Cophasing of segmented mirrors using the pyramid sensor
Transcript of Cophasing of segmented mirrors using the pyramid sensor
�������� �� �� ���� ������ ��� ���� �� �����
�� ��������� �� ����� � ������ � ���������� �� ��������
������������� ��������� �� ������ ����� �� ����� � � !"� ������� #��$��#����%�� ��������� �� &�������� '�& ��(��� �� ���%�� �������� �����
��������
$$ �)� ���(���� �� �)� �*�����$� ����� ��$������� +����, ��� -���� �� ��������� ������� �������� �)������ ��$���� �)� ���-$�� �� ����%���� ����$� ������� )����� �������� $����� �)�� .� ������%��� �)� ����� ����� ���%���� ��/�)����� �� �)� �����%� ��������� �)� ����� �������� ���� $�-������� ����%������� ����� ������������� �)� %�� �� �)� ������� ������ �� ��/�)����� ������� �)� ������� ������ -�)����� �� ����%���� ���0�������$ ������ �� �)� �������� 1�������� �� ���$���� �� $�- %���� ��������������� ����%������� �� �����������)� �-������ ���%$�� �)�1 �)�� �)� ������ ��� ����%�� �)� ��0�������$ ������ 1��) �� ���%���� -����� �)�� !2���� �)� 1)�$� ����%������ ����� /"�� ����$$� �)� ������ ����������� ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ �����0�������$ ������ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ����%���� 3���� �)� ����%��� �������������$%�� 1� �������� �)�� �)� �����%�$ ��0�������$ ������ 1�������� ����� �%� �� �%�� �)���� ����� �����������"�� ���� �������� ��� � !� 4 ��� ���� �� 5�6���
�� ���� ���
�)� ������%����� �� ��������� ������� �� 7�� �$������ �� �)� ���$������� �� ������$ 8%�$��� ������ $����� �)�� .��#� ������%$�� �$$ �)� �*�����$� $���� ��$������ ���(���� %�� ������� ��� ���� ��������� ��������� �����������
��� ���1-��7 �� �)�� 7��� �� ��������� ������� �� �)� ���� �� �����%$$� ��/�)��� �$$ �)� ������� �� �������0������� �0���� �� �)� ���$ �������� � �)�� �� �������$$� ��%� ��� )��) ���%$�� ����$%���� �-��������� 1)������� ���$$ �0���� ��� -� ���� �������%�� ������$ ���)��8%�� ��� ������� ��/�)����� ��� �$������� )�� -����������� ��� %��� �� ���$ $��� �� �)� 9��7 ��$��������� :� ������ )��� ���� $�-������� ���� ���� �� ���$%��� �)�%�� �� �)� ������ 1�������� ������ �� � ��/�)����� ������� �)� ������� 1�������� ������� �� )�� -��� ���������� � ������ ��� ��$������ ��/�)����� �� �)� ��������� $������%�� �� " !��� �)� ������ -�)����� )�� -��� ���$������ ���� %���� �%������$ ���%$��������� #� ������%$�� � �%������$ ���� 1�� ���$������� �� ���%$���� �)� ��������/�)����� ��������� %���� � � 1��7��� �� �$���� $���� �)� ���%$����� 1��7 �)�1�� �)�� �)� ������ ��� ������� �)� ���� ���� ��0�������$ ������� �������� ��� ��� ��$� ��� ��)�� ������%�%� �-��������� ;%����������$� �)����%$����� �)�1�� �)�� ��� � ��� ����� ��$������ �� ���%���� �� 6 �� ��� ��� -� ��)����� %���� � !��� �������� �)� �$���� $��� ���������� ������� ��8%���� -��1��� � ��� < ��������� +$��� �*���%�� ������ �� �)� :��,�� �������� ��������� �� �)� ������)���� �%�-%$���� ���������� ���� �)� ���%$����� ��%���� 1� )��� ��������� ������� � ���� �*�������� �� ��%�� �)� ������ -�)����� �� �)� $�-�������� :� )��� %��� �� �)�� ��� �)� :������/���)����� �� �)� ������� 1�������� ������ �� -� %��� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� �����������-�� �� �)� ������� �1� �)� %��� ������$ ���/%� ��� �� ������� �)��� �)� ����%������� �� ��0�������$ �������)�� 1� )��� ���������� #� ������%$�� ������� �)��� �)�1� �)�� �)� ����%��� ��$������)�� -��1��� �)� ��0�������$������ ��� �)� ������ �����$ ������ 1��) �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$������� ������� ��%� ������-� �)� �������%����� ������� �)�� �$$�1� �� �-���� �)� ���� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �� �)� ����%������ ����� /"�� ������� ��� ������� �-�%� �)� ����%������� ���� �� �������� �)� ������ ����������� �� ��0�������$ ���������� �)� ����� -��1��� �)� ������ �����$ ���$��%�� ��� �)� ������������� ��0�������$ ������� 3���� �)� �������������$%�� ����%��� �� �)� $�- 1� ����%�� �)� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �%� �� �%�� �)���� ����� ��� � �$����$��� ������$ �������
