T6672/T6673 VLSI テスト・システム

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MANUAL NUMBER 禁無断複製転載 C 株式会社アドバンテスト Printed in Japan T6672/T6673 VLSI テスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル 8339667-19 1999 初版 1999 10 8 適用機種 T6672 T6673 意:こ マニュアルに されているメンテナン に、安 する されている「IC テスト・システム 引き」を にお さい。 表紙

Transcript of T6672/T6673 VLSI テスト・システム

MANUAL NUMBER

禁無断複製転載C 株式会社アドバンテスト Printed in Japan

T6672/T6673

VLSIテスト・システム

テスタ部メンテナンス・マニュアル

8339667-19

1999年初版 1999年 10月 8日

適用機種T6672T6673

注意:このマニュアルに記載されているメンテナンス作業実施前に、安全に関する重要な情報が記載されている「ICテスト・システム 安全操作の手引き」を十分にお読み下さい。

表紙

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

緒言

Preface

フロリナート TMはスリーエム社の登録商標です。

FC-3283はスリーエム社フロリナート TMのモデル・ナンバです。

01.6.8

緒言

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

改版履歴

R-1

マニュアルREV 日 付 備 考

01 99.10.8

02 99.11.18

03 00.1.14

04 00.1.31

05 00.2.28

06 00.3.30

07 00.6.23

08 00.11.10

09 00.12.22

10 01.1.20

11 01.6.8

12 01.7.15

マニュアルREV 日 付 備 考

13 01.8.9

14 01.9.28

15 02.2.15

16 02.9.30

17 02.12.12

18 04.8.23

19 05.5.7

05.5.7

最新ページ・リスト

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(注 ) #は改版されたページを示します。##は新しく追加されたページを示します。( )は削除されたページを示します。

P-1

Preface 01.6.8# R-1 05.5.7# P-1 05.5.7# P-2 05.5.7# P-3 05.5.7# P-4 05.5.7# C-1 05.5.7# C-2 05.5.7# C-3 05.5.7## C-4 05.5.7# F-1 05.5.7# F-2 05.5.7# F-3 05.5.7# F-4 05.5.7# F-5 05.5.7# F-6 05.5.7# T-1 05.5.7# T-2 05.5.7

(T-3 04.8.23)1-1 01.6.81-2 01.6.81-3 01.6.82-1 01.6.82-2 01.6.82-3 01.6.82-4 01.6.82-5 01.6.82-6 02.2.152-7 04.8.232-8 04.8.232-9 04.8.232-10 04.8.232-11 02.2.152-12 04.8.233-1 01.6.83-2 01.6.83-3 04.8.233-4 01.6.83-5 01.6.83-6 01.6.83-7 01.6.83-8 01.6.83-9 01.6.83-10 01.6.8

3-11 01.6.83-12 01.6.83-13 01.6.8

# 3-14 05.5.7# 3-15 05.5.7# 3-16 05.5.7# 3-17 05.5.7# 3-18 05.5.7# 3-19 05.5.7# 3-20 05.5.7# 3-21 05.5.7# 3-22 05.5.7# 3-23 05.5.7# 3-24 05.5.7# 3-25 05.5.7# 3-26 05.5.7# 3-27 05.5.7# 3-28 05.5.7## 3-29 05.5.7## 3-30 05.5.7## 3-31 05.5.7

4-1 01.6.84-2 01.6.84-3 01.6.8

# 4-4 05.5.7# 4-5 05.5.7# 4-6 05.5.7# 4-7 05.5.7# 4-8 05.5.7# 4-9 05.5.7# 4-10 05.5.7# 4-11 05.5.7# 4-12 05.5.7## 4-13 05.5.7

5-1 01.6.85-2 01.6.85-3 01.6.85-4 01.6.85-5 01.6.85-6 01.6.85-7 01.6.85-8 01.9.285-9 01.6.8

# 5-10 05.5.7

# 5-11 05.5.7## 5-12 05.5.7## 5-13 05.5.7## 5-14 05.5.7## 5-15 05.5.7## 5-16 05.5.7

6-1 04.8.236-2 04.8.236-3 04.8.236-4 04.8.236-5 04.8.236-6 04.8.236-7 04.8.23

# 6-8 05.5.7# 6-9 05.5.7# 6-10 05.5.7# 6-11 05.5.7# 6-12 05.5.7# 6-13 05.5.7# 6-14 05.5.7# 6-15 05.5.7# 6-16 05.5.7# 6-17 05.5.7# 6-18 05.5.7# 6-19 05.5.7# 6-20 05.5.7# 6-21 05.5.7# 6-22 05.5.7# 6-23 05.5.7# 6-24 05.5.7# 6-25 05.5.7# 6-26 05.5.7# 6-27 05.5.7# 6-28 05.5.7# 6-29 05.5.7# 6-30 05.5.7# 6-31 05.5.7# 6-32 05.5.7# 6-33 05.5.7# 6-34 05.5.7# 6-35 05.5.7# 6-36 05.5.7# 6-37 05.5.7# 6-38 05.5.7

05.5.7

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# 6-39 05.5.7# 6-40 05.5.7# 6-41 05.5.7# 6-42 05.5.7# 6-43 05.5.7# 6-44 05.5.7# 6-45 05.5.7# 6-46 05.5.7# 6-47 05.5.7# 6-48 05.5.7# 6-49 05.5.7# 6-50 05.5.7# 6-51 05.5.7# 6-52 05.5.7# 6-53 05.5.7# 6-54 05.5.7## 6-55 05.5.7## 6-56 05.5.7

7-1 02.2.15# 7-2 05.5.7# 7-3 05.5.7# 7-4 05.5.7# 7-5 05.5.7# 7-6 05.5.7# 7-7 05.5.7# 7-8 05.5.7# 7-9 05.5.7# 7-10 05.5.7# 7-11 05.5.7# 7-12 05.5.7# 7-13 05.5.7# 7-14 05.5.7# 7-15 05.5.7# 7-16 05.5.7# 7-17 05.5.7# 7-18 05.5.7# 7-19 05.5.7# 8-1 05.5.7

8-2 02.2.15# 8-3 05.5.7

8-4 02.12.128-5 02.12.128-6 02.12.128-7 02.12.128-8 02.12.128-9 02.12.128-10 02.12.12

8-11 02.12.12# 8-12 05.5.7# 8-13 05.5.7# 8-14 05.5.7# 8-15 05.5.7# 8-16 05.5.7# 8-17 05.5.7# 8-18 05.5.7# 8-19 05.5.7# 8-20 05.5.7# 8-21 05.5.7# 8-22 05.5.7# 8-23 05.5.7# 8-24 05.5.7# 8-25 05.5.7# 8-26 05.5.7# 8-27 05.5.7# 8-28 05.5.7# 8-29 05.5.7# 8-30 05.5.7# 8-31 05.5.7# 8-32 05.5.7# 8-33 05.5.7# 8-34 05.5.7# 8-35 05.5.7# 8-36 05.5.7# 8-37 05.5.7# 8-38 05.5.7# 8-39 05.5.7# 8-40 05.5.7# 8-41 05.5.7# 8-42 05.5.7# 8-43 05.5.7# 8-44 05.5.7# 8-45 05.5.7# 8-46 05.5.7# 8-47 05.5.7# 8-48 05.5.7# 8-49 05.5.7# 8-50 05.5.7# 8-51 05.5.7# 8-52 05.5.7# 8-53 05.5.7# 8-54 05.5.7# 8-55 05.5.7# 8-56 05.5.7# 8-57 05.5.7

# 8-58 05.5.7# 8-59 05.5.7# 8-60 05.5.7# 8-61 05.5.7# 8-62 05.5.7# 8-63 05.5.7# 8-64 05.5.7# 8-65 05.5.7# 8-66 05.5.7# 8-67 05.5.7# 8-68 05.5.7# 8-69 05.5.7# 8-70 05.5.7# 8-71 05.5.7# 8-72 05.5.7# 8-73 05.5.7# 8-74 05.5.7# 8-75 05.5.7# 8-76 05.5.7# 8-77 05.5.7# 8-78 05.5.7# 8-79 05.5.7# 8-80 05.5.7# 8-81 05.5.7# 8-82 05.5.7# 8-83 05.5.7# 8-84 05.5.7# 8-85 05.5.7# 8-86 05.5.7# 8-87 05.5.7# 8-88 05.5.7# 8-89 05.5.7# 8-90 05.5.7# 8-91 05.5.7# 8-92 05.5.7# 8-93 05.5.7# 8-94 05.5.7# 8-95 05.5.7# 8-96 05.5.7# 8-97 05.5.7# 8-98 05.5.7# 8-99 05.5.7# 8-100 05.5.7# 8-101 05.5.7# 8-102 05.5.7# 8-103 05.5.7# 8-104 05.5.7

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# 8-152 05.5.7# 8-153 05.5.7# 8-154 05.5.7# 8-155 05.5.7# 8-156 05.5.7# 8-157 05.5.7# 8-158 05.5.7# 8-159 05.5.7# 8-160 05.5.7# 8-161 05.5.7# 8-162 05.5.7# 8-163 05.5.7# 8-164 05.5.7# 8-165 05.5.7## 8-166 05.5.7## 8-167 05.5.7## 8-168 05.5.7## 8-169 05.5.7## 8-170 05.5.7## 8-171 05.5.7## 8-172 05.5.7## 8-173 05.5.7## 8-174 05.5.7

9-1 02.9.309-2 01.9.289-3 01.9.289-4 01.9.289-5 01.9.289-6 01.9.289-7 02.9.3010-1 01.6.810-2 01.6.810-3 01.6.810-4 04.8.2310-5 01.6.810-6 01.6.810-7 01.6.810-8 04.8.2310-9 04.8.2310-10 04.8.2310-11 04.8.2310-12 04.8.2310-13 04.8.2310-14 04.8.2310-15 04.8.2310-16 04.8.2311-1 01.6.8

11-2 01.6.811-3 01.6.811-4 04.8.2311-5 04.8.23

# 11-6 05.5.7# 12-1 05.5.7

13-1 02.2.1513-2 02.2.1513-3 02.2.15A1-1 01.8.9A1-2 01.9.28A2-1 04.8.23A2-2 04.8.23A2-3 04.8.23A2-4 04.8.23A2-5 04.8.23A3-1 01.6.8A3-2 01.6.8A3-3 01.6.8A3-4 01.6.8A3-5 01.6.8A3-6 01.6.8A3-7 01.6.8A3-8 01.6.8A3-9 01.6.8A3-10 01.6.8A3-11 01.6.8A3-12 01.6.8A3-13 01.6.8A3-14 01.6.8A3-15 01.6.8A3-16 01.6.8A3-17 01.6.8A4-1 01.6.8A4-2 01.6.8A4-3 01.6.8A4-4 01.6.8A4-5 01.6.8A4-6 01.6.8A4-7 01.6.8A4-8 01.6.8A4-9 01.6.8A4-10 01.6.8A4-11 01.6.8A5-1 01.9.28A5-2 02.2.15A5-3 01.9.28

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

最新ページ・リスト

(注 ) #は改版されたページを示します。##は新しく追加されたページを示します。( )は削除されたページを示します。

P-4

A5-4 02.2.15A5-5 02.2.15A5-6 01.9.28A5-7 01.9.28A5-8 02.2.15A5-9 02.2.15A5-10 01.9.28A6-1 02.9.30A6-2 02.9.30A6-3 02.9.30A6-4 02.9.30A6-5 02.9.30A6-6 02.9.30A6-7 02.9.30A6-8 02.9.30A6-9 02.9.30A6-10 02.9.30A6-11 02.9.30A6-12 02.9.30A6-13 02.9.30A6-14 02.9.30A6-15 02.9.30A6-16 02.9.30A6-17 02.9.30

## A7-1 05.5.7## A7-2 05.5.7## A7-3 05.5.7## A8-1 05.5.7## A8-2 05.5.7

05.5.7

目次

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

C-1

1. 概説 ............................................................................................................................................... 1-1

1.1 一般注意事項 .............................................................................................................................. 1-11.1.1 環境条件 .............................................................................................................................. 1-11.1.2 取り扱い上の注意 .............................................................................................................. 1-11.1.3 試験実行時の注意 .............................................................................................................. 1-21.1.4 ボード交換時の注意 .......................................................................................................... 1-21.1.5 異常停止時の注意 .............................................................................................................. 1-21.1.6 DMM(R6581T)の初期設定 ................................................................................................ 1-3

2. システムの操作 ....................................................................................................................... 2-1

2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作 ..................................................... 2-12.2 システム(ノーマル・モード) ................................................................................................ 2-32.3 EMOスイッチの復帰方法 ......................................................................................................... 2-52.4 システムの保守 .......................................................................................................................... 2-6

2.4.1 診断 ...................................................................................................................................... 2-62.4.2 イニシャライズ .................................................................................................................. 2-62.4.3 キャリブレーション .......................................................................................................... 2-6

2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順 .................................................................................. 2-72.5.1 設置/システム校正後の作業 .......................................................................................... 2-72.5.2 定期点検後の作業 .............................................................................................................. 2-72.5.3 ボード交換後の作業 .......................................................................................................... 2-72.5.4 ボード追加、削除後の作業 .............................................................................................. 2-11

3. メンテナンス操作 .................................................................................................................. 3-1

3.1 ホットワーク .............................................................................................................................. 3-23.2 定期点検項目 .............................................................................................................................. 3-33.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1) ........................................................ 3-5

3.3.1 ユニット電源用ファン・ブロックの交換 ...................................................................... 3-53.3.2 ユニット用ファン・ブロックの交換 .............................................................................. 3-6

3.4 ユニット電源の交換 .................................................................................................................. 3-83.4.1 ユニット電源の取りはずし手順(ホットワーク・タイプ1) .................................... 3-83.4.2 ユニット電源の取り付け時の注意 .................................................................................. 3-9

3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意 .......................................................................................... 3-123.6 架台パネルの開閉 ...................................................................................................................... 3-123.7 システムが起動しないときの処置方法 .................................................................................. 3-15

3.7.1 システム・モニタが起動しないとき .............................................................................. 3-163.7.2 FATAL ERRORの確認 ...................................................................................................... 3-163.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法 ..................................... 3-17

3.8 システム・モニタ DIAGの起動 .............................................................................................. 3-183.9 システム・モニタ エラー・コード ......................................................................................... 3-213.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード .......................................................................... 3-273.11 システム・モニタ交換時作業 .................................................................................................. 3-30

3.11.1 システム・モニタの設定 .................................................................................................. 3-303.11.2 ロム・モニタ・モードの使い方 ...................................................................................... 3-31

4. LEDの仕様 ............................................................................................................................... 4-1

4.1 TC3 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-1

05.5.7

目次

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

目次

C-2

4.2 TC4 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-24.3 TC5 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-34.4 TC7 UNIT LED仕様 ................................................................................................................... 4-44.5 SQPG UNIT LED仕様 ................................................................................................................ 4-54.6 FT UNIT LED 仕様 ..................................................................................................................... 4-64.7 DP UNIT LED仕様 ..................................................................................................................... 4-74.8 MIXED UNIT LED仕様 ............................................................................................................. 4-84.9 MONITOR I/F LED仕様 ............................................................................................................ 4-94.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様 ............................................. 4-104.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様 ............................................... 4-124.12 HCDPS OPTION LED仕様 ........................................................................................................ 4-13

5. ボードの交換 ............................................................................................................................ 5-1

5.1 ケーブル・マーカの見方 .......................................................................................................... 5-15.2 架台内実装ボードの脱着 .......................................................................................................... 5-25.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着 ...................................................................................... 5-3

5.3.1 実装ボードの脱着 .............................................................................................................. 5-35.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順 ................................................................. 5-45.5 ボード運搬上の注意 .................................................................................................................. 5-75.6 ボード交換時の作業 .................................................................................................................. 5-85.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法 ...................................................... 5-13

5.7.1 TC7が故障し、代品と入れ替えたときの Solarisの起動エラーについて ................. 5-135.7.2 グラフィック・カードについて ...................................................................................... 5-145.7.3 対処方法 .............................................................................................................................. 5-15

6. ユニット/電源配置/電圧調整値 ................................................................................ 6-1

6.1 システム架台配置 ...................................................................................................................... 6-16.2 メイン・フレーム内配置 .......................................................................................................... 6-36.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 .......................................................... 6-116.4 HCDPS架内配置 ......................................................................................................................... 6-136.5 安全装置の取付位置 .................................................................................................................. 6-146.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台) ........................ 6-206.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台) ....................................................................................... 6-226.8 重心図・骨格図 .......................................................................................................................... 6-236.9 ユニット電源規格表 .................................................................................................................. 6-396.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム) ............ 6-436.11 ユニット電源規格表(HCDPS架) ........................................................................................... 6-456.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4) ................................................................................. 6-46

6.12.1 電圧調整方法 ...................................................................................................................... 6-466.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架) ........................................ 6-556.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架) .......................................................... 6-56

7. ボード配置 ................................................................................................................................ 7-1

8. 配線図 .......................................................................................................................................... 8-1

8.1 信号配線 ...................................................................................................................................... 8-18.2 電源配線 ...................................................................................................................................... 8-53

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

目次

C-305.5.7

9. HIFIXの取り扱い ................................................................................................................... 9-1

10. 冷却装置 ..................................................................................................................................... 10-1

10.1 安全について .............................................................................................................................. 10-110.2 冷却媒体 ...................................................................................................................................... 10-3

10.2.1 フロリナート ...................................................................................................................... 10-310.2.2 保管方法 .............................................................................................................................. 10-310.2.3 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-310.2.4 廃棄 ...................................................................................................................................... 10-3

10.3 冷却装置(空冷方式) ................................................................................................................ 10-410.3.1 各部の名称 .......................................................................................................................... 10-410.3.2 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-510.3.3 異常表示とその処置方法 .................................................................................................. 10-510.3.4 定期点検とオーバホール .................................................................................................. 10-7

10.4 冷却装置(水冷方式) ................................................................................................................ 10-810.4.1 各部の名称 .......................................................................................................................... 10-810.4.2 取扱上の注意 ...................................................................................................................... 10-1010.4.3 異常表示とその処置方法 .................................................................................................. 10-1110.4.4 定期点検とオーバホール .................................................................................................. 10-16

11. スペア・パーツ・キット .................................................................................................... 11-1

12. メンテナンス・パーツ ........................................................................................................ 12-1

13. 部品交換 ..................................................................................................................................... 13-1

13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順 .......................................................................... 13-1

付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス .................................................. A1-1

A1.1 エア圧力設定 ............................................................................................................................. A1-1A1.2 エアコン・パネルのケーブル接続 ......................................................................................... A1-1

付録 2. フロリナート製品安全データシート ..................................................................... A2-1

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線 ................................................................. A3-1

付録 4. HIFIX配置 ........................................................................................................................... A4-1

A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030) ............................................................................................................... A4-1A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031) ............................................................................................................... A4-4A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105) .................................................... A4-8

付録 5. PB (H7-1106)信号配置図 ............................................................................................ A5-1

A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図 .............................................................................. A5-1A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧 .................................................................................................. A5-2

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目次

C-4

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ボード配線 ................................................................................................................................ A6-1

付録 7. Disk Storageのジャンパ設定 .................................................................................. A7-1

A7.1 AHN-DK32DJ*36/AHN-DK32EJ*36の場合 ............................................................................ A7-1

付録 8. TC7 CD-RWの使用方法 .............................................................................................. A8-1

A8.1 CD-RW使用上の注意 ................................................................................................................ A8-1A8.2 CD-RW使用方法 ........................................................................................................................ A8-2

05.5.7

図番号 名 称 ページ

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図一覧

F-1

2-1 パフォーマンス・ボード・スイッチ・パネル .......................................................... 2-22-2 AC CONTパネル ............................................................................................................ 2-3

3-1 ユニット電源用ファン・ブロックの取りはずし ...................................................... 3-53-2 ユニット用ファン・ブロックの取りはずし .............................................................. 3-63-3 回転フレームの開閉方法指示シール .......................................................................... 3-73-4 ユニット電源の取りはずし .......................................................................................... 3-83-5 シャント・ワイヤ・ケーブル・マーカ表示 .............................................................. 3-93-6 ユニット電源端子番号 (1) ............................................................................................. 3-93-7 ユニット電源端子番号 (2) ............................................................................................. 3-93-8 ユニット電源端子番号 (3) ............................................................................................. 3-103-9 ユニット電源端子番号 (4) ............................................................................................. 3-103-10 ユニット電源端子番号 (5) ............................................................................................. 3-113-11 AC CONTパネル/モード・セレクト・スイッチ・パネル .................................... 3-133-12 TC7 CPU UNIT ................................................................................................................ 3-14

5-1 ボード・ハンドル (KH9-90287) .................................................................................... 5-25-2 ボード脱着方法 .............................................................................................................. 5-25-3 テスト・ヘッド・ボード・ハンドル .......................................................................... 5-35-4 テスト・ヘッド・ボード脱着方法 .............................................................................. 5-35-5 TH(1) ................................................................................................................................ 5-45-6 TH(2) ................................................................................................................................ 5-55-7 テスト・ヘッド内ボードの ZIFコネクタ .................................................................. 5-55-8 TH(3) ................................................................................................................................ 5-65-9 TH(4) ................................................................................................................................ 5-6

6-1 システム架台配置図 (T6672) ........................................................................................ 6-16-2 システム架台配置図 (T6673) ........................................................................................ 6-16-3 システム架台配置図(T6672 HCDPS架有りの場合) ............................................... 6-16-4 システム架台配置図(T6673 HCDPS架有りの場合) ............................................... 6-26-5 本体架配置図 (FRONT VIEW) ...................................................................................... 6-36-6 本体架配置図 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW) ................................................... 6-46-7 本体架配置図 (REAR VIEW) ......................................................................................... 6-56-8 本体架電源配置図 (Front View)(TC3, 4の場合) ...................................................... 6-66-9 本体架電源配置図 (Rear View) ...................................................................................... 6-66-10 本体架電源配置図 (Front View)(TC5の場合) .......................................................... 6-76-11 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 UP FLOWの場合) ........................................ 6-86-12 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 DOWN FLOWの場合) ................................. 6-86-13 本体架電源配置図 .......................................................................................................... 6-96-14 1024ch架電源配置図 ...................................................................................................... 6-106-15 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Front View) ........................ 6-116-16 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Rear View) .......................... 6-126-17 HCDPS架内配置 ............................................................................................................. 6-136-18 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の FRONT VIEW) ....................................... 6-146-19 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の REAR VIEW) ......................................... 6-156-20 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW) ............................... 6-16

05.5.7

図番号 名 称 ページ

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図一覧

F-2

6-21 安全装置の取り付け位置 (T6673 DSPラックなしで DOWN FLOW時のFRONT VIEW) ................................................................................................................. 6-17

6-22 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の REAR VIEW) .................................. 6-186-23 TH安全装置の取り付け位置 ........................................................................................ 6-196-24 CDU安全装置の取り付け位置 ..................................................................................... 6-196-25 安全装置の取り付け(UP FLOW時の FRONT, REAR VIEW) ................................ 6-206-26 安全装置の取り付け(DOWN FLOW時の FRONT, REAR VIEW) ........................ 6-216-27 HCDPS架安全装置の取り付け位置 ............................................................................. 6-226-28 メイン・フレーム重心図(512ピン空冷 CDU時) ................................................... 6-236-29 メイン・フレーム重心図(512ピン水冷 CDU時) ................................................... 6-246-30 メイン・フレーム重心図(1024ピン空冷 CDU時) ................................................. 6-256-31 メイン・フレーム重心図(1024ピン水冷 CDU時) ................................................. 6-266-32 メイン・フレーム重心図(T6673 512ピン空冷 CDU時) ....................................... 6-276-33 メイン・フレーム重心図(T6673 512ピン水冷 CDU時) ....................................... 6-286-34 メイン・フレーム重心図(T6673 1024ピン空冷 CDU時) ..................................... 6-296-35 メイン・フレーム重心図(T6673 1024ピン水冷 CDU時) ..................................... 6-306-36 HCDPS架台重心図 ......................................................................................................... 6-316-37 TH重心図 ........................................................................................................................ 6-326-38 本体架骨格図 .................................................................................................................. 6-336-39 1024ch架骨格図 .............................................................................................................. 6-346-40 水冷 CDU架骨格図 ........................................................................................................ 6-356-41 空冷 CDU架骨格図 ........................................................................................................ 6-366-42 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架骨格図 .............................................. 6-376-43 HCDPS架骨格図 ............................................................................................................. 6-386-44 ±60V VCC VR配置 ......................................................................................................... 6-56

7-1 DVX2901ジャンパ選択位置 ......................................................................................... 7-137-2 DVX2502ジャンパ選択 ................................................................................................. 7-147-3 TH LOGICピン配置 ....................................................................................................... 7-15

8-1 テスタ・バス配線図 (T6672) ........................................................................................ 8-18-2 テスタ・バス配線図 (T6673) ........................................................................................ 8-28-3 テスタ・バス配線図(HCDPSオプションがある場合) ........................................... 8-38-4 テスタ・バス配線図(T6673+MIXED2+HCDPSの場合) ........................................ 8-48-5 TC3配線図 (1) ................................................................................................................. 8-58-6 TC3配線図 (2) ................................................................................................................. 8-68-7 TC4配線図 (1) ................................................................................................................. 8-78-8 TC4配線図 (2) ................................................................................................................. 8-88-9 TC3, TC4配線図 ............................................................................................................. 8-98-10 TC5配線図 (1) ................................................................................................................. 8-108-11 TC5配線図 (2) ................................................................................................................. 8-118-12 TC7配線図 ...................................................................................................................... 8-128-13 DPU配線図(1ステーション構成) ............................................................................ 8-138-14 DPU配線図(2ステーション構成) ............................................................................ 8-148-15 DCAP3(MIXED OPTION2)増設時の FMUX配線図 .................................................. 8-158-16 DPU配線図 (DPU PWB) ................................................................................................ 8-168-17 SQPG配線図 ................................................................................................................... 8-178-18 ALPG配線図 ................................................................................................................... 8-18

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

図一覧

F-3

図番号 名 称 ページ

8-19 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 1ステーション構成) .............................. 8-198-20 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 2ステーション構成) .............................. 8-208-21 FTU配線図 (1) ................................................................................................................ 8-218-22 FTU配線図 (2) ................................................................................................................ 8-228-23 FTU配線図 (3) ................................................................................................................ 8-238-24 FTU配線図 (4) ................................................................................................................ 8-248-25 FTU BWB配線図 ............................................................................................................ 8-258-26 DSP1(MIXED1)配線図 .................................................................................................. 8-268-27 DSP2(MIXED2)配線図 .................................................................................................. 8-278-28 MIXED BWB配線図 ...................................................................................................... 8-288-29 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(1) ........................................................ 8-298-30 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(2) ........................................................ 8-308-31 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-318-32 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-328-33 T6672 THU2配線図 (1) .................................................................................................. 8-338-34 T6672 THU2配線図 (2) .................................................................................................. 8-348-35 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(1) ........................................................ 8-358-36 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(2) ........................................................ 8-368-37 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(3) ........................................................ 8-378-38 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-388-39 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-398-40 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(3) ........................................................ 8-408-41 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(1) ........................................................ 8-418-42 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(2) ........................................................ 8-428-43 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(3) ........................................................ 8-438-44 THU配線図 (TH BPS) .................................................................................................... 8-448-45 MONITOR I/F配線図 ..................................................................................................... 8-458-46 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(MEMORY部)

SLOT1 ~ SLOT10 ............................................................................................................ 8-468-47 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(MEMORY部)

SLOT11 ~ SLOT17 .......................................................................................................... 8-478-48 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(ANALOG部)

SLOT1 ~ SLOT6 .............................................................................................................. 8-488-49 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(ANALOG部)

SLOT7 ~ SLOT12 ............................................................................................................ 8-498-50 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(DSPラック) ........................ 8-508-51 HCDPSケーブル接続図 (4/8 CH) ................................................................................. 8-518-52 HCDPSケーブル接続図 (4/8/12/16 CH) ....................................................................... 8-528-53 AC200 V接続図 (TC3, TC4) (1-1) ................................................................................. 8-538-54 AC200 V接続図 TC5 (1-2) ............................................................................................. 8-548-55 AC200 V接続図 TC7 (1-3) ............................................................................................. 8-558-56 AC200 V接続図 (T6672) (1-4) ....................................................................................... 8-568-57 AC200 V接続図 (2) ........................................................................................................ 8-578-58 AC200 V接続図 (3) ........................................................................................................ 8-588-59 AC200 V接続図 (4) ........................................................................................................ 8-598-60 DC270 V配線図 (1) ........................................................................................................ 8-608-61 DC270 V配線図 (2) ........................................................................................................ 8-618-62 DC270 V配線図 (3) ........................................................................................................ 8-62

05.5.7

図番号 名 称 ページ

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

図一覧

F-4

8-63 DC270 V配線図 (4) ........................................................................................................ 8-638-64 DC270 V(512ch時)配線図 (5-1) ............................................................................... 8-648-65 DC270 V(1024ch時)配線図 (5-2 ) ............................................................................ 8-658-66 DC270 V(512ch時)配線図 (6-1) ............................................................................... 8-668-67 DC270 V(1024ch時)配線図 (6-2) ............................................................................. 8-678-68 DC270 V配線図 (7) ........................................................................................................ 8-688-69 DC270 V配線図 (8) ........................................................................................................ 8-698-70 パラ運転ケーブル接続図 (1)(512ch時) .................................................................... 8-708-71 パラ運転ケーブル接続図 (2)(1024ch時) .................................................................. 8-708-72 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (1) ......................................................................... 8-718-73 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (2) ......................................................................... 8-728-74 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (3) ......................................................................... 8-738-75 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (4) ......................................................................... 8-748-76 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (5) ......................................................................... 8-758-77 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (6) ......................................................................... 8-768-78 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (7) ......................................................................... 8-778-79 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (8) ......................................................................... 8-788-80 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (9) ......................................................................... 8-798-81 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (10) ....................................................................... 8-808-82 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (11)(MIXEDオプション架有時の場合) ....... 8-818-83 DC配線図 (1) .................................................................................................................. 8-828-84 DC配線図 (2)(TC3の場合) ........................................................................................ 8-838-85 DC配線図 (3)(TC4の場合) ........................................................................................ 8-848-86 DC配線図 (4)(TC3の場合) ........................................................................................ 8-858-87 DC配線図 (5)(TC4の場合) ........................................................................................ 8-868-88 DC配線図 (6)(TC5の場合) ........................................................................................ 8-878-89 DC配線図 (7)(TC7の場合) ........................................................................................ 8-888-90 DC配線図 (8) .................................................................................................................. 8-898-91 DC配線図 (9) .................................................................................................................. 8-908-92 DC配線図 (TH PS BWB)(512ch時)(10-1) ............................................................... 8-918-93 DC配線図 (TH PS BWB)(1024ch時)(10-2) ............................................................. 8-928-94 DC配線図 (DC-DC) (10-3) ............................................................................................. 8-938-95 DC配線図 (TH PS BWB)(512ch時)(11-1) ............................................................... 8-948-96 DC配線図 (TH PS BWB)(1024ch時)(11-2) ............................................................. 8-958-97 DC配線図 (TH PS BWB) (11-3) .................................................................................... 8-968-98 DC配線図 (TH1 UTL/RL PS) (12) ................................................................................. 8-978-99 DC配線図 (TH1 UTL/RL PS) (13) ................................................................................. 8-988-100 DC配線図 (TH2 UTL/RL PS) (14) ................................................................................. 8-998-101 DC配線図 (TH2 UTL/RL PS) (15) ................................................................................. 8-1008-102 BWB 0 V DC接続図 (1) ................................................................................................. 8-1018-103 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時 ........................ 8-1028-104 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時 ................. 8-1038-105 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時

TC7の場合 ...................................................................................................................... 8-1048-106 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時

TC7の場合 ...................................................................................................................... 8-1058-107 センサ・ケーブル接続(電圧センス) ........................................................................ 8-1068-108 FAN AC200 V配線(512架) ........................................................................................ 8-107

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

図一覧

F-5

図番号 名 称 ページ

05.5.7

8-109 T6673 FAN AC200 V配線(512架) UP FLOW時 .................................................. 8-1088-110 T6673 FAN AC200 V配線(512架)DOWN FLOW時 ............................................. 8-1098-111 AC CONT接続図 (1) ...................................................................................................... 8-1108-112 AC CONT接続図 (2) ...................................................................................................... 8-1118-113 コントロール・ボックス、エア・コントロール・ユニット接続図 ...................... 8-1128-114 DMM/FTU温度センサユニット接続図 ....................................................................... 8-1138-115 FG接続図 ........................................................................................................................ 8-1148-116 1024ch架台電源配線(AC200 V接続図) ................................................................... 8-1158-117 DC270 V配線図 (1) ........................................................................................................ 8-1168-118 DC270 V配線図 (2) ........................................................................................................ 8-1178-119 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (1) ............................................................................. 8-1188-120 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (2) ............................................................................. 8-1198-121 SYSTEM ON/OFFケーブル配線 (3) ............................................................................. 8-1208-122 BWB 0 V DC接続図 (1) ................................................................................................. 8-1218-123 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時

(1024ch時) ...................................................................................................................... 8-1228-124 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時

(1024ch時) ...................................................................................................................... 8-1238-125 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)UP FLOW時

(1024ch時) TC7の場合 ................................................................................................. 8-1248-126 センサ・ケーブル接続(煙、FAN、TEMPセンス)DOWN FLOW時

(1024ch時) TC7の場合 ................................................................................................. 8-1258-127 センサ・ケーブル接続(電圧センス)(1024ch時) .................................................. 8-1268-128 FAN AC200 V配線(1024架) ...................................................................................... 8-1278-129 T6673 FAN AC200 V配線(1024架) UP FLOW時 ................................................... 8-1288-130 T6673 FAN AC200 V配線(1024架) DOWN FLOW時 ............................................ 8-1298-131 FTU温度計接続図 .......................................................................................................... 8-1308-132 MIXED架有時 AC CONT接続図 (1) ........................................................................... 8-1318-133 MIXED架有時 AC CONT接続図 (2) ........................................................................... 8-1328-134 T6673 FAN AC接続図(512架 -1024架 -MIXED架) ............................................... 8-1338-135 MIXED架 FAN AC200V配線図 ................................................................................... 8-1348-136 AC200 V接続図 (1) ........................................................................................................ 8-1358-137 AC200 V接続図 (2) ........................................................................................................ 8-1368-138 AC200 V接続図 (3) ........................................................................................................ 8-1378-139 AC200 V接続図 (4) ........................................................................................................ 8-1388-140 DC270 V配線図 .............................................................................................................. 8-1398-141 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (1) ......................................................................... 8-1408-142 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 (2) ......................................................................... 8-1418-143 DC配線図 (1) .................................................................................................................. 8-1428-144 DC配線図 (2) .................................................................................................................. 8-1438-145 DC配線図 (3) .................................................................................................................. 8-1448-146 Mixedオプション センサ接続図 .................................................................................. 8-1458-147 Mixedオプション センサ接続図 .................................................................................. 8-1468-148 T6673 (512 ch)センサ接続図(UP FLOW時) ............................................................ 8-1478-149 T6673 (512 ch)センサ接続図(DSPラックありの DOWN FLOW時) ................... 8-1488-150 T6673 (512 ch)センサ接続図(DSPラックなしの DOWN FLOW時) ................... 8-1498-151 T6673 (1024 ch)センサ接続図(UP FLOW時) .......................................................... 8-1508-152 T6673 (1024 ch)センサ接続図(DSPラックありの DOWN FLOW時) ................. 8-151

図番号 名 称 ページ

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

図一覧

F-6

8-153 T6673 (1024 ch)センサ接続図(DSPラックなしの DOWN FLOW時) ................. 8-1528-154 HCDPS架 AC200 V接続図 ........................................................................................... 8-1538-155 HCDPS有時 AC CONT接続図 (1) ............................................................................... 8-1548-156 HCDPS有時 AC CONT接続図 (2) ............................................................................... 8-1558-157 T6673 MIXED架 +HCDPS架 AC CONT接続図 (1) ................................................... 8-1568-158 T6673 MIXED架 +HCDPS架 AC CONT接続図 (2) ................................................... 8-1578-159 HCDPS_CABINET DC270 V接続図 (1) ....................................................................... 8-1588-160 HCDPS_CABINET DC270 V接続図 (2) ....................................................................... 8-1598-161 HCDPSパラ運転ケーブル接続図 ................................................................................. 8-1608-162 HCDPS架 AC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 ..................................... 8-1618-163 HCDPS架 DC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 ..................................... 8-1628-164 HCDPS_CABINET DC配線図 ....................................................................................... 8-1638-165 HCDPS_CABINET DC_0 V配線図 ............................................................................... 8-1648-166 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時 ... 8-1658-167 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時

TC7の場合 ..................................................................................................................... 8-1668-168 T6673 HCDPS架 AC/DC電源 SYSTEM ON/OFFケーブル配線図 .......................... 8-1678-169 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(電圧センス) ....................................... 8-1688-170 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時

(1024 ch時) ..................................................................................................................... 8-1698-171 HCDPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、FAN、TEMP)UP FLOW時

(1024 ch時) TC7の場合 ................................................................................................ 8-1708-172 T6673 (1024ch) +MIXED架 +HCDPS架 センサ・ケーブル接続図 (1)

(煙、FAN、TEMP) ........................................................................................................ 8-1718-173 T6673 (512ch) +MIXED架 +HCDPS架 センサ・ケーブル接続図 (2)

(煙、FAN、TEMP) ........................................................................................................ 8-1728-174 FAN AC200 V配線図(HCDPS有の場合) ................................................................. 8-1738-175 T6673 MIXED架 +HCDPS架 FAN AC200 V配線図 ................................................. 8-174

10-1 各部の名称(空冷方式) ................................................................................................ 10-410-2 コントロール・パネル(空冷方式) ............................................................................ 10-410-3 各部の名称(水冷方式) ................................................................................................ 10-810-4 コントロール・パネル(水冷方式) ............................................................................ 10-9

13-1 エア・コネクタ Aの取り外し ...................................................................................... 13-113-2 エア・コネクタ Bとカプラ・ベースの取り外し ...................................................... 13-213-3 カプラの取り外し .......................................................................................................... 13-3

A1-1 BLG-024720エアコン・パネル(正面図) .................................................................. A1-2

A5-1 SQUARE HIFIX PB信号配置図 .................................................................................... A5-1

A7-1 ハードディスク top側の図 ........................................................................................... A7-1A7-2 ハードディスク Bottom側の図 .................................................................................... A7-2A7-3 ミニ・ジャンパの設定値 .............................................................................................. A7-3

05.5.7

表番号 名 称 ページ

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表一覧

T-1

2-1 (1)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-72-2 (2)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-82-3 (3)の作業を行うボード ................................................................................................. 2-92-4 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH1) ................................................................................. 2-112-5 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH2) ................................................................................. 2-112-6 TMU (TH1) ....................................................................................................................... 2-112-7 TMU (TH2) ....................................................................................................................... 2-122-8 PAFD1-4/PAFG1 (TH1) ................................................................................................... 2-122-9 PAFD5-8/PAFG2 (TH1) ................................................................................................... 2-122-10 PAFD1-4/PAFG1 (TH2) ................................................................................................... 2-122-11 PAFD5-8/PAFG2 (TH2) ................................................................................................... 2-12

3-1 定期点検項目 .................................................................................................................. 3-33-2 モード・セレクト・スイッチ・コード ...................................................................... 3-133-3 LEDのコードと START DIAGの対応表 .................................................................... 3-183-4 LEDのコードとシステム・モニタの自己診断の対応表 .......................................... 3-193-5 LEDのコードとモニタ I/Fとの通信診断の対応表 ................................................... 3-193-6 LEDのコードと TCとの通信診断の対応表 ............................................................... 3-193-7 LEDのコードと異常処理のケーケンス対応表 .......................................................... 3-203-8 LEDのコードと処置の対応表 ...................................................................................... 3-213-9 モニタ・インタフェース・エラー・コード (T6672/T6673) ..................................... 3-273-10 モニタ・インタフェース・エラー・コード

(T6673ミクスド・シグナル・テスト・オプション部) ........................................... 3-28

4-1 TC3 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-14-2 TC4 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-24-3 TC5 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-34-4 TC7 UNIT LED仕様 ....................................................................................................... 4-44-5 SQPG UNIT LED仕様 .................................................................................................... 4-54-6 FT UNIT LED仕様 ......................................................................................................... 4-64-7 DP UNIT LED仕様 ......................................................................................................... 4-74-8 MIXED UNIT LED仕様 ................................................................................................. 4-84-9 MONITOR I/F LED仕様 ................................................................................................ 4-94-10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様 ................................. 4-104-11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様 ................................... 4-124-12 HCDPS OPTION LED仕様 ............................................................................................ 4-13

6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(1/3) ........................................... 6-396-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(1/2) .................................. 6-416-3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内

ユニット電源規格 (FRONT) .......................................................................................... 6-436-4 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内

ユニット電源規格 (REAR) ............................................................................................ 6-446-5 HCDPS架ユニット電源規格表 ..................................................................................... 6-456-6 ユニット番号 .................................................................................................................. 6-466-7 ボード電源電圧調整 (1/7) .............................................................................................. 6-47

05.5.7

表番号 名 称 ページ

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表一覧

T-2

6-8 電源電圧 調整 ................................................................................................................. 6-55

7-1 TC3実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-17-2 TC4実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-17-3 TC7実装ボード配置 ...................................................................................................... 7-27-4 IO IF実装ボード配置 ..................................................................................................... 7-27-5 SQPG実装ボード配置 ................................................................................................... 7-27-6 ALPG実装ボード配置 ................................................................................................... 7-27-7 FTU1(1-256)実装ボード配置 ........................................................................................ 7-37-8 FTU2(257-512)実装ボード配置 .................................................................................... 7-47-9 FTU3(513-768)実装ボード配置 .................................................................................... 7-57-10 FTU4(769-1024)実装ボード配置 .................................................................................. 7-67-11 DPU実装ボード配置 ..................................................................................................... 7-77-12 THPS実装ボード配置 .................................................................................................... 7-77-13 Mixed実装ボード配置 ................................................................................................... 7-87-14 Monitor I/F実装ボード配置 ........................................................................................... 7-87-15 TH実装ボード配置 (T6672) .......................................................................................... 7-97-16 TH実装ボード配置 (T6673) .......................................................................................... 7-107-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (1/2) ............................................ 7-117-18 TC5内実装ボード配置 .................................................................................................. 7-167-19 Mixed オプション架 (MEMORY UNIT)内実装ボード配置 ...................................... 7-167-20 DCAP3 (BGR-027118)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1) ................... 7-177-21 WVFG/WVFD (BGR-026312)の DIP SWの設定

(プリント板シルク : SW3, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-22 PAFD/PAFG (BGR-027829)の DIP SWの設定

(プリント板シルク : SW2, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-23 TMU (BGR-026312X02)の DIP SWの設定

(プリント板シルク : SW3, STN, BRD) ........................................................................ 7-177-24 Mixed オプション架 (ANALOG UNIT)内実装ボード配置 ....................................... 7-187-25 PAFD/PAFG (WBL-H33419ANA)の DIP SWの設定

(プリント板シルク : SW1, 1, 4) ................................................................................... 7-187-26 HCDPSU1ボード配置 .................................................................................................... 7-197-27 HCDPSU2ボード配置 .................................................................................................... 7-19

10-1 シャット・ダウン (S/D)異常コード(空冷方式) ...................................................... 10-510-2 異常発生時の処置方法(空冷方式) ............................................................................ 10-610-3 日常点検(空冷方式) .................................................................................................... 10-710-4 水質基準 .......................................................................................................................... 10-1010-5 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Aタイプ) .................................... 10-1110-6 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Bタイプ) .................................... 10-1210-7 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Aタイプ) .......................................................... 10-1310-8 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Bタイプ) ........................................................... 10-1510-9 日常点検(水冷方式) .................................................................................................... 10-16

A1-1 プローバ・コントロール・ケーブルの接続 .............................................................. A1-2

05.5.7

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1. 概説

1-1

1. 概説

本マニュアルは、「ICテスト・システム安全操作の手引き」を読んだあとにお読み下さい。

1.1 一般注意事項

1.1.1 環境条件

(1) システムの一般仕様書設置プランに記述してある環境条件範囲内で使用して下さい。特に温度範囲を越えた使用は、テスト・システムの寿命を短くします。

(2) 非動作時に、湿度が動作時の湿度範囲を越えている場合は、湿度が動作時の湿度範囲を満足したあとに電源を投入して下さい。空調機の設置には、必ず加湿機構を持つものを使用して下さい。

(3) 磁気ディスク装置は振動に対して弱いので、動作時、非動作時にかかわらず振動を与えないように注意して下さい。なお、移動などの必要によって、どうしても振動を加えざるを得ない場合は必ず当社へ連絡して下さい。

(4) テスト・システムは、発熱量が大きく、これを強制空冷によって冷却しています。空気中のちり、ごみが多いと長期間にこれらがテスト・システムに付着し、冷却効果が失われ、結果的に装置の寿命を短くします。テスト・システムの設置された室内は禁煙とし、かつ清潔に保つように注意して下さい。

1.1.2 取り扱い上の注意

(1) ソフトウェアの操作は、「Viewpoint システム・スタートアップ・ガイド」にしたがって行って下さい。

(2) TCのホスト名を変更する場合には、「Viewpointシステム・スタートアップ・ガイド」を参照して、Viewpoint の設定を変更して下さい。また、HRS が接続されている場合には、「HRSソフトウェア・ユーザーズ・マニュアル」を参照して、設定の変更を行って下さい。

(3) 磁気テープ装置、ライン・プリンタなど使用しないときには、おのおのの電源スイッチをオフにして下さい。磁気テープを使用しないときは、装置からはずして保管して下さい。

(4) テスト・システムのドア、パネル、ステーション・カバーなどは、必ず所定の位置に取り付けて使用して下さい。

(5) パフォーマンス・ボード上にデバイス用電源出力、ドライバ出力などが出力されていますが、これらの出力間およびグランドへは故意に短絡しないようにして下さい。パフォーマンス・ボード上に、外部電源は使用しないで下さい。パフォーマンス・ボード上には、測定系と、独立に VCC、VEE、+15V、−15Vが用意されていますので、これを使用して下さい。なお、この他に電圧源が必要なときは、VCCまたは VEEなどから DC-DC-コンバータなどを用いて得るようにして下さい。また、リレー用として RLVCCが用意されています。

(6) テスト・システムの電源投入および遮断の回数は、極力少なくして下さい。

01.6.8

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1.1 一般注意事項

1-2

(7) コネクタの抜差、ボードの抜差は、FANの停止を確認してから行って下さい。

(8) TC3 の ENGINE-Ultra の電源の AC コンセントはサービス・コンセントではありません。他機器の接続は行わないで下さい。

(9) システムの設置・移設の際には、必ず事前にアドバンテストに連絡して下さい。

1.1.3 試験実行時の注意

(1) MOS デバイスに限らず、バイポーラ・デバイスでも、静電誘導によってその取り扱い中にデバイスを破損する場合があります。デバイス取り扱い時には、必ず添付されているアース・バンドを着用して下さい。

(2) テスト実行時のデバイスの入出力波系などの観測に、オシロスコープなどを用いるときは、これら測定装置のアース端子とテスタのグラウンド間の接続を行ったあとにプローブなどを接続して下さい。また、プローブなどをはずしたあとに最後にアース間の接続をはずして下さい。

(3) テスタ起動時は、必ず一般仕様書に記載されているウォーミング・アップ時間(30分)経過後に試験を行って下さい。

1.1.4 ボード交換時の注意

(1) ボードの脱着は、必ず電源を遮断した状態で行って下さい。脱着時などのボードの取り扱いは、ていねいに行って下さい。また、決して帯電性を持つものの上へは置かないで下さい。

(2) テスタに使用しているボードは、同一規格名であれば相互に互換性をもち、容易なボード交換が可能です。ボード交換時には、イニシャライズ /キャリブレーションを実行し、システムの固有のボード情報ファイルの更新をお願いします。(「2.4 システムの保守」、「5.6 ボード交換時の作業」参照)

1.1.5 異常停止時の注意外部要因(雷など)によって電源が遮断された場合、ファイル・システムがダメージを受ける可能性があります。その後システムを起動すると、コマンド fsck(file system check) が自動的にダメージ部分をできる限り修復しますが、ダメージが大きい場合は、fsck がどう処理するのか聞いてくることがあります。詳細は、Sun Microsystems 社の「Command Reference Manual」でfsckの説明を参照して下さい。

2人以上で作業する場合は、他の作業者の安全を確認して下さい。

警告!

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

1.1 一般注意事項

1-301.6.8

1.1.6 DMM(R6581T)の初期設定

(1) GPIBアドレスのセット

キーを押す。

キーで GPIBを選択し、          キーを押す。

キーで ADDRESSを選択し、        キーを押す。

キーで ADDRESSを 24に設定し、     キーを押す。

キーで LANGUAGEを選択し、       キーを押す。

キーで ADVANTESTを選択し、       キーを押す。

キーを押す。

ME N U

H O M EHOME

MENU

E NTERENTER

E NTERENTER

E NTERENTER

E NTERENTER

E NTERENTER

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2. システムの操作

2-1

2. システムの操作

2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作

(1) パフォーマンス・ボードのロック/フリー操作(図 2-1参照)

マニュアル測定時、テスト・ヘッドのフロントのスイッチで行います。

LOCKと FREEのスイッチがあり、それぞれの状態でランプが点灯します。

(2) ユーティリティ電源の ON/OFF操作(図 2-1参照)

マニュアル測定時、テスト・ヘッドのフロントの UTILITYスイッチで行います。

パフォーマンス・ボード上に供給されるユーティリティ電源 (±15 V, VCC, VEE, RLVCC)の ON/OFF が可能です。ただし、パフォーマンス・ボードがロックされているときのみ操作が可能です。

また、パフォーマンス・ボードをロックすると UTILITYスイッチは自動的に ONとなり、フリーにすると自動的に OFFになります。

01.6.8

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2.1 パフォーマンス・ボード (PB)スイッチ・パネルの操作

2-2

図 2-1 パフォーマンス・ボード・スイッチ・パネル

SAMPLER

CH1 CH2 CH3 CH4STATETRIG

STDTRIG

GND

UTILITY PS FPG PB LOCK PB FREE

SAMPLER

CH1 CH2 CH3 CH4

UTILITY PS FPG

STATE STDTRIG TRIG

GND

PB LOCK PB FREE

01.6.8

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2.2 システム(ノーマル・モード)

2-3

2.2 システム(ノーマル・モード)

システムの起動はすべてシステム・モニタで管理されています。システム・モニタとモニタ I/Fによりセンサと電源の異常を監視し、異常がなければシステムは起動します。動作中に、異常が発見されると電源が切れます。

システム・モニタ・ドキュメント規則 印 : 確認しなければならない情報であることを示します。印 : 操作方法を示します。印 : 処置方法を示します。LED : 断りがない場合、AC CONTパネルの LEDを示します。モニタ I/F : 断りがない場合、モニタ・インタフェースのことを示します。0xXX : この表記は 16進数であることを示します。

図 2-2 AC CONTパネル

SYSTEM POWER LAMP

EMERGENCY OFF

POWERALARM

STATUS

ONSTANDBY

START

01.6.8

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2.2 システム(ノーマル・モード)

2-4

(1) 電源 ONの手順

確認 1 : EMERGENCY OFF (EMO)スイッチが復帰していることを確認して下さい。確認 2 : AC CONTパネルのキー・スイッチが OFFになっているのを確認して下さい。操作 1 : AC CONTパネルの START スイッチを押しながら確認 4を行って下さい。確認 4 : AC CONT パネルの LED および ALARM ランプが点灯していることを確認

して下さい。操作 2 : キー・スイッチを ONにすると、TC、MFの順で電源が入ります。確認 5 : AC CONTパネルの LEDのランプが 0× 108になっていることを確認して下

さい。

以上で電源 ONの手順は完了です。

0x000 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x100 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x101 : TCの電源が入っている状態です。0x102 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が

入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。

0x103 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINE からの READYは PASS)AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINE からのREADYは PASS)

0x104 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TCからの READYと ENGINEからの READYは PASS。AC CONTパネルの ALARMランプが消灯しているときは、TCおよびMFの電源が入っている状態で、TC からの READY と ENGINE からの READY はPASS。

0x106 : AC CONTパネルの不良が考えられます。0x107 : TCのみ電源が入っている状態です。0x108 : TCおよびMFの電源が入っている状態です。

(2) 電源 OFFの手順

操作 1 : TCをシャットダウンします。確認 1 : シャットダウンの動作終了を確認して下さい。操作 2 : キー・スイッチを OFFすると、MF、TCの順で電源が切れます。確認 2 : AC CONT パネルの LED のランプが 0x100 になり、続いて FAN が停止(30

秒後)することを確認して下さい。操作 3 : EMOスイッチを押して主電源を切って下さい。

以上で電源 OFFの手順は完了です。

01.6.8

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2.3 EMOスイッチの復帰方法

2-5

2.3 EMOスイッチの復帰方法

108

スイッチを、矢印の方向に回転させ、押し上げられたら操作終了。

SYSTEM POWER

ALARM

READY

STATUS

POWER

01.6.8

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2.4 システムの保守

2-6 02.2.15

2.4 システムの保守

システムの診断は以下の順序で行います。

1. 診断(イニシャライズ)

2. キャリブレーション

2.4.1 診断診断は、次の場合に行います。

(1) 定期点検

通常、テスタの性能が損なわれていないか、定期的に診断をかけます。

(2) ボード交換時の復帰点検

交換されたボードの正常動作を確認するため、診断をかけます。

方法や、内容については、各診断マニュアルを参照して下さい。

2.4.2 イニシャライズ診断では、テスタの動作に必要なイニシャライズ・データが生成されます。イニシャライズだけをかけることもできます。テスタ起動後にはデータが保持されませんので、必ず診断、イニシャライズまたは、イニシャライズ・リカバリをかけて下さい。イニシャライズ・データは、ボード固有のデータのため、定期点検時にはセーブの必要がありません。

方法や、内容については、「イニシャライズ/キャリブレーション実行手順書 (8339683)」を参照して下さい。

2.4.3 キャリブレーションキャリブレーションは、次の場合に行います。

(1) 長期定期点検

経時変化によるテスタの性能劣化を防ぐため、診断とともにキャリブレーションをかけます。また、このときのイニシャライズ・データはセーブして下さい。

(2) ボード交換時のキャリブレーション

PE(ピン・エレクトロニクス・カード)、HIFIX, FP, DIST, DIST&TRIG, SNC, TH内の TRIGボードを交換した場合、テスタのキャリブレーションが必要になります。

方法や、内容については、「イニシャライズ/キャリブレーション実行手順書 (8339683)」を参照して下さい。

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-7

2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2.5.1 設置/システム校正後の作業下記の手順で作業して下さい。

2.5.2 定期点検後の作業診断プログラムを実行して下さい。

2.5.3 ボード交換後の作業ボードの種類により、次の (1)、(2)、(3)の 3種類の作業があります。

(1) 表 2-1のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。

表 2-1 (1)の作業を行うボード

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

SQPG 3 BIR-024637 SNC

FTU1,2,3,4 4,5,6,7,13,14,15,16 BMR-025625 FP (16MW)

BMR-025625X02 FP (64MW)

FTU1 8 BMR-025624 DIST&EVENT (16MW)

BMR-025624X03 DIST&EVENT (64MW)

FTU2,3,4 8 BMR-025624X02 DIST&EVENT

FTU1,2,3,4 1 WUN-5V2R5V3B5V FTU1,2,3,4 UPS1

FTU1,2,3,4 2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU1,2,3,4 UPS2

Calibration

LinearityInitialization

Diagnosis

Diagnosis

Calibration

LinearityInitialization

Diagnosis

04.8.23

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-8 04.8.23

(2) 表 2-2のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。

表 2-2 (2)の作業を行うボード

FTU1,2,3,4 17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU1,2,3,4 UPS17

TH 6 BGR-023948(BGR-027127) TRIGGER(TRIGGER73)

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

TH 7, 8, 9, 10, 12,13, 14, 15, 19, 20, 21, 22, 24, 25, 26, 27

BGR-024908 PE

TH 16 BGR-025817 HSCLK  (注)Option

THPS 1, 2, 3, 4 WUN-7V5V7V5V7V THPS UPS1,2,3,4

WUN-9V5V9V5V9V

THPS UPS217, UPS218, UPS219, UPS220, UPS221, UPS222, UPS223, UPS224

WBL-BPS11V68A THPS 11V

HIFIX H7-1032 etc. 1024 ch HIFIX etc.

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

Calibration

Absolute Initialization

Diagnosis

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-9

(3) 表 2-3のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。

表 2-3 (3)の作業を行うボード

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

DPU 3, 5, 7, 9 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT

DPU 4, 6, 8, 10 BGR-023715X02 (BGR-023715X03)

DPS

DPU 13 BGR-023709 IFA

DPU 14, 25 BGR-023712 UDC CONT

DPU 15, 26 BGR-023713X02 UDC

DPU 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24

BGR-023711X02 (BGR-026791)

MDC

SQPG 1 WUN-5V3V5V2R5V5V SQPG UPS1

ALPG 8 WUN-3V2V3V2V3V ALPG UPS8

ALPG 9 WUN-5V3V5V2V5V ALPG UPS9

TH 1 BIR-026826 WVFG-PE

TH 2 BIR-026276 WVFD-PE

TH 3 BGR-024934 SG

TH 4 BGR-024492 VFG/VFD(1, 2)

TH 5 BGR-026792 ACCAL-PE

TH 16(18) WBL-H33391DAC GSAWG-DAC

TH 29 BGR-024448 AFG/AFD 4 ch

TH 30 BGR-024955 AFE 4 ch

(BGR-026910) (PAFG/PAFD-PE)

TH 31 BGR-026743 GSAWG/TMU-PE

TH 32 BGR-024751 SAMPLER

(BIR-026908) SMPLER2

MIXED DSP 7 BGK-022429X02 SG_VME

MIXED DSP 8 BGK-022377X02 AFLT1

MIXED DSP 9 BGK-022377X02 AFLT2

MIXED DSP 10 KH3-3203 AFG1

MIXED DSP 11 KH3-3203 AFG2

Absolute Initialization

Diagnosis

04.8.23

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-10

(4) 表 2-1、表 2-2 および表 2-3以外のボードおよび電源を交換した場合、下記の手順で作業して下さい。

MIXED DSP 12 KH3-3206 AFD1

MIXED DSP 13 KH3-3206 AFD2

MIXED DSP 14 BGK-022377X02 AFLT3

MIXED DSP 15 BGK-022377X02 AFLT4

MIXED DSP 16 KH3-3225 VFG1

MIXED DSP 17 KH3-3225 VFG2

MIXED DSP 18 KH3-3228 VFD1

MIXED DSP 19 KH3-3228 VFD2

MIXED ANA 7, 8, 9, 10 WBL-H33419ANA PAFD1-4(5-8)/PAFG1(2)

MIXED ANA 11, 12 BGR-026721 TMU

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

Diagnosis

04.8.23

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-11

2.5.4 ボード追加、削除後の作業DPU、FTU、SQPG、ALPGユニットにボードの追加、または削除を行った場合、下記の手順で作業して下さい(DPU, FTU, SQPG, ALPGユニット内の直接精度に影響しないボードの追加、削除であっても、架台内の他のボードの温度状況に影響を与えるため、下記の作業が必要となります)。

また、下記のボードは次の組合せごとに一括して追加、または削除を行って下さい。

表 2-4 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH1)

表 2-5 WVFD/WVFG SAMPLER2 (TH2)

表 2-6 TMU (TH1)

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

TH1 1 BIR-026826 WVFG-PE

TH1 2 BIR-026276 WVFD-PE

TH1 32 BGR-026908 SAMPLER2

MIXED MEM 7 BGR-026312 WVFD1, 2/WVFG1

MIXED MEM 8 BGR-026312 WVFD3, 4/WVFG2

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

TH2 1 BIR-026826 WVFG-PE

TH2 2 BIR-026276 WVFD-PE

TH2 32 BGR-026908 SAMPLER2

MIXED MEM 7 BGR-026312 WVFD1, 2/WVFG1

MIXED MEM 8 BGR-026312 WVFD3, 4/WVFG2

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 16 BGR-026312X02 TMU1, 2

MIXED ANA 11 BGR-026721 TMU

Calibration

LinearityInitialization

Diagnosis

02.2.15

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2.5 設置・点検・ボード交換後の作業手順

2-12 04.8.23

表 2-7 TMU (TH2)

表 2-8 PAFD1-4/PAFG1 (TH1)

表 2-9 PAFD5-8/PAFG2 (TH1)

表 2-10 PAFD1-4/PAFG1 (TH2)

表 2-11 PAFD5-8/PAFG2 (TH2)

(注) MIXEDオプション架MEM SLOT 4∼ 17の各ボードの枚数に増減がある場合は

を実行して下さい。

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 17 BGR-026312X02 TMU1, 2

MIXED ANA 12 BGR-026721 TMU

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 12 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1

MIXED ANA 7 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 13 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2

MIXED ANA 8 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 14 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1

MIXED ANA 9 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1

ユニット名 スロット No. ボード No. 回路名

MIXED MEM 15 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2

MIXED ANA 10 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2

# reboot -- -r↵

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3. メンテナンス操作

3-1

3. メンテナンス操作

ボード交換時の注意

本章以降に示す故障修理は、テクニカル・トレーニング・スクールのメンテナンス・コースを受講された方以外は、絶対に行わないで下さい。テスタ内部を保守する場合、不用意な電源投入防止のため、AC コントロール・パネルに「装置の保守作業中・操作禁止」の表示を実施(タグアウト)して下さい。なお、ブレーカに必ず施錠によるロックアウトを実施して下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)に説明してあります。

注意!

ボードの交換にかかわるすべての作業は、必ずシステムの電源を切り、ファンが停止してから行って下さい。(「3.7 システムが起動しないときの処置方法」を読んだあとボードを交換して下さい。)ボード・トップにケーブルが取り付けてある場合は、先にケーブルをはずしてからボードの取り外し、取り付けを行って下さい。

1. システム・モニタを交換するとき、モニタ・インタフェースを交換するとき、TCユニットを交換するときはキー・スイッチを OFFにして、次に EMERGENCY OFFスイッチを押し、主電源を切ります。

2. MF内または TH内のボードを交換するときはキー・スイッチを OFFにして下さい。

上記 2種類の電源 ON/OFFの形態があります。

01.6.8

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3.1 ホットワーク

3-2

3.1 ホットワーク

ホットワークとは、システムの校正およびメンテナンスを通電中に行う作業のことをいい、下記の作業分類があります。また、各メンテナンスおよび校正等の手順を示している所にホットワークの分類を記してあります。タイプ 3~5のものは、感電等の危険があるので注意して下さい。

タイプ 1 : 装置はまったく通電していない状態。

タイプ 2 : 装置は通電しているが、通電している部分に接触する可能性がない。

タイプ 3 : 装置は通電しており、通電している部分に接触する可能性がある。接触する可能性がある部分の電圧またはエネルギーは、30 rmsV、42.2 peakV、240VA以下である。

タイプ 4 : 装置は通電しており、通電している部分に接触する可能性がある。接触する可能性がある部分の電圧またはエネルギーが、30 rmsV、42.2 peakV、240VA以上、または RFエネルギーが存在する。

タイプ 5 : 装置は通電しており、測定や調整時に装置の内部に人体が入る必要性がある。

01.6.8

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3.2 定期点検項目

3-3

3.2 定期点検項目

(1) テスト・システムの初期の性能を維持するためには、定期点検を必要とします。定期点検項目を表 3-1に示します。

(2) テスト・ステーションのピン・カード内に、リード・リレーを使用していますが、リード・リレーの寿命は、約 1×108 程度です。したがってリード・リレーの ON/OFF の回数が 1×108回程度に達すると、リード・リレーの交換が必要となります。

(3) テスト・ステーションは、エアを使用してパフォーマンス・ボードを脱着するために、以下のようなエア源が必要です。

エア源 : 0.49 ~ 0.69 MPa ドライ・エアエア消費量 : 5 ~ 10 Nl / min

エア中に含まれる、水、油などがドレイン管中に溜まった場合、下部にある電気部品(ボード、ケーブルなど)に水、油などが付着しないようにドレイン管の水抜き部に布などを当てて水抜き作業を行って下さい。

表 3-1 定期点検項目

① ボード・ユニット・エア・フィルタ

1週間定検 • 診断プログラムによる診断

1か月定検 • テスト・システム内冷却ファンの動作確認

6か月定検 • 架台エア・フィルタの清掃• 回転フレーム用エア・フィルタの清掃• テスト・ヘッド・エア・フィルタの清掃

前面視

フィルタ・ユニット

04.8.23

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3.2 定期点検項目

3-4

② 電源ユニット・エア・フィルタ

エア・フィルタを取り出して電気掃除機で清掃を行って下さい。

フィルタ・ユニット

01.6.8

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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)

3-5

3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)

3.3.1 ユニット電源用ファン・ブロックの交換

(1) ファン・ブロックへ接続されているケーブルをすべてはずして下さい。

(2) ファン・ブロック前面のビス 4本(図 3-1, )をはずして下さい。

(3) ファン・ブロックを手前に引き出して下さい。

図 3-1 ユニット電源用ファン・ブロックの取りはずし

給電している AC コントロール・パネルのブレーカを切り、ファンの回転が止まっていることを確認して下さい。ブレーカを切ったあと、作業する前にロックアウトおよびタグアウトを行って下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)を参照して下さい。また、パワーオン・キー・スイッチによりシステムの電源を落とした場合は、スイッチ OFF後 30秒間ファンが動作していますので、注意して下さい。

注意!

1

ストッパ

回転フレーム

01.6.8

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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)

3-6 01.6.8

3.3.2 ユニット用ファン・ブロックの交換

(1) ファン・ブロックへ接続されているケーブルをすべて外して下さい。ファン・ブロック前面の他のケーブルは、予めよけておいて下さい。

(2) ファン・ブロック前面のビス 2本(図 3-2, )を外して下さい。

(3) ファン・ブロックを手前に引き出して下さい。

図 3-2 ユニット用ファン・ブロックの取りはずし

1

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3.3 ファン・ブロックの交換 (ホットワーク・タイプ 1)

3-7

回転フレームの開閉については、架台ドア内側に上図のシールが貼ってあるのでその指示にしたがって行って下さい。

図 3

-3 回転フレームの開閉方法指示シール

CLOSEOPEN

01.6.8

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3.4 ユニット電源の交換

3-8 01.6.8

3.4 ユニット電源の交換

電源配置・電源規格などは「6. ユニット/電源配置/電圧調整値」を参照して下さい。

3.4.1 ユニット電源の取りはずし手順(ホットワーク・タイプ1)

(1) ユニット電源に接続されているケーブルをすべてはずして下さい。

(2) ユニット電源前面のビス(図 3-4, )をはずして下さい。

(3) ユニット電源を前面に引き出して下さい。

図 3-4 ユニット電源の取りはずし

給電している ACコントロール・パネルのブレーカを切り、ユニット電源の交流入力側のケーブルに電流が流れていないことを確認して下さい。ブレーカを切ったあと、作業する前にロックアウトおよびタグアウトを行って下さい。ロックアウトおよびタグアウトの手順については、「ICテスト・システム安全操作の手引き」の「3.基本的注意事項」の (4)に説明してあります。

注意!

