Nonlinear model and system identification of a capacitive dual-backplate MEMS microphone
Vertical comb-finger capacitive actuation and sensing for CMOS-MEMS
Transcript of Vertical comb-finger capacitive actuation and sensing for CMOS-MEMS
�������� ��� ���� ���������� �������� ��� ������� �� ���������
������ ������� ��! "# $��������
����������� ��� ��� �� ��� ������� ������������ �������� ����� ����������� ����������� �� ���� � �!��"�� #��� � $��������� �������� ����� ����������� ����������� �� ���� � �!�
��������
% ��& ��'� �� ���������� (��������) ������������ �������� ��� ���������� ������������������� �'�� �����*�� ����&��� �����������
�'���� � ����������� �� ����� �� ����!*�� ��� �+����������! ���� ��# ������� �'� ��'������ �������� (�������) �������� ���
������� ���������� � �� ������ �'������������� ��������,������� ��� �� �����*��# % ������� �������� �����'����� ������ ��
���!�� ��� �'� ���������� �� �������� &��' �������� ���� ��������# %���������� ������� �� �'�����+�� ��������� � %��+��
����������� ��� � ���������+�� �!����� �'�� ��� �'� ������ �������� ��� ���� ��������,������� ��'�# -'� ������� �+��
�������� ����������� � �'� �������� �� .#/ � &��' � ������� ���0����! � 1#23 ��*# �������� ����������! � �'� %��+�� ����������� ��4#/ �,� &��' ���� �'�� �54 �6 ������+�� ����������!� ���� 7� 1 �,��*� ��� ������ ����� �� �83 � 83 �# -'� ���������+�� �!����������� ���� ���������� �� ������ �� ���������� ��������� ��� �� ������� �! �'� ������ � ��������� �'�����+�� �!������ � � ������
�'��# -'� �������� �!����� ������� �� ����'���� �������� &��' � ����������! � 4#28 �,,� ��� �'� ������� ���0����! � �'� �����
�� �� �'����'�������! ����� ���&��� 5#89/#2 ��*# :������ ���0����! ���'��� ���&��� �'� ����� ��� ����� ��� �� �����*�� �!
����������� � ��!������ '����� ������ �'� ������ ����# � 8448 �������� ������� 6#�# %�� ���'�� ��������#
&��'���( ���������; ����������� �����������; ���������� �������; �� �����; <������� ������
� ���� ������
<������������� �� ������ '��� ���� &����! ���� ��
������������ ��������� ���������� ������ ������� ��� ����
0����! ������# -'�! '��� ���� �� �������� ���� � ��!
���� ������� ���' �� ������������ =2>� �!������ =89
5>� ��� ����������� =/># �&����� �� � �'��� �������
�����*� �'� ������� ����������� �'���� ���&��� �� �����#
-'� ��� � �'� �������� ����������� �'���� ���&��� ��
����� �� ������ �! ��������� ����������� � �'� ��������� ��
��!������ �������� ��� ���������� ������� ��� ������� ��
���� �����'����� ��������#
% %��+�� ��� ���� ����������� &��' �� ����������
��� ��� &�� ���������� �! ����� �'� ���������&����
������ =1># %� ���������� �� ����� �� � ��������
������� '�� ���� ���������� �� � '��'������������ ��
������ =3># ��'�� �'�� ���������� ��������������� �������
�� ������ �'�� %��� ����� '�� ����� ����� (����)
�����! ���� ��������! ����� (������)# ���' ����� ���
����� ��7����� &��� ��'������ ��� � ������� �� &�������
&���� ������ ������ �� ������#
<� �'�� &��� &� ����� � ���0�� %��+�� ��� ����
�������� ��� ������� ��'� ����� � �'� ���������
�����'����� ������ �������� �� =?># ���'������ ���
�'���� ��������� � ������������� �� �'�� ������ '���
���� ������� ��� �'��������*�� =@�24># ���� ������������
��� �!������ ��� '��� ���� ���������� =22925>#
% ����� ���� ��������� � �'� ��������� ������ ��
�'�� ���������� �������� ��� ������������������� ��� ��
�����! �����*�� =28�2/># -'������� �'�����+�� ����������
�������� ��� ������� ��� �� ���������� � � ������ �'��
����� � ������ ��'������ ��!��# <� �'�� ������ �'� ����
���� �����'����� ������ �� ��������� ���# % �������
��� ������ �� ������ � �������� ������� ������� � �'�
�������������# -'� ��������� � �'� %��+�� ��� ����
�������� ��� ������������������� �� �'�� ���������� ���
�&�� �! ��� ���������� �� � %��+�� ������������ �� )*�*%
�������� ��� � ���������+�� �!�����# A����� ������ ���
�+��������� ������� � ��� �'��� ������� ��� ���������#
�+��������� ������� � ��� ������� ��� �� �������
�� �'� ������� �!����� ��� ���������# % ��'� � �'���
��'�������! ������ �������� ���0����! �� �� ���'�
��� �� ������ ��� �+����������! ���� ��#
� ��������� ��������������
-'������'����� ������ �� � �������� �&������ ����
���� ������ �� &'��' �'� ���'��� ���� ��� ������� �!
