Switchable Bragg gratings - DTU Orbit

108
General rights Copyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright owners and it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights. Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research. You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal If you believe that this document breaches copyright please contact us providing details, and we will remove access to the work immediately and investigate your claim. Downloaded from orbit.dtu.dk on: Apr 21, 2022 Switchable Bragg gratings Marckmann, Carl Johan Publication date: 2003 Document Version Publisher's PDF, also known as Version of record Link back to DTU Orbit Citation (APA): Marckmann, C. J. (2003). Switchable Bragg gratings. Technical University of Denmark.

Transcript of Switchable Bragg gratings - DTU Orbit

General rights Copyright and moral rights for the publications made accessible in the public portal are retained by the authors and/or other copyright owners and it is a condition of accessing publications that users recognise and abide by the legal requirements associated with these rights.

Users may download and print one copy of any publication from the public portal for the purpose of private study or research.

You may not further distribute the material or use it for any profit-making activity or commercial gain

You may freely distribute the URL identifying the publication in the public portal If you believe that this document breaches copyright please contact us providing details, and we will remove access to the work immediately and investigate your claim.

Downloaded from orbit.dtu.dk on: Apr 21, 2022

Switchable Bragg gratings

Marckmann, Carl Johan

Publication date:2003

Document VersionPublisher's PDF, also known as Version of record

Link back to DTU Orbit

Citation (APA):Marckmann, C. J. (2003). Switchable Bragg gratings. Technical University of Denmark.

�� ������� ���� ���� � ��

Silica

Silica

Silicon

DC

Polarization controller

OSA

Tunable laser

−2500−2000−1500−1000 −500 0 500 10001533.458

1533.46

1533.462

1533.464

1533.466

1533.468

1533.47

1533.472

1533.474

1533.476

1533.478TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 1000

1533.434

1533.436

1533.438

1533.44

1533.442

1533.444

1533.446

1533.448

1533.45

1533.452

1533.454TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

���� ����� ������ ������

��������� ��� ��!�"# �$ %��� ���&� '% ' ���!�! ( )*��� +,,-

��

� �������

� �� � �� �� ��� � �� � ���� ��� � �������� �� �� ������������ ���� � ��!! !�����! ��� �� �� ������� ���!��� ����! ����� � ����!�� ��� ��� � ���� ������� ��������������� ����� � �� ������ ���!���� ��� �� ��� ���� �� �� ������ �� � " ����# ���$���������!� %���� &��� '" (& ) �� � ������� *�������� �� ��#���+ � � ��!! !�����!� �� �� ������ �� &," ����! *- ����������� ��� � ����� ���!���� ����! � ��� ���+ ���� � � ��������� �� ����.�#�� �& ������ /�� ���� � ������ ��� � ������ � ����� � ����!�� � ��!! !�����!� �&�������.����� �� � ����#���� ������������ ��� � ���.�#�� /�� ��� ������ ����! � �� ������ �� � ��� �� � ��!! !�����!� ����� �� ��� � � 0��� ����� ��� � ����� ��� ��� �� �����#��� ���� ��� � ����������� " ��#1��� ���������� ���� �(� � ���� �� 2 ����� ��������� 3������� �!�����! � ������������ �������� !���� �� ������� � (� ��� ����� ��� � !����� ���! �� �����#���� ����������� ��� � ����� � �����! � ���!���� � $� *-������ ���! �� � � ���#���� ����������� ��� � ���� �� ��� ���� �� � � ��������! � ����� �4� ����� �� ��� ����� � �� ������!�� �������� ���� ���� �� � ����#���� ������������ � &������� �� � 5#� �������� ��� �� �������� ������� 2 � � �������� �������� �� ��#���� ������.����� �������� ����#���� ����������� # � ���� ��� � �5� �������� ��! �������������� � ��� ��� �� �� ��� ����� �� � ������#���� �� ��������������� ����� ���� � �����.����� ���� ���� �� ������#���� ����������� �� ����� �(� ���� �� ������ � �����#���� �����������2 �� ��� ����� ��� ������ ������� �� � �! �������� ���5 �������! ���� ��� ������ � � ���#��! � ���� 2 � ����� � ����! ������ �����#���� ����������� ���������� � �����5 ������ 678 ��+��! � ������ ��� ������� �� ��� � ����# � �9 ������2 � � ���� � 5� �������� �� � ��� �! 2 �� ����#���� 2 � ����! �#�� ��� � ����� � ��� !����� ��� �������� �

���

������

���� ��� ��� � �� � ��������! ��� ����+ ���!� �� � �+����+ ��� ��� ��!! !���� 2 ���� � �����+ � �!��� �� �� �� �� ��� ��+ � ����! 2 ��� ��!���� ��� �����+ ��+������+����������� � �� ������ � �!��� 2 �� �� ������ � ��� ��������! 2 �� ��� ����#�� � �� " �+��# �! $����+����!� 9���+���!�#&���� '" (&) �� ������+��+���+ *�������� � ��!! !���� �� ���� � �� &," �� *- ��� �����!�� � � ����� � �!��� �� �� �� �� ������+����� � +� ��� �� ����������� �& �+����+ ��� � ������ ���!�+ �� ��� ��+ �����! �� ��!!!���� � ���+�������!� �� ���� #����� ����������� �! � �������� ���� �������� � � ��! �� � �� � ������� 2 ��� ��!! !���� �� ��!� ������ � � 0�� ����������� �� ��� ��� ���� ��� �� � ��� �����! �� ���� ������� " ��#1��� ���������� ���� �( ���� +�� �� �� � �!��! ����!�� ��� ������� ������������ � ������!��� ������� � �� �� ����� 2 �� �� ������ ������! �� ���� #��������������� �� ��� ��� �� ������! �� � �!���� � (�!� *-#�������������! �� ���� #����� ����������� �� � ����� � ��� ���� +� �-� � ����!���! �� ���� �4���!� �� �� ����!� �� ������! �������#!��+� �� �� ���� #����� ����������� � ( � ���� ����! ��� ������#���!�� ��� � ������ ������� ����+�� � �����!�� � �� ��� � �����������#�����!�! ���� #����� ��������� � �� ��� ���������! ���+ �����! � ����� � �+�������+���� � ��� ������� � �!� ��! ��� ������� ���#��+����� �� ��+������+������ ������ 2 �� �������������#�����!�!� ������#����� ���������� � ���+��!� �9�� �� �! ����#����� ���������� �� �� �� ��!� 2 �� ����� ��+����� ��� ��! � � �� � ������!����+� ��� ������!���! �� ������!� ��� ������ �� �( �� � �� ��� ��������! �� �� ��� ��+ �����!#������� ����#�������������� ����!� �� ���+� 678 2 ����� � ������# ���� +����+� � ����! ������! �� �� �� ��!� � ����! ���+ �����! � �� � �!� �� 2 � � +���#��� 2 � ����!#�������� ��� ��� �� � ��� !���� � �

��

� ����� ����������

( ����� ��+ �� ���+ �� ��� �� ����� 2 " ����� ������� '&," )2 �����%������� '��& �����+ ��� �) 2 ��� �� &����� '��& �����+ ��� �)��� �� � � " ������� '$� %���� ��) ��� ������ �� ��! � ��� ���� � � �� ������/� ��� ��������� 3������� �����! �� ������ � �� �������+� �� $� %���� �� ��� ��+ ��! ��� �� ���� �� �� � �� �� ��� ��& �����+ ��� � ����� �� �� � ������� �� � ���������#������ ����� �(� � �� �������� ��� ��� �� � ����� ���!���� 2 ( ����� ��+ �� ���+ ��#� � � ������ 2 ���� %� 2 %�� �� 2 ����� &����� 2 ��� "���� 0 �����!���� ��� ��� ��������� �� � �������� � � ��� ���+� �� ���� $ ������� ��� � ���� ,� ��� ��� ������ �� �������� ��� ����� �� ����#���� 3������� ��� �� " � ���!���� ��� �� �� �� ��������! � ���������� � ���!���� �� �� ���� ���+� �� ��� � � ���� ���� 2 ���� -��� ��! ��� � ���#� ���!� ���� ��� ��� 5����� ����� � �� �� � 5���� ���� �� ����� � ���! � �� �� ��� $ ������ � ���!� ��� ��� � ��� ����������� ������������� ��!! !�����!� ����+� �� ��� � � ���� ���� 2 %�� �� 2 ���� %� 2 ���� 9�!#����� ��� &�����4� " ���+���� ��� ����������! � ���� �� �� ��� ���#��� ���+� �� ��� �� ��� �����!�� ��� ( �� �� ��&," 2 ��& �����+ ��� � ��� $� %���� �� �����! � ���� �� � (��� � � ������ ��� � �� ���+ ��!�� � �� ��� ��� ��� ��� �� ������ ���� �� ��� �� ��� � ��� ����� � �9 ������2 ( ����� ��+ �� ���+ �� ��� ���2 �� !���#�� ��� ��� � ��� ��� ������ ������ ��� ������� �����! ��� ������

&��� ���� " ���+����&,"

������� *�������� �� �����+����� �

��� ����� ��� ����

��� �� � ���� �� � �� ��������� ��� �����! � �� ���� �� �

� & � � � " ���+���� 2 � % � 2 0 � 0��� ��� " � ������� 2 ����!���� ������� �� � ����#���� ����������� �����! �����! �� ! �������!����� 2 (��� ����� � ����� � ��� �2 �� ') 2 �� � �7# �6 2 �

� � %� 2 & � � � " ���+���� 2 � � � ������ ��� " � ������� 2 ���� ����� ��� ����� ���!���� � �� � �����.�����#���� ���� ����� �����4��� 2 (��� ����� � ����� � ��� �2 �� ') 2 �� � 6�#67 � 2 �

� & � � � " ���+���� 2 � � � ������ ��� " � ������� 2 �"������! � ����!#������ ������������ �� 0 � �,$ ���!���� ����! � ��!! !�����!� 2�� ,9& � 2 �� � � �! �2 �� � ��� 7# �#��� 7#� 2 � �

� & � � � " ���+���� 2 0 � 0���2 � % � 2 � � � ������ 2 ��� " � ������� 2� ��!! !�����!� �� ��� � �� ����� �� ������������ ������ ���� �� � ����!� 2 �� 0�� � 2 �� � � �! �2 �� � 9&�# �# 9&�#� 2 � �

� & � � � " ���+� ��� 2 % � �� 2 � % � 2 ��� " � ������� 2 �(�������#���� �� �! � ����! 4��� � �� ���� ������ �� 2 �� �&(, � 2 -�� � � 2�� � � �#�7 2 � �

� ���� %� 2 &��� ���� " ���+���� 2 %�� �� ��� " ����� ���#���� 2 �(������ �����#����� 4�� �� � ��� ���!���� � �� � ���!#����� ��! ����� 2 �� � ���� ��� 0�� � �

� " � ������� 2 � � � ������ 2 � � � ���� 2 � �#� � ���� 2 � � ��!�!���� 2& � � � " ���+���� 2 $ � � ���!���� 2 � % � 2 � �!���� ��� �� -��� ��! 2� ��!! !�����!� ��� �����!� 2 �,�#$ � 2 � 2 �� � 7#7 2 � �

��

��������

� ����� ��� �

� ���� � �� (���� ������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ���!���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� �� ���!��� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 6 �� ��!! !�����!� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

�� �� *������ ��!! !�����! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 $������� ������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �����! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� �� � ���! ��������� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � ����� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � �������������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� ���� ���� ��� �������� � ���������� ��� �� (���� ������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � ��� �����! 3������ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �6

� � �� ��� �� �5 ������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �6� � � ��&-� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��� � �� �������! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � �7 *- ����!���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � � %����� (�� � �� ��! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �6 &�������.����� �� ��� / �� � ��� ������ � � � � � � � � � �� *- ������! �� ���!���� ��� ��!! !�����!� � � � � � 7� � �� 9���� ����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� �� *- ������ ���!���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� �� �� *- ������ ������ � �� ��� ��� � � � � � � � � � � � �� �� � *- ������ ������ � �� �������! ���� � � � � � � � � �

� �7 � ��� ���!���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� �7 �� ��� �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 � ��� ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 �� ��� �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

���

���� ��� ��� ��

� ��� ��� ���� ���� ��7 �� (����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 � ����� � ����! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 �� ��!! !�����!� �� ��� � �� /�� � � � ��� ���� � � � � � � � � � �7 �7 &������! ���� '�) � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��

7 �7 �� ���!���� ��� / �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � �77 �7 � ��+ ������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 �7 �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �7 �7 �7 (�#�������! � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �6

� � ��� �� �� �� (����������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � "�������� ����! � ��!! !�����! � � � � � � � � � � � � � � ��

� �� � �! ����� �� � � � ����� ��� ����� �7 � � � � � � � � � &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 7

�� ��� ��� ����� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 7 �� �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 77

�7 ,���� �.� � ����! �������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � 7 �7 �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 7�

� � ����� � � �� ������ � �� ���� ���#�������! � � � � � � � � � � � 7 � �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

�6 (�����!����� �� � � � ���! �����! � ����! � � � � � � � � � � � �6 �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

�� � �! � ����! 4��� � �� ���� ������ � � � � � � � � � � � � � � 6 �� �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

�� %������� �� � � � � �����! � ��� � � � � � � � � � � � � � � �� �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 6

� ������ ������ �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 6 � �� &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 67

�� (������ ���� �� ������ � �� ����� ��! ���� � � � � � � � � � 6 �� �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 66 �� � ���� � 6 � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 6� �� �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � 6 �� �7 &��������� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� �� ���� ��6 � � ,���� �+ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �

� � ��� � � ��� ���� �� ��� �� ���� � �� � �� �4� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� � *- ������ ������ � �� ��� ��� � � � � � � � � � � � � � � � �� �� *- ������ ������ � �� � �������! ���� � � � � � � � � � � � �6� �7 � ��� ������ ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��� � � ��� ������ ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ��

��� ��� �� �5

� �6 � ��� ������ ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �� ���� � � ����� � ��� � � � � ��� ���� �� � �

�� *- ������ ����� � �� ��� �4� ���� � � � � � � � � � � � � � � *- ������ ����� � �� ��� ��� � � � � � � � � � � � � � � � � � �� ���� � ��� ����! ����� �� � ����!#�������� � � � � � � � � �� �7 � ��� ���!��� � �� ���� ��� �������! � � � � � � � � � � � � �7 � ���!��� 5���� �� ��4��� *- ����� � � � � � � � � � � �7 �6 -�����! �����!� ������ �� � ��� � � � � � � � � � � � � � � �6 �� ����� �� ��! � �������! ���� � � � � � � � � � � � � � � � � ��� �� ������ ��

5 ��� ��� ��

������� �

������� ��

� � ����� �� ���������� �����5 ����������� �� �� �� � ���������#���� �� ���� +��� � � � � ���������� !��� ��� � ���������� ��� � ���������� 2 � �� ��� ������� �� � �� ������ ����� ������ �� �3���� ��� 5���� �� � ���� �� ��������� � ������ ������ �� ����������� ��� ��������� �� � �����!� ����� 2 ��� ������ � �����#��#� ���� �����#� ����� ������� ������ ���� ��� �������� ��!���� � ���� � � ����#��#� ��������� �� � �������� �����+� 2 �� ��4� ���� ����� �� ��� ������! ��� ��� �� ���� �� ������ �� �� ��� ���� �������� �� �� �� � ��� �����! �� ��� ������! � � � � � �� 5���� 2 �� ��� ������ � � ������������ � ���� � ��� � �� � � �5���� �� � �� �7" �� � �� � �� ���������! �� ���� �+� �� �������� �� � ������� / � � �� � ���� �� ��� ��� � ���� �� � ���#��!� �� � ��� 2 � �������� �� ���!�#� �� �� ���������� ����� �� ��������!� � ����� ��!�� � �� � �������� �� ������� �����/�� ������� �������� �� ������� ��������������� � � �������� �� � (����������� �� �� 5������! ����� ��� ���� ��� � � (����� ���� � ��������� �� ��� ��� ��� ��� � �� � "��� �� ��� ��� (����� ���� � � � ,�#����� ��������������� ������ ��� � ���! ���� ��� �� � �������� ������� ��� ��� � � ����� ��� �� ������ ��! � �� ��������! �������� �!� ���� ��� �� �������� �� �����!� � �� ����� "����� �5 ��! '��" ) ������� � ���� ��� �� � ������ �������� ������� / � ���� ���� � ����� �� ���#�������� ������ � ������� ��������������� ����� � ������ �� ������������� �� �� �� �� ��� �� '� ������ �� �0 ��) � �� � �� ��� ����������� 7#+� '���� ����� �) � *�����������2 � ������� �����+� ������� � � ����#��#� ���� ����� �� �� � � ��� ������ �������! ����� �� ��#����� ��������� ���� � �� �� �����! 2 / �����! ��� ���������! � �������

��� ���� !!"# $"#%&'(#% ) %!*+,&�- &� (.# �*/+#" !0 (")�1&1(!"1 &� ) 234 #5#"6)$$"!7 &/ )(#,6 �8 /!�(. 9 : %#5#,!$/ #�( (.# 1#/ &'!�%*'(!" &�%*1("6 .)1 0!,,!;#% #5#"1&�'# )�% $"!+)+,6 ; &,, 0!" (.# �#7( (;! %#')%#1 9�

���� ��� �� �� ���� ��������!���� � � 5 �����! ���������� �� ��� �� � �$ , �� " ���� � �����#" ������� ���� � ������!� ��� �� 5� ���� �� ���� ��� ��� ���� �����!��� ���� � !���� ��� / � ������� �����+� � � ���! 4��� �� ������� ����� ��! !���� ��� ������!� � � �� ������ �� �� ��� �

� ������/� !��� �� ��� ���� �� ��� �� ��+ � ��!! !�����! 2 �� � ������ ��� ���!��� 2 ��� ����� �� ���� �� �����!� � � ��� ���������� � '�����) �����! ���� ������ � �� �� � �� � ��!! !�����! ����� ������� ��� �� � �� ���� � / ��� ��� /�� �� �� �� ��� ��� �� ,������ ������� "����� �5�� ��� ��� ����� ��� ����� �� ��������������� ���#�� � � ����� �� �� �������� �������� ������� ��� ��� �� �� � ��� ������ �����#���� �������� 4�� � ��� ����� �� �� �� � �� ���������� � �� ���� � ��!! !�����! � � ����� � �����#���� �����������2 � �� 4�� �� ������� � ��� � ������ /�� ������ �����!� ���! �������� ��� ��� 4�� �� ��� ����� �� �� ��� ��������� ���� �����! ����� �����! �� �� � ���� � �� ����� � �����#���� ��������#��� ���� ������ !���� ��� � � ������ �����#���� ����������� �� ����� ����! ���! ��� ��������� �� � ��� �� � ����! �� � ���� ��� �� ������� �� �� ����� �����#���� ������������ ���� � ������ ��� � !������� �� � ���� �� � ����� �� ��������! � 4�� �� � ���!������� � ����� ���� �� � ���� �� ��� � �������� �� � ������������ �� ��� � �� ���� � ��!! !�����! ��� ��� �� ��� � �����#��� ����#���� ������������ �� � ������� �� ��� �� �� � ��� �9 ������2 ���� �� � ���� �� ��� ����� �� � �+��! � ���!���� ��� ��� 5� ������� ���� ��� �� � ��������� �� ����� ��� ��� ����� ����� ������!�� ������� 4��� �� � ������������ �

��� ���� �������� �� ��5 ������ � &���� � �������� ��� ����� ������� �&���� �������� � ���� ��� �� � ���� � � ������� � �� ������������ ������� �� ����� � � ��� �� � ������� � ��� �� !��� � ��!��� � � ����� ���!���� � ��!! !�����!� 2 ��� �� ��/����� ������� ��!!!�����!� 2 �� 5������ ��!�� � �� � 0������� /����! ��� �� ���� ��� 4���� �������� ���5 �� � ������� ���!���� � $������� ����������� ��� � 5� �������� �� �������� �������� ��� �� ������ �� �#���� � ��!�� � �� ��� ����� 5� ������! � ������� ��+��! �����!����� � ����! �

�� (.&1 (.#1&1 (.# �!/ #�',)(*"# !0 ��� )�% � �� .)1 + ##� )%!$(#% & 9# 9 (.# 1#'!�% !"%#" �!�,&�#)" (#"/ �#�#'( � � �� � "#$"#1#�(1 (.# 1#'!�% (#"/ &� (.# �)6,!" �1 1#"&#1 !0 (.#$!,)"&�)(&!� %#�1&(6 �� �� � � �� ��� � � ��� � � � �� � ! ! !" #

)�% (.# (.&"% !"%#" �!�,&�#)" (#"/ �#�#'( � � � � � "#$"#1#�(1 (.# (. &"% (#"/ &� (. &1 1#"&#1 9

(� &���� � 2 � �� �������� �� � ������ �� ����� � � (� �������� �� ����������� �� � ��� �����! 3���� �� ��� �� ��+ � ������ �� ��������� �� � ������� *�������� �� �����+ ��!�� � �� � ������#���� �� � ��� ��� ����� ��� ��� ��� ��� �� � ��������� ��� �#!�����! �������! ��� ����� �����! � ����� ��� �����! � � ������������ � ��!! !�����! �� �������� � ������ �� &," �� ���� ������� �� �������� �� 5� ��� ���� ���� �� ����� �� &���� 7 � � � 2 � ����� � ����!��� ��� �� 5� ����� ��!�� � �� � 5� ������� ���� �� ��� �� ��� ������������ �� 5������ ���� � ��������� � 9 ������2 � 5� ��#����� ���� ����� � �����! ��� ���� �� �� ������� �� 5 �����! �������� � ���� ��� ���� �� � ��4��� � ���� �� �������� �(� &���� 2 � ������ � ����� �����! ��� ���� �� �� �����.� � 9 ����4��� ��� � �� ������ �� ��������.� �� ��� ����� � *- ������������ � �� � ��� �4� ���� 2 *- ������ ������ � �� � ���+ �4����� 2 *- ������ ������ � �� � ����� ��! ���� 2 ��� ������ � �� �������#�������! ��� ��� ������ � �� ��� ���#�������! �� ���� ��� � �� � ���������� �� &���� 6 �� ��� � ���������! �#���+� �� ������ ��!�� � �� �� ����� �+ �� � ����� � ���� ������ �������� �����! �� ��� �� ��!!������ �� �� �� ������ � �����#��������������� �� � ����� ���!���� ���� ��� ����� �� � ���� �� &����� � ��� � (� &���� � 2� ����� ���+���� ��� �������� ������ �� � ��4��� ����� ������� ����� � ��� �� &���� 2 � ��������� �� ������ �� �� �������� �

7 ���� ��� �� �� ���� ������

������� �

�����

��� ��������� ������ ����� ����� � � ���� ��� �� ��������� � � �������������� �� ��� ���� � (� ������ � � ������� � �� ����� ������� ���#���� 2 ��� �� !��� � ��!� �� � ���!���� 2 �� ���� ����� � � �#���� �� ����� � � ���� ��� ��!! !�����!� ��� �� ��� ���� ������ �� � ������������ �� � ���!���� � (� ������ �7 2 � �������� ���� �� � �������� ������� �� !��� � � ���� �� ����� � �����#���� �������� 4�� �� ������ !���� 2 ����� � ����! 2 �� ����� � �� ������ � �

� �� ����� ����

� � � �������� ���� ���� �� � ������� �� ������!��� 2 �� �� ����������� ������� �� � ����!���� �� � ������ �� � �� ���� � ��� ��+������� �� ���!���� �� � � ������ ��� ������!��� � 0���� ��������� ����� �������!� ��� � ��� ���� �� ��+ ������� 2 ���� ������#�� ������ �3��� �! ��!� ��������� '��� ���� � ������� 0������� 2�0)� � �! ��������� �� ������������� � ����� �� ���!���� 2 ���� � ��+ � ������ �� �3� ��� � �� �����! �� � ���� �� � � �� �����! ��� ���� ����� � ��!� ��� ��� � ��!� �������� � �� � ���������!��� � � ���������� ��!� �� � ���!��� �� ���� ��� � � ��!��� � ���!��� � *���! ���!���� 2 � � ���� ����� �� ��� ��� ��� �������� � ������ �� � ������������ �� ���� ��� ����� ���� ��� � 9 �#�����2 ���!���� �� � �������! ��� �� �� ����� ����������� ��������� ����! !���� ���� ��� / � ������ �(� ��� ������ 2 � ������� � ��� ���#!��� ��! �� ����� � ������� (�� ������ ������ �� � �� ���� 2 � ���#!� ����! �� � ������ � �������� � �� ����� ������� ������� '��� �� �! � / �� 2 � ����� 2 ��� ���*-#������ ���!����) � 9�� � ��� ���!��� 2 �� �� �� 9�!�� �� 2 ���� ����� ��� ��!� ���� � �! �������� ���5 �������� '� � ��� ��#

6 ���� ��� � � ��� ���!� � �) � ��� ������� ����� �� � ������� � �� � ��� �����������5 �������� '�) �� ���! �� � � � ���� � ���� � � 2 ����� ����! ��� �� ��� 2� � ��� � � � � � ��� � � � ��� ��! � ��� 3������ ��� � ���#����� ��������� �� �������� ������ � � � � � �� � �� � � ��!� �������! �� �5#�������� ��� ���/�� �� � ��� ���� '� �) ����� � �������! ��� �� ���� ���� '� ��� � ) ��� 5���������� ������! ���� �� � �������!����� '� ��� ��) 2 � 5� '� � ) �9�� � � ����� ���!��� 2 � �������� �� ���������� �� 9�!�� � � � ���� ��!��� �� ��� ������� ���� '����� � � 2 � 2 �� 2 �7 ��� �) �� �� ����� ������ � � � �� � � � � � � � 7 � � 2 � �������� �� � ����� ����� ����� ��� � ����������! �� � .#�������� 2 � ��� !��� �� � '� � � ) � � � '� )�� '� ) � � � '� )��� �� '� ) �� � ��������� �� � ��4��� ���#���� ��������� ���������#��! 9 �!�� � � � � � � � �7 � � �� � � � �� � � 2 ��� ������� ���������� ����� ���� ���������� �� � �������� � ��� 2 �� ���� � �� '� � � ) ��� � ��� � 2 �� ����� � ��� �7 � '� � � ) ��� � 5� '� � ) ��� ������� �� ��� � � '� � � ) ��� � 5� '� � ) �

n1

n2

θ1 θ3

θ2

x

y

z

n3

9�!�� �� � : 1'.#/ )(&' !0 ��#,, �1 ,); 9� &-.( 0"!/ .&-. &�%#7 %&#,#'("&' � � � � &10),,&�- !�(! (.# &�(#"0)'# + #(;##� (.# (;!%&#,#'("&' / )(#"&),1 )( )� )�-,# � �9 �� "#$ "#1#�(1 (.# (")�1/ &((#% ;)5# )�% �� (.# "# �#'(#% 9

n1n2

n3

n4

n5

x

y

z

9�!�� � � : 1'.#/ )(&' !0 ) $,)�)" ;)5#- *&%# 9 � � &1 (.# "#0")'(&5# &�%#7 !0 (.# '!"#)�% � � � �� # � � �� # � # � # �� 9 � &-.( &1 (")�1 / &((#% &� (.# � %&"#'(&!� 9

� �� � !"#$%&'($ )*++� ���� �� ������ ���!���� �� ����� � � �������� ��� ��������! �� ���� ���� ��� ��+�! �� ��!� ���� � ��� ���� � � � �������� �� ��!��� �� �� � � �������� ����������� ��� �������� ����������� �� � ������ !���� �� ��������! 2 %����! ��������! 2 �� �� �� ������ �� ������ ��� �����#����� �� � �������� � �������� �� � !���� ������! �������� ���5 ���#��!����� ��� ���� �� ��������! ����� � � ������� ���� ����� ���� ���+�! ���� �� �� ��� �!� �������� ���5 ������ �� � ������ ��� �* ���! � ���!��� &��������� �� � 2 �� ���� ����� �� � ���� ������ � �������� ���� �� � ��������� ��� � *-#� ����� ����� � �� � � �� �4����� � �� �� � ������� ���� �� ����� � �� ������ � �� ��� �����.� �������� � � � ���!��� ��� � ���#����� �������� ���5 ������ ����� ���

� �� � ����� ������ �� �

� ��������� ���� �� ����� ������ �� �� ��+�! ���� � � ��������������� ��� � � ���!��� �� 9 ����#� �4��� � ��#������ � �� � �#����� ����� ����� �� �� ��� ������ � &����!�� �� � � �������� ��� � ������ ����������� �������� � � ����� ��! �� � ����� ������� 2� �" ������.����� �� �������� � �����5 ������ �� ������� �� ��� ��� � ��� ����� �� �� ��������� � �� � 5� ������� /����!� �� ��#���� � 2 �� � � �4��� ��� �� ��� �" ������.����� ������ ��������� � ����� � �� � ��� �4� ���� �� ����� �� � �� �� �

� �� � ���� ���� ����

� � ������ ���������� �� � 4���� �������� ���5 �� � ���!��� ������� � ��!! !�����! ��� ����� � ��3����#�� ���� ������ ��� �� ���!� �������! �� � ���!��� � ��!! !�����!� �� ��� ������� ��� �� � ��������������� ����� 2 ��!!!�����!� �� ��� �� �����!� ������ ����� �� �����!� � �� �����"����� �5 ��! �����+� �6� � ��!! !�����!� �� ���� ��� �� ������ ��#�����! �������� 2 ����� 2 �� � �� 2 � � � (� � �� ���� 2 *- ������ ������� ��!! !�����!� ��� ����! � ��� ���+ ���� �� �� ��� �� ���#� �� �������� ���� ���� �� ���!���� �� ����� � ��� �

� �� � �� '�* �"%% %"� '�%(� 9 �!�� �� � �������� ���5 ���������� ���/ � �� � ��!! !�����! ������������ � � �������� ���5 ���������� �� ! ��� �

� ' ) � � ��� � � � �� � ' ) � ���� ' ) ��� � ��������� � � ' )� � ' ��)

�� � ��� � �� � ���!��� �������� ���5 ����� �� *- 5����� 2 � �� � ' )�� � ����! *- ������ �������� ���5 ���! 2 ���� ' ) �� � �����������5 ���������� �������� 2 �������� �� � � ���� �� � ���������� �� ����!��� ��� � ' ) �� � ��� ����� ��! � ���� � ���� �� � ��� ���+ �� ��!! ��������� �� �����/� ��

� �� � �������� � ������� � ' �)�� � �� � �� � 4���� �������� ���5 �� � ���!��� 2 � �������� � �� ���� ��!! ��4������� ��� ������ �� � �����!� �� � ��!������ � � ����� �� � ���� ����� � 2 � � �� � � � 3������ � �������/� 2 � ���� �����!����! �� � ������� ��� ��+���� ��������� �������� �� �� ��� � � ���� ��#��� 3������� ��� �� � �! � � �" # ' ��)� #� � ��! # � �" � � ' �7 )

� ���� ��� � � ��� ����� � ��� # �� � ������� ��� ��+���� �����!����! ���� 2 �#�� ������� ! �� � ������! ���� ������ 2 ! � ��� � ���� ���� 2 �� � �� ������!� �� � ��!� �� � ���!��� � " �� � �������� ����� ��! � ���#� ���! ��� � ��� ���� 2 � ��� # � � ����� ����� �� 3������� ����� �7 ���� ��� �� ��� ����� ������������� � ������ ���� ��� ��� !�����! �� ! ��� � ���

� '� �� ) � �� "� ���� �"� � ! ��! � ���� �"� � ! �� � '"� � !� ) ���� �"� � ! �� � ' �)

�� � �� � ��!� �� � !�����! � (� � �����!� ���! ������ ��������� 5������� �� /��� ��� � � 0������� ��������

� '� ) � � � � � � � 5� � '� � � )�� � � ' �6)

� �� � ��+!����� 2 �� � ���� �� � ��+!����� 2 � �� � �!� ��� 0������� 2 � �� ��� ���� ��� � � � ��� � � /����! � ������ �������� ����� !��� � 3������ � � � 0������� �������� �� 3������ �6 2� ���� �� � ������ ������ �� ����� �� ����� ����� � (� 9�!�� �7 2 3��#���� �6 �� /��� �� 3������ � �� ���� �� ����! ������� ��!! !�����!� �� ����� � 4�� �� � ����!�� ���!���� ��� ���#�� �� � 9 ������2 ������� !�����!� �� � ���� ��� ��!�����! ��� ��� �� �� � ���� � �� /�� ���������� �� ������� ��� � ������2�� �� ��� ����� �� ��+ ������� �� � ��� �� � !�����! ��� � ���� ���� ��������������� '���� !�����! 2 0������� !�����!�) � �� 5���� ��� ������ ������ �� ����� �� � ������� ��!! !�����! ��� �� � ���!��� ������ �� 9�!�� 7 �� �

0 2 4 6 81.49

1.491

1.492

1.493

1.494

1.495

1.496

1.497

Grating z−position (A.U.)

n

nave

ncore

nmod

Λ grating

9�!�� �� � �.# $#"&!%&' "#0")'(&5# &�%#7/!%*,)(&!� '!�1(&(*(&�- ) �")-- -")(&�- &�) ;)5#-*&%# 9

1480 1490 1500 1510 1520−12

−10

−8

−6

−4

−2

0

2

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

Dashed: Equation (1.6)Solid: Equation (1.5)

9�!�� �7 � �.# (")�1/ &11&!� 1$ #'("*/ !0) *�&0!"/ -")(&�- $,!((#% 5#"1*1 ;)5#,#�-(.�1!,&% '*"5#� )�% ) �)*11&)� � ( �%)1.#%'*"5#� 9

� �� � � ��� ����� �� ����

� �� � �������� ��� ���

$������� ������ ��������. � �������� ����� �� � ���! ������ /�� 2 � 2� � � � � � ��+� �� � ��. �� � ����#���� �� ������ /��� ��� � �� �� � �(� � ���! � /�� 2 � ������.����� ������ � ��� ������ �� � � ��� ����

� '� ) � ��� � � ���� � � � � �� � � � � � ' ��)�� �� � ������ ��� ����� ���2 � �� � ������ ������� �����2 � ����� � �����#���� ����������� ��� � � � �� � ����#���� ������������$��� ����2 ��� � �!� ��� ���� ���� �� � ��� �!���� � �3��#���� �� �� ����� � �!�����! ���������� '� � � '�� � � � � )) 2 � ��� ������� � ��� � � ��� '� )� ��� �����!���� �� � ��� � � ��� '�� )� �� �����!����� �� ��!� �� � �������� ����� �� ����� � � � ���3������ � �� � ����� ��� ������� � ������! 3������ �� �� � ��� �� ������ ��� �������� ��� � 2 � '� ) � �� � �� � 2 �� �� � '� ) �������� �������� ��� � 2 ��� �������! ���� � ��� 3������ �����

� �� � �

��� ��� �� � �

� ��� �� �� � �� � ' ��)

�� � �� � �� � �� ��!� �� � �������� ����� 2 � �� � ��!����� ��� ����� ��� � ������� � ����� ��� �����! �� � ����� ����� � ���������� ���5 � � �3������ �� �� � ���� 3������ �� �������� ��������� �� ��� ����� ����! ��� ������#��� ���� �� � ��� �����5#�� ����� � ����� �6 � 2 &�� � �� ��� � ����� ���������� �� ������!3������ �� �� ������� �������� ��� � �� 3������ �� ����� ������� ��������! �#���� � 9�� 5���� 2 � � ������ � �������! � ���.�� � ��� � ��� �� � ����������#����� 4�� 2 �� �� 5������� ������ /�� ��� ��� ������ � ��#����� ��� ���! � �������� ���5 �� � ������� �� 2 � � � � ���! ������!� �� �� ������� ��!��� ������! ����! �� � � ���.�� � ��� ���� !����#��� � �5 ��! ��� ������� ����/ ������ �6 � 2 &�� � �� 2 ��!�� � �� ������������ !������� '�0) �6 2 ��� 2 � �� ���� ��� �� �#���#� �5 ��! � ���� ������������ �� ��3���� ������ 2 �� �� ������� �� ������� ��� �(� �0 2 �� ������� /�� 2 � '� ) 2 �������� � �� ����� �� ���� � ����� /��� �� �� �� � ��3����2 � '� ) 2 ��� ��� � �����#���� ����������� ��� ����� �� � ��� '� � � �� ) � (� � ����� �����#����� 4�� 2 � �& /�� 2 � ' ) 2����/� �� ������� /�� 2 � '� ) 2 ��� ����� � �����#���� ������������� � ����� �� � ��� '� � � � ) � ����� !���� �� �� �������� ��� 2 ����� 2 � �������� �� �������� �����#��� ������� � �� � � � �������� �������2 3������ �� �� �� � �� '� ) � �� '�� ) � (������! ���� 3������ �� ����� � ��� � � 2 ��� ���:'(*),,6 � ),, #5#� !"%#" �!�,&�#)" (#"/ 1 )"# �#"! 9

� ���� ��� � � ��� ��������������� ��� � �� ����� � � ���+ �� � �����#���� �������� �#��� �� ������ �� ������ � �������� �� �������� ������ !���� ������������ �� �����#����� �� ���� 2 ���������� 2 ���� � / ���� ��� �����!��������� � ��� ������ �� � �� ����� 2 � ��� ����� �������� ��� �� 3������ ����

�� � � � � �� � ' �)��� ��� ����� � ��� ������� !������� 2 �����#����� �� 4�� ���7#��� � �5 ��! � (� ��� ���� 2 � �����#����� �� 4�� �� � ��������!4�� ��� � ��� ���� � �� �� � �� ���� ��! � � �� �� ����� ��� ������� /�� 2 � '�) � � ' ) � � ��� '� ) 5� '�� �)� 2 �� � �� � ���� �� ���� �� � ������� �������� 2 � '� ) 2 ��� � �& ������ /�� � ' ) ��� ��� � '� ) � � � ' ) � � (������! � �� ���� 3������ � �����

�� � '�) � �� � ' ) � � � ��� � '� )��� � � 2 �� ' �� )�� � '� ) � �� � �� ' )�� '� ) � ��� '� ) � ' ���)

�� �� �� � ���! �� ������� ����� �� �� � ' ) � �3������ �� ���#������� �� � ������.����� �� 3������ � � �� ��� �� �� � '�) �� �� ��9 �!�� � � * ���! � � � � � � ��!�� � �� 3������ ��� �����

�� ��� � �� ' )�

� � ' ��)

�3������ �� ��� � ��� � �� ����� �� �� 4���� �������� ���5� � �� 2 3������������ ���� ��� � � ' ) �

� �� ������

(� �� � 2 ���+ � �� � �6 � �� ���� ��� �0 ��� � ���� ��� � /��� ��� ��0 � �, � / � 2 ��� �� �� ������������� �� � �������� �������� ������� ������ ��� ��� �� � .�� �����#���� ������������ " ��� �� � ��� ���#����� � ��� �� ������ ���� � �����#���� ����������� �� ������ � ������/�� �����! �� ! ���� �� � � � � ����� �����! �� � ������ � ����! ������ ��� �������! � ���! ������ ������ /�� ������ � ����� � (� �9�� ����� �� � �� � �������� *- �����! 2 �� � �����#���� ������������� ������ �� ������ � �������! � ���! ������ ������ /�� ������ � �������� �� �� 5���� � *- ����� ������ � � ������ �����#���� ���������#��� � ����� � �� ����� �� ��� ��� ����� 2 ����� � �� ��� ���� ��������� ��� ��� ��� �� ����� � �� ��� �� ��������� � � ��!��/ ����4��� �� ����� ��� ���� ���� ��! � ���! �������� � �����#���� ���#����� 4�� �� ������ � �� �����������! �� � � ����! �� +� �� ������! ���

�!" (.# #,#'("! !$(&' #"" #�#'( � � � � � � � ��� �� # � # � � 9

� �� � ��� ��� ��

−10 −8 −6 −4 −2 0 2 4 6 8 10−1000

−800

−600

−400

−200

0

200

400

600

800

1000

E(t) (A.U.)