1

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3.4 ユニット電源の交換

3-9

3.4.2 ユニット電源の取り付け時の注意シャント・ワイヤ・ケーブルには、ケーブル・マーカが取り付けられています。接続はケーブル・マーカの表示にしたがって下さい。

図 3-5 シャント・ワイヤ・ケーブル・マーカ表示

接続端子番号の “+”表示はユニット電源 “+”出力端子へ、“-”表示はユニット電源 “-”出力端子へ接続します。電源端子番号については、図 3-6~図 3-10を参照して下さい。

(1) AC-DC電源

図 3-6 ユニット電源端子番号 (1)

(2) DC電源

図 3-7 ユニット電源端子番号 (2)

UP

S 108

4 - ユニット電源番号

(DO4+)

(DO3-)

(DO3+)

(DO2-)

(DO2+)

(DO1-)

(DO1+)

(SONF-)

(SONF+)

(ALM-)

(ALM+)

(AC-FC)

(AC-T)

(AC-S)

(AC-R)

(DC1) (DC2) (DC3)

(DC4) (DC5) (DC6) (DC7)

前面

WBL-PS3750W

(DO4-)

123456789

123456789

10

11

12345

6789

+

-10

11

SR35

SR60

SR110 SR330

SR230

01.6.8

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3.4 ユニット電源の交換

3-10 01.6.8

図 3-8 ユニット電源端子番号 (3)

図 3-9 ユニット電源端子番号 (4)

(ONF-)

(ONF+)

(COM2)

(NGNL)

(MGNH)

(NV-)

(NV+)

(COM1)

(CTB)

(SLV)

(MAS)

(DCIN)

前面背面

1 2

+

3 4

-

NND30/50NNS30/50

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

1

2

3

4

5

6

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3.4 ユニット電源の交換

3-11

(3) ボード電源

図 3-10 ユニット電源端子番号 (5)

WBL-PSXXXX

01.6.8

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3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意

3-12

3.5 AC電源 (AC CONT)交換時の注意

AC電源 (AC CONT)を故障等で取り付け・取り外しを行う場合、必ず 2人以上で行って下さい。

3.6 架台パネルの開閉

(1) 架台のパネルの上下に、六角レンチのキーがあることを確認して下さい。

(2) 6 mmの六角レンチをパネル・キーに挿入し、左に回すとパネルを前面に開くことができます。

(3) パネルのヒンジ・レバーを下げて下さい。ヒンジ・シャフトが下がり、ヒンジ・ホルダからはずれます。

(4) パネルを持ち上げて、ヒンジ・シャフトをヒンジ・ホルダから抜くと、パネルは架台から完全に取り外すことができます。

本体架 1024 ch架 熱交換機

T6672

HCDPS架有りの場合

T6673

本体架 1024 ch架 熱交換機ミクスド・シグナル・

オプション架

本体架 1024 ch架CDU架

HCDPS架(CHILLER)

01.6.8

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3.6 架台パネルの開閉

3-1301.6.8

図 3-11 AC CONTパネル/モード・セレクト・スイッチ・パネル

MODE SELECT

RESET DIAG

SYSTEM POWER LAMP

EMERGENCY OFF

POWER ALARM

STATUS

ONSTANDBY

MF

ON

SW

AC CONTパネル

モード・セレクト・スイッチ・パネル

START

表 3-2 モード・セレクト・スイッチ・コード

コード 意味

0x00 ノーマル・モード

0xD0 システム・モニタ自己診断

0xD1 モニタ I/Fとの通信診断

0xD2 TCとの通信診断

0xD3 システム・タイプ表示

0xF0~0xF3 デバッグ・モード

0xFE ロム・モニタ

上記以外 使用しません

TC架本体架

MF

NO

SW

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3.6 架台パネルの開閉

3-14

TC7 CPU UNITスイッチ

TC7 CPU UNIT正面のスイッチ SW1は、CPU UNITに内蔵された CPU 専用電源の制御スイッチです。init5によりシャット・ダウンした場合の復帰に使用します。

復帰する場合は、「3.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法」に従って下さい。

図 3-12 TC7 CPU UNIT

システムの電源が投入された状態で本スイッチを押すと、CPUの専用電源が OFFになり、EWS IF電圧異常(エラー・コード : 0x704)の FATAL ERRORとなります。

注意

05.5.7

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3.7 システムが起動しないときの処置方法

3-1505.5.7

3.7 システムが起動しないときの処置方法

処置は、表 3-8に従って行って下さい。

• ノーマル・モード : 異常監視を行っています。異常が発見されると電源が切れます。

• デバッグ・モード : システム・モニタが異常監視を行わないので注意して下さい。

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3.7 システムが起動しないときの処置方法

3-16

3.7.1 システム・モニタが起動しないとき

(1) システム・モニタの電源が入らないとき

確認 1 : STARTスイッチを離すと同時に電源が切れてしまうとき。処置 1 : ブレーカがすべて ONしていることをパイロット・ランプの点灯により確認

して下さい。

(2) システム・モニタの電源が入るとき

確認 1 : 最後に表示された AC CONT パネルの LED コードを確認して下さい。(表3-8)

(3) LEDのコードを確認する前に電源が切れてしまうとき

確認 1 : システム・モニタの電源が切れていることを確認して下さい。切れていない場合には、EMO (EMERGENCY OFF) スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。

操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : MODE SELECTを 0xF0に設定して下さい。(デバッグ・モード)操作 3 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。確認 2 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)

AC CONTパネルのキー・スイッチは OFFのままにして下さい。キー・スイッチを ONするとデバッグ・モードで TCおよびMFの電源が ONします。

(4) 復帰方法

操作 1 : EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。

操作 2 : MODE SELECTを 0x00に設定して下さい。(ノーマル・モード)操作 3 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。以上でシステム・モニタの電源が入ります。

3.7.2 FATAL ERRORの確認

(1) LEDランプが点灯しているとき

操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。確認 1 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)

(2) LEDランプが消灯しているとき

操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : AC CONTパネルの START スイッチを押して下さい。確認 1 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯していることを確認して下さい。

ランプが点灯してもすぐに電源が切れてしまう場合は、「3.7.1 システム・モニタが起動しないとき」を参照して下さい。

確認 2 : AC CONTパネルの LEDコードを確認して下さい。(表 3-3)

05.5.7

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3.7 システムが起動しないときの処置方法

3-1705.5.7

3.7.3 init 5などによるシャット・ダウンを行った場合の復帰方法

TC5/TC7 CPU UNIT は、システムをシャット・ダウンする際、init5(シャット・ダウン後、CPU専用電源をリモート OFF するコマンド)またはプルダウンメニュー内の「システム保存停止」を実行すると、CPU UNIT 内蔵の専用電源が OFF になり、CPU Unitの電圧異常(エラー・コード、TC5の場合:0x710、0x011、0x003、TC7の場合:0x704)の FATAL ERRORとなります。

本 FATAL ERROR が発生した場合の復帰方法は、以下のようになります。

(1) TC5での復帰方法(MODE SELECTによる復帰)

本機能は、BGK-026860(System Monitor)版数:ACB版以降のボードが対応しています。

操作 1 : AC CONT パネルのキー・スイッチを OFF にして下さい。操作 2 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 3 : MODE SELECT を 0xF0 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 4 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。操作 5 : MODE SELECT を 0xF4 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 6 : キー・スイッチを ON して下さい。操作 7 : 約 1 分 30 秒後にモニタ画面にバナーが表示されたら、Stop+A(Stop キーを

押しながら Aキーを押す)を入力し okプロンプトにして下さい。操作 8 : キー・スイッチを OFFに して下さい。操作 9 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 10 : MODE SELECT を 0x00 に設定して下さい(ノーマル・モード)。操作 11 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。

(2) TC7での復帰方法(CPU UNIT SW1 による復帰)

操作 1 : AC CONT パネルのキー・スイッチを OFF にして下さい。操作 2 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 3 : MODE SELECT を 0xF0 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 4 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。操作 5 : MODE SELECT を 0xF3 に設定して下さい(デバッグ・モード)。操作 6 : キー・スイッチを ON して下さい。操作 7 : CPU UNIT SW1 を 1 回(約 1 秒)押して下さい。操作 8 : CPU UNIT 正面の POWER ランプが緑に点灯し、モニタ画面にバナーが表示

されたら、Stop+A(Stopキーを押しながら Aキーを押す)を入力し okプロンプトにして下さい。

操作 9 : システム起動後、init5 以外(init0 等)でシャット・ダウンして下さい。操作 10 : キー・スイッチを OFF にして下さい。操作 11 : EMO(EMERGENCY OFF) スイッチを押して下さい。操作 12 : MODE SELECT を 0x00 に設定して下さい(ノーマル・モード)。操作 13 : AC CONT パネルの START スイッチを押して下さい。

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3.8 システム・モニタ DIAGの起動

3-18

3.8 システム・モニタ DIAGの起動

すでに立ち上がったシステムの診断を行いたいとき、マニュアルで診断が行えます。

(1) システム・モニタの自己診断/モニタ I/Fとの通信診断

確認 1 : AC CONTパネルの LEDのランプが下記のいずれかになっていることを確認して下さい。0X000 : エラー表示中でキー・スイッチの ON待ち(点滅)0X100 : キー・スイッチの ON待ち0X106 : TCは ON

0X107 : TCは ON

0X108 : TCおよびMFは ON

(注) 上記以外のときには実行されません。

操作 1 : MODE SELECT スイッチを下記のように設定して下さい。0xD0 : システム・モニタの自己診断のとき0xD1 : モニタ I/Fとの通信診断のとき

操作 2 : DIAG スイッチを押して下さい。確認 2 : AC CONTパネルの LEDのランプで PASS/FAILを確認して下さい。(下記参照)

PASS時 : 診断項目を LEDに 2秒間表示し、0X000を 2秒間表示し、再び診断項目を LEDに 2秒間表示します。

FAIL時 : 診断項目を LEDに 2秒間表示し、0XEEEを 2秒間表示し、再び診断項目を LEDに 2秒間表示します。(表 3-4、表 3-5)

表 3-3 LEDのコードと START DIAGの対応表

下記コードにしたがって確認して下さい。

0x0700x0710x0720x0730x0740x0750x0760x0770x0780x0790x07A0x07F

システム・モニタのボードの初期状態のチェック。SMONI_ SYSレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SEMO-SEM3レジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ INT_ LVLレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ SYSレジスタのインクリメント・チェック (SIS-04022)。TC、ENGINEからの割り込み (MCOM0)チェック (SIS-04022)。AC OFF(MF, TC)ステータス・チェック。FATAL ERORマスク・ステータス・チェック。LEDの READ/WRITEチェック。NVRAMの READ/WRITEチェック。メモリの READ/WRITEチェック。START DIAGが PASSしたときのコード。

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.8 システム・モニタ DIAGの起動

3-1905.5.7

表 3-4 LEDのコードとシステム・モニタの自己診断の対応表

表 3-5 LEDのコードとモニタ I/Fとの通信診断の対応表

表 3-6 LEDのコードと TCとの通信診断の対応表

下記コードにしたがって確認して下さい。

0x0B10x0B20x0B30x0B40x0B50x0B60x0B70x0B80x0B90x0BA0x0B0

SMONI_ SYSレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SEMO-SEM3レジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ INT_ LVLレジスタの READ/WRITEチェック (SIS-04022)。SMONI_ SYSレジスタのインクリメント・チェック (SIS-04022)。TC、ENGINEからの割り込み (MCOM0)チェック (SIS-04022)。(未定義)(未定義)LEDの READ/WRITEチェック。NVRAMの READ/WRITEチェック。メモリの READ/WRITEチェック。システム・モニタの自己診断が PASSしたとき。

下記コードにしたがって確認して下さい。

0x0C10x0C20x0C0

NVRAMのチェックサムのリード・チェック。モニタ I/Fの ONLINEチェック。モニタ I/Fとの通信診断が PASSしたとき。

下記コードにしたがって確認して下さい。

0x0D10x0D2

0x0D30x0D40x0D50x0D60x0D70x0D80x0D0

SMONI_TO_TCレジスタのWRITE、SMONI_TO_TCレジスタのREAD。SMONI_TO_TCレジスタのWRITE、SMONI_TO_TCレジスタのREAD。(inc data)SMONI_STSレジスタの READ/WRITE。SMONI_STSレジスタの READ/WRITE。(inc data)割り込みのチェック。割り込みのチェック。割り込みのチェック。割り込みのチェック。TCとの通信診断が PASSしたとき。

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.8 システム・モニタ DIAGの起動

3-20

表 3-7 LEDのコードと異常処理のケーケンス対応表

下記コードにしたがって確認して下さい。

0x0E10x0E2

0x0E3

0x0E4

0x0E5

0x0E6

0x0E70x0E80x0E90x0EA

SYSTEM-MONITORのエラーMonitor I/Fから Fail_Bのエラーが通知された場合煙、温度異常、DIAG、+12 V (Monitor I/Fの電源)Monitor I/Fから Fail_Aのエラーが通知された場合DC電源、ファン、吹き出し温度TC ALARM1ヒューズ、温度、TC 本体ファンTC ALARM2TC 本体ファン電源異常TC Power FailTCで使用している +5 V、-5.2 V、+12 V、-12 Vの電圧異常TINT0エラーError MASKエラーAC_CONTのエラーSYSTEM nameエラー

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-2105.5.7

3.9 システム・モニタ エラー・コード

表 3-8 LEDのコードと処置の対応表

処置手順処置 1 システム・モニタのハード・イニシャライズ中です。10 秒以上待っても LED の

コードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。

処置 2 スタート・ダイアグ中です。エラーがあった場合には、エラーがあった診断項目(表 3-3)を LEDに表示し(注 1)、スタート・ダイアグを繰り返し実行します。

処置 3 モニタ I/Fの ONLINEチェック中です。30秒以上待っても LEDのコードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。

処置 4 MODE SELECT スイッチの設定が 0x00 以外になっています。MODE SELECT スイッチを 0x00に設定後、キー・スイッチを 1度 OFFにして下さい。その後、キー・スイッチを ONにして下さい。

処置 5 キー・スイッチがシステムの電源を入れる前から ONになっています。1度キー・スイッチを OFFにしてから、キー・スイッチを ONにして下さい。

処置 6 システム・モニタの自己診断中です。診断終了時には、PASS/FAILを LEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。

処置 7 システム・モニタとモニタ I/Fの通信診断中です。診断終了時には、PASS/FAILをLEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。

0x000 - 0x00F0x070 - 0x07F0x0800x08E0x08F0x0B0 - 0x0BF0x0C0 - 0x0CF0x0D0 - 0x0DF0x0E0 - 0x0EF0x0F00x100 - 0x1080x600 - 0x6FF0x700 - 0x7FF0x800 - 0x8FF0x900 - 0x9FF0xA00 - 0xAFF0xB00 - 0xBFF0xC00 - 0xCFF0xD00 - 0xDFF

システム・モニタのハード・イニシャニイズスタート・ダイアグモニタ I/Fの ONLINEチェックMODE SELECTスイッチがフェイルキー・スイッチの OFF待ちシステム・モニタの自己ダイアグシステム・モニタとモニタ I/Fの通信ダイアグシステム・モニタと TCの通信ダイアグ異常処理のシーケンスの種類ロム・モニタ・システム・モニタ・モードノーマル・モードの ONシーケンス異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード異常コード

処置 1処置 2処置 3処置 4処置 5処置 6処置 7処置 8処置 9処置 10処置 11処置 12処置 13処置 14処置 15処置 16処置 17処置 18処置 19

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-22

処置 8 システム・モニタと TC の通信診断中です。診断終了時には、PASS/FAIL を LEDに表示し(注 2)通常動作に復帰します。

処置 9 異常処理のシーケンス中です。10秒以上待っても LEDのコードが変わらない場合には、システム・モニタのボード不良が考えられます。

処置 10 ロム・モニタ・モードになっています。MODE SELECTスイッチの設定が 0x00以外になっています。MODE SELECT スイッチを 0x00 に設定後、EMO (EMERGENCYOFF)スイッチを押して、1度システム・モニタの電源を切って下さい。

処置 11 下記コードにしたがって確認して下さい。0x000 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x100 : キー・スイッチの ON待ち状態です。0x101 : TCの電源が入っている状態です。0x102 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ

電源が入っている状態で、ENGINEからの READY待ちです。AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC および MF の電源が入っている状態で、ENGINE からの READY 待ちです。

0x103 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TCからの READY待ちです。(ENGINEからの READYは PASS)AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC および MF の電源が入っている状態で、TC からの READY 待ちです。(ENGINEからの READYは PASS)

0x104 : AC CONT パネルの ALARM ランプが点灯しているときは、TC のみ電源が入っている状態で、TC からの READY と ENGINE からのREADYは PASS。AC CONT パネルの ALARM ランプが消灯しているときは、TC およびMFの電源が入っている状態で、TCからの READYと ENGINEからの READYは PASS。

0x106 : AC CONTパネルの不良が考えられます。0x107 : TCのみ電源が入っている状態です。0x108 : TCおよびMFの電源が入っている状態です。

処置 12 下記コードにしたがって確認して下さい。91F : 冷却装置より異常発生

処理は、「10. 冷却装置」を参照して下さい。

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-2305.5.7

処置 13-19 下記コードにしたがって確認して下さい。

TC3の場合

0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生0x701 : TINT0エラー0x702 : TC3のブレーカ CB2 OFF0x704 : TC3のブレーカ CB1 OFF0x708 : TC3のブレーカ CB3 OFF0x710 : ENGINE-Ultra電源異常

(1) ENGINE-Ultra の AC ケーブル、背面 J3 FAN SENSE ケーブル接続確認

(2) TC3 BWBヒューズ F3A (T5A +5A) の確認(3) (1), (2)が OKの場合、ENGINE-Ultraの Power SWが Standby状態になっている可能性あり。以下の手順で電源を入れる。(a) MODE SELECTを “F0”に設定し、START Switchで SYS-MON

を ON後、MODE SELECTを ”F2”に設定する。(b) KEY Switchを ONし、TCまで ONし ENGINE-Ultraの Power

SWの ONを押して、ENGINE LEDが点灯するのを確認。(c) ENGINE-Ultraを shut down、KEY Switchを OFF、EMO Switch

を OFFさせ、SYS-MONまで OFFさせる。(d) MODE SELECTを “00”に設定する。

0x720 : TCのファン・エラー0x740 : TCの温度エラー0x780 : TCの煙エラー0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TCの -12 Vエラー0x820 : TCの +12 Vエラー0x840 : TCの VEE(-5 V)エラー0x880 : TCの VCC(+5 V)エラー

0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID

0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー

0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常

0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

1

3.10節を参照して下さい。

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-24

TC4の場合

0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー

0x680 : ACサイクル抜け発生0x701 : TINT0エラー0x702 : TC4のブレーカ CB4 OFF (SLOT7-4: TC4)0x704 : TC4のブレーカ CB2 OFF (SLOT11: 1’st GPIB-VME)0x708 : TC4のブレーカ CB1 OFF (SLOT15-13: TC4)0x710/0x008 : TC4のブレーカ CB3 OFF (SLOT9: 2’nd GPIB-VME)0x710/0x040 : SLOT12 TC4 BUS I/Fのオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x200 : SLOT3 TC4 TBUS I/Fの +5Vオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x400 : SLOT3 TC4 TBUS I/Fの +3.3Vオンボード・ヒューズ切れ0x720 : TCのファン・エラー0x740 : TCの温度エラー0x780 : TCの煙エラー

0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TCの -12 Vエラー0x820 : TCの +12 Vエラー0x840 : TCの VEE(-5 V)エラー0x880 : TCの VCC(+5 V)エラー

0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID

0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー

0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常

0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

2

3.10節を参照して下さい。

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-2505.5.7

TC5の場合

0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生

0x702/0x008/0x000 : TC5 BWB F1(OP1 +5 Vヒューズ)切れ0x702/0x080/0x000 : TC5 BWB F2(OP1 +3.3 Vヒューズ)切れ0x704/0x004/0x000 : TC5 BWB F3(OP2 +5 Vヒューズ)切れ0x704/0x040/0x000 : TC5 BWB F4(OP2 +3.3 Vヒューズ)切れ0x708/0x002/0x000 : TC5 BWB F5(OP3 +5 Vヒューズ)切れ0x708/0x020/0x000 : TC5 BWB F6(OP3 +3.3 Vヒューズ)切れ0x710/0x000/0x001 : CPU UNIT +12 V DCエラー0x710/0x000/0x002 : CPU UNIT -12 V DCエラー0x710/0x001/0x000 : CPU UNIT +5 V DCエラー0x710/0x010/0x000 : CPU UNIT +3.3 V DCエラー0x710/0x000/0x004 : SLOT5 TC5 BUS I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x008 : SLOT4 GPIBオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x010 : SLOT3 TC5 EXT I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x710/0x000/0x020 : SLOT2 TC5 TBUS I/Fオンボード・ヒューズ切れ0x720 : TCのファン・エラー

0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x808 : TC5 +3.3 V DCエラー0x810 : TC5 -12 V DCエラー0x820 : TC5 +12 V DCエラー0x840 : TC5 -5.2 V DCエラー0x880 : TC5 +5 V DCエラー

0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID

0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー

0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常

0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

3

3.10節を参照して下さい。

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.9 システム・モニタ エラー・コード

3-26

TC7の場合

0x601 : MFの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x602 : MFの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x610 : TCの OFF時に AC CONTのステータス・エラー0x620 : TCの ON時に AC CONTのステータス・エラー0x680 : ACサイクル抜け発生

0x702/0x000/0x000 : TC6 Option IF電圧異常0x704/0x000/0x000 : TC6 EWS IF電圧異常

(CPU AC異常、インタフェース・ケーブル不具合含む)0x708/0x000/0x000 : TC6 IOIF電圧異常0x710/0x001/0x000 : +12 V SENSE Error0x710/0x002/0x000 : -12 V SENSE Error0x710/0x004/0x000 : FAN SENSE Error0x710/0x008/0x000 : TC6 IO Option

SENSE Error0x720 : TCのファン・エラー

0x801 : モニタ I/Fとの通信エラー0x802 : システム・モニタのMASK ENABLE/DISABLEエラー0x804 : システム・ネーム・エラー0x810 : TC7 -12 V DCエラー0x820 : TC7 +12 V DCエラー0x840 : TC7 -5.2 V DCエラー0x880 : TC7 +5 V DCエラー

0x9XX : XXは、異常発生時のユニットの ID

0xA01 : MFの FAN異常0xA02 : MFの温度異常0xA04 : MFの煙異常0xA80 : モニタ I/Fの自己診断エラー

0xB01 : モニタ I/Fの DC電源異常0xB02 : モニタ I/Fの DC REFERENCE異常

0xCXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

0xDXX : XXは、MFの DC異常発生箇所

4

3.10節を参照して下さい。

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード

3-27

3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード

注1

903

A01は冷却装置が接続されていないときに表示します。

冷却装置が異常の場合は、

91F

A01で表示します。

表3-

9 モニタ・インタフェース・エラー・コード

(T66

72/T

6673

)

UN

ITE

RR

OR

CO

DE

A01

A02

A04

A20

A80

C01

C02

C04

C08

C10

C20

C40

C80

D01

D02

D04

D08

D10

D20

D40

D80

NC

900

--

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)(J

1-L

)-

--

--

--

PG90

1(J

35)

FAN

(J35

)T

EM

P(J

35)

SM

OK

E(J

35)

AU

X

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J1-

U)

-5.2

V(J

1-U

)-4

.5 V

(J1-

U)

-3.3

V(J

1-U

)-2

.5 V

(J1-

U)

-2 V

(J1-

U)

3.3

V[0

.8 V

]

(J1-

U)

5 V

(J1-

U)-

--

--

--

NC

902

(J34

)A

UX

(J34

)A

UX

(J34

)A

UX

(J34

)A

UX

DIA

GM

ON

II/

F-5

V(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)(J

2-L

)

DP

U90

3注

1(J

28)

CD

U-

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J2-

U)

-60

V

(J2-

U)

-15

V

(J2-

U)

-12

V

(J2-

U)

-5.2

V

(J2-

U)

3.3

V

(J2-

U)

5 V

(J2-

U)

12 V

(J2-

U)

15 V

(J2-

U)

17 V

(J2-

U)

60 V

(J2-

U)

(J2-

U)

(J2-

U)

(J29

)

HE

AT

(J2-

U)

(J40

)A

IR24

V

FTU

190

4(J

27)

AU

X-

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J3-

L)

-5.2

V

(J3-

L)

-2.5

V

(J3-

L)

-2.5

V[H

]

(J3-

L)

3.3

V[0

.8 V

]

(J3-

L)

5 V

(J3-

L)

(J3-

L)

(J3-

L)-

--

--

--

FTU

290

5(J

26)

AU

X-

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J3-

U)

-5.2

V

(J3-

U)

-2.5

V

(J3-

U)

-2.5

V[H

]

(J3-

U)

3.3

V[0

.8 V

]

(J3-

U)

5 V

(J3-

U)

(J3-

U)

(J3-

U)-

--

--

--

FTU

390

6(J

25)

AU

X-

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J4-

L)

-5.2

V

(J4-

L)

-2.5

V

(J4-

L)

-2.5

V[H

]

(J4-

L)

3.3

V[0

.8 V

]

(J4-

L)

5 V

(J4-

L)

(J4-

L)

(J4-

L)-

--

--

--

FTU

490

7(J

24)

AU

X-

--

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J4-

U)

-5.2

V

(J4-

U)

-2.5

V

(J4-

U)

-2.5

V[H

]

(J4-

U)

3.3

V[0

.8 V

]

(J4-

U)

5 V

(J4-

U)

(J4-

U)

(J4-

U)-

--

--

--

IDD

Q1

908

(J23

)A

UX

--

-D

IAG

MO

NI

I/F

-5 V

(J5-

L)

-15

V(J

5-L

)15

V(J

5-L

)(J

5-L

)(J

5-L

)(J

5-L

)(J

5-L

)(J

5-L

)-

--

--

--

IDD

Q2

909

(J22

)A

UX

--

-D

IAG

MO

NI

I/F

-5 V

(J5-

U)

-15

V(J

5-U

)15

V(J

5-U

)(J

5-U

)(J

5-U

)(J

5-U

)(J

5-U

)(J

5-U

)-

--

--

--

HC

DPS

190

A(J

21)

HE

AT

(J21

)T

EM

P(J

21)

SM

OK

E(J

21)

AU

X

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J6-

L)

-60

V

(J6-

L)

-15

V

(J6-

L)

-10

V

(J6-

L)

-5.2

V

(J6-

L)

5 V

(J6-

L)

10 V

(J6-

L)

15 V

(J6-

L)

60 V

--

--

--

--

HC

DPS

290

B-

--

-D

IAG

MO

NI

I/F

-5 V

(J6-

U)

-60

V

(J6-

U)

-15

V

(J6-

U)

-10

V

(J6-

U)

-5.2

V

(J6-

U)

5 V

(J6-

U)

10 V

(J6-

U)

15 V

(J6-

U)

60 V

--

--

--

--

MIX

D1

90C

(J30

)D

SP1

FAN

--

-D

IAG

MO

NI

I/F

-5 V

(J7-

L)

VF

GV

FD

(J7-

L)

AF

GA

FD

(J7-

L)

AF

E(J

7-L

)T

MU

(J7-

L)

SA

MP

(J7-

L)

SG

(J7-

L)

GS

AW

G(J

7-L

)5V

OR

(J7-

L)

5 V

(J7-

L)

12 V

(J7-

L)

-12

V-

--

--

MIX

D2

90D

(J31

)D

SP2

FAN

--

-D

IAG

MO

NI

I/F

-5 V

(J7-

U)

VF

GV

FD

(J7-

U)

AF

GA

FD

(J7-

U)

AF

E(J

7-U

)T

MU

(J7-

U)

SA

MP

(J7-

U)

SG

(J7-

U)

GS

AW

G(J

7-U

)5V

OR

(J7-

U)

5 V

(J7-

U)

12 V

(J7-

U)

-12

V-

--

--

TH

190

E(J

32)

TH

1FA

N

(J32

)T

H1

TE

MP

-(J

32)

TH

1B

WB

T

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J8-

L)

11.5

VR

EA

R

(J8-

L)

5 V

RE

AR

(J8-

L)

R5

VR

EA

R

(J8-

L)

-5.2

VR

EA

R

(J8-

L)

-8 V

BR

EA

R

(J8-

L)

-8 V

AR

EA

R

(J8-

L)

-8 V

AFR

ON

T(J

8-L

)(J

8-L

)11

.5 V

FRO

NT

(J8-

L)

5 V

FRO

NT

(J8-

L)

R5

VFR

ON

T

(J8-

L)

-5.2

VFR

ON

T

(J8-

L)

-8 V

BF

RO

NT

(J32

)

HE

AT

(J8-

L)

(J40

)C

PAN

24 V

TH

290

F(J

33)

TH

2FA

N

(J33

)T

H2

TE

MP

-(J

33)

TH

2B

WB

T

DIA

GM

ON

II/

F-5

V

(J8-

U)

11.5

VR

EA

R

(J8-

U)

5 V

RE

AR

(J8-

U)

R5

VR

EA

R

(J8-

U)

-5.2

VR

EA

R

(J8-

U)

-8 V

BR

EA

R

(J8-

U)

-8 V

AR

EA

R

(J8-

U)

-8 V

AFR

ON

T(J

8-U

)(J

8-U

)11

.5 V

FRO

NT

(J8-

U)

5 V

FRO

NT

(J8-

U)

R5

VFR

ON

T

(J8-

U)

-5.2

VFR

ON

T

(J8-

U)

-8 V

BF

RO

NT

(J33

)

HE

AT

(J8-

U)

(J40

)C

PAN

24 V

SH

UT

DO

WN

EE

EE

EP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

P

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード

3-28

表3-

10 モニタ・インタフェース・エラー・コード(

T66

73ミクスド・シグナル・テスト・オプション部)

UN

ITE

RR

OR

CO

DE

A01

A02

A04

A20

A80

C01

C02

C04

C08

C10

C20

C40

C80

D01

D02

D04

D08

D10

D20

D40

D80

ME

MB

WB

910

--

--

DIA

GM

/IF

-5 V

J1-L

5 V

J1-L

3.3

V2.

5 V

J1-L

-5.2

V1.

8 V

15 V

-15

V-

--

--

--

AN

AB

WB

911

(J35

)A

UX

(J35

)A

UX

(J35

)A

UX

(J35

)A

UX

DIA

GM

/IF

-5 V

5 V

-5.2

V3.

3 V

J1-U

15 V

-15

V-

--

--

--

ME

M91

2(J

34)

AU

X(J

34)

AU

X(J

34)

AU

X(J

34)

AU

X

DIA

GM

/IF

-5 V

S5

S6

S7

J2-L S8

S9

S10

S12

S13

S14

S15

S16

J2-L

S17

S19

S20

S21

S22

PC

I91

3(J

28)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

5 V

3.3

VP

CI1

J2-U

PC

I2P

CI3

(J29

)(J

40)

TM

U1

914

J27

(J27

)A

UX

--

-D

IAG

M/I

F-5

V5

V5

V-5

.2 V

J3-L

-5.2

V-1

5 V

15 V

--

--

--

--

TM

U2

915

(J26

)A

UX

--

-D

IAG

M/I

F-5

V5

V5

V-5

.2 V

J3-U

-5.2

V-1

5 V

15 V

--

--

--

--

PAF

G/D

191

6(J

25)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

5 V

15 V

J4-L

-15

V-

--

--

--

PAF

G/D

291

7(J

24)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

5 V

15 V

J4-U

-15

V-

--

--

--

NC

191

8(J

23)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

(5 V

)(-

5.2

V)(

+15

V)

J5-L

(-15

V)

--

--

--

--

NC

291

9(J

22)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

(5 V

)(-

5.2

V)(

+15

V)

J5-U

(-15

V)

--

--

--

--

NC

391

A(J

21)

AU

X(J

21)

AU

X(J

21)

AU

X(J

21)

AU

X

DIA

GM

/IF

-5 V

(5 V

)(-

5.2

V)(

+15

V)

J6-L

(-15

V)

--

--

--

--

NC

491

B-

--

-D

IAG

M/I

F-5

V(5

V)

(-5.

2 V

)(+

15 V

)

J6-U

(-15

V)

--

--

--

--

MIX

191

C(J

30)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

AC

CA

LG

SAW

GPA

FG

/D

J7-L

TM

USA

MP

WV

FG

WV

FD

--

--

MIX

291

D(J

31)

AU

X-

--

DIA

GM

/IF

-5 V

AC

CA

LG

SAW

GPA

FG

/D

J7-U

TM

USA

MP

WV

FG

WV

FD

--

--

NC

91E

(J32

)A

UX

(J32

)A

UX

-(J

32)

AU

X

DIA

GM

/IF

-5 V

J8-L

J8-L

J8-L

J8-L

J8-L

J8-L

J32

J8-L

J40

NC

91F

(J33

)C

DU

(J33

)A

UX

-(J

33)

AU

X

DIA

GM

/IF

-5 V

J8-U

J8-U

J8-U

J8-U

J8-U

J8-U

J33

J8-U

J40

SHU

TD

OW

NE

EE

EE

PP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.10 モニタ・インタフェース・エラー・コード

3-29

Shut down結果が“P”の場合 :KEY SWを OFFにする。

その他のコード

100 ~ 108700 ~ 706010 ~ 07F08E08F0EX

パワー・オン・シーケンスパワー・オフ・シーケンスシステム・モニタ・スタート診断デジタル・スイッチの設定エラーキー・スイッチのオフ待ちフェイル検出

000 or 100101102

103

104 ~ 108106 ~ 108

キー・スイッチのオン待ちTCの電源オンMFの電源オン(ノーマル・モード)と Engineからのレディー・フラグ待ち時間TCからのレディー・フラグ待ち時間電源オンメンテナンス・モード・パワー・ オン・シーケンス (SW1, SW2) MF:パワー・オン/オフ

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.11 システム・モニタ交換時作業

3-30 05.5.7

3.11 システム・モニタ交換時作業

モニタ I/F の ID 設定、日付/時間/システム/タイプの設定を行います。EMO (EMERGENCYOFF)スイッチを押して電源を切って下さい。

3.11.1 システム・モニタの設定操作 1 : S100の dip スイッチが下記に示すように設定されているか確認して下さい。

※ TC3 システム・モニタのボード B面S1001 : ON2 : OFF3 : OFF4 : OFF5 : OFF6 : OFF7 : OFF8 : OFF

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

3.11 システム・モニタ交換時作業

3-31

3.11.2 ロム・モニタ・モードの使い方

(1) ロム・モニタの起動手順

確認 1 : システム・モニタの電源が切れていることを確認して下さい。切れていない場合には、 EMO (EMERGENCY OFF) スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。

確認 2 : TC3 SYS-MONボードのシリアル・ポート J3に VKT が接続されていることを確認して下さい。

確認 3 : VKT の電源が入っていることを確認して下さい。確認 4 : VKT の設定が下記のようになっていることを確認して下さい。

SPEED : 9600

パリティ : 無しXON/OFF : 無しRTS/CTS : DISABLE

操作 1 : AC CONTパネルのキー・スイッチを OFFにして下さい。操作 2 : MODE SELECTを 0xFEに設定して下さい。操作 3 : AC CONTパネルの STARTスイッチを押して下さい。確認 5 : AC CONT パネルの LED のコードが 0x0F0 になっているのを確認して下さ

い。

以上でロム・モニタの起動手順は完了です。

(2) 復帰方法

操作 1 : EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押してシステム・モニタの電源を切って下さい。

操作 2 : MODE SELECTを 0x00に設定して下さい。操作 3 : AC CONTパネルの STARTスイッチを押して下さい。

以上でシステム・モニタの電源が入ります。

(3) コマンドの使い方

(注 1) すべて大文字しか受け付けないので注意して下さい。

(注 2) 一文字削除するときには、Delキーを使います。

確認 1 : VKTの画面が下記のようになっていることを確認して下さい。

SYSTEM MONITOR

操作 1 : 任意のキーを押して下さい。確認 2 : VKTの画面にプロンプト #>>が表示されていることを確認して下さい。

以上でコマンド受け付け状態になります。

ROM Monitor Mode rev xx.xx

xx/xx/xx xx:xx:xx 起動時の日付、時間

Advantest ATE development section.

Hit any key to continue. 点滅

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4. LEDの仕様

4-1

4. LEDの仕様

LED付きボードの各 LEDの仕様を以下に示します。

4.1 TC3 UNIT LED仕様

表 4-1 TC3 UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

3,5 GPIB VME 1, 6 緑、赤電源投入時もしくは VMEのSYS-RESETが入ったとき赤が点灯Viewpointコマンドにより緑が点灯

4TC3ExtensionI/F

2 緑 A-PORTアクセス時に点灯

3 緑 B-PORTアクセス時に点灯

4 緑 A-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯

5 緑 B-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯

SLOT5 SLOT4 SLOT3

LED6 LED1

LED2

LED3

LED4

LED5

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.2 TC4 UNIT LED仕様

4-2

4.2 TC4 UNIT LED仕様

表 4-2 TC4 UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

9,11 GPIB VME 1, 6 緑、赤電源投入時もしくは VMEのSYS-RESETが入ったとき赤が点灯Viewpointコマンドにより緑が点灯

10TC4ExtensionI/F

2 緑 A-PORTアクセス時に点灯

3 緑 B-PORTアクセス時に点灯

4 緑 A-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯

5 緑 B-PORTに接続した ANALOG I/FがBUSYのときに点灯

SLOT11 SLOT10 SLOT9

LED6 LED1

LED2

LED3

LED4

LED5

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.3 TC5 UNIT LED仕様

4-3

4.3 TC5 UNIT LED仕様

表 4-3 TC5 UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

SLOT 6 CPCI I/F11, 2 橙 BUSYのときに点灯

3, 4 緑 電源投入後、常時点灯

SLOT 7 CPCI I/F25, 6 橙 BUSYのときに点灯

7, 8 緑 電源投入後、常時点灯

SLOT 8 CPCI I/F39, 10 橙 BUSYのときに点灯

11, 12 緑 電源投入後、常時点灯

SLOT6

SLOT7

SLOT8

LED6

LED8

LED10

LED12

LED2

LED4

LED5

LED7

LED9

LED11

LED1

LED3

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.4 TC7 UNIT LED仕様

4-4

4.4 TC7 UNIT LED仕様

表 4-4 TC7 UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示の内容

1TC6IO IFボード

LED1 緑 SYSMON ONのとき点灯

LED2 緑FiFoの READサイクルがアクティブ時に点灯

LED3 緑 [D13, D14, D15]は FiFoに積まれた DATAの段数を示すLED4 緑

LED5 緑

1TC6

IO OPTIONIFボード

LED6 緑 EXT Achが Busyのとき点灯

LED7 緑 EXT Bchが Busyのとき点灯

LED8 緑

未使用LED9 緑

LED10 緑

LED11 緑

TC7CPUユニット

LED12 緑CPU起動後に点灯

TC7

CPU UNIT

LED12

SLOT2LED1

LED6LED7LED8LED9LED10LED11 LED2

LED3LED4LED5

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.5 SQPG UNIT LED仕様

4-5

4.5 SQPG UNIT LED仕様

表 4-5 SQPG UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

SQPG 1 PG I/F 1 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯

SQPG 4 SQPG2 緑 RATE RUN中に点灯

3 緑 PG RUN中に点灯

SLOT4 SLOT2

LED1

LED2

LED3

SQPG SQPG

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.6 FT UNIT LED 仕様

4-6 05.5.7

4.6 FT UNIT LED 仕様

表 4-6 FT UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

3FTU TH

I/F

1 緑 電源 +5 V Power On時に点灯

2 緑 電源 -5.2 V Power On時に点灯

3 緑 電源 -2.0 V Power On時に点灯

4 緑 電源 +0.8 V Power On時に点灯

5 緑 電源 -2.5 V Power On時に点灯

6 緑 電源 +0.8 V Power On時に点灯

7 オレンジ DSP動作時に点灯

8 オレンジ タイマ動作時に点灯

9 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯

SLOT3

LED1 LED2 LED3

LED4 LED5 LED6

LED7 LED8 LED9

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.7 DP UNIT LED仕様

4-7

4.7 DP UNIT LED仕様

表 4-7 DP UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

3, 5, 7, 9DPS-CONT

1, 5, 9,13 緑 発振アラーム、ガード・アラーム、ケルビン・アラーム発生時に点灯

2, 6, 10,14 緑 クランプ・アラーム発生時に点灯3, 7, 11,15 緑 DPSが RONしているときに点灯4, 8, 12,16 緑 DPSが A/D変換時に点灯

12I/FLOGIC

17 緑 確認不要18 緑 確認不要

19 緑 I/F LOGICのボードの J11が 2STNに設置されているときに点灯

20 緑 DPSクランプ・アラーム発生時に点灯21 緑 ヒート・シンク・アラーム発生時に点灯22 緑 -5.2 V Power On時に点灯23 緑 +5 V Power On時に点灯

14, 25UDC-CONT

24, 46 緑 クランプ・アラーム発生時に点灯25, 47 緑 ガード・アラーム発生時に点灯26, 48 緑 DCが A/D変換中のときに点灯27, 49 緑 DCが RONしているときに点灯

16MDC-CONT

28 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯29 緑 コンフィギュレーション完了時に点灯

17, 18, 19, 20, 21, 22,23, 24

MDC

30, 32, 34, 36,38, 40, 42, 44 オレンジ クランプ・アラーム発生時に点灯

31, 33, 35, 37,39, 41, 43, 45 オレンジ ガード・アラーム発生時に点灯

SLOT12 SLOT9 SLOT3SLOT18 SLOT16 SLOT14SLOT22 SLOT21 SLOT19SLOT25 SLOT24 SLOT23 SLOT20 SLOT17 SLOT7 SLOT5

LED44LED45

LED42LED43

LED40LED41

LED38LED39

LED36LED37

LED34LED35

LED32LED33

LED30LED31

LED46

LED47

LED48

LED49

LED24

LED25

LED26

LED27

LED13

LED14

LED15

LED16

LED9

LED10

LED11

LED12

LED5

LED6

LED7

LED8

LED1

LED2

LED3

LED4

LED28

LED29

LED20

LED19

LED18

LED17

LED21

LED22

LED23

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.8 MIXED UNIT LED仕様

4-8 05.5.7

4.8 MIXED UNIT LED仕様

表 4-8 MIXED UNIT LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

1AnalogI/F

1 緑、赤 RESET時は赤が点灯それ以外のボード動作時は緑が点灯

2 緑 CPU動作時に点滅

3 CAL3 赤 ボード不良時に点灯4 緑 ボード正常動作時に点灯

5 EM5 赤 ボード不良時に点灯6 緑 ボード正常動作時に点灯

6 CM7 赤 ボード不良時に点灯8 緑 ボード正常動作時に点灯

7 SG9 赤 ボード不良時に点灯

10 緑 ボード正常動作時に点灯8, 9,

14, 15AFLT

11, 13, 47, 49 赤 ボード不良時に点灯12, 14, 50, 52 緑 ボード正常動作時に点灯

10, 11 AFG

15, 21 緑 DAC #3実行時に点灯16, 22 緑 DAC #2実行時に点灯17, 23 緑 DAC #1実行時に点灯18, 24 緑 DAC #0実行時に点灯19, 25 緑、赤 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、赤 =FAIL20, 26 緑 DMAオペレーション実行時に点灯

12, 13 AFD

27, 28, 29, 3031, 32, 33, 3437, 38, 39, 4041, 42, 43, 44

緑 ACTIVE時に点灯

35, 45 緑、赤 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、赤 =FAIL36, 46 緑 DMAオペレーション実行時に点灯

16, 17 VFG51, 53 緑、黄 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、黄 =FAIL52, 54 緑 波形を発生しているときに点灯

18, 19 VFD55, 57 緑、黄 診断テストの結果の表示 緑 =PASS、黄 =FAIL56, 58 緑 波形を発生しているときに点灯

20 CAL59 赤 ボード不良時に点灯60 緑 ボード正常動作時に点灯

SLOT14 SLOT15 SLOT18SLOT10 SLOT12 SLOT13SLOT6 SLOT7 SLOT9SLOT1 SLOT3 SLOT5 SLOT8 SLOT11 SLOT16 SLOT17

LED3LED4

LED5LED6

LED7LED8

LED9LED10

LED11LED12

LED13LED14

LED1

LED2

LED19

LED20

SLOT19 SLOT20

LED15

LED16

LED17

LED18

LED25

LED26

LED21

LED22

LED23

LED24LED31

LED32

LED27

LED28

LED29

LED30

LED33

LED34

LED35

LED36

LED41

LED42

LED37

LED38

LED39

LED40

LED43

LED44

LED45

LED46

LED47LED48

LED49LED50

LED51LED52

LED53LED54

LED55LED56

LED57LED58

LED59LED60

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.9 MONITOR I/F LED仕様

4-9

4.9 MONITOR I/F LED仕様

表 4-9 MONITOR I/F LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

1MONITOR I/F

1 緑 電源 +5 V Power On時に点灯

2 緑 電源 -5.2 V Power On時に点灯

3 緑 電源 +12 V Power On時に点灯

4 緑 電源 +5 V Power On時に点灯

5 緑 電源 +24 V Power On時に点灯

LED1

LED3

LED2

LED4

LED5

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様

4-10 05.5.7

4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様

表 4-10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

3 TBUS 1, 2, 3, 4, 5 緑 15 V, -15 V, -5.2 V, 3.3 V, 5 V

4 PCI I/F110, 11 緑 BUSYのときに点灯

12, 13 緑 電源投入後、常時点灯

7WVFG/DMEM 1-2

(TH1)

20, 21 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

22, 23 緑 TH No., 5 V

8WVFG/DMEM 3-4

(TH1)

30, 31 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

32, 33 緑 TH No., 5 V

9WVFG/DMEM 1-2

(TH2)

40, 41 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

42, 43 緑 TH No., 5 V

10WVFG/DMEM 3-4

(TH2)

50, 51 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

52, 53 緑 TH No., 5 V

11 PCI I/F260, 61 緑 BUSYのときに点灯

62, 63 緑 電源投入後、常時点灯

12PAFG/DMEM1-4

(TH1)

70, 71, 72 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V

73, 74, 75 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)

76, 77, 78 緑 3.3 V (PCI), TH No., ボード No.

13PAFG/DMEM5-8

(TH1)

80, 81, 82 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V

83, 84,85 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)

86, 87, 88 緑 3.3 V (PCI), TH No., ボード No.

14PAFG/DMEM1-4

(TH2)

90, 91, 92 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V

93, 94, 95 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)

96, 97, 98 緑 3.3 V (PCI),TH No., ボード No.

15PAFG/DMEM5-8

(TH2)

100, 101, 102 緑 5 V, 3.3 V(共通), 2.5 V

103, 104, 105 緑 -5.2 V (PAFG), -5.2 V (PAFD), -5.2 V (IF)

106, 107, 108 緑 3.3 V (PCI),TH No., ボード No.

LED5

LED12

LED11

LED10

LED13

LED20

LED21

LED22

LED23

LED1LED2LED3LED4

LED30

LED31

LED32

LED33

LED40

LED41

LED42

LED43

LED50

LED51

LED52

LED53

LED62

LED61

LED60

LED64

LED110

LED111

LED112

LED113

LED120

LED121

LED122

LED123LED108LED107

LED106LED105LED104LED103

LED102LED101LED100

LED98LED97

LED96LED95LED94LED93

LED92LED91LED90

LED88LED87

LED86LED85LED84LED83

LED82LED81LED80

LED78LED77

LED76LED75LED74LED73

LED72LED71LED70

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.10 MIXED SIGNAL TEST OPTION (MEMORY UNIT) LED仕様

4-11

16 TMU1, 2(TH1)

110, 111 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

112, 113 緑 TH No., 5 V

17 TMU1, 2(TH2)

120, 121 緑 ボード No., コンフィグレーション完了時に点灯

122, 123 緑 TH No., 5 V

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様

4-12

4.11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様

表 4-11 MIXED SIGNAL TEST OPTION (ANALOG UNIT) LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 表示内容

1 TBUSCAL 1, 2, 3, 4, 5 緑 15 V, -15 V, -5.2 V, 3.3 V, 5 V

2 EM3(TH1)

11, 12, 13, 14 緑 3.3 V, 2.5 V, 5 V, -5.2 V

15 緑 TH1のとき 消灯

3 EM3(TH2)

21, 22, 23, 24 緑 3.3 V, 2.5 V, 5 V, -5.2 V

25 緑 TH2のとき 消灯

4 CM(WVFG/D)

31, 32, 33, 34 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V

35, 36, 37 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)

5CM

(OPT)(GSAWG)

41, 42, 43, 44 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V

45, 46, 47 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)

6 CM(PAFG/D)

51, 52, 53, 54 緑 15 V, -15 V, 5 V, 3.3 V

55, 56, 57 緑 -5.2 V(CH1), -5.2 V(CH2), -5.2 V(共通)

7PAFG/DANA1-4

(TH1)

61, 62 緑 3.3 V, 5 V

63, 64, 65 緑 5 V, 15 V, -15 V

8PAFG/DANA5-8

(TH1)

71, 72 緑 3.3 V, 5 V

73, 74, 75 緑 5 V, 15 V, -15 V

9PAFG/DANA1-4

(TH2)

81, 82 緑 3.3 V, 5 V

83, 84,85 緑 5 V, 15 V, -15 V

10PAFG/DANA5-8

(TH2)

91, 92 緑 3.3 V, 5 V

93, 94, 95 緑 5 V, 15 V, -15 V

11 TMU(TH1) 101 緑 電源投入後、常時点灯

12 TMU(TH2) 111 緑 電源投入後、常時点灯

LED1

LED3

LED2

LED4

LED5

LED11

LED13

LED12

LED14

LED15

LED21

LED23

LED22

LED24

LED25

LED33

LED35

LED34

LED36

LED37

LED43

LED45

LED44

LED46

LED47

LED53

LED55

LED54

LED56

LED57

LED31

LED32LED41

LED42

LED51

LED52

LED101LED111

LED61

LED63

LED62

LED64

LED65

LED71

LED73

LED72

LED74

LED75

LED81

LED83

LED82

LED84

LED85

LED91

LED93

LED92

LED94

LED95

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

4.12 HCDPS OPTION LED仕様

4-13

4.12 HCDPS OPTION LED仕様

表 4-12 HCDPS OPTION LED仕様

SLOT No. 回路名 LED番号 色 正常時 表示内容

1 I/FLOGIC

1 緑 - 確認不要

2 緑 - 確認不要

3 緑 - 確認不要

4 緑 OFF DPSクランプ・アラーム発生時に点灯

5 緑 OFF ヒート・シンク・アラーム発生時に点灯

6 緑 ON -5.2 V Power On時に点灯

7 緑 ON +5 V Power On時に点灯

4 HCDPS-CONT

8 緑 OFF コンフィギュレーション書き込み完了時に点灯

9 緑 OFF 発振アラーム、ガード・アラーム、ケルビン・アラーム発生時に点灯

10 緑 OFF DCが RONしている時に点灯

11 緑 OFF DCが A/D変換中の時に点灯

6, 7, 8, 9,10, 11, 12,13

HCDPS

12, 21, 30, 39,48, 57, 66, 75 オレンジ OFF クランプ・アラーム発生時に点灯

13, 22, 31, 40,49, 58, 67, 76 オレンジ OFF バッファ 1のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

14, 23, 32, 4150, 59, 68, 77 オレンジ OFF バッファ 2のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

15, 24, 33, 42,51, 60, 69, 78 オレンジ OFF バッファ 3のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

16, 25, 34, 43,52, 61, 70, 79 オレンジ OFF バッファ 4のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

17, 26, 35, 44,53, 62, 71, 80 オレンジ OFF バッファ 5のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

18, 27, 36, 45,54, 63, 72, 81 オレンジ OFF バッファ 6のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

19, 28, 37, 46,55, 64, 73, 82 オレンジ OFF バッファ 7のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

20, 29, 38, 47,56, 65, 74, 83 オレンジ OFF バッファ 8のオーバー・カレント・アラーム発生時に点灯

LED77

LED79

LED78

LED80

LED81

LED75

LED76

LED82

LED83

SLOT13

LED68

LED70

LED69

LED71

LED72

LED66

LED67

LED73

LED74

SLOT12

LED59

LED61

LED60

LED62

LED63

LED57

LED58

LED64

LED65

SLOT11

LED50

LED52

LED51

LED53

LED54

LED48

LED49

LED55

LED56

SLOT10

LED41

LED43

LED42

LED44

LED45

LED39

LED40

LED46

LED47

SLOT9

LED32

LED34

LED33

LED35

LED36

LED30

LED31

LED37

LED38

SLOT8

LED23

LED25

LED24

LED26

LED27

LED21

LED22

LED28

LED29

SLOT7

LED14

LED16

LED15

LED17

LED18

LED12

LED13

LED19

LED20

SLOT6

LED8

LED9LED10

LED11

SLOT4

LED3

LED5

LED4

LED6

LED7

LED1

LED2

SLOT1

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5. ボードの交換

5-1

5. ボードの交換

5.1 ケーブル・マーカの見方

本テスト・システムのテスタ部に使用されているケーブルには、すべてケーブル・マーカが付いています。ケーブル・マーカには各コネクタの接続先を示す表示があります。

下の図では例として、ケーブル・マーカに SQPG S2, J6の表示がしてあります。これは PGユニットのスロット 2にセットされているボードのコネクタ番号 6に接続することを表しています。

なお、ユニット名、スロット、コネクタ番号については、各ケーブル接続図を参照して下さい。

SQPGS2 J6

接続先ユニット名

接続先コネクタ番号

接続先スロット番号

01.6.8

ケーブル・マーカの見方

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.2 架台内実装ボードの脱着

5-2

5.2 架台内実装ボードの脱着

架台内には図 5-1 に示す脱着式ボード・ハンドルが上下にそれぞれ取り付けられます。このボード・ハンドルは、所定のボード・スロット位置へ移動させ、ボード・ハンドルをボード補強棒の凸部にセットし、ハンドルを動かして脱着を行います。なお、ボード挿入時にはバック・ボードのコネクタ・ガイドとボード上のコネクタ・ガイドがかみ合うまで手で挿入して下さい。

図 5-1 ボード・ハンドル (KH9-90287)

図 5-2 ボード脱着方法

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着

5-3

5.3 テスト・ヘッドの実装ボードの脱着

5.3.1 実装ボードの脱着テスト・ヘッド・ボードの脱着には、専用の治具 (図 5-3)を用いて下さい。

図 5-3 テスト・ヘッド・ボード・ハンドル

ピン・エレクトロニクス・カードを外すには、引き抜き治具の をレールに差し込み、ピン・エレクトロニクス・カード上部のピンに を引っ掛け、 を握って外方向に引いて下さい。

ピン・エレクトロニクス・カードを挿入するときは、 を握って内方向に押して下さい。

図 5-4 テスト・ヘッド・ボード脱着方法

3

2

1

1

2 3

3

P . E . カ ー ドP. E カード

01.6.8

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5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順

5-4

5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順

ピン・エレクトロニクス・カードの交換は以下の手順で行います。ピン・エレクトロニクス・カードは特に精密な製品なので、取り扱いには十分注意して下さい。

(1) 図 5-5 のボタンを押しパフォーマンス・ボードをフリー状態にして、パフォーマンス・ボードを外します。

(2) PB FREEボタン(図 5-5 )のボタンを押し、HIFIXをフリー状態にします。

(3) HIFIXの外装パネルを固定しているネジ(4ヶ所)を外し、外装パネルを外します。

(4) 図 5-5 に繋がっている、エア・ホースを外します。

(5) のローレットつまみをフリー状態になるまで、緩めます。

(6) HIFIXの取っ手(図 5-5 )近くのMBロック(図 5-5 )を「FREE」にします。

(7) 図 5-5 の取っ手を持ち、HIFIXを外します。(注 1)

(注 1) HIFIXは重量物のため、HIFIXを外すときは必ず 2名にて作業をして下さい。また、ガイド・ピンを用いて精密位置あわせをされています。HIFIXは水平に保つようにして、脱着して下さい。

図 5-5 TH(1)

(8) TH 後部にある、ロック金具のネジ(図 5-6 )を FREE 状態になるまで緩め、 ロック金具(図 5-6 )を持ち上げます。

(注 2) ロック金具は、ガム・プレート(図 5-7 )のロック金具挿入穴(図 5-7 )に噛んでいるため、持ち上げにくい場合があります。そのときは、各ボードのカム・プレートを一枚一枚指で押して、ロック金具から外して下さい。

1

2

3

4

6 5

6

③ ④④

⑤⑤

4

2

6

1

346

5

5

7

8

9 10

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順

5-5

図 5-6 TH(2)

図 5-7 テスト・ヘッド内ボードの ZIFコネクタ

7 8

フリー位置

ロック位置

01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.4 ピン・エレクトロニクス・カード (PE)交換手順

5-6 01.6.8

(9) 前後 4ヶ所にあるガイド・レール(図 5-8 )を固定しているネジ(図 5-8 (ガイド・レール 1本に付き 2ヶ))を外し、ガイド・レールを外します。

図 5-8 TH(3)

(10) クランプ・レバー(図 5-9 )を緩め、ポジショニング・ブロック(図 5-9 )を手前に引き出します。

図 5-9 TH(4)

(11) PEに付いているホースのジョイント(PE 1枚に付き 4ヶ所)を外します。

(12) PEを図 5-3にある専用工具で引き抜きます。(注 3)

(注 3) PE交換をするときは必ずアース・バンドをして下さい。

(13) 組み立ては、1~12を逆の順番で行います。また、PEがきちんと挿入されていることを確認して下さい。

(注 4) PE挿入の際は PEの重みで落下させないよう、最後まで手で支えて下さい。

11 12

11 12

13 14

14 13

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5.5 ボード運搬上の注意

5-7

5.5 ボード運搬上の注意

下記ボードを運搬する場合には、必ず専用ラックをご使用下さい。

名称 トランク・ケース型式

ピン・エレクトロニクス・カード H9-91255

ボード電源 H9-91257

01.6.8

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5.6 ボード交換時の作業

5-8 01.9.28

5.6 ボード交換時の作業

(1) モニタ I/Fを交換するときは、EMO (EMERGENCY OFF)スイッチを押して主電源を切って下さい。

(2) コネクタの抜差、ボードの抜差はファンの停止を確認してから行って下さい。

(3) 交換後、ボード REVISIONの設定を変更して下さい。

構成データの変更方法は以下のとおりです。

下線部は、キーボードによる入力を示します。

一般ユーザでエンジンにログインします。

ディレクトリ $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_dataに移動します。

修正前のボードの版数の設定ファイルをコピーによりバックアップします。これは、操作ミスや停電、予期せぬ障害からデータを守るためです。

boardrevプログラムを起動します。

その後、メニューの “3”を選択します。

1

2

% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data↵

3

% cp atd_boarddatn.db atd_boarddatn.db.BAK↵

4

% boardrev↵ ----------------------------------------------------------------

T6672 Board Revision Program Rev0.1

Database File Working File

+------------------+ --- 1---> +----------------+

| atd_boarddatn.db | | at_boardch.dat |

+------------------+ <---2 --- +----------------+

1. extract working file from database file

2. recreate database file from working file

3. 1 + 2 (using editor)

4. 1 + 2 (interactive operation)

q. quit from menu

Please input a number that selected from the menu: 3↵

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5.6 ボード交換時の作業

5-901.6.8

viエディタが起動され、修正前のボード REVISIONデータが表示されるので、必要な変更を行います。

以下、行は「横」の並び、「列」は縦の並びとして説明します。1行目の <UNIT> <SLOT>..等は実際には表示されません。同様に、[TOP]---, [EOF]---の行も表示されません。<REV>の列には、修正前の版数が表示されています。<SER>の列には、修正前のシリアル No.が表示されています。変更は、<REV>, <SER>の列のデータのみにして下さい。変更しないデータを記述した行は削除して差し支えありません。viエディタの使用方法は、viエディタのマニュアルを参照して下さい。

ここでは、以下のように修正したと仮定します。

修正内容をセーブしてエディタを抜けます。

5

<UNIT> <SLOT> <BOARD> <FUNCTION> <REV> <SER>

[TOP]--------------------------------------------------------------

DPU1 DMM R6581T DMM - -

DPU1 3 BGR-024897 DPS_CONT - -

DPU1 4 BGR-023715×02 DPS1 - -DPU1 5 BGR-024897 DPS_CONT - -

DPU1 6 BGR-023715×02 DPS2 - -DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT - -

DPU1 8 BGR-023715×02 DPS3 - -DPU1 9 BGR-024897 DPS_CONT - -

DPU1 10 BGR-023715×02 DPS4 - -DPU1 12 BGR-024899 IFL - -

DPU1 13 BGR-023709 IFA - -

...

...

[EOF]--------------------------------------------------------------

[TOP]-----------------------------------------------------------

DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT ABC 3150

DPU1 9 BGR-024899 IFL ABD 3420

[EOF]------------------------------------------------------------

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5.6 ボード交換時の作業

5-10 05.5.7

boardrevのメニューに戻るので、“y”を選択して、ボードの版数の修正をファイルに反映します。

修正の反映後に再びメニューに戻るので、“q”を選択してメニューを抜けます。

修正前のファイルを削除します。

ボード交換時には構成データをバックアップ・メディアに保存して下さい。保存方法は以下のとおりです。

(a) フロッピー・ディスクへの保存(TC3, TC4, TC5搭載機)

ディレクトリを$ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_dataに移動します。

6

creat new board.db? [y or n]:y↵

DPU1 7 BGR-024897 DPS_CONT ABC 3150

DPU1 9 BGR-024899 IFL ABD 3420

---------------------------------------------------------------------

T6672 Board Revision Program Rev0.1

Database File Working File

+------------------+ --- 1---> +----------------+

| atd_boarddatn.db | | at_boardch.dat |

+------------------+ <---2 --- +----------------+

1. extract working file from database file

2. recreate database file from working file

3. 1 + 2 (using editor)

4. 1 + 2 (interactive operation)

q. quit from menu

Please input a number that selected from the menu:q↵

%

7

% rm atd_boarddatn.db.BAK↵%

1

% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data↵

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.6 ボード交換時の作業

5-11

rootに入ります。

ファイル env_T6672/fp_tarlistの存在を確認します。

フロッピー・ディスクをドライブに装着します。

volcheckを入力します。

tarコマンドで構成データをフロッピー・ディスクに保存します。

ejectコマンドを入力します。

フロッピー・ディスクをドライブから取り出します。

(b) CD-RWメディアへの保存(TC7搭載機)

ディレクトリを $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data に移動します。

rootに入ります。以降の作業は、必ず rootで行って下さい。

2

% su↵Password: ↵#

3

# ls env_T6672/fp_tarlist↵

4

5

# volcheck↵

6

# tar cvf /vol/dev/aliases/floppy0 -I env_T6672/fp_tarlist↵

7

# eject↵

8

1

% cd $ADVANTEST_HOME/data/host/<host>/sys_data

2

% su

Password:     #

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.6 ボード交換時の作業

5-12

ファイル hwconfig.dat, atd_boarddatn.dbの存在を確認します。

保存用の CD-RWメディアをドライブに挿入します。

下記のコマンドを入力して、CD-RWメディアに書き込まれているデータをクリアします。このとき、cdrom用のファイル・マネージャが起動する場合があります。起動した場合は、cdrom用のファイル・マネージャを終了させて下さい。

データのクリアが終了すると、CD-RW メディアがドライブから排出されますので、再度、CD-RWメディアを挿入します。

homeディレクトリに移動して下さい。

データのバックアップを行います。下記のコマンドを入力して下さい。

データのバックアップが終了すると、CD-RWドライブからメディアが排出されます。CD-RWドライブからメディアを取り出し、ドライブの ejectボタンを押し、トレイを入れて下さい。

3

# ls hwconfig.dat atd_boarddatn.db

4

5

# cdrw -b session

6

7

# cd

8

# sys_data_back

9

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法

5-13

5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法

5.7.1 TC7が故障し、代品と入れ替えたときの Solarisの起動エラーについて

TC7が故障し代品と入れ替えたとき、グラフィック・カードを交換せずにシステムの電源を投入すると、間欠で Solaris起動時に DTログイン画面が表示されず、以下の画面が表示される場合があります。

これは、交換部材に実装されているグラフィック・カードと故障した TC7に実装されていたグラフィック・カードが異なるため起きる現象です。なお、本現象が発生した場合、CDEは起動しないが一般ユーザまたは rootでログインすることは可能です。

上記の現象が発生する要因は、以下の 2つが考えられます。対処方法については「5.7.3 対処方法」を参照して下さい。

(1) 交換後、起動時に“boot -r”コマンドを実施していないために Solarisのデバイス・ツリーが更新されていない。

「5.7.3 対処方法」の方法 1を参照して下さい。ただし、Viewpoint R8.00および R8.01

の OS を使用している場合は、「5.7.3 対処方法」の方法 2 または方法 3 を参照して下さい。

(2) 交換用部材に実装されているグラフィック・カード用のデバイス・ドライバがインストールされていない。

「5.7.3 対処方法」の方法 2または方法 3を参照して下さい。

********************************************************************* Starting Desktop Login on display :0...** Wait for the Desktop Login screen before logging in.********************************************************************

********************************************************************* The X-sever can not be started on display :0...********************************************************************

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法

5-14 05.5.7

5.7.2 グラフィック・カードについてTC7のグラフィック・カードの違いは、TC7正面左上部に貼付されている版数シールまたはグラフィック・カードのコネクタ部の概観の違いにより判断することができます。以下に、版数およびグラフィック・カードのコネクタ部の違いを示します。

(1) 版数が“AAB”および“ABB”の場合

グラフィック・カード:XVR-100

(2) 版数が“AAB”,“ABB”以外の場合

グラフィック・カード:XVR-500

XVR-100のコネクタ部の外観

XVR-500のコネクタ部の外観

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5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法

5-15

5.7.3 対処方法以降の説明は、下線部が入力するコマンド、↵ が returnキーを示します。

方法 1. デバイス・ツリーの再構築

本方法は、Viewpoint R8.00および R8.01のレビジョンでは 2種類のグラフィック・カードの対応がされていないため、Viewpoint R8.00および R8.01の OSを使用している場合は、方法 2または方法 3を参照して下さい。

returnキーを入力し、コンソール入力画面を出力させます。

rootでログインし、下記のコマンドを入力します。ここで、パスワードは説明の都合上、“********”で説明します。

方法 2. グラフィック・カードの入れ替え

故障した TC7 のグラフィック・カードと、交換用の TC7 のグラフィック・カードを入れ替えます。ただし、グラフィック・カードが故障して交換した場合は、次頁の方法 3を参照して下さい。

1

*******************************************************************

*

* Starting Desktop Login on display :0...

*

* Wait for the Desktop Login screen before logging in.

*

*******************************************************************

*******************************************************************

*

* The X-sever can not be started on display :0...

