Download - Nanotribology of carbon based thin films: the influence of film structure and surface morphology

Transcript

����������� �� ����� ����� ���� ���� ��� ������ � �� ������ ���� ��� ����� � ��������

�� ����� �� ��� �� �������� ���� � ����� �� !� "����

� ����� ����� ��� � �������� ������ ������� ����� ����� ��� � ��������� ������ ����� ����� ��� ����� �!"#$������

�� ����� # $���� %&&&' � ����� ��� ���� ����� %% (� ����� %&&&

��������

)�� ������� � �������� �� ����� ����� ���� ��� �� ������ ������ �� �� ����� ���� � ����������� ���*

�������� ���� ���� ��� ����� � ��������� +� ������� ��� ���� ������������ �� ���� ��������� ��������� �����

��� ����� ������� ,���- ���� ��� ���� ����� ��� � �� ��� ���� +� ������� ��� ��� ���� �������� �� ����� ��� ��

������� .��� ����� ���� ���� ��� ����� � �������� ������� ���� ��� ������ ���������� ����������� +� ����� ���

����� ��� ��� ���� ��� ��������� ����� ���� ���� ������ ��� ���� ��� ��� ��� ���� �. ��� ���� ��� ��������

���� .� ��� ��� ��� ������ �� ����� �� ��� �� ��� ��� �� ������� �� ����� ����������� �������� ��� ��������

��� ���� ��������� � %&&/ ������� 0 ��� � "�1� $ ����� ���������

%�&!��� ' $���� ��� � �� ��� ���' �� ����' )������' ������' ��������' ����� � ������� ��� ���� ���' 0���� � ���� �����

��������� ��������� ��� ���������

� ���� ������

)�� ������������ �� ��� �� ������� ���� ����� ��� ��� ���� �������� �� ��2����� ����� �������� �� �� ��������� ��� ���� ���� ����������� ����� � ������ ���� ��� ��� �� ���*�� � ���� ������� (������*�3� ����� ,(4�-���� ��� ������ �5 ���� �� ����� � ����*������� �� � �� ��� ��������� ��� ������ ��*�� ������� ��� .��� �������� � ��� ���� ���������� 6/7� ������ ������� ,���- ���� ��� ����*

��� ���� ���� ����� ���� ���������� �3� �� ��*������ �������� ��� ����� ��� ��� � �.�� ��� ���� ��8 ���� 6%�97� :.�� �� ����� ���;�� ������*���� ����� ��� ���� ����� � .��� ���� �� ����* ������ �� ���� � ������� ����� ���� ������ ��������� ���� ���3� ��� ��� �������� ������6<�=7� �� � ����� �� ����� � ���� ������ (4�

��� ��� ���� ��� ���� �5 ���� ������� � ����� ���� � ����������� >� ����� ��� ��� ������ �� ����� �������� ��� ������ �� ���� ��� ��� ��5���������� �� ���� ���3 ������ ���� ���� ������.��� ���� �. ��� ���� ��8 ���� ��� �5��������� .��� �������� � ��� ��;����� 697� $��������� �2���� ���� ���� ���� �� ����� �� ��� ��� ��� ���� �� ����� ���� ��� ���� ������������ ��

0���� � 0 ��� � <?? ,%&&/- %=@9<

...����������A� ���A���

������������� ������� $������� �B 4� �!*/&/= 4��*

������ 0.��C������ �5� D</*%/*#E99#&<�

�(�"� ����� ' ����������F���� � ,�� �����-�

&&9E*#&%GA&/AH * ��� ����� ������ � %&&/ ������� 0 ��� � "�1� $ ����� ���������

B>>� 0&&9E*#&%G ,&/ -&&?&/*<

��� ���� ��� ��� ������� �� ��� ������� � ����*������ .��� ��� ���� ���� �� ��� ��� �� ��� ��� ���� ���� )� � ����� ���� ������������ �� ���� ������ �� ����� ��� ���� �� ��� ����� ��� ����0� � ������� ��� �5������ ��. �� ���� ����*�� ����� �� ������� �� ���� ���� �� ���� ��� �����������C�� ���� ����� ��� �������� ����� �� ����� ��� ��� ��� ���� ���������� �� ��� ���������I�������� ��� ���������� �� ��� ����� ��� ��� ��� ��� ,$ I- ��� ��.�� ��� �5��������������������� �� ��� ���� � ��C�� �� ���� ��� ���� � �����)��� .��3 �������� � ����� �� ��� ���� ��������

�� � ����� ��� � �� ��� ��2����� ��������� ����� ��� ��� ���� ���� >� ����� ��� .� ���.��. ��� ��.�� ���������� ��� ��� ���������� �������� ���� ���� ��� ����� � ���������� ��� ��� ������ � ��� ����������� � ��*������� �� ����� ��� �� ���.��� � ��� �� �������� ��� ��� ����� �������� ��� ����� �� ���.�� ��� ��� ��� ���� ��� ���� ��� ��� (4����� ��.����� ���� �������� ������� �������,!:BJ- ��� ��� �.�� ��� ����� ��� �� �� �������� �� ��������� +��3�� �� ��� ����� �������� .���� ������� �� .��� �� ������� .� ����������� ��� �� ������� �� ����� ����������� ����� ����� �� ��� �������� ��� ���� �������� �� ����������

� ������������

)�� !:BJ ����� �� ���� �� ���� ����� .��������� ����� �� ��� ���� ������ ��� �5����*����� $�������� ����� ���� ��� .��� ��.��� ����� ���� ���������� �� �� ���� ��� �� ��� ������ �� ��� ���� �������� �� � � /&�E )��� .������� ���� �� �� ��� ���� �4 � /�/% �A �%� �� ��*� ����� ���.���� 6#�?7� >� � �������� ����� 6#7 .����� ���� ����C�� ����� ��� �� K*��� �����*�� ���� ��� ���� ���� �� ���� ����� ��� ��� *���� ��� ��� ����� ��� ���� ��� ������� ���� ������ ��� ���� �� ��9 �������C����� .��� ��* ������ ���� ���� � ,9<L �� �4 � / �A �9 �� =9L�� �4 � /% �A �%-� )�� ��� ��� .��� ��.� �� �������� ���������� �� /&& � )��� ������ ������� ������� ������ �� ��� ���� &�% � � � &�9�

)��� ���������� ���������� �� �� �� ����� ������9� ������ ����� ���� 9#L �� =9L 6?7�)�� ����� �� � � ����� �� ��� ������ .��

����������� �� ����� �� �� ��*����� ��� *���� ���� I� ��*����� ������������ .��� ���*������ ���� � 4����� >������ (��� ��������������� �� ���� �� ��� ����� �� � ��. ��% ������� ��� .��� � .������� �� #99 �� ,!�@������- �� <=G �� ,$� ����-� ����� ������0���� � �������� ������� ��� ��� ���� ���� ��

��� ��� ���� ������������ .��� ��������� .��� ��$ I ,(���� >��������� ����� ��� >>>�- ����*���� �� ��� ��� �� ���� � ����� $ ���� ���� *���� � ���� .��� � ����*;������� ��������� �����.� ����������� ����������� �� ����� ���*�� ����� ��� ������� �� ��� ��������� �� ���� .����������� ��� ����� ��� �� ��� ����� ����*��������� +� ���� ��� �� ������� ��������� .���� 1*������ �����. �� ��� � ���� �� /&& ���)�� ��� �� ������� ���� ���� �������� ������������� �� ����� /& �� ��� � ������ ����� ��� � ������� � � &�9G �A�� +� ��������� ��� ���� ����� ��� ���� ������������ �� ����� ������ �� ��=& ��� .��� ����� ����� �� &�< ��A� ��� �� ��*���� ����� ��� �� /% �� �� ���������� ����� �@������ � ������ )�� �� ��� ��� �� ��� ����������������� ���� �� ��� ����@��� ������ .������������ .��� �� $ I ���� B��3 0 ������ >�*��������� ,���� $���B����)I I=-� ��� �;���*��� .��� � ����*;������� ��������� ���� +� ������ �������� /G& �� ��� .��� � ������ ���*�� ��� � ������� �� &�<& �A�� )��� ����������� � ��� �� ��� � ���� ����� # �� ��� ��� .���� ������ �� �������� �� �/& ��� )�� ����� �����.�� ��� �� % ��A� ��� ��� ������ ���� ��������� /= �� %& ��� .� .����� ��� .������ ��� ��������� 6G�E7� )�� � ��� � �� ��� ������� ����� ����� ��� �� �� ������ �� �.� �� ����� ����� ������ ����� �� ��� ����� �������� ,������ �������� ��������- �� ��� ��������� 0� ���� ��������� � �� ��������� ��� ��� ��8 �� �� ������������.��� ��� ��� ��� ��� ����� ����� �� �� � ������ ��� +��� ��� ��� ����� ���� ��� ���������� �������� ��� �� ��� ������ ��� �� ��� �� ������� .���� ���� ����� ������� �� �� ������� ��*��������� 6G7� !�.����� ������� ����� �� ��� *���� �� �� ���������� ;���� � ������ �� ������� ���� �������� ��� ��� ����� ������ � ����*

%# �) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/�

�������� ��������� ����� � ��� ��������������� ������ � �� ��� ��� ����� .��� ,���� �� � ���� �� ��� ���� .��� ���� �������� �� ��� ����� ����� ����- .�� �������� �� ��� ����� �� ����5���������� $ ��� �5��������� .��� ������ ����� ���� ����������� ��� �� ���� .��� � ��������������� �� <&L�

� �������

�)�) ����� �����

�� / ���.� ���� � ����� ��� ��� �� ���

,&�% � � � &�9- ���� ��� ��� �� �.� 3���� �� (4����� ��� .��� ��� ,=9L- ��� �. ,9<L- �������� ��9 �������C����� ,�� .��� ���.� .� ��� ����������� !(4� ��� 4(4�� ����� �����-� )������� ��� ���� �� ��� !(4� �� �5������ ����� ��� ��������� ����� ���3� )�� 4(4��� ��� ��� ��� ��� ���. � �� ��� ������� ���.�� .��� ������� ,�/9#& ��/-� )��� �� ������3 �� ������ �� ��������� �� ��� (4� ��� .����� ������ ��� ���� ���� � ����� ����������� )�����3 � ���� �� /==& ��/ ,��� ��* ��� J ���3� J

��� �������- ���������� �� ��� �������� �%���������� ���� �� �������*�3� ��������� )�� (���� ,( ��� ��������- �� ����� /9#& ��/ ���������� ��� ���������� �� ��� ������� ������ ��C����� �� �� ���� ���������� �� ������� �������� � �� ������������� � ������ ��9 ������ ������� ���������� 6/&7� )�� ( ���� ������� �� �������� ��C� �� ��� �������� ������� �� /=@%&�$ 6//7� ��� ���� ���� ��C�� �� �� ��������� �� ���� � �������� �� ��� �������� �� ����� ������C�� ��� ( ���� ����� ��� ���� ��� �� ������ ������������ $���C�� ��� ��� ��� �� �� / �� ���������� ��� !(4� ����� �������� � ���3������������ ������ .��� � ��5���� �� ��% ��� ��9

�������C����� 6/%7� >� �� / .� �� ������� ������� ������ �� ��� ��� ��� ����� ��� ������������ �� ��������� ��.���� � ���� ������� ���� *����� ����� ����� �� ��� ������ !(4�� 4(4���� ���� >� �� �� ��� ������ �� � ( ���� ��������� ��� ��C� �� �������� ������� �� �� �������� ���� %& �$ 6//�/%7� )�� ���3 �� ����� EG& ��/ ������ ���� ��� 0�� ���� ���� �� ������ ����� ������� � 0�A�� )�� ����� ��� ��� �� ��� ���

��� �� ��� ���� %&&&@%<&& ��/ ���. � ������3 �� ����� %%%& ��/ ����������� �� ������ ����� ��� ���� 6/97�

�)�) 0�1�2��13&

>� �� % .� ���. �� $ I ���� ������� ����������� �� � /� / ��% ���� �� � (4� ������

�� /� I� ��*����� ��� ��� �� (4� ��� ��.� .��� ����

���� �� �� 9= ��� 9 �A �% ��� ��� ��� ��.� .��� = �A �%

,���� ��� ������ �� ��� ���-� �� %� )��� � $ I ��������� ���� �� (4� ����

�) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/� %?

"���� �� �� � ����� ��� ������ � ����� ������� ���� �;���� ,���- �������� �� ������ ��

�� ��

����� �������

�%��

�/�%� �/�

.���� ������� �� ��� ������ �� ��� $ ����� �����

.����� � ���� ����� �� �� ��� ��������� $ ���� ���� �� ��� ������ �� ��5�� .����� ��� ���� �����)�� ������� ��� �������� �� %�&� &�= �$ ��� ���!(4� ������ ��� =�&� &�= �$ ��� ��� 4(4�������� )�� ��� �������� �� ��� ��� �� ���*������ �� %�&� &�= �$� ���� ���� ����� � ���� ������� ��� ��������� �������� �� ��� ����)�� ����� � �������� �� ��� ��� ��� ��

���.� ��� � � &�%9 �� �� 9,�- ��� ,�- �� �.������ ������� )���� ����� �� .� �� ��� ������������� ���� ����� ��� ��� ,&�% � � � &�9-����. ���� ��� ����� � �� ������ ������������� ������ �� ����� =& �� �� ��������� ���������� ��������� �� ����� �� ���� � ������������������� �� ���� ������� �� .� 3��.� �� ��� ����*����� 6/9�/<7� )�� �������� ��� �������� �� ��*����� �� ������ ��� ����� ����� �� �� ����

������� �� ������� ��� �� �������� �� ���� ������� )�� ��� �������� �� ��� ��� ������ �����.��� /& ��� /# �$� ����� ������ ���� �� ���(4� �������>� ����� �� ������ ���� ;����������� �������*