������ ��� %������� % @/ (8448) 8289882
� ����������� ���'�# -��#B �2�528�81?�1143; ��+B �2�528�81?�5/@/#�+���� �������B +��C���#��#��� (�# ���)#
4@85�5853,48,D 9 ��� ���� ����� � 8448 �������� ������� 6#�# %�� ���'�� ��������#
E<<B � 4 @ 8 5 � 5 8 5 3 ( 4 2 ) 4 4 3 5 4 � .
�'� ����������� ���� ��!��� �� �'� ���������� ����
������# �������������� ��� ��� �������! �� �'� �����
� ���� ����������� ��!���# $����� �'� �������������
��� �� ��� &��' �� ��������� ���������������' (:<�) �
����������� �� � ��$.,�8 ������ �� �'&� �� $��# 2(�)#
������ � ���� ������ :<� (A:<�) �� ������� �! ����� �'�
6��' ������ =21>� ���&�� �! �� ������� �$1������
������ �������� � ������� �'� �������������� �� �'&� ��
$��# 2(�)# -'� ������� ���' �� ��'����� �! ������! ��������
�'� ������ �&��# -'�� ������ ������� ������������� &��'
'��' ����������� ��� � '��' 7�+������! � &�����# -'� ��!
���' �� ������� ��������� ��! �������� ������# -'� A:<�
���� ������� ����������� ����� � �'� �������� ��� � �'�
���������# -'� ��� �� �'��� � �� ���������! ������ &'��'
������� ���� �0���*�� � ������ � �'� ����������
��� ��� ����*�� ������������ ������� � �'� ���������#
������� �� �������� ������ ��������� �� �'� ������ ��
��� �� ��������� � �'� ��� ���� ��� � ���� ���'���
���� =22># %�� ������� ��������� �� �'�� ����� &��� ������
����� �� �'� ��&�����E������ 4#/ � ���� ������ ���
�&�� �! �'� �������� �����'�����#
-'� ��������� ������ ������� ���� &��' �������
��� �'��������� �! �'���� ��������� ����������� ����
��!��� �� ���'��� ���# -!������!� ���� &��' �����2�
�����8� �����. � �'� �� ��� 2#?� .#/� ��� /#4 � �'����
�����������!# -'������� ������ 7�+���� ��������� ����
(�# �# �������) ��� �� �������� ($��# 2(�))# % ���������!
������� ������ (%�������) �� �����*�� �! ����� &��� ����
&��' �����2 � �'� ��� &'��� � ��������������� ������ ��
�����*�� �! ����� ����& ���� &��' �����. � �'� ��# $�
�+����� ������� � %������� '�� � ��� &���' � 24 �#����� ��� ��� �'������� �� 2#? �� �'� %��+�� ��������� &����� ���� .4 ���� ������ �'�� �'� )����������#
%��'�� ������ ����� &��' ������� �� �'� �������� �������
� ������ ����� &'��' ������� �� ������� ������ �����
=22># -'�� ������� ������� �� ������ �! �'� ��!�����
����������� � �'� ������ ���� �'�� ������� �� �'�
������ ���������� ���������! �� �'����'����'! ���
��������# $� �+����� �� $��# 8(�)� �'� �'��� ���� ��!���
�� �'� ��� '��� ��������� &���' ��� ��� �������� � ��
�������# �&����� ��� � �'� ���� �������� � �'� �'��
���'����'!� �'� ���� ��!��� &��� '��� ������� ����������#
����� ��� ���� ��!��� ��� ������� �� �'� ���������� ���'���
���� +��� &��� �� �'� ������! ���� �! ��! ���� ��!�� �'����
�� �'&� �� $��# 8(�)# F������ ������� ����� &��� ��
��� �'������� ���������# <� ���� � ������ �'�� �������
�������� � ������� ������� ��� �� ������# %� �'&� ��
$��# 8(�)� �&�� ����� ���� ��!��� ��� ���&����# %� ��� ��
�'� &���' ���������� �� ������ �'�� �'� �'����'����'!