*

*******************************************************************

  console login:

←ここで returnキーを押す。

2

console login : root↵  passwd : ********↵    :    :

  # reboot -- -r↵

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

5.7 TC7が故障し代品と入れ替えたときの注意と対処方法

5-16 05.5.7

方法 3. グラフィック・カードのデバイス・ドライバのインストール

Solaris OSの CDメディア (Solaris8 HW 5/03 1 of 2)を用意します。

rootでログインし、CDドライブにメディアを挿入します。rootでのログイン方法は、前頁の方法 1を参照して下さい。

下記のコマンドを入力し、ドライバをインストールします。

<TC7の版数が“AAB”および“ABB”の場合 >。

< TC7の版数が“AAB”,“ABB”以外の場合 >

CDドライブより CDメディアを取り出します。

インストールしたドライバを反映させるため、下記のコマンドを入力し TCを rebootします。

1

2

3

 # pkgadd -d /cdrom/cdrom0/s0/Solaris_8/Product SUNWpfbcf SUNWpfbmn SUNWpfbw                                          SUNWpfbx.u↵       :      :これ以降の確認では、すべて“y↵ ”を入力

 # pkgadd -d /cdrom/cdrom0/s0/Solaris_8/Product SUNWifb.u SUNWifbcf                               SUNWifbr SUNWifbw SUNWifbx.u↵       :      :これ以降の確認では、すべて“y↵ ”を入力

4

5

 # reboot -- -r↵ 

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6. ユニット/電源配置/電圧調整値

6-1

6. ユニット/電源配置/電圧調整値

6.1 システム架台配置

(1) T6672

図 6-1 システム架台配置図 (T6672)

(2) T6673

図 6-2 システム架台配置図 (T6673)

(3) T6672 HCDPSオプション有りの場合

図 6-3 システム架台配置図(T6672 HCDPS架有りの場合)

本体架 1024ch架 CDU

TH1 TH2

TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。

T6672

本体架 1024ch架 CDU

TH1 TH2

TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。

T6673

ミクスド・シグナル・テスト・オプション架

本体架 1024ch架 CDU架

TH1 TH2

TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。

HCDPS架(CHILLER)

T6672

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.1 システム架台配置

6-2

(4) T6673 HCDPSオプション有りの場合

図 6-4 システム架台配置図(T6673 HCDPS架有りの場合)

本体架 1024ch架 CDU架

TH1 TH2

TH2は、512PIN以下の場合のみ設置可能。

ミクスド・

(CHILLER)

T6673

HCDPS架

シグナル・テスト・オプション架

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-3

6.2 メイン・フレーム内配置

図 6-5 本体架配置図 (FRONT VIEW)

本体架台

1024

ch架台

(800

)

温度表示

センサ

センサ

センサ

TC

本体

電源

(TC

_PS

)

TC

PAN

EL

TC

_PS

Mon

itor

Pane

l

MIX

ED

TH

1側

MIX

ED

TH

2側

J301

J302

DP

U

AL

PG

AL

PGが

ない場合

H9-

9128

1ブランク

取り付ける

カバーを

SQ

PG

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

TH

U-P

S

TH

2T

H1

FT

U_1

(1-2

56)

Monitor-IF

FT

U_2

FT

U2が

ない場合

H9-

9218

3を取り付ける

(257

-512

)

FTU温度センサ

FT

U温度センサ

FTU

3 5

13-7

68

FTU

4 7

69-1

024

FTU

4がない場合

H9-

9128

取り付ける

カバーをブランク

FRONT VIEW

ベンチ・フレーム用

FG線取り付ける場所

ベンチ・フレーム

注1)

ここにケーブルを通さないこと。

注2)

DC

270Vケーブルは

TC

PS

Mon

i-to

r P

anelの後ろを通すこと。

注1)

注2)

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-4

図 6-6 本体架配置図 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW)

(T6673の場合、MIXEDラックが付かない時には、TH1側の位置に架台 FAN2個が搭載される)

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-5

図 6-7 本体架配置図 (REAR VIEW)

本体架台

1024

ch架台

(800

)

REAR VIEW

MA

IN

AC

CO

NT

本体電源

回転ベース

450R

回転ベース

650L

回転ベース

250R

温度表示

J101

J202

J102

J201

Air

Con

tP

anel

DM

M

レギュ

レータ

SU

B2

AC

CO

NT

SUB

1A

CC

ON

T

J401

温度計

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-6 04.8.23

図 6-8 本体架電源配置図 (Front View)(TC3, 4の場合)

図 6-9 本体架電源配置図 (Rear View)

MIXED

TH1

MIXED

TH2

J301 J302

TCPANEL TCPSmon

センサ

SR

35

SR

35

SR

35

SR

35

UPS6

TH SMOKEPANEL

UPS4

SR23

0SR

330

TC_PS

UPS5

UPS3

UPS2

UPS1

TC3, 4

SR60

SR60

SR60

SR60

煙受信機

SR60

SR23

0

UPS7 UPS8 UPS9 UPS10

100 VTRANS

UPS17

SR23

0

UPS12UPS11

SR23

0

SR23

0

UPS14UPS13

SR23

0

SR23

0

UPS16UPS15

SR23

0

SR60

UPS19UPS18

MIXED_MF

MAINAC

CONT

SUB1AC

CONT

SUB2AC

CONT

AirContPanel

DMM レギュレータ

リザーブ

UPS21

SR

60

UPS20

SR

60

UPS19

SR

60

UPS18

SR

60IDDQ

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-7

図 6-10 本体架電源配置図 (Front View)(TC5の場合)

04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-8 05.5.7

図 6-11 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 UP FLOWの場合)

図 6-12 本体架電源配置図 (Front View)(TC7 DOWN FLOWの場合)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-9

図 6-13 本体架電源配置図

650L回転ベース

センサ450R回転ベースUPS 203ACDC 7(TH2 512)(TH1 1024)

UPS 201ACDC 4(FTU2)

UPS 207ACDC 1(DPU)

UPS 205ACDC 5(TH1)

UPS 211ACDC 3

(FTU1, DPU(SR))

UPS 209ACDC 2

(PGU, MIXED)

FAN FAN

UPS 215ACDC 6

(TH1)

UPS 213ACDC 10(TH2 512)(TH1 1024)

UPS 220DC-DC(TH1)

UPS 219DC-DC(TH1)

UPS 218DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)

UPS 217DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)

UPS 224DC-DC(TH1)

UPS 223DC-DC(TH1)

UPS 222DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)

UPS 221DC-DC(TH2 512)(TH1 1024)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.2 メイン・フレーム内配置

6-10 05.5.7

図 6-14 1024ch架電源配置図

センサ250R回転ベース

KH9-9810

KH9-9810

UPS 205ACDC 9(FTU4)

FAN

UPS 207ACDC 8(FTU3)

KH9-9810

KH9-9810

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置

6-11

6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置

図 6-15 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Front View)

FRONT VIEWUPS No 電圧 種類

UPS 1 -15 V NNS50-15

UPS 2 +15 V NNS50-15

UPS 3 +5 V NNS50-5

UPS 4 +5 V NNS50-5

UPS 5 -15 V NNS50-15

UPS 6 +15 V NNS50-15

UPS 7 -15 V NNS50-15

UPS 8 +15 V NNS50-15

UPS 9 -15 V NNS50-15

UPS 10 +15 V NNS50-15

UPS 11 -5 V NNS30-5

UPS 12 +5 V NNS30-5

UPS 13 -15 V NNS30-15

UPS 14 +15 V NNS30-15

UPS 15 -5.2 V NNS50-5

UPS 16 -5.2 V NNS50-5

UPS 17 -5 V NNS30-5

UPS 18 +5 V NNS30-5

UPS 19 -15 V NNS30-15

UPS 20 +15 V NNS30-15

MEM S1 BOARD PS

MEM S2 BOARD PS

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置

6-12 05.5.7

図 6-16 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台配置 (Rear View)

UPS No 電圧 種類 UPS No 電圧 種類 UPS No 電圧 種類UPS 101 -5 V NNS30-5 UPS UPS 21 AC/DC11 WBL-PS3750W

UPS 102 -5 V NNS30-5 UPS UPS 22 +5 V SR660-5

UPS 103 +15 V/-15 V NND30-15 UPS UPS 23 +3.3 V SR330-3

UPS 104 +5 V NNS50-5 UPS UPS 24 RESERVE1

UPS 105 -5.2 V NNS30-5 UPS UPS 25 -5.2 V SR330-5

UPS 106 +15 V/-15 V NNS50-5 UPS UPS 26 RESERVE2

UPS 107 +5 V NNS15-5 UPS 137 +5 V NNS15-5

UPS 108 -5 V NNS15-5 UPS 138 -5 V NNS15-5

UPS 109 +5 V NNS15-5 UPS 139 +5 V NNS15-5

UPS 110 -5 V NNS30-5 UPS 140 -5 V NNS30-5

UPS 111 +15 V NNS30-15 UPS 141 +15 V NNS30-15

UPS 112 -15 V NNS30-15 UPS 142 -15 V NNS30-15

UPS 113 +5 V SR35-5 UPS 143 +5 V SR35-5

UPS 114 +24 V SR35-24 UPS 144 +24 V SR35-24

UPS 115 +3.3 V SR60-3.5 UPS 145 +3.3 V SR60-3.5

UPS 116 -5 V SR60-5 UPS 146 -5 V SR60-5

UPS 117 +15 V/-15 V NNS30-15 UPS 147 +15 V/-15 V NND30-15

UPS 118 +15 V/-15 V NNS30-15 UPS 148 +15 V/-15 V NND30-15

UPS 119 +5 V NNS50-5 UPS 149 +5 V NNS50-5

UPS 120 +3.3 V SR60-3.5 UPS 150 +15 V SR110-15

UPS 121 +5 V SR60-5 UPS 151 -15 V SR110-15

UPS 122 +15 V/-15 V NND15-15 UPS 152 +15 V/-15 V NND15-15

UPS 123 +5 V NNS30-5 UPS 153 +5 V NNS30-5

UPS 124 -5.2 V NNS30-5 UPS 154 -5.2 V NNS30-5

UPS 125 -5.2 V NNS50-5 UPS 155 -5.2 V NNS50-5

UPS 126 +15 V NNS15-15 UPS 156 +15 V NNS15-15

UPS 127 -15 V NNS15-15 UPS 157 -15 V NNS15-15

UPS 128 -5 V NNS15-5 UPS 158 -5 V NNS15-5

UPS 129 +5 V NNS30-5 UPS 159 +5 V NNS30-5

UPS 130 +5 V NNS50-5 UPS 160 +5 V NNS50-5

REAR VIEW

105

104

129

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.4 HCDPS架内配置

6-13

6.4 HCDPS架内配置

図 6-17 HCDPS架内配置

(注)UPS301-UPS309は、HCDPSU2がある場合に実装する。

(T6673の場合、 MIXED架あり

→ AC CONT搭載されない。MIXED架なし

→ AC CONTは搭載される。)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-14 05.5.7

6.5 安全装置の取付位置

図 6-18 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の FRONT VIEW)

本体架台

1024

ch架台

(800

)

TC

本体

電源

(TC

_PS

)

TC

PAN

EL

TC

_PS

Mon

itor

Pan

el

MIX

ED

TH

1側

MIX

ED

TH

2側

J301

J302

DP

UA

LP

GS

QP

G

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

架台

FAN

TH

U-P

S

TH

2T

H1

FT

U_1

(1-2

56)

Monitor-IF

FTU

_2(2

57-5

12) F

TU温度センサ

FT

U温度センサ

FTU

_3

FTU

_4

FRONT VIEW UP FLOW時

(769

-102

4)

(513

-768

)

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

(注

1) T

C5の場合、

FAN回転センサが付きます。

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-15

図 6-19 安全装置の取り付け位置 (UP FLOW時の REAR VIEW)

本体架台

REAR VIEW UP FLOW時

MA

IN

AC

CO

NT

回転ベース

450R

回転ベース

650L

J101

J202

J102

J201

Air

Con

tP

anel

DM

M

レギュ

レータ

SU

B2

AC

CO

NT

SUB

1A

CC

ON

T

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

煙受信機

1024

ch架台

(800

)

回転ベース

250R温度表示

回転ベース

FAN

回転ベース

FAN

回転ベース

FAN

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-16 05.5.7

図 6-20 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の FRONT VIEW)

FRONT VIEW DOWN FLOW時

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

J301

,J30

2:(A

TK

-3O

N3-

11P

)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-17

図 6-21 安全装置の取り付け位置 (T6673 DSPラックなしで DOWN FLOW時の FRONT VIEW)

FRONT VIEW DOWN FLOW時

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

J301

,J30

2:(A

TK

-3O

N3-

11P

)

架台

FAN

架台

FAN

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-18 05.5.7

図 6-22 安全装置の取り付け位置 (DOWN FLOW時の REAR VIEW)

REAR VIEW DOWN FLOW時

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

J101

,J10

2:(A

TL-

100N

3-14

P)

J201

,J20

2:(A

TK

-60N

3-4P

)J4

01

:(A

TK

-30N

3-10

P)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.5 安全装置の取付位置

6-19

図 6-23 TH安全装置の取り付け位置

図 6-24 CDU安全装置の取り付け位置

 

FRONT

FRONT

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)

6-20 05.5.7

6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)

図 6-25 安全装置の取り付け(UP FLOW時の FRONT, REAR VIEW)

UP FLOW時

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.6 安全装置の取付位置(ミクスド・シグナル・テスト・オプション架台)

6-21

図 6-26 安全装置の取り付け(DOWN FLOW時の FRONT, REAR VIEW)

DOWN FLOW時

FAN回転センサ

温度センサ

煙感知器

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台)

6-22 05.5.7

6.7 安全装置の取付位置(HCDPS架台)

図 6-27 HCDPS架安全装置の取り付け位置

SMOKEセンサ

TEMPセンサ

FAN回転センサ

(T6673の場合、 MIXED架あり

→ AC CONT搭載されない。MIXED架なし

→ AC CONTは搭載される。)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-2305.5.7

6.8 重心図・骨格図

(1) メイン・フレーム重心図(512ピン構成時)

図 6

-28 メイン・フレーム重心図(

512ピン空冷

CD

U時)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-24

図 6

-29 メイン・フレーム重心図(

512ピン水冷

CD

U時)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-2505.5.7

(2) メイン・フレーム重心図(1024ピン構成時)

図 6

-30 メイン・フレーム重心図(

1024ピン空冷

CD

U時)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-26

図 6

-31 メイン・フレーム重心図(

1024ピン水冷

CD

U時)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-2705.5.7

(3) メイン・フレーム重心図(512ピン構成時)

図 6

-32 メイン・フレーム重心図(

T66

73 5

12ピン空冷

CD

U時)

T66

73 C

EN

TE

R O

F G

RA

VIT

Y/F

AL

LA

NG

LE

/WE

IGH

T D

IST

RIB

UT

ION

SP

EC

(512

CH

AIR

CO

OL

ING

TY

PE

)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-28

図 6

-33 メイン・フレーム重心図(

T66

73 5

12ピン水冷

CD

U時)T

6673

CE

NT

ER

OF

GR

AV

ITY

/FA

LL

AN

GL

E/W

EIG

HT

DIS

TR

IBU

TIO

N S

PE

C(5

12 C

H W

AT

ER

CO

OL

ING

TY

PE

)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-2905.5.7

(4) メイン・フレーム重心図(1024ピン構成時)

図 6

-34 メイン・フレーム重心図(

T66

73 1

024ピン空冷

CD

U時)T

6673

CE

NT

ER

OF

GR

AV

ITY

/FA

LL

AN

GL

E/W

EIG

HT

DIS

TR

IBU

TIO

N S

PE

C(1

024

CH

AIR

CO

OL

ING

TY

PE

)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-30

図 6

-35 メイン・フレーム重心図(

T66

73 1

024ピン水冷

CD

U時)

T66

73 C

EN

TE

R O

F G

RA

VIT

Y/F

AL

LA

NG

LE

/WE

IGH

T D

IST

RIB

UT

ION

SP

EC

(102

4 C

H W

AT

ER

CO

OL

ING

TY

PE

)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-3105.5.7

(5) HCDPS重心図

図 6-36 HCDPS架台重心図

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-32

(6) TH重心図

図 6-37 TH重心図

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-3305.5.7

図 6

-38 本体架骨格図N

OT

ITL

EM

AT

ER

IAL

ME

ASU

RE

1B

AS

E F

RA

ME

F(2

.0)

STK

R1”

×2”×

1949

, t3.

05

2B

AS

E F

RA

ME

F(1

.6)

STK

R1”

×2”×

1949

, t3.

05

3B

ASE

FR

AM

E R

&L

SEC

C-P

50.8

×180

×518

.5, t

2.6

4B

AS

E F

RA

ME

M(2

.0)

SEC

C-P

48.5

×220

×162

8, t2

.6

5B

AS

E F

RA

ME

FSE

CC

-P44

.5×7

8×41

4, t2

6B

AS

E F

RA

ME

RSE

CC

-P44

.5×7

8×24

4, t2

7E

ND

PL

AT

E L

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

8E

ND

PL

AT

E R

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

9 10C

EN

TE

R F

RA

ME

SPC

C-S

D28

×880

×163

9.4,

t2.6

11T

OP

FR

AM

E R

-A(2

.0)

STK

R1”

×1”×

1899

, t3.

05

12T

OP

FR

AM

E F

-A(2

.0)

STK

R1”

×1”×

1899

, t3.

05

13T

OP

FR

AM

E F

-B(2

.0)

STK

R1”

×2”×

1899

, t3.

05

14T

OP

FRA

ME

R-B

(2.0

) ST

KR

1”×2

”×18

99, t

3.05

15T

OP

FR

AM

E M

(2.0

) ST

KR

1”×1

”×19

48, t

3.05

16T

OP

FRA

ME

FST

KR

1”×1

”×53

0.5,

t3.0

5

17T

OP

FRA

ME

RST

KR

1”×1

”×23

0.5,

t3.0

5

18H

OL

D B

OA

RD

SPC

C-S

D16

×251

×134

2, t2

19V

EN

T S

LE

EV

E

FR

AM

E(2

.0)

SEC

C-P

25.5

×30×

1947

, t2.

6

20B

AS

E J

OIN

T F

-LA

DC

-12

65.8

×180

×215

21B

AS

E J

OIN

T F

-RA

DC

-12

65.8

×180

×215

22B

ASE

JO

INT

R-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

23B

ASE

JO

INT

R-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

24C

OR

NE

R J

OIN

T L

AD

C-1

251

×120

×150

25C

OR

NE

R J

OIN

T R

AD

C-1

251

×120

×150

T667

2F

RA

ME

ST

RU

CT

UR

E

RE

AR

FR

ON

T

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-34 05.5.7

図 6

-39

1024

ch架骨格図

T66

72F

RA

ME

ST

RU

CT

UR

E

RE

AR

FR

ON

T

NO

TIT

LE

MA

TE

RIA

LM

EA

SUR

E

1B

AS

E F

RA

ME

F(0

.8)

STK

R1”

×2”×

749,

t3.0

5

2B

AS

E F

RA

ME

R(0

.8)

STK

R1”

×2”×

749,

t3.0

5

3B

ASE

FR

AM

E R

&L

SEC

C-P

50.8

×180

×518

.5, t

2.6

4B

AS

E F

RA

ME

M(0

.8)

SEC

C-P

48.5

×220

×428

, t2.

6

5E

ND

PL

AT

E L

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

6E

ND

PL

AT

E R

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

7 8T

OP

FR

AM

E R

-A(0

.8)

STK

R1”

×1”×

699,

t3.0

5

9T

OP

FR

AM

E F

-A(0

.8)

STK

R1”

×1”×

699,

t3.0

5

10T

OP

FR

AM

E F

-B(0

.8)

STK

R1”

×2”×

699,

t3.0

5

11T

OP

FRA

ME

R-B

(0.8

) ST

KR

1”×2

”×69

9, t3

.05

12T

OP

FR

AM

E M

(0.8

) ST

KR

1”×1

”×74

8, t3

.05

13H

OL

D B

OA

RD

(0.8

) SP

CC

-SD

16×2

51×7

42, t

2

14V

EN

T S

LE

EV

E

FR

AM

E(0

.8)

SEC

C-P

25.5

×30×

747,

t2.6

15B

AS

E J

OIN

T F

-LA

DC

-12

65.8

×180

×215

16B

AS

E J

OIN

T F

-RA

DC

-12

65.8

×180

×215

17B

ASE

JO

INT

R-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

18B

ASE

JO

INT

R-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

19C

OR

NE

R J

OIN

T L

AD

C-1

251

×120

×150

20C

OR

NE

R J

OIN

T R

AD

C-1

251

×120

×150

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-35

図 6

-40 水冷

CD

U架骨格図

T667

2

FR

AM

E S

TR

UC

TU

RE

RE

AR

FR

ON

T

WA

TE

R C

OO

LIN

G C

DU

NO

TIT

LE

MA

TE

RIA

LM

EA

SUR

E

1F

RA

ME

RS

PCC

-SD

50×8

90×1

690.

4, t2

.3

2F

RA

ME

LS

PCC

-SD

50×8

90×1

690.

4, t2

.3

3T

OP

FR

AM

E F

SPC

C-S

D50

×75×

300,

t2.3

4T

OP

FR

AM

E R

SPC

C-S

D50

×75×

300,

t2.3

5正面ステー

SPC

C-S

D30

×36×

386,

t2.3

6B

OT

TO

M F

RA

ME

SPC

C-S

D50

×400

×890

, t2.

3

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-36 05.5.7

図 6

-41 空冷

CD

U架骨格図

T66

72

FR

AM

E S

TR

UC

TU

RE

RE

AR

FR

ON

T

AIR

CO

OL

ING

CD

U

NO

TIT

LE

MA

TE

RIA

LM

EA

SU

RE

1T

OP

FR

AM

E F

RA

ST

KR

1”×1

”×69

9, t3

.1

2T

OP

FR

AM

E F

BS

TK

R1”

×2”×

699,

t3.0

5

3T

OP

FR

AM

E M

ST

KR

1”×1

”×74

8, t3

.1

4V

EN

T F

RA

ME

SPC

C-S

D37

×45×

747,

t2.6

5B

AS

E F

RA

ME

FS

TK

R1”

×2”×

749,

t3.0

5

6B

AS

E F

RA

ME

RS

TK

R1”

×2”×

749,

t3.0

5

7E

ND

PL

AT

E L

SPC

C-S

D1”

×890

×171

5.6,

t2.6

8E

ND

PL

AT

E R

SPC

C-S

D1”

×890

×171

5.6,

t2.6

9T

OP

FR

AM

E R

B(0

.8)

ST

KR

1”×2

”×69

9, t3

.05

10B

ASE

FR

AM

E R

&L

SE

CC

-P50

.8×1

80×5

18.5

, t2.

6

11B

ASE

FR

AM

E M

(0.8

) SE

CC

-P48

.5×2

20×4

28, t

2.6

12T

OP

FR

AM

E F

ST

KR

1”×1

”×53

0.5,

t3.1

13T

OP

FR

AM

E R

ST

KR

1”×1

”×23

0.5,

t3.1

14B

ASE

JO

INT

FL

AD

C-1

265

.8×1

80×2

15

15B

ASE

JO

INT

FR

AD

C-1

265

.8×1

80×2

15

16B

ASE

JO

INT

RL

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

17B

ASE

JO

INT

RR

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

18C

OR

NE

R J

OIN

T L

AD

C-1

251

×120

×150

19C

OR

NE

R J

OIN

T R

AD

C-1

251

×120

×150

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-37

図 6

-42 ミクスド・シグナル・テスト・オプション架骨格図

T66

73F

RA

ME

ST

RU

CT

UR

E

RE

AR

FR

ON

T

NO

TIT

LE

MA

TE

RIA

LM

EA

SUR

E

1B

ASE

FR

AM

E F

ST

KR

1”×2

”×94

9, t3

.05

2B

ASE

FR

AM

E R

ST

KR

1”×2

”×94

9, t3

.05

3B

ASE

FR

AM

E R

&L

SE

CC

-P50

.8×1

80×5

18.5

, t2.

6

4B

ASE

FR

AM

E M

SPC

C-S

D48

.5×2

20×6

28, t

2.6

5E

ND

PL

AT

E L

SE

CC

-P1”

×890

×171

5.6,

t2.6

6E

ND

PL

AT

E R

SE

CC

-P28

×890

×171

5.6,

t2.6

7C

EN

TE

R F

RA

ME

SE

CC

-P28

×577

.3×1

639.

4, t2

.6

8T

OP

FR

AM

E R

AS

TK

R1”

×1”×

899,

t3.0

5

9T

OP

FR

AM

E F

AS

TK

R1”

×1”×

899,

t3.0

5

10T

OP

FR

AM

E F

BS

TK

R1”

×2”×

899,

t3.0

5

11T

OP

FR

AM

E R

BS

TK

R1”

×2”×

899,

t3.0

5

12T

OP

FR

AM

E M

ST

KR

1”×1

”×94

8, t3

.05

13T

OP

FR

AM

E F

ST

KR

1”×1

”×53

0.5,

t3.0

5

14T

OP

FR

AM

E R

ST

KR

1”×1

”×23

0.5,

t3.0

5

15FA

N R

AIL

SU

PPO

RT

A60

63S

-T5

25×4

0×68

0

16V

EN

T F

RA

ME

FS

PCC

-SD

30×4

0×94

7, t2

.6

17B

ASE

JO

INT

F-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

00

18B

ASE

JO

INT

F-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

00

19B

ASE

JO

INT

R-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

20B

ASE

JO

INT

R-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

21C

OR

NE

R J

OIN

T L

AD

C-1

251

×120

×150

22C

OR

NE

R J

OIN

T R

AD

C-1

251

×120

×150

(MIX

ED

)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.8 重心図・骨格図

6-38 05.5.7

図 6

-43

HC

DP

S架骨格図

NO

TIT

LE

MA

TE

RIA

LM

EA

SUR

E

1B

AS

E F

RA

ME

F (

0.8)

ST

KR

1”×2

”×74

9, t3

.05

2B

AS

E F

RA

ME

R (

0.8)

ST

KR

1”×2

”×74

9, t3

.05

3B

ASE

FR

AM

E R

&L

SE

CC

-P50

.8×1

80×5

18.5

, t2.

6

4B

AS

E F

RA

ME

M (

0.8)

SE

CC

-P48

.5×2

20×4

28, t

2.6

5B

AS

E F

RA

ME

FS

EC

C-P

44.5

×78×

414,

t2

6B

AS

E F

RA

ME

RS

EC

C-P

44.5

×78×

244,

t2

7E

ND

PL

AT

E L

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

8E

ND

PL

AT

E R

SPC

C-S

D28

×890

×171

5.6,

t2.6

9FA

N F

RA

ME

A60

63S

-T5

45.5

×61×

474

10C

EN

TE

R F

RA

ME

SPC

C-S

D28

×880

×163

9.4,

t2.6

11T

OP

FR

AM

E R

-A (

0.8)

ST

KR

1”×1

”×69

9, t3

.1

12T

OP

FR

AM

E F

-A (

0.8)

ST

KR

1”×1

”×69

9, t3

.1

13T

OP

FR

AM

E F

-B (

0.8)

ST

KR

1”×2

”×69

9, t3

.05

14T

OP

FR

AM

E R

-B (

0.8)

ST

KR

1”×2

”×69

9, t3

.05

15T

OP

FR

AM

E M

(0.

8)S

TK

R1”

×1”×

699,

t3.1

16T

OP

FR

AM

E F

ST

KR

1”×1

”×53

0.5,

t3.1

17T

OP

FR

AM

E R

ST

KR

1”×1

”×23

0.5,

t3.1

18H

OL

D B

OA

RD

SPC

C-S

D16

×251

×472

, t2

19V

EN

T S

LE

EV

E

FR

AM

E (

0.8)

SEC

C-P

25.5

×30×

747,

t2.6

20B

ASE

JO

INT

F-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

15

21B

ASE

JO

INT

F-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

15

22B

ASE

JO

INT

R-L

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

23B

ASE

JO

INT

R-R

AD

C-1

265

.8×1

80×2

25

24C

OR

NE

R J

OIN

T L

AD

C-1

251

×120

×150

25C

OR

NE

R J

OIN

T R

AD

C-1

251

×120

×150

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.9 ユニット電源規格表

6-39

6.9 ユニット電源規格表

以下にユニット電源の規格を示します。

表 6-1メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(1/3)

UPS 電源名 規格名 電圧 備考

TC3, 4の場合1 SR330-5 DPS-001623-1 5 V TC用2 SR230-12 DPS-001649-1 12 V TC用3 SR35-12 DPS-001894-1 -12 V TC FAN用4 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V TB CONT用5 SR35-5 DPS-001895-1 5 V TESTER BUS I/F用

TC5の場合1 SR60-3 DPS-001655-1 3.3 V TC用2 SR35-12 DPS-001894-1 12 V TC用3 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V TC FAN用4 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V TB CONT用5 SR230-5 DPS-001647-1 5 V TESTER BUS I/F用

TC7の場合1 SR35-5 DPS-001895-1 5 V IO IF用2 SR35-5 DPS-001895-1 -5.2 V IO IF用3 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V TC FAN用4 SR35-12 DPS-001894-1 12 V IO IF用5 SR110-24 DPS-001621-1 -24 V TC FAN UNIT用

共通6 SR35-5 DPS-001895-1 5 V SYSTEM MONITOR用7 SR60-24 DPS-001617-1 24 V コントロール・パネル用8 SR60-5 DPS-001614-1 5 V MONITOR I/F用9 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V MONITOR I/F用10 SR60-24 DPS-001617-1 24 V エア・コント用11 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed1)用12 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed1)用13 SR230-12 DPS-001649-1 12 V MIXED本体 (Mixed1,2)用14 SR230-12 DPS-001649-1 -12 V MIXED本体 (Mixed1,2)用15 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed2)用16 SR230-5 DPS-001647-1 5 V MIXED本体 (Mixed2)用17 SR60-12 DPS-001615-1 -12 V MixedFAN(Mixed1,2)用

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.9 ユニット電源規格表

6-40 05.5.7

表 6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(2/3)

UPS 電源名 規格名 電圧 備考101 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(VFD/VFG)用102 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(VFD/VFG)用103 NND30 DPS-004152-1 ±12 V Mixed2(SG)用104 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(リザーブ)用105 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(リザーブ)用106 SR60-9 DPS-001742-1 −8 V TH2用107 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(AFE)用108 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed2(AFD/AFG)用109 NNS30 DPS-002735-1 -15 V Mixed2(AFD/AFG)用110 NNS30 DPS-002735-1 +15 V Mixed2(AFD/AFG)用111 SR60-15 DPS-001616-1 -15 V TH2 M15VPB用112 SR60-15 DPS-001616-1 15 V TH2 P15VPB用113 SR60-5 DPS-001614-1 -5.2 V TH2 VEEPB用115 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH2 P5VRL用116 SR35-12 DPS-001894-1 −12 V TH2 FAN用117 SR60-24 DPS-001617-1 −24 V TH2 FAN用118 SR60-5 DPS-001614-1 5 V TH2 P5VPB用119 SR110-5 DPS-001618-1 5 V TH2 PBRLVCC用120 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(VFD/VFG)用121 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(VFD/VFG)用122 NND30 DPS-004152-1 ±12 V Mixed1(SG)用123 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(リザーブ)用124 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(リザーブ)用125 SR60-9 DPS-001742-1 −8 V TH1用126 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(AFE)用127 NND30 DPS-003377-1 ±15 V Mixed1(AFD/AFG)用128 NNS30 DPS-002735-1 -15 V Mixed1(AFD/AFG)用129 NNS30 DPS-002735-1 +15 V Mixed1(AFD/AFG)用130 SR60-15 DPS-001616-1 -15 V TH1 M15VPB用131 SR60-15 DPS-001616-1 15 V TH1 P15VPB用132 SR60-5 DPS-001614-1 -5.2 V TH1 VEEPB用133 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH1 P5VRL(1024ch時追加)用134 SR330-5 DPS-001623-1 +5 V TH1 P5VRL用135 SR35-12 DPS-001894-1 −12 V TH1 FAN用136 SR60-24 DPS-001617-1 −24 V TH1 FAN用137 SR60-5 DPS-001614-1 5 V TH1 P5VPB用138 SR110-5 DPS-001618-1 5 V TH1 PBRLVCC用140 SR60-3 DPS-001655-1 3.3 V DPU P3.3V用141 SR230-24 DPS-001652-1 -24 V DPU M60V用142 SR230-36 DPS-001660-1 -36 V DPU M60V用143 SR230-24 DPS-001652-1 +24 V DPU P60V用144 SR230-36 DPS-001660-1 +36 V DPU P60V用

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6.9 ユニット電源規格表

6-41

表 6-1 メイン・フレーム内ユニット電源規格(本体架)(3/3)

表 6-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(1/2)

UPS 電源名 規格名 電圧 備考201 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU2(257-512)

203 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH2(1-512), TH1(513-1024)

205 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH1(1-512)

207 WBL-PS3750W WBL-PS3750W DPU

209 WBL-PS3750W WBL-PS3750W SQPG, ALPG

211 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU1(1-256), DPU(SR)

213 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH2(1-512), TH1(513-1024)

215 WBL-PS3750W WBL-PS3750W TH1(1-512), TH1, 2(UTL)

217 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)

218 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)

219 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)

220 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)

221 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)

222 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH2(1-512), TH1(513-1024)

223 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)

224 WBL-PS11V68A WBL-PS11V68A 11 V TH1(1-512)

UPS 電源名 規格名 備考205 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU4(769-1024)

207 WBL-PS3750W WBL-PS3750W FTU3(513-768)

05.5.7

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6.9 ユニット電源規格表

6-42

表 6-2 メイン・フレーム内ユニット電源規格(1024ch架台)(2/2)

UPS 電源名 規格名 備考DPU UPS1 WUN-11V2B15V2B18V WUN-11V2B15V2B18V DPU用DPU UPS2 WUN-11V2B5V3B WUN-11V2B5V3B DPU用SQPG UPS1 WUN-5V3V5V2R5V5V WUN-5V3V5V2R5V5V SQPG, ALPG用ALPG UPS1 WUN-3V2V3V2V3V WUN-3V2V3V2V3V SQPG, ALPG用ALPG UPS1 WUN-5V3V5V2V5V WUN-5V3V5V2V5V SQPG, ALPG用FTU1 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU1用FTU1 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU1用FTU1 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU1用FTU2 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU2用FTU2 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU2用FTU2 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU2用FTU3 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU3用FTU3 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU3用FTU3 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU3用FTU4 UPS1 WUN-5V2R5V3B5V WUN-5V2R5V3B5V FTU4用FTU4 UPS2 WUN-2R5VDM5VDM2R5V WUN-2R5VDM5VDM2R5V FTU4用FTU4 UPS17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V WUN-2R5V5V3V5V2R5V FTU4用

THPS UPS1WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH1用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)

THPS UPS2WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH1用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)

THPS UPS3WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH2用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)

THPS UPS4WUN-7V5V7V5V7V WUN-7V5V7V5V7V TH2用(512ch時)WUN-9V5V9V5V9V WUN-9V5V9V5V9V TH1用(1024ch時)

05.5.7

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6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)

6-4305.5.7

6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)

表 6-3 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内ユニット電源規格 (FRONT)

UPS 電源名 規格名 種類 備考1 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D2 ANA

2 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D2 ANA

3 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V PAFG/D2 ANA

4 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V PAFG/D1 ANA

5 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D1 ANA

6 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D1 ANA

7 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D2 TH

8 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D2 TH

9 NNS50-15 DPS-004504-1 -15 V PAFG/D1 TH

10 NNS50-15 DPS-004504-1 +15 V PAFG/D1 TH

11 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V WVFG2

12 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFG2

13 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V WVFG2

14 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V WVFG2

15 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V WVFG2

16 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V WVFG1

17 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V WVFG1

18 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFG1

19 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V WVFG1

20 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V WVFG1

SLOT1 WUN-5V3V2R5V5V2V WUN-5V3V2R5V5V2V MEMORY UNIT

SLOT2 WUN-5V15V2B5V2V WUN-5V15V2B5V2V MEMORY UNIT

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6.10 ユニット電源規格表(ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム)

6-44

表 6-4 ミクスド・シグナル・テスト・オプション・フレーム内ユニット電源規格 (REAR)

UPS 電源名 規格名 電圧 備考 UPS 電源名 規格名 電圧 備考21 WBL-PS3750W FDS3750W AC/DC11 MEM/ANA 128 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V WVFD2

22 SR660-5 DPS-001629-1 +5 V 129 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFD2

23 SR330-3 DPS-001902-1 +3.3 V 130 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V WVFD2

24 RESERVE1 131 RESERVE2

25 SR330-5 DPS-001623-1 -5.2 V 132 RESERVE2

26 RESERVE2 133 RESERVE2

101 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V GSAWG/TMU2 134 RESERVE1

102 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU1 135 RESERVE1

103 DPS-002735-1 RESERVE 136 RESERVE1

104 DPS-002734-1 RESERVE 137 DPS-003502-1 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU1

105 DPS-002734-1 RESERVE 138 DPS-003502-1 DPS-003502-1 -5 V GSAWG/TMU1

106 DPS-004504-1 RESERVE 139 DPS-003502-1 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU1

107 NNS15-5 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU2 140 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU1

108 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V GSAWG/TMU2 141 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V SAMP2-1

109 NNS15-5 DPS-003502-1 +5 V GSAWG/TMU2 142 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V SAMP2-1

110 NNS30-5 DPS-002734-1 -5 V GSAWG/TMU2 143 SR35-5 DPS-001895-1 +5 V GSAWGDAC1

111 NNS30-15 DPS-002735-1 +15 V SAMP2-2 144 SR35-24 DPS-002504-1 +24 V GSAWGDAC1

112 NNS30-15 DPS-002735-1 -15 V SAMP2-2 145 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V GSAWGDAC1

113 SR35-5 DPS-001895-1 +5 V GSAWGDAC2 146 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V GSAWGDAC1

114 SR35-24 DPS-002504-1 +24 V GSAWGDAC2 147 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL1

115 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V GSAWGDAC2 148 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL1

116 SR60-5 DPS-001614-1 -5 V GSAWGDAC2 149 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V TMU1

117 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL2 150 SR110-15 DPS-001620-1 +15 V ANA

118 NND30-15 DPS-003377-1 +15 V/-15 V ACCAL 151 SR110-15 DPS-001620-1 -15 V ANA

119 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V TMU2 152 NND15-15 DPS-003730-1 +15 V/-15 V TMU1

120 SR60-3.5 DPS-004727-1 +3.3 V PCI 153 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V TMU1

121 SR60-5 DPS-001614-1 +5 V PCI 154 NNS30-5 DPS-002734-1 -5.2 V TMU1

122 NND15-15 DPS-003730-1 +15 V/-15 V TMU2 155 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V TMU1

123 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V TMU2 156 NNS15-15 DPS-003729-1 +15 V WVFD1

124 NNS30-5 DPS-002734-1 -5.2 V TMU2 157 NNS15-15 DPS-003729-1 -15 V WVFD1

125 NNS50-5 DPS-004502-1 -5.2 V TMU2 158 NNS15-5 DPS-003502-1 -5 V WVFD1

126 NNS15-15 DPS-003729-1 +15 V WVFD2 159 NNS30-5 DPS-002734-1 +5 V WVFD1

127 NNS15-15 DPS-003729-1 -15 V WVFD2 160 NNS50-5 DPS-004502-1 +5 V WVFD1

05.5.7

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6.11 ユニット電源規格表(HCDPS架)

6-4505.5.7

6.11 ユニット電源規格表(HCDPS架)

表 6-5 HCDPS架ユニット電源規格表

UPS No 電源名 アドバンテスト規格名 備考

UPS301 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(1)

UPS302 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(2)

UPS303 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V MASTER(1)

UPS304 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V MASTER(2)

UPS305 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(1)

UPS306 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(2)

UPS307 WBL-PS15V15V DPS-001794 +15V

UPS308 WBL-PS15V15V DPS-001794 -15V

UPS309 WBL-PS3750W DPS-001782

UPS310 WBL-PS65V65V DPS-001798+60V セパレート

-60V セパレート

UPS311 WBL-PS5V150A DPS-001784VCC セパレート

VCC セパレート

UPS312 WBL-PS3750W DPS-001782

UPS313 WBL-PS3750W DPS-001782

UPS314 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(3)

UPS315 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(4)

UPS316 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V MASTER(3)

UPS317 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V MASTER(4)

UPS318 WBL-PS11V68A DPS-001785 +10V SLAVE(3)

UPS319 WBL-PS11V68A DPS-001785 -10V SLAVE(4)

UPS320 WBL-PS15V15V DPS-001794 +15V

UPS321 WBL-PS15V15V DPS-001794 -15V

UPS322 SR60-5 DPS-001614 VEE

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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-46

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

電圧調整を行う場合には、入力インピーダンス 10 MΩの測定器を使用して下さい。

6.12.1 電圧調整方法

1. MONITOR I/Fの電圧モニタ端子にて調整

2. 電源端子出力にて調整

電圧調整中は感電の恐れがあります。

ホットワーク・タイプ 4の詳細については、「3.1 ホットワーク」を参照して下さい。

警告!

表 6-6 ユニット番号

UNIT NO 名称 UNIT NO 名称

0 NC 8 NC

1 SQPG,ALPG 9 NC

2 NC A NC

3 DPU B NC

4 FTU1 C MIXED1

5 FTU2 D MIXED2

6 FTU3 E TH1

7 FTU4 F TH2

+

+

J37

+

-

OUT

CH NO

UNIT NO

電圧測定端子

MONI I/F

05.5.7

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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-47

表 6-7 ボード電源電圧調整 (1/7)

(1) TC

(a) TC3

(b) TC4

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UNIT CH

UPS1 5 V 5.05 V±0.02 V TC PSパネル VCC(左) TC

UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V TC PSパネル TC +12 V TC

UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V TC PSパネル TC -12 V TC FAN

UPS4 -5.2 V -5.2 V±0.1 V UPS4出力端子 TB CONT

UPS5 5 V 5.0 V±0.1 V UPS5出力端子 TESTER BUS I/F

UPS6 5 V 5.00 V±0.05 V TC PSパネル VCC(右) SYSTEM MONITOR

UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F

UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F

UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UNIT CH

UPS1 5 V 5.05 V±0.02 V TC4 PSパネル TC 5 V TC

UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V TC4 PSパネル TC +12 V TC

UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V TC4 PSパネル TC -12 V TC FAN

UPS4 -5.2 V -5.2 V±0.1 V TC4 PSパネルMF -5.2 V TB CONT

UPS5 5 V 5.0 V±0.1 V TC4 PSパネルMF 5 V TESTER BUS I/F

UPS6 5 V 5.00 V±0.05 V TC4 PSパネル SYS-MON 5 V SYSTEM MONITOR

UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F

UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F

UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル

05.5.7

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6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-48 05.5.7

(c) TC5

(d) TC7

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UNIT CH

UPS1 3.3 V 3.30 V±0.02 V T5/P3R3V - T6/0V TC +3.3V

UPS2 12 V 12.00 V±0.05 V T7/P12V - T6/0V TC +12V

UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V T3/M12V - T4/0V TC FAN

UPS4 -5.2 V -5.31 V±0.05 V USP4出力端子 TC -5.2V

UPS5 5 V 5.00 V±0.05 V T1/VCC - T2/0V TC +5V

UPS6 5 V 5.05 V±0.05 V USP6出力端子 SYSTEM MONITOR

UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F

UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F

UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UNIT CH

UPS1 5 V -5.00 V±0.02 V USP1出力端子 TC +5V

UPS2 -5.2 V -5.20 V±0.1 V USP2出力端子 TC -5.2V

UPS3 -12 V -12.00 V±0.05 V USP3出力端子 TC -12V FAN

UPS4 12 V 12.00 V±0.05 V USP4出力端子 TC +12V

UPS5 -24 V -24.0 V±0.3 V USP5出力端子 -24V FAN

UPS6 5 V 5.05 V±0.05 V USP6出力端子 SYSTEM MONITOR

UPS8 5 V 5.08 V±0.02 V UPS8出力端子 Monitor I/F

UPS9 -5 V -5.02 V±0.02 V UPS9出力端子 Monitor I/F

UPS10 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F 3 F エア・コントロールUPS7 24 V 24.0 V±0.3 V MONI I/F E F コントロール・パネル

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-49

表 6-7 ボード電源電圧調整 (2/7)

(2) DPU

(注) UPS141 の出力端子で 24.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS141 を調整したあと、MONI I/F 電圧モニタ端子に 60.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS142 を調整します。UPS143 の出力端子で 24.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS143 を調整したあと、MONI I/F 電圧モニタ端子に 60.0±0.6 V の電圧が出力するように UPS144 を調整します。

電源番号

電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UNIT CH

UPS141( 注) -24 V 24.0 V±0.6 V UPS141出力端子 DPU M60V

UPS142 -36 V 60.0 V±0.6 V MONI I/F 3 0 DPU M60V

DPU UPS1-PS3 -15 V 15.0 V±0.2 V MONI I/F 3 1

DPU UPS1-PS1 -12 V 12.0 V±0.2 V MONI I/F 3 2 Master

Slave DPU UPS2-PS1

DPU UPS2-PS4 -5.2 V 5.2 V±0.1 V MONI I/F 3 3

UPS140 3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 3 4 DPU P3.3V

DPU UPS2-PS3 5 V 5.0 V±0.1 V MONI I/F 3 5 Master

Slave DPU UPS2-PS5

DPU UPS1-PS2 12 V 12.0 V±0.2 V MONI I/F 3 6 Master

Slave DPU UPS2-PS2

DPU UPS1-PS4 15 V 15.0 V±0.2 V MONI I/F 3 7

DPU UPS1-PS5 17 V 17.0 V±0.2 V MONI I/F 3 8

UPS143 注) 24 V 24.0 V±0.6 V UPS143出力端子 DPU P60V

UPS144 36 V 60.0 V±0.6 V MONI I/F 3 9 DPU P60V

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-50 05.5.7

表 6-7 ボード電源電圧調整 (3/7)

(3) SQPG

(4) ALPG

(注) SQPG UPS1-PS4を調整した後、ALPG UPS9-PS2を調整して下さい。

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

SQPG UPS1-PS2 -3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 1 2 Master

Slave ALPG UPS8-PS1

ALPG UPS8-PS3

ALPG UPS8-PS5

SQPG UPS1-PS4 -2.5 V 2.53 V±0.05 V MONI I/F 1 3

SQPG UPS1-PS3 5 V 5.0 V±0.1 V MONI I/F 1 6

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

ALPG UPS9-PS1 -5.2 V 5.2 V±0.1 V MONI I/F 1 0 Master

Slave ALPG UPS9-PS5

ALPG UPS9-PS3 -4.5 V 4.5 V±0.1 V MONI I/F 1 1

ALPG UPS9-PS4 -2 V 2.03 V±0.05 V MONI I/F 1 4 Master

Slave ALPG UPS8-PS2

ALPG UPS8-PS4

ALPG UPS9-PS2 3.3 V 3.3 V±0.1 V MONI I/F 1 5 (注)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-51

表 6-7 ボード電源電圧調整 (4/7)(5) FTU

(注) FTU1, 2, 3, 4の電圧を調整するときは、以下のように行って下さい。*1 UPS1-PS3 の電圧を調整するときは、下記のように専用プログラムを実行したあとで調整して下さい。Viewpoint hardware consoleでinit → utility → 300utility init→ execute

*2 UPS17-PS1を調整した後、UPS17-PS3を調整して下さい。

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

FTU1 UPS17-PS2

FTU1 UPS17-PS1

FTU1 UPS1-PS3FTU1 UPS17-PS3FTU1 UPS1-PS5

-5.2 V

-2.5 V

-2.5 V(H)3.3 V

5 V

5.2 V±0.1 V

2.5 V±0.1 V

2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

4

4

444

0

1

234

MasterSlave FTU1 UPS17-PS4 FTU1 UPS1-PS1 FTU1 UPS2-PS3MasterSlave FTU1 UPS1-PS2 FTU1 UPS1-PS4 FTU1 UPS2-PS1 FTU1 UPS2-PS5 FTU1 UPS17-PS5(注)*1(注)*2

FTU2 UPS17-PS2

FTU2 UPS17-PS1

FTU2 UPS1-PS3FTU2 UPS17-PS3FTU2 UPS1-PS5

-5.2 V

-2.5 V

-2.5 V(H)3.3 V

5 V

5.2 V±0.1 V

2.5 V±0.1 V

2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

5

5

555

0

1

234

MasterSlave FTU2 UPS17-PS4 FTU2 UPS1-PS1 FTU2 UPS2-PS3MasterSlave FTU2 UPS1-PS2 FTU2 UPS1-PS4 FTU2 UPS2-PS1 FTU2 UPS2-PS5 FTU2 UPS17-PS5(注)*1(注)*2

FTU3 UPS17-PS2

FTU3 UPS17-PS1

FTU3 UPS1-PS3FTU3 UPS17-PS3FTU3 UPS1-PS5

-5.2 V

-2.5 V

-2.5 V(H)3.3 V

5 V

5.2 V±0.1 V

2.5 V±0.1 V

2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

6

6

666

0

1

234

MasterSlave FTU3 UPS17-PS4 FTU3 UPS1-PS1 FTU3 UPS2-PS3MasterSlave FTU3 UPS1-PS2 FTU3 UPS1-PS4 FTU3 UPS2-PS1 FTU3 UPS2-PS5 FTU3 UPS17-PS5(注)*1(注)*2

FTU4 UPS17-PS2

FTU4 UPS17-PS1

FTU4 UPS1-PS3FTU4 UPS17-PS3FTU4 UPS1-PS5

-5.2 V

-2.5 V

-2.5 V(H)3.3 V

5 V

5.2 V±0.1 V

2.5 V±0.1 V

2.60 V±0.05 V3.3 V±0.1 V5.0 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

7

7

777

0

1

234

MasterSlave FTU4 UPS17-PS4 FTU4 UPS1-PS1 FTU4 UPS2-PS3MasterSlave FTU4 UPS1-PS2 FTU4 UPS1-PS4 FTU4 UPS2-PS1 FTU4 UPS2-PS5 FTU4 UPS17-PS5(注)*1(注)*2

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-52 05.5.7

表 6-7 ボード電源電圧調整 (5/7)

(6) TH

(a) TH(512ch 2stn時)

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

UPS130UPS131UPS132UPS135UPS136UPS137UPS138

-15 V15 V

-5.2 V-12 V-24 V

5 V5 V

-15.2 V±0.1 V14.8 V±0.1 V

-5.50 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V5.00 V±0.05 V5.10 V±0.05 V

UPS130出力端子UPS131出力端子UPS132出力端子UPS135出力端子UPS136出力端子UPS137出力端子UPS138出力端子

TH1 M15VPBTH1 P15VPBTH1 VEEPBTH1 FANTH1 FANTH1 P5VPBTH1 PBRLVCC

UPS111UPS112UPS113UPS116UPS117UPS118UPS119

-15 V15 V

-5.2 V-12 V-24 V

5 V5 V

-15.2 V±0.1 V14.8 V±0.1 V

-5.50 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V5.00 V±0.05 V5.10 V±0.05 V

UPS111出力端子UPS112出力端子UPS113出力端子UPS116出力端子UPS117出力端子UPS118出力端子UPS119出力端子

TH2 M15VPBTH2 P15VPBTH2 VEEPBTH2 FANTH2 FANTH2 P5VPBTH2 PBRLVCC

UPS220

THPS UPS1-PS2UPS134THPS UPS2-PS2UPS125THPS UPS1-PS1

THPS UPS2-PS1

UPS224

THPS UPS2-PS4

11.5 V

5 V5 V

-5.2 V-8VB-8VA

-8VA

11.5 V

-5.2 V

11.5 V±0.2 V

5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V

5.2 V±0.1 V8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V

8.0 V±0.1 V

11.5 V±0.2 V

5.2 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/F

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/F

E

EEEEE

E

E

E

0

12345

6

8

B

TH1 Master(REAR)Slave UPS219TH1 VCC(FRONT, REAR)TH1 P5VRLTH1(REAR)TH1 (FRONT, REAR)TH1 Master(REAR)Slave THPS UPS1-PS3 THPS UPS1-PS5TH1 Master(FRONT)Slave THPS UPS2-PS3 THPS UPS2-PS5TH1 Master(FRONT)Slave UPS223TH1 (FRONT)

UPS218

THPS UPS3-PS2UPS115THPS UPS4-PS2UPS106THPS UPS3-PS1

THPS UPS4-PS1

UPS222

THPS UPS4-PS4

11.5 V

5 V5 V

-5.2 V-8VB-8VA

-8VA

11.5 V

-5.2 V

11.5 V±0.2 V

5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V

5.2 V±0.1 V8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V

8.0 V±0.1 V

11.5 V±0.2 V

5.2 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/FMONI I/F

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/F

F

FFFFF

F

F

F

0

12345

6

8

B

TH2 Master(REAR)Slave UPS217TH2 VCC(FRONT, REAR)TH2 P5VRLTH2(REAR)TH2(FRONT, REAR)TH2 Master(REAR)Slave THPS UPS3-PS3 THPS UPS3-PS5TH2 Master(REAR)Slave THPS UPS4-PS3 THPS UPS4-PS5TH2 Master(FRONT)Slave UPS221TH2 (FRONT)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-53

表 6-7 ボード電源電圧調整 (6/7)

(b) TH(1024ch 1stn時)

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

UPS130UPS131UPS132UPS135UPS136UPS137UPS138

-15 V15 V

-5.2 V-12 V-24 V

5 V5 V

-15.4 V±0.1 V14.7 V±0.1 V

-5.60 V±0.05 V-12.1 V±0.2 V-24.2 V±0.3 V4.80 V±0.05 V4.90 V±0.05 V

UPS130出力端子UPS131出力端子UPS132出力端子UPS135出力端子UPS136出力端子UPS137出力端子UPS138出力端子

TH1 M15VPBTH1 P15VPBTH1 VEEPBTH1 FANTH1 FANTH1 P5VPBTH1 PBRLVCC

UPS220

THPS UPS1-PS2UPS134THPS UPS2-PS2

UPS125THPS UPS1-PS1

THPS UPS2-PS1

UPS224

THPS UPS3-PS2UPS133THPS UPS2-PS4

11.5 V

5 V5 V

-5.2 V

-8VB-8VA

-8VA

11.5 V

5 V5 V

-5.2 V

11.5 V±0.2 V

5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V

5.2 V±0.1 V

8.0 V±0.1 V8.0 V±0.1 V

8.0 V±0.1 V

11.5 V±0.2 V

5.20 V±0.05 V5.30 V±0.05 V

5.2 V±0.1 V

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

MONI I/FMONI I/F

MONI I/F

MONI I/F

MONI I/FMONI I/FMONI I/F

E

EEE

EE

E

E

EEE

0

123

45

6

8

9AB

Master(REAR)Slave UPS217 UPS218 UPS219TH1 VCC(REAR)TH1 P5VRL(REAR)Master(REAR)Slave THPS UPS4-PS2TH1 (FRONT, REAR)Master(REAR)Slave THPS UPS1-PS3 THPS UPS1-PS5 THPS UPS3-PS1 THPS UPS3-PS3 THPS UPS3-PS5Master(FRONT)Slave THPS UPS2-PS3 THPS UPS2-PS5 THPS UPS4-PS1 THPS UPS4-PS3 THPS UPS4-PS5Master(FRONT)Slave UPS221 UPS223 UPS225

TH1 VCC(FRONT)TH1 P5VRL(FRONT)Master(FRONT)Slave THPS UPS4-PS4

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.12 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)

6-54 05.5.7

表 6-7 ボード電源電圧調整 (7/7)

(7) MIXED(DSP)

(8) IDDQ OPTION

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考UNIT CH

UPS11 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F C 8 MIXED1

UPS12 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F C 8 MIXED1

UPS13 12 V 11.85 V±0.1 V MONI I/F C 9 MIXED1,2

UPS14 -12 V 11.85 V±0.1 V MONI I/F C A MIXED1,2

UPS15 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F D 8 MIXED2

UPS16 5 V 5.07 V±0.05 V MONI I/F D 8 MIXED2

UPS17 -12 V -12.0 V±0.1 V UPS17出力端子 MIXED1,2 FAN

UPS120 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS120出力端子UPS120出力端子

MIXED1(VFD/VFG)MIXED1(VFD/VFG)

UPS121 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS121出力端子UPS121出力端子

MIXED1(VFD/VFG)MIXED1(VFD/VFG)

UPS122 ±12 V±12 V

12.2 V±0.1 V-12.2 V±0.1 V

UPS122出力端子UPS122出力端子

MIXED1(SG)MIXED1(SG)

UPS126 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS126出力端子UPS126出力端子

MIXED1(AFE)MIXED1(AFE)

UPS127 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS127出力端子UPS127出力端子

MIXED1(AFD/AFG)MIXED1(AFD/AFG)

UPS128 -15 V -15.2 V±0.1 V UPS128出力端子 MIXED1(AFD/AFG)

UPS129 15 V 15.2 V±0.1 V UPS129出力端子 MIXED1(AFD/AFG)

UPS101 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS101出力端子UPS101出力端子

MIXED2(VFD/VFG)MIXED2(VFD/VFG)

UPS102 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS102出力端子UPS102出力端子

MIXED2(VFD/VFG)MIXED2(VFD/VFG)

UPS103 ±12 V±12 V

12.2 V±0.1 V-12.2 V±0.1 V

UPS103出力端子UPS103出力端子

MIXED2(SG)MIXED2(SG)

UPS107 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS107出力端子UPS107出力端子

MIXED2(AFE)MIXED2(AFE)

UPS108 ±15 V±15 V

15.2 V±0.1 V-15.2 V±0.1 V

UPS108出力端子UPS108出力端子

MIXED2(AFD/AFG)MIXED2(AFD/AFG)

UPS109 -15 V -15.2 V±0.1 V UPS109出力端子 MIXED2(AFD/AFG)

UPS110 15 V 15.2 V±0.1 V UPS110出力端子 MIXED2(AFD/AFG)

電源番号 電源種類 電圧調整値 測定場所 備  考

UPS18 15 V 15.1 V±0.05 V UPS18出力端子

UPS19 -15 V -15.1 V±0.05 V UPS19出力端子

UPS20 15 V 15.1 V±0.05 V UPS20出力端子

UPS21 -15 V -15.1 V±0.05 V UPS21出力端子

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架)

6-55

6.13 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(Mixedオプション架)

UP

S電源種類

調整値

測定個所

備考

UP

S電源種類

調整値

測定個所

備考

UP

S電源種類

調整値

測定個所

備考

22+

5 V

+5.

25 V

±50

mV

AN

A B

WB

T5-

T6

AN

A13

7+

5 V

+5.

1 V

±50

mV

UPS

137

+V

- -

VG

SAW

G/T

MU

1 10

1-5

V-5

.45

V ±

50 m

V

23+

3.3

V+

3.3

V ±

30 m

VA

NA

BW

B T

8-T

9A

NA

138

-5 V

-5.1

V ±

50 m

VU

PS13

8 -V

- +

VG

SAW

G/T

MU

1 10

2-5

V-5

.45

V ±

50 m

V

25-5

.2 V

-5.3

V ±

50 m

VA

NA

BW

B T

10-T

11

AN

A13

9+

5 V

+5.

15 V

±50

mV

UPS

139

+V

- -

VG

SAW

G/T

MU

1 10

3

SLO

T1

+5

V+

5.25

V ±

50 m

VU

NIT

0 C

H 0

BO

AR

D P

S1

140

-5 V

-5.4

5 V

±50

mV

UPS

140

-V -

+V

GSA

WG

/TM

U1

104

+5

V+

5.40

V ±

50 m

VU

PS10

4 +

V -

-V(注

1)

SLO

T1

+3.

3 V

+3.

35 V

±30

mV

UN

IT 0

CH

1B

OA

RD

PS

214

2-1

5 V

-15.

4 V

±10

0 m

VU

PS14

2 -V

- +

VSA

MP

2-1

105

SLO

T1

+2.

5 V

+2.

55 V

±30

mV

UN

IT 0

CH

2B

OA

RD

PS

314

3+

5 V

+5.

1 V

±50

mV

UPS

143

+V

- -

VG

SAW

GD

AC

1 10

6+

5 V

+5.

40 V

±50

mV

UPS

106

+V

--V

(注

2)

SLO

T1

-5.2

V-5

.4 V

±50

mV

UN

IT 0

CH

3B

OA

RD

PS

414

4+

24 V

+24

.0 V

±20

0 m

VU

PS14

4 +

V -

-V

GSA

WG

DA

C1

RE

SER

VE

2

SLO

T1

+1.

8 V

+1.

85 V

±30

mV

UN

IT 0

CH

4B

OA

RD

PS

514

5+

3.3

V+

3.60

V ±

30 m

VU

PS14

5 +

V -

-V

GSA

WG

DA

C1

107

+5

V+

5.1

V ±

50 m

VU

PS10

7 +

V -

-V

GSA

WG

/TM

U2

SLO

T2

+15

V+

15.0

V ±

100

mV

UN

IT 0

CH

5B

OA

RD

PS

214

6-5

V-5

.35

V ±

50 m

VU

PS14

6 -V

- +

VG

SAW

GD

AC

1 10

8-5

V-5

.1 V

±50

mV

UPS

108

-V -

+V

GSA

WG

/TM

U2

SLO

T2

-15

V-1

5.0

V ±

100

mV

UN

IT 0

CH

6B

OA

RD

PS

314

7+

15 V

+15

.3 V

±10

0 m

VU

PS14

7 +

V -

CO

MA

CC

AL

110

9+

5 V

+5.

15 V

±50

mV

UPS

109

+V

- -

VG

SAW

G/T

MU

2

1-1

5 V

-15.

1 V

±10

0 m

VU

PS1

-V -

+V

PAFG

/D2

AN

A-1

5 V

-15.

3 V

±10

0 m

VU

PS14

7 -V

-C

OM

AC

CA

L1

110

-5 V

-5.4

5 V

±50

mV

UP

S11

0 -V

- +

VG

SA

WG

/TM

U2

2+

15 V

+15

.1 V

±10

0 m

VU

PS2

-V -

-V

PAFG

/D2

AN

A14

8+

15 V

+15

.3 V

±10

0 m

VU

PS14

8 +

V -

CO

MA

CC

AL

111

1+

15 V

+15

.4 V

±10

0 m

VU

PS11

1 +

V -

-V

SAM

P2-

2

3+

5 V

+5.

15 V

±50

mV

UPS

3 -V

- +

VPA

FG/D

2 A

NA

-15

V-1

5.3

V ±

100

mV

UPS

148

-V -

CO

MA

CC

AL

111

2-1

5 V

-15.

4 V

±10

0 m

VU

PS11

2 -V

- +

VSA

MP

2-2

4+

5 V

+5.

15 V

±50

mV

UPS

4 +

V -

-V

PAFG

/D1

AN

A14

9+

5 V

+5.

3 V

±50

mV

UPS

149

+V

- -

VT

MU

111

3+

5 V

+5.

1 V

±50

mV

UP

S11

3 +

V -

-V

GS

AW

GD

AC

2

5-1

5 V

-15.

1 V

±10

0 m

VU

PS5

-V -

+V

PAFG

/D1

AN

A15

0+

15 V

+15

.0 V

±10

0 m

VA

NA

BW

B T

1-T

2A

NA

114

+24

V+

24.0

V ±

200

mV

UPS

114

+V

- -

VG

SAW

GD

AC

2

6+

15 V

+15

.1 V

±10

0 m

VU

PS6

-V -

+V

PAFG

/D1

AN

A15

1-1

5 V

-15.

0 V

±10

0 m

VA

NA

BW

B T

3-T

4A

NA

115

+3.

3 V

+3.

60 V

±30

mV

UP

S11

5 +

V -

-V

GS

AW

GD

AC

2

7-1

5 V

-15.

2 V

±10

0 m

VU

PS7

-V -

+V

PAFG

/D2

TH

152

+15

V+

15.1

V ±

100

mV

UPS

152

+V

-C

OM

TM

U1

116

-5 V

-5.3

5 V

±50

mV

UP

S11

6 -V

- +

VG

SA

WG

DA

C2

8+

15 V

+15

.2 V

±10

0 m

VU

PS8

+V

- -

VPA

FG/D

2 T

H-1

5 V

-15.

1 V

±10

0 m

VU

PS15

2 -V

-C

OM

TM

U1

117

+15

V+

15.3

V ±

100

mV

UPS

117

+V

- -

VA

CC

AL

2

9-1

5 V

-15.

2 V

±10

0 m

VU

PS9-

V -

+V

PAFG

/D1

TH

153

+5

V+

5.15

V ±

50 m

VU

PS15

3 +

V -

-V

TM

U1

-15

V-1

5.3

V ±

100

mV

UPS

117

-V -

+V

AC

CA

L

10+

15 V

+15

.2 V

±10

0 m

VU

PS10

+V

- -

VPA

FG/D

1 T

H15

4-5

.2 V

-5.4

0 V

±50

mV

UPS

154

-V -

+V

TM

U1

118

+15

V+

15.3

V ±

100

mV

UPS

118+

V -

-V

AC

CA

L

11-5

V-5

.25

V ±

50 m

VU

PS11

-V

- +

VW

VFG

215

5-5

.2 V

-5.5

0 V

±50

mV

UPS

155

-V -

+V

TM

U1

-15

V-1

5.3

V ±

100

mV

UPS

118

-V -

+V

AC

CA

L2

12+

5 V

+5.

35 V

±50

mV

UPS

12 +

V -

-V

WV

FG2

156

+15

V+

15.3

V ±

50 m

VU

PS15

6 +

V -

-V

WV

FD1

119

+5

V+

5.3

V ±

50 m

VU

PS11

9 +

V -

-V

TM

U2

13-1

5 V

-15.

3 V

±10

0 m

VU

PS13

-V

- +

VW

VFG

215

7-1

5 V

-15.

2 V

±50

mV

UPS

157

-V -

+V

WV

FD1

120

+3.

3 V

+3.

3 V

±30

mV

ME

M B

WB

T3-

T4

PC

I

14+

15 V

+15

.3 V

±10

0 m

VU

PS14

+V

- -

VW

VFG

215

8-5

V-5

.15

V ±

50 m

VU

PS15

8 -V

- +

VW

VFD

112

1+

5 V

+5.

0 V

±50

mV

ME

M B

WB

T1-

T2

PC

I

15-5

.2 V

-5.4

V ±

50 m

VU

PS15

-V

- +

VW

VFG

215

9+

5 V

+5.

25 V

±50

mV

UPS

159

+V

- -

VW

VFD

112

2+

15 V

+15

.1 V

±10

0 m

VU

PS12

2 +

V -

CO

MT

MU

2

16-5

.2 V

-5.4

V ±

50 m

VU

PS16

-V

- +

VW

VFG

116

0+

5 V

+5.

40 V

±50

mV

UPS

160

+V

- -

VW

VFD

1-1

5 V

-15.

1 V

±10

0 m

VU

PS12

2 -V

-C

OM

TM

U2

17-5

V-5

.25

V ±

50 m

VU

PS17

-V

- +

VW

VFG

114

1+

15 V

+15

.4 V

±10

0 m

VU

PS14

1 +

V -

-V

SAM

P2-

112

3+

5 V

+5.

15 V

±50

mV

UPS

123

+V

- -

VT

MU

2

18+

5 V

+5.

35 V

±50

mV

UPS

18 +

V -

-V

WV

FG1

124

-5.2

V-5

.40

V ±

50 m

VU

PS12

4 -V

- +

VT

MU

2

19-1

5 V

-15.

