Silicon nitride chemical vapor deposition from dichlorosilane and ammonia: theoretical study of...

13
Silicon nitride chemical vapor deposition from dichlorosilane and ammonia: theoretical study of surface structures and reaction mechanism Alexander A. Bagatur'yants a , Konstantin P. Novoselov b , Andrei A. Safonov a,b , J. Vernon Cole c , Matthew Stoker c , Anatoli A. Korkin c, * a Photochemistry Center, Russian Academy of Sciences, ul. Novatorov 7a, Moscow, 117421 Russia b AOZT Soft-Tec, Nakhimovskii Pr. 34, Moscow, 117218 Russia c Digital DNA Laboratories, Semiconductor Products Sector, Motorola, Inc., A-Z09-M360, 2200 W. Broadway Road, Mesa, AZ 85202, USA Received 8 December 2000; accepted for publication 26 March 2001 Abstract The structure of a Si 3 N 4 ®lm and the mechanism of Si 3 N 4 ®lm growth along the [0 0 0 1] crystal direction during chemical vapor deposition have been examined using ab initio MP2/6-31G** calculations. The silicon nitride 0 0 0 1) surface and deposited chemisorbed) species on this surface were described using cluster models. It was found that the dangling bonds of chemically bound Si and N atoms on the bare surface are relaxed to form additional p bonds or Si@N surface double bonds. Energies of reaction and activation energies were calculated and the process of Si 3 N 4 ®lm growth was analyzed. It was found that the removal of chemically bound hydrogen from the surface is the rate-con- trolling step of the deposition process. Ó 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. Keywords: Ab initio quantum chemical methods and calculations; Models of surface chemical reactions; Silicon nitride; Chemical vapor deposition modeling; Models of surface kinetics; Surface chemical reaction; Clusters 1. Introduction Silicon nitride is a material of great technolo- gical importance because of its electronic and op- tical properties high dielectric constant and large band gap), mechanical strength and hardness, and exceptional thermal and chemical stability. There- fore, silicon nitride ®lms are widely used in mi- croelectronics, in solar cells and for mechanical and other applications [1±8]. The properties and qual- ity of these ®lms are determined by their structure and stoichiometry, which, in turn, strongly depend on deposition conditions such as temperature, pressure, and gas-phase composition [2]. There- fore, a comprehensive understanding of the de- position process could facilitate the development of a reliable method for obtaining silicon nitride ®lms with the desired properties. Such an under- standing cannot be achieved without knowledge of the surface structure of a growing ®lm and the Surface Science 486 2001) 213±225 www.elsevier.nl/locate/susc * Corresponding author. Tel.: +1-480-655-3171; fax: +1-480- 655-5013. E-mail address: [email protected] A.A. Korkin). 0039-6028/01/$ - see front matter Ó 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII:S0039-602801)01050-0

Transcript of Silicon nitride chemical vapor deposition from dichlorosilane and ammonia: theoretical study of...

������� ����� ����� � � ��� �������� �������������� � � ����� � ������� � ���� �� ���� �

��������� � � ����� ��� ����

��� �� �� � � ����� ��� � ����� ���� �� �������� ������ �� � ����� ��� � !���� "�� �� # ���$ ���%� �� �� ���� �� ���%�� ��&

������������ �� ��� ���� ������� �� ���� ��� ��� �������� ��� ������ ������ ����� � !" ����#"��� ��$�����$�� �� %�� ������ �����& ����

� '�(���� '�� )�*������� ������ ����� ������ ������ �������� + ��� �#!,-#�%.,� ��,, /� 0������ ����� ���� �! &1�,��

2��

'��� ( )���� *+++, ���� ��� ������ ���� *- # ��� *++.

��������

/� �������� �� ��0�1 2�� � �� ��� ���� �� ��0�1 2�� ���$�� ���� �� 3+ + + .4 ����� � ������� �����

����� � � ��� �������� � � �� � ��� ����� � ������ #�*5-60.7&& � ���� ������ /� ������� ����� 8+ + + .9

���� � � ����� 8��������9 ����� �� ���� ���� � $� ����� ����� ������ ����� :� $ � ���� �� � ��

������ ���� �� ����� ��� ���� �� � � ���� �� �� � � ���� � � �� � �� ���� ����� � � ���� ��

���� ���� � ���� ����� ;����� �� � ����� � ���� ���� ����� $� � ���� � � �� ������ �� ��0�1 2��

���$�� $ � � ��<� :� $ � ���� �� � �� ���� � �� ����� ��� ���� ������ ���� �� ���� � �� �� � �6���6

�������� ��� �� �� �������� ������� � *++. ;����� ����� ��!� ��� ������ �����

3�����4 �� ������ =� ���� ����� � ����� � � ���� �����, #��� �� ���� � ����� � � ������, ������� �����, "���� �

� ��� �������� ������, #��� �� ���� � %������, ���� � ����� � � �����, "������

� ���� ������

������� ����� �� � ��� � �� �� � �������6��� � ������ �� �� �� �� ��� �������� � ��6��� � �������� 8���� ������� ����� �� � � ��� � � �9� ��� ��� � ������� � � ����� �������� � ���� � � ����� � �� ������� /��6

���� ������� ����� 2��� � $��� �� �� ��6������������� �� ��� � ���� � ��� ��� ��� � ����� ����� ����� 3.>(4� /� �������� � =� �6��� �� ��� 2��� � ����� �� ���� �������� � ������������� $����� �� ����� �������� ���� �������� ��������� ���� � ���� ����������� � � �6�� � ����������� 3*4� /��6���� ���������� ����� ���� �� �� 6�������� ������ ���� � ����� � �� ��������� ��� �� ���� ��� ��� ����� ������� �����2��� $��� �� ��� ��������� ���� � ���6�� ���� � ���� � ���� $������ %��$�� ���� ���� � �������� �� ���$��� 2�� � ��

���� � ����� 1(- 8*++.9 *.0>**?

$$$���������5��� �5����

&"���������� ������ /��� @.61(+6-??60.A., � �� @.61(+6

-??6?+.0�

5#���� ����4 �1+A?AB� �������������� 8���� ���%��9�

++0C6-+*(5+.5D 6 � ����� � ��� � *++. ;����� ����� ��!� ��� ������ �����

�::� �++0C6-+*( 8+. 9+.+?+6+

��� ���� �� ����� � � ������ �� � � � ���� � �� ���� ��

/� ����� � �������� �� ������� ����� ��$�� ������ 3C>.14� ��� � � ��� � ��� ������� �� �� ����� ���� �� ��8. + +9 ���8. . .9 ���� �� 3.?>*14� :� � ������ �� �� $ ����$� 3*0�*14 �� � �� ����� ���� �� ��8. . .9���� � $��� �E0 ���� ��� �� �� ���� ���� ���6��0�1 $��� �� ��0�18+ + + .9 ���� �� ������� �� ������ �������� �� ��0�1 �� ��8. + +9 $ ����� �� '��� 3*?�*-4� ������������� 2��� $������ �� ��8. + +9 ������ �� �� �� ������ �� �������� ���$�� �� ��0�1 ������� ���6�������� ���� � � ������ ��$� ��"�1 � �E0

