Cophasing of segmented mirrors using the pyramid sensor

7
L@t?} Lu ti}4i?|i_ 4hhLht t?} T)h@4_ ti?tLh V1 Hvsrvlwr Q / H1 Slqqd Q / D1 Wr}}l Q / S1 Vwhidqlql Q / Q1 Ghydqh| Q Rvvhuydwrulr Dvwurvlfr gl Dufhwul/ Odujr H1 Ihupl 8/ 83458 Iluhq}h/ Lwdo| Lvwlwxwr Dvwurvlfr gh Fdqduldv1 JWF Surmhfw/ Od Odjxqd/ Whqhulih/ Vsdlq DEVWUDFW Doo wkh surmhfwv ri wkh H{wuhpho| Odujh Whohvfrshv +HOWv, duh edvhg rq vhjphqwhg sulpdu| pluuruv1 Wklv lghd/ vroylqj wkh sureohp ri surgxflqj vlqjoh pluuruv kdylqj gldphwhu odujhu wkdq ;p/ lqwurgxfhv wkh qhhgv iru dq dffxudwh fr0skdvlqj ri wkh ydulrxv vhjphqwv1 Wkh sdshu suhvhqwv vrph oderudwru| phdvxuhphqwv dlphg wr lqyhvwljdwh wkh xvh ri wkh s|udplg vhqvru dv fr0skdvlqj vhqvru1 Wkh s|udplg vhqvru ehkdylru lq phdvxulqj d glhuhqwldo slvwrq ri wkh lqfrplqj zdyhiurqw lv dqdo|}hg lq ode xvlqj lqwhuihurphwulf phdvxuhphqwv dv uhihuhqfh1 Wkh rewdlqhg uhvxowv vkrz wkdw wkh vhqvru fdq phdvxuh wkh glhuhqwldo slvwrq zlwk dq dffxudf| ehwwhu wkdq 49qp rq wkh zkroh phdvxuhphqw udqjh 3051 Ilqdoo| wkh vhqvru vhqvlwlylw| l1h1 wkh udwlr ehwzhhq vhqvru vljqdo dqg glhuhqwldo slvwrq dpsolwxgh dv d ixqfwlrq ri wkh wlow prgxodwlrq lv phdvxuhg1 Xvlqj wkh phdvxuhg vhqvlwlylw| ydoxhv zh hvwlpdwh wkdw wkh uhvlgxdo glhuhqwldo slvwrq zdyhiurqw huuru gxh wr sxuh skrwrq qrlvh/ frqvlghulqj 5p 5 duhd vhjphqwv dqg d 48 U pdj vwdu lv :17qp1 41 LQWURGXFWLRQ Wkh lqwurgxfwlrq ri vhjphqwhg pluuruv lv nh| hohphqwv lq wkh uhdol}dwlrq ri rswlfdo txdolw| pluuru odujhu wkdq ;p1 Lq sduwlfxodu doo wkh h{wuhpho| odujh whohvfrsh surmhfwv xvh sulpdu| dqg hyhq vhfrqgdu| vhjphqwhg pluuruv1 4~6 Rqh gudzedfn ri wklv nlqg ri vhjphqwhg pluuruv lv wkh qhhg wr fduhixoo| fr0skdvh doo wkh vhjphqw wr dyrlg gludfwlrq hhfwv lq wkh qdo lpdjh1 7/ 8 Wklv lv hvshfldoo| wuxh iru kljk dqjxodu uhvroxwlrq revhuydwlrq zkhuh hyhq vpdoo hhfwv fdq eh yhu| gdqjhurxv1 Vhyhudo whfkqltxhv iru vhjphqw fr0skdvlqj dqg doljqphqw kdv ehhq sursrvhg dqg xvhg lq uhdo olih dw wkh Nhfn whohvfrsh1 9~; Zh uhsruw khuh vrph oderudwru| whvw grqh wr hydoxdwh wkh xvh ri wkh S|udplg zdyhiurqw vhqvru dv d fr0skdvlqj vhqvru1 Wkh s|udplg zdyhiurqw vhqvru </ 43 kdv ehhq sursrvhg dv d vhqvru iru whohvfrsh fr0skdvlqj lq wkh vflhqwlf olwhudwxuh lq 53341 44 Wkh vhqvru ehkdylru kdv ehhq dqdo|}hg dw