3 V

±10

0 m

VU

PS19

-V

- +

VW

VFG

112

5-5

.2 V

-5.5

0 V

±50

mV

UPS

125

-V -

+V

TM

U2

20+

15 V

+15

.3 V

±10

0 m

VU

PS20

+V

- -

VW

VFG

112

6+

15 V

+15

.3 V

±50

mV

UPS

126

+V

- -

VW

VFD

2

127

-15

V-1

5.2

V ±

50 m

VU

PS12

7 -V

- +

VW

VFD

2

128

-5 V

-5.1

5 V

±50

mV

UPS

128

-V -

+V

WV

FD2

129

+5

V+

5.25

V ±

50 m

VU

PS12

9 +

V -

-V

WV

FD2

130

+5

V+

5.40

V ±

50 m

VU

PS13

0 +

V -

-V

WV

FD2

表6-

8 電源電圧

調整

(注

1)U

PS10

4と

UPS

130は並列運転です。

(注

2)U

PS10

6と

UPS

160は並列運転です。

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

6.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架)

6-56 05.5.7

6.14 電圧調整値(ホットワーク・タイプ 4)(HCDPS架)

(1) HCDPSU1

(注 1) HCDPS 2’nd増設のときは再度電圧調整を行うこと。

(2) HCDPSU2

図 6-44 ±60V VCC VR配置

電源番号 電源種類 電圧調整値 基準端子 測定端子 備考

UPS314UPS315UPS316UPS317UPS318UPS319UPS320UPS321UPS310-1UPS310-2UPS311-2UPS322

PS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS15V15VPS15V15VPS65V65VPS65V65VPS5V150ASR60-5

+10.0 V±200 mV-10.0 V±200 mV

+15.0 V±300 mV-15.0 V±300 mV+60.0 V±2000 mV-60.0 V±2000 mV+5.00 V±50 mV-5.20 V±100 mV

HCDPS_BWB1 T6HCDPS_BWB1 T6

HCDPS_BWB1 T16HCDPS_BWB1 T16HCDPS_BWB1 T1HCDPS_BWB1 T1HCDPS_BWB1 T29HCDPS_BWB1 T14

HCDPS_BWB1 T5HCDPS_BWB1 T4

HCDPS_BWB1 T18HCDPS_BWB1 T17HCDPS_BWB1 T3HCDPS_BWB1 T2 HCDPS_BWB1 T28HCDPS_BWB1 T13

SLAVE(3)SLAVE(4)MASTER(3)MASTER(4)SLAVE(3)SLAVE(4)

電源番号 電源種類 電圧調整値 基準端子 測定端子 備考

UPS301UPS302UPS303UPS304UPS305UPS306UPS307UPS308UPS310-1UPS310-2UPS311-2UPS322

PS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS11V68APS15V15VPS15V15VPS65V65VPS65V65VPS5V150ASR60-5

+10.0 V±200 mV-10.0 V±200 mV

+15.0 V±300 mV-15.0 V±300 mV+60.0 V±2000 mV-60.0 V±2000 mV+5.00 V±50 mV-5.20 V±100 mV

HCDPS_BWB2 T6HCDPS_BWB2 T6

HCDPS_BWB2 T16HCDPS_BWB2 T16HCDPS_BWB2 T1HCDPS_BWB2 T1HCDPS_BWB2 T29HCDPS_BWB2 T14

HCDPS_BWB2 T5HCDPS_BWB2 T4

HCDPS_BWB2 T18HCDPS_BWB2 T17HCDPS_BWB2 T3HCDPS_BWB2 T2 HCDPS_BWB2 T28HCDPS_BWB2 T13

SLAVE(1)SLAVE(2)MASTER(1)MASTER(2)SLAVE(1)SLAVE(2)

CHECKのみCHECKのみ

CHECKのみ

12

1 2

U311 VCCU310 ±60V

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-1

7. ボード配置

TC3実装ボード

表 7-1 TC3実装ボード配置

TC4実装ボード

表 7-2 TC4実装ボード配置

(注 1) WBL-H36770ATC4, H3-6815の場合、Viewpointのレビジョンは R6.02以降になります。

TC5実装ボード配置については、表 7-18に記載しています。

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1H3-6678H3-6566AH3-6670

ENGINEcaseSBUS TGXULTRA SPARC

2 BGK-022920 SYSTEM MONI

3 H3-6480 2nd GP-IB VME オプション4 BGK-023083 Extension I/F Mixed

5 H3-6480 1st GP-IB VME

6 BGK-022921BGK-022922

TBUS I/FBUS I/F

7 EMPTY

8 H3-6671 CPU-20V

9 H3-6708 64M Memory

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考1 EMPTY

2 EMPTY

3 BGK-025646 TC4 TBUS I/F

4WBL-H36770TC4WBL-H36770ATC4 (注 1)

TC4(注 2) 交換時はメモリ・ボードの容量に注意

増設メモリ H3-6775(UPPER)H3-6776(MIDDLE)

5

6

7 BGK-025647 TC4 SYS-MON

8 EMPTY

9 H3-6480/H3-6815(注 1) 2nd GPIB-VME オプション10 BGK-023083 Extension I/F Mixed

11 H3-6480/H3-6815(注 1) 1st GPIB-VME

12 BGK-025648 TC4 BUS I/F

13

WBL-H36770ENG ENGINE-50(注 3) 交換時はメモリ・ボードの容量に注意

増設メモリ H3-6775(UPPER)14

15

02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-2

TC7実装ボード

表 7-3 TC7実装ボード配置

IO IF実装ボード

表 7-4 IO IF実装ボード配置

SQPG実装ボード

表 7-5 SQPG実装ボード配置

ALPG実装ボード

表 7-6 ALPG実装ボード配置

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考BGC-027896 EWS IF

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1BGR-027897 IO IF

BGR-027898 IO OPTION IF

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード

1 WUN-5V3V5V2R5V5V DC PS1

2 BGR-024736 PG I/F BGS-024773

3 BIR-024637 SNC BGS-024773

4 BIR-024735BMR-026227 SQPG VGC (1M)

VGC (4M) BGS-024773

5 BGR-024737BGR-024737X03 SCPG1 (4G)オプション

(16G)オプションBGS-024773

6 BGR-024737X02BGR-024737X04 SCPG2 (4G)オプション

(16G)オプションBGS-024773

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード

1 BIR-025004 ALPG ALPGオプション BGS-021811

2 BGR-024404 AFM CONT ALPGオプション BGS-021811

3 BIR-024405 AFM_1 AFM1 TH1 1-256 OP BGS-024773

4 BIR-024405 AFM_2 AFM2 TH1 257-512 OP BGS-024773

5 BIR-024405 AFM_3 AFM3 TH2 1-256 OP BGS-024773

6 BIR-024405 AFM_4 AFM4 TH2 257-512 OP BGS-024773

7 BIR-021769BGR-021770

PMTERM

PMオプションPMオプションがないとき実装

BGS-013825X03

8 WUN-3V2V3V2V3V DC PS2 AFMオプション実装時

9 WUN-5V3V5V2V5V DC PS3 標準装備

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-3

FTU1(1-256)実装ボード表 7-7 FTU1(1-256)実装ボード配置

(注 1) 互換性版 "F"よりMixedオプション対応。

(注 2) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。

(注 3) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付き、かつ 1ステーションの場合に実装します。

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F (注 1) BGS-024777

4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(1-32) 16MW

64MW BGS-024777

5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(33-64) 16MW

64MW BGS-024777

6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(65-96) 16MW

64MW BGS-024777

7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(97-128) 16MW

64MW BGS-024777

8 BMR-025624BMR-025624X03

DIST&EVENT

16MW64MW BGS-024777

9 BGR-024733BGR-026216

PDS(1-256)PG BUS SHORT (注 2)

BGS-024777

10 BGR-024734 FMUX1(TH1 1-256) BGS-024777

11 BGR-024734BGR-026216

FMUX2(TH2 1-256)PG BUS SHORT (注 3)

BGS-024777

12 BGR-024733 MDS BGS-024777

13 BMR-025625BMR-025625X02 FP5(129-160) 16MW

64MW BGS-024777

14 BMR-025625BMR-025625X02 FP6(161-192) 16MW

64MW BGS-024777

15 BMR-025625BMR-025625X02 FP7(193-224) 16MW

64MW BGS-024777

16 BMR-025625BMR-025625X02 FP8(225-256) 16MW

64MW BGS-024777

17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-4

FTU2(257-512)実装ボード表 7-8 FTU2(257-512)実装ボード配置

(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。

(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付き、かつ 1ステーションの場合に実装します。

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777

4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(257-288) 16MW

64MW BGS-024777

5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(289-320) 16MW

64MW BGS-024777

6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(321-352) 16MW

64MW BGS-024777

7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(353-384) 16MW

64MW BGS-024777

8 BIR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777

9 BGR-024733BGR-026216

PDS(257-512)PG BUS SHORT (注 1)

BGS-024777

10 BGR-024734 FMUX1(TH1 257-512) BGS-024777

11 BGR-024734BGR-026216

FMUX2(TH2 257-512)PG BUS SHORT (注 2)

BGS-024777

12 BGR-024733 MDS BGS-024777

13 BMR-025625BMR-025625X02 FP5(358-416) 16MW

64MW BGS-024777

14 BMR-025625BMR-025625X02 FP6(417-448) 16MW

64MW BGS-024777

15 BMR-025625BMR-025625X02 FP7(449-480) 16MW

64MW BGS-024777

16 BMR-025625BMR-025625X02 FP8(481-512) 16MW

64MW BGS-024777

17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-5

FTU3(513-768)実装ボード表 7-9 FTU3(513-768)実装ボード配置

(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。

(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付く場合にのみ実装します。

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777

4 BMR-025625BMR-025625X02 FP1(513-544) 16MW

64MW BGS-024777

5 BMR-025625BMR-025625X02 FP2(545-576) 16MW

64MW BGS-024777

6 BMR-025625BMR-025625X02 FP3(577-608) 16MW

64MW BGS-024777

7 BMR-025625BMR-025625X02 FP4(609-640) 16MW

64MW BGS-024777

8 BMR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777

9 BGR-024733BGR-026216

PDS(513-768)PG BUS SHORT (注 1)

BGS-024777

10 BGR-024734 FMUX1(TH1 513-768) BGS-024777

11 BGR-026216EMPTYPG BUS SHORT (注 2)

12 BGR-024733 MDS BGS-024777

13 BMR-025625BMR-025625X02

FP5(641-672)

16MW64MW BGS-024777

14 BMR-025625BMR-025625X02

FP6(673-704)

16MW64MW BGS-024777

15 BMR-025625BMR-025625X02

FP7(705-736)

16MW64MW BGS-024777

16 BMR-025625BMR-025625X02

FP8(737-768)

16MW64MW BGS-024777

17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3

05.5.7

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7. ボード配置

7-6 05.5.7

FTU4(769-1024)実装ボード表 7-10 FTU4(769-1024)実装ボード配置

(注 1) DCAPのみが付き、SCPGが付かない場合に実装します。

(注 2) SCPG, ALPG, AFM, MDSが付く場合にのみ実装します。

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード1 WUN-5V2R5V3B5V DC PS12 WUN-2R5VDM5VDM2R5V DC PS23 BGR-024704 FTU TH I/F BGS-024777

4 BMR-025625BMR-025625X02

FP1(769-800)

16MW64MW BGS-024777

5 BMR-025625BMR-025625X02

FP2(801-832)

16MW64MW BGS-024777

6 BMR-025625BMR-025625X02

FP3(833-864)

16MW64MW BGS-024777

7 BMR-025625BMR-025625X02

FP4(865-896)

16MW64MW BGS-024777

8 BIR-025624X02 DIST 16MW BGS-024777

9 BGR-024733BGR-026216

PDS(769-1024)PG BUS SHORT (注 1)

BGS-024777

10 BGR-024734 FMUX1(TH1 769-1024) BGS-024777

11 BGR-026216EMPTYPG BUS SHORT (注 2)

12 BGR-024733 MDS BGS-024777

13 BMR-025625BMR-025625X02

FP5(897-928)

16MW64MW BGS-024777

14 BMR-025625BMR-025625X02

FP6(929-960)

16MW64MW BGS-024777

15 BMR-025625BMR-025625X02

FP7(961-992)

16MW64MW BGS-024777

16 BMR-025625BMR-025625X02

FP8(993-1024)

16MW64MW BGS-024777

17 WUN-2R5V5V3V5V2R5V DC PS3

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7. ボード配置

7-7

DPU実装ボード表 7-11 DPU実装ボード配置

THPS実装ボード表 7-12 THPS実装ボード配置

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考 エクステンダ・カード

1 WUN-11V2B15V2B18V DC PS1

2 WUN-11V2B5V3B DC PS2

3 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257

4 BGR-023715X02(BGR-023715X03)

DPS 2A 1-8 ( ): DPS3 BGS-024257

5 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257

6BGR-023715X02(BGR-023715X03)

DPS 2A 9-16 ( ): DPS3 BGS-024257

7 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257

8BGR-023715X02(BGR-023715X03)

DPS 2A 17-24

( ): DPS3 BGS-024257

9 BGR-024897(BGR-027534) DPS CONT ( ): DPS3 BGS-024257

10BGR-023715X02(BGR-023715X03)

DPS 2A 25-32

( ): DPS3 BGS-024257

11 Option

12 BGR-024899 IF L BGS-024256

13 BGR-023709 IF A BGS-024256

14 BGR-023712 UDC CONT BGS-024256

15 BGR-023713X02 UDC UDC1 1-512ch TH1 BGS-024256

16 BGR-023710 MDC CONT BGS-024256

17 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC1 1-128ch TH1 BGS-024258

18 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC2 129-256ch TH1 BGS-024258

19 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC3 257-384ch TH1 BGS-024258

20 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC4 385-512ch TH1 BGS-024258

21 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC5 1-128ch TH2 BGS-024258

22 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC6 129-256ch TH2 BGS-024258

23 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC7 257-384ch TH2 BGS-024258

24 BGR-023711X02 (BGR-026791) MDC8 385-512ch TH2 BGS-024258

25 BGR-023712 UDC CONT BGS-024256

26 BGR-023713X02 UDC UDC2 1-512ch TH2 BGS-024256

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1WUN-7V5V7V5V7V DC PS1(1-512)STN1 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS1(1-512)STN1 1024ch時

2WUN-7V5V7V5V7V DC PS2(1-512)STN1 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS2(1-512)STN1 1024ch時

3WUN-7V5V7V5V7V DC PS3(1-512)STN2 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS3(513-1024)STN1 1024ch時

4WUN-7V5V7V5V7V DC PS4(1-512)STN2 512ch時WUN-9V5V9V5V9V DC PS4(513-1024)STN1 1024ch時

05.5.7

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7. ボード配置

7-8 05.5.7

Mixed実装ボード表 7-13 Mixed実装ボード配置

Monitor I/F実装ボード

表 7-14 Monitor I/F実装ボード配置

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1 BGK-023082 Analog I/F

2 WBL-H36688BRD CPCI3603

3 BGK-022544 CAL

4 EMPTY

5 BGK-025626 EM

6 BGK-022429 CM

7 BGK-022429X02 SG

8 BGK-022377X02 AFLT1

9 BGK-022377X02 AFLT2

10 KH3-3203 AFG1

11 KH3-3203 AFG2

12 KH3-3206 AFD1

13 KH3-3206 AFD2

14 BGK-022377X02 AFLT3

15 BGK-022377X02 AFLT4

16 KH3-3225 VFG1

17 KH3-3225 VFG2

18 KH3-3228 VFD1

19 KH3-3228 VFD2

20 BGK-024239 DCAP

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考1 BGR-024885X02 Monitor I/F

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7. ボード配置

7-9

TH実装ボード表 7-15 TH実装ボード配置 (T6672)

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1 EMPTY

2 EMPTY

3 BGR-024934 SG

4 BGR-024492 VFG/VFD(1,2)

5 BGR-024779 PFB I/F 2 UDC 5-8

6 BGR-023948 TRIGGER

7 BGR-024908 PE16 929-960, 993-1024ch

8 BGR-024908 PE12 673-704, 737-768ch

9 BGR-024908 PE14 801-832, 865-896ch

10 BGR-024908 PE10 545-576, 609-640ch

11 BGR-023664 PE I/F 2

12 BGR-024908 PE08 417-448, 481-512ch

13 BGR-024908 PE04 161-192, 225-256ch

14 BGR-024908 PE06 289-320, 353-384ch

15 BGR-024908 PE02 33-64, 97-128ch

16 BGR-025817X03 HSCLK

17 BGR-023950 PS Connect VS1-32, TM

18 BGR-025897 Iddq

19 BGR-024908 PE01 1-32, 65-96ch

20 BGR-024908 PE05 257-288, 321-352ch

21 BGR-024908 PE03 129-160, 193-224ch

22 BGR-024908 PE07 385-416, 449-480ch

23 BGR-023664 PE I/F 1

24 BGR-024908 PE09 513-544, 577-608ch

25 BGR-024908 PE13 769-800, 833-864ch

26 BGR-024908 PE11 641-672, 705-736ch

27 BGR-024908 PE15 897-928, 961-992ch

28 BGR-025628 PFB I/F 3 UTILITY PS, UDC 1-4

29 BGR-024448 AFG/AFD 4ch

30 BGR-024955 AFE 4ch

31 EMPTY

32 BGR-024751 Sampler

05.5.7

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7. ボード配置

7-10 05.5.7

表 7-16 TH実装ボード配置 (T6673)

スロット NO. ボード NO. 回路名 備考

1 BIR-026826 WVFG-PE

2 BIR-026276 WVFD-PE

3 BGR-024934 SG

4 BGR-024492 VFG/VFD(1,2)

5 BGR-026792 ACCAL-PE(PFB I/F 2+ACCAL)

UDC 5-8

6 BGR-027127 TRIGGER 73

7 BGR-024908 PE16 929-960, 993-1024ch

8 BGR-024908 PE12 673-704, 737-768ch

9 BGR-024908 PE14 801-832, 865-896ch

10 BGR-024908 PE10 545-576, 609-640ch

11 BGR-023664 PE I/F 2

12 BGR-024908 PE08 417-448, 481-512ch

13 BGR-024908 PE04 161-192, 225-256ch

14 BGR-024908 PE06 289-320, 353-384ch

15 BGR-024908 PE02 33-64, 97-128ch

16 BGR-025817X03WBL-H33391DAC

HSCLK/GSAWG-DACX03

17 BGR-023950 PS Connect VS1-32, TM

18 BGR-025897/WBL-H33391DAC

Iddq/GSAWG-DAC

19 BGR-024908 PE01 1-32, 65-96ch

20 BGR-024908 PE05 257-288, 321-352ch

21 BGR-024908 PE03 129-160, 193-224ch

22 BGR-024908 PE07 385-416, 449-480ch

23 BGR-023664 PE I/F 1

24 BGR-024908 PE09 513-544, 577-608ch

25 BGR-024908 PE13 769-800, 833-864ch

26 BGR-024908 PE11 641-672, 705-736ch

27 BGR-024908 PE15 897-928, 961-992ch

28 BGR-025628 PFB I/F 3 UTILITY PS, UDC 1-4

29 BGR-024448 AFG/AFD 4ch

30 BIR-026910 PAFG/PAFD-PE

31 BGR-026743 GSAWG/TMU-PE

32 BGR-026908 SAMPLER2

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7. ボード配置

7-11

表 7-17のデジタル・スイッチの図はボード・トップ側から見た図です。

表 7-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (1/2)

SLOT ボード名 名称 LA SW設定

1 BGK-023082 TC ANALOG I/F —

(注) DIP SW が OFF 側に設定されていること。

3 BGK-022544 CAL 5

5 BGK-025626 EM 4

6 BGK-022429 CM 2

8 BGK-022377X02 AFLT1 16

9 BGK-022377X02 AFLT2 17

10 KH3-3203 AFG1 8

11 KH3-3203 AFG2 9

12 KH3-3206 AFD1 12

13 KH3-3206 AFD2 13

14 BGK-022377X02 AFLT3 18

15 BGK-022377X02 AFLT4 19

16 KH3-3225 VFG1 20

17 KH3-3225 VFG2 21

1 2 43

SW1 ON

1 2

SW2 ON

12345678

OFF

12345678

OFF

12345678

OFF1 2 3 4 5 6 7 8

ON

1 2 3 4 5 6 7 8

ON

図 7-1参照

図 7-1参照

図 7-2参照

図 7-2参照

1 2 3 4 5 6 7 8

ON

1 2 3 4 5 6 7 8

ON

1 2 3 4 5 6 7 8

ON

1 2 3 4 5 6 7 8

ON

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-12 05.5.7

表 7-17 DSP1,2ラック内実装ボードのアドレス SW設定 (2/2)

SLOT ボード名 名称 LA SW設定

18 KH3-3228 VFD1 24

19 KH3-3228 VFD2 25

20 BGK-024239 DCAP2 28

1 2 3 4 5 6 7 8 ON

1 2 3 4 5 6 7 8 ON

12345678

OFF

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7. ボード配置

7-13

図 7-1 DVX2901ジャンパ選択位置

05.5.7

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7. ボード配置

7-14 05.5.7

図 7-2 DVX2502ジャンパ選択

OPEN

SHORT

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7. ボード配置

7-15

図 7-3 TH LOGICピン配置

05.5.7

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7. ボード配置

7-16 05.5.7

表 7-18 TC5内実装ボード配置

表 7-19 Mixed オプション架 (MEMORY UNIT)内実装ボード配置

スロット No. ボード NO. 回路名 備考

1 BGK-026860 TC5 SYSTEM MONITOR

2 BGK-025646X02 TC5 TBUS I/F

3 BGK-026830 TC Extension I/F オプション

4 WBL-H36859BRD GP-IB I/F

5 BGK-026471 TC5 BUS I/F

6 WBL-H36824PXI N-MIX I/F Bridge WVFD/G有りの場合

7 WBL-H36824PXI N-MIX I/F Bridge PAFG/TMUオプション有りの場合

8 EMPTY EMPTY

スロット No. ボード NO. 回路名 備考

1 WUN-5V3V2R5V5V2V BOARD PS1

2 WUN-5V15V2B5V3V BOARD PS2

3 BGR-026798X02 TBUS DIP SW1 “1∼ 4” OFF

4 WBL-H36824AMIF PCI-IF

5 BGR-027118 DCAP3(TH1) 表 7-20参照

6 BGR-027118 DCAP3(TH2) 表 7-20参照

7 BGR-026312 WVFD1,2/WVFG1(TH1) 表 7-21参照

8 BGR-026312 WVFD3,4/WVFG2(TH1) 表 7-21参照

9 BGR-026312 WVFD1,2/WVFG1(TH2) 表 7-21参照

10 BGR-026312 WVFD3,4/WVFG2(TH2) 表 7-21参照

11 WBL-H36824AMIF PCI-IF

12 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1(TH1) 表 7-22参照

13 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2(TH1) 表 7-22参照

14 BGR-027829 PAFD1-4/PAFG1(TH2) 表 7-22参照

15 BGR-027829 PAFD5-8/PAFG2(TH2) 表 7-22参照

16 BGR-026312X02 TMU1,2(TH1) 表 7-23参照

17 BGR-026312X02 TMU1,2(TH2) 表 7-23参照

18 WBL-H36824AMIF (PCI-IF)

19 (Reserve)

20 (Reserve)

21 (Reserve)

22 (Reserve)

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7. ボード配置

7-17

表 7-20 DCAP3 (BGR-027118)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1)

表 7-21 WVFG/WVFD (BGR-026312)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW3, STN, BRD)

表 7-22 PAFD/PAFG (BGR-027829)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW2, STN, BRD)

表 7-23 TMU (BGR-026312X02)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW3, STN, BRD)

スロット スロット 5 スロット 6

SW1の設定

STN STN1 STN2

スロット スロット 7 スロット 8 スロット 9 スロット 10

SW3の設定

STN STN1 STN2

スロット スロット 12 スロット 13 スロット 14 スロット 15

SW2の設定

STN STN1 STN2

スロット スロット 16 スロット 17

SW3の設定

STN STN1 STN2

SW1OFF OFF OFF ON

SW1

ON

SW

3

ON

ST

N

BR

D

OFF

SW

3

ON

ST

N

BR

D

ON

SW

3

OFF

ST

N

BR

D

OFF

SW

3

OFF

ST

N

BR

D

ON

BR

D

ST

N

ON

SW2

OFF

BR

D

ST

N

ON

SW2

ON

BR

D

ST

N

OFF

SW2

OFF

BR

D

ST

N

OFF

SW2

ON

SW

3

ON

ST

N

BR

D

ON

SW

3

OFF

ST

N

BR

D

05.5.7

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7. ボード配置

7-18

表 7-24 Mixed オプション架 (ANALOG UNIT)内実装ボード配置

(注 1) BGR-026836の Dip SW1の 2, 3, 4, 5, 6, 7は、設定を変えないで下さい。交換するボードの状態です。

表 7-25 PAFD/PAFG (WBL-H33419ANA)の DIP SWの設定(プリント板シルク : SW1, 1, 4)

スロット No. ボード NO. 回路名 備考

1 BGR-026798 TBUS-CAL DIP SW1 “1~4” OFF

2BGR-026836 EM3(TH1) DIP SW1 “1” ON, “8” OFF

(注 1)

3BGR-026836 EM3(TH2) DIP SW1 “1” OFF, “8” OFF

(注 1)

4 BGR-027102 CM(WVFG/D) BOARD TOP SW1 “0”

5 BGR-027102 CM(OPCLK/REG) BOARD TOP SW1 “1”

6 BGR-027102 CM(PAFG/D) BOARD TOP SW1 “2”

7 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1(TH1) 表 7-25参照

8 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2(TH1) 表 7-25参照

9 WBL-H33419ANA PAFD1-4/PAFG1(TH2) 表 7-25参照

10 WBL-H33419ANA PAFD5-8/PAFG2(TH2) 表 7-25参照

11 BGR-026721 TMU(TH1)

12 BGR-026721 TMU(TH2)

13 (Reserve)

14 (Reserve)

15 (Reserve)

16 (Reserve)

スロット スロット 7 スロット 8 スロット 9 スロット 10

SW1の設定

STN STN1 STN2

ON ONSW1

OFF OFF

1 4

ON OFFSW1

OFF OFF

1 4

OFF ONSW1

OFF OFF

1 4

OFF OFFSW1

OFF OFF

1 4

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

7. ボード配置

7-19

表 7-26 HCDPSU1ボード配置

表 7-27 HCDPSU2ボード配置

SLOT NO. BOARD NO. CIRCUIT NAME REMARKS EXTENDER CARD

1 BGR-024899 IFL3 BGS-024256

2 BGR-023709 IFA3 BGS-024256

3 BGR-026361 HCDPS OPT1 BGS-024256

4 BGR-026272 HCDPS CONT1 BGS-024257

5 BGR-026272 HCDPS CONT2 BGS-024257

6 BGR-026273 HCDPS 1 (DPS65) BGS-024257

7 BGR-026273 HCDPS 2 (DPS66) BGS-024257

8 BGR-026273 HCDPS 3 (DPS67) BGS-024257

9 BGR-026273 HCDPS 4 (DPS68) BGS-024257

10 BGR-026273 HCDPS 5 (DPS69) BGS-024257

11 BGR-026273 HCDPS 6 (DPS70) BGS-024257

12 BGR-026273 HCDPS 7 (DPS71) BGS-024257

13 BGR-026273 HCDPS 8 (DPS72) BGS-024257

SLOT NO. BOARD NO. CIRCUIT NAME REMARKS EXTENDER CARD

1 BGR-024899 IFL4 BGS-024256

2 BGR-023709 IFA4 BGS-024256

3 BGR-026361 HCDPS OPT2 BGS-024256

4 BGR-026272 HCDPS CONT3 BGS-024257

5 BGR-026272 HCDPS CONT4 BGS-024257

6 BGR-026273 HCDPS 9 (DPS73) BGS-024257

7 BGR-026273 HCDPS 10 (DPS74) BGS-024257

8 BGR-026273 HCDPS 11 (DPS75) BGS-024257

9 BGR-026273 HCDPS 12 (DPS76) BGS-024257

10 BGR-026273 HCDPS 13 (DPS77) BGS-024257

11 BGR-026273 HCDPS 14 (DPS78) BGS-024257

12 BGR-026273 HCDPS 15 (DPS79) BGS-024257

13 BGR-026273 HCDPS 16 (DPS80) BGS-024257

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8. 配線図

8-1

8. 配線図

8.1 信号配線

(1) T6672

• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X

図 8-1 テスタ・バス配線図 (T6672)

ボード名称

ボード名

スロット 1 3 6 2 3 3 3 3 12 1 3 6

ユニット名 IO IF TC4 TC3 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 DPU IO IF TC4 TC3

配線順序

図中の記述

FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、IFL(DPU)へ接続して下さい。

注意!

IO I

F

TC

4 B

US

I/F

TC

3 B

US

I/F

PG

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

IFL

IO I

F

TC

4 B

US

I/F

TC

3 B

US

I/F

BG

R-0

2789

7

BG

K-0

2564

6

BG

K-0

2292

2

BG

R-0

2473

6

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2489

9

BG

R-0

2789

7

BG

K-0

2564

6

BG

K-0

2292

2

J7

J9

X09J8

J7

X05

J6

J7

X05

J6

J7

X09

J6

J7

X09

J6

J7

X09

J6

J8

X05

FTU2がない場合DPUに接続

FTU3がない場合DPUに接続

FTU4がない場合DPUに接続

TC7の場合J21

TC7の場合J22

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-2

(2) T6673

• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X

図 8-2 テスタ・バス配線図 (T6673)

ボード名称

ボード名

スロット 2 2 3 3 3 3 1 3 12 2

ユニット名 TC5 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 ANA MEM DPU TC5

配線順序

図中の記述

FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、TBUSCAL(ANA)へ接続して下さい。

注意!

TC

5 B

US

I/F

PG I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

TB

US

-CA

L

TB

US

IFL

TC

5 B

US

I/F

BG

K-0

2564

6X02

BG

R-0

2473

6

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2679

8

BG

R-0

2679

8X02

BG

R-0

2489

9

BG

K-0

2564

6X02

J9

J8

J7

X05

J6

J7

X05

J6

J7

X09

J6

J7

X09

J6

J6

X09

J5

FTU2がない場合ANAに接続

FTU3がない場合ANAに接続

FTU4がない場合ANAに接続

X09

J6

X09

J6

J7

X05

J6

J8

J5J7X05

02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-3

(3) T6672で HCDPSオプションがある場合

• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X

図 8-3 テスタ・バス配線図(HCDPSオプションがある場合)

ボード名称

ボード名

スロット 1 3 2 6 2 3 3 3 3 1 1 12 6 3 2 1

ユニット名 IO IF TC4 TC5 TC3 SQPG FTU1 FTU2 FTU3 FTU4 HCDPS1 HCDPS2 DPU TC3 TC4 TC5 IO IF

配線順序

図中の記述

FTU1の出力は必ず FTU2へ接続して下さい。FTU2が装備されていない場合、点線のように、IFL3(HCDPS)へ接続して下さい。

注意!

IO I

F

TC

4 B

US

I/F

TC

5 B

US

I/F

TC

3 B

US

I/F

PG I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

FTU

&T

H I

/F

IFL

3

IFL

4

IFL

TC

3 B

US

I/F

TC

4 B

US

I/F

TC

5 B

US

I/F

IO I

F

BG

R-0

2789

7

BG

K-0

2564

6

BG

K-0

2564

6X02

BG

K-0

2292

2

BG

R-0

2473

6

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2489

9

BG

R-0

2489

9

BG

R-0

2489

9

BG

K-0

2292

2

BG

K-0

2564

6

BG

K-0

2564

6X02

BG

R-0

2789

7

J7

J9

X09J8

J7

X05

J6

J7

X05

J6

J7

X12

J6

J7

X04

J6

J7

X12

J6

J8

X05

FTU4がない場合DPUに接続

HCDPS1がない場合DPUに接続

HCDPS2がない場合DPUに接続

X09

J6

FTU3がない場合DPUに接続

X09

J6

FTU2がない場合DPUに接続

J7 J7

TC7の場合J21

TC7の場合J22

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-4

(4) T6673で HCDPSオプションがある場合

• テスタ・バス・ケーブル ----------- DCB-RR7324X

図 8-4 テスタ・バス配線図(T6673+MIXED2+HCDPSの場合)

ボード名称

ボード名

スロット 2 3 3 3 3 3 1 1 1 3 12 2

ユニット名 TC5 SQPG FTU1/TH

FTU2/TH

FTU3/TH

FTU4/TH

ANA HCDPS1 HCDPS2 MEM DPU TC5

配線順序

図中の記述

ボードが装備されていない場合、点線のように、バイパスして装備されているインターフェイス・ボードへ接続して下さい。

注意!

TC

5 B

US

I/F

PG

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

FT

U&

TH

I/F

TB

US-

CA

L

IFL

3

IFL

4

TB

US-

CA

L

IFL

TC

5 B

US

I/F

BG

K-0

2564

6X02

BG

R-0

2473

6

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2470

4

BG

R-0

2679

8

BG

R-0

2489

9

BG

R-0

2489

9

BG

R-0

2679

8X02

BG

R-0

2489

9

BG

K-0

2564

6X02

J7

J7

X05

J6

J7

X09

J6

J7

X12

J6

J7

X04

J6

J6

X12

J5

FTU4/THがない場合DPUに接続

X09

J5

FTU3/THがない場合DPUに接続

X09

J6

FTU2/THがない場合DPUに接続

J7 J6 J7

X09

J6

J7

X05

J6

J9

X09

J8

X05

J8

MIXEDがない場合バイパス接続

HCDPS1がない場合バイパス接続

HCDPS2がない場合バイパス接続

MIXEDがない場合バイパス接続

02.12.12

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-5

図 8-5 TC3配線図 (1)

02.12.12

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-6 02.12.12

図 8

-6 T

C3配線図

(2)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-7

図 8-7 TC4配線図 (1)

02.12.12

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-8 02.12.12

図 8-8 TC4配線図 (2)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-9

図 8-9 TC3, TC4配線図

GRAPHIC

MONITOR

KEYBOARD KEYBOARD CABLE

Accessory CodeTC3 S1 ENGINE

MONITOR

TC4 S15 ENGINE

MONITOR

TC3 S1 ENGINE

KEYBOARD

TC4 S15 ENGINE

KEYBOARD

Extension Accessory Code

02.12.12

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-10 02.12.12

図 8-10 TC5配線図 (1)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-11

図 8-11 TC5配線図 (2)

02.12.12

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-12 05.5.7

図 8-12 TC7配線図

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-13

図 8-13 DPU配線図(1ステーション構成)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-14 05.5.7

図 8-14 DPU配線図(2ステーション構成)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-15

図 8-15 DCAP3(MIXED OPTION2)増設時の FMUX配線図

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-16

図 8-16 DPU配線図 (DPU PWB)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-17

図 8-17 SQPG配線図

(注 1)

(注 1) MIXEDオプション 2が設定されている場合 DCB-FS8100X06A (S3 J10), 接続先 : DSP1 S6 J7→DCB-FSD733X04 (S3 J10), 接続先 : ANA S1 J17

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-18

図 8-18 ALPG配線図

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-19

図 8-19 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 1ステーション構成)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-20

図 8-20 SQPG/ALPG配線図(SQPG/ALPG BWB 2ステーション構成)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-2105.5.7

図 8-21 FTU配線図 (1)

(注 1)

(注

1)M

IXE

Dオプション

2が設定されている場合

 D

CB

-RR

A72

3X01

(S8

J6,

J8,

J17

), 接続先

: DS

P1,2

S5

J6→

DC

B-R

RD

647X

01A

(S

8 J6

, J8,

J17

), 接続先

: AN

A S

2, S

3 J1

1

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-22

図 8-22 FTU配線図 (2)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-2305.5.7

図 8-23 FTU配線図 (3)

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-24

図 8-24 FTU配線図 (4)

05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

8-2505.5.7

図 8-25 FTU BWB配線図

FTU2 BWB

FTU1 BWB

FTU3 BWB

FTU4 BWB

(注 1) FTU1, 2, 3, 4 J203-1にコネクタが接続されない場合、カバーMMX-J2050A001を取り付けます。

(注 2) FTU1 J203-2には、512ch以下の場合はカバーMMX-J2050A001を取り付けます。512chを越える場合は、ショート・ケーブル DCB-SSA593X01を取り付けます。

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8

-26

DSP

1(M

IXE

D1)配線図

(注

1)M

IXE

Dオプション

2が設定されている場合

 D

CB

-SS3

078X

01A

(S

3 J1

7, S

6 J4

, J5)

→D

CB

-SSA

745X

01 (

S3

J17,

S6

J5)

→D

CB

-SS3

077X

05 (

S6

J4),

接続先

: AN

A S

1 J1

8

(注

4)D

CB

-SS3

078X

01Aはケーブル銘板のあるコネクタを

S6

J5に付ける。

*1D

CB

-FF

6650

X03

C(S

10J7

, S11

J7, S

12J4

, S13

J4)

*2D

CB

-FF

6650

X04

C(S

16, S

17, A

DV

AN

CE

, TR

IGG

ER

)

(

S18,

S19

TR

IGG

ER

)

(注

2)M

IXE

Dオプション

2が設定されている場合

 D

CB

-MS

9694

X05

(S

3 J3

), 接続先

: DM

M F

RO

NT

→D

CB

-SS3

077X

05 (

S3

J3),

接続先

: AN

A S

1 J8

(注

3)M

IXE

Dオプション

2が設定されている場合

 D

CB

-RR

A72

3X01

(S

5 J6

)→

DC

B-B

BD

659X

01A

, 接続先

: AN

A S

2 J1

0

(注 3)

(注 1)

(注

4)

(注

1)

(注 2)

KH3-3228

KH3-3228

KH3-3225

KH3-3225

KH3-3206

KH3-3206

KH3-3203

KH3-3203

WBL-H36688BRD

8-26 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8

-27

DSP

2(M

IXE

D2)配線図

(注

2)D

CB

-SS3

078X

01Aはケーブル銘板のあるコネクタを

S6 J

5に付ける。

*1D

CB

-FF6

650X

03C

(S10

J7, S

11J7

, S12

J4, S

13J4

)*2

DC

B-F

F665

0X04

C(S

16, S

17, A

DV

AN

CE

, TR

IGG

ER

)

(

S18

, S19

TR

IGG

ER

)

(注

3)D

CB

-RS

7591

X01

Aおよび

DC

B-R

S75

88X

01Aは

"ST

1"側のコネクタ

にD

CB

-RS9

498X

02を接続する。

(注

2)

(注 1)

(注 3)

(注 3)

(注 3)

(注 3)

(注

1)M

IXE

Dオプション

2が設定されている場合

 D

CB

-RR

A72

3X01

(S

5 J6

)→

DC

B-B

BD

659X

01A

, 接続先

: AN

A S

3 J1

0

KH3-3228

KH3-3228

KH3-3225

KH3-3225

KH3-3206

KH3-3206

KH3-3203

KH3-3203

WBL-H36688BRD

8-2705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8

-28

MIX

ED

BW

B配線図

MIXED1

MIXED2

8-28 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-29 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(1)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-35、図 8-36が適用されます。

8-2905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-30 T6672 THU1配線図(1ステーション構成)(2)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-36、図 8-37が適用されます。

8-30 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-31 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(1)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-38、図 8-39が適用されます。

8-3105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-32 T6672 THU1配線図(2ステーション構成)(2)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-39、図 8-40が適用されます。

8-32 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-33 T6672 THU2配線図 (1)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-41、図 8-42が適用されます。

8-3305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-34 T6672 THU2配線図 (2)

(注) MIXEDオプション 2が追加されている場合は、図 8-42、図 8-43が適用されます。

20, 21

8-34 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-35 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(1)

(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J10→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J10, TH1 S16 J916

(注 1)

8-3505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.1 信号配線

図 8-36 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(2)

オプション構成 (SLOT)Iddq (18)

HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)

GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)

J1006

WBL-H33391DAC

BGR-025817X03

8-36 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8-37 T6673 THU1配線図(1ステーション構成)(3)

8-3705.5.7

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8.1 信号配線

図 8-38 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(1)

(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J10→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J10, TH1 S16 J916

(注 1)

8-38 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8-39 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(2)

オプション構成 (SLOT)Iddq (18)

HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)

GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)

J1006

8-3905.5.7

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8.1 信号配線

図 8-40 T6673 THU1配線図(2ステーション構成)(3)

8-40 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8-41 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(1)

(注 1) HSCLKオプションが設定されている場合 DCB-BSA311X01, 接続先 : FTU1 S8 J12→DCB-BSD676X01, 接続先 : FTU1 S8 J12, TH2 S16 J916

(注 1)

8-4105.5.7

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8.1 信号配線

図 8-42 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(2)

オプション構成 (SLOT)Iddq (18)

HSCLK (16)GSAWG-DAC (18)+HSCLK (16)

GSAWG-DAC (16)+Iddq(18)Iddq (18)+HSCLK (16)

J1006

WBL-H33391DAC

BGR-025817X03

8-42 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8-43 T6673 THU2配線図(2ステーション構成)(3)

8-4305.5.7

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8.1 信号配線

図 8-44 THU配線図 (TH BPS)

注) ボード電源は、1-512chのときはWUN-7V5V7V5V7V513-1024chのときはWUN-9V5V9V5V9Vを実装する。

8-44 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8-45 MONITOR I/F配線図

(注 1) HCDPSなしの時 : DCB-RQA254X01HCDPS2なしの時 : DCB-RQD821X01

J34, J21(HCDPSがないとき), J33(TH2がないとき)DCB-MMA250X01ショートコネクタをさすこと

J22, J23, J24, J25, J26, J27 J30と J31は(Mixedがないとき)DCB-MMA251X01ショートコネクタをさすこと

B-TOP side

BWB side

8-4505.5.7

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8.1 信号配線

図 8

-46 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(

ME

MO

RY部)

SL

OT

1 ~

SLO

T10

WU

N-5

V3V

2R5V

5V2V

WB

L-H

3682

4AM

IF

8-46 05.5.7

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8.1 信号配線

その他は

未接続

その他は

未接続

図 8

-47 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(

ME

MO

RY部)

SLO

T11

~ S

LO

T17

WB

L-H

3682

4AM

IF

8-4705.5.7

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8.1 信号配線

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

未接続

図 8

-48 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(

AN

AL

OG部)

SLO

T1

~ SL

OT

6

CM

(PA

FG

/D)

TE

ST

ER

BU

S IN

(注

1)

(注

1)図

8-2

テスタ・バス配線図

(T66

73)を参照して

下さい

8-48 05.5.7

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8.1 信号配線

図 8

-49 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(

AN

AL

OG部)

SLO

T7

~ SL

OT

12

DC

B-R

R1

0473

X02

AD

CB

-RR

1047

3X02

AD

CB

-RR

104

73X

02A

DC

B-R

R10

473X

02A

8-4905.5.7

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8.1 信号配線

図 8

-50 ミクスド・シグナル・テスト・オプション配線図(

DSPラック)

8-50 05.5.7

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8.1 信号配線

(注

1)(注

2)

図 8

-51

HC

DP

Sケーブル接続図

(4/8

CH

)

8-5105.5.7

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8.1 信号配線

(注

1)(注

2)

図 8

-52

HC

DPSケーブル接続図

(4/8

/12/

16 C

H)

8-52 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

8.2 電源配線

図 8-53 AC200 V接続図 (TC3, TC4) (1-1)

注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR 電源は、A 端子と B 端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。

(200 V入力の状態)注 3) UPS10,UPS9,UPS8,UPS6,UPS1,UPS2,UPS3,UPS7 の SR 電源は、TOG 端子と CNT 端子間の

ショートピースをとりつけること。(シーケンス制御対象外の状態)UPS4,UPS5の SR電源は TOG-CNTのショートピースを取り外すこと。(シーケンス制御の状態)

注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピース取り外し実装すること。(漏れ電流を低減する)

8-53 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8-54 AC200 V接続図 TC5 (1-2)

注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR電源は、A端子と B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。

(200 V入力の状態)注 3) UPS10, UPS9, UPS8, UPS6, UPS2, UPS3, UPS7の SR電源は、TOG端子と CNT端子間の ショー

トピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)UPS1, UPS4, UPS5の SR電源は TOG-CNTのショートピースを取り外すこと。(シーケンス制御の状態)

注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピースを取り外して実装すること。(漏れ電流を低減する)

8-5405.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8-55 AC200 V接続図 TC7 (1-3)

注 1) AWG16クロおよび AWG14クロは二重絶縁線 (UL1673)を使用のこと。注 2) SR電源は、A端子と B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。

(200 V入力の状態)注 3) UPS10, UPS9, UPS8, UPS6, UPS1, UPS2, UPS3, UPS4, UPS5, UPS7の SR電源は、TOG端子と

CNT端子間の ショートピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)注 4) SR電源は、ACG端子と FG端子間のショートピースを取り外して実装すること。(漏れ電流

を低減する)

8-55 05.5.7

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8.2 電源配線

図 8

-56

AC

200

V接続図

(T

6672

) (1

-4)

注1)

トランスは

J1の

3と

4の端子をつなぐこと。ただし、

220

V出荷国に対しては

波線のように

3と

5をつなぐこと。

8-5605.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-57

AC

200

V接続図

(2)

注1)

AW

G12クロは二重絶縁線

(UL

1673

)を使用のこと。

注2)

MA

IN A

C C

ON

Tは

J9の

1と

3の端子をつなぐこと。ただし、

220

V出荷国に対しては波

線のように

1と

5をつなぐこと。

8-57 05.5.7

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8.2 電源配線

図 8

-58

AC

200

V接続図

(3)

注1)

“AW

G12クロ

”と

“AW

G14クロ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用のこと。

注2)

UP

S21

3は

TH

2(1-

512)または

TH

1(51

3-10

24)があるときのみ実装する。

注3)

UP

S12

9,12

8,12

7は、

AFG

/AF

Dオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S12

6は、

AFEオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S12

0,12

1は、

VFG

/VF

Dオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S12

2は、

SGオプションがついているときにのみ実装する。

注4)

NN

Sおよび

NN

Dは、入力電圧切換が

200になっていることを確認する。

注5)

UP

S20

1は

FT

U2があるときのみ実装する。

8-5805.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-59

AC

200

V接続図

(4)

注1)

“AW

G12クロ

”と

“AW

G14クロ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用のこと。

注2)

NN

Sおよび

NN

Dは、入力電圧切換が

200になっていることを確認する。

注3)

UP

S20

3は

TH

2(1-

512)または

TH

1(51

3-10

24)のときのみ実装する。

注4)

UP

S11

0,10

9,10

8は、

AF

G/A

FDオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S10

7は、

AFEオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S10

1,10

2は、

VFG

/VF

Dオプションがついているときにのみ実装する。

UP

S10

3は、

SGオプションがついているときにのみ実装する。

8-59 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-60

DC

270

V配線図

(1)

注)

UPS

207(

AC

DC

1)の

3,4,

5,6,

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

8-6005.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-61

DC

270

V配線図

(2)

注1)

SR電源は、

A端子と

B端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(

200

V入力の状態)

注2)

UP

S11,

12,1

3,14

,15,

16は

TO

G-C

NTのショートピースを取り外し実装してあることを確認する。(シーケンス制御の状態)

注3)

SR電源は、

AC

G端子と

FG端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)

注4)

UP

S15,

UP

S16は、

TH

2が実装されるときのみ実装する。

注5)

UPS

209(

AC

DC

2)の

5,6,

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

また、

AL

PG U

PS

8が実装されないときは、

UPS

209(

AC

DC

2)の

2に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注6)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

注7)

UP

S17の

SR電源は

TO

G-C

NTのショートピースを取り付けること。(シーケンス制御対象外の状態)

8-61 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-62

DC

270

V配線図

(3)

注1)

SR電源は、

A端子と

B端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(

200

V入力の状態)

注2)

SR電源は、

TO

G端子

-CN

T端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(シーケンス制御の状態)

注3)

SR電源は、

AC

G端子

-FG端子間のショートピースを取り外して実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)

注4)

UPS

211(

AC

DC

3)の

5,6,

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注5)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

8-62 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-63

DC

270

V配線図

(4)

注)

UPS

201(

AC

DC

4)の

4,5,

6,7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

8-6305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-64

DC

270

V(

512c

h時)配線図

(5-1

)

注1)

UPS

205(

AC

DC

5)の

4,5,

6,7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注3)

UP

S136

,UP

S13

5の

SR電源(

TH

fan用電源)は、

TO

G端子と

CN

T端子間のショートピースを取り付けること。

(シーケンス制御対象外の状態)

注4)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

8-64 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-65

DC

270

V(

1024

ch時)配線図

(5-2

)

注1)

UPS

205(

AC

DC

5)の

4,5,

6,7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注2)

UP

S136

,UP

S13

5の

SR電源(

TH

fan用電源)は、

TO

G端子と

CN

T端子間のショートピースを取り付けること。

(シーケンス制御対象外の状態)

注3)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

8-6505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-66

DC

270

V(

512c

h時)配線図

(6-1

)

注1)

UPS

203(

AC

DC

7)の

4,5,

6,7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注2)

UP

S116

,UPS

117の

SR電源(

TH

fan用電源)は、

TO

G端子と

CN

T端子間のショートピースを取り付けること。

(シーケンス制御対象外の状態)

注3)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

8-66 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-67

DC

270

V(

1024

ch時)配線図

(6-2

)

注)

UPS

203(

AC

DC

7)の

3,4,

5,6,

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

8-6705.5.7

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8.2 電源配線

図 8

-68

DC

270

V配線図

(7)

注1)

TH

2の

SR電源を実装しないときは

UPS

215(

AC

DC

6)の

6に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注2)

UPS

215(

AC

DC

6)の

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

注3)

上記の

SR電源は、

A端子と

B端子間のショートピースを取り外し実装してあることを確認する。(

200

V入力の状態)

注4)

SR電源は、

AC

G端子と

FG端子間のショートピース取り外し実装してあることを確認する。(漏れ電流を低減する)

注5)

“AW

G18ダイ

”と

“AW

G18チャ

”は二重絶縁線

(UL

1673

)を使用すること。

8-68 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-69

DC

270

V配線図

(8)

注1)

UPS

213(

AC

DC

6)の

5,6,

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

TH

1, T

H2

(ユーティリティ電源)

8-6905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8-70 パラ運転ケーブル接続図 (1)(512ch時)

図 8-71 パラ運転ケーブル接続図 (2)(1024ch時)

8-70 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-72

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(1)

(1)シーケンスを制御しない

SR電源

以下の電源はシーケンスの線はつなげない。

ショートコネクタを

PJ1に接続すること。

(2)

AL

PGユニット

SLO

T 8

AFMオプションがない場合、

J118

, J61

8, J

1118

, J16

18, J

2118にバイパス・

ボード

BG

B-0

2457

7を取り付ける。

バイパス・ボードの挿入 バック・ボード

B面にコネクタ

5個所

05.5.

7 8-71

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-73

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(2)

8-72 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-74

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(3)

注1)

UPS

15,U

PS16は

MIX

ED

2が実装されるときのみ接続する。

8-7305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-75

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(4)

8-74 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-76

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(5)

8-7505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-77

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(6)

注1)

TO

G端子

-CN

T端子間のショートピースを外すこと。

注2)

512c

hのときは

WU

N-7

V5V

7V5V

7Vを使用、

1024

chのときは

WU

N-9

V5V

9V5V

9Vを使用する。

8-76 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-78

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(7)

注1)

TH

PSスロット

3と

4のボード電源は、

TH

2 1-

512c

hと

TH

1 51

3-10

24chを兼ねています。この切り替えは、

TH

ON

/OF

F Aケーブル

Bケーブルを差し換えることにより行っています。構成を注意し、まちがえないよう気をつけて下さい。

注2)

SR60

-9(U

PS10

6)と

SR33

0-5(

UP

S115

)は

TH

2 51

2chのときのみ実装する。

注3)

512c

hのときは

WU

N-7

V5V

7V5V

7Vを使用、

1024

chのときは

WU

N-9

V5V

9V5V

9Vを使用する。

8-7705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-79

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(8)

注1)

TO

G端子

-CN

T端子間のショートピースを外すこと。

2 2

02

2 4

2 2

3

8-78 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-80

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(9)

TH

1(51

3-10

24)

orT

H2(

1-51

2)

TH

2(1-

512)または

TH

1(51

3-10

24)

8-7905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-81

SYS

TE

M O

N/O

FFケーブル配線図

(10)

注1)

UP

S203

,UP

S21

3は、

TH

2(1-

512)または

TH

1(51

7-10

24)がある場合に実装する。

注2)

UP

S201は、

FT

U2がある場合に実装する。

注3)

UP

S201が付かない場合、

UP

S20

3と

UPS

213を接続

8-80 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-82

SYS

TE

M O

N/O

FFケーブル配線図

(11)(

MIX

EDオプション架有時の場合)

 M

IXE

Dオプション架

TCRMT PCI

TCRMT PCI

8-8105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-83

DC配線図

(1)

8-82 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-84

DC配線図

(2)(

TC

3の場合)

(150

0mm

)

SR35

-5

SR35

-5

V5.

5-5

SR35

-5

SR33

0-5

(TC

)SR

230-

12(T

C)

AT

K-3

0N3-

10P

サーキット・プロテクタ・ユニット

8-8305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-85

DC配線図

(3)(

TC

4の場合)

8-84 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-86

DC配線図

(4)(

TC

3の場合)

8-8505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-87

DC配線図

(5)(

TC

4の場合)

8-86 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-88

DC配線図

(6)(

TC

5の場合)

8-8705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-89

DC配線図

(7)(

TC

7の場合)

8-88 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-90

DC配線図

(8)

8-8905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-91

DC配線図

(9)

8-90 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-92

DC配線図

(TH

PS

BW

B)(

512c

h時)

(10-

1)

8-9105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-93

DC配線図

(TH

PS

BW

B)(

1024

ch時)

(10-

2)

8-92 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-94

DC配線図

(DC

-DC

) (1

0-3)

はT

H2(

1-51

2)または

TH

1(51

3-10

24)

が実装される場合に配線する。

に示すように、

UP

S21

7と

UP

S21

8、

UP

S21

9と

UPS

220、

UP

S22

1と

UP

S22

2、U

PS

223と

UP

S22

4の間に

は、ショート金具

(MB

N-K

0042

A)を取り付けること。

8-9305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-95

DC配線図

(TH

PS

BW

B)(

512c

h時)

(11-

1)

8-94 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-96

DC配線図

(TH

PS

BW

B)(

1024

ch時)

(11-

2)

8-9505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-97

DC配線図

(TH

PS

BW

B)

(11-

3)

はT

H2(

1-51

2)または

TH

1(51

3-10

24)が

実装される場合に配線する。

8-96 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-98

DC配線図

(TH

1 U

TL

/RL

PS

) (1

2)

8-9705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-99

DC配線図

(TH

1 U

TL

/RL

PS

) (1

3)

8-98 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-100

DC配線図

(TH

2 U

TL

/RL

PS

) (1

4)

8-9905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-101

DC配線図

(TH

2 U

TL

/RL

PS

) (1

5)

8-100 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-102

BW

B 0

V D

C接続図

(1)

TC

3 B

WB

T7

TC

4 B

WB

T10

8-10105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-103

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

UP

FLO

W時

8-102 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-104

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

DO

WN

FL

OW時

8-10305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-105

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

UP

FLO

W時

TC

7の場合

8-104 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-106

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

DO

WN

FL

OW時

TC

7の場合

8-10505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-107

センサ・ケーブル接続(電圧センス)

DC

B-M

CB

8282

XO

1

DC

B-M

CB

8282

XO

1

注1)ショートコネクタについて

J1-L

,J2-

L,J

5-L

,J5-

U,J

6-L

,J6-

Uおよび

J3-U

,J4-

L,J

4-U(

FTU

2-4がない場合

)、J7

-L,J

7-U

(MIX

EDオプションがない場

合)、

J8-U(

TH

2がない場合)に、

DC

B-M

QA

254X

01をつけること。

注2)

J1-L~

J8-Uの端子配置

MO

NI

I/F

J1-

L~

J8-Uの配置は以下

のとおりです。

(RE

AR

VIE

W)

8-106 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-108

FA

N A

C20

0 V配線(

512架)

8-10705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-109

T66

73 F

AN

AC

200

V配線(

512架) 

UP

FLO

W時

8-108 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-110

T66

73 F

AN

AC

200

V配線(

512架)

DO

WN

FL

OW時

DPSラックなしのとき。

DPSラックありのときは、

TC

FA

N1,

TC

FAN

2はつかない。

8-10905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-111

AC

CO

NT接続図

(1)

8-110 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-112

AC

CO

NT接続図

(2)

8-11105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-113

コントロール・ボックス、エア・コントロール・ユニット接続図

(注)コントロール・ボックス

(KH

3-51

57)は、テスト・ヘッドの上に乗せな

いで下さい。壁掛けホルダを用いてドア・パネルに取り付けて下さい。

8-112 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-114

DM

M/F

TU温度センサユニット接続図

注3)

DC

B-M

S644

0X03は、青プラグは接続しない。青プラ

グはショートしないように、スミチューブを被せ、

DC

B-M

S644

0X03の茶色ケーブルにくくりつける。

注1)

FT

U温度センサは以下のように取り

付ける。(裏から見た図)

注2)

DC

B-S

S947

0X01

Aのマーカ・タイ

4つのうち、

接続先のマーカ・タイのみを残し、残り

3つ

を削除する。

8-11305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-115

FG接続図

8-114 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-116

102

4ch架台電源配線(

AC

200

V接続図)

8-11505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-117

DC

270

V配線図

(1)

注)

UP

S20

3の

4~

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

8-116 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-118

DC

270

V配線図

(2)

注)

UP

S20

1の

4~

7に

YE

E-0

0297

2-1を差し込むこと。

8-11705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-119

SY

STE

M O

N/O

FFケーブル配線

(1)

8-118 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-120

SY

STE

M O

N/O

FFケーブル配線

(2)

8-11905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-121

SY

STE

M O

N/O

FFケーブル配線

(3)

注)

UP

S205は、

TH

1(76

9-10

24)がある場合に実装する。

本体架台

1024

ch架台

8-120 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-122

BW

B 0

V D

C接続図

(1)

8-12105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-123

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

UP

FL

OW時(

1024

ch時)

注2)

MO

NI

I/Fショートコネクタについて

J34,

J21,

J33

DC

B-M

MA

250X

01ショートコネクタをさすこと

J22,

J23,

J24,

J25,

J26,

J27,

J31,

J30(

Mix

edがないとき

)は、

DC

B-M

MA

251X

01ショートコネクタをさすこと

TC

3 B

WBへ

D

CB

-MM

A28

5X01

TC

4 B

WB

J7

T

C4構成

1)煙受信機の設定について

TC部

8-122 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-124

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

DO

WN

FL

OW時(

1024

ch時)

注1)煙受信機の設定について

注2)

MO

NI

I/Fショートコネクタについて

J34,

J21,

J33

DC

B-M

MA

250X

01ショートコネクタをさすこと

J22,

J23,

J24,

J25,

J26,

J27,

J31,

J30(

Mix

edがないとき

)は、

DC

B-M

MA

251X

01ショートコネクタをさすこと

TC

3 B

WBへ

D

CB

-MM

A28

5X01

TC

4 B

WB

J7

T

C4構成

TC部

8-12305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-125

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

UP

FL

OW時(

1024

ch時)

TC

7の場合

8-124 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-126

センサ・ケーブル接続(煙、

FAN、

TE

MPセンス)

DO

WN

FL

OW時(

1024

ch時)

TC

7の場合

8-12505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-127

センサ・ケーブル接続(電圧センス)(

1024

ch時)

注1)ショートコネクタについて

J1-L

,J2-

L,J

5-L

,J5-

U,J

6-L

,J6-

U,J

7-U

,J8-

Uおよび

J4-U

(FT

U4がない場合

)、J7

-L(M

IXE

Dオプションがない場合

)は、

DC

B-M

QA

254X

01をつけること

注2)

J1-L~

J8-Uの端子配置

MO

NI

I/F

J1-

L~

J8-Uの配置は以下の

通りです。

(RE

AR

VIE

W)

DC

B-M

CB

282X

01

8-126 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-128

FA

N A

C20

0 V配線(

1024架)

8-12705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-129

T66

73 F

AN

AC

200

V配線(

1024架)

UP

FLO

W時

8-128 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-130

T66

73 F

AN

AC

200

V配線(

1024架)

DO

WN

FL

OW時

DPSラックなしのとき。

DPSラックありのときは、

TC

FA

N1,

TC

FAN

2はつかない。

8-12905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-131

FT

U温度計接続図

注1)

FTU温度センサは以下のように取

り付ける。(裏から見た図)

注2)

DC

B-S

S947

0X01

Aのマーカ・タイ

4つのうち、接続先の

マーカ・タイのみを残し、残り

3つを削除する。

8-130 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-132

MIX

ED架有時

AC

CO

NT接続図

(1)

8-13105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-133

MIX

ED架有時

AC

CO

NT接続図

(2)

8-132 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-134

T66

73 F

AN

AC接続図(

512架

-102

4架

-MIX

ED架)

8-13305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-135

MIX

ED架

FAN

AC

200V配線図

8-134 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-136

AC

200

V接続図

(1)

Mix

edオプション架

8-13505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-137

AC

200

V接続図

(2)

Mix

edオプション架

8-136 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-138

AC

200

V接続図

(3)

Mix

edオプション架

8-13705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8-139 AC200 V接続図 (4)

Mixedオプション架

PAFD/G ANA2

PAFD/G ANA1

PAFD/G

PAFD/G

8-138 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-140

DC

270

V配線図

Mix

edオプション架

8-13905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-141

SY

ST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(1)

Mix

edオプション架

8-140 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-142

SY

ST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

(2)

8-14105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-143

DC配線図

(1)

Mix

edオプション架

8-142 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-144

DC配線図

(2)

Mix

edオプション架

8-14305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-145

DC配線図

(3)

Mix

edオプション架

8-144 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-146

Mix

edオプション

センサ接続図

8-14505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-147

Mix

edオプション

センサ接続図

Mix

edオプション架

煙、

FANセンサ

ミクスド・シグナル・テスト・オプション部

8-146 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-148

T66

73 (

512

ch)センサ接続図(

UP

FLO

W時)

(注)

KH

3-71

150の場合は

  

DC

B-M

Q35

48X

01を接続

8-14705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-149

T66

73 (

512

ch)センサ接続図(

DS

Pラックありの

DO

WN

FL

OW時)

8-148 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-150

T66

73 (

512

ch)センサ接続図(

DS

Pラックなしの

DO

WN

FL

OW時)

8-14905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-151

T66

73 (

1024

ch)センサ接続図(

UP

FL

OW時)

MIX

ED架

詳細は煙、

FA

Nセンサ参照

J35架台

(TE

MP

,FA

N,煙

,AU

X)

J34

AU

X(T

EM

P,F

AN

,煙,A

UX

)J3

3 T

H2(

BW

BT

,TE

MP

,HE

AT

,FA

N)

J32

TH

1(B

WB

T,T

EM

P,H

EA

T,F

AN

)

ミクスド・シグナル・

テスト・オプション部

(注)

KH

3-71

150の場合は

  

DC

B-M

Q35

48X

01を接続

8-150 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-152

T66

73 (

1024

ch)センサ接続図(

DS

Pラックありの

DO

WN

FL

OW時)

8-15105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-153

T66

73 (

1024

ch)センサ接続図(

DS

Pラックなしの

DO

WN

FL

OW時)

8-152 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-154

HC

DPS架

AC

200

V接続図

8-15305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-155

HC

DP

S有時

AC

CO

NT接続図

(1)

8-154 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-156

HC

DP

S有時

AC

CO

NT接続図

(2)

8-15505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-157

T66

73 M

IXE

D架

+H

CD

PS架

AC

CO

NT接続図

(1)

ショート・コネクタ

ショート・コネクタ

ショート・コネクタ

8-156 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-158

T66

73 M

IXE

D架

+H

CD

PS架

AC

CO

NT接続図

(2)

注2)

注2)

注2)

注1)

注1)

注1)

8-15705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-159

HC

DPS

_CA

BIN

ET

DC

270

V接続図

(1)

HC

DP

S C

AB

INE

T

Not

e: P

lug

the

YE

E-0

0297

2 in

the

posi

tion

“7”

on A

CD

C.

DC

B-M

M9

708X

17D

CB

-MM

970

8X15

DC

B-M

M97

08X

16D

CB

-MM

970

8X0

8D

CB

-MM

9708

X10

DC

B-M

M97

08X

12D

CB

-MM

9708

X10

DC

B-M

M97

08X

12

DC

B-M

M97

08X

10

DC

B-M

M97

08X

12

DC

B-M

M97

08X

14

DC

B-M

M97

08X

15

DC

B-M

M97

08X

13

8-158 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-160

HC

DPS

_CA

BIN

ET

DC

270

V接続図

(2)

HC

DPS

CA

BIN

ET

8-15905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8-161 HCDPSパラ運転ケーブル接続図

8-160 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-162

HC

DP

S架

AC

/DC電源

SYS

TE

M O

N/O

FFケーブル配線図

8-16105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-163

HC

DP

S架

DC

/DC電源

SYS

TE

M O

N/O

FFケーブル配線図

(+10

V)

(+15

V)

(-10

V)

(-15

V)

SR

60-5

8-162 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-164

HC

DP

S_C

AB

INE

T D

C配線図

8-16305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-165

HC

DP

S_C

AB

INE

T D

C_0

V配線図

8-164 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-166

HC

DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、

FAN、

TE

MP)

UP

FLO

W時

DCB-MMA231X06

(5300mm)

DCB-MM9211X03

8-16505.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-167

HC

DP

S架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、

FAN、

TE

MP)

UP

FL

OW時

TC

7の場合

8-166 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-168

T66

73 H

CD

PS架

AC

/DC電源

SYST

EM

ON

/OFFケーブル配線図

8-16705.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

D

CB

-MR

D82

0X07

図 8

-169

HC

DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(電圧センス)

T66

73の場合、上記のケーブルは

DC

B-M

RD

820X

07(7

500m

m)。

DC

B-M

RD

820X

07

DC

B-M

RD

820X

07

J8 J8

8-168 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-170

HC

DP

S架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、

FAN、

TE

MP)

UP

FL

OW時(

1024

ch時)

8-16905.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-171

HC

DPS架有時、センサ・ケーブル接続図(煙、

FAN、

TE

MP)

UP

FLO

W時(

1024

ch時)

TC

7の場合

8-170 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-172

T66

73 (

1024

ch)

+M

IXE

D架

+H

CD

PS架

センサ・ケーブル接続図

(1)(煙、

FAN、

TE

MP)

J4

DCB-

MM3

545X

12

DCB-

MM3

545X

14

J2

8-17105.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-173

T66

73 (

512c

h) +

MIX

ED架

+H

CD

PS架

センサ・ケーブル接続図

(2)(煙、

FAN、

TE

MP)

J4

DCB-

MM3

545X

12

DCB-

MM35

45X1

4

J2

8-172 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-174

FA

N A

C20

0 V配線図(

HC

DPS有の場合)

8-17305.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

8.2 電源配線

図 8

-175

T66

73 M

IXE

D架

+H

CD

PS架

FAN

AC

200

V配線図D

CB

-MM

7805

X30

DC

B-M

M78

05X

30

8-174 05.5.7

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

9. HIFIXの取り扱い

キー・スイッチ OFFの手順操作 1 : TCをシャットダウンします。確認 1 : シャットダウンの動作終了を確認して下さい。操作 2 : キー・スイッチを OFFにして下さい。確認 2 : AC CONT パネルの LED のランプが 0x100 になり、続いて FAN が停止(約

30秒後)することを確認して下さい。HIFIXの質量は約 32kgです。1つの HIFIXの交換に要する時間は、約 5分です。

ZIF コネクタの破損や接触不良を未然に防ぐための、HIFIX 取り扱い上の注意点について以下に説明します。

(1) HIFIX装着方法

ピン・カードのコネクタが、開いていることを確認します。テスト・ヘッドの LOCK/FREEスイッチの表示で、FREE側が点灯していることを確認します。SQUARE HIFIXの交換の際には、パフォーマンス・ボードを取り外して下さい。

2人で HIFIXを持ち上げます。

HIFIXの方向を合わせます。位置合わせマーク ( )を合わせます。

HIFIXをテスト・ヘッド上部で装着位置に合わせ、水平にします。テスト・ヘッド・カバーの穴が、装着時のガイドになっています。テスト・ヘッド・カバーの穴に HIFIX の外形を合わせることにより位置合わせができます。

HIFIXを水平に保ちながら、静かにテスト・ヘッドに置きます。

警告

HIFIXの交換は、必ずテスタのキー・スイッチを OFFにして行って下さい。

!

HIFIXの取り扱いは、必ず 2人で行って下さい。

警告

1

2

3

4

5

9-102.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

HIFIX が、正しい位置に装着されていることを確認した後、浮きがないよう HIFIX の取っ手を下方向に手で押さえます。HIFIXで使用しているコネクタは、コネクタを閉じるときに接点のセルフ・クリーニング機構が働き、接触不良を防止しています。セルフ・クリーニング機構が働くと、HIFIXは 1 mm程度持ち上げられます。HIFIXに浮きがあるとセルフ・クリーニング効果が弱くなり、接触不良の原因となります。

HIFIXの取っ手近くにあるMBロックを「FREE」にします。

LOCKスイッチを押し、コネクタを閉じます。

LOCKの表示が点灯していることを確認します。

<HIFIX装着時の注意点 >

• HIFIXを静かに置く。

• HIFIXを水平に置く。

• HIFIXをずれた位置で置かない。一部のコネクタに力が加わり、コネクタが破損します。

• テスト・ヘッドを水平の状態に戻して行う。

(2) 接触不良の回避方法

コネクタの接触不良が発生した場合には、下記の , , の操作を数回繰り返して下さい。セルフ・クリーニング動作により、接触不良が回避できます。

FREEスイッチを押し、コネクタを開きます。

HIFIXの取手を下方向に押さえ、浮きをなくします。

LOCKスイッチを押し、コネクタを閉じます。

(3) HIFIX脱着方法

FREEスイッチを押し、コネクタを開きます。

FREEの表示が点灯していることを確認します。

6

7

8

9

〇正しい装着準備 ×誤った装着準備

正しくない位置に置くと、コネクタが破損します。

1 2 3

1

2

3

1

2

9-2 01.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

2人で同時に、静かに水平に HIFIXを持ち上げます。HIFIXの傾きは、下記寸法以下で持ち上げて下さい。

親指をテスト・ヘッドに付けて親指を支点に持ち上げると、静かに持ち上げることができます。

(4) HIFIX保管時の注意

HIFIXのコネクタ接点に付着したほこり等の異物は、接触不良の原因になります。

ほこり等の付かない場所に保管して下さい。

保管時は、HIFIX下カバーを取り付けて下さい。ほこり等の付着防止、および HIFIXコネクタの破損防止になります。

コネクタ接点部に異物が付着した場合には、ブラシ(歯ブラシで可)で取り除いて下さい。ブラシで取り除けない物が付着した場合には、イソプロピル・アルコールを使用し、ブラシで付着部分のみ洗浄して下さい。綿棒・布・紙等、繊維屑の出る物での洗浄は、絶対に行わないで下さい。

(5) テスト・ヘッドのほこり防止

ピン・カード側のコネクタにほこりが付くことも、接触不良の原因になります。

ほこりがコネクタに入らないよう、テスト・ヘッド上に物(特に紙類)を置かないように注意して下さい。異物のはさみ込みによる、コネクタ破損防止にもなります。

3

左右方向 :8 cm以下 前後方向 :2 cm以下

テスト・ヘッド

HIFIX

1

2

HIFIX

下カバーHIFIX

3

1

9-301.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

(6) HCDPS用 HIFIXの取扱い

H7-1103X02 (1024 ch HCDPS) HIFIX/H7-1119 (512 ch HCDPS) HIFIXのケーブル接続

HCDPS HIFIXはリア側から HCDPSケーブルが接続されます。ケーブルの着脱は、HIFIXを THに載せた状態で、さらに HIFIXカバーをはずした状態で行います。

HCDPSケーブルの装着

HCDPSケーブルの脱着は、テスタのキー・スイッチを OFFにして下さい。

警告

H7-1103X02 Rear View

69. 70 71. 72 65. 66

75. 76 77. 78 79. 80

67. 68 U3

73. 74 U4

H7-1119 Rear View

69. 70 71. 72 65. 66

75. 76 77. 78 79. 80

67. 68 U3

73. 74 U4

dummy

dummy

dummy

dummy dummy

dummy

J233

67.68

J234

dummy

Iddq op.