����� �'��� &��� �� � +��� �������� ������ ��! ����
��!��# $��# 8(�) ��� (�) �'& �'� ����������� =23> ������
��� ������ �� &'��' �'� ������� ��� '�� ���� �'�� ��� ��'
� ������� ������� �� �'�� � �'� ���� ��� ���� �'��' �'�
�& ���� ��� �������� � '��� �'� ��� %��+�� �������
��� � �������# -'� ���� ��� 8#5 � &��� ��� 244 ����# % ���������� � 4#2 � ���&��� ��G����� ����
��!��� �� ���������# $��# 8(�) ��� (') ��� ���� � �&
�������� ���� &��' � ���� ������ ��� � ������� �������
�����������!# -'� ������� ��� ����� �����! ������� �'�
������� �������#
$��# 2# ������������� ���& � �'� �'������ ��������� �����'���
���# (�) %���� �������� ���� ���������; (�) ��������� ���������� ���';
(�) ��������� ��� �'�� ������� ������ ���' �� �������#
$��# 8# F������ ������� ���������# (�) H��� ���; (�) ���� ���
&��' ����������; (�) ������� ���; (�) ������� ��� &��' ����������;
(�) ���� ���& � ����%A �������� ������ (�'� ���� ��� 244 � ���;��' �������� ��� ������� ������� ��� �������); (�) �� ���& �'&��� �������
������� &��' .� �+��������� � ������������ (�) ��� � � ��������
���� ���� (') ��� � � �������� ������� ���; (�) � ������� ��������
����������� ���� ������� ������� ��������#
,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*��� 82.
� ������������ ����������� ��������� �� �������
%� �'&� �� $��# 2� ������������� ��� '��� �������
������� ���� ��!���� &'��' �� � �G� ���������� ��
'������ ��!������ �����������# -'��� ����������
�� ��!�� ���������� ��� �� ������� � �������� �������
��������� ���&��� �� �����# -'��� ��� 88 ���������
������������� �� �������� �� ��� &��' �'��� ����
��!��� �'�� ������ �������� ������������ �������� ��� �����
������ �������������������#
-'� ������������ � �& �� �������� � �� �����
��� �'&� �� $��# .(�) ��� (�)# -'� �� ����� '��� �& �
�'��� ���� ��!��� ��� ��� ������ ���� 8/ � ���� �'�
���������� &'��' ������ ���� � �� �������� ���# -'��
����� ��� �� ��� �� ��������� �� ���������� ��� ����
������� ������� �'� ��������� ����������� � �'� ��������� ��
������! �������# %� �'&� �� $��# .(�)� �� �'� �'��� ����
��!��� � �'� ������ ��� �����������! ��������� �� ��� �'�
����������� ���� ��!��� �� �'� ���� �'� ���� ��
����� �������� �0���������! � � ���������+�� ��!������
�� �����#
<� ��� �'��� ���� ��!��� �� �'� ��� ��� �����������!
�������� &'��� �'� �����2 ��� �����. �� �'� ����� ���
���������! ��������� �& ����&��� ���������� �2 ��� �8�
��� ����� �� �'&� �� $��# .(�)#
I'�� � ������ �� ������� ����� �2 � �8� �'� ��� &���
������� �� �'� %���������# <� �'� ��� ���� ��� �� �
�&� �! �� �+������ ���� (���' �� �����������)� �2 ��� �8
$��# .# E�������� � �������� �������� ��� ���������� ������� �'���' �� �������# (�) )�%+�� �������; (�) %��+�� �������; (�) �0�������� ���������� ������;
(�) ����������� ��# 6������������; (�) ����������� �������� ��# 6������������; (�) 6������������ ��# ������� ������ &'��� ����!��& .4 � ��� ��
������� ��� ������; (�) ���������� ������������ ����������� ��# 6������������#
825 ,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*���
&��� �'���� ����� �� ������ ��������� ��� �'������� �'�
������ ��� ������� �� � %��+�� ��� �������#
-�- %+�)�� � ������
<� ���� � �������� �'� ����������� ��� �+������ ����
��������� � ������� ����������� ����!��� ��� �'�
��+&��� �&���������� ��� ������� =2?>� �� ���!��#
-'� ���������� �2 ��� �8 �� $��# .(�) ��� �'��� ���������
������ ������ 6������������� ��� �'&� �� $��# .(�) ��� (�)�
�����������!# H�� �'�� �'� �+�� ����������� �����
�� �� ��� �! �'� ������������ � �'� �& �������� ������
&��' �'� *����������� ����� &'��' ���� �� �8#1 ���
8#8 �� �����������! ($��# .(�))# -'� ������������ ���� 0��� �0��� �
0� � 2
878��
�698 (2)
&'��� 7 �� �'� ����� � �� �������� 8 �'� ������� �����'
� �� �������� ��� 9 �'� ������� ������# -'� ��������'��
���&��� ������������ ��� ��0����� ������� ��� ��
������� �! ���������! ������ �'� ���� ������� �0������
�#�# 0� � 0������ � :6� &'��� : �� �'� ������ ������� ��� 6 ��
�'� �������� �����������# -'� ������ �� ������ �� $��# .(�)
�� � ������ � ������ ��������# A���������� ����� �
�������� �� �8#1 ��� 8#8 � &'�� �'� ������ ���������#
-�- %+�)�� ������ ����� �������
����������� �'���� �� ���� ���� �� � ������ � ����
�������� �� ���������������# -'� ����������! �� ��
�������� ������� � ��' �'� ����������� �������� ��� �'�
��'������ ��������� �� �'�� ��������# %� �� ����������
�������� �2 ��� �8 �� � ������������ ���������� '�����������
�� �'&� �� $��# .(�)# <� �������� ������� ������� �9��� �������� �'� ����� ������ 9� �� �+������� ��B
9� � �2 � �8
�2 � �8 � ��9 (8)
&'��� �� �� �'� ��������� �����������# $��# .(�) �'&� �'�
�������� ������� � �2� �8 ��� �'��� ������������ �'����&��'
6������������# E�������� ����������� �� �'� ���� ����
���������� �� ���! ���� ��� �� �'�� �'�������� ����!��� �� ��� �
*��# %��'��' �2 ��� �8 ��� �� ������ &��' 6�������������
�'� �����*�� ������������ ����������� �'����� �������! ��
�.#4 � �8#. �# <� �'� ��� ������� ��� �����'�� � � ������ ��� � ������� �'� ����� ������ ��
9� � ��
:9
�
�6/�6� (.)