�� ��� ���������� ���� �
����%�� �� �)� �*���������$ ���/%� �����-$�� �� $�- �� �������� �� ��%�� !� �)� ������ �� �������� �� �)�� 1���� ������%�� �� �%� ������$ ������ � ��0�������$ ������ �)�� ��� -� ����%��� ���%$�����%�$� %���� �1� ��0����������%�����> � ��������� �����%����� �)�� �� �%� ����� �� � �1����/ '���� ���������$ �������������� ����%���
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.1 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
Differential Piston unit (3)
PS (2)assembly
FISBA interf.Unit (1)
Differential Piston unit (3)
PS (2)assembly
FISBA interf.Unit (1)
������ �� �)��� �� �)� $�-������� ���/%� %��� ��� �)� ��0�������$ ������ ����%�������� :)��� $���� �)�1 �)� �1���0����� ������$ ���)� �)� �)��� ��� ���$��� �� �)� �#�= �)� $��� ��� �� �)� ������� �������
-� �#�= �����%�����+!, ��� � ������� 1�������� ������+",� �)� ����/���)�����$ �����-$� �� �)� � �� �)���������� �� �)� � ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� ������$ ��%�$��� �� �)� � ��� �)� �#�= �������������� �� �-������ %���� � -��� ��$������ �)� -���� $���%� �� �������� �� �)� ��%�� ! 1��) 1)��� $������)� $��� ���) �)�1� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� ��0�������$ ����� %��� +�, +<, �� ��?����� ����� -��)� -��� ��$����� ��� ���� �� �)� � ������$ ������ �)� �)��� ���) �� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� �%��� �� ���� -��7 �� �)� �#�= ��������������� �)� ��0�������$ ������ %��� �� �)� ����/���)�����$ ������ %��� ��������%�� � ������� � �� �)� $��)� -��� �$$%�������� �)� �������������� ��� �)� �� ����%�� �� �)� ��0�������$������ %��� �� �������� �� ��%�� "� �)� ������$ ���������� �� �)� %��� ��� �1� �$��� �%-�� �� !��� ���� 1��)� ������ ��$��)�� �� ������$ ���%���� �� ������)� �%-�� )��� -��� ��$��)�� �� �-���� ������ 1��) 8%��� ���%����@ � ���$��� �)� ����� �� ������ ����������� �� $��� �)�� � ������� �)�� ��������� ���%��� �)�� 1)�� �)� �%-�� ����� ������$ ������� �)� ������ �� �)� �%-�� )��� � ���$$ ��0�������$ ��$�� �)� �%-�� )��� ��� �$%������ ���� ���)�)�� 1�$$ -� %��� �� ��?������ �%����� ��� 1�$$ ���� �%� ��������� ��� �)� �%����� ���%��%�� �� �)� �%-���$$�1� �� �$��� ��� �%-� �� �)� ���%��%�� ��� �� �%�) �)� ��)�� �%-� ������� �)� ���� ���� #� �%�) � 1�� �)����� �%-� ���� �� ��������� ��� �)� ������ �%-� ���������� =�)��� �)� ������ �%-� 1� )��� �$���� � ���������$���)�����$ ���%���� �)�� �$$�1� �� ����$��� �)� ������ �%-� 1��) ������� �� �)� ���� ��� �� ������%���� � �� �$���� ���1 �� �)� �1� �%-�� ��� �)��� ���)�����$ ��%��� �� �������� �� ��%�� "� �)� �1� �%-�� ��?�������%������ ��� �$���� �$��� �� �)� ������ �������� �%��$ ��� �)� �%-� ����$������� �� ��������� ���%$�����%�$�-� �)� ���������$ �#�= �������������� ��� -� �)� �� �)� ������� ������ -���� �� �)�1�� �� ��%�� !� #� �%��*�������� 1� ��� %���� �)� ��*��%� �%��$ ����$��� �� �)� ������ �)�� �� �� < ����$��� ����� + < &&� ��*�$,�� � �%��$ ��������� �%� &&� � A������ &&�<@ )�� � ����/�%� �$�������� )����� � ����$%���� �� !6 -�� �$$�1���� ���� ��������� ����%�������� �)� ������ )�� �)� �����-�$��� �� �)���� �)� 1�������� ��$� ���%$����� %���� ����������$ �����/������ �������� ������� �)�� ������ 1�$$ -� %��� �� �)���������� �)� � �����$ �� � �%������ ���)� ��$� ���%$������ ����$$� 1� )��� �)� ���������$ �������������� �#�= � �)�� %��� �� �)� $��)� ��%��� �� �)�
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.2 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
Reflecting surfacesof the cubes
Piezo driver for cubedisplacements
Reflecting surfacesof the cubes
Actuator for cubedisplacements
Reflecting surfacesof the cubes
Piezo driver for cubedisplacements
Reflecting surfacesof the cubes
Actuator for cubedisplacements
������ �� �$���� ���1 �� �)� ��0�������$ ������ %��� �)�1��� �)� �1� ��?������ �%-�� ��� �)� ���)�����$ �����-$� %����� �����$��� ��� �%-� 1��) ������� �� �)� ��)���
�*�������� ��� �������� � ��$$������ -��� �� ! �� �������� �)�� �� ������� -� �)� ������ �������� �%��$ ��.�� $������ " �� ����� ���� �)� �1� �%-�� ��?������ �%������ �)�� �� ���� �� ����� �� )��� � $��)� -��� ���)� ���)� �B �� �)� �� #� �)�� ���%����� � � ������%��� ������ ��� �� �)� �%-�� �� ���� ���%$�����%�$� �� �)��1� �����%���� ��� �)� ���%$�� �� ���� �� ����%��� ������$ ���) ��0������ ��� -� ���������
�� ������ ����� ���� ���� � ��������� �������������
�)� ���� ��� �� ����%������� ��������� 1�� ����� �� ������ �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)�������%��� �� �)�� �� ���� ����������� �)� �����$ �)�� 1� ��� �� ��� ��*�$ �� �)� �%��$ $������ 1)��� 1� )����)� 1�������� ���������%���� �)� �����$ �-������ �� �)� � 1)�� �)� �������� 1�������� �������� � � )��-��� �)�1�� �� �����$ 1��) �%������$ ���%$�������� C��� 1� -���?� 1��� �� ����$$ �)�� �)� ������ �����$ ���-������ ���$���� �)� ���� �$�����)� %��� �� �������� �)� 1�������� ������������ ��� ����� ��� � �� �� �� � -��)� ��������� ������-%���� �� �)� ��%� �%��$ ������ ������ �� �)� &&� ����� �)�� �)� �-������� �������� -����� ��������� -� �)� �������� �)� %�%�$ ������� ��� � �����$� ��� �-������ ��
�� � ������ �� ����� ���� ������ �� ����� ���� � �� � ����� �� ����� ���� ������ �� ����� ����
�)� ���� ����%$�� ��� %��� �� �)� ���� �� �)� � �����$� A������� ���%$����� )�� �)�1�� �)�� �)� �����$ ��� ���%�����$ �%������ �� �)� � ����$�� �� �� � ��� � ��� �)� � ��� �)� $��)� 1���$����) �)� ������ �����$ ���)� ��������� ���)�����$ �� �)� ������� ���� 1�$$ -� ����� -� � � ��������� =���%�� �)� � �� ��������� �)��)� 1�������� ���������� �)� �����$ ��*��%� �� $������ 1)��� �)� 1�������� ���������%��� �� $������� :� )������� ��������� ���� ����%������ �� ������ �)� ���%�����$ ��$������)�� -��1��� � ��� � �����$� �� �� �� 1����$� � ������� ��0�������$ ������ �� ��� �� �)� �%-�� ��� 1� �%� �� �)� ���� ���� �)� � �� �-�%� ! ��������� ������� :� ���� �-�%� " �< ������ �� �)�� 1� ��� ��$$�1 �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ 1)���)� ���%���� �� ������ �� �������� ����� ��� �� �)� �%-��� �)� �����$ -�)����� �� ��� ��*�$ �� �)�1�� �� ���6�����)�� 1��) � ���%�����$ ������ �� �)� �����$ ���$%����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1����)� �������� ���� ��� �)� ���%�����$ ��$������)�� ��������� -� ����� �� �)� �%������$ ���%$��������
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.3 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
������ �� �)� �������$ ���$%���� �� �)� ������ �����$ �� � ����$� ��*�$ $������ ������ �)� �%-�� ���������%���� #�����$ ������$ ��$%� ��� -� %��� �� ��������� ������$ ��� ���$ �%-�� ��0�������$ ��������
�� �� ��� ���� �� ��������� ���� ���� ������
������ ���7 �� �� ������%�� � ������� � ��� �� ������� �)� �������� ����� -� �)� � 1��) �)� ���������-������ %���� �)� �#�= ��������������� �)� ���������� �� �)��� �1� ���%$�� ��� ��0����� ��$%�� �� � ����%� �)� ���%���� �-������ %���� �)� � �� ��/�)����� 1�������� ������� �� �� �� ���� 1� ����� �)� ��8%������� ���)� � ������ -����� �������� �� ������ �)� ������ �� �)�� 1� ������� %���� �)� ���%���� �)� ������$ ���%���� �� ����$$� 1)�� 1� ��� �)�� �)� �%��$ �����$ �� ���-$� �� �)�� �)� ���%���� ��� �)� �%-� ��� ������� 1���� ���� ��)�� ! ������ ��� 1� ���� �)� ��8%�������� �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ ��� � ����$� ��*�$�)�� �� � 7��� �� �%��� ����$�� �� �)� �%��� ��������� �� ���6� 3���� �)��� ���� 1� ��� �-���� �)� ���%�� ��� ������%��� -� �%� ���%���� ��7��� �)� ��0������ �� �)� ���$ ��� ������$ �� �� ���$%��� ������$ ��� ���$��$%�� �� � 1� )��� �� %�� �)� ���%�����$ ��$������)��� =���%�� 1� ��� ��$$�1��� �)� �������$ ���$%���� 1���� ��$�%$��� � ���� -����� �)�� "�� �� ���$%��� �)� ���%���� 1� ��� �-���� 1��) �)� � 1� )��� ���������������$ ����%������ �� �)�� 7��� �� �)� ����� /"�� �)� ��������� ����%������ �� �)� � ��� ��7�� %�����)� �#�= ��������������� �� ����%�� �)� � 1� ��� %���� �)� �������������� ��� �� ������� �)� 1���������)��� -%� ��$� �� ������ �)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)� ��������������)�� ��� � 1�$$ ��������� �%������ -���� �)�� ���%� �� %�%�$$� ��$��� �� ������$ �����$��� %���� � ��$�-������������ #� �%� ���� 1)��� 1� ��� 1��7��� ������$� �� �)� ����%�� ������� ��� 1� �� ��� �� �)��%�) �)� 1����������������%����� ������� 1� )��� �� 1��7 1��) ��� ����$$�$ �������� #� �)�� ���%����� ����%���� �)� � ��$$�1����)� ������� ����$�������� �� ��� ���� -���%�� �)� ������� ������ �)��� �)��� 1)�� 1� ���$� � � �� �)� �)����������� �� �� 8%������ �)� � ������%��� �� �)� ����%������ 1� %�� � ���)��� ����$�� �� �)� ���)��� %���1��) �)� �� ���� �� �)�� ���� 1� �������� �)�� �)� ������� ��������� �� � ���%�����$ �%������ �� �)� 1���������)��� ��0������ 1��) ������� �� �)� ��������� -��� �)���� :� ����%�� �)� ��������� ��$%� �� � ����$� ��*�$ ���)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)�� 1� %�� �)� ������� ���%� �%������ �� ���
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.4 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
������ �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� �-������ 1��) �)� ������� ������ �$����� ������� �)� ���� ����%��������-������ 1��) �#�= � �)� $����� �� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� �1� ��� �� ����%�������
-��7 �� �)� �)��� ���$�� �� �)� ������$ ��� ���$ ��������� �)� ��0������ -��1��� �)��� �1� ���$�� ���� %� �)�������%��� �� �)� �-������ ��$%�� ��� �������� 1��) �)� ������������� � ��$%��� �)� ���%$�� ��� �������� ������ �����)�� 1��) � $����� �� �� �)� ����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� ����%��������� �)� �1� �����%������ ;%����������$� �)� ��� ����� �� �)� � ����%������ ������ 1��) ������� �� �)� �������%��� �� @ ������ ������������� �� !��. �� �� 1�������� ����� �� �)� �*�$���� ����%������ ������
� ��� ������ ����� ������� �� ��������� ����
�)��� ��������� ������ �� �� ���$%��� �)� ������ ����������� �� �)� � ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ ����)� ���$��� �� �)� �������� �)����� ��� �)���� -��1��� �)� ��%� �%��$ ������ �� � ��� -�$����� 1�� 1)���)��� �� � �� �)� ��$����� ����������� �� ������� �)� ������ �� �)� ��$������ �� �)� ���������� �� %�-�$������)����� ������� -� � ������� �� =���%�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� � �� ��� $�����1� 1�$$ ��������� �)� ���������� �� �)� �����$ 1��) ������� �� �)� � �*������� �� ������$ ���) ��0������� �)����������� �� ����%��� ��� � ��$%� �� ���� � �)�� ���������� �� �)� ���� �����$ �������� �� �)� ������� �)�� �� �)��������� �)�� �)� ������ �)�%$� ����) ����� � ������� �%�-�� �� ���������� ���������� �� � �%������%$ �$���� $������������� :� )��� �$����� ���������� �)�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)� � �� � ���%�����$��� ��� 1� )��� �)�1�� �)�� �)� �*���������$ ���� ��� -� ����������� �� ��� � � � �������� 1)��� �� �)����$��%�� �� �)� �����$ ��������� ���� �)� �*���������$ ����� �)� ���������� �� �)�� �%������ ��$�%$���� ���� � � �� ����� -� � ��� � � � ����� �)�� ���������� ���������� �)� ������ ������������ �� 1� ��� �������� �)��8%������ �*���������$$� ���� �%� ���� ����%���� �)� ���$��%�� �� �)� 7��1$���� �� �)�� ���������� �$$�1� %��� �������� �)� ������ ����� �� ����� �� � 1)�� � ������� ���%�� �� �)����� �� ����$�-$� ��� �)� ����%�������� �)� 1�������� ������� �%� ����%������� �������� �� ��%�� � �)�1 �)�� �)� ������ �������� �� � ����� ��� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ A������� �)� �����$ ���$��%�� �� ��%�� �� -� �������$� �����������$ �� �)����/��$� ���%$����� ����$�� � �� �*���$� �� ����������� ����%������ $��D� ��7� �� ������������ ���%$����� ����
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.5 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
������ � $�� �� �)� ������ �����$ ���%�����$ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ �)� ���� �$���$� �%������)�� ������ �����$ ���$��%�� �� �������$� �����������$ �� �)� ��$� ���%$������
$�7� �)� ". �� ���%$����� ��������� #� �)�� ���� �)� ����%��� �����$ ���$��%�� �� �""�� &���������� � �������1���$����) �� 5� �� 1� ��� ����%�� �)� ���������� � ��� ��� 1� ��%�� � ����������� ��$%� �� !�@�! ��������:��) �)�� �%�-�� 1� ��� �������� �)� � ����� �%� �� �)���� ����� 1)�� �)� ������ �� 1��7��� �� �$����$���� �)�� �� ���� ����������� �)�� �)� �����$ ?%��%����� �%� �� �)���� ����� ��$� �� ����� -� ��
����� 1)���
���� �� �)� ����$ �%�-�� �� �)����� �������� -� � ����� �%-�����%��� #� 1� ���%�� � ������� ���� �� " ��"*" �%-�����%��� ��� ������� �� ����������� ���� �� < � �� ������$ �E������ �� �! 1� ��� �)�� %���� ���������� ���� �� !� 4 ��� ����� � �����%�$ � ����� �� �)� 1�������� �� 5�< ����)�� ���%$�� �� ���������� 1��)�%� ���%$����� ���%$�� �)�� ���� �-�%� 6 �� �� �����$$ �����%�$ � ����� �%� �� �)���� ����� ��� ������)����?%��%������
!� ���� ��
�)� $�-������� �*�������� ������-�� �� �)�� ����� �)�1� ��� �)� ���� ���� �)� ������� ������ �-�$��� �� ������� 1�������� ��0�������$ ������� #� �)�� �*�������� 1� )��� %��� 1��)�%� ��� �)���� �� �)� ����/���)�����$���/%� �)� ������� 1�������� ������ ��������� ����$���� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �)� ����� =����%$����$������� �%� ����%������� ������ �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$����� �)�1��� �)�� �)� ��$������)��-��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� ��0�������$ ������ ���%�����$ 1��) ������ �8%�$ �� �)� 1���$����) �� �)� $��)�%��� ��� �)� �������� A������� �%� ����%������� ���$%��� �)� ���%���� �� �)� ��0�������$ ������ �������� �����-� �)� ������� ������� �)�� ���%���� �� ��%�� �� -� !2�� �� �)� 1�������� �� �)� ����%������ ����� �� ���1���$����)� ����$$� 1� ����%�� �)� ������ ����������� ���� �)� �$��� �� �)� ���%�����$ ��$������)�� �� �)� ��������)�� �%�-�� ���� �� �������� �� �)� �%�-�� �� %�-�$����� �)����� �������� -� �)� ������ ��� ��������� ����0�������$ ������� �)�� 8%������ �� �)� ��������$ ��� �� ����������� �)� $������� ������%�� �� �)� ��������� ������ -� %��� �� ��%��� ��� �)� ��/�)����� �������� 3���� �)� $�-������� ���%$�� 1� �������� �)�� � ��������� ����1��) 4 ������%�� �� !� ����� �� �����$$ 1�������� ���%���� �� 5�< �� �� ���) �� �)� ������� ��0�������$ �������
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.6 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.
