DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses...

1

Transcript of DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses...

Page 1: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

DEPOSISI LAPISAN TIPIS ALUMINIUM (Al)

PADA SUBSTRAT KACA DENGAN TEKNIK EVAPORASI

DAN KARAKTERISASI OPTIKNYA

SKRIPSI

Diajukan Untuk Memenuhi Salah Satu Syarat Memperoleh Gelar Sarjana Sains (S.Si)

Program Studi Fisika

Oleh :

Theresia Erni

NIM : 023214003

PROGRAM STUDI FISIKA JURUSAN FISIKA

FAKULTAS SAINS DAN TEKNOLOGI

UNIVERSITAS SANATA DHARMA

YOGYAKARTA

2007

i

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 2: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

DEPOSITION OF ALUMINUM (Al) THIN LAYER

ON THE GLASS SUBSTRATE USING EVAPORATION

TECHNIQUE AND OPTICAL CHARACTERISATION

SKRIPSI

Precented as Partial Fulfillment of the Requirements to Obtain the Sarjana Sains Degree

In Physics

By

Theresia Erni

NIM : 023214003

PHYSICS STUDY PROGRAM

PHYSICS DEPARTMENT

SCIENCE AND TECHNOLOGY FACULTY

SANATA DHARMA UNIVERSITY

YOGYAKARTA

2007

ii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 3: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

iii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 4: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

iv

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 5: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

HALAMAN PERSEMBAHAN

Ku persembahkan karya sederhana ini untuk :

Tuhan Yesus Kristus yang selalu menjadikan semuanya baik pada waktunya...

Bunda Maria penolong hidupku....

Ayah dan ibuku tercinta, yang selalu mencintai dan menyayangiku tanpa batas

Bibi Yatim yang selalu mendukung dan menyayangiku

Mas Andri yang telah memberi warna dalam hidupku

Seluruh keluarga besarku

Universitas Sanata Dharma almamaterku

v

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 6: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

HALAMAN MOTTO

“Mintalah, maka akan diberikan kepadamu; carilah, maka kamu akan mendapat;

ketoklah, maka pintu akan dibukakan bagimu. Karena setiap orang yang meminta,

menerima dan setiap orang yang mencari, mendapat dan setiap orang yang

mengetok baginya pintu dibukakan”

(Matius 7: 7-8)

“Jangan berdoa supaya engkau mendapat tugas yang sesuai dengan tenagamu,

tetapi berdoalah supaya engkau mendapat kekuatan yang sesuai dengan tugasmu”

(Philip Brooks)

“Pengalaman membuat engkau mampu untuk mengenal sebuah kesalahan

bilamana engkau melakukannya lagi”

(Franklin P. Jones )

”Jangan bimbang menghadapi bermacam – macam penderitaan, karena semakin

dekat cita – cita kita tercapai semakin berat penderitaan yang harus kita alami”

(Jenderal Sudirman)

vi

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 7: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

vii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 8: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

ABSTRAK

Telah dilakukan deposisi lapisan tipis aluminium pada substrat kaca dengan

teknik evaporasi. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mengamati sifat – sifat optik

dari lapisan tipis yang dideposisikan pada substrat kaca. Deposisi lapisan tipis

dilakukan pada kondisi tekanan vakum 1,1 x 10-5 Torr, jarak substrat dengan benda

yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat

aluminium divariasi dari 0,0003 gr hingga 0,0006 gr.

Proses evaporasi dilakukan dengan menggunakan alat evaporasi hampa,

Edward Vacuum Coater Model E610, milik PTAPB-BATAN. Sedang karakterisasi

sifat optik yang meliputi reflektansi, transmitansi dan absorbansi dilakukan

menggunakan UV-Vis Spectrophotometer milik laboratorium Biologi UNS,

Surakarta. Sementara itu indeks bias lapisan tipis dihitung dari data reflektansi.

Ketebalan lapisan tipis untuk masing – masing berat aluminium yang dilapiskan

dihitung dari data berat aluminium yang terlapiskan, massa jenis aluminium dan

luasan substrat yang terlapisi.

Dari hasil percobaan dan pengukuran maupun perhitungan yang telah

dilakukan diperoleh hasil bahwa; ketebalan lapisan bervariasi yaitu 57,40752 nm;

76,54336 nm; 95,6792 nm dan 114,815 nm. Pada ketebalan 95,6792 nm dan 114,815

nm absorbsinya sebesar 99,9975 %, tidak ada cahaya yang direfleksikan dan

diteruskan. Ini berarti pada ketebalan tersebut semua cahaya tampak diserap oleh

lapisan tipis. Reflektansi untuk ketebalan 57,40752 nm dan 76,54336 nm masing-

masing berkisar antara 3,03 % s/d 8,23 % dan 0,02 % s/d 0,06 %. Tranmitansinya

berkisar 3,0 % s/d 8,14 % dan 0,04 % s/d 0,07 %. Sedangkan absorbansinya berkisar

antara 27,39 % s/d 38,735 % dan 97,8325 % s/d 99,9975 %. Indek bias pada

ketebalan tersebut masing-masing adalah berkisar antara 1,262 s/d 1,330; 1,224 s/d

1,225 dan 1,224. Sedangkan koefisien absorbsi pada keempat ketebalan tersebut

berturut-turut 1,9 x 105cm-1 s/d 2,7 x 105cm-1; 4,9 x 105cm-1 s/d 5,2 x 105cm-1, 4,1 x

105cm-1 s/d 4,2 x 105cm-1 dan 3,4 x 105cm-1.

viii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 9: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

ABSTRACT

Deposition of aluminum thin layer on the glass substrate using evaporation

technique has been done. The aim is the research is to observe the optical properties

aluminum thin film on glass substrate. Deposition thin film has been done for the

following parameters ; vacuum pressure in order of 1,1x10-5 Torr, boat and substrate

distance in order of 10,5 cm, deposition time in order of 2-3 hour, while the number

(gr) of aluminum to be coated was varied from 0,0003 gr up to 0,0006 gr.

Coating process was carried out using Edward Vacuum Coater Model E610 at

PTAPB-BATAN, Yogyakarta. The optical properties such as abrorbance, reflectance

and transmittance of thin film was measured using UV-Vis spectrophotometer at

Departement of Biology FMIPA UNS, Surakarta. While the refractive index of thin

film was calculated from the reflectance of thin film data. The thickness of thin film

was calculated from coated aluminum weight, density of aluminum and dimension of

the substrate.

It was found that the thickness of thin film for various of aluminum

weight are 57,40752 nm; 76,54336 nm; 95,6792 nm dan 114,815 nm. For the

thickness of thin film in order of 95,6792 nm dan 114,815 nm, the absorbance is in

order of 99,9975 %, there is no reflected and transmitted light. It meant that all

ancidence light are absorbed by the thin film. The reflectance of thin film for the

thickness of 57,40752 nm dan 76,54336 nm is in order of 3,03 % up to 8,23 % and

0,02 % up to 0,06 % respectively. The transmittance is in order of 3,0 % up to 8,14 %

and 0,04 % up to 0,07 %. While its absorbance is in order of 27,39 % up to 38,735 %

and 97,8325 % up to 99,9975 %. The calculated of refravtive index is 1,262 up to

1,330; 1,224 up to 1,225 and 1,224 respectively. The coefficient absorption is 1,9 x

105cm-1 up to 2,7 x 105cm-1; 4,9 x 105cm-1 up to 5,2 x 105cm-1, 4,1 x 105cm-1 up to

4,2 x 105cm-1 and 3,4 x 105cm-1 respectively.

ix

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 10: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

KATA PENGANTAR

Puji dan syukur penulis panjatkan kepada Tuhan Yang Maha Esa atas rahmat

dan kasih-Nya, sehingga penulis dapat menyelesaikan skripsi yang berjudul

DEPOSISI LAPISAN TIPIS ALUMINIUM PADA SUBSTRAT KACA DENGAN

TEKNIK EVAPORASI DAN KARAKTERISASINYA. Penyusunan skripsi ini

merupakan syarat untuk memperoleh gelar Sarjana Sains di Jurusan Fisika

Universitas Sanata Dharma.

Penullis menyadari bahwa penulisan ini dapat selesai dengan baik karena

bantuan dari berbagai pihak, maka pada kesempatan ini penulis ingin mengucapkan

terima kasih yang sebesar-besarnya dan setulus-tulusnya kepada:

1. Ibu Ir. Sri Agustini Sulandari M.Si selaku Kaprodi Fisika dan

pembimbing di kampus yang telah banyak memberikan masukan, arahan

dan yang selalu sabar membimbing penulis selama penulisan skripsi ini.

2. Bapak Drs. B.A. Tjipto Sujitno, M.T selaku pembimbing di PTAPB-

BATAN yang selalu membantu penulis bila mengalami kesulitan

3. Bapak Dr. Agung Bambang S.U., SU yang telah bersedia menguji dalam

ujian skripsi.

4. Bapak Dr. Ignatius Edi Santosa M.S. selaku dosen pembimbing akademik

atas bantuan dan bimbingannya selama masa studi.

x

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 11: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

5. Segenap Dosen Jurusan Fisika, FST Universitas Sanata Dharma

Yogyakarta, yang telah mendidik dan memberikan pengajaran selama

masa studi.

6. Segenap Dosen dan Karyawan FST Universitas Sanata Dharma

Yogyakarta, yang telah banyak membantu selama masa studi.

7. Selulruh staf karyawan dilingkungan PTAPB-BATAN, yang telah banyak

membantu selama penelitian, khususnya bapak Sumaryadi selaku teknisi

di bagian coating yang tiada lelah membantu pelaksanaan penelitian.

8. Bapak Susilo karyawan di laboratorium Biologi UNS yang telah

membantu dan mengijinkan penulis untuk menggunakan alat

Spektrofotometer UV-VIS untuk karakterisasi lapisan tipis.

9. Ayah dan ibuku tercinta, yang selalu memberikan dukungan, doa dan

biaya selama masa studi.

10. Bibi Yatim, yang selalu memberikan semangat dan dukungan moral

maupun material.

11. Mas Andri yang selalu setia menemaniku dan selalu memberiku semangat

dalam menyelesaikan skripsi ini.

12. Bapak, ibu, mas Yuni, Nur dan Adi, atas segala kebaikannya selama ini.

13. Teman-teman fis’02 (Lori, Ima (makasih untuk printernya), Kia, Ingke,

Hanik, Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try, O’ok, Basil, Yuda,

xi

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 12: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

Danang, Ratna, Dian) yang telah berjuang selama bertahun-tahun

bersamaku. Terimakasih untuk persahabatannya selama ini.

14. Teman-teman Komunitas Sant’ Egidio yang telah banyak mengajarkanku

banyak hal (buat Heri dan Mayoes, makasih ya karena selalu memberiku

tumpangan kalau pergi ke BATAN. Buat Echa makasih untuk printernya).

15. Teman-teman kos palem (Siska, Reta, Tika, Citra, Ema, Rini, Ani, Ana,

Melda, Jessi dan Tante, Aprin, Alin, Mita, Cici, Nia, Gusti), terima kasih

atas persahabatannya selama ini.

16. Teman-teman kos Dewi (Corry, Fitri(makasih untuk komputernya), Era,

Eka, Amoy, Sim, mbak Mul) yang telah menerimaku dengan baik dan

juga teman-teman kos Wirata atas bantuannya selama ini.

17. Teman-teman lainnya yang tidak dapat penulis sebutkan satu persatu yang

telah memberi bantuan baik secara moral atau material.

Penulis juga menyadari bahwa penyusunan skripsi ini tidaklah sempurna,

maka semua saran dan kritik yang membangun sangat penulis harapkan dan semoga

skripsi ini dapat bermanfaat bagi mahasiswa/mahasiswi dan para pembaca lainnya.

Yogyakarta , September 2007

Penulis

xii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 13: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

DAFTAR ISI

HALAMAN JUDUL…………………………………………………………………..i

HALAMAN JUDUL.....................................................................................................ii

HALAMAN PERSETUJUAN……………………………………………………….iii

HALAMAN PENGESAHAN………………………………………………………..iv

HALAMAN PERSEMBAHAN....................................................................................v

HALAMAN MOTTO....……………………………………………..........................vi

HALAMAN PERNYATAAN.….…………………………………………………..vii

ABSTRAK......……………………………………………………………………...viii

ABSTRACT…..………………………………………………………………….....…ix

KATA PENGANTAR………………………………………………………………...x

DAFTAR ISI……………………………………………………………………......xiii

DAFTAR GAMBAR ……......………………………………………………….....xvii

DAFTAR TABEL ...…………………………………………………………….…..xx

BAB I PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang…………………………………………………………..1

1.2 Perumusan Masalah……………………………………………………..3

1.3 Batasan Masalah………………………………………………………...3

xiii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 14: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

1.4 Tujuan Penelitian………………………………………………………..3

1.5 Manfaat Penelitian………………………………………………………4

BAB II DASAR TEORI

2.1 Deposisi Lapisan Dengan Teknik Evaporasi……………………………5

2.2 Evaporasi Termal………………………………………………………..7

2.3 Sistem Vakum………..………………………………………………...9

2.3.1 Tingkat Kevakuman……………………………………………..10

2.3.2 Pompa Valum……………………………………………………12

a. Pompa Rotari………………………………………………….12

b. Pompa Difusi………………………………………………….14

2.4 Pembentukan Lapisan Tipis……………………………………………16

2.5 Sifat Optik………….…………………………………………………..19

2.5.1 Refraksi dan Refleksi Gelombang Datar dan Permukaan Datar...19

2.5.3 Reflektansi, Transmisi dan Absorbansi………………………….21

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

3.1 Tempat dan Waktu Penelitian…………………………………………26

3.2 Bahan dan Alat Penelitian……………………………………………..26

3.2.1 Bahan dan Alat Untuk Preparasi Sampel………………………..26

3.2.2 Bahan dan Alat Untuk Pembuatan Lapisan Tipis……………….27

xiv

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 15: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

3.2.3 Bahan dan Alat Untuk Karakterisasi Sifat Optik………………..27

3.3 Diagram Alir Penelitian……………………………………………….28

3.4 Pelaksanaan Penelitian………………………………………………...29

3.4.1 Penyiapan Substrat dan Target…………………………………..29

3.4.2 Pembuatan Lapisan Tipis Aluminium…………………………...29

3.4.3 Karakterisasi Lapisan Tipis……………………………………...30

3.5 Metode Analisis………………………………………………………..33

BAB IV HASIL PENELITIAN DAN PEMBAHASAN

4.1 Hasil Penelitian………………………………………………………...34

4.1.1 Pembuatan Lapisan Tipis………………………………………...34

4.1.2 Karakterisasi Optik Lapisan Tipis Al Hasil Deposisi

Menggunakan Spektropotometer UV-VIS………….…………...35

a. Reflektansi…………………………………………………….35

b. Transmitansi…………………………………………………..38

c. Absorbansi…………………………………………………….40

4.2 Analisis Data dan Pembahasan.…………...…………………………...42

4.2.1 Proses Pembuatan Lapisan Tipis……..………………………….42

4.2.2 Karakterisasi Optik Lapisan Tipis Al .…………………….……43

a. Cuplikan1…………………………………………………..….44

b. Cuplikan2…………………………………….………………..46

xv

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 16: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

c. Cuplikan3………………………………………………..…….49

d. Cuplikan4……………………………………………………...50

BAB V PENUTUP

5.1 Kesimpulan…………………………………………………………….52

5.2 Saran...…………………………………………………………………53

DAFTAR PUSTAKA………………………………………………………………54

LAMPIRAN

xvi

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 17: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

DAFTAR GAMBAR

Gambar 2.1. Model peralatan coating

Gambar 2.2. Prinsip kerja pompa rotari

Gambar 2.3. Penampang pompa difusi

Gambar 2.4. Tingkat pembentukan lapisan tipis

Gambar 2.5. a. Gambar yang menunjukan refleksi dan refraksi pada

permukaan batas udara-air.

b. Penggambaran dengan menggunakan sinar-sinar

Gambar 3. Sistem Elektrik UV-1601PC

Gambar 4.1 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang

pelombang λ untuk kaca biasa (standar)

Gambar 4.2 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

Gambar 4.3 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

Gambar 4.4 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

Gambar 4.5 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

xvii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 18: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

Gambar 4.6 Grafik hubungan antara indeks bias lapisan tipis

dengan reflektansi R untuk ketebalan lapisan

57,40752 nm

fn

Gambar 4.7 Grafik hubungan antara indeks bias lapisan tipis

dengan reflektansi R untuk ketebalan lapisan

76,54336 nm

fn

Gambar 4.8 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang

pelombang λ untuk kaca biasa (standar)

Gambar 4.9 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

Gambar 4.10 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

Gambar 4.11 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

Gambar 4.12 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang

pelombang λ untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

Gambar 4.13 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang

gelombang λ untuk kaca biasa

Gambar 4.14 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang

gelombang λ untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

xviii

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 19: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

Gambar 4.15 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang

gelombang λ untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

Gambar 4.16 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang

gelombang λ untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

Gambar 4.17 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang

gelombang λ untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

Gambar 4.18 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T

dan absorbansi A dengan panjang gelombang λ untuk

ketebalan lapisan 57,40752 nm

Gambar 4.19 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T

dan absorbansi A dengan panjang gelombang λ untuk

ketebalan lapisan 76,54336 nm

Gambar 4.20 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T

dan absorbansi A dengan panjang gelombang λ untuk

ketebalan lapisan 95,6792 nm

Gambar 4.21 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T

dan absorbansi A dengan panjang gelombang λ untuk

ketebalan lapisan 114,815 nm

xix

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 20: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

DAFTAR TABEL

Tabel 4.1 Hasil deposisi lapisan tipis

Tabel 4.2 Hasil analisis dari hasil deposisi lapisan tipis

xx

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 21: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

BAB I

PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Lapisan metal tipis pertama kali ditemukan oleh Bunsen dan Grove

pada tahun 1852, ketika mereka melakukan penelitian lucutan dalam gas

bertekanan rendah dalam suatu sistem vakum, yang menampakkan gejala

terbentuknya lapisan metal tipis pada dinding tabung disekitar elektrode

negatif (Sudjatmoko, 2003).