&'��� /�6� � ��2 � �8�,��2 � �8 � ���� � �� �'� ��� ��'� ��� ���� : �� �'� ��������� � �'� ������ �� �'� %��+��� �
�� �'� �+���� ����������� �� �'� �������� �������� ��� 9 ��
�'� ������� ������# -'� ����������! 9�,9 ������� �
�'� ������� ��� ��� ��� ���������� ������� ��� �� �������
�� ��� �� �'� �!��� �� �������� �� ��� ������ �����#
H�� �'�� �'� &��� ������ ����������� ����� (�.#4 ��8#. �) �� ���������� ����� ����� �!���� ����� ��� ����'����� &��'�� �������� ����������! � ����&���'#
F& ���������������! �� �+������ �� �'�� �� �������
������� �2 ��� �8 ��� �'� ������ � �'� ������������
���� �� ��' ����� � �'� ����� ��� �'� ��������� � �'�
������� �+�� �� �������� � �� ��' ������ �'�� �'�� �
�'� %��+��#
-'� ������������ ����������� ����� �� $��# .(�) �� ��
�!������ �#�# /�6� �� 4 �� 6 � 4# <������� � �� ����� �
4#1 � �+����# -'� �� ����� ��� �� ��������� �! �
���������� ����������� � 4#1 � �����*�� �! ������!
��������� �'� ���� ���'��� ���� � �! ����������� �
��!������ '����� =24>#
� ��� �� ����������� �������������
$��# 5(�) �'&� �'� ����! � �'� %��+�� �����������
��������� � � ������� ��� ���� �& �!����� %�������
���� ��� �& ���� � �� �����# -'� �����������
��!�� ��������� ���� �� ���! � ������� �����������
$��# 5# -���! ������ ��� &����� ����������� � �'� %��+�� �����������# (�) ��'����� � �'� �� ���& � �'� ��!�� &��' � �� �������
�����������; (�) �0�������� ����������� ������������ ���������� ���������#
,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*��� 82/
������������ ���������� ����������# -'� �� ����� ���
������� ��� ��� ����� �� �'&� �� $��# 5(�)# %�� ��
����� '��� �+����! �'� ��� ����������� �� �'&� ��
$��# .(�)# <� ����� % ��� 6� �'� �� ���� ��!�� �� ��������
� 9�� ��� �'� ��� ���� ��!�� � 9�# <� ����� � ���A� �'� &����� �� �������� � ����� � ����������� ������������
���������� ��������� �� �'&� �� $��# 5(�)# ������� �'�
��� ����� ��������� � �� ������� �� �������
&'��' ������� �'� ���������+�� ����������! ��� �'� ��7�����
� ������ ���������#
% �������� ����������� �� �'&� �� $��# /# -'� ��*� �
�'� ������ ��������� �'� ���'�� ������� ��� ������� �� ��
���� 4#/ �! 4#3 # -'� �& ���� � ����� ������� &��' �
&'��� ���� ���� ��� �����������! ��������� �� ��� �'� �'��
�& ���� ������� &��' � &'��� ���'�� ����# ��'����� �����
������� ��� �'&� �� �'� �� � �'� ���# -'� ������ ����
���� �� ���� // � �� �'��� ���� ��� � �'� �������� ������
��������� ������� �� �'� ������� ��!��� ������ �'�
����# �&����� �'� ����� ��� ��� ����� ����� ���!
&��� (J4#/ � ���������! ��� J4#2 � ��������!) �'���'
� ���� ���'��� ����# -'��� �� �� �+��� ���� � ��
����� �� ���' ����� � �'� ��� ���# -'��� �� �����
��� �����������! ������� �� �'� ����� �� ����� ���
��� ���� �� ������������ �������� �� ��������� ��� �����
��G������#
-'� �������� ����������� �� ����� � � 6��K�� ���
"G��� �������� �+����� &'�� ��� �� ������ �! � '��'
�������! ��������� ������������ ��� �� �E5.@/% �����
��� ����!*�� �� ���� � ������ �'� ����� ������# -'�
��������� ������ �� $��# 1 �� �� � 844 �* ���������
�'���� �+������� ��� �� ?44 � 544 ��* ��������� ��
������ ����� �'� ���������� ������# -'� ����� ����������! ��
4#/ �,�# -'� ������� ������ ������ (J2L �����������!)
