Download - Cophasing of segmented mirrors using the pyramid sensor

Transcript

�������� �� �� ���� ������ ��� ���� �� �����

�� ��������� �� ����� � ������ � ���������� �� ��������

������������� ��������� �� ������ ����� �� ����� � � !"� ������� #��$��#����%�� ��������� �� &�������� '�& ��(��� �� ���%�� �������� �����

��������

$$ �)� ���(���� �� �)� �*�����$� ����� ��$������� +����, ��� -���� �� ��������� ������� �������� �)������ ��$���� �)� ���-$�� �� ����%���� ����$� ������� )����� �������� $����� �)�� .� ������%��� �)� ����� ����� ���%���� ��/�)����� �� �)� �����%� ��������� �)� ����� �������� ���� $�-������� ����%������� ����� ������������� �)� %�� �� �)� ������� ������ �� ��/�)����� ������� �)� ������� ������ -�)����� �� ����%���� ���0�������$ ������ �� �)� �������� 1�������� �� ���$���� �� $�- %���� ��������������� ����%������� �� �����������)� �-������ ���%$�� �)�1 �)�� �)� ������ ��� ����%�� �)� ��0�������$ ������ 1��) �� ���%���� -����� �)�� !2���� �)� 1)�$� ����%������ ����� /"�� ����$$� �)� ������ ����������� ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ �����0�������$ ������ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ����%���� 3���� �)� ����%��� �������������$%�� 1� �������� �)�� �)� �����%�$ ��0�������$ ������ 1�������� ����� �%� �� �%�� �)���� ����� �����������"�� ���� �������� ��� � !� 4 ��� ���� �� 5�6���

�� ���� ���

�)� ������%����� �� ��������� ������� �� 7�� �$������ �� �)� ���$������� �� ������$ 8%�$��� ������ $����� �)�� .��#� ������%$�� �$$ �)� �*�����$� $���� ��$������ ���(���� %�� ������� ��� ���� ��������� ��������� �����������

��� ���1-��7 �� �)�� 7��� �� ��������� ������� �� �)� ���� �� �����%$$� ��/�)��� �$$ �)� ������� �� �������0������� �0���� �� �)� ���$ �������� � �)�� �� �������$$� ��%� ��� )��) ���%$�� ����$%���� �-��������� 1)������� ���$$ �0���� ��� -� ���� �������%�� ������$ ���)��8%�� ��� ������� ��/�)����� ��� �$������� )�� -����������� ��� %��� �� ���$ $��� �� �)� 9��7 ��$��������� :� ������ )��� ���� $�-������� ���� ���� �� ���$%��� �)�%�� �� �)� ������ 1�������� ������ �� � ��/�)����� ������� �)� ������� 1�������� ������� �� )�� -��� ���������� � ������ ��� ��$������ ��/�)����� �� �)� ��������� $������%�� �� " !��� �)� ������ -�)����� )�� -��� ���$������ ���� %���� �%������$ ���%$��������� #� ������%$�� � �%������$ ���� 1�� ���$������� �� ���%$���� �)� ��������/�)����� ��������� %���� � � 1��7��� �� �$���� $���� �)� ���%$����� 1��7 �)�1�� �)�� �)� ������ ��� ������� �)� ���� ���� ��0�������$ ������� �������� ��� ��� ��$� ��� ��)�� ������%�%� �-��������� ;%����������$� �)����%$����� �)�1�� �)�� ��� � ��� ����� ��$������ �� ���%���� �� 6 �� ��� ��� -� ��)����� %���� � !��� �������� �)� �$���� $��� ���������� ������� ��8%���� -��1��� � ��� < ��������� +$��� �*���%�� ������ �� �)� :��,�� �������� ��������� �� �)� ������)���� �%�-%$���� ���������� ���� �)� ���%$����� ��%���� 1� )��� ��������� ������� � ���� �*�������� �� ��%�� �)� ������ -�)����� �� �)� $�-�������� :� )��� %��� �� �)�� ��� �)� :������/���)����� �� �)� ������� 1�������� ������ �� -� %��� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� �����������-�� �� �)� ������� �1� �)� %��� ������$ ���/%� ��� �� ������� �)��� �)� ����%������� �� ��0�������$ �������)�� 1� )��� ���������� #� ������%$�� ������� �)��� �)�1� �)�� �)� ����%��� ��$������)�� -��1��� �)� ��0�������$������ ��� �)� ������ �����$ ������ 1��) �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$������� ������� ��%� ������-� �)� �������%����� ������� �)�� �$$�1� �� �-���� �)� ���� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �� �)� ����%������ ����� /"�� ������� ��� ������� �-�%� �)� ����%������� ���� �� �������� �)� ������ ����������� �� ��0�������$ ���������� �)� ����� -��1��� �)� ������ �����$ ���$��%�� ��� �)� ������������� ��0�������$ ������� 3���� �)� �������������$%�� ����%��� �� �)� $�- 1� ����%�� �)� ��0�������$ ������ �����%�$ ����� �%� �� �%�� �)���� ����� ��� � �$����$��� ������$ �������

�� ��� ���������� ���� �

����%�� �� �)� �*���������$ ���/%� �����-$�� �� $�- �� �������� �� ��%�� !� �)� ������ �� �������� �� �)�� 1���� ������%�� �� �%� ������$ ������ � ��0�������$ ������ �)�� ��� -� ����%��� ���%$�����%�$� %���� �1� ��0����������%�����> � ��������� �����%����� �)�� �� �%� ����� �� � �1����/ '���� ���������$ �������������� ����%���

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.1 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

Differential Piston unit (3)

PS (2)assembly

FISBA interf.Unit (1)

Differential Piston unit (3)

PS (2)assembly

FISBA interf.Unit (1)

������ �� �)��� �� �)� $�-������� ���/%� %��� ��� �)� ��0�������$ ������ ����%�������� :)��� $���� �)�1 �)� �1���0����� ������$ ���)� �)� �)��� ��� ���$��� �� �)� �#�= �)� $��� ��� �� �)� ������� �������

-� �#�= �����%�����+!, ��� � ������� 1�������� ������+",� �)� ����/���)�����$ �����-$� �� �)� � �� �)���������� �� �)� � ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �=���� �)� ������$ ��%�$��� �� �)� � ��� �)� �#�= �������������� �� �-������ %���� � -��� ��$������ �)� -���� $���%� �� �������� �� �)� ��%�� ! 1��) 1)��� $������)� $��� ���) �)�1� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� ��0�������$ ����� %��� +�, +<, �� ��?����� ����� -��)� -��� ��$����� ��� ���� �� �)� � ������$ ������ �)� �)��� ���) �� �)� $��)� �)�� ����� ��?������ �� �)� �%��� �� ���� -��7 �� �)� �#�= ��������������� �)� ��0�������$ ������ %��� �� �)� ����/���)�����$ ������ %��� ��������%�� � ������� � �� �)� $��)� -��� �$$%�������� �)� �������������� ��� �)� �� ����%�� �� �)� ��0�������$������ %��� �� �������� �� ��%�� "� �)� ������$ ���������� �� �)� %��� ��� �1� �$��� �%-�� �� !��� ���� 1��)� ������ ��$��)�� �� ������$ ���%���� �� ������)� �%-�� )��� -��� ��$��)�� �� �-���� ������ 1��) 8%��� ���%����@ � ���$��� �)� ����� �� ������ ����������� �� $��� �)�� � ������� �)�� ��������� ���%��� �)�� 1)�� �)� �%-�� ����� ������$ ������� �)� ������ �� �)� �%-�� )��� � ���$$ ��0�������$ ��$�� �)� �%-�� )��� ��� �$%������ ���� ���)�)�� 1�$$ -� %��� �� ��?������ �%����� ��� 1�$$ ���� �%� ��������� ��� �)� �%����� ���%��%�� �� �)� �%-���$$�1� �� �$��� ��� �%-� �� �)� ���%��%�� ��� �� �%�) �)� ��)�� �%-� ������� �)� ���� ���� #� �%�) � 1�� �)����� �%-� ���� �� ��������� ��� �)� ������ �%-� ���������� =�)��� �)� ������ �%-� 1� )��� �$���� � ���������$���)�����$ ���%���� �)�� �$$�1� �� ����$��� �)� ������ �%-� 1��) ������� �� �)� ���� ��� �� ������%���� � �� �$���� ���1 �� �)� �1� �%-�� ��� �)��� ���)�����$ ��%��� �� �������� �� ��%�� "� �)� �1� �%-�� ��?�������%������ ��� �$���� �$��� �� �)� ������ �������� �%��$ ��� �)� �%-� ����$������� �� ��������� ���%$�����%�$�-� �)� ���������$ �#�= �������������� ��� -� �)� �� �)� ������� ������ -���� �� �)�1�� �� ��%�� !� #� �%��*�������� 1� ��� %���� �)� ��*��%� �%��$ ����$��� �� �)� ������ �)�� �� �� < ����$��� ����� + < &&� ��*�$,�� � �%��$ ��������� �%� &&� � A������ &&�<@ )�� � ����/�%� �$�������� )����� � ����$%���� �� !6 -�� �$$�1���� ���� ��������� ����%�������� �)� ������ )�� �)� �����-�$��� �� �)���� �)� 1�������� ��$� ���%$����� %���� ����������$ �����/������ �������� ������� �)�� ������ 1�$$ -� %��� �� �)���������� �)� � �����$ �� � �%������ ���)� ��$� ���%$������ ����$$� 1� )��� �)� ���������$ �������������� �#�= � �)�� %��� �� �)� $��)� ��%��� �� �)�

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.2 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

Reflecting surfacesof the cubes

Piezo driver for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Actuator for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Piezo driver for cubedisplacements

Reflecting surfacesof the cubes

Actuator for cubedisplacements

������ �� �$���� ���1 �� �)� ��0�������$ ������ %��� �)�1��� �)� �1� ��?������ �%-�� ��� �)� ���)�����$ �����-$� %����� �����$��� ��� �%-� 1��) ������� �� �)� ��)���

�*�������� ��� �������� � ��$$������ -��� �� ! �� �������� �)�� �� ������� -� �)� ������ �������� �%��$ ��.�� $������ " �� ����� ���� �)� �1� �%-�� ��?������ �%������ �)�� �� ���� �� ����� �� )��� � $��)� -��� ���)� ���)� �B �� �)� �� #� �)�� ���%����� � � ������%��� ������ ��� �� �)� �%-�� �� ���� ���%$�����%�$� �� �)��1� �����%���� ��� �)� ���%$�� �� ���� �� ����%��� ������$ ���) ��0������ ��� -� ���������

�� ������ ����� ���� ���� � ��������� �������������

�)� ���� ��� �� ����%������� ��������� 1�� ����� �� ������ �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)�������%��� �� �)�� �� ���� ����������� �)� �����$ �)�� 1� ��� �� ��� ��*�$ �� �)� �%��$ $������ 1)��� 1� )����)� 1�������� ���������%���� �)� �����$ �-������ �� �)� � 1)�� �)� �������� 1�������� �������� � � )��-��� �)�1�� �� �����$ 1��) �%������$ ���%$�������� C��� 1� -���?� 1��� �� ����$$ �)�� �)� ������ �����$ ���-������ ���$���� �)� ���� �$�����)� %��� �� �������� �)� 1�������� ������������ ��� ����� ��� � �� �� �� � -��)� ��������� ������-%���� �� �)� ��%� �%��$ ������ ������ �� �)� &&� ����� �)�� �)� �-������� �������� -����� ��������� -� �)� �������� �)� %�%�$ ������� ��� � �����$� ��� �-������ ��

�� � ������ �� ����� ���� ������ �� ����� ���� � �� � ����� �� ����� ���� ������ �� ����� ����

�)� ���� ����%$�� ��� %��� �� �)� ���� �� �)� � �����$� A������� ���%$����� )�� �)�1�� �)�� �)� �����$ ��� ���%�����$ �%������ �� �)� � ����$�� �� �� � ��� � ��� �)� � ��� �)� $��)� 1���$����) �)� ������ �����$ ���)� ��������� ���)�����$ �� �)� ������� ���� 1�$$ -� ����� -� � � ��������� =���%�� �)� � �� ��������� �)��)� 1�������� ���������� �)� �����$ ��*��%� �� $������ 1)��� �)� 1�������� ���������%��� �� $������� :� )������� ��������� ���� ����%������ �� ������ �)� ���%�����$ ��$������)�� -��1��� � ��� � �����$� �� �� �� 1����$� � ������� ��0�������$ ������ �� ��� �� �)� �%-�� ��� 1� �%� �� �)� ���� ���� �)� � �� �-�%� ! ��������� ������� :� ���� �-�%� " �< ������ �� �)�� 1� ��� ��$$�1 �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ 1)���)� ���%���� �� ������ �� �������� ����� ��� �� �)� �%-��� �)� �����$ -�)����� �� ��� ��*�$ �� �)�1�� �� ���6�����)�� 1��) � ���%�����$ ������ �� �)� �����$ ���$%����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1����)� �������� ���� ��� �)� ���%�����$ ��$������)�� ��������� -� ����� �� �)� �%������$ ���%$��������

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.3 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ �� �)� �������$ ���$%���� �� �)� ������ �����$ �� � ����$� ��*�$ $������ ������ �)� �%-�� ���������%���� #�����$ ������$ ��$%� ��� -� %��� �� ��������� ������$ ��� ���$ �%-�� ��0�������$ ��������

�� �� ��� ���� �� ��������� ���� ���� ������

������ ���7 �� �� ������%�� � ������� � ��� �� ������� �)� �������� ����� -� �)� � 1��) �)� ���������-������ %���� �)� �#�= ��������������� �)� ���������� �� �)��� �1� ���%$�� ��� ��0����� ��$%�� �� � ����%� �)� ���%���� �-������ %���� �)� � �� ��/�)����� 1�������� ������� �� �� �� ���� 1� ����� �)� ��8%������� ���)� � ������ -����� �������� �� ������ �)� ������ �� �)�� 1� ������� %���� �)� ���%���� �)� ������$ ���%���� �� ����$$� 1)�� 1� ��� �)�� �)� �%��$ �����$ �� ���-$� �� �)�� �)� ���%���� ��� �)� �%-� ��� ������� 1���� ���� ��)�� ! ������ ��� 1� ���� �)� ��8%�������� �)� �������$ ���$%���� �� �)� �����$ ��� � ����$� ��*�$�)�� �� � 7��� �� �%��� ����$�� �� �)� �%��� ��������� �� ���6� 3���� �)��� ���� 1� ��� �-���� �)� ���%�� ��� ������%��� -� �%� ���%���� ��7��� �)� ��0������ �� �)� ���$ ��� ������$ �� �� ���$%��� ������$ ��� ���$��$%�� �� � 1� )��� �� %�� �)� ���%�����$ ��$������)��� =���%�� 1� ��� ��$$�1��� �)� �������$ ���$%���� 1���� ��$�%$��� � ���� -����� �)�� "�� �� ���$%��� �)� ���%���� 1� ��� �-���� 1��) �)� � 1� )��� ���������������$ ����%������ �� �)�� 7��� �� �)� ����� /"�� �)� ��������� ����%������ �� �)� � ��� ��7�� %�����)� �#�= ��������������� �� ����%�� �)� � 1� ��� %���� �)� �������������� ��� �� ������� �)� 1���������)��� -%� ��$� �� ������ �)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)� ��������������)�� ��� � 1�$$ ��������� �%������ -���� �)�� ���%� �� %�%�$$� ��$��� �� ������$ �����$��� %���� � ��$�-������������ #� �%� ���� 1)��� 1� ��� 1��7��� ������$� �� �)� ����%�� ������� ��� 1� �� ��� �� �)��%�) �)� 1����������������%����� ������� 1� )��� �� 1��7 1��) ��� ����$$�$ �������� #� �)�� ���%����� ����%���� �)� � ��$$�1����)� ������� ����$�������� �� ��� ���� -���%�� �)� ������� ������ �)��� �)��� 1)�� 1� ���$� � � �� �)� �)����������� �� �� 8%������ �)� � ������%��� �� �)� ����%������ 1� %�� � ���)��� ����$�� �� �)� ���)��� %���1��) �)� �� ���� �� �)�� ���� 1� �������� �)�� �)� ������� ��������� �� � ���%�����$ �%������ �� �)� 1���������)��� ��0������ 1��) ������� �� �)� ��������� -��� �)���� :� ����%�� �)� ��������� ��$%� �� � ����$� ��*�$ ���)� ������ ������� -����� ��� ����� �)� ������%����� �� �)� �� �)�� 1� %�� �)� ������� ���%� �%������ �� ���

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.4 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� �-������ 1��) �)� ������� ������ �$����� ������� �)� ���� ����%��������-������ 1��) �#�= � �)� $����� �� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� �1� ��� �� ����%�������

-��7 �� �)� �)��� ���$�� �� �)� ������$ ��� ���$ ��������� �)� ��0������ -��1��� �)��� �1� ���$�� ���� %� �)�������%��� �� �)� �-������ ��$%�� ��� �������� 1��) �)� ������������� � ��$%��� �)� ���%$�� ��� �������� ������ �����)�� 1��) � $����� �� �� �)� ����� �)� ����%�� �� �)�1��� �)� ���� ��������� -��1��� �)� ����%��������� �)� �1� �����%������ ;%����������$� �)� ��� ����� �� �)� � ����%������ ������ 1��) ������� �� �)� �������%��� �� @ ������ ������������� �� !��. �� �� 1�������� ����� �� �)� �*�$���� ����%������ ������

� ��� ������ ����� ������� �� ��������� ����

�)��� ��������� ������ �� �� ���$%��� �)� ������ ����������� �� �)� � ���� �)� ����� -��1��� ������ �����$ ����)� ���$��� �� �)� �������� �)����� ��� �)���� -��1��� �)� ��%� �%��$ ������ �� � ��� -�$����� 1�� 1)���)��� �� � �� �)� ��$����� ����������� �� ������� �)� ������ �� �)� ��$������ �� �)� ���������� �� %�-�$������)����� ������� -� � ������� �� =���%�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� � �� ��� $�����1� 1�$$ ��������� �)� ���������� �� �)� �����$ 1��) ������� �� �)� � �*������� �� ������$ ���) ��0������� �)����������� �� ����%��� ��� � ��$%� �� ���� � �)�� ���������� �� �)� ���� �����$ �������� �� �)� ������� �)�� �� �)��������� �)�� �)� ������ �)�%$� ����) ����� � ������� �%�-�� �� ���������� ���������� �� � �%������%$ �$���� $������������� :� )��� �$����� ���������� �)�� �)� ��$������)�� -��1��� �)� � �����$ ��� �)� � �� � ���%�����$��� ��� 1� )��� �)�1�� �)�� �)� �*���������$ ���� ��� -� ����������� �� ��� � � � �������� 1)��� �� �)����$��%�� �� �)� �����$ ��������� ���� �)� �*���������$ ����� �)� ���������� �� �)�� �%������ ��$�%$���� ���� � � �� ����� -� � ��� � � � ����� �)�� ���������� ���������� �)� ������ ������������ �� 1� ��� �������� �)��8%������ �*���������$$� ���� �%� ���� ����%���� �)� ���$��%�� �� �)� 7��1$���� �� �)�� ���������� �$$�1� %��� �������� �)� ������ ����� �� ����� �� � 1)�� � ������� ���%�� �� �)����� �� ����$�-$� ��� �)� ����%�������� �)� 1�������� ������� �%� ����%������� �������� �� ��%�� � �)�1 �)�� �)� ������ �������� �� � ����� ��� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ A������� �)� �����$ ���$��%�� �� ��%�� �� -� �������$� �����������$ �� �)����/��$� ���%$����� ����$�� � �� �*���$� �� ����������� ����%������ $��D� ��7� �� ������������ ���%$����� ����

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.5 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

������ � $�� �� �)� ������ �����$ ���%�����$ ���$��%�� �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$������ �)� ���� �$���$� �%������)�� ������ �����$ ���$��%�� �� �������$� �����������$ �� �)� ��$� ���%$������

$�7� �)� ". �� ���%$����� ��������� #� �)�� ���� �)� ����%��� �����$ ���$��%�� �� �""�� &���������� � �������1���$����) �� 5� �� 1� ��� ����%�� �)� ���������� � ��� ��� 1� ��%�� � ����������� ��$%� �� !�@�! ��������:��) �)�� �%�-�� 1� ��� �������� �)� � ����� �%� �� �)���� ����� 1)�� �)� ������ �� 1��7��� �� �$����$���� �)�� �� ���� ����������� �)�� �)� �����$ ?%��%����� �%� �� �)���� ����� ��$� �� ����� -� ��

����� 1)���

���� �� �)� ����$ �%�-�� �� �)����� �������� -� � ����� �%-�����%��� #� 1� ���%�� � ������� ���� �� " ��"*" �%-�����%��� ��� ������� �� ����������� ���� �� < � �� ������$ �E������ �� �! 1� ��� �)�� %���� ���������� ���� �� !� 4 ��� ����� � �����%�$ � ����� �� �)� 1�������� �� 5�< ����)�� ���%$�� �� ���������� 1��)�%� ���%$����� ���%$�� �)�� ���� �-�%� 6 �� �� �����$$ �����%�$ � ����� �%� �� �)���� ����� ��� ������)����?%��%������

!� ���� ��

�)� $�-������� �*�������� ������-�� �� �)�� ����� �)�1� ��� �)� ���� ���� �)� ������� ������ �-�$��� �� ������� 1�������� ��0�������$ ������� #� �)�� �*�������� 1� )��� %��� 1��)�%� ��� �)���� �� �)� ����/���)�����$���/%� �)� ������� 1�������� ������ ��������� ����$���� ��� �)� ���� $��)� � ������ �� �)� ����� =����%$����$������� �%� ����%������� ������ �)� ���%$�� �� �)� �%������$ ���%$����� �)�1��� �)�� �)� ��$������)��-��1��� �)� ������ �����$ ��� �)� ��0�������$ ������ ���%�����$ 1��) ������ �8%�$ �� �)� 1���$����) �� �)� $��)�%��� ��� �)� �������� A������� �%� ����%������� ���$%��� �)� ���%���� �� �)� ��0�������$ ������ �������� �����-� �)� ������� ������� �)�� ���%���� �� ��%�� �� -� !2�� �� �)� 1�������� �� �)� ����%������ ����� �� ���1���$����)� ����$$� 1� ����%�� �)� ������ ����������� ���� �)� �$��� �� �)� ���%�����$ ��$������)�� �� �)� ��������)�� �%�-�� ���� �� �������� �� �)� �%�-�� �� %�-�$����� �)����� �������� -� �)� ������ ��� ��������� ����0�������$ ������� �)�� 8%������ �� �)� ��������$ ��� �� ����������� �)� $������� ������%�� �� �)� ��������� ������ -� %��� �� ��%��� ��� �)� ��/�)����� �������� 3���� �)� $�-������� ���%$�� 1� �������� �)�� � ��������� ����1��) 4 ������%�� �� !� ����� �� �����$$ 1�������� ���%���� �� 5�< �� �� ���) �� �)� ������� ��0�������$ �������

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.6 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.