Sejak penemuan itu, penelitian mengenai lapisan tipis berkembang

terus sampai sekarang. Saat ini aplikasi lapisan tipis telah menjangkau

hampir di semua bidang. Pada bidang elektronik lapisan tipis digunakan

dalam pembuatan piranti elektronika seperti kapasitor, transistor,

fotodetektor, sel surya, rangkaian hibrid maupun teknologi

mikroelektronika. Dalam bidang mekanika lapisan tipis digunakan untuk

pembuatan lapisan keras sebagai bahan pelindung terhadap keausan dan anti

korosi. Dalam bidang optik digunakan untuk pembuatan lapisan antirefleksi,

filter interferensi, cermin reflektor tinggi, kaca-mata pelindung cahaya dan

transmisi daya tinggi. Untuk mengetahui karakteristik bahan lapisan tipis

perlu dikarakterisasi struktur kristal, keadaan permukaan, tebal lapisan, sifat

termal, sifat optik, sifat listrik dan sebagainya.

Pada penelitian ini akan dilakukan karakterisasi sifat optik antaralain

reflektansi, transmitansi dan absorbansi dari lapisan tipis aluminium yang

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 22: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

2

terdeposisi pada substrat kaca, dengan menggunakan spektrofotometer UV-

VIS.

Aluminium merupakan logam yang sering digunakan dan

dimanfaatkan dalam kehidupan sehari-hari. Aluminium mempunyai massa

jenis yang cukup kecil, yaitu 2,7 gr/cm2 (sepertiga massa jenis baja),

merupakan salah satu sifat yang baik (Alonso dan Finn, 1990). Oleh karena

itu kegunaan aluminium menjadi sangat luas. Aluminium murni bersifat

lunak dan mudah ditempa, tetapi kekuatannya dapat ditingkatkan melalui

proses pengerasan. Sifatnya yang ringan, kuat (bila dipadukan), tahan

korosi, daya hantar listrik dan panas yang baik, membuat aluminium cocok

untuk berbagai keperluan.

Ada beberapa cara yang digunakan untuk mendeposisikan lapisan

tipis, yaitu dengan teknik evaporasi, chemical vapour deposition (CVD),

implantasi ion dan sputtering (percikan). Masing-masing metode

mempunyai kelebihan dan kekurangan. Misalnya, pada metode sputtering

mempunyai daya rekat yang lebih kuat, tetapi dibutuhkan peralatan yang

lebih rumit. Pada metode penguapan atau evaporasi membutuhkan alat yang

cukup sederhana, tetapi atom-atom yang datang ke permukaan bahan

(substrat) daya tempelnya tidak terlalu kuat. Dalam penelitian ini akan

digunakan metode evaporasi untuk membuat lapisan tipis Al pada substrat

kaca.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 23: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

3

1.2 Rumusan Masalah

Dalam penelitian ini rumusan masalah yang akan dikemukakan

adalah:

1. Bagaimana cara menumbuhkan lapisan tipis Al pada bahan kaca dengan

teknik evaporasi.

2. Bagaimana mengetahui sifat-sifat optis dari lapisan tipis Al?

1.3 Batasan Masalah

Dalam penelitian masalah utamanya adalah proses pembentukkan

lapisan tipis dengan teknik evaporasi dalam ruang vakum pada substrat kaca.

Pembahasan penelitian ini di batasi pada masalah karakterisasi sifat-sifat

optik dari lapisan tipis Al yang meliputi : reflektansi, absorbansi dan

transmitansinya.

1.4 Tujuan Penelitian

Tujuan dari penelitian ini adalah :

1. Mendapatkan lapisan tipis Al pada substrat kaca dengan teknik

evaporasi.

2. Mengetahui sifat optis dari lapisan tipis Al khususnya, reflektansi,

absorbansi dan transmitansisinya.

3. Menentukan indeks bias lapisan tipis.

4. Menentukan koefisien absorbsi.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 24: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

4

1.5 Manfaat Penelitian

Manfaat penelitian ini adalah :

1. Memberikan pengetahuan atau masukan bagi peneliti tentang

penumbuhan lapisan tipis Al dengan teknik evaporasi.

2. Memberikan pengetahuan bagi peneliti bagaimana karakterisasi sifat-

sifat dari lapisan tipis Al.

3. Penelitian ini diharapkan bisa memberikan sumbangan informasi untuk

penelitian sejenis dan pengembangan lebih lanjut.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 25: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

5

BAB II

DASAR TEORI

2.1 Deposisi Lapisan Tipis Dengan Teknik Evaporasi

Lapisan tipis adalah suatu lapisan yang sangat tipis dari bahan

organik, inorganik, metal maupun campuran metal-organik (organometalic)

yang memiliki sifat-sifat konduktor, semikonduktor, superkonduktor

maupun isolator. Pada umumnya lapisan tipis dibuat dengan cara deposisi

atom-atom suatu bahan pada permukaan substrat dengan ketebalan sampai

dengan orde mikro. Dengan melakukan beberapa variasi, misalnya variasi

ketebalan lapisan dan variasi waktu deposisi dalam proses deposisi maupun

modifikasi sifat-sifat lapisan tipis selama deposisi, dapat diperoleh suatu

sifat-sifat khusus dari lapisan tipis tersebut.

Teknik evaporasi merupakan cara yang paling sederhana yang

merupakan proses thermal dari pembentukan suatu lapisan tipis. Prosesnya

melalui dua tahapan yaitu, penguapan dari material padat dengan cara

pemanasan sampai mencapai suhu tinggi kemudian mengembunkan

(condensing) di atas substrat. Evaporasi ini biasanya efektif digunakan pada

bahan-bahan logam yang mempunyai titik leleh yang rendah. Untuk

material-material yang mempunyai titik leleh tinggi, metode evaporasi tidak

dapat digunakan sehingga harus menggunakan metode deposisi yang lain.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 26: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

6

Lapisan tipis dalam penelitian ini diperoleh dengan teknik

penguapan dalam ruang vakum. Pada penelitian ini digunakan peralatan

“coating” jenis Edward Vacuum Coater model E610, yang secara skematis

seperti yang disajikan pada Gambar 2-1.

c

d a

b

e f

g h

i j

keterangan gambar

a. Tabung hampa (bejana) b. Batang tembaga c. Tempat substrat (kaca) d. Substrat (kaca) e. Shutter

f. Material pelapis g. Filamen (evaporation source) h. Pompa difusi i. Pompa rotari j. Regulator

Gambar 2.1. Model peralatan coating

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 27: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

7

2.2 Evaporasi Termal

Penguapan (evaporation) adalah perubahan keadaan zat cair menjadi

uap pada suhu di bawah titik didih zat cair. Penguapan terjadi pada

permukaan zat cair, beberapa molekul dengan energi kinetik yang paling

besar melepaskan diri ke fase gas. Titik didih suatu bahan sangat tergantung

pada tekanan di sekitarnya. Pada tekanan yang kecil titik didihnya lebih

rendah (Giancoli, 1998).

Saat sebuah material bahan pelapis dipanaskan pada temperatur

uapnya, pada tekanan rendah maka material tersebut akan menguap. Pada

penelitian ini material bahan pelapis yang akan diuapkan adalah aluminium.

Aluminium akan menguap apabila suhu filamen penguapnya sudah

mencapai titik didih aluminium.

Agar bahan pelapis menempel pada substrat maka dilakukan

pendinginan yaitu dengan cara menurunkan arus pemanasnya. Pendinginan

ini dilakukan agar bahan pelapis yang sudah menguap akan mengembun dan

menempel pada substrat. Pedinginan tersebut dilakukan kalau seluruh bahan

pelapis sudah menguap.

Sumber evaporasi yang berisi bahan pelapis (metal) memperoleh

kalor dari energi listrik sebesar (Yahya, 1995)

…………………………………………………..…(2) tIRE 2=

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 28: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

8

dengan

R = Hambatan listrik (Ω)

I = Arus yang mengalir pada sumber evaporasi (A)

t = waktu proses evaporasi

Energi yang dibutuhkan untuk memisahkan atom-atom dari bahan asalnya

disebut kalor penguapan (Q)

………………………………………………………..(3) LmQ =

dengan

m = massa bahan pelapis

L = kalor uap laten

Energi ini berupa kalor yang diberikan bahan tersebut untuk mengubah fase

padat menjadi fase gas pada suhu titik didihnya (T ) d

Dengan anggapan bahwa tidak ada energi yang hilang maka energi

kinetik atom-atom yang meninggalkan sumber penguapan sama dengan :

2212 vmQtIREkin =−= ………………………………………(4)

-3Karena berada dalam vakum yang cukup tinggi (< 10 Torr) maka dianggap

bahwa atom-atom tersebut tidak bertumbukan dengan atom-atom dalam

bejana, tetapi langsung menumbuk substrat di atasnya dengan kecepatan

mQtIRv )(2 2 −

= ………………………………………….(5)

Dari rumus diatas dapat diketahui bahwa kecepatan tumbukan

tergantung pada arus yang diberikan sumber penguapan, bila arus yang

diberikan kecil maka kecepatan tumbukannya juga kecil sehingga tidak

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 29: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

9

berbentuk lapisan. Kalaupun terbentuk lapisan pada substrat tersebut,

lapisan tersebut tidak kuat atau kurang baik karena daya melekatnya kecil.

Tetapi sebaliknya bila arus yang diberikan besar maka kecepatan

tumbukannya juga besar sehingga atom-atom bahan pelapis menempel kuat

pada substrat dan terbentuklah lapisan tipis yang baik.

2.3 Sistem Vakum

Pembuatan lapisan tipis dengan cara penguapan sebenarnya dapat

dilakukan di ruang terbuka, tetapi pertumbuhan lapisan tipis yang dihasilkan

tidak bagus, karena pada saat pembuatan banyak gas-gas atau molekul-

molekul lain yang ikut andil didalamnya. Oleh karena itu untuk mengurangi

molekul-molekul yang mempengaruhinya maka pembuatan lapisan tipis

dilakukan dalam ruang vakum.

Keadaan vakum berarti adalah dimana suatu ruangan yang

mempunyai kerapatan gas di dalamnya sangat rendah. Suatu keadaan

vakum tidak dapat dilihat langsung dengan mata, karena pengisi ruangannya

berupa gas. Untuk mengetahui tingkat kevakuman, biasanya dengan

mengukur tekanannya. Dari teori kinetik gas ditunjukkan bahwa besar

tekanan gas adalah (Yahya, 1995)

P = ½ n m v2 …………………………………………………(1)

dimana :

P = tekanan

n = jumlah molekul gas persatuan volum

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 30: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

10

m = massa satu molekul gas

v = kecepatan rata-rata

Dari hubungan di atas dapat dilihat bahwa besarnya tekanan

sebanding dengan banyaknya partikel atau molekul gas. Jadi semakin kecil

tekanan, molekul gas juga semakin kecil, sehingga tingkat kevakuman

semakin tinggi. Dalam satuan internasional (SI) satuan tekanan dinyatakan

dalam pascal (Pa) atau Newton/m2. Dalam teknologi vakum lebih banyak

digunakan satuan Torr/mmHg dan mbar.

2.3.1 Tingkat Kevakuman

Keadaan vakum dapat membuat tekanan dalam suatu sistem menjadi

jauh dibawah tekanan atmosfir, sehingga molekul-molekul gas letaknya

saling berjauhan. Ini berarti jarak bebas rata-ratanya sangat panjang dan

aliran gas tidak dipengaruhi lagi oleh kemungkinan tumbukan gas yang lain,

tetapi dipengaruhi oleh kemungkinan terjadinya tumbukan-tumbukan

molekul gas dengan dinding sistem vakum tersebut.

Kevakuman suatu sistem dapat diklasifikasikan menurut tingkat

kevakumannya yaitu (Suprapto,1998) :

a. Vakum rendah mempunyai tekanan kira-kira sampai dengan 1 Torr.

b. Vakum sedang mempunyai tekanan kira-kira 1 Torr sampai dengan 10-3

Torr.

c. Vakum tinggi mempunyai tekanan lira-kira 10-3 Torr sampai dengan 10-7

Torr.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 31: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

11

d. Vakum sangat tinggi mempunyai tekanan kira-kira 10-7 Torr sampai

dengan 10-16 Torr.

Berdasarkan cara menvakumkan sistem vakum (hampa), maka dapat

dibedakan sebagai berikut : sistem vakum statis dan sistem dinamis. Sistem

vakum statis yaitu suatu sistem vakum yang mana untuk mencapai

kevakuman tertentu dengan menvakumkan sistem tersebut sampai

kevakuman yang diinginkan kemudian ditutup/disumbat. Jadi sistem harus

bebas dari kebocoran dan hal-hal yang menyebabkan penurunan kevakuman.

Sebagai contoh sistem vakum statis adalah seperti thermos. Sedangkan

sistem vakum dinamis yaitu suatu sistem vakum yang mana untuk mencapai

kevakuman tertentu dengan menvakumkan sistem tersebut secara terus

menerus untuk mempertahankan tingkat kevakuman yang telah dicapai.

Sebagai contoh sistem vakum dinamis adalah : sistem coating, akselerator,

spektometer massa dan sebagainya.

Pada metode evaporasi, untuk melakukan proses penguapan pada

coatingnya tingkat kevakumannya sudah di atur minimal 10-5 Torr. Jika

tingkat kevakumannya kurang dari 10-5 Torr, maka proses penguapan belum

siap dilakukan karena masih ada partikel-partikel lain yang akan

mengganggu. Semakin tinggi tingkat kevakumannya maka lapisan tipis yang

dihasilkan akan semakin bagus. Proses evaporasi bisa dilakukan pada

tingkat kevakuman lebih tinggi dari 10-5 Torr, tetapi memerlukan waktu

yang lebih lama.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 32: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

12

2.3.2 Pompa Vakum

Untuk membuat ruang vakum dipermukaan bumi, usaha yang

dilakukan oleh manusia adalah dengan cara memompa keluar udara dari

suatu ruangan tertutup dengan pompa vakum. Telah diketahui bahwa vakum

merupakan sarana atau alat dalam melakukan suatu proses, oleh karena itu

tingkat kevakuman yang dibuat juga sesuai dengan kebutuhan. Agar

diperoleh kevakuman yang tinggi, maka diperlukan sistem vakum yang

terdiri dari sebuah pompa rotari dan pompa difusi. Tingkat kevakuman yang

dicapai oleh pompa rotari sekitar 10-3 Torr dan pompa difusi dapat mencapai

tingkat kevakuman hingga 10-8 Torr.

a. Pompa rotari

Proses penghampaan tingkat tinggi tidak dapat dilakukan secara

sekaligus, karena tidak ada pompa apapun yang dapat mencapai tingkat

kehampaan yang tinggi secara langsung. Untuk mencapai tingkat

kehampaan yang tinggi diperlukan pompa pendahuluan, dalam hal ini

digunakan pompa rotari.

Jenis pompa rotari yang dipakai adalah jenis mekanik katub sorong.

Bagian utama dari pompa rotari ini adalah stator dan rotor yang dapat

diputar dengan menggunakan sebuah motor listrik. Katub sorong dilengkapi

dengan sebuah pegas yang selalu menyinggung dinding stator dalam

putarannya dan berfungsi sebagai sket antara kedua ruang dalam rongga

stator. Bagian rotor akan menggerakkan dan menghisap udara keluar dari

sistem yang akan divakumkan.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 33: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

13

Prinsip kerja pompa rotari ini adalah sebagai berikut : mula-mula

udara dihisap dari ruang yang akan divakumkan oleh katub sorong (Gambar

2-2.a) . Pegas dari rotor menekan katub sorong kedinding bejana (stator),

sehingga merupakan penyekat antara ruang vakum dan udara yang akan

dibuang (Gambar 2-2.b). Udara yang dihisap akan dikeluarkan melalui

saluran keluar yang sempit. Karena tekanan udara yang akan dibuang

semakin besar, maka katub saluran pembuang akan terbuka sehingga udara

bisa keluar (Gambar 2-2.c).

Sistem vakum

katub

(a) (b) (c)

Gambar 2.2. Prinsip kerja pompa rotari : a) penghisapan udara. b) pemampatan udara. c) pengeluaran udara

Pompa rotari dapat dioperasikan mulai dari tekanan udara luar

sampai dengan vakum rendah sekitar 10-3 Torr. Sedangkan pada vakum

tinggi pompa rotari berfungsi sebagai pompa depan, yaitu pompa yang

membuat berfungsinya pompa utama (pompa difusi).

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 34: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

14

b. Pompa difusi

Pompa difusi untuk mencapai tingkat kehampaan yang tinggi,

bekerja jika telah dicapai keadaan vakum pendahuluan kurang lebih 10-2

Torr. Penampang pompa difusi ditunjukkan pada Gambar 2-3. Pada pompa

difusi ini minyak difusi ditempatkan di bagian bawah (bejana didih). Pada

ujung cerobong atas ditutup dengan suatu bentuk payung dan membentuk

celah yang disebut nozle.

Prinsip kerja pompa difusi dapat dijelaskan sebagai berikut : Minyak

dalam bejana diuapkan dengan pemanasan filamen listrik. Minyak yang

diuapkan oleh pemanas ini akan melalui cerobong dan dengan adanya celah

yang sempit maka uap akan mempunyai kecepatan yang besar sehingga uap

akan terpancar ketika keluar dari celah tersebut. Uap yang terpancar itu akan

mengenai dinding yang didinginkan, karena pengaruh dari pendinginan uap

yang terpancar ini akan mengembun dan mengalir kembali ke bejana didih.

