%G>.�

B1>C ?������� �� Q��������8 *� $��� ���� .G//@� 3>E%GG�

B1#C ?������� �� Q��������8 *� � � 3&�� $�� O�� ?��� ��

,��� O?, /#� $������� .G/#� ��.#3�

B1/C O���� � �� ?������� �� Q��������8 *� � � M���� ���

:��� �� :���� ��� '�������� �� ;���� :� �� (;:E2+�

�� <� .G/G� �� .22� ./.�

B1GC Q��������8 *� � � $��� ,��� .GG&@>%E.>>#�

B3&C Q��������8 *� $��� : � :� .GG%@23E3.&�

B3.C ����� ���� ���� ��� � $��� ���� .GG>@/&E>11�

B3%C ����� ���� ���� ��� � $��� ���� .GG/@/3E..#3�

B31C ���� ��� ����� ���� K� ���� � 9��� ���� !��

.GG#@� .%.E13G�

B33C �� ���8� �� ���� ��� � $��� ���� .GG3@#>(#+E31#%�

B32C �� ���8� �� ���� ��� $��� ���� ;��� .GG1@>1E.#2#�

B3>C ����� ���� ��� ;��� ���� ��� ��� � $��� ����

.GG/@1#E;%#�

B3#C ����� ���� ��� ���� 7���� � )� ���� ��� '��� :����

M���� .GG/@1./E%2%�

B3/C ?� �� D� 7���� �� Q��������8 *� ,���� ����

.G/G@3E%&%�

B3GC ?� �� D� Q��������8 *� $��� : � :� .GG&@3>E.2/�

B2&C ?� �� D� Q��������8 *� $��� : � :� .GG%@23E33&�

B2.C ����� ���� M��� V� Q��� :;� ���� ��� $��� : � :�

.GG#@.&GI..&E3/#�

B2%C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� .GG>@G>0

G/E1GG�

B21C ����� ���� ���� ��� � 9�� :� ;��� .GG#@.>EGG>�

B23C ����� ���� ���� ��� $��� ���� $ .GG#@>2E1#G�

B22C ����� ���� ���� ��� '��� :���� M���� .GG/@1./E%13�

B2>C ����� ���� ���� ��� ?��� �� ;��� .GG>@1%E%&G#�

B2#C , ��� )� D���� �� �������� 7?� ���� ��� ?��� ��

;��� .GG/@13E#.�

B2/C ����� ���� ���� ��� $��� ���� ;��� .GG#@#.E%G>3�

B2GC , ��� )� ����� ���� ���� ��� K$'6 ����������

������ �� �� ����� ������ �� �� :������� ��" .GG#E3>.�

B>&C ?� �� D� Q��������8 *� '��� ����� 5��� .GG%@%./E%1.�

B>.C ����� ���� '������ Q� �� �� *��"� ����� O� ����� .GG1�

B>%C ?� �� D� ����� ���� Q��������8 *� 9�� !�� :���

� � .GG%@%1>E1G�

B>1C ����� ���� ?� �� D� Q��������8 *� ?��� O� $��� : �

:� .GG1@>GE%GG�

B>3C ����� ���� ?� �� D� Q��������8 *� ?��� O� �

$������� :� '����� .GG3@/E..#G�

B>2C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� : � ���� � $���

.GG>@%3E#./�

B>>C , ��� )� ���� ��� , ��� 7� $�� ��88� �� �� �� � ��

� $��� ���� .GGG@/2E//3.�

.31& -.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#�

B>#C , ��� )� , ��� 7� $�� ��88� �� �� �� � �� ���� ���

$��� : � :� [email protected]/#�

B>/C Q��������8 *� K$'6 $�" !�� �� <���� �� K���

��� ��� ������ '����=�� �� �������� ,��� ��� ,���

� ���� *��"� ����� *Q� %.0%2 :������� � .GG%�

B>GC K�� !:� 9�7����� �O� Q��������8 *� 9� < O�

:������ D��� "�� :������ ,� � �������� ������

���� $E ,��� .GG3@#GE.3.�

B#&C ����� ���� ���� ��� 9�� !�� :��� � � .GG#@3#.�

B#.C * �<��� '� D� ��� :� :��<��� '� Q� ��� 9� ��E !�

�������� :� Q������ ����� �� :�� ��� '��� �� ����� :� ��

(;:#+ Q����� .GG2� �� .2G�

B#%C �� ���8� �� Q��������8 *� ���� ��� $��� : � :�

.GG1@>GE1G1�

B#1C �� ���8� �� Q��������8 *� ���� ��� :��?� "�� %&32�

.GG3� �� .#3�

B#3C �� ���8� �� ���� ��� ?��� �� ;��� .GG3@1&E>&>�

B#2C �� ���8� �� ���� ��� 9� ����� �� ?���� .GG3@%2E132�

B#>C ?���<�� � O� � ?��� ���� :� [email protected]&E#/#�

B##C O���� � �� Q��������8 *� $��� ���� .GG.@� 2%E.3�

B#/C :��"��� �� D���� ?� K�� � .G>&@./>E.&32�

B#GC 9������ $K� :�����" $Q� :��"� � ):� � $��� :��� ��

.G/&@1%E1.1�

B/&C )��<�"� O$� Q� ����"� KK� ��"��"�<��� ?K� ��<�"��"�

$)� � $��� :��� �� .G/[email protected]

