Fabrication of microfluidic systems in poly(dimethylsiloxane

14
Fabrication of microfluidic systems in poly(dimethylsiloxane) Microfluidic devices are finding increasing application as analytical systems, biomedi- cal devices, tools for chemistry and biochemistry, and systems for fundamental research. Conventional methods of fabricating microfluidic devices have centered on etching in glass and silicon. Fabrication of microfluidic devices in poly(dimethylsilox- ane) (PDMS) by soft lithography provides faster, less expensive routes than these con- ventional methods to devices that handle aqueous solutions. These soft-lithographic methods are based on rapid prototyping and replica molding and are more accessible to chemists and biologists working under benchtop conditions than are the microelec- tronics-derived methods because, in soft lithography, devices do not need to be fabri- cated in a cleanroom. This paper describes devices fabricated in PDMS for separa- tions, patterning of biological and nonbiological material, and components for integrated systems. Keywords: Microfluidics / Rapid prototyping / Poly(dimethylsiloxane) / Review EL 3710 Review J. Cooper McDonald 1 David C. Duffy 2 Janelle R. Anderson 1 Daniel T. Chiu 1 Hongkai Wu 1 Olivier J. A. Schueller 1 George M. Whitesides 1 1 Department of Chemistry and Chemical Biology, Harvard University, Cambridge, MA, USA 2 Gamera Bioscience, Medford, MA, USA Contents 1 Introduction ...................... 27 1.1 Motivation behind the development of microfluidic devices ................. 28 1.2 Historical background of the development of microfluidic systems ............... 28 1.3 New materials for the fabrication of devices . 29 2 Fabrication of microfluidic systems in PDMS . 29 2.1 Soft lithography .................... 29 2.2 Rapid prototyping .................. 29 2.3 Replica molding ................... 30 2.4 Sealing ......................... 31 2.5 Surface chemistry .................. 31 2.6 Design of microfluidic systems .......... 32 3 Microfluidic systems in PDMS .......... 33 3.1 Separations ...................... 33 3.1.1 Miniaturized CE systems ............. 33 3.1.2 Sorting of cells .................... 33 3.1.3 Sizing and sorting of DNA ............. 33 3.2 Patterning of biological and nonbiological materials on substrates .............. 33 3.2.1 Patterning of cells and proteins ......... 34 3.2.2 Patterning of nonbiological materials ..... 35 3.3 Components ...................... 36 3.3.1 Cell-based biosensor ................ 36 3.3.2 Detectors ........................ 37 3.3.3 Microfluidic switch .................. 37 4 Conclusions ...................... 38 5 References ....................... 39 1 Introduction Microfluidics, the manipulation of liquids and gases in channels having cross-sectional dimensions on the order of 10±100 mm, will be a central technology in a number of miniaturized systems that are being developed for chemi- cal, biological, and medical applications. These applica- tions can be categorized into four broad areas: miniatur- ized analytical systems, biomedical devices, tools for chemistry and biochemistry, and systems for fundamental research. In order for these systems to be successful, they must have the attributes that are required for the par- ticular application ± e.g., optical properties and surface chemistry ± and they must also be fabricated in materials that are inexpensive and rugged and use processes that are amenable to manufacturing. Here, we review the design, fabrication, and applications of microfluidic devi- ces in one material ± poly(dimethylsiloxane) (PDMS) ± that shows particular promise in the fabrication of systems for biological and water-based applications. We begin by discussing the motivation underlying the development of microfluidic systems. We then describe the fabrication of microfluidic systems in PDMS by casting the polymer Correspondence: Dr. George M. Whitesides, Department of Chemistry and Chemical Biology, Harvard University, 12 Oxford Street, Cambridge, MA, 02138 USA E-mail: [email protected] Fax: +617-495-9857 Abbreviations: CAD, computer-aided design; PDMS, poly(di- methylsiloxane) Electrophoresis 2000, 21, 27±40 27 WILEY-VCH Verlag GmbH, 69451 Weinheim, 2000 0173-0835/00/0101-0027 $17.50+.50/0 General

Transcript of Fabrication of microfluidic systems in poly(dimethylsiloxane

���������� � ������ ���� ������� ��������������������������������� ���� � ������ ���� ���� ����� ���� � � ����� � ������� ������� � ����� ����� ��� �������� � ������������ � ������ ��� ��� ��� ��� ���� ��������� � ����� �� � ���� ���� ����������� ���� � � ���� �������� �� �� �� � �������� � ���� ���� �� ����������� ���� �� ����������������� �� ���� � �� ���� ������� ��� ������ � ���� ��� ������ ����� �� � ��� ���������� � ����� �� ���� �� � � �� !���� ���������� "�� ������������ ��������� � � � �� � �� ����������� � ����� ������ � � ��� ��������� ������� � ���������� #��$��� ��� ������� ��������� �� � � �� ������������������� ����� �� ��� �� ���� ������� ���� ���� � ��� � �� � � ����� � �� �� ������ "��� � �� ������ ���� � ���� � �� ��� ��� �� � ������� � ������� �� �������� � � ����������� � � ��� �� � ��������� �������� � �������

��������� ������������ % & �� ����������� % ���������������� �� % &��# '( )*+,

������

�� ������ �� ����!

���� �� �"

������ �� #�����!

���� $� ��� !

%�&'�� ( !

)������ �� #� *�� �����!

+���&� �� (���������!

+�� ����� �� �������� � ����� � -�������. �� � /���������� ������ �0� / 012 �� -������������� �0� / 0

������

+ 3���������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 1*+�+ ����� ���� ���� �� ������� ��

����������� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � 14+�1 .������� � � �$����� �� �� �������

�� ����������� ������ � � � � � � � � � � � � � � � 14+�) 5# � ��� �� ��� �� � ���� ���� �� ���� � 161 � ���� ���� �� ����������� ������ �� ��� � 161�+ ��� ������� ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 161�1 & �� ����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � 161�) &���� ������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ),1�7 ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )+1�8 ��� � �������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � )+1�9 ����� �� ����������� ������ � � � � � � � � � � )1) ����������� ������ �� ��� � � � � � � � � � � )))�+ � � ����� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )))�+�+ ���� ����: �' ������ � � � � � � � � � � � � � )))�+�1 ������ �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )))�+�) �:��� � ������� �� �50 � � � � � � � � � � � � � )))�1 � ������� �� �������� � � ����������� �

� ��� �� �� ������ �� � � � � � � � � � � � � � � )))�1�+ � ������� �� ���� � ������� � � � � � � � � � )7

)�1�1 � ������� �� ����������� � � ��� �� � � � � � )8)�) ��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )9)�)�+ ����� � �������� � � � � � � � � � � � � � � � � )9)�)�1 ������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )*)�)�) ����������� �#���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � )*7 ����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )48 &����� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � )6

! ,���� ����

������������� �� � ����� ���� �� ��!��� � � �� ���� ���� � ���� ������������ � �������� �� �� ����� +,;+,, ��� #��� � ���� � ��������� �� ����� ������ ����: ������ �� � � ���� ���� ��� ������ �� �������� �� � ��� � ����� ������ "�� ����� ������ � � � � �����: ���� ���� ��� � �< ���� �����: � ����� � ������� ������ � ����� ����� ����������� � ������������ � ������ ��� ��� ��� ��� ���� 3� ��� ��� ��� ������ �� � ������������� ���� � � �� �������� �� � � �!��� ��� �� � ������� � ����� ���� ; ����� ����� � �������� � ���� ��������� ; � ��� ���� ��� � � ���� � �� � ��� ���� � � �������� � ���� � �� ������� �� � � �� �� �� � ��� �������� .�� # ���# ������� � ���� ����� � ����� ����� �� ����������� ����� �� �� � ��� � ; ���������������� �� ���� � ;�� � ���#� � ������ � ������ �� �� � ���� ���� �� ��������� �������� � � # ���� � ����� ������ = ���� ����������� �� ����� ���� �������� �� ������� ������������� ������� = ��� ����� �� � ���� ���� ������������� ������ �� ��� �� � ����� �� ������

������������� ��� 2��� �� =������� �� ����� ���������� � ����� � -������� . �� � /��������� +1 >���� ���� � ������ �0� ,1+)4 / 0-.����� �#������?��#������� �� ������� @9+*�768�648*