Bersamaan dengan terpancarnya uap dari celah ke dinding, molekul-molekul

uap membawa serta molekul-molekul udara sehingga kekosongan molekul

udara pada lintasan semprotan akan terisi oleh molekul-molekul udara di

atas tabir uap. Molekul-molekul udara di bawah tabir uap akan terisap oleh

pompa pravakum sehingga kedudukkannya digantikan oleh molekul-

molekul udara yang berada di atas tabir uap. Proses ini berlangsung terus

sehingga terjadi aliran molekul-molekul udara dari atas ke bawah melintasi

tabir uap secara difusi.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 35: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

15

Untuk mengoperasikan pompa difusi diperlukan pompa pravakum

yaitu pompa rotari yang dihubungkan dengan saluran keluar. Pompa rotari

ini berfungsi sebagai pompa depan, yaitu mengeluarkan gas dari pompa

difusi. Tanpa pompa depan ini, pompa difusi tidak dapat berfungsi karena

tidak dapat mengeluarkan gas yang telah terdifusi. Pompa rotari inilah yang

membuat berfungsinya pompa utama (pompa difusi). Agar kevakuman akhir

yang dapat dicapai oleh pompa difusi bisa lebih tinggi, maka pompa difusi

biasanya dibuat bertingkat, seperti yang ditunjukan pada Gambar 2-3.b.

pendingin

reservoir minyak

sistem vakum

nozzle

pendingin

uap minyak

minyak

filamen

celah keluaran ke pompa rotari

filamen

celah keluaran ke pompa rotari

sistem vakum

payung

payung

nozzle

(a) (b)

Gambar 2.3. Penampang pompa difusi : a) penampamg pompa difusi tidak bertingkat

b) penampang pompa difusi bertingkat

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 36: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

16

2.4 Pembentukan Lapisan Tipis

Pada tekanan yang sesuai untuk penguapan, uap bahan pelapis dalam

bentuk atom-atom datang dan menempel pada substrat yang skemanya

seperti ditunjukkan pada Gambar 2-4.a. Apabila atom-atom yang datang itu

menghampiri substrat, atom-atom tersebut akan mengalami medan gaya dari

permukaan substrat.

Kondensasi permulaan dari bahan pelapis adalah dengan

terbentuknya lapisan (adsorpsi) dari atom-atom evaporasi pada permukaan

substrat. Pada permukaan substrat terdapat beribu-ribu “adsorption site”.

Pada setiap “adsorption site” ini atom yang datang akan terikat dengan

energi adsorpsi tertentu. Energi adsorpsi adalah daya tarik menarik antara

atom yang diadsorp dengan substrat.

Atom-atom yang sudah tertanam dalam “adsorption site” ada

kemungkinan untuk meninggalkan permukaan substrat kembali

(reevaporasi). Untuk reevaporasi diperlukan energi yang sama besar dengan

energi adsorpsi. Selain reevaporasi, atom-atom itu kemungkinan berpindah

tempat atau melompat ke “adsorption site” lain yang berdekatan (Gambar

2-4.b). Energi yang diperlukan untuk berpindah tempat atau melompat ini

disebut energi difusi permukaan, dimana energi ini lebih kecil dari pada

energi adsorpsi.

Atom-atom yang berpindah tempat tersebut kemungkinan akan

mengalami tumbukan sehingga membentuk pasangan ikatan atom (Gambar

2-4.c). Pasangan ikatan atom tersebut mungkin akan terevaporasi, pecah

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 37: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

17

menjadi atom tunggal lagi atau bergabung dengan atom lainnya, sehingga

membentuk gabungan tiga atom yang lebih stabil dibandingkan gabungan

dua atom dan sangat kecil kemungkinan untuk terevaporasi. Selanjutnya

akan terbentuk gabungan empat atom yang lebih stabil, kemudian terbentuk

gabungan lima atom dan seterusnya. Atom-atom yang bergabung menjadi

satu kelompok ini kemudian membentuk kelompok-kelompok yang disebut

“pulau”. Dari pulau yang kecil ini akan terbentuk pulau-pulau yang terus

bertambah menjadi pulau yang lebih besar dan lebih stabil.

(d) nukleasi (a)

Atom mengenai b

(b) migrasi reevaporasi

(e) growth stage

(c) bertumbukan

(f) perpaduan

Gambar 2.4. Tingkat pembentukan lapisan tipis

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 38: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

18

Pembentukan pulau-pulau yang stabil dalam proses pertumbuhan

lapisan tipis ini dikenal dengan nama “nukleasi” (Gambar 2-4.d) yang

kemudian akan membentuk lapisan yang paling stabil. Dengan penambahan

atom-atom pada nukleasi menyebabkan nukleasi tersebut terus berkembang,

keadaan ini disebut dengan keadaan tumbuh atau growth stage (Gambar 2-

4.e).

Deposit yang terus menerus menghasilkan pembesaran nukleus,

akhirnya nukleus-nukleus ini akan berpadu membentuk nukleus tunggal.

Keadaan ini disebut “coalescence stage” (Gambar 2-4.f).

Bila gaya tarik antara atom-atom dengan substrat (gaya adhesi) lebih

besar dari pada gaya tarik antara atom-atom uap bahan pelapis itu sendiri

(gaya kohesi), maka akan terbentuk lapisan yang seragam dan lapisan tipis

yang terbentuk akan tahan lebih lama. Sebaliknya bila gaya kohesi lebih

besar dari pada gaya adhesinya, akan terjadi lapisan yang bertimbunan tidak

merata dan lapisan tipis yang terbentuk tidak tahan lama. Akhirnya

pembesaran nukleus tunggal ini akan menghasilkan lapisan yang kontinu

dan terbentuklah suatu lapisan tipis.

Setelah terbentuk lapisan pada substrat, maka atom-atom bahan

pelapis yang datang ke substrat akan menumbuki atom-atom bahan pelapis

yang telah terdeposit pada permukaan substrat. Pada keadaan ini energi

ikatannya tinggi dan sedikit sekali kemungkinan terjadi refleksi atau

desorpsi. Kekuatan ikatan antara atom-atom bahan pelapis yang mengenai

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 39: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

19

substrat dengan lapisan bahan teratas pada substrat sangat mempengaruhi

pelengketan dari lapisan itu.

2.5 Sifat Optik

Jika suatu cahaya dilewatkan pada suatu material, maka sebagian

cahaya tersebut akan dipantulkan, sebagian akan diserap, sebagian akan

diteruskan dan sebagian lagi akan disebarkan (Ohring, 1992 dalam Bakhtiar

Fahmi 2005 ). Yang secara matematis cahaya yang datang dapat dituliskan

dalam persamaan

I0 = Re + T + Ab +S = 100 % ……………………………….(6)

dengan :

I0 = Intensitas cahaya datang

Re = Cahaya yang dipantulkan

T = Cahaya yang diteruskan

A = Cahaya yang diserap b

S = Cahaya yang disebarkan

Hal ini menunjukan bahwa intensitas cahaya yang datang sama dengan

intensitas cahaya yang dipantulkan, diteruskan, diserap dan disebarkan.

2.5.1 Refraksi dan refleksi gelombang datar dan permukaan datar

Setiap gelombang yang sampai pada daerah batas, pada umumnya

mengalami refraksi dan refleksi secara serentak. Pada Gambar 2.5.a,

seberkas cahaya jatuh pada permukaan air, sebagian dipantulkan oleh

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 40: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

20

permukaan, sebagian lagi dibelokkan (dibiaskan) masuk kedalam air. Pada

Gambar 2.5.b, berkas datang digambarkan dengan sebuah garis lurus, sinar

datang sejajar dengan arah perambatan. Dianggap berkas datang (Gambar

2.5.b) adalah gelombang datar, dengan muka gelombangnya tegak lurus

terhadap sinar datang. Berkas yang dipantulkan dan yang dibiaskan juga

digambarkan dengan sinar-sinar. Sudut datang (θ ), sudut refleksi (θ1 1’) dan

sudut refraksi (θ1) diukur dari normal bidang batas ke sinar yang

bersangkutan seperti yang diperlihatkan pada Gambar 2-5.

Sinar refraksi

air

muka gelombang

Sinar datangudara

θ1 θ’1

Normal

Sinar refleksi

(a) (b)

Gambar 2.5. a. Gambar yang menunjukan refleksi dan refraksi pada permukaan batas udara-air. b. Penggambaran dengan menggunakan sinar-sinar (Haliday dan Resnick, 1984)

Berdasarkan eksperimen, diperoleh hukum mengenai refleksi dan

refraksi sebagai berikut (Haliday dan Resnick, 1984):

1. Sinar yang direfleksikan dan yang direfraksi terletak pada satu bidang

yang dibentuk oleh sinar datang dan normal bidang batas di titik datang

(Gambar 2.5.b).

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 41: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

21

2. Sudut refleksi (θ ’) sama dengan sudut datang (θ1 1), untuk semua

panjang gelombang dan untuk setiap pasangan material.

11 ' θθ = ………………….……………………………………………………………(7)

Hubungan ini bersama-sama dengan pengamatan bahwa sinar datang

dan sinar yang direfleksikan dan garis normal terletak pada satu bidang,

dinamakan hukum refleksi.

3. Rasio dari sinus sudut datang dan sinus sudut refraksi dimana kedua

sudut itu diukur dari normal terhadap permukaan sama dengan kebalikan

dari rasio kedua indeks bias refraksi

1

2

2

1

sinsin

nn

=θθ ……………………………………………….…(8)

Hasil eksperimen ini bersama-sama dengan pengamatan bahwa sinar

datang dan sinar yang direfraksikan dan normal terletak pada satu

bidang, dinamakan hukum refraksi atau hukum Snellius.

Indeks bias dalam suatu medium terhadap medium lain bukan hanya

bergantung pada zat tetapi juga pada panjang gelombang cahaya. Tidak

seperti halnya refleksi, berdasarkan pengamatan ini refraksi dapat digunakan

untuk menguraikan cahaya atas komponen-komponen panjang

gelombangnya.

2.5.2 Reflektansi, Transmitansi dan Absorbansi

Transmisi, absorpsi dan reflektansi suatu bahan dapat diukur dengan

menggunakan spektrofotometer UV-VIS. Spektrofotometer adalah alat yang

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 42: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

22

digunakan untuk mengukur transmitansi, reflektansi dan absorbansi dari

suatu cuplikan sebagai fungsi dari panjang gelombang.

Dengan mengukur transmitanssi cahaya, reflektansi cahaya dan

absorbansi cahaya pada lapisan tipis, maka akan diperoleh informasi

transmitansi, reflektansi dan absorbansinya pada masing-masing lapisan.

Untuk sinar yang tegak lurus permukaan, besarnya koefisien refleksi dan

transmisi dari permukaan batas antara dua medium diberikan oleh

persamaan Fresnel berikut ini

2

0

0 )(nnnn

Rs

s

+−

= ……………………………………………...(12)

dan

20

0

)(4

nnnn

Ts

s

+= …………………………………………...(13)

Sementara itu persamaan transmisi cahaya yang melalui suatu permukaan

udara-lapisan tipis-substrat menurut Broadsky (Hariyanto, dkk, 1997) adalah

))1(1)(1()1)(1)(1(

22231212

321d

d

eRRRRRReRRR

T α

α

−+−−−−−

= …………………..(14)

dimana

2

2

1 )1()1(

+

−=

f

f

nn

R

2

2

2 )()(

sf

sf

nnnn

R+

−=

2

2

3 )1()1(

+−

=s

s

nn

R

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 43: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

23

Sedangkan hubungan antara reflektivitas total udara-lapisan tipis-

substrat dengan indeks bias diberikan oleh persamaan

TR

sf

sfT nnn

nnnR

02

02

+

−= ……………………………………………….(15)

dari persamaan (15) di peroleh persamaan (16) untuk mencari indeks bias

lapisan tipis yaitu:

)1()1(0

T

Tsf R

Rnnn

−+

= ………………………………………...(16)

dengan

1R = reflektivitas pada udara-lapisan tipis

2R = reflektivitas pada lapisan tipis-substrat

3R = reflektivitas pada substrat-udara

α = koefisien serapan

fn = indeks bias lapisan tipis

sn = indeks bias substrat

0n = indeks bias udara

Dalam spektroskopi, besar penyerapan cahaya (absorbansi) dari

suatu kumpulan atom/molekul dinyatakan oleh Hukum Beer-Lambert.

Hukum Lambert menyatakan: apabila sinar monokromatis melalui suatu

medium yang tembus cahaya maka kecepatan berkurangnya intensitas

terhadap tebal medium sebanding dengan berkurangnya intensitas sinar

datang. Dengan kata lain intensitas sinar yang dipancarkan berkurang secara

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 44: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

24

eksponensial sesuai dengan bertambahnya ketebalan medium penyerap.

Hukum Beer menyatakan bahwa absorbansi cahaya berbanding lurus dengan

ketebalan bahan/medium yang ditembusi oleh cahaya (Prasetiyo, 2006).

Dalam spektroskopi, absorbansi menyatakan perbandingan antara

cahaya yang diteruskan dengan cahaya datang, secara matematis dapat

ditulis (Banwell, 1983; Ngara, 2006)

)(log 0IIA −= ……………………………………………….(17)

atau

)(log 0 IIA = ….…………………………………………...(18)

dengan I adalah intensitas cahaya yang diteruskan ke dalam material,

adalah intensitas cahaya mula-mula. Intensitas cahaya yang diteruskan (I)

berubah secara eksponensial sebagai fungsi ketebalan material, yaitu

0I

)exp(0 dII α−= dII α=)(log 0 sehingga , dengan α adalah koefisien

serapan dan d adalah ketebalan lapisan material. Hubungan antara

absorbansi, koefisien serapan dan ketebalan lapisan material dapat ditulis

dA α= ……………………………………………………...(19)

Ketebalan dari suatu lapisan tipis dapat dihitung dengan pendekatan

persamaan berikut ini

lpW

0= ………………………………………………….(20)

dimana

…………………………………………………...(21) 120 WWW −=

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 45: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

25

dengan

0W = berat aluminium yang terevaporasi

1W = berat substrat sebelum dilapisi

2W = berat substrat setelah dilapisi

d = tebal lapisan tipis

ρ = massa jenis aluminium

p = panjang substrat

l = lebar substrat

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 46: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

26

BAB III

METODOLOGI PENELITIAN

3.1 Tempat dan Waktu Penelitian

Penelitian ini dilaksanakan pada bulan oktober 2006 sampai dengan

mei 2007.

a. Proses deposisi atau penumbuhan lapisan tipis Al dilaksanakan di

laboratorium Bidang Teknologi Akselerator dan Fisika Nuklir,

Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan, Badan Tenaga

Nuklir Nasional (PTAPB-BATAN) Yogyakarta. Proses deposisi

lapisan tipis diawali dengan preparasi sampel, setelah selesai

preparasi sampel baru dilakukan proses deposisi.

b. Karakterisasi sifat optik dari lapisan tipis Al dilaksanakan di

laboratorium Biologi UNS, menggunakan spektrofotometer UV-

VIS. Karakterisasi sifat optik lapisan tipis aluminium meliputi

reflektansi, transmitansi dan absorbansi.

3.2 Bahan dan Alat Penelitian

3.2.1 Bahan dan Alat untuk preparasi sampel

a. Kaca preparat (microcope slide) sebagai substrat, yang berfungsi

sebagai tempat menempelnya bahan yang diuapkan.

b. Aluminium yang berupa gulungan kawat dan berfungsi sebagai

target atau bahan pelapis.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 47: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

27

c. Pembersih (alkohol dan tissue), untuk membersihkan substrat.

d. Timbangan jenis GR-202 (GR SERIES), berfungsi untuk

menimbang Al yang akan diuapkan.

e. Gunting, berfungsi untuk memotong Al.

f. Pinset, berfungsi untuk mengambil Al dari timbangan.

g. Plastik klip, sebagai tempat menyimpan target (Al) yang sudah

ditimbang.

3.2.2 Bahan dan Alat untuk pembuatan lapisan

a. Substrat dan target yang telah dipreparasi.

b. Seperangkat alat coating, sistem vakum dalam penelitian ini

digunakan unit “ Vaccum Coating E610 Edward”.

c. Tempat/wadah (kowi), yang berbentuk perahu sebagai tempat

bahan yang akan diuapkan.

3.2.3 Bahan dan Alat untuk karakterisasi sifat optik

a. Sampel lapisan tipis.

b. Seperangkat alat spektroskopi UV-Vis jenis UV-1601 pc, UV-

visible Spectrophotometer Shimadzu.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 48: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

28

3.3 Diagram alir penelitian

Mulai

Preparasi sampel

Proses evaporasi

Karakterisasi sifat optik

Penulisan skripsi

Selesai

Tidak baik

Baik

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 49: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

29

3.4 Pelaksanaan Penelitian

3.4.1 Penyiapan substrat dan target

a. Penyiapan substrat

Bahan untuk substrat adalah kaca preparat yang berbentuk

persegi panjang dengan ukuran panjang 7,6 cm, lebar 2,54 cm dan

tebal 0,1 cm. dalam penelitian ini substrat yang akan dilapisi harus

dalam keadaan bersih. Untuk membersihkan substrat menggunakan

tissue yang sudah dibasahi dengan alcohol.

b. Penyiapan target

Target yang digunakan dalam penelitian ini adalah aluminium

yang masih berupa gulungan kawat. Sebelum melakukan penguapan

atau proses pelapisan, aluminium dipotong-potong kecil dan ditimbang

sesuai dengan yang diinginkan. Setelah ditimbang aluminium disimpan

di dalam plastik klip. Untuk mengambil aluminium dari timbangan

harus menggunakan pinset.

3.4.2 Pembuatan Lapisan Tipis Aluminium

Proses pelapisan dilakukan dengan tekanan sekitar 10-5 Torr. Substrat

yang akan dilapisi di letakkan pada penyangganya yang dapat diputar, di

atas bahan pelapis. Bahan pelapis atau target diletakkan di dalam wadah

(kowi) yang berbentuk perahu.

Proses pelapisannya, mula-mula tekanan di dalam ruang vakum

diturunkan dengan menghidupkan pompa rotari atau pompa mekanik sampai

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 50: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

30

mencapai tekanan 10-2 Torr dan baru kemudian menghidupkan pompa difusi

atau pompa evaporasi sampai diperoleh tekanan 10-5 Torr. Selama operasi

atau selama proses deposisi pompa difusi tetap dihidupkan untuk

mempertahankan tingkat kevakuman. Setelah penghampaan sistem

mencapai 10-5 Torr, tegangan pada filamen penguap mulai dihidupkan

sampai filamen tersebut menyala. Arus pemanas harus dinaikkan sedikit

demi sedikit agar tidak terjadi loncatan-loncatan bahan pelapis karena

penguapan yang mendadak. Arus dinaikkan sampai seluruh bahan pelapis

mencair tetapi belum menguap. Setelah seluruh bahan pelapis mencair arus

dinaikkan lagi sehingga terjadi penguapan bahan pelapis hingga bahan

pelapis yang menguap tersebut menempel pada substrat.

