T6672/T6673 VLSI テスト・システム
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MANUAL NUMBER
禁無断複製転載C 株式会社アドバンテスト Printed in Japan
T6672/T6673
VLSIテスト・システム
テスタ部メンテナンス・マニュアル
8339667-19
1999年初版 1999年 10月 8日
適用機種T6672T6673
注意:このマニュアルに記載されているメンテナンス作業実施前に、安全に関する重要な情報が記載されている「ICテスト・システム 安全操作の手引き」を十分にお読み下さい。
表紙
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
緒言
Preface
フロリナート TMはスリーエム社の登録商標です。
FC-3283はスリーエム社フロリナート TMのモデル・ナンバです。
01.6.8
緒言
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
改版履歴
R-1
マニュアルREV 日 付 備 考
01 99.10.8
02 99.11.18
03 00.1.14
04 00.1.31
05 00.2.28
06 00.3.30
07 00.6.23
08 00.11.10
09 00.12.22
10 01.1.20
11 01.6.8
12 01.7.15
マニュアルREV 日 付 備 考
13 01.8.9
14 01.9.28
15 02.2.15
16 02.9.30
17 02.12.12
18 04.8.23
19 05.5.7
05.5.7
最新ページ・リスト
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
(注 ) #は改版されたページを示します。##は新しく追加されたページを示します。( )は削除されたページを示します。
P-1
Preface 01.6.8# R-1 05.5.7# P-1 05.5.7# P-2 05.5.7# P-3 05.5.7# P-4 05.5.7# C-1 05.5.7# C-2 05.5.7# C-3 05.5.7## C-4 05.5.7# F-1 05.5.7# F-2 05.5.7# F-3 05.5.7# F-4 05.5.7# F-5 05.5.7# F-6 05.5.7# T-1 05.5.7# T-2 05.5.7
(T-3 04.8.23)1-1 01.6.81-2 01.6.81-3 01.6.82-1 01.6.82-2 01.6.82-3 01.6.82-4 01.6.82-5 01.6.82-6 02.2.152-7 04.8.232-8 04.8.232-9 04.8.232-10 04.8.232-11 02.2.152-12 04.8.233-1 01.6.83-2 01.6.83-3 04.8.233-4 01.6.83-5 01.6.83-6 01.6.83-7 01.6.83-8 01.6.83-9 01.6.83-10 01.6.8
3-11 01.6.83-12 01.6.83-13 01.6.8
# 3-14 05.5.7# 3-15 05.5.7# 3-16 05.5.7# 3-17 05.5.7# 3-18 05.5.7# 3-19 05.5.7# 3-20 05.5.7# 3-21 05.5.7# 3-22 05.5.7# 3-23 05.5.7# 3-24 05.5.7# 3-25 05.5.7# 3-26 05.5.7# 3-27 05.5.7# 3-28 05.5.7## 3-29 05.5.7## 3-30 05.5.7## 3-31 05.5.7
4-1 01.6.84-2 01.6.84-3 01.6.8
# 4-4 05.5.7# 4-5 05.5.7# 4-6 05.5.7# 4-7 05.5.7# 4-8 05.5.7# 4-9 05.5.7# 4-10 05.5.7# 4-11 05.5.7# 4-12 05.5.7## 4-13 05.5.7
5-1 01.6.85-2 01.6.85-3 01.6.85-4 01.6.85-5 01.6.85-6 01.6.85-7 01.6.85-8 01.9.285-9 01.6.8
# 5-10 05.5.7
# 5-11 05.5.7## 5-12 05.5.7## 5-13 05.5.7## 5-14 05.5.7## 5-15 05.5.7## 5-16 05.5.7
6-1 04.8.236-2 04.8.236-3 04.8.236-4 04.8.236-5 04.8.236-6 04.8.236-7 04.8.23
# 6-8 05.5.7# 6-9 05.5.7# 6-10 05.5.7# 6-11 05.5.7# 6-12 05.5.7# 6-13 05.5.7# 6-14 05.5.7# 6-15 05.5.7# 6-16 05.5.7# 6-17 05.5.7# 6-18 05.5.7# 6-19 05.5.7# 6-20 05.5.7# 6-21 05.5.7# 6-22 05.5.7# 6-23 05.5.7# 6-24 05.5.7# 6-25 05.5.7# 6-26 05.5.7# 6-27 05.5.7# 6-28 05.5.7# 6-29 05.5.7# 6-30 05.5.7# 6-31 05.5.7# 6-32 05.5.7# 6-33 05.5.7# 6-34 05.5.7# 6-35 05.5.7# 6-36 05.5.7# 6-37 05.5.7# 6-38 05.5.7
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
最新ページ・リスト
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P-2
# 6-39 05.5.7# 6-40 05.5.7# 6-41 05.5.7# 6-42 05.5.7# 6-43 05.5.7# 6-44 05.5.7# 6-45 05.5.7# 6-46 05.5.7# 6-47 05.5.7# 6-48 05.5.7# 6-49 05.5.7# 6-50 05.5.7# 6-51 05.5.7# 6-52 05.5.7# 6-53 05.5.7# 6-54 05.5.7## 6-55 05.5.7## 6-56 05.5.7
7-1 02.2.15# 7-2 05.5.7# 7-3 05.5.7# 7-4 05.5.7# 7-5 05.5.7# 7-6 05.5.7# 7-7 05.5.7# 7-8 05.5.7# 7-9 05.5.7# 7-10 05.5.7# 7-11 05.5.7# 7-12 05.5.7# 7-13 05.5.7# 7-14 05.5.7# 7-15 05.5.7# 7-16 05.5.7# 7-17 05.5.7# 7-18 05.5.7# 7-19 05.5.7# 8-1 05.5.7
8-2 02.2.15# 8-3 05.5.7
8-4 02.12.128-5 02.12.128-6 02.12.128-7 02.12.128-8 02.12.128-9 02.12.128-10 02.12.12
8-11 02.12.12# 8-12 05.5.7# 8-13 05.5.7# 8-14 05.5.7# 8-15 05.5.7# 8-16 05.5.7# 8-17 05.5.7# 8-18 05.5.7# 8-19 05.5.7# 8-20 05.5.7# 8-21 05.5.7# 8-22 05.5.7# 8-23 05.5.7# 8-24 05.5.7# 8-25 05.5.7# 8-26 05.5.7# 8-27 05.5.7# 8-28 05.5.7# 8-29 05.5.7# 8-30 05.5.7# 8-31 05.5.7# 8-32 05.5.7# 8-33 05.5.7# 8-34 05.5.7# 8-35 05.5.7# 8-36 05.5.7# 8-37 05.5.7# 8-38 05.5.7# 8-39 05.5.7# 8-40 05.5.7# 8-41 05.5.7# 8-42 05.5.7# 8-43 05.5.7# 8-44 05.5.7# 8-45 05.5.7# 8-46 05.5.7# 8-47 05.5.7# 8-48 05.5.7# 8-49 05.5.7# 8-50 05.5.7# 8-51 05.5.7# 8-52 05.5.7# 8-53 05.5.7# 8-54 05.5.7# 8-55 05.5.7# 8-56 05.5.7# 8-57 05.5.7
# 8-58 05.5.7# 8-59 05.5.7# 8-60 05.5.7# 8-61 05.5.7# 8-62 05.5.7# 8-63 05.5.7# 8-64 05.5.7# 8-65 05.5.7# 8-66 05.5.7# 8-67 05.5.7# 8-68 05.5.7# 8-69 05.5.7# 8-70 05.5.7# 8-71 05.5.7# 8-72 05.5.7# 8-73 05.5.7# 8-74 05.5.7# 8-75 05.5.7# 8-76 05.5.7# 8-77 05.5.7# 8-78 05.5.7# 8-79 05.5.7# 8-80 05.5.7# 8-81 05.5.7# 8-82 05.5.7# 8-83 05.5.7# 8-84 05.5.7# 8-85 05.5.7# 8-86 05.5.7# 8-87 05.5.7# 8-88 05.5.7# 8-89 05.5.7# 8-90 05.5.7# 8-91 05.5.7# 8-92 05.5.7# 8-93 05.5.7# 8-94 05.5.7# 8-95 05.5.7# 8-96 05.5.7# 8-97 05.5.7# 8-98 05.5.7# 8-99 05.5.7# 8-100 05.5.7# 8-101 05.5.7# 8-102 05.5.7# 8-103 05.5.7# 8-104 05.5.7
05.5.7
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(注 ) #は改版されたページを示します。##は新しく追加されたページを示します。( )は削除されたページを示します。
# 8-105 05.5.7# 8-106 05.5.7# 8-107 05.5.7# 8-108 05.5.7# 8-109 05.5.7# 8-110 05.5.7# 8-111 05.5.7# 8-112 05.5.7# 8-113 05.5.7# 8-114 05.5.7# 8-115 05.5.7# 8-116 05.5.7# 8-117 05.5.7# 8-118 05.5.7# 8-119 05.5.7# 8-120 05.5.7# 8-121 05.5.7# 8-122 05.5.7# 8-123 05.5.7# 8-124 05.5.7# 8-125 05.5.7# 8-126 05.5.7# 8-127 05.5.7# 8-128 05.5.7# 8-129 05.5.7# 8-130 05.5.7# 8-131 05.5.7# 8-132 05.5.7# 8-133 05.5.7# 8-134 05.5.7# 8-135 05.5.7# 8-136 05.5.7# 8-137 05.5.7# 8-138 05.5.7# 8-139 05.5.7# 8-140 05.5.7# 8-141 05.5.7# 8-142 05.5.7# 8-143 05.5.7# 8-144 05.5.7# 8-145 05.5.7# 8-146 05.5.7# 8-147 05.5.7# 8-148 05.5.7# 8-149 05.5.7# 8-150 05.5.7# 8-151 05.5.7
# 8-152 05.5.7# 8-153 05.5.7# 8-154 05.5.7# 8-155 05.5.7# 8-156 05.5.7# 8-157 05.5.7# 8-158 05.5.7# 8-159 05.5.7# 8-160 05.5.7# 8-161 05.5.7# 8-162 05.5.7# 8-163 05.5.7# 8-164 05.5.7# 8-165 05.5.7## 8-166 05.5.7## 8-167 05.5.7## 8-168 05.5.7## 8-169 05.5.7## 8-170 05.5.7## 8-171 05.5.7## 8-172 05.5.7## 8-173 05.5.7## 8-174 05.5.7
9-1 02.9.309-2 01.9.289-3 01.9.289-4 01.9.289-5 01.9.289-6 01.9.289-7 02.9.3010-1 01.6.810-2 01.6.810-3 01.6.810-4 04.8.2310-5 01.6.810-6 01.6.810-7 01.6.810-8 04.8.2310-9 04.8.2310-10 04.8.2310-11 04.8.2310-12 04.8.2310-13 04.8.2310-14 04.8.2310-15 04.8.2310-16 04.8.2311-1 01.6.8
11-2 01.6.811-3 01.6.811-4 04.8.2311-5 04.8.23
# 11-6 05.5.7# 12-1 05.5.7
13-1 02.2.1513-2 02.2.1513-3 02.2.15A1-1 01.8.9A1-2 01.9.28A2-1 04.8.23A2-2 04.8.23A2-3 04.8.23A2-4 04.8.23A2-5 04.8.23A3-1 01.6.8A3-2 01.6.8A3-3 01.6.8A3-4 01.6.8A3-5 01.6.8A3-6 01.6.8A3-7 01.6.8A3-8 01.6.8A3-9 01.6.8A3-10 01.6.8A3-11 01.6.8A3-12 01.6.8A3-13 01.6.8A3-14 01.6.8A3-15 01.6.8A3-16 01.6.8A3-17 01.6.8A4-1 01.6.8A4-2 01.6.8A4-3 01.6.8A4-4 01.6.8A4-5 01.6.8A4-6 01.6.8A4-7 01.6.8A4-8 01.6.8A4-9 01.6.8A4-10 01.6.8A4-11 01.6.8A5-1 01.9.28A5-2 02.2.15A5-3 01.9.28
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
最新ページ・リスト
(注 ) #は改版されたページを示します。##は新しく追加されたページを示します。( )は削除されたページを示します。
P-4
A5-4 02.2.15A5-5 02.2.15A5-6 01.9.28A5-7 01.9.28A5-8 02.2.15A5-9 02.2.15A5-10 01.9.28A6-1 02.9.30A6-2 02.9.30A6-3 02.9.30A6-4 02.9.30A6-5 02.9.30A6-6 02.9.30A6-7 02.9.30A6-8 02.9.30A6-9 02.9.30A6-10 02.9.30A6-11 02.9.30A6-12 02.9.30A6-13 02.9.30A6-14 02.9.30A6-15 02.9.30A6-16 02.9.30A6-17 02.9.30
## A7-1 05.5.7## A7-2 05.5.7## A7-3 05.5.7## A8-1 05.5.7## A8-2 05.5.7
05.5.7
目次
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
C-1
1. 概説 ............................................................................................................................................... 1-1
1.1 一般注意事項 .............................................................................................................................. 1-11.1.1 環境条件 .............................................................................................................................. 1-11.1.2 取り扱い上の注意 .............................................................................................................. 1-11.1.3 試験実行時の注意 .............................................................................................................. 1-21.1.4 ボード交換時の注意 .......................................................................................................... 1-21.1.5 異常停止時の注意 .............................................................................................................. 1-21.1.6 DMM(R6581T)の初期設定 ................................................................................................ 1-3
2. システムの操作 ....................................................................................................................... 2-1
2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作 ..................................................... 2-12.2 システム(ノーマル・モード) ................................................................................................ 2-32.3 EMOスイッチの復帰方法 ......................................................................................................... 2-52.4 システムの保守 .......................................................................................................................... 2-6
2.4.1 診断 ...................................................................................................................................... 2-62.4.2 イニシャライズ .................................................................................................................. 2-62.4.3 キャリブレーション .......................................................................................................... 2-6
2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順 .................................................................................. 2-72.5.1 設置/システム校正後の作業 .......................................................................................... 2-72.5.2 定期点検後の作業 .............................................................................................................. 2-72.5.3 ボード交換後の作業 .......................................................................................................... 2-72.5.4 ボード追加、削除後の作業 .............................................................................................. 2-11
3. メンテナンス操作 .................................................................................................................. 3-1
3.1 ホットワーク .............................................................................................................................. 3-23.2 定期点検項目 .............................................................................................................................. 3-33.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1) ........................................................ 3-5
3.3.1 ユニット電源用ファン・ブロックの交換 ...................................................................... 3-53.3.2 ユニット用ファン・ブロックの交換 .............................................................................. 3-6
3.4 ユニット電源の交換 .................................................................................................................. 3-83.4.1 ユニット電源の取りはずし手順(ホットワーク・タイプ1) .................................... 3-83.4.2 ユニット電源の取り付け時の注意 .................................................................................. 3-9
3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意 .......................................................................................... 3-123.6 架台パネルの開閉 ...................................................................................................................... 3-123.7 システムが起動しないときの処置方法 .................................................................................. 3-15
3.7.1 システム・モニタが起動しないとき .............................................................................. 3-163.7.2 FATAL ERRORの確認 ...................................................................................................... 3-163.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法 ..................................... 3-17
3.8 システム・モニタ DIAGの起動 .............................................................................................. 3-183.9 システム・モニタ エラー・コード ......................................................................................... 3-213.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード .......................................................................... 3-273.11 システム・モニタ交換時作業 .................................................................................................. 3-30
3.11.1 システム・モニタの設定 .................................................................................................. 3-303.11.2 ロム・モニタ・モードの使い方 ...................................................................................... 3-31
4. LEDの仕様 ............................................................................................................................... 4-1
4.1 TC3 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-1
05.5.7
目次
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
目次
C-2
4.2 TC4 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-24.3 TC5 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-34.4 TC7 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-44.5 SQPG UNIT LED仕様 ................................................................................................................ 4-54.6 FT UNIT LED 仕様 ..................................................................................................................... 4-64.7 DP UNIT LED仕様 ..................................................................................................................... 4-74.8 MIXED UNIT LED仕様 ............................................................................................................. 4-84.9 MONITOR I/F LED仕様 ............................................................................................................ 4-94.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様 ............................................. 4-104.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様 ............................................... 4-124.12 HCDPS OPTION LED仕様 ........................................................................................................ 4-13
5. ボードの交換 ............................................................................................................................ 5-1
5.1 ケーブル・マーカの見方 .......................................................................................................... 5-15.2 架台内実装ボードの脱着 .......................................................................................................... 5-25.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着 ...................................................................................... 5-3
5.3.1 実装ボードの脱着 .............................................................................................................. 5-35.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順 ................................................................. 5-45.5 ボード運搬上の注意 .................................................................................................................. 5-75.6 ボード交換時の作業 .................................................................................................................. 5-85.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法 ...................................................... 5-13
5.7.1 TC7が故障し、代品と入れ替えたときの Solarisの起動エラーについて ................. 5-135.7.2 グラフィック・カードについて ...................................................................................... 5-145.7.3 対処方法 .............................................................................................................................. 5-15
6. ユニット/電源配置/電圧調整値 ................................................................................ 6-1
6.1 システム架台配置 ...................................................................................................................... 6-16.2 メイン・フレーム内配置 .......................................................................................................... 6-36.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 .......................................................... 6-116.4 HCDPS架内配置 ......................................................................................................................... 6-136.5 安全装置の取付位置 .................................................................................................................. 6-146.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台) ........................ 6-206.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台) ....................................................................................... 6-226.8 重心図・骨格図 .......................................................................................................................... 6-236.9 ユニット電源規格表 .................................................................................................................. 6-396.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム) ............ 6-436.11 ユニット電源規格表(HCDPS架) ........................................................................................... 6-456.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4) ................................................................................. 6-46
6.12.1 電圧調整方法 ...................................................................................................................... 6-466.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架) ........................................ 6-556.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架) .......................................................... 6-56
7. ボード配置 ................................................................................................................................ 7-1
8. 配線図 .......................................................................................................................................... 8-1
8.1 信号配線 ...................................................................................................................................... 8-18.2 電源配線 ...................................................................................................................................... 8-53
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
目次
C-305.5.7
9. HIFIXの取り扱い ................................................................................................................... 9-1
10. 冷却装置 ..................................................................................................................................... 10-1
10.1 安全について .............................................................................................................................. 10-110.2 冷却媒体 ...................................................................................................................................... 10-3
10.2.1 フロリナート ...................................................................................................................... 10-310.2.2 保管方法 .............................................................................................................................. 10-310.2.3 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-310.2.4 廃棄 ...................................................................................................................................... 10-3
10.3 冷却装置(空冷方式) ................................................................................................................ 10-410.3.1 各部の名称 .......................................................................................................................... 10-410.3.2 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-510.3.3 異常表示とその処置方法 .................................................................................................. 10-510.3.4 定期点検とオーバホール .................................................................................................. 10-7
10.4 冷却装置(水冷方式) ................................................................................................................ 10-810.4.1 各部の名称 .......................................................................................................................... 10-810.4.2 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-1010.4.3 異常表示とその処置方法 .................................................................................................. 10-1110.4.4 定期点検とオーバホール .................................................................................................. 10-16
11. スペア・パーツ・キット .................................................................................................... 11-1
12. メンテナンス・パーツ ........................................................................................................ 12-1
13. 部品交換 ..................................................................................................................................... 13-1
13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順 .......................................................................... 13-1
付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス .................................................. A1-1
A1.1 エア圧力設定 ............................................................................................................................. A1-1A1.2 エアコン・パネルのケーブル接続 ......................................................................................... A1-1
付録 2. フロリナート製品安全データシート ..................................................................... A2-1
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線 ................................................................. A3-1
付録 4. HIFIX配置 ........................................................................................................................... A4-1
A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030) ............................................................................................................... A4-1A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031) ............................................................................................................... A4-4A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105) .................................................... A4-8
付録 5. PB (H7-1106)信号配置図 ............................................................................................ A5-1
A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図 .............................................................................. A5-1A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧 .................................................................................................. A5-2
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
目次
C-4
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ボード配線 ................................................................................................................................ A6-1
付録 7. Disk Storageのジャンパ設定 .................................................................................. A7-1
A7.1 AHN-DK32DJ*36/AHN-DK32EJ*36の場合 ............................................................................ A7-1
付録 8. TC7 CD-RWの使用方法 .............................................................................................. A8-1
A8.1 CD-RW使用上の注意 ................................................................................................................ A8-1A8.2 CD-RW使用方法 ........................................................................................................................ A8-2
05.5.7
図番号 名 称 ページ
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
図一覧
F-1
2-1 パフォーマンス・ボード・スイッチ・パネル .......................................................... 2-22-2 AC CONTパネル ............................................................................................................ 2-3
3-1 ユニット電源用ファン・ブロックの取りはずし ...................................................... 3-53-2 ユニット用ファン・ブロックの取りはずし .............................................................. 3-63-3 回転フレームの開閉方法指示シール .......................................................................... 3-73-4 ユニット電源の取りはずし .......................................................................................... 3-83-5 シャント・ワイヤ・ケーブル・マーカ表示 .............................................................. 3-93-6 ユニット電源端子番号 (1) ............................................................................................. 3-93-7 ユニット電源端子番号 (2) ............................................................................................. 3-93-8 ユニット電源端子番号 (3) ............................................................................................. 3-103-9 ユニット電源端子番号 (4) ............................................................................................. 3-103-10 ユニット電源端子番号 (5) ............................................................................................. 3-113-11 AC CONTパネル/モード・セレクト・スイッチ・パネル .................................... 3-133-12 TC7 CPU UNIT ................................................................................................................ 3-14
5-1 ボード・ハンドル (KH9-90287) .................................................................................... 5-25-2 ボード脱着方法 .............................................................................................................. 5-25-3 テスト・ヘッド・ボード・ハンドル .......................................................................... 5-35-4 テスト・ヘッド・ボード脱着方法 .............................................................................. 5-35-5 TH(1) ................................................................................................................................ 5-45-6 TH(2) ................................................................................................................................ 5-55-7 テスト・ヘッド内ボードの ZIFコネクタ .................................................................. 5-55-8 TH(3) ................................................................................................................................ 5-65-9 TH(4) ................................................................................................................................ 5-6
6-1 システム架台配置図 (T6672) ........................................................................................ 6-16-2 システム架台配置図 (T6673) ........................................................................................ 6-16-3 システム架台配置図(T6672 HCDPS架有りの場合) ............................................... 6-16-4 システム架台配置図(T6673 HCDPS架有りの場合) ............................................... 6-26-5 本体架配置図 (FRONT VIEW) ...................................................................................... 6-36-6 本体架配置図 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW) ................................................... 6-46-7 本体架配置図 (REAR VIEW) ......................................................................................... 6-56-8 本体架電源配置図 (Front View)(TC3, 4の場合) ...................................................... 6-66-9 本体架電源配置図 (Rear View) ...................................................................................... 6-66-10 本体架電源配置図 (Front View)(TC5の場合) .......................................................... 6-76-11 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 UP FLOWの場合) ........................................ 6-86-12 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 DOWN FLOWの場合) ................................. 6-86-13 本体架電源配置図 .......................................................................................................... 6-96-14 1024ch架電源配置図 ...................................................................................................... 6-106-15 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Front View) ........................ 6-116-16 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Rear View) .......................... 6-126-17 HCDPS架内配置 ............................................................................................................. 6-136-18 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の FRONT VIEW) ....................................... 6-146-19 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の REAR VIEW) ......................................... 6-156-20 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW) ............................... 6-16
05.5.7
図番号 名 称 ページ
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
図一覧
F-2
6-21 安全装置の取り付け位置 (T6673 DSPラックなしで DOWN FLOW時のFRONT VIEW) ................................................................................................................. 6-17
6-22 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の REAR VIEW) .................................. 6-186-23 TH安全装置の取り付け位置 ........................................................................................ 6-196-24 CDU安全装置の取り付け位置 ..................................................................................... 6-196-25 安全装置の取り付け(UP FLOW時の FRONT, REAR VIEW) ................................ 6-206-26 安全装置の取り付け(DOWN FLOW時の FRONT, REAR VIEW) ........................ 6-216-27 HCDPS架安全装置の取り付け位置 ............................................................................. 6-226-28 メイン・フレーム重心図(512ピン空冷 CDU時) ................................................... 6-236-29 メイン・フレーム重心図(512ピン水冷 CDU時) ................................................... 6-246-30 メイン・フレーム重心図(1024ピン空冷 CDU時) ................................................. 6-256-31 メイン・フレーム重心図(1024ピン水冷 CDU時) ................................................. 6-266-32 メイン・フレーム重心図(T6673 512ピン空冷 CDU時) ....................................... 6-276-33 メイン・フレーム重心図(T6673 512ピン水冷 CDU時) ....................................... 6-286-34 メイン・フレーム重心図(T6673 1024ピン空冷 CDU時) ..................................... 6-296-35 メイン・フレーム重心図(T6673 1024ピン水冷 CDU時) ..................................... 6-306-36 HCDPS架台重心図 ......................................................................................................... 6-316-37 TH重心図 ........................................................................................................................ 6-326-38 本体架骨格図 .................................................................................................................. 6-336-39 1024ch架骨格図 .............................................................................................................. 6-346-40 水冷 CDU架骨格図 ........................................................................................................ 6-356-41 空冷 CDU架骨格図 ........................................................................................................ 6-366-42 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架骨格図 .............................................. 6-376-43 HCDPS架骨格図 ............................................................................................................. 6-386-44 ±60V VCC VR配置 ......................................................................................................... 6-56
7-1 DVX2901ジャンパ選択位置 ......................................................................................... 7-137-2 DVX2502ジャンパ選択 ................................................................................................. 7-147-3 TH LOGICピン配置 ....................................................................................................... 7-15
8-1 テスタ・バス配線図 (T6672) ........................................................................................ 8-18-2 テスタ・バス配線図 (T6673) ........................................................................................ 8-28-3 テスタ・バス配線図(HCDPSオプションがある場合) ........................................... 8-38-4 テスタ・バス配線図(T6673+MIXED2+HCDPSの場合) ........................................ 8-48-5 TC3配線図 (1) ................................................................................................................. 8-58-6 TC3配線図 (2) ................................................................................................................. 8-68-7 TC4配線図 (1) ................................................................................................................. 8-78-8 TC4配線図 (2) ................................................................................................................. 8-88-9 TC3, TC4配線図 ............................................................................................................. 8-98-10 TC5配線図 (1) ................................................................................................................. 8-108-11 TC5配線図 (2) ................................................................................................................. 8-118-12 TC7配線図 ...................................................................................................................... 8-128-13 DPU配線図(1ステーション構成) ............................................................................ 8-138-14 DPU配線図(2ステーション構成) ............................................................................ 8-148-15 DCAP3(MIXED OPTION2)増設時の FMUX配線図 .................................................. 8-158-16 DPU配線図 (DPU PWB) ................................................................................................ 8-168-17 SQPG配線図 ................................................................................................................... 8-178-18 ALPG配線図 ................................................................................................................... 8-18
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
図一覧
F-3
図番号 名 称 ページ
8-19 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 1ステーション構成) .............................. 8-198-20 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 2ステーション構成) .............................. 8-208-21 FTU配線図 (1) ................................................................................................................ 8-218-22 FTU配線図 (2) ................................................................................................................ 8-228-23 FTU配線図 (3) ................................................................................................................ 8-238-24 FTU配線図 (4) ................................................................................................................ 8-248-25 FTU BWB配線図 ............................................................................................................ 8-258-26 DSP1(MIXED1)配線図 .................................................................................................. 8-268-27 DSP2(MIXED2)配線図 .................................................................................................. 8-278-28 MIXED BWB配線図 ...................................................................................................... 8-288-29 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(1) ........................................................ 8-298-30 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(2) ........................................................ 8-308-31 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-318-32 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-328-33 T6672 THU2配線図 (1) .................................................................................................. 8-338-34 T6672 THU2配線図 (2) .................................................................................................. 8-348-35 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(1) ........................................................ 8-358-36 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(2) ........................................................ 8-368-37 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(3) ........................................................ 8-378-38 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-388-39 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-398-40 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(3) ........................................................ 8-408-41 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-418-42 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-428-43 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(3) ........................................................ 8-438-44 THU配線図 (TH BPS) .................................................................................................... 8-448-45 MONITOR I/F配線図 ..................................................................................................... 8-458-46 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(MEMORY部)
SLOT1 ~ SLOT10 ............................................................................................................ 8-468-47 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(MEMORY部)
SLOT11 ~ SLOT17 .......................................................................................................... 8-478-48 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(ANALOG部)
SLOT1 ~ SLOT6 .............................................................................................................. 8-488-49 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(ANALOG部)
SLOT7 ~ SLOT12 ............................................................................................................ 8-498-50 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(DSPラック) ........................ 8-508-51 HCDPSケーブル接続図 (4/8 CH) ................................................................................. 8-518-52 HCDPSケーブル接続図 (4/8/12/16 CH) ....................................................................... 8-528-53 AC200 V接続図 (TC3, TC4) (1-1) ................................................................................. 8-538-54 AC200 V接続図 TC5 (1-2) ............................................................................................. 8-548-55 AC200 V接続図 TC7 (1-3) ............................................................................................. 8-558-56 AC200 V接続図 (T6672) (1-4) ....................................................................................... 8-568-57 AC200 V接続図 (2) ........................................................................................................ 8-578-58 AC200 V接続図 (3) ........................................................................................................ 8-588-59 AC200 V接続図 (4) ........................................................................................................ 8-598-60 DC270 V配線図 (1) ........................................................................................................ 8-608-61 DC270 V配線図 (2) ........................................................................................................ 8-618-62 DC270 V配線図 (3) ........................................................................................................ 8-62
05.5.7
図番号 名 称 ページ
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
図一覧
F-4
8-63 DC270 V配線図 (4) ........................................................................................................ 8-638-64 DC270 V(512ch時)配線図 (5-1) ............................................................................... 8-648-65 DC270 V(1024ch時)配線図 (5-2 ) ............................................................................ 8-658-66 DC270 V(512ch時)配線図 (6-1) ............................................................................... 8-668-67 DC270 V(1024ch時)配線図 (6-2) ............................................................................. 8-678-68 DC270 V配線図 (7) ........................................................................................................ 8-688-69 DC270 V配線図 (8) ........................................................................................................ 8-698-70 パラ運転ケーブル接続図 (1)(512ch時) .................................................................... 8-708-71 パラ運転ケーブル接続図 (2)(1024ch時) .................................................................. 8-708-72 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (1) ......................................................................... 8-718-73 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (2) ......................................................................... 8-728-74 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (3) ......................................................................... 8-738-75 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (4) ......................................................................... 8-748-76 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (5) ......................................................................... 8-758-77 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (6) ......................................................................... 8-768-78 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (7) ......................................................................... 8-778-79 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (8) ......................................................................... 8-788-80 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (9) ......................................................................... 8-798-81 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (10) ....................................................................... 8-808-82 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (11)(MIXEDオプション架有時の場合) ....... 8-818-83 DC配線図 (1) .................................................................................................................. 8-828-84 DC配線図 (2)(TC3の場合) ........................................................................................ 8-838-85 DC配線図 (3)(TC4の場合) ........................................................................................ 8-848-86 DC配線図 (4)(TC3の場合) ........................................................................................ 8-858-87 DC配線図 (5)(TC4の場合) ........................................................................................ 8-868-88 DC配線図 (6)(TC5の場合) ........................................................................................ 8-878-89 DC配線図 (7)(TC7の場合) ........................................................................................ 8-888-90 DC配線図 (8) .................................................................................................................. 8-898-91 DC配線図 (9) .................................................................................................................. 8-908-92 DC配線図 (TH PS BWB)(512ch時)(10-1) ............................................................... 8-918-93 DC配線図 (TH PS BWB)(1024ch時)(10-2) ............................................................. 8-928-94 DC配線図 (DC-DC) (10-3) ............................................................................................. 8-938-95 DC配線図 (TH PS BWB)(512ch時)(11-1) ............................................................... 8-948-96 DC配線図 (TH PS BWB)(1024ch時)(11-2) ............................................................. 8-958-97 DC配線図 (TH PS BWB) (11-3) .................................................................................... 8-968-98 DC配線図 (TH1 UTL/RL PS) (12) ................................................................................. 8-978-99 DC配線図 (TH1 UTL/RL PS) (13) ................................................................................. 8-988-100 DC配線図 (TH2 UTL/RL PS) (14) ................................................................................. 8-998-101 DC配線図 (TH2 UTL/RL PS) (15) ................................................................................. 8-1008-102 BWB 0 V DC接続図 (1) ................................................................................................. 8-1018-103 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時 ........................ 8-1028-104 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時 ................. 8-1038-105 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時
TC7の場合 ...................................................................................................................... 8-1048-106 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時
TC7の場合 ...................................................................................................................... 8-1058-107 センサ・ケーブル接続(電圧センス) ........................................................................ 8-1068-108 FAN AC200 V配線(512架) ........................................................................................ 8-107
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
図一覧
F-5
図番号 名 称 ページ
05.5.7
8-109 T6673 FAN AC200 V配線(512架) UP FLOW時 .................................................. 8-1088-110 T6673 FAN AC200 V配線(512架)DOWN FLOW時 ............................................. 8-1098-111 AC CONT接続図 (1) ...................................................................................................... 8-1108-112 AC CONT接続図 (2) ...................................................................................................... 8-1118-113 コントロール・ボックス、エア・コントロール・ユニット接続図 ...................... 8-1128-114 DMM/FTU温度センサユニット接続図 ....................................................................... 8-1138-115 FG接続図 ........................................................................................................................ 8-1148-116 1024ch架台電源配線(AC200 V接続図) ................................................................... 8-1158-117 DC270 V配線図 (1) ........................................................................................................ 8-1168-118 DC270 V配線図 (2) ........................................................................................................ 8-1178-119 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (1) ............................................................................. 8-1188-120 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (2) ............................................................................. 8-1198-121 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (3) ............................................................................. 8-1208-122 BWB 0 V DC接続図 (1) ................................................................................................. 8-1218-123 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時
(1024ch時) ...................................................................................................................... 8-1228-124 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時
(1024ch時) ...................................................................................................................... 8-1238-125 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時
(1024ch時) TC7の場合 ................................................................................................. 8-1248-126 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時
(1024ch時) TC7の場合 ................................................................................................. 8-1258-127 センサ・ケーブル接続(電圧センス)(1024ch時) .................................................. 8-1268-128 FAN AC200 V配線(1024架) ...................................................................................... 8-1278-129 T6673 FAN AC200 V配線(1024架) UP FLOW時 ................................................... 8-1288-130 T6673 FAN AC200 V配線(1024架) DOWN FLOW時 ............................................ 8-1298-131 FTU温度計接続図 .......................................................................................................... 8-1308-132 MIXED架有時 AC CONT接続図 (1) ........................................................................... 8-1318-133 MIXED架有時 AC CONT接続図 (2) ........................................................................... 8-1328-134 T6673 FAN AC接続図(512架 -1024架 -MIXED架) ............................................... 8-1338-135 MIXED架 FAN AC200V配線図 ................................................................................... 8-1348-136 AC200 V接続図 (1) ........................................................................................................ 8-1358-137 AC200 V接続図 (2) ........................................................................................................ 8-1368-138 AC200 V接続図 (3) ........................................................................................................ 8-1378-139 AC200 V接続図 (4) ........................................................................................................ 8-1388-140 DC270 V配線図 .............................................................................................................. 8-1398-141 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (1) ......................................................................... 8-1408-142 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (2) ......................................................................... 8-1418-143 DC配線図 (1) .................................................................................................................. 8-1428-144 DC配線図 (2) .................................................................................................................. 8-1438-145 DC配線図 (3) .................................................................................................................. 8-1448-146 Mixedオプション センサ接続図 .................................................................................. 8-1458-147 Mixedオプション センサ接続図 .................................................................................. 8-1468-148 T6673 (512 ch)センサ接続図(UP FLOW時) ............................................................ 8-1478-149 T6673 (512 ch)センサ接続図(DSPラックありの DOWN FLOW時) ................... 8-1488-150 T6673 (512 ch)センサ接続図(DSPラックなしの DOWN FLOW時) ................... 8-1498-151 T6673 (1024 ch)センサ接続図(UP FLOW時) .......................................................... 8-1508-152 T6673 (1024 ch)センサ接続図(DSPラックありの DOWN FLOW時) ................. 8-151
図番号 名 称 ページ
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図一覧
F-6
8-153 T6673 (1024 ch)センサ接続図(DSPラックなしの DOWN FLOW時) ................. 8-1528-154 HCDPS架 AC200 V接続図 ........................................................................................... 8-1538-155 HCDPS有時 AC CONT接続図 (1) ............................................................................... 8-1548-156 HCDPS有時 AC CONT接続図 (2) ............................................................................... 8-1558-157 T6673 MIXED架 +HCDPS架 AC CONT接続図 (1) ................................................... 8-1568-158 T6673 MIXED架 +HCDPS架 AC CONT接続図 (2) ................................................... 8-1578-159 HCDPS_CABINET DC270 V接続図 (1) ....................................................................... 8-1588-160 HCDPS_CABINET DC270 V接続図 (2) ....................................................................... 8-1598-161 HCDPSパラ運転ケーブル接続図 ................................................................................. 8-1608-162 HCDPS架 AC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 ..................................... 8-1618-163 HCDPS架 DC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 ..................................... 8-1628-164 HCDPS_CABINET DC配線図 ....................................................................................... 8-1638-165 HCDPS_CABINET DC_0 V配線図 ............................................................................... 8-1648-166 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時 ... 8-1658-167 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時
TC7の場合 ..................................................................................................................... 8-1668-168 T6673 HCDPS架 AC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 .......................... 8-1678-169 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(電圧センス) ....................................... 8-1688-170 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時
(1024 ch時) ..................................................................................................................... 8-1698-171 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時
(1024 ch時) TC7の場合 ................................................................................................ 8-1708-172 T6673 (1024ch) +MIXED架 +HCDPS架 センサ・ケーブル接続図 (1)
(煙、FAN、TEMP) ........................................................................................................ 8-1718-173 T6673 (512ch) +MIXED架 +HCDPS架 センサ・ケーブル接続図 (2)
(煙、FAN、TEMP) ........................................................................................................ 8-1728-174 FAN AC200 V配線図(HCDPS有の場合) ................................................................. 8-1738-175 T6673 MIXED架 +HCDPS架 FAN AC200 V配線図 ................................................. 8-174
10-1 各部の名称(空冷方式) ................................................................................................ 10-410-2 コントロール・パネル(空冷方式) ............................................................................ 10-410-3 各部の名称(水冷方式) ................................................................................................ 10-810-4 コントロール・パネル(水冷方式) ............................................................................ 10-9
13-1 エア・コネクタ Aの取り外し ...................................................................................... 13-113-2 エア・コネクタ Bとカプラ・ベースの取り外し ...................................................... 13-213-3 カプラの取り外し .......................................................................................................... 13-3
A1-1 BLG-024720エアコン・パネル(正面図) .................................................................. A1-2
A5-1 SQUARE HIFIX PB信号配置図 .................................................................................... A5-1
A7-1 ハードディスク top側の図 ........................................................................................... A7-1A7-2 ハードディスク Bottom側の図 .................................................................................... A7-2A7-3 ミニ・ジャンパの設定値 .............................................................................................. A7-3
05.5.7
表番号 名 称 ページ
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表一覧
T-1
2-1 (1)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-72-2 (2)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-82-3 (3)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-92-4 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH1) ................................................................................. 2-112-5 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH2) ................................................................................. 2-112-6 TMU (TH1) ....................................................................................................................... 2-112-7 TMU (TH2) ....................................................................................................................... 2-122-8 PAFD1-4/PAFG1 (TH1) ................................................................................................... 2-122-9 PAFD5-8/PAFG2 (TH1) ................................................................................................... 2-122-10 PAFD1-4/PAFG1 (TH2) ................................................................................................... 2-122-11 PAFD5-8/PAFG2 (TH2) ................................................................................................... 2-12
3-1 定期点検項目 .................................................................................................................. 3-33-2 モード・セレクト・スイッチ・コード ...................................................................... 3-133-3 LEDのコードと START DIAGの対応表 .................................................................... 3-183-4 LEDのコードとシステム・モニタの自己診断の対応表 .......................................... 3-193-5 LEDのコードとモニタ I/Fとの通信診断の対応表 ................................................... 3-193-6 LEDのコードと TCとの通信診断の対応表 ............................................................... 3-193-7 LEDのコードと異常処理のケーケンス対応表 .......................................................... 3-203-8 LEDのコードと処置の対応表 ...................................................................................... 3-213-9 モニタ・インタフェース・エラー・コード (T6672/T6673) ..................................... 3-273-10 モニタ・インタフェース・エラー・コード
(T6673ミクスド・シグナル・テスト・オプション部) ........................................... 3-28
4-1 TC3 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-14-2 TC4 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-24-3 TC5 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-34-4 TC7 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-44-5 SQPG UNIT LED仕様 .................................................................................................... 4-54-6 FT UNIT LED仕様 ......................................................................................................... 4-64-7 DP UNIT LED仕様 ......................................................................................................... 4-74-8 MIXED UNIT LED仕様 ................................................................................................. 4-84-9 MONITOR I/F LED仕様 ................................................................................................ 4-94-10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様 ................................. 4-104-11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様 ................................... 4-124-12 HCDPS OPTION LED仕様 ............................................................................................ 4-13
6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(1/3) ........................................... 6-396-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(1/2) .................................. 6-416-3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内
ユニット電源規格 (FRONT) .......................................................................................... 6-436-4 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内
ユニット電源規格 (REAR) ............................................................................................ 6-446-5 HCDPS架ユニット電源規格表 ..................................................................................... 6-456-6 ユニット番号 .................................................................................................................. 6-466-7 ボード電源電圧調整 (1/7) .............................................................................................. 6-47
05.5.7
表番号 名 称 ページ
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表一覧
T-2
6-8 電源電圧 調整 ................................................................................................................. 6-55
7-1 TC3実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-17-2 TC4実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-17-3 TC7実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-27-4 IO IF実装ボード配置 ..................................................................................................... 7-27-5 SQPG実装ボード配置 ................................................................................................... 7-27-6 ALPG実装ボード配置 ................................................................................................... 7-27-7 FTU1(1-256)実装ボード配置 ........................................................................................ 7-37-8 FTU2(257-512)実装ボード配置 .................................................................................... 7-47-9 FTU3(513-768)実装ボード配置 .................................................................................... 7-57-10 FTU4(769-1024)実装ボード配置 .................................................................................. 7-67-11 DPU実装ボード配置 ..................................................................................................... 7-77-12 THPS実装ボード配置 .................................................................................................... 7-77-13 Mixed実装ボード配置 ................................................................................................... 7-87-14 Monitor I/F実装ボード配置 ........................................................................................... 7-87-15 TH実装ボード配置 (T6672) .......................................................................................... 7-97-16 TH実装ボード配置 (T6673) .......................................................................................... 7-107-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (1/2) ............................................ 7-117-18 TC5内実装ボード配置 .................................................................................................. 7-167-19 Mixed オプション架 (MEMORY UNIT)内実装ボード配置 ...................................... 7-167-20 DCAP3 (BGR-027118)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1) ................... 7-177-21 WVFG/WVFD (BGR-026312)の DIP SWの設定
(プリント板シルク : SW3, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-22 PAFD/PAFG (BGR-027829)の DIP SWの設定
(プリント板シルク : SW2, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-23 TMU (BGR-026312X02)の DIP SWの設定
(プリント板シルク : SW3, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-24 Mixed オプション架 (ANALOG UNIT)内実装ボード配置 ....................................... 7-187-25 PAFD/PAFG (WBL-H33419ANA)の DIP SWの設定
(プリント板シルク : SW1, 1, 4) ................................................................................... 7-187-26 HCDPSU1ボード配置 .................................................................................................... 7-197-27 HCDPSU2ボード配置 .................................................................................................... 7-19
10-1 シャット・ダウン (S/D)異常コード(空冷方式) ...................................................... 10-510-2 異常発生時の処置方法(空冷方式) ............................................................................ 10-610-3 日常点検(空冷方式) .................................................................................................... 10-710-4 水質基準 .......................................................................................................................... 10-1010-5 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Aタイプ) .................................... 10-1110-6 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Bタイプ) .................................... 10-1210-7 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Aタイプ) .......................................................... 10-1310-8 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Bタイプ) ........................................................... 10-1510-9 日常点検(水冷方式) .................................................................................................... 10-16
A1-1 プローバ・コントロール・ケーブルの接続 .............................................................. A1-2
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
1. 概説
1-1
1. 概説
本マニュアルは、「ICテスト・システム安全操作の手引き」を読んだあとにお読み下さい。
1.1 一般注意事項
1.1.1 環境条件
(1) システムの一般仕様書設置プランに記述してある環境条件範囲内で使用して下さい。特に温度範囲を越えた使用は、テスト・システムの寿命を短くします。
(2) 非動作時に、湿度が動作時の湿度範囲を越えている場合は、湿度が動作時の湿度範囲を満足したあとに電源を投入して下さい。空調機の設置には、必ず加湿機構を持つものを使用して下さい。
(3) 磁気ディスク装置は振動に対して弱いので、動作時、非動作時にかかわらず振動を与えないように注意して下さい。なお、移動などの必要によって、どうしても振動を加えざるを得ない場合は必ず当社へ連絡して下さい。
(4) テスト・システムは、発熱量が大きく、これを強制空冷によって冷却しています。空気中のちり、ごみが多いと長期間にこれらがテスト・システムに付着し、冷却効果が失われ、結果的に装置の寿命を短くします。テスト・システムの設置された室内は禁煙とし、かつ清潔に保つように注意して下さい。
1.1.2 取り扱い上の注意
(1) ソフトウェアの操作は、「Viewpoint システム・スタートアップ・ガイド」にしたがって行って下さい。
(2) TCのホスト名を変更する場合には、「Viewpointシステム・スタートアップ・ガイド」を参照して、Viewpoint の設定を変更して下さい。また、HRS が接続されている場合には、「HRSソフトウェア・ユーザーズ・マニュアル」を参照して、設定の変更を行って下さい。
(3) 磁気テープ装置、ライン・プリンタなど使用しないときには、おのおのの電源スイッチをオフにして下さい。磁気テープを使用しないときは、装置からはずして保管して下さい。
(4) テスト・システムのドア、パネル、ステーション・カバーなどは、必ず所定の位置に取り付けて使用して下さい。
(5) パフォーマンス・ボード上にデバイス用電源出力、ドライバ出力などが出力されていますが、これらの出力間およびグランドへは故意に短絡しないようにして下さい。パフォーマンス・ボード上に、外部電源は使用しないで下さい。パフォーマンス・ボード上には、測定系と、独立に VCC、VEE、+15V、−15Vが用意されていますので、これを使用して下さい。なお、この他に電圧源が必要なときは、VCCまたは VEEなどから DC-DC-コンバータなどを用いて得るようにして下さい。また、リレー用として RLVCCが用意されています。
(6) テスト・システムの電源投入および遮断の回数は、極力少なくして下さい。
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
1.1 一般注意事項
1-2
(7) コネクタの抜差、ボードの抜差は、FANの停止を確認してから行って下さい。
(8) TC3 の ENGINE-Ultra の電源の AC コンセントはサービス・コンセントではありません。他機器の接続は行わないで下さい。
(9) システムの設置・移設の際には、必ず事前にアドバンテストに連絡して下さい。
1.1.3 試験実行時の注意
(1) MOS デバイスに限らず、バイポーラ・デバイスでも、静電誘導によってその取り扱い中にデバイスを破損する場合があります。デバイス取り扱い時には、必ず添付されているアース・バンドを着用して下さい。
(2) テスト実行時のデバイスの入出力波系などの観測に、オシロスコープなどを用いるときは、これら測定装置のアース端子とテスタのグラウンド間の接続を行ったあとにプローブなどを接続して下さい。また、プローブなどをはずしたあとに最後にアース間の接続をはずして下さい。
(3) テスタ起動時は、必ず一般仕様書に記載されているウォーミング・アップ時間(30分)経過後に試験を行って下さい。
1.1.4 ボード交換時の注意
(1) ボードの脱着は、必ず電源を遮断した状態で行って下さい。脱着時などのボードの取り扱いは、ていねいに行って下さい。また、決して帯電性を持つものの上へは置かないで下さい。
(2) テスタに使用しているボードは、同一規格名であれば相互に互換性をもち、容易なボード交換が可能です。ボード交換時には、イニシャライズ /キャリブレーションを実行し、システムの固有のボード情報ファイルの更新をお願いします。(「2.4 システムの保守」、「5.6 ボード交換時の作業」参照)
1.1.5 異常停止時の注意外部要因(雷など)によって電源が遮断された場合、ファイル・システムがダメージを受ける可能性があります。その後システムを起動すると、コマンド fsck(file system check) が自動的にダメージ部分をできる限り修復しますが、ダメージが大きい場合は、fsck がどう処理するのか聞いてくることがあります。詳細は、Sun Microsystems 社の「Command Reference Manual」でfsckの説明を参照して下さい。
2人以上で作業する場合は、他の作業者の安全を確認して下さい。
警告!
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
1.1 一般注意事項
1-301.6.8
1.1.6 DMM(R6581T)の初期設定
(1) GPIBアドレスのセット
キーを押す。
キーで GPIBを選択し、 キーを押す。
キーで ADDRESSを選択し、 キーを押す。
キーで ADDRESSを 24に設定し、 キーを押す。
キーで LANGUAGEを選択し、 キーを押す。
キーで ADVANTESTを選択し、 キーを押す。
キーを押す。
ME N U
H O M EHOME
MENU
E NTERENTER
E NTERENTER
E NTERENTER
E NTERENTER
E NTERENTER
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2. システムの操作
2-1
2. システムの操作
2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作
(1) パフォーマンス・ボードのロック/フリー操作(図 2-1参照)
マニュアル測定時、テスト・ヘッドのフロントのスイッチで行います。
LOCKと FREEのスイッチがあり、それぞれの状態でランプが点灯します。
(2) ユーティリティ電源の ON/OFF操作(図 2-1参照)
マニュアル測定時、テスト・ヘッドのフロントの UTILITYスイッチで行います。
パフォーマンス・ボード上に供給されるユーティリティ電源 (±15 V, VCC, VEE, RLVCC)の ON/OFF が可能です。ただし、パフォーマンス・ボードがロックされているときのみ操作が可能です。
また、パフォーマンス・ボードをロックすると UTILITYスイッチは自動的に ONとなり、フリーにすると自動的に OFFになります。
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作
2-2
図 2-1 パフォーマンス・ボード・スイッチ・パネル
SAMPLER
CH1 CH2 CH3 CH4STATETRIG
STDTRIG
GND
UTILITY PS FPG PB LOCK PB FREE
SAMPLER
CH1 CH2 CH3 CH4
UTILITY PS FPG
STATE STDTRIG TRIG
GND
PB LOCK PB FREE
01.6.8
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2.2 システム(ノーマル・モード)
2-3
2.2 システム(ノーマル・モード)
システムの起動はすべてシステム・モニタで管理されています。システム・モニタとモニタ I/Fによりセンサと電源の異常を監視し、異常がなければシステムは起動します。動作中に、異常が発見されると電源が切れます。
システム・モニタ・ドキュメント規則 印 : 確認しなければならない情報であることを示します。印 : 操作方法を示します。印 : 処置方法を示します。LED : 断りがない場合、AC CONTパネルの LEDを示します。モニタ I/F : 断りがない場合、モニタ・インタフェースのことを示します。0xXX : この表記は 16進数であることを示します。
図 2-2 AC CONTパネル
SYSTEM POWER LAMP
EMERGENCY OFF
POWERALARM
STATUS
ONSTANDBY
START
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
2.2 システム(ノーマル・モード)
2-4
(1) 電源 ONの手順
確認 1 : EMERGENCY OFF (EMO)スイッチが復帰していることを確認して下さい。確認 2 : AC CONTパネルのキー・スイッチが OFFになっているのを確認して下さい。操作 1 : AC CONTパネルの START スイッチを押しながら確認 4を行って下さい。確認 4 : AC CONT パネルの LED および ALARM ランプが点灯していることを確認
して下さい。操作 2 : キー・スイッチを ONにすると、TC、MFの順で電源が入ります。確認 5 : AC CONTパネルの LEDのランプが 0× 108になっていることを確認して下
さい。
以上で電源 ONの手順は完了です。
0x000 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x100 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x101 : TCの電源が入っている状態です。0x102 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が
入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。
0x103 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINE からの READYは PASS)AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINE からのREADYは PASS)
0x104 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TCからの READYと ENGINEからの READYは PASS。AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、TC からの READY と ENGINE からの READY はPASS。
0x106 : AC CONTパネルの不良が考えられます。0x107 : TCのみ電源が入っている状態です。0x108 : TCおよびMFの電源が入っている状態です。
(2) 電源 OFFの手順
操作 1 : TCをシャットダウンします。確認 1 : シャットダウンの動作終了を確認して下さい。操作 2 : キー・スイッチを OFFすると、MF、TCの順で電源が切れます。確認 2 : AC CONT パネルの LED のランプが 0x100 になり、続いて FAN が停止(30
秒後)することを確認して下さい。操作 3 : EMOスイッチを押して主電源を切って下さい。
以上で電源 OFFの手順は完了です。
01.6.8
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2.3 EMOスイッチの復帰方法
2-5
2.3 EMOスイッチの復帰方法
108
スイッチを、矢印の方向に回転させ、押し上げられたら操作終了。
SYSTEM POWER
ALARM
READY
STATUS
POWER
01.6.8
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2.4 システムの保守
2-6 02.2.15
2.4 システムの保守
システムの診断は以下の順序で行います。
1. 診断(イニシャライズ)
2. キャリブレーション
2.4.1 診断診断は、次の場合に行います。
(1) 定期点検
通常、テスタの性能が損なわれていないか、定期的に診断をかけます。
(2) ボード交換時の復帰点検
交換されたボードの正常動作を確認するため、診断をかけます。
方法や、内容については、各診断マニュアルを参照して下さい。
2.4.2 イニシャライズ診断では、テスタの動作に必要なイニシャライズ・データが生成されます。イニシャライズだけをかけることもできます。テスタ起動後にはデータが保持されませんので、必ず診断、イニシャライズまたは、イニシャライズ・リカバリをかけて下さい。イニシャライズ・データは、ボード固有のデータのため、定期点検時にはセーブの必要がありません。
方法や、内容については、「イニシャライズ/キャリブレーション実行手順書 (8339683)」を参照して下さい。
2.4.3 キャリブレーションキャリブレーションは、次の場合に行います。
(1) 長期定期点検
経時変化によるテスタの性能劣化を防ぐため、診断とともにキャリブレーションをかけます。また、このときのイニシャライズ・データはセーブして下さい。
(2) ボード交換時のキャリブレーション
PE(ピン・エレクトロニクス・カード)、HIFIX, FP, DIST, DIST&TRIG, SNC, TH内の TRIGボードを交換した場合、テスタのキャリブレーションが必要になります。
方法や、内容については、「イニシャライズ/キャリブレーション実行手順書 (8339683)」を参照して下さい。
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-7
2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2.5.1 設置/システム校正後の作業下記の手順で作業して下さい。
2.5.2 定期点検後の作業診断プログラムを実行して下さい。
2.5.3 ボード交換後の作業ボードの種類により、次の (1)、(2)、(3)の 3種類の作業があります。
(1) 表 2-1のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。
表 2-1 (1)の作業を行うボード
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
SQPG 3 BIR-024637 SNC
FTU1,2,3,4 4,5,6,7,13,14,15,16 BMR-025625 FP (16MW)
BMR-025625X02 FP (64MW)
FTU1 8 BMR-025624 DIST&EVENT (16MW)
BMR-025624X03 DIST&EVENT (64MW)
FTU2,3,4 8 BMR-025624X02 DIST&EVENT
FTU1,2,3,4 1 WUN-5V2R5V3B5V FTU1,2,3,4 UPS1
FTU1,2,3,4 2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU1,2,3,4 UPS2
Calibration
LinearityInitialization
Diagnosis
Diagnosis
Calibration
LinearityInitialization
Diagnosis
04.8.23
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-8 04.8.23
(2) 表 2-2のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。
表 2-2 (2)の作業を行うボード
FTU1,2,3,4 17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU1,2,3,4 UPS17
TH 6 BGR-023948(BGR-027127) TRIGGER(TRIGGER73)
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
TH 7, 8, 9, 10, 12,13, 14, 15, 19, 20, 21, 22, 24, 25, 26, 27
BGR-024908 PE
TH 16 BGR-025817 HSCLK (注)Option
THPS 1, 2, 3, 4 WUN-7V5V7V5V7V THPS UPS1,2,3,4
WUN-9V5V9V5V9V
THPS UPS217, UPS218, UPS219, UPS220, UPS221, UPS222, UPS223, UPS224
WBL-BPS11V68A THPS 11V
HIFIX H7-1032 etc. 1024 ch HIFIX etc.