3*-4� /� ��� �� �� �� ����� ���� �� �� 8*� .9���������� ��8. + +9 ���� � $��� �E0 8�E0

�������� � ����� � �����������9 � � ����� ���� ������� ��� �� )F/ �0GH� � ���6� ����� 3*A4�

;������ � ���� 2�� � � �� ���� ���������� ����� � �� ��� �������� ��� ���%�������� ���� � =��������� � ���� � � ����������� �� ����� ������� ��� ��������� ���3*(>004� '������ � ��6�� � ������ � �� ��������� ����� � � �� ������ �� ���� ����������� �� ����� � ��� ��� � �� ���� ��������6 ����� ��0�1 � �� �������5������������ ����� � 301>0A4� ��� � � ������ � ���6� ����� � � �� ������ �� ����� ���������� � � � �������� �� ���% ������� ���6�� 30(>104�

"���� � � ��� �������� 8"!)9 ���� ������ �� ���������� � 8)"�9 � ����� ���� �� �� �������� �� ����� ��� ��� ������������ ����� 2��� 3(4� :� ��� ���� ������� ������ $ � � ���$� �� � � ��$� ���� ������ ��6��� �������� � � ����� ��$� )"� � ����� � $���� � � �� ��� ��� ���� ���� � E"� ����� ����� ���� �� ��� �� �$�6��������������>�������� � ����� � �� 311�1?4� I ��� ����� ������� �� ������ �� �� ���� ��������� �� ������� ������ �������� ������"!) ��� ���� $��� ���� � %����� � � �6��� 311�1?4� :� ���� $��%� $ ����� �� ������ �� � �� � ������ ������ ����� ���� �� �� ������������ ���� � ��������� � ���� � � �������� � �� ������� ����� "!) ���� )"� � ����� �

� ������������� ������

J� ���� ����� � � ���� ����� $� ����������� �� 7�#;�� 31-4 � 7�K��:�� C(7�K��:�� C( 31A4����� � � �% ��� 7����� ������< ���� $ ������� ����� �� -60.7&& � ��� �� $��� ��#����>����� ����6��� ������ ���� �����8#�*9�

����� �� ������� ����� ������� $� ������� �$� ������� LL ������ 8��������� ������<9 �LL�� ������ 82� ������ ��9� /� ���� ���������� ���� ���� � ���� 8LL ���� ������9 � �� �������� ������ �� � �6�� � �������� ����� $��� �� ���� �� /� �� ���� ����� ��6��� ���� �� ����� � ���� ����� ��� ������ �� ����6��� ���� � ������ ���� � ��6� ���� �� ���%� ���� �� �� ���� �� �����/� ������ ���� $� �� � ���� �� ������� � ��>� ���� � 2� � �� � � ��>E ���>E ��� ��� 8.�1- � .�+. ��� ���������9�

!��� ���� � ��=����� $� � ���� � ��� ���� �� ���� �� ������ ���� �� �� ������ � �������� ��� F�� �� � � $ ���2�� �� � ���� ������� �� �� �������� �� ��� � � ������8���� �� �� ��� �� ��=����9� � �� � �� ���6� ���� � �� ����������� �� ���� �� ��� ����=���� ��� ��� ����� �� ������ ���� ��� ���8�9 �� �� ������8�9� /� ���� ����� �� ���� ���� ���� �� ���� � ������� $� ����� ��� ������ ���� � ��� �� .+? ��� ��� �� ��������� ���$ ����� <��6����� ���� 8M�;9 ���6������� � ���� � � �� #�*5-60.7&& ���� ��6��� ����$�� ����2�

�������� �������� � � � ���� ��� �� � ������� ������� �� �� $� � ���� �� ���� � �� ���������� ���� �� �� � ����� �������� � � ����������� �� �� ������� � ��������� �� ���� ������� �� �� �� ���� �� ���� �� ���� � ����� ����������� � � � � ��� �� �����=��� ���� �� �������

� ������� �� ���������

%��� ������ ������ � � ���6����

)����� �� �� ������ ���������� ��0�1

"!) �� ������� ���� � � � ����� ����

*.1 ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

�������� �� ����� ���� 2��� $��� �N��� 6��� �� ����� ������� 3.+>.0�*0�*14� /� ����� ���������� �� ���� �6 � �6���2� ����� �� ��0�1

������� �� � ��� �� � � 8+ + + .9 � ��� 8���� ��$� � ��� �� ���� ��� ��� �6 � �6��0�1� �6��������9 3C>.14�

:� ��� ������ ����� $ ��������� ���� �������� ������� �� � �� ���$��� 2�� ����6����� �� �6��0�18+ + + .9 ���� � 8� F��� .9� �� � �6��0�18+ + + .9 � �� �������� �� ���6 ����� ����� 8��� ��9� �� ��� � � � �� � � ����6�������� � �� 2�� � ���� ��� �� ���� �

F��� .� 8 9 ���� ��� ��$ �� �$� ���� ����� � � ��� �� �6��0�18+ + + .9 � 8�9 ���6 ��� ��0�1 ��� � ������ �� ��� ����������

��� �� �� �� ������ � ��� ����� �� �� ���� � ��$� � ��� � ���� � � ����� �� � � �% �� � ������� ���������, � ��

������ ���� � ������� ���� � �� �� ������ ���� � ������� �����

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 *.?