PN

L(t)

(A.U

.)

E(0)

PNL

(0)

α=3ε0χ(3)E(0)2

9�!�� � � : $,!( !0 (.# ,&�#)"&�)(&!� !0 �� � ��� ; &(. "#1$ #'( (! � �� � 9 �.# 1!,&% ,&�#"#$"#1#�(1 #�*)(&!� � 9� )�% (.# %)1.#% ,&�# &1 (.# ,&�#)"&�)(&!� � #�*)(&!� � 9�� 9 � "#$"#1#�(1(.# 1,!$ # !0 (.# ,&�#)"&�)(&!� 9!��� � ��� ��4��� ����� 5 ��� ����� ��! � 4�� ������ � �����! ��� �� ����� ���� 2 � �� ������ � � ��� � ���! ��������� ���� 2 ��� ������ � �� � (� �� ��������� �� ��������� ��� �� ��� ����� ����� �������� 5������ ��� �����! � ����! 2 �� � ��� �� ���������� ��� ����! ��������� ��� ��+ � ��� � � ����� ��! �� ���� ��� � � �����#���������������� �� � ���������� ������� �� ����� �� ����� �

� �� ���� �� ����

� � � ' ���)

�� � ��� �� � �����#���� ������������ �� ��� � ���! ���#������ � (� � ����� ���� �� � ����� ���� 2 ��� ��� ��� 5 ��� ��� � (� ���� 5����� /�� ��� �� 2 ��� � ���� � �7 � � ��� 2 �� � �� � � ����!�������� '� � 6� ) 2 � �� ���.���� �� �������� ��� � �� � � �� ������� ��� �� ������ ��� � ������ ������� � � �� 2 � ����� ���� �����#���� ������������ ��� � ��� ������.������ �� ! ��� � 3��#���� ��� � (� � �! /�� ��� �� 2 ��� � � ���� 2 � � ����� �� ��� �� ��� �� �����.� ����� ��������� � � � ���� ���� �� �� � ��� ������� ��������� �� � ���� ���! ���� �� ��� 5���� � ��� �� ���� � ����� ��� ���� �� � ��� ������� � ��� �� ���� � (� �� 2 ���� 2 ������������ �� �����. ��� � ��� �� � ����� �� 3������ ��� �� �����#���� ��� �0 ��� ��� � ��� � � ��� '� � � �� ) ��� �� ��� �4��� � ������/�� ������ ����� '�������������� ) �� � ����� � � �������������� �� ���#����� �� �� ������ � �� � � ��� ����� �� � � � ��� ���� ���! � ���� �� � �*�����������2 � �����!� �� ����� �� � � � �� ��� � 5�������������!��� �

� ���� ��� � � ��� ���� �� � ��$ ��"%$ +$�""� '*� *($)� ���! ��������� ���� 2 ���������� �� 9�!�� �6 2 ������ ��� �� �����!� '�� 2 � �� 2 �� �) �� � !���� ��� ������� � ������� �����!� ����! �� 2 �� �� � �! 5����� �����! ��� ����! �� ������ � �����!� ��� ����� ������� ����� � �� � �������� ��� � ������ �������! ����� ���� � ����! �� �� � "�5���#��!�� 4�� ��7 2 � � 7 ���� ��� 2 � � ���� �� ���� ���!� ��������� �� � �������� ����������� � �� ��4��� ��������� ���� � ��� ���! �������! !��� ��� ��� �� �� ���! � �� ��4��� �������� �� �� ���� �� � ��� ���� 2� �����! �� ������� ���.�#�� �& ������ /�� 2 ���� � � � �� 5����������� /�� �� ������ ������ � ����� ���� � ����! 2 � ����� �& ������/�� �� � ' ) � �������� � � (������! ��� 5������� ���� 3������ �� �����

�� '��� � ) ��� � �� ����

� � � ����� �� ��� � � �� � �� � ��� � � ' ��7)

�� � ����� � � �� � �� ��� � ' ��)

�3������ �� �� � � ����! ������ �����#���� ������������

Buffer

Core

Top-cladding+

+ +-

--

+ -

-

+

-

+

-

+

-

Beforepoling

Afterpoling

Poling

+Eext Eint

9�!�� �6 � :� &,,*1(")(&!� !0 (.# '.)"-# 1#$)")(&!� /!%#, + #0!"# �,#0( � )�% )0(#" $!,&�-�"&-.(� 9

� �� �� ��$ ('�*)$ *($)(� � ��� �� ���� 2 � 9 �!�� �� 2 �� �� ����� � ��� ��� ��� �� � ��#����� �� ������ ��������! �� � 5������� ��� ��� ������ /�� �����!� ����! �� � � *��� � �� �3��� ������! 2 � � �� �� ���������� ������ ��!�� � /�� �� ������ 2 � �����! � � ���� �5 �� �� � ����� � � ��������� �� ���!� � ������� ��� � �����#���� �������� 4�� �� ��� ��� ���#� ��� � �������� � ������! �� ������ � ��� � ��� � �������� ���5���! �� � �� ����� � �� 3������ ��7 �

� �� �� � )$��*+� '�� '*�(� � �� ������ 2 � 4�� �� �������������� �� � �����# ��� ����#���������������� �� ����� � � �3������ ��� �� � ����3��� �� � � ������

� �� � ��� ��� ��

Buffer

Core

Top-cladding+

+ +-

--

+ -+

-+

-

+

-

+

-

Beforepoling

Afterpoling

Poling

Eext

9�!�� �� � :� &,,*1(")(&!� !0 (.# %&$!,# / !%#, + #0!"# �,#0( � )�% )0(#" $!,&�- �"&-.(� 9������� � � � � ������.����� ������ �� ��������� ��� � �� ������� � ��� �� � �& /�� 2 � ' ) 2 ����! � �#�5 �� �� 9 �!�� �� ��� �� ��������������� /�� 2 � � '� ) � � '� ) 2 �� � �����

� � � � '� ) � � � �� ' )�� � '� ) ' ��6)� � �� � '� ) � �� � �� ' )�� � '� ) � ' ���)

�� � ��� � ������� � �� � ������� /�� ��� � �3��� �� � �&/�� �� ���!� ��� � ��� 2 � � �� � '� ) � � � � � � � '� ) ��� � ��� ������.������������! 3������ ��� �

y

x

zEy(ω)

Ex(ω)Ey(0)

9�!�� �� � :� &,,*1(")(&!� !0 ) #"" / #%&*/ 1*+� #'(#% (! ) �2 �#,% )�% ) (")�15#"1#!$(&'), �#,% 9� � ������ ������� ��������� �� 3������� �� ������! ��� � ����#���� ����������� �� ���� �����#��� � � � � � � ��� ��� ���� ���� �� ���#�� 2 � � ������ ������� �� ��� � �� � � ������ ����� �� ������� � � ���� ��+�� ����� �� ���� ����� �� ������ /�� ������ ����� 2+���� �� �������������� �� ������ ����� ���� �������������� �� � �������� ���5 �� ������� � � � � ���� ��! ��� � ������� ���� ��������� �� 5����� �� � �5 ��������� �� � 5������� ������ /�� � � /��� � ������ /�� ����������� 2 � � 2 ��� ���� ��� � ������ 2 � � � �� 2 �� � �� ���! �� ����#��� � � �������� ���5 ��������� �� �� �������������� �� ����� ����!� ������#����� ������� ��� /�����2 � ������������� ������ ����� �� �����#���� ������������ �� ����� ��

� � � �� � �

�� ��� ��� �� ' ���)

�7 ���� ��� � � ��� ���

� � � �� �

�� ��� ��� �� � ' ��)

�� �� ��� �� �� � ���!���� ��� �4#���!���� �� ��� �� � ������#����� ����� ��/���!

� �� � �� �� � ��

� ' � )

� � /��� � � � �7 �� ������ /�� ������ ����� �� ������� ��� ��� ,���!� ��� �� ��� �� �������� � ������������� �������� ������!� �

� � �7 � � � � �� �� � �����.#����. ��� �� ��� �� ����� ��� �������������� �������� 2 � �

� ��6 � ,�� !����� �� ����� ����� ���� � ���!��! ���� �� �� 7 � �7 � 2 66 2 7 2 �7 � ����� ��! ��� � ��� ���!� ����� �� � #����� ���� 2 � � #���� �/�� �� 3������ ��� ������ �����.� �� ���� ����!��� � ����� ���� �� � ���!#��������� ���� �� � ����� ��������� ��! � � ����! ������ ������� ��+��! �� ������ /�� ����������� �� ����� �� � ����� �� �������! �� �� 2 � � �� �� ������! �� ��� ��� !��� � ���! �� � � � ��� ���� �� ��� �� � ����#���� ����������� �����! �����! �������� ����� � ����� �� � ����� �� �

������� �

��� ��� �� �� ������ ��

� � ������ ��

� �� ��������� ������ ����� ����� � � �������� �� �������� �� � ���!���� ��� ��� �3��� *- ���������� ��� �� �� ����� ��� � ������ ��� �� ������� � � ���� �������! ���� ' �4� ����) ��� ��� � ����� �5 ���#���� �� ������� �� ����� � �� �� ������ � � �� � � ���#�������! ���� ����� ����� ����! � ����� ������ &� ���� -���� ��������� '��&-� ) ������� � �� �� ������ � � � ��� �������� �� ��#��� � ������ �� � ��� ��*-#������ ���!���� ��� �� ���� ��� �������� ��� � ������ �� ���� �� ��� ���!���� � � ��� �� !������� ��� � �������#�5�#������'0 � �,$ ) ������� ����! ��&-� � � �����!� !��� � ��� � �!��������� ���5 ��� � �������! ����� 2 �� � ��+��! � �� ������.�������� ���� � � (� 9 �!�� � �� 2 � �������� ���5 2 � 2 �� � ��� ���� ��� ����� ����� � �����!� ��� ��� � ����� ����� ��� �����! � ���� �� �����!� �� �� ������� ��� ����� �� � � ����! ������ 4��� � (� ��� ���������� ��������2 �� �� ��������� �� � �+ ���#������� ����� ���#������ ����! "���#$ �����#,5 ��# ������ '"$,) ����������� ��6 2 ��� � ������� ���� �� ������� ���� � ���������� �� �� ��� �! �������! �������� � ������! �� ������ ������ ���� � !�� '� ���) �� � �#������� �� #����� 2 ��� �� � ������� � ��� ����� � �� � ������#�5 �� ������� �(� ��� ������ 2 � �����!� �����! � ��� ����� �� ��� ���! ��� � ����4��� � �������2 �� �� �� �� � �������� ��� � ��� ���� ���� �������! ����� �� !�� ����� �����! ��+� � ��� ������� �� *- ��!� �7 � ��� ��#��� � �� �� �/� � ���!���� ��� ��!! !�����!� � *- 5����� ������� � �� ������ � � �� ���� ����� �� ������ ���� �� ������� � � /��� ������ 2 ������ � � 2����� � � ��� �����! 3������ ��� �� � �+ � ������ � (� �� �� �����

�6���� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

� ������ � �� ����� ��! � *- ������ ���!���� � ����� � �7 ����� �� ��� ���!���� �

0 50 100 150 200 250 300 350 4001.45

1.46

1.47

1.48

1.49

1.5

1.51

1.52

1.53

1.54

NH3 flow rate (sccm)

n

9�!�� � �� � �.# "#0")'(&5# &�%#7 !0 �# ��&�� ,)6#"1 0!" %&�#"#�( �!; ")(#1 !0 �� )0(#")��#),&�- )( 8���2 &� ) �&("!-#� )(/!1$.#"# 0!" (;! .!*"1 9 �.# �!; ")(# !0 �# &1 �#$('!�1()�( )( �1''/ 0!" ),, (.# (. &� � ,/ 1 &� (.# �-*"# 9 �.# !$#� '&"',#1 "#$"#1#�( (.#/ #)1*"#/ #�(1 )�% (.# %)1.#% ,&�# "#$"#1#�( ) ,&�#)" � ( �#7(#�%#% (! ) �!; ")(# !0 �1''/�&("!-#� � 9 � &1 / #)1*"#% ; &(. ) $"&1/ '!*$,#" )( � ��� 8 �/ 9

� �� � ������ ��� ��� ������

��� ������ ����� � � ���+ � ������ �� � �������� �� � �������*�������� �� �����+ � � �� � ������ �� ��� ���� �� � ����������������� ����� � *- ������� 2 ��� ��� � ���� ��� ��� ������ � ����! �

� �� � ��$ ") *� '("� '*������ �5 �� '�, ) ��� ��� �� � �4� ���� �� ��� ������ �� �� ����! ������ ��� ����� �! �������� ��+���� �����! � � �5 ��������� � ���� � ���� ��� � ������ �� � �� '� �,) ������� �����& ��� � � ������ �� � ���� � ��� � �5 ������� �� � � ��������� �� �� 3��� ��� �� �� ���� �� � ���� 2 � �������� �� ��5 �� �.� / �� � �� ������ ��� � � � �������� ���5 �� ��� �� �5 �� ��� � � �7� ������ �� � � 6� �� �� � � ������� � ��+��� � ����� ���� 7�� � � ����������! ����! �, �� � ���! ��� ��� ��� �� ������������ 9 �!�� � � � ��� �� ������ ��� ������ � � ������� ��� �����!�2!/$"#11&5# 1("#11 &1 1(&,, $"#1#�( &� ��� � ,/ 1 9

� �� � ��������� � �������� � ��

���� ��� �� � �5 ������� �� � ����� ��� � ���� ��� �� ��� ����3� �� ��� ������� ��� � ��&-� ���� �

0 20 40 60 80 100 1200

1

2

3

4

5

6

7

8

9

Time (hours)

SiO

2 thic

knes

s (µ

m)

9�!�� � � � �.# '),'*,)(#% (. &'��#11 !0 )� !7 &%# � ,/ / )%# )( �����2 &� ) ;#( )(/! 1$.#"# !� (.# ���� %&"#'(&!� !0 ) 1&,&'!� ;)0#" 9 �.# (.&'��#11 ;)1 '),'*,)(#% *1&�- ��� 9

� �� �� �����*���! � ������ 2 �� �� � ���� � �� ���� � �3���� �� ����� ��������������� �� �������� &-� ��� ���� � ������ ��! � ������� ��!����� �� ����������#5���� !�� � ���� � ���� ��� �� �� � � ���� �� #����� �������� ����� � ������ �� � �� ����� / �� � � � ��&-���� � �� �+��� �� 9 �!�� � �� � � ��� ��� !��� �� �� ���� � �#������ ��� � ����! ���� ��� �� � ��� ����� � � � �! ���� %9��!��� �� ������ �� � ��� ����� � 2 ��� � ����� ����� � �� !������'�� � ��� �� � ��� �) � %������ !��� ���� � ������ �� �������� � � ��� � �� ��� �� ���� ���� ��� ����� �� �� ��� � ���� � ���� ������ ��� ��� ��� !��� ���� � ������ ����� ���� � �� ����� ���� � ��� ����!� ��� !��� �� ��� �! � ����� ��� !����' �� ��� 0� ) � � ����������! � ��� ���� �� � ��� ��� !��� 2 ��������� �� � �� ����� ��� � %9 ���� 2 � ���� ���� �� � �#������ / �� � �� ����� � ��� ������ 2 ��� �� ��+ � ���#�������! ����� ��� *- ������ ������ 2 �� � �� � � !�� � �5��� �� ����� ��� �������5 �� �

�� '! ) � $ �, '!) � �, � '�) � $ � '! ) � � � '! ) �� !������� ��� �����!� ��� � ��� ����� �� ��� � � �5 ��! ��#����� 2 ����� 2 !�� �� ��� �������5 �� � � !������� �� ���� ������� ��� !���� � ����5 ��� �����!� �� ���� �5�!� �7 � �

0� '! ) � $ �, '!) � 0, � '�) � $ � '! ) � � � '! ) �

������ ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

Processgases

Pump

Top electrode

Plasma

Substrate

~

Bottomelectrode

Heater

RF generator

9�!�� � �� � : 1'.#/ )(&' "#$"#1#�()(&!� !0 ) 3�2�� '.)/+#" 9

�� '! ) � ' � � � 1)$ �, '!) � 1$� '! ) �

��,�$ � '�) � ' � � 1)� �, '!) � ' � � �

1)$ � '! )

(� � ��� �� ��� ���!���� 2 � ���#�������! ��� ��� �� ������ ��� �� �� ���� ��� ������ 2 ����� ���� ���#�������! �� ���� ! ���� � ��� ���#�������! ����� �� �� ������ �� ��& � ��� !��� � ��� �� ������� ����� ����� ��� � ������ ����� ���� � ������ ��� ���� �#� ���� � �� � !���� �����5 ��� � �������� ��

�� '! ) � $ �, '!) � � �, � '�) � $ � '! ) � �� � '! ) � �� � '! ) � �$ �, '!) � �, '�) � �$ � '! ) � �� � '! ) �

�� �� ��� ������ �� ��� � ���� ���#�������! � �� �� ��� ���#����� � 9 ������2 �� �� � ���#+���� ������� �� �������� �� � ����!� ���� � � �����! � �� �� ����� �� ������ 2 � �����! � ���� �� � � �5#��� �� ����� ������� �� ��� �� ��� ������ �6� 2 �� � ��� ��� ����� ��! �#���� ���#�������! �� ��� �� � � ����� � ��������� �� � ��#��� ���� � ������2 ���� ������ ��� ������ ������� � �����������5 �� � ������ !���� �� ��� �� �� ������ ����� 2 ��� �� ���! �� ���5������! �� � ���#�������! ��� �4� ����� �� � �� ��� ��� �������� ��� ��� !���� �� ������� �� � �� ���� �� � ���#��� ��������� ��& 2 ��� ��� �������7����������� 2 %9 ��#3�������+�. ��� %9 �������� ��� � � ��� %9 ���� '��� )��� ��� ��� � ��� ���� ��� ��� ������ ���� �� �������� ��� � �!%9 ���� '�� ) ��� ��� ��� � ���� ���#�������! �� �������� � � ������ �� � !��� �� ��� �� � ��� �� ! ���� �� ����� � � ��� ������� �� ��� ��� � ��� ��� � �� ! ���� �� � ��4��� ������ �

� �� � ��������� � �������� � �

� �� �� ���$")'�%� �������! �� � ��&-� !���� ��� / �� � �� � ������ �� ���� �������� � !���� �7� ��� ��� � ���� � �����#���+�! �� � !���� �����+ ����� ���� �� ���#��4�� ����!� ���� �� � !���� ����� �����! �� ������� �

�� ����� ���� *-#������ ������ ������ �� ������ � �� ��� �� ��� ��� �������� ��& ��� ��� �� ���� ���� � � �������� ��� ���� �� ���� �� �#��� �� �������� ��� �� � � �����! � ����� �� �������� �� � �������� 2�� ��� � ���� ��� �������! �� ��������� �!� ��� ��& ������ ���! �������� �� � ��� � �� ����������� ��� ���� ������ � ������� ����� � �� �! ������ ������� �� $� �� ������ ������ ������� ���#��! �� �3��� �������! �� �! ��������� � � ����������! ����! ������ ����� �������� �� ��� ���� � ����� �����#���+�! �� � ��� ������ � ����� �7 � ������! � ���� ����/������ �� � ��� ���� ��� �� �� ���� �������� ���5 ������ �����! �������! �9�� � ��� ������ ������ �� ������ � �7 2 � �4��� ���� �� ������� � ������ � ��� �� �� ��� ���� ������ �� ��& ��� � ��#���� ������� � �� ��� �� ���� �� � � �� ������ � ������ ��������� � *-#������ ���!���� �� ����� ��� �� ��� ���� ������ ��� �� ��& �� � �����!� ��#����� �� �� ���& �� � �� '� �,) ������� � � �!� ��������� ��& ��� ���� �� � � �� ���� � ���� �������! � ����� �� ��!����!� ���#��4����! �� �� ����������� ����� ���� � ��� ���� � ��� ����� �� ���& ��� ���� �� ������ �� ��+ � ���� ���� �� ���� !���� �� ��5 ���� �����#���+ ��! ��� ������ �� � ���� �� � ��� �� �� 9 �!�� � �7 2 � �������� ���5 �� ������ ������ ��� �� ������� �� ��� ��� �������� 2 ��� ��� ������ �� � ��� ����#��� �� �� ��������! �������� ���5 �� � �������� �� � ������� ������ � ��� ��� 5������ � ��� ������� �� �����!� ���� � ��� �� ��� ����� �� � � �, ���� �� � �������� ������! '��� � �� ) $ � ���� ���� � �5 ������� �� � $ � (� � ��� ����� 2 � ��� ���� ��� ��� � ��� ������ � �� �� � ������� �� � $ � ������� � ��� ��������! � ������� ������ �� � ��� ����� �� 9 �!�� � �7 � 9 ������2 � ���� $� �����#��� ����� � �������� ���5 �� � 0 � �, � ��� � ���� �� ��� ������'� � � �7� ������ �� 6� ���� )� ��� !�� ����� ��� ��! ������� ��������� ���5 �� ������ �� � 2 &�� � �� 2 � �� ����� �� ��5���� � � ��#������ ��� 5������ � ��& ��� ��! � �! ���! ����������� �������! �� ��� 0 � �, � ��� ��� � �������! ������ ����/�������� � !���� �� ��� ������ � ������2 � 7���� $� �������� ������ ��� 5� ��� ���� � ����� /� 2 ���������! ��� � �� � �����$� ��� #��� 2 � !���� ���� �������� � �� �����!� �

���� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

������� � ��� 5� ���� � �� � �������! �� ��� ��� 2 � �������� ��� ��� � � �� ������ ��� � ���� �� ��& �� � �����!� ��#����� �� ����� � ���� ���� �� ��& �� � �����!� ������� � ����� ���� ����� ��� ���� ��� ������ �� �� ������ �� ���� � ��� ��������� � �� � �� � ��� ���� �� �! ����� ��������� �� � ������� � � ��� �� � ����� 5� ����� � � � ���#� �4����! ��� ���� ����� ��� � � ���! ����� �� ��� �������� ����� ��+ � ��!��� ��������!� ���#��4�� ���� �� ��� � �! �������� ����� ���� � ����� � ����!� � � ���� �� ��� ����� �� � ��� ��� ��� � � ������� ��� ���� �� ����� � ���� ��! �����!� ������ �� ������ �� � ������� �

��� ������ ����� ���� ���#�������! �� � *-#������ ������ 2 ������ � � 2 ��� ������ ����& ���� � �!� �������� ����� ��+ ����!� ��� ��� �� ���� '������ �� ��&) ��� ���� � ���#�������! '��� ����� �� � ���) ���� ����� !�� �� ��� ����!� � �� �� � ��� ��� ���#�������! ������ �����! � ���! ���� �� � � ��� ������ ���� ����! � ���!���� ����#�������! ��� � ��� ������ �� ��� �� 2 ������ � �7 �� 2 �� ��#���� �� ��& ��� � ��� ����� �� � �� � ����� ����� ��� ���� ��� ���#�������! ������ ��� ��� ��� � ��� �������� ����� ������ ���� � � ����� ��� �������! � ������ � �� ���� ���#�������! ����& ��� ���� �� � � �� ������ � ������ �� � *-#� ����� ������ � ��� ��� 2 ������ � �7 � 2 ��� �� 2 ������ � �7 �� 2 ��� �� ��� ���#�������!������ �� �� ��& �� ��� � ���#�������! �

0 100 200 300 4001.44

1.45

1.46

1.47

1.48

1.49

1.5

1.51

1.52

NH3 flowrate (sccm)

n

0 100 200 300 4001.425

1.465

1.505

1.545

1.585

NH3 flowrate (sccm)

n

9�!�� � �7 � �.# "#0")'(&5# &�%#7 !0 �# ��&�� � ,/ 1 0!" %&�#"#�( �!; ")(#1 !0 �� )0(#")��#),&�- ;#( )( �����2 �,#0(� )�% %"6 )( �����2 �"&-.(� 9 �.# �!; ")(# !0 �# &1 �1''/0!" ),, � ,/ 1 &� +!(. �-*"#1 9 � &1 / #)1*"#% )( � ��� 8 �/ 9

� �� � ��������� � �������� � �

� �� �� �� )'��*%"���*- ����!���� �� ��� �� �/� � ���� �� ���!���� �� ����� �9�� � *- ������ ���!���� 2 ��� ��� ��� � ������ ���� �������! ��� ���#�������! � (� � ��� �� ��� ���!���� 2 ��� ��� ��� � ���������� �������! �� � ��� � (� �� ���� 2 � �� ���� ��! ��� ��� ��� ��� ���� � ������ ��� ��� '����� � ������ ��� ��� ���� � �������! ����#����������� ������� � ����� ���� �� � � ��+ ������ ) �� �� �� 9 �!�� � � �

� � ����#����� ��� ���� ���� � ����� ������ ' ��� ) ��� �+� � � � ����#����� ��� 5� ��� �� *- ��!� ����! � ���� ��� ���+

���������! � ����� ������ � � ���� ����� �� � 5� ��� ���� ��������� ����! � �� ���� ������� �

� � � ����#����� ��� ����� � �� � ���� '$�,� ) �� ������ �

(� � �!���� ��� ��� 2 �� � �������! ����#����� ������ �� � �������� � ���+ ������ 2 ��� 5��� ���� �� ������� �� � ����!����� � ������ ��� 2 � ����� ����� ��� ��� ��� � ����� �� ��& ������! �����#����� �� ��� ������ � �� � 5���� ���� �!��� � �� � ���#�� ����� 5� ��� �� *- ��!� � ����� � ���+ 2 �����! �� � ����������� ���� � ���� 5���� �� ��� ��� �� ������ � �(� 9 �!�� � � � ���� ��� ���+ �� ���� �� ���5 �� ��� ��� 2 � � � � ���+�� �� ��� � � �� � �� � ����� � ��� ����� � ���+ �� ����#����� ����+��! �� � ���+ �� ������ �� � ������� ��� 2 �� � ���+�� �� ������� � �� � ����� �(� � ��� �� ��� ������ 2 � ������ �� ��� �+� ��� � �������� �& ��� ������ ��� ����! '%(� ) �� ���� �� ��+ � ����#�������� �������� �� � ����! 2 � �� ������ � � � � 9�� � *- ������������ 2 �� ���� ���� ���� '� ��� ���+ ) ��� �� ����� �� ��� �� �����#����� ����� ����� � ,��� � ���� ���� ������� �� � �����#������ �� � ���� ������ �� � ����#����� ��� ����� �� ����� �

Si substrate

Glass layer(s)

Resist

Chromium mask

UV Light

1 2 3

9�!�� � � � : 1'.#/ )(&' %#1'"&+&�- .!; (.# 4� ,&(.!-")$.6 &1 $ #"0!"/ #% 9 �.# &,,*1(") (&!� &1 �!( (! 1'),# 9

���� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

� �� �� � $"�� '#$ �*� � ��� '�%� %(� �������� � ����#����� ������ �� � ��� ���� �� � ��������� � %(� �� � ������ �� � ������ ��� ��+ � ��&-� ��� ����� �� 9�!�� � �� � � ��4���� �� ��� � �� ����� �� ��� ��� 2� ��� ������ �� � ������ �� 2 � � � �� ���� ��� 2 ��� � ��� ��� !����� � �4��� � � ������ �� ��� ���� � ����� ��! � �! ���� %9 ��!����� � ��� ����� � ��� !�������! � ����� ����� � � � �� ����� ���� �3����� 5���� �� ������ �������� '��+ ������) !����� ���� ���� ��� !��� � � %9 /�� �%����� ��� �� ��! �� ���� �������!� ��� �� ����! � � %(� ���� ����� ������� 2 ��������� �� ����! 2 � ��������� �� ��! ��� ������� �� ��#��! �� ���������� �� 9�!�� � �6 2 ��� ���� ������� �� ����! �� � ���� � ����!�� ����! �� �������� �������� � � � �� ����! ���� �� � ��� #�� � �� �������� ����� �� � �� ��� � � ������� �� ����! � �� %(��� �� ��� �� ��� ��� ��!�� 2 � � � �� �! ������� � � � � ������ ������� 2 � ��� ��!� ������� �� � �!�� �� � � ������ �� �#��������� � ��� ���� � �� ����� ������! ��������� �� ����! � ����� ��� �!��� 2 �� 5 ���� � ������� ���� ������! ���������� ��#��! ��� �� ����� � �� �� �! �� ���� ��� ���������� ������ ����� ��� ������ �� ��� ���� �� ��� ���� ��� �� �� ������� ��&�9 2 �� %9 ���� ��� �� � ��� �� %9 ��3���� �� �� �6"� . � � ���� ����#����� ��� ����� � ����! �� �� , � ������� 2 �� %9���� ��� �� �6"� . %9 ��3�����

Glass layer(s)

Resist

Si substrate

Anisotropic Directional Isotropic

9�!�� � �6 � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 (.# %&�#"#�( #('.&�- $"!� ,#1 $!11&+ ,# *1&�- )� �� 9

� �� �� ��""��$ '�"� '*� * � �� '� � ) + "�( +"� )$+�� ��������. � �� ����� ��� / �� � ��� ������ 2 �� ��4��� ������#���� �� ��� � � ����� ������ ��� ��� �� ���� �� � �����������5 ��� � ��+��� �� ��� / �� � 2 � ��$&,% ���/ ����� ��� ��� ������� � ��� ��� �� ���!���� ��� � �������! ������ � ����#���� '�" ) ��� ��� �� ��+ � ������ �� � ������ � �� � ��������� ������ �����5 ������ �#�� �

�� 1!/ # '"61(),,&�# / )(#"&),1 �# 9- 9 � &� %&"#'(&!�), #('.&�- &1 $!11&+,# *1&�- ;#( #('. &�-),!�- (.# '"61(), )7#1 9