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
Calibration
Absolute Initialization
Diagnosis
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-9
(3) 表 2-3のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。
表 2-3 (3)の作業を行うボード
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
DPU 3, 5, 7, 9 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT
DPU 4, 6, 8, 10 BGR-023715X02 (BGR-023715X03)
DPS
DPU 13 BGR-023709 IFA
DPU 14, 25 BGR-023712 UDC CONT
DPU 15, 26 BGR-023713X02 UDC
DPU 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24
BGR-023711X02 (BGR-026791)
MDC
SQPG 1 WUN-5V3V5V2R5V5V SQPG UPS1
ALPG 8 WUN-3V2V3V2V3V ALPG UPS8
ALPG 9 WUN-5V3V5V2V5V ALPG UPS9
TH 1 BIR-026826 WVFG-PE
TH 2 BIR-026276 WVFD-PE
TH 3 BGR-024934 SG
TH 4 BGR-024492 VFG/VFD(1, 2)
TH 5 BGR-026792 ACCAL-PE
TH 16(18) WBL-H33391DAC GSAWG-DAC
TH 29 BGR-024448 AFG/AFD 4 ch
TH 30 BGR-024955 AFE 4 ch
(BGR-026910) (PAFG/PAFD-PE)
TH 31 BGR-026743 GSAWG/TMU-PE
TH 32 BGR-024751 SAMPLER
(BIR-026908) SMPLER2
MIXED DSP 7 BGK-022429X02 SG_VME
MIXED DSP 8 BGK-022377X02 AFLT1
MIXED DSP 9 BGK-022377X02 AFLT2
MIXED DSP 10 KH3-3203 AFG1
MIXED DSP 11 KH3-3203 AFG2
Absolute Initialization
Diagnosis
04.8.23
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-10
(4) 表 2-1、表 2-2 および表 2-3以外のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。
MIXED DSP 12 KH3-3206 AFD1
MIXED DSP 13 KH3-3206 AFD2
MIXED DSP 14 BGK-022377X02 AFLT3
MIXED DSP 15 BGK-022377X02 AFLT4
MIXED DSP 16 KH3-3225 VFG1
MIXED DSP 17 KH3-3225 VFG2
MIXED DSP 18 KH3-3228 VFD1
MIXED DSP 19 KH3-3228 VFD2
MIXED ANA 7, 8, 9, 10 WBL-H33419ANA PAFD1-4(5-8)/PAFG1(2)
MIXED ANA 11, 12 BGR-026721 TMU
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
Diagnosis
04.8.23
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-11
2.5.4 ボード追加、削除後の作業DPU、FTU、SQPG、ALPGユニットにボードの追加、または削除を行った場合、下記の手順で作業して下さい(DPU, FTU, SQPG, ALPGユニット内の直接精度に影響しないボードの追加、削除であっても、架台内の他のボードの温度状況に影響を与えるため、下記の作業が必要となります)。
また、下記のボードは次の組合せごとに一括して追加、または削除を行って下さい。
表 2-4 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH1)
表 2-5 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH2)
表 2-6 TMU (TH1)
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
TH1 1 BIR-026826 WVFG-PE
TH1 2 BIR-026276 WVFD-PE
TH1 32 BGR-026908 SAMPLER2
MIXED MEM 7 BGR-026312 WVFD1, 2/WVFG1
MIXED MEM 8 BGR-026312 WVFD3, 4/WVFG2
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
TH2 1 BIR-026826 WVFG-PE
TH2 2 BIR-026276 WVFD-PE
TH2 32 BGR-026908 SAMPLER2
MIXED MEM 7 BGR-026312 WVFD1, 2/WVFG1
MIXED MEM 8 BGR-026312 WVFD3, 4/WVFG2
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 16 BGR-026312X02 TMU1, 2
MIXED ANA 11 BGR-026721 TMU
Calibration
LinearityInitialization
Diagnosis
02.2.15
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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順
2-12 04.8.23
表 2-7 TMU (TH2)
表 2-8 PAFD1-4/PAFG1 (TH1)
表 2-9 PAFD5-8/PAFG2 (TH1)
表 2-10 PAFD1-4/PAFG1 (TH2)
表 2-11 PAFD5-8/PAFG2 (TH2)
(注) MIXEDオプション架MEM SLOT 4∼ 17の各ボードの枚数に増減がある場合は
を実行して下さい。
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 17 BGR-026312X02 TMU1, 2
MIXED ANA 12 BGR-026721 TMU
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 12 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1
MIXED ANA 7 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 13 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2
MIXED ANA 8 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 14 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1
MIXED ANA 9 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1
ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名
MIXED MEM 15 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2
MIXED ANA 10 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2
# reboot -- -r↵
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3. メンテナンス操作
3-1
3. メンテナンス操作
ボード交換時の注意
本章以降に示す故障修理は、テクニカル・トレーニング・スクールのメンテナンス・コースを受講された方以外は、絶対に行わないで下さい。テスタ内部を保守する場合、不用意な電源投入防止のため、AC コントロール・パネルに「装置の保守作業中・操作禁止」の表示を実施(タグアウト)して下さい。なお、ブレーカに必ず施錠によるロックアウトを実施して下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)に説明してあります。
注意!
ボードの交換にかかわるすべての作業は、必ずシステムの電源を切り、ファンが停止してから行って下さい。(「3.7 システムが起動しないときの処置方法」を読んだあとボードを交換して下さい。)ボード・トップにケーブルが取り付けてある場合は、先にケーブルをはずしてからボードの取り外し、取り付けを行って下さい。
1. システム・モニタを交換するとき、モニタ・インタフェースを交換するとき、TCユニットを交換するときはキー・スイッチを OFFにして、次に EMERGENCY OFFスイッチを押し、主電源を切ります。
2. MF内または TH内のボードを交換するときはキー・スイッチを OFFにして下さい。
上記 2種類の電源 ON/OFFの形態があります。
01.6.8
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3.1 ホットワーク
3-2
3.1 ホットワーク
ホットワークとは、システムの校正およびメンテナンスを通電中に行う作業のことをいい、下記の作業分類があります。また、各メンテナンスおよび校正等の手順を示している所にホットワークの分類を記してあります。タイプ 3~5のものは、感電等の危険があるので注意して下さい。
タイプ 1 : 装置はまったく通電していない状態。
タイプ 2 : 装置は通電しているが、通電している部分に接触する可能性がない。
タイプ 3 : 装置は通電しており、通電している部分に接触する可能性がある。接触する可能性がある部分の電圧またはエネルギーは、30 rmsV、42.2 peakV、240VA以下である。
タイプ 4 : 装置は通電しており、通電している部分に接触する可能性がある。接触する可能性がある部分の電圧またはエネルギーが、30 rmsV、42.2 peakV、240VA以上、または RFエネルギーが存在する。
タイプ 5 : 装置は通電しており、測定や調整時に装置の内部に人体が入る必要性がある。
01.6.8
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3.2 定期点検項目
3-3
3.2 定期点検項目
(1) テスト・システムの初期の性能を維持するためには、定期点検を必要とします。定期点検項目を表 3-1に示します。
(2) テスト・ステーションのピン・カード内に、リード・リレーを使用していますが、リード・リレーの寿命は、約 1×108 程度です。したがってリード・リレーの ON/OFF の回数が 1×108回程度に達すると、リード・リレーの交換が必要となります。
(3) テスト・ステーションは、エアを使用してパフォーマンス・ボードを脱着するために、以下のようなエア源が必要です。
エア源 : 0.49 ~ 0.69 MPa ドライ・エアエア消費量 : 5 ~ 10 Nl / min
エア中に含まれる、水、油などがドレイン管中に溜まった場合、下部にある電気部品(ボード、ケーブルなど)に水、油などが付着しないようにドレイン管の水抜き部に布などを当てて水抜き作業を行って下さい。
表 3-1 定期点検項目
① ボード・ユニット・エア・フィルタ
1週間定検 • 診断プログラムによる診断
1か月定検 • テスト・システム内冷却ファンの動作確認
6か月定検 • 架台エア・フィルタの清掃• 回転フレーム用エア・フィルタの清掃• テスト・ヘッド・エア・フィルタの清掃
前面視
フィルタ・ユニット
04.8.23
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3.2 定期点検項目
3-4
② 電源ユニット・エア・フィルタ
エア・フィルタを取り出して電気掃除機で清掃を行って下さい。
フィルタ・ユニット
01.6.8
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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)
3-5
3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)
3.3.1 ユニット電源用ファン・ブロックの交換
(1) ファン・ブロックへ接続されているケーブルをすべてはずして下さい。
(2) ファン・ブロック前面のビス 4本(図 3-1, )をはずして下さい。
(3) ファン・ブロックを手前に引き出して下さい。
図 3-1 ユニット電源用ファン・ブロックの取りはずし
給電している AC コントロール・パネルのブレーカを切り、ファンの回転が止まっていることを確認して下さい。ブレーカを切ったあと、作業する前にロックアウトおよびタグアウトを行って下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)を参照して下さい。また、パワーオン・キー・スイッチによりシステムの電源を落とした場合は、スイッチ OFF後 30秒間ファンが動作していますので、注意して下さい。
注意!
1
ストッパ
回転フレーム
01.6.8
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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)
3-6 01.6.8
3.3.2 ユニット用ファン・ブロックの交換
(1) ファン・ブロックへ接続されているケーブルをすべて外して下さい。ファン・ブロック前面の他のケーブルは、予めよけておいて下さい。
(2) ファン・ブロック前面のビス 2本(図 3-2, )を外して下さい。
(3) ファン・ブロックを手前に引き出して下さい。
図 3-2 ユニット用ファン・ブロックの取りはずし
1
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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)
3-7
回転フレームの開閉については、架台ドア内側に上図のシールが貼ってあるのでその指示にしたがって行って下さい。
図 3
-3 回転フレームの開閉方法指示シール
CLOSEOPEN
01.6.8
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3.4 ユニット電源の交換
3-8 01.6.8
3.4 ユニット電源の交換
電源配置・電源規格などは「6. ユニット/電源配置/電圧調整値」を参照して下さい。
3.4.1 ユニット電源の取りはずし手順(ホットワーク・タイプ1)
(1) ユニット電源に接続されているケーブルをすべてはずして下さい。
(2) ユニット電源前面のビス(図 3-4, )をはずして下さい。
(3) ユニット電源を前面に引き出して下さい。
図 3-4 ユニット電源の取りはずし
給電している ACコントロール・パネルのブレーカを切り、ユニット電源の交流入力側のケーブルに電流が流れていないことを確認して下さい。ブレーカを切ったあと、作業する前にロックアウトおよびタグアウトを行って下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)に説明してあります。
注意!
1
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3.4 ユニット電源の交換
3-9
3.4.2 ユニット電源の取り付け時の注意シャント・ワイヤ・ケーブルには、ケーブル・マーカが取り付けられています。接続はケーブル・マーカの表示にしたがって下さい。
図 3-5 シャント・ワイヤ・ケーブル・マーカ表示
接続端子番号の “+”表示はユニット電源 “+”出力端子へ、“-”表示はユニット電源 “-”出力端子へ接続します。電源端子番号については、図 3-6~図 3-10を参照して下さい。
(1) AC-DC電源
図 3-6 ユニット電源端子番号 (1)
(2) DC電源
図 3-7 ユニット電源端子番号 (2)
UP
S 108
4 - ユニット電源番号
(DO4+)
(DO3-)
(DO3+)
(DO2-)
(DO2+)
(DO1-)
(DO1+)
(SONF-)
(SONF+)
(ALM-)
(ALM+)
(AC-FC)
(AC-T)
(AC-S)
(AC-R)
(DC1) (DC2) (DC3)
(DC4) (DC5) (DC6) (DC7)
前面
WBL-PS3750W
(DO4-)
123456789
123456789
10
11
12345
6789
+
-10
11
SR35
SR60
SR110 SR330
SR230
01.6.8
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3.4 ユニット電源の交換
3-10 01.6.8
図 3-8 ユニット電源端子番号 (3)
図 3-9 ユニット電源端子番号 (4)
(ONF-)
(ONF+)
(COM2)
(NGNL)
(MGNH)
(NV-)
(NV+)
(COM1)
(CTB)
(SLV)
(MAS)
(DCIN)
前面背面
1 2
+
3 4
-
NND30/50NNS30/50
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
1
2
3
4
5
6
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3.4 ユニット電源の交換
3-11
(3) ボード電源
図 3-10 ユニット電源端子番号 (5)
WBL-PSXXXX
01.6.8
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3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意
3-12
3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意
AC電源 (AC CONT)を故障等で取り付け・取り外しを行う場合、必ず 2人以上で行って下さい。
3.6 架台パネルの開閉
(1) 架台のパネルの上下に、六角レンチのキーがあることを確認して下さい。
(2) 6 mmの六角レンチをパネル・キーに挿入し、左に回すとパネルを前面に開くことができます。
(3) パネルのヒンジ・レバーを下げて下さい。ヒンジ・シャフトが下がり、ヒンジ・ホルダからはずれます。
(4) パネルを持ち上げて、ヒンジ・シャフトをヒンジ・ホルダから抜くと、パネルは架台から完全に取り外すことができます。
本体架 1024 ch架 熱交換機
T6672
HCDPS架有りの場合
T6673
本体架 1024 ch架 熱交換機ミクスド・シグナル・
オプション架
本体架 1024 ch架CDU架
HCDPS架(CHILLER)
01.6.8
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3.6 架台パネルの開閉
3-1301.6.8
図 3-11 AC CONTパネル/モード・セレクト・スイッチ・パネル
MODE SELECT
RESET DIAG
SYSTEM POWER LAMP
EMERGENCY OFF
POWER ALARM
STATUS
ONSTANDBY
MF
ON
SW
AC CONTパネル
モード・セレクト・スイッチ・パネル
START
表 3-2 モード・セレクト・スイッチ・コード
コード 意味
0x00 ノーマル・モード
0xD0 システム・モニタ自己診断
0xD1 モニタ I/Fとの通信診断
0xD2 TCとの通信診断
0xD3 システム・タイプ表示
0xF0~0xF3 デバッグ・モード
0xFE ロム・モニタ
上記以外 使用しません
TC架本体架
MF
NO
SW
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3.6 架台パネルの開閉
3-14
TC7 CPU UNITスイッチ
TC7 CPU UNIT正面のスイッチ SW1は、CPU UNITに内蔵された CPU 専用電源の制御スイッチです。init5によりシャット・ダウンした場合の復帰に使用します。
復帰する場合は、「3.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法」に従って下さい。
図 3-12 TC7 CPU UNIT
システムの電源が投入された状態で本スイッチを押すと、CPUの専用電源が OFFになり、EWS IF電圧異常(エラー・コード : 0x704)の FATAL ERRORとなります。
注意
05.5.7
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3.7 システムが起動しないときの処置方法
3-1505.5.7
3.7 システムが起動しないときの処置方法
処置は、表 3-8に従って行って下さい。
• ノーマル・モード : 異常監視を行っています。異常が発見されると電源が切れます。
• デバッグ・モード : システム・モニタが異常監視を行わないので注意して下さい。
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3.7 システムが起動しないときの処置方法
3-16
3.7.1 システム・モニタが起動しないとき
(1) システム・モニタの電源が入らないとき
確認 1 : STARTスイッチを離すと同時に電源が切れてしまうとき。処置 1 : ブレーカがすべて ONしていることをパイロット・ランプの点灯により確認
して下さい。
(2) システム・モニタの電源が入るとき
確認 1 : 最後に表示された AC CONT パネルの LED コードを確認して下さい。(表3-8)
(3) LEDのコードを確認する前に電源が切れてしまうとき
確認 1 : システム・モニタの電源が切れていることを確認して下さい。切れていない場合には、EMO (EMERGENCY OFF) スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。
操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : MODE SELECTを 0xF0に設定して下さい。(デバッグ・モード)操作 3 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。確認 2 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)
AC CONTパネルのキー・スイッチは OFFのままにして下さい。キー・スイッチを ONするとデバッグ・モードで TCおよびMFの電源が ONします。
(4) 復帰方法
操作 1 : EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。
操作 2 : MODE SELECTを 0x00に設定して下さい。(ノーマル・モード)操作 3 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。以上でシステム・モニタの電源が入ります。
3.7.2 FATAL ERRORの確認
(1) LEDランプが点灯しているとき
操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。確認 1 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)
(2) LEDランプが消灯しているとき
操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。確認 1 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯していることを確認して下さい。
ランプが点灯してもすぐに電源が切れてしまう場合は、「3.7.1 システム・モニタが起動しないとき」を参照して下さい。
確認 2 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)
05.5.7
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3.7 システムが起動しないときの処置方法
3-1705.5.7
3.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法
TC5/TC7 CPU UNIT は、システムをシャット・ダウンする際、init5(シャット・ダウン後、CPU専用電源をリモート OFF するコマンド)またはプルダウンメニュー内の「システム保存停止」を実行すると、CPU UNIT 内蔵の専用電源が OFF になり、CPU Unitの電圧異常(エラー・コード、TC5の場合:0x710、0x011、0x003、TC7の場合:0x704)の FATAL ERRORとなります。
本 FATAL ERROR が発生した場合の復帰方法は、以下のようになります。
(1) TC5での復帰方法(MODE SELECTによる復帰)
本機能は、BGK-026860(System Monitor)版数:ACB版以降のボードが対応しています。
操作 1 : AC CONT パネルのキー・スイッチを OFF にして下さい。操作 2 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 3 : MODE SELECT を 0xF0 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 4 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。操作 5 : MODE SELECT を 0xF4 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 6 : キー・スイッチを ON して下さい。操作 7 : 約 1 分 30 秒後にモニタ画面にバナーが表示されたら、Stop+A(Stop キーを
押しながら Aキーを押す)を入力し okプロンプトにして下さい。操作 8 : キー・スイッチを OFFに して下さい。操作 9 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 10 : MODE SELECT を 0x00 に設定して下さい(ノーマル・モード)。操作 11 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。
(2) TC7での復帰方法(CPU UNIT SW1 による復帰)
操作 1 : AC CONT パネルのキー・スイッチを OFF にして下さい。操作 2 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 3 : MODE SELECT を 0xF0 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 4 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。操作 5 : MODE SELECT を 0xF3 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 6 : キー・スイッチを ON して下さい。操作 7 : CPU UNIT SW1 を 1 回(約 1 秒)押して下さい。操作 8 : CPU UNIT 正面の POWER ランプが緑に点灯し、モニタ画面にバナーが表示
されたら、Stop+A(Stopキーを押しながら Aキーを押す)を入力し okプロンプトにして下さい。
操作 9 : システム起動後、init5 以外(init0 等)でシャット・ダウンして下さい。操作 10 : キー・スイッチを OFF にして下さい。操作 11 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 12 : MODE SELECT を 0x00 に設定して下さい(ノーマル・モード)。操作 13 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。
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3.8 システム・モニタ DIAGの起動
3-18
3.8 システム・モニタ DIAGの起動
すでに立ち上がったシステムの診断を行いたいとき、マニュアルで診断が行えます。
(1) システム・モニタの自己診断/モニタ I/Fとの通信診断
確認 1 : AC CONTパネルの LEDのランプが下記のいずれかになっていることを確認して下さい。0X000 : エラー表示中でキー・スイッチの ON待ち(点滅)0X100 : キー・スイッチの ON待ち0X106 : TCは ON
0X107 : TCは ON
0X108 : TCおよびMFは ON
(注) 上記以外のときには実行されません。
操作 1 : MODE SELECT スイッチを下記のように設定して下さい。0xD0 : システム・モニタの自己診断のとき0xD1 : モニタ I/Fとの通信診断のとき
操作 2 : DIAG スイッチを押して下さい。確認 2 : AC CONTパネルの LEDのランプで PASS/FAILを確認して下さい。(下記参照)
PASS時 : 診断項目を LEDに 2秒間表示し、0X000を 2秒間表示し、再び診断項目を LEDに 2秒間表示します。
FAIL時 : 診断項目を LEDに 2秒間表示し、0XEEEを 2秒間表示し、再び診断項目を LEDに 2秒間表示します。(表 3-4、表 3-5)
表 3-3 LEDのコードと START DIAGの対応表
下記コードにしたがって確認して下さい。
0x0700x0710x0720x0730x0740x0750x0760x0770x0780x0790x07A0x07F
システム・モニタのボードの初期状態のチェック。SMONI_ SYSレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SEMO-SEM3レジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ INT_ LVLレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ SYSレジスタのインクリメント・チェック (SIS-04022)。TC、ENGINEからの割り込み (MCOM0)チェック (SIS-04022)。AC OFF(MF, TC)ステータス・チェック。FATAL ERORマスク・ステータス・チェック。LEDの READ/WRITEチェック。NVRAMの READ/WRITEチェック。メモリの READ/WRITEチェック。START DIAGが PASSしたときのコード。
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.8 システム・モニタ DIAGの起動
3-1905.5.7
表 3-4 LEDのコードとシステム・モニタの自己診断の対応表
表 3-5 LEDのコードとモニタ I/Fとの通信診断の対応表
表 3-6 LEDのコードと TCとの通信診断の対応表
下記コードにしたがって確認して下さい。
0x0B10x0B20x0B30x0B40x0B50x0B60x0B70x0B80x0B90x0BA0x0B0
SMONI_ SYSレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SEMO-SEM3レジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ INT_ LVLレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ SYSレジスタのインクリメント・チェック (SIS-04022)。TC、ENGINEからの割り込み (MCOM0)チェック (SIS-04022)。(未定義)(未定義)LEDの READ/WRITEチェック。NVRAMの READ/WRITEチェック。メモリの READ/WRITEチェック。システム・モニタの自己診断が PASSしたとき。
下記コードにしたがって確認して下さい。
0x0C10x0C20x0C0
NVRAMのチェックサムのリード・チェック。モニタ I/Fの ONLINEチェック。モニタ I/Fとの通信診断が PASSしたとき。
下記コードにしたがって確認して下さい。
0x0D10x0D2
0x0D30x0D40x0D50x0D60x0D70x0D80x0D0
SMONI_TO_TCレジスタのWRITE、SMONI_TO_TCレジスタのREAD。SMONI_TO_TCレジスタのWRITE、SMONI_TO_TCレジスタのREAD。(inc data)SMONI_STSレジスタの READ/WRITE。SMONI_STSレジスタの READ/WRITE。(inc data)割り込みのチェック。割り込みのチェック。割り込みのチェック。割り込みのチェック。TCとの通信診断が PASSしたとき。
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.8 システム・モニタ DIAGの起動
3-20
表 3-7 LEDのコードと異常処理のケーケンス対応表
下記コードにしたがって確認して下さい。
0x0E10x0E2
0x0E3
0x0E4
0x0E5
0x0E6
0x0E70x0E80x0E90x0EA
SYSTEM-MONITORのエラーMonitor I/Fから Fail_Bのエラーが通知された場合煙、温度異常、DIAG、+12 V (Monitor I/Fの電源)Monitor I/Fから Fail_Aのエラーが通知された場合DC電源、ファン、吹き出し温度TC ALARM1ヒューズ、温度、TC 本体ファンTC ALARM2TC 本体ファン電源異常TC Power FailTCで使用している +5 V、-5.2 V、+12 V、-12 Vの電圧異常TINT0エラーError MASKエラーAC_CONTのエラーSYSTEM nameエラー
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-2105.5.7
3.9 システム・モニタ エラー・コード
表 3-8 LEDのコードと処置の対応表
処置手順処置 1 システム・モニタのハード・イニシャライズ中です。10 秒以上待っても LED の
コードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。
処置 2 スタート・ダイアグ中です。エラーがあった場合には、エラーがあった診断項目(表 3-3)を LEDに表示し(注 1)、スタート・ダイアグを繰り返し実行します。
処置 3 モニタ I/Fの ONLINEチェック中です。30秒以上待っても LEDのコードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。
処置 4 MODE SELECT スイッチの設定が 0x00 以外になっています。MODE SELECT スイッチを 0x00に設定後、キー・スイッチを 1度 OFFにして下さい。その後、キー・スイッチを ONにして下さい。
処置 5 キー・スイッチがシステムの電源を入れる前から ONになっています。1度キー・スイッチを OFFにしてから、キー・スイッチを ONにして下さい。
処置 6 システム・モニタの自己診断中です。診断終了時には、PASS/FAILを LEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。
処置 7 システム・モニタとモニタ I/Fの通信診断中です。診断終了時には、PASS/FAILをLEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。
0x000 - 0x00F0x070 - 0x07F0x0800x08E0x08F0x0B0 - 0x0BF0x0C0 - 0x0CF0x0D0 - 0x0DF0x0E0 - 0x0EF0x0F00x100 - 0x1080x600 - 0x6FF0x700 - 0x7FF0x800 - 0x8FF0x900 - 0x9FF0xA00 - 0xAFF0xB00 - 0xBFF0xC00 - 0xCFF0xD00 - 0xDFF
システム・モニタのハード・イニシャニイズスタート・ダイアグモニタ I/Fの ONLINEチェックMODE SELECTスイッチがフェイルキー・スイッチの OFF待ちシステム・モニタの自己ダイアグシステム・モニタとモニタ I/Fの通信ダイアグシステム・モニタと TCの通信ダイアグ異常処理のシーケンスの種類ロム・モニタ・システム・モニタ・モードノーマル・モードの ONシーケンス異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード
処置 1処置 2処置 3処置 4処置 5処置 6処置 7処置 8処置 9処置 10処置 11処置 12処置 13処置 14処置 15処置 16処置 17処置 18処置 19
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-22
処置 8 システム・モニタと TC の通信診断中です。診断終了時には、PASS/FAIL を LEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。
処置 9 異常処理のシーケンス中です。10秒以上待っても LEDのコードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。
処置 10 ロム・モニタ・モードになっています。MODE SELECTスイッチの設定が 0x00以外になっています。MODE SELECT スイッチを 0x00 に設定後、EMO (EMERGENCYOFF)スイッチを押して、1度システム・モニタの電源を切って下さい。
処置 11 下記コードにしたがって確認して下さい。0x000 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x100 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x101 : TCの電源が入っている状態です。0x102 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ
電源が入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC および MF の電源が入っている状態で、ENGINE からの READY 待ちです。
0x103 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TCからの READY待ちです。(ENGINEからの READYは PASS)AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC および MF の電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINEからの READYは PASS)
0x104 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TC からの READY と ENGINE からのREADYは PASS。AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC およびMFの電源が入っている状態で、TCからの READYと ENGINEからの READYは PASS。
0x106 : AC CONTパネルの不良が考えられます。0x107 : TCのみ電源が入っている状態です。0x108 : TCおよびMFの電源が入っている状態です。
処置 12 下記コードにしたがって確認して下さい。91F : 冷却装置より異常発生
処理は、「10. 冷却装置」を参照して下さい。
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-2305.5.7
処置 13-19 下記コードにしたがって確認して下さい。
TC3の場合
0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生0x701 : TINT0エラー0x702 : TC3のブレーカ CB2 OFF0x704 : TC3のブレーカ CB1 OFF0x708 : TC3のブレーカ CB3 OFF0x710 : ENGINE-Ultra電源異常
(1) ENGINE-Ultra の AC ケーブル、背面 J3 FAN SENSE ケーブル接続確認
(2) TC3 BWBヒューズ F3A (T5A +5A) の確認(3) (1), (2)が OKの場合、ENGINE-Ultraの Power SWが Standby状態になっている可能性あり。以下の手順で電源を入れる。(a) MODE SELECTを “F0”に設定し、START Switchで SYS-MON
を ON後、MODE SELECTを ”F2”に設定する。(b) KEY Switchを ONし、TCまで ONし ENGINE-Ultraの Power
SWの ONを押して、ENGINE LEDが点灯するのを確認。(c) ENGINE-Ultraを shut down、KEY Switchを OFF、EMO Switch
を OFFさせ、SYS-MONまで OFFさせる。(d) MODE SELECTを “00”に設定する。
0x720 : TCのファン・エラー0x740 : TCの温度エラー0x780 : TCの煙エラー0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TCの -12 Vエラー0x820 : TCの +12 Vエラー0x840 : TCの VEE(-5 V)エラー0x880 : TCの VCC(+5 V)エラー
0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID
0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー
0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常
0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
1
3.10節を参照して下さい。
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-24
TC4の場合
0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー
0x680 : ACサイクル抜け発生0x701 : TINT0エラー0x702 : TC4のブレーカ CB4 OFF (SLOT7-4: TC4)0x704 : TC4のブレーカ CB2 OFF (SLOT11: 1’st GPIB-VME)0x708 : TC4のブレーカ CB1 OFF (SLOT15-13: TC4)0x710/0x008 : TC4のブレーカ CB3 OFF (SLOT9: 2’nd GPIB-VME)0x710/0x040 : SLOT12 TC4 BUS I/Fのオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x200 : SLOT3 TC4 TBUS I/Fの +5Vオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x400 : SLOT3 TC4 TBUS I/Fの +3.3Vオンボード・ヒューズ切れ0x720 : TCのファン・エラー0x740 : TCの温度エラー0x780 : TCの煙エラー
0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TCの -12 Vエラー0x820 : TCの +12 Vエラー0x840 : TCの VEE(-5 V)エラー0x880 : TCの VCC(+5 V)エラー
0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID
0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー
0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常
0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
2
3.10節を参照して下さい。
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-2505.5.7
TC5の場合
0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生
0x702/0x008/0x000 : TC5 BWB F1(OP1 +5 Vヒューズ)切れ0x702/0x080/0x000 : TC5 BWB F2(OP1 +3.3 Vヒューズ)切れ0x704/0x004/0x000 : TC5 BWB F3(OP2 +5 Vヒューズ)切れ0x704/0x040/0x000 : TC5 BWB F4(OP2 +3.3 Vヒューズ)切れ0x708/0x002/0x000 : TC5 BWB F5(OP3 +5 Vヒューズ)切れ0x708/0x020/0x000 : TC5 BWB F6(OP3 +3.3 Vヒューズ)切れ0x710/0x000/0x001 : CPU UNIT +12 V DCエラー0x710/0x000/0x002 : CPU UNIT -12 V DCエラー0x710/0x001/0x000 : CPU UNIT +5 V DCエラー0x710/0x010/0x000 : CPU UNIT +3.3 V DCエラー0x710/0x000/0x004 : SLOT5 TC5 BUS I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x008 : SLOT4 GPIBオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x010 : SLOT3 TC5 EXT I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x020 : SLOT2 TC5 TBUS I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x720 : TCのファン・エラー
0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x808 : TC5 +3.3 V DCエラー0x810 : TC5 -12 V DCエラー0x820 : TC5 +12 V DCエラー0x840 : TC5 -5.2 V DCエラー0x880 : TC5 +5 V DCエラー
0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID
0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー
0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常
0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
3
3.10節を参照して下さい。
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.9 システム・モニタ エラー・コード
3-26
TC7の場合
0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生
0x702/0x000/0x000 : TC6 Option IF電圧異常0x704/0x000/0x000 : TC6 EWS IF電圧異常
(CPU AC異常、インタフェース・ケーブル不具合含む)0x708/0x000/0x000 : TC6 IOIF電圧異常0x710/0x001/0x000 : +12 V SENSE Error0x710/0x002/0x000 : -12 V SENSE Error0x710/0x004/0x000 : FAN SENSE Error0x710/0x008/0x000 : TC6 IO Option
SENSE Error0x720 : TCのファン・エラー
0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TC7 -12 V DCエラー0x820 : TC7 +12 V DCエラー0x840 : TC7 -5.2 V DCエラー0x880 : TC7 +5 V DCエラー
0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID
0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー
0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常
0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所
4
3.10節を参照して下さい。
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード
3-27
3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード
注1
903
A01は冷却装置が接続されていないときに表示します。
冷却装置が異常の場合は、
91F
A01で表示します。
表3-
9 モニタ・インタフェース・エラー・コード
(T66
72/T
6673
)
UN
ITE
RR
OR
CO
DE
A01
A02
A04
A20
A80
C01
C02
C04
C08
C10
C20
C40
C80
D01
D02
D04
D08
D10
D20
D40
D80
NC
900
--
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)(J
1-L
)-
--
--
--
-
PG90
1(J
35)
FAN
(J35
)T
EM
P(J
35)
SM
OK
E(J
35)
AU
X
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J1-
U)
-5.2
V(J
1-U
)-4
.5 V
(J1-
U)
-3.3
V(J
1-U
)-2
.5 V
(J1-
U)
-2 V
(J1-
U)
3.3
V[0
.8 V
]
(J1-
U)
5 V
(J1-
U)-
--
--
--
-
NC
902
(J34
)A
UX
(J34
)A
UX
(J34
)A
UX
(J34
)A
UX
DIA
GM
ON
II/
F-5
V(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)(J
2-L
)
DP
U90
3注
1(J
28)
CD
U-
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J2-
U)
-60
V
(J2-
U)
-15
V
(J2-
U)
-12
V
(J2-
U)
-5.2
V
(J2-
U)
3.3
V
(J2-
U)
5 V
(J2-
U)
12 V
(J2-
U)
15 V
(J2-
U)
17 V
(J2-
U)
60 V
(J2-
U)
(J2-
U)
(J2-
U)
(J29
)
HE
AT
(J2-
U)
(J40
)A
IR24
V
FTU
190
4(J
27)
AU
X-
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J3-
L)
-5.2
V
(J3-
L)
-2.5
V
(J3-
L)
-2.5
V[H
]
(J3-
L)
3.3
V[0
.8 V
]
(J3-
L)
5 V
(J3-
L)
(J3-
L)
(J3-
L)-
--
--
--
-
FTU
290
5(J
26)
AU
X-
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J3-
U)
-5.2
V
(J3-
U)
-2.5
V
(J3-
U)
-2.5
V[H
]
(J3-
U)
3.3
V[0
.8 V
]
(J3-
U)
5 V
(J3-
U)
(J3-
U)
(J3-
U)-
--
--
--
-
FTU
390
6(J
25)
AU
X-
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J4-
L)
-5.2
V
(J4-
L)
-2.5
V
(J4-
L)
-2.5
V[H
]
(J4-
L)
3.3
V[0
.8 V
]
(J4-
L)
5 V
(J4-
L)
(J4-
L)
(J4-
L)-
--
--
--
-
FTU
490
7(J
24)
AU
X-
--
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J4-
U)
-5.2
V
(J4-
U)
-2.5
V
(J4-
U)
-2.5
V[H
]
(J4-
U)
3.3
V[0
.8 V
]
(J4-
U)
5 V
(J4-
U)
(J4-
U)
(J4-
U)-
--
--
--
-
IDD
Q1
908
(J23
)A
UX
--
-D
IAG
MO
NI
I/F
-5 V
(J5-
L)
-15
V(J
5-L
)15
V(J
5-L
)(J
5-L
)(J
5-L
)(J
5-L
)(J
5-L
)(J
5-L
)-
--
--
--
-
IDD
Q2
909
(J22
)A
UX
--
-D
IAG
MO
NI
I/F
-5 V
(J5-
U)
-15
V(J
5-U
)15
V(J
5-U
)(J
5-U
)(J
5-U
)(J
5-U
)(J
5-U
)(J
5-U
)-
--
--
--
-
HC
DPS
190
A(J
21)
HE
AT
(J21
)T
EM
P(J
21)
SM
OK
E(J
21)
AU
X
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J6-
L)
-60
V
(J6-
L)
-15
V
(J6-
L)
-10
V
(J6-
L)
-5.2
V
(J6-
L)
5 V
(J6-
L)
10 V
(J6-
L)
15 V
(J6-
L)
60 V
--
--
--
--
HC
DPS
290
B-
--
-D
IAG
MO
NI
I/F
-5 V
(J6-
U)
-60
V
(J6-
U)
-15
V
(J6-
U)
-10
V
(J6-
U)
-5.2
V
(J6-
U)
5 V
(J6-
U)
10 V
(J6-
U)
15 V
(J6-
U)
60 V
--
--
--
--
MIX
D1
90C
(J30
)D
SP1
FAN
--
-D
IAG
MO
NI
I/F
-5 V
(J7-
L)
VF
GV
FD
(J7-
L)
AF
GA
FD
(J7-
L)
AF
E(J
7-L
)T
MU
(J7-
L)
SA
MP
(J7-
L)
SG
(J7-
L)
GS
AW
G(J
7-L
)5V
OR
(J7-
L)
5 V
(J7-
L)
12 V
(J7-
L)
-12
V-
--
--
MIX
D2
90D
(J31
)D
SP2
FAN
--
-D
IAG
MO
NI
I/F
-5 V
(J7-
U)
VF
GV
FD
(J7-
U)
AF
GA
FD
(J7-
U)
AF
E(J
7-U
)T
MU
(J7-
U)
SA
MP
(J7-
U)
SG
(J7-
U)
GS
AW
G(J
7-U
)5V
OR
(J7-
U)
5 V
(J7-
U)
12 V
(J7-
U)
-12
V-
--
--
TH
190
E(J
32)
TH
1FA
N
(J32
)T
H1
TE
MP
-(J
32)
TH
1B
WB
T
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J8-
L)
11.5
VR
EA
R
(J8-
L)
5 V
RE
AR
(J8-
L)
R5
VR
EA
R
(J8-
L)
-5.2
VR
EA
R
(J8-
L)
-8 V
BR
EA
R
(J8-
L)
-8 V
AR
EA
R
(J8-
L)
-8 V
AFR
ON
T(J
8-L
)(J
8-L
)11
.5 V
FRO
NT
(J8-
L)
5 V
FRO
NT
(J8-
L)
R5
VFR
ON
T
(J8-
L)
-5.2
VFR
ON
T
(J8-
L)
-8 V
BF
RO
NT
(J32
)
HE
AT
(J8-
L)
(J40
)C
PAN
24 V
TH
290
F(J
33)
TH
2FA
N
(J33
)T
H2
TE
MP
-(J
33)
TH
2B
WB
T
DIA
GM
ON
II/
F-5
V
(J8-
U)
11.5
VR
EA
R
(J8-
U)
5 V
RE
AR
(J8-
U)
R5
VR
EA
R
(J8-
U)
-5.2
VR
EA
R
(J8-
U)
-8 V
BR
EA
R
(J8-
U)
-8 V
AR
EA
R
(J8-
U)
-8 V
AFR
ON
T(J
8-U
)(J
8-U
)11
.5 V
FRO
NT
(J8-
U)
5 V
FRO
NT
(J8-
U)
R5
VFR
ON
T
(J8-
U)
-5.2
VFR
ON
T
(J8-
U)
-8 V
BF
RO
NT
(J33
)
HE
AT
(J8-
U)
(J40
)C
PAN
24 V
SH
UT
DO
WN
EE
EE
EP
PP
PP
PP
PP
PP
PP
PP
P
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード
3-28
表3-
10 モニタ・インタフェース・エラー・コード(
T66
73ミクスド・シグナル・テスト・オプション部)
UN
ITE
RR
OR
CO
DE
A01
A02
A04
A20
A80
C01
C02
C04
C08
C10
C20
C40
C80
D01
D02
D04
D08
D10
D20
D40
D80
ME
MB
WB
910
--
--
DIA
GM
/IF
-5 V
J1-L
5 V
J1-L
3.3
V2.
5 V
J1-L
-5.2
V1.
8 V
15 V
-15
V-
--
--
--
-
AN
AB
WB
911
(J35
)A
UX
(J35
)A
UX
(J35
)A
UX
(J35
)A
UX
DIA
GM
/IF
-5 V
5 V
-5.2
V3.
3 V
J1-U
15 V
-15
V-
--
--
--
-
ME
M91
2(J
34)
AU
X(J
34)
AU
X(J
34)
AU
X(J
34)
AU
X
DIA
GM
/IF
-5 V
S5
S6
S7
J2-L S8
S9
S10
S12
S13
S14
S15
S16
J2-L
S17
S19
S20
S21
S22
PC
I91
3(J
28)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
5 V
3.3
VP
CI1
J2-U
PC
I2P
CI3
(J29
)(J
40)
TM
U1
914
J27
(J27
)A
UX
--
-D
IAG
M/I
F-5
V5
V5
V-5
.2 V
J3-L
-5.2
V-1
5 V
15 V
--
--
--
--
TM
U2
915
(J26
)A
UX
--
-D
IAG
M/I
F-5
V5
V5
V-5
.2 V
J3-U
-5.2
V-1
5 V
15 V
--
--
--
--
PAF
G/D
191
6(J
25)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
5 V
15 V
J4-L
-15
V-
--
--
--
-
PAF
G/D
291
7(J
24)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
5 V
15 V
J4-U
-15
V-
--
--
--
-
NC
191
8(J
23)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
(5 V
)(-
5.2
V)(
+15
V)
J5-L
(-15
V)
--
--
--
--
NC
291
9(J
22)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
(5 V
)(-
5.2
V)(
+15
V)
J5-U
(-15
V)
--
--
--
--
NC
391
A(J
21)
AU
X(J
21)
AU
X(J
21)
AU
X(J
21)
AU
X
DIA
GM
/IF
-5 V
(5 V
)(-
5.2
V)(
+15
V)
J6-L
(-15
V)
--
--
--
--
NC
491
B-
--
-D
IAG
M/I
F-5
V(5
V)
(-5.
2 V
)(+
15 V
)
J6-U
(-15
V)
--
--
--
--
MIX
191
C(J
30)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
AC
CA
LG
SAW
GPA
FG
/D
J7-L
TM
USA
MP
WV
FG
WV
FD
--
--
-
MIX
291
D(J
31)
AU
X-
--
DIA
GM
/IF
-5 V
AC
CA
LG
SAW
GPA
FG
/D
J7-U
TM
USA
MP
WV
FG
WV
FD
--
--
-
NC
91E
(J32
)A
UX
(J32
)A
UX
-(J
32)
AU
X
DIA
GM
/IF
-5 V
J8-L
J8-L
J8-L
J8-L
J8-L
J8-L
J32
J8-L
J40
NC
91F
(J33
)C
DU
(J33
)A
UX
-(J
33)
AU
X
DIA
GM
/IF
-5 V
J8-U
J8-U
J8-U
J8-U
J8-U
J8-U
J33
J8-U
J40
SHU
TD
OW
NE
EE
EE
PP
PP
PP
PP
PP
PP
PP
PP
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード
3-29
Shut down結果が“P”の場合 :KEY SWを OFFにする。
その他のコード
100 ~ 108700 ~ 706010 ~ 07F08E08F0EX
パワー・オン・シーケンスパワー・オフ・シーケンスシステム・モニタ・スタート診断デジタル・スイッチの設定エラーキー・スイッチのオフ待ちフェイル検出
000 or 100101102
103
104 ~ 108106 ~ 108
キー・スイッチのオン待ちTCの電源オンMFの電源オン(ノーマル・モード)と Engineからのレディー・フラグ待ち時間TCからのレディー・フラグ待ち時間電源オンメンテナンス・モード・パワー・ オン・シーケンス (SW1, SW2) MF:パワー・オン/オフ
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.11 システム・モニタ交換時作業
3-30 05.5.7
3.11 システム・モニタ交換時作業
モニタ I/F の ID 設定、日付/時間/システム/タイプの設定を行います。EMO (EMERGENCYOFF)スイッチを押して電源を切って下さい。
3.11.1 システム・モニタの設定操作 1 : S100の dip スイッチが下記に示すように設定されているか確認して下さい。
※ TC3 システム・モニタのボード B面S1001 : ON2 : OFF3 : OFF4 : OFF5 : OFF6 : OFF7 : OFF8 : OFF
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
3.11 システム・モニタ交換時作業
3-31
3.11.2 ロム・モニタ・モードの使い方
(1) ロム・モニタの起動手順
確認 1 : システム・モニタの電源が切れていることを確認して下さい。切れていない場合には、 EMO (EMERGENCY OFF) スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。
確認 2 : TC3 SYS-MONボードのシリアル・ポート J3に VKT が接続されていることを確認して下さい。
確認 3 : VKT の電源が入っていることを確認して下さい。確認 4 : VKT の設定が下記のようになっていることを確認して下さい。
SPEED : 9600
パリティ : 無しXON/OFF : 無しRTS/CTS : DISABLE
操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : MODE SELECTを 0xFEに設定して下さい。操作 3 : AC CONTパネルの STARTスイッチを押して下さい。確認 5 : AC CONT パネルの LED のコードが 0x0F0 になっているのを確認して下さ
い。
以上でロム・モニタの起動手順は完了です。
(2) 復帰方法
操作 1 : EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。
操作 2 : MODE SELECTを 0x00に設定して下さい。操作 3 : AC CONTパネルの STARTスイッチを押して下さい。
以上でシステム・モニタの電源が入ります。
(3) コマンドの使い方
(注 1) すべて大文字しか受け付けないので注意して下さい。
(注 2) 一文字削除するときには、Delキーを使います。
確認 1 : VKTの画面が下記のようになっていることを確認して下さい。
SYSTEM MONITOR
操作 1 : 任意のキーを押して下さい。確認 2 : VKTの画面にプロンプト #>>が表示されていることを確認して下さい。
以上でコマンド受け付け状態になります。
ROM Monitor Mode rev xx.xx
xx/xx/xx xx:xx:xx 起動時の日付、時間
Advantest ATE development section.
Hit any key to continue. 点滅
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4. LEDの仕様
4-1
4. LEDの仕様
LED付きボードの各 LEDの仕様を以下に示します。
4.1 TC3 UNIT LED仕様
表 4-1 TC3 UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
3,5 GPIB VME 1, 6 緑、赤電源投入時もしくは VMEのSYS-RESETが入ったとき赤が点灯Viewpointコマンドにより緑が点灯
4TC3ExtensionI/F
2 緑 A-PORTアクセス時に点灯
3 緑 B-PORTアクセス時に点灯
4 緑 A-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯
5 緑 B-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯
SLOT5 SLOT4 SLOT3
LED6 LED1
LED2
LED3
LED4
LED5
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.2 TC4 UNIT LED仕様
4-2
4.2 TC4 UNIT LED仕様
表 4-2 TC4 UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
9,11 GPIB VME 1, 6 緑、赤電源投入時もしくは VMEのSYS-RESETが入ったとき赤が点灯Viewpointコマンドにより緑が点灯
10TC4ExtensionI/F
2 緑 A-PORTアクセス時に点灯
3 緑 B-PORTアクセス時に点灯
4 緑 A-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯
5 緑 B-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯
SLOT11 SLOT10 SLOT9
LED6 LED1
LED2
LED3
LED4
LED5
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.3 TC5 UNIT LED仕様
4-3
4.3 TC5 UNIT LED仕様
表 4-3 TC5 UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
SLOT 6 CPCI I/F11, 2 橙 BUSYのときに点灯
3, 4 緑 電源投入後、常時点灯
SLOT 7 CPCI I/F25, 6 橙 BUSYのときに点灯
7, 8 緑 電源投入後、常時点灯
SLOT 8 CPCI I/F39, 10 橙 BUSYのときに点灯
11, 12 緑 電源投入後、常時点灯
SLOT6
SLOT7
SLOT8
LED6
LED8
LED10
LED12
LED2
LED4
LED5
LED7
LED9
LED11
LED1
LED3
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.4 TC7 UNIT LED仕様
4-4
4.4 TC7 UNIT LED仕様
表 4-4 TC7 UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示の内容
1TC6IO IFボード
LED1 緑 SYSMON ONのとき点灯
LED2 緑FiFoの READサイクルがアクティブ時に点灯
LED3 緑 [D13, D14, D15]は FiFoに積まれた DATAの段数を示すLED4 緑
LED5 緑
1TC6
IO OPTIONIFボード
LED6 緑 EXT Achが Busyのとき点灯
LED7 緑 EXT Bchが Busyのとき点灯
LED8 緑
未使用LED9 緑
LED10 緑
LED11 緑
TC7CPUユニット
LED12 緑CPU起動後に点灯
TC7
CPU UNIT
LED12
SLOT2LED1
LED6LED7LED8LED9LED10LED11 LED2
LED3LED4LED5
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.5 SQPG UNIT LED仕様
4-5
4.5 SQPG UNIT LED仕様
表 4-5 SQPG UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
SQPG 1 PG I/F 1 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯
SQPG 4 SQPG2 緑 RATE RUN中に点灯
3 緑 PG RUN中に点灯
SLOT4 SLOT2
LED1
LED2
LED3
SQPG SQPG
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.6 FT UNIT LED 仕様
4-6 05.5.7
4.6 FT UNIT LED 仕様
表 4-6 FT UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
3FTU TH
I/F
1 緑 電源 +5 V Power On時に点灯
2 緑 電源 -5.2 V Power On時に点灯
3 緑 電源 -2.0 V Power On時に点灯
4 緑 電源 +0.8 V Power On時に点灯
5 緑 電源 -2.5 V Power On時に点灯
6 緑 電源 +0.8 V Power On時に点灯
7 オレンジ DSP動作時に点灯
8 オレンジ タイマ動作時に点灯
9 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯
SLOT3
LED1 LED2 LED3
LED4 LED5 LED6
LED7 LED8 LED9
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.7 DP UNIT LED仕様
4-7
4.7 DP UNIT LED仕様
表 4-7 DP UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
3, 5, 7, 9DPS-CONT
1, 5, 9,13 緑 発振アラーム、ガード・アラーム、ケルビン・アラーム発生時に点灯
2, 6, 10,14 緑 クランプ・アラーム発生時に点灯3, 7, 11,15 緑 DPSが RONしているときに点灯4, 8, 12,16 緑 DPSが A/D変換時に点灯
12I/FLOGIC
17 緑 確認不要18 緑 確認不要
19 緑 I/F LOGICのボードの J11が 2STNに設置されているときに点灯
20 緑 DPSクランプ・アラーム発生時に点灯21 緑 ヒート・シンク・アラーム発生時に点灯22 緑 -5.2 V Power On時に点灯23 緑 +5 V Power On時に点灯
14, 25UDC-CONT
24, 46 緑 クランプ・アラーム発生時に点灯25, 47 緑 ガード・アラーム発生時に点灯26, 48 緑 DCが A/D変換中のときに点灯27, 49 緑 DCが RONしているときに点灯
16MDC-CONT
28 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯29 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯
17, 18, 19, 20, 21, 22,23, 24
MDC
30, 32, 34, 36,38, 40, 42, 44 オレンジ クランプ・アラーム発生時に点灯
31, 33, 35, 37,39, 41, 43, 45 オレンジ ガード・アラーム発生時に点灯
SLOT12 SLOT9 SLOT3SLOT18 SLOT16 SLOT14SLOT22 SLOT21 SLOT19SLOT25 SLOT24 SLOT23 SLOT20 SLOT17 SLOT7 SLOT5
LED44LED45
LED42LED43
LED40LED41
LED38LED39
LED36LED37
LED34LED35
LED32LED33
LED30LED31
LED46
LED47
LED48
LED49
LED24
LED25
LED26
LED27
LED13
LED14
LED15
LED16
LED9
LED10
LED11
LED12
LED5
LED6
LED7
LED8
LED1
LED2
LED3
LED4
LED28
LED29
LED20
LED19
LED18
LED17
LED21
LED22
LED23
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.8 MIXED UNIT LED仕様
4-8 05.5.7
4.8 MIXED UNIT LED仕様
表 4-8 MIXED UNIT LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
1AnalogI/F
1 緑、赤 RESET時は赤が点灯それ以外のボード動作時は緑が点灯
2 緑 CPU動作時に点滅
3 CAL3 赤 ボード不良時に点灯4 緑 ボード正常動作時に点灯
5 EM5 赤 ボード不良時に点灯6 緑 ボード正常動作時に点灯
6 CM7 赤 ボード不良時に点灯8 緑 ボード正常動作時に点灯
7 SG9 赤 ボード不良時に点灯
10 緑 ボード正常動作時に点灯8, 9,
14, 15AFLT
11, 13, 47, 49 赤 ボード不良時に点灯12, 14, 50, 52 緑 ボード正常動作時に点灯
10, 11 AFG
15, 21 緑 DAC #3実行時に点灯16, 22 緑 DAC #2実行時に点灯17, 23 緑 DAC #1実行時に点灯18, 24 緑 DAC #0実行時に点灯19, 25 緑、赤 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、赤 =FAIL20, 26 緑 DMAオペレーション実行時に点灯
12, 13 AFD
27, 28, 29, 3031, 32, 33, 3437, 38, 39, 4041, 42, 43, 44
緑 ACTIVE時に点灯
35, 45 緑、赤 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、赤 =FAIL36, 46 緑 DMAオペレーション実行時に点灯
16, 17 VFG51, 53 緑、黄 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、黄 =FAIL52, 54 緑 波形を発生しているときに点灯
18, 19 VFD55, 57 緑、黄 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、黄 =FAIL56, 58 緑 波形を発生しているときに点灯
20 CAL59 赤 ボード不良時に点灯60 緑 ボード正常動作時に点灯
SLOT14 SLOT15 SLOT18SLOT10 SLOT12 SLOT13SLOT6 SLOT7 SLOT9SLOT1 SLOT3 SLOT5 SLOT8 SLOT11 SLOT16 SLOT17
LED3LED4
LED5LED6
LED7LED8
LED9LED10
LED11LED12
LED13LED14
LED1
LED2
LED19
LED20
SLOT19 SLOT20
LED15
LED16
LED17
LED18
LED25
LED26
LED21
LED22
LED23
LED24LED31
LED32
LED27
LED28
LED29
LED30
LED33
LED34
LED35
LED36
LED41
LED42
LED37
LED38
LED39
LED40
LED43
LED44
LED45
LED46
LED47LED48
LED49LED50
LED51LED52
LED53LED54
LED55LED56
LED57LED58
LED59LED60
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.9 MONITOR I/F LED仕様
4-9
4.9 MONITOR I/F LED仕様
表 4-9 MONITOR I/F LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
1MONITOR I/F
1 緑 電源 +5 V Power On時に点灯
2 緑 電源 -5.2 V Power On時に点灯
3 緑 電源 +12 V Power On時に点灯
4 緑 電源 +5 V Power On時に点灯
5 緑 電源 +24 V Power On時に点灯
LED1
LED3
LED2
LED4
LED5
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様
4-10 05.5.7
4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様
表 4-10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
3 TBUS 1, 2, 3, 4, 5 緑 15 V, -15 V, -5.2 V, 3.3 V, 5 V
4 PCI I/F110, 11 緑 BUSYのときに点灯
12, 13 緑 電源投入後、常時点灯
7WVFG/DMEM 1-2
(TH1)
20, 21 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
22, 23 緑 TH No., 5 V
8WVFG/DMEM 3-4
(TH1)
30, 31 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
32, 33 緑 TH No., 5 V
9WVFG/DMEM 1-2
(TH2)
40, 41 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
42, 43 緑 TH No., 5 V
10WVFG/DMEM 3-4
(TH2)
50, 51 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
52, 53 緑 TH No., 5 V
11 PCI I/F260, 61 緑 BUSYのときに点灯
62, 63 緑 電源投入後、常時点灯
12PAFG/DMEM1-4
(TH1)
70, 71, 72 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V
73, 74, 75 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)
76, 77, 78 緑 3.3 V (PCI), TH No., ボード No.
13PAFG/DMEM5-8
(TH1)
80, 81, 82 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V
83, 84,85 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)
86, 87, 88 緑 3.3 V (PCI), TH No., ボード No.
14PAFG/DMEM1-4
(TH2)
90, 91, 92 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V
93, 94, 95 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)
96, 97, 98 緑 3.3 V (PCI),TH No., ボード No.
15PAFG/DMEM5-8
(TH2)
100, 101, 102 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V
103, 104, 105 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)
106, 107, 108 緑 3.3 V (PCI),TH No., ボード No.