B/.C ?������� �� O���� � �� � $��� ���� .GG&@>/E%&%>�

B/%C ?������� �� D� �� 9� Q��������8 *� � ���� 7E $��� ����

.G/#@%&E.3%.�

B/1C K���� 9� :�� �� )� :��<���� Q� � � 3. $�� O�����

?��� �� ,��� (O?, //+� 9����������� .G//� �� #3�

B/3C ���� ��� ����� ���� 9�� !�� :��� � � .GG#@3#&E131�

B/2C $������ �7� 7���� �� 9���� 79� Q����� 9�� � $���

���� .GGG@/2E#2&2�

B/>C ����� �� ���� ��� $��� : � :� .GG&@3>E12%�

B/#C Q����� M� ��� OD� $��� : � :� .GG%@23E31&�

B//C Q����� M� 9�� ��� D7� ��� OD� � � K���� ,���

������ ,��� .G/[email protected]/1�

B/GC 9��� ������ ,� M�8���� M� ��� � 9� ������ O� $��� : �

:� .GG1@>GE.%#�

BG&C �������� �� ,������� O� ;�88� � �7� M�� � M� O�� ����

O� ;��� �� '� 988� M� :���� O� ����� ,?� �??? ' ���

������ :���� .GGG@%#E%..�

BG.C :�����" $Q� :����� ;;� :��"� � �)� ���� ?�� '��

.GG/@3.E3%#�

BG%C �� ��� �K� Q���� 9�� � $��� ���� .GG>@/&E22G1�

BG1C Q�����<� �� 6���� $� Q���� � :� :���<� �� Q �����

Q� $��� ���� ��;��� � ��� 6���� .GG#@>2E>&G�

BG3C Q���� � 9� 9���<� Q� :��� D� $��� : � :�

.GG3@/&E2&#�

BG2C K�<�� � '� Q���� � M� 6�� � 9� $��� ���� ;���

.GG&@2#E%&2#�

BG>C ?��D����� $� :������� QD� $��� ���� ;��� .GG/@

#%E.�

BG#C Q��������8 *� ?������� �� ?��� �� � ���� �) M ���

.GG#@#E,303#�

BG/C 9��< �9� , ���� �7� ?��� ��� � ��<���� �� ������ K��

�� <E �����@ .G#/�

BGGC ,��������� ,� ��"���� �9� 7�"����� M� ,����� ���

,������ ,�� 6�� ,��� .GG&@#GE3.�

B.&&C Q����� D$� M� �� �� ;�� !������ 7;� ?�� � ��� ����

!�" .G#3@$ G(%+E#>/�

B.&.C ;�����- D� 6�� ,��� .G//@>/(.+E1.�

B.&%C O ����� '� 7 ����- D�� D���� ��� ���<� Q� � ,���

���� .GG&@G1(#+E32/.�

B.&1C !����� ,�Q� ?���� ���� �� '���� �� ������� �������

"�� 1&� �� ���E :� ���� @ .G/3�

B.&3C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� .GG#@.&GI

..&E3/%�

B.&2C ����� ���� ?� �� D� ���� ��� $��� : � :� [email protected]/I

.1GE1.2�

B.&>C ����� ���� ���� ��� 9����� 9�� D ��� �Q� 6�:����"�� �� ������� �'� Q���� �)� , ��� O9� :����� ��

�� 9�� !�� :��� � � .GGG@2>#E1G#�

B.&#C 6����� '� 9��<��� :� Q���� $� � K���, ��� :�����

.GG%@.3#I.3/E3G1�

B.&/C � ���� 7� :��� 9�� � ����� � ��� ��������� "��� .�

$�� ��� R� �� ��������� �� ���� ������ K�� �� <E

�����@ .GG&�

B.&GC ;� OV� Q���� 7;� ;�� :� $��� ���� ;��� .GG%@>&E1%/>�

B..&C :8� :9� ������ �� ��������� ��"���� K�� �� <E

�����@ .G/.�

B...C $�������"�� '��� !M ����� �� ��� ��� ��� '�%62 �� :�

�� ���� ������� 7!$9 ����������� 9� ����� ��

!����� .GGG@1GE../2�

B..%C ��������� Q� '� � �� ��� � $��� ���� .G/>@%2E;1&>�

B..1C ������ �� 9;��� 7� � ,��� ���� //%@3%E.G>2�

B..3C $� ,D� :������ Q� � ?��� ���� :� .GG%@.1GE

.G2>�

B..2C '� �� O ��� �"�� !� )�� $� ���� :��� :��

.G>>@.2E>%#�

B..>C '� �� $�� ���� ��� ��=�� ��������� �� K��

�� <E �����@ .G#3�

B..#C 7��� ���� D� :���� �!� O��� Q� $��� 6���� .G/2@%3E3G&�

B../C 9Q����� Q$� :����� K�� '��� :���� M���� .GG>@%G&I

%G.E33&�

B..GC 9�� $�� :�� Q$� ����� �9� Q���� 7;� !��� �� 7$�

) ��� !K� 9�� !�� :� :��� � � .GGG@2>#E3#1�

B.%&C Q������ K� ����� ���� ���� ��� : ��� ��� ������

��������� %&&&@.%2E3%3�

B.%.C ����� ���� ���� ��� ��� � $��� ���� .GGG@1/E;1G1�

B.%%C :���� �� :�������� ���� ��������� 6���� .GG3�

�� 13�

B.%1C 9 � <� :�� :�����:���� '����� .GG>@1GE/1�

B.%3C ����� ���� ���� ��� 6����� 9��� .GG/@GE%2.�

B.%2C ����� ���� ���� ��� ?�9!: TGG :� ��� �������� $���

: � :�� �������� �� ����������

-.�. /��� �.*0. 1��� 2 ����*���� ���������� 34 5"$$�6 �3�#7�3#� .31.