uvw xvlqj qxphulfdo vlpxodwlrqv1 44 Lq sduwlfxodu d qxphulfdo frgh zdv lpsohphqwhg wr vlpxodwhg wkh pluuru fr0skdvlqj rshudwlrq xvlqj d SV zrunlqj lq forvhg orrs1 Wkh vlpxodwlrq zrun vkrzhg wkdw wkh vhqvru fdq vhqvh dw wkh vdph wlph glhuhqwldo slvwrqv/ vhjphqwv wls dqg wlow dqg rwkhu frqwlqxrxv dehuudwlrq1 Txdqwlwdwlyho| wkh vlpxodwlrq vkrzhg wkdw/ iru d whq phwhu whohvfrsh/ dq dffxudf| ri 73qp upv fdq eh dfklhyhg xvlqj d 4818 pdj vwdu1 Wkh forvhg orrs fruuhfwlrq surfhvv uhtxluhv ehwzhhq 8 dqg 63 lwhudwlrq +orqj h{srvxuh iudphv rq wkh ZIV, wr frqyhujh ghshqglqj rq wkh dwprvskhulf wxuexohqfh frqglwlrq1 Diwhu wkh vlpxodwlrq vwxglhv zh kdyh ghflghg wr shuirup d uvw h{shulphqw wr vwxg| wkh vhqvru ehkdylru lq wkh oderudwru|1 Zh kdyh xvhg wr wklv dlp wkh ZIV rswr0phfkdqlfv ri wkh s|udplg zdyhiurqw vhqvru wr eh xvhg iru wkh uvw oljkw DR v|vwhp ri OEW1 45 Wkh sdshu ghvfulehv lq wkh vhfwlrq wzr wkh xvhg rswlfdo vhw0xs dqg lq vhfwlrq wkuhh wkh phdvxuhphqwv ri glhuhqwldo slvwrq wkdw zh kdyh shuiruphg1 Lq sduwlfxodu vhfwlrq wkuhh vkrzv wkdw wkh phdvxuhg uhodwlrqvkls ehwzhhq wkh glhuhqwldo slvwrq dqg wkh vhqvru vljqdo djuhhv zlwk wkh uhvxowv ri wkh qxphulfdo vlpxodwlrqv1 Vhfwlrq irxu ghvfuleh wkh gdwd uhgxfwlrq surfhvv wkdw doorzv wr rewdlq wkh phdq glhuhqwldo slvwrq uhvlgxdo huuru lq wkh phdvxuhphqw udqjh 3051 Vhfwlrq yh uhsruwv derxw wkh phdvxuhphqwv grqh wr hvwlpdwh wkh vhqvru vhqvlwlylw| wr glhuhqwldo slvwrq l1h1 wkh udwlr ehwzhhq wkh vhqvru vljqdo dpsolwxgh dqg wkh fruuhvsrqglqj glhuhqwldo slvwrq1 Xvlqj wkh vhqvlwlylw| ydoxhv phdvxuhg lq wkh ode zh frpsxwh wkh glhuhqwldo slvwrq uhvlgxdo huuru gxh wr sxuh skrwrq qrlvh iru d forvhg orrs frqwuro v|vwhp1 51 WKH ODERUDWRU\ VHW0XS D slfwxuh ri wkh h{shulphqwdo vhw0xs dvvhpeohg lq ode lv uhsruwhg lq jxuh 41 Wkh v|vwhp lv duudqjhg vr wkdw zh fdq lqwurgxfh lq rxu rswlfdo v|vwhp d glhuhqwldo slvwrq wkdw fdq eh phdvxuhg vlpxowdqhrxvo| xvlqj wzr glhuhqw lqvwuxphqwv= d uhihuhqfh lqvwuxphqwv wkdw lq rxu fdvhv lv d Wz|pdq0 Juhhq frpphufldo lqwhuihurphwhu surgxfhg SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.1 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59 Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within the margin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