������� ��� 8��9� ��� ������� ���� ���� ����� � ��� ����� � ������� ���� 8��9 ������ �� ������� ����� ; �� �� �� �� ��� � � ������������� �� $��� �� ���� � �������� � ��� � $��� ���� ����� �� �� � � � �� 8�$� ��� �� � �� ��� ��9� ��� �� ��>� ���� ��������� � � �� ��� �� �� �� � � �� �� /� ������������� �� �� �� � � � �� � ���% �� �� ������ ����� ������ ������� �� O ��� � ����/� ������� �� ��� � � ����� ��>�� ��������� �� � ����� � ���6 ��� ��� �� $��� �� � ��������� � �� � ��� ����� �� ����� � � ��� ���� �6��0�1 �������� � $��� ������ ���� ��6����� � ��������� �� �� �6 � �6���2� ����� ����0�1 � �������� �N��� 8�� ��� � ���� '��3.049�

; �� ���� � �� �� � � �6��0�18+ + + .9 ���6� � � � �$� ������ ����� $���� ������ ������ � ��� �� ���� � ���� ����� � �� ���� ���� ��8. + +9 ���� � 8�� ���� '�� 31(49� I � ����� ���� � ����� ���� ���� 8)���9� � ���6 ��� ��� � �� �� ���� � �������� �� ��� ����� ���� ���� � � ��� ���% ������� �� ���� �������� ����

/� ������� ������ �������� )�� 8� F���* 9 � � ����� ���� ���� � � �� �� ���� � � ���� � �� �� �� ������ 8�����6)�� ���������� .6)��9� /� � ��� ����� � ���������8�� ���� � ��9 $ � ��������� � ����� ����� �� ������ ���� � ������� /� ����� ������ ���� �� .6)��6� � ���� $ � � ��< �� ���6� ����� $��� � ���� ����� ��� � ��� ������ 8F���*�9� /��� ������ ������ ��� )�� �� ��������� �� �� ���� � �� ��� �� ���6 ������� � �� ���� � ����� ��� 8���6 ������� � ���� 06)��9� :�� .�� � *� ������ 6���� ����� $� ��������� �� �� � � $ � ��� �� .6)�� ����

/� �� � ������� �� �� � � � E6����� � ��0�18+ + + .9 ���� �� � �� ����6�� ���� ����� �� ���� � ���� ���� $�� ���� � ����� ���� .6)�� � 06)�� ����8� / �� .9� /� � ���� � ������ �� �� ��6���� � E>3��>��4>E � ���� ��� ��������� ���� � ���� � �� �� � �� .�A0>.�A1�� � .�-. ��� ���������� ��� �� �� ���������� ������ ����� /� � ��� �� �6�������� ���� ���� ����� ���� � ��� ���� �� ���

����� �� ���� +�.*>+�.0 ��� ��� ��� ���� ������� � �� ������ �� �� ��>� ���� ����� �� ��8+ + + .9 �� � �� �� ���% �6 � �6��0�1 ����� ��� �� �� �� � �� �� .�A*>.�A1 �� 3C>.14� ���������� P6� � �������� � � ��� 8�6��9*����>��8�6��9031C�?+4 � 8�6��9*����>��8�6��9*�� 3?.4� �������� �� �� ����� � ���� ��� ���� � 8���� ���� ��� � �� �9 .�?A � .�A+ ��� �6��������� $��� �� � � �N��� �� +�.0 �� �$ � ���� �� ��� � ���� ������

:� �� �������� � � � 06)�� � ����� ��6���� � 806)��9E- �������� �� � ���� ������� �� �� ����� ��>�� ���� 8.�A? � .�A- ������������9 � ��� ���� �� �� ����� E�$����� �� ���������� � 806)��9E* � 806)��9E1

�������� �� >��>�� ���� O ��� �� �� �����

F��� *� 8 9 .6)�� � 8�9 06)�� ������� �� �� � ���� ������

����� �� � ����� �� �� ���� � �� �� �� ������� � ���6

� � �� ��� ������

*.- ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

��>�� ���� � ������ ��� ����� �� � ��������

���� O ��� �� �� ���� ����� ���� /���� � � ��� �� �� �� �6���O�� ���� N��� �6�$� ���� ����� ��� � �� ��*�<8�9 ���� ��� /� ������ �� �� ���>�� � >��>�� ������ �� �� �� .6)�� ������ � ������ 8�� +�+1>+�+- ��9 �� � �� ������ �� �� ��������������� � ���� � ��� �� � ��� 06)��6� ��������� /��� �� ������ � �� �� ����������������� 8�� 2� �������� �� �� �� ���9 �� .6)��� ������ $ � � � �� � �� ������ ����N��� �� �� ��� ������ �� �� .6)�� �������������� ���� ������ �� �� ������ ��� �� 806)��9E1 ������ $��� ���� �� ��� ��� � �����

���� /���� �� .6)��6� � ��� ��� � ���$�� $��� �� ��>�� � ����� ��� ������ �� ��� ��� 06)��6� � ����� /� ����� � �� �6 ���� �� �� ���� � ���� �� $�� ����� �� ���������� �� ���� �� ����� � �6 ��� 8�������� � ���� 8+ + + .9 ����� � �� �9 �� ����� �� �� ��6�� � ����� � ���������� /� � ���� � ����� ����� ����� � � ��� � �� 8� / �� .9� $�����Q��� �� � �� �� � �� =� ��6�$�6������� ����6 ��� �� ���� �� �� ����� � ���� � � �� ���� ����� ���6���� �� �� ����� � �������� :� ���� 06)��6� � �������� �� ���� � �� ��� ������� ��� $���� � � � ��� �� �� �� ������ �� ���� ����� � � ��� /� ���������� ��6� ��� � �� ��� 8���� � � >���9 �� ������$�� �������� �� ��� �� ��< ���� �� �� ��

���� :� ��� ��� ���������� �� �� �� � ��6� �� �� ����������� � ��� � �� ��� 8��6

�� � � >8E9��>9 �� ��� ����� ��� ��� F�� ������ �� ��� �� ���� � ��� � ���� ���� ������ � ��� ��� �� ��� ��� � ����� ����� /�N�� �� ������ ����������� �� �� .6)�� �������� �� ����� � �� � ���� �� � ���� �� � ��� ������� � ���� ���� �� �� >8E9��> �����

/� � ���� � ����� �� �� �������� ��6���� ���� �� 06)�� � �� ������ ���� ��.6)�� � ��� ���� �� / �� .� /� �����6��� ������ ���� ����� ��� �� ��� 06)���� $����� �8A.>-C9 %� �5��� � ���� �������� 6�� � �� ������ � �� � �� ������ �������� � ��� �� /�� � ��� ���� � �� � �� ��6���� ���� ���� �� �� ����� ��� �� � ��������� �� �� �� � �� �� O ��� �������� /� ������ ���� ���� �� �� �����

��� � ���� � ��� �� �� �� .6)�� ������ ����$� �� � �� � ��� � ���� � ��� �� 06)���������� ������ �� �� � ��� ���� �� �� �����6� ���� ���� �� �� � �� ����� ��� �� ��806)��9E1 ������� /��� � �� �� � ������ �6� � ���� N��� � ������� ��� �� ��� ��� ������ ��� �� � ��� �� � ��� � �� 8���������� �� �� � ��� �� �� ��� ���� �� � ������ � ���������9�

F�� ���� $ � � ���� �� � �� .6)�� ������������ �� ����� $�� ���� �� ��� ������� ��� � �� � ����� ���� �� � ���� ������ ���� ��� �� �� ������� ����� ���� ��/������ $ $��� ���� ���� �� �� .6)�� ������ � � ��� ��� ������������ �� � ����� ���� �����������

/ �� .