#������������ �# � �������� � ����A / �*� ����������������� ��

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, 1*

B =3('C�D�. D�� � 2��.� 9678+ =������ 1,,, ,+*)�,4)8%,,%,+,+�,,1* E+*�8,@�8,%,

+�����

� ���� ���� �� � � ��� ��� �� � �� ����� ������������� ���� = ��� ��: ������ � ���� � �� ����� �����!� # � �� � �� ����������� F+� 1G� #���� ��������������������� ������� � ��������� ������������ ���� � ���� ������� ���� � ���#� ����������� ������ ��� ���� � � ���� � � ���� � ����������� =��� ������ ����� ����� �� ����������� ������ ����� �� � � � �� ���� �� �� � ������ � �������� �� �������� � � ����������� � � ��� ��� � ���������� ��� ����� � �������

!�! ��������� ����� ��� ���������� ������� ���� �������

����������� ������ � � �� ������ � ��� #� ����� ����� �" �� +�� ���� ����: ���� �� ���� ��� �� �� ��� � � � � �� � �� ������� �������� �� � ���� ��� ��� ����� ��� � ����� �A �� � ��� �� � ������A ��� ����������� �� � ���� � � ����A��� ��������� �� ������ ��� � ����� ����������A ����� � �� � ���� ��������A � ���� � ���� �������3� ������ ��� ����� � �������� �� ��������� ��� ������ � ����� ��� � ���� ����������� �� ����� � ������� � �� ��: � ���# ��������� �H +, ���,�+ ��%�� ���� � � � �� � ���� ��� F)GA �� �� �� ��� � � ������� ���� �� �� � � ��:� � #��� ����� �

� ������� � ���� �� ������� ���� � �� ��� ���� ������� ���� � �� �� ����� ���� �� ����������� 3� ������ �� ��� �� ���� ���� � ��������� #����� ���� �� ��� �� ��: �� �� ���� ��� �� �� �� ����� ��� � $ ������ ��� � ����� � ���������� �� ����$ �� ���� � ������� � � ��� ������� �� �������� �� ����� �� �� ���� � F7G�

!�" %��������� ���'&�� � � ��� ����������� ������ ���� �������

"� ����� ����������� ��� # � ���� ����: 2� ����� � � ��� /�������� �� �� +6*,� F8G� 0����������� ���� ����: 2� ����� # � ��� ���� ��������� ���#�� �� ������ � �������� ���� ��� �������� � ������� � �� ������� �� ��������� ��� �� � ������� ������ ������� �� � ����������� ���� ��� �50 � �������� �� !���� ��������� �� �' � (�� ������������ ������ �� � � ��: !���� ��������� ����� ������ ��� �� ���� � ��� �����< ���� �� � �: F7� 9;6G� . ������ F+,;+8G� & ��� F+9;1+G� � � ���� F11;18G� ���� �� ��� ��� ������ #� � ���� � �� ���������� ��� ���� �������������� ; ������������ ��� � ������ �� ������� � �� �� ; �� �� ��� ����������� #� � �� �� � ������ ����� ������ �����#��� �� ����� ������ � ��� �A �� � � �� ������

14 I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

$���� !� ������ � ����� ����� �� ����������� ����

0� 0����� ����

���� ����: � ����� � ������2������ � ��������� & ��� ���� ����� �!������ F11� 1)� 18G� �50 �������������� ������

� ���� � � ������ ��������� �� �������� �� ��� ����� ���� �� �������#��� �50 �� ��

����� �%�������� � # �� � ��� ' ��� ������ � ������� ���� �� � ������ � ������A ��� � ������A��� �

������ � � ����� & �� � ����� �� ���� � ����� ����� F*1� *)G� ����� �� � � � ��������� � �� ����������� � F+7� 14� *7G �� �:�� ��� �� �� F1+G� ����������� � ������� � ��� �������� F8*G

.��� ���������� ������� ������ ���� � �������� � �� ���� ��� ����� "���������� � �� ��F4� *8G

'��������� � ������ �� � �� � ����� �� ��������� � ���� ��� ���� F*9G

-����� � ����3��� �� �� ���� ����� ��� � � � ��� ����� F)9G� � � � ���������� ��� �� � �

���������

"���� ��� �������� � ����������� � ����� � ��� ��� �������� ������ ���� � �������� F**G ��� ��� � ���� ������� ���� �� �������� � � ���� ��� ������ � ����� F+8G0������� ���� �� ������ ���%�!���� ��& F6� +*� )+� *4� *6G� &"���&

����� ��� ��� ��� � �� ��� ����� #��� #���� �� ���� �� ���# �� ����� ���� �� '>� � � ��� � ���# �� �� �� �� ���� F4,G� ����� �� �������� ���� �� ����� � � ������ '�:��������� �-�������� ������ �������� �� � ����� �� � ����� �������� � ��������� ����� �� ���� �� �� ������ �� � ��� ������� �� ����� ������� F8)� 84� 4+G

�� � �� � �� � �� �� �� !� �� �� ������%/D ����� ���� �������� ���� � $��� �� ������ �� ��� ������ �� ��� ����� � ������� 2� �� �� �� ��� ���� ��� �� �� ���� ��������� ����� � �� # ��� � ��� �������� �� ����� � �� �� 0������� � ��� ��������� �� ���� ������� ��� �� �� �������� �� �������� �� ������� ��� � ����� ��� � ��� �� �!��� �� � �� ��� � � �� �� ����� ���������� "�� � ���� ������� �������� ��� �!��� ���� ���� �� �� ���� ����� 2� �� �����: �������� ��#��� � � ��� �� ���� � �� � ����������< ��� ������ �� ��� �� �� � ������������������� ���# �'>��� � �� �� ���� � � ����� � �� ������� #���� �� �� �� ���� �� � �� ������� �� �� ����� 2� �� ������ � � ���� ���� ������������ #�� ���� �� �� � ���� � �!�������50 F11;19G� ��� #�� �� #��� �������� ��������� � � �������

!�0 1�� ��������� �� ��� ��������� � �������

��� �� ��� #��$ �� �� ���� ��� � � �� � ���� ����� F1*;)*G ���� �# ���� �� � ��� ��� ���� ���������� F)4;78G� �������� �� ����� �� �� ������� ��� ��� � ��������A �� ���� � � � ���� �� ������� �� �������� � ��� �� � ������A � ���� � � �� � ���� ��� �� �� ����� ������ "� �� � ��� �� �� ������� � �� � ��� � � ���� � � $� ��������� ���� ���� � �������� �� � #��� �� �� �� �������A��� � ���� ������ ���� #��� ��� ��� ������� � ��#������ � #���� ��� ��� ������A � ��� � ��� ��������� ���� #��� ���� ���� �����

>�� �#� #��$ �� ������������ � � ����� �� ������������ � �� ��� � ��� �� � ������ � ��� ���� �� � ���� ���� �� ������� ��� ������ ��� �� #����������� � � ���� �� !���� ��������� ��� ����� ��� ����< ��� � ���� �� �� ������ �� � � � � ������� #��� ���� ������ �� ��� �� ����� ������A ���� ���� ����� ��� �� ��� ��� �#� �� 14, �� �� �� � � � ����� ����� �� ������ ����� ������ /D%D�� ������ �� � ����������A ����� �� ���� � ��# ���� ����A���� �� �� ��������A � �� �� � ���� � � � ������ �������� ��A � ���� � ���� �� � � � ���� �� � � �A��� �� � � � ���� ��������A ���� �� � � � � ���������� ����� � � �� �� ���� � ��� �� �� � $��� ������� � �� � � = ��� ���� �� #��� �� ���� �� �� �� � � � ����������� ��� ������ �� � �� �� �� �� ���� ������ ��� ��� ���� �� ����� 1�7�A ����� ��� ���� ��������� � � � �������� �� � ��� ��� #������������!��A � ������ �� �� �� �� � �������� �� #��� �������� �� ������� ����� � � ���� ��� � �� �� �� ������� � � ���� �� ��� #������ � ���� ��� ��������

" ���������� � ������ ���� ������� �/ �*

5# ����� � � ��� �� ��� � ���� ���� ����������������� � � �� �� ������ �� � � �� �� ����� ������ � �������������� �� ������ ������� �� ������ �� ���� �� � ���� ���� � ���� � #���� ����� � � � ��� �� #��$��� ����� � � �� �� �� ���� � � ���� ���� ��� ��� ��: � ������� � �� � �� ������ ���!��� ���������� ����� ��� ��J������ �� � ����� ��������� 3� ���� ������ # ������ ����� ��� � ���� ����� �� ���� �� ��� � ��# �� ��� ��� �� ������� � ���� ���� ; � ���� � ���� � �������� ; #������� ��� � � �� ���� �� ���� �� ��� �

"�! *�� �����&�����

>�� ���� �� �� �� � ���� ���� �� ����������� ���� ��� � ���� ���� �� �� �����!�� �� ���� ������� ��� F1�79� 7*G� ������� ��� � �� ����������� � ����� ������� ��� ������� ��� �� ���� �� ��������������� ���� ������ ��� ����� ���� � ����� 0� � ������� �������� #����� � ����� �� � � ������ �� �� ���� � ��� � �� � ���� �� ���� ���� "�� ����� � � ���� � �������� �� � ������ ���� �� �� ����� �� ������� �� #�� �������� ���� ��������� ��� �� �������������� �1,;+,, ���� "�� ��� � �� � ������ ���� �� ���� � ��� ��� = �� ��� �����!�� ���� � ���� ���� �� �� ���� �� ���$ �������

"�" ����� ���������&

& �� ����������� ����� #��� �� ���� ���� ��� ��� �� �������� � ���� ��0�� ����� �� 0�������������� ������� � �� � ���� ��� ������ �������� �� �� ��� ����� "��� �� ��� ���� ���� ��� ������ �$ �� ���� �� ������������ ��� �� ����� ������� ���� �� ���������� �� ������� # �� ����� +�� =��� �� ���� ������� ���� � K� ���LA �� �� �� ��� ��� ����� �� ��� ����� 0 � ��� �� /�4 ����������� �������� �� ����� F74G �� ������� # �� �� �� �� �� � � �� ���������A � ���� ��� ��� ������ ���� ����� �� $��� �� �� ��� ������� # �� �� ���� �� ����������� �� ���� ���� �� # ��� &���� ���� �� �� � ��� ��� ��� �� � � ������� ����� �������� � �������� ��� ����� � � ������ ��� ��� �������

"� � ��� �$ �� � �� ����������� �� �� ������� �� ��� � ���� ��� ���� �� ����� � ���� ����� � ������ ���# � � ���� � �� ����� �� � �� ����� � �$�� �� ������������ ���� ���� "� ����� � �$ �� � ���� ��� ���� ��� �� � � � 1,;+,, ���� ��� ������� � � � � $ #$� ���� � �� ����� �� ��� ���

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ 16

"� � #� �$ �� �� � �� ��������� �� �� �� ��� ���� ����#� �M 1, ��� �� � �� � �� ����� � �$ �H 8,, ����0���� �� �� � ����� #��� ����� ��������� �M ))49��� #��� �� � �� ��: �� � ���� ��� �� �� #���� �� ������������ "� �� ��� �� � ���� �� � ��� ������� ����� ������ ��#��� � ��� ���� 8,;+,, ���#���� �� #����� �� � � ���� �� � �� ������������ ��� ����� �� � �!��� � ���� �� ��� �� � 1, ��� ������ �$ �� �� � ��� "� ��������� �� �� �� ��� ����� ��� � � �� �#� # ��� #��� ����� �� ����� 1��'�������� ���# �� � ���� � �������� �� ������������ ��������� ��� 8, � 8, �� �� ���� ���� �� �� �� � ����� �� ��� ����� � ���� ��� #��� ������ ������ ������� F+G�

"�0 ������� �����&

>�� � ��� �� � ���� �� # ���� �� ���� �� ��� �� ����� ������� &���� ������ �� ������ �� � �����

�� �������� � ���� � ��� � ��� ���� �� �������� �� �� � ��� �� ��� � ���� ���� �� �� � ��� �� � � � ���� �� �� ����� ����� )�� "� ��� ����� �� � ��� � 9,�� ��� + �� � �� ����� �� ����� ���� �� � ���� 0���� ���� ��� �� ���� ��������� ��� ����� � � � �� �� ����� ���� ����� ������� � �� ���� �� ����� �� �� � ��� ������� ��� �� �� ��� � �� �� ����� ����� 0�������# �� � ���� ����� �� ���������� ���� � �� ������������� � ���� � � � � ���� � �� � �� �����!���������� ������ �� �������� ������������ �� �� �� ����

), I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

��& �� !� ��� ��� � �� ����������� � ����� ������� �� ����������� ���� �� ��� � 0 ���� ��� �� ����� �� �� � �� �0� ����� �� �0� "��� ��� �� ������� �������������� �� ��� ����� �-� "� �� ��� ������� ���� � �� ������ �$ �� ���� �� ������������ ����� ��� ���������� # � �� ���������: ����������� �� ������� ���� �� � ���� � � ���� ��& �� "� � ����� ������ ������� �� �� 8, � 8, ��1

�� ���� �� ���� ����: �' ��� �� � # � �� � �������� ��� � ���� ������������ ���� � ���� "���� �� � ���#� ��� ���� ������� �� �� �� ���� "������� �� � ���#� ���� �� �� �� ���� "� ��������� �� �� ����� � �� # ��� ���� ���� �� ����������))49 ��� �� �� �� ��� ���� �� �� �� � �� �� ������ "��� � �������� �� ��� �������� �� ������ ������� &����� ���� F+G� #��� ����������

������ � � ������� �� ���� � � � ��� ��� "� ������������ �� �� � ��� �� �� ��������� � � �� ���� ��������� ���� � ���� � ���� �� � �� ����� � � ��� �� � � � �� �� � ��� ������� #�� ����������� ��� �� � �� �� �� �� ���� �� ������A ������ �� �� � ��� ����� �������� ��� � ������ ��� ����������� �# ���� � ��� ����� ��� ����������� ��#��� �� � �� ������� ���� � �������������� � ������ �� � $� ���� ��� �� ����� ��� �� ��� � ������� #�� ��� � ��� ����� ����� �� ��� �� ������� �� ��� � �����

"�2 *����&

������ ������ ��� ����� �� � ���� ��� ��� ���� ���� # ��� ���� �� ��� ����� �� ����� ������ ����� �� �� � ���� � ������ �� ������ # ��� "����� � � ��� � � � � ��� � �� ��� �� ���� �� #���� ������ # ��� � � ���� �� � � � ��� �� �� ������ ��� �� ���� ������ �� �#� # ��< ��� �������� ����

���� � � ���� #��� �� � ���� �� � ���� ��������� � ����� �� ��� �� ������ �� ���� ������ �� ���� ���� ���� � �� �� �� F76G� &������ � ���� ������ �� ����� �� ������ � � � ������� �� ����� ������������� K�� �L ���� � � $��� � � � = �� ���� �� #��� �������� �� "��� ���� �� � ���� �� # ������� � � �� ������� � ���� ���� ���� ����� ����� �� ��� ����� �� � ���� � �� $� ���� ������� � �� 3� �� ���#����� � ���� ������� �M 8 ���� �� �� � ���� ����&��� � �� �� ��� � �� ����� �� �� ���� �� ������ � ��� �� � �� ���� � � ����� ������� ����#������ �� ���� �� �� ��� �

��� �������� �� ���� ����� �� ;>; ���.)�1;�'������� ��� ����� �� � �� �� �� ����������� � ������ �� �� ���� �� = ���� �� �� �� ��������� ��� ��� ������ � ��>.� � �� ���� �� ����������� � ���.)� F76;8+G� = ���� ��� ��� ��� ��������� ����� #��� ������� � ������ �>.� �>>.�$���� �� ����� ���� � #�� �� �#� � ��� �������� ���� ������� � ���� ��� ��� ��� � �� ��� ����� ����� ���� ��>� � ���� ��� ���� �� # ��� "����� ��� ���� ���� �� � ��� �� ������ ��������� � �< �������� �� �� $ �� � � ������ �� � ���� �� �� ���$��� F+� 76G� "� � � #����� �� ������� �� ),;8,���� 3� �� ������� �� � � ��� ���������� �� �� ���� ���� ����� �� � ��� ��< ��� � �� ��� �� �>1� !� ��:�������� ������ ���������� ���������� � �� ��� � ����� F+G� "��� ����� ��#��� �� ��� #��$ #��� ���������� ����� � �� �������� ������������� ����� ��� � ����� ���� � F+G�

"�3 * ���� ���������

>� �� �� ���� ������ �� ����� �� �� ������� �� � ������� � � ��� � ��� ��� �� ���� � ���������/������ ��� ������ ���������� ���� ���� ���� �� ���������� ��� � �������� �� #� #��� !���� ���������� � ���� �� �� �������� �� �������������� ������ � ���� ���� � ������� '������� �� �� �� ��� ����� ��#��� ���� �� ���� ����������� �� �� �� �� ����� �� ��� ��� �������0!���� ��������� ��� ���� #� ��� ����: �� ������ 3� ������ �� ����� �� ��� ��� ������ �� ��# ��� �� �� �� ���� ������ ����: �� ������ � �>. � �>; @ .@� �� �� #�� �� ���� �� #��� ���� � �� � ��� ����������� ������� ������ '>� ��# �� �� � ��� �� � � �� �� ��� � ���� �� :�� ������������ ��N'�� "���� ����� �� �� �� ���� � � �� �� ����� �� �� �������� �� ���������� � �� ����� �� �� � ����� �� � ������� ��� � ��� ��� ������� ����� ���� �� �� ���� � F+G� 0�������� �� �� �� � ����� � ������� F+G � ��� ��� �� ����� �� ������������� �� F76� 8,G �� ����: ��� � � ��� ����� �� ����

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ )+

��& �� 0� ��� �������� ����� ������ �� ������������ ����� �0� 0 � ��� �� � ���� � �� � �� ������������� �-� ����� � �� � �� �� � ��� �� ��� ���������� ��� "� �������� �� � �� �� �� � ��� ����� ��� "� ��� ����� �� ���� ���� �� � �����'� '������� �� ����� � � ������� � � ��� � �� � �� �� �� � �� ���� �� �#� ���� �� �� ������� � ����� �� � $� ������ ��������� � �� &����� ���� F+G�#��� ����������

� � �������� �� ��� � "� ����: ���� � �� ��� �� ���� �� �� �� � ����� �� ���� ���������� ��H), ���� O���� �� ����: ��� �� ���� �� #��� ��� � ��!��� ��#��� ������� �� ���� � ������� ���������� �� ������ �� �� ����: � �� �� ��$��#� F+� 76�8+G�

"�4 ���& � ������ ���� �������

' �� ����� ���� �!���� ������ ��������� �� ���� ����� ���� ��� ��J������ �� � ����� �������� ����� ������� � ������� ����� "� ���� ��

��� ���� ������ � $ ���� ������ ��# �� � ���� ���� ��������� � ��# �� ��� � ���� ���� ���������� �� �� ���� 3� ��� �� ��������� #��� �#������ � ��� � ��� �� ���� ��� � ��� ������� �� ���� ���� � � � �� $ �� ���� ������ /�� ���'>� �� ������ �� �� �� ��� ������ ������� ���#��$�� � � �� ���� ������ ������ � ��� �� �����F81G� ��� �� � ������ � ��� � ��� '>� � ������������� ���� ��� ���� � � � � �� �� �� #��� � ����������� � � #����� � ���� ������� 3� ������� ���� ��� �� � �������� ���� � ����� ����$ � ��� � �� �� �������� � ���� ������

)1 I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

��& �� 2� �0� '����������� �� �� ������������ �� �� �� � � �� ����� � ������ ���� �� "��� �� � � # � ���� �� �������� �� �� ���������� �� ����� ����� �� �� ������ ����� #��� ,�8 !� ��8�� ��������������� ����������� ��� � ��� #���1, !� �� ���� ������ "� � ��� ��J�� # �) ��%�( �� ����� ������� "� ������� ����� # �18 �� "����+61 �� ������� �. 4�7� 3� �� ���� ����:�' ��� ������ �� ����: ��� �� ��� # � 71 ������ #��� ������������ � � �� 8, � 8, ��� �� � ���� # � ��� )8 �� ���� �� ����� �� ��J������ ��� �� � ���� ���� � # � 8 $D� 3� �� ������� � �'�-�$� � �%0�' 8,,,A �������� �� 8, �� 3� �������� � ���� �� # � )* �� ����� �� ����� # � ), ������ �� ����� �� ��J������ � �� �� � ���� ���� � # �+8 $D� "� ��������� ��� �� #��� �� ��� ������� � � ��� ��� �� �� ��������� ��� �� #��� ��������� � ���������� �-� '����������� � �� �� �P�+*7%���333 �50 ���������� �� ����� ����� � � #���C>C>�+ ��������� � �� � � �� � ����: ��� �� ��� �� � � ������������ � � �� 8, � 8, �� � # � 14 �� ����� "� � ��� # � ��� 1+ ������ 9 �� ��J����� ������ � �� �� � ���� ���� � # �8 $D� "� �� � ���� ����� ���� �� 7, �� "���� 7, ��

���� ��� + �� 5 1'�"0� +, �� 6� ���� ������ �,�*8Q #%� ������������ ������� ��. 4�� "� �50 �������� ���� # � +,, ��%�(A �� � � � �� �� C>C>�+ � ���# � +<+,� "��� ���� ������� ���� �� �50 � �� �� ��� ����� ���� ��������� �� �� �� � ���� F41G� ��� #����#� ������� ����� #� ��� �� �� ��� �� �����#� �� ����� ��� �� #��� ��� ���������� "� ������ �� � � � ��� �� �� �� ���� �� ���� �� 0 ������ F+G�

0 ������ ���� ������� � / �*

�� � ����������� ������ �� ��� � � �� ������ ���� ����� ����� � � �� �� �� � ������ � �������� �� �������� � � ����������� � � ��� �� �� ������� �� �� ����� �� ���� �� ��� � � ��������� �������� � � ����� � ������� = ������ �� �� ��� � � �� �����

0�! *���������

0�!�! ����� ��5�� �- �������

"� ����� ���� ����: �' ����� �� ��� # � ������ '���� ��� �� ��� F8)G� "��� ����� �� �������� ��� ��� �� ������� ���� �� ������� � �� � ��� ������� ������� "� ��� � � �������� � ���� �� � ��� �� ��� � "� # ��� �� �� �� ��� #� �������� � ������ #� ���������� � ���� ��A�� �� ���� ���� ������� � ���� ��� # $ '>�� � �� ����� �� �� ������� ���� � ��# �� �� ��� "�� #��$�� �� ������ ������ � ���� ���� � � ���������� �� ����� �� �50 � ������������ �� ������ "�� ��� ����� ����� �50 ������� �� �� ������������ ������ ������ #��� � �50 �������� 8,Q ������� "� �� ��� � �� � �� ������� # � �� � �� ���� � �� ������ ���� �� �� � ����

= ���� ��� ��� ��� �' #��� ������������ �������� ���� ���� �� � �� '���� ��� �� ��� F+G� "���� # � � ���� � �� ����� � �� ����������� � # ����������� � � �� ����� �� �� ��� ����� = � ������������ �� � � ����������� � �� ���� ���� � ������ �� �� � �� ����� �N'� � �50 ����������� �� ����� ����� ������ � ����� ����� 7 ���#� ������������ � �� �� �� � � �� � ������ ����� � ��� �� �� ��� ����� 0 �� �� � � �� ���� ����� ������� ��� �� �� �������� ��� ���� ������� ���� ������ F87� 88G� "�� �� � ����� �����:��� � ���� � ������ ����� �� ��� � ��� �� �� � ����� �� ���� ��� � �� ����� �� �� �������� ������ � ������ ����� ���� �� � �� �� ��� ���� #����� ��� ������� ��� �� � ���� �� � ������� �� ��� �� :#������� � �� � �� �� ������� ������� ��� �������� �� �� ������ � ��� ��� ���� ������ # ��� F89G� ��� �� �� � ���� �� �� �� � � ������:�� ; ��������� �� �� ������ ; �� �� ����#� �� � #��� �������R� ������ ���� ����� !� ���� �� ����� �� � $ ��� ��������� �� ��� "��������� ���� ��� �� �������� �� �� ����������� �� ������ �� �� # ��� �� �� �� ���� � ������ ������� �� '>� �� � ��# � �� ��� "� �� � ������ ��#��� ��� �!��� �� ����� �� :#����������������� �� �� ����� F89G� "� ������ � ���� �� ��

�� �� � ���� �� ���������� �� ����� �� �50 ����� �'>�� "� ��� ���� � �� �� �� � � ������ � ����� �� �������� �� �� ���� ��#� ���� -���$ �� ���� �� ����� ��#��� #� �������� �� ���� ���� ����� # � ���������� � ��

0�!�" *����& � �����

- $ J�� �� ��� F8*G �� ��� ��� �� ���� #��� ��������� "�� � ���� � � ���� �� �� �� �� ���� �� � ������ ������ �� � ����� �� ��: ����������� ����� ������ �� � ���� ��� � � �� "�� �� ��� �� ������ � ���� � �� �� �� � ������� ���� #� ��� ���� ��� �� ���� ����� /���� ���� ���� ��� ��� � � �#� �� ��� �� #��� ���� ����� "����������� � �� ��������� � ���# �� � �� ����S � �� �������� �� � ���� �� �������� �� ��: � ���� ������������

0�!�0 *�5�& �� �����& � 1#

���� �� ��� F84G ���� ����������� ��� ��� ����:��� � ������� �� ���������� �� ����� �� �50 � ��� ����� �50 ������ ������� "� ��� # ���� � ���� ������� � ��� � � � ���� � ��������� 8 �� +,, ��� "� �� ���� #� ���� ) �� �� � ����� #� ���� �� �� �� +,, �� ������� �� ������ �� ��� ���� � ����� � ����$��� �� �� �����"�� ��� �� �� ���� ���������� �� �� $��� ���� ���� �� ���� .��� #���� ������:� ��� �� �� ��>� � ����� � � � �� ��� �������� �� �� ������ ����� "� ������� � � ���# �� � �� � � $�#��� �� � � ���� "� ��� ��: �50 �� �� � ����� ��������� �������� ���� � ����� � � �A ������� � �50 ������� �� � #� ��� � ��#� 8,, � 8,,, � ������� ����� � �� �50 # � ����������� �� �� ���� �� ������ �� � ���� �� ����� �'>�� 3����� � �50 ������� #� ��� � ���� �� ������� �� � ���# ������� �8 ��� �� �� �� ����"� ��: �� �� ������ # � ����� �� �� ��������� �� �� ���������� �������� �� ����� �� ������ � �� ��������� �������� ������������ �� �������� ����� �� � � � ���� # � ��� � � �� �������� ���� �� �� ���������� �� ����� ������� ���$�� � � "�J�������A �� �� ���� ���� ������ ���� �� �#� �������� ��� ���� ���� "� �� ��������� � ���� �� ������ ��� �#� �� �� �� �������� � ��� ����� ������ �����

0�" /������& � �����&���� �� ������&������������� � � ��������

�������� �������� �� ���� � �� � ��� � ���� ������� �� ���� ����� ���� �� � �� � �� � ���� ��������� �� � ��� �� �� �� �� �T +,, ��� � ���� �� ������ ��

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ ))

��� ����� ����� �� ���� ����: ������ �� ����������� � ��� �������� � �� �� �� � � � �� �� �������� �� �� ���� � � �������� �� ��� ����� �� ������� �� ����� �� ������� � ���� �� ����� �� ���� �� ��� ������ �� �� ����� � ������ #�� �� � ����� ������ �� ������� �� ������� � � �� ��� �� ���� ����� ������ �� ����� �� ������� "�� � ��� �������� ��� � ������� � ��� �� ���� ���������� ����������$�J� ��������� �� ������ � ������� ���� ����� ��������������� � � ������� �� � ���� ���� = ����� �� � �������� �� � ���� ��� �� ����� ����������� ������� "������� ���� �� �� ������� � ���� �� ��#��$ ���� ���� �� ��� ������ �� �� ���� � �� � � �����

����� ���� ����� �� � ������� ����� ���# ���������� �� ���� � � ���� �� ���� � ������� ��� ��� �� ������ ��������� �� ���������� �� � ��� � �� �������

0�"�! /������& � ����� �� �������

�� � ��� �� ��� F86� 9,G ����� ����� �� �� �� �� ����� �� ��� ����� �� � # � �������� � � �� ��������� ������ � �� � ���� ������� �� �� ������ ��"�� #��$�� �� �� ���� #��� ����� ������� ��+�8 �� � ) �� �� � ���� ��1 � �A �� �� ���� ���# ��� ������ ���� � ������� �� ������ �������

)7 I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

��& �� 3� ( ��� � ���# � ������� �� �������� � � ��� ����0� � ��# �� ��� ���� � ���� ����� ������������ �� ���� � �������� � � �� ������������� ���� ����� #� ���� �� ���� ���� ���� � ������� �� �� ������ ���� �� ������ �-� "�� ��# �� ���� ����� "� ������ ���#� �� � ��� �� � �� ���#����� �� ��� ����� � $ �� �� � �� �� ���� ��� "#� ������� ���� �� ����� ����$� ���������� � �� �� � � �� � ���� ��� �� �� ����� 0 ��������� �� ����$����������� # � �� � �� ����� + � )� � �- �� ����1� � ���# �� ���# �� �� ��� ���� � ���� ��� 8 ��� ������# �� ) ��� # �� #��� �- A ��� ���#� � ������ ���� � ��� 5��� ��������� �� �� �� �� ���� 1 � �- �� ����� + � ) #� ���# �� ���# ��� +, ��������# �� ) ��� # �� #��� �- � "��� ���# � ������ ��� � �� ���� �� �� ���������� �������� � #� ���� ��: �� ��������� ����������� ��� � ����� � ����� �� ����� � ���� �� ������ � ����#��� �������%'�"0� ���� �� � ��� �� �������������� � ������ "������%'�"0 � �� #� ��� ���# �� ���# ���� �� ���� � ������ "������%'�"0� �� �� � ����� �� ���� #�� �� ���#� "� � �������� �� #�� ���� � �� # � ������� �� � �� ������������ �� ��� � �� ����� "� ���� #� ���� ��:�� �� � ����� �� ����������� 0 �� ���� F9)G�

�� #������ � � J ��� �� �� ����� "�� ��������� � �� �� �� ��� � ����� �� ��� �� ���>� ������ �� ���� �� ���� #��$ # � �� #�� ������ ���� ��� ���� � � �� ��������� ��� �� ���� � �� ���� �������� 3� ������#��� ������� �� ������ �# � � ���� ���� ���� +,, �� ���� �� ����� 3� �� ���� ��� �� �� �� ������ � ���� ���� �� # ��� ���� �� ��� ���� # ��� �� ��� � �� # �� �� ����

��� �� � ���� �� � ��� �� ����� �� �� ���� �� "�#��$�� ���� � �� ������ �� �� ���� ���#��� ������� �� � ������� �� ������ �� ������ � �� �� ������� �� �� ���� �� "�� ��� �� ����� ���� ������� � ����$��� ��� �� ����� ������ �������� ���� ��� # ���A �� ������ ��� � � �� ����� �� ������� ���������� ��� �������� ���������� F9,G�

����� � "��� F9+G � ����� �� ��� F91G �� ��� ������� ���� �� � ���� ������� � ����� "�� ���� �� ���� �1,;), ��� �� � �� � ��� �� ��� F86�9,G �� ��� �� ���# �� ������ �� � ��� �� 3� �� ��������� ��� ���������� ��� � ���� ���� �� �� ����������� �� � ���� �� ������ �� � ��� � ���� ����� � ������ 0 ���� ������ #��� ������ ��� ���# � ������� ������ �� ���� �� � � ��� �� � � ����� #��� ���� �� � � �� ������� ������ �� ������ ����� F9+G� "�� ��� �� �� ������� ���� �� � ����� ���� ������ �� ������ � F91G� /���� ���� �������� ���� � ���� �#� ������ ���� �� ���� ������ ������� F91G�

" $ � � �� ��� F9)G � � ��� �� ����������� �� ������ � ���� ������� � ����� "��� ���� ���� ����������� ���� ���� ��#��� �� �� � ��� �� ������� ��� �� � ���� ������� ����� ������ ������� "��� ���� �� ���� �� �� � �� �� � ���# �� ��� �� ���� ��� ��� �� "� � ��� �� ���# �� ���� �� �� � ����: ���� &����� ������ � U ���%�� #�� � �� �� ������� �� ����� � �� �� ������� �� �� ���#� � �� � ����:� ���� � � �������� �� �� �� ���� � � �� �� ���������� �� �� ����� ���#� �� � � � � T 1,,, � � ��� ��=�� �#� �� ��� ��� �� #��� ��# � � ������ ���� ����� ��� �� �� ������ ��� �� ���# �� �� ��#������ �������� ������A ������ ������ ���� �� ���������-� ��������� �#� �� ��� ��� �� ���� ����� ������� ������� � ��� ��� ������ �� ��� � ��� �� � � ��� � J ��� �� �� ����� �� ������ � ����� 8��"�� #��$�� ������ � ��� � ���# �� � ���� ������� � ���� �� �� �� �� #������ � � ����� 8�� "������� ���# ��� �� ������ � ������� �� ������ � �%�� ��� �� ������ � ������� �� ���� � �� ��������� �� ����� "�� �� ��� ����� �� � ���������� �� � �� � ����$ ���������� �� �� ��� 3� ������ ��� ������ � �:�� ��� �� � �� � ���������%'�"0 �� �� � ���������� � ���� � �� ������ �������� �� ���� �� �� ���� � �

0�"�" /������& � ������&���� ���������

O��� �� ��� F97G � � �� ������� � � ��� ���#� �� � ����� ����������� � � ��� �� #����� �� ����� "�� ������ �����!� �� � ���� � ��������� ����� �� ����� ������ ��� � �� � ����� �� �����

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ )8

��& �� 4� �0� ��� ��� �� � ���� ���� �� ���������� ����� �� ����� � ��� � ���#�� "#� ��� ������� � � ���� � �� �������� ������ � � ��� ������ �� ���� "� ����� ����� ����� # � � ����� � � �� ����� � �� ���#� �� ����� ��� � ���� ����-� ������ ���� ����� � �� 8 �( �� 1 �� &��5.)�9��) ��,�+ � 5 �� � ���� �� �� ��������� �������� � � � U +,, �D%��� 0 �� ���� F97G�

����� 9�� ����� ��� � ��� � ���� ����� �� ��� �� �� �� ���� "�� ��� �� � ��� ����� �� �� ���#��� �� �� ���� ����� �������� � �� �� ����� ������ 0 ������� �� �� ��� # � ��� ��� �� ���#������ ��� ��� �#� # �� ���#� �� �$��� ���� � ���# ����� ��� ��� ��� �� ���� "� ���� � �� �� ��� ������ ���� �� �� �� ��� � �#� ��� ������� #��$��� � ������ ������ �� � � �� ��� ���������� �� �� �� �� ��� � �� �� ���# �� �� ������ ��� 0 ����� ����� ����� # � � �� ���#���� �#� ��� �� ; �� �� ����� ��� � �� �� ���� �� ;�� �� �� ���� ��������� ��� �� �#� ���#� � ������� �� � ����� �� � �� � ���� �� �� ���A ������� # � ��� �� � #��� .�� �� � $ � 0�%0��� ����� ������ 0 ������ ���� ����� � ��&��5.)�9��) �� # �� # � ��� �� #��� ��� �������"��� � ��� � ���#�� � ���� �� � ���� ���� ���� � ����� �� ���� ���� ������ �� ���� � ����� ���� � ��� � ����� � ������� ����

0�0 ��������

=��� ��� � ������ � � �� ���� ��� �� ��� ������� � �� � ������ �� ����� �� ��� �� ���������� ; ���� ��� �� ������ � ���� � ����� ; � ���� �� ��� �� � �� �� ����� ����� ��� ��� ����

���� ���� ������ �������� �� ��������� ���������� �� ��� �� ��������� �� �� � ���� ���� �� ������� ���� ����� �� ������ �� � � ����� � ����� ��� � ��� �� � ��� � ������ � � � �� 3� ������ ��� ������� �� ���� ������ �� ����� ����� �� ���� ��� � ���� #��� � ���� �� �� ��� �� ��������� ��J��� ���� �� �� � �� � ������� � � ������� � ������ .� # ������ ������ �#� ������� � �#���� �� � � � �� ���� �� ��� A ������������ ������� � �� � �� �� �������� � ����������� � � � � � ���� � ���� �� ��� �� ����� � �� �������������

0�0�! ����.����� ��������

�-������ �� ��� F98G ���� �������� ����� ��������� ����� ���� ��� � �������� "� ��� �������� �������� �� ���� �� ����� ������������ ��J����������� � ������ �� ����� "� ����� ���� �� ��� ����� �� ���� ���� �� ����� ��� ���� � �� ������ ��� ����� ����� "� ���� � ������ ��� ����� �#�� �� ������ ����� ���� �� ���� �� ���� �� ����� �� ����� ��� ��� #��� � �� �������� �� � �� ������ ����� ����� �� � � � ��� �� ���� �� �� ����� ��� ���� 0 ������ �� �� ������ � ���� �� ��#��� �#� ����� ����� �� ���� �� �� � �� � ��� �� ���

)9 I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

��& �� 6� ��� ��� � �� � �� �� ����� � �������� �� �� # ������ �0� 0� ����� � ���� �� �� �� ����� ����� ���� � �� ���� �� ��������� ����� �� ����� .��� ��� ����� �� �� �� ���� ��� ����� �� ��� � ����� � ��������� 0 ��� � ��� �� �� �� ������ �� �� # ������ �-�;��� ������� ��� �� �� ������ �� 1, � 8, ��1 �� ���� � �������� �� ����� ���� �� �� �������� ����� ������ �� � ������ � # ���� �� ��������� �� �� ����� �� � �� � �������� �� ������� (���� �� ����� ���� � ��� ������� �� �� ���� #�� �� � �� �� ���� �� ������ � ���� �� � �� �� �����'� 5� ������ �� �� #�� �� ���� �� ��� ���� #��� �� �� �� �� ����� 0 �� ���� F94G�

����� ��� �� ���� ��� ���� �� �� ���� ����� ������ �� �� �� ������ ��� �� �� ����� � � ��������� �� �� � �� ���� � �� �� ����� ���� ��� ��#�� ��� ������ ���� �� �� ��������

0�0�" ��������

>� ���� ��� �� ������ � ���� �� ��������� ���� ��� �� ��� �� ��� �� ��� ����� �� �� ��!�� �� ��

�� ���� � �� �� �� ����� �� � ����� ��������� ��� �� ��� ����� � � �� �����#��� � �� ��< �� �������� �� ���� �� �� ��� �!��� � ����� �� � ����A �� ��������� ���� ����A � �� �� ����� ��� ����� ���� ������ �� � ��������� F99G� �� �� � ��� �� �� �� ���� � �� ���� �� ��� ������� �� �� ���� ��� � ���� ������ ������ ���� ���� � � F9*G� "#� ��������� �� � �� ��� ����� ����� �� � ����� � � �� �� ����� � ��!������# ����� � ���� ����� �� ������

0 �������� �� � ������� ������� �� ��� �� ��� ������ �� ��!������ # ���� ����� *� F94G� "�� # ������ #� � ���� � �� � ���� �� ���� ��� ����� � ���� �������� �� ����������� � ���� � �������� � � ��� �� =�� ��!�� #��� ����� ��� ����� ����� �� � ��� �� U +�7+� ����� �� �� ���� ����������� �� ��� ���� �� �� ��� �� ��� � ����� � ���������� �� ��� �� �� ��� �� ��� ����� �� �� ��!�� ���#��� �� �� �� ������ �� �� # ����A ���� �� �� ������� �� � ��� ��� ����� ������

������ �� ��� F9*G ����� �� � ���� ���� �� ��������������� ����� �� ����� "� �� ���� �� � � �� ��#��$ ��� � ��� �� ���� �� ��� ����� 4�� "�� �� ���� #�8, �� #� � 1, �� � � �� � �� 8, ��� ��������� �� ���� #��� ��!��� �� � ���� �� ��� ���� ��� ������� ������ �� � �� ����< ����� ������ �� ���� ���� #��� � ���� �� �� �� �� �� �� � �������� �� �� �� ������ ���� �� ��� ������ /� �� ��� �� �� ���� �� � ������ �� ����� �� ������ � � �� � ����� � ���� ���� �� �� ������� ������� ���� ���� #��� ������ ��!��� ���� ���������� ���� ����� ��� �� ���� ����� � ������ � ����� �������� �� �� ����������� �� �� ��!�� ������� �� �� ������ ���� ��� ���� ��� �� � ����� �� � � ��� ��� ��� # ������ �������� �� � � �������

0�0�0 ������ ���� ������

����� �� ��� F96G ������ � ����������� ��������#����� "��� �#���� ���� � �� �� ������� �� ��������� ���# �� ������ ����������� ���� �� � �!��� ���������� �� ���#� ���� �� ��� �� �� ���� "�� � ���� � �����#���� ����� � �� ����������� � � � �� �������������� ����� �� �� ��� ����� "� ������ ��������#���� �� ���$ �� ��� #��� ������� �� ���� � ��J������� �� � ��� �� ���� �#� �� �� �� � ��� �� �����$ ����� 6�� "� ������� �� '>� �� ������ ��� ���#� � ���� ���� �� ������� �� ���� ������ #����� �� �� ���# ���� �� � �� �� ��� #��� � $� "��� �#�������� � �� �� ����������� ������ #�� �� ����� ������ ����� �� ���� "� �#���� ���� ��� �� ������

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ )*

��& �� 7� �0� 0� �� � �� � � ��� �� ���� �� ����� �� � � � ���� �� �� ���� =�� ���� #��� ������ �� � ���� �� ��� �� ��� ����� ���� ��� � �� �� � ��� � ���� ����� �� ����� 3� �� ���� �� ��� ������� ������ ������ ���� �� �� � �� �� ����� �� ����� 3��� ���� ������ �� ������ ������ ���� �� �� � � ������ �� �� ����� �� ��� ����� ����� ������ ���� ���������� �� ����� � ����� ������� �� ��� � ������ ����� ������� �� �� ����� "� �� ��� �� �� � � ������ ���� � �� �� ��� ��������� �� �� ����� �� � ��� �-� D �� ���� �� �� ��������� �� �� ,��

����� ������� � +�� ���� � ����� ��� � �� �� ������ ����� � ���� ���� ����������� �� ���� � ���������� �� ������� ���� �� 5 �� �� ��������� ������� �� �������� ����� 0 �� ���� F9*G�

� ��� �� � � � � �� �� ���� ����� �� �� �� � �������� ���� ������� �� �� � ����� �� �� ���# �� �� ��������� ��� ���� � � $� �� ����� �� ���# ���� �� � ���� ��� ���� ���� ���� �� ���� ���� �� ������� �� ����� �� ���� ���� ���� �� ������� �� ����

2 ���� ����

=��� ��� � � � �� ��� �������� � � ��� ���� � ���� ���� �� ����������� ������� �� ��� � � �������� ������ =��� �� �� ���� ���� #��� !���� �� ���� �������� ���� ��� ��� ������� � ������ �� ���$��� � �#�� �� ������� 3� ������ �� �� ��� ��� � ���� #��� ����� �� ���������� �� # �� � � ��� ������� �� �� ���$ ��� � =��� ��� ������� � ����#��� ���� ������� ��� ������� �� �� ���� ���� �� �� �� � ������� �� �� � ��� � F9,� 91� *,G� >����������� �� ��� �� � ���� � � �� ���� �� ������� � ����� �� �� �������� ��� � ��� ���� ����

� � ����������� �H ,�1 =�%O� F*+G � ���� ��� �������� � ��� 0 ��# ���� � ����������� � � � �� ��� ������ ��� � �� ������� � ���� �� ������������A���� ��� �� ���� ��� � ��� ��� ���� �� � $� ���#�� �� ��������� �� �� ������ ��������� ��#���� � ����������� ���� ��� �� �� ������ ���� � ������ ��� #�� � �� � ���� ��� �� ���� ���� ������ �� � �� ��$ # �� � ���� ������ � ����� ���� � �� � �� ����� ��� � ���� #�� � ��� ����� �� # �� �� �� ���� � � ����� �� ���� �� ���� ��"� � � ��� ������ ���� � ����� �� ������ �!������� �� ��� ��� ��!��� ��� ���

0������� �� �� ����� �� �� ��� �� �� �� ������� ������ ���� # ���� �� � ��� �� � ������ ���������� ��� � ��� �� � ���� ���� �� ����������� ������ �� ��� !���� �� � ��� ��� � � � ��� � ��#���� ���� � �� ����� � �� ������������ ������� � ���������� #��$��� �� ������� � � � $ ����

)4 I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,

��& �� 8� ����������� ��������#���� ��� � �� '>�� �0� >���� �������� �� �� �� �#����� �-� ���������� ������� �� �� + �� �� ��� � � � �� #��� ����������� 0 �� ��� ������ � �;+ $D� ���� �� ������� ������� 1���� �� � � ���� �������� ��� 1� ��� 0 ������� ���� ��@ + $D� ���� �� ������� �������1 ���� �� � � ���� �������� ��� +� "� � � ���# ������ ���� �� �� ����� ��� ������� ��� ������� &����� ���� F96G�#��� ����������

!���$�� � ����� ��� �� ������� � ���� � ����� ����$ � � � ��� ��� � � � ���� � ��� #���������� �� ������ ��� ��� �� � � ��� �� � ���� ���� ������ �� � �!��� ��� �� � �� � ��� � �� � ���� ��������� �� � � � � �� � ���� �� � ��� ��� 3� ������ � ����� ���� �� )�� ���� #��� � ��� �������# � ���� � ����� ��� #��� �� ����� ��������� � ���� � ����������� � � ���� � ���� � � ��

�� � �������� ��� ������ �� ������ !" �#!$%&�%'()� ��� �� *+)�))%� ,� #� +� ����-� ��� !" .�� �������� .������ � /� � �� � ����- �� ����������� ��� � ���� � �� � ���������

&��� I��� +1� +666

3 ��������

F+G ������ �� ��� ����� �� I� ��� ������� >� I� 0�� =�������� 2� ��� ����� #��0� +664� &(� 76*7;7647�

F1G V��� ��� P� � C�� =������� 2� ��� ���� +����� +669� 1�6+*;6+6�

F)G "����� � 2� I�� 2� ��#�$�� � &�� �� �� ��� . ����0� ������� ���� . ��� �������� 5# C��$ +669�

F7G � �:� 0�� . ������� �� I�� D������� '�� =���� .� ������� #��0����� +66)� 22� +;98�

F8G "���� � ��� I�� �� I� .�� 0����� I� -�� ���� ������ ����$���� ��� ��� +6*6� ��$�3� +44,;+449�

F9G ���� O�� . ������� �� I�� � �:� 0�� ����� #��0� +66)� 3)�+74+;+744�

F*G � �:� 0�� 2� ��� 5�� =���� .� ��� !���� �������� 4+66,� �� 177;174�

F4G � �:� 0�� -�$�� .�� �%%& �������� ��� #�.������ �!� �$!���� !����� ��� ��������� ���� ��� 3(� I�� +66*���� 6+8;6+4�

F6G O���� �� /�� ����� 0� I� �� � �:� 0�� !� ���� +664� �1(�+,79;+,74�

F+,G ������ O�� ���:� ����$� 2�� ����� 5�� . ������� �� I������� #��0� +669� 31� 7148;716,�

F++G ��������� ��� .�� " ��� "�� . ������� �� I�� ,� �0� #��0�!�� +66*� ��%� 4*+9;4*+*�

F+1G . ������� �� I�� ������ O�� ���� O�� � �� N�� '���� ������ �� � �:� 0�� !� ���� +66)� �3�� 468;46*�

F+)G (� ��� N�� ����� 5�� >����$� 2�� " ��� "�� ������ O�� . �������� �� I�� ����� #��0� +669� 31� +,7,;+,79�

F+7G ����� 5�� . ������� �� I�� ����� #��0� +66*� 3%� )*);)*4�

F+8G (�� �� �� .�� . ������� �� I�� ����� #��0� +66*� 3%�+897;+894�

F+9G O� ����� � I�� I ������� � ��� = ���� (� ��� ����� &� �� & ���� I� ��� ����� #��0� +666� &�� +4+8;+4+6�

F+*G = ���� (� ��� I ������� � ��� O���������� � 5�� O� ������ � I�� ����� &� �� & ���� I� ��� ����� #��0� +664� &(�8+*1;8+*9�

F+4G O����� I� ��� I ������� � ��� � ���� � � 5�� & ����I� ��� ����� #��0� +664� &(� )16+;)16*�

F+6G I ������� � ��� ���������� �� "�� � ��� I� '�� & ����I� ��� ����� #��0� +664� &(� )7*9;)74,�

F1,G '�� $��� � D�� I ������� � ��� & ���� I� ��� �����#��0� +664� &(� 7767;78,7�

F1+G . � 0� 2�� & ����� �� '�� . ���#��� I� =�� I ������� ���� & ���� I� ��� ����� #��0� +66*� 3%� )7,*;)7+1�

F11G ������� �� ��� &� ��� ��� =������ 0� "�� "������ "��I�������� &�� �� � ���� 2� ��� � ����� &� 0�� ���� ��������� !� � 5!� +664� %)� 1189;119+�

F1)G =������ 0� "�� � ����� &� 0�� ����� #��0� +668� 3&�)9*9;)94,�

F17G =������ 0� "�� ( �� O�� 2� :�� 0� 5�� � ����� &� 0�� �����#��0� +664� &(� 947;944�

F18G (��� �� ��� C�� I � =� =�� � ����� &� 0�� ����� #��0�+666� &�� 899;8*)�

F19G -����� �� 0�� � ��� ����� �� .�� �� ���� "� �� � ���� ��� =����� I� &�� I������� -� 5�� ������� -�� I������� ����� C�� O ���� 0� &�� -��$� �� "�� ���� ���� �����!� � 5!� +669� %2� 8889;889+�

F1*G � � � -��� 0�� -����� �� �'��� + �� ���� ������ �!����0�� O��#�� -����� +668�

F14G ������ �� (�� " ��� "�� ����� 5�� . ������� �� I�� ������$���� � +66*� �1� +*));+*7+�

F16G '���� ���� �� �� -����� 2� I� ��� � ����� 0�� ������$���� � +66*� �1� 11,);11+)�

F),G ��� ���� ��� #��0� ���� ��� +666� &&� 1*;)9�

F)+G -����� �� 0�� I������� -� 5�� -� �� � �� � � 5�� . ���!�� O�� =����� I� &�� O����� �� ��� �� ���� "� ��� �� �� ��� I���� ��� .������� ��� � ��� ����� �� .��-��$� �� "�� !� ���� +664� �1�� 747;74*�

F)1G C �� �� 0��� �� �� � �#��� =� -�� 0����� �� =�� �����O� -�� �����:� �� 2�� ���� ���� ����� !� � 5!� +666� %3�8)*1;8)**�

F))G =���� -� .�� C ��� ��� !� ���� +666� �12� )79;)7*�

F)7G '���� ���� �� �� -����� 2� I� ��� � ����� 0�� ������$���� � +66*� �1� 11,);11+)�

F)8G O���$ � (� I�� #� �� #��0� +664� ''� 1,,4;1,+7�

F)9G ������ I� "�� ��� � �� I�� ( ���� &�� ����� +666� 2%&�))8;))4�

F)*G & ���� I� ��� I ������ � ��� O� ��� �� &�� ����� +���+668� �� +,6);+,69�

F)4G >��� � ��� 0� � � C�� = � � �� O�� ��������$� &� ���. � ������ C�� 0��� C�� ������ ���� ��� #� �� #��0� +664�''� 1176;1188�

F)6G &���W�$� D�� ���� N�� ��$��$� 3�� ,� #��0����� � +667�33�� )96;)*)�

F7,G - ��� .�� '���� ��� .�� ,� + ����� !�� +669� 1�7*6;747�

F7+G ��X�:��� =�� O����� '�� ����� #��0� +661� 3'�+66+;+668�

F71G &������ �� 0�� &������ I� �� -����� ��� 2�� ���� .�� �����#��0� +66*� 3%� 1,)8;1,71�

F7)G ��������$� &� ��� 5����� &� I�� 0������0����� �� 2�� -������� �� I�� .����� .� .�� ����� #��0� +66*� 3%�1919;19),�

F77G � ������ � (�� ( � ����� (� '�� 2 �� �� ��� O� ��� 2� =������������ &� 2�� � ���� �� =� 0�� ����� #��0� +66*�3%� 7*4);7*46�

F78G ���� � ��� � ���� I�� O �� -�� V�� � ��� ��=������ �� ���� � 0�� � �$� �� O�� ,� 4 0���� ���� +666� ����+);1+�

���������� � 1,,,� ��� 1*;7, � ���� ���� �� ����������� ������ )6

F79G P� � C�� =������� 2� ��� ������ #��0�� ���� ��� +664�2&� 88,;8*8�

F7*G V��� ��� P� � C�� &����� I� 0�� I �$� �� &� I�� N� �� P��=������� 2� ��� �� #���� #��0� +664� �%'� +;1,�

F74G � #� I� ��� 2����� I� ��� ( -� �� � 5� ��� ������=� .�� .����� � I�� �4+ ,� ���� ������ +66*� '��4+;67�

F76G �� ������ �� O�� =������� 2� ��� 6���0� � +66+� &�+,+);+,18�

F8,G �� ������ �� O�� =������� 2� ��� !� ���� +66+� �))�+1),;+1)1�

F8+G ���� � ��� >�������� '�� � ��� � &�� 2 �� ���� ��� .�������� ��� I������� ��� ,� #�� � �����.��� !� � +66,� �2&�++;17�

F81G O�� ��� 2� "� 0�� + ��0��� ��� ����������� !�����-���2� #�.���� 5# C��$ +664�

F8)G '���� ���� �� �� -����� 2� I� ��� � ����� 0�� '�� �� �������� #��0� +66*� 3%� )78+;)78*�

F87G � ���$� I� ��� ������� 3� I�� 2 �� I�� =������� 2� ������� #��0� ���� +664� 2�� )7)�

F88G ������� 3� I�� 0������ I� &�� 2 �� I�� �� �� �� &� 2��3� ��� (�� =������� 2� ��� ,� �0� #��0� !�� +66*���%� +1*,+;+1*,6�

F89G � ���� ��� 2��:� ��� =������� 2� ��� ����� #��0�+668� 3&� )819;)8)8�

F8*G - $ J��� >�� � ������ &�� ����� �� ��� �� �� � �� 2 ������ O������ I�� ���� "�� 0������ &� .�� !� �$!���� !���� ���������� /�-��� .����� . 3�� �� �� I�� +664���� ++9;++6�

F84G ����� .����� ���� ��� ���� 0�� V� $� �� ���� ��������� !� � 5!� +666� %3� ++;+)�

F86G �� � ����'�� -�� �� 0�� ����� .�� ������ -��-�����$� .�� !� ���� +66*� �&3� **6;*4+�

F9,G �� � ���� '�� -�� �� 0�� ����� .�� -������ 0�������� -�� -�����$� .�� ,� �0� #��0� !�� +664� ��(�8,,;8,4�

F9+G ������ 0�� "���� ��� 4 ������� ���� +664� �'� )44;)61�

F91G ������ 0�� 0���� 0�� .��� �� >�� ������ �� 0�� "���� ���,� 4 0���� ���� +666� ���� 14;)7�

F9)G " $ � � � �� ����� �� I� ��� >������ '�� (� ��� �� 5��O���� �� I� 0�� 3�� ������ &� ��� =������� 2� ������� ���� ����� !� � 5!� +666� %3� 8878;8874�

F97G O���� �� I� 0�� 3�� ������ &� ��� =������� 2� ��� !� ����+666� �1)� 4);48�

F98G �-������� -� ��� -��$����� �� 0�� O�� ��� 2� "� 0��!� �$!���� !���� ��� ������� /�-��� .����� . 3�� �� �� I�� +664� ��� )84;)91�

F99G -����� �� 5�� O� ������ -�� ����� 0� I�� &���J� 5� ���� �:� 0�� ������� +664� ��2� +77);+77*�

F9*G ������� >� I� 0�� ������ �� ��� &����� I� 0�� -���� ��� � "�� =������� 2� ��� !���� �������� � +666� �� �����

F94G ������� >� I� 0�� N� �� P����� =������� 2� ��� ����� � ��� �������� ��� ���� +����� +666� ��� )*;7+�

F96G ������ �� ��� ������� >� I� 0�� -���� ��� � "�� =�������2� ��� ,� + ��0���� + ������ +666� %� 1++;1+*�

F*,G �� � ���� '�� -�����$� .� 0�� ����� .�� ������ -������ +����� +66*� %� *7+;*79�

F*+G ��# ������� ������ ����� ��� �� �3�

F*1G ( �$�� 3� &�� ���� #��0� ���� +664� 2�� )+*;)17�

F*)G ��� 5�� ���� ��� #��0� +669� 31� +4)*;+47+�

F*7G O���$ � (� I�� =������ ��� ���� ��� #��0� +669� 31�+4)+;+4)9�

F*8G -� ����� �� -������ "�� #���� 7 �� 4 ����� +664� %�97);976�

F*9G � � � -��� 0�� 2����� 0�� D����5������ '�� � � � ������ -� .�� O���$ �.�� ��� &���J� 5� ��� !������������ 4 +66)� �2� )69;)66�

F**G O��� � &�� '����� =�� �������� .�� ���������� &�� ���$� &�� =��� (�� + ������� � ��������8 ������$ ��� . ��� " ��� �������� ��� #�.������ � + ������� ��������� +664� ��� )74;)89�

F*4G 5�������� �� 0�� -���� -�� . ��� ��� ( ��� �� (��(�#� �� &��� ��� I�� �� ����� ��� ����� #��0� +664� &(�6+4;611�

F*6G ����� I�� = ���� (� ��� ������ � ��� .����� � 2�� I ������� � ��� & ���� I� ��� O���$ � (� I�� =������ ��� ����� 4 $���0� +664� �)&� +,+;+,9�

F4,G -���� I� ��� C ��� ��� 2������� &� '�� 0������ &� .��4 ���� ,� +669� &�� )7),;)77+�

F4+G �Y��� O�� -� $� ��� �� -���$���� ��� . �� O�� &����O�� ��#���� ��� ��� �� I�� =�:�� "�� ( ��:�� � ��� ��$� ��� - �� &�� .��:� ��� ����� .�� .���� I�� '������� &����� &�� 4 0�� �� +66*� )� +)6;+81�

F41G N��� .�� �� �$� � ��� -����� � ��� &�� .� �� 2� :��0� 5�� � ����� &� 0�� ����� #��0� +667� 33� +67+;+674�

7, I� �� ����� � �� ��� ���������� � 1,,,� ��� 1*;7,