3.4.3 Karakterisasi Lapisan Tipis

Karakterisasi sifat optik dilakukan dengan menggunakan

spektrometer UV-VIS. Jika cahaya dilewatkan pada suatu material atau

medium maka sebagian cahaya tersebut akan dipantulkan, diserap dan

sebagian lagi akan diteruskan. Pada prinsipnya spektroskopi UV-VIS ini

adalah membandingkan cuplikan dengan standar. Gambar 3 menunjukkan

sistem elektrik untuk UV-1601PC.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 51: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

31

D2 Lamp

Cell A/D Converter

A/D Converter Gain Amp

Monochromator WI Lamp

Lam

p lig

htin

g

Lam

p sw

itchi

ng

Wav

e le

ngth

scan

Filte

r sw

itchi

ng

CPU Gain Change

Printer

Con

trol L

ine

Keyboard

AT Compatible Personal Computer

SiPD Preamp

Sample

Reference

CRT

Gambar 3. Sistem Elektrik UV-1601PC

Prinsip kerja alat spektrofotometer UV-VIS yaitu : sumber cahaya

dipancarkan dari lampu deuterium atau lampu halogen. Sumber cahaya

dapat diatur secara otomatis tergantung pada jenis bahan. Lampu deuterium

memancarkan cahaya dengan panjang gelombang 190 nm – 340 nm,

sedangkan lampu halogen memancarkan cahaya dengan panjang gelombang

340 nm – 1200 nm. Pada penelitian ini dilakukan pada daerah panjang

gelombang antara 400 nm – 900 nm, sehingga sumber cahaya yang

digunakan hanya cahaya yang dipancarkan dari lampu halogen. Berkas

cahaya yang melewati monokromator akan dipecah menjadi dua berkas,

yaitu berkas sampel dan berkas acuan (reference). Monokromator berfungsi

untuk menguraikan sinar polikromatis menjadi sinar monokromatis dan

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 52: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

32

memilih panjang gelombang berkas sinar yang mengenai detector.

Monokromator terdiri dari celah masuk dan keluar, cermin penyejajar,kisi

sebagai pengurai sinar dan cermin pemfokus. Sumber cahaya yang

dipancarkan masuk melewati celah menuju cermin penyejajar. Oleh cermin

tersebut berkas cahaya disejajarkan, kemudian masuk kedalam pengurai

yang berupa kisi, lalu menuju ke cermin pemfokus dan terjadilah penguraian

sinar menjadi spektrum sinar dengan berbagai panjang gelombang. Berkas

sampel dan berkas acuan dideteksi oleh photodiode silikon yang kemudian

dimasukkan ke pre-amplifier dan diatur oleh gain amplifier. Sinyal menuju

pengubah A/D dan dibaca oleh microprocessor. Komputer kemudian akan

menghitung perbandingan sinyal sampel terhadap sinyal acuan utnuk

memperoleh nilai transmitansi, reflektansi dan absorbansi sebagai fungsi

panjang gelombang.

Sifat optik yang diuji adalah absorbansi, transmitansi dan reflektansi.

Karakt

t sampel.

eter UV-VIS.

erisasi sifat optik tersebut menggunakan spektrofotometer UV-VIS

1601 Shimadzu. Data yang diperoleh dari alat ini berupa nilai transmitansi,

reflektansi dan absorbansi utnuk setiap panjang gelombang tertentu. Nilai

yang didapat merupakan perbandingan antara cuplikan dan standar. Standar

yang digunakan adalah kaca preparat. Ada pun tahapan pelaksanaan

pengukurannya adalah sebagai berikut :

1) Menyiapkan sampel.

2) Membersihkan tempa

3) Menghidupkan alat spektrofotom

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 53: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

33

4) Mengeset UV-VIS pada fungsi uji.

5) Menentukan panjang gelombang.

6) Memasukan sampel pada tempat sampel.

ecara otomatis.

sampel yang lain.

.5 Metode Analisis Data

digunakan dalam penelitian ini adalah variasi

ketebal

an menggunakan spektrofotometer UV-VIS.

Dari h

7) Tekan enter untuk memulai pengukuran s

8) Mengamati hasil pengukuran.

9) Mengulangi langkah 5-8 untuk

3

Parameter yang

an lapisan dan panjang gelombang. Ketebalan lapisan dicari dengan

menggunakan persamaan (20).

Analisis optik diuji deng

asil uji UV-VIS dapat dilihat hubungan reflektansi, transitansi dan

absorbansi dengan ketebalan lapisan. Setelah diperoleh data reflektansi,

transmitansi dan absorbansi dari lapisan tipis dapat ditentukan indeks bias

lapisan tipis dan koefisien absorbsinya.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 54: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

34

BAB IV

HASIL PENELIT PEMBAHASAN

.1 Hasil Penelitian

Lapisan Tipis Al

ahan target dipotong dan ditimbang

beratny

kevaku

, diperoleh hasil seperti yang

tercant

Tabel 4.1 Hasil deposisi lapisan tipis

Cuplikan Bakan dicoating gram) (gram) (gram)

IAN DAN

4

4.1.1 Pembuatan

Sebelum proses evaporasi b

a sesuai dengan yang diinginkan. Bahan substrat sebelum dilapisi

juga ditimbang terlebih dahulu (W1). Untuk mengetahui berapa berat

aluminium yang menempel pada substrat (W0), maka substrat yang sudah

dilapisi ditimbang lagi (W2). Berat aluminium yang menempel pada substrat

(W ), dapat dicari dengan menggunakan persamaan (21) yaitu W0 0 = W2 – W1.

Proses evaporasi dilakukan dalam ruang vakum pada tingkat

man 1,1.10-5 Torr. Lama proses evaporasi adalah 2 – 3 jam dan jarak

antara substrat dan target adalah ± 10,5 cm.

Dari deposisi yang telah dilakukan

um pada Tabel 4.1

erat Al yang 0W 1W 2W

((gram)

1 0,0311 0,0003 4,9642 4,9645 2 0,0404 0,0004 4,9278 4,9282 3 0,0571 0,0005 4,9258 4,9263 4 0,0606 0,0006 4,7624 4,7630

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 55: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

35

4.1.2 Karakterisasi Optik Lapisan Al Hasil Deposisi Menggunakan

digunakan untuk mengetahui

karakte

n antara reflektansi dengan panjang gelombang untuk

sing

Spektropotometer UV-VIS

Spektropotometer UV-VIS

risasi sifat optik dari suatu lapisan tipis yang terdeposisi pada

substrat kaca. Pada penelitian ini analisis yang dilakukan adalah analisis

karakterisasi sifat optik khususnya reflektansi, transmitansi dan absorbansi

cahaya dari lapisan tipi Al.

a. Reflektansi

Hubunga

ma – masing ketebalan lapisan tipis Al dapat dilihat pada Grafik 4.1 –

Grafik 4.5

99.975

99.98

99.985

99.99

99.995

100

100.005

350 450 550 650 750 850 950Panjang gelombang (nm)

Ref

lekt

ansi

(%)

standar reflektansi

Gambar 4.1 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang gelom λ

untuk kaca biasa (standar) bang

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 56: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

36

0

2

4

6

8

10

350 450 550 650 750 850 950Panjang gelombang (nm)

Ref

lekt

ansi

(%)

d = 57,40752 nm

Gambar 4.2 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

00.010.020.030.040.050.060.07

350 450 550 650 750 850 950Panjang gelombang (nm)

Ref

lekt

ansi

(%)

d = 76,54336 nm

Gambar 4.3 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Ref

lekt

ansi

(%)

d = 95,6792 nm

Gambar 4.4 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 57: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

37

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

350 450 550 650 750 850 950

Panjang Gelombang (nm)

Ref

lekt

ansi

(%)

d = 114,815 nm

Gambar 4.5 Grafik hubungan antara reflektansi R dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

Data reflektansi untuk masing – masing ketebalan lapisan tipis dapat

dilihat pada Lampiran 1. Dari data reflektansi hasil karakterisasi dapat

ditentukan nilai indeks bias lapisan tipis. Hubungan antara indeks bias

lapisan tipis dengan reflektansi untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm dan

76,54336 nm dapat dilihat pada Grafik 4.6 dan Grafik 4.7

1.24

1.26

1.28

1.3

1.32

1.34

0 0.02 0.04 0.06 0.08 0.1Reflektansi

Inde

ks B

ias

d = 57.40752 nm

Gambar 4.6 Grafik hubungan antara indeks bias lapisan tipis dengan reflektansi

R untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm fn

Dari grafik dapat dilihat bahwa untuk setiap kenaikan reflektansi

nilai indek biasnya juga naik.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 58: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

38

1.22491.225

1.22511.22521.22531.22541.22551.2256

0 0.0002 0.0004 0.0006 0.0008Reflektansi

Inde

ks B

ias

d = 76.54336 nm

Gambar 4.7 Grafik hubungan antara indeks bias lapisan tipis dengan reflektansi

R untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm fn

Data indeks bias lapisan tipis untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

dan 76,54336 nm disajikan pada Lampiran 4.

b. Transmitansi

Hubungan antara transmitansi dengan panjang gelombang untuk

masing – masing ketebalan lapisan tipis Al dapat dilihat pada Grafik 4.8 –

Grafik 4.12

99.9599.96

99.9799.9899.99

100100.01

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Tran

smita

nsi (

%)

standar transmitansi

Gambar 4.8 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang gelombang λ

untuk kaca biasa (standar)

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 59: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

39

0

2

4

6

8

10

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Tran

smita

nsi (

%)

d = 57,40752 nm

Gambar 4.9 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

00.010.020.030.040.050.060.070.08

350 450 550 650 750 850 950

Panjang Gelombang (nm)

Tran

smita

nsi (

%)

d = 76.54336 nm

Gambar 4.10 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

350 450 550 650 750 850 950

Panjang Gelombang (nm)

Tran

smita

nsi (

%)

d = 95.6792 nm

Gambar 4.11 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 60: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

40

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Tran

smita

nsi (

%)

d = 114.815 nm

Gambar 4.12 Grafik hubungan antara transmitansi T dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

Data transmitansi untuk masing – masing ketebalan lapisan tipis

dapat dilihat pada Lampiran 2.

c. Absorbansi

Hubungan antara absorbansi dengan panjang gelombang untuk

masing – masing ketebalan lapisan tipis Al dapat dilihat pada Grafik 4.13 –

Grafik 4.17

0

0.002

0.0040.006

0.008

0.01

0.012

350 450 550 650 750 850 950

Panjang Gelombang (nm)

Abs

orba

nsi (

%)

standar absorbansi

Gambar 4.13 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ

untuk kaca biasa

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 61: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

41

252729313335373941

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Abs

orba

nsi (

%)

d = 57.40752 nm

Gambar 4.14 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm

92

94

96

98

100

102

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Abs

orba

nsi (

%)

d = 76.54336 nm

Gambar 4.15 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm

98.698.8

9999.299.499.699.8100

100.2

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Abs

orba

nsi (

%)

d = 95.6792 nm

Gambar 4.16 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 62: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

42

020406080

100120

350 450 550 650 750 850 950Panjang Gelombang (nm)

Aab

sorb

ansi

(%)

d = 114.815 nm

Gambar 4.17 Grafik hubungan antara absorbansi A dengan panjang gelombang λ

untuk ketebalan lapisan 114,815 nm

Data absorbansi untuk masing – masing ketebalan lapisan tipis dapat

dilihat pada Lampiran 3. Dari data absorbansi hasil karakterisasi dapat

ditentukan nilai koefisien absorbsi lapisan tipis Al.

4.2 Analisis Data dan Pembahasan

4.2.1 Proses Pembuatan Lapisan Tipis

Selama proses pembuatan lapisan tipis dalam penelitian ini,

beberapakali terjadi kegagalan atau terjadi pertumbuhan lapisan tipis yang

tidak baik (tidak merata). Hal ini bisa disebabkan karena saat mengalirkan

arus pemanasnya terlalu besar sehingga menyebabkan filamen/wadah tempat

substrat meleleh dan bocor sehingga target yang menguap dan menempel

pada substrat tidak merata. Kebocoran filament/wadah tempat substrat juga

bisa disebabkan karena sudah sering digunakan untuk proses evaporasi.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 63: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

43

Dari data pada tabel 4.1 dapat dihitung ketebalan lapisan tipis dengan

menggunakan pendekatan persamaan (20) yaitu lp

Wd

ρ0= , hasil analisisnya

adalah seperti tercantum pada tabel 4.2

Tabel 4.2 Hasil analisis dari hasil deposisi lapisan tipis

d Cuplikan (nm)

1 57,40752 2 76,54336 3 95,67920 4 114,81504

4.2.2 Karakterisasi Optik Lapisan Tipis Al

Setelah proses evaporasi maka dilakukan karakterisasi terhadap

lapisan tipis hasil evaporasi tersebut. Karakterisasi sifat optik telah

dilakukan pada daerah panjang gelombang cahaya tampak (400 nm - 900

nm) dengan menggunakan spektroskopi UV-VIS Shimadzu. Hal ini

dilakukan karena pada panjang gelombang tersebut bersesuaian dengan

panjang gelombang sinar matahari.

Karakterisasi sifat optik lapisan tipis Al dilakukan terhadap masing –

masing lapisan tipis yang dihasilkan. Cahaya yang datang mengenai

permukaan lapisan tipis ada yang dipantulkan/direfleksikan, diserap atau

diteruskan/ditransmisikan. Untuk masing – masing lapisan tipis dengan

ketebalan yang berbeda – beda akan dilihat perubahan nilai reflektansi,

transmitansi dan absorbansi cahaya dari lapisan tipis Al tersebut terhadap

setiap perubahan panjang gelombang.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 64: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

44

Dari data reflektansi dapat dihitung nilai indek bias lapisan tipis yang

dicari dengan menggunakan persamaan (16) yaitu )1(

)1(0

T

Tsf R

Rnnn

−+

= ,

dimana nilai indek bias sebanding dengan nilai reflektansinya. Sedangkan

dari data absorbansi dapat dicari nilai koefisien absorbsi dengan

menggunakan persamaan (19) yaitu dA α= .

Intesitas cahaya yang datang sama dengan intensitas cahaya yang

dipantulkan, diserap, diteruskan dan disebarkan. Hal ini dapat dibuktikan

dengan persamaan (6) yaitu, R + T + Ae b +S = 100 % . Dari sejumlah

cuplikan lapisan tipis aluminium yang diperoleh, dapat dilihat adanya

perubahan reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk tiap-tiap ketebalan

lapisan seperti yang dijelaskan di bawah ini.

a. Cuplikan1

Perbandingan nilai reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk

cuplikan1 untuk setiap panjang gelombang dapat dilihat pada Grafik 4.18

05

1015202530354045

350 450 550 650 750 850 950

panjang gelombang (nm)

(%)

R

T

A

Gambar 4.18 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T dan absorbansi A

dengan panjang gelombang λ untuk ketebalan lapisan 57,40752 nm, (nilai reflektansi

dan transmitansi hampir sama jadi grafik transmitansi menimpa grafik reflektansi)

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 65: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

45

Pada cuplikan1, dilihat dari grafik dapat dikatakan bahwa semakin

besar panjang gelombang, nilai reflektansi dan transmitansinya semakin

kecil atau menurun, sedangkan nilai absorbansinya semakin besar.

Perubahan reflektansi pada setiap panjang gelombang sangat kecil

bahkan cenderung konstan. Untuk perubahan panjang gelombang antara 400

nm - 721 nm, reflektansinya cenderung mengalami penurunan. Sedangkan

untuk perubahan panjang gelombang antara 721,5 nm - 860,5 nm, nilai

reflektansi cenderung mengalami kenaikan. Untuk perubahan panjang

gelombang antara 861 - 900 nm, nilai reflektansi kembali mengalami

penurunan. Reflektansi terbesar terjadi pada panjang gelombang 400 nm

yaitu sebesar 8,23 % dan indeks biasnya sebesar 1,330. Reflektansi terkecil

terjadi pada panjang gelombang 713 nm - 721 nm yaitu sebesar 3,03 % dan

indeks biasnya sebesar 1,262.

Untuk transmitansinya antara 3 % - 8,14 %. Untuk perubahan

panjang gelombang antara 400 nm – 721 nm, transmitansinya cenderung

mengalami penurunan. Untuk perubahan panjang gelombang antara 721,5

nm – 856 nm, transmitansinya cenderung mengalami kenaikan. Sedangkan

untuk perubahan panjang gelombang antara 856,5 nm – 900 nm,

transmitansinya kembali mengalami penurunan. Transmitansi terbesar

terjadi pada panjang gelombang 400 nm yaitu sebesar 8,17 %. Sedangkan

transmitansi terkecil terjadi antara panjang gelombang 715,5 nm – 721 nm

yaitu sebesar 3 %.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 66: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

46

Sedangkan besarnya cahaya yang diserap oleh cuplikan adalah antara

1,0956 – 1,5494. Untuk setiap perubahan panjang gelombang antara 400 nm

– 707,5 nm, absorbansinya cenderung mengalami kenaikan. Sedangkan pada

panjang gelombang 708 nm – 730 nm absorbansinya konstan. Untuk setiap

perubahan panjang gelombang antara 730,5 nm – 856,5 nm, absorbansinya

cenderung mengalami penurunan. Sedangkan untuk setiap perubahan

panjang gelombang antara 857 nm – 900 nm, absorbansinya kembali

mengalami kenaikan. Absorbansi terbesar terjadi pada panjang gelombang

708 nm – 730 nm yaitu sebesar 1,5494 (38,735 %) dan koefisien

absorbsinya adalah 2,7.105 cm-1. Absorbansi terkecil terjadi pada panjang

gelombang 400 nm yaitu sebesar 1.0956 (27,39 %) dan koefisien

absorbsinya adalah 1,9.105 cm-1.