7������ � �� � ���� 8��� ������ � � ������ �� ���� �� ����� � �6 ���� ��� ���� � ����� ��9 � ������ ���� ����� 8��8E*9

�� %� �5���9 �� .6)�� � 06)�� �������� ������ �� ��0�18+ + + .9 ���� �

����� � �� �� 8E*9

��>��> ��>��� ��>�� ����� �� >��� >8E9��> ��� 8E9��>

.6)�� .�-C .�-. + �+�*? +�.C �--�C

8.6)��9E* .�A* .�A1 + +�*+ +�.0

06)�� .�A? .�-. +�+A �+�*1 +�.+ �A+�C

806)��9E* .�(+ .�A0� .�A0 .�-.� +�+A �+�*-� +�+. +�+C +�+1 �A+�.

806)��9E1 .�A(� .�A. .�A1� .�-. +�+( �+�*A +�+*� +�+C +�+1 �-C�*

806)��9E- .�A- .�A1 +�+A �+�+. +�+1

/� ������� ���� ���� �� ��$ � ���� �� ���% ����� � ����������7����� ������< ���� $ � � $��� ������� �� �6��� ��< ���� ��������� �� ���� �� ������ ���� � �� 2� � ����

$ � � �� � $��� �� ���� -60.7&& � ��� �� � ��� ������������ � �� �$� �������� �N��� � ����

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 *.A

%��� <�;����� ������ � ��� *�� �����4���������� ������=��� �� >�� >��� �>%� � ���>����

/� � ���� � � ����� ����� ��� ����� ������ ���� �� �� ������ � � ����� ��������� 8���6������ ��� ��������9� � ���� ��������� 8�� ������� �� � �����9 � ��� ����6�������� �� E*� E"�� �E0� � ��E*"�* �� ��.6)�� ������ � ����� �� / �� *� :� ������� � ������ � ���$� $ $��� ���� � �����6���� ���� �� ���� ���� �� ���� � ������� ��������� /� LL���� ��� � �� �� ���� ������ ����$��� � ����� �� �=� � �� �%��� � �� ���� ������� �������� �� ������ $��� � ���� ������ �� �� �%��� /���� .6)�� 8� F��� * 9$��� � ���� � � 3����4� $�� � .6)��6� � ������ $��� '. � '* ����� � �������������� �� �� $��� � ���� � � '.>3�>��4>'* �� ������ '.3�>��4'*�

E����� ������������ 8� ����� �:�.9 �� ��� �� �������� � ������ /$� � ��� �� ��E*"�* �������� � ������ ���� �� .6)�� �������� ��>"� �� ��>E ���� � ������ ��� � ���=��� ��� 8�(-�A � �(1�A %� �5���� ����6�����9� F�� � ������ �:�*>�:�1� $ ���� �� ������� �� ������ � �������� /� ������ ���6��� �� ��� ���� �� �� ������� :�� � �����$��� �� ���� � ���� ��� �� �� ���� �� $����� �������6�� � ���� �� ��� �� ���� �� ������� � �� �� �� � ��� �� �� � � E* � .6)���/� �� ������� �� � ����� ��� � ������ �:�*>�:�1 � ��$� �� � �� ����� �� �� �� � �� ����� /��� � �� �� � ��� �� ��� � ������$��� �� � � ���� �� ��� � � ������� � �����

� ��� ��� �� ���� ���� �� �� �������� �6���� ��������

I � � ������ � �6�� � � ����� �� �6 ������ �:�.>1 �� ���� ��� ��� ���� �� .6)�������� $��� �� E*���E ����� 8� / �� *9� /������� ��� ������������ �� .6)�� �� ����������� �� � �� ����������� � ������ $���E*���E �� �� �� ������ ��� �� � ���6������� N��� �� �� .6)�� ������� I ���� ���� � �� � ����� ����� �� ��� �� ������ 6��� ������������ � ������ �� ������������� ���E*8�E*9"�� ������ �� �� �������� � � ��� � � ������ ��E*"�* ��E0 � ��E*��E*�"��E"� 311�1?4�

"���� ���� � ������ �:�? � �:�?�� � �:�?� � � ����� �� � ������ �:�0� �:�1 � � �:�1�� �6��������� $�� � � ����� �:�? ������� � 6���� �� � ������ �:�0 � �:�1� /� ����� ��� ������ �:�? >�:�? � ����� � $����� . %� �5��� � ���� �� �� �� � � �� �� � ����� �������� � ������ �:�0� �:�1 � � �:�1��

I �� �� ������ �� =� ����6����� � � �6��� ����� ��� � ������ �:�.>�:�1� �� ��� �� ���6� � �� =��������� ����������� �� �� ��0�1

���� � ���� �� ������ �� )"� � �E0�

��

8�:�? 9 ��E*8�E*9"� @ 3����4 � "�E*��8E�9>

3��>�4>E

�(1�1

8�:�?�9 ��E*8�E*9"� @ 3����4 � "�>3��>�4>

��E*8�E*9

�(0�?

8�:�?�9 ��E*8�E*9"� @ 3����4 � E>3��>�4>

��E8�E*9"�

�(0�-

8�:�?9 ��E*8�E*9"� @ 3����4 � E*�>3��>�4>

��E*"�

�(0�A

/ �� *

;����� 8%� �5���9 �� ������ � ������� ��� ���� ���� ����� � � � ����� ����� ��� � � ����� ����� ��� � �6�� �

� ����� �� ���� � � ������ ����� ��� ����� � ������ �� � �6�� � ������� �� �� � � ���� �

����� ���� � � ����� �� � �� �����

�:�. E* � 3����4�E3��>�4E �+�* .C�* �-.�+ �1A�.