Transcript of Cophasing of segmented mirrors using the pyramid sensor

�������� �� �� ���� ������ ��� ���� �� �����

�� ��������� �� ����� � ������ � ���������� �� ��������

������������� ��������� �� ������ ����� �� ����� � � !"� ������� #��$��#����%�� ��������� �� &�������� '�& ��(��� �� ���%�� �������� �����

��������

$$ �)� ���(���� �� �)� �*�����$� ����� ��$������� +����, ��� -���� �� ��������� ������� �������� �)������ ��$���� �)� ���-$�� �� ����%���� ����$� ������� )����� �������� $����� �)�� .� ������%��� �)� ����� ����� ���%���� ��/�)����� �� �)� �����%� ��������� �)� ����� �������� ���� $�-������� ����%������� ����� ������������� �)� %�� �� �)� ������� ������ �� ��/�)����� ������� �)� ������� ������ -�)����� �� ����%���� ���0�������$ ������ �� �)� �������� 1�������� �� ���$���� �� $�- %���� ��������������� ����%������� �� �����������)� �-������ ���%$�� �)�1 �)�� �)� ������ ��� ����%�� �)� ��0�������$ ������ 1��) �� ���%���� -����� �)�� !2���� �)� 1)�$� ����%������ ����� /"�� ����$$� �)� ������ ����������� ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ �����0�������$ ������ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ����%���� 3���� �)� ����%��� �������������$%�� 1� �������� �)�� �)� �����%�$ ��0�������$ ������ 1�������� ����� �%� �� �%�� �)���� ����� �����������"�� ���� �������� ��� � !� 4 ��� ���� �� 5�6���

�� ���� ���

�)� ������%����� �� ��������� ������� �� 7�� �$������ �� �)� ���$������� �� ������$ 8%�$��� ������ $����� �)�� .��#� ������%$�� �$$ �)� �*�����$� $���� ��$������ ���(���� %�� ������� ��� ���� ��������� ��������� �����������

��� ���1-��7 �� �)�� 7��� �� ��������� ������� �� �)� ���� �� �����%$$� ��/�)��� �$$ �)� ������� �� �������0������� �0���� �� �)� ���$ �������� � �)�� �� �������$$� ��%� ��� )��) ���%$�� ����$%���� �-��������� 1)������� ���$$ �0���� ��� -� ���� �������%�� ������$ ���)��8%�� ��� ������� ��/�)����� ��� �$������� )�� -����������� ��� %��� �� ���$ $��� �� �)� 9��7 ��$��������� :� ������ )��� ���� $�-������� ���� ���� �� ���$%��� �)�%�� �� �)� ������ 1�������� ������ �� � ��/�)����� ������� �)� ������� 1�������� ������� �� )�� -��� ���������� � ������ ��� ��$������ ��/�)����� �� �)� ��������� $������%�� �� " !��� �)� ������ -�)����� )�� -��� ���$������ ���� %���� �%������$ ���%$��������� #� ������%$�� � �%������$ ���� 1�� ���$������� �� ���%$���� �)� ��������/�)����� ��������� %���� � � 1��7��� �� �$���� $���� �)� ���%$����� 1��7 �)�1�� �)�� �)� ������ ��� ������� �)� ���� ���� ��0�������$ ������� �������� ��� ��� ��$� ��� ��)�� ������%�%� �-��������� ;%����������$� �)����%$����� �)�1�� �)�� ��� � ��� ����� ��$������ �� ���%���� �� 6 �� ��� ��� -� ��)����� %���� � !��� �������� �)� �$���� $��� ���������� ������� ��8%���� -��1��� � ��� < ��������� +$��� �*���%�� ������ �� �)� :��,�� �������� ��������� �� �)� ������)���� �%�-%$���� ���������� ���� �)� ���%$����� ��%���� 1� )��� ��������� ������� � ���� �*�������� �� ��%�� �)� ������ -�)����� �� �)� $�-�������� :� )��� %��� �� �)�� ��� �)� :������/���)����� �� �)� ������� 1�������� ������ �� -� %��� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� �����������-�� �� �)� ������� �1� �)� %��� ������$ ���/%� ��� �� ������� �)��� �)� ����%������� �� ��0�������$ �������)�� 1� )��� ���������� #� ������%$�� ������� �)��� �)�1� �)�� �)� ����%��� ��$������)�� -��1��� �)� ��0�������$������ ��� �)� ������ �����$ ������ 1��) �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$������� ������� ��%� ������-� �)� �������%����� ������� �)�� �$$�1� �� �-���� �)� ���� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �� �)� ����%������ ����� /"�� ������� ��� ������� �-�%� �)� ����%������� ���� �� �������� �)� ������ ����������� �� ��0�������$ ���������� �)� ����� -��1��� �)� ������ �����$ ���$��%�� ��� �)� ������������� ��0�������$ ������� 3���� �)� �������������$%�� ����%��� �� �)� $�- 1� ����%�� �)� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �%� �� �%�� �)���� ����� ��� � �$����$��� ������$ �������

�� ��� ���������� ���� �

����%�� �� �)� �*���������$ ���/%� �����-$�� �� $�- �� �������� �� ��%�� !� �)� ������ �� �������� �� �)�� 1���� ������%�� �� �%� ������$ ������ � ��0�������$ ������ �)�� ��� -� ����%��� ���%$�����%�$� %���� �1� ��0����������%�����> � ��������� �����%����� �)�� �� �%� ����� �� � �1����/ '���� ���������$ �������������� ����%���

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.1 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

Differential Piston unit (3)

PS (2)assembly

FISBA interf.Unit (1)

Differential Piston unit (3)

PS (2)assembly

FISBA interf.Unit (1)

������ �� �)��� �� �)� $�-������� ���/%� %��� ��� �)� ��0�������$ ������ ����%�������� :)��� $���� �)�1 �)� �1���0����� ������$ ���)� �)� �)��� ��� ���$��� �� �)� �#�= �)� $��� ��� �� �)� ������� �������

-� �#�= �����%�����+!, ��� � ������� 1�������� ������+",� �)� ����/���)�����$ �����-$� �� �)� � �� �)���������� �� �)� � ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� ������$ ��%�$��� �� �)� � ��� �)� �#�= �������������� �� �-������ %���� � -��� ��$������ �)� -���� $���%� �� �������� �� �)� ��%�� ! 1��) 1)��� $������)� $��� ���) �)�1� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� ��0�������$ ����� %��� +�, +<, �� ��?����� ����� -��)� -��� ��$����� ��� ���� �� �)� � ������$ ������ �)� �)��� ���) �� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� �%��� �� ���� -��7 �� �)� �#�= ��������������� �)� ��0�������$ ������ %��� �� �)� ����/���)�����$ ������ %��� ��������%�� � ������� � �� �)� $��)� -��� �$$%�������� �)� �������������� ��� �)� �� ����%�� �� �)� ��0�������$������ %��� �� �������� �� ��%�� "� �)� ������$ ���������� �� �)� %��� ��� �1� �$��� �%-�� �� !��� ���� 1��)� ������ ��$��)�� �� ������$ ���%���� �� ������)� �%-�� )��� -��� ��$��)�� �� �-���� ������ 1��) 8%��� ���%����@ � ���$��� �)� ����� �� ������ ����������� �� $��� �)�� � ������� �)�� ��������� ���%��� �)�� 1)�� �)� �%-�� ����� ������$ ������� �)� ������ �� �)� �%-�� )��� � ���$$ ��0�������$ ��$�� �)� �%-�� )��� ��� �$%������ ���� ���)�)�� 1�$$ -� %��� �� ��?������ �%����� ��� 1�$$ ���� �%� ��������� ��� �)� �%����� ���%��%�� �� �)� �%-���$$�1� �� �$��� ��� �%-� �� �)� ���%��%�� ��� �� �%�) �)� ��)�� �%-� ������� �)� ���� ���� #� �%�) � 1�� �)����� �%-� ���� �� ��������� ��� �)� ������ �%-� ���������� =�)��� �)� ������ �%-� 1� )��� �$���� � ���������$���)�����$ ���%���� �)�� �$$�1� �� ����$��� �)� ������ �%-� 1��) ������� �� �)� ���� ��� �� ������%���� � �� �$���� ���1 �� �)� �1� �%-�� ��� �)��� ���)�����$ ��%��� �� �������� �� ��%�� "� �)� �1� �%-�� ��?�������%������ ��� �$���� �$��� �� �)� ������ �������� �%��$ ��� �)� �%-� ����$������� �� ��������� ���%$�����%�$�-� �)� ���������$ �#�= �������������� ��� -� �)� �� �)� ������� ������ -���� �� �)�1�� �� ��%�� !� #� �%��*�������� 1� ��� %���� �)� ��*��%� �%��$ ����$��� �� �)� ������ �)�� �� �� < ����$��� ����� + < &&� ��*�$,�� � �%��$ ��������� �%� &&� � A������ &&�<@ )�� � ����/�%� �$�������� )����� � ����$%���� �� !6 -�� �$$�1���� ���� ��������� ����%�������� �)� ������ )�� �)� �����-�$��� �� �)���� �)� 1�������� ��$� ���%$����� %���� ����������$ �����/������ �������� ������� �)�� ������ 1�$$ -� %��� �� �)���������� �)� � �����$ �� � �%������ ���)� ��$� ���%$������ ����$$� 1� )��� �)� ���������$ �������������� �#�= � �)�� %��� �� �)� $��)� ��%��� �� �)�

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.2 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

Reflecting surfacesof the cubes

Piezo driver for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Actuator for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Piezo driver for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Actuator for cubedisplacements

������ �� �$���� ���1 �� �)� ��0�������$ ������ %��� �)�1��� �)� �1� ��?������ �%-�� ��� �)� ���)�����$ �����-$� %����� �����$��� ��� �%-� 1��) ������� �� �)� ��)���

�*�������� ��� �������� � ��$$������ -��� �� ! �� �������� �)�� �� ������� -� �)� ������ �������� �%��$ ��.�� $������ " �� ����� ���� �)� �1� �%-�� ��?������ �%������ �)�� �� ���� �� ����� �� )��� � $��)� -��� ���)� ���)� �B �� �)� �� #� �)�� ���%����� � � ������%��� ������ ��� �� �)� �%-�� �� ���� ���%$�����%�$� �� �)��1� �����%���� ��� �)� ���%$�� �� ���� �� ����%��� ������$ ���) ��0������ ��� -� ���������

�� ������ ����� ���� ���� � ��������� �������������

�)� ���� ��� �� ����%������� ��������� 1�� ����� �� ������ �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)�������%��� �� �)�� �� ���� ����������� �)� �����$ �)�� 1� ��� �� ��� ��*�$ �� �)� �%��$ $������ 1)��� 1� )����)� 1�������� ���������%���� �)� �����$ �-������ �� �)� � 1)�� �)� �������� 1�������� �������� � � )��-��� �)�1�� �� �����$ 1��) �%������$ ���%$�������� C��� 1� -���?� 1��� �� ����$$ �)�� �)� ������ �����$ ���-������ ���$���� �)� ���� �$�����)� %��� �� �������� �)� 1�������� ������������ ��� ����� ��� � �� �� �� � -��)� ��������� ������-%���� �� �)� ��%� �%��$ ������ ������ �� �)� &&� ����� �)�� �)� �-������� �������� -����� ��������� -� �)� �������� �)� %�%�$ ������� ��� � �����$� ��� �-������ ��

�� � ������ �� ����� ���� ������ �� ����� ���� � �� � ����� �� ����� ���� ������ �� ����� ����

�)� ���� ����%$�� ��� %��� �� �)� ���� �� �)� � �����$� A������� ���%$����� )�� �)�1�� �)�� �)� �����$ ��� ���%�����$ �%������ �� �)� � ����$�� �� �� � ��� � ��� �)� � ��� �)� $��)� 1���$����) �)� ������ �����$ ���)� ��������� ���)�����$ �� �)� ������� ���� 1�$$ -� ����� -� � � ��������� =���%�� �)� � �� ��������� �)��)� 1�������� ���������� �)� �����$ ��*��%� �� $������ 1)��� �)� 1�������� ���������%��� �� $������� :� )������� ��������� ���� ����%������ �� ������ �)� ���%�����$ ��$������)�� -��1��� � ��� � �����$� �� �� �� 1����$� � ������� ��0�������$ ������ �� ��� �� �)� �%-�� ��� 1� �%� �� �)� ���� ���� �)� � �� �-�%� ! ��������� ������� :� ���� �-�%� " �< ������ �� �)�� 1� ��� ��$$�1 �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ 1)���)� ���%���� �� ������ �� �������� ����� ��� �� �)� �%-��� �)� �����$ -�)����� �� ��� ��*�$ �� �)�1�� �� ���6�����)�� 1��) � ���%�����$ ������ �� �)� �����$ ���$%����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1����)� �������� ���� ��� �)� ���%�����$ ��$������)�� ��������� -� ����� �� �)� �%������$ ���%$��������

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.3 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ �� �)� �������$ ���$%���� �� �)� ������ �����$ �� � ����$� ��*�$ $������ ������ �)� �%-�� ���������%���� #�����$ ������$ ��$%� ��� -� %��� �� ��������� ������$ ��� ���$ �%-�� ��0�������$ ��������

�� �� ��� ���� �� ��������� ���� ���� ������

������ ���7 �� �� ������%�� � ������� � ��� �� ������� �)� �������� ����� -� �)� � 1��) �)� ���������-������ %���� �)� �#�= ��������������� �)� ���������� �� �)��� �1� ���%$�� ��� ��0����� ��$%�� �� � ����%� �)� ���%���� �-������ %���� �)� � �� ��/�)����� 1�������� ������� �� �� �� ���� 1� ����� �)� ��8%������� ���)� � ������ -����� �������� �� ������ �)� ������ �� �)�� 1� ������� %���� �)� ���%���� �)� ������$ ���%���� �� ����$$� 1)�� 1� ��� �)�� �)� �%��$ �����$ �� ���-$� �� �)�� �)� ���%���� ��� �)� �%-� ��� ������� 1���� ���� ��)�� ! ������ ��� 1� ���� �)� ��8%�������� �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ ��� � ����$� ��*�$�)�� �� � 7��� �� �%��� ����$�� �� �)� �%��� ��������� �� ���6� 3���� �)��� ���� 1� ��� �-���� �)� ���%�� ��� ������%��� -� �%� ���%���� ��7��� �)� ��0������ �� �)� ���$ ��� ������$ �� �� ���$%��� ������$ ��� ���$��$%�� �� � 1� )��� �� %�� �)� ���%�����$ ��$������)��� =���%�� 1� ��� ��$$�1��� �)� �������$ ���$%���� 1���� ��$�%$��� � ���� -����� �)�� "�� �� ���$%��� �)� ���%���� 1� ��� �-���� 1��) �)� � 1� )��� ���������������$ ����%������ �� �)�� 7��� �� �)� ����� /"�� �)� ��������� ����%������ �� �)� � ��� ��7�� %�����)� �#�= ��������������� �� ����%�� �)� � 1� ��� %���� �)� �������������� ��� �� ������� �)� 1���������)��� -%� ��$� �� ������ �)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)� ��������������)�� ��� � 1�$$ ��������� �%������ -���� �)�� ���%� �� %�%�$$� ��$��� �� ������$ �����$��� %���� � ��$�-������������ #� �%� ���� 1)��� 1� ��� 1��7��� ������$� �� �)� ����%�� ������� ��� 1� �� ��� �� �)��%�) �)� 1����������������%����� ������� 1� )��� �� 1��7 1��) ��� ����$$�$ �������� #� �)�� ���%����� ����%���� �)� � ��$$�1����)� ������� ����$�������� �� ��� ���� -���%�� �)� ������� ������ �)��� �)��� 1)�� 1� ���$� � � �� �)� �)����������� �� �� 8%������ �)� � ������%��� �� �)� ����%������ 1� %�� � ���)��� ����$�� �� �)� ���)��� %���1��) �)� �� ���� �� �)�� ���� 1� �������� �)�� �)� ������� ��������� �� � ���%�����$ �%������ �� �)� 1���������)��� ��0������ 1��) ������� �� �)� ��������� -��� �)���� :� ����%�� �)� ��������� ��$%� �� � ����$� ��*�$ ���)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)�� 1� %�� �)� ������� ���%� �%������ �� ���

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.4 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� �-������ 1��) �)� ������� ������ �$����� ������� �)� ���� ����%��������-������ 1��) �#�= � �)� $����� �� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� �1� ��� �� ����%�������

-��7 �� �)� �)��� ���$�� �� �)� ������$ ��� ���$ ��������� �)� ��0������ -��1��� �)��� �1� ���$�� ���� %� �)�������%��� �� �)� �-������ ��$%�� ��� �������� 1��) �)� ������������� � ��$%��� �)� ���%$�� ��� �������� ������ �����)�� 1��) � $����� �� �� �)� ����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� ����%��������� �)� �1� �����%������ ;%����������$� �)� ��� ����� �� �)� � ����%������ ������ 1��) ������� �� �)� �������%��� �� @ ������ ������������� �� !��. �� �� 1�������� ����� �� �)� �*�$���� ����%������ ������

� ��� ������ ����� ������� �� ��������� ����

�)��� ��������� ������ �� �� ���$%��� �)� ������ ����������� �� �)� � ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ ����)� ���$��� �� �)� �������� �)����� ��� �)���� -��1��� �)� ��%� �%��$ ������ �� � ��� -�$����� 1�� 1)���)��� �� � �� �)� ��$����� ����������� �� ������� �)� ������ �� �)� ��$������ �� �)� ���������� �� %�-�$������)����� ������� -� � ������� �� =���%�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� � �� ��� $�����1� 1�$$ ��������� �)� ���������� �� �)� �����$ 1��) ������� �� �)� � �*������� �� ������$ ���) ��0������� �)����������� �� ����%��� ��� � ��$%� �� ���� � �)�� ���������� �� �)� ���� �����$ �������� �� �)� ������� �)�� �� �)��������� �)�� �)� ������ �)�%$� ����) ����� � ������� �%�-�� �� ���������� ���������� �� � �%������%$ �$���� $������������� :� )��� �$����� ���������� �)�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)� � �� � ���%�����$��� ��� 1� )��� �)�1�� �)�� �)� �*���������$ ���� ��� -� ����������� �� ��� � � � �������� 1)��� �� �)����$��%�� �� �)� �����$ ��������� ���� �)� �*���������$ ����� �)� ���������� �� �)�� �%������ ��$�%$���� ���� � � �� ����� -� � ��� � � � ����� �)�� ���������� ���������� �)� ������ ������������ �� 1� ��� �������� �)��8%������ �*���������$$� ���� �%� ���� ����%���� �)� ���$��%�� �� �)� 7��1$���� �� �)�� ���������� �$$�1� %��� �������� �)� ������ ����� �� ����� �� � 1)�� � ������� ���%�� �� �)����� �� ����$�-$� ��� �)� ����%�������� �)� 1�������� ������� �%� ����%������� �������� �� ��%�� � �)�1 �)�� �)� ������ �������� �� � ����� ��� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ A������� �)� �����$ ���$��%�� �� ��%�� �� -� �������$� �����������$ �� �)����/��$� ���%$����� ����$�� � �� �*���$� �� ����������� ����%������ $��D� ��7� �� ������������ ���%$����� ����

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.5 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ � $�� �� �)� ������ �����$ ���%�����$ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ �)� ���� �$���$� �%������)�� ������ �����$ ���$��%�� �� �������$� �����������$ �� �)� ��$� ���%$������

$�7� �)� ". �� ���%$����� ��������� #� �)�� ���� �)� ����%��� �����$ ���$��%�� �� �""�� &���������� � �������1���$����) �� 5� �� 1� ��� ����%�� �)� ���������� � ��� ��� 1� ��%�� � ����������� ��$%� �� !�@�! ��������:��) �)�� �%�-�� 1� ��� �������� �)� � ����� �%� �� �)���� ����� 1)�� �)� ������ �� 1��7��� �� �$����$���� �)�� �� ���� ����������� �)�� �)� �����$ ?%��%����� �%� �� �)���� ����� ��$� �� ����� -� ��

����� 1)���

���� �� �)� ����$ �%�-�� �� �)����� �������� -� � ����� �%-�����%��� #� 1� ���%�� � ������� ���� �� " ��"*" �%-�����%��� ��� ������� �� ����������� ���� �� < � �� ������$ �E������ �� �! 1� ��� �)�� %���� ���������� ���� �� !� 4 ��� ����� � �����%�$ � ����� �� �)� 1�������� �� 5�< ����)�� ���%$�� �� ���������� 1��)�%� ���%$����� ���%$�� �)�� ���� �-�%� 6 �� �� �����$$ �����%�$ � ����� �%� �� �)���� ����� ��� ������)����?%��%������

!� ���� ��

�)� $�-������� �*�������� ������-�� �� �)�� ����� �)�1� ��� �)� ���� ���� �)� ������� ������ �-�$��� �� ������� 1�������� ��0�������$ ������� #� �)�� �*�������� 1� )��� %��� 1��)�%� ��� �)���� �� �)� ����/���)�����$���/%� �)� ������� 1�������� ������ ��������� ����$���� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �)� ����� =����%$����$������� �%� ����%������� ������ �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$����� �)�1��� �)�� �)� ��$������)��-��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� ��0�������$ ������ ���%�����$ 1��) ������ �8%�$ �� �)� 1���$����) �� �)� $��)�%��� ��� �)� �������� A������� �%� ����%������� ���$%��� �)� ���%���� �� �)� ��0�������$ ������ �������� �����-� �)� ������� ������� �)�� ���%���� �� ��%�� �� -� !2�� �� �)� 1�������� �� �)� ����%������ ����� �� ���1���$����)� ����$$� 1� ����%�� �)� ������ ����������� ���� �)� �$��� �� �)� ���%�����$ ��$������)�� �� �)� ��������)�� �%�-�� ���� �� �������� �� �)� �%�-�� �� %�-�$����� �)����� �������� -� �)� ������ ��� ��������� ����0�������$ ������� �)�� 8%������ �� �)� ��������$ ��� �� ����������� �)� $������� ������%�� �� �)� ��������� ������ -� %��� �� ��%��� ��� �)� ��/�)����� �������� 3���� �)� $�-������� ���%$�� 1� �������� �)�� � ��������� ����1��) 4 ������%�� �� !� ����� �� �����$$ 1�������� ���%���� �� 5�< �� �� ���) �� �)� ������� ��0�������$ �������

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.6 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

����$$� �%��)�� 1��7 �� ������ �� �������� �)� ����� ��%���� �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� ��� �� ����)� �*��� -�)����� �� �)� ������ �����$ �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ������ � ������� �������� �� �)���������� ���� $������� ������%���

���������

!� � ������7* F��� =��7��� �� =�%����� 4� &���� �� ������� 4� '�$����� �� C%-�� �� 9��) A� �� ��%����� A���)���� '�F� A����� �� ����)� A� ;%����� A��� ������� F� �������$�� �� G����7��� H�)� ��� ���)� -�)�$���>��������� �)� �:�H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$��������� ��!�!/!5 +" ",

"� F��� ��$��� H������� �� &�$������� �*�����$� ����� ��$������ +&���,H �%�%�� '���� ��$������� ������#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��65/�@ +" ",

<� �� ������� ��� ���-��� F� =��7��� � '���)���� A� �1���/������� C� 4��1�$�� 4� ���$ ��:�$7�� H�)� �%��� �*�����$� $���� ��$������H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$I 4� '�$����� ���� ��"!6/""� +" ",

6� �� G����7��� 9� ��)$�� � ������7* H��0������� �� �:�> �0���� �� ������������ ��� �������� ���������%��H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��!5!/!." +" ",

�� A� ���� '� � &)���� H��0������� �0���� ���� ����� ��������� ������ ��$������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��.!/@" +" ",

2� '� &)���� &� �)��� A� ���� H)����� �)� A����� �������� �� �)� 9��7 ��$������� ##> �)� �����1/-���)����� $�����)�H ��$��� ������ J�$%�� <@ #��%� "� ���65 2/65!6 "

5� '� � &)���� A� ���� &�A� �)��� H)����� �)� ������� ������ �������� �� �)� 9��7 ��$�������> ����������� �� ��0����� ���)��8%��H ������$ ������ A������$� ��-�������� ��� A���������� ���� �#�6 < )�$���� ������7*K ��� �� !../" " +" ,

.� '� � &)���� H:�������� �%����%�� ������� �� )��)$� ��������� ��$�������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��<25/<55 +" ",

@� 4� 4�������� L%��$ �$��� 1�������� ������� 1��) �� ����$$����� �����M F�%��� A��� ���� 6< �� ".@/"@<!@@2

! � �� �������� �� ������ � 4������� H��-������� ���� �� � ������� 1�������� ������H ���� �#� 6 5 ������� ������$ ������� ���)��$��� ���� �� :�����1��)K �� �� 6!2/6"" +" ,

!!� �� �������� �� ������� H��������� ��$������ ��/�)����� %���� ������ ������H ����� =����� &�����/�����$ ������� ������ �� !2!/!22 " !

!"� �� �������� � ����� �� ����%��� A� &��-�$$�� � 4������� �� ���� &� J�����%� A� ������ '� =�%���� '�$$���� 4� =���� &� =�0� J�=�$����� #� �������� � %�$��� 4� 4�������� � 4������� � ��������� ���$����� :� ������� F������ L����� ���)� ������� ������ ������ ��� ����� =����%$�� ��$������M ��� ����� ����� ������ �������� �� ����� �#� 6.<@ � :�����1��) I �� =�������� ���� �� !26/!5< +" ",

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.7 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.