Jumlah cahaya yang dipantulkan, diserap dan yang diteruskan,

kurang lebih sebesar 44 %. Ini berarti ada sebagian cahaya yang disebarkan

yaitu kurang lebih sebesar 56 %. Hal ini mungkin disebabkan karena

pertumbuhan lapisan tipisnya tidak rata, sehingga cahaya yang mengenai

permukaan lapisan ada yang disebarkan atau dipantulkan kesegala arah tidak

sesuai dengan hukum Snellius.

b. Cuplikan2

Perbandingan nilai reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk

cuplikan1 untuk setiap panjang gelombang dapat dilihat pada Grafik 4.19

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 67: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

47

020406080

100120

350 450 550 650 750 850 950

panjang gelombang (nm)

(%)

RTA

Gambar 4.19 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T dan absorbansi A

dengan panjang gelombang λ untuk ketebalan lapisan 76,54336 nm, (nilai reflektansi

dan transmitansi hampir sama jadi grafik transmitansi menimpa grafik reflektansi)

Pada cuplikan2, sinar yang direfleksikan dan sinar yang

ditransmisikan oleh permukaan lapisan tipis adalah sangat kecil bahkan

mendekati nol, sehingga cahaya yang datang mengenai permukaan lapisan

hampir semuanya diserap oleh cuplikan.

Nilai reflektansinya antara 0,02 % - 0,06%. Untuk perubahan

panjang gelombang 400 nm - 403 nm dan perubahan panjang gelombang

850 nm - 900 nm terjadi reflektansinya sebesar 0,02 % dan indeks biasnya

sebesar 1,22499. Untuk perubahan panjang gelombang antara 403,5 nm -

440,5 nm dan perubahan panjang gelombang antara 671 nm – 849,5 nm,

reflektansi sebesar 0,04 % dan indeks biasnya sebesar 1,225235. Untuk

perubahan panjang gelombang antara 441 nm - 467,5 nm dan perubahan

panjang gelombang antara 470,5 nm - 670 nm terjadi reflektansi sebesar

0,05 % dan indeks biasnya sebesar 1,225357. Sedangkan untuk perubahan

panjang gelombang antara 468 nm - 470 nm, terjadi reflektansi sebesar 0,06

% dan indeks biasnya sebesar 1,22548.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 68: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

48

Nilai transmitansinya antara 0,04 % - 0,07 %. Untuk nilai

transmitansi 0,04 % terjadi pada panjang gelombang 633 nm – 636 nm dan

649 nm – 900 nm. Untuk nilai transmitansi 0,05 % terjadi pada panjang

gelombang 409,5 nm – 412 nm; 414,5 nm – 422 nm; 428,5 nm – 430 nm;

434 nm – 436 nm; 591 nm – 592,5 nm; 615 nm – 632,5 nm dan 646 nm –

648,5 nm. Untuk nilai transmitansi 0,06 % terjadi pada panjang gelombang

400 nm – 408,5 nm; 412,5 nm – 414 nm; 422,5 nm – 428 nm; 430,5 nm –

433,5 nm; 436,5 nm – 497 nm;498 nm – 499 nm; 500 nm – 590,5 nm dan

637 nm – 645,5 nm. Sedangkan nilai transmitansi 0,07 % terjadi pada

panjang gelombang 497,5 nm dan 499,5 nm.

Sedangkan absorbansinya beberapakali mengalami perubahan untuk

beberapa perubahan panjang gelombang. Pada perubahan panjang

gelombang antara 400 nm – 465 nm, absorbansi terbesar adalah 3,9999

(99,9975 %) terjadi pada beberapa perubahan panjang gelombang yaitu pada

panjang gelombang 411,5 nm; 412 nm dan 422,5 nm. Absorbsi terkecil

sebesar 3,7628 (94,07 %) terjadi pada panjang gelombang 463 nm; 463,5

nm; 464,5 nm dan 465 nm. Untuk setiap perubahan panjang gelombang

antara 465,5 nm – 501 nm, cahaya yang diserap oleh cuplikan tidak

mengalami perubahan dan besarnya absorbsi yang terjadi adalah 3,9133

(97,8325 %). Untuk perubahan panjang gelombang antara 501,5 nm – 546

nm, besarnya cahaya yang diserap adalah 3,7628 (94,07 %) dan 3,9133

(97,8325 %). Untuk perubahan panjang gelombang antara 546,5 nm – 678

nm tidak terjadi perubahan absorbsi, besarnya cahaya yang diserap adalah

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 69: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

49

3,9133 (97,8325 %). Pada perubahan panjang gelombang antara 679 nm –

900 nm juga tidak mengalami perubahan absorbsi. Pada perubahan panjang

gelombang ini cahaya yang mengenai permukaan lapisan hampir semuanya

diserap, besarnya cahaya yang diserap adalah 3,9999 (99,9975 %).

Besarnya koefisien absorbsi untuk nilai absorbansi 3,7628 (94,07 %)

adalah 4,9.105 cm-1 dan untuk nilai absorbansi 3,9999 (99.9975 %) adalah

5,2.105 cm-1. Sedangkan untuk nilai absorbansi 3,9133 (97,8325 %)

koefisien absorbsinya adalah 5.1.105 cm-1.

Pada cuplikan2, jumlah cahaya yang dipantulkan, diserap dan yang

diteruskan hampir 100 %, yaitu kurang lebih sebesar 97,9525 %.

c. Cuplikan3

Perbandingan nilai reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk

cuplikan1 untuk setiap panjang gelombang dapat dilihat pada Grafik 4.20

0102030405060708090

100110

350 450 550 650 750 850 950

Panjang gelombang (nm)

(%)

R

T

A

Gambar 4.20 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T dan absorbansi A

dengan panjang gelombang λ untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm, (nilai reflektansi

dan transmitansi adalah nol jadi grafik transmitansi menimpa grafik reflektansi)

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 70: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

50

Pada cuplikan3, cahaya yang datang mengenai permukaan lapisan

tipis tidak ada yang direfleksikan atau pun ditransmisikan, reflektansi dan

transmisinya sama dengan nol. Jadi cahaya yang datang mengenai

permukaan lapisan semuanya diserap oleh cuplikan.

Perubahan absorbsi cahaya hanya terjadi pada perubahan panjang

gelombang antara 462,5 nm – 531,5 nm. Besarnya absorbsi yang terjadi

adalah 3,9565 (98,9125 %) dan 3,9999 (99,9975 %). Sedangkan pada

panjang gelombang 400 nm – 462 nm dan pada panjang gelombang 532 nm

– 900 nm, absorbsi yang terjadi adalah konstan yaitu sebesar 3,9999

(99,9975 %). Koefisien absorbsi untuk absorbansi 3,9565 (98,9125 %) dan

3,9999 (99,9975 %) masing-masing adalah 4,1.105 cm-1 5dan 4,2.10 cm-1.

Pada cuplikan3, jumlah cahaya yang dipantulkan, diserap dan yang

diteruskan juga hampir 100 %, yaitu kurang lebih sebesar 99,9975 %.

d. Cuplikan4

Perbandingan nilai reflektansi, transmitansi dan absorbansi untuk

cuplikan1 untuk setiap panjang gelombang dapat dilihat pada Grafik 4.21

0102030405060708090

100110

350 450 550 650 750 850 950

Panjang gelombang (nm)

(%)

R

T

A

Gambar 4.21 Grafik hubungan antara reflektansi R, transmitansi T dan absorbansi A dengan panjang gelombang λ untuk ketebalan lapisan 114,815 nm, (nilai reflektansi dan transmitansi adalah nol jadi grafik transmitansi menimpa grafik reflektansi)

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 71: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

51

Pada cuplikan4, cahaya yang datang mengenai permukaan lapisan

tipis juga tidak ada yang direfleksikan atau pun ditransmisikan, reflektansi

dan transmisinya sama dengan nol. Cahaya yang datang mengenai

permukaan lapisan semuanya diserap oleh cuplikan. Besarnya cahaya yang

diserap pada panjang gelombang antara 400 nm – 900 nm adalah 3,9999

(99,9975 %) dan koefisien absorbsinya adalah 3,4.105 cm-1.

Pada cuplikan4, jumlah cahaya yang dipantulkan, diserap dan yang

diteruskan juga hampir 100 %, yaitu sebesar 99,9975 %.

Untuk cuplikan2, cuplikan3 dan cuplikan4, cahaya yang dipantulkan

dan yang diteruskan sangat kecil, cahaya yang mengenai permukaan lapisan

hampir semuanya diserap. Hal ini mungkin disebabkan karena pertumbuhan

lapisan tipisnya kurang sempurna, dalam hal ini mungkin didalam lapisan

tersebut ada rongga atau ruang kosong sehingga cahaya yang mengenai

permukaan lapisan semuanya terserap.

Pertumbuhan lapisan tipis yang tidak sempurna ini disebabkan

karena proses pendinginan sesudah terjadi evaporasi bahan Al kurang

sempurna.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 72: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

52

BAB V

PENUTUP

5.1 Kesimpulan

Dari data dan hasil pembahasan yang diperoleh pada pengukuran

reflektansi, transmitansi dan absorbansi dari lapisan tipis Al dengan

menggunakan spektroskopi UV-VIS untuk beberapa variasi ketebalan dapat

disimpulkan bahwa:

1. Ketebalan suatu lapisan tipis sangat mempengaruhi cahaya yang

dipantulkan, diserap atau yang diteruskan. Semakin tebal suatu lapisan

tipis, semakin besar pula cahaya yang diserap oleh cuplikan. Sedangkan

cahaya yang dipantulkan atau yang diteruskan semakin kecil.

2. Pada ketebalan lapisan 57,40752 nm dan 76,54336 nm, masing-masing

reflektansinya berkisar antara 3,03 % - 8,23 % dan 0,02 % - 0,06 %.

Tranmisinya berkisar 3,0 % - 8,14 % dan 0,04 % - 0,07 %. Sedangkan

absorbansinya berkisar antara 27,39 % - 38,735 % dan 97,8325 % -

99,9975 %. Pada ketebalan lapisan 95,6792 nm dan 114,815 nm

absorbansinya sebesar 99,9975 %, tidak ada cahaya yang dipantulkan

maupun diteruskan oleh cuplikan. Ini berarti pada ketebalan tersebut

semua cahaya tampak diserap oleh lapisan tipis.

3. Indeks bias lapisan tipis sebanding dengan reflektansinya. Pada

ketebalan lapisan 57,4072 nm, indeks biasnya antara 1,262 – 1,330. Pada

ketebalan lapisan 76,54336 nm, indeks biasnya adalah 1,224 – 1,225.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 73: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

53

Untuk ketebalan lapisan 95,6792 nm dan 114,815 nm, indeks biasnya

adalah 1,224.

4. Besarnya koefisien absorbsi suatu lapisan tipis sebanding dengan

absorbansi dan berbanding terbalik dengan ketebalan lapisannya. Pada

ketebalan lapisan 57,4072 nm, koefisien absorbsinya anatara 1,9 x 105 –

2,7 x 105 cm-1. Pada ketebalan lapisan 76,54336 nm, koefisien

absorbsinya adalah 4,9 x 105 - 5,2 x 105 cm-1. Pada ketebalan lapisan

95,6792 nm, koefisien absorbsinya adalah 4,1 x 105 5 - 4,2 x 10 cm-1 dan

pada ketebalan lapisan 114,815 nm, koefisien absorbsinya berkisar pada

angka 3,4 x 105 cm-1.

5.2 Saran

Pada “Edward Vaccum Coating” sebaiknya dipasang alat atau

detektor pengukur ketebalan lapisan tipis, sehingga saat pembentukan

lapisan tipis ketebalannya juga bisa langsung diketahui dan ketebalan yang

diketahui akan lebih akurat dari pada dicari dengan pendekatan persamaan.

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 74: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

54

DAFTAR PUSTAKA

Alonso, M. dan Finn, E.J., Dasar-dasar Fisika Universitas Jilid 1, Erlangga,

Jakarta, 1990

Fahmi, B., Karakterisasi Optik dan Elektrik Lapisan Tipis SnO2 Dari Hasil DC

Sputtering, Skripsi FMIPA-UNY, Yogyakarta, 2005

Gioancoli, D.C., Fisika Jilid 1, Erlangga, Jakarta, 1998

Haliday, D. dan Resnick, R., Fisika Jilid 2, Penerbit Erlangga, Jakarta, 1984

Hariyanto, S., Budianto, A. Dan Subarkah, Karakterisasi Optik Lapisan Tipis

Dengan Metode Transmisi Optik, Prosiding Pertemuan dan Presentasi

Ilmiah, PPNY-BATAN, Yogyakarta,1997

Ngara, Z.S., Kajian Sifat Optik dan Penentuan Struktur Kristal 3,4,9,10

Perylenetetracarboxilic Diimide, naskah Publikasi UGM, Yogyakarta,

2006

Prasetio, P.H., Penentuan Ion Cr Dalam Air Tangki Reaktor Menggunakan

Spektrofotometri UV-VIS, Skripsi FMIPA-UNS, Surakarta, 2005

Suprapto, Sistem Hampa, Diklat Pengenalan dan Aplikasi Akselerator, PPNY-

BATAN, Yogyakarta, 1998

Yahya, M. Deposisi Lapisan Tipis Dielektrik Pada Substrat Gelas Untuk Cermin

Pembagi Berkas Dengan Metoda Evaporasi Hampa, Tugas Akhir

FMIPA Universitas Brawijaya, Malang, 1995

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 75: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

55

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 76: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

LAMPIRAN I

DATA REFLEKTANSI

56

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 77: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

57

File Name: STD%R Created: 13:02 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: R% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) R% 900.00 99.99 899.50 99.99 899.00 100.00 898.50 100.00 898.00 100.00 897.50 100.00 897.00 100.00 896.50 100.00 896.00 100.00 895.50 100.00 895.00 100.00 894.50 99.99 894.00 99.99 893.50 100.00 893.00 100.00 892.50 100.00 892.00 100.00 891.50 100.00 891.00 100.00 890.50 100.00 890.00 100.00 889.50 100.00 889.00 100.00 888.50 99.99 888.00 99.99 887.50 99.99 887.00 99.99 886.50 100.00 886.00 100.00 885.50 100.00 885.00 100.00 884.50 100.00 884.00 100.00 883.50 100.00 883.00 100.00 882.50 100.00 882.00 100.00 881.50 100.00 881.00 99.99 880.50 99.99 880.00 99.99 879.50 99.99 879.00 99.99 878.50 99.99 878.00 99.99 877.50 99.99 877.00 99.99 876.50 100.00 876.00 100.00 875.50 99.99 875.00 99.99 874.50 100.00 874.00 99.99 873.50 99.99 873.00 99.99 872.50 100.00 872.00 100.00 871.50 100.00 871.00 100.00 870.50 99.99 870.00 99.99 869.50 100.00 869.00 100.00

File Name: %RCUP1 Created: 13:04 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: R% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) R% 900.00 3.33 899.50 3.33 899.00 3.33 898.50 3.33 898.00 3.33 897.50 3.34 897.00 3.34 896.50 3.34 896.00 3.34 895.50 3.34 895.00 3.34 894.50 3.34 894.00 3.34 893.50 3.36 893.00 3.36 892.50 3.36 892.00 3.37 891.50 3.37 891.00 3.37 890.50 3.36 890.00 3.36 889.50 3.37 889.00 3.37 888.50 3.37 888.00 3.37 887.50 3.38 887.00 3.38 886.50 3.39 886.00 3.39 885.50 3.38 885.00 3.38 884.50 3.38 884.00 3.38 883.50 3.39 883.00 3.39 882.50 3.39 882.00 3.39 881.50 3.41 881.00 3.41 880.50 3.39 880.00 3.39 879.50 3.41 879.00 3.41 878.50 3.41 878.00 3.41 877.50 3.41 877.00 3.42 876.50 3.42 876.00 3.42 875.50 3.42 875.00 3.42 874.50 3.42 874.00 3.42 873.50 3.42 873.00 3.42 872.50 3.43 872.00 3.43 871.50 3.43 871.00 3.43 870.50 3.43 870.00 3.43 869.50 3.43 869.00 3.43

File Name: %RCUP2 Created: 13:06 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: R% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) R% 900.00 0.02 899.50 0.02 899.00 0.02 898.50 0.02 898.00 0.02 897.50 0.02 897.00 0.02 896.50 0.02 896.00 0.02 895.50 0.02 895.00 0.02 894.50 0.02 894.00 0.02 893.50 0.02 893.00 0.02 892.50 0.02 892.00 0.02 891.50 0.02 891.00 0.02 890.50 0.02 890.00 0.02 889.50 0.02 889.00 0.02 888.50 0.02 888.00 0.02 887.50 0.02 887.00 0.02 886.50 0.02 886.00 0.02 885.50 0.02 885.00 0.02 884.50 0.02 884.00 0.02 883.50 0.02 883.00 0.02 882.50 0.02 882.00 0.02 881.50 0.02 881.00 0.02 880.50 0.02 880.00 0.02 879.50 0.02 879.00 0.02 878.50 0.02 878.00 0.02 877.50 0.02 877.00 0.02 876.50 0.02 876.00 0.02 875.50 0.02 875.00 0.02 874.50 0.02 874.00 0.02 873.50 0.02 873.00 0.02 872.50 0.04 872.00 0.04 871.50 0.02 871.00 0.02 870.50 0.04 870.00 0.02 869.50 0.02 869.00 0.02

File Name: %RCUP3 Created: 13:08 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: R% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) R% 900.00 0.00 899.50 0.00 899.00 0.00 898.50 0.00 898.00 0.00 897.50 0.00 897.00 0.00 896.50 0.00 896.00 0.00 895.50 0.00 895.00 0.00 894.50 0.00 894.00 0.00 893.50 0.00 893.00 0.00 892.50 0.00 892.00 0.00 891.50 0.00 891.00 0.00 890.50 0.00 890.00 0.00 889.50 0.00 889.00 0.00 888.50 0.00 888.00 0.00 887.50 0.00 887.00 0.00 886.50 0.00 886.00 0.00 885.50 0.00 885.00 0.00 884.50 0.00 884.00 0.00 883.50 0.00 883.00 0.00 882.50 0.00 882.00 0.00 881.50 0.00 881.00 0.00 880.50 0.00 880.00 0.00 879.50 0.00 879.00 0.00 878.50 0.00 878.00 0.00 877.50 0.00 877.00 0.00 876.50 0.00 876.00 0.00 875.50 0.00 875.00 0.00 874.50 0.00 874.00 0.00 873.50 0.00 873.00 0.00 872.50 0.00 872.00 0.00 871.50 0.00 871.00 0.00 870.50 0.00 870.00 0.00 869.50 0.00 869.00 0.00