�:�*� E"�� 3����4�"�3��>�4E �.0�1 �.+�* �C+�+ �-(�(

�:�0 �E0 � 3����4�E*�3��>�4E �01�C �*A�. �AA�? �-.�+

�:�1 ��E*"�* � 3����4�"�3��>�4��E*"� � (�. �1�* �(-�A �-A�*

�:�1� ��E*"�* � �����4�E3��>�4��E"�* �(�. �1�. �(1�A �--�*

/� ���� � � �� 3���4 $ � ���� ��� ��� � $��� �� E*���E ��������>"� ��� ���� ���� �� ��� ��� �� � �� ��� ������ �� ���� � ���

*.( ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

/� =��������� ����� ��� �� ��� � ������ �:�.>�:�1� $� � ���� � ���� �� � ������� ���������� � ��� �� ������ �� �� ���� � � �� ��� 6���� � � ���� ���� � � ������� ��������� ��� ���� � � ������� ��

��� � ��� �� � ����� �������� �� �� ���� � �)�� ����� �� �� ���������

�� � *���*

���

� �0�*� �

������)��

��

�� ���

��

/� � ���� � =��������� ����� ��� � ���� ��/ �� 0 ��� ���� ���� ���� (++ �� .*++ ������ $ � ���� � �� ���� � ���� � $����� ����������� �������� ������ ����� ��=� ������

�� � �����.� �

�� .

����� � ������ � .

.� ��� .

�����

$�� 3��4 �� �� ������� ���� �� �� ��� � �6�� ���������� �� �� �� ���� � ��� �� ����6������� ���� � ������ � ������ �� �� �� ������� � � �� ���� � ����� F�� ����������� $ �����6� ���� =������� ����� �� � ������ �:�0��:�1 � � �:�1��

/� ������ ��� ��� � ������� �� )"� ��E0 $��� � ��� � ������� �� )"� � �E0 �6�������� �� 8 9 +�. � .�+ /���� 8�9 .�+ � .+�+/���� � 8�9 .�+ � .�+ /��� � ����� �� F���0� /� ���� � �� ����� �������� ���� ���������� ������ � ���� ���� ���$ .0++�� F�� ������� $��� )"���E0 � ��� �� .�.+ ��=��������� ������� ����� �� >�E* � ���E*"������� �������� � �� ���� � ���� =� � �� � .+++ �� $�� � �� =��������� ������� 6���� �� ���E"�* ������ �� ��� ����� ��� ���

��$� ��� �� ���� ���� ��� � ��� F���� .�. ������� �� �������� ���E*"� ���������� � ��� �� ���� � �� �� ���� ���������� ��� /��� ����� ��� ��� $�� � ������ �� �E0 �� ���� ��� �� �� �� "!) ���6��� 8�� ��� '��� 3(�1149� I � � ��� ���� �� ��� �� ����� �� � � �� ���� � ���� �� ��� ����6����� �� �� � ����� � "!) ���������� ���������� � 2�� ���$�� �� ����� ��� �� ��������������� �� � ������ ��$� �������� ����� ����� � �6�� � �� ���� � ������

%�%� <�;����� ������ � � ����� ������ *����� ����� (��=

I����� �� ��� �� 2�� ���$�� ���� ������� � �6 ��� 8�������� � �� �� ��0�18+ + + .9���� �9 ���� �� ���� $��%� �� ���6 ������� � ��� � �� �� ����� ��0�18+ + + .9 ���� ����$� �������� �� �� ���� ���� � ��� ���������� ��� ���������� ���6 ��� ��� �� ���� ������� � �� 8� F��� .�9� �������� �� �������������� �� �� ��� �� ������ �0��E*"�* �1�E0 � ��0�1 � -E"�� -E*�� ��� E"� � ��� E*

������� ���� � ���� ��� �� ������������6 ��� ��� �� :� F��� .� �� �� ��� �� �� � .*�$ ��>� ���� ���� � ���� ����� �����$�� �� ���6 ��� ���� � ��� ��

; �� �� �� � ��� �������� � ���� �����$��� 2�� ���� ����� ���� �� � ������$���� ���� � �� ����� �� �� ��>� ������������� �� $��� �� ���%� � ������� ��� �6=���� ��� �� ��� �� ����� �� ���� $����� ���% ���� . 8�������� ��� 3�4>��P09� �� *8������� ��� 3�4���P*9� �� 0 8���� � �� 3�4���P9�

/ �� 0

;=��������� ����� ��� ���� � 8��05���9 ��� � ������ ��$� � �6�� � ������� � � ����� ���� ��� �� �� ���� � ��� �N���

���� ����

����� ���� � � ����� � 8�9

(++ C++ .+++ ..++ .*++

�:�. E* � 3����4�E3��>�4E A�+�.+.1 C�(�.+.* 0�0�.+.. *�+�.+.+ *�.�.+C

�:�* E"�� 3����4�"�3��>�4E .�-�.+*. 0�C�.+.( 0�0�.+.- -�(�.+.1 *�A�.+.0

�:�0 �E0 � 3����4��E*3��>�4E .�+�.+.( ?�A�.+.? C�1�.+.0 0�0�.+.* *�.�.+..

�:�1 ��E*"�* � 3����4�"�3��>�4��E*"� *�C�.+.C C�.�.+.- C�0�.+.1 *�*�.+.0 .�+�.+.*

�:�1� ��E*"�* � 3����4�E3��>�4��E"�* ?�1�.+.( .�C�.+.- *�.�.+.1 ?�?�.+.* *�A�.+..

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 *.C

� 2� ��� �� 1 �� �� ���%� � ������� ����� ��� ��� ����� �� ��>� ���� ���� . �� 0�

�������� �� �� ������ ����� ���� �����$��� ���� � �� ����� �������� ���� ���������� ���� � ������ 8����� ��� ����6� � ���� �9� K�� � � ���������� �� �����6� ����� �� �������� ���� � ������ � � ������� ���$��� ��0�1 ���� �� :� ����� �� ���������� ������ �� � � � ��0�18+ + + .9���� �� �� �����$��� ������ 8������ �����9 ������� ��� E>3��>�4>E� "�>3��>�4>E� �E*>3��>�4>E� "�>3��>�4>��E*"�� E>3��>�4>��E"�*� ��E*>3��>�4>��E*"�� /�� ������ � � � �����6

� � �� ������ � ������ $��� � �6�� � ������� � $��� ���������� ���� � ������ �� ���� �$ ���6 ��� ��� � �� �� ��� ���� � � ���/� ���� ���� �� ���� ��2���� �� ����� ���� �$ ��� � 8����� ���%��� �$� �� ��� ��� �������� � � � ��� �� �$ ��� � F��� .�9 �� ���� �� ��� �� ���� ������� /������ ����$��� � ������ �� ���� � ������ $��� � �6�� ��������� $ ������ ���� ������ � ������ � � ������ �� ���� ��2���� ���� �����6�����

/$� ����� ��� �N��� ���� �� � ������ � ������ �� �� ���� ���� �� �$ ��>� ��� � ��

F��� 0� ;=��������� ������� ����� �� � ����� ���� � ������ � ��������� �� ���� ��� ��� )"� � �E0 � � ������� $��� � ��� �

������� �� 8 9 +�. � .�+ /���� 8�9 .�+ � .+�+ /���� � 8�9 .�+ � .�+ /���� ����������

**+ ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

���� �� 8.9 � ������ ��$� � ��� � �� � ������ $��� ����� ���� �� ���� E"� �� E* �8*9 ����� � ������ �� � ������ ������6�������� ����� � ������ �� �� 2���6���� ����� ��� �� �������� �� E"� � ������ ������ � ��� �� 311�1?4�

/� � ���� � ������ ��� � ����� ���� �� ���6� � � ������ � ����� �� / �� 1� I �� �6��2 ��� � ������ ������� �� �� �=���� ����� �� �� 2�� ���$��� #��� �� �� � ����������� �� / �� 1 $� � ���� � ����� .6)��6� � ����� E�$��� ��� �� ���� ������� ������ �:!�.>�:!�0� $ �� ��� ���� ��$���� ���� �� � ����� ���� � ������ $� ��6��� �� �� ���� � �� �� �� �������� :� ���� ��� �� � � ���� � ���� $� 2� � ��������� ���� ��������� � ����� � $��� ������ ���� � ����� ��� �� ������ *� /� ���6�������� ������� � ���$� �� F��� 1� :� ������ ����� �� ��� ��� �������� $ ���6

� � �� 2� � � ���� � ���� �� �� �� 8�/ �� 19�

F����� $ ������ � ������ �::�.>�::�A �� � �6�� � ������� $��� �� ��0�1 ���� � ����� �$��� E � "� ����� /� � �� ���� � ����� ��� ���� ���� ��������� ��� � ������ � �6�� �� ������ 311�1?4� /� ������������ � ����� $����� ���� ���� �� E"� 8�::�.9 � � ��$� ���6� ���� ���� �� � ����� � � ����� $��� ����� 6���� �� E* 8�::�*9� R� �� ���� � �� ����� ������ E* �� ��������� $�� � �� ����� ���� ��E"� �� ��������� :������� �� ������� ���� ���>E ��� �� �� � ����< �� ����� ���� ����� ���� �� � ���� �������� ���� �� ��>E ���� ����� � ����� �� ��� �������� �� �� 2��� � ��:������� � ������ �� ��>E8�E*9 � � ����� � �6���� � � ��� �������� �� � �� ����6������� � ������ �� ��E"�� /� �������� ��������� ���� �� ��>E ��� $��� ����� �������6��������� ���� $��� ��>�� ����� E��� ��

/ �� 1

����� ���� � � � ����� �� ����� ��� � ����� ���� � � ������ 8%� �5���9

����� ���� � � ����� � ��

������� ���� ����� ����

�::�. E3�>��4>"���E0 �E3�>��4>�E*�E"� *?�. .+�0

�::�* E3�>��4>E��E0 �E3�>��4>�E* �E* 1C�1 �A�?

�::�0 E3��>�4>E���E*"�* �E3��>�4>��E*"��E"� ..�- +�+

�::�1 E3��>�4>E���E"��E3��>�4>��E*"� C�1 �-1�C

�::�? E3��>�4>E���E8�E*9�E3��>�4>��E*�E* .C�0 �?1�.

�::�- E3�>��4>E���E"��E3�>��4>��E*"� +�C �10�C

�::�A E3�>��4>E���E8�E*9�E3�>��4>��E*�E* ..�C �*C�+

������� �� ������*�� ����� (��=

�:::�. "�3��>�4>��E*"���E0 �"�3��>�4>��E*>�E* �E"� .0�* (�?

�:::�* E3��>�4>��E"�* ��E0 � E3��>�4>��E"�>�E* �E"� *.�? -�1

�:::�0 E3�>��4>�E*���E*"�* �E3��>�4>�E>��E*"��E"� A�- +�0

�:::�1 "�3��>�4>��E*"��"�3��>�4>8E���9�E"� A*�* -0�.

�:::�? "�3��>�4>��E*"��"�3��>�4>8"����9�E* A-�C 0+�-

�:::�- E3��>�4>��E"�* �E>3��>�4>8"����9�E"� A*�. ??�A

������� �� *��(� �����

�:!�. S��T>�E* ���>��E*"�����>�E>��E*>���E"� .(�1 ?�.

�:!�* ���>�E* ���>��E*"�����>�E>��E"�>S�T�E* 11�A �**�-

�:!�0 ���>�E* ���>��E*8�E*9����>�E>��E>8�E*9>���E* 1.�? �.(�?

������� ���� *��(�� �� ����

�!�. E3�>��48E98E9��E0 �E3�>��48E98�E*9�E* 0(�* �.A�1

�!�* E3�>��48E98E9�E3�>���4�E* A-�C *(�C

�!�0 E3�>���4� 3����4E AA�+ .0�?

�!�1 E3�>��48E98"�9�E3�>���4�E"� A+�( ?-�-

�!�? E3�>��48E98�E*9�E3�>���4��E0 A(�- 1-�0

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 **.

����� �� ������� �� �� � � �� � 8���� ������E"�9 ��%�� ������ �� ���������������� ����������� 2���

/� ������������ � ������ �� ���� � ������$��� �� ����� ���� �� E"� 8� ������ �:::�.>�:::�09� � �� � ����< �� �� ����� ��$ ���� 6

���� � ������ ����� � �� ���� � �6�� � � �����311�1?4� /� ���� ���� �� ������ ����� �� ������ � ������� � ������ �:::�1>�:::�- �� �� � �6���< �� � ��� ���� ���� ���� � ������

' ������ �:!�.>�:!�0 �� / �� 1 � ���������� � ������� F��� 1 ������� �� �� ���� ���6

F��� 1� "����� ���� ��� �� ���� ����� ��$� >�E* � >��E*"� ������ �� ���������� ���6 ��� ��� �� �� �� ��0�1 ���� �

�� � � � � ������ � �� �� � ����� �� ���� ������� 8 9 �� ���� � ������ ���� ���� ����� � 8�9 �� �� ������� �� � ��� ��

� ����� �� ��>� ��� ���� ���� $��� �� ����� ���� �� E"�� F�� ���� �� ���� � ��E0 � �E* ������ � ����� �� ��

��� ���� � ����

*** ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

��� ������ ��� � ����� �:!�.� �� �� ����� � � �6�� � � ������ � ���� � � ������ ����� ���� E"� �������� � � ��$� � ���� �� ��������� �� E*�

/� 2� � ������ �� / �� 1 ���$� �� ��������� �� ��� ���� � � ������ � ���� ���� ������ /� ������� �� �� � ������ �!�.>�!�0 �������� � �� F��� ?� ' ����� �!�. �� � ������ ��� ����� �::�*� :� �� � � �� �� ���� ���� ��������� � ����������� ��� ���� ������������ � �6���� � ��� ���� � ��� �� ��$� ���� ����� ���� � ����� ����������� �� �� � ����� ��� ���� ���� /� ���� ���� �� ������ ������������ � �� ���� � 8� ������ �!�*>�!�?9 �� ����� � $��� ���� ���� ���� � ����� � � ������������� �� �� ���� �������� ������� /�

������ ��� � ����� �!�0 ���� � �� � �� ���>������� � ���� ����6��� ��������� ��� � � �� ���� ���� ���� � �����

%��� +�=������� �� ��� ����� �� �� ��%�� ?��(���� ��� '�� � � �>%

G� �� ��$ ������ �� ������������ �� �����6 ��� ��� � ������ �� ��� ������������� �� �� �� �������� � �� � �=���� ������� �� ������� ��>� ����� /$�� ��>����� ����� � ���� �� ��� �� ������ ���� � ��� �� ��� ���� ���%��� �� �$ ��� � $��� ���������� ��� �� � ��� ���� $����� �� ���6 ��� ��� � ������ �������� �� ������������� ���������� �=���� �� � ��� ��E*"�* ������� ����� �E0 ������� � ������ ���� �� � ��� � 80��E*"�* � 1�E0 � ��0�1 � -E"�� -E*9�

���� ��� � � �� � ������� ���� � �����6� � �� �� ���� ���� �� ������������ �� �$���6 ��� ��� �� ��� �$ ��>� ���� $��� ����� ������� � �>���� � � ������ � ����2� ��>� ���� $��� � ���� �� � ��������$� ���� � ������� E�$��� ���� ��� E"�������� � ����� � ���� �� ���� � �� ����������� /��� ����� ����� ���� �� �� � ���� ���� �� � �6�� � ������� ���� � �� $��� ������ � $��� �� ����� ���� �� E* �� �� E*

������ ���� � ���� ���� �� ���� �������� ���� ������ ���� ���� >��E*> ������� ���� ���E>�E> � ����� ���� I � � �6����� � ��� �� � �� ���� ����� 8��������9�� � E* ������ ���� ���� � >��E*"� �����8� ����� �:::�?9 �� ���� ���� ��E* �����8� ����� �!�*9 �� ���� ������ ���� ������ �=���� ��� ���� ���� ���� � ���� ���AA %� �5���� R� �� � �>���� � � ������ ��6������� �� ����� ���� �� E*� �� ��$�� ���� �������� �� ������� �� �� � ����� �� � �6�� � �E0 ������ $��� ���� �� ���� 8�6 ����� �!�.9� $���� � � � ���� ���� � ���� ���0( %� �5���� /���� $ � � ���� �� � �� ���� ��� �� E* ������ ���� �� ���� �� ����������� � �6�� � � ����� $��� E* ����� ������ ������� �� �������� �� � E* ������ ������ ���� �� ���� � �� � �6�������� ��� ���� ��� �� ��0�1 2�� ���$��� R�� ������ ��������� � �� � �� �� ���� ���� ������������

F��� ?� "������ ������ ���� 8 9 � ��� � >E3�>��4E*>

� 8�9 ������ >E3�>���4 ������ ���%��� �$� ����������

���6 ��� ��� �� �� �� ���� �� F�� ���� �� ���� � ��E0

� �E* ������ � ����� �� �� ��� ���� � ����

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 **0

����� �� �� ��0�1 2��� ����� ���� ������ �� �E0 � ��E*"�* � ���� �� ����� ���� ����� � $��� ��E � �E 8 � .� *9������ ���� �� �� 2�� �� �� �� �� ���� �6��� ���� ���� �� E* �������� ���� �� ���� ��� �� ���$��� ��0�1 2��� R� �� ���� � �� ���� ����� ���� ������������ ����� � $��� ������ ���� �� ��>�� ���� �� � ������ $��� ����� �6�� � �� ���� � ������ ������ � ��� ����6 ���

� �����������

/� ��� ���� �� ��0�1 2�� ���$�� $ � � 6��� �� � ������ #�*5-60.7&& � ���� ���������� �� ������ ���� ��� /� ���� � �� ���$���2�� $ � ������ �� � �������� ��% ����0�18+ + + .9 ����� � �� �� :� � � �� ���� �� ��� ������ ���� �� �� � � ���� � � �� ��� ���� � ����� �����> ���� � ������� /�� ���� � ���� ��� ����� .�-. �� �� ������6 ��� ������ �� � ����� � ������ �� ����� ���� ��>� ���� 8.�A1�.�A- ��9� � �� ���� � ���� ����� � ����� ������ � �����2� ���� ���� ����� ���� ���% ����� ���� ���������� /� �����>���� � ������ � ������ �� ��� ����������� ���� � � ��� �� ���� � ���� ������ � =� ��6�� � � ���6 ��� ��� �� � ������ �� ;� ������ �� �=���� � ������ ������ �� � � �����> ������ �� ���� � ��� � � ����� � �� � �� ����� � � � ������ � ������� ���� � ���� /� �����$��� � ��������� � � �� ������ �� �� 2�� ���$��� 8.9� ������ ��$� �E0 � �������� ������6����� ������ �� ��$� ��E*"�* � ���������E* ������ $��� E"� ����� ����� 8*9 � ��������$� �������� ����������� � ���� ������$��� E"� ����� ����� 809 � ������ ��$� �E0

� ���� � ��E* � ��E ������ $��� E* ����6� ����� 819 � ������ ��$� �������� �E*

� �E ������ � �������� ��E* � ��E���� � ������ $��� E* ����� ����� � 8?9 ����E* ����� ���� ���� �������� ��E* ������$��� �� ���� ���� �� ���� ������ ������ 8-9E* �������� ���� �� ���� � E���E ����� ����� ���� �� ���� ���� � ���� � ����� �6��� ���� :� �� ������ �� � ����� ���� �� E*

���� �� ���� � �� �� � � �������� � �������� �� �� ������� ����� 2�� ���$�� �������

�������� �������

/� ������ $��� ��% �� �� �% )�� ;$ �E �� � )�� I���� � ������ �� #������ ������� ������� � ����� ����� /��� $��% � ��� ������� �� #������ �� )���� � )�� � ��6� ������

����������

3.4 ��)� ) ���� G�:� # ����� � ����� ����� 0A 8.C--9 ?A1�

3*4 I��� ����%��� /��� ���� F���� * 8.C-(9 .�

304 �� G%������ � ;��������� ���� ..C 8.CA*9 ..**�

314 ��E� �%� I�:� I������ � ��� � ����� ���� *0( 8.CA*9 *(�

3?4 '��� '����� ���� �� � /������ *+ 8.CAA9 -0�

3-4 '��� � �<� ����� *+( 8.C(+9 (1.�

3A4 "�6;� #���� ��� /��� ���� F���� -? 8.C(+9 .A.�

3(4 "�6;� #���� ��� ;� �� �� # ��� "��� A 8.C(*9 AC�

3C4 �� � ��� M� :���� �� ��O�� � :� � $ � E� / � % �

� ��� "� �� ���� ?( 8.CA?9 C+�

3.+4 '� 7���� ��� "����� � 0? 8.CAC9 (++�

3..4 I�H� G� �'� ������ '�)� !����� � ��� "� �� ���� A?