9-4 01.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

TH リア側より HCDPS ケーブルが来ているので、各ケーブルを上記コネクタ位置に装着します。装着時、各コネクタを確実にロックします。

コネクタのロック方法

HCDPSケーブルの取り外し

上記各コネクタのロックを外し、ケーブルを外します。

HCDPSケーブル接続の注意点

HCDPS対応のシステムにおいて、H7-1103X02, H7-1119以外の HIFIXを搭載する場合も、(例 : H7-1032(標準)HIFIX等)同様に上記 HCDPSケーブルの接続が必要となります。

HCDPS HIFIXは、HCDPS用 PBを使用して下さい(標準 HIFIX用 PBは使用できない構造となっています)。

(7) その他の注意

HCDPS HIFIX

HCDPSケーブル

コネクタ挿入1

スライドロック2

システムにおいて、テスト・ヘッドとタイミング・キャリブレーションを実行した HIFIX は、常に同じものでなければなりません。また、そのキャリブレーション・データを使用するときにも、同じでなければなりません。テスト・ヘッドと HIFIX には、以下のシールが貼ってあります。システム名・HIFIX の種類・ステーション No. および号機数が同じであることを確認してから使用して下さい。(HIFIX のシールには、「HIFIX の種類」でアルファベットの区別をしていないものがあります。それは、" "「空欄」タイプと同種類を表します。

注意

9-501.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

または、

(注) テスト・ヘッド側に貼られたラベルにはシステム名、ステーション No. 、号機を表示しています。

SYSTEM T6682 T6672/T6673 STN1 STN2

SYSTEMNO

SECOND 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9

FIRST 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9

HIFIX TYPE ZIF SQ H2 384 HV

A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

9-6 01.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

9. HIFIXの取り扱い

• 対応表

種類 空欄 A B C D

1024 ch_ZIF(標準 HIFIX)

H7-1032 (H9-91390)

<BLM-024884><BLS-025672>

--

H7-1103X02(H9-91625)

<BIM-026889><BLS-025672>注 1

--

H3-010008(H9-91390)

<BIM-029521><BIS-029355>注 3

512 ch(互換 HIFIX)

H7-1030 (H9-91392)

<BLS-023967><BLS-026734><BLS-025673>

<BLS-026219>注 2

--

H7-1102 (H9-91392)

<BLS-026217>

<BLS-026219>

H7-1105(H9-91392)

<BLS-026217>

<BLS-026219>

H7-1119(H9-91924)

<BLS-027551>

<BLS-025673>注 1<BLS-026219>注 1

384 ch(互換 HIFIX)

H7-1031 (H9-91392)

<BLS-024333><BLS-025780><BLS-025673>

<BLS-026219>注 2

-- -- -- --

SQ_HIFIX(1024 ch)

--

H7-1106(H9-91930)

<BIS-027554><BIS-027575>

-- -- --

( )内はトランク・ケース< >内は DIAG_PBおよび CAL_PB注 1) 互換性版 “B”より対応注 2) OS “R6.02”より対応注 3) OS “R7.02”より対応HIFIXの輸送には、必ず定められたトランク・ケースを使用して下さい。

9-702.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

10. 冷却装置

10. 冷却装置

冷却装置には、空冷方式と水冷方式の 2種類があります。

以下、10.1および 10.2では両方式の共通項目を、10.3では空冷方式、10.4は水冷方式について説明します。

10.1 安全について

ご使用の前に、よくお読みのうえ、正しくお使い下さい。

(空冷方式・水冷方式 共通)

• 異常時(焦げ臭い等)は直ちに停止し、電源を切り適切な処置をおとり下さい。異常なまま運転を続けると、感電・火災や故障の原因になります。

• 冷却媒体にフロリナート (FC-3283)以外を使用しないで下さい。

故障の原因になります。

• 改造しないで下さい。感電や火災の原因になります。

• 本来の目的以外には使用しないで下さい。

• 正しい容量のヒューズ以外は使用しないで下さい。

• ユニットのキャビネットや電装部のふたを外したまま運転しないで下さい。

• 電磁接触器を指で押して運転しないで下さい。感電、火災の原因になります。

• 濡れた手で操作しないで下さい。感電の原因になります。

• 可燃性スプレーを近くに置いたり、吹き付けたりしないで下さい。発火の原因になることかあります。

• 保護装置を短絡して、強制的な運転をしないで下さい。火災、爆発の原因になることがあります。

• 保護装置の設定は変更しないで下さい。火災などの原因になることがあります。

• ユニットの上に水の入った容器を乗せないで下さい。内部に浸透して電気的絶縁が劣化し、感電の原因になることがあります。

• ブライン・洗浄液などの廃棄は法の規定にしたがって処分して下さい。違法に廃棄すると、法にふれるばかりでなく、健康に悪影響を与える原因になることがあります。

• ユニットの上に乗ったり、物を乗せないで下さい。落下、転倒などにより、けがの原因になることがあります。

• ユニットを水洗いしないで下さい。感電の原因になることがあります。

10-101.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

10.1 安全について

• 可燃性ガスの漏れる恐れのある所へは設置しないで下さい。万一ガスが漏れてユニットの周囲に溜まると、発火、爆発の原因になることがあります。

• ユニットを特殊な雰囲気に放置しないでください。腐食などで感電、火災の原因になることがあります。

(空冷方式)

• 運転中は吸込口、吐出口に指や棒などを入れないで下さい。ファンが高速で回転しており、けがの原因になります。

• 圧縮機、冷媒配管などの高温部に触れないで下さい。やけどの原因になることがあります。

• クロスフィン・コイルのアルミ・フィンに触れないで下さい。けがの原因になることがあります。

• 冷媒、冷凍機油の種類を間違えないで下さい。火災、爆発の原因になることがあります。冷媒 : R134a 冷凍機油 : ATMOS RB68P(1.6リットル)

• 冷媒の溶栓をはんだ付けしないで下さい。規定外の溶栓を使用すると、爆発の原因になることがあります。

(水冷方式)

• 冷却水に水以外を使用しないで下さい。火災、爆発、故障の原因になります。

• 水質基準に適合した水を使用して下さい。水質の悪化は漏水などの原因になる恐れがあります。

• 長期間停止する場合は水を入れたまま放置しないで下さい。漏水の原因となることがあります。

• ドレンは確実に排水するよう施工して下さい。不確実な場合は、ほかの設備機器などを濡らす原因になることがあります。

10-2 01.6.8

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10.2 冷却媒体

10.2 冷却媒体

10.2.1 フロリナート冷却媒体は、フロリナートを使用します。

フロリナートは以下に指定したもの以外、使用しないで下さい。

フロリナート (20 kg) : H9-91184フロリナート (5 kg) : H9-91186 相当品 : フッ素系不活性液体 フロリナート FC-3283

(住友スリーエム株式会社)

10.2.2 保管方法密栓し、室温の屋内にて管理して下さい。

10.2.3 取扱上の注意

(1) フロリナートの液および蒸気を、裸火や電熱ヒータ、アーク放電にさらさないようにして下さい。

(2) 作業場所での喫煙は禁止して下さい。

(3) 本テスト・システムは異常検出装置が装備されており、異常時には自動的に電源をシャット・ダウンしますが、万一異常を感じた場合には EMOスイッチを押して、システムの電源を緊急遮断して下さい。

(4) フロリナートの蒸気が作業場所に滞留しないように、適切な局所排気装置を設置して下さい。

(5) フロリナートの高濃度蒸気を繰り返し吸入したり、高濃度蒸気に長時間さらされることは避けて下さい。

(6) 眼に入った場合は、すぐに多量の水で洗浄して下さい。

皮膚に付いた場合は、水と石鹸で洗って下さい。

蒸気を吸入し気分が悪くなった場合、風通しの良い場所に移して衣服をゆるめて新鮮な空気を吸わせて下さい。

なお、フロリナートの安全性に関する詳しい情報は、付録 2. フロリナート製品安全データシートをご参照下さい。

10.2.4 廃棄フロリナートを廃棄する際は、認可された廃棄物処理業者に処理を委託して下さい。なお、困難な場合には弊社サービス・ステーションにご相談下さい。

10-301.6.8

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10.3 冷却装置(空冷方式)

10.3 冷却装置(空冷方式)

10.3.1 各部の名称

図 10-1 各部の名称(空冷方式)

図 10-2 コントロール・パネル(空冷方式)

①冷水出口②冷水入口

③コントロール・パネル

④圧力計(高圧、低圧、吐出圧)

⑤液面計(タンク・レベル)

⑥流量計

⑦注入口

⑧ドレイン口

(正面図) (右側面図) (背面図)

[異常表示]

ALARM表示ランプ

S/D表示用キープ・リレー(KT1∼ KT6)

REMOTE/LOCALスイッチ

(通常は、「REMOTE」に設定)

リセット・ボタン

温度指示調節器

10-4 04.8.23

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10.3 冷却装置(空冷方式)

10.3.2 取扱上の注意

• フロリナート注入の際は、水や異物の混入に注意して下さい。

• 注入完了後は注入口を確実に閉めて下さい。

• 初めて設置した場合などは、ポンプのエア抜きが必要です。また、配管系統内にフロリナートが十分に充填されていない状態では、運転開始時にタンクの液面が急激に低下しますので、フロリナートを再注入するする必要があります。

• 装置内部の圧縮機保護のため、システム停止後 3分以内の再起動は行わないで下さい。3分以内に起動すると温度が安定しない場合があります。

10.3.3 異常表示とその処置方法冷却装置本体やその運転状態に異常が発生し保護装置が動作した場合、コントロール・パネル上の表示で、異常内容を確認することができます。

アラーム表示(運転続行)は、パネル上の各ランプの点灯で異常内容を表示します。

シャット・ダウン表示(運転停止)では、パネル上にある 6個のキープ・リレーの表示窓の状態で異常内容が表示されます。

表 10-1 シャット・ダウン (S/D)異常コード(空冷方式)

異常停止 /再起動を繰り返し行うことは、冷却装置の寿命を縮める結果を招くことがあります。

異常停止したときは、必ずその障害となる原因を取り除いてから、再起動するようにして下さい。なお、再起動は RESETボタンを押して異常状態を解除してから行って下さい。(各種保護装置は自動復帰式です。)

項目 キープ・リレー

KT1 KT2 KT3 KT4 KT5 KT6

(正常) 0 0 0 0 0 0

圧縮機電源電圧低下 1 0 0 0 0 0

過熱 0 1 0 0 0 0

圧縮機異常 0 0 1 0 0 0

冷媒高圧異常 0 0 0 1 0 0

逆相接続 1 0 1 0 0 0

ポンプ電源電圧低下 1 0 0 1 0 0

液面極低下 0 1 1 0 0 0

流量低下 0 1 0 1 0 0

ポンプ異常 0 0 1 1 0 0

水分混入 0 1 1 1 0 0

CPU異常 0 0 0 0 1 0

操作回路電源電圧低下 0 0 0 0 0 1

「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。

10-501.6.8

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10.3 冷却装置(空冷方式)

表 10-2 異常発生時の処置方法(空冷方式)

• アラーム表示 (ALARM)

• シャット・ダウン表示 (S/D)

項目 事象 推定原因 処置

液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。

温度指示調節器が制御していない。

温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。

冷媒低圧異常 冷媒の吸入圧力が低い。 冷媒が漏れている。 漏れ箇所の修理が必要です。

項目 事象 推定原因 処置

圧縮機電源電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。ポンプ電源電圧低下操作回路電圧低下過熱 吐出ガス温度が高い

(135°C以上)。冷媒が不足している。 漏れの確認と冷媒の再充填が必要で

す。膨張弁が故障している。 過熱度の調整または交換が必要です。電動機が故障している。 交換修理が必要です。

ファン・モータの温度が高い。

ファンが障害物により動かない。 障害物を取り除いて下さい。ファンのモータが故障している。 交換修理が必要です。

圧縮機異常 圧縮機モータに異常な大電流が流れる。

フロリナート温度が高い。 フロリナート温度を下げて下さい。給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。相電流にばらつきがある。圧縮機の故障 交換修理が必要です。

冷媒高圧異常 冷媒の吐出圧力が高い。 室温やチラーが吸込む空気の温度が高い。

周囲の空気温度を下げて下さい。

空気の取入口(背面)や吹出口(上面)がふさがっている。

空気取入口の障害物を取り除いて下さい。

エア・フィルタや凝縮器が汚れている。

エア・フィルタなどの汚れを除去して下さい。

ファン・モータの故障 交換修理が必要です。逆相接続 装置が起動しない。 逆相接続している。 任意の二相を入れ換えて下さい。液面極低下 タンク液面が低下してい

る。ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

配管やポンプから漏洩している。 漏れ箇所の修理が必要です。流量低下 流量が少ない。 架間ホースなど配管が正しく接続さ

れていない。架間ホース等を正しく接続して下さい。

配管内のエア抜きがされていない。 配管のエア抜きをして下さい。配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要で

す。配管やポンプから漏洩している。 漏れ箇所の修理が必要です。 (注 1)ポンプが故障している。 交換修理が必要です。

ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。

配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。

ポンプのモータが故障している。 交換修理が必要です。架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。

架間ホース等を正しく接続して下さい。

架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。

水分混入 フロリナートに水分が混入している。

タンクに誤って水を注入した。 配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。

CPU異常 シーケンサの自己診断で異常検出

シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。

(表示なし) 装置が起動しない。 ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。

10-6 01.6.8

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10.3 冷却装置(空冷方式)

(注 1) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。

10.3.4 定期点検とオーバホール

(1) 日常点検

日常の指導・運転時に以下の点検を実施して下さい。

表 10-3 日常点検(空冷方式)

(2) 定期点検

1年ごとに冷却装置の機器各部の点検・調整・清掃を行います。この点検作業は、専門業者に依頼して下さい。

(3) オーバホール

冷却装置の故障を未然に防止し機器の状態を維持するために、部品交換・調整・検査作業の実施(オーバホール)を推奨します。

オーバホール時期は、機器の使用状況や設置環境で異なりますので、別途ご相談下さい。

項目 点検内容 判定基準 記録要否

冷媒圧力(高圧側)

運転時に圧力計が正常値であることを確認する。

0.5~ 1.75 MPa

冷媒圧力(低圧側) 0.35~ 0.5 MPa

フロリナート吐出圧力

0.25~ 0.45 MPa

フロリナート温度 運転時に正常値であることを確認する。

25.0°C(設定値)±1.0°

運転音・振動 運転時、異常な振動・運転音がないことを確認する。

異常な振動・運転音なきこと。

否フロリナート漏れ 運転時、フロリナート系統

より漏れがないことを確認する。

漏れなきこと。

タンク液面位置 タンク液面形の液面位置を確認する。

液面が適正位置であること。

10-701.6.8

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10.4 冷却装置(水冷方式)

10.4 冷却装置(水冷方式)

冷却装置(水冷方式)には 2種類のタイプがあります。タイプごとに異常発生時の表示内容や項目が異なりますので、ご確認の上、使用してください。ご使用の冷却装置がいずれのタイプになるかは、図 10-4を参照の上、ご確認下さい。

10.4.1 各部の名称

図 10-3 各部の名称(水冷方式)

⑨コントロール・パネル

⑥タンク

①フロリナート出口(Aタイプ) フロリナート入口(Bタイプ)

②フロリナート入口(Aタイプ)

 フロリナート出口(Bタイプ)④冷却水入口 ③冷却水出口

⑪フィルタ

⑩流量切換バルブ

⑦注入口

⑧液面計(タンク・レベル)

⑤ドレイン口

(正面図) (背面図)

10-8 04.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

図 10-4 コントロール・パネル(水冷方式)

[異常表示]

ALARM表示ランプ

S/D表示用キープ・リレーKT1 ~ KT5(Aタイプ)

KT1 ~ KT6(Bタイプ)

REMOTE/LOCALスイッチ

(通常は、「REMOTE」に設定)

リセット・ボタン

温度指示調節器

10-904.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

10.4.2 取扱上の注意

• フロリナート注入の際は、水や異物の混入に注意して下さい。

• 注入完了後は注入口を確実に閉めて下さい。

• 初めて設置した場合などは、ポンプのエア抜きが必要です。また、配管系統内にフロリナートが十分に充填されていない状態では、運転開始時にタンクの液面が急激に低下しますので、フロリナートを再注入する必要があります。

• 冷却水の水質が悪いと、本来の性能が発揮できないばかりか、場合によっては装置内部の腐食障害につながる恐れがあります。冷却水は日本冷凍空調工業会水質基準 (JRA-GL-02-1994)に適合するものを使用して下さい。

• 純水や蒸留水、イオン交換水などは装置の故障を招く恐れがあるため、使用しないで下さい。やむを得ず使用する場合でも、金属イオンに関する基準を遵守した上で、比抵抗が102 ~ 104 Ω・cm程度となるように調整が必要です。

• 各種の水処理薬品を使用すると、下記水質に影響を及ぼす場合があります。水処理薬品については、専門業者に相談の上、適切に使用して下さい。

表 10-4 水質基準

項目 基準値

基準項目

pH [25°C] 6.0~ 8.0

導電率 [25°C](µS/cm) 400以下

塩化イオン Cl-(mgCl-/l) 50以下

硫酸イオン SO42- (mgSO4

2-/l) 50以下

酸消費量 [pH 4.8] (mgCaCO3/l) 50以下

全硬度 (mgCaCO3/l) 70以下

イオン状シリカ SiO2(mgSiO2/L) 30以下

カルシウム硬度 (mgCaCO3/l) 50以下

参考項目

鉄 Fe (mgFe/l) 1.0 以下

硫化イオン S2- (mgS2-/l) 検出しないこと

アンモニウムイオン NH4+ (mgNH4

+/l) 1.0以下

銅 (mgCu/l) 1.0 以下

残留塩素 (mgCl/l) 0.3 以下

遊離炭酸 (mgCO2/l) 4.0 以下

10-10 04.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

10.4.3 異常表示とその処置方法冷却装置本体やその運転状態に異常が発生し保護装置が動作した場合、コントロール・パネル上の表示で、異常内容を確認することができます。

アラーム表示(運転続行)は、パネル上の各ランプの点灯で異常内容を表示します。

シャット・ダウン表示(運転停止)では、パネル上にある 5個(Aタイプ)または 6個(Bタイプ)のキープ・リレーの表示窓の状態で異常内容が表示されます。

表 10-5 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Aタイプ)

項目 キープ・リレー

KT1 KT2 KT3 KT4 KT5

(正常) 0 0 0 0 0

操作回路電圧低下 0 0 0 0 1

CPU異常 0 0 0 1 0

ポンプ異常 0 0 1 0 0

漏水、水分混入 0 1 0 0 0

フロリナート流量低下 0 1 1 0 0

液面極低下 1 0 0 0 0

主回路電圧低下 1 0 1 0 0

冷却水流量低下 1 1 0 0 0

「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。

10-1104.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

表 10-6 シャット・ダウン (S/D)異常コード(水冷方式 :Bタイプ)

異常停止/再起動を繰り返し行うことは、冷却装置の寿命を縮める結果を招くことがあります。

異常停止したときは、必ずその障害となる原因を取り除いてから、再起動するようにして下さい。なお、再起動は RESETボタンを押して異常状態を解除してから行って下さい。(各種保護装置は自動復帰式です。)

項目 キープ・リレー

KT1 KT2 KT3 KT4 KT5 KT6

(正常) 0 0 0 0 0 0

操作回路電圧低下 0 0 0 0 0 1

CPU異常 0 0 0 0 1 0

フロリナート温度異常 0 0 0 1 0 0

循環ポンプ差圧低下 0 0 1 0 0 0

ポンプ異常 0 0 1 1 0 0

冷却水流量低下 0 1 0 0 0 0

フロリナート流量低下 0 1 0 1 0 0

液面極低下 0 1 1 0 0 0

水分混入 0 1 1 1 0 0

主回路電圧低下 1 0 0 0 0 0

漏水 1 0 0 1 0 0

逆相検出 1 0 1 0 0 0

「1」はキープ・リレーの表示窓が赤くなっていることを示しています。

10-12 04.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

表 10-7 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Aタイプ)

• アラーム表示 (ALARM)

• シャット・ダウン表示 (S/D)

(注 1) 安全装置が漏水を検出すると、装置側で冷却水供給を遮断し、保有水量以上の漏洩を防止するようになっています。漏洩した水はドレイン・パンに溜まりますので、ドレイン口から排出して下さい。ただし、お客様にご準備いただく冷却水供給配管など、装置外部での漏水は検知しません。もし、装置の周囲で漏水が確認されたときは、直ちにシステムをシャット・ダウンし、設備側の冷却水供給を停止して下さい。

項目 事象 推定原因 処置

液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。

温度指示調節器が制御していない。

温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。

項目 事象 推定原因 処置

ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。

配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。

ポンプのモータが故障している。

交換修理が必要です。

架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。

架間ホース等を正しく接続して下さい。

架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。

漏水検知 装置内で水が漏れている。 冷水の配管から漏水している。 漏れ箇所の修理が必要です。(注 1)

フロリナート・タンクに水が混入した。

配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。

熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。流量低下 フロリナートの流量が少ない。 架間ホースなど配管が正しく

接続されていない。架間ホース等を正しく接続して下さい。

配管内のエア抜きがされていない。

配管のエア抜きをして下さい。

配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。

配管やポンプから漏洩している。

漏れ箇所の修理が必要です。

ポンプが故障している。 交換修理が必要です。冷却水流量低下 流量が少ない。 必要流量が供給されていない。 必要流量を供給して下さい。

冷水配管が正しく接続されていない。

正しく接続して下さい。

液面極低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

配管やポンプから漏洩している。

漏れ箇所の修理が必要です。(注 2)

操作回路電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。主回路電圧低下CPU異常 シーケンサの自己診断で異常

検出。シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。

(表示なし) 装置が起動しない。 逆相接続している。 任意の二相を入れ換えて下さい。ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。

10-1304.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

(注 2) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。

10-14 04.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

表 10-8 異常発生時の処置方法(水冷方式 :Bタイプ)

• アラーム表示 (ALARM)

• シャット・ダウン表示 (S/D)

項目 事象 推定原因 処置

液面低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

項目 事象 推定原因 処置

フロリナート温度異常 フロリナート温度が高い、または低い。

温度指示調節器が制御していない。

温度指示調節器の再調整、または交換処理が必要です。

ポンプ異常 ポンプ・モータに異常な大電流が流れる。

配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。

ポンプのモータが故障している。

交換修理が必要です。

架間ホースなどの配管が正しく接続されていない。

架間ホース等を正しく接続して下さい。

架間ホースがつぶれている。 ホースのつぶれの原因を取り除いて下さい。

漏水 装置内で水が漏れている。 冷水の配管から漏水している。 漏れ箇所の修理が必要です。(注 1)

熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。水分検出 フロリナート・タンクに水が

混入している。フロリナート・タンクに水を混入した。

配管系から水分を除去し、フロリナート全交換が必要です。

熱交換器が破損している。 交換修理が必要です。フロリナート流量低下 TH側のフロリナートの流量が

少ない。架間ホースなど配管が正しく接続されていない。

架間ホース等を正しく接続して下さい。

配管内のエア抜きがされていない。

配管のエア抜きをして下さい。

配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要です。

配管やポンプから漏洩している。

漏れ箇所の修理が必要です。

ポンプが故障している。 交換修理が必要です。循環ポンプ差圧低下 フロリナート循環回路の流量

が少ない。配管がつまっている。 障害物の除去や、配管洗浄が必要

です。配管やポンプから漏洩している。

漏れ箇所の修理が必要です。

ポンプが故障している。 交換修理が必要です。冷却水流量低下 流量が少ない。 必要流量が供給されていない。 必要流量を供給して下さい。

冷水配管が正しく接続されていない。

正しく接続して下さい。

液面極低下 タンク液面が低下している。 ボード交換等でフロリナートが減少した。

フロリナートを補充して下さい。

配管やポンプから漏洩している。

漏れ箇所の修理が必要です。(注 2)

操作回路電圧低下 電源電圧が低下している。 給電電圧が間違っている。 定格値の電圧を給電して下さい。主回路電圧低下CPU異常 シーケンサの自己診断で異常

検出。シーケンサが故障している。 交換修理が必要です。

逆相検出 電源が逆相接続されている。 電源配線が間違っている。 相を確認の上、正しく配線して下さい。

(表示なし) 装置が起動しない。 ヒューズ切れ。 不良部品の交換が必要です。

10-1504.8.23

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10.4 冷却装置(水冷方式)

(注 1) 安全装置が漏水を検出すると、装置側で冷却水供給を遮断し、保有水量以上の漏洩を防止するようになっています。漏洩した水はドレイン・パンに溜まりますので、ドレイン口から排出して下さい。ただし、お客様にご準備いただく冷却水供給配管など、装置外部での漏水は検知しません。もし、装置の周囲で漏水が確認されたときは、直ちにシステムをシャット・ダウンし、設備側の冷却水供給を停止して下さい。

(注 2) フロリナートが漏洩した場合、漏れたフロリナートはドレイン・パンに溜まり、装置外部に溢れ出ることはありません。溜まったフロリナートはドレイン口から排出し、破棄して下さい。(10.2参照)漏洩したフロリナートは再使用しないで下さい。

10.4.4 定期点検とオーバホール

(1) 日常点検

日常の始動・運転時に以下の点検を実施して下さい。

表 10-9 日常点検(水冷方式)

(2) 定期点検

1年ごとに冷却装置の機器各部の点検・調整・清掃を行います。この点検作業は、専門業者に依頼して下さい。

(3) オーバホール

冷却装置の故障を未然に防止し機器の状態を維持するために、部品交換・調整・検査作業の実施(オーバホール)を推奨します。

オーバホール時期は、機器の使用状況や設置環境で異なりますので、別途ご相談下さい。

項目 点検内容 判定基準 記録要否

フロリナート温度 運転時に正常値であることを確認する。

25.0°C(設定値)±1.0° 要

運転音・振動 運転時、異常な振動・運転音がないことを確認する。

異常な振動・運転音なきこと。

否フロリナート漏れ 運転時、フロリナート系統

より漏れがないことを確認する。

漏れなきこと。

タンク液面位置 タンク液面形の液面位置を確認する。

液面が適正位置であること。

10-16 04.8.23

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11. スペア・パーツ・キット

11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット A1

スペア・パーツ・キット A2

スペア・パーツ・キット A3

スペア・パーツ・キット A4

スペア・パーツ・キット A5

スペア・パーツ・キット A6

名称 品名 数量DPSDPS CONTFTU TH I/FTRIGGER

BGR-023715X02BGR-024897BGR-024704BGR-023948

1111

名称 品名 数量FP(16 MW) BMR-025625 1

名称 品名 数量FP(64 MW) BMR-025625X02 1

名称 品名 数量PE BGR-024908 1

名称 品名 数量DIST&EVENT(16 MW)DIST&TRIG

BMR-025624BMR-025624X02

11

名称 品名 数量DIST&EVENT(64 MW)DIST&TRIG

BMR-025624X03BMR-025624X02

11

11-101.6.8

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11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット B1

スペア・パーツ・キット B2

スペア・パーツ・キット C1

スペア・パーツ・キット C2

スペア・パーツ・キット D1

スペア・パーツ・キット D2

名称 品名 数量PG I/FSNCSQPG

BGR-024736BIR-024637BIR-024735

111

名称 品名 数量PFB I/F3TERMPS CONNECTPE I/FPFB I/F2

BGR-025628BGD-023949BGR-023950BGR-023664BGR-024779

11111

名称 品名 数量DPU I/F LOGICDPU I/F ANALOGUDC CONTUDCMDCMDC CONTMONITOR I/F

BGR-024899BGR-023709BGR-023712BGR-023713X02BGR-023711X02BGR-023710BGR-024885X02

1111111

名称 品名 数量TC4 SYSTEM MONITORTC4 TBUS I/FTC4 BUS I/FTC4 (CPU-50)ENGINE-50

BGR-025647BGR-025646BGR-025648WBL-H36770TC4WBL-H36770ENG

11111

名称 品名 数量SCPG(4G)SCPG(4G)

BGR-024737BGR-024737X02

11

名称 品名 数量SCPG(8G)SCPG(8G)

BGR-024737X03BGR-024737X04

11

11-2 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット D3

スペア・パーツ・キット D4

スペア・パーツ・キット D5

スペア・パーツ・キット E1

スペア・パーツ・キット E3

スペア・パーツ・キット E4

名称 品名 数量PDS BGR-024733 1

名称 品名 数量ALPGTERMAFM CONTAFMFMUX

BIR-025004BGR-021770BGR-024404BIR-024405BGR-024734

11111

名称 品名 数量PMMDS

BIR-021769BGR-024733

11

名称 品名 数量AFLT BGK-022377X02 1

名称 品名 数量DCAP2 BGK-024239 1

名称 品名 数量TC SIDE I/FCMEM1CALMixed side I/F

BGK-023083BGK-022429BGK-025626BGK-022544BGK-023082

11111

11-301.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット F1

スペア・パーツ・キット F2

スペア・パーツ・キット F3

スペア・パーツ・キット F4

スペア・パーツ・キット F5

スペア・パーツ・キット F6

スペア・パーツ・キット G1

スペア・パーツ・キット H2

名称 品名 数量TH BPSTH 11V

WUN-7V5V7V5V7VWBL-PS11V68A

21

名称 品名 数量FTU BPS RRFTU BPS RLFTU BPS L

WUN-2R5V5V3V5V2R5VWUN-2R5VDM5VDM2R5VWUN-5V2R5V3B5V

111

名称 品名 数量DPU BPS RDPU BPS L

WUN-11V2B15V2B18VWUN-11V2B5V3B

11

名称 品名 数量PGU BPS RPGU BPS LAFM BPS

WUN-5V3V5V2V5VWUN-5V3V5V2R5V5VWUN-3V2V3V2V3V

111

名称 品名 数量TH BPSTH 11V

WUN-9V5V9V5V9VWBL-PS11V68A

21

名称 品名 数量MIXED BPS1MIXED BPS2

WUN-5V3V2R5V5V2VWUN-5V15V2B5V2V

11

名称 品名 数量HCDPS CONTHCDPS

BGR-026272BGR-026273

11

名称 品名 数量HSCLK3 BGR-025817X03 1

11-4 04.8.23

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット I1

スペア・パーツ・キット I2

スペア・パーツ・キット I3

スペア・パーツ・キット I4

スペア・パーツ・キット I5

スペア・パーツ・キット I6

スペア・パーツ・キット I7

名称 規格名 数量PCI-I/FTBUSTBUS-CALCMHEM3

WBL-H36824AMIFBGR-026798X02BGR-026798BGR-027102BGR-026836

11111

名称 規格名 数量WVFG/D MEMWVFG PEWVFD PE

BGR-026312BIR-026826BIR-026276

111

名称 規格名 数量DCAP3 BGR-027118 1

名称 規格名 数量GSAWG-DACGSAWG/TMU PE

WBL-H33391DACBGR-026743

11

名称 規格名 数量TMU-MEMORYTMU-ANALOGGSAWG/TMU PE

BGR-026312X02BGR-026721BGR-026743

111

名称 規格名 数量Sampler2 BGR-026908 1

名称 規格名 数量TC5 SYSTEM MONITORTC5 TBUS I/FTC5 BUS I/FTC5 (CPU50)

BGK-026860BGK-025646X02BGK-026741WUN-H36857

1111

11-504.8.23

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11. スペア・パーツ・キット

スペア・パーツ・キット I8

スペア・パーツ・キット I9

スペア・パーツ・キット I10

スペア・パーツ・キット J1

名称 規格名 数量DPS CONT (PSRR)DPS3

BGR-027534BGR-023715X03

11

名称 規格名 数量FTU-TH I/FTRIG73ACCAL

BGR-024704BGR-027127BGR-026792

111

名称 規格名 数量PAFG/PAFD PEPAFG/PAFD MEMORYPAFG/PAFD ANALOG

BIR-026910BGR-027829WBL-H33419ANA

111

名称 規格名 数量EWS IFIO IFIO OPTION IF

BGC-027896BGR-027897BGR-027898

111

11-6 05.5.7

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12. メンテナンス・パーツ

12. メンテナンス・パーツ

(注) 弊社工場での交換作業となります。

品 目 アドバンテスト規格

本体架台エア・フィルタ KH9-9780

本体架台回転フレーム・エア・フィルタ KH9-9783

1024ch架台エア・フィルタ KH9-9776

1024ch架台回転フレーム・エア・フィルタ KH9-9781

空冷チラー (CDU)用エア・フィルタ MPX-J5405A

テスト・ヘッド用エア・フィルタ・スポンジ MPX-J0789A

ユニット電源用ファン・ブロック KH3-91533

ユニット用ファン・ブロック KH3-91532

テスト・ヘッド用ファン・ブロック WUN-H30497FAN

本体架台内用ボード・ハンドル KH9-90287

テスト・ヘッド内用ボード・ハンドル(左) MAE-H0813A

テスト・ヘッド内用ボード・ハンドル(右) MAE-H0814A

標準付属品 H3-93597

標準付属品 (TC7) KH3-910277

HCDPS-OP THケーブル(PCON: 1本) H3-94114

HCDPS-OP THケーブル(HCDPS: 2本) H3-94115

HCDPS-OP HIFIX (H7-1119)内ケーブル (1 SET)(注) H3-94128

HCDPS-OP HIFIX (H7-1103x02)内ケーブル (1 SET)(注) H3-93898

12-105.5.7

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13. 部品交換

13. 部品交換

13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順

(1) システム電源を OFFし、システムに供給しているエアの元栓を閉めます。

(2) 図 13-1に示すように、HIFIXのエア・コネクタ Aを外します。

図 13-1エア・コネクタ Aの取り外し

注意 : コネクタ Bを押さず、コネクタ Aを無理矢理引っ張って外すと、コネクタが破損しますので注意して下さい。

エア・コネクタ A

エア・コネクタ B

パイプ・ロック

引く

押す

コネクタ Bの青いパイプ・ロックのロック部

分を下に押しながらコネクタ A を上に引っ

張って外す。

13-102.2.15

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13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順

(3) エア・コネクタ Bを固定しているナットをレンチで外します。(図 13-3参照)次にエア・コネクタ Bを固定してあるカプラ・ベースをテスト・ヘッド本体から外します。

図 13-2 エア・コネクタ Bとカプラ・ベースの取り外し

カプラ・ベース

このナットを外す。1

このネジを外し、

ベースを取り外す。

2

13-2 02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

13.1 テスト・ヘッドのエア・カプラの交換手順

(4) 図 13-3のように、透明のパイプと黒のパイプに付いているカプラを取り外します。

図 13-3 カプラの取り外し

(5) 交換カプラをホースに取り付けます。

(カプラにホースを深くさすことにより、カプラがホースに固定されます。)

(6) (3)で説明した逆の作業を行い、カプラをカプラ・ベースに固定します。

押す

引く

パイプ・ロック

ホース

コネクタ B の青いパイプ・ロックを

コネクタ B 側に押し込みながらホー

スを引っ張り、カプラを外す。

13-302.2.15

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付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス

付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンスボード規格名 : BLG-024720

A1.1 エア圧力設定

(1) エア源をハイ・カプラ (YEE-001065)に接続し、約 490 kPaのエアを入れます。

(2) レギュレータのメータを約 490 kPaにバルブで調節します。

A1.2 エアコン・パネルのケーブル接続

① メンテナンス時

ショート・コネクタ (DCB-RR9786X01)を J5(TH1), J6(TH1)に差し込みます。J7(TH2), J8(TH2)には、ショート・コネクタ (DCB-RR9786X01)を常時装着しておきます。

(備考) BLG-024720ではメンテナンス・スイッチを stationごとに独立して持っています。メンテナンス・スイッチの 1番目が TH1で、2番目が TH2です。

J5,J6 に差し込むショート・コネクタがない場合、メンテナンス・スイッチ (S1) の 1

を ONすることでメンテナンス可能になります。このとき、エアコン・パネル・ボードの安全回路が無効になるため、メンテナンス終了後、メンテナンス・スイッチ (S1)

を必ず OFFにして下さい。

警告

A1-101.8.9

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付録 1. エアコン・パネル・ユニットのメンテナンス

② 周辺機器とのケーブル接続

図 A1-1 BLG-024720エアコン・パネル(正面図)

J5、J6、J7、J8には、標準でショート用コネクタ (DCB-RR9786X01)がついています。プローバの種類、HIFIXの種類により、プローバ・コントロール・ケーブル(DCB-SS9793X03)を表 A1-1に従って接続して下さい。シャフトロック式プローバに接続するときは、「REMOTE BOX 取扱説明書」を参照して、接続して下さい。

表 A1-1 プローバ・コントロール・ケーブルの接続

エアコント・パネル端子番号 J5 J6 J7 J8

ターンオーバ式プローバ

512 ch HIFIX プローバTH1

ショート・コネクタ

プローバTH2

ショート・コネクタ

1024 ch HIFIX ショート・コネクタ

プローバTH1

ショート・コネクタ

プローバTH2

シャフトロック式プローバ ショート・コネクタ

プローバTH1

ショート・コネクタ

プローバTH2

A1-2 01.9.28

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付録 2. フロリナート製品安全データシート

付録 2. フロリナート製品安全データシート

A2-104.8.23

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付録 2. フロリナート製品安全データシート

A2-2 04.8.23

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付録 2. フロリナート製品安全データシート

A2-304.8.23

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付録 2. フロリナート製品安全データシート

A2-4 04.8.23

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付録 2. フロリナート製品安全データシート

A2-504.8.23

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付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

(1) 1024 chパフォーマンス・ボード ピン配置

A3-101.6.8

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付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

(2) 1024 chパフォーマンス・ボード信号名称表

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT1-4[1/16]J1 J2 J3 J4

A B A B A B A B1 GND 1 HS25G 1 GND 1 IP1AG 1 GND 1 MTX1G 1 GND 1 IN1AG2 HS26G 2 HS25 2 IP1BG 2 IP1A 2 MTX2G 2 MTX1 2 IN1BG 2 IN1A3 HS26 3 HS25G 3 IP1B 3 IP1AG 3 MTX2 3 MTX1G 3 IN1B 3 IN1AG4 HS26G 4 8GND 4 IP1BG 4 520GND 4 MTX2G 4 264GND 4 IN1BG 4 776GND5 73GND 5 5 585GND 5 5 329GND 5 5 841GND 56 73 6 8GND 6 585 6 520GND 6 329 6 264GND 6 841 6 776GND7 73GND 7 8 7 585GND 7 520 7 329GND 7 264 7 841GND 7 7768 8 8GND 8 8 520GND 8 8 264GND 8 8 776GND9 73GND 9 7GND 9 585GND 9 519GND 9 329GND 9 263GND 9 841GND 9 775GND

10 74GND 10 10 586GND 10 10 330GND 10 10 842GND 1011 74 11 7GND 11 586 11 519GND 11 330 11 263GND 11 842 11 775GND12 74GND 12 7 12 586GND 12 519 12 330GND 12 263 12 842GND 12 77513 13 7GND 13 13 519GND 13 13 263GND 13 13 775GND14 74GND 14 6GND 14 586GND 14 518GND 14 330GND 14 262GND 14 842GND 14 774GND15 75GND 15 15 587GND 15 15 331GND 15 15 843GND 1516 75 16 6GND 16 587 16 518GND 16 331 16 262GND 16 843 16 774GND17 75GND 17 6 17 587GND 17 518 17 331GND 17 262 17 843GND 17 77418 18 6GND 18 18 518GND 18 18 262GND 18 18 774GND19 75GND 19 5GND 19 587GND 19 517GND 19 331GND 19 261GND 19 843GND 19 773GND20 76GND 20 20 588GND 20 20 332GND 20 20 844GND 2021 76 21 5GND 21 588 21 517GND 21 332 21 261GND 21 844 21 773GND22 76GND 22 5 22 588GND 22 517 22 332GND 22 261 22 844GND 22 77323 23 5GND 23 23 517GND 23 23 261GND 23 23 773GND24 76GND 24 4GND 24 588GND 24 516GND 24 332GND 24 260GND 24 844GND 24 772GND25 77GND 25 25 589GND 25 25 333GND 25 25 845GND 2526 77 26 4GND 26 589 26 516GND 26 333 26 260GND 26 845 26 772GND27 77GND 27 4 27 589GND 27 516 27 333GND 27 260 27 845GND 27 77228 28 4GND 28 28 516GND 28 28 260GND 28 28 772GND29 77GND 29 3GND 29 589GND 29 515GND 29 333GND 29 259GND 29 845GND 29 771GND30 78GND 30 30 590GND 30 30 334GND 30 30 846GND 3031 78 31 3GND 31 590 31 515GND 31 334 31 259GND 31 846 31 771GND32 78GND 32 3 32 590GND 32 515 32 334GND 32 259 32 846GND 32 77133 33 3GND 33 33 515GND 33 33 259GND 33 33 771GND34 78GND 34 2GND 34 590GND 34 514GND 34 334GND 34 258GND 34 846GND 34 770GND35 79GND 35 35 591GND 35 35 335GND 35 35 847GND 3536 79 36 2GND 36 591 36 514GND 36 335 36 258GND 36 847 36 770GND37 79GND 37 2 37 591GND 37 514 37 335GND 37 258 37 847GND 37 77038 38 2GND 38 38 514GND 38 38 258GND 38 38 770GND39 79GND 39 1GND 39 591GND 39 513GND 39 335GND 39 257GND 39 847GND 39 769GND40 80GND 40 40 592GND 40 40 336GND 40 40 848GND 4041 80 41 1GND 41 592 41 513GND 41 336 41 257GND 41 848 41 769GND42 80GND 42 1 42 592GND 42 513 42 336GND 42 257 42 848GND 42 76943 43 1GND 43 43 513GND 43 43 257GND 43 43 769GND44 80GND 44 DP2-G 44 592GND 44 L8 44 336GND 44 44 848GND 44 L26445 DP6-G 45 DP2-D 45 L73 45 L7 45 CW16 45 PBP15V 45 L329 45 L26346 DP6-D 46 DP2-S 46 L74 46 L6 46 CW17 46 PBP15V 46 L330 46 L26247 DP6-S 47 DP2-F 47 L75 47 L5 47 CW18 47 PBP15V 47 L331 47 L26148 DP6-F 48 DP2-F 48 L76 48 L4 48 CW19 48 PBP15V 48 L332 48 L26049 DP6-F 49 DP2-G 49 L77 49 L3 49 UC0 49 49 L333 49 L25950 DP6-G 50 50 L78 50 L2 50 UC1 50 SMP1OG 50 L334 50 L25851 VOFF1G 51 51 L79 51 L1 51 AF1FLG 51 SMP1O 51 L335 51 L25752 VOFF1 52 52 L80 52 52 AF1FL 52 SMP1OG 52 L336 5253 VOFF1G 53 AFD1PG 53 53 53 AF1FLG 53 AF1RPG 53 5354 AFD1NG 54 AFD1P 54 54 54 AF1RNG 54 AF1RP 54 5455 AFD1N 55 AFD1PG 55 55 RSV1 55 AF1RN 55 AF1RPG 55 55 RSV356 AFD1NG 56 CPS2 56 56 RSV2 56 AF1RNG 56 CPS6 56 56 RSV4

A3-2 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT5-8[2/16]

J5 J6 J7 J8

A B A B A B A B1 GND 1 HS27G 1 GND 1 VH1AG 1 GND 1 MTX3G 1 GND 1 VL1AG2 HS28G 2 HS27 2 VH1BG 2 VH1A 2 MTX4G 2 MTX3 2 VL1BG 2 VL1A3 HS28 3 HS27G 3 VH1B 3 VH1AG 3 MTX4 3 MTX3G 3 VL1B 3 VL1AG4 HS28G 4 136GND 4 VH1BG 4 648GND 4 MTX4G 4 392GND 4 VL1BG 4 904GND5 201GND 5 5 713GND 5 5 457GND 5 5 969GND 56 201 6 136GND 6 713 6 648GND 6 457 6 392GND 6 969 6 904GND7 201GND 7 136 7 713GND 7 648 7 457GND 7 392 7 969GND 7 9048 8 136GND 8 8 648GND 8 8 392GND 8 8 904GND9 201GND 9 135GND 9 713GND 9 647GND 9 457GND 9 391GND 9 969GND 9 903GND

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A3-301.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT9-12[3/16]

J9 J10 J11 J12

A B A B A B A B1 GND 1 HS29G 1 GND 1 VOS1SG 1 GND 1 VRH1FG 1 GND 1 VIMA1G2 HS30G 2 HS29 2 VOS1FG 2 VOS1S 2 VRH1SG 2 VRH1F 2 VIMB1G 2 VIMA13 HS30 3 HS29G 3 VOS1F 3 VOS1SG 3 VRH1S 3 VRH1FG 3 VIMB1 3 VIMA1G4 HS30G 4 16GND 4 VOS1FG 4 528GND 4 VRH1SG 4 272GND 4 VIMB1G 4 784GND5 65GND 5 5 577GND 5 5 321GND 5 5 833GND 56 65 6 16GND 6 577 6 528GND 6 321 6 272GND 6 833 6 784GND7 65GND 7 16 7 577GND 7 528 7 321GND 7 272 7 833GND 7 7848 8 16GND 8 8 528GND 8 8 272GND 8 8 784GND9 65GND 9 15GND 9 577GND 9 527GND 9 321GND 9 271GND 9 833GND 9 783GND

10 66GND 10 10 578GND 10 10 322GND 10 10 834GND 1011 66 11 15GND 11 578 11 527GND 11 322 11 271GND 11 834 11 783GND12 66GND 12 15 12 578GND 12 527 12 322GND 12 271 12 834GND 12 78313 13 15GND 13 13 527GND 13 13 271GND 13 13 783GND14 66GND 14 14GND 14 578GND 14 526GND 14 322GND 14 270GND 14 834GND 14 782GND15 67GND 15 15 579GND 15 15 323GND 15 15 835GND 1516 67 16 14GND 16 579 16 526GND 16 323 16 270GND 16 835 16 782GND17 67GND 17 14 17 579GND 17 526 17 323GND 17 270 17 835GND 17 78218 18 14GND 18 18 526GND 18 18 270GND 18 18 782GND19 67GND 19 13GND 19 579GND 19 525GND 19 323GND 19 269GND 19 835GND 19 781GND20 68GND 20 20 580GND 20 20 324GND 20 20 836GND 2021 68 21 13GND 21 580 21 525GND 21 324 21 269GND 21 836 21 781GND22 68GND 22 13 22 580GND 22 525 22 324GND 22 269 22 836GND 22 78123 23 13GND 23 23 525GND 23 23 269GND 23 23 781GND24 68GND 24 12GND 24 580GND 24 524GND 24 324GND 24 268GND 24 836GND 24 780GND25 69GND 25 25 581GND 25 25 325GND 25 25 837GND 2526 69 26 12GND 26 581 26 524GND 26 325 26 268GND 26 837 26 780GND27 69GND 27 12 27 581GND 27 524 27 325GND 27 268 27 837GND 27 78028 28 12GND 28 28 524GND 28 28 268GND 28 28 780GND29 69GND 29 11GND 29 581GND 29 523GND 29 325GND 29 267GND 29 837GND 29 779GND30 70GND 30 30 582GND 30 30 326GND 30 30 838GND 3031 70 31 11GND 31 582 31 523GND 31 326 31 267GND 31 838 31 779GND32 70GND 32 11 32 582GND 32 523 32 326GND 32 267 32 838GND 32 77933 33 11GND 33 33 523GND 33 33 267GND 33 33 779GND34 70GND 34 10GND 34 582GND 34 522GND 34 326GND 34 266GND 34 838GND 34 778GND35 71GND 35 35 583GND 35 35 327GND 35 35 839GND 3536 71 36 10GND 36 583 36 522GND 36 327 36 266GND 36 839 36 778GND37 71GND 37 10 37 583GND 37 522 37 327GND 37 266 37 839GND 37 77838 38 10GND 38 38 522GND 38 38 266GND 38 38 778GND39 71GND 39 9GND 39 583GND 39 521GND 39 327GND 39 265GND 39 839GND 39 777GND40 72GND 40 40 584GND 40 40 328GND 40 40 840GND 4041 72 41 9GND 41 584 41 521GND 41 328 41 265GND 41 840 41 777GND42 72GND 42 9 42 584GND 42 521 42 328GND 42 265 42 840GND 42 77743 43 9GND 43 43 521GND 43 43 265GND 43 43 777GND44 72GND 44 DP18-G 44 584GND 44 L16 44 328GND 44 44 840GND 44 L27245 DP22-G 45 DP18-D 45 L65 45 L15 45 CW24 45 PBVCC 45 L321 45 L27146 DP22-D 46 DP18-S 46 L66 46 L14 46 CW25 46 PBVCC 46 L322 46 L27047 DP22-S 47 DP18-F 47 L67 47 L13 47 CW26 47 PBVCC 47 L323 47 L26948 DP22-F 48 DP18-F 48 L68 48 L12 48 CW27 48 PBVCC 48 L324 48 L26849 DP22-F 49 DP18-G 49 L69 49 L11 49 UC4 49 49 L325 49 L26750 DP22-G 50 50 L70 50 L10 50 UC5 50 TM1XG 50 L326 50 L26651 RFG1XG 51 51 L71 51 L9 51 SG1XG 51 TM1X 51 L327 51 L26552 RFG1X 52 52 L72 52 52 SG1X 52 TM1XG 52 L328 5253 RFG1XG 53 RFG1AG 53 53 53 SG1XG 53 SG1AG 53 5354 RFG1BG 54 RFG1A 54 54 54 SG1BG 54 SG1A 54 5455 RFG1B 55 RFG1AG 55 55 RSV9 55 SG1B 55 SG1AG 55 55 RSV1156 RFG1BG 56 CPS18 56 56 RSV10 56 SG1BG 56 CPS22 56 56 RSV12

A3-4 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT13-16[4/16]

J13 J14 J15 J16

A B A B A B A B1 GND 1 HS31G 1 GND 1 VSB1G 1 GND 1 VRL1FG 1 GND 1 VI1G2 HS32G 2 HS31 2 VIM1G 2 VSB1 2 VRL1SG 2 VRL1F 2 2 VI13 HS32 3 HS31G 3 VIM1 3 VSB1G 3 VRL1S 3 VRL1FG 3 3 VI1G4 HS32G 4 144GND 4 VIM1G 4 656GND 4 VRL1SG 4 400GND 4 4 912GND5 193GND 5 5 705GND 5 5 449GND 5 5 961GND 56 193 6 144GND 6 705 6 656GND 6 449 6 400GND 6 961 6 912GND7 193GND 7 144 7 705GND 7 656 7 449GND 7 400 7 961GND 7 9128 8 144GND 8 8 656GND 8 8 400GND 8 8 912GND9 193GND 9 143GND 9 705GND 9 655GND 9 449GND 9 399GND 9 961GND 9 911GND

10 194GND 10 10 706GND 10 10 450GND 10 10 962GND 1011 194 11 143GND 11 706 11 655GND 11 450 11 399GND 11 962 11 911GND12 194GND 12 143 12 706GND 12 655 12 450GND 12 399 12 962GND 12 91113 13 143GND 13 13 655GND 13 13 399GND 13 13 911GND14 194GND 14 142GND 14 706GND 14 654GND 14 450GND 14 398GND 14 962GND 14 910GND15 195GND 15 15 707GND 15 15 451GND 15 15 963GND 1516 195 16 142GND 16 707 16 654GND 16 451 16 398GND 16 963 16 910GND17 195GND 17 142 17 707GND 17 654 17 451GND 17 398 17 963GND 17 91018 18 142GND 18 18 654GND 18 18 398GND 18 18 910GND19 195GND 19 141GND 19 707GND 19 653GND 19 451GND 19 397GND 19 963GND 19 909GND20 196GND 20 20 708GND 20 20 452GND 20 20 964GND 2021 196 21 141GND 21 708 21 653GND 21 452 21 397GND 21 964 21 909GND22 196GND 22 141 22 708GND 22 653 22 452GND 22 397 22 964GND 22 90923 23 141GND 23 23 653GND 23 23 397GND 23 23 909GND24 196GND 24 140GND 24 708GND 24 652GND 24 452GND 24 396GND 24 964GND 24 908GND25 197GND 25 25 709GND 25 25 453GND 25 25 965GND 2526 197 26 140GND 26 709 26 652GND 26 453 26 396GND 26 965 26 908GND27 197GND 27 140 27 709GND 27 652 27 453GND 27 396 27 965GND 27 90828 28 140GND 28 28 652GND 28 28 396GND 28 28 908GND29 197GND 29 139GND 29 709GND 29 651GND 29 453GND 29 395GND 29 965GND 29 907GND30 198GND 30 30 710GND 30 30 454GND 30 30 966GND 3031 198 31 139GND 31 710 31 651GND 31 454 31 395GND 31 966 31 907GND32 198GND 32 139 32 710GND 32 651 32 454GND 32 395 32 966GND 32 90733 33 139GND 33 33 651GND 33 33 395GND 33 33 907GND34 198GND 34 138GND 34 710GND 34 650GND 34 454GND 34 394GND 34 966GND 34 906GND35 199GND 35 35 711GND 35 35 455GND 35 35 967GND 3536 199 36 138GND 36 711 36 650GND 36 455 36 394GND 36 967 36 906GND37 199GND 37 138 37 711GND 37 650 37 455GND 37 394 37 967GND 37 90638 38 138GND 38 38 650GND 38 38 394GND 38 38 906GND39 199GND 39 137GND 39 711GND 39 649GND 39 455GND 39 393GND 39 967GND 39 905GND40 200GND 40 40 712GND 40 40 456GND 40 40 968GND 4041 200 41 137GND 41 712 41 649GND 41 456 41 393GND 41 968 41 905GND42 200GND 42 137 42 712GND 42 649 42 456GND 42 393 42 968GND 42 90543 43 137GND 43 43 649GND 43 43 393GND 43 43 905GND44 200GND 44 DP26-G 44 712GND 44 L144 44 456GND 44 44 968GND 44 L40045 DP30-G 45 DP26-D 45 L193 45 L143 45 CW28 45 PBRLVCC 45 L449 45 L39946 DP30-D 46 DP26-S 46 L194 46 L142 46 CW29 46 PBRLVCC 46 L450 46 L39847 DP30-S 47 DP26-F 47 L195 47 L141 47 CW30 47 PBRLVCC 47 L451 47 L39748 DP30-F 48 DP26-F 48 L196 48 L140 48 CW31 48 PBRLVCC 48 L452 48 L39649 DP30-F 49 DP26-G 49 L197 49 L139 49 UC6 49 49 L453 49 L39550 DP30-G 50 UDC4GUD 50 L198 50 L138 50 UC7 50 SMPTRG 50 L454 50 L39451 UDC4GND 51 UDC4S 51 L199 51 L137 51 RFGTRG 51 SMPTR 51 L455 51 L39352 UDC4F 52 UDC4GUD 52 L200 52 52 RFGTR 52 SMPTRG 52 L456 5253 UDC4GND 53 AFG1PG 53 53 53 RFGTRG 53 SMPCKG 53 5354 AFG1NG 54 AFG1P 54 54 54 RFGCKG 54 SMPCK 54 5455 AFG1N 55 AFG1PG 55 55 RSV13 55 RFGCK 55 SMPCKG 55 55 RSV1556 AFG1NG 56 CPS26 56 56 RSV14 56 RFGCKG 56 CPS30 56 56 RSV16

A3-501.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT17-20[5/16]

J17 J18 J19 J20

A B A B A B A B1 GND 1 IP2AG 1 GND 1 HS1G 1 GND 1 IN2AG 1 GND 1 MTX5G2 IP2BG 2 IP2A 2 HS2G 2 HS1 2 IN2BG 2 IN2A 2 MTX6G 2 MTX53 IP2B 3 IP2AG 3 HS2 3 HS1G 3 IN2B 3 IN2AG 3 MTX6 3 MTX5G4 IP2BG 4 992GND 4 HS2G 4 480GND 4 IN2BG 4 736GND 4 MTX6G 4 224GND5 913GND 5 5 401GND 5 5 657GND 5 5 145GND 56 913 6 992GND 6 401 6 480GND 6 657 6 736GND 6 145 6 224GND7 913GND 7 992 7 401GND 7 480 7 657GND 7 736 7 145GND 7 2248 8 992GND 8 8 480GND 8 8 736GND 8 8 224GND9 913GND 9 991GND 9 401GND 9 479GND 9 657GND 9 735GND 9 145GND 9 223GND

10 914GND 10 10 402GND 10 10 658GND 10 10 146GND 1011 914 11 991GND 11 402 11 479GND 11 658 11 735GND 11 146 11 223GND12 914GND 12 991 12 402GND 12 479 12 658GND 12 735 12 146GND 12 22313 13 991GND 13 13 479GND 13 13 735GND 13 13 223GND14 914GND 14 990GND 14 402GND 14 478GND 14 658GND 14 734GND 14 146GND 14 222GND15 915GND 15 15 403GND 15 15 659GND 15 15 147GND 1516 915 16 990GND 16 403 16 478GND 16 659 16 734GND 16 147 16 222GND17 915GND 17 990 17 403GND 17 478 17 659GND 17 734 17 147GND 17 22218 18 990GND 18 18 478GND 18 18 734GND 18 18 222GND19 915GND 19 989GND 19 403GND 19 477GND 19 659GND 19 733GND 19 147GND 19 221GND20 916GND 20 20 404GND 20 20 660GND 20 20 148GND 2021 916 21 989GND 21 404 21 477GND 21 660 21 733GND 21 148 21 221GND22 916GND 22 989 22 404GND 22 477 22 660GND 22 733 22 148GND 22 22123 23 989GND 23 23 477GND 23 23 733GND 23 23 221GND24 916GND 24 988GND 24 404GND 24 476GND 24 660GND 24 732GND 24 148GND 24 220GND25 917GND 25 25 405GND 25 25 661GND 25 25 149GND 2526 917 26 988GND 26 405 26 476GND 26 661 26 732GND 26 149 26 220GND27 917GND 27 988 27 405GND 27 476 27 661GND 27 732 27 149GND 27 22028 28 988GND 28 28 476GND 28 28 732GND 28 28 220GND29 917GND 29 987GND 29 405GND 29 475GND 29 661GND 29 731GND 29 149GND 29 219GND30 918GND 30 30 406GND 30 30 662GND 30 30 150GND 3031 918 31 987GND 31 406 31 475GND 31 662 31 731GND 31 150 31 219GND32 918GND 32 987 32 406GND 32 475 32 662GND 32 731 32 150GND 32 21933 33 987GND 33 33 475GND 33 33 731GND 33 33 219GND34 918GND 34 986GND 34 406GND 34 474GND 34 662GND 34 730GND 34 150GND 34 218GND35 919GND 35 35 407GND 35 35 663GND 35 35 151GND 3536 919 36 986GND 36 407 36 474GND 36 663 36 730GND 36 151 36 218GND37 919GND 37 986 37 407GND 37 474 37 663GND 37 730 37 151GND 37 21838 38 986GND 38 38 474GND 38 38 730GND 38 38 218GND39 919GND 39 985GND 39 407GND 39 473GND 39 663GND 39 729GND 39 151GND 39 217GND40 920GND 40 40 408GND 40 40 664GND 40 40 152GND 4041 920 41 985GND 41 408 41 473GND 41 664 41 729GND 41 152 41 217GND42 920GND 42 985 42 408GND 42 473 42 664GND 42 729 42 152GND 42 21743 43 985GND 43 43 473GND 43 43 729GND 43 43 217GND44 920GND 44 L480 44 408GND 44 DP3-G 44 664GND 44 L224 44 152GND 4445 L401 45 L479 45 DP7-G 45 DP3-D 45 L145 45 L223 45 CW32 45 PBRLVCC

46 L402 46 L478 46 DP7-D 46 DP3-S 46 L146 46 L222 46 CW33 46 PBRLVCC

47 L403 47 L477 47 DP7-S 47 DP3-F 47 L147 47 L221 47 CW34 47 PBRLVCC

48 L404 48 L476 48 DP7-F 48 DP3-F 48 L148 48 L220 48 CW35 48 PBRLVCC

49 L405 49 L475 49 DP7-F 49 DP3-G 49 L149 49 L219 49 UC8 4950 L406 50 L474 50 DP7-G 50 50 L150 50 L218 50 UC9 50 SMP2OG51 L407 51 L473 51 VOFF2G 51 51 L151 51 L217 51 AF1NTG 51 SMP2O52 L408 52 52 VOFF2 52 52 L152 52 52 AF1NT 52 SMP2OG53 53 53 VOFF2G 53 AFD2PG 53 53 53 AF1NTG 53 AF1LPG54 54 54 AFD2NG 54 AFD2P 54 54 54 AF1LNG 54 AF1LP55 55 RSV17 55 AFD2N 55 AFD2PG 55 55 RSV19 55 AF1LN 55 AF1LPG56 56 RSV18 56 AFD2NG 56 CPS3 56 56 RSV20 56 AF1LNG 56 CPS7

A3-6 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT21-24[6/16]

J21 J22 J23 J24

A B A B A B A B1 GND 1 VH2AG 1 GND 1 HS3G 1 GND 1 VL2AG 1 GND 1 MTX7G2 VH2BG 2 VH2AG 2 HS4G 2 HS3 2 VL2BG 2 VL2A 2 MTX8G 2 MTX73 VH2BG 3 VH2AG 3 HS4 3 HS3G 3 VL2B 3 VL2AG 3 MTX8 3 MTX7G4 VH2BG 4 864GND 4 HS4G 4 352GND 4 VL2BG 4 608GND 4 MTX8G 4 96GND5 785GND 5 5 273GND 5 5 529GND 5 5 17GND 56 785 6 864GND 6 273 6 352GND 6 529 6 608GND 6 17 6 96GND7 785GND 7 864 7 273GND 7 352 7 529GND 7 608 7 17GND 7 968 8 864GND 8 8 352GND 8 8 608GND 8 8 96GND9 785GND 9 863GND 9 273GND 9 351GND 9 529GND 9 607GND 9 17GND 9 95GND

10 786GND 10 10 274GND 10 10 530GND 10 10 18GND 1011 786 11 863GND 11 274 11 351GND 11 530 11 607GND 11 18 11 95GND12 786GND 12 863 12 274GND 12 351 12 530GND 12 607 12 18GND 12 9513 13 863GND 13 13 351GND 13 13 607GND 13 13 95GND14 786GND 14 862GND 14 274GND 14 350GND 14 530GND 14 606GND 14 18GND 14 94GND15 787GND 15 15 275GND 15 15 531GND 15 15 19GND 1516 787 16 862GND 16 275 16 350GND 16 531 16 606GND 16 19 16 94GND17 787GND 17 862 17 275GND 17 350 17 531GND 17 606 17 19GND 17 9418 18 862GND 18 18 350GND 18 18 606GND 18 18 94GND19 787GND 19 861GND 19 275GND 19 349GND 19 531GND 19 605GND 19 19GND 19 93GND20 788GND 20 20 276GND 20 20 532GND 20 20 20GND 2021 788 21 861GND 21 276 21 349GND 21 532 21 605GND 21 20 21 93GND22 788GND 22 861 22 276GND 22 349 22 532GND 22 605 22 20GND 22 9323 23 861GND 23 23 349GND 23 23 605GND 23 23 93GND24 788GND 24 860GND 24 276GND 24 348GND 24 532GND 24 604GND 24 20GND 24 92GND25 789GND 25 25 277GND 25 25 533GND 25 25 21GND 2526 789 26 860GND 26 277 26 348GND 26 533 26 604GND 26 21 26 92GND27 789GND 27 860 27 277GND 27 348 27 533GND 27 604 27 21GND 27 9228 28 860GND 28 28 348GND 28 28 604GND 28 28 92GND29 789GND 29 859GND 29 277GND 29 347GND 29 533GND 29 603GND 29 21GND 29 91GND30 790GND 30 30 278GND 30 30 534GND 30 30 22GND 3031 790 31 859GND 31 278 31 347GND 31 534 31 603GND 31 22 31 91GND32 790GND 32 859 32 278GND 32 347 32 534GND 32 603 32 22GND 32 9133 33 859GND 33 33 347GND 33 33 603GND 33 33 91GND34 790GND 34 858GND 34 278GND 34 346GND 34 534GND 34 602GND 34 22GND 34 90GND35 791GND 35 35 279GND 35 35 535GND 35 35 23GND 3536 791 36 858GND 36 279 36 346GND 36 535 36 602GND 36 23 36 90GND37 791GND 37 858 37 279GND 37 346 37 535GND 37 602 37 23GND 37 9038 38 858GND 38 38 346GND 38 38 602GND 38 38 90GND39 791GND 39 857GND 39 279GND 39 345GND 39 535GND 39 601GND 39 23GND 39 89GND40 792GND 40 40 280GND 40 40 536GND 40 40 24GND 4041 792 41 857GND 41 280 41 345GND 41 536 41 601GND 41 24 41 89GND42 792GND 42 857 42 280GND 42 345 42 536GND 42 601 42 24GND 42 8943 43 857GND 43 43 345GND 43 43 601GND 43 43 89GND44 792GND 44 L352 44 280GND 44 DP11-G 44 536GND 44 L96 44 24GND 4445 L273 45 L351 45 DP15-G 45 DP11-D 45 L17 45 L95 45 CW36 45 PBRLVCC

46 L274 46 L350 46 DP15-D 46 DP11-S 46 L18 46 L94 46 CW37 46 PBRLVCC

47 L275 47 L349 47 DP15-S 47 DP11-F 47 L19 47 L93 47 CW38 47 PBRLVCC

48 L276 48 L348 48 DP15-F 48 DP11-F 48 L20 48 L92 48 CW39 48 PBRLVCC

49 L277 49 L347 49 DP15-F 49 DP11-G 49 L21 49 L91 49 UC10 4950 L278 50 L346 50 DP15-G 50 ACLLFG 50 L22 50 L90 50 UC11 50 UDC5GUD

51 L279 51 L345 51 ACLLSG 51 ACLLF 51 L23 51 L89 51 UDC5GND 51 UDC5S52 L280 52 52 ACLLS 52 ACLLFG 52 L24 52 52 UDC5F 52 UDC5GUD

53 53 53 ACLLSG 53 SMP2G 53 53 53 UDC5GND 53 TMU2AG54 54 54 ACAL2G 54 SMP2 54 54 54 TMU2BG 54 TMU2A55 55 RSV21 55 ACAL2 55 SMP2G 55 55 RSV23 55 TMU2B 55 TMU2AG56 56 RSV22 56 ACAL2G 56 CPS11 56 56 RSV24 56 TMU2BG 56 CPS15

A3-701.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT25-28[7/16]