� �� � ��������� � �������� � �

� ��� �� �� ����� ������ �� �� 5����� ����� ���� ��� �� ���� �� ��������� ���5 ��� � ��+��� �� ��� / �� � �� ���������� �� 9 �!�� � �� � (��������� �� � ����� 2 � �� �������� ���5 ������ �!� ��� � ���/ �� 2 ��� � ��!� �� '�������� 6� ���� ������ ��� )� (� � ��� !�� ��� ����� ��� ��� / �� �� ����� ���! 2 �� �� � ����� ����� �� � ����������! ���� � ����� �� � � �� / �� �6 2 �� � � �7 � � 9�� ������ ��!���� � ����� �� 2 � 2 � �� ���� � ��� ��������� �� � ��� / ����� ��� � ������! � ��!� �� � ����� �� ��� ���������! � ���������� 2 � �������� ���5 ��� ���+��� �� � � �� / �� ��� ������������� � � ����� �� � ������ ��� ���� ��������! � ��4��� !�������� �

Substrate

Thin film

Prism

Input beam Reflected beam

Guided modeAir gap

ϕ

9�!�� � �� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 ) $"&1/ '!*$,#" *1#% (! %#(#"/ &�# (.# "#0")'(&5#&�%#7 )�% (.&'��#11 !0 (. &� � ,/ 9

� � � ���� ��$&,% ���/ ����� �������� �� � ��� '��� � �� ���� ��!�� 6���� ��� ������ �� �������� �� ) ��� �� ������ ��� �� ���� �� ������ � � ��� �� ����� ���� �� � ����� ������ ��� ����� ������� ����! � �������! ������ � � �!� �� � ��� ��������� ������ ��� � ���� � �� � (� �� ��� � ���� � �� ����� � ���/ � ����������� � ��!�� �� � �������� �� � �� 6� �

������ �� �� � � � � �� ������! � ������ " �������� '�" ) �������� �� �� ������ � ���� 2 ���#���� � ���!��� ������� 2 ������ ��� � �! �����! �� ������ � � 5������������� �� �������� ������� � ����� � �� ���� � �� �� � ��#����� �����! � ����� �� ����� ��+ ���� � ����� � ��� ��������� ����� 2 � /��� �������� � ������� ����� ��+ �� ��!� ��!������ � ����� ������ ��� � ����� �������� � ������� ����� ���� ��!� � � �� �" ������� �� ��� ���� �� ��� ����! � /��� ����������� � � � �" ������� �� ��� �� ���� �� �� ��� 2 �� ���#/ � 2 ���� ���+���� 2 ����� � �������� 2 ����#����� ���+��� ��� ���/ � �

7���� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

� �� �� �� � '� '�% * � �"#$%&'($+ "�( �"%% %"� '�%+� � ������� �� � !�����! �� ��� ����� 2 !������� ��� ��! � �+������� *-#����������� �7 � �� ���! � ������ ���!� �� � �����������5 �� � ��� � *- ���� ��������� � � ������� ��� � !���#���� ������ ����#������� ��� �� ��� �� ��� ��������� ��� ����� ��4�������� 5 ��� �� � �� �� � �� ��6 2 � 2 � � %���� ��6 � �� � � �������� �� ��������� ��! � ����#������� ��� � �� ���������� ��� � *- ��!� ���� !������� �5�!� �/���� ����� �����! �� !��� ��� ����������! �5�������� ��!� ���� � ������ � %���� ��� �� � ��������� �� ���� ��� ����#������� ��� �� 5� ����� � *- ������ ���!� �� � ������ ���#�� � %���� �� ����� � � *- ���!� �� � �������� ���5 �� ������� �� 0� � ����� 2 � ��#����� &����#&��� ���� � ���! ������ �� ��4��� 2 �� �� ��� �������� 5������ ��� �� �� ���� ����� #��! � ��� ���! ����! ��� ��4��� ����� ����� � � � ������������ !������� ������ ����#������� ��� � ��� ��� ������ ����� �� ������� ��� ������ � *-#����#������� ���2 ����!� �� ������� ������! ��� ��� ��� � ������� �� ������ ��� ����!� ���� ,� � �� � �����!� �������� � �+ ������ �7�� � �� � ���� ���� � ��������������� �# ��� �6 2 � � �� �� � ������� �� � ���!� ���� ��� � ������� �� ������� �� ���!� �����!� �� ���� ����� ��� �� ��� ���� ��� � ����� 5��� � ���� ����! � !��� �5��� �� +������ ��� ������ � � � ���� �����!� �� � 5�������� �� 7� �� � � ��!� �� ��� � � � � � �� ���� ��� ��� ������ ��� �� � ���� �� ��� ��� �� � . � � ���� �������� �� ��#���5 ������ �� � �����! � ���� � �+ ���� �� � "� � � 5���� ������� �� ��� ���� �� � 5������� ������ � �� 2 � ��� � ���� ������� �� �� ��� � ��� ������ ���������� �� � 5��� � ���� ����� �

�� ������ � ����������� � ������! ���!���� � �� � 5���� ���� 2 � ��!� ��� !���� �� ������ ����! �! ���� � ������ ��� ���� �� �� �� 9 �!�� � �� � � ������ ������ �� � ����������� ���! �� ���! ������ �� � �� �� ��������� �� � ���!���� �� ������ '� �#� ������� �� 9 �!�� � ��) ���� ���� �� ��� �� �� ��� � �� �� � �������� �� � �����! � �/��� ��� ��� �� �����! ��� �� � �� ��� ��!� �� � � � �� � � �������� ��� 5������! ��� �� � �� ��� ��!� �� � � ��� � �������! ����� � � ������� � �� � � ��� ����� � ������ ��� �� �� ����� � � ������ ���

� �� � ��� �

� �� 2 &�� � � �� *- ������ ������ �� ��� ������� ����� ��� *- 5����� �������� � *- ����#������� ���� � ������� ������ �� � ������!

� �� � ��������� � �������� �

��� � ��� ��� �� ��� ��� '��� ��� ��� ��) � �� �� �� ����#���� 2 � 3���� ���� ������������ �� ������� �� �67 � ��� � ��6 ������ � � 2�� ���� � ��� ��� � � � � ��� �, � ��� � �� � ������� ���#��� � (������! � ���� ��! ��� � ������� � ���� ��� � �7 ��� � �6��� 8 � � �� � ������ � * ���! � ��4����� �������� !������! �� ������ ��4����� �� ������� �� ������ ����

�� � �� � �� � 5� �7���� � �� �� �

�� � �� � ����� �������� 2 ��!�� � �� 3������� �� �6� ������ ������� �� �������� � ��� ��� �� ��� 8 �� ��� ����� � ��� �(������! � ���+��� ����� �� � ������ ��� �� ��� ���� � ���� ���� ��� �� ���� ���� � �7 ��� � ��� ���+ ����� ��� � � � ��� � ������+ ����� � � ���� �� ������! ��� ��� �� ��� ���� �� �����5 �� ������ �+ � � ��� ���� ��! 2 � ������ �� +�� �� ���& ����� *- 5����� �� ��� �������� �� ������� �� ���� �� ���� � ���#��4����� ��� � � � ���!���� �6� � �� ����� ��� � � ������������ ����� �� ��5�������� � ���� � �� � �� ���� ��� �� �� �� ���� �� ��& � � ������� � '� ) �� �������� � ��� � ����� ��

� '� ) � � '� )� 5� �7���� � 7���� � � '� ��)

�� � �� � �������! � � ������������ 2 � �� � ���� ��� �� ����#���� � � * ���! 3������ � �� ��� �������! 8 �������! � � �� � ����#���� �� ���& �� /��� ��� �� ��� ��� �������� �� ��+� � ���� ������ /� � ���� �� � ������� � � ������������ �� ���� ��� �� ���� � ���!���� �� ������ � �� ��� ��� ��

�� ��� ��

�� � $� � ��� � ��4��� �� ���!��� ���� ���� �� � ���� ���� ��� ��4��� ����� � � ��� � ���!��� ������! 2 � � �#� ��+ �������� �� �������� ���� 2 �8 � �, 2 �� ����� � � ���� � ���+ �������� ���� � ��� � ��+ �����! ������! �� � ��!! !�����!� ����� ��� � �5� ������ �

UV

f1=500mmf2=-200mmMirror

Sample

x

y

z

9�!�� � �� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 (.# 1#(*$ *1#% (! 4� ;"&(# (.# ;)5#-*&%#1 9

6���� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

�� ������ � ����� � ��� �������� ������! �� � ��!! !�����!� �� � ������ ��� � ������ ����! ���� ���+ ���� ����� � �� � � ���� ���#��4����� �� � � � � �������� ����� ��!� �� � 5��� � ���� �� �� � ���� ��� ��� �������� ����� ��!� �� �� � ���� ��� � � ���� �� ����� ������ ��� ��� ��!! !�����! � �����! ����! ����� �� �� �� � ���� �������!� �� �3���� � � ��� ���+ ���� ���5� � �3������� ��� ����� �� � ���� �� ������� �� � ���!����� � �����! ���������� �� � � � � ���� � ��� ���� �� � ��� ���+ ���� �� ������������ 9 �!�� � � � (������ *- ��!� ������� � *- ���������� !���� � (� � ����� �� � ��� ���+ 2 � !�����! �� � ��� � �� � ��� � � � ��!� �� � ��� !�����! 2 2 �� ���� 2 �� � ��� ��4��� ��� ��!��������! �� � !���� ��� ��� �� � ���� � ��� !��� ��������� ���������� � .��� ���� '� � ) ��4 ����� ��!� � � � � ��� # � ���� ��4����� �� � ������ ��� !�� � ������ ' ��!! !�����! ) �� � ���!��� ���� ��� ���+ � � �!� �������! �� � ���!��� � �� � ��!! !�����! � ��� ����� ���� � !�����! �� �� � �� � ��!! ��������� 2 3������ �

������ � � �� � � � � '� �)�� �� ���� �� � �����!� �� � ��!� ��� � �� � �� � 4���� ���5 ��� ���!��� � � ������� ��� � � �� ������ �� � ��� 2 � � � ���� � ���� �� �������� �� � ���!��� �� ��� � � ��� � �� � ��� ���+ ��� 5��� ���� �� ���#������� ���� �� ��������� �� � ���� �� ����#��! ��!! !�����!� �� �� ��� � �� �� � � ������� ��� �������� �� ����!���� '� 5#� ������� �� 9 �!�� � ��) � � 5��� �� �����! ��� �� � ��#��� ��!� �� � � � �� ��� � 5��� 5������! ��� �� � 7 � ��� �� 5��� �� �� ���� �� ������� � � � ������ � � � � 7 � �� �� �� ��� ��� �� ����� � � ������ �� ���

� � ��� �

� (� ���� �� ��+ � ��!! !�����!� ������� 2 � 5���� �� ��� ������ ������ � ������+ � �� � �������� ��� ����� � �����5 ���� ���� ��� �� � ��� �!�����!� ��� ��� �� ��!! !�����!� � �� �����! ��� ���� �� ����� ����!� 2 � � ����� 6 � ��� ���� ��� �����5 ������ �� ���! 2 �� ���� �� ��+ � ��!! !�����! � � ���� ����� �� � ������ �� �

IncidentUV light

Diffractedlight

Phasemask

m=0

m=-1 m=1

Sample

Λh

9�!�� � � � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 ) $.)1# / )1� )�% &(1 *1# 9

� �� � �� ������� ���������� �

� �� �� � '�") �$�""� '*�+� ��� � �����! � ��!! !�����! 2 � ������ �� ������ �� ���& � ����������� �� ��� �� � ��+ �� � ����� ����! � ����� �5 ����� / ��� � �� � ����� ���������! ���� �� ���� �� � �+ �� ������ ��������� � � ���� � ,� ��� �� � ����� 2 �� ������ �� ������� � ���������� � �� � �� ����� ���� �� ���� � �!��� � �� � ��!! !�����!� �

� �� �� � � ����� ����� ����

��� ������ !��� �� ������ �� � *- ������ ���!���� 2 � � � � �#������ ����� 2 � �������� ������ �� � ����� 2 ��� ���+���� ��� ������ ��� ����� ��� ���� ��� �

� �� � �� � '��$� +"� )$+ � '�� )*� ���

� /��� *- ������ ������ ��� �� ��� ���� �� ��� �� ���� �� ���� � �����.����� �� ���� �� � � � ��� ��� ��� ������.����� ���������� '��� ) ��� �3���� � ��� ��� � ����� � ��������! � �4� �������+��� ������� �� � �� ��� �� � ��� ���� ����� �6� � (� 9�!�� � �� 2� ������� � �� �� � *- ������ ������ �� ������ � (� �������� �� ������ �5 �� �4� ���� '�, ) 2 ��&-� ������� ��� ���� '0 � �,$ )��� ��� ������ ���#�������! ' �, � ) � � ��� ��� ���#�������! ����� ���� ����� �� �� ��� � &����� ���� ����� �� � ��� ���� ������� ����� ����� ��8 ' �� � �����8 ) 0 ��� 7 � ���� ��8 ' � � �����8 ) $ �6� � ������� ���� ����� ��������� �� �6� �� � ������ ����! ������� (��"��� � ��������� (� �� � � � 2 � �������� ��� ��� ��� ���+���� 2������ ����! � ����� ������ 2 �� � ��4��� ����� �� � *- ������������ �� ������ � � ��� ��� ���#�������! ����� �� � ��������� �� ��� ��� �� ��� ������ �� �� ������� �� $ � �� ��& ������ ���� �� �� ��� �� ���+ ��� ��� �� ������ ��� � ���+ /�� '�!���� ��� ���) ���+ �� ���!���� �� ��� ��� ������ ��� � ����� �� � �� ��� ������� ��� �

TOX

TOX

Silicon

Ge:SiON

SiO2

9�!�� � �� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 )4� ;"&((#� 1)/$,# 9

TOX

TOX

Silicon

Ge:SiON

SiO

SiON2

9�!�� � ��� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0) 4� ;"&((#� 1)/$,# ; &(. ) (")$$&�- ,)6#"/ )%# 0"!/ �&�� 9

����� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

� �� �� �� � '��$� +"� )$+ � '�� �"�� '�% )"�$����� ��� �� *- ������ ������ ��� �� ��� ���� �� ������ � ��� �������! ���� �� �� �� 9�!�� � ��� � � �������� ��� �� ������ ����.�#�� ������ /�� ����! �� 5��� ���� �� ���� ���!� �����! � ����! �9��� ��4��� ������� �� ��� ��� �� ����� �� ��� � ,� ��� ��� �! �������� ���5 �,$ �������! ���� �� ����� ������� �� � ������� 2 � ����� ��� �� ��� � �,$ �� � ��� ���� � � ���� ��� ��� ��� �, � �4� ���� �� ��� � ��� ���� ��� � �! � �������!���� � � ����� ��� �� � � �� �4� ���� ��� � ��� ��� � ��� ��������! ���� �(� � ������ � ����� � �4� ���� 2 � ���+��� �� � �������! ���� ������� �� ��� �� �� � ����� ������ �� � !���� ��!� ��� ���� �� ���� �� �� �4� ���� ���� ��� ���� ��� � 9���� 2 �� ����� � ������ �� ��!����� �� ���� � �������! ���� � ��������! �� ���� � ��� ��� �������2�� ���� �� � ��� �� � �� ��� �������� �� �������!��� ������� �� ������� � ����� � �4� ���� ��� ������ �� ��� ��� ���� ������ �� �����!� �� ��& ��� �������� ��� ���� � �� ������� �� � ����� ��! ��� ���#�������! ����� 2 ���� ������ ����! � ��� ���!��� � � ���+ ��� ��� � ������ � ��� ����� ��! ���� ��� � ���+ /�� ���+ � � ���+ ��� ��� ��� ���� �� �+�� �� �� ��� �� �� �+ � ��� �� �+ �������� �� ���� ���!������ ��� ���� 2 ��5 �� �!� � ������� � ��� � � ����#���!��� ������!��� ��� �(� �� � � �� 2 � ���� �������� �� � ����� �� ��� �� �� ! ��� 2 ��� ����� !��� �� �� � � �7 2 ��� �� �� �� � � � ��� ��� ���� �� �� � � �6 �

� �� ������ ����� ����

(� � ��� ��� �� � �� 2 ��� ������ !��� �� ���� �� �� � ��� ���!#���� � �� ��4��� ���� �� ��� ������ �� ��� ��� �� ������� � ��� � 0������ ��� � ��� ���!���� � ��� ���� ����� ����� ����! ��&-� �� � �, ���� ��� ������ � � ��� �������! 2*- ����!���� ��� � ������ �/���! � ���!���� �� � ����#����� �� �3�����2 � ��� ��� ��� �� � %(� �� ����� � ���#�������! �� �#������ �� � ��&-� ��� � � (� � ��� �� ���� ���#�������! 2 � ��� �4����� '�����5 ������ �7�� ���+���) ���������! �� ��� ������ �� ��� �������� � ��� ��� � ���#�������! � � �4� ���� ������ �������������� ��� � ����������� �� � �������! ��� � !��������� � ��� ��� ���� ����� � ���! �� ������� ���� ���� �� � ��� �� ������ �� ��#��4����� �� ���� ��� ������ � 9 ������2 � ���#�������! ��������� �(� � ������ � �� ���� ���#�������! ������ �� ��& 2 � ����� �!��� � �� ����� ����� �� ��� � ��� �� � ��� / �� ���+���� 2 ���� �

� �� � � ����� ����������

��� �� ��� ��� � ���#�������! ���� � (� ��� ��� 2 � ����� �!� �������5 �� ���� � ��� �� � ���#�������! ��� � �4� ���� �

TOX

TOX

Silicon

Ge:SiON

B,P:SiO2

9�!�� � �� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 )1)/$,# ;.#"# (.# ;)5#-*&%#1 )"# #('.#% )�%(.# (!$ ',)%%&�- &1 1!0( 9 : (.&� $*"# 1&,&'),)6#" &1 %#$!1&(#% +#(;##� (.# '!"# )�% (!$ ',)%%&�- � +*( �!( 1.!;� &� (.# &,,*1(")(&!� 9

TOX

TOX

Silicon

Ge:SiON

SiO2

9�!�� � ��� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0)� #('.#% 1)/$,# ; &(. .)"% (!$ ',)%%&�- 9

� �� � �"��� *�$��� ��� �� ������ ��� ��� �� ��� ��� � *- ���� ��� ��� *- ������ ������ �� �� 4�� �� � � � � ��� � ���!���� �� ��� ��� �� ��� 2 � ���� *- ���� � ������ �� �� � ��� �� ���� ����� '������� �� � ���� ��� �� ��+ � *-#������ ���!����)*- ���� ��� �� ��+ � ��!! !�����!� � � ��������� �� � ������ ������ �� �������� ��� � ������� �� /��� ��� �� ������ ��� ��� ����! ��� �������� ����� �� ������ ���#�������! 2 ��& ��� ��� ���� '���) ��� ���� ���� '���#�������! ) ��� ������ �� ��� ��� ��� ���� ���#�������! � ��� � ��� ���#�������! �� ��� � � �� ��� �� � ����� ��� ��� ���� � �������� ����� ��� �� ��� � ���� ���#�������! 2 � ������� � �� �� �� ������ �������� �� 9 �!�� � ��� � �� �� � �� ��� � �� ���� ��� � �������� ��������� ���+��� �� � ��4��� ����� �� ��� ��� �� ������ � � ���+ ������ ��� ��� ��� � ��!� /�� '� ������ ��� ���) ���+ � �� �+� �� ���!���� 2� ��� ���� 2 ��5 2 �!� ��� �� � ������� '����#���!��� ������� ��� )2�� ������� � �� �

� �� �� �"��� ��*� ������ ��� �� ��� ��� � �� ���#���� ��� $� � ���� ���0� � ���� �� ������ �� �� ���& ��� ���� ���� � � ��������� � �� ���#���� �� $� � ����� ��� 0� � ����� �� ��������� �� ��& ��� ���� ���� � � ���#�������! �������� �� �� � �, � !���������� �� �� ��& ��� ���� ���� � � ��� ��� ��� �� ��+ �*- ������ �� � � � ��� �� ������ � +��� ��! �� �� �������� �� ������!���� � � �������� �� ��� ��� �� ������ �� �� �� 9 �!�� � �� ���

1''/� 1()�%)"% '*+&' '#�(&/ #(#"1 $ #" / &�*(# 9

����� ��� � � ����������� ��� ����������� �� ����������

� �������� ������ ��� ���+���� �� � � �� / �� � �� !��� �� �� �� � ���� � �� �

� �� �� �"��� ��$$��� ��� ��� ��� �� ������!�� � ������ �� �����!� �� � � � � ��#��� 2 � ������ �� �� � ��� �� � ��� ����� ��� 2 ��� $ � ���������� � ���� �� ��& ������� � ���� ���� �� ��& �� ����� � �� �� #������ � � �� 2 �� ��4��� ���#���� �� $� �����! ��&-� !���� �� ���� ����� � ���#�������!� �� ������ �� �� ��& ��� ���� ���� ���� �������! ����� �������� �� �� �� 9 �!�� � �� � � ����� �������� �� � � ��� �� .�� ���#��� �� $� 2 � �� �� �� � � �� �� �����$� ���#��� 2 �� �� � � ��� � ����� �� ������ $� ��� #��� ��� ���� � � ��7 � ����� �� ���� $� ���#��� � � ������ ��� �� �0� ���#��� �� ���� �

������� �

��� � � ���� � �����

� �� ��������� ���

��� ����� !��� �� ������������ �� � 5� ������� ����� ��� �� ������� �� � (� ������ 7 � 2 � ���� ��� �� ��� ���� � �� � ������ ������� � ��� �� ������ 7 �� 2 � ���� ��� �� ����� � � � ��� ���� ����!� ��!! !�����! �� ������ � (� ������ 7 �7 2 � ���������� � �� � �������!5� ��� ���� ���� ��� �� ���� �� ������������ �� ������ !���� �� ! ��� �

� �� ����� � � ������

� ��� �� � ����! � ������ �� � �� ���� ��� ��� � ����! � ���#�� �� � ����! � ��� ��� ����� ��! � ���! ������ /�� ������ �� � ������ ��� ��� �� � � ����! �������� 2 ��� ��� ��� ���& �����& � � � � ����� �������� ��� ���� 2 � � ����! �����! ��������� �� � ���#����� � �� � ����� ��� � � ���� ��� ��� �� ��+#����� � 2 !������ ����! � ��� � (� � �����! ������ �� ����#����� � �� �!���� 2 � � ����! �� ����� �!���� ����� �����! ����� � � ������ �����! �� ��� ��� 2 � � ����! �� ����� ������� ����� � ����! ����������2 � � ����! �����! ��� ��� #+- ��� # �+- 2 �� � � �5�#��� �����! ��� ��� ��� ��� ������ � ����� ����� ���� ����� ������� � � ����� ��� 2 � ����! �������� ��� �����! 2 �� � ����#� �.� � �� ��� � ���!���� ��� �� ��� ���� � � �������� ��������! �����! ��� ��������� �����! � �����! ��� 2 ��� ������� ����#� ������ � � ��� ��� � ���� �� ��� 2 � ��� ��� ����� �4 ���� ����� ��� ������ �� ���� ���� ����� �� ��! � �����! �����! �������� � � � � ����� �������� ���� �����5 ������ ��& 2 � �!�����! ��� ����� �4 ��� � ����� ����� ���� �� ���� �������� �� ������� �� � �����! ���� �� ���� �� 9 �!�� 7 �� �

� �

� ���� ��� � � ��������� ��� �� ���

Sample

Heater

Top-electrode

High voltage

0V

9�!�� 7 �� � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 (.# (.#"/ ), $!,&�- 1#(*$ 9

� �� � ���� ���� ���� �� ���� �� �� ��� � ��� ��� ���

� 5� ������� ���� 2 ��� �� ���� �� � � � ��� ���� � �������! ����! �� ������� �����!� �� � ��!! !�����! 2 �� ���� �� 9 �!�� 7 � �� �!� ���� � ����� 2 ���������� �� � ���� � ���� '��) 2 ����� ����! �������.����� ��������� 2 �� � ����� ������.����� ��� ���� � � ��!������� �� � .#�������� �� 9�!�� 7 � � � � � ������ /�� ���������� �� � �#�������� �� 9 �!�� 7 � 2 � � � �� � / �� � ��� 2 � � �����.������� ����� �������� � ������ '�� ) 2 ���� � � #/�� �� � �� �������� �� �� #/�� ������ � � � � ��!���� /�� �������� �� �� � �#�������� 2� � �����.����� �� ����� �������� " �!���� '�" )2 ���� � � #/�� �� � �#� �������� �� � � #/�� ������ � (� � ��� �� � ��!� ����� ��� ��� ��� ��� � / � �����/� 2 � � �����.� ��� ������� �� � ���� ���� ����� ��� � � �����.����� ��������� � ��� ��� ��� ��� ������� ������! � ���� � ���� ����� �� �� ��� �! �� � �����.� ������ � 9��� �� �����.����� ��������� 2 � ��!� ��� ������ ���� � � ����� ���!��� ��� ����� ����! � ����������� ���! � � ��� � ����� 2 � ��!� ��� ���#� �� ��� ���� � ���� �!��� ��� ���� �� ������� �� ����� �����.� ',� )�� � ������ ������ �� ����� ��� ������ �

Silica

Silica

Silicon

DC

Polarization controller

OSA

Tuneable laser

Bragg grating

z

TM (x)

TE(y)

TE

Ey Hz

Hx

TM

Hy Ez

Ex

9�!�� 7 � � : 1'.#/ )(&' &,,*1(")(&!� !0 (.# #7$#"&/ #�(), 1#(*$ 9

� �� � ����� ���� �� ���� ��� ��

������ ������ �� ���� �� ������ � �� ��4��� �����!� ������ ������ ������ ��� �� � �����.������ ��� ��� ���� � ����! � ������� ������ �������� ���� �� ���� �� 9�!�� 7 �� � ������!�� �� �� �� � /!�� ��� � ��. �� �� ��

��������� � ���� ���� � ���� ����� � �7 �� � �� '7 ��)

��� �� �� �� ��������� ����� �� � !���� ����� � �� ������� �������� ����� ������ ������ � � !�������� ������!�� 2 ����� ����! ������#����� ���� ������� � ����� � ����� � � �� � �� ��� � �����#����� ������#!�� �� ����� � � �� � �� ����� ���� ������������ �� ���� ��! ����� ������ �7� � & �����2 � �����#����� ������!�� �� � ��� ����� ������#!�� ��� � &���� �����! � ����� ������!�� ���� � !�� ������ ��������#����� ������!�� ��� � � ���� �� ���� �� � � � � ���� � �� ��� ����� � � � � ����� ��������� � �� � ���� ����� 5� ��������� '3������ 7 ��) �� � �����.����� �� ���� ���� �� ��� 2 � � �� 2 ���� � �4� ���� ����� ������ ���+ �� ����� � �" ��� �� ��� � ������� ���� ����� ��!��� �� � �����.������ �� 5�� ��� �(� � ���� 2 � � ������� �� � ��!! �����!� ��� � ����� ������ 5������� ������ �& ������ /�� 2 ��� � � ��� � ��!! �����!���� � 4���� �������� ���5 �� ����� � 3������ � � 2 � ���! �� ��!! �����!� �� �������� �� ��� � ��� ������ �� � ������ '��� � ) �� � �� �� � '��� � ) � * ���! 3������ ��7 ��� /����! � ������ '��� � ) � �� ����� ��� ����� �

� ������ '��� � ) ���� � �� ����

� � �� ����� �� ��� � � ��� � �� � ��� �

� � ���� � � � ��� � � '7 �)

� ���#���+ ���� �� � � �� ��� ����� ���� ��� � � � ��� ���������

���� ��

��� � � � �� � � � '7 ��)

� �� ���� �� ��� ������ ���

(� � �� ������ 2 ��� 5� ������� ����� ��� �� ���� �� � ��������#���� �� ������ !���� �� ������ ��� ������� �� � ���� ����� � ����� ���� � � ������ 7 �7 �� ����� � � ���� ��� ��� ���!���� ���/ �� ��� �� ������ 7 �7 � ����� � � ���� ��� ��� ��+ ������� � (��� ������ 7 �7 �� � ���������� ��� � ��!! !�����! � ��� ��� �

�7 ���� ��� � � ��������� ��� �� ���

1549 1549.5 1550 1550.5 1551 1551.5 1552−42

−40

−38

−36

−34

−32

−30

−28

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

x: TM

o: TE

9�!�� 7 �� � �6$&'), (")�1/ &11&!� 1$ #'(") 0!" ) 1)/$,# �4� ;"&((#� � 9"��#1��� ���������� ���� �� ��� ��� �� �� ������ 7 �7 �7 ����� ��� �� �� � ��!! !�����! ���� 2 ����� ��#�������! �� � � ��������!���� 2 �� ���������� �

� �� � !"#$%&'($+ "�( �� $+"��#1��� ������������ '" 1() ����� �� ��� � ������ � 2 2 ���� ���� �� � �����#����� �� ��� ���� � ��� '� � � � ) �� ������ ���!#���� ��� / �� � (� ��� �� " 1( ���� �� ��� �� ���� �� � �& ���� � ���� � � � '� � � � � ) ��� � �����#����� �� �� � ���� �� ������ !����/ �� � � ������/� "1( ���� �� ���������� �� 9 �!�� 7 �7 � � �!� ���� ������ �� �� ��� �� ���� � ��� ��� � �� � " 1( � �� � �� ���� �� � ����� ��� ���� �� ����� ��� �� � �� �� �� � � �$ , ��������� � ����� " 1( ��� �������� �� � ����� 2 � ������� � �� �& ��!��� �� � ���& ��� �& ��!��� � � � � ��!� ������� �� � ����� �#� ���� �� 2 ������� ��!��� � ��� �� �� �� � ��� ������� ��� � ��!��� �� � ������ � � � ��� ������ �� ��������� � � �& '�� �&��&) �����! �9��� � ������ ��� ���� 2 � ������������ ��� ��������� �(� � ��� �� � ��!��� !������ ���� !����� �� �& ��!��� 2 ����� �����#���� ����������� � ��� '� � � � ) ��� ����� �� �� �� � 2 2�� � � � � �& ��� �� �& ��!��� �� !����� 2 �� � ��� '� � � � ) ��� � � � '� � � � � ) ��� ����� �� �� �� ��� �� �������! �� � " 1( ���� �� ��� ������� ��� ��� �� � � � ��� ���� ��� � ��� ��� � ��� ���� ��� ��� ������� ��� ���� 2 � �����!� ���� �� � ��� '� � � � ) '��� � � � '� � � � � )) ��� � ��� ��� 2 � !����� � ���������! �� � " 1( ���� �� ��� �������#���� � ���� �� ��� ������� �� �������� ���!� ��� �� ������� �� �

� �� � ����� ���� �� ���� ��� �

����������!� � - � ������� � ��� ������� � ������ ���� �������� ����!� ����� 2 ��� ����� � ���������� �� � ��� ���� ��� � �����!���� ��������! �� � ����� �� ������ � �������� !��� ���� � ������ �4�� � " 1( ���� �� �� �� �������� �� ��� 2 ���� �� ���� ����� �/5� ���! �� � ��� ��!� �� � ��!� � �������� ���!� �����!������ �� ���!� � ��� ��!� �� � ��� ��� � ��� ��� � ���#���� ������ ����������! �� � �����5 ��� �� � ���� 2 �� ������ �� ��� �& ��� �� �& ��!��� �� �� ������� �� � ����� �

Lightsource 3dB coupler

Referencemodulator

3dB coupler

Sample

Signalgenerator

Detector

9�!�� 7 �7 � : 1&/$,&�#% 1'.#/ )(&' !0 )� �� 1#(*$ 9

� �� �� �&)� "�$ '" )�� ���� �� � �����# ��� ����#���� ������������ �� ��+ ������ 2 ��" 1( ���� ��� ��� '����� � � ��) �� ��� �� ����� �7 �� � ��������!� ��� ����������!� �� �� ����� � � �� � �� 5��� �������!�� ��� �� �� � ���� � �� ��+ ��� ���� ��+ ������ ������ ��� ��� ��+�! �����! �����!� � �� 5��� � ���������! �� ��� �� ���� ������ ���� ��� �� ���� � ��!� ���� � ������ �

� �� �� �*�" '+*�� ��!! !�����! ���� �� � �������! ��� �� �� ��� ����� ��������� � " 1( ���� �� �� ���� �3���� �� 5��� ���������� ��� 2 ��� �� �������! �� � ��!! !�����! ��� �� ��������� �� � " 1( ���� �� ��� ����! ������ �� � ������� ��� �� � ��!! !�����! ���� �� ��������� �� � ���� ������� �� � ��!! �����!� � ����� 2 ���������!� ��!! !�����!� � �� ����� 9��" �� ��� 2 ���� �� �� ��� ���� ���� ���� �� � ,� ��� � ���� �� � ��!! !�����! �� ����������� ��� � � ��5 ���� ��������� �� � ������� ����� '�� ���,� ) ��� �� ��� ���� �� �� ��� ��� �- � ������� �� � ����������!� ����� �� ���� ��� � ��� �� �� � ��!! !�����! ���� ���� ������ ��� ��� �� �� �� � ������ ���� 2 ������� 2 ��!��� � �������� ���!� �����! ��������� � ��� � ��� ���� ��� ���� 2 ���� ������ �� � �������� �� �������� �� �� �� � 2 � � �

�6 ���� ��� � � ��������� ��� �� ���

� �� ���� � ������ '�� � �� )�� � '7 �7 )�� �� � �6 � ��� �� �� � ����� 5������� �� � ���� '�� � ������/ �) ��� �� � � �6 � ��� �� �� � ����#����� ��� ���� '�� � 0#��� ������� / � ���) � ��� 2 � �������� �������� �����! � � �������� ����������� � � 4�� �� � �������� !������ ����� �� � ���������� � !������ � (� � �������� �� � !�����! '���!���) 2 � ��������!��� ��� ��� ���� � ���� �� � ������� !�����! ���� � !������ � ������! � 4���� �������� ���5 ����! � ���!��� ��� � !�����!�� ��� �������� �� � ��������� �� �������� '�� )� (� � ��� ���������� �� �������� �� � ���!���� � �������� !������ � ��� �� � ��� ���4�� �� �� � �� ��� � �������� �� � ��� � � � ��� � ���� �� ���� �������� �� �� ����� ����������� �� ���� ����� �� � �� ������������ ��� � ���� �������� � �� � � �� ������ ����������� �

� �� �� ����*&� )'�%�� ������ ���� �� ����� �� ����� ������ ���� � �� � ���� �� ������ ��� �� �� ��������� ��� �� �� ��� ��� �� � ����� ��������� � ���� ����� ��� � �� � ��� � ������� ��������� ����� ���� ��� ����������� ��� �� ���������� � ! ���� " �# � �� ������ ��� � �� ������ ��������� ������ ���� �� �� ����������� ��� ���$���� ���� � %��� ��& '( ���� ���� ��� ��� ��� �� � ����� ������ ) �� ���� � ���� ���� ������ �� �� ��������� ��� �� ��������� � ��� ��������� � �� ���� ��� � ����� ������������� ���� ��� �� �� ����� ����� ���� �

1553.5 1554 1554.5 1555

−34

−32

−30

−28

−26

−24

−22

−20

−18

−16

−14

−12

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1553.5 1554 1554.5 1555

−34

−32

−30

−28

−26

−24

−22

−20

−18

−16

−14

−12

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

!���� " �# * : �-*"# &,,*1(")(&�- (.# #�#'( !0 -!!% �"&-.(� )�% +)% �,#0( � &� '!*$,&�- 9 �.#%)1.#% '*"5#1 .)5# +##� / #)1*"#% )( �� )�% (.# 1!,&% ,&�#1 "#$"#1#�( (.# / #)1*"#/ #�(1$ #"0!"/ #% )( ��� 9 �.# / #)1*"#/ #�(1 "#$"#1#�( (.# � $!,)"&�)(&!� !0 1)/$,# + �� 9

� ������ �

� � �

��� ������������(� �� ������ ) �� ������� ������� � �� ���� ��� ��� ��������� � (� ������� # �� ) �� ������� ��� ��������� ����������� ��� �� ���$���� ������� ����� ���� �� ����� ������ ���� � (� ������ # �� ) �� ���� ����� �� �����$� � �� ��� � �� � �� �����$����� ��� ������� �� � ������ �� ����������� �� �� �������� ����� ���� �� ����� ��� ���� � � ����� ��� � �����$�� � ������ # �" ) ���� �� ��� $�� ����� ���� ���������� �� �# ! ��� � ��� ���� ��� �� ���� �� ���� � ���� ���� ������ ������ �� � %����� # �# ������� �� ������� �� �� ���� � � ���� ����������� � (� ������ # �" ) �� �#����� �� $% #����� ��� ��� �� � ���� ��& '() � ���������� � (� ������ # �* ) �� ���� � � ����� ���� ��� ��� ����������� ��� �����$�� � �� �#����� �� �� +,( #������� �� �� ������������������� � ��� ��� � ������ # �- � %����� # � ������ �� ���� � ����� �� ����������� �� �� �������� ����� ���� �� ����� ��� � ������ # �./ )�� ���� �������� � ����� �� ����� ��� ���������� �

� �0 1 234��252��4 �4��6 3 7�366 6�3���6(� �� ������ ) �� ���� �� ��� ���������� ���� �� ����� ������ ����� ��������� ��� �� ������� ������� ��� �� ������ ���� ��� �����$�� ��� �� ��� ��� ��� �� �"! ��� �� �� ������ � ������ �� � ������ �. ��� ����� �� �� ������� ������� ���� ��� �� ������� ��� ��������� ������������ �� � �� ��� ���� �� ����� ������ ���� ) �� ����� ������ ����� � ������� ��� ������� ������ �������� ������ �� �� ��� � �������� ����� ����� ��� � �� � ����$����� 8���� � ���� �� 9 � :�� ����� ������ ����� � ����� � � ��� �� ��� ;������ �������� � � ������ �� ��� ) ��� ;������ ������� ��� ��� ����� ���� �� � �� �������� ) ������������ � ! ���� # �. � !�� �� ;������ �� ) �� ������ ��������� ���� ����� ������ � ����� ��� � �� ��������� ����� ��������� � ������

�*

�- �� � � �� � � � � � ��

������� � ������ ������ �� �� �������� ������ � ������� ��� ����� � � ��������� �� ���������� � ! ���� # �� ��� �� ����� ���� �� � ! ���� # �. �

1533.2 1533.3 1533.4 1533.5 1533.6 1533.7−58

−57.5

−57

−56.5

−56

−55.5

−55

−54.5

−54

−53.5

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

!���� # �. * � ������ ������ �� ������ �� � � � � ������ ��� � � � ��! �!�� "�#�� �$�� %�� �& ��� % '���& � ��! � ( ������� �������� % &��!�& ��� )

(� � ������� �� ���� ��� �� ���������� ��������� � !���� # �� 8��� ���� ���������� ����� ��� � ����9 ��� �������� ���� ���� ��� ��� ����� ����� �� *����& ����%����� 8*&%9 �������� � ������ �� �� ����� ��� ��;������ ������� ���� � ������� � �" � �� � ���� � ������ ����� ��� ��� �� ����� �� � ��� ����� � � �� ������� ������� � %��� ��� �� �� �������� ����� � � ;������ �������� ) � � � ��� � ����� ��� �������� ���� ���� ����� � �� ����� ����� �� �� ����� ��������� ) +, -.// � �� �������� ��� ���� ��� �#����� �� ����� ��� � � �� �� ����� � �� ����� ��� ��� ����� ��� �� *&%� �� ������ ���� ��� �� ����� � ���� �� ���� ���� �� ��� �� � ���� ����� � � �� ����� ��� � ����� �

�� �� �� �� ����� ����� �� �� �� ��� ) ���� �� �: �����$���� ���� � ������� � �� �& �����$���� � ������ �� �� �� % ����� ��� � ���������� �� ��� ��� �/�� �� ����� �� �� �: �����$���� � ��� ������ �: �����$���� � �����$�� ��� �� �� ��� ��� �� ��� �" ��� ����� ���� � � ���� ������� �� ��0% ��� � �� ��������� �� �*#1 � ��� ." ����� 2 � (������� �� �� �3 ���� �� �� ����� ������� �� �������� ������ � ������� � �# �. ��� " �� ����� �� ���$���� �������� ���� 4 567 8 ,

9: ) �� ������������ ���������� & '9);< < =6 > ,

? ��� ����������� ���������� & '() 8 96> :

(? � �� ������� ������ �� �� ��� �" ������������ � ��� �� � �. � !�� �� ��� �� ��� ��� !���� # �� � � �� ������� � ���$���� ���� �� � ��� ������ ��� �� �� ��� ����� � ���� ������ ������ � ��� �� �� ����� ��� � ����� ��� @ /% �� @ A .///% � ��

BC!�� ��� � � � �� ��� $D�& �� EFGH )

� �� � �� � � ���� � �� � � �� ��� �� � ��� � �

−2500−2000−1500−1000 −500 0 500 10001533.458

1533.46

1533.462

1533.464

1533.466

1533.468

1533.47

1533.472

1533.474

1533.476

1533.478TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 1000

1533.434

1533.436

1533.438

1533.44

1533.442

1533.444

1533.446

1533.448

1533.45

1533.452

1533.454TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

!���� # �� * C!� � ���� � ��� ����! % �� % � ����& ������ �!� ������� $ ��� ��& ���� ���� % ���� ) C!� ������ ������ �� ������ �� �!� ��� � � �� �!�� � �� � ����� � )� ) � �����������!� ������ �� �!� � ���� ������� % �!� ������� ���� ��������� �!� ������������� ��& �!� �� �& ��� �!� ����" � �� '� )

������� ������ ���� � ����� �� � � ������ ����� .�� ��� �

� �� �� � ! "# $%&'!( )* + '() *)',( *)- (%./&! ,0

!12 3425 67879: ;74 <= >?@ AB� CD5 � CD72��12�52 B1B87B5:27CE & '() 8 . F G./H99 � >

� > �" . ) "/! I % 7B95 CD5 6:J385 D:6 � 55B �13 5� K 7CD L52J:B74J :B�B7C21L5B ) 7C K148� � 5 B:C42:8 C1 5�359C :B & '() M:845 � 7�525BC �21J CD53425 67879: M:845 I 9912� 7BL C1 �1601M 79 <= >?@ � ! :B� �D785B <= >?@ �#"! )L52J:B74J �13 7BL 7B925:656 CD5 13C79:8 N522 5�59C 91 53 975BC 8J5:6425� :C. F##OP 9

Q 9 8 �RS"Q 9 & '() T 8# I.9

KD525 RS 76 CD5 7J3 5�:B95 1 � �255 63:95 8@ �**U 9 I !12 : 6:J385 91BC:7B7BL� . J18:2V ;5 7B CD5 9125 :B� B1 #412 7B CD5 98:�� 7BL ) � ! AB�6 Q 9 8� F"* G ./H9S � >

W I �D76 M:845 76 �12 : 9125 K 7CD : � 7:J 5C52 1 � � F/*OP :B� :J1�5 A58� � 7:J5C52 1 � " F �OP I �:8948:C7BL CD5 91BAB5J5BC �:9C12 E 758�6X 8 / F� I !21J Q 9 8 X GQ 9 YZ ; [\ 5] > ^ 8. A X9 GQ 9 Y\ 5] > CD5 13C79:8 N522 9153 975BC

"/ �� � � �� � � � � � ��

�12 ;5 �13 5� 67879: 76 �14B� C1 � 5 Q 9 YZ ; [\ 5] > @ � F G./H9S � >W :B� 7B652C7BL 7BC1

5�4:C71B # I. E758�6 & '() @ � F/ G ./H99 � >� > I �D76 M:845 76 7�5BC79:8 C1 CD5 �

CD72��12�52 B1B87B5:27CE �14B� �12 ;5 �13 5� 67879: 7B 659C71B # I- I (B �:� 85 # I.& '() M:8456 �14B� �E � 7�525BC :4CD126 J5:6425� :C � 7�525BC �25�45B9756 :25� 763 8:E5� I !21J CD5 C:� 85 7C 76 5M 7�5BC CD:C L52J:B74J �13 7BL 1 � CD5 91257B925:656 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI �D5 6:J385 �21J 659C71B # I- � 763 8:E5�7B CD5 C:� 85 D:6 : 81K52 L52J:B74J 91B95BC2:C71B 8�699J ���� #1K �2:C5 9CD:B CD5 6:J385 7B CD76 659C71B ) B" ) :B� CD:B CD5 6:J3856 7B 659C71B6 # I�:B� # I" 9 ) :B� 1B5 6D148� CD525�125 5�3 59C CD565 6:J3856 C1 D:M5 : D7LD52CD72��12�52 B1B87B5:27CE �45 C1 CD5 L52J:B74J �137BL I �B CD5 1CD52 D:B� �CD5 6:J3856 B� � � � :B� � - :861 91BC:7B B 7C21L5B 7B CD5 9125 :B� :6 K 788 591J5 985:2 7B 659C71B I- �137BL K 7CD B7C21L5B 25�4956 CD5 CD72��12�52B1B87B5:27CEI � 9912� 7BL C1 CD5 5�4:C71B 7B 659C71B I- � CD5 25�49C71B 1 �CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 7B 6:J3856 B� � � � :B� � - �45 C1 B 7C21L5B 76@ / F* G ./H99 � >

� > I

�� . � �/! 8 � 9 � ! 8. FOP 9 D76 CD5676 8 � 9& '()\ 5] > ./H99 � >

� > . I . I" �& '()Z ; [\ 5] > ./H99 � >

� > � � I/ 8� . J18V 9 � F/ � / F�� 8@ .J18V 9 : 85 I. � � ��� � ������& �� &�#����� ����������� "$ &�#����� ������ ��� &�#����� � ����� )

� �� �� �),� &'("),

D5 J:7B 25648C6 1C:7B5� E J5:6427BL 1B 6:J385 B� K:6 CD:C CD5 4�528:E52 D:6 C1 D:M5 : 952C:7B CD 790B566 8� � F�OP 9 7B 12�52 �12 CD5 6:J385 C1646C:7B CD5 � 318:27�:C71B I �591B� 8E� CD5 D7LD CD72��12�52 B1B87B5:27CE9:B 5 5�38:7B5� E CD5 9125 �13:BC6 � B:J58E ;5 :B� + I D72� 8E� 7C K:61 652M5� CD:C : �21�5B� 7B A58� K:6 7B�495� 7BC1 CD5 6:J385 �427BL 3 187BL I D5 67�5 1 � CD5 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 1 C:7B5� CD214LD 5�4:C71B � I.K:6 1 � CD5 6:J5 12�52 1 � J:LB7C4�5 1C:7B5� 467BL CD5 ��� 65C43 1B 67J 78:26:J3856 7B �"! I � 7B:88E� CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 655B B1C C1 9D:BL5�427BL CD52J:8 3 187BL � 7B� 79:C7BL CD:C CD5 9D:2L5 653:2:C71B J1�58 76 M:87� I D76 25648C 76 7B :9912�:B95 K 7CD 25648C6 1C:7B5� E �*�! :B� ���! KD165J5:6425J5BC6 :861 7B� 79:C5 CD:C CD5 9D:2L5 653:2:C71B 76 M:87� I

� � !�" #$! 435 %&2�B CD76 659C71B � : 6:J385 D:M7BL : CD790 4�52 8:E52 76 :B:8E�5� I � 6 655B 7B659C71B I� � 6:J3856 D:M 7BL : CD 7B 4�52 8:E52 8' � F�OP 9 :25 B1C : 85 C1

>� �!��� !�� ��� �( )) � � * ���� ����� ������� �"�����& ����� � +�� ,���� �� G����-./ 0 )

� �� � ��� ��� ��� � � � .

643312C CD5 � 318:27�:C71B I D525�125 � 1B5 1 � CD5 A26C 6C536 7B CD76 321� 59CK:6 C1 J:05 6:J3856 CD:C K525 : 85 C1 643312C 1CD 3 18:27�:C71B6 :B� C1:B:8E�5 CD5 2564 8C6 1C:7B5� I�B � 7L425 I� � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: �12 CD5 6:J385 � � :25 32565BC5� I D5 6:J385 91J3167C71B 76 32565BC5� 7B 659C71B � I� I. :B� CD5 25�2:9C7M5 7B�� 7956 :B� CD 790B56656 1 � CD5 � 7�525BC 8:E526 :25 6D1KB 7B : 85 � I� I D53:2: 18:6 ACC5� C1 CD5 J5:6425J5BC6 :25 6D1KB 7B � 7L4256 I" :B� I* �12CD5 81K � :B� D7LD�K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 736 7B � 7L425 I� � 2563 59C7M58EI� 6 655B 7B CD565 CK1 AL4256 � CK1 J5:6425J5BC6 K525 J :�5 :C /% I �21J CD5CK1 /% J5:6425J5BC6 7C 76 5M 7�5BC CD:C CD5 � 2:LL K:M585BLCD 76 M52E K588�5C52J 7B5� 7B CD5 65C43 :B� �1 56 B1C 9D:BL5 67LB 7A9:BC8E 1M52 6D12C 3 5271� 61 � C7J 5 � 8566 CD:B :3321� 7J :C58E .3J 7B � J7B4C56 I D5 J5:6425� 25648C6:25 32565BC5� 7B : 85 � I� I

1549 1549.5 1550 1550.5 1551 1551.5 1552−42

−40

−38

−36

−34

−32

−30

−28

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

x: TM

o: TE

� 7L425 I� � � ������ ������ �� ������ �� � � � � ������ ��� � � ) � ���������� �!� C�� � ���D����� ��& � �!� C� � � ���D����� ) C!� �� �& ���� ��������� �!� ( ������� '�� )

D5 6:J385 � � � 7694665� 7B CD 76 659C71B K:6 3 185� :C ��0% :B� �*1 � �12." J7B4C56 ( I � 6 5�3 59C5� � :B 7BC52B:8 5859C279 A58� 76 478C 7BC1 CD5 6:J385�427BL 3 187BL I D5 478C� 7B A58� 76 7B CD5 2:BL5 -*� .� . ��� �53 5B� 7BL 1B CD5C2:B6J 76671B � 73 :B:8E�5� I D5 � 769253:B9E 5CK55B 4 567 �12 CD5 CK1 31�8:27�:C71B6 76 B5L87L 7 85 :6 5�3 59C5� �12 87LDC C2:M587BL 7B : K588�L47�5� 9125 I D5 67�5 1 � CD5 478C� 7B A58� �12 CD5 81K �C2:B6J 76671B � 73 76 1 � CD5 6:J5 12�521 � J:LB7C4�5 :6 CD5 1B5 J5:6425� �12 6:J385 B� 7B 659C71B I� :6 K:6 5� �359C5� 67B95 CD5 .9 3187BL M18C:L5 � �9 C5J352:C425 :B� �9 C7J 5 K525 7�5BC79:8�12 CD5 CK1 6:J3856 I+:7M58E� 1B5 K148� 5�359C CD5 CK1 C2:B6J 76671B � 736 C1 2532565BC CK1 � 7���525BC J1�56 � 7 I5 I CD5 �4B�:J5BC:8 :B� CD5 A26C 12�52 J1�56 I D:C K148�5�38:7B CD5 � 7�525B95 7B CD5 J5:6425� CD72��12�52 B1B87B5:27CE 5CK55B CD5D7LD :B� 81K K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 736 I � 7B95 CD5 � 7�525BC J1�56 321 5�C!�� ��� � � ��� ��� $D�& �� EFFH )

�� �� � � �� � � � � � ��

� 7�525BC 3:2C6 1 � CD5 K:M5L47�5 :B� 98:�� 7BL :B� 67B95 CD5 CD72��12�52 B1B�87B5:27CE 76 � 7�525BC �12 CD5 � 7�525BC L8:66 CE3 56 8655 �" � � . � �/!9 � 1B5 K148�5�3 59C : � 7�525B95 7B CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27C756 �5C52J 7B5� E � 7�525BCJ1�56 I D76 K148� :861 5�38:7B CD5 � 7�525BC J5:6425� �21�5B� 7B A58�6 7BCD5 9:65 KD525 CD525 76 : 7L � 7�525B95 7B 91BAB5J5BC �:9C12 5CK55B CD5�4B�:J5BC:8 :B� CD5 D7LD52 12�52 J1�5 � I� 7J48:C71B6 1 � CD5 K:M5L47�56 7B �* .! 7B� 79:C5 : K:M585BLCD � 7�525B95 5�CK55B CD5 �4B�:J5BC:8 :B� A26C 12�52 J1�56 1 � CD5 12�52 1 � � +�. �� @ �QP I D525�125 � 7C 76 M52E 4B87058E CD:C CD5 CK1 C2:B6J 76671B � 73 6 7B � 7L425 I�2532565BC CK1 � 7�525BC J1�56 � 67B95 � +� ;.� @ / F��QP � � +�. �� :B� CD5D7LD K:M585BLCD J1�5 8CD5 32564J5� �4B�:J5BC:8 J1�5 9 76 K5:052 CD:BCD5 81K K:M585BLCD J1�5 8CD5 32564J5� A26C 12�52 J1�5 9 I D76 76 B1C 91B�676C5BC K 7CD CD5 �:9C CD:C CD5 � 2:LL L2:C7BL 76 7B CD5 $% 65B67C7M5 9125 :B�CD46 325�1J 7B:BC8E 1 652M5� E CD5 �4B�:J5BC:8 J1�5 I�B1CD52 3 1667 85 7BC52325C:C71B 1 � CD5 CK1 C2:B6J 76671B � 736 76 CD:C CD5 6J:88� 73 76 : 67�5� 813 5 :B� CD5 6C21BL C2:B6J 76671B � 73 76 CD5 �4B�:J5BC:8 J1�51 � CD5 4B7�12J � 2:LL L2:C7BL I �B � 7L425 I� � CK1 67J48:C5� C2:B6J 76671B63 59C2: :25 6D1KB I D5 �:6D5� 87B5 2532565BC6 : 4B7�12J � 2:LL L2:C7BLK 7CD :243C C52J 7B:C71B 1 � CD5 7B�5� J1�48:C71B :J387C4�5 :B� CD5 6187�87B5 2532565BC6 : 4B7�12J � 2:LL L2:C7BL K 7CD C:3 527BL 1 � CD5 25�2:9C7M5 7B�5�J1�48:C71B :J387C4�5 :C CD5 5BC2:B95 :B� 5� 7C 1 � CD5 L2:C7BL I � 6 655B 7BCD5 AL425 � CD5 67�5� 813 56 :25 643325665� E C:3527BL CD5 5B�6 1 � CD5 4B7�12JL2:C7BL I D5 C:3 527BL 76 25:87�5� E 6C:2C7BL :B� 5B� 7BL CD5 69:B 1B CD53D:65 J:60 I �B 1CD 9:656 � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C24J 6D1KB 7B � 7L425 I�76 B1C 25321�495� 67B95 CD5 63 59C2: 7B � 7L425 I� :25 6EJJ5C279 :214B� CD595BC52 1 � CD5 � 2:LL L2:C7BL I�B � 7L425 I � CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 76 3 81CC5� M52646 CD5 � 9 91B95B�C2:C71B I D5 J5:6425J5BC K:6 3 52�12J5� E N I �� 29D <= >?@ :B� 76 :B5� C5B�5� J5:6425J5BC 1 � CD5 1B5 34 876D5� 7B �.�! 3 52�12J5� 1B $% K27C�C5B K:M5L47�56 J :�5 7B : L52J:B74J :B� 121B �13 5� 9125 L8:66 I �5M52:8K:M5L47�56 :25 K27CC5B 7B 65�45B95 :B� CD5 C7J 5 �21J C:0 7BL CD5 6:J38514C 1 � CD5 �255�52 76 25912�5� I ��C52 K:M5L47�5 �:279:C71B � CD5 25J :7B7BL� 9 76 14C�� 7�465� E 38:97BL CD5 6:J385 1B : D5:C52 I �4 65�45BC8E� K5:0� 2:LL L2:C7BL6 :25 J:�5 7B CD5 6:J3856 C1 �5C52J 7B5 CD5 5�59C7M5 25�2:9C7M57B� 7956 1 � CD5 � 7�525BC K:M5L47�56 I D5 � 9 91B95BC2:C71B �53 5B�5B95 1BCD5 C7J5 14C 1 � CD5 �255�52 76 �5C52J 7B5� CD214LD 14C� 7�4671B 5�3 527J5BC6CD46 E 758� 7BL CD5 5�59C7M5 25�2:9C7M5 7B�5� M52646 � 9 91B95BC2:C71B I � 7B957C 76 B1C 0B1KB D1K CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL56 :6 : �4B9C71B 1 � CD5 � 991B95BC2:C71B � CK1 AC6 D:M5 55B 32565BC5� 7B CD5 AL425 I D5 A26C AC 76:B 5�31B5BC7:8 �59:E :B� CD5 6591B� 76 : 87B5:2 AC K 7CD : J 7B7J4J � 9

0 �� �!� ���� � !��� �!� ���'��� ��� ������� ��� � ��� �!� &�#����� � � &�� ��� & �� ,���� �� ��� $ ���" � �!� ��� � ����� �� �!� ��� � � ��& �!� � ������& � � ��� & " � �!���� � )

� �� � ��� ��� ��� � � ��

1549.9 1549.94 1549.98 1550.02 1550.06 1550.1−1

−0.8

−0.6

−0.4

−0.2

0

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I� � C����� ������ �� ����� �� ��� ������� �������� % ��� � ��! � ��� ����� �� �!����������� ��&�� � � &� ����� �� � ���&� �� �!� �������� ��& �� �� �� �!� ������� ��� �& ��� � %�!� ��!�� � ��! �"���� ���� ������� �&��!�& ��� � )

91B95BC2:C71B 1 � . I.* J18:2V B55�5� C1 9D:BL5 CD5 25�2:9C7M5 7B�5� I � CD52�4B9C71B6 �56927 7BL CD5 25�2:9C7M5 7B�5� :25 3 1667 85 I �B �.� ! J5:6425J5BC6�12 D7LD 91BC5BC6 1 � � 9 :25 3 52�12J5� :B� CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 76 :6C53� 8705 �4B9C71B 1 � CD5 � 9 32566425 I � 664J 7BL : 6C53� 8705 5D:M 7142 � CD5C2:B6J 76671B 63 59C24J 7B � 7L425 I� 9:B 5 5�38:7B5� 7B CD5 �1881K 7BL K:E ��B CD5 5L7BB 7BL 1 � CD5 K:M5L47�5 K27C7BL � CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 76�45 C1 CD5 L52J:B74J �137BL :B� CD5 � 9 65B67C7�:C71B I �C 61J5 317BC 1 �CD5 K:M5L47�5 K 27C7BL � CD5 � 9 91B95BC2:C71B 25:9D56 : 85M58 581K CD5 J 7B�7J4J M:845 25�4725� C1 J :05 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL56 �45 C1 � 9 :B� �21JCD76 317BC 1B � CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 76 1B8E �45 C1 CD5 L52J:B74J 7BCD5 6:J385 I D5 8:CC52 3:2C 1 � CD5 K:M5L47�5 K 788 D:M5 : 258:C7M58E 81K5225�2:9C7M5 7B�5� I � � 2:LL L2:C7BL J :�5 7B CD5 K:M5L47�5 :�C52 14C�� 7�4671B1 � CD5 �54C5274J K 788 CD46 D:M5 CK1 C2:B6J 76671B � 736 I �B5 �21J CD5 D7LD25�2:9C7M5 7B�5� 3:2C 1 � CD5 K:M5L47�5 :B� 1B5 �21J CD5 81K 25�2:9C7M5 7B�5�3:2C I �B CD5 9:65 KD525 CD5 � 9 91B95BC2:C71B �2136 581K CD5 J 7B 7J4J25�4725� � 9 91B95BC2:C71B �:6C � CD5 D7LD K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 73 K 788 5 J49D K5:052 CD:B CD5 81K K:M585BLCD � 73 :6 655B 7B � 7L425 I� I �C 767J312C:BC C1 B1C5 CD:C 1CD � 736 2532565BC CD5 �4B�:J5BC:8 J1�5 :B� CD46CD5E 6D148� E758� CD5 6:J5 M:845 �12 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI � 6 K 788 5 655B 8:C52 7B 659C71B I � CD76 76 B1C CD5 1B8E 3 1667 85 5�3 8:B:C71B C1 CD5CK1 C2:B6J 76671B � 736 1 652M5� 59:465 CD5 D7LD K:M585BLCD C2:B6J 76671B� 73 :861 1 99426 7B 61J5 5C9D5� 6:J3856 I� 6 655B 7B � 7L425 I* � CD5 J5:6425J5BC6 1B CD5 � 2:LL K:M585BLCD 1 � CD5D7LD K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 73 :25 B1C :6 K588 �5C52J 7B5� :6 +, -.// 1 �CD5 81K K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 73 32565BC5� 7B � 7L425 I" :B� CD46 CD581K K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 73 76 465� 7B CD5 � 76946671B 581K I D5 D7LD

�� �� � � �� � � � � � ��

0 0.5 1 1.5 2 2.5 30

2

4

6

8

D2 concentration (molar %)

∆ n

⋅ 100

0

0 0.5 1 1.5 2 2.5 30

2

4

6

8

D2 concentration (molar %)

∆ n

⋅ 100

0

� 7L425 I � C!� ���������� ��&�� �!���� �� � �������� �� �!� � > ������������� �� �!�� ��� &�����& "$ � �� ��& �� ��� ������� $ &���$ ��� �������� '���& �� �!� � ������� ��� %�� �& ��� �� �!� ��� '���� % ��& � ����� $ '� % �� �& ��� �� �!� ���� '���� )

K:M585BLCD � 73 25648C6 �12 CD76 6:J385 :25 � 7625L:2�5� I

D5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 655B B1C C1 9D:BL5 K 7CD7B CD5 4B952C:7BCE�427BL 3 187BL � 7B� 79:C7BL CD:C CD5 9D:2L5 653:2:C71B J1�58 76 CD5 M:87� J1�58 I�B652C7BL CD5 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27C756 7BC1 5�4:C71B � I.� E758�6� @ . F�� � / F/� :6 655B 7B : 85 � I� I � 6 J5BC71B5� 7B 659C71B � I : M:845 1 �CD255 76 5�3 59C5� 7B CD5 9:65 1 � 9D:2L5 653:2:C71B 812 7B CD5 9:65 1 � � 73 18567B :B 5� C52B:8 A58� 81K52 CD:B 4 ;� 7 8 �// ��� 9 I D5 J:� 7J :8 5�C52B:8 A58�:33 875� :92166 CD76 6:J385 K:6 .-/ ��� � 67LB7A9:BC8E 81K52 CD:B CD76 M:845 I: 859C216C279C71B � :6 �56927 5� 7B 64 659C71B � I I� � 9:B 5�38:7B CD5 1 652M5�� 769253:B9E 5CK55B CD5 CD5125C79:8 :B� J5:6425� � �M:8456 I D5 J5:6425�� �M:8456 � �5AB5� 7B 5�4:C71B � I�/ � 1 � 6:J385 � � :25 32565BC5� 7B : 85 � I� I D5 J5:6425� M:8456 :25 7B :9912�:B95 K 7CD CD5 M:8456 325� 79C5� 7B ��/! :B�CD46 5859C216C279C71B 76 : M52E 3 8:467 85 5�3 8:B:C71B C1 CD5 1 652M5� � �M:845 I�B1CD52 5�38:B:C71B C1 CD5 J5:6425� � �M:845 76 :B761C213E 1 � CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27C756 :6 76 :861 1 652M5� 7B : 85 � I� I �B5 K148� 5�3 59C :B761C213 79 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 7B : N522 J 5� 74J I �B761C213 79 CD72��12�52B1B87B5:27C756 K148� 9D:BL5 CD5 � 8 � M:845 I

� �� �� �),� &'("),

�B CD76 659C71B � 7C K:6 6D1KB CD:C D:M7BL : 643 975BC8E CD790 4�52 8:E523 52J 7C6 CD5 7BM56C7L:C71B 1 � 1CD CD5 : :B� � 318:27�:C71B 1 � CD5 6:J �385 67B95 CD5 � 318:27�:C71B 76 B1C 85:0 7BL 7BC1 CD5 � 7 K:�52 I �591B� 8E�CD5 �21�5B� 7B 5859C279 A58� 76 91J3:2: 85 C1 CD5 1B5 1 C:7B5� �12 6:J385 B�7B 659C71B I� I D76 76 5�359C5� 67B95 CD5 CK1 6:J3856 K525 3 185� 467BL

� �� � �� ��� ���� ��� �� � �� � ��� �� � �

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.615

1550.62

1550.625

1550.63

1550.635

1550.64TM, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.115

1550.12

1550.125

1550.13

1550.135TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.64

1550.645

1550.65

1550.655

1550.66TM, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.135

1550.14

1550.145

1550.15

1550.155TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

������ � � � � ������ �� � � ��� ��������� ������ ������ ��� � !"#$$ � ������� ����%�� � �&�������' ������� () ������� � *+,- . � � ������ ������ �� ����%� �� � � ������ �� � ����� /��%�� 0 .1 . & ���������� � � ������ �� � � 2���� ������� � � � �������� ����� ��������� � �%������������ ��� � � ����� ���� � � ����3��� 4���� �� � � � ���%��� ��� .