����$$� �%��)�� 1��7 �� ������ �� �������� �)� ����� ��%���� �� �)� ��0�������$ ������ ����%������� ��� �� ����)� �*��� -�)����� �� �)� ������ �����$ �� � �%������ �� �)� ��$� ���%$����� �� ������ � ������� �������� �� �)���������� ���� $������� ������%���

���������

!� � ������7* F��� =��7��� �� =�%����� 4� &���� �� ������� 4� '�$����� �� C%-�� �� 9��) A� �� ��%����� A���)���� '�F� A����� �� ����)� A� ;%����� A��� ������� F� �������$�� �� G����7��� H�)� ��� ���)� -�)�$���>��������� �)� �:�H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$��������� ��!�!/!5 +" ",

"� F��� ��$��� H������� �� &�$������� �*�����$� ����� ��$������ +&���,H �%�%�� '���� ��$������� ������#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��65/�@ +" ",

<� �� ������� ��� ���-��� F� =��7��� � '���)���� A� �1���/������� C� 4��1�$�� 4� ���$ ��:�$7�� H�)� �%��� �*�����$� $���� ��$������H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$I 4� '�$����� ���� ��"!6/""� +" ",

6� �� G����7��� 9� ��)$�� � ������7* H��0������� �� �:�> �0���� �� ������������ ��� �������� ���������%��H �%�%�� '���� ��$������� ����� �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��!5!/!." +" ",

�� A� ���� '� � &)���� H��0������� �0���� ���� ����� ��������� ������ ��$������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��.!/@" +" ",

2� '� &)���� &� �)��� A� ���� H)����� �)� A����� �������� �� �)� 9��7 ��$������� ##> �)� �����1/-���)����� $�����)�H ��$��� ������ J�$%�� <@ #��%� "� ���65 2/65!6 "

5� '� � &)���� A� ���� &�A� �)��� H)����� �)� ������� ������ �������� �� �)� 9��7 ��$�������> ����������� �� ��0����� ���)��8%��H ������$ ������ A������$� ��-�������� ��� A���������� ���� �#�6 < )�$���� ������7*K ��� �� !../" " +" ,

.� '� � &)���� H:�������� �%����%�� ������� �� )��)$� ��������� ��$�������H �%�%�� '���� ��$������������ �#� 6.6 F�4�� ���$ I 4� '�$����� ���� ��<25/<55 +" ",

@� 4� 4�������� L%��$ �$��� 1�������� ������� 1��) �� ����$$����� �����M F�%��� A��� ���� 6< �� ".@/"@<!@@2

! � �� �������� �� ������ � 4������� H��-������� ���� �� � ������� 1�������� ������H ���� �#� 6 5 ������� ������$ ������� ���)��$��� ���� �� :�����1��)K �� �� 6!2/6"" +" ,

!!� �� �������� �� ������� H��������� ��$������ ��/�)����� %���� ������ ������H ����� =����� &�����/�����$ ������� ������ �� !2!/!22 " !

!"� �� �������� � ����� �� ����%��� A� &��-�$$�� � 4������� �� ���� &� J�����%� A� ������ '� =�%���� '�$$���� 4� =���� &� =�0� J�=�$����� #� �������� � %�$��� 4� 4�������� � 4������� � ��������� ���$����� :� ������� F������ L����� ���)� ������� ������ ������ ��� ����� =����%$�� ��$������M ��� ����� ����� ������ �������� �� ����� �#� 6.<@ � :�����1��) I �� =�������� ���� �� !26/!5< +" ",

SPIE USE, V. 3 5169-9 (p.7 of 7) / Color: No / Format: A4/ AF: A4 / Date: 2003-08-02 09:23:59

Please verify that (1) all pages are present, (2) all figures are acceptable, (3) all fonts and special characters are correct, and (4) all text and figures fit within themargin lines shown on this review document. Return to your MySPIE ToDo list and approve or disapprove this submission.