J25 J26 J27 J28

A B A B A B A B1 GND 1 VOS2SG 1 GND 1 HS5G 1 GND 1 VIMA2G 1 GND 1 VRH2FG2 VOS2FG 2 VOS2S 2 HS6G 2 HS5 2 VIMB2G 2 VIMA2 2 VRH2SG 2 VRH2F3 VOS2F 3 VOS2SG 3 HS6 3 HS5G 3 VIMB2 3 VIMA2G 3 VRH2S 3 VRH2FG4 VOS2FG 4 984GND 4 HS6G 4 472GND 4 VIMB2G 4 728GND 4 VRH2SG 4 216GND5 921GND 5 5 409GND 5 5 665GND 5 5 153GND 56 921 6 984GND 6 409 6 472GND 6 665 6 728GND 6 153 6 216GND7 921GND 7 984 7 409GND 7 472 7 665GND 7 728 7 153GND 7 2168 8 984GND 8 8 472GND 8 8 728GND 8 8 216GND9 921GND 9 983GND 9 409GND 9 471GND 9 665GND 9 727GND 9 153GND 9 215GND

10 922GND 10 10 410GND 10 10 666GND 10 10 154GND 1011 922 11 983GND 11 410 11 471GND 11 666 11 727GND 11 154 11 215GND12 922GND 12 983 12 410GND 12 471 12 666GND 12 727 12 154GND 12 21513 13 983GND 13 13 471GND 13 13 727GND 13 13 215GND14 922GND 14 982GND 14 410GND 14 470GND 14 666GND 14 726GND 14 154GND 14 214GND15 923GND 15 15 411GND 15 15 667GND 15 15 155GND 1516 923 16 982GND 16 411 16 470GND 16 667 16 726GND 16 155 16 214GND17 923GND 17 982 17 411GND 17 470 17 667GND 17 726 17 155GND 17 21418 18 982GND 18 18 470GND 18 18 726GND 18 18 214GND19 923GND 19 981GND 19 411GND 19 469GND 19 667GND 19 725GND 19 155GND 19 213GND20 924GND 20 20 412GND 20 20 668GND 20 20 156GND 2021 924 21 981GND 21 412 21 469GND 21 668 21 725GND 21 156 21 213GND22 924GND 22 981 22 412GND 22 469 22 668GND 22 725 22 156GND 22 21323 23 981GND 23 23 469GND 23 23 725GND 23 23 213GND24 924GND 24 980GND 24 412GND 24 468GND 24 668GND 24 724GND 24 156GND 24 212GND25 925GND 25 25 413GND 25 25 669GND 25 25 157GND 2526 925 26 980GND 26 413 26 468GND 26 669 26 724GND 26 157 26 212GND27 925GND 27 980 27 413GND 27 468 27 669GND 27 724 27 157GND 27 21228 28 980GND 28 28 468GND 28 28 724GND 28 28 212GND29 925GND 29 979GND 29 413GND 29 467GND 29 669GND 29 723GND 29 157GND 29 211GND30 926GND 30 30 414GND 30 30 670GND 30 30 158GND 3031 926 31 979GND 31 414 31 467GND 31 670 31 723GND 31 158 31 211GND32 926GND 32 979 32 414GND 32 467 32 670GND 32 723 32 158GND 32 21133 33 979GND 33 33 467GND 33 33 723GND 33 33 211GND34 926GND 34 978GND 34 414GND 34 466GND 34 670GND 34 722GND 34 158GND 34 210GND35 927GND 35 35 415GND 35 35 671GND 35 35 159GND 3536 927 36 978GND 36 415 36 466GND 36 671 36 722GND 36 159 36 210GND37 927GND 37 978 37 415GND 37 466 37 671GND 37 722 37 159GND 37 21038 38 978GND 38 38 466GND 38 38 722GND 38 38 210GND39 927GND 39 977GND 39 415GND 39 465GND 39 671GND 39 721GND 39 159GND 39 209GND40 928GND 40 40 416GND 40 40 672GND 40 40 160GND 4041 928 41 977GND 41 416 41 465GND 41 672 41 721GND 41 160 41 209GND42 928GND 42 977 42 416GND 42 465 42 672GND 42 721 42 160GND 42 20943 43 977GND 43 43 465GND 43 43 721GND 43 43 209GND44 928GND 44 L472 44 416GND 44 DP19-G 44 672GND 44 L216 44 160GND 4445 L409 45 L471 45 DP23-G 45 DP19-D 45 L153 45 L215 45 CW40 45 PBRLVCC

46 L410 46 L470 46 DP23-D 46 DP19-S 46 L154 46 L214 46 CW41 46 PBRLVCC

47 L411 47 L469 47 DP23-S 47 DP19-F 47 L155 47 L213 47 CW42 47 PBRLVCC

48 L412 48 L468 48 DP23-F 48 DP19-F 48 L156 48 L212 48 CW43 48 PBRLVCC

49 L413 49 L467 49 DP23-F 49 DP19-G 49 L157 49 L211 49 UC12 4950 L414 50 L466 50 DP23-G 50 50 L158 50 L210 50 UC13 50 TM2XG51 L415 51 L465 51 RFG2XG 51 51 L159 51 L209 51 SG2XG 51 TM2X52 L416 52 52 RFG2X 52 52 L160 52 52 SG2X 52 TM2XG53 53 53 RFG2XG 53 RFG2AG 53 53 53 SG2XG 53 SG2AG54 54 54 RFG2BG 54 RFG2A 54 54 54 SG2BG 54 SG2A55 55 RSV25 55 RFG2B 55 RFG2AG 55 55 RSV27 55 SG2B 55 SG2AG56 56 RSV26 56 RFG2BG 56 CPS19 56 56 RSV28 56 SG2BG 56 CPS23

A3-8 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT29-32[8/16]

J29 J30 J31 J32

A B A B A B A B1 GND 1 VSB2G 1 GND 1 HS7G 1 GND 1 VI2G 1 GND 1 VRL2FG2 VIM2G 2 VSB2 2 HS8G 2 HS7 2 MASKG 2 VI2 2 VRL2SG 2 VRL2F3 VIM2 3 VSB2G 3 HS8 3 HS7G 3 MASK 3 VI2G 3 VRL2S 3 VRL2FG4 VIM2G 4 856GND 4 HS8G 4 344GND 4 MASKG 4 600GND 4 VRL2SG 4 88GND5 793GND 5 5 281GND 5 5 537GND 5 5 25GND 56 793 6 856GND 6 281 6 344GND 6 537 6 600GND 6 25 6 88GND7 793GND 7 856 7 281GND 7 344 7 537GND 7 600 7 25GND 7 888 8 856GND 8 8 344GND 8 8 600GND 8 8 88GND9 793GND 9 855GND 9 281GND 9 343GND 9 537GND 9 599GND 9 25GND 9 87GND

10 794GND 10 10 282GND 10 10 538GND 10 10 26GND 1011 794 11 855GND 11 282 11 343GND 11 538 11 599GND 11 26 11 87GND12 794GND 12 855 12 282GND 12 343 12 538GND 12 599 12 26GND 12 8713 13 855GND 13 13 343GND 13 13 599GND 13 13 87GND14 794GND 14 854GND 14 282GND 14 342GND 14 538GND 14 598GND 14 26GND 14 86GND15 795GND 15 15 283GND 15 15 539GND 15 15 27GND 1516 795 16 854GND 16 283 16 342GND 16 539 16 598GND 16 27 16 86GND17 795GND 17 854 17 283GND 17 342 17 539GND 17 598 17 27GND 17 8618 18 854GND 18 18 342GND 18 18 598GND 18 18 86GND19 795GND 19 853GND 19 283GND 19 341GND 19 539GND 19 597GND 19 27GND 19 85GND20 796GND 20 20 284GND 20 20 540GND 20 20 28GND 2021 796 21 853GND 21 284 21 341GND 21 540 21 597GND 21 28 21 85GND22 796GND 22 853 22 284GND 22 341 22 540GND 22 597 22 28GND 22 8523 23 853GND 23 23 341GND 23 23 597GND 23 23 85GND24 796GND 24 852GND 24 284GND 24 340GND 24 540GND 24 596GND 24 28GND 24 84GND25 797GND 25 25 285GND 25 25 541GND 25 25 29GND 2526 797 26 852GND 26 285 26 340GND 26 541 26 596GND 26 29 26 84GND27 797GND 27 852 27 285GND 27 340 27 541GND 27 596 27 29GND 27 8428 28 852GND 28 28 340GND 28 28 596GND 28 28 84GND29 797GND 29 851GND 29 285GND 29 339GND 29 541GND 29 595GND 29 29GND 29 83GND30 798GND 30 30 286GND 30 30 542GND 30 30 30GND 3031 798 31 851GND 31 286 31 339GND 31 542 31 595GND 31 30 31 83GND32 798GND 32 851 32 286GND 32 339 32 542GND 32 595 32 30GND 32 8333 33 851GND 33 33 339GND 33 33 595GND 33 33 83GND34 798GND 34 850GND 34 286GND 34 338GND 34 542GND 34 594GND 34 30GND 34 82GND35 799GND 35 35 287GND 35 35 543GND 35 35 31GND 3536 799 36 850GND 36 287 36 338GND 36 543 36 594GND 36 31 36 82GND37 799GND 37 850 37 287GND 37 338 37 543GND 37 594 37 31GND 37 8238 38 850GND 38 38 338GND 38 38 594GND 38 38 82GND39 799GND 39 849GND 39 287GND 39 337GND 39 543GND 39 593GND 39 31GND 39 81GND40 800GND 40 40 288GND 40 40 544GND 40 40 32GND 4041 800 41 849GND 41 288 41 337GND 41 544 41 593GND 41 32 41 81GND42 800GND 42 849 42 288GND 42 337 42 544GND 42 593 42 32GND 42 8143 43 849GND 43 43 337GND 43 43 593GND 43 43 81GND44 800GND 44 L344 44 288GND 44 DP27-G 44 544GND 44 L88 44 32GND 4445 L281 45 L343 45 DP31-G 45 DP27-D 45 L25 45 L87 45 CW44 45 PBVEE46 L282 46 L342 46 DP31-D 46 DP27-S 46 L26 46 L86 46 CW45 46 PBVEE47 L283 47 L341 47 DP31-S 47 DP27-F 47 L27 47 L85 47 CW46 47 PBVEE48 L284 48 L340 48 DP31-F 48 DP27-F 48 L28 48 L84 48 CW47 48 PBVEE49 L285 49 L339 49 DP31-F 49 DP27-G 49 L29 49 L83 49 UC14 4950 L286 50 L338 50 DP31-G 50 UDC1GUD 50 L30 50 L82 50 UC15 50 TMGT1G51 L287 51 L337 51 UDC1GND 51 UDC1S 51 L31 51 L81 51 TMGT2G 51 TMGT152 L288 52 52 UDC1F 52 UDC1GUD 52 L32 52 52 TMGT2 52 TMGT1G53 53 53 UDC1GND 53 AFG2PG 53 53 53 TMGT2G 53 TMGT3G54 54 54 AFG2NG 54 AFG2P 54 54 54 TMGT4G 54 TMGT355 55 RSV29 55 AFG2N 55 AFG2PG 55 55 RSV31 55 TMGT4 55 TMGT3G56 56 RSV30 56 AFG2NG 56 CPS27 56 56 RSV32 56 TMGT4G 56 CPS31

A3-901.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT33-36[9/16]

J33 J34 J35 J36

A B A B A B A B1 GND 1 HS9G 1 GND 1 IP3AG 1 GND 1 MTX9G 1 GND 1 IN3AG2 HS10G 2 HS9 2 IP3BG 2 IP3A 2 MTX10G 2 MTX9 2 IN3BG 2 IN3A3 HS10 3 HS9G 3 IP3B 3 IP3AG 3 MTX10 3 MTX9G 3 IN3B 3 IN3AG4 HS10G 4 40GND 4 IP3BG 4 552GND 4 MTX10G 4 296GND 4 IN3BG 4 808GND5 105GND 5 5 617GND 5 5 361GND 5 5 873GND 56 105 6 40GND 6 617 6 552GND 6 361 6 296GND 6 873 6 808GND7 105GND 7 40 7 617GND 7 552 7 361GND 7 296 7 873GND 7 8088 8 40GND 8 8 552GND 8 8 296GND 8 8 808GND9 105GND 9 39GND 9 617GND 9 551GND 9 361GND 9 295GND 9 873GND 9 807GND

10 106GND 10 10 618GND 10 10 362GND 10 10 874GND 1011 106 11 39GND 11 618 11 551GND 11 362 11 295GND 11 874 11 807GND12 106GND 12 39 12 618GND 12 551 12 362GND 12 295 12 874GND 12 80713 13 39GND 13 13 551GND 13 13 295GND 13 13 807GND14 106GND 14 38GND 14 618GND 14 550GND 14 362GND 14 294GND 14 874GND 14 806GND15 107GND 15 15 619GND 15 15 363GND 15 15 875GND 1516 107 16 38GND 16 619 16 550GND 16 363 16 294GND 16 875 16 806GND17 107GND 17 38 17 619GND 17 550 17 363GND 17 294 17 875GND 17 80618 18 38GND 18 18 550GND 18 18 294GND 18 18 806GND19 107GND 19 37GND 19 619GND 19 549GND 19 363GND 19 293GND 19 875GND 19 805GND20 108GND 20 20 620GND 20 20 364GND 20 20 876GND 2021 108 21 37GND 21 620 21 549GND 21 364 21 293GND 21 876 21 805GND22 108GND 22 37 22 620GND 22 549 22 364GND 22 293 22 876GND 22 80523 23 37GND 23 23 549GND 23 23 293GND 23 23 805GND24 108GND 24 36GND 24 620GND 24 548GND 24 364GND 24 292GND 24 876GND 24 804GND25 109GND 25 25 621GND 25 25 365GND 25 25 877GND 2526 109 26 36GND 26 621 26 548GND 26 365 26 292GND 26 877 26 804GND27 109GND 27 36 27 621GND 27 548 27 365GND 27 292 27 877GND 27 80428 28 36GND 28 28 548GND 28 28 292GND 28 28 804GND29 109GND 29 35GND 29 621GND 29 547GND 29 365GND 29 291GND 29 877GND 29 803GND30 110GND 30 30 622GND 30 30 366GND 30 30 878GND 3031 110 31 35GND 31 622 31 547GND 31 366 31 291GND 31 878 31 803GND32 110GND 32 35 32 622GND 32 547 32 366GND 32 291 32 878GND 32 80333 33 35GND 33 33 547GND 33 33 291GND 33 33 803GND34 110GND 34 34GND 34 622GND 34 546GND 34 366GND 34 290GND 34 878GND 34 802GND35 111GND 35 35 623GND 35 35 367GND 35 35 879GND 3536 111 36 34GND 36 623 36 546GND 36 367 36 290GND 36 879 36 802GND37 111GND 37 34 37 623GND 37 546 37 367GND 37 290 37 879GND 37 80238 38 34GND 38 38 546GND 38 38 290GND 38 38 802GND39 111GND 39 33GND 39 623GND 39 545GND 39 367GND 39 289GND 39 879GND 39 801GND40 112GND 40 40 624GND 40 40 368GND 40 40 880GND 4041 112 41 33GND 41 624 41 545GND 41 368 41 289GND 41 880 41 801GND42 112GND 42 33 42 624GND 42 545 42 368GND 42 289 42 880GND 42 80143 43 33GND 43 43 545GND 43 43 289GND 43 43 801GND44 112GND 44 DP4-G 44 624GND 44 L40 44 368GND 44 44 880GND 44 L29645 DP8-G 45 DP4-D 45 L105 45 L39 45 CW48 45 PBVEE 45 L361 45 L29546 DP8-D 46 DP4-S 46 L106 46 L38 46 CW49 46 PBVEE 46 L362 46 L29447 DP8-S 47 DP4-F 47 L107 47 L37 47 CW50 47 PBVEE 47 L363 47 L29348 DP8-F 48 DP4-F 48 L108 48 L36 48 CW51 48 PBVEE 48 L364 48 L29249 DP8-F 49 DP4-G 49 L109 49 L35 49 UC16 49 49 L365 49 L29150 DP8-G 50 50 L110 50 L34 50 UC17 50 SMP3OG 50 L366 50 L29051 VOFF3G 51 51 L111 51 L33 51 AF2FLG 51 SMP3O 51 L367 51 L28952 VOFF3 52 52 L112 52 52 AF2FL 52 SMP3OG 52 L368 5253 VOFF3G 53 AFD3PG 53 53 53 AF2FLG 53 AF2RPG 53 5354 AFD3NG 54 AFD3P 54 54 54 AF2RNG 54 AF2RP 54 5455 AFD3N 55 AFD3PG 55 55 RSV33 55 AF2RN 55 AF2RPG 55 55 RSV3556 AFD3NG 56 CPS4 56 56 RSV34 56 AF2RNG 56 CPS8 56 56 RSV36

A3-10 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT37-40[10/16]

J37 J38 J39 J40

A B A B A B A B1 GND 1 HS11G 1 GND 1 VH3AG 1 GND 1 MTX11G 1 GND 1 VL3AG2 HS12G 2 HS11 2 VH3BG 2 VH3A 2 MTX12G 2 MTX11 2 VL3BG 2 VL3A3 HS12 3 HS11G 3 VH3B 3 VH3AG 3 MTX12 3 MTX11G 3 VL3B 3 VL3AG4 HS12G 4 168GND 4 VH3BG 4 680GND 4 MTX12G 4 424GND 4 VL3BG 4 936GND5 233GND 5 5 745GND 5 5 489GND 5 5 1001GND 56 233 6 168GND 6 745 6 680GND 6 489 6 424GND 6 1001 6 936GND7 233GND 7 168 7 745GND 7 680 7 489GND 7 424 7 1001GND 7 9368 8 168GND 8 8 680GND 8 8 424GND 8 8 936GND9 233GND 9 167GND 9 745GND 9 679GND 9 489GND 9 423GND 9 1001GND 9 935GND

10 234GND 10 10 746GND 10 10 490GND 10 10 1002GND 1011 234 11 167GND 11 746 11 679GND 11 490 11 423GND 11 1002 11 935GND12 234GND 12 167 12 746GND 12 679 12 490GND 12 423 12 1002GND 12 93513 13 167GND 13 13 679GND 13 13 423GND 13 13 935GND14 234GND 14 166GND 14 746GND 14 678GND 14 490GND 14 422GND 14 1002GND 14 934GND15 235GND 15 15 747GND 15 15 491GND 15 15 1003GND 1516 235 16 166GND 16 747 16 678GND 16 491 16 422GND 16 1003 16 934GND17 235GND 17 166 17 747GND 17 678 17 491GND 17 422 17 1003GND 17 93418 18 166GND 18 18 678GND 18 18 422GND 18 18 934GND19 235GND 19 165GND 19 747GND 19 677GND 19 491GND 19 421GND 19 1003GND 19 933GND20 236GND 20 20 748GND 20 20 492GND 20 20 1004GND 2021 236 21 165GND 21 748 21 677GND 21 492 21 421GND 21 1004 21 933GND22 236GND 22 165 22 748GND 22 677 22 492GND 22 421 22 1004GND 22 93323 23 165GND 23 23 677GND 23 23 421GND 23 23 933GND24 236GND 24 164GND 24 748GND 24 676GND 24 492GND 24 420GND 24 1004GND 24 932GND25 237GND 25 25 749GND 25 25 493GND 25 25 1005GND 2526 237 26 164GND 26 749 26 676GND 26 493 26 420GND 26 1005 26 932GND27 237GND 27 164 27 749GND 27 676 27 493GND 27 420 27 1005GND 27 93228 28 164GND 28 28 676GND 28 28 420GND 28 28 932GND29 237GND 29 163GND 29 749GND 29 675GND 29 493GND 29 419GND 29 1005GND 29 931GND30 238GND 30 30 750GND 30 30 494GND 30 30 1006GND 3031 238 31 163GND 31 750 31 675GND 31 494 31 419GND 31 1006 31 931GND32 238GND 32 163 32 750GND 32 675 32 494GND 32 419 32 1006GND 32 93133 33 163GND 33 33 675GND 33 33 419GND 33 33 931GND34 238GND 34 162GND 34 750GND 34 674GND 34 494GND 34 418GND 34 1006GND 34 930GND35 239GND 35 35 751GND 35 35 495GND 35 35 1007GND 3536 239 36 162GND 36 751 36 674GND 36 495 36 418GND 36 1007 36 930GND37 239GND 37 162 37 751GND 37 674 37 495GND 37 418 37 1007GND 37 93038 38 162GND 38 38 674GND 38 38 418GND 38 38 930GND39 239GND 39 161GND 39 751GND 39 673GND 39 495GND 39 417GND 39 1007GND 39 929GND40 240GND 40 40 752GND 40 40 496GND 40 40 1008GND 4041 240 41 161GND 41 752 41 673GND 41 496 41 417GND 41 1008 41 929GND42 240GND 42 161 42 752GND 42 673 42 496GND 42 417 42 1008GND 42 92943 43 161GND 43 43 673GND 43 43 417GND 43 43 929GND44 240GND 44 DP12-G 44 752GND 44 L168 44 496GND 44 44 1008GND 44 L42445 DP16-G 45 DP12-D 45 L233 45 L167 45 CW52 45 PBM15V 45 L489 45 L42346 DP16-D 46 DP12-S 46 L234 46 L166 46 CW53 46 PBM15V 46 L490 46 L42247 DP16-S 47 DP12-F 47 L235 47 L165 47 CW54 47 PBM15V 47 L491 47 L42148 DP16-F 48 DP12-F 48 L236 48 L164 48 CW55 48 PBM15V 48 L492 48 L42049 DP16-F 49 DP12-G 49 L237 49 L163 49 UC18 49 49 L493 49 L41950 DP16-G 50 RFR1G 50 L238 50 L162 50 UC19 50 RFR2G 50 L494 50 L41851 AFCALG 51 RFR1 51 L239 51 L161 51 VD1XPG 51 RFR2 51 L495 51 L41752 AFCAL 52 RFR1G 52 L240 52 52 VD1XP 52 RFR2G 52 L496 5253 AFCALG 53 SMP3G 53 53 53 VD1XPG 53 VD1APG 53 5354 ACAL3G 54 SMP3 54 54 54 VD1ANG 54 VD1AP 54 5455 ACAL3 55 SMP3G 55 55 RSV37 55 VD1AN 55 VD1APG 55 55 RSV3956 ACAL3G 56 CPS12 56 56 RSV38 56 VD1ANG 56 CPS16 56 56 RSV40

A3-1101.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT41-44[11/16]

J41 J42 J43 J44

A B A B A B A B1 GND 1 HS13G 1 GND 1 VOS3SG 1 GND 1 VRH3FG 1 GND 1 VIMA3G2 HS14G 2 HS13 2 VOS3FG 2 VOS3S 2 VRH3SG 2 VRH3F 2 VIMB3G 2 VIMA33 HS14 3 HS13G 3 VOS3F 3 VOS3SG 3 VRH3S 3 VRH3FG 3 VIMB3 3 VIMA3G4 HS14G 4 48GND 4 VOS3FG 4 560GND 4 VRH3SG 4 304GND 4 VIMB3G 4 816GND5 97GND 5 5 609GND 5 5 353GND 5 5 865GND 56 97 6 48GND 6 609 6 560GND 6 353 6 304GND 6 865 6 816GND7 97GND 7 48 7 609GND 7 560 7 353GND 7 304 7 865GND 7 8168 8 48GND 8 8 560GND 8 8 304GND 8 8 816GND9 97GND 9 47GND 9 609GND 9 559GND 9 353GND 9 303GND 9 865GND 9 815GND

10 98GND 10 10 610GND 10 10 354GND 10 10 866GND 1011 98 11 47GND 11 610 11 559GND 11 354 11 303GND 11 866 11 815GND12 98GND 12 47 12 610GND 12 559 12 354GND 12 303 12 866GND 12 81513 13 47GND 13 13 559GND 13 13 303GND 13 13 815GND14 98GND 14 46GND 14 610GND 14 558GND 14 354GND 14 302GND 14 866GND 14 814GND15 99GND 15 15 611GND 15 15 355GND 15 15 867GND 1516 99 16 46GND 16 611 16 558GND 16 355 16 302GND 16 867 16 814GND17 99GND 17 46 17 611GND 17 558 17 355GND 17 302 17 867GND 17 81418 18 46GND 18 18 558GND 18 18 302GND 18 18 814GND19 99GND 19 45GND 19 611GND 19 557GND 19 355GND 19 301GND 19 867GND 19 813GND20 100GND 20 20 612GND 20 20 356GND 20 20 868GND 2021 100 21 45GND 21 612 21 557GND 21 356 21 301GND 21 868 21 813GND22 100GND 22 45 22 612GND 22 557 22 356GND 22 301 22 868GND 22 81323 23 45GND 23 23 557GND 23 23 301GND 23 23 813GND24 100GND 24 44GND 24 612GND 24 556GND 24 356GND 24 300GND 24 868GND 24 812GND25 101GND 25 25 613GND 25 25 357GND 25 25 869GND 2526 101 26 44GND 26 613 26 556GND 26 357 26 300GND 26 869 26 812GND27 101GND 27 44 27 613GND 27 556 27 357GND 27 300 27 869GND 27 81228 28 44GND 28 28 556GND 28 28 300GND 28 28 812GND29 101GND 29 43GND 29 613GND 29 555GND 29 357GND 29 299GND 29 869GND 29 811GND30 102GND 30 30 614GND 30 30 358GND 30 30 870GND 3031 102 31 43GND 31 614 31 555GND 31 358 31 299GND 31 870 31 811GND32 102GND 32 43 32 614GND 32 555 32 358GND 32 299 32 870GND 32 81133 33 43GND 33 33 555GND 33 33 299GND 33 33 811GND34 102GND 34 42GND 34 614GND 34 554GND 34 358GND 34 298GND 34 870GND 34 810GND35 103GND 35 35 615GND 35 35 359GND 35 35 871GND 3536 103 36 42GND 36 615 36 554GND 36 359 36 298GND 36 871 36 810GND37 103GND 37 42 37 615GND 37 554 37 359GND 37 298 37 871GND 37 81038 38 42GND 38 38 554GND 38 38 298GND 38 38 810GND39 103GND 39 41GND 39 615GND 39 553GND 39 359GND 39 297GND 39 871GND 39 809GND40 104GND 40 40 616GND 40 40 360GND 40 40 872GND 4041 104 41 41GND 41 616 41 553GND 41 360 41 297GND 41 872 41 809GND42 104GND 42 41 42 616GND 42 553 42 360GND 42 297 42 872GND 42 80943 43 41GND 43 43 553GND 43 43 297GND 43 43 809GND44 104GND 44 DP20-G 44 616GND 44 L48 44 360GND 44 PBTYP0 44 872GND 44 L30445 DP24-G 45 DP20-D 45 L97 45 L47 45 CW56 45 PBTYP1 45 L353 45 L30346 DP24-D 46 DP20-S 46 L98 46 L46 46 CW57 46 PBTYP2 46 L354 46 L30247 DP24-S 47 DP20-F 47 L99 47 L45 47 CW58 47 PBTYP3 47 L355 47 L30148 DP24-F 48 DP20-F 48 L100 48 L44 48 CW59 48 PBTYP4 48 L356 48 L30049 DP24-F 49 DP20-G 49 L101 49 L43 49 UC20 49 PBTYP5 49 L357 49 L29950 DP24-G 50 UDC6GUD 50 L102 50 L42 50 UC21 50 HGNDG 50 L358 50 L29851 UDC6GND 51 UDC6S 51 L103 51 L41 51 VFG1XG 51 HGND 51 L359 51 L29752 UDC6F 52 USC6GUD 52 L104 52 52 VFG1X 52 HGNDG 52 L360 5253 UDC6GND 53 VD1BPG 53 53 53 VFG1XG 53 VFG1AG 53 5354 VD1BNG 54 VD1BP 54 54 54 VFG1BG 54 VFG1A 54 5455 VD1BN 55 VD1BPG 55 55 RSV41 55 VFG1B 55 VFG1AG 55 55 RSV4356 VD1BNG 56 CPS20 56 56 RSV42 56 VFG1BG 56 CPS24 56 56 RSV44

A3-12 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT45-48[12/16]

J45 J46 J47 J48

A B A B A B A B1 GND 1 HS15G 1 GND 1 VSB3G 1 GND 1 SGCALG 1 GND 1 VI3G2 HS16G 2 HS15 2 VIM3G 2 VSB3 2 SMPDGG 2 SGCAL 2 2 VI33 HS16 3 HS15G 3 VIM3 3 VSB3G 3 SMPDG 3 SGCALG 3 3 VI3G4 HS16G 4 176GND 4 VIM3G 4 688GND 4 SMPDGG 4 432GND 4 4 944GND5 225GND 5 5 737GND 5 5 481GND 5 5 993GND 56 225 6 176GND 6 737 6 688GND 6 481 6 432GND 6 993 6 944GND7 225GND 7 176 7 737GND 7 688 7 481GND 7 432 7 993GND 7 9448 8 176GND 8 8 688GND 8 8 432GND 8 8 944GND9 225GND 9 175GND 9 737GND 9 687GND 9 481GND 9 431GND 9 993GND 9 943GND

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A3-1301.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT49-52[13/16]

J49 J50 J51 J52

A B A B A B A B1 GND 1 IP4AG 1 GND 1 HS17G 1 GND 1 IN4AG 1 GND 1 MTX13G2 IP4BG 2 IP4A 2 HS18G 2 HS17 2 IN4BG 2 IN4A 2 MTX14G 2 MTX133 IP4B 3 IP4AG 3 HS18 3 HS17G 3 IN4B 3 IN4AG 3 MTX14 3 MTX13G4 IP4BG 4 1024GND 4 HS18G 4 512GND 4 IN4BG 4 768GND 4 MTX14G 4 256GND5 945GND 5 5 433GND 5 5 689GND 5 5 177GND 56 945 6 1024GND 6 433 6 512GND 6 689 6 768GND 6 177 6 256GND7 945GND 7 1024 7 433GND 7 512 7 689GND 7 768 7 177GND 7 2568 8 1024GND 8 8 512GND 8 8 768GND 8 8 256GND9 945GND 9 1023GND 9 433GND 9 511GND 9 689GND 9 767GND 9 177GND 9 255GND

10 946GND 10 10 434GND 10 10 690GND 10 10 178GND 1011 946 11 1023GND 11 434 11 511GND 11 690 11 767GND 11 178 11 255GND12 946GND 12 1023 12 434GND 12 511 12 690GND 12 767 12 178GND 12 25513 13 1023GND 13 13 511GND 13 13 767GND 13 13 255GND14 946GND 14 1022GND 14 434GND 14 510GND 14 690GND 14 766GND 14 178GND 14 254GND15 947GND 15 15 435GND 15 15 691GND 15 15 179GND 1516 947 16 1022GND 16 435 16 510GND 16 691 16 766GND 16 179 16 254GND17 947GND 17 1022 17 435GND 17 510 17 691GND 17 766 17 179GND 17 25418 18 1022GND 18 18 510GND 18 18 766GND 18 18 254GND19 947GND 19 1021GND 19 435GND 19 509GND 19 691GND 19 765GND 19 179GND 19 253GND20 948GND 20 20 436GND 20 20 692GND 20 20 180GND 2021 948 21 1021GND 21 436 21 509GND 21 692 21 765GND 21 180 21 253GND22 948GND 22 1021 22 436GND 22 509 22 692GND 22 765 22 180GND 22 25323 23 1021GND 23 23 509GND 23 23 765GND 23 23 253GND24 948GND 24 1020GND 24 436GND 24 508GND 24 692GND 24 764GND 24 180GND 24 252GND25 949GND 25 25 437GND 25 25 693GND 25 25 181GND 2526 949 26 1020GND 26 437 26 508GND 26 693 26 764GND 26 181 26 252GND27 949GND 27 1020 27 437GND 27 508 27 693GND 27 764 27 181GND 27 25228 28 1020GND 28 28 508GND 28 28 764GND 28 28 252GND29 949GND 29 1019GND 29 437GND 29 507GND 29 693GND 29 763GND 29 181GND 29 251GND30 950GND 30 30 438GND 30 30 694GND 30 30 182GND 3031 950 31 1019GND 31 438 31 507GND 31 694 31 763GND 31 182 31 251GND32 950GND 32 1019 32 438GND 32 507 32 694GND 32 763 32 182GND 32 25133 33 1019GND 33 33 507GND 33 33 763GND 33 33 251GND34 950GND 34 1018GND 34 438GND 34 506GND 34 694GND 34 762GND 34 182GND 34 250GND35 951GND 35 35 439GND 35 35 695GND 35 35 183GND 3536 951 36 1018GND 36 439 36 506GND 36 695 36 762GND 36 183 36 250GND37 951GND 37 1018 37 439GND 37 506 37 695GND 37 762 37 183GND 37 25038 38 1018GND 38 38 506GND 38 38 762GND 38 38 250GND39 951GND 39 1017GND 39 439GND 39 505GND 39 695GND 39 761GND 39 183GND 39 249GND40 952GND 40 40 440GND 40 40 696GND 40 40 184GND 4041 952 41 1017GND 41 440 41 505GND 41 696 41 761GND 41 184 41 249GND42 952GND 42 1017 42 440GND 42 505 42 696GND 42 761 42 184GND 42 24943 43 1017GND 43 43 505GND 43 43 761GND 43 43 249GND44 952GND 44 L512 44 440GND 44 DP1-G 44 696GND 44 L256 44 184GND 44 PFB045 L433 45 L511 45 DP5-G 45 DP1-D 45 L177 45 L255 45 CW0 45 PFB146 L434 46 L510 46 DP5-D 46 DP1-S 46 L178 46 L254 46 CW1 46 PFB247 L435 47 L509 47 DP5-S 47 DP1-F 47 L179 47 L253 47 CW2 47 PFB348 L436 48 L508 48 DP5-F 48 DP1-F 48 L180 48 L252 48 CW3 48 UCM149 L437 49 L507 49 DP5-F 49 DP1-G 49 L181 49 L251 49 UC24 49 UCM250 L438 50 L506 50 DP5-G 50 50 L182 50 L250 50 UC25 50 SMP4OG51 L439 51 L505 51 VOFF4G 51 51 L183 51 L249 51 AF2NTG 51 SMP4O52 L440 52 52 VOFF4 52 52 L184 52 52 AF2NT 52 SMP4OG53 53 53 VOFF4G 53 AFD4PG 53 53 53 AF2NTG 53 AF2LPG54 54 54 AFD4NG 54 AFD4P 54 54 54 AF2LNG 54 AF2LP55 55 RSV49 55 AFD4N 55 AFD4PG 55 55 RSV51 55 AF2LN 55 AF2LPG56 56 RSV50 56 AFD4NG 56 CPS1 56 56 RSV52 56 AF2LNG 56 CPS5

A3-14 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT53-56[14/16]

J53 J54 J55 J56

A B A B A B A B1 GND 1 VH4AG 1 GND 1 HS19G 1 GND 1 VL4AG 1 GND 1 MTX15G2 VH4BG 2 VH4A 2 HS20G 2 HS19 2 VL4BG 2 VL4A 2 MTX16G 2 MTX153 VH4B 3 VH4AG 3 HS20 3 HS19G 3 VL4B 3 VL4AG 3 MTX16 3 MTX15G4 VH4BG 4 896GND 4 HS20G 4 384GND 4 VL4BG 4 640GND 4 MTX16G 4 128GND5 817GND 5 5 305GND 5 5 561GND 5 5 49GND 56 817 6 896GND 6 305 6 384GND 6 561 6 640GND 6 49 6 128GND7 817GND 7 896 7 305GND 7 384 7 561GND 7 640 7 49GND 7 1288 8 896GND 8 8 384GND 8 8 640GND 8 8 128GND9 817GND 9 895GND 9 305GND 9 383GND 9 561GND 9 639GND 9 49GND 9 127GND

10 818GND 10 10 306GND 10 10 562GND 10 10 50GND 1011 818 11 895GND 11 306 11 383GND 11 562 11 639GND 11 50 11 127GND12 818GND 12 895 12 306GND 12 383 12 562GND 12 639 12 50GND 12 12713 13 895GND 13 13 383GND 13 13 639GND 13 13 127GND14 818GND 14 894GND 14 306GND 14 382GND 14 562GND 14 638GND 14 50GND 14 126GND15 819GND 15 15 307GND 15 15 563GND 15 15 51GND 1516 819 16 894GND 16 307 16 382GND 16 563 16 638GND 16 51 16 126GND17 819GND 17 894 17 307GND 17 382 17 563GND 17 638 17 51GND 17 12618 18 894GND 18 18 382GND 18 18 638GND 18 18 126GND19 819GND 19 893GND 19 307GND 19 381GND 19 563GND 19 637GND 19 51GND 19 125GND20 820GND 20 20 308GND 20 20 564GND 20 20 52GND 2021 820 21 893GND 21 308 21 381GND 21 564 21 637GND 21 52 21 125GND22 820GND 22 893 22 308GND 22 381 22 564GND 22 637 22 52GND 22 12523 23 893GND 23 23 381GND 23 23 637GND 23 23 125GND24 820GND 24 892GND 24 308GND 24 380GND 24 564GND 24 636GND 24 52GND 24 124GND25 821GND 25 25 309GND 25 25 565GND 25 25 53GND 2526 821 26 892GND 26 309 26 380GND 26 565 26 636GND 26 53 26 124GND27 821GND 27 892 27 309GND 27 380 27 565GND 27 636 27 53GND 27 12428 28 892GND 28 28 380GND 28 28 636GND 28 28 124GND29 821GND 29 891GND 29 309GND 29 379GND 29 565GND 29 635GND 29 53GND 29 123GND30 822GND 30 30 310GND 30 30 566GND 30 30 54GND 3031 822 31 891GND 31 310 31 379GND 31 566 31 635GND 31 54 31 123GND32 822GND 32 891 32 310GND 32 379 32 566GND 32 635 32 54GND 32 12333 33 891GND 33 33 379GND 33 33 635GND 33 33 123GND34 822GND 34 890GND 34 310GND 34 378GND 34 566GND 34 634GND 34 54GND 34 122GND35 823GND 35 35 311GND 35 35 567GND 35 35 55GND 3536 823 36 890GND 36 311 36 378GND 36 567 36 634GND 36 55 36 122GND37 823GND 37 890 37 311GND 37 378 37 567GND 37 634 37 55GND 37 12238 38 890GND 38 38 378GND 38 38 634GND 38 38 122GND39 823GND 39 889GND 39 311GND 39 377GND 39 567GND 39 633GND 39 55GND 39 121GND40 824GND 40 40 312GND 40 40 568GND 40 40 56GND 4041 824 41 889GND 41 312 41 377GND 41 568 41 633GND 41 56 41 121GND42 824GND 42 889 42 312GND 42 377 42 568GND 42 633 42 56GND 42 12143 43 889GND 43 43 377GND 43 43 633GND 43 43 121GND44 824GND 44 L384 44 312GND 44 DP9-G 44 568GND 44 L128 44 56GND 44 PFB445 L305 45 L383 45 DP13-G 45 DP9-D 45 L49 45 L127 45 CW4 45 PFB546 L306 46 L382 46 DP13-D 46 DP9-S 46 L50 46 L126 46 CW5 46 PFB647 L307 47 L381 47 DP13-S 47 DP9-F 47 L51 47 L125 47 CW6 47 PFB748 L308 48 L380 48 DP13-F 48 DP9-F 48 L52 48 L124 48 CW7 48 UCM349 L309 49 L379 49 DP13-F 49 DP9-G 49 L53 49 L123 49 UC26 49 UCM450 L310 50 L378 50 DP13-G 50 UDC7GUD 50 L54 50 L122 50 UC27 5051 L311 51 L377 51 UDC7GND 51 UDC7S 51 L55 51 L121 51 VD2XPG 5152 L312 52 52 UDC7F 52 UDC7GUD 52 L56 52 52 VD2XP 5253 53 53 UDC7GND 53 SMP4G 53 53 53 VD2XPG 53 VD2APG54 54 54 ACAL4G 54 SMP4 54 54 54 VD2ANG 54 VD2AP55 55 RSV53 55 ACAL4 55 SMP4G 55 55 RSV55 55 VD2AN 55 VD2APG56 56 RSV54 56 ACAL4G 56 CPS9 56 56 RSV56 56 VD2ANG 56 CPS13

A3-1501.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT57-60[15/16]

J57 J58 J59 J60

A B A B A B A B1 GND 1 VOS4SG 1 GND 1 HS21G 1 GND 1 VIMA4G 1 GND 1 VRH4FG2 VOS4FG 2 VOS4S 2 HS22G 2 HS21 2 VIMB4G 2 VIMA4 2 VRH4SG 2 VRH4F3 VOS4F 3 VOS4SG 3 HS22 3 HS21G 3 VIMB4 3 VIMA4G 3 VRH4S 3 VRH4FG4 VOS4FG 4 1016GND 4 HS22G 4 504GND 4 VIMB4G 4 760GND 4 VRH4SG 4 248GND5 953GND 5 5 441GND 5 5 697GND 5 5 185GND 56 953 6 1016GND 6 441 6 504GND 6 697 6 760GND 6 185 6 248GND7 953GND 7 1016 7 441GND 7 504 7 697GND 7 760 7 185GND 7 2488 8 1016GND 8 8 504GND 8 8 760GND 8 8 248GND9 953GND 9 1015GND 9 441GND 9 503GND 9 697GND 9 759GND 9 185GND 9 247GND

10 954GND 10 10 442GND 10 10 698GND 10 10 186GND 1011 954 11 1015GND 11 442 11 503GND 11 698 11 759GND 11 186 11 247GND12 954GND 12 1015 12 442GND 12 503 12 698GND 12 759 12 186GND 12 24713 13 1015GND 13 13 503GND 13 13 759GND 13 13 247GND14 954GND 14 1014GND 14 442GND 14 502GND 14 698GND 14 758GND 14 186GND 14 246GND15 955GND 15 15 443GND 15 15 699GND 15 15 187GND 1516 955 16 1014GND 16 443 16 502GND 16 699 16 758GND 16 187 16 246GND17 955GND 17 1014 17 443GND 17 502 17 699GND 17 758 17 187GND 17 24618 18 1014GND 18 18 502GND 18 18 758GND 18 18 246GND19 955GND 19 1013GND 19 443GND 19 501GND 19 699GND 19 757GND 19 187GND 19 245GND20 956GND 20 20 444GND 20 20 700GND 20 20 188GND 2021 956 21 1013GND 21 444 21 501GND 21 700 21 757GND 21 188 21 245GND22 956GND 22 1013 22 444GND 22 501 22 700GND 22 757 22 188GND 22 24523 23 1013GND 23 23 501GND 23 23 757GND 23 23 245GND24 956GND 24 1012GND 24 444GND 24 500GND 24 700GND 24 756GND 24 188GND 24 244GND25 957GND 25 25 445GND 25 25 701GND 25 25 189GND 2526 957 26 1012GND 26 445 26 500GND 26 701 26 756GND 26 189 26 244GND27 957GND 27 1012 27 445GND 27 500 27 701GND 27 756 27 189GND 27 24428 28 1012GND 28 28 500GND 28 28 756GND 28 28 244GND29 957GND 29 1011GND 29 445GND 29 499GND 29 701GND 29 755GND 29 189GND 29 243GND30 958GND 30 30 446GND 30 30 702GND 30 30 190GND 3031 958 31 1011GND 31 446 31 499GND 31 702 31 755GND 31 190 31 243GND32 958GND 32 1011 32 446GND 32 499 32 702GND 32 755 32 190GND 32 24333 33 1011GND 33 33 499GND 33 33 755GND 33 33 243GND34 958GND 34 1010GND 34 446GND 34 498GND 34 702GND 34 754GND 34 190GND 34 242GND35 959GND 35 35 447GND 35 35 703GND 35 35 191GND 3536 959 36 1010GND 36 447 36 498GND 36 703 36 754GND 36 191 36 242GND37 959GND 37 1010 37 447GND 37 498 37 703GND 37 754 37 191GND 37 24238 38 1010GND 38 38 498GND 38 38 754GND 38 38 242GND39 959GND 39 1009GND 39 447GND 39 497GND 39 703GND 39 753GND 39 191GND 39 241GND40 960GND 40 40 448GND 40 40 704GND 40 40 192GND 4041 960 41 1009GND 41 448 41 497GND 41 704 41 753GND 41 192 41 241GND42 960GND 42 1009 42 448GND 42 497 42 704GND 42 753 42 192GND 42 24143 43 1009GND 43 43 497GND 43 43 753GND 43 43 241GND44 960GND 44 L504 44 448GND 44 DP17-G 44 704GND 44 L248 44 192GND 44 PFB845 L441 45 L503 45 DP21-G 45 DP17-D 45 L185 45 L247 45 CW8 45 PFB946 L442 46 L502 46 DP21-D 46 DP17-S 46 L186 46 L246 46 CW9 46 PFB1047 L443 47 L501 47 DP21-S 47 DP17-F 47 L187 47 L245 47 CW10 47 PFB1148 L444 48 L500 48 DP21-F 48 DP17-F 48 L188 48 L244 48 CW11 48 UPCA49 L445 49 L499 49 DP21-F 49 DP17-G 49 L189 49 L243 49 UC28 49 UPCB50 L446 50 L498 50 DP21-G 50 RFR3G 50 L190 50 L242 50 UC29 5051 L447 51 L497 51 RFR4G 51 RFR3 51 L191 51 L241 51 VFG2XG 5152 L448 52 52 RFR4 52 RFR3G 52 L192 52 52 VFG2X 5253 53 53 RFR4G 53 VD2BPG 53 53 53 VFG2XG 53 VFG2AG54 54 54 VD2BNG 54 VD2BP 54 54 54 VFG2BG 54 VFG2A55 55 RSV57 55 VD2BN 55 VD2BPG 55 55 RSV59 55 VFG2B 55 VFG2AG56 56 RSV58 56 VD2BNG 56 CPS17 56 56 RSV60 56 VFG2BG 56 CPS21

A3-16 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 3. 1024 chパフォーマンス・ボード配線

• CTD TH(1024 ch)パフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT61-64[16/16]

J61 J62 J63 J64

A B A B A B A B1 GND 1 VSB4G 1 GND 1 HS23G 1 GND 1 VI4G 1 GND 1 EXCK1G2 VIM4G 2 VSB4 2 HS24G 2 HS23 2 2 VI4 2 EXCK2G 2 EXCK13 VIM4 3 VSB4G 3 HS24 3 HS23G 3 3 VI4G 3 EXCK2 3 EXCK1G4 VIM4G 4 888GND 4 HS24G 4 376GND 4 4 632GND 4 EXCK2G 4 120GND5 825GND 5 5 313GND 5 5 569GND 5 5 57GND 56 825 6 888GND 6 313 6 376GND 6 569 6 632GND 6 57 6 120GND7 825GND 7 888 7 313GND 7 376 7 569GND 7 632 7 57GND 7 1208 8 888GND 8 8 376GND 8 8 632GND 8 8 120GND9 825GND 9 887GND 9 313GND 9 375GND 9 569GND 9 631GND 9 57GND 9 119GND

10 826GND 10 10 314GND 10 10 570GND 10 10 58GND 1011 826 11 887GND 11 314 11 375GND 11 570 11 631GND 11 58 11 119GND12 826GND 12 887 12 314GND 12 375 12 570GND 12 631 12 58GND 12 11913 13 887GND 13 13 375GND 13 13 631GND 13 13 119GND14 826GND 14 886GND 14 314GND 14 374GND 14 570GND 14 630GND 14 58GND 14 118GND15 827GND 15 15 315GND 15 15 571GND 15 15 59GND 1516 827 16 886GND 16 315 16 374GND 16 571 16 630GND 16 59 16 118GND17 827GND 17 886 17 315GND 17 374 17 571GND 17 630 17 59GND 17 11818 18 886GND 18 18 374GND 18 18 630GND 18 18 118GND19 827GND 19 885GND 19 315GND 19 373GND 19 571GND 19 629GND 19 59GND 19 117GND20 828GND 20 20 316GND 20 20 572GND 20 20 60GND 2021 828 21 885GND 21 316 21 373GND 21 572 21 629GND 21 60 21 117GND22 828GND 22 885 22 316GND 22 373 22 572GND 22 629 22 60GND 22 11723 23 885GND 23 23 373GND 23 23 629GND 23 23 117GND24 828GND 24 884GND 24 316GND 24 372GND 24 572GND 24 628GND 24 60GND 24 116GND25 829GND 25 25 317GND 25 25 573GND 25 25 61GND 2526 829 26 884GND 26 317 26 372GND 26 573 26 628GND 26 61 26 116GND27 829GND 27 884 27 317GND 27 372 27 573GND 27 628 27 61GND 27 11628 28 884GND 28 28 372GND 28 28 628GND 28 28 116GND29 829GND 29 883GND 29 317GND 29 371GND 29 573GND 29 627GND 29 61GND 29 115GND30 830GND 30 30 318GND 30 30 574GND 30 30 62GND 3031 830 31 883GND 31 318 31 371GND 31 574 31 627GND 31 62 31 115GND32 830GND 32 883 32 318GND 32 371 32 574GND 32 627 32 62GND 32 11533 33 883GND 33 33 371GND 33 33 627GND 33 33 115GND34 830GND 34 882GND 34 318GND 34 370GND 34 574GND 34 626GND 34 62GND 34 114GND35 831GND 35 35 319GND 35 35 575GND 35 35 63GND 3536 831 36 882GND 36 319 36 370GND 36 575 36 626GND 36 63 36 114GND37 831GND 37 882 37 319GND 37 370 37 575GND 37 626 37 63GND 37 11438 38 882GND 38 38 370GND 38 38 626GND 38 38 114GND39 831GND 39 881GND 39 319GND 39 369GND 39 575GND 39 625GND 39 63GND 39 113GND40 832GND 40 40 320GND 40 40 576GND 40 40 64GND 4041 832 41 881GND 41 320 41 369GND 41 576 41 625GND 41 64 41 113GND42 832GND 42 881 42 320GND 42 369 42 576GND 42 625 42 64GND 42 11343 43 881GND 43 43 369GND 43 43 625GND 43 43 113GND44 832GND 44 L376 44 320GND 44 DP25-G 44 576GND 44 L120 44 64GND 44 PFB1245 L313 45 L375 45 DP29-G 45 DP25-D 45 L57 45 L119 45 CW12 45 PFB1346 L314 46 L374 46 DP29-D 46 DP25-S 46 L58 46 L118 46 CW13 46 PFB1447 L315 47 L373 47 DP29-S 47 DP25-F 47 L59 47 L117 47 CW14 47 PFB1548 L316 48 L372 48 DP29-F 48 DP25-F 48 L60 48 L116 48 CW15 48 PBS49 L317 49 L371 49 DP29-F 49 DP25-G 49 L61 49 L115 49 UC30 49 AIRG450 L318 50 L370 50 DP29-G 50 UDC3GUD 50 L62 50 L114 50 UC31 50 EVO3G51 L319 51 L369 51 UDC3GND 51 UDC3S 51 L63 51 L113 51 EVO4G 51 EVO352 L320 52 52 UDC3F 52 UDC3GUD 52 L64 52 52 EVO4 52 EVO3G53 53 53 UDC3GND 53 AFG4PG 53 53 53 EVO4G 53 AFDCKG54 54 54 AFG4NG 54 AFG4P 54 54 54 CLKOG 54 AFDCK55 55 RSV61 55 AFG4N 55 AFG4PG 55 55 RSV63 55 CLKO 55 AFDCKG56 56 RSV62 56 AFG4NG 56 CPS25 56 56 RSV64 56 CLKOG 56 CPS29

A3-1701.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)

付録 4. HIFIX配置

A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)

(1) 512ch HIFIX配置

A4-101.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)

(2) 512 ch HIFIX信号名称表

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

31

32

1-4

257-260

129-132

385-388

5-8

261-264

133-136

389-392

9-12

265-268

137-140

393-396

13-16

269-272

141-144

397-400

17-20

273-276

145-148

401-404

21-24

277-280

149-152

405-408

25-28

281-284

153-156

409-412

29-32

285-288

157-160

413-416

65-68

321-324

193-196

449-452

69-72

325-328

197-200

453-456

73-76

329-332

201-204

457-460

77-80

333-336

205-208

461-464

81-84

337-340

209-212

465-468

85-88

341-344

213-216

469-472

89-92

345-348

217-220

473-476

93-96

349-352

221-224

477-480

1-4

257-260

129-132

385-388

5-8

261-264

133-136

389-392

9-12

265-268

137-140

393-396

13-16

269-272

141-144

397-400

17-20

273-276

145-148

401-404

21-24

277-280

149-152

405-408

25-28

281-284

153-156

409-412

29-32

285-288

157-160

413-416

65-68

321-324

193-196

449-452

69-72

325-328

197-200

453-456

73-76

329-332

201-204

457-460

77-80

333-336

205-208

461-464

81-84

337-340

209-212

465-468

85-88

341-344

213-216

469-472

89-92

345-348

217-220

473-476

93-96

349-352

221-224

477-480

(DUTSYS)

(CPS10)

CW2

VRH4F

CW7

CW36

VRH4S

CW41

AFG2N

CW46

CW47

AFD2P

MTX2

SMPL2

AFG2PG

VOFF2

CW10

(CPS12)

CW15

DIAG0

AFG3P

PFB1

AFD3P

PFB6

DUTCLK

PFB11

(DCAPSTA)

CPS27

SMPL3

(DUTG)

(CPS9)

CW1

VRH4FG

CW6

CW35

VRH4SG

CW40

AFG2NG

CW45

DCT4

AFD2PG

MTX2G

SMPL2G

CPS32

VOFF2G

CW9

(CPS11)

CW14

DIAG1

AFG3PG

PFB0

AFD3PG

PFB5

DUTCLKG

PFB10

(DCAPSTAG)

PFB15

SMPL3G

0V

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

PBRLVCC

PBP15V

PBM15V

AFD2N

0V

SMPL2O

0V

PBRLVCC

CPS31

PBVCC

PBVEE

AFG3N

PBRLVCC

AFD3N

PBP15V

DUTEV1

PBM15V

DUTEV3

0V

SMPL3O

CW0

(PS9G)

CW3

(PS10G)

CW32

VRL2G

CW37

AFG2PG

CW42

0V

DCT1

0V

AFD2NG

MTX3G

SMPL2OG

CW8

VRH2G

CW11

(PS11G)

0V

CPS28

0V

AFG3NG

PFB2

AFD3NG

PFB7

DUTEV1G

PFB12

DUTEV3G

CLD1

SMPL3OG

CPS1

(PS9S)

CW5

(PS10S)

CW33

VRL2F

CW38

AFG2P

CW43

0V

DCT2

0V

MTX1

MTX3

SMPLTRG

CPS2

VRH2F

CW13

(PS11S)

0V

VOFF3

0V

VRH3F

PFB4

VRH3S

PFB9

DUTEV2

PFB14

DUTEV4

CLD3

AFDCLK

CPS5

(PS9F)

CW4

(PS10F)

CW34

VRL2S

CW39

CW44

0V

DCT3

0V

MTX1G

SMPLTRGG

CPS6

VRH2S

CW12

(PS11F)

0V

VOFF3G

0V

VRH3FG

PFB3

VRH3SG

PFB8

DUTEV2G

PFB13

DUTEV4G

CLD2

AFDCLKG

S S S S

G G G G

S S S S

G G G G

L L L L

L L L L

DU

S

PU

AU

S

DU

G

AU

G

AU

F

1 2 3 4

1 2 3 4

65 66 67 68

65 66 67 68 1 3

65 67

2 4 66 68

Insi

de

A4-2 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.1 512 ch HIFIX(H7-1030)

(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。

(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43

44

45

46

47

48

49

50

51

52

53

54

55

56

57

58

59

60

61

62

63

64

33-36

289-292

161-164

417-420

37-40

293-296

165-168

421-424

41-44

297-300

169-172

425-428

45-48

301-304

173-176

429-432

49-52

305-308

177-180

433-436

53-56

309-312

181-184

437-440

57-60

313-316

185-188

441-444

61-64

317-320

189-192

445-448

97-100

353-356

225-228

481-484

101-104

357-360

229-232

485-488

105-108

361-364

233-236

489-492

109-112

365-368

237-240

493-496

113-116

369-372

241-244

497-500

117-120

373-376

245-248

501-504

121-124

377-380

249-252

505-508

125-128

381-384

253-256

509-512

33-36

289-292

161-164

417-420

37-40

293-296

165-168

421-424

41-44

297-300

169-172

425-428

45-48

301-304

173-176

429-432

49-52

305-308

177-180

433-436

53-56

309-312

181-184

437-440

57-60

313-316

185-188

441-444

61-64

317-320

189-192

445-448

97-100

353-356

225-228

481-484

101-104

357-360

229-232

485-488

105-108

361-364

233-236

489-492

109-112

365-368

237-240

493-496

113-116

369-372

241-244

497-500

117-120

373-376

245-248

501-504

121-124

377-380

249-252

505-508

125-128

381-384

253-256

509-512

EXTEV1

CW18

MTX4

CW23

MTX5

MTX8

MTX10

MTX13

AFD1P

SMPL1

AFG1PG

VOFF1

EXTCLK1

CW26

CW31

CW52

(CPS14)

CW57

(CPS16)

CW62

CW63

HGND

VOFF4

SMPL4

EXTEV1G

CW17

MTX4G

CW22

MTX5G

MTX8G

MTX10G

MTX13G

AFD1PG

SMPL1G

VOFF1G

EXTCLK1G

CPS30

CW25

CW30

CW51

(CPS13)

CW56

(CPS15)

CW61

CPS26

HGNDG

VOFF4G

CPS25

SMPL4G

0V

EXTEV2

PBRLVCC

PBVCC

MTX6

PBVEE

MTX11

PBRLVCC

AFD1N

PBP15V

SMPL1O

PBM15V

MTX16

0V

0V

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

CPS29

PBRLVCC

PBP15V

AFD4P

PBM15V

AFD4P

0V

SMPL4O

CW16

EXTEV2G

CW19

MTX6G

MTX9G

MTX11G

MTX14G

AFD1NG

0V

SMPL1OG

0V

MTX16G

VRL1G

AFG1PG

CW24

VRH1G

CW27

(PS12G)

(PS13G)

CW48

(PS14G)

CW53

(PS15G)

CW58

0V

AFD4PG

0V

AFG4PG

(PS16G)

SMPL4OG

CPS3

EXTCLK2

CW21

MTX7

MTX9

MTX12

MTX14

MTX15

0V

SMPLDIAG

0V

AFG1N

VRL1F

AFG1P

CPS4

VRH1F

CW29

(PS12S)

(PS13S)

CW49

(PS14S)

CW54

(PS15S)

CW59

0V

AFD4N

0V

AFG4N

(PS16S)

SMPLCLK

CPS7

EXTCLK2G

CW20

MTX7G

MTX12G

MTX15G

0V

SMPLDIAGG

0V

AFG1NG

VRL1S

CPS8

VRH1S

CW28

(PS12F)

(PS13F)

CW50

(PS14F)

CW55

(PS15F)

CW60

0V

AFD4NG

0V

AFG4NG

(PS16F)

SMPLCLKG

A4-301.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)

A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)

(1) 384 ch HIFIX配置

A4-4 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)

(2) 384 ch HIFIX信号名称表

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

31

32

1-4

257-260

129-132

5-8

261-264

133-136

9-12

265-268

137-140

13-16

269-272

141-144

17-20

273-276

145-148

21-24

277-280

149-152

25-28

281-284

153-156

29-32

285-288

157-160

65-68

321-324

193-196

69-72

325-328

197-200

73-76

329-332

201-204

77-80

333-336

205-208

81-84

337-340

209-212

85-88

341-344

213-216

89-92

345-348

217-220

93-96

349-352

221-224

1-4

257-260

129-132

385-388

5-8

261-264

133-136

389-392

9-12

265-268

137-140

393-396

13-16

269-272

141-144

397-400

17-20

273-276

145-148

401-404

21-24

277-280

149-152

405-408

25-28

281-284

153-156

409-412

29-32

285-288

157-160

413-416

65-68

321-324

193-196

449-452

69-72

325-328

197-200

453-456

73-76

329-332

201-204

457-460

77-80

333-336

205-208

461-464

81-84

337-340

209-212

465-468

85-88

341-344

213-216

469-472

89-92

345-348

217-220

473-476

93-96

349-352

221-224

477-480

(DUTSYS)

(CPS10)

CW2

VRH4F

CW7

CW36

VRH4S

CW41

AFG2N

CW46

CW47

AFD2P

MTX2

SMPL2

AFG2PG

VOFF2

CW10

(CPS12)

CW15

DIAG0

AFG3P

PFB1

AFD3P

PFB6

DUTCLK

PFB11

(DCAPSTA)

CPS27

SMPL3

(DUTG)

(CPS9)

CW1

VRH4FG

CW6

CW35

VRH4SG

CW40

AFG2NG

CW45

DCT4

AFD2PG

MTX2G

SMPL2G

CPS32

VOFF2G

CW9

(CPS11)

CW14

DIAG1

AFG3PG

PFB0

AFD3PG

PFB5

DUTCLKG

PFB10

(DCAPSTAG)

PFB15

SMPL3G

0V

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

PBRLVCC

PBP15V

PBM15V

AFD2N

0V

SMPL2O

0V

PBRLVCC

CPS31

PBVCC

PBVEE

AFG3N

PBRLVCC

AFD3N

PBP15V

DUTEV1

PBM15V

DUTEV3

0V

SMPL3O

CW0

(PS9G)

CW3

(PS10G)

CW32

VRL2G

CW37

AFG2PG

CW42

0V

DCT1

0V

AFD2NG

MTX3G

SMPL2OG

CW8

VRH2G

CW11

(PS11G)

0V

CPS28

0V

AFG3NG

PFB2

AFD3NG

PFB7

DUTEV1G

PFB12

DUTEV3G

CLD1

SMPL3OG

CPS1

(PS9S)

CW5

(PS10S)

CW33

VRL2F

CW38

AFG2P

CW43

0V

DCT2

0V

MTX1

MTX3

SMPLTRG

CPS2

VRH2F

CW13

(PS11S)

0V

VOFF3

0V

VRH3F

PFB4

VRH3S

PFB9

DUTEV2

PFB14

DUTEV4

CLD3

AFDCLK

CPS5

(PS9F)

CW4

(PS10F)

CW34

VRL2S

CW39

CW44

0V

DCT3

0V

MTX1G

SMPLTRGG

CPS6

VRH2S

CW12

(PS11F)

0V

VOFF3G

0V

VRH3FG

PFB3

VRH3SG

PFB8

DUTEV2G

PFB13

DUTEV4G

CLD2

AFDCLKG

S S S S

G G G G

S S S S

G G G G

L L L L

L L L L

DU

S

PU

AU

S

DU

G

AU

G

AU

F

1 2 3 4

1 2 3 4

65 66 67 68

65 66 67 68 1 3

65 67

2 4 66 68

Insi

de

        追加Mixedオプション一覧参照

A4-501.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)

(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。

(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43

44

45

46

47

48

49

50

51

52

53

54

55

56

57

58

59

60

61

62

63

64

33-36

289-292

161-164

37-40

293-296

165-168

41-44

297-300

169-172

45-48

301-304

173-176

49-52

305-308

177-180

53-56

309-312

181-184

57-60

313-316

185-188

61-64

317-320

189-192

97-100

353-356

225-228

101-104

357-360

229-232

105-108

361-364

233-236

109-112

365-368

237-240

113-116

369-372

241-244

117-120

373-376

245-248

121-124

377-380

249-252

125-128

381-384

253-256

33-36

289-292

161-164

417-420

37-40

293-296

165-168

421-424

41-44

297-300

169-172

425-428

45-48

301-304

173-176

429-432

49-52

305-308

177-180

433-436

53-56

309-312

181-184

437-440

57-60

313-316

185-188

441-444

61-64

317-320

189-192

445-448

97-100

353-356

225-228

481-484

101-104

357-360

229-232

485-488

105-108

361-364

233-236

489-492

109-112

365-368

237-240

493-496

113-116

369-372

241-244

497-500

117-120

373-376

245-248

501-504

121-124

377-380

249-252

505-508

125-128

381-384

253-256

509-512

EXTEV1

CW18

MTX4

CW23

MTX5

MTX8

MTX10

MTX13

AFD1P

SMPL1

AFG1PG

VOFF1

EXTCLK1

CW26

CW31

CW52

(CPS14)

CW57

(CPS16)

CW62

CW63

HGND

VOFF4

SMPL4

EXTEV1G

CW17

MTX4G

CW22

MTX5G

MTX8G

MTX10G

MTX13G

AFD1PG

SMPL1G

VOFF1G

EXTCLK1G

CPS30

CW25

CW30

CW51

(CPS13)

CW56

(CPS15)

CW61

CPS26

HGNDG

VOFF4G

CPS25

SMPL4G

0V

EXTEV2

PBRLVCC

PBVCC

MTX6

PBVEE

MTX11

PBRLVCC

AFD1N

PBP15V

SMPL1O

PBM15V

MTX16

0V

0V

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

CPS29

PBRLVCC

PBP15V

AFD4P

PBM15V

AFD4P

0V

SMPL4O

CW16

EXTEV2G

CW19

MTX6G

MTX9G

MTX11G

MTX14G

AFD1NG

0V

SMPL1OG

0V

MTX16G

VRL1G

AFG1PG

CW24

VRH1G

CW27

(PS12G)

(PS13G)

CW48

(PS14G)

CW53

(PS15G)

CW58

0V

AFD4PG

0V

AFG4PG

(PS16G)

SMPL4OG

CPS3

EXTCLK2

CW21

MTX7

MTX9

MTX12

MTX14

MTX15

0V

SMPLDIAG

0V

AFG1N

VRL1F

AFG1P

CPS4

VRH1F

CW29

(PS12S)

(PS13S)

CW49

(PS14S)

CW54

(PS15S)

CW59

0V

AFD4N

0V

AFG4N

(PS16S)

SMPLCLK

CPS7

EXTCLK2G

CW20

MTX7G

MTX12G

MTX15G

0V

SMPLDIAGG

0V

AFG1NG

VRL1S

CPS8

VRH1S

CW28

(PS12F)

(PS13F)

CW50

(PS14F)

CW55

(PS15F)

CW60

0V

AFD4NG

0V

AFG4NG

(PS16F)

SMPLCLKG

        追加Mixedオプション一覧参照

A4-6 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.2 384 ch HIFIX(H7-1031)

(3) 384 ch HIFIX追加Mixedオプション信号名称表

SLOTNo.