&'�� �'� �������� � �'� �+������ ����������� ��������� �
83 �� &'��' �� �'� �+�� ���� � �'� �'���� �����# -'�
�'�������� ������ ����� ���144 � ������� � �'� &��� ����������� � �'� ������������ ����������� �'���� &��' %����������
���# -'� ������� ���� 7� �� 1 �,��*� &'��' �� ������ � �������� '��'�� �'�� �'� ���������� 6�&����
����# -'� ��������� ���� ����� �� �������� � �� ��� � �'�
���� �������� ��� �������� �+������ �� �'� ���� ���������#
-'� ���0����! ������� � �'� ����������� �� �'�����
����*�� �! ����� � ���'����� ������ ������������ �!���#
-& ������� �G������� ��� ���� � ���� �'� ����
��������� ��� � 7�� ��������� ���� �����������! �� �
��A ����� � � �'�����# -'��� �& ����������� ������
���� ������ �� � ������ ������� �'�� ���&� �'� ��������� �
�'� ������'! ��� �������� ����������� ���������# %
��BH� ����� (� � 1.. �) ������� '��' ��������! ������
�������� �� �'� �!���� ����������� &'��� � ��� F�A
(� � 124� 24 �) �� ���!�� � ���� �������� ����� ���'� ������ ����������# F�A� ��� '��� �'� ��������� �
����� ������� ���������!#
% ���&�� ����!*�� �&���� �'� ���0����! � �'� �������
������ � ����� �'� ��������'������ �������� �������#
$��# /# -� ���& � � �������� %��+�� �����������#
$��# 1# A!���� ������� � �'� ����������� ������� �� 844 �* �����
� �'���� �����#
$��# 3# $��0����! ������� � �'� ����������� ������� �! ����� �'�
������ ������������#
821 ,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*���
-'� ����� ��� �� ������� ����� � �'�������� �'��
������ �'� ������ ��������! �� � ��� � �'� ��� ���# -'�
������� ���0����! ������� �� ������ �� $��# 3# -'�
�������� ���0����! � @#5 ��* �� &��'�� 24L � �'�
24#2 ��* ����� ��������� �! ����������� ����!��� =23>#
-'� ���������� �� ���������� � ���������� ������ ���������
��� �'� ����� ����� � ������ �'� ��������� ��� ���
�� � ���� �����# -'� 0�����! ����� �� ���� .� ��������� ��
�'� �0���*�������� � �'� ��� ���#
! �"�"� ����������
-'�����+�� ��������� '��� &��� ����������� �� ����
����� �� ������� ��G������ � ������+�� �������� =2@>�
������ �&���'�� ��� ������������ �!����# -'� �����
����� �������� �� �� �'��������� � ������� &��'�� �'�
��������� ������#
-'� �� ���& � �'� ���������� �'�����+�� �������� ��
�'&� �� $��# ?# �������� ���� � �� ����� �� ���'
�������� ����� �'� ������� ��� ���# -'� ���+�� ��� %��+��
�� ������ ��� ��������� �! � �� ��� � ������� �'��
��� 7�+���� �� ��' �+��� %+���������# -'� ������ ����� ��
� ����� ���� ? � �� �'� ����� ��� � �'� �������� ������
�������� �� �'� ������!�� ����������# �&����� �� �'&�
&��' �'� ������������ �'� ����� ��� ��� ����� ����� &���
�����! �'���' ��� � � ���� ���' ����#
-'� �'�����+�� ����� &�� ������� �� �'� %��+�� � �����!
�'� �������� ������� ���# -'� ���0����! ������� ���
����������� � �'� %��+�� ������� &��� ������� ����� �'�
���'����� ������������ �!���# -'� %��+�� ������ ���
����� �� 2#1 H,# -'� �+��������� ���� ��� �� � �+����!
� �'� �������� �� $��# .(�)� ������� �'� �������� ��
����� '��� ���� 4#/ � �������� �����' ��� ����
4#2 � ����&��� ������' � �����.# $��# @ �'&� �'�
������� ���� ��� �'� ��� ����������� �������� ������
&��' �'� ����������� � �'� �����' ��� �'� �����.
