1. Percobaan feeding pada capasitor 0603

4.1 Alat-Alat Percobaan

Dalam micropart feeder (Gambar 7), sebuah wafer silikon ditempatkan di bagian atas tabel

feeder, yang didorong maju-mundur di trek oleh sepasang elemen bimorph piezoelektrik, didukung

oleh fungsi generator dan sebuah amplifier yang memberikan puncak-ke puncak tegangan output

hingga 300 V.

Gambar 7. Feeder microparts menggunakan penggerak bimorph piezoelectric

4.2 Permukaan Gigi Gergaji

Kita menggunakan gergaji pemotong (Disco Corp), sebuah pemotong presisi tinggi

menggunakan pisau miring untuk memotong gigi gergaji dalam wafer silikon. Gambar 8menunjukkan

microphotograph potongan wafer silikon dengan gigi gergaji p = 0,1 mm, θ = 20 deg, dan d = p tan θ

= 0,0364 mm. Kita siapkan gigi gergaji dengan wafersilikon dengan pitch p = 0,01, 0,02, ∙ ∙ ∙, 0,1 mm

dan sudut elevasi θ = 20 deg.

Gambar 8. Microphotograph dari sebuah gigi gergaji dengan wafersilicon

4.3 Percobaan

Dalam menggunakan microparts feeder dan permukaan gigi gergaji ini, kami melakukan

percobaan feeding dengan kapasitor 0603. Gerakan micropart yang direkam menggunakan video

kamera digital pada 30 fps. Kecepatan diukur dengan menghitung berapa banyak frame yang

dibutuhkan micropart untuk bergerak sepanjang 30 mm permukaan gigi gergaji. Microparts bergerak

dengan frekuensi f = 98-102 Hz dan amplitudo meja feeder adalah sekitar 0,20 mm. Setiap nilai

adalah rata-rata dari tiga kali pengujian, masing-masing percobaan menggunakan lima kapasitor

(Gambar 9).

(a) p = 0.01 – 0.05 mm

p = 0.06 – 0.10 mm

Gambar 9. Hasil Percobaan dari kapasitor 0603

Tabel 1 menunjukkan gerakan frekuensi kecepatan maksimum untuk masing-masing pitch

yang sebenarnya, dan kecepatan maksimum. Ketika pitch pada 0,04 mm atau kurang, kecepatan

adalah 0,6 mm / s pada gerakan frekuensi f = 98-101 Hz, tetapi gerakan itu menjadi tidak stabil. Pada

gerakan frekuensi yang lebih tinggi, microparts akan melompat. Proses feeding tercepat adalah 1,7

mm / s, yang ditunjukkan pada f = 101,4 Hz dengan p = 0,05 mm. Ketika pitch pada 0,06 mm atau

lebih besar, kecepatan maksimum feeding pada permukaan ditunjukkan ketika frekuensi 101,4 Hz.

Kecepatan maksimum menurun dengan meningkatnya pitch, menunjukkan pitch yang tepat untuk

kapasitor 0603 adalah p = 0,05 mm.

Gambar 9 menunjukkan dispersi kecepatan pada kecepatan feeding maksimum pada setiap

permukaan gigi gergaji. Kecepatan feeding tersebar dalam 6,7-23,5%, dengan rata-rata 15,8%.

Dispersi terkecil terjadi pada pitch gigi gergaji dari 0,05 mm. Akibatnya, permukaan gigi gergaji

dengan pitch p = 0,05 mm adalah yang paling tepat untuk feeding kapasitor 0603.

Tabel 1. Kecepatan feeding maksimum dari kapasitor 0603 dan gerakan frekuensi

Gambar 10. Hubungan antara kecepatan feeding dan pitch gigi gergaji

2. Analisis kapasitor 0603

5.1 Alat Pengukuran

Untuk mengamati profil permukaan gigi gergaji yang harus disesuaikan dengan kecembungan

pada elektroda kapasitor, digunakan mikroskop AZ-100 dari Nikon Instrumen (Gambar), mikroskop

ini dapat mengambil gambar dengan pembesaran hingga 16 kali dan auto fokus pada resolusi 0,54 um.

Gambar ditampilkan pada komputer sebagai file bitmap. Kami menggunakan perangkat lunak yang

dapat mensintesis gambar 3D sesuai ketinggian focus untuk mendapatkan ukuran kecembungan dan

posisi.

Gambar 11. Mikroskop AZ-100

5.2 Kecembungan ukuran dan posisi

Jari jari dari setiap kecembungan dan posisi pada elektroda kapasitor dianalisis dari model

3D. Dari gambar sintesis kita dapat garis kontur dalam koordinat XY. A dan B dapat kita abaikan

karena tidak selalu terdapat pada kapasitor 0603

Gambar 12. Model sintesis kapasitor 0603 Gambar 13. Kontur model

Gambar 14. Analisa garis kecembungan #1

Kecembungan didekati dengan bentuk setengah dari atas hingga kurang dari 18 µm. Jari-jari

dari masing-masing kecembungan diasumsikan nilai rata-rata jari-jari di kedua arah.