LED5
LED12
LED11
LED10
LED13
LED20
LED21
LED22
LED23
LED1LED2LED3LED4
LED30
LED31
LED32
LED33
LED40
LED41
LED42
LED43
LED50
LED51
LED52
LED53
LED62
LED61
LED60
LED64
LED110
LED111
LED112
LED113
LED120
LED121
LED122
LED123LED108LED107
LED106LED105LED104LED103
LED102LED101LED100
LED98LED97
LED96LED95LED94LED93
LED92LED91LED90
LED88LED87
LED86LED85LED84LED83
LED82LED81LED80
LED78LED77
LED76LED75LED74LED73
LED72LED71LED70
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様
4-11
16 TMU1, 2(TH1)
110, 111 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
112, 113 緑 TH No., 5 V
17 TMU1, 2(TH2)
120, 121 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯
122, 123 緑 TH No., 5 V
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様
4-12
4.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様
表 4-11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容
1 TBUSCAL 1, 2, 3, 4, 5 緑 15 V, -15 V, -5.2 V, 3.3 V, 5 V
2 EM3(TH1)
11, 12, 13, 14 緑 3.3 V, 2.5 V, 5 V, -5.2 V
15 緑 TH1のとき 消灯
3 EM3(TH2)
21, 22, 23, 24 緑 3.3 V, 2.5 V, 5 V, -5.2 V
25 緑 TH2のとき 消灯
4 CM(WVFG/D)
31, 32, 33, 34 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V
35, 36, 37 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)
5CM
(OPT)(GSAWG)
41, 42, 43, 44 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V
45, 46, 47 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)
6 CM(PAFG/D)
51, 52, 53, 54 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V
55, 56, 57 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)
7PAFG/DANA1-4
(TH1)
61, 62 緑 3.3 V, 5 V
63, 64, 65 緑 5 V, 15 V, -15 V
8PAFG/DANA5-8
(TH1)
71, 72 緑 3.3 V, 5 V
73, 74, 75 緑 5 V, 15 V, -15 V
9PAFG/DANA1-4
(TH2)
81, 82 緑 3.3 V, 5 V
83, 84,85 緑 5 V, 15 V, -15 V
10PAFG/DANA5-8
(TH2)
91, 92 緑 3.3 V, 5 V
93, 94, 95 緑 5 V, 15 V, -15 V
11 TMU(TH1) 101 緑 電源投入後、常時点灯
12 TMU(TH2) 111 緑 電源投入後、常時点灯
LED1
LED3
LED2
LED4
LED5
LED11
LED13
LED12
LED14
LED15
LED21
LED23
LED22
LED24
LED25
LED33
LED35
LED34
LED36
LED37
LED43
LED45
LED44
LED46
LED47
LED53
LED55
LED54
LED56
LED57
LED31
LED32LED41
LED42
LED51
LED52
LED101LED111
LED61
LED63
LED62
LED64
LED65
LED71
LED73
LED72
LED74
LED75
LED81
LED83
LED82
LED84
LED85
LED91
LED93
LED92
LED94
LED95
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
4.12 HCDPS OPTION LED仕様
4-13
4.12 HCDPS OPTION LED仕様
表 4-12 HCDPS OPTION LED仕様
SLOT No. 回路名 LED番号 色 正常時 表示内容
1 I/FLOGIC
1 緑 - 確認不要
2 緑 - 確認不要
3 緑 - 確認不要
4 緑 OFF DPSクランプ・アラーム発生時に点灯
5 緑 OFF ヒート・シンク・アラーム発生時に点灯
6 緑 ON -5.2 V Power On時に点灯
7 緑 ON +5 V Power On時に点灯
4 HCDPS-CONT
8 緑 OFF コンフィギュレーション書き込み完了時に点灯
9 緑 OFF 発振アラーム、ガード・アラーム、ケルビン・アラーム発生時に点灯
10 緑 OFF DCが RONしている時に点灯
11 緑 OFF DCが A/D変換中の時に点灯
6, 7, 8, 9,10, 11, 12,13
HCDPS
12, 21, 30, 39,48, 57, 66, 75 オレンジ OFF クランプ・アラーム発生時に点灯
13, 22, 31, 40,49, 58, 67, 76 オレンジ OFF バッファ 1のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
14, 23, 32, 4150, 59, 68, 77 オレンジ OFF バッファ 2のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
15, 24, 33, 42,51, 60, 69, 78 オレンジ OFF バッファ 3のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
16, 25, 34, 43,52, 61, 70, 79 オレンジ OFF バッファ 4のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
17, 26, 35, 44,53, 62, 71, 80 オレンジ OFF バッファ 5のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
18, 27, 36, 45,54, 63, 72, 81 オレンジ OFF バッファ 6のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
19, 28, 37, 46,55, 64, 73, 82 オレンジ OFF バッファ 7のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
20, 29, 38, 47,56, 65, 74, 83 オレンジ OFF バッファ 8のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯
LED77
LED79
LED78
LED80
LED81
LED75
LED76
LED82
LED83
SLOT13
LED68
LED70
LED69
LED71
LED72
LED66
LED67
LED73
LED74
SLOT12
LED59
LED61
LED60
LED62
LED63
LED57
LED58
LED64
LED65
SLOT11
LED50
LED52
LED51
LED53
LED54
LED48
LED49
LED55
LED56
SLOT10
LED41
LED43
LED42
LED44
LED45
LED39
LED40
LED46
LED47
SLOT9
LED32
LED34
LED33
LED35
LED36
LED30
LED31
LED37
LED38
SLOT8
LED23
LED25
LED24
LED26
LED27
LED21
LED22
LED28
LED29
SLOT7
LED14
LED16
LED15
LED17
LED18
LED12
LED13
LED19
LED20
SLOT6
LED8
LED9LED10
LED11
SLOT4
LED3
LED5
LED4
LED6
LED7
LED1
LED2
SLOT1
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5. ボードの交換
5-1
5. ボードの交換
5.1 ケーブル・マーカの見方
本テスト・システムのテスタ部に使用されているケーブルには、すべてケーブル・マーカが付いています。ケーブル・マーカには各コネクタの接続先を示す表示があります。
下の図では例として、ケーブル・マーカに SQPG S2, J6の表示がしてあります。これは PGユニットのスロット 2にセットされているボードのコネクタ番号 6に接続することを表しています。
なお、ユニット名、スロット、コネクタ番号については、各ケーブル接続図を参照して下さい。
SQPGS2 J6
接続先ユニット名
接続先コネクタ番号
接続先スロット番号
01.6.8
ケーブル・マーカの見方
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.2 架台内実装ボードの脱着
5-2
5.2 架台内実装ボードの脱着
架台内には図 5-1 に示す脱着式ボード・ハンドルが上下にそれぞれ取り付けられます。このボード・ハンドルは、所定のボード・スロット位置へ移動させ、ボード・ハンドルをボード補強棒の凸部にセットし、ハンドルを動かして脱着を行います。なお、ボード挿入時にはバック・ボードのコネクタ・ガイドとボード上のコネクタ・ガイドがかみ合うまで手で挿入して下さい。
図 5-1 ボード・ハンドル (KH9-90287)
図 5-2 ボード脱着方法
01.6.8
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5.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着
5-3
5.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着
5.3.1 実装ボードの脱着テスト・ヘッド・ボードの脱着には、専用の治具 (図 5-3)を用いて下さい。
図 5-3 テスト・ヘッド・ボード・ハンドル
ピン・エレクトロニクス・カードを外すには、引き抜き治具の をレールに差し込み、ピン・エレクトロニクス・カード上部のピンに を引っ掛け、 を握って外方向に引いて下さい。
ピン・エレクトロニクス・カードを挿入するときは、 を握って内方向に押して下さい。
図 5-4 テスト・ヘッド・ボード脱着方法
③
②
①
3
2
1
1
2 3
3
P . E . カ ー ドP. E カード
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順
5-4
5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順
ピン・エレクトロニクス・カードの交換は以下の手順で行います。ピン・エレクトロニクス・カードは特に精密な製品なので、取り扱いには十分注意して下さい。
(1) 図 5-5 のボタンを押しパフォーマンス・ボードをフリー状態にして、パフォーマンス・ボードを外します。
(2) PB FREEボタン(図 5-5 )のボタンを押し、HIFIXをフリー状態にします。
(3) HIFIXの外装パネルを固定しているネジ(4ヶ所)を外し、外装パネルを外します。
(4) 図 5-5 に繋がっている、エア・ホースを外します。
(5) のローレットつまみをフリー状態になるまで、緩めます。
(6) HIFIXの取っ手(図 5-5 )近くのMBロック(図 5-5 )を「FREE」にします。
(7) 図 5-5 の取っ手を持ち、HIFIXを外します。(注 1)
(注 1) HIFIXは重量物のため、HIFIXを外すときは必ず 2名にて作業をして下さい。また、ガイド・ピンを用いて精密位置あわせをされています。HIFIXは水平に保つようにして、脱着して下さい。
図 5-5 TH(1)
(8) TH 後部にある、ロック金具のネジ(図 5-6 )を FREE 状態になるまで緩め、 ロック金具(図 5-6 )を持ち上げます。
(注 2) ロック金具は、ガム・プレート(図 5-7 )のロック金具挿入穴(図 5-7 )に噛んでいるため、持ち上げにくい場合があります。そのときは、各ボードのカム・プレートを一枚一枚指で押して、ロック金具から外して下さい。
1
2
3
4
6 5
6
①
②
③ ④④
⑤⑤
4
2
6
1
346
5
5
7
8
9 10
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順
5-5
図 5-6 TH(2)
図 5-7 テスト・ヘッド内ボードの ZIFコネクタ
7 8
フリー位置
ロック位置
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順
5-6 01.6.8
(9) 前後 4ヶ所にあるガイド・レール(図 5-8 )を固定しているネジ(図 5-8 (ガイド・レール 1本に付き 2ヶ))を外し、ガイド・レールを外します。
図 5-8 TH(3)
(10) クランプ・レバー(図 5-9 )を緩め、ポジショニング・ブロック(図 5-9 )を手前に引き出します。
図 5-9 TH(4)
(11) PEに付いているホースのジョイント(PE 1枚に付き 4ヶ所)を外します。
(12) PEを図 5-3にある専用工具で引き抜きます。(注 3)
(注 3) PE交換をするときは必ずアース・バンドをして下さい。
(13) 組み立ては、1~12を逆の順番で行います。また、PEがきちんと挿入されていることを確認して下さい。
(注 4) PE挿入の際は PEの重みで落下させないよう、最後まで手で支えて下さい。
11 12
11 12
13 14
14 13
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5.5 ボード運搬上の注意
5-7
5.5 ボード運搬上の注意
下記ボードを運搬する場合には、必ず専用ラックをご使用下さい。
名称 トランク・ケース型式
ピン・エレクトロニクス・カード H9-91255
ボード電源 H9-91257
01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.6 ボード交換時の作業
5-8 01.9.28
5.6 ボード交換時の作業
(1) モニタ I/Fを交換するときは、EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押して主電源を切って下さい。
(2) コネクタの抜差、ボードの抜差はファンの停止を確認してから行って下さい。
(3) 交換後、ボード REVISIONの設定を変更して下さい。
構成データの変更方法は以下のとおりです。
下線部は、キーボードによる入力を示します。
一般ユーザでエンジンにログインします。
ディレクトリ $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_dataに移動します。
修正前のボードの版数の設定ファイルをコピーによりバックアップします。これは、操作ミスや停電、予期せぬ障害からデータを守るためです。
boardrevプログラムを起動します。
その後、メニューの “3”を選択します。
1
2
% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data↵
3
% cp atd_boarddatn.db atd_boarddatn.db.BAK↵
4
% boardrev↵ ----------------------------------------------------------------
T6672 Board Revision Program Rev0.1
Database File Working File
+------------------+ --- 1---> +----------------+
| atd_boarddatn.db | | at_boardch.dat |
+------------------+ <---2 --- +----------------+
1. extract working file from database file
2. recreate database file from working file
3. 1 + 2 (using editor)
4. 1 + 2 (interactive operation)
q. quit from menu
Please input a number that selected from the menu: 3↵
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.6 ボード交換時の作業
5-901.6.8
viエディタが起動され、修正前のボード REVISIONデータが表示されるので、必要な変更を行います。
以下、行は「横」の並び、「列」は縦の並びとして説明します。1行目の <UNIT> <SLOT>..等は実際には表示されません。同様に、[TOP]---, [EOF]---の行も表示されません。<REV>の列には、修正前の版数が表示されています。<SER>の列には、修正前のシリアル No.が表示されています。変更は、<REV>, <SER>の列のデータのみにして下さい。変更しないデータを記述した行は削除して差し支えありません。viエディタの使用方法は、viエディタのマニュアルを参照して下さい。
ここでは、以下のように修正したと仮定します。
修正内容をセーブしてエディタを抜けます。
5
<UNIT> <SLOT> <BOARD> <FUNCTION> <REV> <SER>
[TOP]--------------------------------------------------------------
DPU1 DMM R6581T DMM - -
DPU1 3 BGR-024897 DPS_CONT - -
DPU1 4 BGR-023715×02 DPS1 - -DPU1 5 BGR-024897 DPS_CONT - -
DPU1 6 BGR-023715×02 DPS2 - -DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT - -
DPU1 8 BGR-023715×02 DPS3 - -DPU1 9 BGR-024897 DPS_CONT - -
DPU1 10 BGR-023715×02 DPS4 - -DPU1 12 BGR-024899 IFL - -
DPU1 13 BGR-023709 IFA - -
...
...
[EOF]--------------------------------------------------------------
[TOP]-----------------------------------------------------------
DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT ABC 3150
DPU1 9 BGR-024899 IFL ABD 3420
[EOF]------------------------------------------------------------
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.6 ボード交換時の作業
5-10 05.5.7
boardrevのメニューに戻るので、“y”を選択して、ボードの版数の修正をファイルに反映します。
修正の反映後に再びメニューに戻るので、“q”を選択してメニューを抜けます。
修正前のファイルを削除します。
ボード交換時には構成データをバックアップ・メディアに保存して下さい。保存方法は以下のとおりです。
(a) フロッピー・ディスクへの保存(TC3, TC4, TC5搭載機)
ディレクトリを$ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_dataに移動します。
6
creat new board.db? [y or n]:y↵
DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT ABC 3150
DPU1 9 BGR-024899 IFL ABD 3420
---------------------------------------------------------------------
T6672 Board Revision Program Rev0.1
Database File Working File
+------------------+ --- 1---> +----------------+
| atd_boarddatn.db | | at_boardch.dat |
+------------------+ <---2 --- +----------------+
1. extract working file from database file
2. recreate database file from working file
3. 1 + 2 (using editor)
4. 1 + 2 (interactive operation)
q. quit from menu
Please input a number that selected from the menu:q↵
%
7
% rm atd_boarddatn.db.BAK↵%
1
% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data↵
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.6 ボード交換時の作業
5-11
rootに入ります。
ファイル env_T6672/fp_tarlistの存在を確認します。
フロッピー・ディスクをドライブに装着します。
volcheckを入力します。
tarコマンドで構成データをフロッピー・ディスクに保存します。
ejectコマンドを入力します。
フロッピー・ディスクをドライブから取り出します。
(b) CD-RWメディアへの保存(TC7搭載機)
ディレクトリを $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data に移動します。
rootに入ります。以降の作業は、必ず rootで行って下さい。
2
% su↵Password: ↵#
3
# ls env_T6672/fp_tarlist↵
4
5
# volcheck↵
6
# tar cvf /vol/dev/aliases/floppy0 -I env_T6672/fp_tarlist↵
7
# eject↵
8
1
% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data
2
% su
Password: #
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.6 ボード交換時の作業
5-12
ファイル hwconfig.dat, atd_boarddatn.dbの存在を確認します。
保存用の CD-RWメディアをドライブに挿入します。
下記のコマンドを入力して、CD-RWメディアに書き込まれているデータをクリアします。このとき、cdrom用のファイル・マネージャが起動する場合があります。起動した場合は、cdrom用のファイル・マネージャを終了させて下さい。
データのクリアが終了すると、CD-RW メディアがドライブから排出されますので、再度、CD-RWメディアを挿入します。
homeディレクトリに移動して下さい。
データのバックアップを行います。下記のコマンドを入力して下さい。
データのバックアップが終了すると、CD-RWドライブからメディアが排出されます。CD-RWドライブからメディアを取り出し、ドライブの ejectボタンを押し、トレイを入れて下さい。
3
# ls hwconfig.dat atd_boarddatn.db
4
5
# cdrw -b session
6
7
# cd
8
# sys_data_back
9
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法
5-13
5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法
5.7.1 TC7が故障し、代品と入れ替えたときの Solarisの起動エラーについて
TC7が故障し代品と入れ替えたとき、グラフィック・カードを交換せずにシステムの電源を投入すると、間欠で Solaris起動時に DTログイン画面が表示されず、以下の画面が表示される場合があります。
これは、交換部材に実装されているグラフィック・カードと故障した TC7に実装されていたグラフィック・カードが異なるため起きる現象です。なお、本現象が発生した場合、CDEは起動しないが一般ユーザまたは rootでログインすることは可能です。
上記の現象が発生する要因は、以下の 2つが考えられます。対処方法については「5.7.3 対処方法」を参照して下さい。
(1) 交換後、起動時に“boot -r”コマンドを実施していないために Solarisのデバイス・ツリーが更新されていない。
「5.7.3 対処方法」の方法 1を参照して下さい。ただし、Viewpoint R8.00および R8.01
の OS を使用している場合は、「5.7.3 対処方法」の方法 2 または方法 3 を参照して下さい。
(2) 交換用部材に実装されているグラフィック・カード用のデバイス・ドライバがインストールされていない。
「5.7.3 対処方法」の方法 2または方法 3を参照して下さい。
********************************************************************* Starting Desktop Login on display :0...** Wait for the Desktop Login screen before logging in.********************************************************************
********************************************************************* The X-sever can not be started on display :0...********************************************************************
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法
5-14 05.5.7
5.7.2 グラフィック・カードについてTC7のグラフィック・カードの違いは、TC7正面左上部に貼付されている版数シールまたはグラフィック・カードのコネクタ部の概観の違いにより判断することができます。以下に、版数およびグラフィック・カードのコネクタ部の違いを示します。
(1) 版数が“AAB”および“ABB”の場合
グラフィック・カード:XVR-100
(2) 版数が“AAB”,“ABB”以外の場合
グラフィック・カード:XVR-500
XVR-100のコネクタ部の外観
XVR-500のコネクタ部の外観
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法
5-15
5.7.3 対処方法以降の説明は、下線部が入力するコマンド、↵ が returnキーを示します。
方法 1. デバイス・ツリーの再構築
本方法は、Viewpoint R8.00および R8.01のレビジョンでは 2種類のグラフィック・カードの対応がされていないため、Viewpoint R8.00および R8.01の OSを使用している場合は、方法 2または方法 3を参照して下さい。
returnキーを入力し、コンソール入力画面を出力させます。
rootでログインし、下記のコマンドを入力します。ここで、パスワードは説明の都合上、“********”で説明します。
方法 2. グラフィック・カードの入れ替え
故障した TC7 のグラフィック・カードと、交換用の TC7 のグラフィック・カードを入れ替えます。ただし、グラフィック・カードが故障して交換した場合は、次頁の方法 3を参照して下さい。
1
*******************************************************************
*
* Starting Desktop Login on display :0...
*
* Wait for the Desktop Login screen before logging in.
*
*******************************************************************
*******************************************************************
*
* The X-sever can not be started on display :0...
*
*******************************************************************
console login:
←ここで returnキーを押す。
2
console login : root↵ passwd : ********↵ : :
# reboot -- -r↵
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法
5-16 05.5.7
方法 3. グラフィック・カードのデバイス・ドライバのインストール
Solaris OSの CDメディア (Solaris8 HW 5/03 1 of 2)を用意します。
rootでログインし、CDドライブにメディアを挿入します。rootでのログイン方法は、前頁の方法 1を参照して下さい。
下記のコマンドを入力し、ドライバをインストールします。
<TC7の版数が“AAB”および“ABB”の場合 >。
< TC7の版数が“AAB”,“ABB”以外の場合 >
CDドライブより CDメディアを取り出します。
インストールしたドライバを反映させるため、下記のコマンドを入力し TCを rebootします。
1
2
3
# pkgadd -d /cdrom/cdrom0/s0/Solaris_8/Product SUNWpfbcf SUNWpfbmn SUNWpfbw SUNWpfbx.u↵ : :これ以降の確認では、すべて“y↵ ”を入力
# pkgadd -d /cdrom/cdrom0/s0/Solaris_8/Product SUNWifb.u SUNWifbcf SUNWifbr SUNWifbw SUNWifbx.u↵ : :これ以降の確認では、すべて“y↵ ”を入力
4
5
# reboot -- -r↵
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6. ユニット/電源配置/電圧調整値
6-1
6. ユニット/電源配置/電圧調整値
6.1 システム架台配置
(1) T6672
図 6-1 システム架台配置図 (T6672)
(2) T6673
図 6-2 システム架台配置図 (T6673)
(3) T6672 HCDPSオプション有りの場合
図 6-3 システム架台配置図(T6672 HCDPS架有りの場合)
本体架 1024ch架 CDU
TH1 TH2
TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。
T6672
本体架 1024ch架 CDU
TH1 TH2
TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。
T6673
ミクスド・シグナル・テスト・オプション架
本体架 1024ch架 CDU架
TH1 TH2
TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。
HCDPS架(CHILLER)
T6672
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.1 システム架台配置
6-2
(4) T6673 HCDPSオプション有りの場合
図 6-4 システム架台配置図(T6673 HCDPS架有りの場合)
本体架 1024ch架 CDU架
TH1 TH2
TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。
ミクスド・
(CHILLER)
T6673
HCDPS架
シグナル・テスト・オプション架
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-3
6.2 メイン・フレーム内配置
図 6-5 本体架配置図 (FRONT VIEW)
本体架台
1024
ch架台
(800
)
温度表示
センサ
センサ
センサ
TC
本体
電源
(TC
_PS
)
TC
PAN
EL
TC
_PS
Mon
itor
Pane
l
MIX
ED
TH
1側
MIX
ED
TH
2側
J301
J302
DP
U
AL
PG
AL
PGが
ない場合
H9-
9128
1ブランク
取り付ける
カバーを
SQ
PG
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
TH
U-P
S
TH
2T
H1
FT
U_1
(1-2
56)
Monitor-IF
FT
U_2
FT
U2が
ない場合
H9-
9218
3を取り付ける
(257
-512
)
FTU温度センサ
FT
U温度センサ
FTU
3 5
13-7
68
FTU
4 7
69-1
024
FTU
4がない場合
H9-
9128
取り付ける
カバーをブランク
FRONT VIEW
ベンチ・フレーム用
FG線取り付ける場所
ベンチ・フレーム
注1)
ここにケーブルを通さないこと。
注2)
DC
270Vケーブルは
TC
PS
Mon
i-to
r P
anelの後ろを通すこと。
注1)
注2)
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-4
図 6-6 本体架配置図 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW)
(T6673の場合、MIXEDラックが付かない時には、TH1側の位置に架台 FAN2個が搭載される)
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-5
図 6-7 本体架配置図 (REAR VIEW)
本体架台
1024
ch架台
(800
)
REAR VIEW
MA
IN
AC
CO
NT
本体電源
回転ベース
450R
回転ベース
650L
回転ベース
250R
温度表示
J101
J202
J102
J201
Air
Con
tP
anel
DM
M
レギュ
レータ
SU
B2
AC
CO
NT
SUB
1A
CC
ON
T
J401
温度計
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-6 04.8.23
図 6-8 本体架電源配置図 (Front View)(TC3, 4の場合)
図 6-9 本体架電源配置図 (Rear View)
MIXED
TH1
MIXED
TH2
J301 J302
TCPANEL TCPSmon
センサ
SR
35
SR
35
SR
35
SR
35
UPS6
TH SMOKEPANEL
UPS4
SR23
0SR
330
TC_PS
UPS5
UPS3
UPS2
UPS1
TC3, 4
SR60
SR60
SR60
SR60
煙受信機
SR60
SR23
0
UPS7 UPS8 UPS9 UPS10
100 VTRANS
UPS17
SR23
0
UPS12UPS11
SR23
0
SR23
0
UPS14UPS13
SR23
0
SR23
0
UPS16UPS15
SR23
0
SR60
UPS19UPS18
MIXED_MF
MAINAC
CONT
SUB1AC
CONT
SUB2AC
CONT
AirContPanel
DMM レギュレータ
リザーブ
UPS21
SR
60
UPS20
SR
60
UPS19
SR
60
UPS18
SR
60IDDQ
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-7
図 6-10 本体架電源配置図 (Front View)(TC5の場合)
04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-8 05.5.7
図 6-11 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 UP FLOWの場合)
図 6-12 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 DOWN FLOWの場合)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-9
図 6-13 本体架電源配置図
650L回転ベース
センサ450R回転ベースUPS 203ACDC 7(TH2 512)(TH1 1024)
UPS 201ACDC 4(FTU2)
UPS 207ACDC 1(DPU)
UPS 205ACDC 5(TH1)
UPS 211ACDC 3
(FTU1, DPU(SR))
UPS 209ACDC 2
(PGU, MIXED)
FAN FAN
UPS 215ACDC 6
(TH1)
UPS 213ACDC 10(TH2 512)(TH1 1024)
UPS 220DC-DC(TH1)
UPS 219DC-DC(TH1)
UPS 218DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)
UPS 217DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)
UPS 224DC-DC(TH1)
UPS 223DC-DC(TH1)
UPS 222DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)
UPS 221DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.2 メイン・フレーム内配置
6-10 05.5.7
図 6-14 1024ch架電源配置図
センサ250R回転ベース
KH9-9810
KH9-9810
UPS 205ACDC 9(FTU4)
FAN
UPS 207ACDC 8(FTU3)
KH9-9810
KH9-9810
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置
6-11
6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置
図 6-15 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Front View)
FRONT VIEWUPS No 電圧 種類
UPS 1 -15 V NNS50-15
UPS 2 +15 V NNS50-15
UPS 3 +5 V NNS50-5
UPS 4 +5 V NNS50-5
UPS 5 -15 V NNS50-15
UPS 6 +15 V NNS50-15
UPS 7 -15 V NNS50-15
UPS 8 +15 V NNS50-15
UPS 9 -15 V NNS50-15
UPS 10 +15 V NNS50-15
UPS 11 -5 V NNS30-5
UPS 12 +5 V NNS30-5
UPS 13 -15 V NNS30-15
UPS 14 +15 V NNS30-15
UPS 15 -5.2 V NNS50-5
UPS 16 -5.2 V NNS50-5
UPS 17 -5 V NNS30-5
UPS 18 +5 V NNS30-5
UPS 19 -15 V NNS30-15
UPS 20 +15 V NNS30-15
MEM S1 BOARD PS
MEM S2 BOARD PS
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置
6-12 05.5.7
図 6-16 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Rear View)
UPS No 電圧 種類 UPS No 電圧 種類 UPS No 電圧 種類UPS 101 -5 V NNS30-5 UPS UPS 21 AC/DC11 WBL-PS3750W
UPS 102 -5 V NNS30-5 UPS UPS 22 +5 V SR660-5
UPS 103 +15 V/-15 V NND30-15 UPS UPS 23 +3.3 V SR330-3
UPS 104 +5 V NNS50-5 UPS UPS 24 RESERVE1
UPS 105 -5.2 V NNS30-5 UPS UPS 25 -5.2 V SR330-5
UPS 106 +15 V/-15 V NNS50-5 UPS UPS 26 RESERVE2
UPS 107 +5 V NNS15-5 UPS 137 +5 V NNS15-5
UPS 108 -5 V NNS15-5 UPS 138 -5 V NNS15-5
UPS 109 +5 V NNS15-5 UPS 139 +5 V NNS15-5
UPS 110 -5 V NNS30-5 UPS 140 -5 V NNS30-5
UPS 111 +15 V NNS30-15 UPS 141 +15 V NNS30-15
UPS 112 -15 V NNS30-15 UPS 142 -15 V NNS30-15
UPS 113 +5 V SR35-5 UPS 143 +5 V SR35-5
UPS 114 +24 V SR35-24 UPS 144 +24 V SR35-24
UPS 115 +3.3 V SR60-3.5 UPS 145 +3.3 V SR60-3.5
UPS 116 -5 V SR60-5 UPS 146 -5 V SR60-5
UPS 117 +15 V/-15 V NNS30-15 UPS 147 +15 V/-15 V NND30-15
UPS 118 +15 V/-15 V NNS30-15 UPS 148 +15 V/-15 V NND30-15
UPS 119 +5 V NNS50-5 UPS 149 +5 V NNS50-5
UPS 120 +3.3 V SR60-3.5 UPS 150 +15 V SR110-15
UPS 121 +5 V SR60-5 UPS 151 -15 V SR110-15
UPS 122 +15 V/-15 V NND15-15 UPS 152 +15 V/-15 V NND15-15
UPS 123 +5 V NNS30-5 UPS 153 +5 V NNS30-5
UPS 124 -5.2 V NNS30-5 UPS 154 -5.2 V NNS30-5
UPS 125 -5.2 V NNS50-5 UPS 155 -5.2 V NNS50-5
UPS 126 +15 V NNS15-15 UPS 156 +15 V NNS15-15
UPS 127 -15 V NNS15-15 UPS 157 -15 V NNS15-15
UPS 128 -5 V NNS15-5 UPS 158 -5 V NNS15-5
UPS 129 +5 V NNS30-5 UPS 159 +5 V NNS30-5
UPS 130 +5 V NNS50-5 UPS 160 +5 V NNS50-5
REAR VIEW
105
104
129
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.4 HCDPS架内配置
6-13
6.4 HCDPS架内配置
図 6-17 HCDPS架内配置
(注)UPS301-UPS309は、HCDPSU2がある場合に実装する。
(T6673の場合、 MIXED架あり
→ AC CONT搭載されない。MIXED架なし
→ AC CONTは搭載される。)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-14 05.5.7
6.5 安全装置の取付位置
図 6-18 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の FRONT VIEW)
本体架台
1024
ch架台
(800
)
TC
本体
電源
(TC
_PS
)
TC
PAN
EL
TC
_PS
Mon
itor
Pan
el
MIX
ED
TH
1側
MIX
ED
TH
2側
J301
J302
DP
UA
LP
GS
QP
G
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
架台
FAN
TH
U-P
S
TH
2T
H1
FT
U_1
(1-2
56)
Monitor-IF
FTU
_2(2
57-5
12) F
TU温度センサ
FT
U温度センサ
FTU
_3
FTU
_4
FRONT VIEW UP FLOW時
(769
-102
4)
(513
-768
)
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
(注
1) T
C5の場合、
FAN回転センサが付きます。
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-15
図 6-19 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の REAR VIEW)
本体架台
REAR VIEW UP FLOW時
MA
IN
AC
CO
NT
回転ベース
450R
回転ベース
650L
J101
J202
J102
J201
Air
Con
tP
anel
DM
M
レギュ
レータ
SU
B2
AC
CO
NT
SUB
1A
CC
ON
T
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
煙受信機
1024
ch架台
(800
)
回転ベース
250R温度表示
回転ベース
FAN
回転ベース
FAN
回転ベース
FAN
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-16 05.5.7
図 6-20 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW)
FRONT VIEW DOWN FLOW時
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
J301
,J30
2:(A
TK
-3O
N3-
11P
)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-17
図 6-21 安全装置の取り付け位置 (T6673 DSPラックなしで DOWN FLOW時の FRONT VIEW)
FRONT VIEW DOWN FLOW時
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
J301
,J30
2:(A
TK
-3O
N3-
11P
)
架台
FAN
架台
FAN
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-18 05.5.7
図 6-22 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の REAR VIEW)
REAR VIEW DOWN FLOW時
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
J101
,J10
2:(A
TL-
100N
3-14
P)
J201
,J20
2:(A
TK
-60N
3-4P
)J4
01
:(A
TK
-30N
3-10
P)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.5 安全装置の取付位置
6-19
図 6-23 TH安全装置の取り付け位置
図 6-24 CDU安全装置の取り付け位置
FRONT
FRONT
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)
6-20 05.5.7
6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)
図 6-25 安全装置の取り付け(UP FLOW時の FRONT, REAR VIEW)
UP FLOW時
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)
6-21
図 6-26 安全装置の取り付け(DOWN FLOW時の FRONT, REAR VIEW)
DOWN FLOW時
FAN回転センサ
温度センサ
煙感知器
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台)
6-22 05.5.7
6.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台)
図 6-27 HCDPS架安全装置の取り付け位置
SMOKEセンサ
TEMPセンサ
FAN回転センサ
(T6673の場合、 MIXED架あり
→ AC CONT搭載されない。MIXED架なし
→ AC CONTは搭載される。)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-2305.5.7
6.8 重心図・骨格図
(1) メイン・フレーム重心図(512ピン構成時)
図 6
-28 メイン・フレーム重心図(
512ピン空冷
CD
U時)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-24
図 6
-29 メイン・フレーム重心図(
512ピン水冷
CD
U時)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-2505.5.7
(2) メイン・フレーム重心図(1024ピン構成時)
図 6
-30 メイン・フレーム重心図(
1024ピン空冷
CD
U時)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-26
図 6
-31 メイン・フレーム重心図(
1024ピン水冷
CD
U時)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-2705.5.7
(3) メイン・フレーム重心図(512ピン構成時)
図 6
-32 メイン・フレーム重心図(
T66
73 5
12ピン空冷
CD
U時)
T66
73 C
EN
TE
R O
F G
RA
VIT
Y/F
AL
LA
NG
LE
/WE
IGH
T D
IST
RIB
UT
ION
SP
EC
(512
CH
AIR
CO
OL
ING
TY
PE
)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-28
図 6
-33 メイン・フレーム重心図(
T66
73 5
12ピン水冷
CD
U時)T
6673
CE
NT
ER
OF
GR
AV
ITY
/FA
LL
AN
GL
E/W
EIG
HT
DIS
TR
IBU
TIO
N S
PE
C(5
12 C
H W
AT
ER
CO
OL
ING
TY
PE
)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-2905.5.7
(4) メイン・フレーム重心図(1024ピン構成時)
図 6
-34 メイン・フレーム重心図(
T66
73 1
024ピン空冷
CD
U時)T
6673
CE
NT
ER
OF
GR
AV
ITY
/FA
LL
AN
GL
E/W
EIG
HT
DIS
TR
IBU
TIO
N S
PE
C(1
024
CH
AIR
CO
OL
ING
TY
PE
)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-30
図 6
-35 メイン・フレーム重心図(
T66
73 1
024ピン水冷
CD
U時)
T66
73 C
EN
TE
R O
F G
RA
VIT
Y/F
AL
LA
NG
LE
/WE
IGH
T D
IST
RIB
UT
ION
SP
EC
(102
4 C
H W
AT
ER
CO
OL
ING
TY
PE
)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-3305.5.7
図 6
-38 本体架骨格図N
OT
ITL
EM
AT
ER
IAL
ME
ASU
RE
1B
AS
E F
RA
ME
F(2
.0)
STK
R1”
×2”×
1949
, t3.
05
2B
AS
E F
RA
ME
F(1
.6)
STK
R1”
×2”×
1949
, t3.
05
3B
ASE
FR
AM
E R
&L
SEC
C-P
50.8
×180
×518
.5, t
2.6
4B
AS
E F
RA
ME
M(2
.0)
SEC
C-P
48.5
×220
×162
8, t2
.6
5B
AS
E F
RA
ME
FSE
CC
-P44
.5×7
8×41
4, t2
6B
AS
E F
RA
ME
RSE
CC
-P44
.5×7
8×24
4, t2
7E
ND
PL
AT
E L
SPC
C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
8E
ND
PL
AT
E R
SPC
C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
9 10C
EN
TE
R F
RA
ME
SPC
C-S
D28
×880
×163
9.4,
t2.6
11T
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FR
AM
E R
-A(2
.0)
STK
R1”
×1”×
1899
, t3.
05
12T
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FR
AM
E F
-A(2
.0)
STK
R1”
×1”×
1899
, t3.
05
13T
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FR
AM
E F
-B(2
.0)
STK
R1”
×2”×
1899
, t3.
05
14T
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R-B
(2.0
) ST
KR
1”×2
”×18
99, t
3.05
15T
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FR
AM
E M
(2.0
) ST
KR
1”×1
”×19
48, t
3.05
16T
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FST
KR
1”×1
”×53
0.5,
t3.0
5
17T
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KR
1”×1
”×23
0.5,
t3.0
5
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SPC
C-S
D16
×251
×134
2, t2
19V
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FR
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.0)
SEC
C-P
25.5
×30×
1947
, t2.
6
20B
AS
E J
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T F
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-12
65.8
×180
×215
21B
AS
E J
OIN
T F
-RA
DC
-12
65.8
×180
×215
22B
ASE
JO
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C-1
265
.8×1
80×2
25
23B
ASE
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C-1
265
.8×1
80×2
25
24C
OR
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C-1
251
×120
×150
25C
OR
NE
R J
OIN
T R
AD
C-1
251
×120
×150
T667
2F
RA
ME
ST
RU
CT
UR
E
RE
AR
FR
ON
T
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-34 05.5.7
図 6
-39
1024
ch架骨格図
T66
72F
RA
ME
ST
RU
CT
UR
E
RE
AR
FR
ON
T
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1B
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E F
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×2”×
749,
t3.0
5
2B
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E F
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R(0
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STK
R1”
×2”×
749,
t3.0
5
3B
ASE
FR
AM
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SEC
C-P
50.8
×180
×518
.5, t
2.6
4B
AS
E F
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M(0
.8)
SEC
C-P
48.5
×220
×428
, t2.
6
5E
ND
PL
AT
E L
SPC
C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
6E
ND
PL
AT
E R
SPC
C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
7 8T
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FR
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×1”×
699,
t3.0
5
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FR
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STK
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×1”×
699,
t3.0
5
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FR
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E F
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STK
R1”
×2”×
699,
t3.0
5
11T
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(0.8
) ST
KR
1”×2
”×69
9, t3
.05
12T
OP
FR
AM
E M
(0.8
) ST
KR
1”×1
”×74
8, t3
.05
13H
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D B
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RD
(0.8
) SP
CC
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16×2
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2
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25.5
×30×
747,
t2.6
15B
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-12
65.8
×180
×215
16B
AS
E J
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DC
-12
65.8
×180
×215
17B
ASE
JO
INT
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C-1
265
.8×1
80×2
25
18B
ASE
JO
INT
R-R
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C-1
265
.8×1
80×2
25
19C
OR
NE
R J
OIN
T L
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C-1
251
×120
×150
20C
OR
NE
R J
OIN
T R
AD
C-1
251
×120
×150
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-35
図 6
-40 水冷
CD
U架骨格図
T667
2
FR
AM
E S
TR
UC
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RE
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FR
ON
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50×8
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690.
4, t2
.3
2F
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50×8
90×1
690.
4, t2
.3
3T
OP
FR
AM
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SPC
C-S
D50
×75×
300,
t2.3
4T
OP
FR
AM
E R
SPC
C-S
D50
×75×
300,
t2.3
5正面ステー
SPC
C-S
D30
×36×
386,
t2.3
6B
OT
TO
M F
RA
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SPC
C-S
D50
×400
×890
, t2.
3
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-36 05.5.7
図 6
-41 空冷
CD
U架骨格図
T66
72
FR
AM
E S
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UC
TU
RE
RE
AR
FR
ON
T
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CD
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FR
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×2”×
699,
t3.0
5
3T
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FR
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KR
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”×74
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.1
4V
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SPC
C-S
D37
×45×
747,
t2.6
5B
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×2”×
749,
t3.0
5
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×2”×
749,
t3.0
5
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ND
PL
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×890
×171
5.6,
t2.6
8E
ND
PL
AT
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SPC
C-S
D1”
×890
×171
5.6,
t2.6
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FR
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11B
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FR
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2.6
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FR
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13T
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t3.1
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15
15B
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.8×1
80×2
15
16B
ASE
JO
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C-1
265
.8×1
80×2
25
17B
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C-1
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80×2
25
18C
OR
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C-1
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×120
×150
19C
OR
NE
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AD
C-1
251
×120
×150
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-37
図 6
-42 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架骨格図
T66
73F
RA
ME
ST
RU
CT
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18.5
, t2.
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4B
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FR
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2.6
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×890
×171
5.6,
t2.6
6E
ND
PL
AT
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-P28
×890
×171
5.6,
t2.6
7C
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×577
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639.
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×1”×
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t3.0
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×1”×
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t3.0
5
10T
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FR
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R1”
×2”×
899,
t3.0
5
11T
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FR
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R1”
×2”×
899,
t3.0
5
12T
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13T
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1”×1
”×53
0.5,
t3.0
5
14T
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”×23
0.5,
t3.0
5
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16V
EN
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30×4
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.6
17B
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00
18B
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JO
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265
.8×1
80×2
00
19B
ASE
JO
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R-L
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C-1
265
.8×1
80×2
25
20B
ASE
JO
INT
R-R
AD
C-1
265
.8×1
80×2
25
21C
OR
NE
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T L
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C-1
251
×120
×150
22C
OR
NE
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OIN
T R
AD
C-1
251
×120
×150
(MIX
ED
)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.8 重心図・骨格図
6-38 05.5.7
図 6
-43
HC
DP
S架骨格図
NO
TIT
LE
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0.8)
ST
KR
1”×2
”×74
9, t3
.05
3B
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FR
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18.5
, t2.
6
4B
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0.8)
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.5×2
20×4
28, t
2.6
5B
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C-P
44.5
×78×
414,
t2
6B
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E F
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RS
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C-P
44.5
×78×
244,
t2
7E
ND
PL
AT
E L
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C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
8E
ND
PL
AT
E R
SPC
C-S
D28
×890
×171
5.6,
t2.6
9FA
N F
RA
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A60
63S
-T5
45.5
×61×
474
10C
EN
TE
R F
RA
ME
SPC
C-S
D28
×880
×163
9.4,
t2.6
11T
OP
FR
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KR
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”×69
9, t3
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12T
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FR
AM
E F
-A (
0.8)
ST
KR
1”×1
”×69
9, t3
.1
13T
OP
FR
AM
E F
-B (
0.8)
ST
KR
1”×2
”×69
9, t3
.05
14T
OP
FR
AM
E R
-B (
0.8)
ST
KR
1”×2
”×69
9, t3
.05
15T
OP
FR
AM
E M
(0.
8)S
TK
R1”
×1”×
699,
t3.1
16T
OP
FR
AM
E F
ST
KR
1”×1
”×53
0.5,
t3.1
17T
OP
FR
AM
E R
ST
KR
1”×1
”×23
0.5,
t3.1
18H
OL
D B
OA
RD
SPC
C-S
D16
×251
×472
, t2
19V
EN
T S
LE
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E
FR
AM
E (
0.8)
SEC
C-P
25.5
×30×
747,
t2.6
20B
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JO
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C-1
265
.8×1
80×2
15
21B
ASE
JO
INT
F-R
AD
C-1
265
.8×1
80×2
15
22B
ASE
JO
INT
R-L
AD
C-1
265
.8×1
80×2
25
23B
ASE
JO
INT
R-R
AD
C-1
265
.8×1
80×2
25
24C
OR
NE
R J
OIN
T L
AD
C-1
251
×120
×150
25C
OR
NE
R J
OIN
T R
AD
C-1
251
×120
×150
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.9 ユニット電源規格表
6-39
6.9 ユニット電源規格表
以下にユニット電源の規格を示します。
表 6-1メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(1/3)
UPS 電源名 規格名 電圧 備考
TC3, 4の場合1 SR330-5 DPS-001623-1 5 V TC用2 SR230-12 DPS-001649-1 12 V TC用3 SR35-12 DPS-001894-1 -12 V TC FAN用4 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V TB CONT用5 SR35-5 DPS-001895-1 5 V TESTER BUS I/F用
TC5の場合1 SR60-3 DPS-001655-1 3.3 V TC用2 SR35-12 DPS-001894-1 12 V TC用3 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V TC FAN用4 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V TB CONT用5 SR230-5 DPS-001647-1 5 V TESTER BUS I/F用
TC7の場合1 SR35-5 DPS-001895-1 5 V IO IF用2 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V IO IF用3 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V TC FAN用4 SR35-12 DPS-001894-1 12 V IO IF用5 SR110-24 DPS-001621-1 -24 V TC FAN UNIT用
共通6 SR35-5 DPS-001895-1 5 V SYSTEM MONITOR用7 SR60-24 DPS-001617-1 24 V コントロール・パネル用8 SR60-5 DPS-001614-1 5 V MONITOR I/F用9 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V MONITOR I/F用10 SR60-24 DPS-001617-1 24 V エア・コント用11 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed1)用12 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed1)用13 SR230-12 DPS-001649-1 12 V MIXED本体 (Mixed1,2)用14 SR230-12 DPS-001649-1 -12 V MIXED本体 (Mixed1,2)用15 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed2)用16 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed2)用17 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V MixedFAN(Mixed1,2)用
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.9 ユニット電源規格表
6-40 05.5.7
表 6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(2/3)
UPS 電源名 規格名 電圧 備考101 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(VFD/VFG)用102 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(VFD/VFG)用103 NND30 DPS-004152-1 ±12 V Mixed2(SG)用104 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(リザーブ)用105 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(リザーブ)用106 SR60-9 DPS-001742-1 −8 V TH2用107 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(AFE)用108 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(AFD/AFG)用109 NNS30 DPS-002735-1 -15 V Mixed2(AFD/AFG)用110 NNS30 DPS-002735-1 +15 V Mixed2(AFD/AFG)用111 SR60-15 DPS-001616-1 -15 V TH2 M15VPB用112 SR60-15 DPS-001616-1 15 V TH2 P15VPB用113 SR60-5 DPS-001614-1 -5.2 V TH2 VEEPB用115 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH2 P5VRL用116 SR35-12 DPS-001894-1 −12 V TH2 FAN用117 SR60-24 DPS-001617-1 −24 V TH2 FAN用118 SR60-5 DPS-001614-1 5 V TH2 P5VPB用119 SR110-5 DPS-001618-1 5 V TH2 PBRLVCC用120 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(VFD/VFG)用121 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(VFD/VFG)用122 NND30 DPS-004152-1 ±12 V Mixed1(SG)用123 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(リザーブ)用124 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(リザーブ)用125 SR60-9 DPS-001742-1 −8 V TH1用126 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(AFE)用127 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(AFD/AFG)用128 NNS30 DPS-002735-1 -15 V Mixed1(AFD/AFG)用129 NNS30 DPS-002735-1 +15 V Mixed1(AFD/AFG)用130 SR60-15 DPS-001616-1 -15 V TH1 M15VPB用131 SR60-15 DPS-001616-1 15 V TH1 P15VPB用132 SR60-5 DPS-001614-1 -5.2 V TH1 VEEPB用133 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH1 P5VRL(1024ch時追加)用134 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH1 P5VRL用135 SR35-12 DPS-001894-1 −12 V TH1 FAN用136 SR60-24 DPS-001617-1 −24 V TH1 FAN用137 SR60-5 DPS-001614-1 5 V TH1 P5VPB用138 SR110-5 DPS-001618-1 5 V TH1 PBRLVCC用140 SR60-3 DPS-001655-1 3.3 V DPU P3.3V用141 SR230-24 DPS-001652-1 -24 V DPU M60V用142 SR230-36 DPS-001660-1 -36 V DPU M60V用143 SR230-24 DPS-001652-1 +24 V DPU P60V用144 SR230-36 DPS-001660-1 +36 V DPU P60V用
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.9 ユニット電源規格表
6-41
表 6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(3/3)
表 6-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(1/2)
UPS 電源名 規格名 電圧 備考201 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU2(257-512)
203 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH2(1-512), TH1(513-1024)
205 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH1(1-512)
207 WBL-PS3750W WBL-PS3750W DPU
209 WBL-PS3750W WBL-PS3750W SQPG, ALPG
211 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU1(1-256), DPU(SR)
213 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH2(1-512), TH1(513-1024)
215 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH1(1-512), TH1, 2(UTL)
217 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)
218 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)
219 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)
220 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)
221 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)
222 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)
223 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)
224 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)
UPS 電源名 規格名 備考205 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU4(769-1024)
207 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU3(513-768)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.9 ユニット電源規格表
6-42
表 6-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(2/2)
UPS 電源名 規格名 備考DPU UPS1 WUN-11V2B15V2B18V WUN-11V2B15V2B18V DPU用DPU UPS2 WUN-11V2B5V3B WUN-11V2B5V3B DPU用SQPG UPS1 WUN-5V3V5V2R5V5V WUN-5V3V5V2R5V5V SQPG, ALPG用ALPG UPS1 WUN-3V2V3V2V3V WUN-3V2V3V2V3V SQPG, ALPG用ALPG UPS1 WUN-5V3V5V2V5V WUN-5V3V5V2V5V SQPG, ALPG用FTU1 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU1用FTU1 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU1用FTU1 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU1用FTU2 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU2用FTU2 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU2用FTU2 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU2用FTU3 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU3用FTU3 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU3用FTU3 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU3用FTU4 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU4用FTU4 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU4用FTU4 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU4用
THPS UPS1WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH1用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)
THPS UPS2WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH1用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)
THPS UPS3WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH2用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)
THPS UPS4WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH2用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)
05.5.7
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6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)
6-4305.5.7
6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)
表 6-3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内ユニット電源規格 (FRONT)
UPS 電源名 規格名 種類 備考1 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D2 ANA
2 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D2 ANA
3 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V PAFG/D2 ANA
4 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V PAFG/D1 ANA
5 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D1 ANA
6 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D1 ANA
7 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D2 TH
8 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D2 TH
9 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D1 TH
10 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D1 TH
11 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V WVFG2
12 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFG2
13 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V WVFG2
14 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V WVFG2
15 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V WVFG2
16 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V WVFG1
17 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V WVFG1
18 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFG1
19 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V WVFG1
20 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V WVFG1
SLOT1 WUN-5V3V2R5V5V2V WUN-5V3V2R5V5V2V MEMORY UNIT
SLOT2 WUN-5V15V2B5V2V WUN-5V15V2B5V2V MEMORY UNIT
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6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)
6-44
表 6-4 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内ユニット電源規格 (REAR)
UPS 電源名 規格名 電圧 備考 UPS 電源名 規格名 電圧 備考21 WBL-PS3750W FDS3750W AC/DC11 MEM/ANA 128 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V WVFD2
22 SR660-5 DPS-001629-1 +5 V 129 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFD2
23 SR330-3 DPS-001902-1 +3.3 V 130 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V WVFD2
24 RESERVE1 131 RESERVE2
25 SR330-5 DPS-001623-1 -5.2 V 132 RESERVE2
26 RESERVE2 133 RESERVE2
101 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V GSAWG/TMU2 134 RESERVE1
102 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU1 135 RESERVE1
103 DPS-002735-1 RESERVE 136 RESERVE1
104 DPS-002734-1 RESERVE 137 DPS-003502-1 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU1
105 DPS-002734-1 RESERVE 138 DPS-003502-1 DPS-003502-1 -5 V GSAWG/TMU1
106 DPS-004504-1 RESERVE 139 DPS-003502-1 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU1
107 NNS15-5 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU2 140 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU1
108 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V GSAWG/TMU2 141 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V SAMP2-1
109 NNS15-5 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU2 142 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V SAMP2-1
110 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU2 143 SR35-5 DPS-001895-1 +5 V GSAWGDAC1
111 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V SAMP2-2 144 SR35-24 DPS-002504-1 +24 V GSAWGDAC1
112 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V SAMP2-2 145 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V GSAWGDAC1
113 SR35-5 DPS-001895-1 +5 V GSAWGDAC2 146 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V GSAWGDAC1
114 SR35-24 DPS-002504-1 +24 V GSAWGDAC2 147 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL1
115 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V GSAWGDAC2 148 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL1
116 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V GSAWGDAC2 149 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V TMU1
117 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL2 150 SR110-15 DPS-001620-1 +15 V ANA
118 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL 151 SR110-15 DPS-001620-1 -15 V ANA
119 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V TMU2 152 NND15-15 DPS-003730-1 +15 V/-15 V TMU1
120 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V PCI 153 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V TMU1
121 SR60-5 DPS-001614-1 +5 V PCI 154 NNS30-5 DPS-002734-1 -5.2 V TMU1
122 NND15-15 DPS-003730-1 +15 V/-15 V TMU2 155 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V TMU1
123 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V TMU2 156 NNS15-15 DPS-003729-1 +15 V WVFD1
124 NNS30-5 DPS-002734-1 -5.2 V TMU2 157 NNS15-15 DPS-003729-1 -15 V WVFD1
125 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V TMU2 158 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V WVFD1
126 NNS15-15 DPS-003729-1 +15 V WVFD2 159 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFD1
127 NNS15-15 DPS-003729-1 -15 V WVFD2 160 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V WVFD1
05.5.7
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6.11 ユニット電源規格表(HCDPS架)
6-4505.5.7
6.11 ユニット電源規格表(HCDPS架)
表 6-5 HCDPS架ユニット電源規格表
UPS No 電源名 アドバンテスト規格名 備考
UPS301 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(1)
UPS302 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(2)
UPS303 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V MASTER(1)
UPS304 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V MASTER(2)
UPS305 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(1)
UPS306 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(2)
UPS307 WBL-PS15V15V DPS-001794 +15V
UPS308 WBL-PS15V15V DPS-001794 -15V
UPS309 WBL-PS3750W DPS-001782
UPS310 WBL-PS65V65V DPS-001798+60V セパレート
-60V セパレート
UPS311 WBL-PS5V150A DPS-001784VCC セパレート
VCC セパレート
UPS312 WBL-PS3750W DPS-001782
UPS313 WBL-PS3750W DPS-001782
UPS314 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(3)
UPS315 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(4)
UPS316 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V MASTER(3)
UPS317 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V MASTER(4)
UPS318 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(3)
UPS319 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(4)
UPS320 WBL-PS15V15V DPS-001794 +15V
UPS321 WBL-PS15V15V DPS-001794 -15V
UPS322 SR60-5 DPS-001614 VEE
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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-46
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
電圧調整を行う場合には、入力インピーダンス 10 MΩの測定器を使用して下さい。
6.12.1 電圧調整方法
1. MONITOR I/Fの電圧モニタ端子にて調整
2. 電源端子出力にて調整
電圧調整中は感電の恐れがあります。
ホットワーク・タイプ 4の詳細については、「3.1 ホットワーク」を参照して下さい。
警告!
表 6-6 ユニット番号
UNIT NO 名称 UNIT NO 名称
0 NC 8 NC
1 SQPG,ALPG 9 NC
2 NC A NC
3 DPU B NC
4 FTU1 C MIXED1
5 FTU2 D MIXED2
6 FTU3 E TH1
7 FTU4 F TH2
+
+
J37
+
-
OUT
CH NO
UNIT NO
電圧測定端子
MONI I/F
05.5.7
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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-47
表 6-7 ボード電源電圧調整 (1/7)
(1) TC
(a) TC3
(b) TC4
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UNIT CH
UPS1 5 V 5.05 V±0.02 V TC PSパネル VCC(左) TC
UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V TC PSパネル TC +12 V TC
UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V TC PSパネル TC -12 V TC FAN
UPS4 -5.2 V -5.2 V±0.1 V UPS4出力端子 TB CONT
UPS5 5 V 5.0 V±0.1 V UPS5出力端子 TESTER BUS I/F
UPS6 5 V 5.00 V±0.05 V TC PSパネル VCC(右) SYSTEM MONITOR
UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F
UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F
UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UNIT CH
UPS1 5 V 5.05 V±0.02 V TC4 PSパネル TC 5 V TC
UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V TC4 PSパネル TC +12 V TC
UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V TC4 PSパネル TC -12 V TC FAN
UPS4 -5.2 V -5.2 V±0.1 V TC4 PSパネルMF -5.2 V TB CONT
UPS5 5 V 5.0 V±0.1 V TC4 PSパネルMF 5 V TESTER BUS I/F
UPS6 5 V 5.00 V±0.05 V TC4 PSパネル SYS-MON 5 V SYSTEM MONITOR
UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F
UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F
UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル
05.5.7
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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-48 05.5.7
(c) TC5
(d) TC7
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UNIT CH
UPS1 3.3 V 3.30 V±0.02 V T5/P3R3V - T6/0V TC +3.3V
UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V T7/P12V - T6/0V TC +12V
UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V T3/M12V - T4/0V TC FAN
UPS4 -5.2 V -5.31 V±0.05 V USP4出力端子 TC -5.2V
UPS5 5 V 5.00 V±0.05 V T1/VCC - T2/0V TC +5V
UPS6 5 V 5.05 V±0.05 V USP6出力端子 SYSTEM MONITOR
UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F
UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F
UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UNIT CH
UPS1 5 V -5.00 V±0.02 V USP1出力端子 TC +5V
UPS2 -5.2 V -5.20 V±0.1 V USP2出力端子 TC -5.2V
UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V USP3出力端子 TC -12V FAN
UPS4 12 V 12.00 V±0.05 V USP4出力端子 TC +12V
UPS5 -24 V -24.0 V±0.3 V USP5出力端子 -24V FAN
UPS6 5 V 5.05 V±0.05 V USP6出力端子 SYSTEM MONITOR
UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F
UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F
UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-49
表 6-7 ボード電源電圧調整 (2/7)
(2) DPU
(注) UPS141 の出力端子で 24.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS141 を調整したあと、MONI I/F 電圧モニタ端子に 60.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS142 を調整します。UPS143 の出力端子で 24.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS143 を調整したあと、MONI I/F 電圧モニタ端子に 60.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS144 を調整します。
電源番号
電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UNIT CH
UPS141( 注) -24 V 24.0 V±0.6 V UPS141出力端子 DPU M60V
UPS142 -36 V 60.0 V±0.6 V MONI I/F 3 0 DPU M60V
DPU UPS1-PS3 -15 V 15.0 V±0.2 V MONI I/F 3 1
DPU UPS1-PS1 -12 V 12.0 V±0.2 V MONI I/F 3 2 Master
Slave DPU UPS2-PS1
DPU UPS2-PS4 -5.2 V 5.2 V±0.1 V MONI I/F 3 3
UPS140 3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 3 4 DPU P3.3V
DPU UPS2-PS3 5 V 5.0 V±0.1 V MONI I/F 3 5 Master
Slave DPU UPS2-PS5
DPU UPS1-PS2 12 V 12.0 V±0.2 V MONI I/F 3 6 Master
Slave DPU UPS2-PS2
DPU UPS1-PS4 15 V 15.0 V±0.2 V MONI I/F 3 7
DPU UPS1-PS5 17 V 17.0 V±0.2 V MONI I/F 3 8
UPS143 注) 24 V 24.0 V±0.6 V UPS143出力端子 DPU P60V
UPS144 36 V 60.0 V±0.6 V MONI I/F 3 9 DPU P60V
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-50 05.5.7
表 6-7 ボード電源電圧調整 (3/7)
(3) SQPG
(4) ALPG
(注) SQPG UPS1-PS4を調整した後、ALPG UPS9-PS2を調整して下さい。
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
SQPG UPS1-PS2 -3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 1 2 Master
Slave ALPG UPS8-PS1
ALPG UPS8-PS3
ALPG UPS8-PS5
SQPG UPS1-PS4 -2.5 V 2.53 V±0.05 V MONI I/F 1 3
SQPG UPS1-PS3 5 V 5.0 V±0.1 V MONI I/F 1 6
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
ALPG UPS9-PS1 -5.2 V 5.2 V±0.1 V MONI I/F 1 0 Master
Slave ALPG UPS9-PS5
ALPG UPS9-PS3 -4.5 V 4.5 V±0.1 V MONI I/F 1 1
ALPG UPS9-PS4 -2 V 2.03 V±0.05 V MONI I/F 1 4 Master
Slave ALPG UPS8-PS2
ALPG UPS8-PS4
ALPG UPS9-PS2 3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 1 5 (注)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-51
表 6-7 ボード電源電圧調整 (4/7)(5) FTU
(注) FTU1, 2, 3, 4の電圧を調整するときは、以下のように行って下さい。*1 UPS1-PS3 の電圧を調整するときは、下記のように専用プログラムを実行したあとで調整して下さい。Viewpoint hardware consoleでinit → utility → 300utility init→ execute
*2 UPS17-PS1を調整した後、UPS17-PS3を調整して下さい。
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
FTU1 UPS17-PS2
FTU1 UPS17-PS1
FTU1 UPS1-PS3FTU1 UPS17-PS3FTU1 UPS1-PS5
-5.2 V
-2.5 V
-2.5 V(H)3.3 V
5 V
5.2 V±0.1 V
2.5 V±0.1 V
2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
4
4
444
0
1
234
MasterSlave FTU1 UPS17-PS4 FTU1 UPS1-PS1 FTU1 UPS2-PS3MasterSlave FTU1 UPS1-PS2 FTU1 UPS1-PS4 FTU1 UPS2-PS1 FTU1 UPS2-PS5 FTU1 UPS17-PS5(注)*1(注)*2
FTU2 UPS17-PS2
FTU2 UPS17-PS1
FTU2 UPS1-PS3FTU2 UPS17-PS3FTU2 UPS1-PS5
-5.2 V
-2.5 V
-2.5 V(H)3.3 V
5 V
5.2 V±0.1 V
2.5 V±0.1 V
2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
5
5
555
0
1
234
MasterSlave FTU2 UPS17-PS4 FTU2 UPS1-PS1 FTU2 UPS2-PS3MasterSlave FTU2 UPS1-PS2 FTU2 UPS1-PS4 FTU2 UPS2-PS1 FTU2 UPS2-PS5 FTU2 UPS17-PS5(注)*1(注)*2
FTU3 UPS17-PS2
FTU3 UPS17-PS1
FTU3 UPS1-PS3FTU3 UPS17-PS3FTU3 UPS1-PS5
-5.2 V
-2.5 V
-2.5 V(H)3.3 V
5 V
5.2 V±0.1 V
2.5 V±0.1 V
2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
6
6
666
0
1
234
MasterSlave FTU3 UPS17-PS4 FTU3 UPS1-PS1 FTU3 UPS2-PS3MasterSlave FTU3 UPS1-PS2 FTU3 UPS1-PS4 FTU3 UPS2-PS1 FTU3 UPS2-PS5 FTU3 UPS17-PS5(注)*1(注)*2
FTU4 UPS17-PS2
FTU4 UPS17-PS1
FTU4 UPS1-PS3FTU4 UPS17-PS3FTU4 UPS1-PS5
-5.2 V
-2.5 V
-2.5 V(H)3.3 V
5 V
5.2 V±0.1 V
2.5 V±0.1 V
2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
7
7
777
0
1
234
MasterSlave FTU4 UPS17-PS4 FTU4 UPS1-PS1 FTU4 UPS2-PS3MasterSlave FTU4 UPS1-PS2 FTU4 UPS1-PS4 FTU4 UPS2-PS1 FTU4 UPS2-PS5 FTU4 UPS17-PS5(注)*1(注)*2
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-52 05.5.7
表 6-7 ボード電源電圧調整 (5/7)
(6) TH
(a) TH(512ch 2stn時)
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
UPS130UPS131UPS132UPS135UPS136UPS137UPS138
-15 V15 V
-5.2 V-12 V-24 V
5 V5 V
-15.2 V±0.1 V14.8 V±0.1 V
-5.50 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V5.00 V±0.05 V5.10 V±0.05 V
UPS130出力端子UPS131出力端子UPS132出力端子UPS135出力端子UPS136出力端子UPS137出力端子UPS138出力端子
TH1 M15VPBTH1 P15VPBTH1 VEEPBTH1 FANTH1 FANTH1 P5VPBTH1 PBRLVCC
UPS111UPS112UPS113UPS116UPS117UPS118UPS119
-15 V15 V
-5.2 V-12 V-24 V
5 V5 V
-15.2 V±0.1 V14.8 V±0.1 V
-5.50 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V5.00 V±0.05 V5.10 V±0.05 V
UPS111出力端子UPS112出力端子UPS113出力端子UPS116出力端子UPS117出力端子UPS118出力端子UPS119出力端子
TH2 M15VPBTH2 P15VPBTH2 VEEPBTH2 FANTH2 FANTH2 P5VPBTH2 PBRLVCC
UPS220
THPS UPS1-PS2UPS134THPS UPS2-PS2UPS125THPS UPS1-PS1
THPS UPS2-PS1
UPS224
THPS UPS2-PS4
11.5 V
5 V5 V
-5.2 V-8VB-8VA
-8VA
11.5 V
-5.2 V
11.5 V±0.2 V
5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V
5.2 V±0.1 V8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V
8.0 V±0.1 V
11.5 V±0.2 V
5.2 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/F
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/F
E
EEEEE
E
E
E
0
12345
6
8
B
TH1 Master(REAR)Slave UPS219TH1 VCC(FRONT, REAR)TH1 P5VRLTH1(REAR)TH1 (FRONT, REAR)TH1 Master(REAR)Slave THPS UPS1-PS3 THPS UPS1-PS5TH1 Master(FRONT)Slave THPS UPS2-PS3 THPS UPS2-PS5TH1 Master(FRONT)Slave UPS223TH1 (FRONT)
UPS218
THPS UPS3-PS2UPS115THPS UPS4-PS2UPS106THPS UPS3-PS1
THPS UPS4-PS1
UPS222
THPS UPS4-PS4
11.5 V
5 V5 V
-5.2 V-8VB-8VA
-8VA
11.5 V
-5.2 V
11.5 V±0.2 V
5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V
5.2 V±0.1 V8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V
8.0 V±0.1 V
11.5 V±0.2 V
5.2 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/F
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/F
F
FFFFF
F
F
F
0
12345
6
8
B
TH2 Master(REAR)Slave UPS217TH2 VCC(FRONT, REAR)TH2 P5VRLTH2(REAR)TH2(FRONT, REAR)TH2 Master(REAR)Slave THPS UPS3-PS3 THPS UPS3-PS5TH2 Master(REAR)Slave THPS UPS4-PS3 THPS UPS4-PS5TH2 Master(FRONT)Slave UPS221TH2 (FRONT)
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-53
表 6-7 ボード電源電圧調整 (6/7)
(b) TH(1024ch 1stn時)
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
UPS130UPS131UPS132UPS135UPS136UPS137UPS138
-15 V15 V
-5.2 V-12 V-24 V
5 V5 V
-15.4 V±0.1 V14.7 V±0.1 V
-5.60 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V4.80 V±0.05 V4.90 V±0.05 V
UPS130出力端子UPS131出力端子UPS132出力端子UPS135出力端子UPS136出力端子UPS137出力端子UPS138出力端子
TH1 M15VPBTH1 P15VPBTH1 VEEPBTH1 FANTH1 FANTH1 P5VPBTH1 PBRLVCC
UPS220
THPS UPS1-PS2UPS134THPS UPS2-PS2
UPS125THPS UPS1-PS1
THPS UPS2-PS1
UPS224
THPS UPS3-PS2UPS133THPS UPS2-PS4
11.5 V
5 V5 V
-5.2 V
-8VB-8VA
-8VA
11.5 V
5 V5 V
-5.2 V
11.5 V±0.2 V
5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V
5.2 V±0.1 V
8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V
8.0 V±0.1 V
11.5 V±0.2 V
5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V
5.2 V±0.1 V
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
MONI I/FMONI I/F
MONI I/F
MONI I/F
MONI I/FMONI I/FMONI I/F
E
EEE
EE
E
E
EEE
0
123
45
6
8
9AB
Master(REAR)Slave UPS217 UPS218 UPS219TH1 VCC(REAR)TH1 P5VRL(REAR)Master(REAR)Slave THPS UPS4-PS2TH1 (FRONT, REAR)Master(REAR)Slave THPS UPS1-PS3 THPS UPS1-PS5 THPS UPS3-PS1 THPS UPS3-PS3 THPS UPS3-PS5Master(FRONT)Slave THPS UPS2-PS3 THPS UPS2-PS5 THPS UPS4-PS1 THPS UPS4-PS3 THPS UPS4-PS5Master(FRONT)Slave UPS221 UPS223 UPS225
TH1 VCC(FRONT)TH1 P5VRL(FRONT)Master(FRONT)Slave THPS UPS4-PS4
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)
6-54 05.5.7
表 6-7 ボード電源電圧調整 (7/7)
(7) MIXED(DSP)
(8) IDDQ OPTION
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考UNIT CH
UPS11 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F C 8 MIXED1
UPS12 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F C 8 MIXED1
UPS13 12 V 11.85 V±0.1 V MONI I/F C 9 MIXED1,2
UPS14 -12 V 11.85 V±0.1 V MONI I/F C A MIXED1,2
UPS15 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F D 8 MIXED2
UPS16 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F D 8 MIXED2
UPS17 -12 V -12.0 V±0.1 V UPS17出力端子 MIXED1,2 FAN
UPS120 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS120出力端子UPS120出力端子
MIXED1(VFD/VFG)MIXED1(VFD/VFG)
UPS121 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS121出力端子UPS121出力端子
MIXED1(VFD/VFG)MIXED1(VFD/VFG)
UPS122 ±12 V±12 V
12.2 V±0.1 V-12.2 V±0.1 V
UPS122出力端子UPS122出力端子
MIXED1(SG)MIXED1(SG)
UPS126 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS126出力端子UPS126出力端子
MIXED1(AFE)MIXED1(AFE)
UPS127 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS127出力端子UPS127出力端子
MIXED1(AFD/AFG)MIXED1(AFD/AFG)
UPS128 -15 V -15.2 V±0.1 V UPS128出力端子 MIXED1(AFD/AFG)
UPS129 15 V 15.2 V±0.1 V UPS129出力端子 MIXED1(AFD/AFG)
UPS101 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS101出力端子UPS101出力端子
MIXED2(VFD/VFG)MIXED2(VFD/VFG)
UPS102 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS102出力端子UPS102出力端子
MIXED2(VFD/VFG)MIXED2(VFD/VFG)
UPS103 ±12 V±12 V
12.2 V±0.1 V-12.2 V±0.1 V
UPS103出力端子UPS103出力端子
MIXED2(SG)MIXED2(SG)
UPS107 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS107出力端子UPS107出力端子
MIXED2(AFE)MIXED2(AFE)
UPS108 ±15 V±15 V
15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V
UPS108出力端子UPS108出力端子
MIXED2(AFD/AFG)MIXED2(AFD/AFG)
UPS109 -15 V -15.2 V±0.1 V UPS109出力端子 MIXED2(AFD/AFG)
UPS110 15 V 15.2 V±0.1 V UPS110出力端子 MIXED2(AFD/AFG)
電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備 考
UPS18 15 V 15.1 V±0.05 V UPS18出力端子
UPS19 -15 V -15.1 V±0.05 V UPS19出力端子
UPS20 15 V 15.1 V±0.05 V UPS20出力端子
UPS21 -15 V -15.1 V±0.05 V UPS21出力端子
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架)
6-55
6.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架)
UP
S電源種類
調整値
測定個所
備考
UP
S電源種類
調整値
測定個所
備考
UP
S電源種類
調整値
測定個所
備考
22+
5 V
+5.
