金相显微镜BX41M-ESD/BX51/BX51M/ BX61/BXFM

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金相显微镜 BX2M BX41M-ESD/BX51/BX51M/ BX61/BXFM

Transcript of 金相显微镜BX41M-ESD/BX51/BX51M/ BX61/BXFM

金相显微镜

BX2MBX41M-ESD/BX51/BX51M/

BX61/BXFM

完美灵活的显微镜性能,

确保多种检验观察法的卓越成效·不断满足人机工程学要求,使性能经考验的Y形镜体设计进一步改进。

·布局合理超群的操作方便性。

·推出与镜臂合为一体的反射光照明装置。

·便于组装丰富多彩的附件,确保极其灵活的系统多用性。

·突出的UIS2无限远校正光学系统特性。

·对各种检验观察法需求提供出色的图象清晰度和极高的对比度。

1

2

忠实再现样品的自然色彩

UIS2物镜实现了自然色彩高度再现,严格挑选高透过率的镜片和更

先进的镀膜技术来实现在整个超宽波段波长的高透过率。另外,整

个光学系统包括特殊设计的结像透镜来保证能够获得清晰的再现自

然色彩的数字图象。

采用了波前像差控制技术,

显微物镜性能提升的新标准

OLYMPUS的UIS2物镜使用了新技术,在这些透镜原有基于N.A.和W.D.的普通标准上增加了波前像差控制技术。OLYMPUS对传统

标准无法实现的光学系统进行的挑战, 实现了将影响成像分辨率的

像差降至最少, 成像性能更加完美。

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完美光学 — 新一代UIS2光学系统,采用波前像差控制技术确保了