���� ����� ��� �������� �� ��� ����� ����������� .� ���� � ����� ���� ��� $ I ��*��� ��� �����@����� ��������� ��� ���� �,�-������� �� �� ������ � ������% ������ .���� ������� ����� ��� ��� ������ �� ��� ���������� � ���� �� ��� �� � ���� ��� ��� � ��� ��� 6/<7� )����� 3��� �� ���� ��������� ���� ��� � ������ ��*����� "� ���� ��� ����� � �������� �� ��������� �� �������� � �� ��8 �� �� � ���� ������*���������� ������� �� ��� �.�*���������������@����� ��������� ��� ����� $� ��� $ I���� � �� ���� ���� � �� �� � ��� �2� ��� ���� /������� ���� ��� ��. ���� ���� &� .� ��������� �,�-���� �� � �� ��5� ����������� ����� �������

����� � ������% �� ���� ��.� ��� � ���� ���� ������� ������� ��� �� ����� �� �������� 6/#7�

� � � � �

� /

�� �� � � ����

��/

����

��/� �� � � �� � � �� �� ��%�

�%�.���� ( �� ��� ������ � ���.��� ��� �.� ������ ���*���� ���� �� ��5� ������>� �� < .� ���. � ���� � �,�- ���� �������

���� (4� ������� .��� �� �� =,�- ��� ,�- .�

�� 9� $ I ��������� ����� �� ��� ��� .��� � � &�%9� �� <� )��� � �����@����� ��������� ��� ���� �,�- ���

(4� ����� ���

%G �) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/�

������ ��� ������ �������� ���� ��� ��������&�%9 ��� ��&�%G� +� ����� ��� ������ .��� ������ ���� �,�- ���� �� ��� ���� ���*�8�� ���� �����6/=�/#7

��� � %�%/� �5�������%���� �9�.���� ��� �� �� ��� ������� � .���� ��� ����*������ �� ��� ��� �������� �� ������ �� �;� ,/-�� � ���� ���� # ��� ��� � ������� ��� � �� �������� �� � �� ��� �������� �5������ ��� � �� �������� ��������� ����� �� ��� (4� ������.� �������� � � & 6/=7� �� �������� .��� ������������� �� ��� ����� � �������� �� �� / ���.��� ��� ������� ���� �� �,�-� )�� ��.�� �� ������ ���� ��� ��2��� ���� ��� ��.�� �� (4���� �� �� ��� �� .� ��. ��� .��� ���������� ��

������ ��� �� ���� �� ����� 6/?7� )�� ������� ��������� ����� � ��� ��� ��� ��� ,�/=&�/E&�$- ��� �� ��� ���� ����� �� �������� �� ��� ����� ��������� )��� ����� ���� ���� ���������. ��� � ��� �������� ���� � �� ���*�8������� ��� .��� ��� � ��� ���� ���� ���� ��� ����� ��������� ��� ������ ��� �� �������� ������ ����� � ������� �� ������ �� ��� ��� �� ���(4� ���� :���� ������� ���� ����� ���� �������� ��������� ����� ���������� ��������� ����*�� �� ���� ������� � ��� �� ���� ���� 6/G�/E7�

�)�) ��"�#"��

+� ���� ������� ����� �� ��� ����� ��� �� ��*�.��� �� $ I ��� ��� ��� ����� � �� ��� ���.��

�� =� )��� � �����@����� ��������� ��� ����� �,�- ��� ,�- ��� ��� .��� � � &�%9 ��� ,�- ��� ��� .��� � � &�%G�

�) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/� %E

����� ��������� !:BJ� (4� .��� ��2�������� ������ �� ��9 �������C����� ,9<@=9L- ������ .��� ��2����� ������ �� ������� ,&�% �� � &�9-� >� �� # .� ���. ����� ��� � ����� ��/� / ��% �� ��� ����� � �� � ��� �� ��3�� ��*���������� .��� ��� ��������� � �����>� �������� �� ����� ����� ���� ��� ������

��������� �� ��� ���� ��� � ,� -� .� ���� ��3��

���� ����� ��� � � ��� �� ���������� ��� ������������ �� � ��� ��2����� ������ �� � ��� ���� �������� ���� �� ��3� �� ��������� ����� ���*��������� .��� ��3�� ��� .��� ��� ���� ��� �������� ��� ���� ������������ ���������� �� ?,�-@, - ���.� ��� ��� ���� ��� �� ��� !:BJ�

��� ��� (4� ������� ����� ������ ������ �

�� #� )�������� � ���� ,���- �� � ��� �� ��3�� ����*

�������� .��� ��� ���� ���� �� ��� ���.��� ,�- ��� �� 3.���,�- � �� ���� ���� ,����� ��� ������ ���� ����� �����-�

�� ?� �� ���� ��� �� ��� ��� ������ �� ,�- ������� ,!:BJ-�

,�- ��� ��� , - (4�� �� � ���� �������� � � �� .���� �� =&

�� ��� �.� ��� � ����� ����������� �� ����.��� ���

�� 3.��� � ���

9& �) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/�

��� �� /% ��� �� �� � ����� � .� ���. ������.��� ��� �� 3.��� � �� .��� ��� ��� ���� ��� ����� ����������� �� ��� ��2���� � ���.��� ����.�� )�� ����� ����� ���� �� ������ ��� ����� �� �� ���. ��� ������ ������ ��� ���� ���� ����� ����� ��� ��� ������� ���� ��� ���� ��� 3 ������ �������� ���� .� �������� �� �� � ,��� ���.�����-� �� ��� ��������� �� ��� ������ ���� � ������ ��� ������� )�� �.�� ����� ���.� ��� ��� *���� ��� � �� �� ������� � �� ���� ���� ���� � �(4�� � � ����� � � ,!:BJ-� �����������.� ���� �������� ���� ��� ���� ��� �� ��� ����������� � ��� ��� ��2����� (4� ���� ������������� ��� ��� ����� �� ��9 �������C����� ,���� 9<L�� =9L-� )�� ��� ���� �� ��� ���� ��� �� � �������������� ��� ����)� ����� ���� � ����� ;����������� ������*

��� �� � ���.��� ��� ������� .� ���� ����������� ��� ���� ��� �� �� � ��� ���� �� ������ ����� �� G ������� ��� ��� ����@��� ���� ��� ��������������� ���� �� �������� ��� ��� (4������ ��� �� � ���� ����� ���������� �� ������ ����� ��� ���� ��� � ,� - �������� �� / �� �� �������� � �� � �5�� ������ ��� ,�4-� ��� �� ��������� �� ������ ����� )�� ���� ���.� ���� ����� ������ ���� �5���� �� ������� ������ ������� �� �������� ���.��� ��� ��� ��� ��� ����� 6E7�

����� ��� ��� ���� �� ��� ��� ����@��� �������������� ��� ��� ���� ��8 ���� �� �� ��� ������� $�������� �.� � � ��4� !�.����� �� ��� ����� � ����*�������� ���� �� $�������� �. �� ������ ���� ��� ��� ��� ����@��� ������ ��� �.����� ���. � ���*����� ��������� 0��� �������6E7 ���� ����� � � � � %�9

4 �������� � �� ��� ������������ ��� ���� �� ��� ��� ��� ���� ������������ ���������� �� ������ � �� ����� ������� ��� ��� ���� ������� ���.�� ����� ��� ��� ������� ��������� �4 ��� �� �� ���� ��� �� � ���������5�������� �� �� �2� ���� ��� � �� � �4 � �&�.���� �& �� ��� �������� ��� � .�� � �� �� ����* ��� �� ���������� �� ��� �@������ � ������ $����.� �� �� G� .� ����� � ����� �������� ���������� ��� ��� ���� .������ ��� (4� ���������� �� �5 ���� �������� .��� ��� � � � %�9

�. 6E7� 0�� � .� ���� ��� ���� ��� �� � ���������������� ��� .� ��� ��� ������� ������� ��.���� ����� ��2����� ��� � �.� ��� ������� ��� ����� ��2����� ����� � �������� �� ��� �������)�� (4� ���� �� �� �� ������� � ������ ����������� � �� ��������� .��� ��� ��� ��� ��� ���!:BJ ����� � ��� ��� ���� ������ � ���� ���� ������ .��� ��� ��� �� ���� �3���)�� ��� ���� ��8 ���� .�� ���������� �� �

����� ��������� �� � ������ �4' ���� ���.�� � �������� �� �. ���� .��� �5 ���� �� ��� ���*������ �� ��� ����� +� ���� ������� ��� ���.�������� ��� ��� ��� ���� ��8 ����� � � �&�&&E�&�&&9� ���� ��� !:BJ� � � �&�/#?� &�&&9� ���� ������ ��� ��� ��� � � �&�%&G� &�&&9� ���� ��� ���(4� ���� .���� ��� ����� ���������� ��� ����������������� ��� ���� ��� ������� ��������� ������ ������������ ������� ���������� +� �� ��� ���������� ����� ��� ��� ��� ���� ��8 ����� �� ������ ��� ��� �� �������� �� ��� ��������� �� �������� ��� ���

� ����������

�� ��� �����.� 6%/�%%7 �� ��� ������� � ����*������ �� (4� ��� ��� ����� ������� ����� ���.����� �� � ������������� ��� �� ��*������� ��������� �� (4� �� ������� �� �� ������� ���������� ���� ������ ����� ��� ����� )��� ���� �������� �� � ��� ����*���� �� ����� ����� �� ���

�� G� B��� �� ��� ���� ��� � ������ ������ ��� ��� �������

, -� ��� , - ��� ��������� ����� , - ����� ���

�) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/� 9/

��� ���� �� ��� (4� �� ���� � ������� �� �.����� �������� >� ����� �� ���� ������������ �� ��� ��� ��� � ��� ���� ���� �� 3��.� �� ����� ������� ���� ����� ��� ���� �� � ����� ��� ���� ����������� �� ��� ���� ������������ 6%97���� ��� ������� ��� ����������� ����� ������ �� ��*������� � �������� �� ��� ���� �� �������� .��� ��� ����������� � ���� ��� ���������� � �� .���� ����� ����������� ��� ��*��������� �� ��� ���� � ����� 0��� ������� 6E7���� �������� ���� ������� ���� ,������ ���������� 0�� $ I ����- �� ������ .��� ��� ����������� ��� ������� �� ��������� ����� ������� �� �#&�+� ��������� ��� �5�������� �� ��� ��� � ����*

�� ������� ���� ������������ ��� ��2����� ��*��� ��������� �������� ��� ���� ������ �� ���,�������� � ?=L- ��� �� ��� ���� ����������6E�%<�%=7� )� ����� ����� ����������� ��� .���.� ������ ��� �� �� ����� ���� �4 � %& ��� >����� ��� ����� .� ��� ��� ������� ��� ������ ��� ������� �� .���� .�� � .��� ���� �� �� ���� ����� �� ��*�2 ��� �� �� � ����;��� � �� ����� ����� �� ��� ��� ������ �� ��� ��������� �������� ���� ���� .��� ���� �� �� ��� ����� �� �� ���� �� �� ��� ����� �� ��� ����������� ��

����� �� � ����� ������� �� )� ����� ��� �� ��*����� ���������� ��� � ����� ��� ��� ����� ��*������ .� ���� ���� �� ��� ��� ��� �����������.��� �� ����� ������������ 0�� � .� ���*������ ��� �5��������� �� ���� �������� ��� ������ ��� ��� � ��� �� ��� ��� ���� �������� ������� ���� !�.����� ���� ��*�2 ��� � ���*��������� .� ����� ���� ��� �������� ��� � �&��� ��� �������� ����� �� ��� ��� ���� ��8 ������ ��� ������� ���� ��� �& �(4�� � �&����� � �&,!:BJ-� )��� ����� �� ��� ��*�2 ��� �� �� ��*����� �� ��� ������ ���� .���� � �� C��� ,��� ������ �� �*�5�� �� �� G-� )���� ������ ���� ������� �������� �� ��� ���� �� ������ �� ��� ���� ����� ����������� ����� ����� ���������>� ��� .������ ����� �.� ��������� ���*

������� �� ������� ���������� ��� ��� ��������������� ���� ���� ��������� �� ��� ���������� ����� ����������� �� ��� ���� ����� �� ��3� �� ��� �������� �� ������� 6%#@%G7� )�� �� ���� ������ �� ������ �� ���� ��� ����� � ������ �������� �� ���������� ���� ���� ������ �5 ������� ��

���� � ����������� )�� �� ��� ���������� ��*��������� �� ��� ����� ����� ����������� �� �� *����@��� ���� �5 ������� 6%E7� M� �� ���� �� �� ��� ��� .�� � �� ������ ��������� ��� ��� ��.�������� � ��� �5��������� ������� 69&@997 ������������� ���� ���� � )��� �� ������� ��� �� ����� � ���� ���� �5��������� ������� ��� �� ��*� ��� ��� ���� ��� ��� 0��� ������� ���� ������������ ��� �� ����� �� ������ ��� �� �� �����*���� �� ������ ��� ����� ����������� 6%&�%E7�!�.����� �� �������� ������� ��� ������� ����������� �� �� ����� ��������� �� ����*�����>� ��� �5�������� .� ����������� ��� ���� ��

��� !:BJ� �� (4� ��� �� ��� ���� ���������� ��� �� ���� ����� ��� ��� ��� �� ��� ���*��� 6#�?7 .� �5�� � ��� ���� �� ����� ������������ ��� ��� ��� (4� ��� �� � �� ��9 ��*�����C������ ������� � ��2����� �������� �� �5�� *��� ���� (4� ��� ���� �� ��9 �������C������0� ���� ��� (4� ��� ��� ��� ��� ����������������� .��� ������� ��� � ;����*����� ���*� ���� >� ��� �� ����� �� ������ .��� ��� ���*����� ����������� �� ����� ����������� �� ���������� ����� �������� .� .��� �5�� � �.����� ���� ��� �� �� ��� �������� ��� ,(4� ������ ���- ������� �� ��� ;����*����� !:BJ������ :�� ������ ����������� ���� ��� ������� �� ������ �5� �� �������� �� ���� �5�� ��������� ���� ��� ����������� �� ��� ����� �� ��9

�������C����� �� (4� ���� ���� .� ����� ������� ��� ���� �������� �� ��� ����������� ����� �������� �� ��������� �� ������� �� ��*������)�� ���� �. ������� ���� ��� �� ����� �� ���

!:BJ ����� �� �� �5������ .��� ��� �. ������������ �� ��� ������� ������ )�� ��2����� ��*������ �� (4� ��� ��� ��� ��� �� ��� �� �������2����� �������� � ���� ���� ,��� ��� % ���9-� �� E ���.� ��� ��� � ��� �� ��� ���� ��� ��*������� ��3�� ������������ �� � ��� ��� ��� ���� ���� �� �� ��� ���� ��� % �� ������������ �������� .��� � ������ �� /# �� �� ������������� �� ��� ������ � ��� ��� ���� ���������.�� � ����� ����� �� �� �� �������� �� ��� ����������� )�������� � ���� ����� ���� �5����*���� �� ��� ����� ��� ���� ��8 ���� �� ��� (4���� .��� ����� � �� ��� ��� ��� �� ���� ���

9% �) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/�

������ � �� � ����� ����� ��� ��� ������������ ���� �� ��� ����� ��� ,��� ����� ��� ��� �� �� /- ��� ���� ��� ������ �� ������ ������������ ��� �5 �������� :���� ������� 69�9<@9?7���� ������ ������� ��� ���� ��� ��� ��� �������� ��� ���� ������ ����� ��� ������� ����������� ���� (4� ���� �5��������� ����������� � ������� 69<�9#7 ���� ������������ ��������� �������� ���������� �� ��� ��� ��� ��� ����� � NN�������*�3�OO �� ������ ���� .��� �������� ������� ��� ���� ������ )� �� ��� .���������� NN�������*�3�OO �� ������ ���� �� ������������ � �.�� ��� ���� ��8 ���� �� � ����� ��� � ������ ��� ������ � � ������� ��� �� ����������>� .�� �������� 69G7 ���� ��� ���� ��� .��� ��

������� ��� ��� ���� �� �� � �� ��� ��� � ���� ����� ��% ����� ������ )��� ����������� ����� ������� �� �� �� ��� ����� �� .���� ������ ���� �������� �� (4� ��� .�� ���� �� ������������� �� ��� ����� �� ��9 �������C������

� �����������

+� ������� ��� ������� � ���������� �� ��2��*��� ����� ����� ���� ��� .�� � ��� ���� ����*���� �������� �� ���� ����� �� ������ +� ��� ���������� ��� ����� �� ��� ���� ��������

�� � ��� ���� �� �� ���� � ����������� ���* �������� ���� ���� ��� ��������� ������ ���� ��������� �� ��� ������ �� ����������� ��� ������ ��� �� ����� � �� .���� +� ����� ��� �� ��*� ��� ��� ���� ��� ��������� ����� ���� ���������� ��� ���� ��� ����� ������� ��� ���� �.��� ���� ��� �������� +� ���� ������� ���� ������������� ��2���� �� ��� ������� ������ �� ������������ ��� �� ����� � ��������� �������.� ����� ���� ��2����� ������ �5 ������� �� ������������ ����� ��� ��� ���� ��� �� �� �������� �� ��� ����� ��� ���� ���������

�������� �������

)�� ������� .��� �3� �� ����3 ��� B�������� �� � $���C��� �4$00 �� ��� >� I� +� .����� ����3 0� (� ����� ��� ��� ��� .��� ��� $ I�$�� ��� ��� �� ��� �� ��*����� ��� ���� ����� ������ .��� ��� ��� �� $�I� "����� �� �������� 3��.�����

�� �������

6/7 0� ������� $� I�����.�� I�0 "������ %%� 0��������

/EE?�

6%7 )�+� 0 ����� ��(� :��� (� P��� ��$� "������� �� $���

B���� G= ,/EEE- 9/<%�

697 "� +��� "� Q���� R��� �������� �� $��� B���� G9 ,/EEG-

%<E/�

6<7 �� ���������� B��� 0��� 0���� ����� %/ ,/EE/- /EE�

6=7 $� J��� (���� ����� I����� G ,/EEE- <%G�

6#7 �� ������ � ������ �� ��������� � 0 ���������� 0�

(� ������ I� 0�� ������ 0���� ����� )� ���� /%= ,%&&&-

/%<�

6?7 �� ������ � ������ �� ��������� $�I� "������ �� $���

B���� GG ,%&&&- <9#=�

6G7 M�(� 0 �.���C� !� "���� !� !������� +� $���� ��+����������� ��� "����� B������� �� )������ ,����-� )��

B���� � �� 0���� 0���� ��� R�.�� $ ����� B���������

(����� ��� /EE#�

6E7 M�(� 0 �.���C� :� Q.������� B� R������ �� +�����������B���� ���� " =# ,/EE?- #EG?�

6/&7 ��R� R������� 0� I����� (�(� 0���������� B���� ���� " 9E

,/EGE- /9&=9�

6//7 $� R����� ��"� >������ I�0 0���� B�� � 9E? ,/EE#- %GE�

6/%7 �� ���������� B��� 0��� 0���� ����� %/ ,/EE/- /EE�

6/97 +�$� ��!���� ���� I��� B���� #= ,/EE9- #//�

6/<7 )� 0���3�� K� Q��� �� R����C�3�� I�0 0���� B�� � =%#

,/EEG- #?�

�� E� 0���������� ������ �� ��� ���� ��� ��������� �� �

=& �� � �� .���� ��� � ��&�%9 ���

�) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/� 99

6/=7 $�4� "�������� !��� 0������ �� �� ��� ���� �� 0��*

�� � J��.��� �������� M��������� B����� ���������

/EE=�

6/#7 !��� P��� P�B� Q���� $� ����� )�I� 4�� J��� +���

B���� ���� " =# ,/EE?- <%%<�

6/?7 J�0� "���� �� "��������� ��$� �3���� ��B�M� R�����*

����� �� ����� 3� $� Q��.�� 0 ��� � %<E ,/EE&- %#<�

6/G7 >�1� Q����3���� P��1� 0�3���� 1�B� >����� B���� 0���

0���� <& ,/EEG- =9E�

6/E7 �� "�C��� �� J�� �� �� "������ M� 1������ B� B������

�� "��������� B� I����� 0���� 0 �� 4���� <<< ,%&&&- 4/�

6%&7 B�"� I����� 0�0� B����� 0���� 0 �� </G ,/EEG- 9<%�

6%/7 $� J��� 0���� ����� )� ���� E<AE= ,/EE?- =&?�

6%%7 I��� J������ 0������� (������� ������ �1( 0 ��� �

��� )� ������ +���� �P� /EE9� �� /<9�

6%97 �� 4��� "� "������� ��*B� ����� ���� ����� �� $��� B����

G< ,/EEG- <G=E�

6%<7 ��I� I���� +��� /#G ,/EE9- /?�

6%=7 I� "����� ��I� I���� $��� B���� 4���� #= ,/EE<-

</=�

6%#7 I� �����3� ��(� 0����� I�:� �������� 0 ��� � %#= ,/EE<-

/%&E�

6%?7 I�0� )��������� ��"� 0�3��2� $� +����� �� R���� B����

���� 4���� ?E ,/EE?- <?EG�

6%G7 �� R���� 4������ /% ,/EE#- <=#<�

6%E7 "����� B������� B���� ���� " << ,/EE/- 9%??�

69&7 ����$� ��� ��� :������� �� ��� ����� 0���� 0 �� 9G<

,/EE?- 4G%G�

69/7 I� ��� ��� �� ����$� ��� ��� :������� ��+� ����� 3�

(� � :������ �� ��� ����� I� 0������� B���� ����

4���� G/ ,/EEG- /GG?�

69%7 �� (��� �� R���� B���� ���� 4���� ?# ,/EE#- G&9�

6997 I�(� B����� ��$� !�������� �� B���� ����� " /&/ ,/EE?-

/9#<�

69<7 !� 0S������� 0� 0��������� I� "����� ���� 0������� B����

���� 4���� ?= ,/EE=- /99#�

69=7 )�+� 0 ����� !� (��� ��$� "������� �� $��� B���� G/

,/EE?- =9E9�

69#7 �� !����� I�B� ���������� �� "�������� 4� !������

���� 0������� B���� ���� " =E ,/EEE- =/#%�

69?7 J�$� $��������� I� ����.��� ���� R���� >� $�5���*

���� �� $�������� ��I� (�������� ������ 9G9 ,/EE#- 9%/�

69G7 )� 4� !��� I� 0 ������ (� B������� 0���� 0 �� <99@<9=

,/EEE- #E&�

9< �) �"��� �# ��) * ���+��� ��"���� ,, -��. ��/