56� 789� :;<�=� :8�89�5��7 8=> ?;56 @��� AB @��55�= C6� 56��>D;�>��=;=<�=�8��5E 9�87���> �7 7<��65<E <8���� 568= 56� ;=� F;�=> F;� 789:<� =G C6� H;�� H;=5�=5 76;�<> ?� �>�=5�H8< ?�5 I8��85�;= �= 56� >�: ;7�5�;= �85� ;F56� JKLBM H8= �N:<8�= 56� >�7H��:8=HE O :;77�? <� �N: <8=85�;= @87 ��I�=F;� 56� 5@; >�:7 ;?7��I�> �= 56� 5�8=79 �77�;= 7: �H5�8 ?87�> ;= 8= 8?��:5H68=�� �= 56� ��F�8H5�I� �=>�N ;F 56� @8I����>� >�� 5; ;�5D> �P�7�;= ;F Q R>���=� @8I����>� @��5�=� � �=8<<ES 56� 87E99�5�E �= 56� T DI8<��7 7�998D��U�> �= C8?<� V W H;�<> ? � �N:<8�=�> ��56�� ?E �<�H5��H X�<> �=>�H�> 75��77;� 8=�7;5�;:E ;F Y Z[\

] ^_ `abcd cefg ahicjk almldfbfmn

o= C8?<� V � p qrs S Y ZR\tu u 8=> Y Z[\ 8�� F;�=> F;� 8 789:<� : ;<�> �=>�� 56�;:5�9 �U�> :8�89 �5��7 F;�=> ?E v�= wx yz{ �= |�}~ C6� 789:<� �7 �>�=5�H8<5; 789:<� O� >�7H��? �> 8? ;I� S 56� ;=<E �NH�:5�;= ?��=� 5685 �5 687 ? ��=:;<�> �7�=� 8 I;<58�� ;F D� ��B 85 W���L F;� W 9 �=�5�7 o= |�}~ 56� : ;<D�=� 5�9:��85��� 8=> :;<�=� 5�9 � 68I� ? ��= ;:5�9 �U�> F;� 8 H;=758=5 : ;<�=�

�" �� � � �� � � � � � ��

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.957

1550.959

1550.961

1550.963

1550.965

1550.967

1550.969

1550.971

1550.973

1550.975TM, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.486

1550.488

1550.49

1550.492

1550.494

1550.496

1550.498

1550.5TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.973

1550.975

1550.977

1550.979

1550.981

1550.983

1550.985

1550.987

1550.989TM, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001550.504

1550.506

1550.508

1550.51

1550.512

1550.514

1550.516

1550.518TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

������ � �� �� ����� �� ��� ���� ���������� ������ ������ ��� � �� !"" � ������� ����#���� �$�������% ������� &' ������� � ()*+ , �� ������ ������ �� � ��#� �� ��� ������ �� ������� -��#�� . ,/ , $ ���������� ��� ����� �� ��� 0���� ������� � ��� ����� �� ����� ��������� ���#� ���������� ��� ��� ����� ���� ��� ����1��� 2���� �� ��� � ���#��� ��� ,

34567�� 8 97:�5; <= ��>? � @A�B C 45�9� 34567�� D7B EA4B�9 B�9E� �6 ; ��5FB 73��; A��A �5�E6��E G�5F 8 H IJK L ==� MNO � @A� F��5�E6��E P��7>F4D9 Q4� B�5�E7 8H RSITU V W�X MNO Y= Z[ 79F �4�9� P �;49F HIJK V \= ]�^ _ 7B C45�9� 34567���9E��7B�B 6A� ��B> 4Q P��7>F4D9 E49B�F��7P 5; Q4� 6A�B 6;C � 4Q B7:C5�B �`9 � ����� � �W 8 6D4 6�79B: �BB�49 BC �E6�7 4Q 6A� B7:C5� 7�� BA4D 9 64��6A��D �6A 6A� G66�F Q�9E6�49B � ��4: @7P5� a �� �6 �B B��9 6A76 8 D �6A�9 6A� �b<C ���: �9675 �9E��67�96;8 6A��� �B 7 3��; �44F E4A���9E� P �6D��9 6A� ��B�56B4P67�9�F Q�4: 6A� F�c���96 6�79B: �BB�49 F�CB �9 6A�B B7:C5� � @A�B B�CC4�6B6A� 7P 43� BC �E� 576�49 6A76 6A� 6�79B: �BB�49 F�CB ��C��B�96 6A� B7:� :4F�d6A� Q�9F7:�9675 :4F�e 79F 6A76 6A� F�c���9E� �9 D73�5�9�6A P�6D��9 6A�6D4 F�CB �B F�� 64 6A� F�B7CC�7�79E� 4Q 6A� f g E496��P�6�49 64 6A� h? �9<F�E�F ��Q�7E6�3� �9F�b EA79�� �9 6A� D73����F�B � i�9E� 6A� A��A D73�5�9�6A6�79B: �BB�49 F�C �9 � ����� � �W �B ��576�3�5; B6�49��� 6A79 6A� 49� �9 � ��<��� � �j 8 E4:C7��F 64 6A� 54D D73�5�9�6A 6�79B: �BB�49 F�CB �9 P 46A G����B 8�6 �B 7BB�:�F 6A76 6A� f g E49E�96�76�49 76 6A� P ���99�9� 4Q 6A� D73����F�D��6�9� �B 57���� �9 B7:C5� kW 6A79 �9 k = �@A� ��CC 5�B B�C ��C 4B�9� 6A� 6D4 6�79B: �BB�49 F�CB �9 � ����� � �W 7�� C�4P<

� �� � �� ��� ���� ��� �� � �� � ��� �� � �*

1549.25 1549.55 1549.85 1550.15 1550.45 1550.75 1551.05 1551.35−25

−23

−21

−19

−17

−15

−13

−11

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

o: TE

x: TM

� 7L425 I- � � ������ ������ �� ������ �� �!� C� � � ���D����� % � % ��& C� � � ���D����� %� % �� � � � � ������ ��� � � � ��! �� ��� �����!�� � ��! �!� '���& ��������� % �� �& ��� )

: 8E �45 C1 �:2E��521C 2561B:B956 59:465 1 � 4B�3 52�59C 985:M 7BL 1 � CD56:J385 I �21J � 7L425 I- 7C 76 655B CD:C CD5 K:M585BLCD 653:2:C71B 5CK55BCK1 :�� :95BC 2733 856 76

� + @ / F/QP F 8 I�9�21J �" .! CD5 �25�45B9E 63:97BL 5CK55B CK1 2561B:B956 7B : 3 8:B:2�J722122561B:C12 76 � � 8 �

9� � KD525 X 76 CD5 63 55� 1 � 87LDC :B� � 76 CD5 J 72212653:2:C71B I �1BM52C7BL CD5 5�4:C71B C1 K:M585BLCD E 758� 6 � 8 �

>9��

I �B652C7BLE758�6 � @ ��PP KD79D 76 CD5 6:J5 67�5 :6 CD5 85BLCD 1 � CD5 6:J385 � �JJ I�12 1CD C2:B6J 76671B � 73 6 7C 76 1 652M5� CD:C & '() 76 � K 7CD7B CD5 4B952C:7BCE�4B9D:BL5� �427BL 3 187BL � :L:7B 643312C7BL CD5 9D:2L5 653:2:C71B J1�58 I �12CD76 6:J385 � @ . F./ � / F/� :6 655B 7B : 85 � I" I � 6 655B 7B : 85 � I* � CD5J5:6425� � �M:8456 :25 7B :9912�:B95 K 7CD CD5 M:8456 �14B� 7B ��/! � 7B� 79:C7BL:B 5859C216C279C7M5 91BC274C71B C1 & '() I �1667 85 :B761C213E 1 � & '() 76 :B1CD525�38:B:C71B C1 CD5 J5:6425� � �M:845 I�B � 7L425 I � CD5 3:2: 1879 AC6 C1 CD5 J5:6425� 3:2: 18: :25 6D1KB I � 6 7BCD5 CK1 325M 7146 659C71B6 � : M52E B795 91D525B95 5CK55B CD5 J 5:6425J5BC6:B� CD5 AC 76 1 652M5� I D5 CD72��12�52 B1B87B5:27C756 �14B� �12 CD76 6:J385 :25 7B :9912�:B95 K 7CDCD5 1B56 �14B� �12 CD5 81K K:M585BLCD C2:B6J 76671B � 73 1 � 6:J385 � � I �1J51 � CD5 � 769253:B9E 5CK55B CD5 J5:6425� & '() M:8456 1 � CD5 CK1 6:J3856 9:B 5 :6927 5� C1 CD5 �:9C CD:C CD5E D:M5 55B 94C 14C �21J CK1 � 7�525BC 3 8:9561 � CD5 K:�52 I D790B566 M:27:C71B6 1 � �:�% L21KB A 8J 6 :25 :3321� 7J :C58EV �-/! :B� CD5 J5:6425� & '() 69:856 :6 CD5 6:J385 CD790B566 6�4:25� I D5 A58� 478C� 7B �427BL 3 187BL 76 M52E 8:2L5 � 4 567 @ .-" ��� � :3321� 7J :C58E/V 8:2L52 CD:B CD5 478C� 7B A58� 1 C:7B5� :1M5 �12 CD5 6:J385 3 185� 467BLB1B�13C7J :8 3 187BL 3:2:J5C526 � 7B� 79:C7BL CD:C CD5 3 187BL 3:2:J5C526 �14B�7B � ! :25 13C7J :8 59:465 : 8:2L52 5859C279 A58� 76 C2:33 5� 7B CD5 6:J385 I

�- �� � � �� � � � � � ��

−3000 −2000 −1000 0 10001550.53

1550.535

1550.54

1550.545

1550.55

1550.555

1550.56TM, before poling

Vext

(V)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

−3000 −2000 −1000 0 10001550.01

1550.015

1550.02

1550.025

1550.03TE, before poling

Vext

(V)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

−3000 −2000 −1000 0 10001549.965

1549.975

1549.985

1549.995

TE, after poling

Vext

(V)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

−3000 −2000 −1000 0 10001550.49

1550.5

1550.51

1550.52

TM, after poling

Vext

(V)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I � C!� ������ �� �!� �� � ��� ����! ������ ������ &�� % �� % � ����& �������!� ������� $ ��� ��& �� �� ���� % ���� ) C!� ������ ������ �� ������ �� �!� ��� � � �� �!�� ��� � ����� � )( ) � ���������� �!� ������ �� �!� ����� ������� % �!� ������� ���� ��������� �!�������������� ��& �!� �� �& ��� �!� ����" � � '���& �� �!� � ������� ��� )

�M71468E� CD5 D 7LD52 3 187BL M18C:L5 6D148� 7B925:65 CD5 478C� 7B A58� 67B95J125 9D:2L56 :25 J1M5� C1K:2�6 CD5 5859C21�56 I 5J352:C4256 81K52 CD:BCD5 13C7J4J 3187BL C5J352:C425 321: 8E 25�4956 CD5 J1 787CE 1 � CD5 71B6:B� C5J352:C4256 D 7LD52 CD:B CD5 13C7J4J C5J352:C425 32564J: 8E 5J3�C756 CD5 C2:33 7BL 95BC526 81 9:C5� B5:2 CD5 7BC52�:956 I D5 :1M5 :B:8E676 L 7M56 : L11� 7B� 79:C71B 1 � KD:C D:6 C1 5 �1B5 7B 12�52C1 7B925:65 & '9);< < � B:J58E :B 7B925:65 1 � & '() � 67B95 4 567 76 87J 7C5� E 4 �-;.� I

� �0 �� �),� &'("),

�L:7B � : � �M:845 1 � :3321� 7J :C58E 1B5 76 1 652M5� 7B6C5:� 1 � CD5 5�3 59C5�CD255 I D5 CD72��12�52 B1B87B5:27C756 1C:7B5� �12 CD76 6:J385 K525 7�5BC7�9:8 C1 CD5 1B56 1 � CD5 67J 78:2 6:J385 � � �56927 5� : 1M5 � KD79D 7B� 79:C5691B676C5B9E 7B CD5 J5:6425J5BC J 5CD1� I D5 J5:6425� 6591B��12�52 B1B�87B5:27C756 :B� CD5 � �M:845 �14B� 467BL CD5 13C7J 7�5� 3187BL 3:2:J5C526 :257�5BC79:8 C1 CD5 1B56 �56927 5� 7B � ! � KD79D 6D1K 6 CD5 91B676C5B9E 1 � CD5J5:6425J5BC J5CD1� I

� �� � & '9)� � � 8 / �� ��� � � ���� �� � ��� ��� ��� �� � �

� �� � ����� � � �� 435%&24 " �� 4� �� ��%�� &3����6

� 6:J385 K 7CD 61 �C C13 �98:�� 7BL :6 �56927 5� 7B 659C71B � I� I. :B� : 85 � I-K:6 J5:6425� 431B 5�125 :B� :�C52 3 187BL I D5 CD52J:8 3 187BL K:6 3 52��12J 5� E :33 8E7BL �� I/0% :92166 CD5 6:J385 KD785 D5:C7BL CD5 6:J385 C1�*1 � �12 �/ J7B4C56 I D5 25648C6 1 � 6:J385 � � � :25 32565BC5� 7B : 85 � I-:B� C2:B6J 76671B 63 59C2: �12 CD5 CK1 318:27�:C71B6 :25 6D1KB 7B � 7L425 I./ I�21J CD5 C: 85 :B� �21J � 7L425 I.� � 7C 76 985:2 CD:C B1 7BC52B:8 A58� 76 478C7BC1 CD5 6:J385 �427BL CD52J:8 3 187BL I D76 25648C 76 91BA2J5� E ���J5:6425J 5BC6 3 52�12J 5� E 7C:1 * 5B 1B : 67J 78:2 6:J385 C:05B �21J CD56:J5 K:�52 I +1 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 9148� 5 J 5:6425� 467BL CD5 ���K 7CD7B CD5 5�3 527J5BC:8 52212 I � CD526 D:M5 J :�5 67J 78:2 1 652M:C71B6 ��"! I�B � 7L425 I.. � : 3 1667 85 5�38:B:C71B C1 CD5 : 1M5 J5BC71B5� 25648C6 76 325�65BC5� I �B CD5 5�47M:85BC 972947C J1�58 32565BC5� 7B CD5 AL425 � CD5 4�528:E52 D:6 : 25676C7M 7CE � ( J49D 8:2L52 CD:B CD5 25676C7M 7C756 1 � CD5 9125 8:E52�9 :B� CD5 61 �C C13 �98:�� 7BL � 2 7 I5 I �( � �9 � � 2 I �B �"! CD5 91B�49C7M 7�C756 9122563 1B� 7BL C1 2�� :B� 2� > D:M5 55B J5:6425� :C C5J352:C4256 : 1M5211J C5J352:C4256 :B� CD5E 6D1K CD:C �9 @ ./H� G �( I �C 76 87058E CD:C� 2 � � 9 � :6 CD5 C13 �98:�� 7BL 76 �13 5� K 7CD 121B :B� 3D163D12 I � 664J 7BLCD:C � 2 � � 9 � CD5 J1 785 9D:2L56 K 788 5 C2:335� 7B CD5 7BC52�:95 5CK55BCD5 D7LD 91B�49C71B 61 �C C13 �98:�� 7BL 8:E52 :B� CD5 4�52 8:E52 �427BL CD52�J:8 3 187BL I + 5L87L 7 85 9D:2L5 �5B67CE K 788 5 :994J48:C5� :C CD5 9125 4�527BC52�:95 �45 C1 CD5 258:C7M58E D7LD52 25676C7M 7CE 1 � CD5 9125 91J3:25� C1 CD5C13�98:�� 7BL I D5 �21�5B� 7B A58� 1 652M5� E CD5 9125 K 788 CD46 5 : �27BL5A58� K 7CD B5L87L 7 85 7B#45B95 1B CD5 87LDC C2:M587BL 7B CD5 9125 :B� CD46 :B5L87L 7 85 6591B��12�52 B1B87B5:27CEI

1531 1531.5 1532 1532.5 1533 1533.5 1534 1534.5 1535−27

−26

−25

−24

−23

−22

−21

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

o: TM

x: TE

� 7L425 I./ � C����� ������ �� ����� �� �!�C� % � % ��& C� % � % � � ���D������ �� � ��� ,� � � ��! ���� ��� ,� �&&��� ) ���� ��& ���,� �&&��� ��� ����� �& �� (���� ) C!� �� �& ���� ��������� �!� '�� )

V

Ge:SiON

B,P:SiO2

SiO2

0V

V

0V

ρ1

ρ2

ρ3

--------------------ρ1 ρ1

� 7L425 I.. � � ��!�� ���� � ��������� ���!� ��� � � &�����" �& �� �! �� ������� �����!��� ��! �� ������ ��� ������� � � &� ���������,��� �!� ��������� )

/ �� � � �� � � � � � ��

−3000 −2000 −1000 0 10001532.795

1532.8

1532.805

1532.81

1532.815TM, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001532.24

1532.245

1532.25

1532.255

1532.26TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001532.785

1532.79

1532.795

1532.8

1532.805TM, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001532.225

1532.23

1532.235

1532.24

1532.245TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

� 7L425 I.� � C!� � ���� � ��� ����! % �� % � ����& ������ �!� ������� $ ��� ��& ���� ���� % ���� ) C!� ������ ������ �� ������ �� �!� ��� � � �� �!�� � �� � ����� � )�� ) ����������� �!� � ������& �� ,�� ��� % �!� ������� ���� ��������� �!� ������������� ��&�!� �� �& ��� �!� ����" � � '���& �� �!� � ������� ��� )

� �� �� �),� &'("), D5 J:7B 91B984671B 76 CD:C 6:J3856 K 7CD 61 �C C13 �98:�� 7BL :B� 5C9D5� 9125D:M5 �521 6591B��12�52 B1B87B5:27CE :�C52 CD52J:8 3187BL � 321: 8E �45 C1M52E D 7LD 91B�49C7M 7CE 1 � CD5 121B :B� 3D163D1246 �135� C13�98:�� 7BL :C585M:C5� C5J352:C4256 I � 664J 7BL CD:C CD5 J1�58 32565BC5� 7B � 7L425 I..76 912259C � 1B8E : �27BL5 A58� 76 1 652M5� E 87LDC C2:M587BL 7B CD5 9125 I

� �� ���24��63���� � � � �� � �3�62 �����6 %� &��6 7�525BC L21436 D:M5 34 876D5� 25648C6 KD525 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE76 9D:BL5� �427BL CD52J:8 3 187BL �*"! :B� �427BL $% 3187BL �- � * � *- � �-!:B� :�C52 $% 52:6425 �* � *- � -! I� 6 D:6 :825:�E 55B J5BC71B5� : 1M5 � CD5 9D:BL5 7B CD5 CD72��12�52 B1B87B�5:27CE D:6 55B J5:6425� C1 5 �521 K 7CD7B CD5 5�3 527J5BC:8 52212 � �427BLB5L:C7M5 CD52J:8 3 187BL 7B CD76 CD5676 I �*"! �56927 56 :B 7B925:65 1 � & '() E: �:9C12 1 � CK1 �427BL 3 167C7M5 CD52J :8 3187BL 1 � CK 7B�D185 A 526 I D5 7B�925:65 7B CD72��12�52 B1B87B5:27CE 1 652M5� �427BL 3 167C7M5 CD52J:8 3 187BL

� �� � �� �� ���� ���� �� & '() �� �� �� � � �� � ��� �� � .

9148� 5 5�38:7B5� E 7B�� 7�4671B 1 � J5C:8 71B6 857CD52 �21J CD5 5859C21�5612 �21J CD5 6:8CE 7B0 7B� 59C5� 7BC1 CD5 D1856 C1 25J1M5 :72 31 905C6 12 �21J: 91J 7B:C71B 1 � CD5 CK1 9 I �B 7B�� 7�4671B 1 � 678M52 71B6 76 1 652M5� E �� !:B� �. ! �427BL 3 167C7M5 CD52J:8 3 187BL 1 � K:M5L47�56 467BL : 678M52 91B�C:7B7BL C13 �5859C21�5 I � 7B95 �*"! 3185 467BL : 8:2L5 3 167C7M5 M18C:L5 :92166CD5 6:J385 � CD76 76 : 321: 85 5�38:B:C71B C1 CD5 9D:BL5 7B CD72��12�52 B1B�87B5:27CE �427BL 3 187BL I �B 7B�� 7�465� J5C:8 7B : � 75 859C279 J5� 74J K 7886C21BL8E 7B925:65 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 1 � CD5 D16C J:C527:8 :C CD5642�:95�38:6J1B 2561B:B95 1 � CD5 J5C:8 I � �2:K �:90 1 � CD5 7B�� 7�4671B 1 �J5C:8 71B6 76 :B 7B925:65� 8166 I � 7B:88E� 7C 76 3 1667 85 CD:C 92:90 6 �21J CD55859C21�5 D1856 7BC1 CD5 9125 25�495 CD5 5�59C7M5 5859C21�5 � 76C:B95 E 758� 7BL:B :33:25BC8E 8:2L52 6591B�� :B� CD72��12�52 B1B87B5:27CE CD:B 76 :9C4:88ECD5 9:65 I D76 5�59C 76 �56927 5� 7B 659C71B I* I D5 5�59C 1 � $% 7884J 7B:C71B 1B CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27CE D:6 :861 55B7BM56C7L:C5� 7B CD76 321� 59C I D5 J5:6425J 5BC6 K525 3 52�12J5� 7B CK1 6C5361B :B 5C9D5� K:M5L47�5 K 7CD 61 �C C13�98:�� 7BL � 6:J385 .* . � �56927 5� 7B659C71B � I� I� :B� : 85 � I./ � I � 726C � J5:6425J5BC6 K525 3 52�12J5� 1B :� 2:LL L2:C7BL J:�5 467BL : #45B95 1 � � � �

�� > K 7CD14C � 9 81:� 7BL I �591B� 8E�CD5 6:J385 K:6 64� 59C5� C1 #11� $% 5�316425 1 � ./ � �

�� > � 6C788 K 7CD14C � 981:� 7BL I�B � 7L425 I.� � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � CD5 6:J385 :25 6D1KB 7B CD5 CK167C4:C71B6 � � 5�125 $% #11� 5�316425 :B� :�C52 $% #11� 5�316425 K 7CD14C� 9 81:� 7BL �12 CD5 CK1 318:27�:C71B6 I ��C52 CD5 #11� 5�316425 � CD5 :J387�C4�5 1 � CD5 � 2:LL L2:C7BL 76 25�495� �21J @ A� F�� C1 @ A . F-�� :B� CD5� 2:LL K:M585BLCD 76 7B925:65� E :3321� 7J :C58E ./H9QP I D76 76 KD:C 765�3 59C5� �21J :B $% #11� 5�316425 K 7CD14C � 9 81:� 7BL I � 9912� 7BL C1 �*! �CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 �12 : B1B � 9 81:�5� 6:J385 6:C42:C56 :C D7LD:994J48:C5� $% #45B956 I D5 � 2:LL L2:C7BL K27C7BL D:6 34C 142 6:J385 7BCD5 25L7J5 � KD525 CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 76 M52E 681K :6 : �4B9C71B 1 �$% #45B95 :B� CD46 CD5 � 2:LL K:M585BLCD 9D:BL5 76 6J:88 :�C52 CD5 #11�5�316425 I 427BL CD5 $% #11� 5�316425 � CD5 :J387C4�5 1 � CD5 �27BL56 7625�495� :B� K 7CD 7C CD5 6C25BLCD 1 � CD5 � 2:LL L2:C7BL I D5 3:2: 1879 AC6 :25 6D1KB 7B � 7L425 I.� I K1 3:2: 1879 AC6 :25 32565BC5�7B CD5 : � 5�125 $% #11� 5�316425 J 5:6425J5BC I D5 �:6D5� 87B5 25325�65BC6 CD5 AC KD5B CD5 87B5:2 C52J 7B CD5 AC 76 7B984�5� :6 : �255 3:2:J5C52 �7 I5 I B1B�521 6591B��12�52 B1B87B5:27CEI �B5 K148� 5�3 59C : �521 8K 7CD7BCD5 5�3 527J5BC:8 522129 6591B��12�52 B1B87B5:27CE� 67B95 CD5 6:J385 D:6 B1C 55B 3 185� I D5 6187� 942M5 2532565BC6 CD5 AC KD525 CD5 87B5:2 C52J 7B CD53:2: 1879 AC 76 A�5� C1 �521 7 I5 I & '9);< < = / I D5 J5:6425� M:8456 1 � & '9);< < �& '() :B� 4 567 �12 CD5 6187� 942M56 7B � 7L425 I.� :25 6D1KB 7B : 85 � I./ I� 7CD 7B CD5 5�3 527J5BC:8 52212 7C 76 B1C 3 1667 85 C1 1 652M5 :BE 9D:BL5 7BCD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE �45 C1 $% 722:� 7:C71B 1 � : 6:J385 K 7CD 61 �C

�C!�� ��� � � !�� " ��� ��� $D�& �� EF� H )

� �� � � �� � � � � � ��

1530.6 1530.8 1531−20.5

−20

−19.5

−19

−18.5

−18

−17.5

−17

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

TEBefore UV flood exposure

1530.7 1530.9 1531.1−25.5

−25

−24.5

−24

−23.5

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

TMBefore UV flood exposure

1530.6 1530.8 1531−32

−31.5

−31

−30.5

−30

−29.5

−29

−28.5

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

After UV flood exposure

1530.7 1530.9 1531.1−37.6

−37.4

−37.2

−37

−36.8

−36.6

−36.4

−36.2

−36

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

After UV flood exposure

� 7L425 I.� � C����� ������ �� ����� �� �!� ��� � � ��" � ����& �� &�#����� � � ��� ������ )C!� ��� �� �� � ���������� C� � � ���D����� ��& �!� ���!� C� ) C!� '��� ��� �����������!� ��� � � ����� � � � +����� �� G ��

����� � ��� �!� ����� ������� � ��!��� � > ��&��� % �!�

�����& ��� ���������� �!� ��� � � ����� � � � �� ������� � ��! � +����� �� �� ���� �

��& ��� > ��&��� )

C13 �98:�� 7BL I�B 5�3527J5BC C1 7884J 7B:C5 CD5 7B#45B95 1 � $% #45B95 :B� � 9 K:6 3 52��12J5� I D5 6:J5 6:J385 K:6 � 9 81:�5� :B� 5�3165� C1 : $% #45B95 1 �� � ��� > I D5 C2:B6J 76671B 63 59C2: J5:6425� :�C52 CD76 #11� 5�316425 76 6D1KB

7B � 7L425 I." I D5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 7B CD76 AL425 :25 985:28E � 7�525BC�21J CD5 63 59C2: L7M5B 7B � 7L425 I.� I K1 :8J16C 5�4:8 321: 85 5�38:�B:C71B6 5� 76C C1 CD76 �:9C I : 7CD52 � 7L425 I." 2532565BC6 :B1CD52 K:M5L47�5CD:B CD5 1B5 2532565BC5� 7B � 7L425 I.� 12 5865 CD5 91BAB5J5BC �:9C12 1 � CD581K 7B�5� K:M5L47�5 D:6 7B925:65� E :3321� 7J :C58E : �:9C12 1 � CK1 �427BLCD5 � 9 65B67C7�:C71B :B� 64 65�45BC $% #11� 5�316425 I �B : 85 � I.� � CD5J5:6425� 6591B�� :B� CD 72��12�52 B1B87B5:27C756 C1L5CD52 K 7CD CD5 �21�5B� 7BA58� :25 32565BC5� I �B CD5 : J5:6425J 5BC � CD5 87B5:2 91J31B5BC 1 � CD53:2:1879 A C D:6 55B A�5� C1 �521 67B95 CD5 6:J385 D:6 B1C 55B 3 185� I� 7CD7B CD5 5�3527J5BC:8 52212 � CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 B1C 9D:BL5�:�C52 CD5 � 9 81:� 7BL :B� 64 65�45BC $% #11� 7BL I D76 76 78846C2:C5� 7B � 7L�

� �� � �� �� ���� ���� �� & '() �� �� �� � � �� � ��� �� � �

−3000 −2000 −1000 0 10001530.795

1530.8

1530.805

1530.81

TEBefore UV flood exposure

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001530.94

1530.945

1530.95

1530.955

1530.96

TMBefore UV flood exposure

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001530.806

1530.808

1530.81

1530.812

1530.814

1530.816

1530.818

1530.82

TEAfter UV flood exposure

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−3000 −2000 −1000 0 10001530.94

1530.945

1530.95

1530.955

1530.96

TMAfter UV flood exposure

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

� 7L425 I.� � C!� � ���� � ��� ����! % �� % � ����& ������ �!� ������� $ ��� ��& �� �,��� % ���� % �����!�� � ��! �!� ����" � �� '�� % �� �& ���� ) ������� ���� ��������� �!� ��� ���,� ���� ����������$)

425 I. � KD525 CD5 J5:6425� & '() 76 3 81CC5� M52646 :994J48:C5� $% #45B95 I� 7CD 7B CD5 4B952C:7BCE� 1B8E : B5L87L 7 85 9D:BL5 7B & '() 76 1 652M5� �427BL$% 5�316425 � I�� CD5 � 7L4256 I.� :B� I." �1 B1 2532565BC CD5 6:J 5 K:M5L47�5 � CD5 91J �3:2761B 5CK55B CD5 � 7�525BC K:M5L47�56 D:6 C1 5 C:05B K 7CD 61J5 25652�M:C71B6 I �B 12�52 C1 5 91J3:2: 85 � CD5 .9 5859C279 A58� 7B�495� 6C2566 :B��9 �13:BC 91BC5BC 7B CD5 K:M5L47�56 D:M5 C1 5 7�5BC79:8 I�21J CD5 J5:6425J5BC6 7C 655J 6 CD:C CD5 5859C279 A58� 7B�495� 6C2566 85M5867B CD5 CK1 � 7�525BC K:M5L47�56 :25 5�4:8 67B95 CD5 � �M:8456 �14B� 7B :� 85 � I.. :B� � I.� :25 CD5 6:J5 K 7CD7B CD5 5�3 527J5BC:8 4B952C:7BCEI 7�52�5BC 5859C216C279C71B6 K148� D:M5 :33 5:25� 7B CD565 2:C716 :6 �56927 5� : 1M57B 64 659C71B � I I� :B� 7B ��/! I� � 7�525BC 91BC5BC 1 � �13:BC6 7B CD5 K:M5L47�56 K148� :861 9D:BL5 CD5J5:6425� CD72��12�52 B1B87B5:27CEI D5 � 76C274C71B 1 � �13:BC6 6D148� 54B7�12J 7B CD5 �:�% �53 167C71B 1 � CD5 9125 8:E52 :6 �5J1B6C2:C5� 7B �-/! �

�� ��� �� � ������� �� ��� �� �!� C� � ������� ��� % ����� �!� C� � ������� ��� !�� " ��������& �� !��� � D��� ����� ����" � �� ���� ����� �� �!� G ��

�� ���& �� ��

�� �� ������� ���� )

� �� � � �� � � � � � ��

0 5 10 15 200

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5TM

Accumulated UV fluence (kJ/cm2)

χ(3) ⋅ 1

022 (

m2 /V

2 )

0 5 10 15 200

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5TE

Accumulated UV fluence (kJ/cm2)

χ(3) ⋅ 1

022 (

m2 /V

2 )

� 7L425 I. � C!� �!��&,��&�� ��� �������$ � ����& ������ ������ ���& � � +����� ) ���������� �!� C� ��& � �!� C� � � ���D����� ) C!� ������� ���� ��������� �!� ��� ���� ���� ����������$)

KD525 CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 1 � �:�% �53 167C5� L8:66 1B8E M:2756 � / F/�V:92166 CD5 K:�52 �5J1B6C2:C7BL D7LD 4B7�12J 7CE 7B CD5 �53 167C5� 8:E526 I� 6 J5BC71B5� :C CD5 5L7BB 7BL 1 � CD76 659C71B � 65M52:8 L21436 1 652M5 :9D:BL5 7B CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27CE �427BL $% 3187BL �- � * � *- � �-! :B�:�C52 $% 52:6425 �* � *- � -! 1 � CK 7B�D185 A 52 �5M 7956 I +1 J1� 7A 9:C71B 1 �& '() 76 1 652M5� 7B CD 76 321� 59C I �1667 85 5�3 8:B:C71B6 C1 CD76 � 769253:B9E 1 �$% 7B#45B95 1B & '() :25 :6 J 5BC71B5� 7B CD5 � 76946671B 1 � CD5 & '() 9D:BL5�427BL CD52J:8 3187BL � 7 I5 I 7B�� 7�4671B 1 � J5C:8 71B6 �427BL $% 3187BL 12 :9D:BL5 7B CD5 5�59C7M5 5859C21�5 � 76C:B95 �45 C1 92:90 6 7B CD5 98:�� 7BL L8:66:6 �56927 5� 7B 659C71B I* I D5 8:6C 3 17BC 76 M52E 3 8:467 85 67B95 8:2L5 D1856C1 CD5 5859C21�56 :25 B55�5� 8 5CK55B �/ C1 .//OP 9 :B� CD5 J5:6425� & '()69:856 :6 CD5 5859C21�5 � 76C:B95 6�4:25� I�C2566 7B�495� �427BL 3 187BL J:E :861 5�38:7B CD5 $% 3187BL & '() 9D:BL5 I�1J5 1 � CD5 L21436 �- � * ! :861 1 652M5 : 6J :88 & '() 7B925:65 E $% 52:6425:81B5 8$% :33875� KD785 6D12C 972947C7BL CD5 5859C21�569 � 7B� 79:C7BL : J:C5�27:8 9D:BL5 �45 C1 $% 722:� 7:C71B I �B �- � * ! : 12167879:C5 5859C21B C2:3 76465� C1 C2:3 5859C21B6 �427BL 3 187BL :B� CD5E 63 5948:C5 CD:C 5�97C5� 5859�

� �� � �� �� ���� ���� �� & '() �� �� �� � � �� � ��� �� �

1530.2 1531.2 1532.2 1533.2−22

−21

−20

−19

−18

−17

−16

−15TE

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1530.2 1531.2 1532.2 1533.2−28

−27

−26

−25

−24

−23

−22TM

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I." � C!� ������ ������ �� ����� �� �!� ��� � � ����� � > ��&��� ��& � +�� &��� ����� ����� � � � +����� �� F ��

�� �)

C21B6 C2:33 5� 7B CD5 121B 8:E52 :25 2563 1B67 85 �12 CD5 7B925:65 1 � & '() I ��-!64LL56C CD5 925:C71B 1 � 92E6C:887C56 :6 CD5 614295 C1 CD5 7B925:65 1 � & '() �42�7BL $% 3187BL I D5 9D:BL5 1 � CD 72��12�52 B1B87B5:27CE 1 652M5� E 61J5 L21436 9148� :861 5 5�38:7B5� E :B 7B925:65 7B CD5 91BAB5J5BC �:9C12 I � $% 7B�495� 7B�925:65 1 � CD5 91BAB5J5BC �:9C12 K 788 7B925:65 CD5 CD72��12�52 91BC274C71B�21J CD5 9125 I � 7B95 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 8:2L52 �12 ;5 �13 5� 67879:CD:B 3425 67879: � CD5 C1C:8 CD72��12�52 B1B87B5:27CE J5:6425� K148� 7B925:65 I,1K5M52 � CD76 5�59C K148� B1C 5 : 85 C1 5�38:7B CD5 7B925:65 1 � : �:9C121 � ��� I :6 1 652M5� 7B �- � * ! I �B CD5 9:65 1 � : 91BAB5J5BC �:9C12 1 � / I 5�125 $% C25:CJ5BC :B� CD5 5� C25J5 9:65 1 � : 91BAB5J5BC �:9C12 1 � . :�C52$% C25:CJ5BC � CD5 7B925:65 1 � CD72��12�52 B1B87B5:27CE K148� 1B8E :J14BCC1 � ��V I� 7B:88E� 7C 76 1 � 914265 3 1667 85 CD:C $% 87LDC :33875� C1L5CD52 K 7CD : 3 187BLA58� 9148� 9D:BL5 CD5 J:C527:8 E 758� 7BL : 9D:BL5 7B CD5 CD 72��12�52 B1B87B�5:27CE �427BL $% 3187BL I

� �� �� �),� &'("),

�B CD 76 659C71B 7C 76 6D1KB CD:C $% 722:� 7:C71B �156 B1C 9D:BL5 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 1 � CD5 6:J3856 465� 7B CD 76 CD5676 I D76 25648C 76 67J 78:2 C1CD5 25648C 1C:7B5� 7B CD5 659C71B6 : 1M5 � KD525 CD52J :8 3 187BL 76 655B B1CC1 9D:BL5 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI *5648C6 1C:7B5� E 1CD52 L2143625L:2� 7BL CD5 7B#45B95 1 � $% 722:� 7:C71B 1B & '() :25 � 7694665� :B� 31667 855�38:B:C71B6 C1 CD572 25648C6 :25 L7M5B I

" �� � � �� � � � � � ��

� �� � �6 %� &��6 2�2��4 " �� 4��� &��2��524�B CD 76 659C71B � 25648C6 1C:7B5� 1B :B 5C9D5� 6:J385 D:M 7BL D:2� C13�98:�� 7BL :6 �56927 5� 7B 659C71B � I� I. :B� : 85 � I* :25 32565BC5� :B� 7BC52�325C:C71B6 1 � CD5 2564 8C6 :25 J:�5 :B� :33875� C1 2564 8C6 1C:7B5� E 1CD52L21436 I �B � 7L425 I.* � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � : 6:J385 D:M 7BL D:2�C13 �98:�� 7BL � 6:J385 � . � :25 6D1KB I

1527 1528 1529 1530 1531 1532 1533−44

−42

−40

−38

−36

−34

−32

−30

−28

−26

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

x: TE

o: TM

� 7L425 I.* � C!� ������ ������ �� ����� �� ��� � � G � � ) C!� �� �& ���� ��������� �!�( ������� '�� )

�B � 7L425 I.- � : �:� 379C425 76 6D1KB 1 � :B 5C9D5� 6:J385 K 7CD D:2� C13�98:�� 7BL I �21J CD5 �:� 379C425 7C 76 985:2 CD:C 92:90 6 :B� M17�6 :25 32565BC7B CD5 C13 �98:�� 7BL I �B � 7L425 I. � : �:� 379C425 D:6 55B C:05B 1 � :6:J385 K 7CD 61 �C C13 �98:�� 7BL � :9C4:88E CD76 6:J385 76 : "OP K 7�5 M52671B 1 �CD5 6:J385 32565BC5� 7B 659C71B I" � KD525 : �OP 6:J385 K:6 465� I +1 92:90 6:B� M17�6 :25 655B 7B CD76 �:� 379C425 :B� CD5 642�:95 76 B795 :B� 5M5B I D5� 75 859C279 25:0�1KB �12 L8:66 :B� :72 76 -/ �� .! :B� � � �OP �./ � 3 I ./-! �2563 59C7M58EI � 6 CD5 5859C279 A58�6 465� 7B CD5 � 2:LL L2:C7BL J5:6425J5BC:B� �427BL CD52J:8 3 187BL :25 6C21BL52 CD:B ."� �OP � CD5 :72�D1856�92:90 6K 788 :9C :6 6D12C 972947C6 I D46 � CD5 5�59C7M5 5859C21�5 � 76C:B95 7B : 6:J385K 7CD 92:90 6 76 J49D 8566 CD:B CD5 3DE679:8 5859C21�5 653:2:C71B I�:J385 � . 76 3 185� :C C5J352:C4256 :6 81K :6 211J C5J352:C425 � I D7676 655B 7B � 7L I I�/ � KD525 CD5 � 2:LL K:M585BLCD 76 J5:6425� 7B CK1 � 7���525BC 6K5536 5�125 CD52J:8 3187BL � � 726C8E� CD5 M18C:L5 76 6K53C �21J/ C1 � . I0% :B� 6591B� 8E �21J � . I0% C1 / I0% I D5 6C53 � 85BLCD 7B 1CD942M56 76 / I�0% I D5 942M56 :25 B1C 7�5BC79:8 � 67B95 : A58� 1 � :3321� 7J :C58E8�� F- . � . F � 9� �OP � D:6 55B 478C 7BC1 CD5 6:J385 �427BL CD5 A26C 6K553�21J / C1 � . I0% I