�'�������# -'� �+��������� ���� � �'� �'�������� �������
��� &���# ����� �'� ������������ �� �� ��������! 7��� �'�
���� �� )���� ����������� ��� ��� �� �������� �'���'
�'� ������������ ����������# -'� ������� �������
���0������� �� �'� )�� ��� ��� %���������� ��� 8.#?� /#4?� ���
1#23 ��*� �����������!#
# $�������� �� �%�������
�������!����� �!������ ����� ������ ������������
&'��' �� ��������� � �'� ����������� � ������! � �
�'� ��������� ��������� ��� �'� �+������ ������ �����# -'����'��� ��������� ��� ��'���� � ���' �'��� � � ��������
$��# ?# ��� � )9�9% ��������#
$��# @# 6������������� ��# ������� �������#
,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*��� 823
�+�� ����!����� ����� ���'�� �������� �������� � ����
����� ��� �������# ���������� �'� ��������� ������ ������
&��' ���������� ���' �� �'� �����' ���&��� ���
��� ����� ����� ��� �'� ��0������� � ���� ���'���
������ �'� %��+�� �������� �� ��������� �� �'� ��������
�� ���!��# <� �������� � ����������+�� ���������
�!����� '�� ���� ��������� &��' � �������� ��������
� ������� =2.>#
-'� ����! � �'� ���������+�� �!����� �� �'&� ��
$��# 24; &'��' �������� �'��� ��! �������B � %��+�� ��
������ � ���+�� ������������ ��� � %��+�� ������ �����
���� �� �������� ����� � �'� %��+�� ��������# -'�
��������� �� � �&����� ��'���� ���������� �!���
&'��� �'� ����� ���� (����'�� &��' �'� ��� ���) ��
������ � ������� �� �'� %��������� �! �'� �� ����� &'���
�'� ������� ������ ����������� �� ������ �! �'� ��������
����# -'��� �'� ������ ����� �+�� � �'�� ������ �� ����
�'� )��+��#
-'��� ��� 2?4 �� ����� �� %��+�� �������� ��� 844
�� ����� �� ���+�� ����������� �������# % ���+��
������� �� ��� �������� ������ �'� ������� ���+�� ������
������ � �������� ��! ����+�� ��� ������
�������! �� �'� %��+�� ����� �+�������# ���' �������
������ �� ������������ ��������� �'�� ����� ��������
�� �'� ��� ��� ��� �������# ������ � �'� %��+�� ������
������� ��� �'� ��� ������ �� �'� �!����� '��� ���
����� � �� ����� ����� � �� ������� ���
������� � ������ �'� ��7����� � ������ ��������#
$��# 22 �'&� �� ��� � � �������� �!�����# -'�
������� ���������� �'� ����� ����������� ��� �'&� ��
$��# 24# -���! � �'� ���������+�� �!�����#
$��# 22# ��� � � �������� �!�����#
82? ,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*���
$��# 8(�) ��� �+'���� ����� ������� ����# �&����� �'�
���� � �'� ���� � �'� %��+�� ��������� ���� �� 1? �($��# 28(�))# -'�� ������� ��� �� ��������� �! ��G������ �
������� �'���' � ��!������ ������� ������ �'� ������
����# I��' �'� ��� � � �<- �������� �!��� =84>�
�� &�� ������� �'�� 7�������� � �'� ������ ����
��������� �'� ���������� � �'� �� ������� ���
�'����� �'� ������� ���0����! � �'� ����� ��
($��# 28(�))# ����&'���� �'� �������� � �'� ����� ��
���!� ���� ���'�����# -'������� �'� ���������� '�����
������� �� ����������� ��'� � ���' �'� �������
���0����! ���&��� �'� ����� ��� ����� ��� �� ��������!#
-'� ��������'�� ���&��� �'� '����� ������� ��� �'� ���
�������� ��7����� � �'� %��+�� ��������� ���� �� ������
�� $��# 2.(�)# 6�' �'� �������� ��� ������� ������
������ � ������� ���0����! � �'� ����� �� � �'� ��� 6�
��7����� ��� �'&� �� $��# 2.(�)# % ����� �'���� �����
&'�� �'� ������ ���� ������' �'� ���� ���'��� ����� ��
� '����� ������� � 2#2 %# -'� �+��������� ������ �� ��
�������� &��' �'� ����������� ���������#
% ����!������������� ���������� ������ �� ����������
���� &��' �� ���'�� ������������ ������� ��# % �������
� �'� ���+�� ����������� ������� �� ������ �� $��# 25
�'&��� � �������� � 244 ��,��*# -'� �!����� �������� �� ��� &��' � ������� ��G����� ��� �'� ��!������ '�����
� 7����� �'� %��+�� �������# �&����� �'� ������ ���
&�� ����� ��� ���� �'� ������� ���+�� ����������� ��
� ��� ������ �����#
$��# 28# :������ ���0����! ���'��� ��� �� ������� ����������
�'���' '������# (�) ��� � � %������� ��� &��' �� ������� ��!������
'�����; (�) ���0����! �������� � �'� ����� ��� ����� ��� &��' ���
&��'�� ��G������ �������#
$��# 2.# (�) -'����'������ ������� ��������� �� � ������� �
������� �������; (�) ������� ���0����! ������ �� � ������� � �'� 6�
����������� �� �'� ������������ ��� � �'� ������#
$��# 25# ������� � �'� ������������� �� � /44 �*� 4#4/ � �+������
������������ �'&��� � �������� � 244 ��,��*#
,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*��� 82@
& �����������
�������� ��� ���� �������� ��� ������� �� �����
���� �� ������ ��� �+����������! ���� ��# �������
�'� ��'����� �������� (�������) �������� ��� ������� �����
������ � �� ������ �'������������� �������� ���
������� ��� �� �����*��# -'� ���������� �������� ��������
��'���� '�� ���� ��������� �� � �'�����+�� ��������
��� � ���������+�� �������! �!�����#
-'� �������� �������� ��� ������� ���������! �������
������ ������ � �'�����+�� ������������ ��� ���� ��+
�������������� �������� ��������� �!���� � �'��#
6���� � �'� ������ ��'�� �'� ��� ������ � �����
���� %��+�� ��� ���� ������������ &�� �����������!
