Download - SEM dan EDS

Transcript
  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    1/28

    SEM + EDS

    Maria Oktafiani140310110018

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    2/28

    Mengapa ada SEM dan EDX

    ?Pada dasarnya, banyak metode yangdapat digunakan untuk penggunaan

    observasi benda/material dalam skala

    nano, mulai dari kaca pembesar,mikroskop, sampai digunakanlah

    metode yang memanfaatkan sifat

    respon material terhadap cahaya

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    3/28

    Mengapa ada SEM dan EDX

    ?Ukuran benda yang ingin diamatimemiliki ukuran yang semakin kecil dan

    tidak kasat mata, misalnya dalam

    ukuran ratusan nano meter dimanadisitu terdapat informasi penting yang

    harus didapat demi analisa kuantitatif

    dan kualitatif suatu bahan

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    4/28

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    5/28

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    6/28

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    7/28

    SEM (Scanning Electron

    Microscope)Prinsip:Scanning Electron Microscopy with (SEM) adalah suatu jenis

    mikroskop elektron yang menciptakan berbagai gambaran dengan

    memusatkan suatu berkas cahaya energi elektron tinggi ke permukaan

    suatu sampel dan sinyal pendeteksian dari interaksi elektron dengan

    permukaan sampel. Jenis sinyal terkumpul dalam suatu SEM bervariasi

    dan dapat meliputi elektron sekunder, karakteristik sinar-rontgen, danhamburan balik electron. Pada penggunaan mikroskop elektron

    merupakan berkas cahaya elektron yang dipusatkan untuk memperoleh

    perbesaran jauh lebih tinggi dibanding suatu mikroskop cahaya

    konvensional ( gambaran di atas hanya mempunyai 100x perbesaran.

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    8/28

    SEM (Scanning Electron

    Microscope)

    Spesifikasi :a. Perbesaran hingga 100,000.

    b. Maksimum 30 K.V..

    c. Kemampuan Resolusi 3.0 nm.d. Detektor BSE dan SEI.

    e. Topografi, Komposisi, Gambar

    Bayangan.f. Kawat pijar elektron Lap-6.

    g. Dihubungkan terkomputerisasi

    Dengan web.

    h. Windos ( Xp) Microsoft.

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    9/28

    SEM (Scanning Electron

    Microscope)

    Aplikasi(Analisa sampel):

    1. Sampel padat: Logam, bubuk

    kimia, kristal, polymers, plastik,Ceramic, fosil, butiran, karbon,

    Campuran partikel logam, Sampel

    Arkeologi.

    2. Sampel Biologi: sel darah, produk

    bakteri, fungal, ganggang, benalu dan

    cacing. Jaringan binatang, manusia dan

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    10/28

    Microscope Optics v.s SEM

    Untuk mengamati objek dengan

    ukuran mikron dapat digunakan

    M-Optik

    Untuk objek dengan skala sub

    micron (nm) dapat digunakan

    SEM-TEM

    croscop e ron;Jenis microscop

    yang mengunakan

    berkas elektron untuk

    mendapatkan image

    sample

    ScanningElectron

    Microscopy,

    Microscope

    Electron yang

    memotret material

    berdasarkan interaksi

    elektron dg

    permukaan material

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    11/28

    Interaksi Berkas elektron dg

    Sample Sinar pada SEM

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    12/28

    Prinsip Peralatan SEM/TEM

    Electron

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    13/28

    Komponen Basis Pada SEM

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    14/28

    Gambar Teknis

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    15/28

    Peralatan SEM

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    16/28

    Kelebihan dan Kekurangan

    SEMKelebihan

    - Preparasi sample cepat dan

    sederhana

    - Ukuran sample yang relatif besar- Rentang perbesaran yang luas:

    3X -150,000X

    Kekurangan- Dibanding TEM resolusinya lebih

    rendah

    - Memerlukan kondisi vakum

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    17/28

    SEM-EDX; SEM-Energy

    dispersiveSEM-EDX adalah nama -dispersive X-ray spektroskopi energianalisis yang

    dilakukan dengan menggunakan SEM.

    Dapat digunakan untuk analisa unsurSpot yang diamati

    http://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhiZukc1LDZpfad1pnwhM-t3vi6wDAhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_Electron_Microscope&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhiZukc1LDZpfad1pnwhM-t3vi6wDAhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQhttp://translate.googleusercontent.com/translate_c?hl=id&sl=en&u=http://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy&prev=/search?q=SEM-EDX&hl=id&client=firefox-a&hs=5t6&sa=G&rls=org.mozilla:id:official&channel=s&rurl=translate.google.co.id&usg=ALkJrhjdEvB0OVB680jnjq6lFsaXT-QSBQ
  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    18/28

    Introduction to Energy Dispersive X-

    ray Spectrometry (EDS)

    EDS menggunakan prinsip penggunaan emisi spektrum olehsinar X oleh suatu sampel yang ditembakkan elektron. Namun

    tidak semua unsur dalam tabel periodik yang dapat di deteksi ,

    hanya untuk atom ber nomor atom 4 sampai 92.

    analisis kualitatif melibatkan identifikasi garis spektrum olehsinar X. sedangkan analisa kuantitatifnya diukur dari intensitas

    garis di tiap unsur yang diamati

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    19/28

    Energy Dispersive X-ray

    Spectrometry (EDS)

    Sample Excitation by X-Ray Tube

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    20/28

    Benchtop Energy-Dispersive XRF (EDX)

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    21/28

    X-ray Generation

    Two basic types of X-rays are producedon inelastic interaction of the electron

    beam with the specimen atoms in the

    SEM:Characteristic X-rays result when the

    beam electrons eject inner shell

    electrons of the specimen atoms.Continuum (Bremsstrahlung) X-rays

    result when the beam electrons interact

    with the nucleus of the specimen atoms.

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    22/28

    Characteristic X-rays reveal themselves as

    peaks imposed upon a background of

    Continuum X-rays.

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    23/28

    Characteristic X-ray production :

    Lubang di dalam

    kulit K terdalam pada

    atom ini terbentuk

    oleh energi elektrondatang E0 yang

    kehilangan energi

    koresponding yang

    ditransfer untukmenolak elektron .

    Lubang di kulit K ini

    lama kelamaan akan

    terisi oleh elektron

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    24/28

    Karakteristik X Ray

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    25/28

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    26/28

    EDX

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    27/28

    Daftar Pustaka

    Bab_6_teknik_mikroskopi_SEM.pdfBruker.com (AXS, EDX, Vs WDX)

    Introduction to Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS).pdf

    SEM_Short_corse.pdf

    EDS on SEM Primer.pdf

  • 8/13/2019 SEM dan EDS

    28/28

    TERIMAKASIH