8/13/2019 SEM dan EDS

1/28

SEM + EDS

Maria Oktafiani140310110018

8/13/2019 SEM dan EDS

2/28

Mengapa ada SEM dan EDX

?Pada dasarnya, banyak metode yangdapat digunakan untuk penggunaan

observasi benda/material dalam skala

nano, mulai dari kaca pembesar,mikroskop, sampai digunakanlah

metode yang memanfaatkan sifat

respon material terhadap cahaya

8/13/2019 SEM dan EDS

3/28

Mengapa ada SEM dan EDX

?Ukuran benda yang ingin diamatimemiliki ukuran yang semakin kecil dan

tidak kasat mata, misalnya dalam

ukuran ratusan nano meter dimanadisitu terdapat informasi penting yang

harus didapat demi analisa kuantitatif

dan kualitatif suatu bahan

8/13/2019 SEM dan EDS

4/28

8/13/2019 SEM dan EDS

5/28

8/13/2019 SEM dan EDS

6/28

8/13/2019 SEM dan EDS

7/28

SEM (Scanning Electron

Microscope)Prinsip:Scanning Electron Microscopy with (SEM) adalah suatu jenis

mikroskop elektron yang menciptakan berbagai gambaran dengan

memusatkan suatu berkas cahaya energi elektron tinggi ke permukaan

suatu sampel dan sinyal pendeteksian dari interaksi elektron dengan

permukaan sampel. Jenis sinyal terkumpul dalam suatu SEM bervariasi

dan dapat meliputi elektron sekunder, karakteristik sinar-rontgen, danhamburan balik electron. Pada penggunaan mikroskop elektron

merupakan berkas cahaya elektron yang dipusatkan untuk memperoleh

perbesaran jauh lebih tinggi dibanding suatu mikroskop cahaya

konvensional ( gambaran di atas hanya mempunyai 100x perbesaran.

8/13/2019 SEM dan EDS

8/28

SEM (Scanning Electron

Microscope)

Spesifikasi :a. Perbesaran hingga 100,000.

b. Maksimum 30 K.V..

c. Kemampuan Resolusi 3.0 nm.d. Detektor BSE dan SEI.

e. Topografi, Komposisi, Gambar

Bayangan.f. Kawat pijar elektron Lap-6.

g. Dihubungkan terkomputerisasi

Dengan web.

h. Windos ( Xp) Microsoft.

8/13/2019 SEM dan EDS

9/28

SEM (Scanning Electron

Microscope)

Aplikasi(Analisa sampel):

1. Sampel padat: Logam, bubuk

kimia, kristal, polymers, plastik,Ceramic, fosil, butiran, karbon,

Campuran partikel logam, Sampel

Arkeologi.

2. Sampel Biologi: sel darah, produk

bakteri, fungal, ganggang, benalu dan

cacing. Jaringan binatang, manusia dan

8/13/2019 SEM dan EDS

10/28

Microscope Optics v.s SEM

Untuk mengamati objek dengan

ukuran mikron dapat digunakan

M-Optik

Untuk objek dengan skala sub

micron (nm) dapat digunakan

SEM-TEM

croscop e ron;Jenis microscop

yang mengunakan

berkas elektron untuk

mendapatkan image

sample

ScanningElectron

Microscopy,

Microscope

Electron yang

memotret material

berdasarkan interaksi

elektron dg

permukaan material

8/13/2019 SEM dan EDS

11/28

Interaksi Berkas elektron dg

Sample Sinar pada SEM

8/13/2019 SEM dan EDS

12/28

Prinsip Peralatan SEM/TEM

Electron

8/13/2019 SEM dan EDS

13/28

Komponen Basis Pada SEM

8/13/2019 SEM dan EDS

14/28

Gambar Teknis

8/13/2019 SEM dan EDS

15/28

Peralatan SEM

8/13/2019 SEM dan EDS

16/28

Kelebihan dan Kekurangan

SEMKelebihan

- Preparasi sample cepat dan

sederhana

- Ukuran sample yang relatif besar- Rentang perbesaran yang luas:

3X -150,000X

Kekurangan- Dibanding TEM resolusinya lebih

rendah

- Memerlukan kondisi vakum

8/13/2019 SEM dan EDS

17/28

SEM-EDX; SEM-Energy

dispersiveSEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energianalisis yang

dilakukan dengan menggunakan SEM.

Dapat digunakan untuk analisa unsurSpot yang diamati

http://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhiZukc1LDZpfad1pnwhM-t3vi6wDAhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhiZukc1LDZpfad1pnwhM-t3vi6wDAhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQ

8/13/2019 SEM dan EDS

18/28

Introduction to Energy Dispersive X-

ray Spectrometry (EDS)

EDS menggunakan prinsip penggunaan emisi spektrum olehsinar X oleh suatu sampel yang ditembakkan elektron. Namun

tidak semua unsur dalam tabel periodik yang dapat di deteksi ,

hanya untuk atom ber nomor atom 4 sampai 92.

analisis kualitatif melibatkan identifikasi garis spektrum olehsinar X. sedangkan analisa kuantitatifnya diukur dari intensitas

garis di tiap unsur yang diamati

8/13/2019 SEM dan EDS

19/28

Energy Dispersive X-ray

Spectrometry (EDS)

Sample Excitation by X-Ray Tube

8/13/2019 SEM dan EDS

20/28

Benchtop Energy-Dispersive XRF (EDX)

8/13/2019 SEM dan EDS

21/28

X-ray Generation

Two basic types of X-rays are producedon inelastic interaction of the electron

beam with the specimen atoms in the

SEM:Characteristic X-rays result when the

beam electrons eject inner shell

electrons of the specimen atoms.Continuum (Bremsstrahlung) X-rays

result when the beam electrons interact

with the nucleus of the specimen atoms.

8/13/2019 SEM dan EDS

22/28

Characteristic X-rays reveal themselves as

peaks imposed upon a background of

Continuum X-rays.

8/13/2019 SEM dan EDS

23/28

Characteristic X-ray production :

Lubang di dalam

kulit K terdalam pada

atom ini terbentuk

oleh energi elektrondatang E0 yang

kehilangan energi

koresponding yang

ditransfer untukmenolak elektron .

Lubang di kulit K ini

lama kelamaan akan

terisi oleh elektron

8/13/2019 SEM dan EDS

24/28

Karakteristik X Ray

8/13/2019 SEM dan EDS

25/28

8/13/2019 SEM dan EDS

26/28

EDX

8/13/2019 SEM dan EDS

27/28

Daftar Pustaka

Bab_6_teknik_mikroskopi_SEM.pdfBruker.com (AXS, EDX, Vs WDX)

Introduction to Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS).pdf

SEM_Short_corse.pdf

EDS on SEM Primer.pdf

8/13/2019 SEM dan EDS

28/28

TERIMAKASIH