File Name: %RCUP4 Created: 13:11 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: R% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) R% 900.00 0.00 899.50 0.00 899.00 0.00 898.50 0.00 898.00 0.00 897.50 0.00 897.00 0.00 896.50 0.00 896.00 0.00 895.50 0.00 895.00 0.00 894.50 0.00 894.00 0.00 893.50 0.00 893.00 0.00 892.50 0.00 892.00 0.00 891.50 0.00 891.00 0.00 890.50 0.00 890.00 0.00 889.50 0.00 889.00 0.00 888.50 0.00 888.00 0.00 887.50 0.00 887.00 0.00 886.50 0.00 886.00 0.00 885.50 0.00 885.00 0.00 884.50 0.00 884.00 0.00 883.50 0.00 883.00 0.00 882.50 0.00 882.00 0.00 881.50 0.00 881.00 0.00 880.50 0.00 880.00 0.00 879.50 0.00 879.00 0.00 878.50 0.00 878.00 0.00 877.50 0.00 877.00 0.00 876.50 0.00 876.00 0.00 875.50 0.00 875.00 0.00 874.50 0.00 874.00 0.00 873.50 0.00 873.00 0.00 872.50 0.00 872.00 0.00 871.50 0.00 871.00 0.00 870.50 0.00 870.00 0.00 869.50 0.00 869.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 78: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

58

868.50 100.00 868.00 99.99 867.50 99.99 867.00 99.99 866.50 99.99 866.00 100.00 865.50 99.99 865.00 99.99 864.50 99.99 864.00 99.99 863.50 99.99 863.00 100.00 862.50 99.99 862.00 99.99 861.50 99.99 861.00 99.99 860.50 99.99 860.00 99.99 859.50 99.99 859.00 100.00 858.50 99.99 858.00 99.99 857.50 99.99 857.00 99.99 856.50 99.99 856.00 99.99 855.50 99.99 855.00 99.99 854.50 100.00 854.00 100.00 853.50 99.99 853.00 99.99 852.50 100.00 852.00 99.99 851.50 99.99 851.00 99.99 850.50 99.99 850.00 100.00 849.50 100.00 849.00 100.00 848.50 100.00 848.00 100.00 847.50 100.00 847.00 100.00 846.50 100.00 846.00 100.00 845.50 100.00 845.00 100.00 844.50 100.00 844.00 100.00 843.50 100.00 843.00 100.00 842.50 100.00 842.00 99.99 841.50 99.99 841.00 100.00 840.50 99.99 840.00 99.99 839.50 100.00 839.00 100.00 838.50 100.00 838.00 100.00 837.50 100.00 837.00 100.00 836.50 100.00 836.00 100.00 835.50 100.00 835.00 100.00 834.50 100.00 834.00 99.99 833.50 99.98 833.00 99.99 832.50 99.99 832.00 99.99

868.50 3.43 868.00 3.43 867.50 3.44 867.00 3.44 866.50 3.44 866.00 3.44 865.50 3.44 865.00 3.45 864.50 3.44 864.00 3.44 863.50 3.44 863.00 3.44 862.50 3.44 862.00 3.44 861.50 3.44 861.00 3.44 860.50 3.45 860.00 3.45 859.50 3.45 859.00 3.45 858.50 3.45 858.00 3.45 857.50 3.45 857.00 3.45 856.50 3.45 856.00 3.45 855.50 3.45 855.00 3.45 854.50 3.45 854.00 3.45 853.50 3.45 853.00 3.45 852.50 3.45 852.00 3.45 851.50 3.45 851.00 3.45 850.50 3.45 850.00 3.45 849.50 3.45 849.00 3.44 848.50 3.44 848.00 3.45 847.50 3.45 847.00 3.44 846.50 3.44 846.00 3.45 845.50 3.45 845.00 3.45 844.50 3.45 844.00 3.45 843.50 3.44 843.00 3.44 842.50 3.44 842.00 3.44 841.50 3.44 841.00 3.44 840.50 3.44 840.00 3.44 839.50 3.44 839.00 3.44 838.50 3.44 838.00 3.44 837.50 3.44 837.00 3.44 836.50 3.44 836.00 3.44 835.50 3.43 835.00 3.43 834.50 3.44 834.00 3.43 833.50 3.43 833.00 3.43 832.50 3.43 832.00 3.43

868.50 0.02 868.00 0.02 867.50 0.02 867.00 0.02 866.50 0.02 866.00 0.02 865.50 0.02 865.00 0.04 864.50 0.04 864.00 0.02 863.50 0.02 863.00 0.04 862.50 0.02 862.00 0.02 861.50 0.04 861.00 0.04 860.50 0.04 860.00 0.02 859.50 0.02 859.00 0.02 858.50 0.04 858.00 0.04 857.50 0.04 857.00 0.04 856.50 0.02 856.00 0.02 855.50 0.04 855.00 0.02 854.50 0.02 854.00 0.02 853.50 0.02 853.00 0.04 852.50 0.04 852.00 0.02 851.50 0.02 851.00 0.02 850.50 0.02 850.00 0.02 849.50 0.04 849.00 0.04 848.50 0.04 848.00 0.04 847.50 0.04 847.00 0.04 846.50 0.02 846.00 0.02 845.50 0.02 845.00 0.04 844.50 0.04 844.00 0.04 843.50 0.02 843.00 0.02 842.50 0.02 842.00 0.04 841.50 0.04 841.00 0.04 840.50 0.02 840.00 0.04 839.50 0.04 839.00 0.04 838.50 0.04 838.00 0.04 837.50 0.04 837.00 0.04 836.50 0.04 836.00 0.04 835.50 0.04 835.00 0.04 834.50 0.04 834.00 0.04 833.50 0.04 833.00 0.04 832.50 0.04 832.00 0.04

868.50 0.00 868.00 0.00 867.50 0.00 867.00 0.00 866.50 0.00 866.00 0.00 865.50 0.00 865.00 0.00 864.50 0.00 864.00 0.00 863.50 0.00 863.00 0.00 862.50 0.00 862.00 0.00 861.50 0.00 861.00 0.00 860.50 0.00 860.00 0.00 859.50 0.00 859.00 0.00 858.50 0.00 858.00 0.00 857.50 0.00 857.00 0.00 856.50 0.00 856.00 0.00 855.50 0.00 855.00 0.00 854.50 0.00 854.00 0.00 853.50 0.00 853.00 0.00 852.50 0.00 852.00 0.00 851.50 0.00 851.00 0.00 850.50 0.00 850.00 0.00 849.50 0.00 849.00 0.00 848.50 0.00 848.00 0.00 847.50 0.00 847.00 0.00 846.50 0.00 846.00 0.00 845.50 0.00 845.00 0.00 844.50 0.00 844.00 0.00 843.50 0.00 843.00 0.00 842.50 0.00 842.00 0.00 841.50 0.00 841.00 0.00 840.50 0.00 840.00 0.00 839.50 0.00 839.00 0.00 838.50 0.00 838.00 0.00 837.50 0.00 837.00 0.00 836.50 0.00 836.00 0.00 835.50 0.00 835.00 0.00 834.50 0.00 834.00 0.00 833.50 0.00 833.00 0.00 832.50 0.00 832.00 0.00

868.50 0.00 868.00 0.00 867.50 0.00 867.00 0.00 866.50 0.00 866.00 0.00 865.50 0.00 865.00 0.00 864.50 0.00 864.00 0.00 863.50 0.00 863.00 0.00 862.50 0.00 862.00 0.00 861.50 0.00 861.00 0.00 860.50 0.00 860.00 0.00 859.50 0.00 859.00 0.00 858.50 0.00 858.00 0.00 857.50 0.00 857.00 0.00 856.50 0.00 856.00 0.00 855.50 0.00 855.00 0.00 854.50 0.00 854.00 0.00 853.50 0.00 853.00 0.00 852.50 0.00 852.00 0.00 851.50 0.00 851.00 0.00 850.50 0.00 850.00 0.00 849.50 0.00 849.00 0.00 848.50 0.00 848.00 0.00 847.50 0.00 847.00 0.00 846.50 0.00 846.00 0.00 845.50 0.00 845.00 0.00 844.50 0.00 844.00 0.00 843.50 0.00 843.00 0.00 842.50 0.00 842.00 0.00 841.50 0.00 841.00 0.00 840.50 0.00 840.00 0.00 839.50 0.00 839.00 0.00 838.50 0.00 838.00 0.00 837.50 0.00 837.00 0.00 836.50 0.00 836.00 0.00 835.50 0.00 835.00 0.00 834.50 0.00 834.00 0.00 833.50 0.00 833.00 0.00 832.50 0.00 832.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 79: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

59

831.50 99.99 831.00 99.99 830.50 99.99 830.00 99.99 829.50 99.99 829.00 99.99 828.50 99.99 828.00 99.99 827.50 99.99 827.00 99.99 826.50 99.99 826.00 100.00 825.50 100.00 825.00 100.00 824.50 99.99 824.00 99.98 823.50 99.98 823.00 99.99 822.50 99.99 822.00 99.98 821.50 99.98 821.00 99.99 820.50 99.99 820.00 99.99 819.50 99.99 819.00 99.99 818.50 99.99 818.00 99.99 817.50 100.00 817.00 99.99 816.50 99.99 816.00 100.00 815.50 100.00 815.00 99.99 814.50 99.99 814.00 100.00 813.50 100.00 813.00 99.99 812.50 99.99 812.00 99.99 811.50 99.99 811.00 99.99 810.50 100.00 810.00 100.00 809.50 100.00 809.00 99.99 808.50 99.99 808.00 100.00 807.50 100.00 807.00 100.00 806.50 100.00 806.00 99.99 805.50 99.99 805.00 99.99 804.50 99.99 804.00 99.99 803.50 99.99 803.00 99.99 802.50 99.99 802.00 99.99 801.50 99.99 801.00 99.99 800.50 100.00 800.00 99.99 799.50 99.99 799.00 99.99 798.50 99.99 798.00 99.99 797.50 99.99 797.00 99.99 796.50 99.99 796.00 99.99 795.50 99.99 795.00 99.99

831.50 3.43 831.00 3.43 830.50 3.43 830.00 3.43 829.50 3.43 829.00 3.42 828.50 3.42 828.00 3.42 827.50 3.42 827.00 3.42 826.50 3.42 826.00 3.42 825.50 3.41 825.00 3.41 824.50 3.41 824.00 3.41 823.50 3.41 823.00 3.41 822.50 3.41 822.00 3.41 821.50 3.41 821.00 3.41 820.50 3.41 820.00 3.39 819.50 3.39 819.00 3.39 818.50 3.39 818.00 3.39 817.50 3.38 817.00 3.38 816.50 3.38 816.00 3.38 815.50 3.38 815.00 3.37 814.50 3.37 814.00 3.37 813.50 3.37 813.00 3.37 812.50 3.37 812.00 3.37 811.50 3.37 811.00 3.37 810.50 3.36 810.00 3.36 809.50 3.36 809.00 3.34 808.50 3.34 808.00 3.34 807.50 3.34 807.00 3.33 806.50 3.33 806.00 3.33 805.50 3.33 805.00 3.33 804.50 3.33 804.00 3.33 803.50 3.33 803.00 3.32 802.50 3.32 802.00 3.32 801.50 3.31 801.00 3.31 800.50 3.31 800.00 3.31 799.50 3.30 799.00 3.30 798.50 3.30 798.00 3.30 797.50 3.30 797.00 3.30 796.50 3.30 796.00 3.30 795.50 3.28 795.00 3.28

831.50 0.02 831.00 0.02 830.50 0.04 830.00 0.04 829.50 0.04 829.00 0.04 828.50 0.04 828.00 0.04 827.50 0.04 827.00 0.04 826.50 0.02 826.00 0.02 825.50 0.04 825.00 0.04 824.50 0.04 824.00 0.04 823.50 0.04 823.00 0.04 822.50 0.04 822.00 0.04 821.50 0.02 821.00 0.02 820.50 0.04 820.00 0.04 819.50 0.04 819.00 0.04 818.50 0.04 818.00 0.04 817.50 0.04 817.00 0.04 816.50 0.04 816.00 0.04 815.50 0.04 815.00 0.04 814.50 0.04 814.00 0.04 813.50 0.04 813.00 0.04 812.50 0.04 812.00 0.04 811.50 0.04 811.00 0.04 810.50 0.04 810.00 0.04 809.50 0.04 809.00 0.04 808.50 0.04 808.00 0.04 807.50 0.04 807.00 0.04 806.50 0.04 806.00 0.04 805.50 0.04 805.00 0.04 804.50 0.04 804.00 0.04 803.50 0.04 803.00 0.04 802.50 0.04 802.00 0.04 801.50 0.04 801.00 0.04 800.50 0.04 800.00 0.04 799.50 0.04 799.00 0.04 798.50 0.04 798.00 0.04 797.50 0.04 797.00 0.04 796.50 0.04 796.00 0.04 795.50 0.04 795.00 0.04

831.50 0.00 831.00 0.00 830.50 0.00 830.00 0.00 829.50 0.00 829.00 0.00 828.50 0.00 828.00 0.00 827.50 0.00 827.00 0.00 826.50 0.00 826.00 0.00 825.50 0.00 825.00 0.00 824.50 0.00 824.00 0.00 823.50 0.00 823.00 0.00 822.50 0.00 822.00 0.00 821.50 0.00 821.00 0.00 820.50 0.00 820.00 0.00 819.50 0.00 819.00 0.00 818.50 0.00 818.00 0.00 817.50 0.00 817.00 0.00 816.50 0.00 816.00 0.00 815.50 0.00 815.00 0.00 814.50 0.00 814.00 0.00 813.50 0.00 813.00 0.00 812.50 0.00 812.00 0.00 811.50 0.00 811.00 0.00 810.50 0.00 810.00 0.00 809.50 0.00 809.00 0.00 808.50 0.00 808.00 0.00 807.50 0.00 807.00 0.00 806.50 0.00 806.00 0.00 805.50 0.00 805.00 0.00 804.50 0.00 804.00 0.00 803.50 0.00 803.00 0.00 802.50 0.00 802.00 0.00 801.50 0.00 801.00 0.00 800.50 0.00 800.00 0.00 799.50 0.00 799.00 0.00 798.50 0.00 798.00 0.00 797.50 0.00 797.00 0.00 796.50 0.00 796.00 0.00 795.50 0.00 795.00 0.00

831.50 0.00 831.00 0.00 830.50 0.00 830.00 0.00 829.50 0.00 829.00 0.00 828.50 0.00 828.00 0.00 827.50 0.00 827.00 0.00 826.50 0.00 826.00 0.00 825.50 0.00 825.00 0.00 824.50 0.00 824.00 0.00 823.50 0.00 823.00 0.00 822.50 0.00 822.00 0.00 821.50 0.00 821.00 0.00 820.50 0.00 820.00 0.00 819.50 0.00 819.00 0.00 818.50 0.00 818.00 0.00 817.50 0.00 817.00 0.00 816.50 0.00 816.00 0.00 815.50 0.00 815.00 0.00 814.50 0.00 814.00 0.00 813.50 0.00 813.00 0.00 812.50 0.00 812.00 0.00 811.50 0.00 811.00 0.00 810.50 0.00 810.00 0.00 809.50 0.00 809.00 0.00 808.50 0.00 808.00 0.00 807.50 0.00 807.00 0.00 806.50 0.00 806.00 0.00 805.50 0.00 805.00 0.00 804.50 0.00 804.00 0.00 803.50 0.00 803.00 0.00 802.50 0.00 802.00 0.00 801.50 0.00 801.00 0.00 800.50 0.00 800.00 0.00 799.50 0.00 799.00 0.00 798.50 0.00 798.00 0.00 797.50 0.00 797.00 0.00 796.50 0.00 796.00 0.00 795.50 0.00 795.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 80: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

60

794.50 99.98 794.00 99.98 793.50 99.99 793.00 99.99 792.50 100.00 792.00 100.00 791.50 100.00 791.00 99.99 790.50 99.99 790.00 99.99 789.50 100.00 789.00 100.00 788.50 100.00 788.00 100.00 787.50 99.99 787.00 99.99 786.50 99.99 786.00 99.99 785.50 100.00 785.00 100.00 784.50 100.00 784.00 100.00 783.50 99.99 783.00 99.99 782.50 99.99 782.00 99.99 781.50 100.00 781.00 100.00 780.50 100.00 780.00 100.00 779.50 99.99 779.00 99.99 778.50 99.99 778.00 99.99 777.50 99.99 777.00 100.00 776.50 100.00 776.00 100.00 775.50 100.00 775.00 99.99 774.50 99.99 774.00 99.99 773.50 100.00 773.00 99.99 772.50 99.99 772.00 100.00 771.50 99.99 771.00 99.99 770.50 100.00 770.00 100.00 769.50 100.00 769.00 100.00 768.50 100.00 768.00 99.99 767.50 99.99 767.00 99.99 766.50 99.99 766.00 99.99 765.50 99.99 765.00 99.99 764.50 99.99 764.00 99.99 763.50 99.99 763.00 99.99 762.50 100.00 762.00 99.99 761.50 99.99 761.00 99.99 760.50 99.99 760.00 99.99 759.50 99.99 759.00 99.99 758.50 99.99 758.00 99.98

794.50 3.28 794.00 3.28 793.50 3.27 793.00 3.27 792.50 3.27 792.00 3.27 791.50 3.26 791.00 3.26 790.50 3.26 790.00 3.25 789.50 3.25 789.00 3.25 788.50 3.26 788.00 3.25 787.50 3.25 787.00 3.25 786.50 3.25 786.00 3.23 785.50 3.23 785.00 3.23 784.50 3.23 784.00 3.22 783.50 3.22 783.00 3.22 782.50 3.21 782.00 3.21 781.50 3.21 781.00 3.21 780.50 3.22 780.00 3.21 779.50 3.21 779.00 3.21 778.50 3.21 778.00 3.20 777.50 3.20 777.00 3.20 776.50 3.19 776.00 3.19 775.50 3.19 775.00 3.19 774.50 3.19 774.00 3.19 773.50 3.17 773.00 3.17 772.50 3.19 772.00 3.19 771.50 3.17 771.00 3.17 770.50 3.17 770.00 3.17 769.50 3.17 769.00 3.17 768.50 3.16 768.00 3.16 767.50 3.16 767.00 3.16 766.50 3.15 766.00 3.15 765.50 3.15 765.00 3.16 764.50 3.15 764.00 3.15 763.50 3.15 763.00 3.15 762.50 3.15 762.00 3.14 761.50 3.14 761.00 3.14 760.50 3.13 760.00 3.13 759.50 3.13 759.00 3.11 758.50 3.11 758.00 3.11