一个使用激光干涉仪测量波面的3D显示例子。透镜表面质量越好,像差的校正越完全。

UIS2物镜和传统物镜的色温对比图。UIS2物镜的色温在一个非常接近理想白色阈值的色温范围内。

■ 色温对比

UIS2

UIS

理想白色阈值

传统图象UIS2 图象

4

世界最高等级的成像

UIS2物镜的卓越同轴性

在高倍的半复消色差UIS2物镜中,同轴性得到更高提升,多个物镜

之间的图像对中性能完善,使操作更加快速和无疲劳。

* 50x或更高倍数的MPLFLN和LMPLFLN系列

消除在极低放大倍数观察下的亮斑

当在极低放大倍数下观察低反射率试样时,亮斑会阻碍精准的观察。

在UIS2低倍观察里,一种减偏器安装在物镜的末端来消除亮斑,在

结合使用起偏器和检偏器后可以获得清晰和高对比度的图象。

* 1.25x和2.5x物镜可以提供

MPLFLN1.25xUIS2

亮斑无减偏器

UIS2 图象 传统图象

■ 亮斑去除原理概念图

检偏器

起偏器

物镜

减偏器

试样

从物镜表面反射回来的光线是线偏振光

(如图示),它能被处于十字交叉位置的检

偏器消除并且不会作用到图像上。另一方

面,光线穿过物镜末端的减偏器后变成非

偏振光,当试样表面反射回来的非偏振光

穿过检偏器时,只有在检偏器振动方向上

的线偏振光可以通过并投影为图像。

线偏振光

亮斑

非偏振光

保护环境和生态,减轻重量

OLYMPUS将保护环境视为首位并且积极解决生产和生态的均衡性。

正因为如此,UIS2光学系统采用了无铅和无砷的环保玻璃。另外,

主要的半复消色差UIS2物镜的重量减轻了大约2/3。这对防止环境

污染,改善物镜转换的操控性等等做出了贡献。

传统图象

校正玻璃厚度差图像 没有经过校正的图像

UIS2 图象

比以往更亮的暗场图像

新的半复消色差物镜系列增强了暗场图像的亮度,增强了灵敏度,

提高了微小缺陷的检出能力。

校正物镜适用于不同的玻璃厚度

LCPLFLN-LCD物镜提供了对球差的精确校正。对于透过覆盖玻璃

层观察样品提供完美图像,20x和50x物镜可以用于观察透过厚度

为0到1.2mm的玻璃,100x物镜能校正厚至0.7mm的玻璃厚度。

5

诺曼尔斯基微分干涉衬比法系统提供最大限度可视度

用诺曼尔斯基微分干涉衬比法观察,现已被认为检验材料、金属和

半导体结构不可缺少的手段。为了确保适合于各种样品具体状态的

最佳分辨率和对比度,奥林巴斯提供三种不同类型的棱镜∶即用于

通用检验的U-DICR;用于对最精细结构的高分辨率检验的

U-DICRH;用于高对比度检

验的U-DICRHC。每一种棱镜

可单独使用,且易于更换,易于

使用。

U-DICR U-DICRHC

U-DICRU-DICRH

U-DICRHC

超高放大倍数观察

BX-RLA2明/暗视野法用反射光照明装置备有高功能孔径光阑,它

可以将孔径连续缩小到超高倍率观察所需要的针孔大小。这种特性

提供焦深很深的高对比度观察象,又专门备有150倍的超高倍率复

消色差物镜。而且物镜具有特长的工作距离,有助于避免观察中物

镜顶端与样品碰撞。

万能物镜适用于从明视野法到荧光法的所有显微观察法

BX2M的万能物镜与所有观察法相兼容,包括明视野法、暗视野法、

诺曼尔斯基微分干涉衬比法、偏振光法和荧光法,并在每一观察法

中提供最高级的图象质量。

适用于高级成象的平场复消色差物镜

使用色差完全被消除的高分辨率物镜,就能保证得到某些结构对比

度、清晰度、分辨率均高的优质观察象,例如靠近光学分辨极限值

的半导体几何图形。

超长工作距离物镜适用于观察表面凹凸不平的样品

这些超长工作距离物镜(20倍物镜

为25mm,50倍物镜为18mm,

100倍物镜为7.5mm),对象检验

装在夹具内的磁头等样品时,会大

显身手。

25m

m

6

N.A. W.D. 盖玻片 分辨率*2

物镜 倍率 数值 工作距离 厚度孔径 (mm) (mm) (µm)

1.25x*3*5 0.04 3.5 — 8.392.5x*3 0.08 10.7 — 4.19

5x 0.15 20.0 — 2.24MPLFLN 10x 0.30 11.0 — 1.12

20x 0.45 3.1 0 0.7550x 0.80 1.0 0 0.42

100x 0.90 1.0 0 0.37

5x 0.15 12.0 — 2.2410x 0.30 6.5 — 1.12

MPLFLN-BD*4 20x 0.45 3.0 0 0.7550x 0.80 1.0 0 0.42

100x 0.90 1.0 0 0.37150x 0.90 1.0 0 0.37

5x 0.15 12.0 — 2.2410x 0.25 6.5 — 1.34

MPLFLN-BDP*4 20x 0.40 3.0 0 0.8450x 0.75 1.0 0 0.45

100x 0.90 1.0 0 0.37

5x 0.13 22.5 — 2.5810x 0.25 21.0 — 1.34

LMPLFLN 20x 0.40 12.0 0 0.8450x 0.50 10.6 0 0.67

100x 0.80 3.4 0 0.42

5x 0.13 15.0 — 2.5810x 0.25 10.0 — 1.34

LMPLFLN-BD*4 20x 0.40 12.0 0 0.8450x 0.50 10.6 0 0.67

100x 0.80 3.3 0 0.42

5x 0.10 20.0 — 3.3610x 0.25 10.6 — 1.34

MPLN*3 20x 0.40 1.3 0 0.8450x 0.75 0.38 0 0.45

100x 0.90 0.21 0 0.37

5x 0.10 12.0 — 3.3610x 0.25 6.5 — 1.34

MPLN-BD*1*3*4 20x 0.40 1.3 0 0.8450x 0.75 0.38 0 0.45

100x 0.90 0.21 0 0.37

20x 0.45 8.3 – 7.4 0 – 1.2 0.75LCPLFLN-LCD 50x 0.70 3.0 – 2.2 0 – 1.2 0.48

100x 0.85 1.2 – 0.9 0 – 0.7 0.39

*1 将MPLN-BD系列物镜与汞灯或氙气灯的高亮度光源一起使用进行暗视野法观察时,某些样品图象的视野边缘部分有可能变虚

*2 分辨率是在孔径可变光阑全开的情况下求出的数值。*3 受到最大视场熟为22的限制。*4 BD物镜不能与BX41M-ESD配套使用。*5 建议使用偏振器和分析器。