���������� ��� �'��������*��# -'� ������ '�� ������� ������
����� ��������� �& ���� ����� �!���� ������ ��� ���'��
���������� ������ ��������� ��������#
% ���������+�� ��������� �!����� &��' ��������
�������� �� ��� ����������# -'� ������ �'���� ������
�! ����� �� ���������� ��!������ '����� ��� �� ���� �
���' �'� ����� ��� ����� ���� ��� ��� ��� �� ���� ��
���������� ���������# <� �� �+����������! ���� �� �'��
������� ���� ����� �����! ������ ������� �������# �&�����
�'�� �!����� ������ �� �� ����*��# -'� ����� ������ ���
����� ������ ��� �� �������� ������� � �'� ���� ���'���#
-'�� ���������� ����� ����� � '��' ���+�� ��������� ����
���&��� �'� �& �������� ��������� �� �& �� �������
��G�����# <� �'� ��+� ���������� �'� �& ������� &��� ��
��'���� � ���' �'��# % ��! ����� &��� �'�� �� '& �
��'���� ���������� ���� ���'���# $���'�� �!����� �����
��� &��' ������ ��� ���������� �! ��G������ �������
��� �'� ��!������ '����� ��� ����+�� ��� ���������
�! �'� ���������� ���+�� ������� �� &��������#
��'��(�� �������
-'� ���'�� &��� ���� � �'��� �� F�� �� M'�� �����'
����'��� ��� A�# F��� ������ �� ������� ������� ������
����� ��� ���������# -'�� &�� &�� ������� �!
A%:E% ����� �'� %$:F� %�� $��� �������� �����
N�%$� ����� �������� $.4148�@3�8�4.8.#
)���������
=2> %���������� E����� $���!� %���� A������ <��#� H�&�� �%
48418� '���B,,&&&#������#�,���#
=8> E# ������ 6# 6+��'��� -# "���� F# H����� ������ ����'��
�����'������ �!������ -��'����� A����� � �'� 2@@2 <�������
����� ��������� � ���� ����� ������ ��� %������� (-����������
@2)� ��� $�������� �%� N�%� 85983 O��� 2@@2� ��# @119@1?#
=.> I#%# ������ :#-# :&�� :# ��&��*� ������� �����'���� %��+��
�������! ���� �!������ -��'����� A����� � �'� ���������� �����
��� %������ I���'�� ����� ���� <������ ��� N�%� .91 O���
2@@1� ��# 8?.98?3#
=5> �# F��*� I# ������� O# ����������� O# ������ 6# ���'���� �#
��'���� �# ���*��� N# 6���'�� % �������� !�& ���� ����� �� ������
�����'������ -��'����� A����� � �'� 2@@3 <�����������
��������� � ���� ����� ������ ��� %������� (-���������� @3)�
�'����� <F� N�%� 2192@ O��� 2@@3� ��# ?539?/4#
=/> �#��# "����� �# �������� "#P# F��� :#�# ������� ������������ ��
����� �������� �������� �� ��������� �������� ��� ����������
O# ������������'# �!�# 3 (2@@?) 839.3#
=1> %# ���������� "# H�G���� % '��'�����������! %��+�� ���������� ������
�������������� &��' � ������� ���������� O# ������������'#
�!�# 3 (2@@?) 2@89844#
=3> :#%# ������ O#-# H��� "#P# F��� :#�# ������� % ���� '��'����0����!