25 V
±50
mV
AN
A B
WB
T5-
T6
AN
A13
7+
5 V
+5.
1 V
±50
mV
UPS
137
+V
- -
VG
SAW
G/T
MU
1 10
1-5
V-5
.45
V ±
50 m
V
23+
3.3
V+
3.3
V ±
30 m
VA
NA
BW
B T
8-T
9A
NA
138
-5 V
-5.1
V ±
50 m
VU
PS13
8 -V
- +
VG
SAW
G/T
MU
1 10
2-5
V-5
.45
V ±
50 m
V
25-5
.2 V
-5.3
V ±
50 m
VA
NA
BW
B T
10-T
11
AN
A13
9+
5 V
+5.
15 V
±50
mV
UPS
139
+V
- -
VG
SAW
G/T
MU
1 10
3
SLO
T1
+5
V+
5.25
V ±
50 m
VU
NIT
0 C
H 0
BO
AR
D P
S1
140
-5 V
-5.4
5 V
±50
mV
UPS
140
-V -
+V
GSA
WG
/TM
U1
104
+5
V+
5.40
V ±
50 m
VU
PS10
4 +
V -
-V(注
1)
SLO
T1
+3.
3 V
+3.
35 V
±30
mV
UN
IT 0
CH
1B
OA
RD
PS
214
2-1
5 V
-15.
4 V
±10
0 m
VU
PS14
2 -V
- +
VSA
MP
2-1
105
SLO
T1
+2.
5 V
+2.
55 V
±30
mV
UN
IT 0
CH
2B
OA
RD
PS
314
3+
5 V
+5.
1 V
±50
mV
UPS
143
+V
- -
VG
SAW
GD
AC
1 10
6+
5 V
+5.
40 V
±50
mV
UPS
106
+V
--V
(注
2)
SLO
T1
-5.2
V-5
.4 V
±50
mV
UN
IT 0
CH
3B
OA
RD
PS
414
4+
24 V
+24
.0 V
±20
0 m
VU
PS14
4 +
V -
-V
GSA
WG
DA
C1
RE
SER
VE
2
SLO
T1
+1.
8 V
+1.
85 V
±30
mV
UN
IT 0
CH
4B
OA
RD
PS
514
5+
3.3
V+
3.60
V ±
30 m
VU
PS14
5 +
V -
-V
GSA
WG
DA
C1
107
+5
V+
5.1
V ±
50 m
VU
PS10
7 +
V -
-V
GSA
WG
/TM
U2
SLO
T2
+15
V+
15.0
V ±
100
mV
UN
IT 0
CH
5B
OA
RD
PS
214
6-5
V-5
.35
V ±
50 m
VU
PS14
6 -V
- +
VG
SAW
GD
AC
1 10
8-5
V-5
.1 V
±50
mV
UPS
108
-V -
+V
GSA
WG
/TM
U2
SLO
T2
-15
V-1
5.0
V ±
100
mV
UN
IT 0
CH
6B
OA
RD
PS
314
7+
15 V
+15
.3 V
±10
0 m
VU
PS14
7 +
V -
CO
MA
CC
AL
110
9+
5 V
+5.
15 V
±50
mV
UPS
109
+V
- -
VG
SAW
G/T
MU
2
1-1
5 V
-15.
1 V
±10
0 m
VU
PS1
-V -
+V
PAFG
/D2
AN
A-1
5 V
-15.
3 V
±10
0 m
VU
PS14
7 -V
-C
OM
AC
CA
L1
110
-5 V
-5.4
5 V
±50
mV
UP
S11
0 -V
- +
VG
SA
WG
/TM
U2
2+
15 V
+15
.1 V
±10
0 m
VU
PS2
-V -
-V
PAFG
/D2
AN
A14
8+
15 V
+15
.3 V
±10
0 m
VU
PS14
8 +
V -
CO
MA
CC
AL
111
1+
15 V
+15
.4 V
±10
0 m
VU
PS11
1 +
V -
-V
SAM
P2-
2
3+
5 V
+5.
15 V
±50
mV
UPS
3 -V
- +
VPA
FG/D
2 A
NA
-15
V-1
5.3
V ±
100
mV
UPS
148
-V -
CO
MA
CC
AL
111
2-1
5 V
-15.
4 V
±10
0 m
VU
PS11
2 -V
- +
VSA
MP
2-2
4+
5 V
+5.
15 V
±50
mV
UPS
4 +
V -
-V
PAFG
/D1
AN
A14
9+
5 V
+5.
3 V
±50
mV
UPS
149
+V
- -
VT
MU
111
3+
5 V
+5.
1 V
±50
mV
UP
S11
3 +
V -
-V
GS
AW
GD
AC
2
5-1
5 V
-15.
1 V
±10
0 m
VU
PS5
-V -
+V
PAFG
/D1
AN
A15
0+
15 V
+15
.0 V
±10
0 m
VA
NA
BW
B T
1-T
2A
NA
114
+24
V+
24.0
V ±
200
mV
UPS
114
+V
- -
VG
SAW
GD
AC
2
6+
15 V
+15
.1 V
±10
0 m
VU
PS6
-V -
+V
PAFG
/D1
AN
A15
1-1
5 V
-15.
0 V
±10
0 m
VA
NA
BW
B T
3-T
4A
NA
115
+3.
3 V
+3.
60 V
±30
mV
UP
S11
5 +
V -
-V
GS
AW
GD
AC
2
7-1
5 V
-15.
2 V
±10
0 m
VU
PS7
-V -
+V
PAFG
/D2
TH
152
+15
V+
15.1
V ±
100
mV
UPS
152
+V
-C
OM
TM
U1
116
-5 V
-5.3
5 V
±50
mV
UP
S11
6 -V
- +
VG
SA
WG
DA
C2
8+
15 V
+15
.2 V
±10
0 m
VU
PS8
+V
- -
VPA
FG/D
2 T
H-1
5 V
-15.
1 V
±10
0 m
VU
PS15
2 -V
-C
OM
TM
U1
117
+15
V+
15.3
V ±
100
mV
UPS
117
+V
- -
VA
CC
AL
2
9-1
5 V
-15.
2 V
±10
0 m
VU
PS9-
V -
+V
PAFG
/D1
TH
153
+5
V+
5.15
V ±
50 m
VU
PS15
3 +
V -
-V
TM
U1
-15
V-1
5.3
V ±
100
mV
UPS
117
-V -
+V
AC
CA
L
10+
15 V
+15
.2 V
±10
0 m
VU
PS10
+V
- -
VPA
FG/D
1 T
H15
4-5
.2 V
-5.4
0 V
±50
mV
UPS
154
-V -
+V
TM
U1
118
+15
V+
15.3
V ±
100
mV
UPS
118+
V -
-V
AC
CA
L
11-5
V-5
.25
V ±
50 m
VU
PS11
-V
- +
VW
VFG
215
5-5
.2 V
-5.5
0 V
±50
mV
UPS
155
-V -
+V
TM
U1
-15
V-1
5.3
V ±
100
mV
UPS
118
-V -
+V
AC
CA
L2
12+
5 V
+5.
35 V
±50
mV
UPS
12 +
V -
-V
WV
FG2
156
+15
V+
15.3
V ±
50 m
VU
PS15
6 +
V -
-V
WV
FD1
119
+5
V+
5.3
V ±
50 m
VU
PS11
9 +
V -
-V
TM
U2
13-1
5 V
-15.
3 V
±10
0 m
VU
PS13
-V
- +
VW
VFG
215
7-1
5 V
-15.
2 V
±50
mV
UPS
157
-V -
+V
WV
FD1
120
+3.
3 V
+3.
3 V
±30
mV
ME
M B
WB
T3-
T4
PC
I
14+
15 V
+15
.3 V
±10
0 m
VU
PS14
+V
- -
VW
VFG
215
8-5
V-5
.15
V ±
50 m
VU
PS15
8 -V
- +
VW
VFD
112
1+
5 V
+5.
0 V
±50
mV
ME
M B
WB
T1-
T2
PC
I
15-5
.2 V
-5.4
V ±
50 m
VU
PS15
-V
- +
VW
VFG
215
9+
5 V
+5.
25 V
±50
mV
UPS
159
+V
- -
VW
VFD
112
2+
15 V
+15
.1 V
±10
0 m
VU
PS12
2 +
V -
CO
MT
MU
2
16-5
.2 V
-5.4
V ±
50 m
VU
PS16
-V
- +
VW
VFG
116
0+
5 V
+5.
40 V
±50
mV
UPS
160
+V
- -
VW
VFD
1-1
5 V
-15.
1 V
±10
0 m
VU
PS12
2 -V
-C
OM
TM
U2
17-5
V-5
.25
V ±
50 m
VU
PS17
-V
- +
VW
VFG
114
1+
15 V
+15
.4 V
±10
0 m
VU
PS14
1 +
V -
-V
SAM
P2-
112
3+
5 V
+5.
15 V
±50
mV
UPS
123
+V
- -
VT
MU
2
18+
5 V
+5.
35 V
±50
mV
UPS
18 +
V -
-V
WV
FG1
124
-5.2
V-5
.40
V ±
50 m
VU
PS12
4 -V
- +
VT
MU
2
19-1
5 V
-15.
3 V
±10
0 m
VU
PS19
-V
- +
VW
VFG
112
5-5
.2 V
-5.5
0 V
±50
mV
UPS
125
-V -
+V
TM
U2
20+
15 V
+15
.3 V
±10
0 m
VU
PS20
+V
- -
VW
VFG
112
6+
15 V
+15
.3 V
±50
mV
UPS
126
+V
- -
VW
VFD
2
127
-15
V-1
5.2
V ±
50 m
VU
PS12
7 -V
- +
VW
VFD
2
128
-5 V
-5.1
5 V
±50
mV
UPS
128
-V -
+V
WV
FD2
129
+5
V+
5.25
V ±
50 m
VU
PS12
9 +
V -
-V
WV
FD2
130
+5
V+
5.40
V ±
50 m
VU
PS13
0 +
V -
-V
WV
FD2
表6-
8 電源電圧
調整
(注
1)U
PS10
4と
UPS
130は並列運転です。
(注
2)U
PS10
6と
UPS
160は並列運転です。
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
6.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架)
6-56 05.5.7
6.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架)
(1) HCDPSU1
(注 1) HCDPS 2’nd増設のときは再度電圧調整を行うこと。
(2) HCDPSU2
図 6-44 ±60V VCC VR配置
電源番号 電源種類 電圧調整値 基準端子 測定端子 備考
UPS314UPS315UPS316UPS317UPS318UPS319UPS320UPS321UPS310-1UPS310-2UPS311-2UPS322
PS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS15V15VPS15V15VPS65V65VPS65V65VPS5V150ASR60-5
+10.0 V±200 mV-10.0 V±200 mV
+15.0 V±300 mV-15.0 V±300 mV+60.0 V±2000 mV-60.0 V±2000 mV+5.00 V±50 mV-5.20 V±100 mV
HCDPS_BWB1 T6HCDPS_BWB1 T6
HCDPS_BWB1 T16HCDPS_BWB1 T16HCDPS_BWB1 T1HCDPS_BWB1 T1HCDPS_BWB1 T29HCDPS_BWB1 T14
HCDPS_BWB1 T5HCDPS_BWB1 T4
HCDPS_BWB1 T18HCDPS_BWB1 T17HCDPS_BWB1 T3HCDPS_BWB1 T2 HCDPS_BWB1 T28HCDPS_BWB1 T13
SLAVE(3)SLAVE(4)MASTER(3)MASTER(4)SLAVE(3)SLAVE(4)
電源番号 電源種類 電圧調整値 基準端子 測定端子 備考
UPS301UPS302UPS303UPS304UPS305UPS306UPS307UPS308UPS310-1UPS310-2UPS311-2UPS322
PS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS15V15VPS15V15VPS65V65VPS65V65VPS5V150ASR60-5
+10.0 V±200 mV-10.0 V±200 mV
+15.0 V±300 mV-15.0 V±300 mV+60.0 V±2000 mV-60.0 V±2000 mV+5.00 V±50 mV-5.20 V±100 mV
HCDPS_BWB2 T6HCDPS_BWB2 T6
HCDPS_BWB2 T16HCDPS_BWB2 T16HCDPS_BWB2 T1HCDPS_BWB2 T1HCDPS_BWB2 T29HCDPS_BWB2 T14
HCDPS_BWB2 T5HCDPS_BWB2 T4
HCDPS_BWB2 T18HCDPS_BWB2 T17HCDPS_BWB2 T3HCDPS_BWB2 T2 HCDPS_BWB2 T28HCDPS_BWB2 T13
SLAVE(1)SLAVE(2)MASTER(1)MASTER(2)SLAVE(1)SLAVE(2)
CHECKのみCHECKのみ
CHECKのみ
12
1 2
U311 VCCU310 ±60V
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-1
7. ボード配置
TC3実装ボード
表 7-1 TC3実装ボード配置
TC4実装ボード
表 7-2 TC4実装ボード配置
(注 1) WBL-H36770ATC4, H3-6815の場合、Viewpointのレビジョンは R6.02以降になります。
TC5実装ボード配置については、表 7-18に記載しています。
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1H3-6678H3-6566AH3-6670
ENGINEcaseSBUS TGXULTRA SPARC
2 BGK-022920 SYSTEM MONI
3 H3-6480 2nd GP-IB VME オプション4 BGK-023083 Extension I/F Mixed
5 H3-6480 1st GP-IB VME
6 BGK-022921BGK-022922
TBUS I/FBUS I/F
7 EMPTY
8 H3-6671 CPU-20V
9 H3-6708 64M Memory
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考1 EMPTY
2 EMPTY
3 BGK-025646 TC4 TBUS I/F
4WBL-H36770TC4WBL-H36770ATC4 (注 1)
TC4(注 2) 交換時はメモリ・ボードの容量に注意
増設メモリ H3-6775(UPPER)H3-6776(MIDDLE)
5
6
7 BGK-025647 TC4 SYS-MON
8 EMPTY
9 H3-6480/H3-6815(注 1) 2nd GPIB-VME オプション10 BGK-023083 Extension I/F Mixed
11 H3-6480/H3-6815(注 1) 1st GPIB-VME
12 BGK-025648 TC4 BUS I/F
13
WBL-H36770ENG ENGINE-50(注 3) 交換時はメモリ・ボードの容量に注意
増設メモリ H3-6775(UPPER)14
15
02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-2
TC7実装ボード
表 7-3 TC7実装ボード配置
IO IF実装ボード
表 7-4 IO IF実装ボード配置
SQPG実装ボード
表 7-5 SQPG実装ボード配置
ALPG実装ボード
表 7-6 ALPG実装ボード配置
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考BGC-027896 EWS IF
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1BGR-027897 IO IF
BGR-027898 IO OPTION IF
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード
1 WUN-5V3V5V2R5V5V DC PS1
2 BGR-024736 PG I/F BGS-024773
3 BIR-024637 SNC BGS-024773
4 BIR-024735BMR-026227 SQPG VGC (1M)
VGC (4M) BGS-024773
5 BGR-024737BGR-024737X03 SCPG1 (4G)オプション
(16G)オプションBGS-024773
6 BGR-024737X02BGR-024737X04 SCPG2 (4G)オプション
(16G)オプションBGS-024773
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード
1 BIR-025004 ALPG ALPGオプション BGS-021811
2 BGR-024404 AFM CONT ALPGオプション BGS-021811
3 BIR-024405 AFM_1 AFM1 TH1 1-256 OP BGS-024773
4 BIR-024405 AFM_2 AFM2 TH1 257-512 OP BGS-024773
5 BIR-024405 AFM_3 AFM3 TH2 1-256 OP BGS-024773
6 BIR-024405 AFM_4 AFM4 TH2 257-512 OP BGS-024773
7 BIR-021769BGR-021770
PMTERM
PMオプションPMオプションがないとき実装
BGS-013825X03
8 WUN-3V2V3V2V3V DC PS2 AFMオプション実装時
9 WUN-5V3V5V2V5V DC PS3 標準装備
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-3
FTU1(1-256)実装ボード表 7-7 FTU1(1-256)実装ボード配置
(注 1) 互換性版 "F"よりMixedオプション対応。
(注 2) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。
(注 3) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付き、かつ 1ステーションの場合に実装します。
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F (注 1) BGS-024777
4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(1-32) 16MW
64MW BGS-024777
5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(33-64) 16MW
64MW BGS-024777
6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(65-96) 16MW
64MW BGS-024777
7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(97-128) 16MW
64MW BGS-024777
8 BMR-025624BMR-025624X03
DIST&EVENT
16MW64MW BGS-024777
9 BGR-024733BGR-026216
PDS(1-256)PG BUS SHORT (注 2)
BGS-024777
10 BGR-024734 FMUX1(TH1 1-256) BGS-024777
11 BGR-024734BGR-026216
FMUX2(TH2 1-256)PG BUS SHORT (注 3)
BGS-024777
12 BGR-024733 MDS BGS-024777
13 BMR-025625BMR-025625X02 FP5(129-160) 16MW
64MW BGS-024777
14 BMR-025625BMR-025625X02 FP6(161-192) 16MW
64MW BGS-024777
15 BMR-025625BMR-025625X02 FP7(193-224) 16MW
64MW BGS-024777
16 BMR-025625BMR-025625X02 FP8(225-256) 16MW
64MW BGS-024777
17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-4
FTU2(257-512)実装ボード表 7-8 FTU2(257-512)実装ボード配置
(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。
(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付き、かつ 1ステーションの場合に実装します。
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777
4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(257-288) 16MW
64MW BGS-024777
5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(289-320) 16MW
64MW BGS-024777
6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(321-352) 16MW
64MW BGS-024777
7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(353-384) 16MW
64MW BGS-024777
8 BIR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777
9 BGR-024733BGR-026216
PDS(257-512)PG BUS SHORT (注 1)
BGS-024777
10 BGR-024734 FMUX1(TH1 257-512) BGS-024777
11 BGR-024734BGR-026216
FMUX2(TH2 257-512)PG BUS SHORT (注 2)
BGS-024777
12 BGR-024733 MDS BGS-024777
13 BMR-025625BMR-025625X02 FP5(358-416) 16MW
64MW BGS-024777
14 BMR-025625BMR-025625X02 FP6(417-448) 16MW
64MW BGS-024777
15 BMR-025625BMR-025625X02 FP7(449-480) 16MW
64MW BGS-024777
16 BMR-025625BMR-025625X02 FP8(481-512) 16MW
64MW BGS-024777
17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-5
FTU3(513-768)実装ボード表 7-9 FTU3(513-768)実装ボード配置
(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。
(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付く場合にのみ実装します。
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777
4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(513-544) 16MW
64MW BGS-024777
5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(545-576) 16MW
64MW BGS-024777
6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(577-608) 16MW
64MW BGS-024777
7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(609-640) 16MW
64MW BGS-024777
8 BMR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777
9 BGR-024733BGR-026216
PDS(513-768)PG BUS SHORT (注 1)
BGS-024777
10 BGR-024734 FMUX1(TH1 513-768) BGS-024777
11 BGR-026216EMPTYPG BUS SHORT (注 2)
12 BGR-024733 MDS BGS-024777
13 BMR-025625BMR-025625X02
FP5(641-672)
16MW64MW BGS-024777
14 BMR-025625BMR-025625X02
FP6(673-704)
16MW64MW BGS-024777
15 BMR-025625BMR-025625X02
FP7(705-736)
16MW64MW BGS-024777
16 BMR-025625BMR-025625X02
FP8(737-768)
16MW64MW BGS-024777
17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-6 05.5.7
FTU4(769-1024)実装ボード表 7-10 FTU4(769-1024)実装ボード配置
(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。
(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付く場合にのみ実装します。
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777
4 BMR-025625BMR-025625X02
FP1(769-800)
16MW64MW BGS-024777
5 BMR-025625BMR-025625X02
FP2(801-832)
16MW64MW BGS-024777
6 BMR-025625BMR-025625X02
FP3(833-864)
16MW64MW BGS-024777
7 BMR-025625BMR-025625X02
FP4(865-896)
16MW64MW BGS-024777
8 BIR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777
9 BGR-024733BGR-026216
PDS(769-1024)PG BUS SHORT (注 1)
BGS-024777
10 BGR-024734 FMUX1(TH1 769-1024) BGS-024777
11 BGR-026216EMPTYPG BUS SHORT (注 2)
12 BGR-024733 MDS BGS-024777
13 BMR-025625BMR-025625X02
FP5(897-928)
16MW64MW BGS-024777
14 BMR-025625BMR-025625X02
FP6(929-960)
16MW64MW BGS-024777
15 BMR-025625BMR-025625X02
FP7(961-992)
16MW64MW BGS-024777
16 BMR-025625BMR-025625X02
FP8(993-1024)
16MW64MW BGS-024777
17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-7
DPU実装ボード表 7-11 DPU実装ボード配置
THPS実装ボード表 7-12 THPS実装ボード配置
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード
1 WUN-11V2B15V2B18V DC PS1
2 WUN-11V2B5V3B DC PS2
3 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257
4 BGR-023715X02(BGR-023715X03)
DPS 2A 1-8 ( ): DPS3 BGS-024257
5 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257
6BGR-023715X02(BGR-023715X03)
DPS 2A 9-16 ( ): DPS3 BGS-024257
7 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257
8BGR-023715X02(BGR-023715X03)
DPS 2A 17-24
( ): DPS3 BGS-024257
9 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257
10BGR-023715X02(BGR-023715X03)
DPS 2A 25-32
( ): DPS3 BGS-024257
11 Option
12 BGR-024899 IF L BGS-024256
13 BGR-023709 IF A BGS-024256
14 BGR-023712 UDC CONT BGS-024256
15 BGR-023713X02 UDC UDC1 1-512ch TH1 BGS-024256
16 BGR-023710 MDC CONT BGS-024256
17 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC1 1-128ch TH1 BGS-024258
18 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC2 129-256ch TH1 BGS-024258
19 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC3 257-384ch TH1 BGS-024258
20 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC4 385-512ch TH1 BGS-024258
21 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC5 1-128ch TH2 BGS-024258
22 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC6 129-256ch TH2 BGS-024258
23 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC7 257-384ch TH2 BGS-024258
24 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC8 385-512ch TH2 BGS-024258
25 BGR-023712 UDC CONT BGS-024256
26 BGR-023713X02 UDC UDC2 1-512ch TH2 BGS-024256
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1WUN-7V5V7V5V7V DC PS1(1-512)STN1 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS1(1-512)STN1 1024ch時
2WUN-7V5V7V5V7V DC PS2(1-512)STN1 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS2(1-512)STN1 1024ch時
3WUN-7V5V7V5V7V DC PS3(1-512)STN2 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS3(513-1024)STN1 1024ch時
4WUN-7V5V7V5V7V DC PS4(1-512)STN2 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS4(513-1024)STN1 1024ch時
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-8 05.5.7
Mixed実装ボード表 7-13 Mixed実装ボード配置
Monitor I/F実装ボード
表 7-14 Monitor I/F実装ボード配置
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1 BGK-023082 Analog I/F
2 WBL-H36688BRD CPCI3603
3 BGK-022544 CAL
4 EMPTY
5 BGK-025626 EM
6 BGK-022429 CM
7 BGK-022429X02 SG
8 BGK-022377X02 AFLT1
9 BGK-022377X02 AFLT2
10 KH3-3203 AFG1
11 KH3-3203 AFG2
12 KH3-3206 AFD1
13 KH3-3206 AFD2
14 BGK-022377X02 AFLT3
15 BGK-022377X02 AFLT4
16 KH3-3225 VFG1
17 KH3-3225 VFG2
18 KH3-3228 VFD1
19 KH3-3228 VFD2
20 BGK-024239 DCAP
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考1 BGR-024885X02 Monitor I/F
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-9
TH実装ボード表 7-15 TH実装ボード配置 (T6672)
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1 EMPTY
2 EMPTY
3 BGR-024934 SG
4 BGR-024492 VFG/VFD(1,2)
5 BGR-024779 PFB I/F 2 UDC 5-8
6 BGR-023948 TRIGGER
7 BGR-024908 PE16 929-960, 993-1024ch
8 BGR-024908 PE12 673-704, 737-768ch
9 BGR-024908 PE14 801-832, 865-896ch
10 BGR-024908 PE10 545-576, 609-640ch
11 BGR-023664 PE I/F 2
12 BGR-024908 PE08 417-448, 481-512ch
13 BGR-024908 PE04 161-192, 225-256ch
14 BGR-024908 PE06 289-320, 353-384ch
15 BGR-024908 PE02 33-64, 97-128ch
16 BGR-025817X03 HSCLK
17 BGR-023950 PS Connect VS1-32, TM
18 BGR-025897 Iddq
19 BGR-024908 PE01 1-32, 65-96ch
20 BGR-024908 PE05 257-288, 321-352ch
21 BGR-024908 PE03 129-160, 193-224ch
22 BGR-024908 PE07 385-416, 449-480ch
23 BGR-023664 PE I/F 1
24 BGR-024908 PE09 513-544, 577-608ch
25 BGR-024908 PE13 769-800, 833-864ch
26 BGR-024908 PE11 641-672, 705-736ch
27 BGR-024908 PE15 897-928, 961-992ch
28 BGR-025628 PFB I/F 3 UTILITY PS, UDC 1-4
29 BGR-024448 AFG/AFD 4ch
30 BGR-024955 AFE 4ch
31 EMPTY
32 BGR-024751 Sampler
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-10 05.5.7
表 7-16 TH実装ボード配置 (T6673)
スロット NO. ボード NO. 回路名 備考
1 BIR-026826 WVFG-PE
2 BIR-026276 WVFD-PE
3 BGR-024934 SG
4 BGR-024492 VFG/VFD(1,2)
5 BGR-026792 ACCAL-PE(PFB I/F 2+ACCAL)
UDC 5-8
6 BGR-027127 TRIGGER 73
7 BGR-024908 PE16 929-960, 993-1024ch
8 BGR-024908 PE12 673-704, 737-768ch
9 BGR-024908 PE14 801-832, 865-896ch
10 BGR-024908 PE10 545-576, 609-640ch
11 BGR-023664 PE I/F 2
12 BGR-024908 PE08 417-448, 481-512ch
13 BGR-024908 PE04 161-192, 225-256ch
14 BGR-024908 PE06 289-320, 353-384ch
15 BGR-024908 PE02 33-64, 97-128ch
16 BGR-025817X03WBL-H33391DAC
HSCLK/GSAWG-DACX03
17 BGR-023950 PS Connect VS1-32, TM
18 BGR-025897/WBL-H33391DAC
Iddq/GSAWG-DAC
19 BGR-024908 PE01 1-32, 65-96ch
20 BGR-024908 PE05 257-288, 321-352ch
21 BGR-024908 PE03 129-160, 193-224ch
22 BGR-024908 PE07 385-416, 449-480ch
23 BGR-023664 PE I/F 1
24 BGR-024908 PE09 513-544, 577-608ch
25 BGR-024908 PE13 769-800, 833-864ch
26 BGR-024908 PE11 641-672, 705-736ch
27 BGR-024908 PE15 897-928, 961-992ch
28 BGR-025628 PFB I/F 3 UTILITY PS, UDC 1-4
29 BGR-024448 AFG/AFD 4ch
30 BIR-026910 PAFG/PAFD-PE
31 BGR-026743 GSAWG/TMU-PE
32 BGR-026908 SAMPLER2
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-11
表 7-17のデジタル・スイッチの図はボード・トップ側から見た図です。
表 7-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (1/2)
SLOT ボード名 名称 LA SW設定
1 BGK-023082 TC ANALOG I/F —
(注) DIP SW が OFF 側に設定されていること。
3 BGK-022544 CAL 5
5 BGK-025626 EM 4
6 BGK-022429 CM 2
8 BGK-022377X02 AFLT1 16
9 BGK-022377X02 AFLT2 17
10 KH3-3203 AFG1 8
11 KH3-3203 AFG2 9
12 KH3-3206 AFD1 12
13 KH3-3206 AFD2 13
14 BGK-022377X02 AFLT3 18
15 BGK-022377X02 AFLT4 19
16 KH3-3225 VFG1 20
17 KH3-3225 VFG2 21
1 2 43
SW1 ON
1 2
SW2 ON
12345678
OFF
12345678
OFF
12345678
OFF1 2 3 4 5 6 7 8
ON
1 2 3 4 5 6 7 8
ON
図 7-1参照
図 7-1参照
図 7-2参照
図 7-2参照
1 2 3 4 5 6 7 8
ON
1 2 3 4 5 6 7 8
ON
1 2 3 4 5 6 7 8
ON
1 2 3 4 5 6 7 8
ON
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-12 05.5.7
表 7-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (2/2)
SLOT ボード名 名称 LA SW設定
18 KH3-3228 VFD1 24
19 KH3-3228 VFD2 25
20 BGK-024239 DCAP2 28
1 2 3 4 5 6 7 8 ON
1 2 3 4 5 6 7 8 ON
12345678
OFF
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-16 05.5.7
表 7-18 TC5内実装ボード配置
表 7-19 Mixed オプション架 (MEMORY UNIT)内実装ボード配置
スロット No. ボード NO. 回路名 備考
1 BGK-026860 TC5 SYSTEM MONITOR
2 BGK-025646X02 TC5 TBUS I/F
3 BGK-026830 TC Extension I/F オプション
4 WBL-H36859BRD GP-IB I/F
5 BGK-026471 TC5 BUS I/F
6 WBL-H36824PXI N-MIX I/F Bridge WVFD/G有りの場合
7 WBL-H36824PXI N-MIX I/F Bridge PAFG/TMUオプション有りの場合
8 EMPTY EMPTY
スロット No. ボード NO. 回路名 備考
1 WUN-5V3V2R5V5V2V BOARD PS1
2 WUN-5V15V2B5V3V BOARD PS2
3 BGR-026798X02 TBUS DIP SW1 “1∼ 4” OFF
4 WBL-H36824AMIF PCI-IF
5 BGR-027118 DCAP3(TH1) 表 7-20参照
6 BGR-027118 DCAP3(TH2) 表 7-20参照
7 BGR-026312 WVFD1,2/WVFG1(TH1) 表 7-21参照
8 BGR-026312 WVFD3,4/WVFG2(TH1) 表 7-21参照
9 BGR-026312 WVFD1,2/WVFG1(TH2) 表 7-21参照
10 BGR-026312 WVFD3,4/WVFG2(TH2) 表 7-21参照
11 WBL-H36824AMIF PCI-IF
12 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1(TH1) 表 7-22参照
13 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2(TH1) 表 7-22参照
14 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1(TH2) 表 7-22参照
15 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2(TH2) 表 7-22参照
16 BGR-026312X02 TMU1,2(TH1) 表 7-23参照
17 BGR-026312X02 TMU1,2(TH2) 表 7-23参照
18 WBL-H36824AMIF (PCI-IF)
19 (Reserve)
20 (Reserve)
21 (Reserve)
22 (Reserve)
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7. ボード配置
7-17
表 7-20 DCAP3 (BGR-027118)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1)
表 7-21 WVFG/WVFD (BGR-026312)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW3, STN, BRD)
表 7-22 PAFD/PAFG (BGR-027829)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW2, STN, BRD)
表 7-23 TMU (BGR-026312X02)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW3, STN, BRD)
スロット スロット 5 スロット 6
SW1の設定
STN STN1 STN2
スロット スロット 7 スロット 8 スロット 9 スロット 10
SW3の設定
STN STN1 STN2
スロット スロット 12 スロット 13 スロット 14 スロット 15
SW2の設定
STN STN1 STN2
スロット スロット 16 スロット 17
SW3の設定
STN STN1 STN2
SW1OFF OFF OFF ON
SW1
ON
SW
3
ON
ST
N
BR
D
OFF
SW
3
ON
ST
N
BR
D
ON
SW
3
OFF
ST
N
BR
D
OFF
SW
3
OFF
ST
N
BR
D
ON
BR
D
ST
N
ON
SW2
OFF
BR
D
ST
N
ON
SW2
ON
BR
D
ST
N
OFF
SW2
OFF
BR
D
ST
N
OFF
SW2
ON
SW
3
ON
ST
N
BR
D
ON
SW
3
OFF
ST
N
BR
D
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-18
表 7-24 Mixed オプション架 (ANALOG UNIT)内実装ボード配置
(注 1) BGR-026836の Dip SW1の 2, 3, 4, 5, 6, 7は、設定を変えないで下さい。交換するボードの状態です。
表 7-25 PAFD/PAFG (WBL-H33419ANA)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1, 1, 4)
スロット No. ボード NO. 回路名 備考
1 BGR-026798 TBUS-CAL DIP SW1 “1~4” OFF
2BGR-026836 EM3(TH1) DIP SW1 “1” ON, “8” OFF
(注 1)
3BGR-026836 EM3(TH2) DIP SW1 “1” OFF, “8” OFF
(注 1)
4 BGR-027102 CM(WVFG/D) BOARD TOP SW1 “0”
5 BGR-027102 CM(OPCLK/REG) BOARD TOP SW1 “1”
6 BGR-027102 CM(PAFG/D) BOARD TOP SW1 “2”
7 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1(TH1) 表 7-25参照
8 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2(TH1) 表 7-25参照
9 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1(TH2) 表 7-25参照
10 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2(TH2) 表 7-25参照
11 BGR-026721 TMU(TH1)
12 BGR-026721 TMU(TH2)
13 (Reserve)
14 (Reserve)
15 (Reserve)
16 (Reserve)
スロット スロット 7 スロット 8 スロット 9 スロット 10
SW1の設定
STN STN1 STN2
ON ONSW1
OFF OFF
1 4
ON OFFSW1
OFF OFF
1 4
OFF ONSW1
OFF OFF
1 4
OFF OFFSW1
OFF OFF
1 4
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
7. ボード配置
7-19
表 7-26 HCDPSU1ボード配置
表 7-27 HCDPSU2ボード配置
SLOT NO. BOARD NO. CIRCUIT NAME REMARKS EXTENDER CARD
1 BGR-024899 IFL3 BGS-024256
2 BGR-023709 IFA3 BGS-024256
3 BGR-026361 HCDPS OPT1 BGS-024256
4 BGR-026272 HCDPS CONT1 BGS-024257
5 BGR-026272 HCDPS CONT2 BGS-024257
6 BGR-026273 HCDPS 1 (DPS65) BGS-024257
7 BGR-026273 HCDPS 2 (DPS66) BGS-024257
8 BGR-026273 HCDPS 3 (DPS67) BGS-024257
9 BGR-026273 HCDPS 4 (DPS68) BGS-024257
10 BGR-026273 HCDPS 5 (DPS69) BGS-024257
11 BGR-026273 HCDPS 6 (DPS70) BGS-024257
12 BGR-026273 HCDPS 7 (DPS71) BGS-024257
13 BGR-026273 HCDPS 8 (DPS72) BGS-024257
SLOT NO. BOARD NO. CIRCUIT NAME REMARKS EXTENDER CARD
1 BGR-024899 IFL4 BGS-024256
2 BGR-023709 IFA4 BGS-024256
3 BGR-026361 HCDPS OPT2 BGS-024256
4 BGR-026272 HCDPS CONT3 BGS-024257
5 BGR-026272 HCDPS CONT4 BGS-024257
6 BGR-026273 HCDPS 9 (DPS73) BGS-024257
7 BGR-026273 HCDPS 10 (DPS74) BGS-024257
8 BGR-026273 HCDPS 11 (DPS75) BGS-024257
9 BGR-026273 HCDPS 12 (DPS76) BGS-024257
10 BGR-026273 HCDPS 13 (DPS77) BGS-024257
11 BGR-026273 HCDPS 14 (DPS78) BGS-024257
12 BGR-026273 HCDPS 15 (DPS79) BGS-024257
13 BGR-026273 HCDPS 16 (DPS80) BGS-024257
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8. 配線図
8-1
8. 配線図
8.1 信号配線
(1) T6672
• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X
図 8-1 テスタ・バス配線図 (T6672)
ボード名称
ボード名
スロット 1 3 6 2 3 3 3 3 12 1 3 6
ユニット名 IO IF TC4 TC3 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 DPU IO IF TC4 TC3
配線順序
図中の記述
FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、IFL(DPU)へ接続して下さい。
注意!
IO I
F
TC
4 B
US
I/F
TC
3 B
US
I/F
PG
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
IFL
IO I
F
TC
4 B
US
I/F
TC
3 B
US
I/F
BG
R-0
2789
7
BG
K-0
2564
6
BG
K-0
2292
2
BG
R-0
2473
6
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2489
9
BG
R-0
2789
7
BG
K-0
2564
6
BG
K-0
2292
2
J7
J9
X09J8
J7
X05
J6
J7
X05
J6
J7
X09
J6
J7
X09
J6
J7
X09
J6
J8
X05
FTU2がない場合DPUに接続
FTU3がない場合DPUに接続
FTU4がない場合DPUに接続
TC7の場合J21
TC7の場合J22
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-2
(2) T6673
• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X
図 8-2 テスタ・バス配線図 (T6673)
ボード名称
ボード名
スロット 2 2 3 3 3 3 1 3 12 2
ユニット名 TC5 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 ANA MEM DPU TC5
配線順序
図中の記述
FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、TBUSCAL(ANA)へ接続して下さい。
注意!
TC
5 B
US
I/F
PG I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
TB
US
-CA
L
TB
US
IFL
TC
5 B
US
I/F
BG
K-0
2564
6X02
BG
R-0
2473
6
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2679
8
BG
R-0
2679
8X02
BG
R-0
2489
9
BG
K-0
2564
6X02
J9
J8
J7
X05
J6
J7
X05
J6
J7
X09
J6
J7
X09
J6
J6
X09
J5
FTU2がない場合ANAに接続
FTU3がない場合ANAに接続
FTU4がない場合ANAに接続
X09
J6
X09
J6
J7
X05
J6
J8
J5J7X05
02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-3
(3) T6672で HCDPSオプションがある場合
• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X
図 8-3 テスタ・バス配線図(HCDPSオプションがある場合)
ボード名称
ボード名
スロット 1 3 2 6 2 3 3 3 3 1 1 12 6 3 2 1
ユニット名 IO IF TC4 TC5 TC3 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 HCDPS1 HCDPS2 DPU TC3 TC4 TC5 IO IF
配線順序
図中の記述
FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、IFL3(HCDPS)へ接続して下さい。
注意!
IO I
F
TC
4 B
US
I/F
TC
5 B
US
I/F
TC
3 B
US
I/F
PG I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
FTU
&T
H I
/F
IFL
3
IFL
4
IFL
TC
3 B
US
I/F
TC
4 B
US
I/F
TC
5 B
US
I/F
IO I
F
BG
R-0
2789
7
BG
K-0
2564
6
BG
K-0
2564
6X02
BG
K-0
2292
2
BG
R-0
2473
6
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2489
9
BG
R-0
2489
9
BG
R-0
2489
9
BG
K-0
2292
2
BG
K-0
2564
6
BG
K-0
2564
6X02
BG
R-0
2789
7
J7
J9
X09J8
J7
X05
J6
J7
X05
J6
J7
X12
J6
J7
X04
J6
J7
X12
J6
J8
X05
FTU4がない場合DPUに接続
HCDPS1がない場合DPUに接続
HCDPS2がない場合DPUに接続
X09
J6
FTU3がない場合DPUに接続
X09
J6
FTU2がない場合DPUに接続
J7 J7
TC7の場合J21
TC7の場合J22
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-4
(4) T6673で HCDPSオプションがある場合
• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X
図 8-4 テスタ・バス配線図(T6673+MIXED2+HCDPSの場合)
ボード名称
ボード名
スロット 2 3 3 3 3 3 1 1 1 3 12 2
ユニット名 TC5 SQPG FTU1/TH
FTU2/TH
FTU3/TH
FTU4/TH
ANA HCDPS1 HCDPS2 MEM DPU TC5
配線順序
図中の記述
ボードが装備されていない場合、点線のように、バイパスして装備されているインターフェイス・ボードへ接続して下さい。
注意!
TC
5 B
US
I/F
PG
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
FT
U&
TH
I/F
TB
US-
CA
L
IFL
3
IFL
4
TB
US-
CA
L
IFL
TC
5 B
US
I/F
BG
K-0
2564
6X02
BG
R-0
2473
6
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2470
4
BG
R-0
2679
8
BG
R-0
2489
9
BG
R-0
2489
9
BG
R-0
2679
8X02
BG
R-0
2489
9
BG
K-0
2564
6X02
J7
J7
X05
J6
J7
X09
J6
J7
X12
J6
J7
X04
J6
J6
X12
J5
FTU4/THがない場合DPUに接続
X09
J5
FTU3/THがない場合DPUに接続
X09
J6
FTU2/THがない場合DPUに接続
J7 J6 J7
X09
J6
J7
X05
J6
J9
X09
J8
X05
J8
MIXEDがない場合バイパス接続
HCDPS1がない場合バイパス接続
HCDPS2がない場合バイパス接続
MIXEDがない場合バイパス接続
02.12.12
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-9
図 8-9 TC3, TC4配線図
GRAPHIC
MONITOR
KEYBOARD KEYBOARD CABLE
Accessory CodeTC3 S1 ENGINE
MONITOR
TC4 S15 ENGINE
MONITOR
TC3 S1 ENGINE
KEYBOARD
TC4 S15 ENGINE
KEYBOARD
Extension Accessory Code
02.12.12
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-15
図 8-15 DCAP3(MIXED OPTION2)増設時の FMUX配線図
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-17
図 8-17 SQPG配線図
(注 1)
(注 1) MIXEDオプション 2が設定されている場合 DCB-FS8100X06A (S3 J10), 接続先 : DSP1 S6 J7→DCB-FSD733X04 (S3 J10), 接続先 : ANA S1 J17
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-19
図 8-19 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 1ステーション構成)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-20
図 8-20 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 2ステーション構成)
05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-2105.5.7
図 8-21 FTU配線図 (1)
(注 1)
(注
1)M
IXE
Dオプション
2が設定されている場合
D
CB
-RR
A72
3X01
(S8
J6,
J8,
J17
), 接続先
: DS
P1,2
S5
J6→
DC
B-R
RD
647X
01A
(S
8 J6
, J8,
J17
), 接続先
: AN
A S
2, S
3 J1
1
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
8-2505.5.7
図 8-25 FTU BWB配線図
FTU2 BWB
FTU1 BWB
FTU3 BWB
FTU4 BWB
(注 1) FTU1, 2, 3, 4 J203-1にコネクタが接続されない場合、カバーMMX-J2050A001を取り付けます。
(注 2) FTU1 J203-2には、512ch以下の場合はカバーMMX-J2050A001を取り付けます。512chを越える場合は、ショート・ケーブル DCB-SSA593X01を取り付けます。
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8
-26
DSP
1(M
IXE
D1)配線図
(注
1)M
IXE
Dオプション
2が設定されている場合
D
CB
-SS3
078X
01A
(S
3 J1
7, S
6 J4
, J5)
→D
CB
-SSA
745X
01 (
S3
J17,
S6
J5)
→D
CB
-SS3
077X
05 (
S6
J4),
接続先
: AN
A S
1 J1
8
(注
4)D
CB
-SS3
078X
01Aはケーブル銘板のあるコネクタを
S6
J5に付ける。
*1D
CB
-FF
6650
X03
C(S
10J7
, S11
J7, S
12J4
, S13
J4)
*2D
CB
-FF
6650
X04
C(S
16, S
17, A
DV
AN
CE
, TR
IGG
ER
)
(
S18,
S19
TR
IGG
ER
)
(注
2)M
IXE
Dオプション
2が設定されている場合
D
CB
-MS
9694
X05
(S
3 J3
), 接続先
: DM
M F
RO
NT
→D
CB
-SS3
077X
05 (
S3
J3),
接続先
: AN
A S
1 J8
(注
3)M
IXE
Dオプション
2が設定されている場合
D
CB
-RR
A72
3X01
(S
5 J6
)→
DC
B-B
BD
659X
01A
, 接続先
: AN
A S
2 J1
0
(注 3)
(注 1)
(注
4)
(注
1)
(注 2)
KH3-3228
KH3-3228
KH3-3225
KH3-3225
KH3-3206
KH3-3206
KH3-3203
KH3-3203
WBL-H36688BRD
8-26 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8
-27
DSP
2(M
IXE
D2)配線図
(注
2)D
CB
-SS3
078X
01Aはケーブル銘板のあるコネクタを
S6 J
5に付ける。
*1D
CB
-FF6
650X
03C
(S10
J7, S
11J7
, S12
J4, S
13J4
)*2
DC
B-F
F665
0X04
C(S
16, S
17, A
DV
AN
CE
, TR
IGG
ER
)
(
S18
, S19
TR
IGG
ER
)
(注
3)D
CB
-RS
7591
X01
Aおよび
DC
B-R
S75
88X
01Aは
"ST
1"側のコネクタ
にD
CB
-RS9
498X
02を接続する。
(注
2)
(注 1)
(注 3)
(注 3)
(注 3)
(注 3)
(注
1)M
IXE
Dオプション
2が設定されている場合
D
CB
-RR
A72
3X01
(S
5 J6
)→
DC
B-B
BD
659X
01A
, 接続先
: AN
A S
3 J1
0
KH3-3228
KH3-3228
KH3-3225
KH3-3225
KH3-3206
KH3-3206
KH3-3203
KH3-3203
WBL-H36688BRD
8-2705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-29 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(1)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-35、図 8-36が適用されます。
8-2905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-30 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(2)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-36、図 8-37が適用されます。
8-30 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-31 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(1)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-38、図 8-39が適用されます。
8-3105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-32 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(2)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-39、図 8-40が適用されます。
8-32 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-33 T6672 THU2配線図 (1)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-41、図 8-42が適用されます。
8-3305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-34 T6672 THU2配線図 (2)
(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-42、図 8-43が適用されます。
20, 21
8-34 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-35 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(1)
(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J10→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J10, TH1 S16 J916
(注 1)
8-3505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-36 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(2)
オプション構成 (SLOT)Iddq (18)
HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)
GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)
J1006
WBL-H33391DAC
BGR-025817X03
8-36 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-38 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(1)
(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J10→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J10, TH1 S16 J916
(注 1)
8-38 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-39 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(2)
オプション構成 (SLOT)Iddq (18)
HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)
GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)
J1006
8-3905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-41 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(1)
(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J12→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J12, TH2 S16 J916
(注 1)
8-4105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-42 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(2)
オプション構成 (SLOT)Iddq (18)
HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)
GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)
J1006
WBL-H33391DAC
BGR-025817X03
8-42 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
図 8-44 THU配線図 (TH BPS)
注) ボード電源は、1-512chのときはWUN-7V5V7V5V7V513-1024chのときはWUN-9V5V9V5V9Vを実装する。
8-44 05.5.7
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8.1 信号配線
図 8-45 MONITOR I/F配線図
(注 1) HCDPSなしの時 : DCB-RQA254X01HCDPS2なしの時 : DCB-RQD821X01
J34, J21(HCDPSがないとき), J33(TH2がないとき)DCB-MMA250X01ショートコネクタをさすこと
J22, J23, J24, J25, J26, J27 J30と J31は(Mixedがないとき)DCB-MMA251X01ショートコネクタをさすこと
B-TOP side
BWB side
8-4505.5.7
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8.1 信号配線
図 8
-46 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(
ME
MO
RY部)
SL
OT
1 ~
SLO
T10
WU
N-5
V3V
2R5V
5V2V
WB
L-H
3682
4AM
IF
8-46 05.5.7
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8.1 信号配線
その他は
未接続
その他は
未接続
図 8
-47 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(
ME
MO
RY部)
SLO
T11
~ S
LO
T17
WB
L-H
3682
4AM
IF
8-4705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.1 信号配線
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
未接続
図 8
-48 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(
AN
AL
OG部)
SLO
T1
~ SL
OT
6
CM
(PA
FG
/D)
TE
ST
ER
BU
S IN
(注
1)
(注
1)図
8-2
テスタ・バス配線図
(T66
73)を参照して
下さい
8-48 05.5.7
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8.1 信号配線
図 8
-49 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(
AN
AL
OG部)
SLO
T7
~ SL
OT
12
DC
B-R
R1
0473
X02
AD
CB
-RR
1047
3X02
AD
CB
-RR
104
73X
02A
DC
B-R
R10
473X
02A
8-4905.5.7
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8.1 信号配線
図 8
-50 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(
DSPラック)
8-50 05.5.7
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8.1 信号配線
(注
1)(注
2)
図 8
-51
HC
DP
Sケーブル接続図
(4/8
CH
)
8-5105.5.7
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8.1 信号配線
(注
1)(注
2)
図 8
-52
HC
DPSケーブル接続図
(4/8
/12/
16 C
H)
8-52 05.5.7
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8.2 電源配線
8.2 電源配線
図 8-53 AC200 V接続図 (TC3, TC4) (1-1)
注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR 電源は、A 端子と B 端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。
(200 V入力の状態)注 3) UPS10,UPS9,UPS8,UPS6,UPS1,UPS2,UPS3,UPS7 の SR 電源は、TOG 端子と CNT 端子間の
ショートピースをとりつけること。(シーケンス制御対象外の状態)UPS4,UPS5の SR電源は TOG-CNTのショートピースを取り外すこと。(シーケンス制御の状態)
注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピース取り外し実装すること。(漏れ電流を低減する)
8-53 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8-54 AC200 V接続図 TC5 (1-2)
注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR電源は、A端子と B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。
(200 V入力の状態)注 3) UPS10, UPS9, UPS8, UPS6, UPS2, UPS3, UPS7の SR電源は、TOG端子と CNT端子間の ショー
トピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)UPS1, UPS4, UPS5の SR電源は TOG-CNTのショートピースを取り外すこと。(シーケンス制御の状態)
注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピースを取り外して実装すること。(漏れ電流を低減する)
8-5405.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8-55 AC200 V接続図 TC7 (1-3)
注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR電源は、A端子と B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。
(200 V入力の状態)注 3) UPS10, UPS9, UPS8, UPS6, UPS1, UPS2, UPS3, UPS4, UPS5, UPS7の SR電源は、TOG端子と
CNT端子間の ショートピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピースを取り外して実装すること。(漏れ電流
を低減する)
8-55 05.5.7
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8.2 電源配線
図 8
-56
AC
200
V接続図
(T
6672
) (1
-4)
注1)
トランスは
J1の
3と
4の端子をつなぐこと。ただし、
220
V出荷国に対しては
波線のように
3と
5をつなぐこと。
8-5605.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-57
AC
200
V接続図
(2)
注1)
AW
G12クロは二重絶縁線
(UL
1673
)を使用のこと。
注2)
MA
IN A
C C
ON
Tは
J9の
1と
3の端子をつなぐこと。ただし、
220
V出荷国に対しては波
線のように
1と
5をつなぐこと。
8-57 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-58
AC
200
V接続図
(3)
注1)
“AW
G12クロ
”と
“AW
G14クロ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用のこと。
注2)
UP
S21
3は
TH
2(1-
512)または
TH
1(51
3-10
24)があるときのみ実装する。
注3)
UP
S12
9,12
8,12
7は、
AFG
/AF
Dオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S12
6は、
AFEオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S12
0,12
1は、
VFG
/VF
Dオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S12
2は、
SGオプションがついているときにのみ実装する。
注4)
NN
Sおよび
NN
Dは、入力電圧切換が
200になっていることを確認する。
注5)
UP
S20
1は
FT
U2があるときのみ実装する。
8-5805.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-59
AC
200
V接続図
(4)
注1)
“AW
G12クロ
”と
“AW
G14クロ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用のこと。
注2)
NN
Sおよび
NN
Dは、入力電圧切換が
200になっていることを確認する。
注3)
UP
S20
3は
TH
2(1-
512)または
TH
1(51
3-10
24)のときのみ実装する。
注4)
UP
S11
0,10
9,10
8は、
AF
G/A
FDオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S10
7は、
AFEオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S10
1,10
2は、
VFG
/VF
Dオプションがついているときにのみ実装する。
UP
S10
3は、
SGオプションがついているときにのみ実装する。
8-59 05.5.7
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8.2 電源配線
図 8
-60
DC
270
V配線図
(1)
注)
UPS
207(
AC
DC
1)の
3,4,
5,6,
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
8-6005.5.7
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8.2 電源配線
図 8
-61
DC
270
V配線図
(2)
注1)
SR電源は、
A端子と
B端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(
200
V入力の状態)
注2)
UP
S11,
12,1
3,14
,15,
16は
TO
G-C
NTのショートピースを取り外し実装してあることを確認する。(シーケンス制御の状態)
注3)
SR電源は、
AC
G端子と
FG端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)
注4)
UP
S15,
UP
S16は、
TH
2が実装されるときのみ実装する。
注5)
UPS
209(
AC
DC
2)の
5,6,
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
また、
AL
PG U
PS
8が実装されないときは、
UPS
209(
AC
DC
2)の
2に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注6)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
注7)
UP
S17の
SR電源は
TO
G-C
NTのショートピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)
8-61 05.5.7
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8.2 電源配線
図 8
-62
DC
270
V配線図
(3)
注1)
SR電源は、
A端子と
B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(
200
V入力の状態)
注2)
SR電源は、
TO
G端子
-CN
T端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(シーケンス制御の状態)
注3)
SR電源は、
AC
G端子
-FG端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)
注4)
UPS
211(
AC
DC
3)の
5,6,
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注5)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
8-62 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-63
DC
270
V配線図
(4)
注)
UPS
201(
AC
DC
4)の
4,5,
6,7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
8-6305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-64
DC
270
V(
512c
h時)配線図
(5-1
)
注1)
UPS
205(
AC
DC
5)の
4,5,
6,7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注3)
UP
S136
,UP
S13
5の
SR電源(
TH
fan用電源)は、
TO
G端子と
CN
T端子間のショートピースを取り付けること。
(シーケンス制御対象外の状態)
注4)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
8-64 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-65
DC
270
V(
1024
ch時)配線図
(5-2
)
注1)
UPS
205(
AC
DC
5)の
4,5,
6,7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注2)
UP
S136
,UP
S13
5の
SR電源(
TH
fan用電源)は、
TO
G端子と
CN
T端子間のショートピースを取り付けること。
(シーケンス制御対象外の状態)
注3)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
8-6505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-66
DC
270
V(
512c
h時)配線図
(6-1
)
注1)
UPS
203(
AC
DC
7)の
4,5,
6,7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注2)
UP
S116
,UPS
117の
SR電源(
TH
fan用電源)は、
TO
G端子と
CN
T端子間のショートピースを取り付けること。
(シーケンス制御対象外の状態)
注3)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
8-66 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-67
DC
270
V(
1024
ch時)配線図
(6-2
)
注)
UPS
203(
AC
DC
7)の
3,4,
5,6,
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
8-6705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-68
DC
270
V配線図
(7)
注1)
TH
2の
SR電源を実装しないときは
UPS
215(
AC
DC
6)の
6に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注2)
UPS
215(
AC
DC
6)の
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
注3)
上記の
SR電源は、
A端子と
B端子間のショートピースを取り外し実装してあることを確認する。(
200
V入力の状態)
注4)
SR電源は、
AC
G端子と
FG端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)
注5)
“AW
G18ダイ
”と
“AW
G18チャ
”は二重絶縁線
(UL
1673
)を使用すること。
8-68 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-69
DC
270
V配線図
(8)
注1)
UPS
213(
AC
DC
6)の
5,6,
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
TH
1, T
H2
(ユーティリティ電源)
8-6905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8-70 パラ運転ケーブル接続図 (1)(512ch時)
図 8-71 パラ運転ケーブル接続図 (2)(1024ch時)
8-70 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-72
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(1)
(1)シーケンスを制御しない
SR電源
以下の電源はシーケンスの線はつなげない。
ショートコネクタを
PJ1に接続すること。
(2)
AL
PGユニット
SLO
T 8
AFMオプションがない場合、
J118
, J61
8, J
1118
, J16
18, J
2118にバイパス・
ボード
BG
B-0
2457
7を取り付ける。
バイパス・ボードの挿入 バック・ボード
B面にコネクタ
5個所
05.5.