�C!�� ��� � � !�� " ��� ��� $D�& �� EF�H )����� ��� �� ������ � )� ) �!�� �!� �#������ � ����� &� &������� �� �F ��� )

� ��� � ��� ��� �� � ���� � � ���� ��� � � ��� ���� *

� 7L425 I.- � � ��� ������� �� ��� � �� ��! !��& ��� ,� �&&��� ) ������ ��� � ��� $� ���" � )

9.5µm

� 7L425 I. � ��� ������� �� � ��� � �&���� � � � ��! ���� ��� ,� �&&��� ) � � ������ ����"�����& )

−1600 −1200 −800 −400 0 4001528.73

1528.732

1528.734

1528.736

1528.738

1528.74

1528.742

3_5_1

Voltage (V)

λ Bra

gg (

nm)

o: 0V → −1500V

x: −1500V → 500V

� 7L425 I�/ � ��� � � G � � % C� � � ���D�,���� % � ������& ���� � �� ,� )��� ��& ����,� )� �� � )��� ����� �!� ����� ������� �����" � " ����� �!��� � � � ��� )

−2500 −2000 −1500 −1000 −500 0 500 10001532.02

1532.0225

1532.025

1532.0275

1532.03

1532.0325

1532.035

1532.037517_1

Voltage (V)

λ Bra

gg (

nm)

x: −2500V → 1000V

o: 0V → −2500V

� 7L425 I� . � ��� � � �� � % C� � � ���D�,���� % � ������& ���� � �� ,� )��� ��& ����,� )� �� � )��� ����� �!� ����� ������� �����" � " ����� �!��� � � � ��� )

D52J:8 3 187BL 1 � CD5 6:J385 K 7CD 92:90 6 :C �*1� �12 �/ J7B4C56 :C �� I0%E758�6 : 6591B��12�52 B1B87B5:2 91 53 975BC & '9);< < 5CK55B / I/� :B� / I..�P ��J5:6425� 27LDC :�C52 3 187BL 467BL CD5 7BC52�521J5C279 65C43 I �B5 �:E :�C523187BL � & '9);< < D:6 �5925:65� K 7CD 5CK55B "/V :B� -/V 1 � CD5 7B7C7:88E 7B��495� M:845 :B� 1B5 K550 :�C52 3 187BL � & '9);< < K:6 J5:6425� C1 �521 K 7CD7B CD5J5:6425J 5BC 52212 � I D5 478C� 7B A58� 76 CD46 �4:67�6C: 85 K 7CD : 87�5C7J 581BL52 CD:B CD5 6K553 7BL C7J 5 465� 7B CD5 � 2:LL L2:C7BL6 J5:6425J5BC6 I D5 7B6C: 787CE 1 � CD5 3 187BL 7B�495� 7BC52B:8 A58� 9:B :861 5 : 25648C 1 � CD592:90 6 � 67B95 9D:2L56 C2:33 5� :C CD5 7BC52�:956 9:B 569:35 CD214LD CD5 92:90 6 I D5 87�5C7J5 1 � CD5 3 187BL :C �*1� J7LDC M52E K588 5�955� CD5 87�5C7J5 1 �

� !�� �� � ������& �� �!� �� �� �!� ����� � �����,����� ���� ����� � ) � � > ����� ��� ��&���!� ����� ����� �!�� �!� ���� �� " ������ �!� � ������&� ��& �!� ���D��,�� '� & �� � ������ E�H��& �!�� �!��� �� �� &��� ������ �� � �>��� � E��H )

- �� � � �� � � � � � ��

CD5 211J C5J352:C425 3187BL 67B95 CD5 9D:2L56 9:B 5 C2:33 5� C5J312:278E:C CD5 5B�6 1 � CD5 92:90 6 I*11J C5J352:C425 3 187BL 76 B1C 1 652M5� 7B 6:J3856 K 7CD14C 92:90 6 :6 655B7B � 7L I I� . I D5 CK1 942M56 :25 7�5BC79:8 K 7CD7B CD5 5�3 527J5BC:8 52212 :B�B1 7BC52B:8 A58� D:6 55B 478C� 7B �427BL CD5 6K553 �21J / C1 �� I0% I�21J CD5 �:� 379C4256 � 7C 76 B1C 3 1667 85 C1 �5C52J 7B5 CD5 85BLCD 1 � CD592:906 7B CD5 6:J385 32565BC5� 7B � 7L425 I.- :B� CD525�125 CD5 & '() :B�7B�495� 7BC52B:8 5859C279 A58� 4 567 M:8456 :25 9:8948:C5� �12 �142 � 7�525BC5859C21�5 � 76C:B956 :6 655B 7B : 85 I� I D255 1 � CD5 �142 � 76C:B956 :259D165B :9912� 7BL C1 � 76C:B956 J:205� 1B CD5 �:� 3 79C425 1 � 6:J385 � .8� 7L425 I.-9 I D5 8:6C � 76C:B95 8* F-OP 9 78846C2:C56 D1K 7L CD5 5�59C7M55859C21�5 � 76C:B95 76 � 7� CD5 J:C527:8 91B6C:BC & '() 76 5�:9C8E CD5 6:J 5 �126:J385 � . :B� �12 6:J385 � - 32565BC5� 7B 659C71B I� � KD525 CD5 9125 K:6J:�5 467BL CD5 6:J5 25973 5 I D5 J5:6425J5BC6 K525 3 52�12J5� 467BL CD5� 2:LL L2:C7BL J5CD1� I

������ ��F ��� � ������ �) ��� � ������ �� (�� � ������ �� G�� �

� ��� ����>> ��� �

� ) �� � � �( G )� � � �( � �� � � �( � �G � � �F � � � �

��� FG ( � � � )F �� (� � � )� (� FF � G � � ��) (� � � G�

�� � � (� ��� ����>> ��

� �� � F� � � �� � �F � � ��

� � � ���

� � � � �G �G � ( G�

: 85 I� � C!� � ������& �� ��� �� � ��� ��& � � �� �!� C� � � &� ��� ��� � � G � � ���,�����& �� � ����� � )�( � � �& �� ���� ��� � ������� % ��� &�#����� �#������ � ����� &� &���������� ������!���� ) ��� � � �� � % ��������& �� � ����� � )�) % �� �!�� � ��� ��� ������� ) ��� � �� ( !�� �!� ��� � &������ �� �!� ���� ��& !�� " ��� ����� �& �� �!� ��� � ��� � �������� ��G � � )

D5 87�5C7J5 1 � $% K27CC5B 6:J3856 8B1 92:9069 D:6 55B 7BM56C7L:C5� 7B �"!:B� �14B� C1 5 :3321� 7J :C58E �* E5:26 :C �1 � :664J 7BL 6591B��12�52 25�:9C71B 0 7B5C796 1 � CD5 63:95 9D:2L56 12 :87LB5� � 73 1856 I � 6 655B : 1M5 � CD587�5C7J 5 1 � 5C9D5� K:M5L47�56 K 7CD 92:906 7B CD5 C13 �98:�� 7BL 76 :3321� 7�J:C58E : 914385 1 � �:E6 I�5M52:8 L21436 D:M5 34 876D5� M52E D7LD 6591B��12�52 B1B87B5:27C756 7B�495�57CD52 E CD52J:8 3 187BL 7B CK 7B�D185 A 526 ��-! � E CD52J:8 3 187BL 1 � �A 52 ���! � E $% 3187BL 7B CK 7B�D185 A 526 �. ! 12 E $% �3187BL 1 � 48067879: �.-! I D5 CK 7B�D185 A 526 91B676C 1 � : A 52 7B KD79D CK1 D1856 D:M5 55B J:�5 :B� 7B KD79D 5859C21�56 :25 34C I D5 �A 52 76 : 91JJ5297:88E:M:78: 85 A 52 KD79D D:6 55B 3 1876D5� �1KB C1 : 64 7C: 85 67�5 � 38:95� 1B :� 7 64 6C2:C5 8L214B� 5859C21�5 9 642214B�5� E : 318EJ52 :C CD5 67�56 :B�38:95� 4B�52 : C13 5859C21�5 I �B �.-! L211M56 D:M5 55B J:�5 7B CD5 480J:C527:8 8./ G ./ G .PP ( 9 I D5 �59:E C7J56 32565BC5� 7B ��- � .- � ��! :25�14B� C1 2:BL5 �21J � �:E6 C1 �142 J1BCD6 KD5B ACC7BL CD5 �59:E K 7CD

� �� � � �� � ���� �� & '() � � � �� �� � �� � ��� �

: 67BL85 5�31B5BC7:8 �4B9C71B �.-! :B� : 6C25C9D5� 5�31B5BC7:8 � 'H� 7)� ��-! I� D5B ��-! 7B6C5:� �56927 56 CD5 �59:E 467BL : 64J 1 � CK1 5�31B5BC7:8 �4B9�C71B6 � CK1 87�5C7J 56 5J52L5 � : �:6C :B� : 681K �59:E 7BL 91J31B5BC 1 � CD57B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CEI D5 87�5C7J5 1 � CD5 �:6C �59:E 7BL 91J �31B5BC 76 . I" �:E6 :B� �"" �:E6 �12 CD5 681K 91J31B5BC I D5 87�5C7J5 1 �CD5 �:6C 91J31B5BC 76 91J3:2: 85 C1 CD5 87�5C7J5 �14B� 7B CD76 659C71B KD79DK:6 �45 C1 92:90 6 7B CD5 C13 �98:�� 7BL � CD46 J:0 7BL 7C 3 1667 85 CD:C CD5 D7LD6591B��12�52 B1B87B5:27CE 1C:7B5� 7B ��-! 9148� 5 �45 C1 92:90 6 7B CD5 CK 7B�D185 A 52 I � :0 7BL CD5 :664J3C71B 1 � 92:90 6 :88 CD5 K:E �21J CD5 5859C21�56C1 CD5 9125 7B ��-! � CD5 912259C5� & '9);< < 76 25�495� �21J / I- C1 / I�3J �% 2S 7BCD5 6:J5 12�52 1 � J:LB7C4�5 :6 1 652M5� 7B 659C71B I� :B� � ! I�B �. ! B1 87�5C7J5 1 � CD5 3 187BL 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 76 L 7M5B �4C 7C 76 25J:205� 7B CD5 :2C7985 CD:C 21 1J C5J352:C425 3 187BL 76 1 652M5� 7B�� 79:C7BL � :6 J5BC71B5� :1M5 � 92:90 6 7B CD5 98:�� 7BL I �L:7B � :664J 7BL 92:90 6:88 CD5 K:E �21J CD5 5859C21�5 C1 CD5 9125 E 758�6 CD:C CD5 912259C5� & '9);< < 76 25��495� �21J & '9)� � 8 � F*"�P �� :B� & '9)� � 8 .� F-��P �� C1 & '9)� � 8 / F*�P ��:B� & '9)� � 8 � F"�P �� :664J 7BL : 9125 � 7:J5C52 1 � �OP I :M5B 7� CD5 :6�64J3C71B 1 � 92:90 6 76 912259C � CD5 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 7B �. !76 6C788 M52E 8:2L5 � 7B� 79:C7BL CD:C 67879: L8:66 76 :B 1M7146 9:B� 7�:C5 �12 4657B C58591J �5M7956 649D :6 J1�48:C126 � 6K 7C9D56 5C9 I

� �� �� �),� &'("),

�2:90 6 7B 3 185� 6:J3856 9:B 5�38:7B CD5 M52E D 7LD 3187BL 25648C6 1 652M5�E 61J 5 L21436 I D76 D:6 55B 7BM56C7L:C5� 7B CD76 659C71B :B� CD5 J:7B25648C 76 CD:C 92:906 7B CD5 6:J3856 E 758� : M52E 6D12C� 87M5� 3187BL� 7B�495�6591B��12�52 B1B87B5:27CEI D5 :33:25BC J5:6425� M:8456 1 � CD5 CD72��12�52B1B87B5:27CE 76 :861 M52E D7LD 5�125 912259C71B �12 CD5 6D12C52 5859C21�5� 76C:B95 �45 C1 CD5 92:906 7B CD5 6:J3856 I

� �� � 2������� � � � ��� � ��% ��6 �2 ���2� 5:6425J5BC 1B CD5 7B#45B95 1 � B7C21L5B 1B CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27CE1 � ;5��13 5� � 7�+ 76 7BM56C7L:C5� 7B CD 76 659C71B I � 6 :825:�E J5BC71B5� 7B659C71B I� � 7C 76 3 1667 85 C1 7B925:65 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:2 5�59C 7B 67879:E �137BL K 7CD L52J:B74J �� � " � ! I D5 #1K �2:C5 1 � :JJ1B7: � � ( � K:6 M:275� 5CK55B /699J :B� �/699JE758� 7BL � 7�525BC 91BC5BC6 1 � B7C21L5B 7B CD5 6:J385 91256 :B� CD5 L52J:B7: ���� � � #1K �2:C5 K:6 053C 91B6C:BC :C �699J 7B :88 CD5 6:J3856 I D5 6:J3856:25 �56927 5� 7B 659C71B � I� I� :B� 7B : 856 � I.. � � I.� � � I.� :B� � I.� I �B� 7L425 I�� � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � CD5 6:J3856 8 : 318:27�:C71B 9 :25

B�� ���� ��� �!�� �!� ���� �� ��� �G ��� % � ������& �� �!� &�������� �� �!� � ����� &�� )

"/ �� � � �� � � � � � ��

32565BC5� C1L5CD52 K 7CD CD5 ;:4667:B AC6 I�B 12�52 C1 D:M5 :3321� 7J :C58E CD5 6:J5 J1�5 A58� 7B CD5 � 7�525BC 6:J �3856 7BC52:9C7BL K 7CD CD5 9125 � CD5 K:M5L47�5 K 7�CD6 K525 9:8948:C5� �21J� ' ��9�6>

���� H6 >����

�" ! � KD525 +S 76 CD5 K:M585BLCD 1 � CD5 87LDC 465� 7B CD5K:M5L47�5 � Q ��- ; :B� Q ��.� :25 CD5 9125 :B� 98:�� 7BL 25�2:9C7M5 7B� 7956 � 25�63 59C7M58E :B� � 76 CD5 K 7�CD 1 � CD5 K:M5L47�5 7B 12�52 C1 5 67BL85 J1�5� I D525�125 � CD5 K 7�CD 1 � CD5 K:M5L47�5 465� 7B 6:J385 .�- . K:6 -OP � "OP�12 6:J385 .�* . :B� �OP �12 6:J3856 .�" � :B� .� . I �12 CD5 81K :J �J1B7: #1K �2:C5 6:J385 8/ :B� .//699J 9 � CD5 CD 790B566 1 � CD5 4�52 8:E52 76C1 1 CD7B C1 :M17� CD5 � 318:27�:C71B C1 321 5 CD5 � 7 K:�52 :B� CD46 CD5 � 318:27�:C71B 64�526 5� C25J5 8166 7B CD565 6:J3856 I

1554.5 1555 1555.5 1556−34

−32

−30

−28

−26

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

128_1

1556.5 1557 1557.5 1558−40

−35

−30

−25

−20

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

127_1

1526.5 1527 1527.5 1528−26

−25

−24

−23

−22

−21

−20

−19

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

126_2

1526.7 1527.2 1527.7 1528.2−26

−25

−24

−23

−22

−21

−20

−19125_1

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I�� � C!� ������ ������ �� ����� �� C� � � ���D����� % �� �& ���� % �� ��� � � ��( ������� � /� � % ��� � �������� � /� � % ��� � �������� � /� � ��& ��� � �������� � /� � )� �!� ��� � �� !�& ����� +�� ,���� �� -./0 ) C!� &��!�& ���� ��������� �!� '���&��������� )

D5 2733 856 655B 7B � 7L425 I�� � 6:J385 .�- . � :25 321: 8E �45 C1 �:2E��521C 2561B:B956 �21J CD5 5B� 642�:956 1 � CD5 6:J385 � :6 J5BC71B5� 7B 659�C71B I� I �B652C7BL � + @ / F/QP 7BC1 5�4:C71B I� E758� 6 : � 76C:B95 1 �:3321� 7J :C58E ��JJ 5CK55B CD5 5B� �:95C6 1 � CD5 6:J385 7B �:72 :9912��:B95 K 7CD CD5 6:J385 67�5 � KD79D 76 ��JJ I : 856 � I.� � � I. � � I." :B� � I.- 32565BC CD5 J5:6425� B1B87B5:27C756 :B�

� �� � � �� � ���� �� & '() � � � �� �� � �� � ��� � " .

�21�5B� 7B A58� �14B� �12 6:J3856 .�- . � .�* . � .�" � :B� .� . � 2563 59C7M58EI� 81CC7BL CD5 1 C:7B5� CD72��12�52 B1B87B5:27C756 M52646 CD5 � ( #1K �2:C5E758�6 � 7L425 I�� I

0 100 200 3000

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5TE

NH3 Flowrate (sccm)

χ(3) ⋅

1022

(m

2 /V2 )

0 100 200 3000

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5TM

NH3 Flowrate (sccm)

χ(3) ⋅

1022

(m

2 /V2 )

� 7L425 I�� � C!� �!��&,��&�� ��� �������$ � ����& ������ �!� � /� +�� ,���� ��� �!���� � � ���D������ ) � &������ �!� � ������� ���� ��& �!� ������� ��� �!� � ������� ���������������� ) C!� �� �& ��� ���������� �!� ����� '�� )

D5 87B5:2 AC6 J:�5 �12 : :B� � 318:27�:C71B E758�6

& '() 8 � 8� F-� � / F.-9 G ./H99 � >� > A 8� F�* � . F..9 G ./H9� � >

� > ����� G � T :� F** G ./H99 � >

� > A � F-/ G ./H9� � >� > ����� G � T �

KD525 � 76 CD5 � ( #1K �2:C5 I �B 1CD 5�4:C71B6 � CD5 CD72��12�52 B1B87B�5:27CE 76 25�495� :6 CD5 :JJ1B7: #1K 2:C5 76 7B925:65� � 7B� 79:C7BL CD:C CD5CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 : �5925:67BL �4B9C71B 1 � CD5 :J14BC 1 � B7C21L5B7B9123 12:C5� 7BC1 CD5 9125 I D76 2564 8C 76 M52E 7J312C:BC � 67B95 7C E758�6 CD:C7B 12�52 C1 13C7J 7�5 CD5 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 7B 67879: L8:66 �1B5 6D148� �13 5 CD5 K:M5L47�5 D5:M 78E K 7CD L52J :B74J :B� 25�2:7B �21J467BL B7C21L5B �13 7BL 1 � CD5 9125 8:E52 I �B CD5 1CD52 D:B� � CD 76 � 7691M52E:861 135B6 CD5 �112 C1 :B :8J16C 3 52�59C 87B5:2 67879: J:C527:8 � B:J58E 67879:D5:M 78E �13 5� K 7CD B7C21L5B I �C K148� 5 5� C25J58E 7BC5256C7BL C1 J 5:6425CD5 13C79:8 CD72��12�52 B1B87B5:27CE & '() 8�� 2 � � 9 � � ( ��� 2 T�� 9 T�� ( 9 7B :

"� �� � � �� � � � � � ��

B7C27�5 K:M5L47�5 � 4C 4B �12C4B:C58E CD 76 9148� B1C 5 �1B5 K 7CD7B CD5 C7J587J 7C6 1 � JE �D I I 321� 59C I

� �� �� �),� &'("),

� CD52 L21436 D:M5 7BM56C7L:C5� CD5 7B#45B95 1 � L52J :B74J 1B CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27CE �" � ! :B� �14B� CD:C CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 7B�925:65� E ;5��137BL I �B CD76 659C71B 7C 76 �14B� CD:C B 7C21L5B 25�4956 CD5CD72��12�52 B1B87B5:27CE 7B CD5 K:M5L47�56 I D76 25648C 76 M52E 7J312C:BC �67B95 7C �5J1B6C2:C56 CD:C 7B 12�52 C1 1C:7B : 8:2L5 6591B��12�52 B1B87B5:2�7CE� 1B5 6D148� :M17� 467BL B7C21L5B �137BL :B� :C CD5 6:J5 C7J5 7B925:65CD5 L52J :B74J �137BL I D5 25648C 9:B :861 5 465� 7B CD5 :CC5J3C C1 J:05: 352�59C8E 87B5:2 J:C527:8 I � 7 526 J:�5 K 7CD14C : CD72��12�52 B1B87B5:27CEK148� � 5 IL I� B1C 64�52 �21J �142�K:M5 J 7� 7BL I

� �� ��3�45 �44��� 4% 2���3�B CD76 659C71B � CD5 � 76946671B : 14C 3 1667 85 5�38:B:C71B6 �12 CD5 �12J 1 �CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 652M5� 7B CD 76 CD5676 76 91BC7B45� I � 6 J5BC71B5�7B 659C71B I� � CD5 �12J 1 � CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: �12 CD5 $% K27CC5B 6:J �3856 9:B 5 5�38:7B5� E 9D:BL56 7B CD5 � 9 91B95BC2:C71B �427BL K:M5L47�5K27C7BL I $ 67BL 7�525BC7:8 �BC52�525B95 �1BC2:6C 8 �� 9 CD76 D:6 55B 7B�M56C7L:C5� I �� J5:6425J5BC6 K525 J:�5 1B : $% K27CC5B 6:J385 � � -8659C71B I� 9 � :B� 1B :B 5C9D5� 6:J385 � .* . 8659C71B I"9 I D5 �� J79216913 5 76 �56927 5� 7B � . � �D:3 I ./! I D5 J 79216913 5 4656�4:8� 5:J 7BC52�525B95 C1 C2:B6�12J 81 9:8 L2:� 75BC6 7B CD5 13C79:8 3:CD 85BLCD ���; 22 � 7B CD5 1� 59C 7BC1 25L71B6 1 � 91BC2:6C 7B CD5 1� 59C 7J :L5 :6 655B 7B� 7L425 I�� I D76 AL425 2532565BC6 : �� J5:6425J 5BC 1B 6:J385 � - I�21J CD5 �� 7J :L5 7B � 7L425 I�� 7C 76 3 1667 85 C1 AB� CD5 :J387C4�5 321�A 85 � � 8 �]� �

��� :92166 CD5 6:J385 L7M5B :6 CD5 92166�659C71B:8 3 79C425 1 � CD5

�� 7J :L5 I �49D : J5:6425J5BC 76 L 7M5B 7B � 7L425 I� I � 7B95 CD5 :J387�C4�5 � 76 91B6C:BC 14C67�5 CD5 K:M5L47�5 25L71B 1 � � 7L425 I� 7C 76 3 8:467 85C1 :664J5 CD:C CD5 CD790B566 M:27:C71B 1 � CD5 9125 8:E52 76 B5L87L 7 85 :B� CD:CCD5 K:M5L47�5 25L71B 76 �45 C1 : 9D:BL5 7B 25�2:9C7M5 7B�5� I�21J � 7L425 I� � CD5 K 7�CD 1 � CD5 $% K27CC5B K:M5L47�5 76 �5C52J 7B5�:6 CD5 � 7�525B95 5CK55B CD5 CK1 35:0 6 :B� 76 �14B� C1 5 :3321� 7J :C58E F/OP I � 6 �56927 5� 7B 659C71B � I� I. CD5 K 7�CD 1 � CD5 J:60 465� �12 CD5$% �5AB5� K:M5L47�56 K 7CD 81K � ; 76 *OP I D5 � 769253:B9E 5CK55BCD5 CK1 K 7�CD6 9:B 5 5�38:7B5� E 1M52�5�316425 1 � CD5 25676C �427BL CD5$% 87CD1L2:3DEI �21J 1CD AL4256 7C 76 985:2 CD:C : 2561B:B95 6C249C425 7632565BC 7B67�5 CD5 K:M5L47�5 I

BB��� �� �!� ��� &��� �� �!� ���������� ��&�� ��& �!������� " ������ ��� � ����� �� �������� ���! )

� �� � �� �� ����� � � � �� � "�

� 7L425 I�� � � � �� ������� �� ��� � ��( ) C!�� ������� �!�� � �!� ���&���� �� ��������� �!� ��� � � )

0 5 10 15 20 25 30 35 40 454650

4700

4750

4800

4850

4900

4950

5000

x (µm)

∂OP

L/∂x

a

b

c

� 7L425 I� � � �����,�������� ������� ��� ����� � )�F ����� �� �!� � ,&�������� ) � �� �!�&�������� � ��� ��&��� �� �� �!� � ������&� ��� ����� � )�F )

� 9912� 7BL C1 �"*! � CD5 3 5:06 7B CD5 :J387C4�5 321A 85 :25 3213 12C71B:8 C1 CD59D:BL5 7B 25�2:9C7M5 7B�5� I D46 � E 3 52�12J 7BL �� J5:6425J5BC6 :81BL :$% K27CC5B K:M5L47�5 � CD5 5�38:B:C71B L7M5B 7B 659C71B I� 9:B 5 M527A5� I�B � 7L425 I�" CD5 $% 7B�495� 25�2:9C7M5 7B�5� 7B925:65 76 3 81CC5� M52646 CD5K:M5L47�5 3 167C71B I D5 5D:M712 �56927 5� 7B 659C71B I� � : 6C53 �4B9C71B7B CD5 25�2:9C7M5 7B�5� M52646 3 167C71B 7B CD5 K:M5L47�5 � 76 B1C 25321�495�:B� CD46 CD76 5�38:B:C71B 9:BB1C 5 643312C5� E CD5 �� J5:6425J5BC6 I

−5 0 5 10 15 20 25 300.02

0.022

0.024

0.026

0.028

0.03

0.032

0.034

0.036

0.038

0.04

waveguide position (mm)

(a−

b)/b

−5 0 5 10 15 20 25 300.02

0.025

0.03

0.035

0.04

0.045

waveguide position (mm)

(|c|

−b)

/b

� 7L425 I�" � C!� � � ��&���& ���������� ��&�� �������� � ������& � ��� �!� �������&� )C!� ��� '���� ��������� �!� ��� � ��� �� � ����� � )�� ��& �!� ���!� '���� �!� ���!� � ��� )� % " ��& � ��� &�'��& �� � ����� � )�� ��& ��� �� ���& �� �!� � � ��&���& ���������� ��&���������� ) � ��& � ��������� &�#����� � ������� ���� � ������ �& �� �!�� �!� ����������$ ���!� � ������� ��� � ��!� & ) C!� ������� ���� ��������� �!� � ������� ��� ������������� )

�C 76 :861 3 1667 85 C1 �5C52J 7B5 CD5 K 7�CD M:27:C71B :81BL CD5 K:M5L47�5 467BLCD5 �� J5:6425J5BC6 I D5 25648C �12 6:J385 � - 76 3 81CC5� 7B � 7L425 I�* I D5 M:27:C71B 1 � CD5 J5:6425� K:M5L47�5 K 7�CD 9:B 5 5�38:7B5� E �:J:L5C1 CD5 � 8 J :60 �427BL $% K27C7BL 1 � CD5 K:M5L47�56 :6 1 652M5� E ��*! I D5 : 1M5 J5BC71B5� 5�38:B:C71B K 7CD 14C�� 7�4671B 1 � � 9 76 985:28E B1C

"� �� � � �� � � � � � ��

−5 0 5 10 15 20 25 308.6

8.7

8.8

8.9

9

9.1

9.2

waveguide position (mm)

wid

th (

µm)

� 7L425 I�* � C!� � �&�! �� � � ������&� �� ��� � � � ( � ������& � ��� �!� �������&�&�������� ) � ��������� �!� � ������& �� ��� ��& �!� ������� ���� �!� ��� ���� ���� �����,�������� )

:33 879: 85 7B CD5 9:65 1 � 5C9D5� K:M5L47�56 KD525 CD5 6:J385 D:6 57CD52B1C 55B � 9 � 81:�5� :6 76 CD5 9:65 1 � 6:J3856 .* . 8� 7L425 I.�9 :B� � .8� 7L425 I.*9 32565BC5� 7B 659C71B6 I" :B� I* � 2563 59C7M58E� 12 CD5 � 9 D:614C�� 7�465� 5�125 K27C7BL 1 � CD5 � 2:LL L2:C7BL :6 76 CD5 9:65 1 � 6:J385� � � 8� 7L425 I./9 32565BC5� 7B 659C71B I I D5 �12J 1 � CD565 C2:B6J 76671B63 59C2: 9:B 5 5�38:7B5� E : M:27:C71B 7B CD5 :M52:L5 $% 7B�495� 25�2:9C7M57B�5� 9D:BL5 � Q .�/ 7B � 7L425 � I� � :81BL CD5 K:M5L47�5 I �21J � 7L425 I�" � CD59D:BL5 7B Q .�/ 76 655B C1 D:33 5B 1M52 :3321� 7J :C58E JJ I $ 67BL : C13 �D:CM:27:C71B 1 � Q .�/ :6 78846C2:C5� 7B � 7L425 I�- � CD5 67J48:C71B 467BL �..! E758�6: C2:B6J 76671B 63 59C24J 1 � CD5 � 2:LL L2:C7BL :6 78846C2:C5� 7B � 7L425 I� I D5 K:M585BLCD � 7�525B95 5CK55B CD5 CK1 C2:B6J 76671B � 73 6 1 � 6:J385 � -7B � 7L425 I- 76 � +� ;.� 8 / F� .BJ I D5 9122563 1B� 7BL K:M585BLCD � 7�525B95�14B� �21J CD5 67J48:C71B E 758� 6 � +�. �� 8 / F. BJ 7B M52E L11� :L255J5BCK 7CD � +� ;.� I D5 M:27:C71B 7B Q .�/ 9148� 5 �45 C1 M:27:C71B6 7B CD5 25�2:9C7M5 7B�5� 1 �CD5 9125 8:E52 � M:27:C71B6 7B CD5 69:B 63 55� �427BL K:M5L47�5 K27C7BL�� 2:LLL2:C7BL K27C7BL 84C 67B95 CD5 69:B 63 55� 7B 1CD 67C4:C71B6 76 91B6C:BC CD7676 B1C 87058E 9 I �B1CD52 3 1667 787CE 76 CD:C 87LDC 25#59C5� E CD5 � 7�K:�52 E 758�6: M:27:C71B 7B CD5 :M52:L5 25�2:9C7M5 7B�5� 9D:BL5 7B CD5 9125 8:E52 I � M:27�:C71B 7B 9125 25�2:9C7M5 7B�5� 76 5�:9C8E 1 652M5� 7B � 7L425 I�" :B� 67J 78:2J5:6425J5BC6 3 52�12J5� 1B 5C9D5� K:M5L47�56 I

� �� �� �),� &'("),

D5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � CD5 4B7�12J � 2:LL L2:C7BL6 465� 7B CD 76 CD5676D:M5 55B 7BM56C7L:C5� 7B CD76 659C71B I D5 J16C 87058E 5�38:B:C71B C1 CD5

� ��� � �� �� � � �� 4 �� � �� ��� � � ���� �� � � � �� � � ��� � "

0 5 10 15 200

1

2

3

4

5

6x 10

−4

Grating position (mm)

∆nav

g

� 7L425 I�- � C��,!�� ��� ��������� �������!� ����� ������� ��� ��� % ���� �� � )

1549.7 1549.8 1549.9 1550 1550.1 1550.2 1550.3 1550.4−3.5

−3

−2.5

−2

−1.5

−1

−0.5

0

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I� � C!� ��� � ���& ������ �������� ������ ��� � ��� � � � ��! � ��� �� � ��,�����& �� � ����� � )�( ) C!� &��!�& ����� ���,������� �!� '���& �������� )

67�5� 81 56 � 7B 7C7:88E :664J5� :6 57BL J1�56 � 1 652M5� 76 321: 8E �45 C1M:27:C71B6 7B 9125 8:E52 25�2:9C7M5 7B�5� :81BL CD5 K:M5L47�56 I +1C :88 6:J �3856 32565BC5� 7B CD5 CD5676 D:M5 55B J5:6425� 431B K 7CD CD5 �� J5CD1�4C E 9D:BL7BL CD5 � 76C:B95 1M52 KD79D Q .�/ M:2756 7B CD5 67J48:C71B6 � CD5C2:B6J 76671B 63 59C2: 655B CD214LD14C CD 76 CD5676 5 IL I 6:J3856 � " 8� 7L�425 I� .9 � .�" � 8� 7L425 I��9 :B� � � � 8� 7L425 I./9 9:B 5 25321�495� I�C 76 7J312C:BC C1 B1C5 CD:C CD5 67�5� 81 56 D:M5 B1 7B#45B95 1B CD5 J 5:6425�J5BC6 1 � CD5 B1B87B5:27C756 3 52�12J5� 7B CD76 CD5676 I D5 B1B87B5:27C756 :B��21�5B� 7B A58� :25 91B676C5BC8E �5C52J 7B5� �21J CD5 � 2:LL K:M585BLCD I

� �� ����2342� �� �� 435%&24 " �� ��3%% ��6 &32�

�B CD 76 659C71B � CD5 25648C6 1 C:7B5� 1B 6:J3856 91BC:7B 7BL : C2:337BL 8:E52:25 32565BC5� I 7J 5 1B8E 3 52J 7CC5� CD255 1 � CD5 �142 6:J3856 �56927 5� 7B659C71B � I� I� C1 5 :B:8E�5� I D5 6:J3856 J5:6425� 431B :25 � � � 32565BC5�7B : 85 � I" � � * � 32565BC5� 7B : 85 � I � :B� � " � 32565BC5� 7B : 85 � I� I�B � 7L425 I�/ � : 69D5J:C79 78846C2:C71B 1 � CD5 6:J3856 K 7CD : C2:33 7BL 8:E52:B:8E�5� 7B CD76 CD5676 76 32565BC5� I D5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � CD5 6:J3856 J5:6425� 5�125 3187BL :25 325�65BC5� 7B � 7L425 I� . I �21J CD5 AL425 7C 76 B1C5� CD:C � � 7� B1C 649955�7B 587J 7B:C7BL CD5 � 318:27�:C71B �21J CD5 : J5:6425J5BC6 1 � 6:J385� * I �BC5256C7BL8E� CD5 C2:B6J 76671B 63 59C2: 1 � 6:J385 � � 8110 8705 CD51B56 5�3 59C5� �12 : 4B7�12J 6:J385 K 7CD :B :243C C52J 7B:C71B 1 � CD5 7B�5�J1�48:C71B :J387C4�5 � :6 655B 7B CD5 �:6D5� 942M5 7B � 7L425 I� I �1CD 6:J �385 � * :B� 6:J385 � " D:M5 C2:B6J 76671B 63 59C2: KD79D 9:B 5 5�38:7B5�E CD5 � 76946671B 7B 659C71B6 I� :B� I I