*“BD”指明视野法/暗视野法物镜。

N.A. W.D. 盖玻片 分辨率*2

物镜 倍率 数值 工作距离 厚度孔径 (mm) (mm) (µm)

50x 0.95 0.3 0 0.35MPlanApo 100x 0.95 0.35 0 0.35

100xOil 1.40 0.1 0 0.24

MPlanApo-BD*4 100x 0.90 0.31 0 0.37

SLMPlan20x 0.35 21.0 0 0.5850x 0.45 15.0 0 0.75

5x 0.10 20.0 — —10x 0.25 18.5 — —

LMPlan-IR 20x 0.40 8.1 — —50x 0.55 6.0 — —

100x 0.80 3.4 — —

MPlan-IR*3 100x 0.95 0.3 — —

UNIVERSAL INFINITY SYSTEM

多用途物镜总一览表

MPLFLN(-BD) 平场半复消色差系列物镜本系列平场半复消色差物镜色差消除完全,在包括明视野(暗视野)观察法、荧光观察法、诺曼尔斯基微分干涉衬比观察法和简易偏光观察法中均有完美效果。本系列所有50x以及更高倍数的物镜均具有1mm的工作距离以保证可以安全的靠近试样。由于从5x到150x的出瞳位置是固定的,所以当改变物镜倍数时,不能改变DIC棱镜旋钮位置。

MPLFLN-BDP 平场半复消色差POL系列物镜本系列平场半复消色差POL物镜确保了彗形象差的校正,将图像扭曲也限制到最小限度。因此在诺曼尔斯基微分干涉衬比观察法中,使用本系列物镜是最佳选择。