D1SD1G

D2SD2G

D3SD3G

D4SD4G

D5SD5G

D6SD6G

D7SD7G

D8SD8G

4 VFD1BNVFD1BNG

VFG1AVFG1AG

VFG1BVFG1BG

VFG1XVFG1XG

8 AFE1RPAFE1RPG

AFE1RNAFE1RNG

AFECALAFECALG

AFE1FLAFE1FLG

12 VFD1ANVFD1ANG

VFD1APVFD1APG

VFD1BPVFD1BPG

VFD1XPVFD1XPG

16 AFE1LPAFE1LPG

AFE1LNAFE1LNG

AFE1NTAFE1NTG

20 VFD2BNVFD2BNG

VFG2AVFG2AG

VFG2BVFG2BG

VFG2XVFD2XG

24 AFE2RPAFE2RPG

AFE2RNAFE2RNG

AFE2FLAFE2FLG

28 VFD2ANVFD2ANG

VFD2APVFD2APG

VFD2BPVFD2BPG

VFD2XPVFD2XPG

32 AFE2LPAFE2LPG

AFE2LNAFE2LNG

AFE2NTAFE2NTG

36 SGCALSGCALG

SG1ASG1AG

SG1BSG1BG

SG1XSG1XG

40

44

48

52 SG2ASG2AG

SG2BSG2BG

SG2XSG2XG

56

60

64

L L L L

L L L L

DU

S

PU

AU

S

DU

G

AU

G

AU

F

D1G

D2G

D3G

D4G

D1S

D2S

D3S

D4S

D5G

D6G

D7G

D8G

D5S

D6S

D7S

D8S

385

387

449

451

386

388

450

452

Insi

de

A4-701.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)

A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)

(1) 512 ch+AV HIFIX配置、512 ch+AV2 HIFIX配置

A4-8 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)

(2) 512 ch+AV HIFIX, 512 ch+AV2 HIFIX信号名称表

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

31

32

1-4

257-260

129-132

385-388

5-8

261-264

133-136

389-392

9-12

265-268

137-140

393-396

13-16

269-272

141-144

397-400

17-20

273-276

145-148

401-404

21-24

277-280

149-152

405-408

25-28

281-284

153-156

409-412

29-32

285-288

157-160

413-416

65-68

321-324

193-196

449-452

69-72

325-328

197-200

453-456

73-76

329-332

201-204

457-460

77-80

333-336

205-208

461-464

81-84

337-340

209-212

465-468

85-88

341-344

213-216

469-472

89-92

345-348

217-220

473-476

93-96

349-352

221-224

477-480

1-4

257-260

129-132

385-388

5-8

261-264

133-136

389-392

9-12

265-268

137-140

393-396

13-16

269-272

141-144

397-400

65-68

321-324

193-196

449-452

69-72

325-328

197-200

453-456

73-76

329-332

201-204

457-460

77-80

333-336

205-208

461-464

(DUTSYS)

(CPS10)

CW2

VRH4F

CW7

CW36

VRH4S

CW41

AFG2N

CW46

CW47

AFD2P

MTX2

SMPL2

AFG2PG

VOFF2

CW10

(CPS12)

CW15

DIAG0

AFG3P

PFB1

AFD3P

PFB6

DUTCLK

PFB11

(DCAPSTA)

CPS27

SMPL3

(DUTG)

(CPS9)

CW1

VRH4FG

CW6

CW35

VRH4SG

CW40

AFG2NG

CW45

DCT4

AFD2PG

MTX2G

SMPL2G

CPS32

VOFF2G

CW9

(CPS11)

CW14

DIAG1

AFG3PG

PFB0

AFD3PG

PFB5

DUTCLKG

PFB10

(DCAPSTAG)

PFB15

SMPL3G

(PBS512)

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

PBRLVCC

PBP15V

PBM15V

AFD2N

0V

SMPL2O

0V

PBRLVCC

CPS31

PBVCC

PBVEE

AFG3N

PBRLVCC

AFD3N

PBP15V

DUTEV1

PBM15V

DUTEV3

0V

SMPL3O

CW0

(PS9G)

CW3

(PS10G)

CW32

VRL2G

CW37

AFG2PG

CW42

0V

DCT1

0V

AFD2NG

MTX3G

SMPL2OG

CW8

VRH2G

CW11

(PS11G)

0V

CPS28

0V

AFG3NG

PFB2

AFD3NG

PFB7

DUTEV1G

PFB12

DUTEV3G

CLD1

SMPL3OG

CPS1

(PS9S)

CW5

(PS10S)

CW33

VRL2F

CW38

AFG2P

CW43

0V

DCT2

0V

MTX1

MTX3

SMPLTRG

CPS2

VRH2F

CW13

(PS11S)

0V

VOFF3

0V

VRH3F

PFB4

VRH3S

PFB9

DUTEV2

PFB14

DUTEV4

CLD3

AFDCLK

CPS5

(PS9F)

CW4

(PS10F)

CW34

VRL2S

CW39

CW44

0V

DCT3

0V

MTX1G

PBS512M

SMPLTRGG

CPS6

VRH2S

CW12

(PS11F)

0V

VOFF3G

0V

VRH3FG

PFB3

VRH3SG

PFB8

DUTEV2G

PFB13

DUTEV4G

CLD2

AFDCLKG

        追加Mixedオプション一覧参照

S S S S

G G G G

S S S S

G G G G

L L L L

L L L L

DU

S

PU

AU

S

DU

G

AU

G

AU

F

1 2 3 4

1 2 3 4

65 66 67 68

65 66 67 68 1 3

65 67

2 4 66 68

Insi

de

A4-901.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)

(注 1) 本図はメンテナンス図面であり、パフォーマンス・ボードの配線などは、該当のマニュアルを参照して下さい。

(注 2) ( )付の信号は、配線されていません。

SLOT

No.S.G. S.G. L L DUS DUG PU AUG AUS AUF

33

34

35

36

37

38

39

40

41

42

43

44

45

46

47

48

49

50

51

52

53

54

55

56

57

58

59

60

61

62

63

64

33-36

289-292

161-164

417-420

37-40

293-296

165-168

421-424

41-44

297-300

169-172

425-428

45-48

301-304

173-176

429-432

49-52

305-308

177-180

433-436

53-56

309-312

181-184

437-440

57-60

313-316

185-188

441-444

61-64

317-320

189-192

445-448

97-100

353-356

225-228

481-484

101-104

357-360

229-232

485-488

105-108

361-364

233-236

489-492

109-112

365-368

237-240

493-496

113-116

369-372

241-244

497-500

117-120

373-376

245-248

501-504

121-124

377-380

249-252

505-508

125-128

381-384

253-256

509-512

33-36

289-292

161-164

417-420

37-40

293-296

165-168

421-424

41-44

297-300

169-172

425-428

45-48

301-304

173-176

429-432

97-100

353-356

225-228

481-484

101-104

357-360

229-232

485-488

105-108

361-364

233-236

489-492

109-112

365-368

237-240

493-496

EXTEV1

CW18

MTX4

CW23

MTX5

MTX8

MTX10

MTX13

AFD1P

SMPL1

AFG1PG

VOFF1

EXTCLK1

CW26

CW31

CW52

(CPS14)

CW57

(CPS16)

CW62

CW63

HGND

VOFF4

SMPL4

EXTEV1G

CW17

MTX4G

CW22

MTX5G

MTX8G

MTX10G

MTX13G

AFD1PG

SMPL1G

VOFF1G

EXTCLK1G

CPS30

CW25

CW30

CW51

(CPS13)

CW56

(CPS15)

CW61

CPS26

HGNDG

VOFF4G

CPS25

SMPL4G

0V

EXTEV2

PBRLVCC

PBVCC

MTX6

PBVEE

MTX11

PBRLVCC

AFD1N

PBP15V

SMPL1O

PBM15V

MTX16

0V

0V

PBRLVCC

PBVCC

PBVEE

CPS29

PBRLVCC

PBP15V

AFD4P

PBM15V

AFD4P

0V

SMPL4O

CW16

EXTEV2G

CW19

MTX6G

MTX9G

MTX11G

MTX14G

AFD1NG

0V

SMPL1OG

0V

MTX16G

VRL1G

AFG1PG

CW24

VRH1G

CW27

(PS12G)

(PS13G)

CW48

(PS14G)

CW53

(PS15G)

CW58

0V

AFD4PG

0V

AFG4PG

(PS16G)

SMPL4OG

CPS3

EXTCLK2

CW21

MTX7

MTX9

MTX12

MTX14

MTX15

0V

SMPLDIAG

0V

AFG1N

VRL1F

AFG1P

CPS4

VRH1F

CW29

(PS12S)

(PS13S)

CW49

(PS14S)

CW54

(PS15S)

CW59

0V

AFD4N

0V

AFG4N

(PS16S)

SMPLCLK

CPS7

EXTCLK2G

CW20

MTX7G

MTX12G

MTX15G

0V

SMPLDIAGG

0V

AFG1NG

VRL1S

CPS8

VRH1S

CW28

(PS12F)

(PS13F)

CW50

(PS14F)

CW55

(PS15F)

CW60

0V

AFD4NG

0V

AFG4NG

(PS16F)

SMPLCLKG

        追加Mixedオプション一覧参照

A4-10 01.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A4.3 512 ch+AV HIFIX(H7-1102), 512 ch+AV2 HIFIX(H7-1105)

(3) 512 ch+AV HIFIX, 512 ch+AV2 HIFIX追加Mixedオプション信号名称表

SLOT

No.A1S A1G A2S A2G A3S A3G A4S A4G

17

18

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

31

32

49

50

51

52

53

54

55

56

57

58

59

60

61

62

63

64

PS32G

TMU1A

TMGT1

PS31G

AFE2RP

SG2A

UDC1G

AFE2LP

RD2BP

RD2AP

PS28G

RFR1

RFG2A

UDC2G

TMU2A

PS27G

PS30G

VFG1A

VFD1AP

UDC3G

VFG2A

VFD2AP

UDC4G

PS29G

AFE1RP

SG1A

AFE1LP

PS26G

RD1BP

RD1AP

RFG1A

PS25G

PS32G

TMU1AG

TMGT1G

PS31G

AFE2RPG

SG2AG

UDC1S

AFE2LPG

RD2BPG

RD2APG

PS28G

RFR1G

RFG2AG

UDC2S

TMU2AG

PS27G

PS30G

VFG1AG

VFD1APG

UDC3S

VFG2AG

VFD2APG

UDC4S

PS29S

AFE1RPG

SG1AG

AFE1LPG

PS26G

RD1BPG

RD1APG

RFG1AG

PS25G

PS32S

TMU1B

TMGT2

PS31S

AFE2RN

SG2B

UDC1F

AFE2LN

RD2BN

RD2AN

PS28S

RFR2

RFG2B

UDC2F

TMU2B

PS27S

PS30S

VFG1B

VFD1AN

UDC3F

VFG2B

VFD2AN

UDC4F

PS29S

AFE1RN

SG1B

AFE1LN

PS26S

RD1BN

RD1AN

RFG1B

PS25S

PS32F

TMU1BG

TMGT2G

PS31F

AFE2RNG

SG2BG

UDC1GU

AFE2LNG

RD2BNG

RD2ANG

PS28F

RFR2G

RFG2BG

UDC2GU

TMU2BG

PS27F

PS30F

VFG1BG

VFD1ANG

UDC3GU

VFG2BG

VFD2ANG

UDC4GU

PS29F

AFE1RNG

SG1BG

AFE1LNG

PS26F

RD1BNG

RD1ANG

RFG1BG

PS25F

PS32F

TMU1X

TMGT3

PS31F

AFE2RPB

SG2X

AFECAL

AFE2LPB

RD2BPX

RD2APX

PS28F

RFR3

RFG2X

RFGTRG

TMU2X

PS27F

PS30F

VFG1X

VFD1BP

VFD1XP

VFG2X

VFD2BP

VFD2XP

PS29F

AFE1RPB

SG1X

AFE1LPB

PS26F

RD1BPX

RD1APX

RFG1X

PS25F

PS32GU

TMU1XG

TMGT3G

PS31GU

AFE2RPBG

SG2XG

AFECALG

AFE2LPBG

RD2BPXG

RD2APXG

PS28GU

RFR3G

RFG2XG

RFGTRGG

TMU2XG

PS27GU

PS30GU

VFG1XG

VFD1BPG

VFD1XPG

VFG2XG

VFD2BPG

VFD2XPG

PS29GU

AFE1RPBG

SG1XG

AFE1LPBG

PS26GU

RD1BPXG

RD1APXG

RFG1XG

PS25GU

AFE1NT

TMGT4

SMPL2B

AFE2RNB

SG2XB

SGCAL

AFE2LNB

RD2BNX

RD2ANX

AFE2FL

RFR4

RFG2XB

RFGCLK

SMPL3B

AFE1FL

VFG1XB

VFD1BN

VFD1XB

VFG2XB

VFD2BN

VFD2XB

SMPL1B

AFE1RNB

SG1XB

AFE1LNB

AFE2NT

RD1BNX

RD1ANX

RFG1XB

SMPL4B

AFE1NTG

TMGT4G

SMPL2BG

AFE2RNBG

SG2XBG

SGCALG

AFE2LNBG

RD2BNXG

RD2ANXG

AFE2FLG

RFR4G

RFG2XBG

RFGCLKG

SMPL3BG

AFE1FLG

VFG1XBG

VFD1BNG

VFD1XBG

VFG2XBG

VFD2BNG

VFD2XBG

SMPL1BG

AFE1RNBG

SG1XBG

AFE1LNBG

AFE2NTG

RD1BNXG

RD1ANXG

RFG1XBG

SMPL4BG

S S S S

G G G G

S S S S

G G G G

DU

S

PU

AU

S

DU

G

AU

G

AU

F

17 18 19 20

17 18 19 20

81 82 83 84

81 82 83 84

A1S

A2S

A3S

A4S

A1G

A2G

A3G

A4G

Insi

de

A4-1101.6.8

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図

付録 5. PB (H7-1106)信号配置図

A5.1 SQUARE HIFIX PB (H7-1106)信号配置図

図 A5-1 SQUARE HIFIX PB信号配置図

(スロット番号:1-220)27 ← 1 220 193R ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ R

(列記号:A-R)→ Q ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ QP ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P・・・・・・・・・・・・・・・・・・

(列記号:A-V) C ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ C↓ B ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ B

A ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ AV U T S - C B A A B C - S T U V

28 ・・・・・・・・ ・・・・・・・・ 192・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・・・・・・・・・ ・・・・・・・・

82 ・・・・・・・・ ・・・・・・・・ 138V U T S - C B A A B C - S T U V

A ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ AB ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ BC ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ C・・・・・・・・・・・・・・・・・・P ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ PQ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ QR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ R83 137

TH正面

A5-101.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

ユニット名 信号名称

Logic Pin ioxx

LOAD Lxx

ACCAL MRLCx MEXxx ACVMx PSRRIx MVRxx MMTXx

AFG/D EXxx VRHx VRLx VOFFx AFGxx AFDxx MTXx EVOx CLKO

HSCLK HSxx

IDDQ IPxx INxx VHxx VLxx VOSxx VIMxx VIxx VSBxx MASK

PAFG/PAFD PAGxx PADxx AF1/2xx

SAMPLER SMPxx

SG SGxx

TMU TMUxx TMCLx GWGxx

VFG/D VFGxx VFDxx

WVFG/D WFGxx WFDxx

A5-2 02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (1)

スロット番号

列記号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14

A MVRH1S UCM1 io1 io5 io9 io13 io17 io21 io25 io29 io33 io37 io41

B MVRH1SG UCM2 io1G io5G io9G io13G io17G io21G io25G io29G io33G io37G io41G

C MVRH1F L1 L17 io2 io6 io10 io14 io18 io22 io26 io30 io34 io38 io42

D MVRH1FG L2 L18 io2G io6G io10G io14G io18G io22G io26G io30G io34G io38G io42G

E MVRL1S L3 L19 io3 io7 io11 io15 io19 io23 io27 io31 io35 io39 io43

F MVRL1SG L4 L20 io3G io7G io11G io15G io19G io23G io27G io31G io35G io39G io43G

G MVRL1F L5 L21 io4 io8 io12 io16 io20 io24 io28 io32 io36 io40 io44

H MVRL1FG L6 L22 io4G io8G io12G io16G io20G io24G io28G io32G io36G io40G io44G

I MVR1HG L7 L23 io513 io517 io521 io525 io529 io533 io537 io541 io545 io549 io553

J MVR1HGG L8 L24 io513G io517G io521G io525G io529G io533G io537G io541G io545G io549G io553G

K L9 L25 io514 io518 io522 io526 io530 io534 io538 io542 io546 io550 io554

L L10 L26 io514G io518G io522G io526G io530G io534G io538G io542G io546G io550G io554G

M DPS29G L11 L27 io515 io519 io523 io527 io531 io535 io539 io543 io547 io551 io555

N DPS29GU L12 L28 io515G io519G io523G io527G io531G io535G io539G io543G io547G io551G io555G

O DPS29S L13 L29 io516 io520 io524 io528 io532 io536 io540 io544 io548 io552 io556

P DPS29F L14 L30 io516G io520G io524G io528G io532G io536G io540G io544G io548G io552G io556G

Q DPS29F L15 L31 CW0 RSV1 CW1 CPS29 CW2 RSV3 CW3 CPS25 CW4 RSV5 CW5

R DPS29G L16 L32 0V RSV2 0V UC0 0V RSV4 0V UC1 0V RSV6 0V

スロット番号

列記号 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27

A io45 io49 io53 io57 io61 - SG1A WFG1P1 WFG2P1 WFD1L WFD1HA WFD1P

B io45G io49G io53G io57G io61G - SG1AG WFG1P1G WFG2P1G WFD1LG WFD1HAG WFD1PG

C io46 io50 io54 io58 io62 L33 L49 SG1X WFG1N1 WFG2N1 VFD1AP WFD1HB WFD1N

D io46G io50G io54G io58G io62G L34 L50 SG1XG WFG1N1G WFG2N1G VFD1APG WFD1HBG WFD1NG

E io47 io51 io55 io59 io63 L35 L51 VFG1A WFG1P1X WFG2P1X VFD1AN WFD1HC WFD1PX

F io47G io51G io55G io59G io63G L36 L52 VFG1AG WFG1P1XG WFG2P1XG VFD1ANG WFD1HCG WFD1PXG

G io48 io52 io56 io60 io64 L37 L53 VFG1X WFG1N1X WFG2N1X VFD1XP WFD1HD WFD1NX

H io48G io52G io56G io60G io64G L38 L54 VFG1XG WFG1N1XG WFG2N1XG VFD1XPG WFD1HDG WFD1NXG

I io557 io561 io565 io569 io573 L39 L55 WFD1HE

J io557G io561G io565G io569G io573G L40 L56 WFD1HEG

K io558 io562 io566 io570 io574 L41 L57 VIM1 WFD1HF MRLC0

L io558G io562G io566G io570G io574G L42 L58 VIM1G WFD1HFG 0V

M io559 io563 io567 io571 io575 L43 L59 DPS25G VI1 DPS21G DPS17G MRLC1

N io559G io563G io567G io571G io575G L44 L60 DPS25GU VI1G DPS21GU DPS17GU 0V

O io560 io564 io568 io572 io576 L45 L61 DPS25S VSB1 DPS21S DPS17S IP1A MRLC2

P io560G io564G io568G io572G io576G L46 L62 DPS25F VSB1G DPS21F DPS17F IP1AG 0V

Q CPS21 CW6 RSV7 CW7 CPS17 L47 L63 DPS25F VSB1 DPS21F DPS17F IP1B MRLC3

R UC2 0V RSV8 0V UC3 L48 L64 DPS25G VSB1G DPS21G DPS17G IP1BG 0V

A5-301.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (2)

• GWG1P1Gと GWG1N1Gは、HIFIX内部で接続されています。

• TMU1AGと TMU2AGは、HIFIX内部で接続されています。

スロット番号

列記号 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41

A GWG1P1 TMU1A SMP1P SMP1A PAD5L PAD1L PAD5HA PAD1HA HSO5P io65 io69 io73 io77 io81

B GWG1P1G TMU1AG SMP1PG SMP1AG PAD5LG PAD1LG PAD5HAG PAD1HAG HSO5PG io65G io69G io73G io77G io81G

C GWG1N1 TMU2A SMP1N SMP1B PAD5LX PAD1LX PAD5HB PAD1HB HSO5N io66 io70 io74 io78 io82

D GWG1N1G TMU2AG SMP1NG SMP1BG PAD5LXG PAD1LXG PAD5HBG PAD1HBG HSO5NG io66G io70G io74G io78G io82G

E AFG1P AFD1P SMP1PX SMP1C PAG2P1 PAG1P1 PAD5HC PAD1HC HSI5P io67 io71 io75 io79 io83

F AFG1PG AFD1PG SMP1PXG SMP1CG PAG2P1G PAG1P1G PAD5HCG PAD1HCG HSI5PG io67G io71G io75G io79G io83G

G AFG1N AFD1N SMP1NX SMP1D PAG2N1 PAG1N1 PAD5HD PAD1HD HSI5N io68 io72 io76 io80 io84

H AFG1NG AFD1NG SMP1NXG SMP1DG PAG2N1G PAG1N1G PAD5HDG PAD1HDG HSI5NG io68G io72G io76G io80G io84G

I GWG1P1X TMU1AX SMP1O SMP1X PAG2P1X PAG1P1X PAD5HX PAD1HX MTX1 io577 io581 io585 io589 io593

J GWG1P1XG TMU1AXG SMP1OG SMP1XG PAG2P1XG PAG1P1XG PAD5HXG PAD1HXG MTX1G io577G io581G io585G io589G io593G

K GWG1N1X TMU2AX SMPCLK PAG2N1X PAG1N1X AFCAL AF1FL MTX2 io578 io582 io586 io590 io594

L GWG1N1XG TMU2AXG SMPCLKG PAG2N1XG PAG1N1XG AFCALG AF1FLG MTX2G io578G io582G io586G io590G io594G

M - - VRH1F VRL1F PAG1OF PSRRIP MTX3 io579 io583 io587 io591 io595

N - - VRH1FG VRL1FG PAG1OFG PSRRIPG MTX3G io579G io583G io587G io591G io595G

O VL1A IN1A VRH1S VRL1S PAG2OF PSRRIN MTX4 io580 io584 io588 io592 io596

P VL1AG IN1AG VRH1SG VRL1SG PAG2OFG PSRRING MTX4G io580G io584G io588G io592G io596G

Q VL1B IN1B VOFF1 MMTXA DPS13G UDC1G UDC2G DPS9G CW8 RSV9 CW9 CPS13 CW10

R VL1BG IN1BG VOFF1G MMTXAG DPS13GU UDC1GU UDC2GU DPS9GU 0V RSV10 0V UC4 0V

S - VH1A MMTX1 MMTX3 DPS13S UDC1S UDC2S DPS9S L65 L69 L73 L77 L81

T - VH1AG MMTX1G MMTX3G DPS13F UDC1F UDC2F DPS9F L66 L70 L74 L78 L82

U PBVCC VH1B MMTX2 MMTX4 DPS13F UDC1F UDC2F DPS9F L67 L71 L75 L79 L83

V PBVCC VH1BG MMTX2G MMTX4G DPS13G UDC1G UDC2G DPS9G L68 L72 L76 L80 L84

スロット番号

列記号 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55

A io85 io89 io93 io97 io101 io105 io109 io113 io117 io121 io125 HSO1P VOS1S

B io85G io89G io93G io97G io101G io105G io109G io113G io117G io121G io125G HSO1PG VOS1SG

C io86 io90 io94 io98 io102 io106 io110 io114 io118 io122 io126 HSO1N VOS1F

D io86G io90G io94G io98G io102G io106G io110G io114G io118G io122G io126G HSI1NG VOS1FG

E io87 io91 io95 io99 io103 io107 io111 io115 io119 io123 io127 HSI1P VIMA1 SGCAL

F io87G io91G io95G io99G io103G io107G io111G io115G io119G io123G io127G HSI1PG VIMA1G SGCALG

G io88 io92 io96 io100 io104 io108 io112 io116 io120 io124 io128 HSI1N VIMB1

H io88G io92G io96G io100G io104G io108G io112G io116G io120G io124G io128G HSI1NG VIMB1G

I io597 io601 io605 io609 io613 io617 io621 io625 io629 io633 io637 PFB0

J io597G io601G io605G io609G io613G io617G io621G io625G io629G io633G io637G PFB1

K io598 io602 io606 io610 io614 io618 io622 io626 io630 io634 io638 PFB2

L io598G io602G io606G io610G io614G io618G io622G io626G io630G io634G io638G PFB3

M io599 io603 io607 io611 io615 io619 io623 io627 io631 io635 io639 PFB4

N io599G io603G io607G io611G io615G io619G io623G io627G io631G io635G io639G PFB5

O io600 io604 io608 io612 io616 io620 io624 io628 io632 io636 io640 PFB6

P io600G io604G io608G io612G io616G io620G io624G io628G io632G io636G io640G PFB7

Q RSV11 CW11 CPS9 CW12 RSV13 CW13 CPS5 CW14 RSV15 CW15 CPS1 DPS5G DPS1G

R RSV12 0V UC5 0V RSV14 0V UC6 0V RSV16 0V UC7 DPS5GU DPS1GU

S L85 L89 L93 L97 L101 L105 L109 L113 L117 L121 L125 DPS5S DPS1S -

T L86 L90 L94 L98 L102 L106 L110 L114 L118 L122 L126 DPS5F DPS1F -

U L87 L91 L95 L99 L103 L107 L111 L115 L119 L123 L127 DPS5F DPS1F PBP15V

V L88 L92 L96 L100 L104 L108 L112 L116 L120 L124 L128 DPS5G DPS1G PBP15V

A5-4 02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (3)

• GWG1P2Gと GWG1N2Gは、HIFIX内部で接続されています。

• TMU1BGと TMU2BGは、HIFIX内部で接続されています。

スロット番号

列記号 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69

A VOS2S HSO2P io129 io133 io137 io141 io145 io149 io153 io157 io161 io165 io169 io173

B VOS2SG HSO2PG io129G io133G io137G io141G io145G io149G io153G io157G io161G io165G io169G io173G

C VOS2F HSO2N io130 io134 io138 io142 io146 io150 io154 io158 io162 io166 io170 io174

D VOS2FG HSO2NG io130G io134G io138G io142G io146G io150G io154G io158G io162G io166G io170G io174G

E VIMA2 HSI2P io131 io135 io139 io143 io147 io151 io155 io159 io163 io167 io171 io175

F VIMA2G HSI2PG io131G io135G io139G io143G io147G io151G io155G io159G io163G io167G io171G io175G

G VIMB2 HSI2N io132 io136 io140 io144 io148 io152 io156 io160 io164 io168 io172 io176

H VIMB2G HSI2NG io132G io136G io140G io144G io148G io152G io156G io160G io164G io168G io172G io176G

I PFB8 io641 io645 io649 io653 io657 io661 io665 io669 io673 io677 io681 io685

J PFB9 io641G io645G io649G io653G io657G io661G io665G io669G io673G io677G io681G io685G

K PFB10 io642 io646 io650 io654 io658 io662 io666 io670 io674 io678 io682 io686

L PFB11 io642G io646G io650G io654G io658G io662G io666G io670G io674G io678G io682G io686G

M PFB12 io643 io647 io651 io655 io659 io663 io667 io671 io675 io679 io683 io687

N PFB13 io643G io647G io651G io655G io659G io663G io667G io671G io675G io679G io683G io687G

O PFB14 io644 io648 io652 io656 io660 io664 io668 io672 io676 io680 io684 io688

P PFB15 io644G io648G io652G io656G io660G io664G io668G io672G io676G io680G io684G io688G

Q DPS3G DPS7G CW16 RSV17 CW17 CPS3 CW18 RSV19 CW19 CPS7 CW20 RSV21 CW21 CPS11

R DPS3GU DPS7GU 0V RSV18 0V UC8 0V RSV20 0V UC9 0V RSV22 0V UC10

S DPS3S DPS7S L129 L133 L137 L141 L145 L149 L153 L157 L161 L165 L169 L173

T DPS3F DPS7F L130 L134 L138 L142 L146 L150 L154 L158 L162 L166 L170 L174

U DPS3F DPS7F L131 L135 L139 L143 L147 L151 L155 L159 L163 L167 L171 L175

V DPS3G DPS7G L132 L136 L140 L144 L148 L152 L156 L160 L164 L168 L172 L176

スロット番号

列記号 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82

A io177 io181 io185 io189 HSO6P PAD2HA PAD6HA PAD2L PAD6L SMP2A SMP2P TMU1B GWG1P2

B io177G io181G io185G io189G HSO6PG PAD2HAG PAD6HAG PAD2LG PAD6LG SMP2AG SMP2PG TMU1BG GWG1P2G

C io178 io182 io186 io190 HSO6N PAD2HB PAD6HB PAD2LX PAD6LX SMP2B SMP2N TMU2B GWG1N2

D io178G io182G io186G io190G HSO6NG PAD2HBG PAD6HBG PAD2LXG PAD6LXG SMP2BG SMP2NG TMU2BG GWG1N2G

E io179 io183 io187 io191 HSI6P PAD2HC PAD6HC PAG1P2 PAG2P2 SMP2C SMP2PX AFD3P AFG3P

F io179G io183G io187G io191G HSI6PG PAD2HCG PAD6HCG PAG1P2G PAG2P2G SMP2CG SMP2PXG AFD3PG AFG3PG

G io180 io184 io188 io192 HSI6N PAD2HD PAD6HD PAG1N2 PAG2N2 SMP2D SMP2NX AFD3N AFG3N

H io180G io184G io188G io192G HSI6NG PAD2HDG PAD6HDG PAG1N2G PAG2N2G SMP2DG SMP2NXG AFD3NG AFG3NG

I io689 io693 io697 io701 MTX5 PAD2HX PAD6HX PAG1P2X PAG2P2X SMP2X SMP2O TMU1BX GWG1P2X

J io689G io693G io697G io701G MTX5G PAD2HXG PAD6HXG PAG1P2XG PAG2P2XG SMP2XG SMP2OG TMU1BXG GWG1P2XG

K io690 io694 io698 io702 MTX6 AF2FL PAG1N2X PAG2N2X SMPTRIG TMU2BX GWG1N2X

L io690G io694G io698G io702G MTX6G AF2FLG PAG1N2XG PAG2N2XG SMPTRIGG TMU2BXG GWG1N2XG

M io691 io695 io699 io703 MTX7 TMCL1 VRH3F - -

N io691G io695G io699G io703G MTX7G TMCL1G VRH3FG - -

O io692 io696 io700 io704 MTX8 TMCL2 VRH3S IN2A VL2A

P io692G io696G io700G io704G MTX8G TMCL2G VRH3SG IN2AG VL2AG

Q CW22 RSV23 CW23 CPS15 DPS11G UDC3G UDC4G DPS15G MMTXB VOFF3 IN2B VL2B

R 0V RSV24 0V UC11 DPS11GU UDC3GU UDC4GU DPS15GU MMTXBG VOFF3G IN2BG VL2BG

S L177 L181 L185 L189 DPS11S UDC3S UDC4S DPS15S MMTX5 MMTX7 VH2A -

T L178 L182 L186 L190 DPS11F UDC3F UDC4F DPS15F MMTX5G MMTX7G VH2AG -

U L179 L183 L187 L191 DPS11F UDC3F UDC4F DPS15F MMTX6 MMTX8 VH2B PBVEE

V L180 L184 L188 L192 DPS11G UDC3G UDC4G DPS15G MMTX6G MMTX8G VH2BG PBVEE

A5-502.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (4)

スロット番号

列記号 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96

A WFD2P WFD2HA WFD2L WFG2P2 WFG1P2 SG1B - io193 io197 io201 io205 io209 io213

B WFD2PG WFD2HAG WFD2LG WFG2P2G WFG1P2G SG1BG - io193G io197G io201G io205G io209G io213G

C WFD2N WFD2HB VFD1BP WFG2N2 WFG1N2 SG1XB L193 L209 io194 io198 io202 io206 io210 io214

D WFD2NG WFD2HBG VFD1BPG WFG2N2G WFG1N2G SG1XBG L194 L210 io194G io198G io202G io206G io210G io214G

E WFD2PX WFD2HC VFD1BN WFG2P2X WFG1P2X VFG1B L195 L211 io195 io199 io203 io207 io211 io215

F WFD2PXG WFD2HCG VFD1BNG WFG2P2XG WFG1P2XG VFG1BG L196 L212 io195G io199G io203G io207G io211G io215G

G WFD2NX WFD2HD WFG2N2X WFG1N2X L197 L213 io196 io200 io204 io208 io212 io216

H WFD2NXG WFD2HDG WFG2N2XG WFG1N2XG L198 L214 io196G io200G io204G io208G io212G io216G

I WFD2HE L199 L215 io705 io709 io713 io717 io721 io725

J WFD2HEG L200 L216 io705G io709G io713G io717G io721G io725G

K MRLC4 WFD2HF VIM2 L201 L217 io706 io710 io714 io718 io722 io726

L 0V WFD2HFG VIM2G L202 L218 io706G io710G io714G io718G io722G io726G

M MRLC5 DPS19G DPS23G VI2 DPS27G L203 L219 io707 io711 io715 io719 io723 io727

N 0V DPS19GU DPS23GU VI2G DPS27GU L204 L220 io707G io711G io715G io719G io723G io727G

O MRLC6 IP2A DPS19S DPS23S VSB2 DPS27S L205 L221 io708 io712 io716 io720 io724 io728

P 0V IP2AG DPS19F DPS23F VSB2G DPS27F L206 L222 io708G io712G io716G io720G io724G io728G

Q MRLC7 IP2B DPS19F DPS23F VSB2 DPS27F L207 L223 CW24 RSV25 CW25 CPS19 CW26 RSV27

R 0V IP2BG DPS19G DPS23G VSB2G DPS27G L208 L224 0V RSV26 0V UC12 0V RSV28

スロット番号

列記号 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110

A io217 io221 io225 io229 io233 io237 io241 io245 io249 io253 PBS MVRH2S HGND

B io217G io221G io225G io229G io233G io237G io241G io245G io249G io253G PBS MVRH2SG 0V

C io218 io222 io226 io230 io234 io238 io242 io246 io250 io254 L225 L241 MVRH2F

D io218G io222G io226G io230G io234G io238G io242G io246G io250G io254G L226 L242 MVRH2FG

E io219 io223 io227 io231 io235 io239 io243 io247 io251 io255 L227 L243 MVRL2S MASK

F io219G io223G io227G io231G io235G io239G io243G io247G io251G io255G L228 L244 MVRL2SG MASKG

G io220 io224 io228 io232 io236 io240 io244 io248 io252 io256 L229 L245 MVRL2F PBTYP0

H io220G io224G io228G io232G io236G io240G io244G io248G io252G io256G L230 L246 MVRL2FG PBTYP1

I io729 io733 io737 io741 io745 io749 io753 io757 io761 io765 L231 L247 MVR2HG PBTYP2

J io729G io733G io737G io741G io745G io749G io753G io757G io761G io765G L232 L248 MVR2HGG PBTYP3

K io730 io734 io738 io742 io746 io750 io754 io758 io762 io766 L233 L249 PBTYP4

L io730G io734G io738G io742G io746G io750G io754G io758G io762G io766G L234 L250 PBTYP5

M io731 io735 io739 io743 io747 io751 io755 io759 io763 io767 L235 L251 DPS31G -

N io731G io735G io739G io743G io747G io751G io755G io759G io763G io767G L236 L252 DPS31GU -

O io732 io736 io740 io744 io748 io752 io756 io760 io764 io768 L237 L253 DPS31S PBRLVCC

P io732G io736G io740G io744G io748G io752G io756G io760G io764G io768G L238 L254 DPS31F PBRLVCC

Q CW27 CPS23 CW28 RSV29 CW29 CPS27 CW30 RSV31 CW31 CPS31 L239 L255 DPS31F PBRLVCC

R 0V UC13 0V RSV30 0V UC14 0V RSV32 0V UC15 L240 L256 DPS31G PBRLVCC

A5-6 01.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (5)

スロット番号

列記号 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124

A MVRH3S UCM3 io257 io261 io265 io269 io273 io277 io281 io285 io289 io293 io297

B MVRH3SG UCM4 io257G io261G io265G io269G io273G io277G io281G io285G io289G io293G io297G

C MVRH3F L257 L273 io258 io262 io266 io270 io274 io278 io282 io286 io290 io294 io298

D MVRH3FG L258 L274 io258G io262G io266G io270G io274G io278G io282G io286G io290G io294G io298G

E MVRL3S L259 L275 io259 io263 io267 io271 io275 io279 io283 io287 io291 io295 io299

F MVRL3SG L260 L276 io259G io263G io267G io271G io275G io279G io283G io287G io291G io295G io299G

G MVRL3F L261 L277 io260 io264 io268 io272 io276 io280 io284 io288 io292 io296 io300

H MVRL3FG L262 L278 io260G io264G io268G io272G io276G io280G io284G io288G io292G io296G io300G

I MVR3HG L263 L279 io769 io773 io777 io781 io785 io789 io793 io797 io801 io805 io809

J MVR3HGG L264 L280 io769G io773G io777G io781G io785G io789G io793G io797G io801G io805G io809G

K L265 L281 io770 io774 io778 io782 io786 io790 io794 io798 io802 io806 io810

L L266 L282 io770G io774G io778G io782G io786G io790G io794G io798G io802G io806G io810G

M DPS32G L267 L283 io771 io775 io779 io783 io787 io791 io795 io799 io803 io807 io811

N DPS32GU L268 L284 io771G io775G io779G io783G io787G io791G io795G io799G io803G io807G io811G

O DPS32S L269 L285 io772 io776 io780 io784 io788 io792 io796 io800 io804 io808 io812

P DPS32F L270 L286 io772G io776G io780G io784G io788G io792G io796G io800G io804G io808G io812G

Q DPS32F L271 L287 CW32 RSV33 CW33 CPS32 CW34 RSV35 CW35 CPS28 CW36 RSV37 CW37

R DPS32G L272 L288 0V RSV34 0V UC16 0V RSV36 0V UC17 0V RSV38 0V

スロット番号

列記号 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137

A io301 io305 io309 io313 io317 - SG2A WFG1P3 WFG2P3 WFD3L WFD3HA WFD3P

B io301G io305G io309G io313G io317G - SG2AG WFG1P3G WFG2P3G WFD3LG WFD3HAG WFD3PG

C io302 io306 io310 io314 io318 L289 L305 SG2X WFG1N3 WFG2N3 VFD2AP WFD3HB WFD3N

D io302G io306G io310G io314G io318G L290 L306 SG2XG WFG1N3G WFG2N3G VFD2APG WFD3HBG WFD3NG

E io303 io307 io311 io315 io319 L291 L307 VFG2A WFG1P3X WFG2P3X VFD2AN WFD3HC WFD3PX

F io303G io307G io311G io315G io319G L292 L308 VFG2AG WFG1P3XG WFG2P3XG VFD2ANG WFD3HCG WFD3PXG

G io304 io308 io312 io316 io320 L293 L309 VFG2X WFG1N3X WFG2N3X VFD2XP WFD3HD WFD3NX

H io304G io308G io312G io316G io320G L294 L310 VFG2XG WFG1N3XG WFG2N3XG VFD2XPG WFD3HDG WFD3NXG

I io813 io817 io821 io825 io829 L295 L311 WFD3HE

J io813G io817G io821G io825G io829G L296 L312 WFD3HEG

K io814 io818 io822 io826 io830 L297 L313 VIM3 WFD3HF MRLC8

L io814G io818G io822G io826G io830G L298 L314 VIM3G WFD3HFG 0V

M io815 io819 io823 io827 io831 L299 L315 DPS28G VI3 DPS24G DPS20G MRLC9

N io815G io819G io823G io827G io831G L300 L316 DPS28GU VI3G DPS24GU DPS20GU 0V

O io816 io820 io824 io828 io832 L301 L317 DPS28S VSB3 DPS24S DPS20S IP3A MRLC10

P io816G io820G io824G io828G io832G L302 L318 DPS28F VSB3G DPS24F DPS20F IP3AG 0V

Q CPS24 CW38 RSV39 CW39 CPS20 L303 L319 DPS28F VSB3 DPS24F DPS20F IP3B MRLC11

R UC18 0V RSV40 0V UC19 L304 L320 DPS28G VSB3G DPS24G DPS20G IP3BG 0V

A5-701.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (6)

• GWG1P3Gと GWG1N3Gは、HIFIX内部で接続されています。

• TMU1CGと TMU2CGは、HIFIX内部で接続されています。

スロット番号

列記号 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151

A GWG1P3 TMU1C SMP3P SMP3A PAD7L PAD3L PAD7HA PAD3HA HSO3P io321 io325 io329 io333 io337

B GWG1P3G TMU1CG SMP3PG SMP3AG PAD7LG PAD3LG PAD7HAG PAD3HAG HSO3PG io321G io325G io329G io333G io337G

C GWG1N3 TMU2C SMP3N SMP3B PAD7LX PAD3LX PAD7HB PAD3HB HSO3N io322 io326 io330 io334 io338

D GWG1N3G TMU2CG SMP3NG SMP3BG PAD7LXG PAD3LXG PAD7HBG PAD3HBG HSO3NG io322G io326G io330G io334G io338G

E AFG2P AFD2P SMP3PX SMP3C PAG2P3 PAG1P3 PAD7HC PAD3HC HSI3P io323 io327 io331 io335 io339

F AFG2PG AFD2PG SMP3PXG SMP3CG PAG2P3G PAG1P3G PAD7HCG PAD3HCG HSI3PG io323G io327G io331G io335G io339G

G AFG2N AFD2N SMP3NX SMP3D PAG2N3 PAG1N3 PAD7HD PAD3HD HSI3N io324 io328 io332 io336 io340

H AFG2NG AFD2NG SMP3NXG SMP3DG PAG2N3G PAG1N3G PAD7HDG PAD3HDG HsI3NG io324G io328G io332G io336G io340G

I GWG1P3X TMU1CX SMP3O SMP3X PAG2P3X PAG1P3X PAD7HX PAD3HX MTX9 io833 io837 io841 io845 io849

J GWG1P3XG TMU1CXG SMP3OG SMP3XG PAG2P3XG PAG1P3XG PAD7HXG PAD3HXG MTX9G io833G io837G io841G io845G io849G

K GWG1N3X TMU2CX SMPDG PAG2N3X PAG1N3X AF1NT MTX10 io834 io838 io842 io846 io850

L GWG1N3XG TMU2CXG SMPDGG PAG2N3XG PAG1N3XG AF1NTG MTX10G io834G io838G io842G io846G io850G

M - - VRH2F VRL2F MTX11 io835 io839 io843 io847 io851

N - - VRH2FG VRL2FG MTX11G io835G io839G io843G io847G io851G

O VL3A IN3A VRH2S VRL2S MTX12 io836 io840 io844 io848 io852

P VL3AG IN3AG VRH2SG VRL2SG MTX12G io836G io840G io844G io848G io852G

Q VL3B IN3B VOFF2 MMTXC DPS16G UDC5G UDC6G DPS12G CW40 RSV41 CW41 CPS16 CW42

R VL3BG IN3BG VOFF2G MMTXCG DPS16GU UDC5GU UDC6GU DPS12GU 0V RSV42 0V UC20 0V

S - VH3A MMTX9 MMTX11 DPS16S UDC5S UDC6S DPS12S L321 L325 L329 L333 L337

T - VH3AG MMTX9G MMTX11G DPS16F UDC5F UDC6F DPS12F L322 L326 L330 L334 L338

U PBVCC VH3B MMTX10 MMTX12 DPS16F UDC5F UDC6F DPS12F L323 L327 L331 L335 L339

V PBVCC VH3BG MMTX10G MMTX12G DPS16G UDC5G UDC6G DPS12G L324 L328 L332 L336 L340

スロット番号

列記号 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165

A io341 io345 io349 io353 io357 io361 io365 io369 io373 io377 io381 HSO7P VOS3S MEXCK1

B io341G io345G io349G io353G io357G io361G io365G io369G io373G io377G io381G HSO7PG VOS3SG MEXCK1G

C io342 io346 io350 io354 io358 io362 io366 io370 io374 io378 io382 HSO7N VOS3F MEXCK2

D io342G io346G io350G io354G io358G io362G io366G io370G io374G io378G io382G HSO7NG VOS3FG MEXCK2G

E io343 io347 io351 io355 io359 io363 io367 io371 io375 io379 io383 HSI7P VIMA3 MEXEV1

F io343G io347G io351G io355G io359G io363G io367G io371G io375G io379G io383G HSI7PG VIMA3G MEXEV1G

G io344 io348 io352 io356 io360 io364 io368 io372 io376 io380 io384 HSI7N VIMB3 MEXEV2

H io344G io348G io352G io356G io360G io364G io368G io372G io376G io380G io384G HSI7NG VIMB3G MEXEV2G

I io853 io857 io861 io865 io869 io873 io877 io881 io885 io889 io893

J io853G io857G io861G io865G io869G io873G io877G io881G io885G io889G io893G

K io854 io858 io862 io866 io870 io874 io878 io882 io886 io890 io894 DCT1

L io854G io858G io862G io866G io870G io874G io878G io882G io886G io890G io894G DCT2

M io855 io859 io863 io867 io871 io875 io879 io883 io887 io891 io895 DCT3

N io855G io859G io863G io867G io871G io875G io879G io883G io887G io891G io895G DCT4

O io856 io860 io864 io868 io872 io876 io880 io884 io888 io892 io896 (DCT5)

P io856G io860G io864G io868G io872G io876G io880G io884G io888G io892G io896G (DCT6)

Q RSV43 CW43 CPS12 CW44 RSV45 CW45 CPS8 CW46 RSV47 CW47 CPS4 DPS8G DPS4G (DCT7)

R RSV44 0V UC21 0V RSV46 0V UC22 0V RSV48 0V UC23 DPS8GU DPS4GU (DCT8)

S L341 L345 L349 L353 L357 L361 L365 L369 L373 L377 L381 DPS8S DPS4S -

T L342 L346 L350 L354 L358 L362 L366 L370 L374 L378 L382 DPS8F DPS4F -

U L343 L347 L351 L355 L359 L363 L367 L371 L375 L379 L383 DPS8F DPS4F PBM15V

V L344 L348 L352 L356 L360 L364 L368 L372 L376 L380 L384 DPS8G DPS4G PBM15V

A5-8 02.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (7)

• GWG1P4Gと GWG1N4Gは、HIFIX内部で接続されています。

• TMU1DGと TMU2DGは、HIFIX内部で接続されています。

スロット番号

列記号 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179

A VOS4S HSO8P io385 io389 io393 io397 io401 io405 io409 io413 io417 io421 io425 io429

B VOS4SG HSO8PG io385G io389G io393G io397G io401G io405G io409G io413G io417G io421G io425G io429G

C VOS4F HSO8N io386 io390 io394 io398 io402 io406 io410 io414 io418 io422 io426 io430

D VOS4FG HSO8NG io386G io390G io394G io398G io402G io406G io410G io414G io418G io422G io426G io430G

E VIMA4 HSI8P io387 io391 io395 io399 io403 io407 io411 io415 io419 io423 io427 io431

F VIMA4G HSI8PG io387G io391G io395G io399G io403G io407G io411G io415G io419G io423G io427G io431G

G VIMB4 HSI8N io388 io392 io396 io400 io404 io408 io412 io416 io420 io424 io428 io432

H VIMB4G HSI8NG io388G io392G io396G io400G io404G io408G io412G io416G io420G io424G io428G io432G

I io897 io901 io905 io909 io913 io917 io921 io925 io929 io933 io937 io941

J io897G io901G io905G io909G io913G io917G io921G io925G io929G io933G io937G io941G

K io898 io902 io906 io910 io914 io918 io922 io926 io930 io934 io938 io942

L io898G io902G io906G io910G io914G io918G io922G io926G io930G io934G io938G io942G

M io899 io903 io907 io911 io915 io919 io923 io927 io931 io935 io939 io943

N io899G io903G io907G io911G io915G io919G io923G io927G io931G io935G io939G io943G

O io900 io904 io908 io912 io916 io920 io924 io928 io932 io936 io940 io944

P io900G io904G io908G io912G io916G io920G io924G io928G io932G io936G io940G io944G

Q DPS2G DPS6G CW48 RSV49 CW49 CPS2 CW50 RSV51 CW51 CPS6 CW52 RSV53 CW53 CPS10

R DPS2GU DPS6GU 0V RSV50 0V UC24 0V RSV52 0V UC25 0V RSV54 0V UC26

S DPS2S DPS6S L385 L389 L393 L397 L401 L405 L409 L413 L417 L421 L425 L429

T DPS2F DPS6F L386 L390 L394 L398 L402 L406 L410 L414 L418 L422 L426 L430

U DPS2F DPS6F L387 L391 L395 L399 L403 L407 L411 L415 L419 L423 L427 L431

V DPS2G DPS6G L388 L392 L396 L400 L404 L408 L412 L416 L420 L424 L428 L432

スロット番号

列記号 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192

A io433 io437 io441 io445 HSO4P PAD4HA PAD8HA PAD4L PAD8L SMP4A SMP4P TMU1D GWG1P4

B io433G io437G io441G io445G HSO4PG PAD4HAG PAD8HAG PAD4LG PAD8LG SMP4AG SMP4PG TMU1DG GWG1P4G

C io434 io438 io442 io446 HSO4N PAD4HB PAD8HB PAD4LX PAD8LX SMP4B SMP4N TMU2D GWG1N4

D io434G io438G io442G io446G HSO4NG PAD4HBG PAD8HBG PAD4LXG PAD8LXG SMP4BG SMP4NG TMU2DG GWG1N4G

E io435 io439 io443 io447 HSI4P PAD4HC PAD8HC PAG1P4 PAG2P4 SMP4C SMP4PX AFD4P AFG4P

F io435G io439G io443G io447G HSI4PG PAD4HCG PAD8HCG PAG1P4G PAG2P4G SMP4CG SMP4PXG AFD4PG AFG4PG

G io436 io440 io444 io448 HSI4N PAD4HD PAD8HD PAG1N4 PAG2N4 SMP4D SMP4NX AFD4N AFG4N

H io436G io440G io444G io448G HSI4NG PAD4HDG PAD8HDG PAG1N4G PAG2N4G SMP4DG SMP4NXG AFD4NG AFG4NG

I io945 io949 io953 io957 MTX13 PAD4HX PAD8HX PAG1P4X PAG2P4X SMP4X SMP4O TMU1DX GWG1P4X

J io945G io949G io953G io957G MTX13G PAD4HXG PAD8HXG PAG1P4XG PAG2P4XG SMP4XG SMP4OG TMU1DXG GWG1P4XG

K io946 io950 io954 io958 MTX14 AF2NT PAG1N4X PAG2N4X AFDCK TMU2DX GWG1N4X

L io946G io950G io954G io958G MTX14G AF2NTG PAG1N4XG PAG2N4XG AFDCKG TMU2DXG GWG1N4XG

M io947 io951 io955 io959 MTX15 CLKO EXEV1 VRH4F - -

N io947G io951G io955G io959G MTX15G CLKOG EXEV1G VRH4FG - -

O io948 io952 io956 io960 MTX16 EXCK1 EVO1 EXEV2 VRH4S IN4A VL4A

P io948G io952G io956G io960G MTX16G EXCK1G EVO1G EXEV2G VRH4SG IN4AG VL4AG

Q CW54 RSV55 CW55 CPS14 DPS10G UDC7G UDC8G EVO2 DPS14G MMTXD VOFF4 IN4B VL4B

R 0V RSV56 0V UC27 DPS10GU UDC7GU UDC8GU EVO2G DPS14GU MMTXDG VOFF4G IN4BG VL4BG

S L433 L437 L441 L445 DPS10S UDC7S UDC8S EVO3 DPS14S MMTX13 MMTX15 VH4A -

T L434 L438 L442 L446 DPS10F UDC7F UDC8F EVO3G DPS14F MMTX13G MMTX15G VH4AG -

U L435 L439 L443 L447 DPS10F UDC7F UDC8F EVO4 DPS14F MMTX14 MMTX16 VH4B PBVEE

V L436 L440 L444 L448 DPS10G UDC7G UDC8G EVO4G DPS14G MMTX14G MMTX16G VH4BG PBVEE

A5-902.2.15

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

A5.2 SQUARE HIFIX信号名称一覧

SQUARE HIFIX対応 PB信号名称表 (8)

スロット番号

列記号 193 194 195 196 197 198 199 200 201 202 203 204 205 206

A WFD4P WFD4HA WFD4L WFG2P4 WFG1P4 SG2B - io449 io453 io457 io461 io465 io469

B WFD4PG WFD4HAG WFD4LG WFG2P4G WFG1P4G SG2BG - io449G io453G io457G io461G io465G io469G

C WFD4N WFD4HB VFD2BP WFG2N4 WFG1N4 SG2XB L449 L465 io450 io454 io458 io462 io466 io470

D WFD4NG WFD4HBG VFD2BPG WFG2N4G WFG1N4G SG2XBG L450 L466 io450G io454G io458G io462G io466G io470G

E WFD4PX WFD4HC VFD2BN WFG2P4X WFG1P4X VFG2B L451 L467 io451 io455 io459 io463 io467 io471

F WFD4PXG WFD4HCG VFD2BNG WFG2P4XG WFG1P4XG VFG2BG L452 L468 io451G io455G io459G io463G io467G io471G

G WFD4NX WFD4HD WFG2N4X WFG1N4X L453 L469 io452 io456 io460 io464 io468 io472

H WFD4NXG WFD4HDG WFG2N4XG WFG1N4XG L454 L470 io452G io456G io460G io464G io468G io472G

I WFD4HE L455 L471 io961 io965 io969 io973 io977 io981

J WFD4HEG L456 L472 io961G io965G io969G io973G io977G io981G

K MRLC12 WFD4HF VIM4 L457 L473 io962 io966 io970 io974 io978 io982

L 0V WFD4HFG VIM4G L458 L474 io962G io966G io970G io974G io978G io982G

M MRLC13 DPS18G DPS22G VI4 DPS26G L459 L475 io963 io967 io971 io975 io979 io983

N 0V DPS18GU DPS22GU VI4G DPS26GU L460 L476 io963G io967G io971G io975G io979G io983G

O MRLC14 IP4A DPS18S DPS22S VSB4 DPS26S L461 L477 io964 io968 io972 io976 io980 io984

P 0V IP4AG DPS18F DPS22F VSB4G DPS26F L462 L478 io964G io968G io972G io976G io980G io984G

Q MRLC15 IP4B DPS18F DPS22F VSB4 DPS26F L463 L479 CW56 RSV57 CW57 CPS18 CW58 RSV59

R 0V IP4BG DPS18G DPS22G VSB4G DPS26G L464 L480 0V RSV58 0V UC28 0V RSV60

スロット番号

列記号 207 208 209 210 211 212 213 214 215 216 217 218 219 220

A io473 io477 io481 io485 io489 io493 io497 io501 io505 io509 MVRH4S ACVSP

B io473G io477G io481G io485G io489G io493G io497G io501G io505G io509G MVRH4SG ACVSPG

C io474 io478 io482 io486 io490 io494 io498 io502 io506 io510 L481 L497 MVRH4F ACVSN

D io474G io478G io482G io486G io490G io494G io498G io502G io506G io510G L482 L498 MVRH4FG ACVSNG

E io475 io479 io483 io487 io491 io495 io499 io503 io507 io511 L483 L499 MVRL4S ACVMP

F io475G io479G io483G io487G io491G io495G io499G io503G io507G io511G L484 L500 MVRL4SG ACVMPG

G io476 io480 io484 io488 io492 io496 io500 io504 io508 io512 L485 L501 MVRL4F ACVMN

H io476G io480G io484G io488G io492G io496G io500G io504G io508G io512G L486 L502 MVRL4FG ACVMNG

I io985 io989 io993 io997 io1001 io1005 io1009 io1013 io1017 io1021 L487 L503 MVR4HG CLD1

J io985G io989G io993G io997G io1001G io1005G io1009G io1013G io1017G io1021G L488 L504 MVR4HGG CLD2

K io986 io990 io994 io998 io1002 io1006 io1010 io1014 io1018 io1022 L489 L505 CLD3

L io986G io990G io994G io998G io1002G io1006G io1010G io1014G io1018G io1022G L490 L506

M io987 io991 io995 io999 io1003 io1007 io1011 io1015 io1019 io1023 L491 L507 DPS30G -

N io987G io991G io995G io999G io1003G io1007G io1011G io1015G io1019G io1023G L492 L508 DPS30GU -

O io988 io992 io996 io1000 io1004 io1008 io1012 io1016 io1020 io1024 L493 L509 DPS30S PBRLVCC

P io988G io992G io996G io1000G io1004G io1008G io1012G io1016G io1020G io1024G L494 L510 DPS30F PBRLVCC

Q CW59 CPS22 CW60 RSV61 CW61 CPS26 CW62 RSV63 CW63 CPS30 L495 L511 DPS30F PBRLVCC

R 0V UC29 0V RSV62 0V UC30 0V RSV64 0V UC31 L496 L512 DPS30G PBRLVCC

A5-10 01.9.28

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ボード配線

(1) 1024 chパフォーマンス・ボード ピン配置

A6-102.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

(2) 1024 chパフォーマンス・ボード信号名称表

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT1-4[1/16]

J1 J2 J3 J4

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD1NG 1 GND TMU2AG 1 GND MTX1G 1 GND WFG1N1G2 WFD1PG WFD1N 2 TMU1AG TMU2A 2 MTX2G MTX1 2 WFG1P1G WFG1N13 WFD1P WFD1NG 3 TMU1A TMU2AG 3 MTX2 MTX1G 3 WFG1P1 WFG1N1G4 WFD1PG 8GND 4 TMU1AG 520GND 4 MTX2G 264GND 4 WFG1P1G 776GND5 73GND 5 585GND 5 329GND 5 841GND6 io73 8GND 6 io585 520GND 6 io329 264GND 6 io841 776GND7 73GND io8 7 585GND io520 7 329GND io264 7 841GND io7768 8GND 8 520GND 8 264GND 8 776GND9 73GND 7GND 9 585GND 519GND 9 329GND 263GND 9 841GND 775GND10 74GND 10 586GND 10 330GND 10 842GND11 io74 7GND 11 io586 519GND 11 io330 263GND 11 io842 775GND12 74GND io7 12 586GND io519 12 330GND io263 12 842GND io77513 7GND 13 519GND 13 263GND 13 775GND14 74GND 6GND 14 586GND 518GND 14 330GND 262GND 14 842GND 774GND15 75GND 15 587GND 15 331GND 15 843GND16 io75 6GND 16 io587 518GND 16 io331 262GND 16 io843 774GND17 75GND io6 17 587GND io518 17 331GND io262 17 843GND io77418 6GND 18 518GND 18 262GND 18 774GND19 75GND 5GND 19 587GND 517GND 19 331GND 261GND 19 843GND 773GND20 76GND 20 588GND 20 332GND 20 844GND21 io76 5GND 21 io588 517GND 21 io332 261GND 21 io844 773GND22 76GND io5 22 588GND io517 22 332GND io261 22 844GND io77323 5GND 23 517GND 23 261GND 23 773GND24 76GND 4GND 24 588GND 516GND 24 332GND 260GND 24 844GND 772GND25 77GND 25 589GND 25 333GND 25 845GND26 io77 4GND 26 io589 516GND 26 io333 260GND 26 io845 772GND27 77GND io4 27 589GND io516 27 333GND io260 27 845GND io77228 4GND 28 516GND 28 260GND 28 772GND29 77GND 3GND 29 589GND 515GND 29 333GND 259GND 29 845GND 771GND30 78GND 30 590GND 30 334GND 30 846GND31 io78 3GND 31 io590 515GND 31 io334 259GND 31 io846 771GND32 78GND io3 32 590GND io515 32 334GND io259 32 846GND io77133 3GND 33 515GND 33 259GND 33 771GND34 78GND 2GND 34 590GND 514GND 34 334GND 258GND 34 846GND 770GND35 79GND 35 591GND 35 335GND 35 847GND36 io79 2GND 36 io591 514GND 36 io335 258GND 36 io847 770GND37 79GND io2 37 591GND io514 37 335GND io258 37 847GND io77038 2GND 38 514GND 38 258GND 38 770GND39 79GND 1GND 39 591GND 513GND 39 335GND 257GND 39 847GND 769GND40 80GND 40 592GND 40 336GND 40 848GND41 io80 1GND 41 io592 513GND 41 io336 257GND 41 io848 769GND42 80GND io1 42 592GND io513 42 336GND io257 42 848GND io76943 1GND 43 513GND 43 257GND 43 769GND44 80GND DP2G 44 592GND 44 336GND 44 848GND45 DP6G DP2GU 45 TMU1AXG 45 CW16 PBP15V 45 GWG1P1XG46 DP6GU DP2S 46 TMU1AX 46 CW17 PBP15V 46 GWG1P1X47 DP6S DP2F 47 TMU1AXG TMU2AXG 47 CW18 PBP15V 47 GWG1P1XG GWG1N1XG48 DP6F DP2F 48 WFG1P1XG TMU2AX 48 CW19 PBP15V 48 WFG2P1XG GWG1N1X49 DP6F DP2G 49 WFG1P1X TMU2AXG 49 UC0 49 WFG2P1X GWG1N1XG50 DP6G MMTX1G 50 WFG1P1XG WFG1N1XG 50 UC1 SMP1OG 50 WFG2P1XG WFG2N1XG51 VOFF1G MMTX1 51 MMTX2G WFG1N1X 51 AF1FLG SMP1O 51 MMTX4G WFG2N1X52 VOFF1 MMTX1G 52 MMTX2 WFG1N1XG 52 AF1FL SMP1OG 52 MMTX4 WFG2N1XG53 VOFF1G AFD1PG 53 MMTX2G 53 AF1FLG PAD1HAG 53 MMTX4G54 AFD1NG AFD1P 54 MMTX3G 54 PAD1LG PAD1HA 54 SMP1XG55 AFD1N AFD1PG 55 MMTX3 RSV1 55 PAD1L PAD1HAG 55 SMP1X RSV356 AFD1NG CPS2 56 MMTX3G RSV2 56 PAD1LG CPS6 56 SMP1XG RSV4

A6-2 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT5-8[2/16]

J5 J6 J7 J8

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD1NXG 1 GND GWG1N1G 1 GND MTX3G 1 GND WFG2N1G2 WFD1PXG WFD1NX 2 GWG1P1G GWG1N1 2 MTX4G MTX3 2 WFG2P1G WFG2N13 WFD1PX WFD1NXG 3 GWG1P1 GWG1N1G 3 MTX4 MTX3G 3 WFG2P1 WFG2N1G4 WFD1PXG 136GND 4 GWG1P1G 648GND 4 MTX4G 392GND 4 WFG2P1G 904GND5 201GND 5 713GND 5 457GND 5 969GND6 io201 136GND 6 io713 648GND 6 io457 392GND 6 io969 904GND7 201GND io136 7 713GND io648 7 457GND io392 7 969GND io9048 136GND 8 648GND 8 392GND 8 904GND9 201GND 135GND 9 713GND 647GND 9 457GND 391GND 9 969GND 903GND10 202GND 10 714GND 10 458GND 10 970GND11 io202 135GND 11 io714 647GND 11 io458 391GND 11 io970 903GND12 202GND io135 12 714GND io647 12 458GND io391 12 970GND io90313 135GND 13 647GND 13 391GND 13 903GND14 202GND 134GND 14 714GND 646GND 14 458GND 390GND 14 970GND 902GND15 203GND 15 715GND 15 459GND 15 971GND16 io203 134GND 16 io715 646GND 16 io459 390GND 16 io971 902GND17 203GND io134 17 715GND io646 17 459GND io390 17 971GND io90218 134GND 18 646GND 18 390GND 18 902GND19 203GND 133GND 19 715GND 645GND 19 459GND 389GND 19 971GND 901GND20 204GND 20 716GND 20 460GND 20 972GND21 io204 133GND 21 io716 645GND 21 io460 389GND 21 io972 901GND22 204GND io133 22 716GND io645 22 460GND io389 22 972GND io90123 133GND 23 645GND 23 389GND 23 901GND24 204GND 132GND 24 716GND 644GND 24 460GND 388GND 24 972GND 900GND25 205GND 25 717GND 25 461GND 25 973GND26 io205 132GND 26 io717 644GND 26 io461 388GND 26 io973 900GND27 205GND io132 27 717GND io644 27 461GND io388 27 973GND io90028 132GND 28 644GND 28 388GND 28 900GND29 205GND 131GND 29 717GND 643GND 29 461GND 387GND 29 973GND 899GND30 206GND 30 718GND 30 462GND 30 974GND31 io206 131GND 31 io718 643GND 31 io462 387GND 31 io974 899GND32 206GND io131 32 718GND io643 32 462GND io387 32 974GND io89933 131GND 33 643GND 33 387GND 33 899GND34 206GND 130GND 34 718GND 642GND 34 462GND 386GND 34 974GND 898GND35 207GND 35 719GND 35 463GND 35 975GND36 io207 130GND 36 io719 642GND 36 io463 386GND 36 io975 898GND37 207GND io130 37 719GND io642 37 463GND io386 37 975GND io89838 130GND 38 642GND 38 386GND 38 898GND39 207GND 129GND 39 719GND 641GND 39 463GND 385GND 39 975GND 897GND40 208GND 40 720GND 40 464GND 40 976GND41 io208 129GND 41 io720 641GND 41 io464 385GND 41 io976 897GND42 208GND io129 42 720GND io641 42 464GND io385 42 976GND io89743 129GND 43 641GND 43 385GND 43 897GND44 208GND DP10G 44 720GND 44 464GND 44 976GND45 DP14G DP10GU 45 PAG1P1G 45 CW20 PBVCC 45 PAG2P1G46 DP14GU DP10S 46 PAG1P1 46 CW21 PBVCC 46 PAG2P147 DP14S DP10F 47 PAG1P1G PAG1N1G 47 CW22 PBVCC 47 PAG2P1G PAG2N1G48 DP14F DP10F 48 PAG1P1XG PAG1N1 48 CW23 PBVCC 48 PAG2P1XG PAG2N149 DP14F DP10G 49 PAG1P1X PAG1N1G 49 UC2 49 PAG2P1X PAG2N1G50 DP14G MMTXAG 50 PAG1P1XG 50 UC3 PSRING 50 PAG2P1XG51 MMTXA 51 PAG1N1XG 51 PSRIPG PSRIN 51 PAG2N1XG52 MMTXAG 52 PAG1N1X UDC8GU 52 PSRIP PSRING 52 PAG2N1X53 SMP1AG 53 PAG1N1XG UDC8S 53 PSRIPG TMCL2G 53 PAG2N1XG54 SMP1CG SMP1A 54 UDC8G UDC8GU 54 TMCL1G TMCL2 5455 SMP1C SMP1AG 55 UDC8F RSV5 55 TMCL1 TMCL2G 55 RSV756 SMP1CG CPS10 56 UDC8G RSV6 56 TMCL1G CPS14 56 RSV8

A6-302.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT9-12[3/16]

J9 J10 J11 J12

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSOG7 1 GND SMP1NG 1 GND VRH1FG 1 GND SMP1NXG2 HSOG8 HSOS7 2 SMP1PG SMP1N 2 VRH1SG VRH1F 2 SMP1PXG SMP1NX3 HSOS8 HSOG7 3 SMP1P SMP1NG 3 VRH1S VRH1FG 3 SMP1PX SMP1NXG4 HSOG8 16GND 4 SMP1PG 528GND 4 VRH1SG 272GND 4 SMP1PXG 784GND5 65GND 5 577GND 5 321GND 5 833GND6 io65 16GND 6 io577 528GND 6 io321 272GND 6 io833 784GND7 65GND io16 7 577GND io528 7 321GND io272 7 833GND io7848 16GND 8 528GND 8 272GND 8 784GND9 65GND 15GND 9 577GND 527GND 9 321GND 271GND 9 833GND 783GND10 66GND 10 578GND 10 322GND 10 834GND11 io66 15GND 11 io578 527GND 11 io322 271GND 11 io834 783GND12 66GND io15 12 578GND io527 12 322GND io271 12 834GND io78313 15GND 13 527GND 13 271GND 13 783GND14 66GND 14GND 14 578GND 526GND 14 322GND 270GND 14 834GND 782GND15 67GND 15 579GND 15 323GND 15 835GND16 io67 14GND 16 io579 526GND 16 io323 270GND 16 io835 782GND17 67GND io14 17 579GND io526 17 323GND io270 17 835GND io78218 14GND 18 526GND 18 270GND 18 782GND19 67GND 13GND 19 579GND 525GND 19 323GND 269GND 19 835GND 781GND20 68GND 20 580GND 20 324GND 20 836GND21 io68 13GND 21 io580 525GND 21 io324 269GND 21 io836 781GND22 68GND io13 22 580GND io525 22 324GND io269 22 836GND io78123 13GND 23 525GND 23 269GND 23 781GND24 68GND 12GND 24 580GND 524GND 24 324GND 268GND 24 836GND 780GND25 69GND 25 581GND 25 325GND 25 837GND26 io69 12GND 26 io581 524GND 26 io325 268GND 26 io837 780GND27 69GND io12 27 581GND io524 27 325GND io268 27 837GND io78028 12GND 28 524GND 28 268GND 28 780GND29 69GND 11GND 29 581GND 523GND 29 325GND 267GND 29 837GND 779GND30 70GND 30 582GND 30 326GND 30 838GND31 io70 11GND 31 io582 523GND 31 io326 267GND 31 io838 779GND32 70GND io11 32 582GND io523 32 326GND io267 32 838GND io77933 11GND 33 523GND 33 267GND 33 779GND34 70GND 10GND 34 582GND 522GND 34 326GND 266GND 34 838GND 778GND35 71GND 35 583GND 35 327GND 35 839GND36 io71 10GND 36 io583 522GND 36 io327 266GND 36 io839 778GND37 71GND io10 37 583GND io522 37 327GND io266 37 839GND io77838 10GND 38 522GND 38 266GND 38 778GND39 71GND 9GND 39 583GND 521GND 39 327GND 265GND 39 839GND 777GND40 72GND 40 584GND 40 328GND 40 840GND41 io72 9GND 41 io584 521GND 41 io328 265GND 41 io840 777GND42 72GND io9 42 584GND io521 42 328GND io265 42 840GND io77743 9GND 43 521GND 43 265GND 43 777GND44 72GND DP18G 44 584GND 44 328GND 44 840GND45 DP22G DP18GU 45 PAD1HBG 45 CW24 PBVCC 45 PAD3HBG46 DP22GU DP18S 46 PAD1HB 46 CW25 PBVCC 46 PAD3HB47 DP22S DP18F 47 PAD1HBG PAD1HCG 47 CW26 PBVCC 47 PAD3HBG PAD3HCG48 DP22F DP18F 48 PAD1HDG PAD1HC 48 CW27 PBVCC 48 PAD3HDG PAD3HC49 DP22F DP18G 49 PAD1HD PAD1HCG 49 UC4 49 PAD3HD PAD3HCG50 DP22G PAD3HAG 50 PAD1HDG PAD1HXG 50 UC5 SMP1DG 50 PAD3HDG PAD3HXG51 PAD3LG PAD3HA 51 PAD1LXG PAD1HX 51 SG1XG SMP1D 51 PAD3LXG PAD3HX52 PAD3L PAD3HAG 52 PAD1LX PAD1HXG 52 SG1X SMP1DG 52 PAD3LX PAD3HXG53 PAD3LG MEXCK2G 53 PAD1LXG 53 SG1XG SG1AG 53 PAD3LXG54 MVR1HGG MEXCK2 54 SMP1BG 54 SG1BG SG1A 54 SG1XBG55 MVR1HG MEXCK2G 55 SMP1B RSV9 55 SG1B SG1AG 55 SG1XB RSV1156 MVR1HGG CPS18 56 SMP1BG RSV10 56 SG1BG CPS22 56 SG1XBG RSV12