7 8-71T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-74
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(3)
注1)
UPS
15,U
PS16は
MIX
ED
2が実装されるときのみ接続する。
8-7305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-77
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(6)
注1)
TO
G端子
-CN
T端子間のショートピースを外すこと。
注2)
512c
hのときは
WU
N-7
V5V
7V5V
7Vを使用、
1024
chのときは
WU
N-9
V5V
9V5V
9Vを使用する。
8-76 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-78
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(7)
注1)
TH
PSスロット
3と
4のボード電源は、
TH
2 1-
512c
hと
TH
1 51
3-10
24chを兼ねています。この切り替えは、
TH
ON
/OF
F Aケーブル
Bケーブルを差し換えることにより行っています。構成を注意し、まちがえないよう気をつけて下さい。
注2)
SR60
-9(U
PS10
6)と
SR33
0-5(
UP
S115
)は
TH
2 51
2chのときのみ実装する。
注3)
512c
hのときは
WU
N-7
V5V
7V5V
7Vを使用、
1024
chのときは
WU
N-9
V5V
9V5V
9Vを使用する。
8-7705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-79
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(8)
注1)
TO
G端子
-CN
T端子間のショートピースを外すこと。
2 2
02
2 4
2 2
3
8-78 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-80
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(9)
TH
1(51
3-10
24)
orT
H2(
1-51
2)
TH
2(1-
512)または
TH
1(51
3-10
24)
8-7905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-81
SYS
TE
M O
N/O
FFケーブル配線図
(10)
注1)
UP
S203
,UP
S21
3は、
TH
2(1-
512)または
TH
1(51
7-10
24)がある場合に実装する。
注2)
UP
S201は、
FT
U2がある場合に実装する。
注3)
UP
S201が付かない場合、
UP
S20
3と
UPS
213を接続
8-80 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-82
SYS
TE
M O
N/O
FFケーブル配線図
(11)(
MIX
EDオプション架有時の場合)
M
IXE
Dオプション架
TCRMT PCI
TCRMT PCI
8-8105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-84
DC配線図
(2)(
TC
3の場合)
(150
0mm
)
SR35
-5
SR35
-5
V5.
5-5
SR35
-5
SR33
0-5
(TC
)SR
230-
12(T
C)
AT
K-3
0N3-
10P
サーキット・プロテクタ・ユニット
8-8305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-92
DC配線図
(TH
PS
BW
B)(
512c
h時)
(10-
1)
8-9105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-93
DC配線図
(TH
PS
BW
B)(
1024
ch時)
(10-
2)
8-92 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-94
DC配線図
(DC
-DC
) (1
0-3)
はT
H2(
1-51
2)または
TH
1(51
3-10
24)
が実装される場合に配線する。
に示すように、
UP
S21
7と
UP
S21
8、
UP
S21
9と
UPS
220、
UP
S22
1と
UP
S22
2、U
PS
223と
UP
S22
4の間に
は、ショート金具
(MB
N-K
0042
A)を取り付けること。
8-9305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-95
DC配線図
(TH
PS
BW
B)(
512c
h時)
(11-
1)
8-94 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-96
DC配線図
(TH
PS
BW
B)(
1024
ch時)
(11-
2)
8-9505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-97
DC配線図
(TH
PS
BW
B)
(11-
3)
はT
H2(
1-51
2)または
TH
1(51
3-10
24)が
実装される場合に配線する。
8-96 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-98
DC配線図
(TH
1 U
TL
/RL
PS
) (1
2)
8-9705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-99
DC配線図
(TH
1 U
TL
/RL
PS
) (1
3)
8-98 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-100
DC配線図
(TH
2 U
TL
/RL
PS
) (1
4)
8-9905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-101
DC配線図
(TH
2 U
TL
/RL
PS
) (1
5)
8-100 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-102
BW
B 0
V D
C接続図
(1)
TC
3 B
WB
T7
TC
4 B
WB
T10
へ
8-10105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-103
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
UP
FLO
W時
8-102 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-104
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
DO
WN
FL
OW時
8-10305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-105
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
UP
FLO
W時
TC
7の場合
8-104 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-106
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
DO
WN
FL
OW時
TC
7の場合
8-10505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-107
センサ・ケーブル接続(電圧センス)
DC
B-M
CB
8282
XO
1
DC
B-M
CB
8282
XO
1
注1)ショートコネクタについて
J1-L
,J2-
L,J
5-L
,J5-
U,J
6-L
,J6-
Uおよび
J3-U
,J4-
L,J
4-U(
FTU
2-4がない場合
)、J7
-L,J
7-U
(MIX
EDオプションがない場
合)、
J8-U(
TH
2がない場合)に、
DC
B-M
QA
254X
01をつけること。
注2)
J1-L~
J8-Uの端子配置
MO
NI
I/F
J1-
L~
J8-Uの配置は以下
のとおりです。
(RE
AR
VIE
W)
8-106 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-109
T66
73 F
AN
AC
200
V配線(
512架)
UP
FLO
W時
8-108 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-110
T66
73 F
AN
AC
200
V配線(
512架)
DO
WN
FL
OW時
DPSラックなしのとき。
DPSラックありのときは、
TC
FA
N1,
TC
FAN
2はつかない。
8-10905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-113
コントロール・ボックス、エア・コントロール・ユニット接続図
(注)コントロール・ボックス
(KH
3-51
57)は、テスト・ヘッドの上に乗せな
いで下さい。壁掛けホルダを用いてドア・パネルに取り付けて下さい。
8-112 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-114
DM
M/F
TU温度センサユニット接続図
注3)
DC
B-M
S644
0X03は、青プラグは接続しない。青プラ
グはショートしないように、スミチューブを被せ、
DC
B-M
S644
0X03の茶色ケーブルにくくりつける。
注1)
FT
U温度センサは以下のように取り
付ける。(裏から見た図)
注2)
DC
B-S
S947
0X01
Aのマーカ・タイ
4つのうち、
接続先のマーカ・タイのみを残し、残り
3つ
を削除する。
8-11305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-117
DC
270
V配線図
(1)
注)
UP
S20
3の
4~
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
8-116 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-118
DC
270
V配線図
(2)
注)
UP
S20
1の
4~
7に
YE
E-0
0297
2-1を差し込むこと。
8-11705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-119
SY
STE
M O
N/O
FFケーブル配線
(1)
8-118 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-121
SY
STE
M O
N/O
FFケーブル配線
(3)
注)
UP
S205は、
TH
1(76
9-10
24)がある場合に実装する。
本体架台
1024
ch架台
8-120 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-123
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
UP
FL
OW時(
1024
ch時)
注2)
MO
NI
I/Fショートコネクタについて
J34,
J21,
J33
DC
B-M
MA
250X
01ショートコネクタをさすこと
J22,
J23,
J24,
J25,
J26,
J27,
J31,
J30(
Mix
edがないとき
)は、
DC
B-M
MA
251X
01ショートコネクタをさすこと
TC
3 B
WBへ
D
CB
-MM
A28
5X01
TC
4 B
WB
J7
T
C4構成
注
1)煙受信機の設定について
TC部
8-122 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-124
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
DO
WN
FL
OW時(
1024
ch時)
注1)煙受信機の設定について
注2)
MO
NI
I/Fショートコネクタについて
J34,
J21,
J33
DC
B-M
MA
250X
01ショートコネクタをさすこと
J22,
J23,
J24,
J25,
J26,
J27,
J31,
J30(
Mix
edがないとき
)は、
DC
B-M
MA
251X
01ショートコネクタをさすこと
TC
3 B
WBへ
D
CB
-MM
A28
5X01
TC
4 B
WB
J7
T
C4構成
TC部
8-12305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-125
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
UP
FL
OW時(
1024
ch時)
TC
7の場合
8-124 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-126
センサ・ケーブル接続(煙、
FAN、
TE
MPセンス)
DO
WN
FL
OW時(
1024
ch時)
TC
7の場合
8-12505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-127
センサ・ケーブル接続(電圧センス)(
1024
ch時)
注1)ショートコネクタについて
J1-L
,J2-
L,J
5-L
,J5-
U,J
6-L
,J6-
U,J
7-U
,J8-
Uおよび
J4-U
(FT
U4がない場合
)、J7
-L(M
IXE
Dオプションがない場合
)は、
DC
B-M
QA
254X
01をつけること
注2)
J1-L~
J8-Uの端子配置
MO
NI
I/F
J1-
L~
J8-Uの配置は以下の
通りです。
(RE
AR
VIE
W)
DC
B-M
CB
282X
01
8-126 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-129
T66
73 F
AN
AC
200
V配線(
1024架)
UP
FLO
W時
8-128 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-130
T66
73 F
AN
AC
200
V配線(
1024架)
DO
WN
FL
OW時
DPSラックなしのとき。
DPSラックありのときは、
TC
FA
N1,
TC
FAN
2はつかない。
8-12905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-131
FT
U温度計接続図
注1)
FTU温度センサは以下のように取
り付ける。(裏から見た図)
注2)
DC
B-S
S947
0X01
Aのマーカ・タイ
4つのうち、接続先の
マーカ・タイのみを残し、残り
3つを削除する。
8-130 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-134
T66
73 F
AN
AC接続図(
512架
-102
4架
-MIX
ED架)
8-13305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-136
AC
200
V接続図
(1)
Mix
edオプション架
8-13505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-137
AC
200
V接続図
(2)
Mix
edオプション架
8-136 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-138
AC
200
V接続図
(3)
Mix
edオプション架
8-13705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8-139 AC200 V接続図 (4)
Mixedオプション架
PAFD/G ANA2
PAFD/G ANA1
PAFD/G
PAFD/G
8-138 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-141
SY
ST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
(1)
Mix
edオプション架
8-140 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-147
Mix
edオプション
センサ接続図
Mix
edオプション架
煙、
FANセンサ
ミクスド・シグナル・テスト・オプション部
8-146 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-148
T66
73 (
512
ch)センサ接続図(
UP
FLO
W時)
(注)
KH
3-71
150の場合は
DC
B-M
Q35
48X
01を接続
8-14705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-149
T66
73 (
512
ch)センサ接続図(
DS
Pラックありの
DO
WN
FL
OW時)
8-148 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-150
T66
73 (
512
ch)センサ接続図(
DS
Pラックなしの
DO
WN
FL
OW時)
8-14905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-151
T66
73 (
1024
ch)センサ接続図(
UP
FL
OW時)
MIX
ED架
詳細は煙、
FA
Nセンサ参照
J35架台
(TE
MP
,FA
N,煙
,AU
X)
J34
AU
X(T
EM
P,F
AN
,煙,A
UX
)J3
3 T
H2(
BW
BT
,TE
MP
,HE
AT
,FA
N)
J32
TH
1(B
WB
T,T
EM
P,H
EA
T,F
AN
)
ミクスド・シグナル・
テスト・オプション部
(注)
KH
3-71
150の場合は
DC
B-M
Q35
48X
01を接続
8-150 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-152
T66
73 (
1024
ch)センサ接続図(
DS
Pラックありの
DO
WN
FL
OW時)
8-15105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-153
T66
73 (
1024
ch)センサ接続図(
DS
Pラックなしの
DO
WN
FL
OW時)
8-152 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-157
T66
73 M
IXE
D架
+H
CD
PS架
AC
CO
NT接続図
(1)
ショート・コネクタ
ショート・コネクタ
ショート・コネクタ
8-156 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-158
T66
73 M
IXE
D架
+H
CD
PS架
AC
CO
NT接続図
(2)
注2)
注2)
注2)
注1)
注1)
注1)
8-15705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-159
HC
DPS
_CA
BIN
ET
DC
270
V接続図
(1)
HC
DP
S C
AB
INE
T
Not
e: P
lug
the
YE
E-0
0297
2 in
the
posi
tion
“7”
on A
CD
C.
DC
B-M
M9
708X
17D
CB
-MM
970
8X15
DC
B-M
M97
08X
16D
CB
-MM
970
8X0
8D
CB
-MM
9708
X10
DC
B-M
M97
08X
12D
CB
-MM
9708
X10
DC
B-M
M97
08X
12
DC
B-M
M97
08X
10
DC
B-M
M97
08X
12
DC
B-M
M97
08X
14
DC
B-M
M97
08X
15
DC
B-M
M97
08X
13
8-158 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-160
HC
DPS
_CA
BIN
ET
DC
270
V接続図
(2)
HC
DPS
CA
BIN
ET
8-15905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-162
HC
DP
S架
AC
/DC電源
SYS
TE
M O
N/O
FFケーブル配線図
8-16105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-163
HC
DP
S架
DC
/DC電源
SYS
TE
M O
N/O
FFケーブル配線図
(+10
V)
(+15
V)
(-10
V)
(-15
V)
SR
60-5
8-162 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-165
HC
DP
S_C
AB
INE
T D
C_0
V配線図
8-164 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-166
HC
DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、
FAN、
TE
MP)
UP
FLO
W時
DCB-MMA231X06
(5300mm)
DCB-MM9211X03
8-16505.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-167
HC
DP
S架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、
FAN、
TE
MP)
UP
FL
OW時
TC
7の場合
8-166 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-168
T66
73 H
CD
PS架
AC
/DC電源
SYST
EM
ON
/OFFケーブル配線図
8-16705.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
DCB
-MR
D82
0X07
図 8
-169
HC
DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(電圧センス)
T66
73の場合、上記のケーブルは
DC
B-M
RD
820X
07(7
500m
m)。
DC
B-M
RD
820X
07
DC
B-M
RD
820X
07
J8 J8
8-168 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-170
HC
DP
S架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、
FAN、
TE
MP)
UP
FL
OW時(
1024
ch時)
8-16905.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-171
HC
DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、
FAN、
TE
MP)
UP
FLO
W時(
1024
ch時)
TC
7の場合
8-170 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-172
T66
73 (
1024
ch)
+M
IXE
D架
+H
CD
PS架
センサ・ケーブル接続図
(1)(煙、
FAN、
TE
MP)
J4
DCB-
MM3
545X
12
DCB-
MM3
545X
14
J2
8-17105.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-173
T66
73 (
512c
h) +
MIX
ED架
+H
CD
PS架
センサ・ケーブル接続図
(2)(煙、
FAN、
TE
MP)
J4
DCB-
MM3
545X
12
DCB-
MM35
45X1
4
J2
8-172 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-174
FA
N A
C20
0 V配線図(
HC
DPS有の場合)
8-17305.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
8.2 電源配線
図 8
-175
T66
73 M
IXE
D架
+H
CD
PS架
FAN
AC
200
V配線図D
CB
-MM
7805
X30
DC
B-M
M78
05X
30
8-174 05.5.7
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
9. HIFIXの取り扱い
キー・スイッチ OFFの手順操作 1 : TCをシャットダウンします。確認 1 : シャットダウンの動作終了を確認して下さい。操作 2 : キー・スイッチを OFFにして下さい。確認 2 : AC CONT パネルの LED のランプが 0x100 になり、続いて FAN が停止(約
30秒後)することを確認して下さい。HIFIXの質量は約 32kgです。1つの HIFIXの交換に要する時間は、約 5分です。
ZIF コネクタの破損や接触不良を未然に防ぐための、HIFIX 取り扱い上の注意点について以下に説明します。
(1) HIFIX装着方法
ピン・カードのコネクタが、開いていることを確認します。テスト・ヘッドの LOCK/FREEスイッチの表示で、FREE側が点灯していることを確認します。SQUARE HIFIXの交換の際には、パフォーマンス・ボードを取り外して下さい。
2人で HIFIXを持ち上げます。
HIFIXの方向を合わせます。位置合わせマーク ( )を合わせます。
HIFIXをテスト・ヘッド上部で装着位置に合わせ、水平にします。テスト・ヘッド・カバーの穴が、装着時のガイドになっています。テスト・ヘッド・カバーの穴に HIFIX の外形を合わせることにより位置合わせができます。
HIFIXを水平に保ちながら、静かにテスト・ヘッドに置きます。
警告
HIFIXの交換は、必ずテスタのキー・スイッチを OFFにして行って下さい。
!
HIFIXの取り扱いは、必ず 2人で行って下さい。
警告
1
2
3
4
5
9-102.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
HIFIX が、正しい位置に装着されていることを確認した後、浮きがないよう HIFIX の取っ手を下方向に手で押さえます。HIFIXで使用しているコネクタは、コネクタを閉じるときに接点のセルフ・クリーニング機構が働き、接触不良を防止しています。セルフ・クリーニング機構が働くと、HIFIXは 1 mm程度持ち上げられます。HIFIXに浮きがあるとセルフ・クリーニング効果が弱くなり、接触不良の原因となります。
HIFIXの取っ手近くにあるMBロックを「FREE」にします。
LOCKスイッチを押し、コネクタを閉じます。
LOCKの表示が点灯していることを確認します。
<HIFIX装着時の注意点 >
• HIFIXを静かに置く。
• HIFIXを水平に置く。
• HIFIXをずれた位置で置かない。一部のコネクタに力が加わり、コネクタが破損します。
• テスト・ヘッドを水平の状態に戻して行う。
(2) 接触不良の回避方法
コネクタの接触不良が発生した場合には、下記の , , の操作を数回繰り返して下さい。セルフ・クリーニング動作により、接触不良が回避できます。
FREEスイッチを押し、コネクタを開きます。
HIFIXの取手を下方向に押さえ、浮きをなくします。
LOCKスイッチを押し、コネクタを閉じます。
(3) HIFIX脱着方法
FREEスイッチを押し、コネクタを開きます。
FREEの表示が点灯していることを確認します。
6
7
8
9
〇正しい装着準備 ×誤った装着準備
正しくない位置に置くと、コネクタが破損します。
1 2 3
1
2
3
1
2
9-2 01.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
2人で同時に、静かに水平に HIFIXを持ち上げます。HIFIXの傾きは、下記寸法以下で持ち上げて下さい。
親指をテスト・ヘッドに付けて親指を支点に持ち上げると、静かに持ち上げることができます。
(4) HIFIX保管時の注意
HIFIXのコネクタ接点に付着したほこり等の異物は、接触不良の原因になります。
ほこり等の付かない場所に保管して下さい。
保管時は、HIFIX下カバーを取り付けて下さい。ほこり等の付着防止、および HIFIXコネクタの破損防止になります。
コネクタ接点部に異物が付着した場合には、ブラシ(歯ブラシで可)で取り除いて下さい。ブラシで取り除けない物が付着した場合には、イソプロピル・アルコールを使用し、ブラシで付着部分のみ洗浄して下さい。綿棒・布・紙等、繊維屑の出る物での洗浄は、絶対に行わないで下さい。
(5) テスト・ヘッドのほこり防止
ピン・カード側のコネクタにほこりが付くことも、接触不良の原因になります。
ほこりがコネクタに入らないよう、テスト・ヘッド上に物(特に紙類)を置かないように注意して下さい。異物のはさみ込みによる、コネクタ破損防止にもなります。
3
左右方向 :8 cm以下 前後方向 :2 cm以下
テスト・ヘッド
HIFIX
1
2
HIFIX
下カバーHIFIX
3
1
9-301.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
(6) HCDPS用 HIFIXの取扱い
H7-1103X02 (1024 ch HCDPS) HIFIX/H7-1119 (512 ch HCDPS) HIFIXのケーブル接続
HCDPS HIFIXはリア側から HCDPSケーブルが接続されます。ケーブルの着脱は、HIFIXを THに載せた状態で、さらに HIFIXカバーをはずした状態で行います。
HCDPSケーブルの装着
HCDPSケーブルの脱着は、テスタのキー・スイッチを OFFにして下さい。
警告
H7-1103X02 Rear View
69. 70 71. 72 65. 66
75. 76 77. 78 79. 80
67. 68 U3
73. 74 U4
H7-1119 Rear View
69. 70 71. 72 65. 66
75. 76 77. 78 79. 80
67. 68 U3
73. 74 U4
dummy
dummy
dummy
dummy dummy
dummy
J233
67.68
J234
dummy
Iddq op.
9-4 01.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
TH リア側より HCDPS ケーブルが来ているので、各ケーブルを上記コネクタ位置に装着します。装着時、各コネクタを確実にロックします。
コネクタのロック方法
HCDPSケーブルの取り外し
上記各コネクタのロックを外し、ケーブルを外します。
HCDPSケーブル接続の注意点
HCDPS対応のシステムにおいて、H7-1103X02, H7-1119以外の HIFIXを搭載する場合も、(例 : H7-1032(標準)HIFIX等)同様に上記 HCDPSケーブルの接続が必要となります。
HCDPS HIFIXは、HCDPS用 PBを使用して下さい(標準 HIFIX用 PBは使用できない構造となっています)。
(7) その他の注意
HCDPS HIFIX
HCDPSケーブル
コネクタ挿入1
スライドロック2
システムにおいて、テスト・ヘッドとタイミング・キャリブレーションを実行した HIFIX は、常に同じものでなければなりません。また、そのキャリブレーション・データを使用するときにも、同じでなければなりません。テスト・ヘッドと HIFIX には、以下のシールが貼ってあります。システム名・HIFIX の種類・ステーション No. および号機数が同じであることを確認してから使用して下さい。(HIFIX のシールには、「HIFIX の種類」でアルファベットの区別をしていないものがあります。それは、" "「空欄」タイプと同種類を表します。
注意
9-501.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
または、
(注) テスト・ヘッド側に貼られたラベルにはシステム名、ステーション No. 、号機を表示しています。
SYSTEM T6682 T6672/T6673 STN1 STN2
SYSTEMNO
SECOND 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9
FIRST 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9
HIFIX TYPE ZIF SQ H2 384 HV
A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
9-6 01.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
9. HIFIXの取り扱い
• 対応表
種類 空欄 A B C D
1024 ch_ZIF(標準 HIFIX)
H7-1032 (H9-91390)
<BLM-024884><BLS-025672>
--
H7-1103X02(H9-91625)
<BIM-026889><BLS-025672>注 1
--
H3-010008(H9-91390)
<BIM-029521><BIS-029355>注 3
512 ch(互換 HIFIX)
H7-1030 (H9-91392)
<BLS-023967><BLS-026734><BLS-025673>
<BLS-026219>注 2
--
H7-1102 (H9-91392)
<BLS-026217>
<BLS-026219>
H7-1105(H9-91392)
<BLS-026217>
<BLS-026219>
H7-1119(H9-91924)
<BLS-027551>
<BLS-025673>注 1<BLS-026219>注 1
384 ch(互換 HIFIX)
H7-1031 (H9-91392)
<BLS-024333><BLS-025780><BLS-025673>
<BLS-026219>注 2
-- -- -- --
SQ_HIFIX(1024 ch)
--
H7-1106(H9-91930)
<BIS-027554><BIS-027575>
-- -- --
( )内はトランク・ケース< >内は DIAG_PBおよび CAL_PB注 1) 互換性版 “B”より対応注 2) OS “R6.02”より対応注 3) OS “R7.02”より対応HIFIXの輸送には、必ず定められたトランク・ケースを使用して下さい。
9-702.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10. 冷却装置
10. 冷却装置
冷却装置には、空冷方式と水冷方式の 2種類があります。
以下、10.1および 10.2では両方式の共通項目を、10.3では空冷方式、10.4は水冷方式について説明します。
10.1 安全について
ご使用の前に、よくお読みのうえ、正しくお使い下さい。
(空冷方式・水冷方式 共通)
• 異常時(焦げ臭い等)は直ちに停止し、電源を切り適切な処置をおとり下さい。異常なまま運転を続けると、感電・火災や故障の原因になります。
• 冷却媒体にフロリナート (FC-3283)以外を使用しないで下さい。
故障の原因になります。
• 改造しないで下さい。感電や火災の原因になります。
• 本来の目的以外には使用しないで下さい。
• 正しい容量のヒューズ以外は使用しないで下さい。
• ユニットのキャビネットや電装部のふたを外したまま運転しないで下さい。
• 電磁接触器を指で押して運転しないで下さい。感電、火災の原因になります。
• 濡れた手で操作しないで下さい。感電の原因になります。
• 可燃性スプレーを近くに置いたり、吹き付けたりしないで下さい。発火の原因になることかあります。
• 保護装置を短絡して、強制的な運転をしないで下さい。火災、爆発の原因になることがあります。
• 保護装置の設定は変更しないで下さい。火災などの原因になることがあります。
• ユニットの上に水の入った容器を乗せないで下さい。内部に浸透して電気的絶縁が劣化し、感電の原因になることがあります。
• ブライン・洗浄液などの廃棄は法の規定にしたがって処分して下さい。違法に廃棄すると、法にふれるばかりでなく、健康に悪影響を与える原因になることがあります。
• ユニットの上に乗ったり、物を乗せないで下さい。落下、転倒などにより、けがの原因になることがあります。
• ユニットを水洗いしないで下さい。感電の原因になることがあります。
10-101.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.1 安全について
• 可燃性ガスの漏れる恐れのある所へは設置しないで下さい。万一ガスが漏れてユニットの周囲に溜まると、発火、爆発の原因になることがあります。
• ユニットを特殊な雰囲気に放置しないでください。腐食などで感電、火災の原因になることがあります。
(空冷方式)
• 運転中は吸込口、吐出口に指や棒などを入れないで下さい。ファンが高速で回転しており、けがの原因になります。
• 圧縮機、冷媒配管などの高温部に触れないで下さい。やけどの原因になることがあります。
• クロスフィン・コイルのアルミ・フィンに触れないで下さい。けがの原因になることがあります。
• 冷媒、冷凍機油の種類を間違えないで下さい。火災、爆発の原因になることがあります。冷媒 : R134a 冷凍機油 : ATMOS RB68P(1.6リットル)
• 冷媒の溶栓をはんだ付けしないで下さい。規定外の溶栓を使用すると、爆発の原因になることがあります。
(水冷方式)
• 冷却水に水以外を使用しないで下さい。火災、爆発、故障の原因になります。
• 水質基準に適合した水を使用して下さい。水質の悪化は漏水などの原因になる恐れがあります。
• 長期間停止する場合は水を入れたまま放置しないで下さい。漏水の原因となることがあります。
• ドレンは確実に排水するよう施工して下さい。不確実な場合は、ほかの設備機器などを濡らす原因になることがあります。
10-2 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.2 冷却媒体
10.2 冷却媒体
10.2.1 フロリナート冷却媒体は、フロリナートを使用します。
フロリナートは以下に指定したもの以外、使用しないで下さい。
フロリナート (20 kg) : H9-91184フロリナート (5 kg) : H9-91186 相当品 : フッ素系不活性液体 フロリナート FC-3283
(住友スリーエム株式会社)
10.2.2 保管方法密栓し、室温の屋内にて管理して下さい。
10.2.3 取扱上の注意
(1) フロリナートの液および蒸気を、裸火や電熱ヒータ、アーク放電にさらさないようにして下さい。
(2) 作業場所での喫煙は禁止して下さい。
(3) 本テスト・システムは異常検出装置が装備されており、異常時には自動的に電源をシャット・ダウンしますが、万一異常を感じた場合には EMOスイッチを押して、システムの電源を緊急遮断して下さい。
(4) フロリナートの蒸気が作業場所に滞留しないように、適切な局所排気装置を設置して下さい。
(5) フロリナートの高濃度蒸気を繰り返し吸入したり、高濃度蒸気に長時間さらされることは避けて下さい。
(6) 眼に入った場合は、すぐに多量の水で洗浄して下さい。
皮膚に付いた場合は、水と石鹸で洗って下さい。
蒸気を吸入し気分が悪くなった場合、風通しの良い場所に移して衣服をゆるめて新鮮な空気を吸わせて下さい。
なお、フロリナートの安全性に関する詳しい情報は、付録 2. フロリナート製品安全データシートをご参照下さい。
10.2.4 廃棄フロリナートを廃棄する際は、認可された廃棄物処理業者に処理を委託して下さい。なお、困難な場合には弊社サービス・ステーションにご相談下さい。
10-301.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.3 冷却装置(空冷方式)
10.3 冷却装置(空冷方式)
10.3.1 各部の名称
図 10-1 各部の名称(空冷方式)
図 10-2 コントロール・パネル(空冷方式)
①冷水出口②冷水入口
③コントロール・パネル
④圧力計(高圧、低圧、吐出圧)
⑤液面計(タンク・レベル)
⑥流量計
⑦注入口
⑧ドレイン口
(正面図) (右側面図) (背面図)
[異常表示]
ALARM表示ランプ
S/D表示用キープ・リレー(KT1∼ KT6)
REMOTE/LOCALスイッチ
(通常は、「REMOTE」に設定)
リセット・ボタン
温度指示調節器
10-4 04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.3 冷却装置(空冷方式)
10.3.2 取扱上の注意
• フロリナート注入の際は、水や異物の混入に注意して下さい。
• 注入完了後は注入口を確実に閉めて下さい。
• 初めて設置した場合などは、ポンプのエア抜きが必要です。また、配管系統内にフロリナートが十分に充填されていない状態では、運転開始時にタンクの液面が急激に低下しますので、フロリナートを再注入するする必要があります。
• 装置内部の圧縮機保護のため、システム停止後 3分以内の再起動は行わないで下さい。3分以内に起動すると温度が安定しない場合があります。
10.3.3 異常表示とその処置方法冷却装置本体やその運転状態に異常が発生し保護装置が動作した場合、コントロール・パネル上の表示で、異常内容を確認することができます。
アラーム表示(運転続行)は、パネル上の各ランプの点灯で異常内容を表示します。
シャット・ダウン表示(運転停止)では、パネル上にある 6個のキープ・リレーの表示窓の状態で異常内容が表示されます。
表 10-1 シャット・ダウン (S/D)異常コード(空冷方式)
異常停止 /再起動を繰り返し行うことは、冷却装置の寿命を縮める結果を招くことがあります。
異常停止したときは、必ずその障害となる原因を取り除いてから、再起動するようにして下さい。なお、再起動は RESETボタンを押して異常状態を解除してから行って下さい。(各種保護装置は自動復帰式です。)
項目 キープ・リレー
KT1 KT2 KT3 KT4 KT5 KT6
(正常) 0 0 0 0 0 0
圧縮機電源電圧低下 1 0 0 0 0 0
過熱 0 1 0 0 0 0
圧縮機異常 0 0 1 0 0 0
冷媒高圧異常 0 0 0 1 0 0
逆相接続 1 0 1 0 0 0
ポンプ電源電圧低下 1 0 0 1 0 0
液面極低下 0 1 1 0 0 0
流量低下 0 1 0 1 0 0
ポンプ異常 0 0 1 1 0 0
水分混入 0 1 1 1 0 0
CPU異常 0 0 0 0 1 0
操作回路電源電圧低下 0 0 0 0 0 1
「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。
10-501.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.3 冷却装置(空冷方式)
表 10-2 異常発生時の処置方法(空冷方式)
• アラーム表示 (ALARM)
• シャット・ダウン表示 (S/D)
項目 事象 推定原因 処置
液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。
温度指示調節器が制御していない。
温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。
冷媒低圧異常 冷媒の吸入圧力が低い。 冷媒が漏れている。 漏れ箇所の修理が必要です。
項目 事象 推定原因 処置
圧縮機電源電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。ポンプ電源電圧低下操作回路電圧低下過熱 吐出ガス温度が高い
(135°C以上)。冷媒が不足している。 漏れの確認と冷媒の再充填が必要で
す。膨張弁が故障している。 過熱度の調整または交換が必要です。電動機が故障している。 交換修理が必要です。
ファン・モータの温度が高い。
ファンが障害物により動かない。 障害物を取り除いて下さい。ファンのモータが故障している。 交換修理が必要です。
圧縮機異常 圧縮機モータに異常な大電流が流れる。
フロリナート温度が高い。 フロリナート温度を下げて下さい。給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。相電流にばらつきがある。圧縮機の故障 交換修理が必要です。
冷媒高圧異常 冷媒の吐出圧力が高い。 室温やチラーが吸込む空気の温度が高い。
周囲の空気温度を下げて下さい。
空気の取入口(背面)や吹出口(上面)がふさがっている。
空気取入口の障害物を取り除いて下さい。
エア・フィルタや凝縮器が汚れている。
エア・フィルタなどの汚れを除去して下さい。
ファン・モータの故障 交換修理が必要です。逆相接続 装置が起動しない。 逆相接続している。 任意の二相を入れ換えて下さい。液面極低下 タンク液面が低下してい
る。ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
配管やポンプから漏洩している。 漏れ箇所の修理が必要です。流量低下 流量が少ない。 架間ホースなど配管が正しく接続さ
れていない。架間ホース等を正しく接続して下さい。
配管内のエア抜きがされていない。 配管のエア抜きをして下さい。配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要で
す。配管やポンプから漏洩している。 漏れ箇所の修理が必要です。 (注 1)ポンプが故障している。 交換修理が必要です。
ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。
配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。
ポンプのモータが故障している。 交換修理が必要です。架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。
架間ホース等を正しく接続して下さい。
架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。
水分混入 フロリナートに水分が混入している。
タンクに誤って水を注入した。 配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。
CPU異常 シーケンサの自己診断で異常検出
シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。
(表示なし) 装置が起動しない。 ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。
10-6 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.3 冷却装置(空冷方式)
(注 1) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。
10.3.4 定期点検とオーバホール
(1) 日常点検
日常の指導・運転時に以下の点検を実施して下さい。
表 10-3 日常点検(空冷方式)
(2) 定期点検
1年ごとに冷却装置の機器各部の点検・調整・清掃を行います。この点検作業は、専門業者に依頼して下さい。
(3) オーバホール
冷却装置の故障を未然に防止し機器の状態を維持するために、部品交換・調整・検査作業の実施(オーバホール)を推奨します。
オーバホール時期は、機器の使用状況や設置環境で異なりますので、別途ご相談下さい。
項目 点検内容 判定基準 記録要否
冷媒圧力(高圧側)
運転時に圧力計が正常値であることを確認する。
0.5~ 1.75 MPa
要
冷媒圧力(低圧側) 0.35~ 0.5 MPa
フロリナート吐出圧力
0.25~ 0.45 MPa
フロリナート温度 運転時に正常値であることを確認する。
25.0°C(設定値)±1.0°
運転音・振動 運転時、異常な振動・運転音がないことを確認する。
異常な振動・運転音なきこと。
否フロリナート漏れ 運転時、フロリナート系統
より漏れがないことを確認する。
漏れなきこと。
タンク液面位置 タンク液面形の液面位置を確認する。
液面が適正位置であること。
10-701.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.4 冷却装置(水冷方式)
10.4 冷却装置(水冷方式)
冷却装置(水冷方式)には 2種類のタイプがあります。タイプごとに異常発生時の表示内容や項目が異なりますので、ご確認の上、使用してください。ご使用の冷却装置がいずれのタイプになるかは、図 10-4を参照の上、ご確認下さい。
10.4.1 各部の名称
図 10-3 各部の名称(水冷方式)
⑨コントロール・パネル
⑥タンク
①フロリナート出口(Aタイプ) フロリナート入口(Bタイプ)
②フロリナート入口(Aタイプ)
フロリナート出口(Bタイプ)④冷却水入口 ③冷却水出口
⑪フィルタ
⑩流量切換バルブ
⑦注入口
⑧液面計(タンク・レベル)
⑤ドレイン口
(正面図) (背面図)
10-8 04.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.4 冷却装置(水冷方式)
図 10-4 コントロール・パネル(水冷方式)
[異常表示]
ALARM表示ランプ
S/D表示用キープ・リレーKT1 ~ KT5(Aタイプ)
KT1 ~ KT6(Bタイプ)
REMOTE/LOCALスイッチ
(通常は、「REMOTE」に設定)
リセット・ボタン
温度指示調節器
10-904.8.23
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
10.4 冷却装置(水冷方式)
10.4.2 取扱上の注意
• フロリナート注入の際は、水や異物の混入に注意して下さい。
• 注入完了後は注入口を確実に閉めて下さい。
• 初めて設置した場合などは、ポンプのエア抜きが必要です。また、配管系統内にフロリナートが十分に充填されていない状態では、運転開始時にタンクの液面が急激に低下しますので、フロリナートを再注入する必要があります。
• 冷却水の水質が悪いと、本来の性能が発揮できないばかりか、場合によっては装置内部の腐食障害につながる恐れがあります。冷却水は日本冷凍空調工業会水質基準 (JRA-GL-02-1994)に適合するものを使用して下さい。
• 純水や蒸留水、イオン交換水などは装置の故障を招く恐れがあるため、使用しないで下さい。やむを得ず使用する場合でも、金属イオンに関する基準を遵守した上で、比抵抗が102 ~ 104 Ω・cm程度となるように調整が必要です。
• 各種の水処理薬品を使用すると、下記水質に影響を及ぼす場合があります。水処理薬品については、専門業者に相談の上、適切に使用して下さい。
表 10-4 水質基準
項目 基準値
基準項目
pH [25°C] 6.0~ 8.0
導電率 [25°C](µS/cm) 400以下
塩化イオン Cl-(mgCl-/l) 50以下
硫酸イオン SO42- (mgSO4
2-/l) 50以下
酸消費量 [pH 4.8] (mgCaCO3/l) 50以下
全硬度 (mgCaCO3/l) 70以下
イオン状シリカ SiO2(mgSiO2/L) 30以下
カルシウム硬度 (mgCaCO3/l) 50以下
参考項目
鉄 Fe (mgFe/l) 1.0 以下
硫化イオン S2- (mgS2-/l) 検出しないこと
アンモニウムイオン NH4+ (mgNH4
+/l) 1.0以下
銅 (mgCu/l) 1.0 以下
残留塩素 (mgCl/l) 0.3 以下
遊離炭酸 (mgCO2/l) 4.0 以下
10-10 04.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
10.4.3 異常表示とその処置方法冷却装置本体やその運転状態に異常が発生し保護装置が動作した場合、コントロール・パネル上の表示で、異常内容を確認することができます。
アラーム表示(運転続行)は、パネル上の各ランプの点灯で異常内容を表示します。
シャット・ダウン表示(運転停止)では、パネル上にある 5個(Aタイプ)または 6個(Bタイプ)のキープ・リレーの表示窓の状態で異常内容が表示されます。
表 10-5 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Aタイプ)
項目 キープ・リレー
KT1 KT2 KT3 KT4 KT5
(正常) 0 0 0 0 0
操作回路電圧低下 0 0 0 0 1
CPU異常 0 0 0 1 0
ポンプ異常 0 0 1 0 0
漏水、水分混入 0 1 0 0 0
フロリナート流量低下 0 1 1 0 0
液面極低下 1 0 0 0 0
主回路電圧低下 1 0 1 0 0
冷却水流量低下 1 1 0 0 0
「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。
10-1104.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
表 10-6 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Bタイプ)
異常停止/再起動を繰り返し行うことは、冷却装置の寿命を縮める結果を招くことがあります。
異常停止したときは、必ずその障害となる原因を取り除いてから、再起動するようにして下さい。なお、再起動は RESETボタンを押して異常状態を解除してから行って下さい。(各種保護装置は自動復帰式です。)
項目 キープ・リレー
KT1 KT2 KT3 KT4 KT5 KT6
(正常) 0 0 0 0 0 0
操作回路電圧低下 0 0 0 0 0 1
CPU異常 0 0 0 0 1 0
フロリナート温度異常 0 0 0 1 0 0
循環ポンプ差圧低下 0 0 1 0 0 0
ポンプ異常 0 0 1 1 0 0
冷却水流量低下 0 1 0 0 0 0
フロリナート流量低下 0 1 0 1 0 0
液面極低下 0 1 1 0 0 0
水分混入 0 1 1 1 0 0
主回路電圧低下 1 0 0 0 0 0
漏水 1 0 0 1 0 0
逆相検出 1 0 1 0 0 0
「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。
10-12 04.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
表 10-7 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Aタイプ)
• アラーム表示 (ALARM)
• シャット・ダウン表示 (S/D)
(注 1) 安全装置が漏水を検出すると、装置側で冷却水供給を遮断し、保有水量以上の漏洩を防止するようになっています。漏洩した水はドレイン・パンに溜まりますので、ドレイン口から排出して下さい。ただし、お客様にご準備いただく冷却水供給配管など、装置外部での漏水は検知しません。もし、装置の周囲で漏水が確認されたときは、直ちにシステムをシャット・ダウンし、設備側の冷却水供給を停止して下さい。
項目 事象 推定原因 処置
液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。
温度指示調節器が制御していない。
温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。
項目 事象 推定原因 処置
ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。
配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。
ポンプのモータが故障している。
交換修理が必要です。
架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。
架間ホース等を正しく接続して下さい。
架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。
漏水検知 装置内で水が漏れている。 冷水の配管から漏水している。 漏れ箇所の修理が必要です。(注 1)
フロリナート・タンクに水が混入した。
配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。
熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。流量低下 フロリナートの流量が少ない。 架間ホースなど配管が正しく
接続されていない。架間ホース等を正しく接続して下さい。
配管内のエア抜きがされていない。
配管のエア抜きをして下さい。
配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。
配管やポンプから漏洩している。
漏れ箇所の修理が必要です。
ポンプが故障している。 交換修理が必要です。冷却水流量低下 流量が少ない。 必要流量が供給されていない。 必要流量を供給して下さい。
冷水配管が正しく接続されていない。
正しく接続して下さい。
液面極低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
配管やポンプから漏洩している。
漏れ箇所の修理が必要です。(注 2)
操作回路電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。主回路電圧低下CPU異常 シーケンサの自己診断で異常
検出。シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。
(表示なし) 装置が起動しない。 逆相接続している。 任意の二相を入れ換えて下さい。ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。
10-1304.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
(注 2) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。
10-14 04.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
表 10-8 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Bタイプ)
• アラーム表示 (ALARM)
• シャット・ダウン表示 (S/D)
項目 事象 推定原因 処置
液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
項目 事象 推定原因 処置
フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。
温度指示調節器が制御していない。
温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。
ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。
配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。
ポンプのモータが故障している。
交換修理が必要です。
架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。
架間ホース等を正しく接続して下さい。
架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。
漏水 装置内で水が漏れている。 冷水の配管から漏水している。 漏れ箇所の修理が必要です。(注 1)
熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。水分検出 フロリナート・タンクに水が
混入している。フロリナート・タンクに水を混入した。
配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。
熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。フロリナート流量低下 TH側のフロリナートの流量が
少ない。架間ホースなど配管が正しく接続されていない。
架間ホース等を正しく接続して下さい。
配管内のエア抜きがされていない。
配管のエア抜きをして下さい。
配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。
配管やポンプから漏洩している。
漏れ箇所の修理が必要です。
ポンプが故障している。 交換修理が必要です。循環ポンプ差圧低下 フロリナート循環回路の流量
が少ない。配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要
です。配管やポンプから漏洩している。
漏れ箇所の修理が必要です。
ポンプが故障している。 交換修理が必要です。冷却水流量低下 流量が少ない。 必要流量が供給されていない。 必要流量を供給して下さい。
冷水配管が正しく接続されていない。
正しく接続して下さい。
液面極低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。
フロリナートを補充して下さい。
配管やポンプから漏洩している。
漏れ箇所の修理が必要です。(注 2)
操作回路電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。主回路電圧低下CPU異常 シーケンサの自己診断で異常
検出。シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。
逆相検出 電源が逆相接続されている。 電源配線が間違っている。 相を確認の上、正しく配線して下さい。
(表示なし) 装置が起動しない。 ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。
10-1504.8.23
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10.4 冷却装置(水冷方式)
(注 1) 安全装置が漏水を検出すると、装置側で冷却水供給を遮断し、保有水量以上の漏洩を防止するようになっています。漏洩した水はドレイン・パンに溜まりますので、ドレイン口から排出して下さい。ただし、お客様にご準備いただく冷却水供給配管など、装置外部での漏水は検知しません。もし、装置の周囲で漏水が確認されたときは、直ちにシステムをシャット・ダウンし、設備側の冷却水供給を停止して下さい。
(注 2) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。
10.4.4 定期点検とオーバホール
(1) 日常点検
日常の始動・運転時に以下の点検を実施して下さい。
表 10-9 日常点検(水冷方式)
(2) 定期点検
1年ごとに冷却装置の機器各部の点検・調整・清掃を行います。この点検作業は、専門業者に依頼して下さい。
(3) オーバホール
冷却装置の故障を未然に防止し機器の状態を維持するために、部品交換・調整・検査作業の実施(オーバホール)を推奨します。
オーバホール時期は、機器の使用状況や設置環境で異なりますので、別途ご相談下さい。
項目 点検内容 判定基準 記録要否
フロリナート温度 運転時に正常値であることを確認する。
25.0°C(設定値)±1.0° 要
運転音・振動 運転時、異常な振動・運転音がないことを確認する。
異常な振動・運転音なきこと。
否フロリナート漏れ 運転時、フロリナート系統
より漏れがないことを確認する。
漏れなきこと。
タンク液面位置 タンク液面形の液面位置を確認する。
液面が適正位置であること。
10-16 04.8.23
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11. スペア・パーツ・キット
11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット A1
スペア・パーツ・キット A2
スペア・パーツ・キット A3
スペア・パーツ・キット A4
スペア・パーツ・キット A5
スペア・パーツ・キット A6
名称 品名 数量DPSDPS CONTFTU TH I/FTRIGGER
BGR-023715X02BGR-024897BGR-024704BGR-023948
1111
名称 品名 数量FP(16 MW) BMR-025625 1
名称 品名 数量FP(64 MW) BMR-025625X02 1
名称 品名 数量PE BGR-024908 1
名称 品名 数量DIST&EVENT(16 MW)DIST&TRIG
BMR-025624BMR-025624X02
11
名称 品名 数量DIST&EVENT(64 MW)DIST&TRIG
BMR-025624X03BMR-025624X02
11
11-101.6.8
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11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット B1
スペア・パーツ・キット B2
スペア・パーツ・キット C1
スペア・パーツ・キット C2
スペア・パーツ・キット D1
スペア・パーツ・キット D2
名称 品名 数量PG I/FSNCSQPG
BGR-024736BIR-024637BIR-024735
111
名称 品名 数量PFB I/F3TERMPS CONNECTPE I/FPFB I/F2
BGR-025628BGD-023949BGR-023950BGR-023664BGR-024779
11111
名称 品名 数量DPU I/F LOGICDPU I/F ANALOGUDC CONTUDCMDCMDC CONTMONITOR I/F
BGR-024899BGR-023709BGR-023712BGR-023713X02BGR-023711X02BGR-023710BGR-024885X02
1111111
名称 品名 数量TC4 SYSTEM MONITORTC4 TBUS I/FTC4 BUS I/FTC4 (CPU-50)ENGINE-50
BGR-025647BGR-025646BGR-025648WBL-H36770TC4WBL-H36770ENG
11111
名称 品名 数量SCPG(4G)SCPG(4G)
BGR-024737BGR-024737X02
11
名称 品名 数量SCPG(8G)SCPG(8G)
BGR-024737X03BGR-024737X04
11
11-2 01.6.8
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11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット D3
スペア・パーツ・キット D4
スペア・パーツ・キット D5
スペア・パーツ・キット E1
スペア・パーツ・キット E3
スペア・パーツ・キット E4
名称 品名 数量PDS BGR-024733 1
名称 品名 数量ALPGTERMAFM CONTAFMFMUX
BIR-025004BGR-021770BGR-024404BIR-024405BGR-024734
11111
名称 品名 数量PMMDS
BIR-021769BGR-024733
11
名称 品名 数量AFLT BGK-022377X02 1
名称 品名 数量DCAP2 BGK-024239 1
名称 品名 数量TC SIDE I/FCMEM1CALMixed side I/F
BGK-023083BGK-022429BGK-025626BGK-022544BGK-023082
11111
11-301.6.8
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11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット F1
スペア・パーツ・キット F2
スペア・パーツ・キット F3
スペア・パーツ・キット F4
スペア・パーツ・キット F5
スペア・パーツ・キット F6
スペア・パーツ・キット G1
スペア・パーツ・キット H2
名称 品名 数量TH BPSTH 11V
WUN-7V5V7V5V7VWBL-PS11V68A
21
名称 品名 数量FTU BPS RRFTU BPS RLFTU BPS L
WUN-2R5V5V3V5V2R5VWUN-2R5VDM5VDM2R5VWUN-5V2R5V3B5V
111
名称 品名 数量DPU BPS RDPU BPS L
WUN-11V2B15V2B18VWUN-11V2B5V3B
11
名称 品名 数量PGU BPS RPGU BPS LAFM BPS
WUN-5V3V5V2V5VWUN-5V3V5V2R5V5VWUN-3V2V3V2V3V
111
名称 品名 数量TH BPSTH 11V
WUN-9V5V9V5V9VWBL-PS11V68A
21
名称 品名 数量MIXED BPS1MIXED BPS2
WUN-5V3V2R5V5V2VWUN-5V15V2B5V2V
11
名称 品名 数量HCDPS CONTHCDPS
BGR-026272BGR-026273
11
名称 品名 数量HSCLK3 BGR-025817X03 1
11-4 04.8.23
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11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット I1
スペア・パーツ・キット I2
スペア・パーツ・キット I3
スペア・パーツ・キット I4
スペア・パーツ・キット I5
スペア・パーツ・キット I6
スペア・パーツ・キット I7
名称 規格名 数量PCI-I/FTBUSTBUS-CALCMHEM3
WBL-H36824AMIFBGR-026798X02BGR-026798BGR-027102BGR-026836
11111
名称 規格名 数量WVFG/D MEMWVFG PEWVFD PE
BGR-026312BIR-026826BIR-026276
111
名称 規格名 数量DCAP3 BGR-027118 1
名称 規格名 数量GSAWG-DACGSAWG/TMU PE
WBL-H33391DACBGR-026743
11
名称 規格名 数量TMU-MEMORYTMU-ANALOGGSAWG/TMU PE
BGR-026312X02BGR-026721BGR-026743
111
名称 規格名 数量Sampler2 BGR-026908 1
名称 規格名 数量TC5 SYSTEM MONITORTC5 TBUS I/FTC5 BUS I/FTC5 (CPU50)
BGK-026860BGK-025646X02BGK-026741WUN-H36857
1111
11-504.8.23
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11. スペア・パーツ・キット
スペア・パーツ・キット I8
スペア・パーツ・キット I9
スペア・パーツ・キット I10
スペア・パーツ・キット J1
名称 規格名 数量DPS CONT (PSRR)DPS3
BGR-027534BGR-023715X03
11
名称 規格名 数量FTU-TH I/FTRIG73ACCAL
BGR-024704BGR-027127BGR-026792
111
名称 規格名 数量PAFG/PAFD PEPAFG/PAFD MEMORYPAFG/PAFD ANALOG
BIR-026910BGR-027829WBL-H33419ANA
111
名称 規格名 数量EWS IFIO IFIO OPTION IF
BGC-027896BGR-027897BGR-027898
111
11-6 05.5.7
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12. メンテナンス・パーツ
12. メンテナンス・パーツ
(注) 弊社工場での交換作業となります。
品 目 アドバンテスト規格
本体架台エア・フィルタ KH9-9780
本体架台回転フレーム・エア・フィルタ KH9-9783
1024ch架台エア・フィルタ KH9-9776
1024ch架台回転フレーム・エア・フィルタ KH9-9781
空冷チラー (CDU)用エア・フィルタ MPX-J5405A
テスト・ヘッド用エア・フィルタ・スポンジ MPX-J0789A
ユニット電源用ファン・ブロック KH3-91533
ユニット用ファン・ブロック KH3-91532
テスト・ヘッド用ファン・ブロック WUN-H30497FAN
本体架台内用ボード・ハンドル KH9-90287
テスト・ヘッド内用ボード・ハンドル(左) MAE-H0813A
テスト・ヘッド内用ボード・ハンドル(右) MAE-H0814A
標準付属品 H3-93597
標準付属品 (TC7) KH3-910277
HCDPS-OP THケーブル(PCON: 1本) H3-94114
HCDPS-OP THケーブル(HCDPS: 2本) H3-94115
HCDPS-OP HIFIX (H7-1119)内ケーブル (1 SET)(注) H3-94128
HCDPS-OP HIFIX (H7-1103x02)内ケーブル (1 SET)(注) H3-93898
12-105.5.7
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13. 部品交換
13. 部品交換
13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順
(1) システム電源を OFFし、システムに供給しているエアの元栓を閉めます。
(2) 図 13-1に示すように、HIFIXのエア・コネクタ Aを外します。
図 13-1エア・コネクタ Aの取り外し
注意 : コネクタ Bを押さず、コネクタ Aを無理矢理引っ張って外すと、コネクタが破損しますので注意して下さい。
エア・コネクタ A
エア・コネクタ B
パイプ・ロック
引く
押す
コネクタ Bの青いパイプ・ロックのロック部
分を下に押しながらコネクタ A を上に引っ
張って外す。
13-102.2.15
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13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順
(3) エア・コネクタ Bを固定しているナットをレンチで外します。(図 13-3参照)次にエア・コネクタ Bを固定してあるカプラ・ベースをテスト・ヘッド本体から外します。
図 13-2 エア・コネクタ Bとカプラ・ベースの取り外し
カプラ・ベース
このナットを外す。1
このネジを外し、
ベースを取り外す。
2
13-2 02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順
(4) 図 13-3のように、透明のパイプと黒のパイプに付いているカプラを取り外します。
図 13-3 カプラの取り外し
(5) 交換カプラをホースに取り付けます。
(カプラにホースを深くさすことにより、カプラがホースに固定されます。)
(6) (3)で説明した逆の作業を行い、カプラをカプラ・ベースに固定します。
押す
引く
パイプ・ロック
ホース
コネクタ B の青いパイプ・ロックを
コネクタ B 側に押し込みながらホー
スを引っ張り、カプラを外す。
13-302.2.15
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付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス
付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンスボード規格名 : BLG-024720
A1.1 エア圧力設定
(1) エア源をハイ・カプラ (YEE-001065)に接続し、約 490 kPaのエアを入れます。
(2) レギュレータのメータを約 490 kPaにバルブで調節します。
A1.2 エアコン・パネルのケーブル接続
① メンテナンス時
ショート・コネクタ (DCB-RR9786X01)を J5(TH1), J6(TH1)に差し込みます。J7(TH2), J8(TH2)には、ショート・コネクタ (DCB-RR9786X01)を常時装着しておきます。
(備考) BLG-024720ではメンテナンス・スイッチを stationごとに独立して持っています。メンテナンス・スイッチの 1番目が TH1で、2番目が TH2です。
J5,J6 に差し込むショート・コネクタがない場合、メンテナンス・スイッチ (S1) の 1
を ONすることでメンテナンス可能になります。このとき、エアコン・パネル・ボードの安全回路が無効になるため、メンテナンス終了後、メンテナンス・スイッチ (S1)
を必ず OFFにして下さい。
警告
A1-101.8.9
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付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス
② 周辺機器とのケーブル接続
図 A1-1 BLG-024720エアコン・パネル(正面図)
J5、J6、J7、J8には、標準でショート用コネクタ (DCB-RR9786X01)がついています。プローバの種類、HIFIXの種類により、プローバ・コントロール・ケーブル(DCB-SS9793X03)を表 A1-1に従って接続して下さい。シャフトロック式プローバに接続するときは、「REMOTE BOX 取扱説明書」を参照して、接続して下さい。
表 A1-1 プローバ・コントロール・ケーブルの接続
エアコント・パネル端子番号 J5 J6 J7 J8
ターンオーバ式プローバ
512 ch HIFIX プローバTH1
ショート・コネクタ
プローバTH2
ショート・コネクタ
1024 ch HIFIX ショート・コネクタ
プローバTH1
ショート・コネクタ
プローバTH2
シャフトロック式プローバ ショート・コネクタ
プローバTH1
ショート・コネクタ
プローバTH2
A1-2 01.9.28
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付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
(1) 1024 chパフォーマンス・ボード ピン配置
A3-101.6.8
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付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
(2) 1024 chパフォーマンス・ボード信号名称表
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT1-4[1/16]J1 J2 J3 J4
A B A B A B A B1 GND 1 HS25G 1 GND 1 IP1AG 1 GND 1 MTX1G 1 GND 1 IN1AG2 HS26G 2 HS25 2 IP1BG 2 IP1A 2 MTX2G 2 MTX1 2 IN1BG 2 IN1A3 HS26 3 HS25G 3 IP1B 3 IP1AG 3 MTX2 3 MTX1G 3 IN1B 3 IN1AG4 HS26G 4 8GND 4 IP1BG 4 520GND 4 MTX2G 4 264GND 4 IN1BG 4 776GND5 73GND 5 5 585GND 5 5 329GND 5 5 841GND 56 73 6 8GND 6 585 6 520GND 6 329 6 264GND 6 841 6 776GND7 73GND 7 8 7 585GND 7 520 7 329GND 7 264 7 841GND 7 7768 8 8GND 8 8 520GND 8 8 264GND 8 8 776GND9 73GND 9 7GND 9 585GND 9 519GND 9 329GND 9 263GND 9 841GND 9 775GND
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A3-2 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT5-8[2/16]
J5 J6 J7 J8
A B A B A B A B1 GND 1 HS27G 1 GND 1 VH1AG 1 GND 1 MTX3G 1 GND 1 VL1AG2 HS28G 2 HS27 2 VH1BG 2 VH1A 2 MTX4G 2 MTX3 2 VL1BG 2 VL1A3 HS28 3 HS27G 3 VH1B 3 VH1AG 3 MTX4 3 MTX3G 3 VL1B 3 VL1AG4 HS28G 4 136GND 4 VH1BG 4 648GND 4 MTX4G 4 392GND 4 VL1BG 4 904GND5 201GND 5 5 713GND 5 5 457GND 5 5 969GND 56 201 6 136GND 6 713 6 648GND 6 457 6 392GND 6 969 6 904GND7 201GND 7 136 7 713GND 7 648 7 457GND 7 392 7 969GND 7 9048 8 136GND 8 8 648GND 8 8 392GND 8 8 904GND9 201GND 9 135GND 9 713GND 9 647GND 9 457GND 9 391GND 9 969GND 9 903GND