LMPLFLN(-BD) 长工作距离平场半复消色差系列物镜本系列长工作距离平场半复消色差物镜因工作距离长而在使不触动粗调旋钮的情况下易于更换试样。

MPLN(-BD) 平场消色差系列物镜本系列平场消色差物镜为明视野(或明视野/暗视野)观察法而设计,保证优越的、直至视场数(F.N.)22的视野平坦性。

LCPLFLN-LCD 液晶检测专用物镜本系列液晶检测专用物镜主要用于检测LCD或者特殊光盘。通过在物镜中加入了校正环,从而可以补偿由于玻璃厚度带来的色彩误差。

LMPlan-IR, MPlan-IR 红外物镜本系列红外平场半复消色差物镜为可见光谱到近红外光谱谱段专用物镜。

SLMPlan 超长工作距离系列物镜本系列超长工作距离物镜在高对比度的线宽检测中不会产生色彩偏差。

MPlanApo(-BD)系列物镜本系列平场复消色差物镜具有最佳的色差校正水平。

更为紧凑的Y形镜体设计操作更舒适

新显微镜的镜体长度减少,从而奥林巴斯著名的Y形造形设计提供

了更为宽绰的工作空间。由于照明灯壳小型化,镜体变得更为紧凑,

减少显微镜的占用空间,便于在镜体附近的自由桌面上放置样品和

辅助装置,不会妨碍操作员的工作。

操作部位布局合理大量减轻长时间观察中的疲劳

作为很少感到疲劳而颇受广大用户好评的Y形镜体,经过新的精心

设计其操作舒适性进一步提高。操作员能将前臂放在桌面上随意完

成所有调焦和载物台操作,即使复杂的观察也不必频繁移动手臂和

手腕,手部运动量很小。

调焦操作轻而易举新微调旋钮易于换装到左右任何一边

新调焦微调旋钮可以拆卸下来换装到显微镜的左右任何一边,以适

合操作员喜好。控制旋钮的覆盖层因微动灵敏度高而易于用手指肚

儿轻摸操作,即使在高放大倍率

下进行微调也非常精确。

中性密度滤色镜连动装置使明视野法与暗视野法的转换

更简便舒适

明/暗视野法用反射光照明装置以与中性密度滤色镜联动为其特点。

该滤色镜保护操作员的眼睛免受亮度突然剧烈变化的刺激。此联动

功能可按手动方式加以解除。

7

明视野观察法 暗视野观察法

镜体形状设计的改进促使人机工程学进一步改善

可倾斜镜筒系列能使操作员维持舒适姿势

明U-TBI-3可倾斜镜筒是供双目观察的,而U-SWETTR-2和MX-

SWETTR镜筒是供讨论需要的。本系列镜筒能让每个操作员选择最

舒合的眼点位置和人机工程学姿

势,从而大量减轻长时间观察中

的疲劳。

MX-SWETTR

方便的变倍器

在不更换物镜的情况下用更大倍率

观察图像,对要求保持工作距离不

变前提下观察,或对细小部分取景

时都很方便。

可同时加装显微照相装置或视频摄象机

U-TRU三目中间附件与U-TBI-3倾斜式镜筒配套使用时,也能同时

加装显微照相装置或数码或视频摄

象机等资料记录装置。

U-TRU

U-ECA

8

DP20 数码显微照相装置

• 流畅的15fps实时显示,保证在利用监视器进行观察的同时,从聚

焦到摄影、测量等一连串的操作也不会被中断

• 快速连拍功能,以1秒钟的间隔连拍4张照片,且画质清晰,绝无

压缩感

• 独立紧凑的机头和操作盒,节省生产线空间,更加效率化方便

DP71 数码显微照相装置

• 1250万像素、12bit的静止图像采集、为你提供绝美的高清晰

画像

• CCD的半导体冷却方式实现ISO1600水准的高敏感度和低噪度,

即使是微弱的荧光信号也可清晰采集

• 高精细流畅的实时表示使监视器的聚焦和观察变得更加轻松便捷

可用数码相机保证万无一失的图象资料摄取

U-SWETTR-2

U-TBI-3

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丰富多彩的高度功能化的附件能充分满足显微镜检验的一切需要

备齐各种专用载物台和配套台板

提供金属显微镜专用的各种载物台和配套台板∶100×100mm载物

台板(U-MSSP4);能装载3/4英寸晶片用晶片夹具的晶片用托板

(U-WHP2);能使用透射光观察用玻璃薄板(例如U-MSSPG)