794.50 0.04 794.00 0.04 793.50 0.04 793.00 0.04 792.50 0.04 792.00 0.04 791.50 0.04 791.00 0.04 790.50 0.04 790.00 0.04 789.50 0.04 789.00 0.04 788.50 0.04 788.00 0.04 787.50 0.04 787.00 0.04 786.50 0.04 786.00 0.04 785.50 0.04 785.00 0.04 784.50 0.04 784.00 0.04 783.50 0.04 783.00 0.04 782.50 0.04 782.00 0.04 781.50 0.04 781.00 0.04 780.50 0.04 780.00 0.04 779.50 0.04 779.00 0.04 778.50 0.04 778.00 0.04 777.50 0.04 777.00 0.04 776.50 0.04 776.00 0.04 775.50 0.04 775.00 0.04 774.50 0.04 774.00 0.04 773.50 0.04 773.00 0.04 772.50 0.04 772.00 0.04 771.50 0.04 771.00 0.04 770.50 0.04 770.00 0.04 769.50 0.04 769.00 0.04 768.50 0.04 768.00 0.04 767.50 0.04 767.00 0.04 766.50 0.04 766.00 0.04 765.50 0.04 765.00 0.04 764.50 0.04 764.00 0.04 763.50 0.04 763.00 0.04 762.50 0.04 762.00 0.04 761.50 0.04 761.00 0.04 760.50 0.04 760.00 0.04 759.50 0.04 759.00 0.04 758.50 0.04 758.00 0.04

794.50 0.00 794.00 0.00 793.50 0.00 793.00 0.00 792.50 0.00 792.00 0.00 791.50 0.00 791.00 0.00 790.50 0.00 790.00 0.00 789.50 0.00 789.00 0.00 788.50 0.00 788.00 0.00 787.50 0.00 787.00 0.00 786.50 0.00 786.00 0.00 785.50 0.00 785.00 0.00 784.50 0.00 784.00 0.00 783.50 0.00 783.00 0.00 782.50 0.00 782.00 0.00 781.50 0.00 781.00 0.00 780.50 0.00 780.00 0.00 779.50 0.00 779.00 0.00 778.50 0.00 778.00 0.00 777.50 0.00 777.00 0.00 776.50 0.00 776.00 0.00 775.50 0.00 775.00 0.00 774.50 0.00 774.00 0.00 773.50 0.00 773.00 0.00 772.50 0.00 772.00 0.00 771.50 0.00 771.00 0.00 770.50 0.00 770.00 0.00 769.50 0.00 769.00 0.00 768.50 0.00 768.00 0.00 767.50 0.00 767.00 0.00 766.50 0.00 766.00 0.00 765.50 0.00 765.00 0.00 764.50 0.00 764.00 0.00 763.50 0.00 763.00 0.00 762.50 0.00 762.00 0.00 761.50 0.00 761.00 0.00 760.50 0.00 760.00 0.00 759.50 0.00 759.00 0.00 758.50 0.00 758.00 0.00

794.50 0.00 794.00 0.00 793.50 0.00 793.00 0.00 792.50 0.00 792.00 0.00 791.50 0.00 791.00 0.00 790.50 0.00 790.00 0.00 789.50 0.00 789.00 0.00 788.50 0.00 788.00 0.00 787.50 0.00 787.00 0.00 786.50 0.00 786.00 0.00 785.50 0.00 785.00 0.00 784.50 0.00 784.00 0.00 783.50 0.00 783.00 0.00 782.50 0.00 782.00 0.00 781.50 0.00 781.00 0.00 780.50 0.00 780.00 0.00 779.50 0.00 779.00 0.00 778.50 0.00 778.00 0.00 777.50 0.00 777.00 0.00 776.50 0.00 776.00 0.00 775.50 0.00 775.00 0.00 774.50 0.00 774.00 0.00 773.50 0.00 773.00 0.00 772.50 0.00 772.00 0.00 771.50 0.00 771.00 0.00 770.50 0.00 770.00 0.00 769.50 0.00 769.00 0.00 768.50 0.00 768.00 0.00 767.50 0.00 767.00 0.00 766.50 0.00 766.00 0.00 765.50 0.00 765.00 0.00 764.50 0.00 764.00 0.00 763.50 0.00 763.00 0.00 762.50 0.00 762.00 0.00 761.50 0.00 761.00 0.00 760.50 0.00 760.00 0.00 759.50 0.00 759.00 0.00 758.50 0.00 758.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 81: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

61

757.50 99.99 757.00 100.00 756.50 99.99 756.00 99.99 755.50 99.99 755.00 99.99 754.50 100.00 754.00 100.00 753.50 100.00 753.00 100.00 752.50 100.00 752.00 100.00 751.50 100.00 751.00 99.99 750.50 99.99 750.00 99.99 749.50 100.00 749.00 100.00 748.50 100.00 748.00 99.99 747.50 99.98 747.00 99.99 746.50 99.99 746.00 99.99 745.50 99.99 745.00 99.99 744.50 99.99 744.00 100.00 743.50 100.00 743.00 99.99 742.50 99.99 742.00 99.99 741.50 100.00 741.00 99.99 740.50 99.99 740.00 100.00 739.50 100.00 739.00 99.99 738.50 99.99 738.00 100.00 737.50 99.99 737.00 99.99 736.50 99.99 736.00 100.00 735.50 100.00 735.00 100.00 734.50 100.00 734.00 100.00 733.50 100.00 733.00 99.99 732.50 99.99 732.00 99.99 731.50 99.99 731.00 99.99 730.50 100.00 730.00 100.00 729.50 100.00 729.00 100.00 728.50 99.99 728.00 99.99 727.50 99.99 727.00 99.99 726.50 99.99 726.00 100.00 725.50 99.99 725.00 99.99 724.50 99.99 724.00 99.99 723.50 99.99 723.00 99.99 722.50 99.99 722.00 99.99 721.50 99.99 721.00 99.99

757.50 3.11 757.00 3.11 756.50 3.11 756.00 3.11 755.50 3.11 755.00 3.10 754.50 3.10 754.00 3.10 753.50 3.10 753.00 3.10 752.50 3.09 752.00 3.09 751.50 3.09 751.00 3.09 750.50 3.09 750.00 3.08 749.50 3.08 749.00 3.09 748.50 3.09 748.00 3.09 747.50 3.09 747.00 3.08 746.50 3.08 746.00 3.08 745.50 3.08 745.00 3.06 744.50 3.06 744.00 3.06 743.50 3.06 743.00 3.06 742.50 3.06 742.00 3.05 741.50 3.05 741.00 3.06 740.50 3.06 740.00 3.06 739.50 3.06 739.00 3.06 738.50 3.06 738.00 3.05 737.50 3.05 737.00 3.05 736.50 3.05 736.00 3.05 735.50 3.05 735.00 3.05 734.50 3.04 734.00 3.04 733.50 3.04 733.00 3.04 732.50 3.04 732.00 3.04 731.50 3.04 731.00 3.04 730.50 3.04 730.00 3.04 729.50 3.04 729.00 3.04 728.50 3.04 728.00 3.04 727.50 3.04 727.00 3.04 726.50 3.04 726.00 3.04 725.50 3.04 725.00 3.04 724.50 3.04 724.00 3.04 723.50 3.04 723.00 3.04 722.50 3.04 722.00 3.04 721.50 3.04 721.00 3.03

757.50 0.04 757.00 0.04 756.50 0.04 756.00 0.04 755.50 0.04 755.00 0.04 754.50 0.04 754.00 0.04 753.50 0.04 753.00 0.04 752.50 0.04 752.00 0.04 751.50 0.04 751.00 0.04 750.50 0.04 750.00 0.04 749.50 0.04 749.00 0.04 748.50 0.04 748.00 0.04 747.50 0.04 747.00 0.04 746.50 0.04 746.00 0.04 745.50 0.04 745.00 0.04 744.50 0.04 744.00 0.04 743.50 0.04 743.00 0.04 742.50 0.04 742.00 0.04 741.50 0.04 741.00 0.04 740.50 0.04 740.00 0.04 739.50 0.04 739.00 0.04 738.50 0.04 738.00 0.04 737.50 0.04 737.00 0.04 736.50 0.04 736.00 0.04 735.50 0.04 735.00 0.04 734.50 0.04 734.00 0.04 733.50 0.04 733.00 0.04 732.50 0.04 732.00 0.04 731.50 0.04 731.00 0.04 730.50 0.04 730.00 0.04 729.50 0.04 729.00 0.04 728.50 0.04 728.00 0.04 727.50 0.04 727.00 0.04 726.50 0.04 726.00 0.04 725.50 0.04 725.00 0.04 724.50 0.04 724.00 0.04 723.50 0.04 723.00 0.04 722.50 0.04 722.00 0.04 721.50 0.04 721.00 0.04

757.50 0.00 757.00 0.00 756.50 0.00 756.00 0.00 755.50 0.00 755.00 0.00 754.50 0.00 754.00 0.00 753.50 0.00 753.00 0.00 752.50 0.00 752.00 0.00 751.50 0.00 751.00 0.00 750.50 0.00 750.00 0.00 749.50 0.00 749.00 0.00 748.50 0.00 748.00 0.00 747.50 0.00 747.00 0.00 746.50 0.00 746.00 0.00 745.50 0.00 745.00 0.00 744.50 0.00 744.00 0.00 743.50 0.00 743.00 0.00 742.50 0.00 742.00 0.00 741.50 0.00 741.00 0.00 740.50 0.00 740.00 0.00 739.50 0.00 739.00 0.00 738.50 0.00 738.00 0.00 737.50 0.00 737.00 0.00 736.50 0.00 736.00 0.00 735.50 0.00 735.00 0.00 734.50 0.00 734.00 0.00 733.50 0.00 733.00 0.00 732.50 0.00 732.00 0.00 731.50 0.00 731.00 0.00 730.50 0.00 730.00 0.00 729.50 0.00 729.00 0.00 728.50 0.00 728.00 0.00 727.50 0.00 727.00 0.00 726.50 0.00 726.00 0.00 725.50 0.00 725.00 0.00 724.50 0.00 724.00 0.00 723.50 0.00 723.00 0.00 722.50 0.00 722.00 0.00 721.50 0.00 721.00 0.00

757.50 0.00 757.00 0.00 756.50 0.00 756.00 0.00 755.50 0.00 755.00 0.00 754.50 0.00 754.00 0.00 753.50 0.00 753.00 0.00 752.50 0.00 752.00 0.00 751.50 0.00 751.00 0.00 750.50 0.00 750.00 0.00 749.50 0.00 749.00 0.00 748.50 0.00 748.00 0.00 747.50 0.00 747.00 0.00 746.50 0.00 746.00 0.00 745.50 0.00 745.00 0.00 744.50 0.00 744.00 0.00 743.50 0.00 743.00 0.00 742.50 0.00 742.00 0.00 741.50 0.00 741.00 0.00 740.50 0.00 740.00 0.00 739.50 0.00 739.00 0.00 738.50 0.00 738.00 0.00 737.50 0.00 737.00 0.00 736.50 0.00 736.00 0.00 735.50 0.00 735.00 0.00 734.50 0.00 734.00 0.00 733.50 0.00 733.00 0.00 732.50 0.00 732.00 0.00 731.50 0.00 731.00 0.00 730.50 0.00 730.00 0.00 729.50 0.00 729.00 0.00 728.50 0.00 728.00 0.00 727.50 0.00 727.00 0.00 726.50 0.00 726.00 0.00 725.50 0.00 725.00 0.00 724.50 0.00 724.00 0.00 723.50 0.00 723.00 0.00 722.50 0.00 722.00 0.00 721.50 0.00 721.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 82: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

62

720.50 99.99 720.00 100.00 719.50 100.00 719.00 99.99 718.50 99.99 718.00 100.00 717.50 99.99 717.00 99.99 716.50 99.99 716.00 100.00 715.50 100.00 715.00 100.00 714.50 100.00 714.00 100.00 713.50 99.99 713.00 99.99 712.50 99.99 712.00 99.99 711.50 99.99 711.00 99.99 710.50 99.99 710.00 100.00 709.50 99.99 709.00 99.99 708.50 99.99 708.00 99.99 707.50 99.99 707.00 99.99 706.50 99.99 706.00 99.99 705.50 99.99 705.00 99.99 704.50 99.99 704.00 99.99 703.50 99.99 703.00 99.99 702.50 99.99 702.00 99.99 701.50 100.00 701.00 100.00 700.50 100.00 700.00 100.00 699.50 100.00 699.00 100.00 698.50 100.00 698.00 100.00 697.50 99.99 697.00 99.99 696.50 99.99 696.00 100.00 695.50 99.99 695.00 99.99 694.50 99.99 694.00 99.99 693.50 99.99 693.00 99.99 692.50 99.99 692.00 99.99 691.50 99.99 691.00 99.99 690.50 99.99 690.00 99.99 689.50 99.99 689.00 99.99 688.50 99.99 688.00 100.00 687.50 100.00 687.00 100.00 686.50 99.99 686.00 99.99 685.50 99.99 685.00 99.99 684.50 99.99 684.00 100.00

720.50 3.03 720.00 3.03 719.50 3.03 719.00 3.03 718.50 3.03 718.00 3.03 717.50 3.03 717.00 3.03 716.50 3.03 716.00 3.03 715.50 3.03 715.00 3.03 714.50 3.03 714.00 3.03 713.50 3.03 713.00 3.03 712.50 3.04 712.00 3.04 711.50 3.04 711.00 3.04 710.50 3.04 710.00 3.04 709.50 3.04 709.00 3.04 708.50 3.03 708.00 3.03 707.50 3.04 707.00 3.04 706.50 3.04 706.00 3.04 705.50 3.03 705.00 3.03 704.50 3.04 704.00 3.04 703.50 3.04 703.00 3.04 702.50 3.04 702.00 3.04 701.50 3.04 701.00 3.04 700.50 3.04 700.00 3.05 699.50 3.05 699.00 3.05 698.50 3.05 698.00 3.05 697.50 3.05 697.00 3.05 696.50 3.05 696.00 3.05 695.50 3.05 695.00 3.05 694.50 3.05 694.00 3.05 693.50 3.05 693.00 3.05 692.50 3.05 692.00 3.05 691.50 3.06 691.00 3.06 690.50 3.06 690.00 3.06 689.50 3.06 689.00 3.06 688.50 3.06 688.00 3.06 687.50 3.06 687.00 3.08 686.50 3.09 686.00 3.09 685.50 3.09 685.00 3.09 684.50 3.09 684.00 3.09

720.50 0.04 720.00 0.04 719.50 0.04 719.00 0.04 718.50 0.04 718.00 0.04 717.50 0.04 717.00 0.04 716.50 0.04 716.00 0.04 715.50 0.04 715.00 0.04 714.50 0.04 714.00 0.04 713.50 0.04 713.00 0.04 712.50 0.04 712.00 0.04 711.50 0.04 711.00 0.04 710.50 0.04 710.00 0.04 709.50 0.04 709.00 0.04 708.50 0.04 708.00 0.04 707.50 0.04 707.00 0.04 706.50 0.04 706.00 0.04 705.50 0.04 705.00 0.04 704.50 0.04 704.00 0.04 703.50 0.04 703.00 0.04 702.50 0.04 702.00 0.04 701.50 0.04 701.00 0.04 700.50 0.04 700.00 0.04 699.50 0.04 699.00 0.04 698.50 0.04 698.00 0.04 697.50 0.04 697.00 0.04 696.50 0.04 696.00 0.04 695.50 0.04 695.00 0.04 694.50 0.04 694.00 0.04 693.50 0.04 693.00 0.04 692.50 0.04 692.00 0.04 691.50 0.04 691.00 0.04 690.50 0.04 690.00 0.04 689.50 0.04 689.00 0.04 688.50 0.04 688.00 0.04 687.50 0.04 687.00 0.04 686.50 0.04 686.00 0.04 685.50 0.04 685.00 0.04 684.50 0.04 684.00 0.04

720.50 0.00 720.00 0.00 719.50 0.00 719.00 0.00 718.50 0.00 718.00 0.00 717.50 0.00 717.00 0.00 716.50 0.00 716.00 0.00 715.50 0.00 715.00 0.00 714.50 0.00 714.00 0.00 713.50 0.00 713.00 0.00 712.50 0.00 712.00 0.00 711.50 0.00 711.00 0.00 710.50 0.00 710.00 0.00 709.50 0.00 709.00 0.00 708.50 0.00 708.00 0.00 707.50 0.00 707.00 0.00 706.50 0.00 706.00 0.00 705.50 0.00 705.00 0.00 704.50 0.00 704.00 0.00 703.50 0.00 703.00 0.00 702.50 0.00 702.00 0.00 701.50 0.00 701.00 0.00 700.50 0.00 700.00 0.00 699.50 0.00 699.00 0.00 698.50 0.00 698.00 0.00 697.50 0.00 697.00 0.00 696.50 0.00 696.00 0.00 695.50 0.00 695.00 0.00 694.50 0.00 694.00 0.00 693.50 0.00 693.00 0.00 692.50 0.00 692.00 0.00 691.50 0.00 691.00 0.00 690.50 0.00 690.00 0.00 689.50 0.00 689.00 0.00 688.50 0.00 688.00 0.00 687.50 0.00 687.00 0.00 686.50 0.00 686.00 0.00 685.50 0.00 685.00 0.00 684.50 0.00 684.00 0.00

720.50 0.00 720.00 0.00 719.50 0.00 719.00 0.00 718.50 0.00 718.00 0.00 717.50 0.00 717.00 0.00 716.50 0.00 716.00 0.00 715.50 0.00 715.00 0.00 714.50 0.00 714.00 0.00 713.50 0.00 713.00 0.00 712.50 0.00 712.00 0.00 711.50 0.00 711.00 0.00 710.50 0.00 710.00 0.00 709.50 0.00 709.00 0.00 708.50 0.00 708.00 0.00 707.50 0.00 707.00 0.00 706.50 0.00 706.00 0.00 705.50 0.00 705.00 0.00 704.50 0.00 704.00 0.00 703.50 0.00 703.00 0.00 702.50 0.00 702.00 0.00 701.50 0.00 701.00 0.00 700.50 0.00 700.00 0.00 699.50 0.00 699.00 0.00 698.50 0.00 698.00 0.00 697.50 0.00 697.00 0.00 696.50 0.00 696.00 0.00 695.50 0.00 695.00 0.00 694.50 0.00 694.00 0.00 693.50 0.00 693.00 0.00 692.50 0.00 692.00 0.00 691.50 0.00 691.00 0.00 690.50 0.00 690.00 0.00 689.50 0.00 689.00 0.00 688.50 0.00 688.00 0.00 687.50 0.00 687.00 0.00 686.50 0.00 686.00 0.00 685.50 0.00 685.00 0.00 684.50 0.00 684.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 83: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