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A3-301.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT9-12[3/16]
J9 J10 J11 J12
A B A B A B A B1 GND 1 HS29G 1 GND 1 VOS1SG 1 GND 1 VRH1FG 1 GND 1 VIMA1G2 HS30G 2 HS29 2 VOS1FG 2 VOS1S 2 VRH1SG 2 VRH1F 2 VIMB1G 2 VIMA13 HS30 3 HS29G 3 VOS1F 3 VOS1SG 3 VRH1S 3 VRH1FG 3 VIMB1 3 VIMA1G4 HS30G 4 16GND 4 VOS1FG 4 528GND 4 VRH1SG 4 272GND 4 VIMB1G 4 784GND5 65GND 5 5 577GND 5 5 321GND 5 5 833GND 56 65 6 16GND 6 577 6 528GND 6 321 6 272GND 6 833 6 784GND7 65GND 7 16 7 577GND 7 528 7 321GND 7 272 7 833GND 7 7848 8 16GND 8 8 528GND 8 8 272GND 8 8 784GND9 65GND 9 15GND 9 577GND 9 527GND 9 321GND 9 271GND 9 833GND 9 783GND
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A3-4 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT13-16[4/16]
J13 J14 J15 J16
A B A B A B A B1 GND 1 HS31G 1 GND 1 VSB1G 1 GND 1 VRL1FG 1 GND 1 VI1G2 HS32G 2 HS31 2 VIM1G 2 VSB1 2 VRL1SG 2 VRL1F 2 2 VI13 HS32 3 HS31G 3 VIM1 3 VSB1G 3 VRL1S 3 VRL1FG 3 3 VI1G4 HS32G 4 144GND 4 VIM1G 4 656GND 4 VRL1SG 4 400GND 4 4 912GND5 193GND 5 5 705GND 5 5 449GND 5 5 961GND 56 193 6 144GND 6 705 6 656GND 6 449 6 400GND 6 961 6 912GND7 193GND 7 144 7 705GND 7 656 7 449GND 7 400 7 961GND 7 9128 8 144GND 8 8 656GND 8 8 400GND 8 8 912GND9 193GND 9 143GND 9 705GND 9 655GND 9 449GND 9 399GND 9 961GND 9 911GND
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A3-501.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT17-20[5/16]
J17 J18 J19 J20
A B A B A B A B1 GND 1 IP2AG 1 GND 1 HS1G 1 GND 1 IN2AG 1 GND 1 MTX5G2 IP2BG 2 IP2A 2 HS2G 2 HS1 2 IN2BG 2 IN2A 2 MTX6G 2 MTX53 IP2B 3 IP2AG 3 HS2 3 HS1G 3 IN2B 3 IN2AG 3 MTX6 3 MTX5G4 IP2BG 4 992GND 4 HS2G 4 480GND 4 IN2BG 4 736GND 4 MTX6G 4 224GND5 913GND 5 5 401GND 5 5 657GND 5 5 145GND 56 913 6 992GND 6 401 6 480GND 6 657 6 736GND 6 145 6 224GND7 913GND 7 992 7 401GND 7 480 7 657GND 7 736 7 145GND 7 2248 8 992GND 8 8 480GND 8 8 736GND 8 8 224GND9 913GND 9 991GND 9 401GND 9 479GND 9 657GND 9 735GND 9 145GND 9 223GND
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A3-6 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT21-24[6/16]
J21 J22 J23 J24
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A3-701.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT25-28[7/16]
J25 J26 J27 J28
A B A B A B A B1 GND 1 VOS2SG 1 GND 1 HS5G 1 GND 1 VIMA2G 1 GND 1 VRH2FG2 VOS2FG 2 VOS2S 2 HS6G 2 HS5 2 VIMB2G 2 VIMA2 2 VRH2SG 2 VRH2F3 VOS2F 3 VOS2SG 3 HS6 3 HS5G 3 VIMB2 3 VIMA2G 3 VRH2S 3 VRH2FG4 VOS2FG 4 984GND 4 HS6G 4 472GND 4 VIMB2G 4 728GND 4 VRH2SG 4 216GND5 921GND 5 5 409GND 5 5 665GND 5 5 153GND 56 921 6 984GND 6 409 6 472GND 6 665 6 728GND 6 153 6 216GND7 921GND 7 984 7 409GND 7 472 7 665GND 7 728 7 153GND 7 2168 8 984GND 8 8 472GND 8 8 728GND 8 8 216GND9 921GND 9 983GND 9 409GND 9 471GND 9 665GND 9 727GND 9 153GND 9 215GND
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48 L412 48 L468 48 DP23-F 48 DP19-F 48 L156 48 L212 48 CW43 48 PBRLVCC
49 L413 49 L467 49 DP23-F 49 DP19-G 49 L157 49 L211 49 UC12 4950 L414 50 L466 50 DP23-G 50 50 L158 50 L210 50 UC13 50 TM2XG51 L415 51 L465 51 RFG2XG 51 51 L159 51 L209 51 SG2XG 51 TM2X52 L416 52 52 RFG2X 52 52 L160 52 52 SG2X 52 TM2XG53 53 53 RFG2XG 53 RFG2AG 53 53 53 SG2XG 53 SG2AG54 54 54 RFG2BG 54 RFG2A 54 54 54 SG2BG 54 SG2A55 55 RSV25 55 RFG2B 55 RFG2AG 55 55 RSV27 55 SG2B 55 SG2AG56 56 RSV26 56 RFG2BG 56 CPS19 56 56 RSV28 56 SG2BG 56 CPS23
A3-8 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT29-32[8/16]
J29 J30 J31 J32
A B A B A B A B1 GND 1 VSB2G 1 GND 1 HS7G 1 GND 1 VI2G 1 GND 1 VRL2FG2 VIM2G 2 VSB2 2 HS8G 2 HS7 2 MASKG 2 VI2 2 VRL2SG 2 VRL2F3 VIM2 3 VSB2G 3 HS8 3 HS7G 3 MASK 3 VI2G 3 VRL2S 3 VRL2FG4 VIM2G 4 856GND 4 HS8G 4 344GND 4 MASKG 4 600GND 4 VRL2SG 4 88GND5 793GND 5 5 281GND 5 5 537GND 5 5 25GND 56 793 6 856GND 6 281 6 344GND 6 537 6 600GND 6 25 6 88GND7 793GND 7 856 7 281GND 7 344 7 537GND 7 600 7 25GND 7 888 8 856GND 8 8 344GND 8 8 600GND 8 8 88GND9 793GND 9 855GND 9 281GND 9 343GND 9 537GND 9 599GND 9 25GND 9 87GND
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A3-901.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT33-36[9/16]
J33 J34 J35 J36
A B A B A B A B1 GND 1 HS9G 1 GND 1 IP3AG 1 GND 1 MTX9G 1 GND 1 IN3AG2 HS10G 2 HS9 2 IP3BG 2 IP3A 2 MTX10G 2 MTX9 2 IN3BG 2 IN3A3 HS10 3 HS9G 3 IP3B 3 IP3AG 3 MTX10 3 MTX9G 3 IN3B 3 IN3AG4 HS10G 4 40GND 4 IP3BG 4 552GND 4 MTX10G 4 296GND 4 IN3BG 4 808GND5 105GND 5 5 617GND 5 5 361GND 5 5 873GND 56 105 6 40GND 6 617 6 552GND 6 361 6 296GND 6 873 6 808GND7 105GND 7 40 7 617GND 7 552 7 361GND 7 296 7 873GND 7 8088 8 40GND 8 8 552GND 8 8 296GND 8 8 808GND9 105GND 9 39GND 9 617GND 9 551GND 9 361GND 9 295GND 9 873GND 9 807GND
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A3-10 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT37-40[10/16]
J37 J38 J39 J40
A B A B A B A B1 GND 1 HS11G 1 GND 1 VH3AG 1 GND 1 MTX11G 1 GND 1 VL3AG2 HS12G 2 HS11 2 VH3BG 2 VH3A 2 MTX12G 2 MTX11 2 VL3BG 2 VL3A3 HS12 3 HS11G 3 VH3B 3 VH3AG 3 MTX12 3 MTX11G 3 VL3B 3 VL3AG4 HS12G 4 168GND 4 VH3BG 4 680GND 4 MTX12G 4 424GND 4 VL3BG 4 936GND5 233GND 5 5 745GND 5 5 489GND 5 5 1001GND 56 233 6 168GND 6 745 6 680GND 6 489 6 424GND 6 1001 6 936GND7 233GND 7 168 7 745GND 7 680 7 489GND 7 424 7 1001GND 7 9368 8 168GND 8 8 680GND 8 8 424GND 8 8 936GND9 233GND 9 167GND 9 745GND 9 679GND 9 489GND 9 423GND 9 1001GND 9 935GND
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A3-1101.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT41-44[11/16]
J41 J42 J43 J44
A B A B A B A B1 GND 1 HS13G 1 GND 1 VOS3SG 1 GND 1 VRH3FG 1 GND 1 VIMA3G2 HS14G 2 HS13 2 VOS3FG 2 VOS3S 2 VRH3SG 2 VRH3F 2 VIMB3G 2 VIMA33 HS14 3 HS13G 3 VOS3F 3 VOS3SG 3 VRH3S 3 VRH3FG 3 VIMB3 3 VIMA3G4 HS14G 4 48GND 4 VOS3FG 4 560GND 4 VRH3SG 4 304GND 4 VIMB3G 4 816GND5 97GND 5 5 609GND 5 5 353GND 5 5 865GND 56 97 6 48GND 6 609 6 560GND 6 353 6 304GND 6 865 6 816GND7 97GND 7 48 7 609GND 7 560 7 353GND 7 304 7 865GND 7 8168 8 48GND 8 8 560GND 8 8 304GND 8 8 816GND9 97GND 9 47GND 9 609GND 9 559GND 9 353GND 9 303GND 9 865GND 9 815GND
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A3-12 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT45-48[12/16]
J45 J46 J47 J48
A B A B A B A B1 GND 1 HS15G 1 GND 1 VSB3G 1 GND 1 SGCALG 1 GND 1 VI3G2 HS16G 2 HS15 2 VIM3G 2 VSB3 2 SMPDGG 2 SGCAL 2 2 VI33 HS16 3 HS15G 3 VIM3 3 VSB3G 3 SMPDG 3 SGCALG 3 3 VI3G4 HS16G 4 176GND 4 VIM3G 4 688GND 4 SMPDGG 4 432GND 4 4 944GND5 225GND 5 5 737GND 5 5 481GND 5 5 993GND 56 225 6 176GND 6 737 6 688GND 6 481 6 432GND 6 993 6 944GND7 225GND 7 176 7 737GND 7 688 7 481GND 7 432 7 993GND 7 9448 8 176GND 8 8 688GND 8 8 432GND 8 8 944GND9 225GND 9 175GND 9 737GND 9 687GND 9 481GND 9 431GND 9 993GND 9 943GND
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A3-1301.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT49-52[13/16]
J49 J50 J51 J52
A B A B A B A B1 GND 1 IP4AG 1 GND 1 HS17G 1 GND 1 IN4AG 1 GND 1 MTX13G2 IP4BG 2 IP4A 2 HS18G 2 HS17 2 IN4BG 2 IN4A 2 MTX14G 2 MTX133 IP4B 3 IP4AG 3 HS18 3 HS17G 3 IN4B 3 IN4AG 3 MTX14 3 MTX13G4 IP4BG 4 1024GND 4 HS18G 4 512GND 4 IN4BG 4 768GND 4 MTX14G 4 256GND5 945GND 5 5 433GND 5 5 689GND 5 5 177GND 56 945 6 1024GND 6 433 6 512GND 6 689 6 768GND 6 177 6 256GND7 945GND 7 1024 7 433GND 7 512 7 689GND 7 768 7 177GND 7 2568 8 1024GND 8 8 512GND 8 8 768GND 8 8 256GND9 945GND 9 1023GND 9 433GND 9 511GND 9 689GND 9 767GND 9 177GND 9 255GND
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A3-14 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT53-56[14/16]
J53 J54 J55 J56
A B A B A B A B1 GND 1 VH4AG 1 GND 1 HS19G 1 GND 1 VL4AG 1 GND 1 MTX15G2 VH4BG 2 VH4A 2 HS20G 2 HS19 2 VL4BG 2 VL4A 2 MTX16G 2 MTX153 VH4B 3 VH4AG 3 HS20 3 HS19G 3 VL4B 3 VL4AG 3 MTX16 3 MTX15G4 VH4BG 4 896GND 4 HS20G 4 384GND 4 VL4BG 4 640GND 4 MTX16G 4 128GND5 817GND 5 5 305GND 5 5 561GND 5 5 49GND 56 817 6 896GND 6 305 6 384GND 6 561 6 640GND 6 49 6 128GND7 817GND 7 896 7 305GND 7 384 7 561GND 7 640 7 49GND 7 1288 8 896GND 8 8 384GND 8 8 640GND 8 8 128GND9 817GND 9 895GND 9 305GND 9 383GND 9 561GND 9 639GND 9 49GND 9 127GND
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A3-1501.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT57-60[15/16]
J57 J58 J59 J60
A B A B A B A B1 GND 1 VOS4SG 1 GND 1 HS21G 1 GND 1 VIMA4G 1 GND 1 VRH4FG2 VOS4FG 2 VOS4S 2 HS22G 2 HS21 2 VIMB4G 2 VIMA4 2 VRH4SG 2 VRH4F3 VOS4F 3 VOS4SG 3 HS22 3 HS21G 3 VIMB4 3 VIMA4G 3 VRH4S 3 VRH4FG4 VOS4FG 4 1016GND 4 HS22G 4 504GND 4 VIMB4G 4 760GND 4 VRH4SG 4 248GND5 953GND 5 5 441GND 5 5 697GND 5 5 185GND 56 953 6 1016GND 6 441 6 504GND 6 697 6 760GND 6 185 6 248GND7 953GND 7 1016 7 441GND 7 504 7 697GND 7 760 7 185GND 7 2488 8 1016GND 8 8 504GND 8 8 760GND 8 8 248GND9 953GND 9 1015GND 9 441GND 9 503GND 9 697GND 9 759GND 9 185GND 9 247GND
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A3-16 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線
• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT61-64[16/16]
J61 J62 J63 J64
A B A B A B A B1 GND 1 VSB4G 1 GND 1 HS23G 1 GND 1 VI4G 1 GND 1 EXCK1G2 VIM4G 2 VSB4 2 HS24G 2 HS23 2 2 VI4 2 EXCK2G 2 EXCK13 VIM4 3 VSB4G 3 HS24 3 HS23G 3 3 VI4G 3 EXCK2 3 EXCK1G4 VIM4G 4 888GND 4 HS24G 4 376GND 4 4 632GND 4 EXCK2G 4 120GND5 825GND 5 5 313GND 5 5 569GND 5 5 57GND 56 825 6 888GND 6 313 6 376GND 6 569 6 632GND 6 57 6 120GND7 825GND 7 888 7 313GND 7 376 7 569GND 7 632 7 57GND 7 1208 8 888GND 8 8 376GND 8 8 632GND 8 8 120GND9 825GND 9 887GND 9 313GND 9 375GND 9 569GND 9 631GND 9 57GND 9 119GND
10 826GND 10 10 314GND 10 10 570GND 10 10 58GND 1011 826 11 887GND 11 314 11 375GND 11 570 11 631GND 11 58 11 119GND12 826GND 12 887 12 314GND 12 375 12 570GND 12 631 12 58GND 12 11913 13 887GND 13 13 375GND 13 13 631GND 13 13 119GND14 826GND 14 886GND 14 314GND 14 374GND 14 570GND 14 630GND 14 58GND 14 118GND15 827GND 15 15 315GND 15 15 571GND 15 15 59GND 1516 827 16 886GND 16 315 16 374GND 16 571 16 630GND 16 59 16 118GND17 827GND 17 886 17 315GND 17 374 17 571GND 17 630 17 59GND 17 11818 18 886GND 18 18 374GND 18 18 630GND 18 18 118GND19 827GND 19 885GND 19 315GND 19 373GND 19 571GND 19 629GND 19 59GND 19 117GND20 828GND 20 20 316GND 20 20 572GND 20 20 60GND 2021 828 21 885GND 21 316 21 373GND 21 572 21 629GND 21 60 21 117GND22 828GND 22 885 22 316GND 22 373 22 572GND 22 629 22 60GND 22 11723 23 885GND 23 23 373GND 23 23 629GND 23 23 117GND24 828GND 24 884GND 24 316GND 24 372GND 24 572GND 24 628GND 24 60GND 24 116GND25 829GND 25 25 317GND 25 25 573GND 25 25 61GND 2526 829 26 884GND 26 317 26 372GND 26 573 26 628GND 26 61 26 116GND27 829GND 27 884 27 317GND 27 372 27 573GND 27 628 27 61GND 27 11628 28 884GND 28 28 372GND 28 28 628GND 28 28 116GND29 829GND 29 883GND 29 317GND 29 371GND 29 573GND 29 627GND 29 61GND 29 115GND30 830GND 30 30 318GND 30 30 574GND 30 30 62GND 3031 830 31 883GND 31 318 31 371GND 31 574 31 627GND 31 62 31 115GND32 830GND 32 883 32 318GND 32 371 32 574GND 32 627 32 62GND 32 11533 33 883GND 33 33 371GND 33 33 627GND 33 33 115GND34 830GND 34 882GND 34 318GND 34 370GND 34 574GND 34 626GND 34 62GND 34 114GND35 831GND 35 35 319GND 35 35 575GND 35 35 63GND 3536 831 36 882GND 36 319 36 370GND 36 575 36 626GND 36 63 36 114GND37 831GND 37 882 37 319GND 37 370 37 575GND 37 626 37 63GND 37 11438 38 882GND 38 38 370GND 38 38 626GND 38 38 114GND39 831GND 39 881GND 39 319GND 39 369GND 39 575GND 39 625GND 39 63GND 39 113GND40 832GND 40 40 320GND 40 40 576GND 40 40 64GND 4041 832 41 881GND 41 320 41 369GND 41 576 41 625GND 41 64 41 113GND42 832GND 42 881 42 320GND 42 369 42 576GND 42 625 42 64GND 42 11343 43 881GND 43 43 369GND 43 43 625GND 43 43 113GND44 832GND 44 L376 44 320GND 44 DP25-G 44 576GND 44 L120 44 64GND 44 PFB1245 L313 45 L375 45 DP29-G 45 DP25-D 45 L57 45 L119 45 CW12 45 PFB1346 L314 46 L374 46 DP29-D 46 DP25-S 46 L58 46 L118 46 CW13 46 PFB1447 L315 47 L373 47 DP29-S 47 DP25-F 47 L59 47 L117 47 CW14 47 PFB1548 L316 48 L372 48 DP29-F 48 DP25-F 48 L60 48 L116 48 CW15 48 PBS49 L317 49 L371 49 DP29-F 49 DP25-G 49 L61 49 L115 49 UC30 49 AIRG450 L318 50 L370 50 DP29-G 50 UDC3GUD 50 L62 50 L114 50 UC31 50 EVO3G51 L319 51 L369 51 UDC3GND 51 UDC3S 51 L63 51 L113 51 EVO4G 51 EVO352 L320 52 52 UDC3F 52 UDC3GUD 52 L64 52 52 EVO4 52 EVO3G53 53 53 UDC3GND 53 AFG4PG 53 53 53 EVO4G 53 AFDCKG54 54 54 AFG4NG 54 AFG4P 54 54 54 CLKOG 54 AFDCK55 55 RSV61 55 AFG4N 55 AFG4PG 55 55 RSV63 55 CLKO 55 AFDCKG56 56 RSV62 56 AFG4NG 56 CPS25 56 56 RSV64 56 CLKOG 56 CPS29
A3-1701.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)
付録 4. HIFIX配置
A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)
(1) 512ch HIFIX配置
A4-101.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)
(2) 512 ch HIFIX信号名称表
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
1-4
257-260
129-132
385-388
5-8
261-264
133-136
389-392
9-12
265-268
137-140
393-396
13-16
269-272
141-144
397-400
17-20
273-276
145-148
401-404
21-24
277-280
149-152
405-408
25-28
281-284
153-156
409-412
29-32
285-288
157-160
413-416
65-68
321-324
193-196
449-452
69-72
325-328
197-200
453-456
73-76
329-332
201-204
457-460
77-80
333-336
205-208
461-464
81-84
337-340
209-212
465-468
85-88
341-344
213-216
469-472
89-92
345-348
217-220
473-476
93-96
349-352
221-224
477-480
1-4
257-260
129-132
385-388
5-8
261-264
133-136
389-392
9-12
265-268
137-140
393-396
13-16
269-272
141-144
397-400
17-20
273-276
145-148
401-404
21-24
277-280
149-152
405-408
25-28
281-284
153-156
409-412
29-32
285-288
157-160
413-416
65-68
321-324
193-196
449-452
69-72
325-328
197-200
453-456
73-76
329-332
201-204
457-460
77-80
333-336
205-208
461-464
81-84
337-340
209-212
465-468
85-88
341-344
213-216
469-472
89-92
345-348
217-220
473-476
93-96
349-352
221-224
477-480
(DUTSYS)
(CPS10)
CW2
VRH4F
CW7
CW36
VRH4S
CW41
AFG2N
CW46
CW47
AFD2P
MTX2
SMPL2
AFG2PG
VOFF2
CW10
(CPS12)
CW15
DIAG0
AFG3P
PFB1
AFD3P
PFB6
DUTCLK
PFB11
(DCAPSTA)
CPS27
SMPL3
(DUTG)
(CPS9)
CW1
VRH4FG
CW6
CW35
VRH4SG
CW40
AFG2NG
CW45
DCT4
AFD2PG
MTX2G
SMPL2G
CPS32
VOFF2G
CW9
(CPS11)
CW14
DIAG1
AFG3PG
PFB0
AFD3PG
PFB5
DUTCLKG
PFB10
(DCAPSTAG)
PFB15
SMPL3G
0V
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
PBRLVCC
PBP15V
PBM15V
AFD2N
0V
SMPL2O
0V
PBRLVCC
CPS31
PBVCC
PBVEE
AFG3N
PBRLVCC
AFD3N
PBP15V
DUTEV1
PBM15V
DUTEV3
0V
SMPL3O
CW0
(PS9G)
CW3
(PS10G)
CW32
VRL2G
CW37
AFG2PG
CW42
0V
DCT1
0V
AFD2NG
MTX3G
SMPL2OG
CW8
VRH2G
CW11
(PS11G)
0V
CPS28
0V
AFG3NG
PFB2
AFD3NG
PFB7
DUTEV1G
PFB12
DUTEV3G
CLD1
SMPL3OG
CPS1
(PS9S)
CW5
(PS10S)
CW33
VRL2F
CW38
AFG2P
CW43
0V
DCT2
0V
MTX1
MTX3
SMPLTRG
CPS2
VRH2F
CW13
(PS11S)
0V
VOFF3
0V
VRH3F
PFB4
VRH3S
PFB9
DUTEV2
PFB14
DUTEV4
CLD3
AFDCLK
CPS5
(PS9F)
CW4
(PS10F)
CW34
VRL2S
CW39
CW44
0V
DCT3
0V
MTX1G
SMPLTRGG
CPS6
VRH2S
CW12
(PS11F)
0V
VOFF3G
0V
VRH3FG
PFB3
VRH3SG
PFB8
DUTEV2G
PFB13
DUTEV4G
CLD2
AFDCLKG
S S S S
G G G G
S S S S
G G G G
L L L L
L L L L
DU
S
PU
AU
S
DU
G
AU
G
AU
F
1 2 3 4
1 2 3 4
65 66 67 68
65 66 67 68 1 3
65 67
2 4 66 68
Insi
de
A4-2 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)
(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。
(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
33-36
289-292
161-164
417-420
37-40
293-296
165-168
421-424
41-44
297-300
169-172
425-428
45-48
301-304
173-176
429-432
49-52
305-308
177-180
433-436
53-56
309-312
181-184
437-440
57-60
313-316
185-188
441-444
61-64
317-320
189-192
445-448
97-100
353-356
225-228
481-484
101-104
357-360
229-232
485-488
105-108
361-364
233-236
489-492
109-112
365-368
237-240
493-496
113-116
369-372
241-244
497-500
117-120
373-376
245-248
501-504
121-124
377-380
249-252
505-508
125-128
381-384
253-256
509-512
33-36
289-292
161-164
417-420
37-40
293-296
165-168
421-424
41-44
297-300
169-172
425-428
45-48
301-304
173-176
429-432
49-52
305-308
177-180
433-436
53-56
309-312
181-184
437-440
57-60
313-316
185-188
441-444
61-64
317-320
189-192
445-448
97-100
353-356
225-228
481-484
101-104
357-360
229-232
485-488
105-108
361-364
233-236
489-492
109-112
365-368
237-240
493-496
113-116
369-372
241-244
497-500
117-120
373-376
245-248
501-504
121-124
377-380
249-252
505-508
125-128
381-384
253-256
509-512
EXTEV1
CW18
MTX4
CW23
MTX5
MTX8
MTX10
MTX13
AFD1P
SMPL1
AFG1PG
VOFF1
EXTCLK1
CW26
CW31
CW52
(CPS14)
CW57
(CPS16)
CW62
CW63
HGND
VOFF4
SMPL4
EXTEV1G
CW17
MTX4G
CW22
MTX5G
MTX8G
MTX10G
MTX13G
AFD1PG
SMPL1G
VOFF1G
EXTCLK1G
CPS30
CW25
CW30
CW51
(CPS13)
CW56
(CPS15)
CW61
CPS26
HGNDG
VOFF4G
CPS25
SMPL4G
0V
EXTEV2
PBRLVCC
PBVCC
MTX6
PBVEE
MTX11
PBRLVCC
AFD1N
PBP15V
SMPL1O
PBM15V
MTX16
0V
0V
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
CPS29
PBRLVCC
PBP15V
AFD4P
PBM15V
AFD4P
0V
SMPL4O
CW16
EXTEV2G
CW19
MTX6G
MTX9G
MTX11G
MTX14G
AFD1NG
0V
SMPL1OG
0V
MTX16G
VRL1G
AFG1PG
CW24
VRH1G
CW27
(PS12G)
(PS13G)
CW48
(PS14G)
CW53
(PS15G)
CW58
0V
AFD4PG
0V
AFG4PG
(PS16G)
SMPL4OG
CPS3
EXTCLK2
CW21
MTX7
MTX9
MTX12
MTX14
MTX15
0V
SMPLDIAG
0V
AFG1N
VRL1F
AFG1P
CPS4
VRH1F
CW29
(PS12S)
(PS13S)
CW49
(PS14S)
CW54
(PS15S)
CW59
0V
AFD4N
0V
AFG4N
(PS16S)
SMPLCLK
CPS7
EXTCLK2G
CW20
MTX7G
MTX12G
MTX15G
0V
SMPLDIAGG
0V
AFG1NG
VRL1S
CPS8
VRH1S
CW28
(PS12F)
(PS13F)
CW50
(PS14F)
CW55
(PS15F)
CW60
0V
AFD4NG
0V
AFG4NG
(PS16F)
SMPLCLKG
A4-301.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)
A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)
(1) 384 ch HIFIX配置
A4-4 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)
(2) 384 ch HIFIX信号名称表
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
1-4
257-260
129-132
5-8
261-264
133-136
9-12
265-268
137-140
13-16
269-272
141-144
17-20
273-276
145-148
21-24
277-280
149-152
25-28
281-284
153-156
29-32
285-288
157-160
65-68
321-324
193-196
69-72
325-328
197-200
73-76
329-332
201-204
77-80
333-336
205-208
81-84
337-340
209-212
85-88
341-344
213-216
89-92
345-348
217-220
93-96
349-352
221-224
1-4
257-260
129-132
385-388
5-8
261-264
133-136
389-392
9-12
265-268
137-140
393-396
13-16
269-272
141-144
397-400
17-20
273-276
145-148
401-404
21-24
277-280
149-152
405-408
25-28
281-284
153-156
409-412
29-32
285-288
157-160
413-416
65-68
321-324
193-196
449-452
69-72
325-328
197-200
453-456
73-76
329-332
201-204
457-460
77-80
333-336
205-208
461-464
81-84
337-340
209-212
465-468
85-88
341-344
213-216
469-472
89-92
345-348
217-220
473-476
93-96
349-352
221-224
477-480
(DUTSYS)
(CPS10)
CW2
VRH4F
CW7
CW36
VRH4S
CW41
AFG2N
CW46
CW47
AFD2P
MTX2
SMPL2
AFG2PG
VOFF2
CW10
(CPS12)
CW15
DIAG0
AFG3P
PFB1
AFD3P
PFB6
DUTCLK
PFB11
(DCAPSTA)
CPS27
SMPL3
(DUTG)
(CPS9)
CW1
VRH4FG
CW6
CW35
VRH4SG
CW40
AFG2NG
CW45
DCT4
AFD2PG
MTX2G
SMPL2G
CPS32
VOFF2G
CW9
(CPS11)
CW14
DIAG1
AFG3PG
PFB0
AFD3PG
PFB5
DUTCLKG
PFB10
(DCAPSTAG)
PFB15
SMPL3G
0V
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
PBRLVCC
PBP15V
PBM15V
AFD2N
0V
SMPL2O
0V
PBRLVCC
CPS31
PBVCC
PBVEE
AFG3N
PBRLVCC
AFD3N
PBP15V
DUTEV1
PBM15V
DUTEV3
0V
SMPL3O
CW0
(PS9G)
CW3
(PS10G)
CW32
VRL2G
CW37
AFG2PG
CW42
0V
DCT1
0V
AFD2NG
MTX3G
SMPL2OG
CW8
VRH2G
CW11
(PS11G)
0V
CPS28
0V
AFG3NG
PFB2
AFD3NG
PFB7
DUTEV1G
PFB12
DUTEV3G
CLD1
SMPL3OG
CPS1
(PS9S)
CW5
(PS10S)
CW33
VRL2F
CW38
AFG2P
CW43
0V
DCT2
0V
MTX1
MTX3
SMPLTRG
CPS2
VRH2F
CW13
(PS11S)
0V
VOFF3
0V
VRH3F
PFB4
VRH3S
PFB9
DUTEV2
PFB14
DUTEV4
CLD3
AFDCLK
CPS5
(PS9F)
CW4
(PS10F)
CW34
VRL2S
CW39
CW44
0V
DCT3
0V
MTX1G
SMPLTRGG
CPS6
VRH2S
CW12
(PS11F)
0V
VOFF3G
0V
VRH3FG
PFB3
VRH3SG
PFB8
DUTEV2G
PFB13
DUTEV4G
CLD2
AFDCLKG
S S S S
G G G G
S S S S
G G G G
L L L L
L L L L
DU
S
PU
AU
S
DU
G
AU
G
AU
F
1 2 3 4
1 2 3 4
65 66 67 68
65 66 67 68 1 3
65 67
2 4 66 68
Insi
de
追加Mixedオプション一覧参照
A4-501.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)
(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。
(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
33-36
289-292
161-164
37-40
293-296
165-168
41-44
297-300
169-172
45-48
301-304
173-176
49-52
305-308
177-180
53-56
309-312
181-184
57-60
313-316
185-188
61-64
317-320
189-192
97-100
353-356
225-228
101-104
357-360
229-232
105-108
361-364
233-236
109-112
365-368
237-240
113-116
369-372
241-244
117-120
373-376
245-248
121-124
377-380
249-252
125-128
381-384
253-256
33-36
289-292
161-164
417-420
37-40
293-296
165-168
421-424
41-44
297-300
169-172
425-428
45-48
301-304
173-176
429-432
49-52
305-308
177-180
433-436
53-56
309-312
181-184
437-440
57-60
313-316
185-188
441-444
61-64
317-320
189-192
445-448
97-100
353-356
225-228
481-484
101-104
357-360
229-232
485-488
105-108
361-364
233-236
489-492
109-112
365-368
237-240
493-496
113-116
369-372
241-244
497-500
117-120
373-376
245-248
501-504
121-124
377-380
249-252
505-508
125-128
381-384
253-256
509-512
EXTEV1
CW18
MTX4
CW23
MTX5
MTX8
MTX10
MTX13
AFD1P
SMPL1
AFG1PG
VOFF1
EXTCLK1
CW26
CW31
CW52
(CPS14)
CW57
(CPS16)
CW62
CW63
HGND
VOFF4
SMPL4
EXTEV1G
CW17
MTX4G
CW22
MTX5G
MTX8G
MTX10G
MTX13G
AFD1PG
SMPL1G
VOFF1G
EXTCLK1G
CPS30
CW25
CW30
CW51
(CPS13)
CW56
(CPS15)
CW61
CPS26
HGNDG
VOFF4G
CPS25
SMPL4G
0V
EXTEV2
PBRLVCC
PBVCC
MTX6
PBVEE
MTX11
PBRLVCC
AFD1N
PBP15V
SMPL1O
PBM15V
MTX16
0V
0V
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
CPS29
PBRLVCC
PBP15V
AFD4P
PBM15V
AFD4P
0V
SMPL4O
CW16
EXTEV2G
CW19
MTX6G
MTX9G
MTX11G
MTX14G
AFD1NG
0V
SMPL1OG
0V
MTX16G
VRL1G
AFG1PG
CW24
VRH1G
CW27
(PS12G)
(PS13G)
CW48
(PS14G)
CW53
(PS15G)
CW58
0V
AFD4PG
0V
AFG4PG
(PS16G)
SMPL4OG
CPS3
EXTCLK2
CW21
MTX7
MTX9
MTX12
MTX14
MTX15
0V
SMPLDIAG
0V
AFG1N
VRL1F
AFG1P
CPS4
VRH1F
CW29
(PS12S)
(PS13S)
CW49
(PS14S)
CW54
(PS15S)
CW59
0V
AFD4N
0V
AFG4N
(PS16S)
SMPLCLK
CPS7
EXTCLK2G
CW20
MTX7G
MTX12G
MTX15G
0V
SMPLDIAGG
0V
AFG1NG
VRL1S
CPS8
VRH1S
CW28
(PS12F)
(PS13F)
CW50
(PS14F)
CW55
(PS15F)
CW60
0V
AFD4NG
0V
AFG4NG
(PS16F)
SMPLCLKG
追加Mixedオプション一覧参照
A4-6 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)
(3) 384 ch HIFIX追加Mixedオプション信号名称表
SLOTNo.
D1SD1G
D2SD2G
D3SD3G
D4SD4G
D5SD5G
D6SD6G
D7SD7G
D8SD8G
4 VFD1BNVFD1BNG
VFG1AVFG1AG
VFG1BVFG1BG
VFG1XVFG1XG
8 AFE1RPAFE1RPG
AFE1RNAFE1RNG
AFECALAFECALG
AFE1FLAFE1FLG
12 VFD1ANVFD1ANG
VFD1APVFD1APG
VFD1BPVFD1BPG
VFD1XPVFD1XPG
16 AFE1LPAFE1LPG
AFE1LNAFE1LNG
AFE1NTAFE1NTG
20 VFD2BNVFD2BNG
VFG2AVFG2AG
VFG2BVFG2BG
VFG2XVFD2XG
24 AFE2RPAFE2RPG
AFE2RNAFE2RNG
AFE2FLAFE2FLG
28 VFD2ANVFD2ANG
VFD2APVFD2APG
VFD2BPVFD2BPG
VFD2XPVFD2XPG
32 AFE2LPAFE2LPG
AFE2LNAFE2LNG
AFE2NTAFE2NTG
36 SGCALSGCALG
SG1ASG1AG
SG1BSG1BG
SG1XSG1XG
40
44
48
52 SG2ASG2AG
SG2BSG2BG
SG2XSG2XG
56
60
64
L L L L
L L L L
DU
S
PU
AU
S
DU
G
AU
G
AU
F
D1G
D2G
D3G
D4G
D1S
D2S
D3S
D4S
D5G
D6G
D7G
D8G
D5S
D6S
D7S
D8S
385
387
449
451
386
388
450
452
Insi
de
A4-701.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)
A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)
(1) 512 ch+AV HIFIX配置、512 ch+AV2 HIFIX配置
A4-8 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)
(2) 512 ch+AV HIFIX, 512 ch+AV2 HIFIX信号名称表
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
1-4
257-260
129-132
385-388
5-8
261-264
133-136
389-392
9-12
265-268
137-140
393-396
13-16
269-272
141-144
397-400
17-20
273-276
145-148
401-404
21-24
277-280
149-152
405-408
25-28
281-284
153-156
409-412
29-32
285-288
157-160
413-416
65-68
321-324
193-196
449-452
69-72
325-328
197-200
453-456
73-76
329-332
201-204
457-460
77-80
333-336
205-208
461-464
81-84
337-340
209-212
465-468
85-88
341-344
213-216
469-472
89-92
345-348
217-220
473-476
93-96
349-352
221-224
477-480
1-4
257-260
129-132
385-388
5-8
261-264
133-136
389-392
9-12
265-268
137-140
393-396
13-16
269-272
141-144
397-400
65-68
321-324
193-196
449-452
69-72
325-328
197-200
453-456
73-76
329-332
201-204
457-460
77-80
333-336
205-208
461-464
(DUTSYS)
(CPS10)
CW2
VRH4F
CW7
CW36
VRH4S
CW41
AFG2N
CW46
CW47
AFD2P
MTX2
SMPL2
AFG2PG
VOFF2
CW10
(CPS12)
CW15
DIAG0
AFG3P
PFB1
AFD3P
PFB6
DUTCLK
PFB11
(DCAPSTA)
CPS27
SMPL3
(DUTG)
(CPS9)
CW1
VRH4FG
CW6
CW35
VRH4SG
CW40
AFG2NG
CW45
DCT4
AFD2PG
MTX2G
SMPL2G
CPS32
VOFF2G
CW9
(CPS11)
CW14
DIAG1
AFG3PG
PFB0
AFD3PG
PFB5
DUTCLKG
PFB10
(DCAPSTAG)
PFB15
SMPL3G
(PBS512)
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
PBRLVCC
PBP15V
PBM15V
AFD2N
0V
SMPL2O
0V
PBRLVCC
CPS31
PBVCC
PBVEE
AFG3N
PBRLVCC
AFD3N
PBP15V
DUTEV1
PBM15V
DUTEV3
0V
SMPL3O
CW0
(PS9G)
CW3
(PS10G)
CW32
VRL2G
CW37
AFG2PG
CW42
0V
DCT1
0V
AFD2NG
MTX3G
SMPL2OG
CW8
VRH2G
CW11
(PS11G)
0V
CPS28
0V
AFG3NG
PFB2
AFD3NG
PFB7
DUTEV1G
PFB12
DUTEV3G
CLD1
SMPL3OG
CPS1
(PS9S)
CW5
(PS10S)
CW33
VRL2F
CW38
AFG2P
CW43
0V
DCT2
0V
MTX1
MTX3
SMPLTRG
CPS2
VRH2F
CW13
(PS11S)
0V
VOFF3
0V
VRH3F
PFB4
VRH3S
PFB9
DUTEV2
PFB14
DUTEV4
CLD3
AFDCLK
CPS5
(PS9F)
CW4
(PS10F)
CW34
VRL2S
CW39
CW44
0V
DCT3
0V
MTX1G
PBS512M
SMPLTRGG
CPS6
VRH2S
CW12
(PS11F)
0V
VOFF3G
0V
VRH3FG
PFB3
VRH3SG
PFB8
DUTEV2G
PFB13
DUTEV4G
CLD2
AFDCLKG
追加Mixedオプション一覧参照
S S S S
G G G G
S S S S
G G G G
L L L L
L L L L
DU
S
PU
AU
S
DU
G
AU
G
AU
F
1 2 3 4
1 2 3 4
65 66 67 68
65 66 67 68 1 3
65 67
2 4 66 68
Insi
de
A4-901.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)
(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。
(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。
SLOT
No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF
33
34
35
36
37
38
39
40
41
42
43
44
45
46
47
48
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
33-36
289-292
161-164
417-420
37-40
293-296
165-168
421-424
41-44
297-300
169-172
425-428
45-48
301-304
173-176
429-432
49-52
305-308
177-180
433-436
53-56
309-312
181-184
437-440
57-60
313-316
185-188
441-444
61-64
317-320
189-192
445-448
97-100
353-356
225-228
481-484
101-104
357-360
229-232
485-488
105-108
361-364
233-236
489-492
109-112
365-368
237-240
493-496
113-116
369-372
241-244
497-500
117-120
373-376
245-248
501-504
121-124
377-380
249-252
505-508
125-128
381-384
253-256
509-512
33-36
289-292
161-164
417-420
37-40
293-296
165-168
421-424
41-44
297-300
169-172
425-428
45-48
301-304
173-176
429-432
97-100
353-356
225-228
481-484
101-104
357-360
229-232
485-488
105-108
361-364
233-236
489-492
109-112
365-368
237-240
493-496
EXTEV1
CW18
MTX4
CW23
MTX5
MTX8
MTX10
MTX13
AFD1P
SMPL1
AFG1PG
VOFF1
EXTCLK1
CW26
CW31
CW52
(CPS14)
CW57
(CPS16)
CW62
CW63
HGND
VOFF4
SMPL4
EXTEV1G
CW17
MTX4G
CW22
MTX5G
MTX8G
MTX10G
MTX13G
AFD1PG
SMPL1G
VOFF1G
EXTCLK1G
CPS30
CW25
CW30
CW51
(CPS13)
CW56
(CPS15)
CW61
CPS26
HGNDG
VOFF4G
CPS25
SMPL4G
0V
EXTEV2
PBRLVCC
PBVCC
MTX6
PBVEE
MTX11
PBRLVCC
AFD1N
PBP15V
SMPL1O
PBM15V
MTX16
0V
0V
PBRLVCC
PBVCC
PBVEE
CPS29
PBRLVCC
PBP15V
AFD4P
PBM15V
AFD4P
0V
SMPL4O
CW16
EXTEV2G
CW19
MTX6G
MTX9G
MTX11G
MTX14G
AFD1NG
0V
SMPL1OG
0V
MTX16G
VRL1G
AFG1PG
CW24
VRH1G
CW27
(PS12G)
(PS13G)
CW48
(PS14G)
CW53
(PS15G)
CW58
0V
AFD4PG
0V
AFG4PG
(PS16G)
SMPL4OG
CPS3
EXTCLK2
CW21
MTX7
MTX9
MTX12
MTX14
MTX15
0V
SMPLDIAG
0V
AFG1N
VRL1F
AFG1P
CPS4
VRH1F
CW29
(PS12S)
(PS13S)
CW49
(PS14S)
CW54
(PS15S)
CW59
0V
AFD4N
0V
AFG4N
(PS16S)
SMPLCLK
CPS7
EXTCLK2G
CW20
MTX7G
MTX12G
MTX15G
0V
SMPLDIAGG
0V
AFG1NG
VRL1S
CPS8
VRH1S
CW28
(PS12F)
(PS13F)
CW50
(PS14F)
CW55
(PS15F)
CW60
0V
AFD4NG
0V
AFG4NG
(PS16F)
SMPLCLKG
追加Mixedオプション一覧参照
A4-10 01.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)
(3) 512 ch+AV HIFIX, 512 ch+AV2 HIFIX追加Mixedオプション信号名称表
SLOT
No.A1S A1G A2S A2G A3S A3G A4S A4G
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
32
49
50
51
52
53
54
55
56
57
58
59
60
61
62
63
64
PS32G
TMU1A
TMGT1
PS31G
AFE2RP
SG2A
UDC1G
AFE2LP
RD2BP
RD2AP
PS28G
RFR1
RFG2A
UDC2G
TMU2A
PS27G
PS30G
VFG1A
VFD1AP
UDC3G
VFG2A
VFD2AP
UDC4G
PS29G
AFE1RP
SG1A
AFE1LP
PS26G
RD1BP
RD1AP
RFG1A
PS25G
PS32G
TMU1AG
TMGT1G
PS31G
AFE2RPG
SG2AG
UDC1S
AFE2LPG
RD2BPG
RD2APG
PS28G
RFR1G
RFG2AG
UDC2S
TMU2AG
PS27G
PS30G
VFG1AG
VFD1APG
UDC3S
VFG2AG
VFD2APG
UDC4S
PS29S
AFE1RPG
SG1AG
AFE1LPG
PS26G
RD1BPG
RD1APG
RFG1AG
PS25G
PS32S
TMU1B
TMGT2
PS31S
AFE2RN
SG2B
UDC1F
AFE2LN
RD2BN
RD2AN
PS28S
RFR2
RFG2B
UDC2F
TMU2B
PS27S
PS30S
VFG1B
VFD1AN
UDC3F
VFG2B
VFD2AN
UDC4F
PS29S
AFE1RN
SG1B
AFE1LN
PS26S
RD1BN
RD1AN
RFG1B
PS25S
PS32F
TMU1BG
TMGT2G
PS31F
AFE2RNG
SG2BG
UDC1GU
AFE2LNG
RD2BNG
RD2ANG
PS28F
RFR2G
RFG2BG
UDC2GU
TMU2BG
PS27F
PS30F
VFG1BG
VFD1ANG
UDC3GU
VFG2BG
VFD2ANG
UDC4GU
PS29F
AFE1RNG
SG1BG
AFE1LNG
PS26F
RD1BNG
RD1ANG
RFG1BG
PS25F
PS32F
TMU1X
TMGT3
PS31F
AFE2RPB
SG2X
AFECAL
AFE2LPB
RD2BPX
RD2APX
PS28F
RFR3
RFG2X
RFGTRG
TMU2X
PS27F
PS30F
VFG1X
VFD1BP
VFD1XP
VFG2X
VFD2BP
VFD2XP
PS29F
AFE1RPB
SG1X
AFE1LPB
PS26F
RD1BPX
RD1APX
RFG1X
PS25F
PS32GU
TMU1XG
TMGT3G
PS31GU
AFE2RPBG
SG2XG
AFECALG
AFE2LPBG
RD2BPXG
RD2APXG
PS28GU
RFR3G
RFG2XG
RFGTRGG
TMU2XG
PS27GU
PS30GU
VFG1XG
VFD1BPG
VFD1XPG
VFG2XG
VFD2BPG
VFD2XPG
PS29GU
AFE1RPBG
SG1XG
AFE1LPBG
PS26GU
RD1BPXG
RD1APXG
RFG1XG
PS25GU
AFE1NT
TMGT4
SMPL2B
AFE2RNB
SG2XB
SGCAL
AFE2LNB
RD2BNX
RD2ANX
AFE2FL
RFR4
RFG2XB
RFGCLK
SMPL3B
AFE1FL
VFG1XB
VFD1BN
VFD1XB
VFG2XB
VFD2BN
VFD2XB
SMPL1B
AFE1RNB
SG1XB
AFE1LNB
AFE2NT
RD1BNX
RD1ANX
RFG1XB
SMPL4B
AFE1NTG
TMGT4G
SMPL2BG
AFE2RNBG
SG2XBG
SGCALG
AFE2LNBG
RD2BNXG
RD2ANXG
AFE2FLG
RFR4G
RFG2XBG
RFGCLKG
SMPL3BG
AFE1FLG
VFG1XBG
VFD1BNG
VFD1XBG
VFG2XBG
VFD2BNG
VFD2XBG
SMPL1BG
AFE1RNBG
SG1XBG
AFE1LNBG
AFE2NTG
RD1BNXG
RD1ANXG
RFG1XBG
SMPL4BG
S S S S
G G G G
S S S S
G G G G
DU
S
PU
AU
S
DU
G
AU
G
AU
F
17 18 19 20
17 18 19 20
81 82 83 84
81 82 83 84
A1S
A2S
A3S
A4S
A1G
A2G
A3G
A4G
Insi
de
A4-1101.6.8
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図
付録 5. PB (H7-1106)信号配置図
A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図
図 A5-1 SQUARE HIFIX PB信号配置図
(スロット番号:1-220)27 ← 1 220 193R ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ R
(列記号:A-R)→ Q ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ QP ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P・・・・・・・・・・・・・・・・・・
(列記号:A-V) C ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ C↓ B ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ B
A ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ AV U T S - C B A A B C - S T U V
28 ・・・・・・・・ ・・・・・・・・ 192・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・
82 ・・・・・・・・ ・・・・・・・・ 138V U T S - C B A A B C - S T U V
A ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ AB ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ BC ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ C・・・・・・・・・・・・・・・・・・P ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ PQ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ QR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ R83 137
TH正面
A5-101.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
ユニット名 信号名称
Logic Pin ioxx
LOAD Lxx
ACCAL MRLCx MEXxx ACVMx PSRRIx MVRxx MMTXx
AFG/D EXxx VRHx VRLx VOFFx AFGxx AFDxx MTXx EVOx CLKO
HSCLK HSxx
IDDQ IPxx INxx VHxx VLxx VOSxx VIMxx VIxx VSBxx MASK
PAFG/PAFD PAGxx PADxx AF1/2xx
SAMPLER SMPxx
SG SGxx
TMU TMUxx TMCLx GWGxx
VFG/D VFGxx VFDxx
WVFG/D WFGxx WFDxx
A5-2 02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (1)
スロット番号
列記号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14
A MVRH1S UCM1 io1 io5 io9 io13 io17 io21 io25 io29 io33 io37 io41
B MVRH1SG UCM2 io1G io5G io9G io13G io17G io21G io25G io29G io33G io37G io41G
C MVRH1F L1 L17 io2 io6 io10 io14 io18 io22 io26 io30 io34 io38 io42
D MVRH1FG L2 L18 io2G io6G io10G io14G io18G io22G io26G io30G io34G io38G io42G
E MVRL1S L3 L19 io3 io7 io11 io15 io19 io23 io27 io31 io35 io39 io43
F MVRL1SG L4 L20 io3G io7G io11G io15G io19G io23G io27G io31G io35G io39G io43G
G MVRL1F L5 L21 io4 io8 io12 io16 io20 io24 io28 io32 io36 io40 io44
H MVRL1FG L6 L22 io4G io8G io12G io16G io20G io24G io28G io32G io36G io40G io44G
I MVR1HG L7 L23 io513 io517 io521 io525 io529 io533 io537 io541 io545 io549 io553
J MVR1HGG L8 L24 io513G io517G io521G io525G io529G io533G io537G io541G io545G io549G io553G
K L9 L25 io514 io518 io522 io526 io530 io534 io538 io542 io546 io550 io554
L L10 L26 io514G io518G io522G io526G io530G io534G io538G io542G io546G io550G io554G
M DPS29G L11 L27 io515 io519 io523 io527 io531 io535 io539 io543 io547 io551 io555
N DPS29GU L12 L28 io515G io519G io523G io527G io531G io535G io539G io543G io547G io551G io555G
O DPS29S L13 L29 io516 io520 io524 io528 io532 io536 io540 io544 io548 io552 io556
P DPS29F L14 L30 io516G io520G io524G io528G io532G io536G io540G io544G io548G io552G io556G
Q DPS29F L15 L31 CW0 RSV1 CW1 CPS29 CW2 RSV3 CW3 CPS25 CW4 RSV5 CW5
R DPS29G L16 L32 0V RSV2 0V UC0 0V RSV4 0V UC1 0V RSV6 0V
スロット番号
列記号 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27
A io45 io49 io53 io57 io61 - SG1A WFG1P1 WFG2P1 WFD1L WFD1HA WFD1P
B io45G io49G io53G io57G io61G - SG1AG WFG1P1G WFG2P1G WFD1LG WFD1HAG WFD1PG
C io46 io50 io54 io58 io62 L33 L49 SG1X WFG1N1 WFG2N1 VFD1AP WFD1HB WFD1N
D io46G io50G io54G io58G io62G L34 L50 SG1XG WFG1N1G WFG2N1G VFD1APG WFD1HBG WFD1NG
E io47 io51 io55 io59 io63 L35 L51 VFG1A WFG1P1X WFG2P1X VFD1AN WFD1HC WFD1PX
F io47G io51G io55G io59G io63G L36 L52 VFG1AG WFG1P1XG WFG2P1XG VFD1ANG WFD1HCG WFD1PXG
G io48 io52 io56 io60 io64 L37 L53 VFG1X WFG1N1X WFG2N1X VFD1XP WFD1HD WFD1NX
H io48G io52G io56G io60G io64G L38 L54 VFG1XG WFG1N1XG WFG2N1XG VFD1XPG WFD1HDG WFD1NXG
I io557 io561 io565 io569 io573 L39 L55 WFD1HE
J io557G io561G io565G io569G io573G L40 L56 WFD1HEG
K io558 io562 io566 io570 io574 L41 L57 VIM1 WFD1HF MRLC0
L io558G io562G io566G io570G io574G L42 L58 VIM1G WFD1HFG 0V
M io559 io563 io567 io571 io575 L43 L59 DPS25G VI1 DPS21G DPS17G MRLC1
N io559G io563G io567G io571G io575G L44 L60 DPS25GU VI1G DPS21GU DPS17GU 0V
O io560 io564 io568 io572 io576 L45 L61 DPS25S VSB1 DPS21S DPS17S IP1A MRLC2
P io560G io564G io568G io572G io576G L46 L62 DPS25F VSB1G DPS21F DPS17F IP1AG 0V
Q CPS21 CW6 RSV7 CW7 CPS17 L47 L63 DPS25F VSB1 DPS21F DPS17F IP1B MRLC3
R UC2 0V RSV8 0V UC3 L48 L64 DPS25G VSB1G DPS21G DPS17G IP1BG 0V
A5-301.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (2)
• GWG1P1Gと GWG1N1Gは、HIFIX内部で接続されています。
• TMU1AGと TMU2AGは、HIFIX内部で接続されています。
スロット番号
列記号 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41
A GWG1P1 TMU1A SMP1P SMP1A PAD5L PAD1L PAD5HA PAD1HA HSO5P io65 io69 io73 io77 io81
B GWG1P1G TMU1AG SMP1PG SMP1AG PAD5LG PAD1LG PAD5HAG PAD1HAG HSO5PG io65G io69G io73G io77G io81G
C GWG1N1 TMU2A SMP1N SMP1B PAD5LX PAD1LX PAD5HB PAD1HB HSO5N io66 io70 io74 io78 io82
D GWG1N1G TMU2AG SMP1NG SMP1BG PAD5LXG PAD1LXG PAD5HBG PAD1HBG HSO5NG io66G io70G io74G io78G io82G
E AFG1P AFD1P SMP1PX SMP1C PAG2P1 PAG1P1 PAD5HC PAD1HC HSI5P io67 io71 io75 io79 io83
F AFG1PG AFD1PG SMP1PXG SMP1CG PAG2P1G PAG1P1G PAD5HCG PAD1HCG HSI5PG io67G io71G io75G io79G io83G
G AFG1N AFD1N SMP1NX SMP1D PAG2N1 PAG1N1 PAD5HD PAD1HD HSI5N io68 io72 io76 io80 io84
H AFG1NG AFD1NG SMP1NXG SMP1DG PAG2N1G PAG1N1G PAD5HDG PAD1HDG HSI5NG io68G io72G io76G io80G io84G
I GWG1P1X TMU1AX SMP1O SMP1X PAG2P1X PAG1P1X PAD5HX PAD1HX MTX1 io577 io581 io585 io589 io593
J GWG1P1XG TMU1AXG SMP1OG SMP1XG PAG2P1XG PAG1P1XG PAD5HXG PAD1HXG MTX1G io577G io581G io585G io589G io593G
K GWG1N1X TMU2AX SMPCLK PAG2N1X PAG1N1X AFCAL AF1FL MTX2 io578 io582 io586 io590 io594
L GWG1N1XG TMU2AXG SMPCLKG PAG2N1XG PAG1N1XG AFCALG AF1FLG MTX2G io578G io582G io586G io590G io594G
M - - VRH1F VRL1F PAG1OF PSRRIP MTX3 io579 io583 io587 io591 io595
N - - VRH1FG VRL1FG PAG1OFG PSRRIPG MTX3G io579G io583G io587G io591G io595G
O VL1A IN1A VRH1S VRL1S PAG2OF PSRRIN MTX4 io580 io584 io588 io592 io596
P VL1AG IN1AG VRH1SG VRL1SG PAG2OFG PSRRING MTX4G io580G io584G io588G io592G io596G
Q VL1B IN1B VOFF1 MMTXA DPS13G UDC1G UDC2G DPS9G CW8 RSV9 CW9 CPS13 CW10
R VL1BG IN1BG VOFF1G MMTXAG DPS13GU UDC1GU UDC2GU DPS9GU 0V RSV10 0V UC4 0V
S - VH1A MMTX1 MMTX3 DPS13S UDC1S UDC2S DPS9S L65 L69 L73 L77 L81
T - VH1AG MMTX1G MMTX3G DPS13F UDC1F UDC2F DPS9F L66 L70 L74 L78 L82
U PBVCC VH1B MMTX2 MMTX4 DPS13F UDC1F UDC2F DPS9F L67 L71 L75 L79 L83
V PBVCC VH1BG MMTX2G MMTX4G DPS13G UDC1G UDC2G DPS9G L68 L72 L76 L80 L84
スロット番号
列記号 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55
A io85 io89 io93 io97 io101 io105 io109 io113 io117 io121 io125 HSO1P VOS1S
B io85G io89G io93G io97G io101G io105G io109G io113G io117G io121G io125G HSO1PG VOS1SG
C io86 io90 io94 io98 io102 io106 io110 io114 io118 io122 io126 HSO1N VOS1F
D io86G io90G io94G io98G io102G io106G io110G io114G io118G io122G io126G HSI1NG VOS1FG
E io87 io91 io95 io99 io103 io107 io111 io115 io119 io123 io127 HSI1P VIMA1 SGCAL
F io87G io91G io95G io99G io103G io107G io111G io115G io119G io123G io127G HSI1PG VIMA1G SGCALG
G io88 io92 io96 io100 io104 io108 io112 io116 io120 io124 io128 HSI1N VIMB1
H io88G io92G io96G io100G io104G io108G io112G io116G io120G io124G io128G HSI1NG VIMB1G
I io597 io601 io605 io609 io613 io617 io621 io625 io629 io633 io637 PFB0
J io597G io601G io605G io609G io613G io617G io621G io625G io629G io633G io637G PFB1
K io598 io602 io606 io610 io614 io618 io622 io626 io630 io634 io638 PFB2
L io598G io602G io606G io610G io614G io618G io622G io626G io630G io634G io638G PFB3
M io599 io603 io607 io611 io615 io619 io623 io627 io631 io635 io639 PFB4
N io599G io603G io607G io611G io615G io619G io623G io627G io631G io635G io639G PFB5
O io600 io604 io608 io612 io616 io620 io624 io628 io632 io636 io640 PFB6
P io600G io604G io608G io612G io616G io620G io624G io628G io632G io636G io640G PFB7
Q RSV11 CW11 CPS9 CW12 RSV13 CW13 CPS5 CW14 RSV15 CW15 CPS1 DPS5G DPS1G
R RSV12 0V UC5 0V RSV14 0V UC6 0V RSV16 0V UC7 DPS5GU DPS1GU
S L85 L89 L93 L97 L101 L105 L109 L113 L117 L121 L125 DPS5S DPS1S -
T L86 L90 L94 L98 L102 L106 L110 L114 L118 L122 L126 DPS5F DPS1F -
U L87 L91 L95 L99 L103 L107 L111 L115 L119 L123 L127 DPS5F DPS1F PBP15V
V L88 L92 L96 L100 L104 L108 L112 L116 L120 L124 L128 DPS5G DPS1G PBP15V
A5-4 02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (3)