的超大型载物台(U-SIC4R2和U-SIC4L2)。

U-SVRM/U-SVLM载物台的设计特点在于X向齿条导架不向外凸

出。符合人机工程学要求的本载物台备有载玻片夹具,最适于标准

载玻片尺寸标本的观察。76×50mm载物台薄板(U-MSSP)可

用于较大的标本。

可观察高于65mm的样品

与镜臂合为一体结构的反射光照明装置,一方面具有BX41M/

BX51M系列显微镜的标准规格特性,而另一方面还有很大的灵活

性。只要在镜体与镜臂之间插装一个镜臂适配器,就能增加样品与

物镜的间距,即可以观察高于65mm的样品。

插装镜臂适配器时的增高部分

焦面

焦面

WWAFERAFER

NEWNEW

MAMATERIALSTERIALS

DADATTAA

STORAGESTORAGE

LCDLCD

65m

m

65m

m

ELECTRONIC

ELECTRONIC

DEVICEDEVICE

用于多种样品

U-SIC4R2

U-MSSPG

U-WHP2+BH2-WHR43

U-MSSP4

U-SVRM

U-MSSP

10

使用电动换镜转盘提高检验工作效率

电动换镜转盘(U-D6REM/U-D5BDREM),能瞬时转换到所选取

的物镜,而控制其动作的手动开关/开关板可放置于最方便的位置。

这种快速简便的按键转换物镜的操作手部运动量微小,提高工作效

率。电动换镜转盘可以安装到所有型号的反射光照明装置/镜体。

反射光照明装置能与各种光源兼容

为供用户灵活选择亮度高而寿命长的照明系统,奥林巴斯提供卤素

灯、氙气灯、汞灯等光源。对于卤素灯、氙气灯和汞灯光源,备有

能从可视光到近红外光校正色象差的复消色差聚光透镜系统。

换镜转盘确保精确的物镜间同心度

U-P5BDRE明/暗视野法用五孔定心换镜转盘和U-P6RE六孔定心

换镜转盘,均能确保三个物镜之间精确的同心度,即使将低倍数物

镜转换到高倍数物镜也不会引起图象中心的偏移,有助于提高工作

效率。

可用于所有反射光照明装置的光纤照明系统

光纤式的冷光照明适于所有反射光照明装置。如光纤照明系统的光

源LG-PS2等,备有高亮度的12V100W卤素灯。

*型号随使用国家不同而有所差异。

备有适合各种照明环境的滤色镜

提供紫外截止滤色镜、色温转换滤色镜、彩色增强滤光镜等多种滤

色镜滑块。

用目镜测微计直接求出测量结果

备有操作简便的直读式目镜测微计(U-OSM)。轻巧的小型测微计

易于插入双目镜筒内。只要用微调旋钮移动

测量刻度尺,就能达到精确的测量定位。测

得长度除以所用物镜的放大倍率,即可求出

样品的实际尺寸。

U-P5BDRE U-P6RE

U-LH100-3U-LH100L-3

U-LH100HG

U-LH100HGAPO

U-LH75XEAPO

LG-PS2*

LG-SF

U-LGAD

SZX-TLGAD

品的有效观察 提供各种不同的照明系统

快捷图象测量附件

U-D6REM

U-HSTR2U-REMPS-2

U-D5BDREM

全线产品最大限度适应不同观察要求,以至一些特殊应用

q 电动换镜转盘和明/暗视野法照明装置用控制装置(BX-REMCB)

w 明/暗视野法用电动反射光照明装置 (BX-RLAA) e 诺曼尔斯基微分干涉衬比法、

明/暗视野法电动五孔换镜转盘 (U-D5BDREMC)

BX-REMCB简便的控制装置使BX51具备多种电动功能

易于自动化操作的设计

• 控制选购项目包括∶明视野(BF)与暗视野(DF)观察法之间的

换镜转盘与照明装置的电动转换功能,孔径光阑电动开启/关闭

功能,还可以提供电动换镜转盘和电动照明装置的分别控制。

• 可用DIP(双列直插式封装)开关记录各换镜转盘孔的孔径光阑直

径,在改变对象时使孔径光阑保持协调。在进行暗视野观察法时,

孔径光阑自动全开。

• 电动换镜转盘和电动照明装置可用手动开关(U-HSTR2)或直接

使用电脑键盘通过RS232C连接器(9销插头型)进行控制。

• 输入/输出连接器(已提供)可遥控电动换镜转盘。

• 细长而轻便的设计

• 发光二极管指示灯能使肉眼确认功率(绿色)、错误(红色)和遥

控(黄色)。

BX51/BX51M 显微镜

备有可组装反射光和透射光照明装置的BX51显微镜,以及专用反

射光照明装置的BX51M显微镜。二者的镜体均可组装BX-RLA2明/暗视野法用反射光照明装置,以及还可适用于荧光法的BX-

URA2万能反射光照明装置。

BX51M+BX-RLA2

BX51+BX-URA2

w

e q

宽范围观察方法的理想工具

明视野图象 暗视野图象 微分干涉图象 荧光图象

11

12

BX41M-ESD 显微镜

BX41M-ESD显微镜,除了卓越的基本性能以外,还能消除来自操

作员和周围空气可能带来的静电,保护处于检验过程中的静电敏感

样品和其他标本。为此,显微镜镜体(BX41RF-ESD)的操作器

件都具有导电性。同样,BX-KMA-ESD(BX41RF-ESD)反射光

照明装置的表面以及换镜转盘(U-D6RE-ESD)的圆环也具有导

电性。此外,由于缩短Y形镜体的长度并采用更小型的光源灯壳,使

整个显微镜变得更为紧凑。作为选购件提供的30W金属卤化物灯光

源的亮度相当于50W卤素灯的亮度,不仅适用方便,而且还实现了

约达2000小时的长寿命。

• ESD性能∶

表面电阻∶低于 108 Ω

放电时间∶少于 0.2 sec• 适用于反射光的明视野法、简易偏振光法和诺曼尔斯基微分干涉

衬比法。q BX41M-ESD 显微镜镜体w ESD 诺曼尔斯基微分干涉衬比法六孔换镜转盘e ESD 明视野法用照明装置

q w

e

BX51/BX51M 显微镜

在显微镜镜体和反射光照明装置与前者相同的情况下,本显微镜能

对半导体晶片内部和集成电路组件背面进行近红外光观察以及 CPS

bumps 检验。

近红外光观察的新产品

• 备齐了从可视光到近红外光已实施象差校正的5倍~100倍IR系列

物镜。

• 提供与系统兼用的U-TLUIR近红外光观察用直筒。

• 与BX51TFR反射/透射光兼用显微镜镜体配套使用时,还适用于

透射光近红外光观察。

q

w

e r

t

y

uio

!0

克服ESD问题

系统 IR 显微镜

q 红外光用100W汞灯室 (U-LH100IR)w 红外光用三目镜筒 (U-TR30IR)e 带红外光用成象透镜的单口镜筒 (U-TLUIR)r 红外光用透射光起偏器 (U-POTIR)t 红外光用可360°回转检偏振器 (U-AN360IR)y 红外光用起偏器 (U-POIR)u 红外光用带通滤色镜 (1100mm) (U-BP1100IR)i 红外光用带通滤色镜 (1200mm) (U-BP1200IR)o 红外光用物镜 ( LMPlan5xIR, LMPlan10xIR,