����$$� �%��)�� 1��7 �� ������ �� �������� �)� ����� ��%���� �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� ��� �� ����)� �*��� -�)����� �� �)� ������ �����$ �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ������ � ������� �������� �� �)���������� ���� $������� ������%���
���������
!� � ������7* F��� =��7��� �� =�%����� 4� &���� �� ������� 4� '�$����� �� C%-�� �� 9��) A� �� ��%����� A���)���� '�F� A����� �� ����)� A� ;%����� A��� ������� F� �������$�� �� G����7��� H�)� ��� ���)� -�)�$���>��������� �)� �:�H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$��������� ��!�!/!5 +" ",
"� F��� ��$��� H������� �� &�$������� �*�����$� ����� ��$������ +&���,H �%�%�� '���� ��$������� ������#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��65/�@ +" ",
<� �� ������� ��� ���-��� F� =��7��� � '���)���� A� �1���/������� C� 4��1�$�� 4� ���$ ��:�$7�� H�)� �%��� �*�����$� $���� ��$������H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$I 4� '�$����� ���� ��"!6/""� +" ",
6� �� G����7��� 9� ��)$�� � ������7* H��0������� �� �:�> �0���� �� ������������ ��� �������� ���������%��H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��!5!/!." +" ",
�� A� ���� '� � &)���� H��0������� �0���� ���� ����� ��������� ������ ��$������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��.!/@" +" ",
2� '� &)���� &� �)��� A� ���� H)����� �)� A����� �������� �� �)� 9��7 ��$������� ##> �)� �����1/-���)����� $�����)�H ��$��� ������ J�$%�� <@ #��%� "� ���65 2/65!6 "
5� '� � &)���� A� ���� &�A� �)��� H)����� �)� ������� ������ �������� �� �)� 9��7 ��$�������> ����������� �� ��0����� ���)��8%��H ������$ ������ A������$� ��-�������� ��� A���������� ���� �#�6 < )�$���� ������7*K ��� �� !../" " +" ,
.� '� � &)���� H:�������� �%����%�� ������� �� )��)$� ��������� ��$�������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��<25/<55 +" ",
@� 4� 4�������� L%��$ �$��� 1�������� ������� 1��) �� ����$$����� �����M F�%��� A��� ���� 6< �� ".@/"@<!@@2
! � �� �������� �� ������ � 4������� H��-������� ���� �� � ������� 1�������� ������H ���� �#� 6 5 ������� ������$ ������� ���)��$��� ���� �� :�����1��)K �� �� 6!2/6"" +" ,
!!� �� �������� �� ������� H��������� ��$������ ��/�)����� %���� ������ ������H ����� =����� &�����/�����$ ������� ������ �� !2!/!22 " !
!"� �� �������� � ����� �� ����%��� A� &��-�$$�� � 4������� �� ���� &� J�����%� A� ������ '� =�%���� '�$$���� 4� =���� &� =�0� J�=�$����� #� �������� � %�$��� 4� 4�������� � 4������� � ��������� ���$����� :� ������� F������ L����� ���)� ������� ������ ������ ��� ����� =����%$�� ��$������M ��� ����� ����� ������ �������� �� ����� �#� 6.<@ � :�����1��) I �� =�������� ���� �� !26/!5< +" ",
SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.7 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59
Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.