A6-4 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT13-16[4/16]

J13 J14 J15 J16

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSIG7 1 GND VSB1G 1 GND VRL1FG 1 GND VI1G2 HSIG8 HSIS7 2 VIM1G VSB1 2 VRL1SG VRL1F 2 VI13 HSIS8 HSIG7 3 VIM1 VSB1G 3 VRL1S VRL1FG 3 VI1G4 HSIG8 144GND 4 VIM1G 656GND 4 VRL1SG 400GND 4 912GND5 193GND 5 705GND 5 449GND 5 961GND6 io193 144GND 6 io705 656GND 6 io449 400GND 6 io961 912GND7 193GND io144 7 705GND io656 7 449GND io400 7 961GND io9128 144GND 8 656GND 8 400GND 8 912GND9 193GND 143GND 9 705GND 655GND 9 449GND 399GND 9 961GND 911GND10 194GND 10 706GND 10 450GND 10 962GND11 io194 143GND 11 io706 655GND 11 io450 399GND 11 io962 911GND12 194GND io143 12 706GND io655 12 450GND io399 12 962GND io91113 143GND 13 655GND 13 399GND 13 911GND14 194GND 142GND 14 706GND 654GND 14 450GND 398GND 14 962GND 910GND15 195GND 15 707GND 15 451GND 15 963GND16 io195 142GND 16 io707 654GND 16 io451 398GND 16 io963 910GND17 195GND io142 17 707GND io654 17 451GND io398 17 963GND io91018 142GND 18 654GND 18 398GND 18 910GND19 195GND 141GND 19 707GND 653GND 19 451GND 397GND 19 963GND 909GND20 196GND 20 708GND 20 452GND 20 964GND21 io196 141GND 21 io708 653GND 21 io452 397GND 21 io964 909GND22 196GND io141 22 708GND io653 22 452GND io397 22 964GND io90923 141GND 23 653GND 23 397GND 23 909GND24 196GND 140GND 24 708GND 652GND 24 452GND 396GND 24 964GND 908GND25 197GND 25 709GND 25 453GND 25 965GND26 io197 140GND 26 io709 652GND 26 io453 396GND 26 io965 908GND27 197GND io140 27 709GND io652 27 453GND io396 27 965GND io90828 140GND 28 652GND 28 396GND 28 908GND29 197GND 139GND 29 709GND 651GND 29 453GND 395GND 29 965GND 907GND30 198GND 30 710GND 30 454GND 30 966GND31 io198 139GND 31 io710 651GND 31 io454 395GND 31 io966 907GND32 198GND io139 32 710GND io651 32 454GND io395 32 966GND io90733 139GND 33 651GND 33 395GND 33 907GND34 198GND 138GND 34 710GND 650GND 34 454GND 394GND 34 966GND 906GND35 199GND 35 711GND 35 455GND 35 967GND36 io199 138GND 36 io711 650GND 36 io455 394GND 36 io967 906GND37 199GND io138 37 711GND io650 37 455GND io394 37 967GND io90638 138GND 38 650GND 38 394GND 38 906GND39 199GND 137GND 39 711GND 649GND 39 455GND 393GND 39 967GND 905GND40 200GND 40 712GND 40 456GND 40 968GND41 io200 137GND 41 io712 649GND 41 io456 393GND 41 io968 905GND42 200GND io137 42 712GND io649 42 456GND io393 42 968GND io90543 137GND 43 649GND 43 393GND 43 905GND44 200GND DP26G 44 712GND 44 456GND 44 968GND45 DP30G DP26GU 45 MVRH1FG 45 CW28 PBRLVCC 45 WFD1HAG46 DP30GU DP26S 46 MVRH1F 46 CW29 PBRLVCC 46 WFD1HA47 DP30S DP26F 47 MVRH1FG WFD1LG 47 CW30 PBRLVCC 47 WFD1HAG WFD1HBG48 DP30F DP26F 48 MVRH1SG WFD1L 48 CW31 PBRLVCC 48 WFD1HCG WFD1HB49 DP30F DP26G 49 MVRH1S WFD1LG 49 UC6 49 WFD1HC WFD1HBG50 DP30G UDC4GU 50 MVRH1SG MVRL1FG 50 UC7 SMPTRIGG 50 WFD1HCG WFD1HDG51 UDC4G UDC4S 51 MVRL1SG MVRL1F 51 MEXEV1G SMPTRIG 51 WFD1HEG WFD1HD52 UDC4F UDC4GU 52 MVRL1S MVRL1FG 52 MEXEV1 SMPTRIGG 52 WFD1HE WFD1HDG53 UDC4G AFG1PG 53 MVRL1SG 53 MEXEV1G SMPCLKG 53 WFD1HEG54 AFG1NG AFG1P 54 MEXCK1G 54 MEXEV2G SMPCLK 54 WFD1HFG55 AFG1N AFG1PG 55 MEXCK1 RSV13 55 MEXEV2 SMPCLKG 55 WFD1HF RSV1556 AFG1NG CPS26 56 MEXCK1G RSV14 56 MEXEV2G CPS30 56 WFD1HFG RSV16

A6-502.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT17-20[5/16]

J17 J18 J19 J20

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND TMU2BG 1 GND WFD2NG 1 GND WFG1N2G 1 GND MTX5G2 TMU1BG TMU2B 2 WFD2PG WFD2N 2 WFG1P2G WFG1N2 2 MTX6G MTX53 TMU1B TMU2BG 3 WFD2P WFD2NG 3 WFG1P2 WFG1N2G 3 MTX6 MTX5G4 TMU1BG 992GND 4 WFD2PG 480GND 4 WFG1P2G 736GND 4 MTX6G 224GND5 913GND 5 401GND 5 657GND 5 145GND6 io913 992GND 6 io401 480GND 6 io657 736GND 6 io145 224GND7 913GND io992 7 401GND io480 7 657GND io736 7 145GND io2248 992GND 8 480GND 8 736GND 8 224GND9 913GND 991GND 9 401GND 479GND 9 657GND 735GND 9 145GND 223GND10 914GND 10 402GND 10 658GND 10 146GND11 io914 991GND 11 io402 479GND 11 io658 735GND 11 io146 223GND12 914GND io991 12 402GND io479 12 658GND io735 12 146GND io22313 991GND 13 479GND 13 735GND 13 223GND14 914GND 990GND 14 402GND 478GND 14 658GND 734GND 14 146GND 222GND15 915GND 15 403GND 15 659GND 15 147GND16 io915 990GND 16 io403 478GND 16 io659 734GND 16 io147 222GND17 915GND io990 17 403GND io478 17 659GND io734 17 147GND io22218 990GND 18 478GND 18 734GND 18 222GND19 915GND 989GND 19 403GND 477GND 19 659GND 733GND 19 147GND 221GND20 916GND 20 404GND 20 660GND 20 148GND21 io916 989GND 21 io404 477GND 21 io660 733GND 21 io148 221GND22 916GND io989 22 404GND io477 22 660GND io733 22 148GND io22123 989GND 23 477GND 23 733GND 23 221GND24 916GND 988GND 24 404GND 476GND 24 660GND 732GND 24 148GND 220GND25 917GND 25 405GND 25 661GND 25 149GND26 io917 988GND 26 io405 476GND 26 io661 732GND 26 io149 220GND27 917GND io988 27 405GND io476 27 661GND io732 27 149GND io22028 988GND 28 476GND 28 732GND 28 220GND29 917GND 987GND 29 405GND 475GND 29 661GND 731GND 29 149GND 219GND30 918GND 30 406GND 30 662GND 30 150GND31 io918 987GND 31 io406 475GND 31 io662 731GND 31 io150 219GND32 918GND io987 32 406GND io475 32 662GND io731 32 150GND io21933 987GND 33 475GND 33 731GND 33 219GND34 918GND 986GND 34 406GND 474GND 34 662GND 730GND 34 150GND 218GND35 919GND 35 407GND 35 663GND 35 151GND36 io919 986GND 36 io407 474GND 36 io663 730GND 36 io151 218GND37 919GND io986 37 407GND io474 37 663GND io730 37 151GND io21838 986GND 38 474GND 38 730GND 38 218GND39 919GND 985GND 39 407GND 473GND 39 663GND 729GND 39 151GND 217GND40 920GND 40 408GND 40 664GND 40 152GND41 io920 985GND 41 io408 473GND 41 io664 729GND 41 io152 217GND42 920GND io985 42 408GND io473 42 664GND io729 42 152GND io21743 985GND 43 473GND 43 729GND 43 217GND44 920GND MRLC0 44 408GND DP3G 44 664GND MRLC1 44 152GND45 TMU1BXG MRLC0G 45 DP7G DP3GU 45 GWG1P2XG MRLC1G 45 CW32 PBRLVCC46 TMU1BX 46 DP7GU DP3S 46 GWG1P2X 46 CW33 PBRLVCC47 TMU1BXG TMU2BXG 47 DP7S DP3F 47 GWG1P2XG GWG1N2XG 47 CW34 PBRLVCC48 WFG1P2XG TMU2BX 48 DP7F DP3F 48 WFG2P2XG GWG1N2X 48 CW35 PBRLVCC49 WFG1P2X TMU2BXG 49 DP7F DP3G 49 WFG2P2X GWG1N2XG 49 UC850 WFG1P2XG WFG1N2XG 50 DP7G MMTX5G 50 WFG2P2XG WFG2N2XG 50 UC9 SMP2OG51 MMTX6G WFG1N2X 51 VOFF2G MMTX5 51 MMTX8G WFG2N2X 51 AF1NTG SMP2O52 MMTX6 WFG1N2XG 52 VOFF2 MMTX5G 52 MMTX8 WFG2N2XG 52 AF1NT SMP2OG53 MMTX6G 53 VOFF2G AFD2PG 53 MMTX8G 53 AF1NTG PAD5HAG54 MMTX7G 54 AFD2NG AFD2P 54 SMP2XG 54 PAD5LG PAD5HA55 MMTX7 RSV17 55 AFD2N AFD2PG 55 SMP2X RSV19 55 PAD5L PAD5HAG56 MMTX7G RSV18 56 AFD2NG CPS3 56 SMP2XG RSV20 56 PAD5LG CPS7

A6-6 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT21-24[6/16]

J21 J22 J23 J24

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND GWG1N2G 1 GND WFD2NXG 1 GND WFG2N2G 1 GND MTX7G2 GWG1P2G GWG1N2 2 WFD2PXG WFD2NX 2 WFG2P2G WFG2N2 2 MTX8G MTX73 GWG1P2 GWG1N2G 3 WFD2PX WFD2NXG 3 WFG2P2 WFG2N2G 3 MTX8 MTX7G4 GWG1P2G 864GND 4 WFD2PXG 352GND 4 WFG2P2G 608GND 4 MTX8G 96GND5 785GND 5 273GND 5 529GND 5 17GND6 io785 864GND 6 io273 352GND 6 io529 608GND 6 io17 96GND7 785GND io864 7 273GND io352 7 529GND io608 7 17GND io968 864GND 8 352GND 8 608GND 8 96GND9 785GND 863GND 9 273GND 351GND 9 529GND 607GND 9 17GND 95GND10 786GND 10 274GND 10 530GND 10 18GND11 io786 863GND 11 io274 351GND 11 io530 607GND 11 io18 95GND12 786GND io863 12 274GND io351 12 530GND io607 12 18GND io9513 863GND 13 351GND 13 607GND 13 95GND14 786GND 862GND 14 274GND 350GND 14 530GND 606GND 14 18GND 94GND15 787GND 15 275GND 15 531GND 15 19GND16 io787 862GND 16 io275 350GND 16 io531 606GND 16 io19 94GND17 787GND io862 17 275GND io350 17 531GND io606 17 19GND io9418 862GND 18 350GND 18 606GND 18 94GND19 787GND 861GND 19 275GND 349GND 19 531GND 605GND 19 19GND 93GND20 788GND 20 276GND 20 532GND 20 20GND21 io788 861GND 21 io276 349GND 21 io532 605GND 21 io20 93GND22 788GND io861 22 276GND io349 22 532GND io605 22 20GND io9323 861GND 23 349GND 23 605GND 23 93GND24 788GND 860GND 24 276GND 348GND 24 532GND 604GND 24 20GND 92GND25 789GND 25 277GND 25 533GND 25 21GND26 io789 860GND 26 io277 348GND 26 io533 604GND 26 io21 92GND27 789GND io860 27 277GND io348 27 533GND io604 27 21GND io9228 860GND 28 348GND 28 604GND 28 92GND29 789GND 859GND 29 277GND 347GND 29 533GND 603GND 29 21GND 91GND30 790GND 30 278GND 30 534GND 30 22GND31 io790 859GND 31 io278 347GND 31 io534 603GND 31 io22 91GND32 790GND io859 32 278GND io347 32 534GND io603 32 22GND io9133 859GND 33 347GND 33 603GND 33 91GND34 790GND 858GND 34 278GND 346GND 34 534GND 602GND 34 22GND 90GND35 791GND 35 279GND 35 535GND 35 23GND36 io791 858GND 36 io279 346GND 36 io535 602GND 36 io23 90GND37 791GND io858 37 279GND io346 37 535GND io602 37 23GND io9038 858GND 38 346GND 38 602GND 38 90GND39 791GND 857GND 39 279GND 345GND 39 535GND 601GND 39 23GND 89GND40 792GND 40 280GND 40 536GND 40 24GND41 io792 857GND 41 io280 345GND 41 io536 601GND 41 io24 89GND42 792GND io857 42 280GND io345 42 536GND io601 42 24GND io8943 857GND 43 345GND 43 601GND 43 89GND44 792GND MRLC2 44 280GND DP11G 44 536GND MRLC3 44 24GND45 PAG1P3G MRLC2G 45 DP15G DP11GU 45 PAG2P3G MRLC3G 45 CW36 PBRLVCC46 PAG1P3 46 DP15GU DP11S 46 PAG2P3 46 CW37 PBRLVCC47 PAG1P3G PAG1N3G 47 DP15S DP11F 47 PAG2P3G PAG2N3G 47 CW38 PBRLVCC48 PAG1P3XG PAG1N3 48 DP15F DP11F 48 PAG2P3XG PAG2N3 48 CW39 PBRLVCC49 PAG1P3X PAG1N3G 49 DP15F DP11G 49 PAG2P3X PAG2N3G 49 UC1050 PAG1P3XG 50 DP15G MMTXBG 50 PAG2P3XG 50 UC11 PAG2OFG51 PAG1N3XG 51 MMTXB 51 PAG2N3XG 51 PAG1OFG PAG2OF52 PAG1N3X 52 MMTXBG 52 PAG2N3X UDC5GU 52 PAG1OF PAG2OFG53 PAG1N3XG 53 SMP2AG 53 PAG2N3XG UDC5S 53 PAG1OFG54 54 SMP2CG SMP2A 54 UDC5G UDC5GU 5455 RSV21 55 SMP2C SMP2AG 55 UDC5F RSV23 5556 RSV22 56 SMP2CG CPS11 56 UDC5G RSV24 56 CPS15

A6-702.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT25-28[7/16]

J25 J26 J27 J28

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND SMP2NG 1 GND HSOG1 1 GND SMP2NXG 1 GND VRH2FG2 SMP2PG SMP2N 2 HSOG2 HSOS1 2 SMP2PXG SMP2NX 2 VRH2SG VRH2F3 SMP2P SMP2NG 3 HSOS2 HSOG1 3 SMP2PX SMP2NXG 3 VRH2S VRH2FG4 SMP2PG 984GND 4 HSOG2 472GND 4 SMP2PXG 728GND 4 VRH2SG 216GND5 921GND 5 409GND 5 665GND 5 153GND6 io921 984GND 6 io409 472GND 6 io665 728GND 6 io153 216GND7 921GND io984 7 409GND io472 7 665GND io728 7 153GND io2168 984GND 8 472GND 8 728GND 8 216GND9 921GND 983GND 9 409GND 471GND 9 665GND 727GND 9 153GND 215GND10 922GND 10 410GND 10 666GND 10 154GND11 io922 983GND 11 io410 471GND 11 io666 727GND 11 io154 215GND12 922GND io983 12 410GND io471 12 666GND io727 12 154GND io21513 983GND 13 471GND 13 727GND 13 215GND14 922GND 982GND 14 410GND 470GND 14 666GND 726GND 14 154GND 214GND15 923GND 15 411GND 15 667GND 15 155GND16 io923 982GND 16 io411 470GND 16 io667 726GND 16 io155 214GND17 923GND io982 17 411GND io470 17 667GND io726 17 155GND io21418 982GND 18 470GND 18 726GND 18 214GND19 923GND 981GND 19 411GND 469GND 19 667GND 725GND 19 155GND 213GND20 924GND 20 412GND 20 668GND 20 156GND21 io924 981GND 21 io412 469GND 21 io668 725GND 21 io156 213GND22 924GND io981 22 412GND io469 22 668GND io725 22 156GND io21323 981GND 23 469GND 23 725GND 23 213GND24 924GND 980GND 24 412GND 468GND 24 668GND 724GND 24 156GND 212GND25 925GND 25 413GND 25 669GND 25 157GND26 io925 980GND 26 io413 468GND 26 io669 724GND 26 io157 212GND27 925GND io980 27 413GND io468 27 669GND io724 27 157GND io21228 980GND 28 468GND 28 724GND 28 212GND29 925GND 979GND 29 413GND 467GND 29 669GND 723GND 29 157GND 211GND30 926GND 30 414GND 30 670GND 30 158GND31 io926 979GND 31 io414 467GND 31 io670 723GND 31 io158 211GND32 926GND io979 32 414GND io467 32 670GND io723 32 158GND io21133 979GND 33 467GND 33 723GND 33 211GND34 926GND 978GND 34 414GND 466GND 34 670GND 722GND 34 158GND 210GND35 927GND 35 415GND 35 671GND 35 159GND36 io927 978GND 36 io415 466GND 36 io671 722GND 36 io159 210GND37 927GND io978 37 415GND io466 37 671GND io722 37 159GND io21038 978GND 38 466GND 38 722GND 38 210GND39 927GND 977GND 39 415GND 465GND 39 671GND 721GND 39 159GND 209GND40 928GND 40 416GND 40 672GND 40 160GND41 io928 977GND 41 io416 465GND 41 io672 721GND 41 io160 209GND42 928GND io977 42 416GND io465 42 672GND io721 42 160GND io20943 977GND 43 465GND 43 721GND 43 209GND44 928GND MRLC4 44 416GND DP19G 44 672GND MRLC5 44 160GND45 PAD5HBG MRLC4G 45 DP23G DP19GU 45 PAD7HBG MRLC5G 45 CW40 PBRLVCC46 PAD5HB 46 DP23GU DP19S 46 PAD7HB 46 CW41 PBRLVCC47 PAD5HBG PAD5HCG 47 DP23S DP19F 47 PAD7HBG PAD7HCG 47 CW42 PBRLVCC48 PAD5HDG PAD5HC 48 DP23F DP19F 48 PAD7HDG PAD7HC 48 CW43 PBRLVCC49 PAD5HD PAD5HCG 49 DP23F DP19G 49 PAD7HD PAD7HCG 49 UC1250 PAD5HDG PAD5HXG 50 DP23G PAD7HAG 50 PAD7HDG PAD7HXG 50 UC13 SMP2DG51 PAD5LXG PAD5HX 51 PAD7LG PAD7HA 51 PAD7LXG PAD7HX 51 SG2XG SMP2D52 PAD5LX PAD5HXG 52 PAD7L PAD7HAG 52 PAD7LX PAD7HXG 52 SG2X SMP2DG53 PAD5LXG 53 PAD7LG 53 PAD7LXG 53 SG2XG SG2AG54 54 MVR2HGG 54 SMP2BG 54 SG2BG SG2A55 RSV25 55 MVR2HG 55 SMP2B RSV27 55 SG2B SG2AG56 RSV26 56 MVR2HGG CPS19 56 SMP2BG RSV28 56 SG2BG CPS23

A6-8 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT29-32[8/16]

J29 J30 J31 J32

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND VSB2G 1 GND HSIG1 1 GND VI2G 1 GND VRL2FG2 VIM2G VSB2 2 HSIG2 HSIS1 2 MASKG VI2 2 VRL2SG VRL2F3 VIM2 VSB2G 3 HSIS2 HSIG1 3 MASK VI2G 3 VRL2S VRL2FG4 VIM2G 856GND 4 HSIG2 344GND 4 MASKG 600GND 4 VRL2SG 88GND5 793GND 5 281GND 5 537GND 5 25GND6 io793 856GND 6 io281 344GND 6 io537 600GND 6 io25 88GND7 793GND io856 7 281GND io344 7 537GND io600 7 25GND io888 856GND 8 344GND 8 600GND 8 88GND9 793GND 855GND 9 281GND 343GND 9 537GND 599GND 9 25GND 87GND10 794GND 10 282GND 10 538GND 10 26GND11 io794 855GND 11 io282 343GND 11 io538 599GND 11 io26 87GND12 794GND io855 12 282GND io343 12 538GND io599 12 26GND io8713 855GND 13 343GND 13 599GND 13 87GND14 794GND 854GND 14 282GND 342GND 14 538GND 598GND 14 26GND 86GND15 795GND 15 283GND 15 539GND 15 27GND16 io795 854GND 16 io283 342GND 16 io539 598GND 16 io27 86GND17 795GND io854 17 283GND io342 17 539GND io598 17 27GND io8618 854GND 18 342GND 18 598GND 18 86GND19 795GND 853GND 19 283GND 341GND 19 539GND 597GND 19 27GND 85GND20 796GND 20 284GND 20 540GND 20 28GND21 io796 853GND 21 io284 341GND 21 io540 597GND 21 io28 85GND22 796GND io853 22 284GND io341 22 540GND io597 22 28GND io8523 853GND 23 341GND 23 597GND 23 85GND24 796GND 852GND 24 284GND 340GND 24 540GND 596GND 24 28GND 84GND25 797GND 25 285GND 25 541GND 25 29GND26 io797 852GND 26 io285 340GND 26 io541 596GND 26 io29 84GND27 797GND io852 27 285GND io340 27 541GND io596 27 29GND io8428 852GND 28 340GND 28 596GND 28 84GND29 797GND 851GND 29 285GND 339GND 29 541GND 595GND 29 29GND 83GND30 798GND 30 286GND 30 542GND 30 30GND31 io798 851GND 31 io286 339GND 31 io542 595GND 31 io30 83GND32 798GND io851 32 286GND io339 32 542GND io595 32 30GND io8333 851GND 33 339GND 33 595GND 33 83GND34 798GND 850GND 34 286GND 338GND 34 542GND 594GND 34 30GND 82GND35 799GND 35 287GND 35 543GND 35 31GND36 io799 850GND 36 io287 338GND 36 io543 594GND 36 io31 82GND37 799GND io850 37 287GND io338 37 543GND io594 37 31GND io8238 850GND 38 338GND 38 594GND 38 82GND39 799GND 849GND 39 287GND 337GND 39 543GND 593GND 39 31GND 81GND40 800GND 40 288GND 40 544GND 40 32GND41 io800 849GND 41 io288 337GND 41 io544 593GND 41 io32 81GND42 800GND io849 42 288GND io337 42 544GND io593 42 32GND io8143 849GND 43 337GND 43 593GND 43 81GND44 800GND MRLC6 44 288GND DP27G 44 544GND MRLC7 44 32GND45 MVRH2FG MRLC6G 45 DP31G DP27GU 45 WFD2HAG MRLC7G 45 CW44 PBVEE46 MVRH2F 46 DP31GU DP27S 46 WFD2HA 46 CW45 PBVEE47 MVRH2FG WFD2LG 47 DP31S DP27F 47 WFD2HAG WFD2HBG 47 CW46 PBVEE48 MVRH2SG WFD2L 48 DP31F DP27F 48 WFD2HCG WFD2HB 48 CW47 PBVEE49 MVRH2S WFD2LG 49 DP31F DP27G 49 WFD2HC WFD2HBG 49 UC1450 MVRH2SG MVRL2FG 50 DP31G UDC1GU 50 WFD2HCG WFD2HDG 50 UC15 ACVSNG51 MVRL2SG MVRL2F 51 UDC1G UDC1S 51 WFD2HEG WFD2HD 51 ACVSPG ACVSN52 MVRL2S MVRL2FG 52 UDC1F UDC1GU 52 WFD2HE WFD2HDG 52 ACVSP ACVSNG53 MVRL2SG 53 UDC1G AFG2PG 53 WFD2HEG 53 ACVSPG ACVMNG54 SG2XBG 54 AFG2NG AFG2P 54 WFD2HFG 54 ACVMPG ACVMN55 SG2XB RSV29 55 AFG2N AFG2PG 55 WFD2HF RSV31 55 ACVMP ACVMNG56 SG2XBG RSV30 56 AFG2NG CPS27 56 WFD2HFG RSV32 56 ACVMPG CPS31

A6-902.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT33-36[9/16]

J33 J34 J35 J36

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD3NG 1 GND TMU2CG 1 GND MTX9G 1 GND WFG1N3G2 WFD3PG WFD3N 2 TMU1CG TMU2C 2 MTX10G MTX9 2 WFG1P3G WFG1N33 WFD3P WFD3NG 3 TMU1C TMU2CG 3 MTX10 MTX9G 3 WFG1P3 WFG1N3G4 WFD3PG 40GND 4 TMU1CG 552GND 4 MTX10G 296GND 4 WFG1P3G 808GND5 105GND 5 617GND 5 361GND 5 873GND6 io105 40GND 6 io617 552GND 6 io361 296GND 6 io873 808GND7 105GND io40 7 617GND io552 7 361GND io296 7 873GND io8088 40GND 8 552GND 8 296GND 8 808GND9 105GND 39GND 9 617GND 551GND 9 361GND 295GND 9 873GND 807GND10 106GND 10 618GND 10 362GND 10 874GND11 io106 39GND 11 io618 551GND 11 io362 295GND 11 io874 807GND12 106GND io39 12 618GND io551 12 362GND io295 12 874GND io80713 39GND 13 551GND 13 295GND 13 807GND14 106GND 38GND 14 618GND 550GND 14 362GND 294GND 14 874GND 806GND15 107GND 15 619GND 15 363GND 15 875GND16 io107 38GND 16 io619 550GND 16 io363 294GND 16 io875 806GND17 107GND io38 17 619GND io550 17 363GND io294 17 875GND io80618 38GND 18 550GND 18 294GND 18 806GND19 107GND 37GND 19 619GND 549GND 19 363GND 293GND 19 875GND 805GND20 108GND 20 620GND 20 364GND 20 876GND21 io108 37GND 21 io620 549GND 21 io364 293GND 21 io876 805GND22 108GND io37 22 620GND io549 22 364GND io293 22 876GND io80523 37GND 23 549GND 23 293GND 23 805GND24 108GND 36GND 24 620GND 548GND 24 364GND 292GND 24 876GND 804GND25 109GND 25 621GND 25 365GND 25 877GND26 io109 36GND 26 io621 548GND 26 io365 292GND 26 io877 804GND27 109GND io36 27 621GND io548 27 365GND io292 27 877GND io80428 36GND 28 548GND 28 292GND 28 804GND29 109GND 35GND 29 621GND 547GND 29 365GND 291GND 29 877GND 803GND30 110GND 30 622GND 30 366GND 30 878GND31 io110 35GND 31 io622 547GND 31 io366 291GND 31 io878 803GND32 110GND io35 32 622GND io547 32 366GND io291 32 878GND io80333 35GND 33 547GND 33 291GND 33 803GND34 110GND 34GND 34 622GND 546GND 34 366GND 290GND 34 878GND 802GND35 111GND 35 623GND 35 367GND 35 879GND36 io111 34GND 36 io623 546GND 36 io367 290GND 36 io879 802GND37 111GND io34 37 623GND io546 37 367GND io290 37 879GND io80238 34GND 38 546GND 38 290GND 38 802GND39 111GND 33GND 39 623GND 545GND 39 367GND 289GND 39 879GND 801GND40 112GND 40 624GND 40 368GND 40 880GND41 io112 33GND 41 io624 545GND 41 io368 289GND 41 io880 801GND42 112GND io33 42 624GND io545 42 368GND io289 42 880GND io80143 33GND 43 545GND 43 289GND 43 801GND44 112GND DP4G 44 624GND MRLC8 44 368GND 44 880GND MRLC945 DP8G DP4GU 45 TMU1CXG MRLC8G 45 CW48 PBVEE 45 GWG1P3XG MRLC9G46 DP8GU DP4S 46 TMU1CX 46 CW49 PBVEE 46 GWG1P3X47 DP8S DP4F 47 TMU1CXG TMU2CXG 47 CW50 PBVEE 47 GWG1P3XG GWG1N3XG48 DP8F DP4F 48 WFG1P3XG TMU2CX 48 CW51 PBVEE 48 WFG2P3XG GWG1N3X49 DP8F DP4G 49 WFG1P3X TMU2CXG 49 UC16 49 WFG2P3X GWG1N3XG50 DP8G MMTX9G 50 WFG1P3XG WFG1N3XG 50 UC17 SMP3OG 50 WFG2P3XG WFG2N3XG51 VOFF3G MMTX9 51 MMTX10G WFG1N3X 51 AF2FLG SMP3O 51 MMTX12G WFG2N3X52 VOFF3 MMTX9G 52 MMTX10 WFG1N3XG 52 AF2FL SMP3OG 52 MMTX12 WFG2N3XG53 VOFF3G AFD3PG 53 MMTX10G 53 AF2FLG PAD2HAG 53 MMTX12G54 AFD3NG AFD3P 54 MMTX11G 54 PAD2LG PAD2HA 54 SMP3XG55 AFD3N AFD3PG 55 MMTX11 RSV33 55 PAD2L PAD2HAG 55 SMP3X RSV3556 AFD3NG CPS4 56 MMTX11G RSV34 56 PAD2LG CPS8 56 SMP3XG RSV36

A6-10 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT37-40[10/16]

J37 J38 J39 J40

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND WFD3NXG 1 GND GWG1N3G 1 GND MTX11G 1 GND WFG2N3G2 WFD3PXG WFD3NX 2 GWG1P3G GWG1N3 2 MTX12G MTX11 2 WFG2P3G WFG2N33 WFD3PX WFD3NXG 3 GWG1P3 GWG1N3G 3 MTX12 MTX11G 3 WFG2P3 WFG2N3G4 WFD3PXG 168GND 4 GWG1P3G 680GND 4 MTX12G 424GND 4 WFG2P3G 936GND5 233GND 5 745GND 5 489GND 5 1001GND6 io233 168GND 6 io745 680GND 6 io489 424GND 6 io1001 936GND7 233GND io168 7 745GND io680 7 489GND io424 7 1001GND io9368 168GND 8 680GND 8 424GND 8 936GND9 233GND 167GND 9 745GND 679GND 9 489GND 423GND 9 1001GND 935GND10 234GND 10 746GND 10 490GND 10 1002GND11 io234 167GND 11 io746 679GND 11 io490 423GND 11 io1002 935GND12 234GND io167 12 746GND io679 12 490GND io423 12 1002GND io93513 167GND 13 679GND 13 423GND 13 935GND14 234GND 166GND 14 746GND 678GND 14 490GND 422GND 14 1002GND 934GND15 235GND 15 747GND 15 491GND 15 1003GND16 io235 166GND 16 io747 678GND 16 io491 422GND 16 io1003 934GND17 235GND io166 17 747GND io678 17 491GND io422 17 1003GND io93418 166GND 18 678GND 18 422GND 18 934GND19 235GND 165GND 19 747GND 677GND 19 491GND 421GND 19 1003GND 933GND20 236GND 20 748GND 20 492GND 20 1004GND21 io236 165GND 21 io748 677GND 21 io492 421GND 21 io1004 933GND22 236GND io165 22 748GND io677 22 492GND io421 22 1004GND io93323 165GND 23 677GND 23 421GND 23 933GND24 236GND 164GND 24 748GND 676GND 24 492GND 420GND 24 1004GND 932GND25 237GND 25 749GND 25 493GND 25 1005GND26 io237 164GND 26 io749 676GND 26 io493 420GND 26 io1005 932GND27 237GND io164 27 749GND io676 27 493GND io420 27 1005GND io93228 164GND 28 676GND 28 420GND 28 932GND29 237GND 163GND 29 749GND 675GND 29 493GND 419GND 29 1005GND 931GND30 238GND 30 750GND 30 494GND 30 1006GND31 io238 163GND 31 io750 675GND 31 io494 419GND 31 io1006 931GND32 238GND io163 32 750GND io675 32 494GND io419 32 1006GND io93133 163GND 33 675GND 33 419GND 33 931GND34 238GND 162GND 34 750GND 674GND 34 494GND 418GND 34 1006GND 930GND35 239GND 35 751GND 35 495GND 35 1007GND36 io239 162GND 36 io751 674GND 36 io495 418GND 36 io1007 930GND37 239GND io162 37 751GND io674 37 495GND io418 37 1007GND io93038 162GND 38 674GND 38 418GND 38 930GND39 239GND 161GND 39 751GND 673GND 39 495GND 417GND 39 1007GND 929GND40 240GND 40 752GND 40 496GND 40 1008GND41 io240 161GND 41 io752 673GND 41 io496 417GND 41 io1008 929GND42 240GND io161 42 752GND io673 42 496GND io417 42 1008GND io92943 161GND 43 673GND 43 417GND 43 929GND44 240GND DP12G 44 752GND MRLC10 44 496GND 44 1008GND MRLC1145 DP16G DP12GU 45 PAG1P2G MRLC10G 45 CW52 PBM15V 45 PAG2P2G MRLC11G46 DP16GU DP12S 46 PAG1P2 46 CW53 PBM15V 46 PAG2P247 DP16S DP12F 47 PAG1P2G PAG1N2G 47 CW54 PBM15V 47 PAG2P2G PAG2N2G48 DP16F DP12F 48 PAG1P2XG PAG1N2 48 CW55 PBM15V 48 PAG2P2XG PAG2N249 DP16F DP12G 49 PAG1P2X PAG1N2G 49 UC18 49 PAG2P2X PAG2N2G50 DP16G MMTXCG 50 PAG1P2XG 50 UC19 50 PAG2P2XG SMP3DG51 AFCALG MMTXC 51 PAG1N2XG 51 VD1XPG 51 PAG2N2XG SMP3D52 AFCAL MMTXCG 52 PAG1N2X UDC6GU 52 VD1XP 52 PAG2N2X SMP3DG53 AFCALG SMP3AG 53 PAG1N2XG UDC6S 53 VD1XPG VD1APG 53 PAG2N2XG54 SMP3CG SMP3A 54 UDC6G UDC6GU 54 VD1ANG VD1AP 54 SMP3BG55 SMP3C SMP3AG 55 UDC6F RSV37 55 VD1AN VD1APG 55 SMP3B RSV3956 SMP3CG CPS12 56 UDC6G RSV38 56 VD1ANG CPS16 56 SMP3BG RSV40

A6-1102.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT41-44[11/16]

J41 J42 J43 J44

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSOG3 1 GND SMP3NG 1 GND VRH3FG 1 GND SMP3NXG2 HSOG4 HSOS3 2 SMP3PG SMP3N 2 VRH3SG VRH3F 2 SMP3PXG SMP3NX3 HSOS4 HSOG3 3 SMP3P SMP3NG 3 VRH3S VRH3FG 3 SMP3PX SMP3NXG4 HSOG4 48GND 4 SMP3PG 560GND 4 VRH3SG 304GND 4 SMP3PXG 816GND5 97GND 5 609GND 5 353GND 5 865GND6 io97 48GND 6 io609 560GND 6 io353 304GND 6 io865 816GND7 97GND io48 7 609GND io560 7 353GND io304 7 865GND io8168 48GND 8 560GND 8 304GND 8 816GND9 97GND 47GND 9 609GND 559GND 9 353GND 303GND 9 865GND 815GND10 98GND 10 610GND 10 354GND 10 866GND11 io98 47GND 11 io610 559GND 11 io354 303GND 11 io866 815GND12 98GND io47 12 610GND io559 12 354GND io303 12 866GND io81513 47GND 13 559GND 13 303GND 13 815GND14 98GND 46GND 14 610GND 558GND 14 354GND 302GND 14 866GND 814GND15 99GND 15 611GND 15 355GND 15 867GND16 io99 46GND 16 io611 558GND 16 io355 302GND 16 io867 814GND17 99GND io46 17 611GND io558 17 355GND io302 17 867GND io81418 46GND 18 558GND 18 302GND 18 814GND19 99GND 45GND 19 611GND 557GND 19 355GND 301GND 19 867GND 813GND20 100GND 20 612GND 20 356GND 20 868GND21 io100 45GND 21 io612 557GND 21 io356 301GND 21 io868 813GND22 100GND io45 22 612GND io557 22 356GND io301 22 868GND io81323 45GND 23 557GND 23 301GND 23 813GND24 100GND 44GND 24 612GND 556GND 24 356GND 300GND 24 868GND 812GND25 101GND 25 613GND 25 357GND 25 869GND26 io101 44GND 26 io613 556GND 26 io357 300GND 26 io869 812GND27 101GND io44 27 613GND io556 27 357GND io300 27 869GND io81228 44GND 28 556GND 28 300GND 28 812GND29 101GND 43GND 29 613GND 555GND 29 357GND 299GND 29 869GND 811GND30 102GND 30 614GND 30 358GND 30 870GND31 io102 43GND 31 io614 555GND 31 io358 299GND 31 io870 811GND32 102GND io43 32 614GND io555 32 358GND io299 32 870GND io81133 43GND 33 555GND 33 299GND 33 811GND34 102GND 42GND 34 614GND 554GND 34 358GND 298GND 34 870GND 810GND35 103GND 35 615GND 35 359GND 35 871GND36 io103 42GND 36 io615 554GND 36 io359 298GND 36 io871 810GND37 103GND io42 37 615GND io554 37 359GND io298 37 871GND io81038 42GND 38 554GND 38 298GND 38 810GND39 103GND 41GND 39 615GND 553GND 39 359GND 297GND 39 871GND 809GND40 104GND 40 616GND 40 360GND 40 872GND41 io104 41GND 41 io616 553GND 41 io360 297GND 41 io872 809GND42 104GND io41 42 616GND io553 42 360GND io297 42 872GND io80943 41GND 43 553GND 43 297GND 43 809GND44 104GND DP20G 44 616GND MRLC12 44 360GND PBTYP0 44 872GND MRLC1345 DP24G DP20GU 45 PAD2HBG MRLC12G 45 CW56 PBTYP1 45 PAD4HBG MRLC13G46 DP24GU DP20S 46 PAD2HB 46 CW57 PBTYP2 46 PAD4HB47 DP24S DP20F 47 PAD2HBG PAD2HCG 47 CW58 PBTYP3 47 PAD4HBG PAD4HCG48 DP24F DP20F 48 PAD2HDG PAD2HC 48 CW59 PBTYP4 48 PAD4HDG PAD4HC49 DP24F DP20G 49 PAD2HD PAD2HCG 49 UC20 PBTYP5 49 PAD4HD PAD4HCG50 DP24G PAD4HAG 50 PAD2HDG PAD2HXG 50 UC21 HGNDG 50 PAD4HDG PAD4HXG51 PAD4LG PAD4HA 51 PAD2LXG PAD2HX 51 VFG1XG HGND 51 PAD4LXG PAD4HX52 PAD4L PAD4HAG 52 PAD2LX PAD2HXG 52 VFG1X HGNDG 52 PAD4LX PAD4HXG53 PAD4LG VD1BPG 53 PAD2LXG 53 VFG1XG VFG1AG 53 PAD4LXG54 VD1BNG VD1BP 54 MVR3HGG 54 VFG1BG VFG1A 5455 VD1BN VD1BPG 55 MVR3HG RSV41 55 VFG1B VFG1AG 55 RSV4356 VD1BNG CPS20 56 MVR3HGG RSV42 56 VFG1BG CPS24 56 RSV44

A6-12 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT45-48[12/16]

J45 J46 J47 J48

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND HSIG3 1 GND VSB3G 1 GND SGCALG 1 GND VI3G2 HSIG4 HSIS3 2 VIM3G VSB3 2 SMPDGG SGCAL 2 VI33 HSIS4 HSIG3 3 VIM3 VSB3G 3 SMPDG SGCALG 3 VI3G4 HSIG4 176GND 4 VIM3G 688GND 4 SMPDGG 432GND 4 944GND5 225GND 5 737GND 5 481GND 5 993GND6 io225 176GND 6 io737 688GND 6 io481 432GND 6 io993 944GND7 225GND io176 7 737GND io688 7 481GND io432 7 993GND io9448 176GND 8 688GND 8 432GND 8 944GND9 225GND 175GND 9 737GND 687GND 9 481GND 431GND 9 993GND 943GND10 226GND 10 738GND 10 482GND 10 994GND11 io226 175GND 11 io738 687GND 11 io482 431GND 11 io994 943GND12 226GND io175 12 738GND io687 12 482GND io431 12 994GND io94313 175GND 13 687GND 13 431GND 13 943GND14 226GND 174GND 14 738GND 686GND 14 482GND 430GND 14 994GND 942GND15 227GND 15 739GND 15 483GND 15 995GND16 io227 174GND 16 io739 686GND 16 io483 430GND 16 io995 942GND17 227GND io174 17 739GND io686 17 483GND io430 17 995GND io94218 174GND 18 686GND 18 430GND 18 942GND19 227GND 173GND 19 739GND 685GND 19 483GND 429GND 19 995GND 941GND20 228GND 20 740GND 20 484GND 20 996GND21 io228 173GND 21 io740 685GND 21 io484 429GND 21 io996 941GND22 228GND io173 22 740GND io685 22 484GND io429 22 996GND io94123 173GND 23 685GND 23 429GND 23 941GND24 228GND 172GND 24 740GND 684GND 24 484GND 428GND 24 996GND 940GND25 229GND 25 741GND 25 485GND 25 997GND26 io229 172GND 26 io741 684GND 26 io485 428GND 26 io997 940GND27 229GND io172 27 741GND io684 27 485GND io428 27 997GND io94028 172GND 28 684GND 28 428GND 28 940GND29 229GND 171GND 29 741GND 683GND 29 485GND 427GND 29 997GND 939GND30 230GND 30 742GND 30 486GND 30 998GND31 io230 171GND 31 io742 683GND 31 io486 427GND 31 io998 939GND32 230GND io171 32 742GND io683 32 486GND io427 32 998GND io93933 171GND 33 683GND 33 427GND 33 939GND34 230GND 170GND 34 742GND 682GND 34 486GND 426GND 34 998GND 938GND35 231GND 35 743GND 35 487GND 35 999GND36 io231 170GND 36 io743 682GND 36 io487 426GND 36 io999 938GND37 231GND io170 37 743GND io682 37 487GND io426 37 999GND io93838 170GND 38 682GND 38 426GND 38 938GND39 231GND 169GND 39 743GND 681GND 39 487GND 425GND 39 999GND 937GND40 232GND 40 744GND 40 488GND 40 1000GND41 io232 169GND 41 io744 681GND 41 io488 425GND 41 io1000 937GND42 232GND io169 42 744GND io681 42 488GND io425 42 1000GND io93743 169GND 43 681GND 43 425GND 43 937GND44 232GND DP28G 44 744GND MRLC14 44 488GND 44 1000GND MRLC1545 DP32G DP28GU 45 MVRH3FG MRLC14G 45 CW60 45 WFD3HAG MRLC15G46 DP32GU DP28S 46 MVRH3F 46 CW61 46 WFD3HA47 DP32S DP28F 47 MVRH3FG WFD3LG 47 CW62 CLD1 47 WFD3HAG WFD3HBG48 DP32F DP28F 48 MVRH3SG WFD3L 48 CW63 CLD2 48 WFD3HCG WFD3HB49 DP32F DP28G 49 MVRH3S WFD3LG 49 UC22 CLD3 49 WFD3HC WFD3HBG50 DP32G UDC2GU 50 MVRH3SG MVRL3FG 50 UC23 EVO1G 50 WFD3HCG WFD3HDG51 UDC2G UDC2S 51 MVRL3SG MVRL3F 51 EVO2G EVO1 51 WFD3HEG WFD3HD52 UDC2F UDC2GU 52 MVRL3S MVRL3FG 52 EVO2 EVO1G 52 WFD3HE WFD3HDG53 UDC2G AFG3PG 53 MVRL3SG 53 EVO2G EXEV1G 53 WFD3HEG54 AFG3NG AFG3P 54 54 EXEV2G EXEV1 54 WFD3HFG55 AFG3N AFG3PG 55 RSV45 55 EXEV2 EXEV1G 55 WFD3HF RSV4756 AFG3NG CPS28 56 RSV46 56 EXEV2G CPS32 56 WFD3HFG RSV48

A6-1302.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT49-52[13/16]

J49 J50 J51 J52

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND TMU2DG 1 GND WFD4NG 1 GND WFG1N4G 1 GND MTX13G2 TMU1DG TMU2D 2 WFD4PG WFD4N 2 WFG1P4G WFG1N4 2 MTX14G MTX133 TMU1D TMU2DG 3 WFD4P WFD4NG 3 WFG1P4 WFG1N4G 3 MTX14 MTX13G4 TMU1DG 1024GND 4 WFD4PG 512GND 4 WFG1P4G 768GND 4 MTX14G 256GND5 945GND 5 433GND 5 689GND 5 177GND6 io945 1024GND 6 io433 512GND 6 io689 768GND 6 io177 256GND7 945GND io1024 7 433GND io512 7 689GND io768 7 177GND io2568 1024GND 8 512GND 8 768GND 8 256GND9 945GND 1023GND 9 433GND 511GND 9 689GND 767GND 9 177GND 255GND10 946GND 10 434GND 10 690GND 10 178GND11 io946 1023GND 11 io434 511GND 11 io690 767GND 11 io178 255GND12 946GND io1023 12 434GND io511 12 690GND io767 12 178GND io25513 1023GND 13 511GND 13 767GND 13 255GND14 946GND 1022GND 14 434GND 510GND 14 690GND 766GND 14 178GND 254GND15 947GND 15 435GND 15 691GND 15 179GND16 io947 1022GND 16 io435 510GND 16 io691 766GND 16 io179 254GND17 947GND io1022 17 435GND io510 17 691GND io766 17 179GND io25418 1022GND 18 510GND 18 766GND 18 254GND19 947GND 1021GND 19 435GND 509GND 19 691GND 765GND 19 179GND 253GND20 948GND 20 436GND 20 692GND 20 180GND21 io948 1021GND 21 io436 509GND 21 io692 765GND 21 io180 253GND22 948GND io1021 22 436GND io509 22 692GND io765 22 180GND io25323 1021GND 23 509GND 23 765GND 23 253GND24 948GND 1020GND 24 436GND 508GND 24 692GND 764GND 24 180GND 252GND25 949GND 25 437GND 25 693GND 25 181GND26 io949 1020GND 26 io437 508GND 26 io693 764GND 26 io181 252GND27 949GND io1020 27 437GND io508 27 693GND io764 27 181GND io25228 1020GND 28 508GND 28 764GND 28 252GND29 949GND 1019GND 29 437GND 507GND 29 693GND 763GND 29 181GND 251GND30 950GND 30 438GND 30 694GND 30 182GND31 io950 1019GND 31 io438 507GND 31 io694 763GND 31 io182 251GND32 950GND io1019 32 438GND io507 32 694GND io763 32 182GND io25133 1019GND 33 507GND 33 763GND 33 251GND34 950GND 1018GND 34 438GND 506GND 34 694GND 762GND 34 182GND 250GND35 951GND 35 439GND 35 695GND 35 183GND36 io951 1018GND 36 io439 506GND 36 io695 762GND 36 io183 250GND37 951GND io1018 37 439GND io506 37 695GND io762 37 183GND io25038 1018GND 38 506GND 38 762GND 38 250GND39 951GND 1017GND 39 439GND 505GND 39 695GND 761GND 39 183GND 249GND40 952GND 40 440GND 40 696GND 40 184GND41 io952 1017GND 41 io440 505GND 41 io696 761GND 41 io184 249GND42 952GND io1017 42 440GND io505 42 696GND io761 42 184GND io24943 1017GND 43 505GND 43 761GND 43 249GND44 952GND 44 440GND DP1G 44 696GND 44 184GND PFB045 TMU1DXG 45 DP5G DP1GU 45 GWG1P4XG 45 CW0 PFB146 TMU1DX 46 DP5GU DP1S 46 GWG1P4X 46 CW1 PFB247 TMU1DXG TMU2DXG 47 DP5S DP1F 47 GWG1P4XG GWG1N4XG 47 CW2 PFB348 WFG1P4XG TMU2DX 48 DP5F DP1F 48 WFG2P4XG GWG1N4X 48 CW3 UCM149 WFG1P4X TMU2DXG 49 DP5F DP1G 49 WFG2P4X GWG1N4XG 49 UC24 UCM250 WFG1P4XG WFG1N4XG 50 DP5G MMTX13G 50 WFG2P4XG WFG2N4XG 50 UC25 SMP4OG51 MMTX14G WFG1N4X 51 VOFF4G MMTX13 51 MMTX16G WFG2N4X 51 AF2NTG SMP4O52 MMTX14 WFG1N4XG 52 VOFF4 MMTX13G 52 MMTX16 WFG2N4XG 52 AF2NT SMP4OG53 MMTX14G 53 VOFF4G AFD4PG 53 MMTX16G 53 AF2NTG PAD6HAG54 MMTX15G 54 AFD4NG AFD4P 54 SMP4XG 54 PAD6LG PAD6HA55 MMTX15 RSV49 55 AFD4N AFD4PG 55 SMP4X RSV51 55 PAD6L PAD6HAG56 MMTX15G RSV50 56 AFD4NG CPS1 56 SMP4XG RSV52 56 PAD6LG CPS5

A6-14 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT53-56[14/16]

J53 J54 J55 J56

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND GWG1N4G 1 GND WFD4NXG 1 GND WFG2N4G 1 GND MTX15G2 GWG1P4G GWG1N4 2 WFD4PXG WFD4NX 2 WFG2P4G WFG2N4 2 MTX16G MTX153 GWG1P4 GWG1N4G 3 WFD4PX WFD4NXG 3 WFG2P4 WFG2N4G 3 MTX16 MTX15G4 GWG1P4G 896GND 4 WFD4PXG 384GND 4 WFG2P4G 640GND 4 MTX16G 128GND5 817GND 5 305GND 5 561GND 5 49GND6 io817 896GND 6 io305 384GND 6 io561 640GND 6 io49 128GND7 817GND io896 7 305GND io384 7 561GND io640 7 49GND io1288 896GND 8 384GND 8 640GND 8 128GND9 817GND 895GND 9 305GND 383GND 9 561GND 639GND 9 49GND 127GND10 818GND 10 306GND 10 562GND 10 50GND11 io818 895GND 11 io306 383GND 11 io562 639GND 11 io50 127GND12 818GND io895 12 306GND io383 12 562GND io639 12 50GND io12713 895GND 13 383GND 13 639GND 13 127GND14 818GND 894GND 14 306GND 382GND 14 562GND 638GND 14 50GND 126GND15 819GND 15 307GND 15 563GND 15 51GND16 io819 894GND 16 io307 382GND 16 io563 638GND 16 io51 126GND17 819GND io894 17 307GND io382 17 563GND io638 17 51GND io12618 894GND 18 382GND 18 638GND 18 126GND19 819GND 893GND 19 307GND 381GND 19 563GND 637GND 19 51GND 125GND20 820GND 20 308GND 20 564GND 20 52GND21 io820 893GND 21 io308 381GND 21 io564 637GND 21 io52 125GND22 820GND io893 22 308GND io381 22 564GND io637 22 52GND io12523 893GND 23 381GND 23 637GND 23 125GND24 820GND 892GND 24 308GND 380GND 24 564GND 636GND 24 52GND 124GND25 821GND 25 309GND 25 565GND 25 53GND26 io821 892GND 26 io309 380GND 26 io565 636GND 26 io53 124GND27 821GND io892 27 309GND io380 27 565GND io636 27 53GND io12428 892GND 28 380GND 28 636GND 28 124GND29 821GND 891GND 29 309GND 379GND 29 565GND 635GND 29 53GND 123GND30 822GND 30 310GND 30 566GND 30 54GND31 io822 891GND 31 io310 379GND 31 io566 635GND 31 io54 123GND32 822GND io891 32 310GND io379 32 566GND io635 32 54GND io12333 891GND 33 379GND 33 635GND 33 123GND34 822GND 890GND 34 310GND 378GND 34 566GND 634GND 34 54GND 122GND35 823GND 35 311GND 35 567GND 35 55GND36 io823 890GND 36 io311 378GND 36 io567 634GND 36 io55 122GND37 823GND io890 37 311GND io378 37 567GND io634 37 55GND io12238 890GND 38 378GND 38 634GND 38 122GND39 823GND 889GND 39 311GND 377GND 39 567GND 633GND 39 55GND 121GND40 824GND 40 312GND 40 568GND 40 56GND41 io824 889GND 41 io312 377GND 41 io568 633GND 41 io56 121GND42 824GND io889 42 312GND io377 42 568GND io633 42 56GND io12143 889GND 43 377GND 43 633GND 43 121GND44 824GND 44 312GND DP9G 44 568GND 44 56GND PFB445 PAG1P4G 45 DP13G DP9GU 45 PAG2P4G 45 CW4 PFB546 PAG1P4 46 DP13GU DP9S 46 PAG2P4 46 CW5 PFB647 PAG1P4G PAG1N4G 47 DP13S DP9F 47 PAG2P4G PAG2N4G 47 CW6 PFB748 PAG1P4XG PAG1N4 48 DP13F DP9F 48 PAG2P4XG PAG2N4 48 CW7 UCM349 PAG1P4X PAG1N4G 49 DP13F DP9G 49 PAG2P4X PAG2N4G 49 UC26 UCM450 PAG1P4XG 50 DP13G MMTXDG 50 PAG2P4XG 50 UC2751 PAG1N4XG 51 MMTXD 51 PAG2N4XG 51 VD2XPG52 PAG1N4X 52 MMTXDG 52 PAG2N4X UDC7GU 52 VD2XP53 PAG1N4XG 53 SMP4AG 53 PAG2NX4G UDC7S 53 VD2XPG VD2APG54 54 SMP4CG SMP4A 54 UDC7G UDC7GU 54 VD2ANG VD2AP55 RSV53 55 SMP4C SMP4AG 55 UDC7F RSV55 55 VD2AN VD2APG56 RSV54 56 SMP4CG CPS9 56 UDC7G RSV56 56 VD2ANG CPS13

A6-1502.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT57-60[15/16]

J57 J58 J59 J60

Pin A B Pin A B Pin A B Pin A B1 GND SMP4NG 1 GND HSOG5 1 GND SMP4NXG 1 GND VRH4FG2 SMP4PG SMP4N 2 HSOG6 HSOS5 2 SMP4PXG SMP4NX 2 VRH4SG VRH4F3 SMP4P SMP4NG 3 HSOS6 HSOG5 3 SMP4PX SMP4NXG 3 VRH4S VRH4FG4 SMP4PG 1016GND 4 HSOG6 504GND 4 SMP4PXG 760GND 4 VRH4SG 248GND5 953GND 5 441GND 5 697GND 5 185GND6 io953 1016GND 6 io441 504GND 6 io697 760GND 6 io185 248GND7 953GND io1016 7 441GND io504 7 697GND io760 7 185GND io2488 1016GND 8 504GND 8 760GND 8 248GND9 953GND 1015GND 9 441GND 503GND 9 697GND 759GND 9 185GND 247GND10 954GND 10 442GND 10 698GND 10 186GND11 io954 1015GND 11 io442 503GND 11 io698 759GND 11 io186 247GND12 954GND io1015 12 442GND io503 12 698GND io759 12 186GND io24713 1015GND 13 503GND 13 759GND 13 247GND14 954GND 1014GND 14 442GND 502GND 14 698GND 758GND 14 186GND 246GND15 955GND 15 443GND 15 699GND 15 187GND16 io955 1014GND 16 io443 502GND 16 io699 758GND 16 io187 246GND17 955GND io1014 17 443GND io502 17 699GND io758 17 187GND io24618 1014GND 18 502GND 18 758GND 18 246GND19 955GND 1013GND 19 443GND 501GND 19 699GND 757GND 19 187GND 245GND20 956GND 20 444GND 20 700GND 20 188GND21 io956 1013GND 21 io444 501GND 21 io700 757GND 21 io188 245GND22 956GND io1013 22 444GND io501 22 700GND io757 22 188GND io24523 1013GND 23 501GND 23 757GND 23 245GND24 956GND 1012GND 24 444GND 500GND 24 700GND 756GND 24 188GND 244GND25 957GND 25 445GND 25 701GND 25 189GND26 io957 1012GND 26 io445 500GND 26 io701 756GND 26 io189 244GND27 957GND io1012 27 445GND io500 27 701GND io756 27 189GND io24428 1012GND 28 500GND 28 756GND 28 244GND29 957GND 1011GND 29 445GND 499GND 29 701GND 755GND 29 189GND 243GND30 958GND 30 446GND 30 702GND 30 190GND31 io958 1011GND 31 io446 499GND 31 io702 755GND 31 io190 243GND32 958GND io1011 32 446GND io499 32 702GND io755 32 190GND io24333 1011GND 33 499GND 33 755GND 33 243GND34 958GND 1010GND 34 446GND 498GND 34 702GND 754GND 34 190GND 242GND35 959GND 35 447GND 35 703GND 35 191GND36 io959 1010GND 36 io447 498GND 36 io703 754GND 36 io191 242GND37 959GND io1010 37 447GND io498 37 703GND io754 37 191GND io24238 1010GND 38 498GND 38 754GND 38 242GND39 959GND 1009GND 39 447GND 497GND 39 703GND 753GND 39 191GND 241GND40 960GND 40 448GND 40 704GND 40 192GND41 io960 1009GND 41 io448 497GND 41 io704 753GND 41 io192 241GND42 960GND io1009 42 448GND io497 42 704GND io753 42 192GND io24143 1009GND 43 497GND 43 753GND 43 241GND44 960GND 44 448GND DP17G 44 704GND 44 192GND PFB845 PAD6HBG 45 DP21G DP17GU 45 PAD8HBG 45 CW8 PFB946 PAD6HB 46 DP21GU DP17S 46 PAD8HB 46 CW9 PFB1047 PAD6HBG PAD6HCG 47 DP21S DP17F 47 PAD8HBG PAD8HCG 47 CW10 PFB1148 PAD6HDG PAD6HC 48 DP21F DP17F 48 PAD8HDG PAD8HC 48 CW11 UPCA49 PAD6HD PAD6HCG 49 DP21F DP17G 49 PAD8HD PAD8HCG 49 UC28 UPCB50 PAD6HDG PAD6HXG 50 DP21G PAD8HAG 50 PAD8HDG PAD8HXG 50 UC29 MVR4HGG51 PAD6LXG PAD6HX 51 PAD8LG PAD8HA 51 PAD8LXG PAD8HX 51 VFG2XG MVR4HG52 PAD6LX PAD6HXG 52 PAD8L PAD8HAG 52 PAD8LX PAD8HXG 52 VFG2X MVR4HGG53 PAD6LXG 53 PAD8LG VD2BPG 53 PAD8LXG 53 VFG2XG VFG2AG54 SMP4BG 54 VD2BNG VD2BP 54 SMP4DG 54 VFG2BG VFG2A55 SMP4B RSV57 55 VD2BN VD2BPG 55 SMP4D RSV59 55 VFG2B VFG2AG56 SMP4BG RSV58 56 VD2BNG CPS17 56 SMP4DG RSV60 56 VFG2BG CPS21

A6-16 02.9.30

T6672/T6673 VLSIテスト・システム テスタ部メンテナンス・マニュアル

付録 6. 1024 ch MIXED2 HIFIX(H3-010008)対応パフォーマンス・ ボード配線

• CTD TH(1024 ch)MIXED2 HIFIXパフォーマンス・ボード信号名称表 SLOT61-64[16/16]

J61 J62 J63 J64

Pin A B Pin A B Pin A B A B1 GND VSB4G 1 GND HSIG5 1 GND VI4G Pin1 GND EXCK1G2 VIM4G VSB4 2 HSIG6 HSIS5 2 VI4 2 EXCK2G EXCK13 VIM4 VSB4G 3 HSIS6 HSIG5 3 VI4G 3 EXCK2 EXCK1G4 VIM4G 888GND 4 HSIG6 376GND 4 632GND 4 EXCK2G 120GND5 825GND 5 313GND 5 569GND 5 57GND6 io825 888GND 6 io313 376GND 6 io569 632GND 6 io57 120GND7 825GND io888 7 313GND io376 7 569GND io632 7 57GND io1208 888GND 8 376GND 8 632GND 8 120GND9 825GND 887GND 9 313GND 375GND 9 569GND 631GND 9 57GND 119GND10 826GND 10 314GND 10 570GND 10 58GND11 io826 887GND 11 io314 375GND 11 io570 631GND 11 io58 119GND12 826GND io887 12 314GND io375 12 570GND io631 12 58GND io11913 887GND 13 375GND 13 631GND 13 119GND14 826GND 886GND 14 314GND 374GND 14 570GND 630GND 14 58GND 118GND15 827GND 15 315GND 15 571GND 15 59GND16 io827 886GND 16 io315 374GND 16 io571 630GND 16 io59 118GND17 827GND io886 17 315GND io374 17 571GND io630 17 59GND io11818 886GND 18 374GND 18 630GND 18 118GND19 827GND 885GND 19 315GND 373GND 19 571GND 629GND 19 59GND 117GND20 828GND 20 316GND 20 572GND 20 60GND21 io828 885GND 21 io316 373GND 21 io572 629GND 21 io60 117GND22 828GND io885 22 316GND io373 22 572GND io629 22 60GND io11723 885GND 23 373GND 23 629GND 23 117GND24 828GND 884GND 24 316GND 372GND 24 572GND 628GND 24 60GND 116GND25 829GND 25 317GND 25 573GND 25 61GND26 io829 884GND 26 io317 372GND 26 io573 628GND 26 io61 116GND27 829GND io884 27 317GND io372 27 573GND io628 27 61GND io11628 884GND 28 372GND 28 628GND 28 116GND29 829GND 883GND 29 317GND 371GND 29 573GND 627GND 29 61GND 115GND30 830GND 30 318GND 30 574GND 30 62GND31 io830 883GND 31 io318 371GND 31 io574 627GND 31 io62 115GND32 830GND io883 32 318GND io371 32 574GND io627 32 62GND io11533 883GND 33 371GND 33 627GND 33 115GND34 830GND 882GND 34 318GND 370GND 34 574GND 626GND 34 62GND 114GND35 831GND 35 319GND 35 575GND 35 63GND36 io831 882GND 36 io319 370GND 36 io575 626GND 36 io63 114GND37 831GND io882 37 319GND io370 37 575GND io626 37 63GND io11438 882GND 38 370GND 38 626GND 38 114GND39 831GND 881GND 39 319GND 369GND 39 575GND 625GND 39 63GND 113GND40 832GND 40 320GND 40 576GND 40 64GND41 io832 881GND 41 io320 369GND 41 io576 625GND 41 io64 113GND42 832GND io881 42 320GND io369 42 576GND io625 42 64GND io11343 881GND 43 369GND 43 625GND 43 113GND44 832GND 44 320GND DP25G 44 576GND PBS 44 64GND PFB1245 MVRH4FG 45 DP29G DP25GU 45 WFD4HAG AIRG4 45 CW12 PFB1346 MVRH4F 46 DP29GU DP25S 46 WFD4HA 46 CW13 PFB1447 MVRH4FG WFD4LG 47 DP29S DP25F 47 WFD4HAG WFD4HBG 47 CW14 PFB1548 MVRH4SG WFD4L 48 DP29F DP25F 48 WFD4HCG WFD4HB 48 CW1549 MVRH4S WFD4LG 49 DP29F DP25G 49 WFD4HC WFD4HBG 49 UC3050 MVRH4SG MVRL4FG 50 DP29G UDC3GU 50 WFD4HCG WFD4HDG 50 UC31 EVO3G51 MVRL4SG MVRL4F 51 UDC3G UDC3S 51 WFD4HEG WFD4HD 51 EVO4G EVO352 MVRL4S MVRL4FG 52 UDC3F UDC3GU 52 WFD4HE WFD4HDG 52 EVO4 EVO3G53 MVRL4SG 53 UDC3G AFG4PG 53 WFD4HEG 53 EVO4G AFDCKG54 54 AFG4NG AFG4P 54 WFD4HFG 54 CLKOG AFDCK55 RSV61 55 AFG4N AFG4PG 55 WFD4HF RSV63 55 CLKO AFDCKG56 RSV62 56 AFG4NG CPS25 56 WFD4HFG RSV64 56 CLKOG CPS29

A6-1702.9.30

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付録 7. Disk Storageのジャンパ設定

A7.1 AHN-DK32DJ*36/AHN-DK32EJ*36の場合

HDA (top)側に、“DK32DJ”もしくは “DK32EJ”と記載されています。

図 A7-1 ハードディスク top側の図

A7-105.5.7

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図 A7-2 ハードディスク Bottom側の図

A7-2 05.5.7

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図 A7-3 ミニ・ジャンパの設定値

A7-305.5.7

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付録 8. TC7 CD-RWの使用方法

付録 8. TC7 CD-RWの使用方法

A8.1 CD-RW使用上の注意

(1) CD-RWへの書き込みは root (super user)で行って下さい。TC7に pkgaddされている cdrwのパッケージは、root以外での書き込みはできません。

(2) CD-RWメディアは、ISOフォーマットのものを使用して下さい。DirectCDフォーマットには対応しておりません。

(3) ブランク・メディア以外を使用する場合は、最後に書き込んだセッションの削除を行って下さい。セッションの削除に関しては、下記コマンドを使用して下さい。

なお、本操作も root (super user)で行う必要があります。

最後に書き込まれた容量により、削除にかかる時間は異なります。(1 MByteで数分程度)

# cdrw -b session

A8-105.5.7

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A8.2 CD-RW使用方法

A8.2 CD-RW使用方法

(注) 説明の都合上ユーザを vpoint、ディレクトリを backupとします。

(1) ディレクトリの作成

vpointユーザにログインし、バックアップ用のディレクトリを作成します。

(2) バックアップしたいファイルを backupの下にコピーします。

(3) root (super user)でログインし、バックアップします。

下記コマンドを入力し、メディアにデータを書き込みます。バックアップ・メディアの容量

により、書き込むコマンドが異なることに注意して下さい。

(a) メディアの容量が 650 MByteの場合

(b) CD-RWメディアの容量が 700 MByteの場合

% mkdir backup

# mkifofs -r /home/vpoint/backup 2>/dev/null | cdrw -i

# mkifofs -r /home/vpoint/backup 2>/dev/null | cdrw -i -C

A8-2 05.5.7