"" �� � � �� � � � � � ��

TOX

Ge:SiON

SiO2

Low index SiON

SiO2

TOX

Ge:SiON

SiO2

High index SiON

SiO2

TOX

Ge:SiON

High index SiON

SiO2

#52 #57 #65

� 7L425 I�/ � � ��!�� ���� � ��������� �� �!� ��� � �� � ��! �������� �$�� )

� ��� �� �%./&! � ��

�:J385 � * K:6 CD5 A26C 1 � CD5 6:J3856 K 7CD C2:337BL 8:E52 CD:C K:6 3 185� I�187BL K:6 A26C :CC5J3C5� :C �� I-0% :B� �*1 � 4C �45 C1 4B �12C4B:C5 5859�C21�5 L51J 5C2756 1 � CD565 6:J3856 � � 75 859C279 25:0�1KB 1 994225� M52E �:6C I�� I0% :861 E758�5� � 75 859C279 25:0�1KB I $ 67BL �*1 � :B� ��0% CD5 3 187BL649955�5� 4BC78 CD5 9118��1KB 35271� � �427BL KD79D : CD72� 25:0�1KB 1 9�94225� :B� �56C21E5� 1B5 1 � CD5 �:95C6 I D525�125 � 1B8E 25648C6 5�125 3 187BL:25 32565BC5� 7B : 856 � I� . :B� � I�� I D5 M:8456 1C:7B5� :25 7B �:72 :9�912�:B95 K 7CD CD5 M:8456 1C:7B5� �12 6:J3856 � � � 659C71B I� � :B� 6:J385� - � 659C71B I� I D5 9125 8:E526 1 � CD5 6:J3856 D:M 7BL : 9D:2L5 C2:337BL8:E52 :25 67J 78:2 C1 6:J3856 � � :B� � - 7 I5 I 6:J5 �13:BC6 � �13 7BL 85M586 �:B� :BB5:87BL I + 5M52CD58566 7C 76 7J312C:BC C1 B1C5 CD:C CD5 CD72��12�52B1B87B5:27CE �12 CD5 � 318:27�:C71B 1 � 6:J385 � * 76 687LDC8E 6J:8852 85M5BK 7CD7B CD5 5�3527J5BC:8 4B952C:7BCE 9 CD:B CD5 � 318:27�:C71B M:8456 1 � � �:B� � - I �5M52:8 3 8:467 85 5�38:B:C71B6 32565BC CD5J 658M56 I �3321� 7J :C58ECD255 3 52 95BC 1 � CD5 J1�5 1 � 6:J385 � * 76 91BAB5� C1 CD5 9D:2L5 C2:337BL8:E52 I D76 8:E52 76 B 7C21L5B �13 5� I � 9912� 7BL C1 659C71B I- � B7C21L5B 25��4956 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:2 9153 975BC 1 � L52J:B74J �13 5� � 7�+ I �� CD56:J 5 5�59C 76 M:87� �12 3425 � 7�+ � CD 76 914 8� 5�38:7B 61J 5 1 � CD5 � 769253:B9E7 I5 I : 25�49C71B 1 � & '() E @ / F//* G ./H99 � >

� > I �� �:�% 9D:J 52 91B� 7�C71B6 D:M5 9D:BL5� �427BL CD5 �53 167C71B 1 � CD5 � 7�525BC CE3 56 1 � 6:J3856 �1B5 K148� :861 5�3 59C : 9D:BL5 7B CD5 9125 8:E526 K 7CD : 64 65�45BC 9D:BL57B CD72��12�52 B1B87B5:27CEI D76 76 M52E 321: 85 67B95 � � :B� � - K525J:�5 : E5:2 :B� : D:8� 5�125 CD5 6:J3856 K 7CD C2:337BL 8:E526 I � CD72�:B� :861 M52E 3 8:467 85 5�38:B:C71B 76 : � 7�525B95 7B 5859C279 A58� 7B�495�6C2566 1 � CD5 6:J3856 I D5 6:J3856 D:M 7BL : C2:337BL 8:E52 K 788 985:28E D:M5:B1CD52 5859C279 A58� 7B�495� 6C2566 � 76C274C71B �45 C1 CD5 � 7�+ 8:E52 CD:B6:J3856 K 7CD14C I ;110 7BL :C CD5 � �M:8456 �14B� 7B : 856 � I� :B� � I�� � :9D:BL5 7B 5859C279 A58� 7B�495� 6C2566 76 5M 7�5BC 67B95 �� �� 8 / F � � / F.-:B� �?� 8 . F/ � / F/� I $B �12C4B:C58E� CD5 8:2L5 4B952C:7BCE 7B CD5 �� ��J5:6425J5BC 1 694256 CD5 3 79C425 I

� ��� � �� �� � � �� 4 �� � �� ��� � � ���� �� � � � �� � � ��� � "*

1550 1551 1552 1553−34

−33

−32

−31

−30

−29#57, TE

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1554.6 1554.8 1555 1555.2−15.5

−15

−14.5

−14

−13.5

−13

−12.5

−12#52, TM

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1551 1552 1553−30

−28

−26

−24

−22#57, TM

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1553.5 1554 1554.5 1555−30

−25

−20

−15

−10#65, TM

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1552.5 1553 1553.5 1554−24

−22

−20

−18

−16

−14#65, TE

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

1553.4 1553.6 1553.8 1554−21

−20.5

−20

−19.5

−19

−18.5

−18

−17.5#52, TE

λ (nm)

Tra

nsm

issi

on (

dB)

� 7L425 I� . � C!� ������ ������ �� ����� � ������& ��� ��� � �� ���������� � �������� �$�� )C!� �� �& ���� ��������� �!� � ������� ���� ��& �!� &��!�& ���� �!� '�� )

� ��� �� �%./&! ���

� 3187BL C5J352:C425 1 � �*1 � :B� 3187BL M18C:L5 ��0% K:6 465� C1 3 1856:J385 � " I �B � 7L425 I�� � CD5 3:2: 1879 AC6 :25 32565BC5� �12 CD5 CK1318:27�:C71B6 1 � CD5 6:J385 5�125 :B� :�C52 3 187BL I K1 3:2:1879 AC6 :256D1KB 7B CD5 : 318:27�:C71B � 5�125 3 187BL � J5:6425J5BC 7B � 7L425 I�� I D5 6187� 87B5 2532565BC6 CD5 3:2:1879 AC � KD525 :88 CD5 3 17BC6 7B CD5 AL�425 D:M5 55B ACC5� :B� CD5 �:6D5� 87B5 2532565BC CD5 AC � KD525 CD5 ��0% :B� � . I*0% D:M5 55B 1J 7CC5� I D5 6187� 87B5 AC E 758� 6 & '()� � 88 F-� � / F"9 G ./H99 � >

� > KD79D 76 : M52E D7LD M:845 I D255 31667 85 5�38:B:�C71B6 5� 76C �12 649D : D7LD CD72��12�52 B1B87B5:27CEI D5 A26C 76 CD:C 92:90 6 7BCD5 C2:33 7BL� 8:E52 :B� C13 �98:�� 7BL 25�495 CD5 5�59C7M5 5859C21�5 � 76C:B95 I D76 5�3 8:B:C71B 76 M52E 4B87058E� 67B95 CD5 6:J 5 6D148� CD5B 5 1 652M5� �121CD 3 18:27�:C71B6 :B� :88 6:J3856 K 7CD : C2:337BL 8:E52 � KD79D 76 B1C CD59:65 I D5 6591B� 31667 85 5�38:B:C71B 76 CD:C CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE1 � CD5 � 7�+ C2:337BL 8:E52 76 5� C25J58E D7LD I �21J 67J48:C71B6 467BL �* .!7C 76 �14B� CD:C @ -�V 1 � CD5 J1�5 76 7B CD5 ;5 �� 7�+ 8:E52 � @ *V 76 7B CD5C2:337BL 8:E52 :B� @ ..V 76 7B CD5 C13�98:�� 7BL :B� 4�52 8:E52 I �B652C7BLCD565 91BAB5J5BC �:9C126 :B� CD5 M:8456 1 � CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27C756 1 �

"- �� � � �� � � � � � ��

CD5 98:�� 7BL 8:E526 :B� CD5 9125 8:E52 E758�6 CD:C & '()7-.� 1 � CD5 C2:337BL 8:E52D:6 C1 5 @ � G ./H99 � >

� > � C5B C7J56 8:2L52 CD:B :BE 1 � CD5 CD72��12�52 B1B�87B5:27C756 J5:6425� 7B CD76 CD5676 I D14LD B1C 7J31667 85 29 � 649D : 8:2L5& '()7-.� 76 B1C 3DE679:88E 65B67 85 �12 CD5 6:J3856 32565BC5� 7B CD76 CD5676 I D5CD72� 31667 85 5�38:B:C71B 76 CD:C 5859C216C279C71B 9148� 9D:BL5 CD5 CD 72��12�52 B1B87B5:27C756 I �4C 67B95 CD76 76 B1C 1 652M5� �12 1CD 3 18:27�:C71B:B� 67B95 7C 76 B1C 1 652M5� �12 CD5 1CD52 6:J3856 32565BC5� 7B CD76 CD5676 �CD5 ��0% :B� � . I*0% J5:6425J5BC6 K525 � 7625L:2�5� :B� CD5 J5:6425J5BCE 758�5� & '()� � 8 8� F� � / F 9 G ./H99 � >

� > :6 655B 7B : 85 � I�� I

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 10001554.4

1554.405

1554.41

1554.415TM, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 10001553.41

1553.415

1553.42

1553.425

1553.43

1553.435TE, before poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 10001554.395

1554.4

1554.405

1554.41

1554.415

1554.42TM, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

−2500−2000−1500−1000−500 0 500 10001553.41

1553.415

1553.42

1553.425

1553.43

1553.435

1553.44TE, after poling

Vext

(V)

λ Bra

gg (

nm)

� 7L425 I�� � C!� � ���� � ��� ����! % �� % � ����& ������ �!� ������� $ ��� ��& �� �,��� % ���� % �����!�� � ��! �!� ����" � �� '�� �� ��� � � � �� ) ������� ���� ��������� �!���� ���� ���� ����������$)

�21J CD5 AL425 � 7C 76 5M7�5BC CD:C : �21�5B� 7B A58� 76 32565BC :�C52 CD52�J:8 3 187BL I D5 J5:6425� M:8456 1 � CD5 �21�5B� 7B A58� � CD5 6591B�� :B�CD72��12�52 B1B87B5:27C756 :25 32565BC5� 7B : 85 � I�� I D5 CD72��12�52 B1B�87B5:27CE 76 � K 7CD 7B CD5 2:CD52 8:2L5 4B952C:7BCE� 91J3:2: 85 C1 CD5 M:8456�14B� �12 6:J3856 � � � � - :B� � * K 7CD 67J 78:2 CE3 5 9125 8:E52 I D5 M:845�14B� �12 CD5 : 318:27�:C71B � :�C52 3 187BL � D:6 1B8E C1 5 L7M5B 87J 7C5�7J312C:B95 �45 C1 CD5 2:CD52 D7LD M:845 :B� 5B12J146 5�3 527J5BC:8 4B952�

B> EF( H �"������ � ��� ��� �� �� � � ��� B� ��� �

����� � � � � ��� )

� ��� � �� �� � � �� 4 �� � �� ��� � � ���� �� � � � �� � � ��� � "

C:7BCEI D5 �21�5B� 7B A58� 1 � 6:J385 � " 76 � V 8 � 9 :B� �-V 8 :9 8:2L52CD:B CD5 M:8456 �14B� �12 6:J385 � � � 3185� 467BL CD5 6:J5 M18C:L5 � ��0% �:B� :8J16C CD5 6:J5 C5J352:C425 I �3:2C �21J CD5 9D:2L5 C2:337BL 8:E52 �CD5 6:J3856 :25 67J 78:2 :B� CD46 CD5 7B925:65 7B �21�5B� 7B A58� 76 :6927 5� C1CD5 9D:2L5 C2:33 7BL 8:E52 I D5 � �M:845 32565BC5� 7B : 85 � I�� 76 2:CD52 81K 91J3:25� C1 67J 78:2 6:J �3856 8� � :B� � -9 I D76 76 321: 8E �45 C1 CD5 2:CD52 D7LD & '()� � �M:845 �5�6927 5� : 1M5 KD79D 76 :861 5�325665� 7B CD5 81K � �M:845 J5:6425� :�C523187BL 7B : 85 � I� I D5 5�125 3 187BL � �M:845 76 91J3:2: 85 C1 CD5 M:845�14B� �12 6:J385 � * 7B : 85 � I�� I��� J5:6425J5BC6 3 52�12J5� E �"/ ! 1B 6:J3856 K 7CD C2:337BL 8:E526 :861E758� :B 7B925:65� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE �12 6:J3856 1 � CD5 6:J5 CE3 5 :6� " 7B� 79:C7BL 91B676C5B9E 7B CD5 J5:6425J5BC6 :B� CD:C CD76 CE3 5 1 � 6:J385D:6 :B 7B925:65� C2:337BL 53 975B9EI �"/! 3185� CD5 6:J3856 :C �� I-0% � �*1 ��12 �/ J7B4C56 I � 664J 7BL 3 52�59C 1M528:3 5CK55B CD5 �21�5B� 7B A58� :B�CD5 K:M5L47�56 E 758� 6 & '9);< < Y� � 8 / F�� ��� :B� & '9);< < Y� � 8 / F. ��

� �21J CD5J5:6425J 5BC6 7B �"/! I �� : 87B5:2 258:C71B 5� 76C6 5CK55B & '9);< < :B� CD5 3 18�7BL M18C:L5 � CD 76 9122563 1B�6 C1 & '9);< < Y� � 8 / F." .��� :B� & '9);< < Y� � 8 / F.�� ��

�7� �"/! D:� 465� ��0% :6 3 187BL M18C:L5 I D5 :9912�:B95 K 7CD CD5 25648C632565BC5� 7B : 85 � I�� 76 �:72 I

� ��� �� �%./&! ���

�:J385 � � K:6 3185� :C ��0% � � .�1 � �12 �/ J7B4C56 I $B �12C4B:C58E� �K:6 1B8E : 85 C1 J5:6425 CD5 � 318:27�:C71B 1 � CD76 6:J385 I D5 :318:27�:C71B J5:6425J5BC K:6 �56C21E5� E :� 7B�914387BL �21J CD5 A 526C1 CD5 K:M5L47�5 I D5 25648C6 :25 32565BC5� 7B : 85 � I�/ I � 6 : 1M5 � :�21�5B� 7B A58� 76 478C� 7B �427BL 3 187BL I D5 A58� 76 6J :8852 CD:B CD5 1B51 652M5� �12 6:J3856 B� � � � :B� � " K 7CD : 67J 78:2 9125 8:E52 3 185� 4B�52CD5 6:J5 91B� 7C71B6 :6 655B 7B � 7L425 I�� I �C 76 � 73 948C C1 5�38:7B D1KCD5 7B9123 12:C71B 1 � : C2:337BL 8:E52 6D148� 25�495 CD5 478C� 7B A58� K 7CD:3321� 7J :C58E �V 91J3:25� C1 : 6:J385 K 7CD14C C2:337BL 8:E52 I D5 1B8E31667 85 5�38:B:C71B 76 CD:C CD5 3 18:27CE 1 � CD5 81K 7B�5� C2:337BL 8:E52 7B6:J385 � � D:6 55B 7BM52C5� I D76 914 8� D:33 5B 7� CD5 9D:2L5 9:2275267B CD5 81K 7B�5� � 7�+ 8:E52 D:M5 133167C5 9D:2L5 1 � CD5 1B56 7B ;5 �� 7�+:B� 7B CD5 D7LD 7B�5� � 7�+ 8:E52 :6 7B � " I � 67J 78:2 6:J385 D:6 55B7BM56C7L:C5� E �"/! KD1 AB�6 & '9);< < Y� � 8 .. F/ G ./H( ��� KD5B CD5 25648CD:6 55B 912259C5� �12 CD5 D7LD52 3187BL M18C:L5 465� 7B �"/! I D76 25648C 767B 5CC52 :9912�:B95 K 7CD KD:C K148� 5 5�3 59C5� �12 : 6:J385 K 7CD14C :C2:337BL 8:E52 I D5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 91J3:2: 85 C1 CD5 1B5 1 652M5� �12 6:J3856� " :B� � * :6 5�359C5� I

*/ �� � � �� � � � � � ��

0 1 2 3 4 5 60

20

40

60

80

100

120

140

160

180

200

Sample

Ein

t (V

/µm

)

#52 #65 A2 n4 A8

� 7L425 I�� � C!� ���D�� ,�� '� &� �� ��� ,� �� �F % � � % � ( % � �� ��& � �� ) � ��& � &�,���� C� ��& C� � � ���D����� % ���� ������ $)C!� ������� ���� ��������� �!� ��� ���� ���� ������������� )

0 1 2 3 4 5 60

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5

4

Sample

χ(3) ⋅ 1

022 (

m2 /V

2 )

n4 A2 A8 #52 #65

� 7L425 I�� � C!� � ������& �! ��&,��&����� �������$ �� ��� � �� �F % � � % �( % � �� ��&� �� ) � ��& � &����� C� ��& C� � � ���D�,���� % ���� ������ $) C!� ������� ���� �����,���� �!� ��� ���� ���� ������������� )

� ��� �0 �),� &'("),�21J CD5 J5:6425J5BC6 1B CD5 6:J3856 K 7CD 9D:2L5 C2:337BL 8:E526 7C D:6 591J5 5M 7�5BC CD:C : D7LD 7B�5� C2:337BL 8:E52 �53 167C5� � 7259C8E 1B�C131 � CD5 9125 7B925:656 CD5 �21�5B� 7B 5859C279 A58� I �21J � 7L425 I�� 7C 76 655BCD:C CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 1 � CD5 6:J3856 K 7CD CD5 6:J 5 CE3 5 1 � 9125J:C527:8 76 7�5BC79:8 K 7CD7B CD5 5�3 527J 5BC:8 52212 I D46 � CD5 7B925:65 7BCD5 J5:6425� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 76 61 858E �45 C1 :B 7B925:65 7B CD5�21�5B� 7B A58� 9:465� E CD5 C2:337BL 8:E52 I�B652C7BL : 81K 7B�5� C2:337BL� 8:E52 1B C13 1 � : 3425 67879: 4�52 8:E52 �1 56B1C 7B925:65 812 �5925:65 9 CD5 �21�5B� 7B A58� I D5 25:61B 321: 8E 57BL CD:CCD5 B7C21L5B �137BL 76 C1 1 6J:88 C1 J:05 :B 5�59C 7B CD5 C2:337BL 53 975B9E1 � CD5 C2:337BL 8:E52 I

������� �

�� �� �

D76 CD5676 25#59C6 JE K120 1B 6K 7C9D: 85 � 2:LL L2:C7BL6 3 52�12J5� �427BLJE �D I I 6C4�EI D5 6C4�E K:6 3 52�12J5� :C ��� :C CD5 59DB79:8 $B7�M5267CE 1 � 5BJ:20 :B� �4B�5� E � � 5BJ:20 �36 I 87B CD5 A26C D:8� 1 �CD5 6C4�E 9 :B� CD5 :B76D � 9:�5JE 1 � 59DB79:8 �975B956 8� % 9 I $B �12C4�B:C58E� � � 5BJ:20 �36 I 98165� �/ +1M5J 52 �// . �45 C1 CD5 25956671B7B CD5 C58591J 659C12 I � E 321� 59C K:6 91BC7B45� 4B�52 +N *565:29D � ��C1L5CD52 K 7CD � % �21J CD5 .�7 1 � 595J 52 �// . :B� 4BC78 CD5 D:B� 7BL 7B1 � CD5 CD5676 I D5 L1:8 1 � CD5 321� 59C K:6 C1 J:05 : 6K 7C9D: 85 � 2:LL L2:C7BL 7B L52J:�B74J �13 5� 678791B�1�E�B7C27�5 K:M5L47�56 I D5 6:J3856 K525 J:�5 7B CD5985:B211J :C ��� :B� :C ��� I �B 12�52 C1 6K 7C9D CD5 � 2:LL L2:C7BL6 � CD5EK525 CD52J:88E 3 185� 7B 12�52 C1 7B�495 : 6591B��12�52 B1B87B5:2 5�59C 7BCD5 25L71B K 7CD CD5 � 2:LL L2:C7BL6 I

$ 67BL � 2:LL L2:C7BL6 C1 �5C52J 7B5 CD5 B1B87B5:27C756 1 � : J :C527:8 76 : L11�:B� 2587: 85 J5CD1� I �B8E CK1 6527146 321 85J 6 1 � CD5 J 5CD1� 5� 76C I D5A26C 76 CD:C CD5 C5J352:C425 D:6 C1 5 053C 91B6C:BC :B� CD5 6591B� 76 CD:CCD5 7B� :B� 14C�914387BL �21J CD5 A 526 C1 CD5 K:M5L47�56 D:6 C1 5 M52EL11� 7B 12�52 C1 5B6425 CD:C 1 652M5� 9D:BL56 7B CD5 � 2:LL K:M585BLCD :25�45 C1 5859C21�13C79 5�59C6 I 427BL JE 321� 59C � 142 2565:29D L2143 D:6 649955�5� 7B 7B925:67BL CD57B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 1 � CD5 K:M5L47�56 �21J @ / F.� ��� C1@ / F�� ��

� 7 I5 I : "�V 7B925:65 I D76 K:6 �1B5 E 13C7J 7� 7BL CD5 3187BL 3:�2:J5C526 :B� 7BC21�497BL : D7LD 25�2:9C7M5 7B�5� � 7�+ C2:33 7BL 8:E52 I :M5BCD14LD CD5 :9D75M5� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 76 B1C 643 975BC C1 6K 7C9D :� 2:LL L2:C7BL C1 J:05 7C 465�48 7B C58591JJ4B79:C71B � 7C 76 5B14LD C1 J:05:B 13C79:8 6K 7C9D I $ 67BL :B ��� �12 CD5 6K 7C9D � CD5 M18C:L5 B55�5� �126K 7C9D7BL K148� 5 :3321� 7J :C58E ��//% KD79D 76 5:678E :9D75M: 85 K 7CDC1�:E 6 5859C21B796 I D5 J5:6425J5BC6 3 52�12J5� 7B CD76 CD5676 6D1K5� CD:C CD5 13C7J 7�5� 318�

*.

*� �� � � �� � � � ��� �� ���

7BL 3:2:J 5C526 :B� CD5 C2:337BL 8:E526 7B925:65� CD5 �21�5B� 7B A58� 7BC52�:9C7BL K 7CD CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 1 � CD5 J:C527:8 C1 E 758� CD5 5�59C7M56591B��12�52 B1B87B5:27CEI � 7B95 CD5 �21�5B� 7B A58� 76 87J 7C5� E CD5 � 75 859C27925:0�1KB 1 � 67879: � :B1CD52 J5CD1� C1 7B925:65 CD5 6591B��12�52 B1B87B5:2�7CE K148� 5 C1 7B925:65 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI� 5:6427BL CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 5�125 :B� :�C52 CD52J:8 3 187BL � 7�B1C 7B� 79:C5 : 9D:BL5 7B CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI �5M52:8 J5:6425J5BC6K525 J :�5 C1 7BM56C7L:C5 7� 7C K:6 31667 85 C1 9D:BL5 CD5 CD 72��12�52 B1B�87B5:27CE E #11� $% 5�316425 1 � CD5 6:J3856 I �L:7B � CD5 CD 72��12�52 B1B�87B5:27CE 25J:7B5� 91B6C:BC 32712 C1 :B� :�C52 $% #11� 5�316425 I � CD52L21436 �*" � - � * � *- � �-! D:� 655B : 9D:BL5 7B CD 72��12�52 B1B87B5:27CE �427BL3 187BL I �1667 85 5�3 8:B:C71B6 C1 CD572 25648C6 K525 :J1BL 1CD526 7B�� 7�4671B1 � J5C:8 71B6 7BC1 CD5 K:M5L47�5 12 92:906 7B CD5 98:�� 7BL I�C 76 : K588�0B1KB �:9C CD:C CD5 13C79:8 CD72��12�52 B1B87B5:27CE 76 7B925:65�:6 CD5 L52J :B74J 91BC5BC 1 � CD5 9125 76 7B925:65� � � "! I �B CD76 321� 59C 7CK:6 6D1KB CD:C 7B925:67BL B 7C21L5B 91BC5BC 7B L52J :B74J �13 5� 67879: �5�925:656 CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CEI D76 13 5B6 CD5 3 1667 787CE �12 J:0 7BL: C245 87B5:2 L8:66 :B� :861 7B� 79:C56 CD:C B 7C21L5B 76 C1 5 :M17�5� 7B 12�52C1 7B925:65 CD5 6591B��12�52 B1B87B5:27CEI 427BL CD5 7BM56C7L:C71B 1 � 5C9D5� K:M5L47�56 � CK1 7BC5256C7BL �:9C6 59:J5985:2 I � 726C8E� 7C K:6 � 7691M525� CD:C 5C9D5� 6:J3856 K 7CD 61 �C C13�98:�� 7BL� 7� B1C 3 16656 : 6591B��12�52 B1B87B5:27CE �45 C1 CD5 D7LD 91B�49C7M 7CE 1 �CD5 121B :B� 3D163D1246 �135� C13�98:�� 7BL :C 3 187BL C5J352:C4256 I �59�1B� 8E� 7C K:6 �14B� CD:C 5C9D5� 6:J3856 K 7CD D:2� C13�98:�� 7BL D:� M52ED7LD CD72��12�52 B1B87B5:27C756 � 9148� 5 3 185� :C 211J C5J352:C425 :B� CD587�5C7J 5 1 � CD5 CD52J:8 3 187BL 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27C756 K:6 M52E6D12C I D5 5�38:B:C71B 1 � CD565 3D5B1J5B: K:6 92:90 6 7B CD5 C13�98:�� 7BL:9C7BL :6 6D12C�972947C6 25�497BL CD5 5�59C7M5 5859C21�5 � 76C:B95 I D76 5�59C9148� 5�38:7B CD5 D7LD � 6D12C� 87M5� 6591B��12�52 B1B87B5:27C756 1 652M5� E61J 5 L21436 ��- � �� � . � .-! I

� �� �� �'� &))�

1 �42CD52 7B925:65 CD5 7B�495� 6591B��12�52 B1B87B5:27CE 7B CD5 K:M5L47�56 �7C 76 B59566:2E C1 7B925:65 CD5 �21�5B� 7B A58� :B��12 CD5 CD72��12�52 B1B87B�5:27CEI� �42CD52 7B925:65 7B CD5 �21�5B� 7B A58� 9:B 5 :9D75M5� E 7B652C7BL : C2:3�37BL 8:E52 � 5 IL I : 121B �13 5� 67879: 8:E52 � 581K CD5 9125 8:E52 :B��12 E9D:BL7BL CD5 91J3167C71B 1 � CD5 5� 76C7BL C2:337BL 8:E52 I* 5L:2� 7BL CD5 CD72��12�52 B1B87B5:27CE� 7C D:6 591J 5 5M 7�5BC �21J CD76 CD5�676 � CD:C CD5 J16C 321: 85 J5CD1� 1 � 9D:BL7BL & '() 76 E �137BL CD5 9125K 7CD � 7�525BC 585J 5BC6 I � 7B95 1B8E : 87J 7C5� B4J 52 1 � 585J 5BC6 :25 :M:78�: 85 7B CD5 �:�% J:9D7B5 � 38:B6 D:M5 55B J:�5 C1 7B9123 12:C5 � 7�525BCCE3 56 1 � 585J5BC6 E 71B� 7J3 8:BC:C71B I

*�

� 7B:88E� : B5K ��� 65C43 91B676C7BL 1 � :B �� :B� : � L5B52:C12 D:6 55B J:�5 E * I �D7J �:91 65B KD79D 76 : 85 C1 J5:6425 CD5 6591B�� :B�CD72��12�52 B1B87B5:27C756 1 � B1B�$% �65B67C7M5 J:C527:86 � KD79D :25 B1C 5:6�78E 9D:2:9C527�5� E CD5 � 2:LL L2:C7BL J5CD1� I D76 B5K 65C43 :861 :881K 691BA2J:C71B 1 � CD5 25648C6 1 C:7B5� E CD5 � 2:LL L2:C7BL J5CD1� I

*� �� � � �� � � � ��� �� ���

����� � �� �

�� � � � �� � � �

�� ���� ��� ����� � ��� ��� ��� ���������� ��� �! ����"� ������� ��� ����#�������! ��� ��$� ��� ��%���� � � ��"�� & ' �� %���( �%���� � � � � !� %�� �� �� ��% ��(� �� (���� ) * +,- ./ �% & ' �� 0 �% � � � %���( �� �!�� ��������� &

1 23 456 789 : ;<= <=;> ?@A9B 85C9B

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&PQ/ , &-

R� � D� SL�MT O&PU, - &PV($� ��E� L�MN O&PQ/ , &-

G���� ' &OS G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� �WXKY ����� ��%��� Y ��� ���� �($� ��E� & G�� ��%��� Y�� %��� �E Z+[ &G�� �($� ��E� Y�� ��� ������ (���� \]RX^ &

1 2_ ` a : B;<<9> b56 789b : ;<= 8c: de f

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&P+, P &+

R� � D� SL�MT O&PU, - &-V($� ��E� GMg O&PQ/ P &-

G���� ' &- S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� �WXKY ����� ��%��� Y ��� ��Y \^h &

iQ

i+ �������� � � � ��� � ��� �� ����

1 2� ` a : B;<<9> b56 789b : ;<= 5 <B577;>� 85C9B

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&P+- , &/

G ��� ��� ��E� L�MT O&Q�� � &,R� � D� SL�MT O&Q�P , &,

V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/G���� ' &, S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� !� ��� � �$� ��� ��E� � �� �WX Y ����� ��%��� Y ��� � ���� ����� � ������ ��E� �� ����E �� ��� �� ���E� &

D ���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&P+- , &/

G ��� ��� ��E� L�MT O&PQQ � &,R� � D� SL�MT O&Q�P , &,

V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/G���� ' &P S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� !� ��� � �$� ��� ��E� � �� � WXY ����� ��%��� Y ��� � ��Y ����� � ��� ��� ��E� �� ����E �� ��� �� � ��E� &

D ���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&P+- , &/

G ��� ��� ��E� L�MT O&Q�� � &,V($� ��E� L�MN O&P+- � &+

R� � D� SL�MT O&Q�P , &,V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &Q S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� � WXY ����� ��%��� Y ��� � �($� ��E� � ��Y��� � ���� ����� � ��� ��� ��E� ������ �� � ��E� &

� �� � � ����� �� ���� ����� � iiD���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% J

G��K�������� L�MN O&P+- , &/G ������ ��E� L�MT O&PQQ � &,V($� ��E� L�MN O&P+- � &+

R� � D� SL�MT O&Q�P , &,V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &+ S G�� �! ����"� ����� ��� �� ��#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� � WXY ����� ��%��� Y ��� � �($� ��E� � ��Y��� � ��Y ����� � ������ ��E� ������ �� � ��E� &

1 2� �<�=9� b56 789b ?5<�= 3

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� L�MN O&P+, i &+

R� � D� SL�MT O&Q�P - &UV($� ��E� GMg O&PQ/ P &-

G���� ' &i S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� � �$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� �� � ���K�������� &

D ���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� V �\ S L�MN O&PQU + &-V($� ��E� L�MN O&P+, � &U

R� � D� SL�MT O&Q�P - &UV($� ��E� GMg O&PQ/ P &-

G���� ' &/ S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� � �$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� ��!� ���K�������� &

i/ �������� � � � ��� � ��� �� ����

1 2� � <�=9� b56 789b ?5<�= _

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� V �\ S L�MN O&PQ/ / &,V($� ��E� L�MN O&P++ � &P

R� � D� SL�MT O&P/P - &UV($� ��E� GMg O&PQ/ P &�

G���� ' &U S G�� �! ����"� ����� ��� �� ��#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� �������� Y�� �� OO���R &

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI% JG��K�������� V �\ S L�MN O&PQ/ / &,V($� ��E� L�MN O&P++ � &P

R� � D� SL�MT O&PQ/� , &O+V($� ��E� GMg O&PQ/ P &�

G���� ' &O� S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� �������� �� T N �� O����R & � G�� !��� ���� ���� Y�"��(����(���� ����� ��� ���E � � ��������� �E � �����0������ �! ��� �� � ��E� �( ������ Y�� ������ �! ��� ��!� ���K�������� &

� �� � � ����� �� ���� ����� � iU1 2� �<�=9� b56 789b ?5<�= �

D���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI� JG��K�������� � � � S � �� N O&PQ/ / &�V($� ��E� � �� N O&P++ � &P

R� � S � �� N O&P,,� - &/V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &OOS G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� � �$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� ����% ��Y ��� � � ��� �������� � E �� O����� & � G��!��� ���� ���� Y�"��(��� �(���� ����� ��� ���E � � ��������� �E � �����0�������! ��� �� � ��E� �( ��� ��� Y�� ������ �! ��� ��!� ���K�������� &

D ���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI� JG��K�������� � � � S � �� N O&PQ/ / &�V($� ��E� � �� N O&P++ � &P

R� � D� SL�MT O&PiP , &,V($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &O- S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� � �$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� O�����% ��Y ��� � � ��� �������� � E �� O����� &

D ���� �E� � F�! ����"� ����� G���#���� HI� JG��K�������� � � � S � �� N O&PQ/ / &�V($� ��E� � �� N O&P++ � &P

R� � D� SL�MT O&Q�P , &OV($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &O, S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� � �$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� OiQ���% ��Y ��� � � ��� �������� � E �� O����� &

/� �������� � � � ��� � ��� �� ����

D���� �E�� F�! ����"� ����� G���#���� HI� JG��K�������� � � � S � �� N O&PQ/ / &�V($� ��E� � �� N O&P++ � &P

R� � D� SL�MT O&Q,Q - &UV($� ��E� GMg O&PQ/ P &/

G���� ' &OP S G�� �! ����"� ����� ��� ����#���� �! ��� ��$� ��� ��E� � �� �������� ��%��� Y ��� -Q����% ��Y ��� � � ��� �������� � E �� O����� &

� � � � � � �� �� � � �� �� � � � � � �� � � � �

� � � � �

�� ���� ��� ����� � ��� ! ����K�� 0��� ���� � ��� ���(��� ������K� �� ������K�� ��E � �N !" " ��� ��� ��� �K� �� �������� ��E � �� �! ��� ��$� ��� ��%���� � �� ������� �� ��� ��� ������� Y ��� ��� % ���( �� # K"��(�� &