• GWG1P2Gと GWG1N2Gは、HIFIX内部で接続されています。
• TMU1BGと TMU2BGは、HIFIX内部で接続されています。
スロット番号
列記号 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69
A VOS2S HSO2P io129 io133 io137 io141 io145 io149 io153 io157 io161 io165 io169 io173
B VOS2SG HSO2PG io129G io133G io137G io141G io145G io149G io153G io157G io161G io165G io169G io173G
C VOS2F HSO2N io130 io134 io138 io142 io146 io150 io154 io158 io162 io166 io170 io174
D VOS2FG HSO2NG io130G io134G io138G io142G io146G io150G io154G io158G io162G io166G io170G io174G
E VIMA2 HSI2P io131 io135 io139 io143 io147 io151 io155 io159 io163 io167 io171 io175
F VIMA2G HSI2PG io131G io135G io139G io143G io147G io151G io155G io159G io163G io167G io171G io175G
G VIMB2 HSI2N io132 io136 io140 io144 io148 io152 io156 io160 io164 io168 io172 io176
H VIMB2G HSI2NG io132G io136G io140G io144G io148G io152G io156G io160G io164G io168G io172G io176G
I PFB8 io641 io645 io649 io653 io657 io661 io665 io669 io673 io677 io681 io685
J PFB9 io641G io645G io649G io653G io657G io661G io665G io669G io673G io677G io681G io685G
K PFB10 io642 io646 io650 io654 io658 io662 io666 io670 io674 io678 io682 io686
L PFB11 io642G io646G io650G io654G io658G io662G io666G io670G io674G io678G io682G io686G
M PFB12 io643 io647 io651 io655 io659 io663 io667 io671 io675 io679 io683 io687
N PFB13 io643G io647G io651G io655G io659G io663G io667G io671G io675G io679G io683G io687G
O PFB14 io644 io648 io652 io656 io660 io664 io668 io672 io676 io680 io684 io688
P PFB15 io644G io648G io652G io656G io660G io664G io668G io672G io676G io680G io684G io688G
Q DPS3G DPS7G CW16 RSV17 CW17 CPS3 CW18 RSV19 CW19 CPS7 CW20 RSV21 CW21 CPS11
R DPS3GU DPS7GU 0V RSV18 0V UC8 0V RSV20 0V UC9 0V RSV22 0V UC10
S DPS3S DPS7S L129 L133 L137 L141 L145 L149 L153 L157 L161 L165 L169 L173
T DPS3F DPS7F L130 L134 L138 L142 L146 L150 L154 L158 L162 L166 L170 L174
U DPS3F DPS7F L131 L135 L139 L143 L147 L151 L155 L159 L163 L167 L171 L175
V DPS3G DPS7G L132 L136 L140 L144 L148 L152 L156 L160 L164 L168 L172 L176
スロット番号
列記号 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82
A io177 io181 io185 io189 HSO6P PAD2HA PAD6HA PAD2L PAD6L SMP2A SMP2P TMU1B GWG1P2
B io177G io181G io185G io189G HSO6PG PAD2HAG PAD6HAG PAD2LG PAD6LG SMP2AG SMP2PG TMU1BG GWG1P2G
C io178 io182 io186 io190 HSO6N PAD2HB PAD6HB PAD2LX PAD6LX SMP2B SMP2N TMU2B GWG1N2
D io178G io182G io186G io190G HSO6NG PAD2HBG PAD6HBG PAD2LXG PAD6LXG SMP2BG SMP2NG TMU2BG GWG1N2G
E io179 io183 io187 io191 HSI6P PAD2HC PAD6HC PAG1P2 PAG2P2 SMP2C SMP2PX AFD3P AFG3P
F io179G io183G io187G io191G HSI6PG PAD2HCG PAD6HCG PAG1P2G PAG2P2G SMP2CG SMP2PXG AFD3PG AFG3PG
G io180 io184 io188 io192 HSI6N PAD2HD PAD6HD PAG1N2 PAG2N2 SMP2D SMP2NX AFD3N AFG3N
H io180G io184G io188G io192G HSI6NG PAD2HDG PAD6HDG PAG1N2G PAG2N2G SMP2DG SMP2NXG AFD3NG AFG3NG
I io689 io693 io697 io701 MTX5 PAD2HX PAD6HX PAG1P2X PAG2P2X SMP2X SMP2O TMU1BX GWG1P2X
J io689G io693G io697G io701G MTX5G PAD2HXG PAD6HXG PAG1P2XG PAG2P2XG SMP2XG SMP2OG TMU1BXG GWG1P2XG
K io690 io694 io698 io702 MTX6 AF2FL PAG1N2X PAG2N2X SMPTRIG TMU2BX GWG1N2X
L io690G io694G io698G io702G MTX6G AF2FLG PAG1N2XG PAG2N2XG SMPTRIGG TMU2BXG GWG1N2XG
M io691 io695 io699 io703 MTX7 TMCL1 VRH3F - -
N io691G io695G io699G io703G MTX7G TMCL1G VRH3FG - -
O io692 io696 io700 io704 MTX8 TMCL2 VRH3S IN2A VL2A
P io692G io696G io700G io704G MTX8G TMCL2G VRH3SG IN2AG VL2AG
Q CW22 RSV23 CW23 CPS15 DPS11G UDC3G UDC4G DPS15G MMTXB VOFF3 IN2B VL2B
R 0V RSV24 0V UC11 DPS11GU UDC3GU UDC4GU DPS15GU MMTXBG VOFF3G IN2BG VL2BG
S L177 L181 L185 L189 DPS11S UDC3S UDC4S DPS15S MMTX5 MMTX7 VH2A -
T L178 L182 L186 L190 DPS11F UDC3F UDC4F DPS15F MMTX5G MMTX7G VH2AG -
U L179 L183 L187 L191 DPS11F UDC3F UDC4F DPS15F MMTX6 MMTX8 VH2B PBVEE
V L180 L184 L188 L192 DPS11G UDC3G UDC4G DPS15G MMTX6G MMTX8G VH2BG PBVEE
A5-502.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (4)
スロット番号
列記号 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96
A WFD2P WFD2HA WFD2L WFG2P2 WFG1P2 SG1B - io193 io197 io201 io205 io209 io213
B WFD2PG WFD2HAG WFD2LG WFG2P2G WFG1P2G SG1BG - io193G io197G io201G io205G io209G io213G
C WFD2N WFD2HB VFD1BP WFG2N2 WFG1N2 SG1XB L193 L209 io194 io198 io202 io206 io210 io214
D WFD2NG WFD2HBG VFD1BPG WFG2N2G WFG1N2G SG1XBG L194 L210 io194G io198G io202G io206G io210G io214G
E WFD2PX WFD2HC VFD1BN WFG2P2X WFG1P2X VFG1B L195 L211 io195 io199 io203 io207 io211 io215
F WFD2PXG WFD2HCG VFD1BNG WFG2P2XG WFG1P2XG VFG1BG L196 L212 io195G io199G io203G io207G io211G io215G
G WFD2NX WFD2HD WFG2N2X WFG1N2X L197 L213 io196 io200 io204 io208 io212 io216
H WFD2NXG WFD2HDG WFG2N2XG WFG1N2XG L198 L214 io196G io200G io204G io208G io212G io216G
I WFD2HE L199 L215 io705 io709 io713 io717 io721 io725
J WFD2HEG L200 L216 io705G io709G io713G io717G io721G io725G
K MRLC4 WFD2HF VIM2 L201 L217 io706 io710 io714 io718 io722 io726
L 0V WFD2HFG VIM2G L202 L218 io706G io710G io714G io718G io722G io726G
M MRLC5 DPS19G DPS23G VI2 DPS27G L203 L219 io707 io711 io715 io719 io723 io727
N 0V DPS19GU DPS23GU VI2G DPS27GU L204 L220 io707G io711G io715G io719G io723G io727G
O MRLC6 IP2A DPS19S DPS23S VSB2 DPS27S L205 L221 io708 io712 io716 io720 io724 io728
P 0V IP2AG DPS19F DPS23F VSB2G DPS27F L206 L222 io708G io712G io716G io720G io724G io728G
Q MRLC7 IP2B DPS19F DPS23F VSB2 DPS27F L207 L223 CW24 RSV25 CW25 CPS19 CW26 RSV27
R 0V IP2BG DPS19G DPS23G VSB2G DPS27G L208 L224 0V RSV26 0V UC12 0V RSV28
スロット番号
列記号 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110
A io217 io221 io225 io229 io233 io237 io241 io245 io249 io253 PBS MVRH2S HGND
B io217G io221G io225G io229G io233G io237G io241G io245G io249G io253G PBS MVRH2SG 0V
C io218 io222 io226 io230 io234 io238 io242 io246 io250 io254 L225 L241 MVRH2F
D io218G io222G io226G io230G io234G io238G io242G io246G io250G io254G L226 L242 MVRH2FG
E io219 io223 io227 io231 io235 io239 io243 io247 io251 io255 L227 L243 MVRL2S MASK
F io219G io223G io227G io231G io235G io239G io243G io247G io251G io255G L228 L244 MVRL2SG MASKG
G io220 io224 io228 io232 io236 io240 io244 io248 io252 io256 L229 L245 MVRL2F PBTYP0
H io220G io224G io228G io232G io236G io240G io244G io248G io252G io256G L230 L246 MVRL2FG PBTYP1
I io729 io733 io737 io741 io745 io749 io753 io757 io761 io765 L231 L247 MVR2HG PBTYP2
J io729G io733G io737G io741G io745G io749G io753G io757G io761G io765G L232 L248 MVR2HGG PBTYP3
K io730 io734 io738 io742 io746 io750 io754 io758 io762 io766 L233 L249 PBTYP4
L io730G io734G io738G io742G io746G io750G io754G io758G io762G io766G L234 L250 PBTYP5
M io731 io735 io739 io743 io747 io751 io755 io759 io763 io767 L235 L251 DPS31G -
N io731G io735G io739G io743G io747G io751G io755G io759G io763G io767G L236 L252 DPS31GU -
O io732 io736 io740 io744 io748 io752 io756 io760 io764 io768 L237 L253 DPS31S PBRLVCC
P io732G io736G io740G io744G io748G io752G io756G io760G io764G io768G L238 L254 DPS31F PBRLVCC
Q CW27 CPS23 CW28 RSV29 CW29 CPS27 CW30 RSV31 CW31 CPS31 L239 L255 DPS31F PBRLVCC
R 0V UC13 0V RSV30 0V UC14 0V RSV32 0V UC15 L240 L256 DPS31G PBRLVCC
A5-6 01.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (5)
スロット番号
列記号 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124
A MVRH3S UCM3 io257 io261 io265 io269 io273 io277 io281 io285 io289 io293 io297
B MVRH3SG UCM4 io257G io261G io265G io269G io273G io277G io281G io285G io289G io293G io297G
C MVRH3F L257 L273 io258 io262 io266 io270 io274 io278 io282 io286 io290 io294 io298
D MVRH3FG L258 L274 io258G io262G io266G io270G io274G io278G io282G io286G io290G io294G io298G
E MVRL3S L259 L275 io259 io263 io267 io271 io275 io279 io283 io287 io291 io295 io299
F MVRL3SG L260 L276 io259G io263G io267G io271G io275G io279G io283G io287G io291G io295G io299G
G MVRL3F L261 L277 io260 io264 io268 io272 io276 io280 io284 io288 io292 io296 io300
H MVRL3FG L262 L278 io260G io264G io268G io272G io276G io280G io284G io288G io292G io296G io300G
I MVR3HG L263 L279 io769 io773 io777 io781 io785 io789 io793 io797 io801 io805 io809
J MVR3HGG L264 L280 io769G io773G io777G io781G io785G io789G io793G io797G io801G io805G io809G
K L265 L281 io770 io774 io778 io782 io786 io790 io794 io798 io802 io806 io810
L L266 L282 io770G io774G io778G io782G io786G io790G io794G io798G io802G io806G io810G
M DPS32G L267 L283 io771 io775 io779 io783 io787 io791 io795 io799 io803 io807 io811
N DPS32GU L268 L284 io771G io775G io779G io783G io787G io791G io795G io799G io803G io807G io811G
O DPS32S L269 L285 io772 io776 io780 io784 io788 io792 io796 io800 io804 io808 io812
P DPS32F L270 L286 io772G io776G io780G io784G io788G io792G io796G io800G io804G io808G io812G
Q DPS32F L271 L287 CW32 RSV33 CW33 CPS32 CW34 RSV35 CW35 CPS28 CW36 RSV37 CW37
R DPS32G L272 L288 0V RSV34 0V UC16 0V RSV36 0V UC17 0V RSV38 0V
スロット番号
列記号 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137
A io301 io305 io309 io313 io317 - SG2A WFG1P3 WFG2P3 WFD3L WFD3HA WFD3P
B io301G io305G io309G io313G io317G - SG2AG WFG1P3G WFG2P3G WFD3LG WFD3HAG WFD3PG
C io302 io306 io310 io314 io318 L289 L305 SG2X WFG1N3 WFG2N3 VFD2AP WFD3HB WFD3N
D io302G io306G io310G io314G io318G L290 L306 SG2XG WFG1N3G WFG2N3G VFD2APG WFD3HBG WFD3NG
E io303 io307 io311 io315 io319 L291 L307 VFG2A WFG1P3X WFG2P3X VFD2AN WFD3HC WFD3PX
F io303G io307G io311G io315G io319G L292 L308 VFG2AG WFG1P3XG WFG2P3XG VFD2ANG WFD3HCG WFD3PXG
G io304 io308 io312 io316 io320 L293 L309 VFG2X WFG1N3X WFG2N3X VFD2XP WFD3HD WFD3NX
H io304G io308G io312G io316G io320G L294 L310 VFG2XG WFG1N3XG WFG2N3XG VFD2XPG WFD3HDG WFD3NXG
I io813 io817 io821 io825 io829 L295 L311 WFD3HE
J io813G io817G io821G io825G io829G L296 L312 WFD3HEG
K io814 io818 io822 io826 io830 L297 L313 VIM3 WFD3HF MRLC8
L io814G io818G io822G io826G io830G L298 L314 VIM3G WFD3HFG 0V
M io815 io819 io823 io827 io831 L299 L315 DPS28G VI3 DPS24G DPS20G MRLC9
N io815G io819G io823G io827G io831G L300 L316 DPS28GU VI3G DPS24GU DPS20GU 0V
O io816 io820 io824 io828 io832 L301 L317 DPS28S VSB3 DPS24S DPS20S IP3A MRLC10
P io816G io820G io824G io828G io832G L302 L318 DPS28F VSB3G DPS24F DPS20F IP3AG 0V
Q CPS24 CW38 RSV39 CW39 CPS20 L303 L319 DPS28F VSB3 DPS24F DPS20F IP3B MRLC11
R UC18 0V RSV40 0V UC19 L304 L320 DPS28G VSB3G DPS24G DPS20G IP3BG 0V
A5-701.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (6)
• GWG1P3Gと GWG1N3Gは、HIFIX内部で接続されています。
• TMU1CGと TMU2CGは、HIFIX内部で接続されています。
スロット番号
列記号 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151
A GWG1P3 TMU1C SMP3P SMP3A PAD7L PAD3L PAD7HA PAD3HA HSO3P io321 io325 io329 io333 io337
B GWG1P3G TMU1CG SMP3PG SMP3AG PAD7LG PAD3LG PAD7HAG PAD3HAG HSO3PG io321G io325G io329G io333G io337G
C GWG1N3 TMU2C SMP3N SMP3B PAD7LX PAD3LX PAD7HB PAD3HB HSO3N io322 io326 io330 io334 io338
D GWG1N3G TMU2CG SMP3NG SMP3BG PAD7LXG PAD3LXG PAD7HBG PAD3HBG HSO3NG io322G io326G io330G io334G io338G
E AFG2P AFD2P SMP3PX SMP3C PAG2P3 PAG1P3 PAD7HC PAD3HC HSI3P io323 io327 io331 io335 io339
F AFG2PG AFD2PG SMP3PXG SMP3CG PAG2P3G PAG1P3G PAD7HCG PAD3HCG HSI3PG io323G io327G io331G io335G io339G
G AFG2N AFD2N SMP3NX SMP3D PAG2N3 PAG1N3 PAD7HD PAD3HD HSI3N io324 io328 io332 io336 io340
H AFG2NG AFD2NG SMP3NXG SMP3DG PAG2N3G PAG1N3G PAD7HDG PAD3HDG HsI3NG io324G io328G io332G io336G io340G
I GWG1P3X TMU1CX SMP3O SMP3X PAG2P3X PAG1P3X PAD7HX PAD3HX MTX9 io833 io837 io841 io845 io849
J GWG1P3XG TMU1CXG SMP3OG SMP3XG PAG2P3XG PAG1P3XG PAD7HXG PAD3HXG MTX9G io833G io837G io841G io845G io849G
K GWG1N3X TMU2CX SMPDG PAG2N3X PAG1N3X AF1NT MTX10 io834 io838 io842 io846 io850
L GWG1N3XG TMU2CXG SMPDGG PAG2N3XG PAG1N3XG AF1NTG MTX10G io834G io838G io842G io846G io850G
M - - VRH2F VRL2F MTX11 io835 io839 io843 io847 io851
N - - VRH2FG VRL2FG MTX11G io835G io839G io843G io847G io851G
O VL3A IN3A VRH2S VRL2S MTX12 io836 io840 io844 io848 io852
P VL3AG IN3AG VRH2SG VRL2SG MTX12G io836G io840G io844G io848G io852G
Q VL3B IN3B VOFF2 MMTXC DPS16G UDC5G UDC6G DPS12G CW40 RSV41 CW41 CPS16 CW42
R VL3BG IN3BG VOFF2G MMTXCG DPS16GU UDC5GU UDC6GU DPS12GU 0V RSV42 0V UC20 0V
S - VH3A MMTX9 MMTX11 DPS16S UDC5S UDC6S DPS12S L321 L325 L329 L333 L337
T - VH3AG MMTX9G MMTX11G DPS16F UDC5F UDC6F DPS12F L322 L326 L330 L334 L338
U PBVCC VH3B MMTX10 MMTX12 DPS16F UDC5F UDC6F DPS12F L323 L327 L331 L335 L339
V PBVCC VH3BG MMTX10G MMTX12G DPS16G UDC5G UDC6G DPS12G L324 L328 L332 L336 L340
スロット番号
列記号 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165
A io341 io345 io349 io353 io357 io361 io365 io369 io373 io377 io381 HSO7P VOS3S MEXCK1
B io341G io345G io349G io353G io357G io361G io365G io369G io373G io377G io381G HSO7PG VOS3SG MEXCK1G
C io342 io346 io350 io354 io358 io362 io366 io370 io374 io378 io382 HSO7N VOS3F MEXCK2
D io342G io346G io350G io354G io358G io362G io366G io370G io374G io378G io382G HSO7NG VOS3FG MEXCK2G
E io343 io347 io351 io355 io359 io363 io367 io371 io375 io379 io383 HSI7P VIMA3 MEXEV1
F io343G io347G io351G io355G io359G io363G io367G io371G io375G io379G io383G HSI7PG VIMA3G MEXEV1G
G io344 io348 io352 io356 io360 io364 io368 io372 io376 io380 io384 HSI7N VIMB3 MEXEV2
H io344G io348G io352G io356G io360G io364G io368G io372G io376G io380G io384G HSI7NG VIMB3G MEXEV2G
I io853 io857 io861 io865 io869 io873 io877 io881 io885 io889 io893
J io853G io857G io861G io865G io869G io873G io877G io881G io885G io889G io893G
K io854 io858 io862 io866 io870 io874 io878 io882 io886 io890 io894 DCT1
L io854G io858G io862G io866G io870G io874G io878G io882G io886G io890G io894G DCT2
M io855 io859 io863 io867 io871 io875 io879 io883 io887 io891 io895 DCT3
N io855G io859G io863G io867G io871G io875G io879G io883G io887G io891G io895G DCT4
O io856 io860 io864 io868 io872 io876 io880 io884 io888 io892 io896 (DCT5)
P io856G io860G io864G io868G io872G io876G io880G io884G io888G io892G io896G (DCT6)
Q RSV43 CW43 CPS12 CW44 RSV45 CW45 CPS8 CW46 RSV47 CW47 CPS4 DPS8G DPS4G (DCT7)
R RSV44 0V UC21 0V RSV46 0V UC22 0V RSV48 0V UC23 DPS8GU DPS4GU (DCT8)
S L341 L345 L349 L353 L357 L361 L365 L369 L373 L377 L381 DPS8S DPS4S -
T L342 L346 L350 L354 L358 L362 L366 L370 L374 L378 L382 DPS8F DPS4F -
U L343 L347 L351 L355 L359 L363 L367 L371 L375 L379 L383 DPS8F DPS4F PBM15V
V L344 L348 L352 L356 L360 L364 L368 L372 L376 L380 L384 DPS8G DPS4G PBM15V
A5-8 02.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (7)
• GWG1P4Gと GWG1N4Gは、HIFIX内部で接続されています。
• TMU1DGと TMU2DGは、HIFIX内部で接続されています。
スロット番号
列記号 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179
A VOS4S HSO8P io385 io389 io393 io397 io401 io405 io409 io413 io417 io421 io425 io429
B VOS4SG HSO8PG io385G io389G io393G io397G io401G io405G io409G io413G io417G io421G io425G io429G
C VOS4F HSO8N io386 io390 io394 io398 io402 io406 io410 io414 io418 io422 io426 io430
D VOS4FG HSO8NG io386G io390G io394G io398G io402G io406G io410G io414G io418G io422G io426G io430G
E VIMA4 HSI8P io387 io391 io395 io399 io403 io407 io411 io415 io419 io423 io427 io431
F VIMA4G HSI8PG io387G io391G io395G io399G io403G io407G io411G io415G io419G io423G io427G io431G
G VIMB4 HSI8N io388 io392 io396 io400 io404 io408 io412 io416 io420 io424 io428 io432
H VIMB4G HSI8NG io388G io392G io396G io400G io404G io408G io412G io416G io420G io424G io428G io432G
I io897 io901 io905 io909 io913 io917 io921 io925 io929 io933 io937 io941
J io897G io901G io905G io909G io913G io917G io921G io925G io929G io933G io937G io941G
K io898 io902 io906 io910 io914 io918 io922 io926 io930 io934 io938 io942
L io898G io902G io906G io910G io914G io918G io922G io926G io930G io934G io938G io942G
M io899 io903 io907 io911 io915 io919 io923 io927 io931 io935 io939 io943
N io899G io903G io907G io911G io915G io919G io923G io927G io931G io935G io939G io943G
O io900 io904 io908 io912 io916 io920 io924 io928 io932 io936 io940 io944
P io900G io904G io908G io912G io916G io920G io924G io928G io932G io936G io940G io944G
Q DPS2G DPS6G CW48 RSV49 CW49 CPS2 CW50 RSV51 CW51 CPS6 CW52 RSV53 CW53 CPS10
R DPS2GU DPS6GU 0V RSV50 0V UC24 0V RSV52 0V UC25 0V RSV54 0V UC26
S DPS2S DPS6S L385 L389 L393 L397 L401 L405 L409 L413 L417 L421 L425 L429
T DPS2F DPS6F L386 L390 L394 L398 L402 L406 L410 L414 L418 L422 L426 L430
U DPS2F DPS6F L387 L391 L395 L399 L403 L407 L411 L415 L419 L423 L427 L431
V DPS2G DPS6G L388 L392 L396 L400 L404 L408 L412 L416 L420 L424 L428 L432
スロット番号
列記号 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192
A io433 io437 io441 io445 HSO4P PAD4HA PAD8HA PAD4L PAD8L SMP4A SMP4P TMU1D GWG1P4
B io433G io437G io441G io445G HSO4PG PAD4HAG PAD8HAG PAD4LG PAD8LG SMP4AG SMP4PG TMU1DG GWG1P4G
C io434 io438 io442 io446 HSO4N PAD4HB PAD8HB PAD4LX PAD8LX SMP4B SMP4N TMU2D GWG1N4
D io434G io438G io442G io446G HSO4NG PAD4HBG PAD8HBG PAD4LXG PAD8LXG SMP4BG SMP4NG TMU2DG GWG1N4G
E io435 io439 io443 io447 HSI4P PAD4HC PAD8HC PAG1P4 PAG2P4 SMP4C SMP4PX AFD4P AFG4P
F io435G io439G io443G io447G HSI4PG PAD4HCG PAD8HCG PAG1P4G PAG2P4G SMP4CG SMP4PXG AFD4PG AFG4PG
G io436 io440 io444 io448 HSI4N PAD4HD PAD8HD PAG1N4 PAG2N4 SMP4D SMP4NX AFD4N AFG4N
H io436G io440G io444G io448G HSI4NG PAD4HDG PAD8HDG PAG1N4G PAG2N4G SMP4DG SMP4NXG AFD4NG AFG4NG
I io945 io949 io953 io957 MTX13 PAD4HX PAD8HX PAG1P4X PAG2P4X SMP4X SMP4O TMU1DX GWG1P4X
J io945G io949G io953G io957G MTX13G PAD4HXG PAD8HXG PAG1P4XG PAG2P4XG SMP4XG SMP4OG TMU1DXG GWG1P4XG
K io946 io950 io954 io958 MTX14 AF2NT PAG1N4X PAG2N4X AFDCK TMU2DX GWG1N4X
L io946G io950G io954G io958G MTX14G AF2NTG PAG1N4XG PAG2N4XG AFDCKG TMU2DXG GWG1N4XG
M io947 io951 io955 io959 MTX15 CLKO EXEV1 VRH4F - -
N io947G io951G io955G io959G MTX15G CLKOG EXEV1G VRH4FG - -
O io948 io952 io956 io960 MTX16 EXCK1 EVO1 EXEV2 VRH4S IN4A VL4A
P io948G io952G io956G io960G MTX16G EXCK1G EVO1G EXEV2G VRH4SG IN4AG VL4AG
Q CW54 RSV55 CW55 CPS14 DPS10G UDC7G UDC8G EVO2 DPS14G MMTXD VOFF4 IN4B VL4B
R 0V RSV56 0V UC27 DPS10GU UDC7GU UDC8GU EVO2G DPS14GU MMTXDG VOFF4G IN4BG VL4BG
S L433 L437 L441 L445 DPS10S UDC7S UDC8S EVO3 DPS14S MMTX13 MMTX15 VH4A -
T L434 L438 L442 L446 DPS10F UDC7F UDC8F EVO3G DPS14F MMTX13G MMTX15G VH4AG -
U L435 L439 L443 L447 DPS10F UDC7F UDC8F EVO4 DPS14F MMTX14 MMTX16 VH4B PBVEE
V L436 L440 L444 L448 DPS10G UDC7G UDC8G EVO4G DPS14G MMTX14G MMTX16G VH4BG PBVEE
A5-902.2.15
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧
SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (8)
スロット番号
列記号 193 194 195 196 197 198 199 200 201 202 203 204 205 206
A WFD4P WFD4HA WFD4L WFG2P4 WFG1P4 SG2B - io449 io453 io457 io461 io465 io469
B WFD4PG WFD4HAG WFD4LG WFG2P4G WFG1P4G SG2BG - io449G io453G io457G io461G io465G io469G
C WFD4N WFD4HB VFD2BP WFG2N4 WFG1N4 SG2XB L449 L465 io450 io454 io458 io462 io466 io470
D WFD4NG WFD4HBG VFD2BPG WFG2N4G WFG1N4G SG2XBG L450 L466 io450G io454G io458G io462G io466G io470G
E WFD4PX WFD4HC VFD2BN WFG2P4X WFG1P4X VFG2B L451 L467 io451 io455 io459 io463 io467 io471
F WFD4PXG WFD4HCG VFD2BNG WFG2P4XG WFG1P4XG VFG2BG L452 L468 io451G io455G io459G io463G io467G io471G
G WFD4NX WFD4HD WFG2N4X WFG1N4X L453 L469 io452 io456 io460 io464 io468 io472
H WFD4NXG WFD4HDG WFG2N4XG WFG1N4XG L454 L470 io452G io456G io460G io464G io468G io472G
I WFD4HE L455 L471 io961 io965 io969 io973 io977 io981
J WFD4HEG L456 L472 io961G io965G io969G io973G io977G io981G
K MRLC12 WFD4HF VIM4 L457 L473 io962 io966 io970 io974 io978 io982
L 0V WFD4HFG VIM4G L458 L474 io962G io966G io970G io974G io978G io982G
M MRLC13 DPS18G DPS22G VI4 DPS26G L459 L475 io963 io967 io971 io975 io979 io983
N 0V DPS18GU DPS22GU VI4G DPS26GU L460 L476 io963G io967G io971G io975G io979G io983G
O MRLC14 IP4A DPS18S DPS22S VSB4 DPS26S L461 L477 io964 io968 io972 io976 io980 io984
P 0V IP4AG DPS18F DPS22F VSB4G DPS26F L462 L478 io964G io968G io972G io976G io980G io984G
Q MRLC15 IP4B DPS18F DPS22F VSB4 DPS26F L463 L479 CW56 RSV57 CW57 CPS18 CW58 RSV59
R 0V IP4BG DPS18G DPS22G VSB4G DPS26G L464 L480 0V RSV58 0V UC28 0V RSV60
スロット番号
列記号 207 208 209 210 211 212 213 214 215 216 217 218 219 220
A io473 io477 io481 io485 io489 io493 io497 io501 io505 io509 MVRH4S ACVSP
B io473G io477G io481G io485G io489G io493G io497G io501G io505G io509G MVRH4SG ACVSPG
C io474 io478 io482 io486 io490 io494 io498 io502 io506 io510 L481 L497 MVRH4F ACVSN
D io474G io478G io482G io486G io490G io494G io498G io502G io506G io510G L482 L498 MVRH4FG ACVSNG
E io475 io479 io483 io487 io491 io495 io499 io503 io507 io511 L483 L499 MVRL4S ACVMP
F io475G io479G io483G io487G io491G io495G io499G io503G io507G io511G L484 L500 MVRL4SG ACVMPG
G io476 io480 io484 io488 io492 io496 io500 io504 io508 io512 L485 L501 MVRL4F ACVMN
H io476G io480G io484G io488G io492G io496G io500G io504G io508G io512G L486 L502 MVRL4FG ACVMNG
I io985 io989 io993 io997 io1001 io1005 io1009 io1013 io1017 io1021 L487 L503 MVR4HG CLD1
J io985G io989G io993G io997G io1001G io1005G io1009G io1013G io1017G io1021G L488 L504 MVR4HGG CLD2
K io986 io990 io994 io998 io1002 io1006 io1010 io1014 io1018 io1022 L489 L505 CLD3
L io986G io990G io994G io998G io1002G io1006G io1010G io1014G io1018G io1022G L490 L506
M io987 io991 io995 io999 io1003 io1007 io1011 io1015 io1019 io1023 L491 L507 DPS30G -
N io987G io991G io995G io999G io1003G io1007G io1011G io1015G io1019G io1023G L492 L508 DPS30GU -
O io988 io992 io996 io1000 io1004 io1008 io1012 io1016 io1020 io1024 L493 L509 DPS30S PBRLVCC
P io988G io992G io996G io1000G io1004G io1008G io1012G io1016G io1020G io1024G L494 L510 DPS30F PBRLVCC
Q CW59 CPS22 CW60 RSV61 CW61 CPS26 CW62 RSV63 CW63 CPS30 L495 L511 DPS30F PBRLVCC
R 0V UC29 0V RSV62 0V UC30 0V RSV64 0V UC31 L496 L512 DPS30G PBRLVCC
A5-10 01.9.28
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ボード配線
(1) 1024 chパフォーマンス・ボード ピン配置
A6-102.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
(2) 1024 chパフォーマンス・ボード信号名称表
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT1-4[1/16]
J1 J2 J3 J4
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD1NG 1 GND TMU2AG 1 GND MTX1G 1 GND WFG1N1G2 WFD1PG WFD1N 2 TMU1AG TMU2A 2 MTX2G MTX1 2 WFG1P1G WFG1N13 WFD1P WFD1NG 3 TMU1A TMU2AG 3 MTX2 MTX1G 3 WFG1P1 WFG1N1G4 WFD1PG 8GND 4 TMU1AG 520GND 4 MTX2G 264GND 4 WFG1P1G 776GND5 73GND 5 585GND 5 329GND 5 841GND6 io73 8GND 6 io585 520GND 6 io329 264GND 6 io841 776GND7 73GND io8 7 585GND io520 7 329GND io264 7 841GND io7768 8GND 8 520GND 8 264GND 8 776GND9 73GND 7GND 9 585GND 519GND 9 329GND 263GND 9 841GND 775GND10 74GND 10 586GND 10 330GND 10 842GND11 io74 7GND 11 io586 519GND 11 io330 263GND 11 io842 775GND12 74GND io7 12 586GND io519 12 330GND io263 12 842GND io77513 7GND 13 519GND 13 263GND 13 775GND14 74GND 6GND 14 586GND 518GND 14 330GND 262GND 14 842GND 774GND15 75GND 15 587GND 15 331GND 15 843GND16 io75 6GND 16 io587 518GND 16 io331 262GND 16 io843 774GND17 75GND io6 17 587GND io518 17 331GND io262 17 843GND io77418 6GND 18 518GND 18 262GND 18 774GND19 75GND 5GND 19 587GND 517GND 19 331GND 261GND 19 843GND 773GND20 76GND 20 588GND 20 332GND 20 844GND21 io76 5GND 21 io588 517GND 21 io332 261GND 21 io844 773GND22 76GND io5 22 588GND io517 22 332GND io261 22 844GND io77323 5GND 23 517GND 23 261GND 23 773GND24 76GND 4GND 24 588GND 516GND 24 332GND 260GND 24 844GND 772GND25 77GND 25 589GND 25 333GND 25 845GND26 io77 4GND 26 io589 516GND 26 io333 260GND 26 io845 772GND27 77GND io4 27 589GND io516 27 333GND io260 27 845GND io77228 4GND 28 516GND 28 260GND 28 772GND29 77GND 3GND 29 589GND 515GND 29 333GND 259GND 29 845GND 771GND30 78GND 30 590GND 30 334GND 30 846GND31 io78 3GND 31 io590 515GND 31 io334 259GND 31 io846 771GND32 78GND io3 32 590GND io515 32 334GND io259 32 846GND io77133 3GND 33 515GND 33 259GND 33 771GND34 78GND 2GND 34 590GND 514GND 34 334GND 258GND 34 846GND 770GND35 79GND 35 591GND 35 335GND 35 847GND36 io79 2GND 36 io591 514GND 36 io335 258GND 36 io847 770GND37 79GND io2 37 591GND io514 37 335GND io258 37 847GND io77038 2GND 38 514GND 38 258GND 38 770GND39 79GND 1GND 39 591GND 513GND 39 335GND 257GND 39 847GND 769GND40 80GND 40 592GND 40 336GND 40 848GND41 io80 1GND 41 io592 513GND 41 io336 257GND 41 io848 769GND42 80GND io1 42 592GND io513 42 336GND io257 42 848GND io76943 1GND 43 513GND 43 257GND 43 769GND44 80GND DP2G 44 592GND 44 336GND 44 848GND45 DP6G DP2GU 45 TMU1AXG 45 CW16 PBP15V 45 GWG1P1XG46 DP6GU DP2S 46 TMU1AX 46 CW17 PBP15V 46 GWG1P1X47 DP6S DP2F 47 TMU1AXG TMU2AXG 47 CW18 PBP15V 47 GWG1P1XG GWG1N1XG48 DP6F DP2F 48 WFG1P1XG TMU2AX 48 CW19 PBP15V 48 WFG2P1XG GWG1N1X49 DP6F DP2G 49 WFG1P1X TMU2AXG 49 UC0 49 WFG2P1X GWG1N1XG50 DP6G MMTX1G 50 WFG1P1XG WFG1N1XG 50 UC1 SMP1OG 50 WFG2P1XG WFG2N1XG51 VOFF1G MMTX1 51 MMTX2G WFG1N1X 51 AF1FLG SMP1O 51 MMTX4G WFG2N1X52 VOFF1 MMTX1G 52 MMTX2 WFG1N1XG 52 AF1FL SMP1OG 52 MMTX4 WFG2N1XG53 VOFF1G AFD1PG 53 MMTX2G 53 AF1FLG PAD1HAG 53 MMTX4G54 AFD1NG AFD1P 54 MMTX3G 54 PAD1LG PAD1HA 54 SMP1XG55 AFD1N AFD1PG 55 MMTX3 RSV1 55 PAD1L PAD1HAG 55 SMP1X RSV356 AFD1NG CPS2 56 MMTX3G RSV2 56 PAD1LG CPS6 56 SMP1XG RSV4
A6-2 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT5-8[2/16]
J5 J6 J7 J8
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD1NXG 1 GND GWG1N1G 1 GND MTX3G 1 GND WFG2N1G2 WFD1PXG WFD1NX 2 GWG1P1G GWG1N1 2 MTX4G MTX3 2 WFG2P1G WFG2N13 WFD1PX WFD1NXG 3 GWG1P1 GWG1N1G 3 MTX4 MTX3G 3 WFG2P1 WFG2N1G4 WFD1PXG 136GND 4 GWG1P1G 648GND 4 MTX4G 392GND 4 WFG2P1G 904GND5 201GND 5 713GND 5 457GND 5 969GND6 io201 136GND 6 io713 648GND 6 io457 392GND 6 io969 904GND7 201GND io136 7 713GND io648 7 457GND io392 7 969GND io9048 136GND 8 648GND 8 392GND 8 904GND9 201GND 135GND 9 713GND 647GND 9 457GND 391GND 9 969GND 903GND10 202GND 10 714GND 10 458GND 10 970GND11 io202 135GND 11 io714 647GND 11 io458 391GND 11 io970 903GND12 202GND io135 12 714GND io647 12 458GND io391 12 970GND io90313 135GND 13 647GND 13 391GND 13 903GND14 202GND 134GND 14 714GND 646GND 14 458GND 390GND 14 970GND 902GND15 203GND 15 715GND 15 459GND 15 971GND16 io203 134GND 16 io715 646GND 16 io459 390GND 16 io971 902GND17 203GND io134 17 715GND io646 17 459GND io390 17 971GND io90218 134GND 18 646GND 18 390GND 18 902GND19 203GND 133GND 19 715GND 645GND 19 459GND 389GND 19 971GND 901GND20 204GND 20 716GND 20 460GND 20 972GND21 io204 133GND 21 io716 645GND 21 io460 389GND 21 io972 901GND22 204GND io133 22 716GND io645 22 460GND io389 22 972GND io90123 133GND 23 645GND 23 389GND 23 901GND24 204GND 132GND 24 716GND 644GND 24 460GND 388GND 24 972GND 900GND25 205GND 25 717GND 25 461GND 25 973GND26 io205 132GND 26 io717 644GND 26 io461 388GND 26 io973 900GND27 205GND io132 27 717GND io644 27 461GND io388 27 973GND io90028 132GND 28 644GND 28 388GND 28 900GND29 205GND 131GND 29 717GND 643GND 29 461GND 387GND 29 973GND 899GND30 206GND 30 718GND 30 462GND 30 974GND31 io206 131GND 31 io718 643GND 31 io462 387GND 31 io974 899GND32 206GND io131 32 718GND io643 32 462GND io387 32 974GND io89933 131GND 33 643GND 33 387GND 33 899GND34 206GND 130GND 34 718GND 642GND 34 462GND 386GND 34 974GND 898GND35 207GND 35 719GND 35 463GND 35 975GND36 io207 130GND 36 io719 642GND 36 io463 386GND 36 io975 898GND37 207GND io130 37 719GND io642 37 463GND io386 37 975GND io89838 130GND 38 642GND 38 386GND 38 898GND39 207GND 129GND 39 719GND 641GND 39 463GND 385GND 39 975GND 897GND40 208GND 40 720GND 40 464GND 40 976GND41 io208 129GND 41 io720 641GND 41 io464 385GND 41 io976 897GND42 208GND io129 42 720GND io641 42 464GND io385 42 976GND io89743 129GND 43 641GND 43 385GND 43 897GND44 208GND DP10G 44 720GND 44 464GND 44 976GND45 DP14G DP10GU 45 PAG1P1G 45 CW20 PBVCC 45 PAG2P1G46 DP14GU DP10S 46 PAG1P1 46 CW21 PBVCC 46 PAG2P147 DP14S DP10F 47 PAG1P1G PAG1N1G 47 CW22 PBVCC 47 PAG2P1G PAG2N1G48 DP14F DP10F 48 PAG1P1XG PAG1N1 48 CW23 PBVCC 48 PAG2P1XG PAG2N149 DP14F DP10G 49 PAG1P1X PAG1N1G 49 UC2 49 PAG2P1X PAG2N1G50 DP14G MMTXAG 50 PAG1P1XG 50 UC3 PSRING 50 PAG2P1XG51 MMTXA 51 PAG1N1XG 51 PSRIPG PSRIN 51 PAG2N1XG52 MMTXAG 52 PAG1N1X UDC8GU 52 PSRIP PSRING 52 PAG2N1X53 SMP1AG 53 PAG1N1XG UDC8S 53 PSRIPG TMCL2G 53 PAG2N1XG54 SMP1CG SMP1A 54 UDC8G UDC8GU 54 TMCL1G TMCL2 5455 SMP1C SMP1AG 55 UDC8F RSV5 55 TMCL1 TMCL2G 55 RSV756 SMP1CG CPS10 56 UDC8G RSV6 56 TMCL1G CPS14 56 RSV8
A6-302.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT9-12[3/16]
J9 J10 J11 J12
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSOG7 1 GND SMP1NG 1 GND VRH1FG 1 GND SMP1NXG2 HSOG8 HSOS7 2 SMP1PG SMP1N 2 VRH1SG VRH1F 2 SMP1PXG SMP1NX3 HSOS8 HSOG7 3 SMP1P SMP1NG 3 VRH1S VRH1FG 3 SMP1PX SMP1NXG4 HSOG8 16GND 4 SMP1PG 528GND 4 VRH1SG 272GND 4 SMP1PXG 784GND5 65GND 5 577GND 5 321GND 5 833GND6 io65 16GND 6 io577 528GND 6 io321 272GND 6 io833 784GND7 65GND io16 7 577GND io528 7 321GND io272 7 833GND io7848 16GND 8 528GND 8 272GND 8 784GND9 65GND 15GND 9 577GND 527GND 9 321GND 271GND 9 833GND 783GND10 66GND 10 578GND 10 322GND 10 834GND11 io66 15GND 11 io578 527GND 11 io322 271GND 11 io834 783GND12 66GND io15 12 578GND io527 12 322GND io271 12 834GND io78313 15GND 13 527GND 13 271GND 13 783GND14 66GND 14GND 14 578GND 526GND 14 322GND 270GND 14 834GND 782GND15 67GND 15 579GND 15 323GND 15 835GND16 io67 14GND 16 io579 526GND 16 io323 270GND 16 io835 782GND17 67GND io14 17 579GND io526 17 323GND io270 17 835GND io78218 14GND 18 526GND 18 270GND 18 782GND19 67GND 13GND 19 579GND 525GND 19 323GND 269GND 19 835GND 781GND20 68GND 20 580GND 20 324GND 20 836GND21 io68 13GND 21 io580 525GND 21 io324 269GND 21 io836 781GND22 68GND io13 22 580GND io525 22 324GND io269 22 836GND io78123 13GND 23 525GND 23 269GND 23 781GND24 68GND 12GND 24 580GND 524GND 24 324GND 268GND 24 836GND 780GND25 69GND 25 581GND 25 325GND 25 837GND26 io69 12GND 26 io581 524GND 26 io325 268GND 26 io837 780GND27 69GND io12 27 581GND io524 27 325GND io268 27 837GND io78028 12GND 28 524GND 28 268GND 28 780GND29 69GND 11GND 29 581GND 523GND 29 325GND 267GND 29 837GND 779GND30 70GND 30 582GND 30 326GND 30 838GND31 io70 11GND 31 io582 523GND 31 io326 267GND 31 io838 779GND32 70GND io11 32 582GND io523 32 326GND io267 32 838GND io77933 11GND 33 523GND 33 267GND 33 779GND34 70GND 10GND 34 582GND 522GND 34 326GND 266GND 34 838GND 778GND35 71GND 35 583GND 35 327GND 35 839GND36 io71 10GND 36 io583 522GND 36 io327 266GND 36 io839 778GND37 71GND io10 37 583GND io522 37 327GND io266 37 839GND io77838 10GND 38 522GND 38 266GND 38 778GND39 71GND 9GND 39 583GND 521GND 39 327GND 265GND 39 839GND 777GND40 72GND 40 584GND 40 328GND 40 840GND41 io72 9GND 41 io584 521GND 41 io328 265GND 41 io840 777GND42 72GND io9 42 584GND io521 42 328GND io265 42 840GND io77743 9GND 43 521GND 43 265GND 43 777GND44 72GND DP18G 44 584GND 44 328GND 44 840GND45 DP22G DP18GU 45 PAD1HBG 45 CW24 PBVCC 45 PAD3HBG46 DP22GU DP18S 46 PAD1HB 46 CW25 PBVCC 46 PAD3HB47 DP22S DP18F 47 PAD1HBG PAD1HCG 47 CW26 PBVCC 47 PAD3HBG PAD3HCG48 DP22F DP18F 48 PAD1HDG PAD1HC 48 CW27 PBVCC 48 PAD3HDG PAD3HC49 DP22F DP18G 49 PAD1HD PAD1HCG 49 UC4 49 PAD3HD PAD3HCG50 DP22G PAD3HAG 50 PAD1HDG PAD1HXG 50 UC5 SMP1DG 50 PAD3HDG PAD3HXG51 PAD3LG PAD3HA 51 PAD1LXG PAD1HX 51 SG1XG SMP1D 51 PAD3LXG PAD3HX52 PAD3L PAD3HAG 52 PAD1LX PAD1HXG 52 SG1X SMP1DG 52 PAD3LX PAD3HXG53 PAD3LG MEXCK2G 53 PAD1LXG 53 SG1XG SG1AG 53 PAD3LXG54 MVR1HGG MEXCK2 54 SMP1BG 54 SG1BG SG1A 54 SG1XBG55 MVR1HG MEXCK2G 55 SMP1B RSV9 55 SG1B SG1AG 55 SG1XB RSV1156 MVR1HGG CPS18 56 SMP1BG RSV10 56 SG1BG CPS22 56 SG1XBG RSV12
A6-4 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT13-16[4/16]
J13 J14 J15 J16
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSIG7 1 GND VSB1G 1 GND VRL1FG 1 GND VI1G2 HSIG8 HSIS7 2 VIM1G VSB1 2 VRL1SG VRL1F 2 VI13 HSIS8 HSIG7 3 VIM1 VSB1G 3 VRL1S VRL1FG 3 VI1G4 HSIG8 144GND 4 VIM1G 656GND 4 VRL1SG 400GND 4 912GND5 193GND 5 705GND 5 449GND 5 961GND6 io193 144GND 6 io705 656GND 6 io449 400GND 6 io961 912GND7 193GND io144 7 705GND io656 7 449GND io400 7 961GND io9128 144GND 8 656GND 8 400GND 8 912GND9 193GND 143GND 9 705GND 655GND 9 449GND 399GND 9 961GND 911GND10 194GND 10 706GND 10 450GND 10 962GND11 io194 143GND 11 io706 655GND 11 io450 399GND 11 io962 911GND12 194GND io143 12 706GND io655 12 450GND io399 12 962GND io91113 143GND 13 655GND 13 399GND 13 911GND14 194GND 142GND 14 706GND 654GND 14 450GND 398GND 14 962GND 910GND15 195GND 15 707GND 15 451GND 15 963GND16 io195 142GND 16 io707 654GND 16 io451 398GND 16 io963 910GND17 195GND io142 17 707GND io654 17 451GND io398 17 963GND io91018 142GND 18 654GND 18 398GND 18 910GND19 195GND 141GND 19 707GND 653GND 19 451GND 397GND 19 963GND 909GND20 196GND 20 708GND 20 452GND 20 964GND21 io196 141GND 21 io708 653GND 21 io452 397GND 21 io964 909GND22 196GND io141 22 708GND io653 22 452GND io397 22 964GND io90923 141GND 23 653GND 23 397GND 23 909GND24 196GND 140GND 24 708GND 652GND 24 452GND 396GND 24 964GND 908GND25 197GND 25 709GND 25 453GND 25 965GND26 io197 140GND 26 io709 652GND 26 io453 396GND 26 io965 908GND27 197GND io140 27 709GND io652 27 453GND io396 27 965GND io90828 140GND 28 652GND 28 396GND 28 908GND29 197GND 139GND 29 709GND 651GND 29 453GND 395GND 29 965GND 907GND30 198GND 30 710GND 30 454GND 30 966GND31 io198 139GND 31 io710 651GND 31 io454 395GND 31 io966 907GND32 198GND io139 32 710GND io651 32 454GND io395 32 966GND io90733 139GND 33 651GND 33 395GND 33 907GND34 198GND 138GND 34 710GND 650GND 34 454GND 394GND 34 966GND 906GND35 199GND 35 711GND 35 455GND 35 967GND36 io199 138GND 36 io711 650GND 36 io455 394GND 36 io967 906GND37 199GND io138 37 711GND io650 37 455GND io394 37 967GND io90638 138GND 38 650GND 38 394GND 38 906GND39 199GND 137GND 39 711GND 649GND 39 455GND 393GND 39 967GND 905GND40 200GND 40 712GND 40 456GND 40 968GND41 io200 137GND 41 io712 649GND 41 io456 393GND 41 io968 905GND42 200GND io137 42 712GND io649 42 456GND io393 42 968GND io90543 137GND 43 649GND 43 393GND 43 905GND44 200GND DP26G 44 712GND 44 456GND 44 968GND45 DP30G DP26GU 45 MVRH1FG 45 CW28 PBRLVCC 45 WFD1HAG46 DP30GU DP26S 46 MVRH1F 46 CW29 PBRLVCC 46 WFD1HA47 DP30S DP26F 47 MVRH1FG WFD1LG 47 CW30 PBRLVCC 47 WFD1HAG WFD1HBG48 DP30F DP26F 48 MVRH1SG WFD1L 48 CW31 PBRLVCC 48 WFD1HCG WFD1HB49 DP30F DP26G 49 MVRH1S WFD1LG 49 UC6 49 WFD1HC WFD1HBG50 DP30G UDC4GU 50 MVRH1SG MVRL1FG 50 UC7 SMPTRIGG 50 WFD1HCG WFD1HDG51 UDC4G UDC4S 51 MVRL1SG MVRL1F 51 MEXEV1G SMPTRIG 51 WFD1HEG WFD1HD52 UDC4F UDC4GU 52 MVRL1S MVRL1FG 52 MEXEV1 SMPTRIGG 52 WFD1HE WFD1HDG53 UDC4G AFG1PG 53 MVRL1SG 53 MEXEV1G SMPCLKG 53 WFD1HEG54 AFG1NG AFG1P 54 MEXCK1G 54 MEXEV2G SMPCLK 54 WFD1HFG55 AFG1N AFG1PG 55 MEXCK1 RSV13 55 MEXEV2 SMPCLKG 55 WFD1HF RSV1556 AFG1NG CPS26 56 MEXCK1G RSV14 56 MEXEV2G CPS30 56 WFD1HFG RSV16
A6-502.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT17-20[5/16]
J17 J18 J19 J20
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND TMU2BG 1 GND WFD2NG 1 GND WFG1N2G 1 GND MTX5G2 TMU1BG TMU2B 2 WFD2PG WFD2N 2 WFG1P2G WFG1N2 2 MTX6G MTX53 TMU1B TMU2BG 3 WFD2P WFD2NG 3 WFG1P2 WFG1N2G 3 MTX6 MTX5G4 TMU1BG 992GND 4 WFD2PG 480GND 4 WFG1P2G 736GND 4 MTX6G 224GND5 913GND 5 401GND 5 657GND 5 145GND6 io913 992GND 6 io401 480GND 6 io657 736GND 6 io145 224GND7 913GND io992 7 401GND io480 7 657GND io736 7 145GND io2248 992GND 8 480GND 8 736GND 8 224GND9 913GND 991GND 9 401GND 479GND 9 657GND 735GND 9 145GND 223GND10 914GND 10 402GND 10 658GND 10 146GND11 io914 991GND 11 io402 479GND 11 io658 735GND 11 io146 223GND12 914GND io991 12 402GND io479 12 658GND io735 12 146GND io22313 991GND 13 479GND 13 735GND 13 223GND14 914GND 990GND 14 402GND 478GND 14 658GND 734GND 14 146GND 222GND15 915GND 15 403GND 15 659GND 15 147GND16 io915 990GND 16 io403 478GND 16 io659 734GND 16 io147 222GND17 915GND io990 17 403GND io478 17 659GND io734 17 147GND io22218 990GND 18 478GND 18 734GND 18 222GND19 915GND 989GND 19 403GND 477GND 19 659GND 733GND 19 147GND 221GND20 916GND 20 404GND 20 660GND 20 148GND21 io916 989GND 21 io404 477GND 21 io660 733GND 21 io148 221GND22 916GND io989 22 404GND io477 22 660GND io733 22 148GND io22123 989GND 23 477GND 23 733GND 23 221GND24 916GND 988GND 24 404GND 476GND 24 660GND 732GND 24 148GND 220GND25 917GND 25 405GND 25 661GND 25 149GND26 io917 988GND 26 io405 476GND 26 io661 732GND 26 io149 220GND27 917GND io988 27 405GND io476 27 661GND io732 27 149GND io22028 988GND 28 476GND 28 732GND 28 220GND29 917GND 987GND 29 405GND 475GND 29 661GND 731GND 29 149GND 219GND30 918GND 30 406GND 30 662GND 30 150GND31 io918 987GND 31 io406 475GND 31 io662 731GND 31 io150 219GND32 918GND io987 32 406GND io475 32 662GND io731 32 150GND io21933 987GND 33 475GND 33 731GND 33 219GND34 918GND 986GND 34 406GND 474GND 34 662GND 730GND 34 150GND 218GND35 919GND 35 407GND 35 663GND 35 151GND36 io919 986GND 36 io407 474GND 36 io663 730GND 36 io151 218GND37 919GND io986 37 407GND io474 37 663GND io730 37 151GND io21838 986GND 38 474GND 38 730GND 38 218GND39 919GND 985GND 39 407GND 473GND 39 663GND 729GND 39 151GND 217GND40 920GND 40 408GND 40 664GND 40 152GND41 io920 985GND 41 io408 473GND 41 io664 729GND 41 io152 217GND42 920GND io985 42 408GND io473 42 664GND io729 42 152GND io21743 985GND 43 473GND 43 729GND 43 217GND44 920GND MRLC0 44 408GND DP3G 44 664GND MRLC1 44 152GND45 TMU1BXG MRLC0G 45 DP7G DP3GU 45 GWG1P2XG MRLC1G 45 CW32 PBRLVCC46 TMU1BX 46 DP7GU DP3S 46 GWG1P2X 46 CW33 PBRLVCC47 TMU1BXG TMU2BXG 47 DP7S DP3F 47 GWG1P2XG GWG1N2XG 47 CW34 PBRLVCC48 WFG1P2XG TMU2BX 48 DP7F DP3F 48 WFG2P2XG GWG1N2X 48 CW35 PBRLVCC49 WFG1P2X TMU2BXG 49 DP7F DP3G 49 WFG2P2X GWG1N2XG 49 UC850 WFG1P2XG WFG1N2XG 50 DP7G MMTX5G 50 WFG2P2XG WFG2N2XG 50 UC9 SMP2OG51 MMTX6G WFG1N2X 51 VOFF2G MMTX5 51 MMTX8G WFG2N2X 51 AF1NTG SMP2O52 MMTX6 WFG1N2XG 52 VOFF2 MMTX5G 52 MMTX8 WFG2N2XG 52 AF1NT SMP2OG53 MMTX6G 53 VOFF2G AFD2PG 53 MMTX8G 53 AF1NTG PAD5HAG54 MMTX7G 54 AFD2NG AFD2P 54 SMP2XG 54 PAD5LG PAD5HA55 MMTX7 RSV17 55 AFD2N AFD2PG 55 SMP2X RSV19 55 PAD5L PAD5HAG56 MMTX7G RSV18 56 AFD2NG CPS3 56 SMP2XG RSV20 56 PAD5LG CPS7