8.CC*9 *(+0�

3.*4 �� H ��� E�6�� F��� :��� ' �� �� #�:� � ��� "� �� :���

*. 8.CC?9 .0A�

3.04 "�#� I ��� P�J� � �� #� '���� F�G� '���� #� #������

� # ��� ���� 0. 8.CC-9 ?*(.�

3.14 E� /�� � � � ����� "����� 00 8*+++9 C?�

3.?4 F� ��<��� ��� �������� ����� '�� G��� ?A 8.C(-9 ..(?�

3.-4 '� I��%�$� ��� �������� ����� '�� G��� -+ 8.C((9 .+1C�

3.A4 ��� �������� '� I��%�$� ����� '�� � 0C 8.C(C9 ?+C.�

3.(4 G� ������ �G� ������N� )� �������� ����� '�� � 0(

8.C((9 .0..0�

3.C4 7� ' ������ � ������ �� ;�������� /�� F ����� �����

'�� � 11 8.CC.9 .C?1�

3*+4 �� :���<�% � H� :� ��� /� / % �% � :� ������%�� �����

����� ���� .0+>.0* 8.CC(9 .+A�

3*.4 /� I � � �� �� :���% $ � #� � %�� � � /� # ����� �

� #���� � � ;��������� ���� .1? 8.CC(9 1*?*�

3**4 #� �O��%=����� #� 7������ /�#� 7��%� K�R� � �������

����� '�� � ?A 8.CC(9 *0*A�

3*04 P�6�� I ��� 7� M� �� � H ��� �� "�� ����� '�� � -+

8.CCC9 '*.1-�

3*14 7� M� �� � H ��� �� "�� P�6�� I ��� /��� ���� F����

0-- 8*+++9 .*.�

3*?4 �� H�%�� � � �� :% � �� � O�% $ � H� � % ���� �

����� ����� ���� .0+>.0* 8.CC(9 0?*�

3*-4 �I� �� ��� ��I� R��� ��"� )������ ��#� 7���� ����� ����

1.( 8.CC(9 G.1�

**1 ���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1

3*A4 H� I�O O � #�#� #������� "��� #���� �� � �����

"��� � .+1 8*+++9 *?*A�

3*(4 ��� I� �� I��� 7� � :::� � "��� ����� CA 8.CC*9

?+1(�

3*C4 �� ! ������ � '��� � �� � :� ;���O��� ����� '�� G��� A?

8.CC?9 (?(�

30+4 "�6�� G����� �� ! ������ � '��� � �� � :� ;���O��� ;���6

����� G��� 0. 8.CC?9 *+.�

30.4 I�6H� "����� H�6�� P�� �)� 7 �� #� '����� � ���

"� �� ���� (. 8.CC(9 0.(C�

30*4 F� ����� #�� � �F� ����� �� F <<��� :��� � J� ���

"��� A+ 8.CC(9 CA0�

3004 F� ����� #�� � �F� ����� �� F <<��� ����� '�� � ?(

8.CC(9 (0*0�

3014 '��� � �� � �� � % ��� �� /����� � �� ! ������ � �����

'�� G��� A( 8.CCA9 -(C�

30?4 #�;� � �������� '��� � �� � �� � % ��� �� R�6

�����%�� �� ! ������ � :� ;���O��� �� # ��% �� 7�6G�

M� �� � ;��� "� �� ���� .C 8.CCC9 **-?�

30-4 �� R������%�� #�;� � �������� �� � % ��� '���

� �� � �� ! ������ � :� ;���O��� �� # ��% �� �� #���� �

����� '�� G��� (1 8*+++9 0.(�

30A4 #�;� � �������� �� R������%�� �� � % ��� '���

� �� � �� ! ������ � :� ;���O��� �� # ��% �� ����� '��

G��� (1 8*+++9 0**�

30(4 ��H� G��� #�G� "���� ����� '�� � 1. 8.CC+9 .+A*A�

30C4 H�6�� P�� I�H� "����� ����� '�� � ?. 8.CC?9 .A0AC�

31+4 �� '��6��� ��� )�E� 7 �� �� :�G� 7 �<��� ����� '�� �

?* 8.CC?9 -*C0�

31.4 7�G� M� �� #�;� � �������� ����� '�� � ?( 8.CC(9

.((A�

31*4 7� � �������� )� ;���� � ����� '�� � -+ 8.CCC9 .*-.A�

3104 I�H� "����� G� R�� ��� �)� 7 �� ����� '�� � -. 8*+++9

(-C-�

3114 ���� ���%��� �!� "��� )� ������ � ��� � ���

� ;��������� ���� .1- 8.CCC9 1*+0�

31?4 ���� � � ����� ���� ���� ��������� ���� � ������ G�G�

� ����%�� �!� "��� ���� ���%��� # ��� ���� �������

������� 0 8*+++9 *0�

31-4 #�I� ������� � ��� � "������ "��� .1 8.CC09 .01A�

31A4 #� � F����� � ��� 7�K��:�� C(7�K��:�� C(� '������ ��A� 7 ���� ��

:���� ����������� ��� .CC(�

31(4 )� � )���� ��� :� ��������� ���� '�� 8;��9� �� ���

�� "���� � �������� I���� �$ H��%� .CC-� �� .�

31C4 �� I����� �� �����<� 7� '��� 7� #����� "���

"������ .? 8.C(-9 ?C.�

3?+4 7� '��� � '�� �� I����� �� �����<� 7� #����� M�

� ����������� �� "��� ���� 11 8.C(C9 A(-�

3?.4 � ���� ��� K� ��������� #� ��� ��� '� ����

R�� ���� ����� .A 8.CC(9 C1A�

���� 0�(���7�� � �� ��� 8 ������ ���� �� �&. 9�,,�: ��%;��1 **?