LMPlan20xIR, LMPlan50xIR, LMPlan100xIR,MPlan100xIR)

!0 检偏振器、起偏器组件连接器 (U-POIR 联接附件)

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BX61 显微镜

BX61自动化显微镜具备自动调焦功能以及反射光与透射光之间的

自动转换功能。由于推出了控制软件包和宏功能程序,一系列显微

镜操作能通过开关板、电脑或掌上终端来控制。

• 与转换各种显微观察法、更换物镜放大倍率相关的光路调整,向

光路插入或从光路取出各种光学元件等,都可以精确地程序化。将

一系列操作汇总编入宏功能,分

配给开关板或电脑键盘上的专用

功能键。其结果,只要按一个功

能键即可调用或重现特定的观察

条件。

• 提供高速换镜转盘、定心换镜转盘、明/暗视野法用照明装置、万

能照明装置、反射光用自动调焦装置、滤色镜转盘等各种电动模

块。这些模块可以通过开关板或电脑进行控制。

• 电动定心五孔换镜转盘,能确保精确的在所有物镜之间的同心度。

具备自动化操作的先进功能

BX61+BX-RFAA

BX61+BX-RLAA

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构成系统多用性的丰富多彩的附件

BXFM-S/BXFM 显微镜

提供两种能与奥林巴斯的新显微镜系统配套使用的调焦装置。

BXFM-S镜体与明视野法用小型反射光照明装置相组合,从显微镜

光轴到灯壳背面只有290mm。BXFM镜体上组装明/暗视野法、荧

光法用反射光照明装置。附设外部控制器的光纤照明系统作为选购

件,可组装到上述两种机型的显微镜。

• 调焦机构、光纤照明系统、电动换镜转盘、带成象透镜的单口镜

筒等,都便于组装到本显微镜系统。

• 与镜臂合为一体结构的照明装置,为组装各种附件提供了方便

条件。

• 可遥控进行调光、接通/断开光源等操作的外部电源(TH4-

100/200)。

• 确保最高的图象质量和光学系统的灵活性,是奥林巴斯UIS2光学

系统的一个重要特征。即使变更物镜与镜筒成象透镜的间距,镜

筒成象透镜的高超设计性能绝不会引起倍率的变化或图象质量的

下降。需要满足特殊需求或向检验系统引进新光学元件时,光学

系统的上述卓越性能和灵活性会大显身手,维持光学特性的最高

标准。

BXFM-S

照明装置的组装一例: BXFM-S+U-KMAS+U-LGAD+LG-FS

q 大型支架 (SZ-STL)w 支架 (U-ST)e BXFM镜体 (BXFM-F)r BXFM用照明装置底座 (BXFM-ILH)t BXFM-S用照明装置底座 (BXFM-ILHS)y BXFM用圆柱弹簧支架 (BXFM-ILHSPU)u 明视野法用反射光照明装置 (BX-KMA)i 明暗视野法用反射光照明装置 (U-KMAS)o 反射光观察用光纤适配器 (U-LGAD)!0 带成象透镜的单口镜筒 (U-TLU)!1 外部电源 (TH4-100/200)!2 手动开关 (TH4-HS)

BXFM+BX-RLA2

q

w

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o!0

!1

!2

u

15

BX2M 金相显微镜系统图

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17

■ ■

■ ■■

See manual

■ ■ ■

电动系列显微镜系统图

U-KMAS明视野法用反射光照明装置

R

■■ ■■ ■■

IR (红外光)系统图

BXFM 显微镜规格

BX41M/BX41M-ESD/BX51M/BX51/BX61 金相显微镜规格

BX41M-ESD 显微镜外形尺寸 (单位∶mm)

BX51M 显微镜外形尺寸 (单位∶mm) BX51 显微镜外形尺寸 (单位∶mm)

BXFM-S 显微镜外形尺寸 (单位∶mm) BX61 (与自动调焦装置组合)显微镜外形尺寸 (单位∶mm)

18

ø32

124

22188 208

290

252.5230.5

2040

45

106 187

92.5

*

**

326

8912

445

204

465.