$ 23 ` a : B;<<9> b56 789 : ;<= <=;> ?@A9B 85C9B

V�!� � ������ '!�� � ��������� % &'( ) Q .+P * O.QQ O-- .�U * O.�-� �� %O�+NN ( ,& , ) - .U O * � .�Q - ./� * � .�-� �N !" " -O�+� .(& / P .U- * O.,Q O�- .QQ * � .PPG���� V &OS ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� �P & G�� ��%��� Y�� 0 N ��������!� � Y ����� �! ��� Y�"��(���� � Y�� � ��� WX �(���� Y�� - 1 23( , & ' !�� 0 N�(���$(���� � V ��� � ����� Y�� % ��� (���� O.- 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ������ K-#X � ,iQ�R !� O+ % ��(��� &

/ O

/- �������� � � � �� � � � �N � � � ��� � �� ��� �� ����

$ 2_ ` a : B;<<9> b56 789 : ;<= 8c: de f

V�!� � ������ ' !�� � �����G� G] G� G]

h�Y Y�"������� � ���% ������ ������� % &'( ) � ./P * O.�, O.UP * O.QU O-� ./Q * O.U� OOQ ./Q * - .,-� �� %O�+NN ( ,& , ) , .iU * � .�+ , .�/ * � .�i , ./- * � .�Q , .- O * � .�+� �N !" " -O�+� .(& / � .U+ * O.O/ O.iU * O.Pi O,/ .P� * O.�i OOO.P, * O.OO� ��� Y�"������� � ���% ������ ������� % &'( ) �

P ., O * - .,/�

O./Q * , .Q+ /+ .Q+ * + .,i U O.O/ * + ./,� �� %O�+NN ( ,& , ) , .OU * � .OO - .Oi * � .OO , .Q- * � .-� , .�U * � .OU� �N !" " -O�+� .(& / �P .O, * - .-i O.- O * - .,- U O.,i * P .OP /P .Q- * , .iP

G���� V &- S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� ' - & G�� ��%��� Y�� 0 N ������� �!� � Y ����� �! ��� Y�"��(���� � Y�� � ��� WX �(���� Y�� , 1 23( , & ' !�� 0 N�(�� �$(���� � V ��� � ����� Y�� %��� (���� O 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ������ K-#X � ,iQ�R !� O+ % ��(��� &

� ��� Y�"������� � ���% ������ ��� h�Y Y�"������� � ���% ������ ���O.�/ * � .�i O.-P * � .�-

G���� V &, S G�� %���( �� # K"��(�� �!�� �! ��%��� ' - &

V�!� � � ����� ' !�� ������h�Y )��� ��� O.-, * � .�, O.OU * � .�,� ��� )��� ��� O.Pi * � .�U O.OP * � .O�

G���� V &P S G�� %���( �� K"��(�� �! ��%��� ' - &

� �� � �� ��� � ��� ���� � � �� �� � ��� ������ � ��� � /,$ 2� 456 789 7c89� @b;>� c7<;6 58 7 c8;>��75B56 9<9Bb

V�!� � � ����� '!�� � �����G� G] G� G]

h�Y Y�"������� � ���% ������ ������� % &'( ) Q .U+ * , .,-�� .Q� * + .UU O/� .-P * + .iQ OU- .-/ * + .P+� �� %O�+NN ( ,& , ) , .+ O * � .OP - .QU * � .-- , .- O * � .OO - .iP * � .�/� �N !" " -O�+� .(& / + .PQ * , .QU � .,U * Q .P- Oi, .Q, * - .+, OQi .U, * - .�P

� ��� Y�"������� � ���% ������ ������� % &'( ) U ./� * P .,Q�

, .Q, * / ., O OiQ ./, * + .UQ OU� .iU * / ./i� �� %O�+NN ( ,& , ) , .++ * � .O/ - .+P * � .-i , .,- * � .O- - ./� * � .O-� �N !" " -O�+� .(& / O� .ii * P .iP�

- ./� * + .Q/ OiQ .O- * - .U O O+� .,/ * - ./UG���� V &Q S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� ' / & G�� ��%��� Y�� 0 N ��������!� � Y ����� �! ��� Y�"��(���� � Y�� � ��� WX �(���� Y�� , 1 23( , & ' !�� 0 N�(���$(���� � V ��� � ����� Y�� % ��� (���� O 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ������ K- &Q#X � ,Qi�R !� ,+ % ��(��� &

� ��� Y�"������� � ���% ������ ��� h�Y Y�"������� � ���% ������ ���O.�U * � .�, O.O� * � .�-

G���� V &+ S G�� %���( �� # K"��(�� �!�� � ����� !� ��%��� ' / &

V�!� � � ����� ' !�� � �����h�Y )��� ��� O.,U * � .O, O.Oi * � .�Q� ��� )��� ��� O.,U * � .O+ O.OU * � .�i

G���� V &i S G�� %���( �� K"��(�� �! ��%��� ' / &

/P �������� � � � �� � � � �N � � � ��� � �� ��� �� ����

$ 2� � <�=9� :5�9�@;�9 : ;<= bc �< <c7 � 85�� ;>�

V�!� � � ����� ' !�� � �����G� G] G� G]���� % &'( ) � .+U * O./U

�OP .�� * P ./i

�OP .+U * Q .Q/

�O- .U/ * P .-Q� �� %O�+NN ( ,& , ) P .OO * � .O+ - ./+ * � .-P , .-i * � .-+ , ., O * � .- O� �N !" " -O�+� .(& / � ./+ * - .,,

�O- .�, * P .�+

�OP .P O * Q .,Q

�O- .U� * P .OP

G���� V &/ S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� P , - & G�� ��%��� Y�� 0 N ������ &' !�� 0 N �(���$(���� � V ��� � ����� Y�� % ��� (���� � .Q 1 23( , & G�� ��%���Y�� � ���� �� K-#X � ,Qi�R !� -� % ��(��� &

V�!� � � ����� '!�� � �����O.PP * � .O, � .UU * � .O�

G���� V &U S G�� %���( �� K"��(�� �! ��%��� P , - &

$ 2� �5�9�@;�9 9�7 cb9� <c � ;A9B9>< ` a �@9>�9b

V�!� � WX ���� �����( � '!�� WX ���� �����( �G� G] G� G]���� % &'( ) U .P, * , .Ui � * �

�- .UQ * i .+U U .�, * , ./,� �� %O�+NN ( ,& , ) - .i/ * � .OQ - .P+ * � .O+ - .i- * � .-U - .i- * � .OQ� �N !" " -O�+� .(& / i ./+ * , .-/ � * �

�- .P O * + .-i i .,+ * , .O�

G���� V &O� S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� Oi O& G�� ��%��� Y�� ��� 0 N������ ��!� � Y ����� �! ��� V ��� � ����� (���� , 1 23( , & O� 1 23( , Y�� (��� ����� ���� WX �����( � &

� �� � ��������� ������ � ������ � �� � ��� ��� /Q

V�!� � WX ���� �����( � ' !�� WX ���� �����( �O.O, * � .O� O.�� * � .O-

G���� V &OOS G�� %���( �� K"��(�� !� ��%��� Oi O %���( �� � �!� � ����!�� WX ���� �����( � &

h�Y )��� ��� � ��� )��� ���G� G] G� G]���� % &'( ) �

P .�i * , .Pi � * � � .OQ * , ./� � * �� �� %O�+NN ( ,& , ) - .UQ * � .OP , .�/ * � .O, , .� O * � .O+ , .� O * � .-�� �N !" " -O�+� .(& / , .+� * , .�i � * � � .O, * , .P, � * �

G���� V &O- S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� Oi O �!�� 0 N ������� ��� � WX�����( � (���� � �(���� �! P 1 23( , &

� ��� )��� ��� h�Y )��� ���� .U/ * � .�/ � .U+ * � .�+

G���� V &O, S G�� %���( �� K"��(�� !� ��%��� Oi O �!�� 0 N ���� ��� ���WX ���� �����( � &

/+ �������� � � � �� � � � �N � � � ��� � �� ��� �� ����

$ 2� a5BC ;>� >;<Bc�9> �c><9>< ;> <=9 �cB9

G]���� % &'( ) O.,U * - .iP� �� %O�+NN ( ,& , ) - .U+ * � .-P� �N !" " -O�+� .(& / O.-, * - .P,G���� V &OP S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� O-/ O& G�� ��%��� Y�� 0 N ������� �� �� V ��� � ����� Y ����� & G�� � ����� �(���� Y�� � ./ 1 23( , &

G]���� % &'( ) -- .�P * - .P,� �� %O�+NN ( ,& , ) - .PQ * � .OQ� �N !" " -O�+� .(& / O+ .- O * O.PUG���� V &OQ S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� O-i O& G�� ��%��� Y�� 0 N ������� �� �� V ��� � ����� Y ����� & G�� � ����� �(���� Y�� � ./ 1 23( , &

G] G����� % &'( ) P .,Q * , .++ , .-i * , .Ui� �� %O�+NN ( ,& , ) - .�� * � .-- - .-/ * � .-i� �N !" " -O�+� .(& / - .+ O * - .O/ - .-P * - .i OG���� V &O+ S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� O-+ - & G�� ��%��� Y�� 0 N ������� �� �� V ��� � ����� Y ����� & G�� � ����� �(���� Y�� � .- 1 23( , &

� �� � ������ � ������� �� ��� � �� ��� ��� /i

O.OP * � .O/G���� V &Oi S G�� %���( �� K"��(� !� ��%��� O-+ - &

G] G����� % &'( ) �- .P, * , .�i

�� .i� * - .i�� �� %O�+NN ( ,& , ) - .O� * � .OU - .�i * � .Oi� �N !" " -O�+� .(& / �

O.Q, * O.U,�� .P, * O.+/

G���� V &O/ S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� O-Q O& G�� ��%��� Y�� 0 N ������� �� �� V ��� � ����� Y ����� & G�� � ����� �(���� Y�� � .- 1 23( , &

� .UU * � .O-G���� V &OU S G�� %���( �� K"��(� !� ��%��� O-Q O&

// �������� � � � �� � � � �N � � � ��� � �� ��� �� ����

$ 2� 456 789b =5� ;>� 5 <B577;>� 85C9B

V�!� � ������ ' !�� � �����G� G] G� G]���� % &'( ) �

/ .,Q * O� .U+ � /U ./U * OQ ./, �� �� %O�+NN ( ,& , ) - .Ui * � .Q- � - .Q, * � .,U �� �N !" " -O�+� .(& / �i .PQ * U .+/ � +/ .O/ * Q ./- �

G���� V &-� S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� � Q- & G�� ��%��� Y�� 0 N ��������� ��� �� � Y�� WX Y ����� (���� � �(���� �! , .� 1 23( , & ' !�� 0 N �(���$(����� V ��� � ����� Y�� %��� (���� O 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ���� �� K-#X �,Qi�R !� -� %��(��� & ���������� ���� %������!( �� % ���( �%���� �� ��� G]���� ������� Y� � ��� � ����� �� &

V�!� � ������ ' !�� � �����G� G] G� G]���� % &'( ) Q .�i * / .++ + .QU * + .OO � �� �� %O�+NN ( ,& , ) - .+- * � .P, - ./P * � .,- � �� �N !" " -O�+� .(& / , .U/ * + .i+ Q .+ O * Q .O+ � �

G���� V &- OS ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� � Qi & G�� ��%��� Y�� 0 N ��������� ��� �� � Y�� WX Y ����� (���� � �(���� �! , .� 1 23( , & ' !�� 0 N �(���$(����� V ��� � ����� Y�� % ��� (���� O 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ���� �� K-#X � ,Qi�R!� -� % ��(��� & ���������� ���� ������� �� � ��#��Y� � ��( �� �( ��� � ������ �"������ !( ��� %���( �%���� �� ��� ��%��� &

� .U- * � .O/G���� V &-- S G�� %���( �� K"��(� � �!� � ������ !� ��%��� � Qi &

� ��� �� ���� ������ � ������� � ����� /U

V�!� � � ����� '!�� � �����G� G] G� G]���� % &'( ) �

� .�- * Q .i� O./- * Q .U, O+i .QP * -Q .�i OPi .i O * -/ .,/� �� %O�+NN ( ,& , ) , .OU * � .,P , .PU * � .QU - .QU * � .,i P .Q, * � ./-� �N !" " -O�+� .(& / �� .�- * Q .P+ O.U O * + .-� O,� .OP * Q .U+ -�� .+/ * O, .-U

G���� V &-, S ���� � � �N !" " ��� � �� !� ��%��� � +Q & G�� ��%��� Y�� 0 N ��������� ��� �� � Y�� WX Y ����� (���� � �(���� �! , .� 123( , & ' !�� 0 N �(���$(����� V ��� � ����� Y�� %��� (���� O 1 23( , & G�� ��%��� Y�� � ���� �� K-#X � ,Qi�R!� -� %��(��� &

# � .+Q * � .�QG���� V &-P S G�� %���( �� # K"��(� �! ��%��� � +Q &

V�!� � � ����� ' !�� ������� .U O * � .O/ � .Qi * � .O,

G���� V &-Q S G�� %���( �� K"��(� �! ��%��� � +Q &

U� �������� � � � �� � � � �N � � � ��� � �� ��� �� ����

��� ������ ��

ZO[ � & '� � � G & � �����Y� � � & ����� � � ' & � �% ��� � ��� � & M�%� � & ] ���� �K����� �Y ���� ����� (���� Y ��� � � ���� ������K����� Y�"��(��� �� � ���(��� ��� & �� ��� � �� �� ,- HO� J S/U,�/UP � OUU+ &

Z-[ D & \& '� �Y�� & � ������� �� ��������� ��� ��� �� � & ���� � ���E L��� ���� &� OUUi & �LVT �KPi OK OiQP�KP &

Z,[ '��� ]���� �� R� &� h�� & !����� ����� " ����� # $%&'(#)% &'(* &���� S++YYY &���� &��% +%��+��!�+',P,- O'^ O-OU &� �! &

ZP[ � & ' ����!� � � & � �������� � L & � & V����"���E� � ��� \& L�� & \����� �!������ Y ��� ���"� K������� ��� ����� ���� & �� ��� � �� �� ,+ HOUJ SO+,Q�O+,+ � -��� &

ZQ[ � & ' ����!� � � & � �������� � ��� � & V & ������ & \����� �! � ���� ������Y�"��(���� & -"# ���.� �� �� ��� ��. � /� ����� � -U S--i�-,P � OUUU &

Z+[ ���� � ' ����!� & 0 ���1 �2 � ���� ����������. 3�4�1��.�� & \�^ ������ �RM� � ^ ����� G�������� W��"� ���E� -��� &

Zi[ � & \& V� �� ��� ��� T & � & h�Y���E& ^E��% ��� �! ��� !� %������! V ��� � ������ �� �� %����������� ������� 0� � � & -� � 5�������iU H,J SOUP� OUU � OUU� &

Z/[ \& V ���#��Y ��� � � & g( � ��� L & 6 ��% ��� & � ���0 ������ �! ��� ��� �K� �� �������� ��E �� � ���� ������ 0� � � & 0 ���� �2 "07 � !/� 7� ���� ����"���� � 2 �� -� ��� �1 �� �����1 � P- O+ SO-U� O,/ � -�� O&

ZU[ ' & V��#�"�� � L & X & R�� � �#�" � � & F & G�E�� � h & D (�� KT ������ � ���M & ' & h�" ��� & ^ � ��� ������(�(�KY�"� %���( �%��� �! 8 N �� "� ��(��E� �� �! ������%%(�������� 0� � �� O.QQI� & -� � �� �� - OH-P J SOU++�OU+/ � OUU+ &

ZO�[ ^ & � & R���� & ���.�� �� �� �2 ��1 �� �����1 ��� ��� �1�� ��� & '������K�����E� OUU, & �LVT �K-� OKQ++ OOKi &

ZOO[ M���Y�"� R� � � ����� & �6M D ������ P &� & ���� S++YYY &����Y�"� &��% + &U O

U- � ��������� �

ZO-[ \����� ^����� & R E����� �"� & YYY &������� &��% &ZO,[ � & 6� �� ��� � & L"����� � & LE%%�� ���� Y�"��(��� ��"���� !�� ������

�E �� ��� WX Y ����� & 7 0/� �� � !��/��� �� �� OP H-J SOi,� OiQ �-��- &

ZOP[ � & 6� �� ��� � & L"����� � & WXKY ����� Y�"��(���� Y ��� � ���� ��������� & 0 -�#� �'��' � 6'Q Sii� iU � -��- &

ZOQ[ � & 6���K\��� ��� ��� � & � �������� & \����� �! � ���� Y�"��(���� �E �%����K���(��� � �� �������% ��� & #���� �. 2 �� 5� -� ��-0 � -��, &

ZO+[ ^ & 6 ��%��KV�����#�Y �#E ��� � & h��� ����� & R�� �� � ���� � � ������ ��� �� %����K��� ���K�� ���K������� H�TMLJ �� (��( �� & ����� �2 #�� �0 /���� P� H/J S,,�i�,, OU � OU+U &

ZOi[ ^�" 6 ��%��KV�����#�Y �#E& G�� %����K��� ���K�� ���K������� H�TMLJ� ������� K��� ���� ������ ��� ������������ & 0 ���� �2 / � 7 �Q/ H/J SO-�i� O- OU � OUi� &

ZO/[ G & 6(� �Y� � � � & G�#������ � ��� ' & � & �#(���%� & ^���E ����" ��( �! ������K� �� �������� ��E �� D�MNKL�MN ����� � ���� Y ��� WXK� �������� & �� ��� � �� �� ,, HOOJ SU/��U/- � OUUi &

ZOU[ G & 6(� �Y� � � ^ & ���� � � & ��� � L & 6 ��% ��� � L & \���� � ��� � & L����� &] ���� �K����� %��(������ �� �� % ����������� 0� � Y ��� WXK������� � ��K��� & �� ��� � �� �� , OHiJ SQi,�QiQ � OUUQ &

Z-�[ T & D����(� � L & h�� ��� � � & ,(�(�%���� � D & � � ������� � ���\& V� ���� & � ���( �% ��� ��� ����(������ �! ����� ��� ����"� �$���� ��� �Y ��K���� ������ ����� 0� � & ����� �2 / � -� � "���� � �2 #� ����� � �Oi HOJ SO�Q � -��� &

Z- O[ 6 & � �� � � � � & �� �� ���� � � & ������ � ��� ' & � & L��% ��� & ] ���� ����� ��#��Y� �� ��K��� �� ������ ����� 0� � � & 7� � ����� �2 -� ���� ��� ��Q HP J S,+,�,++ � OUU� &

Z--[ ^ & \& � ��� ��� \& L� & F(����� & \�������(��� �! ����"�K����� ��������� �� %����������� 0� � � & -� � �� �� OQ H-J SO�-� O�P � OUU� &

Z-,[ ] & � ���� & -� ��� & '������K�����E� OUU/ & �LVT �K-� OK,�P-QK- &Z-P[ � & M & � ��� � � & 6(� �� � ^ & R & ������� � ��� V & L & � �Y���# � & \���������K

��" ��E �� ������� 0� � Y�"��(���� S '���������� �� �������� 0 ��� !�� �K������ & #�� � 0 /�� � �� �� ,- HO� J S+Pi�+PU � OUi/ &

Z-Q[ � & M & � ��� � V & � ��� � 6 & V ��� ���( � ^ & R & ������� � ��� � & ' �� � � & V ���� ������ !�� ������ �� %���%��� ������������"� ������� 0� � �E WX

� ��������� � U,�����( � �� �(�� � ����� %��# & #�� � 0 /�� � �� �� +- HO� J SO�,Q� O�,i �OUU, &

Z-+[ � & � �(��� � ^ & �(�� � ��� � & � �������� & L� ��� ��%���� V ��� � ��K���� !� �^� ��� ��������� & 7 0/� �� � !��/��� �� �� O� HP J SQQ-�QQP � OUU/ &

Z-i[ � �� � � �(��� & 7�.�� ��1 �� �����1 3 � / � ��� �� �1/ & \�^ ������ �� �# ����#� ���# R��� �� � ^����� G�������� W��"� ���E� OUU/ &

Z-/[ � & ����� � � & g ( � ^ & ���� � � & ������ � ��� L & 6 ��% ��� & D �Y�� �������E �! ��� ����� ������ �$��� �� ��� %���E ����� V +D� ����� �� 0�� &����� �2 � �1/ 3�4� !��/ �� Oi H+J SO�,i� O�P O� OUUU &

Z-U[ ���� � V� ^�%% ������ & �� 3�� ��1 �2 �.4����. � ��11 1 �� ��1 � ���� ��� 3 �4�1��.�� & \�^ ������ � RM� � ^ ����� G�������� W��"� ���E�-��- &

Z,�[ � &K� & � ��� � ^ &K� & � ��� � R &KL & ���� � ��� R &KD & � �% & L�%(������(�%����� ��� �! �� ��� ��� ��%�� ��( � �( ��� ��� �!�� �( � �! (��E% K%�� �� ��%������ ��% ����� (���� 0� �K����� ����� � & "� �� � � �������. " ��� ���� � O- HOJ S-U�,Q � -��, &

Z, O[ F�%�� � ���E�� & � ���� � ��11 1�� ��1� & ' ����% �� \ ��� � OUUU & �LVT�K O-KP��Q+�K/ &

Z,-[ \& D & � �����#E ��� \& L� & � & F(���� & G�� %���E � ���� ����� S 6 ����K������� �� 0��� � � ������ ��� ����� -� � 5������� OO� S+ OO�+ OP � OUUP &

Z,,[ L & � ������ & M������ ������K�� %���� ���� ����� �E ����� �����E � ��� �������� �� �� %���� & 7 ����� �2 $��� �� �� ��� �� ,]KQ HO-J SQ+-�Q+/ �OU+U &

Z,P[ � & �������" ���� ��� \& ��� & F����������� � ��Y��� �������� ����K� ��� ����"� � � �$���� ��� ���(���K������ & 0���� �2 "07 � !/� 7� ����� ���� "���� � 2 �� -� ��� �1 �� �����1 � i,U S/-�/+ � OU/i &

Z,Q[ � & L & � �% � F & � & L����� � � & ' & F��� � ��� � & � & ,(�� & � ���( �%����! ��� �������� ����� �! ������K�� � ��� ���� � ����K���!��� 0� � � & -� ��� �� OU HP J S-Qi�-QU � OUUP &

Z,+[ � & � �������� & W �� �" �� ���K�����K���(��� � � ������ �� �� %���(% K��� �������� & 0/��� � �4� � � +P HOP J SOPP-� O� O� OPP-� O� O- � -�� O&

Z,i[ R & h�( ���Kh(�� & M� ����� & \ �� �% (��� �� ����(���� ��� ����#���� �!��� % �� �� ��� ��E� � &

Z,/[ \& � & h�%�� � & F����� ����E �! ������� 0� � � ��� ���� �� �E� ���� S � ����K���� �! ����K�� % ���� ��� ����� & -� � �1 �� ,� HP J SO�+-� O�iO� OUU O&

UP � ��������� �

Z,U[ \& � & h�%�� � � F & � & '�#��� � X & � �� ��� � ��� � & ' & F��� & � ��� � ���( � N ������� �� � ������(� !� �����" ��� (�� ����� WX ������������" ��E��� ��� %�� �������" ��E �� � N ��� �� ������� 0� � � & �� ��� � �� ��-U HO,J SOOU O� OOU, � OUU, &

ZP�[ ' & h �( � � & ^ ������� � ��� D & � ��� & ^R � � ���� ����� �� ������ S ���� E��� ��� � �%��� & 0���� �2 "07 � !/� 7� ���� ���� "���� � 2 �� -� ��� �1 �� �����1 � ,QP- SO�-� O�i � OUU/ &

ZP O[ ' & R & h�( � � & � & 6 & ^ ������� � ��� D & L & � ��� & � ���( �%��� �! ��� ^R� � ��� ����� ��� ����"� ����� %��(������ �� ������ & ����� �2 / � -� �"���� � �2 #� ����� � � O/ H-J SO/i� OUP � -�� O&

ZP-[ g &KR & h��� ��� L & F & � & V (��# & h� ��K������ ����� ��� ������ Y ���� � ���� ����� ������ 0� � & 7 0/� �� � !��/��� �� �� U H+J Si+i� i+U �OUUi &

ZP,[ R & � & � � �#% ��� � � & ' ����!� � ��� � & � �������� & � ���( ��� � �����K���(��� �������� ����� �� D� SL�MT Y�"��(���� (���� � V ��� � ��K��� & -� ��� � ���� 5�������� ��� 5��2 ������� G��� & ^ �� &S�^^UP�O��^^UP�, � -�� O&

ZPP[ R & � & � � �#%��� � D & D���E� � & F�� � ��� � & � �������� & V ��� � �������� � �� �� �� �� �� % ��� �������� ����� ���(��� �E ��� %�� � ����� & � ��111�� ��1�� 0/� ������ �4� �� ��. 0 ���1 �� � ��� ��4�1��.�� ���2 �������G��� & ^ �� &SV6R,� O�V6R,�, � -�� O&

ZPQ[ R & � & � � �#%��� � F & L��% � � & F�� � ��� � & � �������� & ���� � ��������! ���� � ����� �$���� Y ��� ��� � ��!���% �� & ���� ��� 5��2 ������ ��7� �1 �� �. -� ��� � OS,� O�,�P � -��, &

ZP+[ � & � � �(��� � 6 & R & D� ��� � ] & T & � � ��� � h & R & D(���� X������ �V & h����� � 6 & h�( ��� � ��� � & R & L & R� "���� & \���� ������� & ��"� � � �� � -, HOOJ S, O�,Q � OUU/ &

ZPi[ \& X & L & � � (�� � � & F & V��� � ' & � & \& h���� � ��� � & L & ' �������� &L�%(������(� WX �� ��� Y ����� �! ������� Y�"��(���� ��� V ��� � ��K���� �� D� %���(%K��� �� � ���� ������ & 7 ����� �2 ���� �. �� ����� $��� �� �� ��� �� / H+J SO, O+� O,-- � -��- &

ZP/[ L & � ���(%��� � G & 6(� �Y� � � � & L��� � � & � � ��� � � & M��% � � ��� ' & � &�#(���%� & R E������������ ��� ������� ��� ����� ��E �� D�MN

�L�MN

����� ����� Y ��� ' 6 ����%� K���� � �������� & ����� �2 #�� � 0 /����// HO-J S+UU,�+UU+ � -��� &ZPU[ � ��� ] �# � ������� & \ ���%�K�������� � �Y �� � ��%�������� � ��� �! ��K

��"� ����� �! ������� ��EK��� ��� 0 �% � & ����� �2 #�� � 0 /�� �� ii HO-J S++ O+�++-, � OUUQ &

� ��������� � UQZQ�[ D & � ���� � � & � & � � �E� ��� � & � & D ���� & 6� % ����� �! V ��� � ��K

���� �� ������� 0� � � �E � � ���"� �� ����� ����� %����� & -� � �� ��OP HOQJ S/-,�/-Q � OU/U &ZQ O[ ^�(���� V & � ( ��E& ���.�� �� �� �2 �1/ � �������� � ��. ��� ������� �1 ��1 & � ���EKh ��� � ��� &� -�� O& �LVT �KPi OK-Q,U OKg &ZQ-[ F & ' & � E� � � g &KR & h��� � ��� L & F & � & V (��# & F����� ��"����� �� ���

������K� �� �������� ������� � �� � ���� �! �%� ���(� ������ %��� �K��� & 0 ���� �2 "07 � !/� 7� ���� ���� " ���� � 2 �� -� ��� �1 �� �����1 �--/U SU/� O�U � OUUP &

ZQ,[ F & ' & � E� � � T & � (#�� � �� � ��� L & F & V (��# & h� �� ������K� �� �������� ��E �� � ���� !(��� ������ & -� � �� �� O+ H--J SOi,-� Oi,P � OUU O&

ZQP[ F & ] & T�Y���% � � & L(��� � F & � �%�� (� � � & L( � ��� , & � & ���� &] ���� ��� ������ S T������� ����� �%��������� ��(����� �� ����� ��K����� ��� & ����� 0 /��� 5/�� � � � O� OHP/J SO� OP O� O� OQ� � OUUi &

ZQQ[ ' & M������ ��� � & � ���� & � ���� � ��11 1�� ��1� � 2 ��.�� �� �� ��.��� ��� ���� �� ����������� ���� ��. ������1 & ' ���� ��(�� � ��� &�OUUU & �LVT �K/U��+K,PPK, &

ZQ+[ ^ & h & \����� � ^ & � & \��#��% � ��� � & V ��� & � ���( �%��� �! ��� ���K����� ����� �! �! ������ � � N � !� "� ��(� 0�� �E��� & -� ��� � ����5�������� ��� 5��2 ������� G�( ���E SO/P� O/+ � -��� &

ZQi[ V & \�(%����� � � & F ���� � \& T ��E� \& V� ���� � ��� � & 6 & V�E�� & WX���(��� �����0 ������ �( ��� V ��� � ����� ���� ������ �� D� SL�MN � �K!� % � S ���� !� �%�� �� % �� �����E ��"����������� & -� ��� � � ����� �P H-J SP�P�P�U � OUUQ &

ZQ/[ \& T & \ ���� ��� ^ & � & � �����% � & 7� ��.�� ��� � ����� ��� �� ����� �� � �� � ������ ��. ���� ��� & ���� � ���E L��� � ��� &� OUU O&�LVT �KPi OKQ OQ+-K� &

ZQU[ � & F�� � R & � & � � �#%��� � � & ' ����!� � ��� � & � �������� & G�� %���E� ���� ������� Y�"��(���� Y ��� � ��� �������K����� ������ ����� � ������$��� & 7 0/� �� � !��/��� �� �� OP HQJ S+,U�+P O� -��- &

Z+�[ � & F �� � R & � & � � �#% ��� � F & L��% � ��� � & � �������� & ��� ���������� �K����� �$��� �� � ���� Y�"��(���� Y ��� � ��� ��K� ������ ��E� &L(�% ����� !� ��� V ��� � ������ � \�����������" ��E� ��� \����� �� D������"��(���� ���!� ���� � -��, &

Z+ O[ V & ] & ' & L���� ��� � & R & G���� & ���.�� �� �� �2 � /� ����� & ����� ���E L��� � ��� &� OUU O& �LVT �KPi OK/,U+QKQ &

U+ � ��������� �

Z+-[ � & L���#� ��� � & M�%� � & \����K%������ �(% K! �(���E ����� �� �������0� � � & #�� � 0 /��� �� �� ,U H+J SP++�P+/ � OU/ O&

Z+,[ �� �� L������ & � ��� � � � ���� � ��� ��� ��. � ��� �� ��� & L� ���� KX� ���T�Y �� # � ��� &� OUU O& �LVT �K,/iKUi,U+K+ &

Z+P[ � & 6 & L���#��!� � � \& h & L�(�� � ��� F & � & 6(� ��� & L��(� ����E �! ������� ����� & � � & �� � T� � ��� N �� !(��� ������ & ����� �2 #�� � 0 /����P, HP J SO+ OU� O+-+ � OUi- &

Z+Q[ � & L���� & ���� ������� �! �E� ���� ��� ��(�� �(% Y ��� ������ �������0� � � S ' �"��Y & ����� �2 � �1/ 3�4� !��/ �� hGKQ HQJ Si O-� i,, � OU/i &

Z++[ � & L(� � � & � & R�� � ��� h & ] & R ��� & ] ���� ��� ������ �$��� �� ����� &� � ���� �� ��� � P H/J S,-U�,,+ � OU/+ &

Z+i[ � & L"����� � & \� ����� ��%%(�������� Y ��� � & L"����� � & -��, &Z+/[ � & L"����� � & ]$��� �! ^N �(���$(���� �� �� ��� WX Y ����� �! �������

Y�"��(���� & �� ��� � �� �� ,Q H- OJ SO/P�� O/P- � OUUU &Z+U[ F ���� � LE% � ��� ���� R����� & -� ��� 1��.�. 3�4�� ��. .�4���� &

� �DF'� K� �hh V��# R�%���E ]( �� � � OUU- & �LVT �K��iKi�iP-QKP &Zi�[ � & � & h�( � h & �(�� � h & % & ��( � � & �( � ��� R & � & ��� & L� ��� %���K

�� ��� �� 6F\ ��% ������ ��� ���� ��� � ��% � (���� 6VD ����� � & 5������� � " ��� ���� � Q OHOJ SU�-� � -�� O&

Zi O[ R-X R������ �� X��(%� & M�E%��M� & YYY &�-" &�� &Zi-[ ' & h & R & G �(�� � R & � & V & R� ��� � � X & V����� �� � � V & h����� � � & � � K

�(��� � ��� � & R & L & R� "���� & ^�� ������ ����� �� ��� %���E � ���� !(��������� & #�� � 0 /�� � �� �� i+ HO/J S-PU+�-PU/ � -��� &

Zi,[ � & "�� G( ���(� & !/��� � � � ���� �. .���/��1 � �2 � ��� �� ��� �� � &] ���" �� L������0 � \(�������� R�%���E� OUiQ & �LVT �KPPPKP O-U�KQ &ZiP[ � & "�� G( ���(� & �� �� � & L� ���� KX� ��� V� ��� ������� � � � OU/� &

�LVT �K,/iK�UQi�KQ &ZiQ[ � & X������� �K\�%%� & � �� ����� ������� �2 �� ��� � ���� 3 � / ����������� ���� � �� �� / � ��2 ��� �4� ��.�� � ��� �& \�^ ������ � ] ���� �K

%�������� ���� &� ^����� G�������� W��"� ���E� OU/U &Zi+[ ^ & ���� � � & g ( � L & 6 ��% ��� � � & ����� � ��� � &K� & h� & 6 ����K�� ����K

� ���� 0��� �� ��� %���E � ���� 0� � � & -� ��� � ���� !��/���1� � Q H-J S-,Q�-P O� OUUU &

� ��������� � UiZii[ � & g � � & g ( � & ��( � h & h �( � h & g( � � & ���� � � & '$������� � ���

L & 6���� & L�����K� �� ������� �������� ��E �� �(�# \�M �VNM � ����� &-� � 5������� - O� H,�+J SP++�P+/ � -��- &

Zi/[ � & g ( � \& V ���#��Y ��� � L & 6 ��% ��� � ��� ' & R�������� �E& 6 �� � � ��K��� & � ��11 1�� ��1�� 0/� ������ �4� �� ��. 0 ���1 �� � ��� ��4�1��.�����2 ������� G�������� ^ ����� SV6R O� O�V6R O�, � -�� O&

ZiU[ � & g ( � \& V ���#��Y ��� � L & 6 ��% ��� � ��� ^ & G��� & L��� ����E �! ��� �������! ��� ��� �K� �� �������� ��E �� ������ 0� � & -� ��� � ���� 5��������� ��� 5��2 ������� ��������E S�� P� O��� P�, � -�� O&

Z/�[ ^ �� '�#� �(�� & 7� �1 �� �. �� ��� .�4���� 2 �� 3�4���1 / .�4������� �� �� ��1 ����1 0 5�* ��. .���� ���3�� ��1 ��/������ & \�^ ���K��� � RM� � ^ ����� G�������� W��"� ���E� OUUU &