�������� �������� -��'����� A����� � �'� ���������� ����� ���
%������ I���'�� ����� ���� <������ ��� N�%� 59? O��� 8444�
��# 19@#
=?> #"# $������ �# ����'�����#F# :���� �#�# ������ A#$# ������ �#�#�
�# F�� F#:# �����!� F������� '��'������������ ������������� �� �
���������� ���� ������� ����# %������� % /3 (2@@1) 24.9224#
=@> �#�#��# F�� �# M'�� #"# $������ ���'������ ������! ���������
� 4#/ � ���� �������������� ��B E��������� � �'� �!����� ������������'������ ���������� �� ��������� :������'� ���
$�������� �%� N�%� 2921 %���� 2@@?� ��# 839.8#
=24> �# F����&���� #"# $������%���!��� � �������������������� ��������
������ ��������� �����������'���� ����������� -��'�����A����� �
�'� 2@@@ <����������� ��������� � ���������� ������ ��� %�������
(-���������� @@)� ������� O����� 3924 O��� 2@@@� ��# /819/8@#
=22> # M'���� �# ���� F# ��:����� #"# $������ % ������� ����������
���� ����������� &��' ���������� ���� ���������� -��'�����
A����� � �'� 28�' <��� <����������� ��������� � ���������
����'������ �!���� (%O�� @@)� ������� $F� N�%� 23982
O�����! 2@@@� ��# 1419122#
=28> �# ���� #"# $������ % ���� *��+�� ����������� &��' ����������
��������� �������� -��'����� A����� � �'� 2.�' <��� <�����������
��������� � ������������'������ �!���� (���� 8444)�
��!�*���� O����� 8/98? O�����! 8444� ��# 5@19/42#
=2.> �# F�� �#"# $������ F#:# �����!� %� ����������! �������� �����
���� �!������ ��B E��������� � �'� <����������� �!����
� ���� ��������� ��� �����!����� 2@982 ������ 8444�
������� �'���#
=25> �# ���� #"# $������ % ��������� ���������+�� �!������
-��'����� A����� � �'� 25�' <��� <����������� ��������� �
������������'������ �!���� (���� 8442)� <���������� �&��*���
����� 8298/ O�����! 8442� ��# 218921/#
=2/> �# ���� F# ������� Q# O���� #"# $������ �������� ���
�'��������*���� � ���� %��+�� ����������� &��' ������������
�� A������ ��B E��������� � �'� 8444 <����������� ���������
� ������� ��� �������� � �����!���� (��� 8444)� ���
A���� �%� N�%� 8398@ ����' 8444� ��# 2?292?5#
=21> $# F������ %# ��'��� � :���� 6��' ���� ���'� �
%�����������! ���'��� ������� N��E����� H# //42?@.� 81 ����'
2@@1� ����� / %����� 2@@5#
=23> ����%A N���R� ������� ������ <��#� ���!� H� 83/2.� '���B ,,
&&&#������#�#
=2?> ��+&��� 8A� ������ 2#@#45� ��!���'� 2@?592@@3� %���� ������
���� E��������'� E% 2/82@� '���B ,,&&&#�����#�#
=2@> F#P# F��� O#F# �'��� �#�# F��� I#�# I�� �������������'����
����.9;96 ������ �� ���������� ��������� ����'� <��� E'��#
-��'��# F���# @ (2@@3) .5/9.53#
=84> I# ������ �#�# ����������� A#�# $������ H������ ������
��� � .�A ���� ����� ���� ������������ ������!� -��'�����
A����� � �'� 28�' <��� <����������� ��������� � �����������
��'������ �!���� (� ��R@@)� ������� $F� N�%� 23982 O�����!
2@@@� ��# .489.4?#
*����������
,��:�� .�� �������� '�� 6� ��� �� ������� �� ��������� ����������� ��
6��G��� <�������� � -��'���! �� 2@?@ ��� 2@@8� �����������!# ��
������� '�� ����� ���� ������ �� ������������ �� -���� N��������!
884 ,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*���
�� 2@@?# �� ��������! �� � E'A ������� �� �'� A�������� � ���������� ���
������ ����������� �� �������� ����� N��������!# �� &�� � �������'
�������� �� �'� <�������� � �������������� �� -����'�� N��������!
&����� � ������ ������������ �'����� ��� ��'������ ������ �� 5
!����# ��� ������� �������' ��������� ������� ���������� �������� �������
��������� ������������� ���'������ ��� �����������'������
�������� ��������#
/��� &- 0����� �� �� �������� ������� �� �������� ����� N��������!�
'����� � G��� ��������� &��' �'� A�������� � ���������� ���
������ ����������� ��� -'� :����� <��������# �� �������� '�� 6� ���
�� �� ���������� ����������� ��� ������ ������� �� �<- �� 2@?8 ���
2@?5� �����������!� ��� �'� E'A ������ �� ���������� ����������� ���
������ ������� �� N#�# 6������! �� 2@@5# $� 2@?5 � 2@?@� '�
&���� �� ��&����9E������ � ������� ������ ��� ������� ������� ������#
��� ������� �������' ��������� ������� �������� ��� ����������
������ ��� ������� ���������� �����������'������ �!���� ����
�������� �� ���� ��������� ��� ���������� ������ ��'������ ��
�����������'������ �!����#
,- .��� /-&- 0����� 1 !����� ��� � ������ � 2� 3�44�5 ���*��� 882