A6-6 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT21-24[6/16]
J21 J22 J23 J24
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND GWG1N2G 1 GND WFD2NXG 1 GND WFG2N2G 1 GND MTX7G2 GWG1P2G GWG1N2 2 WFD2PXG WFD2NX 2 WFG2P2G WFG2N2 2 MTX8G MTX73 GWG1P2 GWG1N2G 3 WFD2PX WFD2NXG 3 WFG2P2 WFG2N2G 3 MTX8 MTX7G4 GWG1P2G 864GND 4 WFD2PXG 352GND 4 WFG2P2G 608GND 4 MTX8G 96GND5 785GND 5 273GND 5 529GND 5 17GND6 io785 864GND 6 io273 352GND 6 io529 608GND 6 io17 96GND7 785GND io864 7 273GND io352 7 529GND io608 7 17GND io968 864GND 8 352GND 8 608GND 8 96GND9 785GND 863GND 9 273GND 351GND 9 529GND 607GND 9 17GND 95GND10 786GND 10 274GND 10 530GND 10 18GND11 io786 863GND 11 io274 351GND 11 io530 607GND 11 io18 95GND12 786GND io863 12 274GND io351 12 530GND io607 12 18GND io9513 863GND 13 351GND 13 607GND 13 95GND14 786GND 862GND 14 274GND 350GND 14 530GND 606GND 14 18GND 94GND15 787GND 15 275GND 15 531GND 15 19GND16 io787 862GND 16 io275 350GND 16 io531 606GND 16 io19 94GND17 787GND io862 17 275GND io350 17 531GND io606 17 19GND io9418 862GND 18 350GND 18 606GND 18 94GND19 787GND 861GND 19 275GND 349GND 19 531GND 605GND 19 19GND 93GND20 788GND 20 276GND 20 532GND 20 20GND21 io788 861GND 21 io276 349GND 21 io532 605GND 21 io20 93GND22 788GND io861 22 276GND io349 22 532GND io605 22 20GND io9323 861GND 23 349GND 23 605GND 23 93GND24 788GND 860GND 24 276GND 348GND 24 532GND 604GND 24 20GND 92GND25 789GND 25 277GND 25 533GND 25 21GND26 io789 860GND 26 io277 348GND 26 io533 604GND 26 io21 92GND27 789GND io860 27 277GND io348 27 533GND io604 27 21GND io9228 860GND 28 348GND 28 604GND 28 92GND29 789GND 859GND 29 277GND 347GND 29 533GND 603GND 29 21GND 91GND30 790GND 30 278GND 30 534GND 30 22GND31 io790 859GND 31 io278 347GND 31 io534 603GND 31 io22 91GND32 790GND io859 32 278GND io347 32 534GND io603 32 22GND io9133 859GND 33 347GND 33 603GND 33 91GND34 790GND 858GND 34 278GND 346GND 34 534GND 602GND 34 22GND 90GND35 791GND 35 279GND 35 535GND 35 23GND36 io791 858GND 36 io279 346GND 36 io535 602GND 36 io23 90GND37 791GND io858 37 279GND io346 37 535GND io602 37 23GND io9038 858GND 38 346GND 38 602GND 38 90GND39 791GND 857GND 39 279GND 345GND 39 535GND 601GND 39 23GND 89GND40 792GND 40 280GND 40 536GND 40 24GND41 io792 857GND 41 io280 345GND 41 io536 601GND 41 io24 89GND42 792GND io857 42 280GND io345 42 536GND io601 42 24GND io8943 857GND 43 345GND 43 601GND 43 89GND44 792GND MRLC2 44 280GND DP11G 44 536GND MRLC3 44 24GND45 PAG1P3G MRLC2G 45 DP15G DP11GU 45 PAG2P3G MRLC3G 45 CW36 PBRLVCC46 PAG1P3 46 DP15GU DP11S 46 PAG2P3 46 CW37 PBRLVCC47 PAG1P3G PAG1N3G 47 DP15S DP11F 47 PAG2P3G PAG2N3G 47 CW38 PBRLVCC48 PAG1P3XG PAG1N3 48 DP15F DP11F 48 PAG2P3XG PAG2N3 48 CW39 PBRLVCC49 PAG1P3X PAG1N3G 49 DP15F DP11G 49 PAG2P3X PAG2N3G 49 UC1050 PAG1P3XG 50 DP15G MMTXBG 50 PAG2P3XG 50 UC11 PAG2OFG51 PAG1N3XG 51 MMTXB 51 PAG2N3XG 51 PAG1OFG PAG2OF52 PAG1N3X 52 MMTXBG 52 PAG2N3X UDC5GU 52 PAG1OF PAG2OFG53 PAG1N3XG 53 SMP2AG 53 PAG2N3XG UDC5S 53 PAG1OFG54 54 SMP2CG SMP2A 54 UDC5G UDC5GU 5455 RSV21 55 SMP2C SMP2AG 55 UDC5F RSV23 5556 RSV22 56 SMP2CG CPS11 56 UDC5G RSV24 56 CPS15
A6-702.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT25-28[7/16]
J25 J26 J27 J28
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND SMP2NG 1 GND HSOG1 1 GND SMP2NXG 1 GND VRH2FG2 SMP2PG SMP2N 2 HSOG2 HSOS1 2 SMP2PXG SMP2NX 2 VRH2SG VRH2F3 SMP2P SMP2NG 3 HSOS2 HSOG1 3 SMP2PX SMP2NXG 3 VRH2S VRH2FG4 SMP2PG 984GND 4 HSOG2 472GND 4 SMP2PXG 728GND 4 VRH2SG 216GND5 921GND 5 409GND 5 665GND 5 153GND6 io921 984GND 6 io409 472GND 6 io665 728GND 6 io153 216GND7 921GND io984 7 409GND io472 7 665GND io728 7 153GND io2168 984GND 8 472GND 8 728GND 8 216GND9 921GND 983GND 9 409GND 471GND 9 665GND 727GND 9 153GND 215GND10 922GND 10 410GND 10 666GND 10 154GND11 io922 983GND 11 io410 471GND 11 io666 727GND 11 io154 215GND12 922GND io983 12 410GND io471 12 666GND io727 12 154GND io21513 983GND 13 471GND 13 727GND 13 215GND14 922GND 982GND 14 410GND 470GND 14 666GND 726GND 14 154GND 214GND15 923GND 15 411GND 15 667GND 15 155GND16 io923 982GND 16 io411 470GND 16 io667 726GND 16 io155 214GND17 923GND io982 17 411GND io470 17 667GND io726 17 155GND io21418 982GND 18 470GND 18 726GND 18 214GND19 923GND 981GND 19 411GND 469GND 19 667GND 725GND 19 155GND 213GND20 924GND 20 412GND 20 668GND 20 156GND21 io924 981GND 21 io412 469GND 21 io668 725GND 21 io156 213GND22 924GND io981 22 412GND io469 22 668GND io725 22 156GND io21323 981GND 23 469GND 23 725GND 23 213GND24 924GND 980GND 24 412GND 468GND 24 668GND 724GND 24 156GND 212GND25 925GND 25 413GND 25 669GND 25 157GND26 io925 980GND 26 io413 468GND 26 io669 724GND 26 io157 212GND27 925GND io980 27 413GND io468 27 669GND io724 27 157GND io21228 980GND 28 468GND 28 724GND 28 212GND29 925GND 979GND 29 413GND 467GND 29 669GND 723GND 29 157GND 211GND30 926GND 30 414GND 30 670GND 30 158GND31 io926 979GND 31 io414 467GND 31 io670 723GND 31 io158 211GND32 926GND io979 32 414GND io467 32 670GND io723 32 158GND io21133 979GND 33 467GND 33 723GND 33 211GND34 926GND 978GND 34 414GND 466GND 34 670GND 722GND 34 158GND 210GND35 927GND 35 415GND 35 671GND 35 159GND36 io927 978GND 36 io415 466GND 36 io671 722GND 36 io159 210GND37 927GND io978 37 415GND io466 37 671GND io722 37 159GND io21038 978GND 38 466GND 38 722GND 38 210GND39 927GND 977GND 39 415GND 465GND 39 671GND 721GND 39 159GND 209GND40 928GND 40 416GND 40 672GND 40 160GND41 io928 977GND 41 io416 465GND 41 io672 721GND 41 io160 209GND42 928GND io977 42 416GND io465 42 672GND io721 42 160GND io20943 977GND 43 465GND 43 721GND 43 209GND44 928GND MRLC4 44 416GND DP19G 44 672GND MRLC5 44 160GND45 PAD5HBG MRLC4G 45 DP23G DP19GU 45 PAD7HBG MRLC5G 45 CW40 PBRLVCC46 PAD5HB 46 DP23GU DP19S 46 PAD7HB 46 CW41 PBRLVCC47 PAD5HBG PAD5HCG 47 DP23S DP19F 47 PAD7HBG PAD7HCG 47 CW42 PBRLVCC48 PAD5HDG PAD5HC 48 DP23F DP19F 48 PAD7HDG PAD7HC 48 CW43 PBRLVCC49 PAD5HD PAD5HCG 49 DP23F DP19G 49 PAD7HD PAD7HCG 49 UC1250 PAD5HDG PAD5HXG 50 DP23G PAD7HAG 50 PAD7HDG PAD7HXG 50 UC13 SMP2DG51 PAD5LXG PAD5HX 51 PAD7LG PAD7HA 51 PAD7LXG PAD7HX 51 SG2XG SMP2D52 PAD5LX PAD5HXG 52 PAD7L PAD7HAG 52 PAD7LX PAD7HXG 52 SG2X SMP2DG53 PAD5LXG 53 PAD7LG 53 PAD7LXG 53 SG2XG SG2AG54 54 MVR2HGG 54 SMP2BG 54 SG2BG SG2A55 RSV25 55 MVR2HG 55 SMP2B RSV27 55 SG2B SG2AG56 RSV26 56 MVR2HGG CPS19 56 SMP2BG RSV28 56 SG2BG CPS23
A6-8 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT29-32[8/16]
J29 J30 J31 J32
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND VSB2G 1 GND HSIG1 1 GND VI2G 1 GND VRL2FG2 VIM2G VSB2 2 HSIG2 HSIS1 2 MASKG VI2 2 VRL2SG VRL2F3 VIM2 VSB2G 3 HSIS2 HSIG1 3 MASK VI2G 3 VRL2S VRL2FG4 VIM2G 856GND 4 HSIG2 344GND 4 MASKG 600GND 4 VRL2SG 88GND5 793GND 5 281GND 5 537GND 5 25GND6 io793 856GND 6 io281 344GND 6 io537 600GND 6 io25 88GND7 793GND io856 7 281GND io344 7 537GND io600 7 25GND io888 856GND 8 344GND 8 600GND 8 88GND9 793GND 855GND 9 281GND 343GND 9 537GND 599GND 9 25GND 87GND10 794GND 10 282GND 10 538GND 10 26GND11 io794 855GND 11 io282 343GND 11 io538 599GND 11 io26 87GND12 794GND io855 12 282GND io343 12 538GND io599 12 26GND io8713 855GND 13 343GND 13 599GND 13 87GND14 794GND 854GND 14 282GND 342GND 14 538GND 598GND 14 26GND 86GND15 795GND 15 283GND 15 539GND 15 27GND16 io795 854GND 16 io283 342GND 16 io539 598GND 16 io27 86GND17 795GND io854 17 283GND io342 17 539GND io598 17 27GND io8618 854GND 18 342GND 18 598GND 18 86GND19 795GND 853GND 19 283GND 341GND 19 539GND 597GND 19 27GND 85GND20 796GND 20 284GND 20 540GND 20 28GND21 io796 853GND 21 io284 341GND 21 io540 597GND 21 io28 85GND22 796GND io853 22 284GND io341 22 540GND io597 22 28GND io8523 853GND 23 341GND 23 597GND 23 85GND24 796GND 852GND 24 284GND 340GND 24 540GND 596GND 24 28GND 84GND25 797GND 25 285GND 25 541GND 25 29GND26 io797 852GND 26 io285 340GND 26 io541 596GND 26 io29 84GND27 797GND io852 27 285GND io340 27 541GND io596 27 29GND io8428 852GND 28 340GND 28 596GND 28 84GND29 797GND 851GND 29 285GND 339GND 29 541GND 595GND 29 29GND 83GND30 798GND 30 286GND 30 542GND 30 30GND31 io798 851GND 31 io286 339GND 31 io542 595GND 31 io30 83GND32 798GND io851 32 286GND io339 32 542GND io595 32 30GND io8333 851GND 33 339GND 33 595GND 33 83GND34 798GND 850GND 34 286GND 338GND 34 542GND 594GND 34 30GND 82GND35 799GND 35 287GND 35 543GND 35 31GND36 io799 850GND 36 io287 338GND 36 io543 594GND 36 io31 82GND37 799GND io850 37 287GND io338 37 543GND io594 37 31GND io8238 850GND 38 338GND 38 594GND 38 82GND39 799GND 849GND 39 287GND 337GND 39 543GND 593GND 39 31GND 81GND40 800GND 40 288GND 40 544GND 40 32GND41 io800 849GND 41 io288 337GND 41 io544 593GND 41 io32 81GND42 800GND io849 42 288GND io337 42 544GND io593 42 32GND io8143 849GND 43 337GND 43 593GND 43 81GND44 800GND MRLC6 44 288GND DP27G 44 544GND MRLC7 44 32GND45 MVRH2FG MRLC6G 45 DP31G DP27GU 45 WFD2HAG MRLC7G 45 CW44 PBVEE46 MVRH2F 46 DP31GU DP27S 46 WFD2HA 46 CW45 PBVEE47 MVRH2FG WFD2LG 47 DP31S DP27F 47 WFD2HAG WFD2HBG 47 CW46 PBVEE48 MVRH2SG WFD2L 48 DP31F DP27F 48 WFD2HCG WFD2HB 48 CW47 PBVEE49 MVRH2S WFD2LG 49 DP31F DP27G 49 WFD2HC WFD2HBG 49 UC1450 MVRH2SG MVRL2FG 50 DP31G UDC1GU 50 WFD2HCG WFD2HDG 50 UC15 ACVSNG51 MVRL2SG MVRL2F 51 UDC1G UDC1S 51 WFD2HEG WFD2HD 51 ACVSPG ACVSN52 MVRL2S MVRL2FG 52 UDC1F UDC1GU 52 WFD2HE WFD2HDG 52 ACVSP ACVSNG53 MVRL2SG 53 UDC1G AFG2PG 53 WFD2HEG 53 ACVSPG ACVMNG54 SG2XBG 54 AFG2NG AFG2P 54 WFD2HFG 54 ACVMPG ACVMN55 SG2XB RSV29 55 AFG2N AFG2PG 55 WFD2HF RSV31 55 ACVMP ACVMNG56 SG2XBG RSV30 56 AFG2NG CPS27 56 WFD2HFG RSV32 56 ACVMPG CPS31
A6-902.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT33-36[9/16]
J33 J34 J35 J36
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD3NG 1 GND TMU2CG 1 GND MTX9G 1 GND WFG1N3G2 WFD3PG WFD3N 2 TMU1CG TMU2C 2 MTX10G MTX9 2 WFG1P3G WFG1N33 WFD3P WFD3NG 3 TMU1C TMU2CG 3 MTX10 MTX9G 3 WFG1P3 WFG1N3G4 WFD3PG 40GND 4 TMU1CG 552GND 4 MTX10G 296GND 4 WFG1P3G 808GND5 105GND 5 617GND 5 361GND 5 873GND6 io105 40GND 6 io617 552GND 6 io361 296GND 6 io873 808GND7 105GND io40 7 617GND io552 7 361GND io296 7 873GND io8088 40GND 8 552GND 8 296GND 8 808GND9 105GND 39GND 9 617GND 551GND 9 361GND 295GND 9 873GND 807GND10 106GND 10 618GND 10 362GND 10 874GND11 io106 39GND 11 io618 551GND 11 io362 295GND 11 io874 807GND12 106GND io39 12 618GND io551 12 362GND io295 12 874GND io80713 39GND 13 551GND 13 295GND 13 807GND14 106GND 38GND 14 618GND 550GND 14 362GND 294GND 14 874GND 806GND15 107GND 15 619GND 15 363GND 15 875GND16 io107 38GND 16 io619 550GND 16 io363 294GND 16 io875 806GND17 107GND io38 17 619GND io550 17 363GND io294 17 875GND io80618 38GND 18 550GND 18 294GND 18 806GND19 107GND 37GND 19 619GND 549GND 19 363GND 293GND 19 875GND 805GND20 108GND 20 620GND 20 364GND 20 876GND21 io108 37GND 21 io620 549GND 21 io364 293GND 21 io876 805GND22 108GND io37 22 620GND io549 22 364GND io293 22 876GND io80523 37GND 23 549GND 23 293GND 23 805GND24 108GND 36GND 24 620GND 548GND 24 364GND 292GND 24 876GND 804GND25 109GND 25 621GND 25 365GND 25 877GND26 io109 36GND 26 io621 548GND 26 io365 292GND 26 io877 804GND27 109GND io36 27 621GND io548 27 365GND io292 27 877GND io80428 36GND 28 548GND 28 292GND 28 804GND29 109GND 35GND 29 621GND 547GND 29 365GND 291GND 29 877GND 803GND30 110GND 30 622GND 30 366GND 30 878GND31 io110 35GND 31 io622 547GND 31 io366 291GND 31 io878 803GND32 110GND io35 32 622GND io547 32 366GND io291 32 878GND io80333 35GND 33 547GND 33 291GND 33 803GND34 110GND 34GND 34 622GND 546GND 34 366GND 290GND 34 878GND 802GND35 111GND 35 623GND 35 367GND 35 879GND36 io111 34GND 36 io623 546GND 36 io367 290GND 36 io879 802GND37 111GND io34 37 623GND io546 37 367GND io290 37 879GND io80238 34GND 38 546GND 38 290GND 38 802GND39 111GND 33GND 39 623GND 545GND 39 367GND 289GND 39 879GND 801GND40 112GND 40 624GND 40 368GND 40 880GND41 io112 33GND 41 io624 545GND 41 io368 289GND 41 io880 801GND42 112GND io33 42 624GND io545 42 368GND io289 42 880GND io80143 33GND 43 545GND 43 289GND 43 801GND44 112GND DP4G 44 624GND MRLC8 44 368GND 44 880GND MRLC945 DP8G DP4GU 45 TMU1CXG MRLC8G 45 CW48 PBVEE 45 GWG1P3XG MRLC9G46 DP8GU DP4S 46 TMU1CX 46 CW49 PBVEE 46 GWG1P3X47 DP8S DP4F 47 TMU1CXG TMU2CXG 47 CW50 PBVEE 47 GWG1P3XG GWG1N3XG48 DP8F DP4F 48 WFG1P3XG TMU2CX 48 CW51 PBVEE 48 WFG2P3XG GWG1N3X49 DP8F DP4G 49 WFG1P3X TMU2CXG 49 UC16 49 WFG2P3X GWG1N3XG50 DP8G MMTX9G 50 WFG1P3XG WFG1N3XG 50 UC17 SMP3OG 50 WFG2P3XG WFG2N3XG51 VOFF3G MMTX9 51 MMTX10G WFG1N3X 51 AF2FLG SMP3O 51 MMTX12G WFG2N3X52 VOFF3 MMTX9G 52 MMTX10 WFG1N3XG 52 AF2FL SMP3OG 52 MMTX12 WFG2N3XG53 VOFF3G AFD3PG 53 MMTX10G 53 AF2FLG PAD2HAG 53 MMTX12G54 AFD3NG AFD3P 54 MMTX11G 54 PAD2LG PAD2HA 54 SMP3XG55 AFD3N AFD3PG 55 MMTX11 RSV33 55 PAD2L PAD2HAG 55 SMP3X RSV3556 AFD3NG CPS4 56 MMTX11G RSV34 56 PAD2LG CPS8 56 SMP3XG RSV36
A6-10 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT37-40[10/16]
J37 J38 J39 J40
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD3NXG 1 GND GWG1N3G 1 GND MTX11G 1 GND WFG2N3G2 WFD3PXG WFD3NX 2 GWG1P3G GWG1N3 2 MTX12G MTX11 2 WFG2P3G WFG2N33 WFD3PX WFD3NXG 3 GWG1P3 GWG1N3G 3 MTX12 MTX11G 3 WFG2P3 WFG2N3G4 WFD3PXG 168GND 4 GWG1P3G 680GND 4 MTX12G 424GND 4 WFG2P3G 936GND5 233GND 5 745GND 5 489GND 5 1001GND6 io233 168GND 6 io745 680GND 6 io489 424GND 6 io1001 936GND7 233GND io168 7 745GND io680 7 489GND io424 7 1001GND io9368 168GND 8 680GND 8 424GND 8 936GND9 233GND 167GND 9 745GND 679GND 9 489GND 423GND 9 1001GND 935GND10 234GND 10 746GND 10 490GND 10 1002GND11 io234 167GND 11 io746 679GND 11 io490 423GND 11 io1002 935GND12 234GND io167 12 746GND io679 12 490GND io423 12 1002GND io93513 167GND 13 679GND 13 423GND 13 935GND14 234GND 166GND 14 746GND 678GND 14 490GND 422GND 14 1002GND 934GND15 235GND 15 747GND 15 491GND 15 1003GND16 io235 166GND 16 io747 678GND 16 io491 422GND 16 io1003 934GND17 235GND io166 17 747GND io678 17 491GND io422 17 1003GND io93418 166GND 18 678GND 18 422GND 18 934GND19 235GND 165GND 19 747GND 677GND 19 491GND 421GND 19 1003GND 933GND20 236GND 20 748GND 20 492GND 20 1004GND21 io236 165GND 21 io748 677GND 21 io492 421GND 21 io1004 933GND22 236GND io165 22 748GND io677 22 492GND io421 22 1004GND io93323 165GND 23 677GND 23 421GND 23 933GND24 236GND 164GND 24 748GND 676GND 24 492GND 420GND 24 1004GND 932GND25 237GND 25 749GND 25 493GND 25 1005GND26 io237 164GND 26 io749 676GND 26 io493 420GND 26 io1005 932GND27 237GND io164 27 749GND io676 27 493GND io420 27 1005GND io93228 164GND 28 676GND 28 420GND 28 932GND29 237GND 163GND 29 749GND 675GND 29 493GND 419GND 29 1005GND 931GND30 238GND 30 750GND 30 494GND 30 1006GND31 io238 163GND 31 io750 675GND 31 io494 419GND 31 io1006 931GND32 238GND io163 32 750GND io675 32 494GND io419 32 1006GND io93133 163GND 33 675GND 33 419GND 33 931GND34 238GND 162GND 34 750GND 674GND 34 494GND 418GND 34 1006GND 930GND35 239GND 35 751GND 35 495GND 35 1007GND36 io239 162GND 36 io751 674GND 36 io495 418GND 36 io1007 930GND37 239GND io162 37 751GND io674 37 495GND io418 37 1007GND io93038 162GND 38 674GND 38 418GND 38 930GND39 239GND 161GND 39 751GND 673GND 39 495GND 417GND 39 1007GND 929GND40 240GND 40 752GND 40 496GND 40 1008GND41 io240 161GND 41 io752 673GND 41 io496 417GND 41 io1008 929GND42 240GND io161 42 752GND io673 42 496GND io417 42 1008GND io92943 161GND 43 673GND 43 417GND 43 929GND44 240GND DP12G 44 752GND MRLC10 44 496GND 44 1008GND MRLC1145 DP16G DP12GU 45 PAG1P2G MRLC10G 45 CW52 PBM15V 45 PAG2P2G MRLC11G46 DP16GU DP12S 46 PAG1P2 46 CW53 PBM15V 46 PAG2P247 DP16S DP12F 47 PAG1P2G PAG1N2G 47 CW54 PBM15V 47 PAG2P2G PAG2N2G48 DP16F DP12F 48 PAG1P2XG PAG1N2 48 CW55 PBM15V 48 PAG2P2XG PAG2N249 DP16F DP12G 49 PAG1P2X PAG1N2G 49 UC18 49 PAG2P2X PAG2N2G50 DP16G MMTXCG 50 PAG1P2XG 50 UC19 50 PAG2P2XG SMP3DG51 AFCALG MMTXC 51 PAG1N2XG 51 VD1XPG 51 PAG2N2XG SMP3D52 AFCAL MMTXCG 52 PAG1N2X UDC6GU 52 VD1XP 52 PAG2N2X SMP3DG53 AFCALG SMP3AG 53 PAG1N2XG UDC6S 53 VD1XPG VD1APG 53 PAG2N2XG54 SMP3CG SMP3A 54 UDC6G UDC6GU 54 VD1ANG VD1AP 54 SMP3BG55 SMP3C SMP3AG 55 UDC6F RSV37 55 VD1AN VD1APG 55 SMP3B RSV3956 SMP3CG CPS12 56 UDC6G RSV38 56 VD1ANG CPS16 56 SMP3BG RSV40
A6-1102.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT41-44[11/16]
J41 J42 J43 J44
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSOG3 1 GND SMP3NG 1 GND VRH3FG 1 GND SMP3NXG2 HSOG4 HSOS3 2 SMP3PG SMP3N 2 VRH3SG VRH3F 2 SMP3PXG SMP3NX3 HSOS4 HSOG3 3 SMP3P SMP3NG 3 VRH3S VRH3FG 3 SMP3PX SMP3NXG4 HSOG4 48GND 4 SMP3PG 560GND 4 VRH3SG 304GND 4 SMP3PXG 816GND5 97GND 5 609GND 5 353GND 5 865GND6 io97 48GND 6 io609 560GND 6 io353 304GND 6 io865 816GND7 97GND io48 7 609GND io560 7 353GND io304 7 865GND io8168 48GND 8 560GND 8 304GND 8 816GND9 97GND 47GND 9 609GND 559GND 9 353GND 303GND 9 865GND 815GND10 98GND 10 610GND 10 354GND 10 866GND11 io98 47GND 11 io610 559GND 11 io354 303GND 11 io866 815GND12 98GND io47 12 610GND io559 12 354GND io303 12 866GND io81513 47GND 13 559GND 13 303GND 13 815GND14 98GND 46GND 14 610GND 558GND 14 354GND 302GND 14 866GND 814GND15 99GND 15 611GND 15 355GND 15 867GND16 io99 46GND 16 io611 558GND 16 io355 302GND 16 io867 814GND17 99GND io46 17 611GND io558 17 355GND io302 17 867GND io81418 46GND 18 558GND 18 302GND 18 814GND19 99GND 45GND 19 611GND 557GND 19 355GND 301GND 19 867GND 813GND20 100GND 20 612GND 20 356GND 20 868GND21 io100 45GND 21 io612 557GND 21 io356 301GND 21 io868 813GND22 100GND io45 22 612GND io557 22 356GND io301 22 868GND io81323 45GND 23 557GND 23 301GND 23 813GND24 100GND 44GND 24 612GND 556GND 24 356GND 300GND 24 868GND 812GND25 101GND 25 613GND 25 357GND 25 869GND26 io101 44GND 26 io613 556GND 26 io357 300GND 26 io869 812GND27 101GND io44 27 613GND io556 27 357GND io300 27 869GND io81228 44GND 28 556GND 28 300GND 28 812GND29 101GND 43GND 29 613GND 555GND 29 357GND 299GND 29 869GND 811GND30 102GND 30 614GND 30 358GND 30 870GND31 io102 43GND 31 io614 555GND 31 io358 299GND 31 io870 811GND32 102GND io43 32 614GND io555 32 358GND io299 32 870GND io81133 43GND 33 555GND 33 299GND 33 811GND34 102GND 42GND 34 614GND 554GND 34 358GND 298GND 34 870GND 810GND35 103GND 35 615GND 35 359GND 35 871GND36 io103 42GND 36 io615 554GND 36 io359 298GND 36 io871 810GND37 103GND io42 37 615GND io554 37 359GND io298 37 871GND io81038 42GND 38 554GND 38 298GND 38 810GND39 103GND 41GND 39 615GND 553GND 39 359GND 297GND 39 871GND 809GND40 104GND 40 616GND 40 360GND 40 872GND41 io104 41GND 41 io616 553GND 41 io360 297GND 41 io872 809GND42 104GND io41 42 616GND io553 42 360GND io297 42 872GND io80943 41GND 43 553GND 43 297GND 43 809GND44 104GND DP20G 44 616GND MRLC12 44 360GND PBTYP0 44 872GND MRLC1345 DP24G DP20GU 45 PAD2HBG MRLC12G 45 CW56 PBTYP1 45 PAD4HBG MRLC13G46 DP24GU DP20S 46 PAD2HB 46 CW57 PBTYP2 46 PAD4HB47 DP24S DP20F 47 PAD2HBG PAD2HCG 47 CW58 PBTYP3 47 PAD4HBG PAD4HCG48 DP24F DP20F 48 PAD2HDG PAD2HC 48 CW59 PBTYP4 48 PAD4HDG PAD4HC49 DP24F DP20G 49 PAD2HD PAD2HCG 49 UC20 PBTYP5 49 PAD4HD PAD4HCG50 DP24G PAD4HAG 50 PAD2HDG PAD2HXG 50 UC21 HGNDG 50 PAD4HDG PAD4HXG51 PAD4LG PAD4HA 51 PAD2LXG PAD2HX 51 VFG1XG HGND 51 PAD4LXG PAD4HX52 PAD4L PAD4HAG 52 PAD2LX PAD2HXG 52 VFG1X HGNDG 52 PAD4LX PAD4HXG53 PAD4LG VD1BPG 53 PAD2LXG 53 VFG1XG VFG1AG 53 PAD4LXG54 VD1BNG VD1BP 54 MVR3HGG 54 VFG1BG VFG1A 5455 VD1BN VD1BPG 55 MVR3HG RSV41 55 VFG1B VFG1AG 55 RSV4356 VD1BNG CPS20 56 MVR3HGG RSV42 56 VFG1BG CPS24 56 RSV44
A6-12 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT45-48[12/16]
J45 J46 J47 J48
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSIG3 1 GND VSB3G 1 GND SGCALG 1 GND VI3G2 HSIG4 HSIS3 2 VIM3G VSB3 2 SMPDGG SGCAL 2 VI33 HSIS4 HSIG3 3 VIM3 VSB3G 3 SMPDG SGCALG 3 VI3G4 HSIG4 176GND 4 VIM3G 688GND 4 SMPDGG 432GND 4 944GND5 225GND 5 737GND 5 481GND 5 993GND6 io225 176GND 6 io737 688GND 6 io481 432GND 6 io993 944GND7 225GND io176 7 737GND io688 7 481GND io432 7 993GND io9448 176GND 8 688GND 8 432GND 8 944GND9 225GND 175GND 9 737GND 687GND 9 481GND 431GND 9 993GND 943GND10 226GND 10 738GND 10 482GND 10 994GND11 io226 175GND 11 io738 687GND 11 io482 431GND 11 io994 943GND12 226GND io175 12 738GND io687 12 482GND io431 12 994GND io94313 175GND 13 687GND 13 431GND 13 943GND14 226GND 174GND 14 738GND 686GND 14 482GND 430GND 14 994GND 942GND15 227GND 15 739GND 15 483GND 15 995GND16 io227 174GND 16 io739 686GND 16 io483 430GND 16 io995 942GND17 227GND io174 17 739GND io686 17 483GND io430 17 995GND io94218 174GND 18 686GND 18 430GND 18 942GND19 227GND 173GND 19 739GND 685GND 19 483GND 429GND 19 995GND 941GND20 228GND 20 740GND 20 484GND 20 996GND21 io228 173GND 21 io740 685GND 21 io484 429GND 21 io996 941GND22 228GND io173 22 740GND io685 22 484GND io429 22 996GND io94123 173GND 23 685GND 23 429GND 23 941GND24 228GND 172GND 24 740GND 684GND 24 484GND 428GND 24 996GND 940GND25 229GND 25 741GND 25 485GND 25 997GND26 io229 172GND 26 io741 684GND 26 io485 428GND 26 io997 940GND27 229GND io172 27 741GND io684 27 485GND io428 27 997GND io94028 172GND 28 684GND 28 428GND 28 940GND29 229GND 171GND 29 741GND 683GND 29 485GND 427GND 29 997GND 939GND30 230GND 30 742GND 30 486GND 30 998GND31 io230 171GND 31 io742 683GND 31 io486 427GND 31 io998 939GND32 230GND io171 32 742GND io683 32 486GND io427 32 998GND io93933 171GND 33 683GND 33 427GND 33 939GND34 230GND 170GND 34 742GND 682GND 34 486GND 426GND 34 998GND 938GND35 231GND 35 743GND 35 487GND 35 999GND36 io231 170GND 36 io743 682GND 36 io487 426GND 36 io999 938GND37 231GND io170 37 743GND io682 37 487GND io426 37 999GND io93838 170GND 38 682GND 38 426GND 38 938GND39 231GND 169GND 39 743GND 681GND 39 487GND 425GND 39 999GND 937GND40 232GND 40 744GND 40 488GND 40 1000GND41 io232 169GND 41 io744 681GND 41 io488 425GND 41 io1000 937GND42 232GND io169 42 744GND io681 42 488GND io425 42 1000GND io93743 169GND 43 681GND 43 425GND 43 937GND44 232GND DP28G 44 744GND MRLC14 44 488GND 44 1000GND MRLC1545 DP32G DP28GU 45 MVRH3FG MRLC14G 45 CW60 45 WFD3HAG MRLC15G46 DP32GU DP28S 46 MVRH3F 46 CW61 46 WFD3HA47 DP32S DP28F 47 MVRH3FG WFD3LG 47 CW62 CLD1 47 WFD3HAG WFD3HBG48 DP32F DP28F 48 MVRH3SG WFD3L 48 CW63 CLD2 48 WFD3HCG WFD3HB49 DP32F DP28G 49 MVRH3S WFD3LG 49 UC22 CLD3 49 WFD3HC WFD3HBG50 DP32G UDC2GU 50 MVRH3SG MVRL3FG 50 UC23 EVO1G 50 WFD3HCG WFD3HDG51 UDC2G UDC2S 51 MVRL3SG MVRL3F 51 EVO2G EVO1 51 WFD3HEG WFD3HD52 UDC2F UDC2GU 52 MVRL3S MVRL3FG 52 EVO2 EVO1G 52 WFD3HE WFD3HDG53 UDC2G AFG3PG 53 MVRL3SG 53 EVO2G EXEV1G 53 WFD3HEG54 AFG3NG AFG3P 54 54 EXEV2G EXEV1 54 WFD3HFG55 AFG3N AFG3PG 55 RSV45 55 EXEV2 EXEV1G 55 WFD3HF RSV4756 AFG3NG CPS28 56 RSV46 56 EXEV2G CPS32 56 WFD3HFG RSV48
A6-1302.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT49-52[13/16]
J49 J50 J51 J52
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND TMU2DG 1 GND WFD4NG 1 GND WFG1N4G 1 GND MTX13G2 TMU1DG TMU2D 2 WFD4PG WFD4N 2 WFG1P4G WFG1N4 2 MTX14G MTX133 TMU1D TMU2DG 3 WFD4P WFD4NG 3 WFG1P4 WFG1N4G 3 MTX14 MTX13G4 TMU1DG 1024GND 4 WFD4PG 512GND 4 WFG1P4G 768GND 4 MTX14G 256GND5 945GND 5 433GND 5 689GND 5 177GND6 io945 1024GND 6 io433 512GND 6 io689 768GND 6 io177 256GND7 945GND io1024 7 433GND io512 7 689GND io768 7 177GND io2568 1024GND 8 512GND 8 768GND 8 256GND9 945GND 1023GND 9 433GND 511GND 9 689GND 767GND 9 177GND 255GND10 946GND 10 434GND 10 690GND 10 178GND11 io946 1023GND 11 io434 511GND 11 io690 767GND 11 io178 255GND12 946GND io1023 12 434GND io511 12 690GND io767 12 178GND io25513 1023GND 13 511GND 13 767GND 13 255GND14 946GND 1022GND 14 434GND 510GND 14 690GND 766GND 14 178GND 254GND15 947GND 15 435GND 15 691GND 15 179GND16 io947 1022GND 16 io435 510GND 16 io691 766GND 16 io179 254GND17 947GND io1022 17 435GND io510 17 691GND io766 17 179GND io25418 1022GND 18 510GND 18 766GND 18 254GND19 947GND 1021GND 19 435GND 509GND 19 691GND 765GND 19 179GND 253GND20 948GND 20 436GND 20 692GND 20 180GND21 io948 1021GND 21 io436 509GND 21 io692 765GND 21 io180 253GND22 948GND io1021 22 436GND io509 22 692GND io765 22 180GND io25323 1021GND 23 509GND 23 765GND 23 253GND24 948GND 1020GND 24 436GND 508GND 24 692GND 764GND 24 180GND 252GND25 949GND 25 437GND 25 693GND 25 181GND26 io949 1020GND 26 io437 508GND 26 io693 764GND 26 io181 252GND27 949GND io1020 27 437GND io508 27 693GND io764 27 181GND io25228 1020GND 28 508GND 28 764GND 28 252GND29 949GND 1019GND 29 437GND 507GND 29 693GND 763GND 29 181GND 251GND30 950GND 30 438GND 30 694GND 30 182GND31 io950 1019GND 31 io438 507GND 31 io694 763GND 31 io182 251GND32 950GND io1019 32 438GND io507 32 694GND io763 32 182GND io25133 1019GND 33 507GND 33 763GND 33 251GND34 950GND 1018GND 34 438GND 506GND 34 694GND 762GND 34 182GND 250GND35 951GND 35 439GND 35 695GND 35 183GND36 io951 1018GND 36 io439 506GND 36 io695 762GND 36 io183 250GND37 951GND io1018 37 439GND io506 37 695GND io762 37 183GND io25038 1018GND 38 506GND 38 762GND 38 250GND39 951GND 1017GND 39 439GND 505GND 39 695GND 761GND 39 183GND 249GND40 952GND 40 440GND 40 696GND 40 184GND41 io952 1017GND 41 io440 505GND 41 io696 761GND 41 io184 249GND42 952GND io1017 42 440GND io505 42 696GND io761 42 184GND io24943 1017GND 43 505GND 43 761GND 43 249GND44 952GND 44 440GND DP1G 44 696GND 44 184GND PFB045 TMU1DXG 45 DP5G DP1GU 45 GWG1P4XG 45 CW0 PFB146 TMU1DX 46 DP5GU DP1S 46 GWG1P4X 46 CW1 PFB247 TMU1DXG TMU2DXG 47 DP5S DP1F 47 GWG1P4XG GWG1N4XG 47 CW2 PFB348 WFG1P4XG TMU2DX 48 DP5F DP1F 48 WFG2P4XG GWG1N4X 48 CW3 UCM149 WFG1P4X TMU2DXG 49 DP5F DP1G 49 WFG2P4X GWG1N4XG 49 UC24 UCM250 WFG1P4XG WFG1N4XG 50 DP5G MMTX13G 50 WFG2P4XG WFG2N4XG 50 UC25 SMP4OG51 MMTX14G WFG1N4X 51 VOFF4G MMTX13 51 MMTX16G WFG2N4X 51 AF2NTG SMP4O52 MMTX14 WFG1N4XG 52 VOFF4 MMTX13G 52 MMTX16 WFG2N4XG 52 AF2NT SMP4OG53 MMTX14G 53 VOFF4G AFD4PG 53 MMTX16G 53 AF2NTG PAD6HAG54 MMTX15G 54 AFD4NG AFD4P 54 SMP4XG 54 PAD6LG PAD6HA55 MMTX15 RSV49 55 AFD4N AFD4PG 55 SMP4X RSV51 55 PAD6L PAD6HAG56 MMTX15G RSV50 56 AFD4NG CPS1 56 SMP4XG RSV52 56 PAD6LG CPS5
A6-14 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT53-56[14/16]
J53 J54 J55 J56
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND GWG1N4G 1 GND WFD4NXG 1 GND WFG2N4G 1 GND MTX15G2 GWG1P4G GWG1N4 2 WFD4PXG WFD4NX 2 WFG2P4G WFG2N4 2 MTX16G MTX153 GWG1P4 GWG1N4G 3 WFD4PX WFD4NXG 3 WFG2P4 WFG2N4G 3 MTX16 MTX15G4 GWG1P4G 896GND 4 WFD4PXG 384GND 4 WFG2P4G 640GND 4 MTX16G 128GND5 817GND 5 305GND 5 561GND 5 49GND6 io817 896GND 6 io305 384GND 6 io561 640GND 6 io49 128GND7 817GND io896 7 305GND io384 7 561GND io640 7 49GND io1288 896GND 8 384GND 8 640GND 8 128GND9 817GND 895GND 9 305GND 383GND 9 561GND 639GND 9 49GND 127GND10 818GND 10 306GND 10 562GND 10 50GND11 io818 895GND 11 io306 383GND 11 io562 639GND 11 io50 127GND12 818GND io895 12 306GND io383 12 562GND io639 12 50GND io12713 895GND 13 383GND 13 639GND 13 127GND14 818GND 894GND 14 306GND 382GND 14 562GND 638GND 14 50GND 126GND15 819GND 15 307GND 15 563GND 15 51GND16 io819 894GND 16 io307 382GND 16 io563 638GND 16 io51 126GND17 819GND io894 17 307GND io382 17 563GND io638 17 51GND io12618 894GND 18 382GND 18 638GND 18 126GND19 819GND 893GND 19 307GND 381GND 19 563GND 637GND 19 51GND 125GND20 820GND 20 308GND 20 564GND 20 52GND21 io820 893GND 21 io308 381GND 21 io564 637GND 21 io52 125GND22 820GND io893 22 308GND io381 22 564GND io637 22 52GND io12523 893GND 23 381GND 23 637GND 23 125GND24 820GND 892GND 24 308GND 380GND 24 564GND 636GND 24 52GND 124GND25 821GND 25 309GND 25 565GND 25 53GND26 io821 892GND 26 io309 380GND 26 io565 636GND 26 io53 124GND27 821GND io892 27 309GND io380 27 565GND io636 27 53GND io12428 892GND 28 380GND 28 636GND 28 124GND29 821GND 891GND 29 309GND 379GND 29 565GND 635GND 29 53GND 123GND30 822GND 30 310GND 30 566GND 30 54GND31 io822 891GND 31 io310 379GND 31 io566 635GND 31 io54 123GND32 822GND io891 32 310GND io379 32 566GND io635 32 54GND io12333 891GND 33 379GND 33 635GND 33 123GND34 822GND 890GND 34 310GND 378GND 34 566GND 634GND 34 54GND 122GND35 823GND 35 311GND 35 567GND 35 55GND36 io823 890GND 36 io311 378GND 36 io567 634GND 36 io55 122GND37 823GND io890 37 311GND io378 37 567GND io634 37 55GND io12238 890GND 38 378GND 38 634GND 38 122GND39 823GND 889GND 39 311GND 377GND 39 567GND 633GND 39 55GND 121GND40 824GND 40 312GND 40 568GND 40 56GND41 io824 889GND 41 io312 377GND 41 io568 633GND 41 io56 121GND42 824GND io889 42 312GND io377 42 568GND io633 42 56GND io12143 889GND 43 377GND 43 633GND 43 121GND44 824GND 44 312GND DP9G 44 568GND 44 56GND PFB445 PAG1P4G 45 DP13G DP9GU 45 PAG2P4G 45 CW4 PFB546 PAG1P4 46 DP13GU DP9S 46 PAG2P4 46 CW5 PFB647 PAG1P4G PAG1N4G 47 DP13S DP9F 47 PAG2P4G PAG2N4G 47 CW6 PFB748 PAG1P4XG PAG1N4 48 DP13F DP9F 48 PAG2P4XG PAG2N4 48 CW7 UCM349 PAG1P4X PAG1N4G 49 DP13F DP9G 49 PAG2P4X PAG2N4G 49 UC26 UCM450 PAG1P4XG 50 DP13G MMTXDG 50 PAG2P4XG 50 UC2751 PAG1N4XG 51 MMTXD 51 PAG2N4XG 51 VD2XPG52 PAG1N4X 52 MMTXDG 52 PAG2N4X UDC7GU 52 VD2XP53 PAG1N4XG 53 SMP4AG 53 PAG2NX4G UDC7S 53 VD2XPG VD2APG54 54 SMP4CG SMP4A 54 UDC7G UDC7GU 54 VD2ANG VD2AP55 RSV53 55 SMP4C SMP4AG 55 UDC7F RSV55 55 VD2AN VD2APG56 RSV54 56 SMP4CG CPS9 56 UDC7G RSV56 56 VD2ANG CPS13
A6-1502.9.30
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付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT57-60[15/16]
J57 J58 J59 J60
Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND SMP4NG 1 GND HSOG5 1 GND SMP4NXG 1 GND VRH4FG2 SMP4PG SMP4N 2 HSOG6 HSOS5 2 SMP4PXG SMP4NX 2 VRH4SG VRH4F3 SMP4P SMP4NG 3 HSOS6 HSOG5 3 SMP4PX SMP4NXG 3 VRH4S VRH4FG4 SMP4PG 1016GND 4 HSOG6 504GND 4 SMP4PXG 760GND 4 VRH4SG 248GND5 953GND 5 441GND 5 697GND 5 185GND6 io953 1016GND 6 io441 504GND 6 io697 760GND 6 io185 248GND7 953GND io1016 7 441GND io504 7 697GND io760 7 185GND io2488 1016GND 8 504GND 8 760GND 8 248GND9 953GND 1015GND 9 441GND 503GND 9 697GND 759GND 9 185GND 247GND10 954GND 10 442GND 10 698GND 10 186GND11 io954 1015GND 11 io442 503GND 11 io698 759GND 11 io186 247GND12 954GND io1015 12 442GND io503 12 698GND io759 12 186GND io24713 1015GND 13 503GND 13 759GND 13 247GND14 954GND 1014GND 14 442GND 502GND 14 698GND 758GND 14 186GND 246GND15 955GND 15 443GND 15 699GND 15 187GND16 io955 1014GND 16 io443 502GND 16 io699 758GND 16 io187 246GND17 955GND io1014 17 443GND io502 17 699GND io758 17 187GND io24618 1014GND 18 502GND 18 758GND 18 246GND19 955GND 1013GND 19 443GND 501GND 19 699GND 757GND 19 187GND 245GND20 956GND 20 444GND 20 700GND 20 188GND21 io956 1013GND 21 io444 501GND 21 io700 757GND 21 io188 245GND22 956GND io1013 22 444GND io501 22 700GND io757 22 188GND io24523 1013GND 23 501GND 23 757GND 23 245GND24 956GND 1012GND 24 444GND 500GND 24 700GND 756GND 24 188GND 244GND25 957GND 25 445GND 25 701GND 25 189GND26 io957 1012GND 26 io445 500GND 26 io701 756GND 26 io189 244GND27 957GND io1012 27 445GND io500 27 701GND io756 27 189GND io24428 1012GND 28 500GND 28 756GND 28 244GND29 957GND 1011GND 29 445GND 499GND 29 701GND 755GND 29 189GND 243GND30 958GND 30 446GND 30 702GND 30 190GND31 io958 1011GND 31 io446 499GND 31 io702 755GND 31 io190 243GND32 958GND io1011 32 446GND io499 32 702GND io755 32 190GND io24333 1011GND 33 499GND 33 755GND 33 243GND34 958GND 1010GND 34 446GND 498GND 34 702GND 754GND 34 190GND 242GND35 959GND 35 447GND 35 703GND 35 191GND36 io959 1010GND 36 io447 498GND 36 io703 754GND 36 io191 242GND37 959GND io1010 37 447GND io498 37 703GND io754 37 191GND io24238 1010GND 38 498GND 38 754GND 38 242GND39 959GND 1009GND 39 447GND 497GND 39 703GND 753GND 39 191GND 241GND40 960GND 40 448GND 40 704GND 40 192GND41 io960 1009GND 41 io448 497GND 41 io704 753GND 41 io192 241GND42 960GND io1009 42 448GND io497 42 704GND io753 42 192GND io24143 1009GND 43 497GND 43 753GND 43 241GND44 960GND 44 448GND DP17G 44 704GND 44 192GND PFB845 PAD6HBG 45 DP21G DP17GU 45 PAD8HBG 45 CW8 PFB946 PAD6HB 46 DP21GU DP17S 46 PAD8HB 46 CW9 PFB1047 PAD6HBG PAD6HCG 47 DP21S DP17F 47 PAD8HBG PAD8HCG 47 CW10 PFB1148 PAD6HDG PAD6HC 48 DP21F DP17F 48 PAD8HDG PAD8HC 48 CW11 UPCA49 PAD6HD PAD6HCG 49 DP21F DP17G 49 PAD8HD PAD8HCG 49 UC28 UPCB50 PAD6HDG PAD6HXG 50 DP21G PAD8HAG 50 PAD8HDG PAD8HXG 50 UC29 MVR4HGG51 PAD6LXG PAD6HX 51 PAD8LG PAD8HA 51 PAD8LXG PAD8HX 51 VFG2XG MVR4HG52 PAD6LX PAD6HXG 52 PAD8L PAD8HAG 52 PAD8LX PAD8HXG 52 VFG2X MVR4HGG53 PAD6LXG 53 PAD8LG VD2BPG 53 PAD8LXG 53 VFG2XG VFG2AG54 SMP4BG 54 VD2BNG VD2BP 54 SMP4DG 54 VFG2BG VFG2A55 SMP4B RSV57 55 VD2BN VD2BPG 55 SMP4D RSV59 55 VFG2B VFG2AG56 SMP4BG RSV58 56 VD2BNG CPS17 56 SMP4DG RSV60 56 VFG2BG CPS21
A6-16 02.9.30
T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線
• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT61-64[16/16]
J61 J62 J63 J64
Pin A B Pin A B Pin A B A B1 GND VSB4G 1 GND HSIG5 1 GND VI4G Pin1 GND EXCK1G2 VIM4G VSB4 2 HSIG6 HSIS5 2 VI4 2 EXCK2G EXCK13 VIM4 VSB4G 3 HSIS6 HSIG5 3 VI4G 3 EXCK2 EXCK1G4 VIM4G 888GND 4 HSIG6 376GND 4 632GND 4 EXCK2G 120GND5 825GND 5 313GND 5 569GND 5 57GND6 io825 888GND 6 io313 376GND 6 io569 632GND 6 io57 120GND7 825GND io888 7 313GND io376 7 569GND io632 7 57GND io1208 888GND 8 376GND 8 632GND 8 120GND9 825GND 887GND 9 313GND 375GND 9 569GND 631GND 9 57GND 119GND10 826GND 10 314GND 10 570GND 10 58GND11 io826 887GND 11 io314 375GND 11 io570 631GND 11 io58 119GND12 826GND io887 12 314GND io375 12 570GND io631 12 58GND io11913 887GND 13 375GND 13 631GND 13 119GND14 826GND 886GND 14 314GND 374GND 14 570GND 630GND 14 58GND 118GND15 827GND 15 315GND 15 571GND 15 59GND16 io827 886GND 16 io315 374GND 16 io571 630GND 16 io59 118GND17 827GND io886 17 315GND io374 17 571GND io630 17 59GND io11818 886GND 18 374GND 18 630GND 18 118GND19 827GND 885GND 19 315GND 373GND 19 571GND 629GND 19 59GND 117GND20 828GND 20 316GND 20 572GND 20 60GND21 io828 885GND 21 io316 373GND 21 io572 629GND 21 io60 117GND22 828GND io885 22 316GND io373 22 572GND io629 22 60GND io11723 885GND 23 373GND 23 629GND 23 117GND24 828GND 884GND 24 316GND 372GND 24 572GND 628GND 24 60GND 116GND25 829GND 25 317GND 25 573GND 25 61GND26 io829 884GND 26 io317 372GND 26 io573 628GND 26 io61 116GND27 829GND io884 27 317GND io372 27 573GND io628 27 61GND io11628 884GND 28 372GND 28 628GND 28 116GND29 829GND 883GND 29 317GND 371GND 29 573GND 627GND 29 61GND 115GND30 830GND 30 318GND 30 574GND 30 62GND31 io830 883GND 31 io318 371GND 31 io574 627GND 31 io62 115GND32 830GND io883 32 318GND io371 32 574GND io627 32 62GND io11533 883GND 33 371GND 33 627GND 33 115GND34 830GND 882GND 34 318GND 370GND 34 574GND 626GND 34 62GND 114GND35 831GND 35 319GND 35 575GND 35 63GND36 io831 882GND 36 io319 370GND 36 io575 626GND 36 io63 114GND37 831GND io882 37 319GND io370 37 575GND io626 37 63GND io11438 882GND 38 370GND 38 626GND 38 114GND39 831GND 881GND 39 319GND 369GND 39 575GND 625GND 39 63GND 113GND40 832GND 40 320GND 40 576GND 40 64GND41 io832 881GND 41 io320 369GND 41 io576 625GND 41 io64 113GND42 832GND io881 42 320GND io369 42 576GND io625 42 64GND io11343 881GND 43 369GND 43 625GND 43 113GND44 832GND 44 320GND DP25G 44 576GND PBS 44 64GND PFB1245 MVRH4FG 45 DP29G DP25GU 45 WFD4HAG AIRG4 45 CW12 PFB1346 MVRH4F 46 DP29GU DP25S 46 WFD4HA 46 CW13 PFB1447 MVRH4FG WFD4LG 47 DP29S DP25F 47 WFD4HAG WFD4HBG 47 CW14 PFB1548 MVRH4SG WFD4L 48 DP29F DP25F 48 WFD4HCG WFD4HB 48 CW1549 MVRH4S WFD4LG 49 DP29F DP25G 49 WFD4HC WFD4HBG 49 UC3050 MVRH4SG MVRL4FG 50 DP29G UDC3GU 50 WFD4HCG WFD4HDG 50 UC31 EVO3G51 MVRL4SG MVRL4F 51 UDC3G UDC3S 51 WFD4HEG WFD4HD 51 EVO4G EVO352 MVRL4S MVRL4FG 52 UDC3F UDC3GU 52 WFD4HE WFD4HDG 52 EVO4 EVO3G53 MVRL4SG 53 UDC3G AFG4PG 53 WFD4HEG 53 EVO4G AFDCKG54 54 AFG4NG AFG4P 54 WFD4HFG 54 CLKOG AFDCK55 RSV61 55 AFG4N AFG4PG 55 WFD4HF RSV63 55 CLKO AFDCKG56 RSV62 56 AFG4NG CPS25 56 WFD4HFG RSV64 56 CLKOG CPS29
A6-1702.9.30
T6575/T6565/T6535 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル
付録 7. Disk Storageのジャンパ設定
A7.1 AHN-DK32DJ*36/AHN-DK32EJ*36の場合
HDA (top)側に、“DK32DJ”もしくは “DK32EJ”と記載されています。
図 A7-1 ハードディスク top側の図
A7-105.5.7
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付録 8. TC7 CD-RWの使用方法
付録 8. TC7 CD-RWの使用方法
A8.1 CD-RW使用上の注意
(1) CD-RWへの書き込みは root (super user)で行って下さい。TC7に pkgaddされている cdrwのパッケージは、root以外での書き込みはできません。
(2) CD-RWメディアは、ISOフォーマットのものを使用して下さい。DirectCDフォーマットには対応しておりません。
(3) ブランク・メディア以外を使用する場合は、最後に書き込んだセッションの削除を行って下さい。セッションの削除に関しては、下記コマンドを使用して下さい。
なお、本操作も root (super user)で行う必要があります。
最後に書き込まれた容量により、削除にかかる時間は異なります。(1 MByteで数分程度)
# cdrw -b session
A8-105.5.7
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A8.2 CD-RW使用方法
A8.2 CD-RW使用方法
(注) 説明の都合上ユーザを vpoint、ディレクトリを backupとします。
(1) ディレクトリの作成
vpointユーザにログインし、バックアップ用のディレクトリを作成します。
(2) バックアップしたいファイルを backupの下にコピーします。
(3) root (super user)でログインし、バックアップします。
下記コマンドを入力し、メディアにデータを書き込みます。バックアップ・メディアの容量
により、書き込むコマンドが異なることに注意して下さい。
(a) メディアの容量が 650 MByteの場合
(b) CD-RWメディアの容量が 700 MByteの場合
% mkdir backup
# mkifofs -r /home/vpoint/backup 2>/dev/null | cdrw -i
# mkifofs -r /home/vpoint/backup 2>/dev/null | cdrw -i -C
A8-2 05.5.7