5

187 287.5

5788

175

283

R

geprufte

Sicherheit

470415

187 400

341

471

124

4520

984

R

geprufte

Sicherheit

56 90

175

317.53415690

471

124

4520

984

187 400175

317.5

470415

526.

5

5612

445

209

84

187 400

341

526.

5

175

3184190

BXFM BXFM-S

光学系统 UIS2光学系统(无限远校正光学系统)

显微镜镜体 行程为30mm,微调旋钮1圈的微调行程为200µm最小刻度单位为2µm,粗调旋钮张力可调。

照明装置 BX-RLA2∶ U-KMAS∶100W卤素灯等 100W卤素灯光纤照明系统

明视野法/暗视野法/ 明视野法/

微分干涉衬比法/ 微分干涉衬比法/

简易偏振光法 简易偏振光法

BX-URA2∶100W汞灯等

荧光观察法照明装置

BX41M/BX41M-ESD BX51M BX51 BX61光学系统 UIS2光学系统(无限远校正光学系统)显微镜镜体 照明装置 反射光(ESD处理) 反射光 反射/透射光转换 反射/透射光转换

内装6V30W光源 内装12V100W光源 内装12V100W光源 外置12V100W光源光量预调开关 光量预调开关 光量预调开关 光量预调开关

LED电压指示 LED电压指示 LED电压指示反射/透射光转换开关 反射/透射光转换开关

调焦 行程为25mm 电动调焦微调旋钮1圈的微调行程为100µm 张力为25mm最小刻度单位1µm 最小刻度单位为0.01µm可设聚焦粗调上限停止位置,粗调旋钮张力可调

最大标本高度 65mm(不包含臂长调节器) 25mm(不包含臂长调节器)观察筒 宽视野 倒象∶双目镜筒、三目镜筒、可倾斜式双目镜筒

(视场数为22) 正象∶三目镜筒、可倾斜式双目镜筒超宽视野 倒象∶三目镜筒(视场数为26.5) 正象∶三目镜筒、可倾斜式三目镜筒

反射光照明装置 明视野等观察法 BX-KMA/BX-KMA-ESD BX-RLA2 BX-RLAA30W卤素灯 100W卤素灯(可装高亮度光源,光纤照明) 电动明/暗视野法转换明视野法/微分干涉衬比法/ 明视野法/暗视野法/微分干涉衬比法/简易偏振光法 电动孔径光阑简易偏振光法 备有视场光阑和孔径光阑(可调中) 反射光荧光观察法引进ESD(静电放电)处理 以及与明/暗视野法连动的中性密度滤色镜

BX-URA2 BX-RFAA100W汞灯、75W氙气灯 备有电动六孔转盘六孔分光镜组件 ((标准∶WB,WG,WU+BF等) 内装电动光闸备有视场光阑和孔径光阑(可调中),以及光闸 备有视场光阑和孔径光阑

透射光照明装置 100W卤素灯— 备有阿贝聚光镜/长工作距离聚光镜

内置透射光滤色镜(LBD、ND25、ND6)换镜转盘 明视野法用 ESD处理的六孔转盘 六孔转盘、六孔定心转盘、七孔转盘(电动六孔转盘选购件) 电动六孔转盘、五孔定心转盘

明/暗视野法用 — 五孔转盘、五孔定心转盘、六孔转盘(电动五孔转盘选购件) 电动五孔转盘载物台 带左手(右手)用同轴驱动旋钮的载物台∶76(X)×52(Y)mm,张力可调

带左手(右手)用同轴驱动旋钮的大型载物台∶110(X)×105(Y)mm,附设Y向锁定机构体积 约283(宽)×489(长)× 约317.5(宽)×602(长) 约317.5(宽)×602(长) 约317.5(宽)×602(长)×

480(高)mm 480(高)mm 480(高)mm 541(高)mm重量 约15kg 约19.5kg 约20.8kg 约25.5kg

(显微镜镜体约重6.9kg) (显微镜镜体约重9.8kg) (显微镜镜体约重10.3kg) (显微镜镜体约重11.4kg)

M1628C-0607B