63

683.50 100.00 683.00 100.00 682.50 99.99 682.00 99.99 681.50 99.99 681.00 99.99 680.50 99.99 680.00 100.00 679.50 99.99 679.00 99.98 678.50 99.99 678.00 99.99 677.50 99.99 677.00 99.99 676.50 99.99 676.00 100.00 675.50 100.00 675.00 99.99 674.50 99.99 674.00 99.99 673.50 100.00 673.00 100.00 672.50 100.00 672.00 99.99 671.50 99.99 671.00 99.99 670.50 99.99 670.00 99.99 669.50 99.98 669.00 99.98 668.50 99.98 668.00 99.98 667.50 99.99 667.00 99.99 666.50 99.99 666.00 100.00 665.50 99.99 665.00 99.98 664.50 99.99 664.00 99.99 663.50 99.98 663.00 99.96 662.50 99.96 662.00 99.96 661.50 99.98 661.00 99.99 660.50 100.00 660.00 99.99 659.50 99.99 659.00 99.99 658.50 99.99 658.00 100.00 657.50 100.00 657.00 100.00 656.50 100.00 656.00 100.00 655.50 100.00 655.00 99.99 654.50 99.98 654.00 99.98 653.50 99.98 653.00 99.99 652.50 100.00 652.00 99.99 651.50 99.98 651.00 99.99 650.50 100.00 650.00 100.00 649.50 100.00 649.00 99.99 648.50 99.99 648.00 99.99 647.50 99.99 647.00 99.99

683.50 3.09 683.00 3.09 682.50 3.09 682.00 3.09 681.50 3.09 681.00 3.09 680.50 3.10 680.00 3.10 679.50 3.10 679.00 3.10 678.50 3.10 678.00 3.10 677.50 3.10 677.00 3.11 676.50 3.11 676.00 3.11 675.50 3.11 675.00 3.11 674.50 3.11 674.00 3.11 673.50 3.13 673.00 3.13 672.50 3.13 672.00 3.13 671.50 3.13 671.00 3.13 670.50 3.14 670.00 3.14 669.50 3.15 669.00 3.15 668.50 3.15 668.00 3.15 667.50 3.15 667.00 3.15 666.50 3.16 666.00 3.16 665.50 3.16 665.00 3.16 664.50 3.16 664.00 3.16 663.50 3.16 663.00 3.16 662.50 3.17 662.00 3.17 661.50 3.17 661.00 3.17 660.50 3.17 660.00 3.19 659.50 3.19 659.00 3.19 658.50 3.19 658.00 3.19 657.50 3.19 657.00 3.20 656.50 3.20 656.00 3.20 655.50 3.20 655.00 3.20 654.50 3.21 654.00 3.21 653.50 3.21 653.00 3.21 652.50 3.21 652.00 3.21 651.50 3.22 651.00 3.22 650.50 3.23 650.00 3.23 649.50 3.25 649.00 3.25 648.50 3.25 648.00 3.25 647.50 3.25 647.00 3.26

683.50 0.04 683.00 0.04 682.50 0.04 682.00 0.04 681.50 0.04 681.00 0.04 680.50 0.04 680.00 0.04 679.50 0.04 679.00 0.04 678.50 0.04 678.00 0.04 677.50 0.04 677.00 0.04 676.50 0.04 676.00 0.04 675.50 0.04 675.00 0.04 674.50 0.04 674.00 0.04 673.50 0.04 673.00 0.04 672.50 0.04 672.00 0.04 671.50 0.04 671.00 0.04 670.50 0.05 670.00 0.05 669.50 0.05 669.00 0.05 668.50 0.05 668.00 0.05 667.50 0.05 667.00 0.05 666.50 0.05 666.00 0.05 665.50 0.05 665.00 0.05 664.50 0.05 664.00 0.05 663.50 0.05 663.00 0.05 662.50 0.05 662.00 0.05 661.50 0.05 661.00 0.05 660.50 0.05 660.00 0.05 659.50 0.05 659.00 0.05 658.50 0.05 658.00 0.05 657.50 0.05 657.00 0.05 656.50 0.05 656.00 0.05 655.50 0.05 655.00 0.05 654.50 0.05 654.00 0.05 653.50 0.05 653.00 0.05 652.50 0.05 652.00 0.05 651.50 0.05 651.00 0.05 650.50 0.05 650.00 0.05 649.50 0.05 649.00 0.05 648.50 0.05 648.00 0.05 647.50 0.05 647.00 0.05

683.50 0.00 683.00 0.00 682.50 0.00 682.00 0.00 681.50 0.00 681.00 0.00 680.50 0.00 680.00 0.00 679.50 0.00 679.00 0.00 678.50 0.00 678.00 0.00 677.50 0.00 677.00 0.00 676.50 0.00 676.00 0.00 675.50 0.00 675.00 0.00 674.50 0.00 674.00 0.00 673.50 0.00 673.00 0.00 672.50 0.00 672.00 0.00 671.50 0.00 671.00 0.00 670.50 0.00 670.00 0.00 669.50 0.00 669.00 0.00 668.50 0.00 668.00 0.00 667.50 0.00 667.00 0.00 666.50 0.00 666.00 0.00 665.50 0.00 665.00 0.00 664.50 0.00 664.00 0.00 663.50 0.00 663.00 0.00 662.50 0.00 662.00 0.00 661.50 0.00 661.00 0.00 660.50 0.00 660.00 0.00 659.50 0.00 659.00 0.00 658.50 0.00 658.00 0.00 657.50 0.00 657.00 0.00 656.50 0.00 656.00 0.00 655.50 0.00 655.00 0.00 654.50 0.00 654.00 0.00 653.50 0.00 653.00 0.00 652.50 0.00 652.00 0.00 651.50 0.00 651.00 0.00 650.50 0.00 650.00 0.00 649.50 0.00 649.00 0.00 648.50 0.00 648.00 0.00 647.50 0.00 647.00 0.00

683.50 0.00 683.00 0.00 682.50 0.00 682.00 0.00 681.50 0.00 681.00 0.00 680.50 0.00 680.00 0.00 679.50 0.00 679.00 0.00 678.50 0.00 678.00 0.00 677.50 0.00 677.00 0.00 676.50 0.00 676.00 0.00 675.50 0.00 675.00 0.00 674.50 0.00 674.00 0.00 673.50 0.00 673.00 0.00 672.50 0.00 672.00 0.00 671.50 0.00 671.00 0.00 670.50 0.00 670.00 0.00 669.50 0.00 669.00 0.00 668.50 0.00 668.00 0.00 667.50 0.00 667.00 0.00 666.50 0.00 666.00 0.00 665.50 0.00 665.00 0.00 664.50 0.00 664.00 0.00 663.50 0.00 663.00 0.00 662.50 0.00 662.00 0.00 661.50 0.00 661.00 0.00 660.50 0.00 660.00 0.00 659.50 0.00 659.00 0.00 658.50 0.00 658.00 0.00 657.50 0.00 657.00 0.00 656.50 0.00 656.00 0.00 655.50 0.00 655.00 0.00 654.50 0.00 654.00 0.00 653.50 0.00 653.00 0.00 652.50 0.00 652.00 0.00 651.50 0.00 651.00 0.00 650.50 0.00 650.00 0.00 649.50 0.00 649.00 0.00 648.50 0.00 648.00 0.00 647.50 0.00 647.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 84: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

64

646.50 99.99 646.00 99.99 645.50 99.98 645.00 99.99 644.50 100.00 644.00 100.00 643.50 100.00 643.00 100.00 642.50 100.00 642.00 100.00 641.50 100.00 641.00 100.00 640.50 100.00 640.00 100.00 639.50 100.00 639.00 100.00 638.50 100.00 638.00 100.00 637.50 100.00 637.00 100.01 636.50 100.01 636.00 100.00 635.50 100.00 635.00 100.00 634.50 100.00 634.00 99.99 633.50 99.99 633.00 99.99 632.50 99.98 632.00 99.99 631.50 100.00 631.00 100.00 630.50 100.00 630.00 100.00 629.50 100.00 629.00 100.00 628.50 100.00 628.00 100.00 627.50 99.99 627.00 99.98 626.50 99.98 626.00 99.98 625.50 99.98 625.00 99.98 624.50 99.99 624.00 99.99 623.50 99.98 623.00 99.98 622.50 99.99 622.00 100.00 621.50 100.00 621.00 100.00 620.50 99.99 620.00 99.99 619.50 100.00 619.00 99.99 618.50 99.98 618.00 99.99 617.50 99.99 617.00 99.99 616.50 100.00 616.00 100.00 615.50 100.00 615.00 99.99 614.50 99.98 614.00 99.99 613.50 100.00 613.00 100.00 612.50 99.99 612.00 99.98 611.50 99.99 611.00 99.99 610.50 99.98 610.00 99.98

646.50 3.26 646.00 3.26 645.50 3.26 645.00 3.26 644.50 3.27 644.00 3.27 643.50 3.27 643.00 3.27 642.50 3.28 642.00 3.28 641.50 3.28 641.00 3.28 640.50 3.30 640.00 3.30 639.50 3.30 639.00 3.31 638.50 3.31 638.00 3.31 637.50 3.31 637.00 3.32 636.50 3.32 636.00 3.32 635.50 3.33 635.00 3.33 634.50 3.33 634.00 3.33 633.50 3.34 633.00 3.34 632.50 3.34 632.00 3.36 631.50 3.36 631.00 3.36 630.50 3.36 630.00 3.37 629.50 3.37 629.00 3.37 628.50 3.38 628.00 3.38 627.50 3.38 627.00 3.38 626.50 3.39 626.00 3.41 625.50 3.41 625.00 3.41 624.50 3.42 624.00 3.42 623.50 3.42 623.00 3.43 622.50 3.43 622.00 3.43 621.50 3.44 621.00 3.44 620.50 3.44 620.00 3.45 619.50 3.45 619.00 3.47 618.50 3.47 618.00 3.47 617.50 3.47 617.00 3.48 616.50 3.48 616.00 3.48 615.50 3.49 615.00 3.49 614.50 3.49 614.00 3.50 613.50 3.50 613.00 3.50 612.50 3.52 612.00 3.52 611.50 3.53 611.00 3.53 610.50 3.53 610.00 3.54

646.50 0.05 646.00 0.05 645.50 0.05 645.00 0.05 644.50 0.05 644.00 0.05 643.50 0.05 643.00 0.05 642.50 0.05 642.00 0.05 641.50 0.05 641.00 0.05 640.50 0.05 640.00 0.05 639.50 0.05 639.00 0.05 638.50 0.05 638.00 0.05 637.50 0.05 637.00 0.05 636.50 0.05 636.00 0.05 635.50 0.05 635.00 0.05 634.50 0.05 634.00 0.05 633.50 0.05 633.00 0.05 632.50 0.05 632.00 0.05 631.50 0.05 631.00 0.05 630.50 0.05 630.00 0.05 629.50 0.05 629.00 0.05 628.50 0.05 628.00 0.05 627.50 0.05 627.00 0.05 626.50 0.05 626.00 0.05 625.50 0.05 625.00 0.05 624.50 0.05 624.00 0.05 623.50 0.05 623.00 0.05 622.50 0.05 622.00 0.05 621.50 0.05 621.00 0.05 620.50 0.05 620.00 0.05 619.50 0.05 619.00 0.05 618.50 0.05 618.00 0.05 617.50 0.05 617.00 0.05 616.50 0.05 616.00 0.05 615.50 0.05 615.00 0.05 614.50 0.05 614.00 0.05 613.50 0.05 613.00 0.05 612.50 0.05 612.00 0.05 611.50 0.05 611.00 0.05 610.50 0.05 610.00 0.05

646.50 0.00 646.00 0.00 645.50 0.00 645.00 0.00 644.50 0.00 644.00 0.00 643.50 0.00 643.00 0.00 642.50 0.00 642.00 0.00 641.50 0.00 641.00 0.00 640.50 0.00 640.00 0.00 639.50 0.00 639.00 0.00 638.50 0.00 638.00 0.00 637.50 0.00 637.00 0.00 636.50 0.00 636.00 0.00 635.50 0.00 635.00 0.00 634.50 0.00 634.00 0.00 633.50 0.00 633.00 0.00 632.50 0.00 632.00 0.00 631.50 0.00 631.00 0.00 630.50 0.00 630.00 0.00 629.50 0.00 629.00 0.00 628.50 0.00 628.00 0.00 627.50 0.00 627.00 0.00 626.50 0.00 626.00 0.00 625.50 0.00 625.00 0.00 624.50 0.00 624.00 0.00 623.50 0.00 623.00 0.00 622.50 0.00 622.00 0.00 621.50 0.00 621.00 0.00 620.50 0.00 620.00 0.00 619.50 0.00 619.00 0.00 618.50 0.00 618.00 0.00 617.50 0.00 617.00 0.00 616.50 0.00 616.00 0.00 615.50 0.00 615.00 0.00 614.50 0.00 614.00 0.00 613.50 0.00 613.00 0.00 612.50 0.00 612.00 0.00 611.50 0.00 611.00 0.00 610.50 0.00 610.00 0.00

646.50 0.00 646.00 0.00 645.50 0.00 645.00 0.00 644.50 0.00 644.00 0.00 643.50 0.00 643.00 0.00 642.50 0.00 642.00 0.00 641.50 0.00 641.00 0.00 640.50 0.00 640.00 0.00 639.50 0.00 639.00 0.00 638.50 0.00 638.00 0.00 637.50 0.00 637.00 0.00 636.50 0.00 636.00 0.00 635.50 0.00 635.00 0.00 634.50 0.00 634.00 0.00 633.50 0.00 633.00 0.00 632.50 0.00 632.00 0.00 631.50 0.00 631.00 0.00 630.50 0.00 630.00 0.00 629.50 0.00 629.00 0.00 628.50 0.00 628.00 0.00 627.50 0.00 627.00 0.00 626.50 0.00 626.00 0.00 625.50 0.00 625.00 0.00 624.50 0.00 624.00 0.00 623.50 0.00 623.00 0.00 622.50 0.00 622.00 0.00 621.50 0.00 621.00 0.00 620.50 0.00 620.00 0.00 619.50 0.00 619.00 0.00 618.50 0.00 618.00 0.00 617.50 0.00 617.00 0.00 616.50 0.00 616.00 0.00 615.50 0.00 615.00 0.00 614.50 0.00 614.00 0.00 613.50 0.00 613.00 0.00 612.50 0.00 612.00 0.00 611.50 0.00 611.00 0.00 610.50 0.00 610.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 85: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

65

609.50 99.98 609.00 99.98 608.50 99.98 608.00 99.98 607.50 99.98 607.00 99.98 606.50 99.98 606.00 99.96 605.50 99.96 605.00 99.99 604.50 100.00 604.00 99.99 603.50 99.99 603.00 99.99 602.50 99.98 602.00 99.98 601.50 99.98 601.00 99.98 600.50 99.99 600.00 100.00 599.50 100.00 599.00 99.99 598.50 99.99 598.00 99.99 597.50 99.98 597.00 99.98 596.50 99.99 596.00 99.99 595.50 99.98 595.00 99.98 594.50 99.99 594.00 100.00 593.50 99.98 593.00 99.96 592.50 99.99 592.00 100.00 591.50 99.99 591.00 99.98 590.50 99.98 590.00 99.98 589.50 99.98 589.00 99.99 588.50 100.00 588.00 100.00 587.50 100.00 587.00 100.00 586.50 100.00 586.00 100.00 585.50 100.00 585.00 99.99 584.50 99.98 584.00 99.98 583.50 99.98 583.00 99.98 582.50 99.98 582.00 99.99 581.50 99.99 581.00 99.99 580.50 100.00 580.00 99.99 579.50 99.98 579.00 99.98 578.50 99.98 578.00 99.99 577.50 99.99 577.00 99.99 576.50 100.00 576.00 100.00 575.50 100.00 575.00 100.00 574.50 100.00 574.00 99.99 573.50 99.96 573.00 99.96

609.50 3.54 609.00 3.55 608.50 3.56 608.00 3.56 607.50 3.58 607.00 3.58 606.50 3.58 606.00 3.58 605.50 3.59 605.00 3.59 604.50 3.60 604.00 3.60 603.50 3.60 603.00 3.61 602.50 3.61 602.00 3.61 601.50 3.63 601.00 3.63 600.50 3.64 600.00 3.64 599.50 3.64 599.00 3.65 598.50 3.65 598.00 3.66 597.50 3.66 597.00 3.66 596.50 3.67 596.00 3.67 595.50 3.69 595.00 3.69 594.50 3.69 594.00 3.70 593.50 3.70 593.00 3.70 592.50 3.71 592.00 3.72 591.50 3.74 591.00 3.74 590.50 3.75 590.00 3.75 589.50 3.75 589.00 3.76 588.50 3.76 588.00 3.77 587.50 3.77 587.00 3.77 586.50 3.78 586.00 3.78 585.50 3.78 585.00 3.80 584.50 3.80 584.00 3.81 583.50 3.81 583.00 3.82 582.50 3.82 582.00 3.83 581.50 3.83 581.00 3.85 580.50 3.85 580.00 3.85 579.50 3.86 579.00 3.86 578.50 3.87 578.00 3.88 577.50 3.88 577.00 3.89 576.50 3.91 576.00 3.92 575.50 3.92 575.00 3.92 574.50 3.93 574.00 3.93 573.50 3.94 573.00 3.94

609.50 0.05 609.00 0.05 608.50 0.05 608.00 0.05 607.50 0.05 607.00 0.05 606.50 0.05 606.00 0.05 605.50 0.05 605.00 0.05 604.50 0.05 604.00 0.05 603.50 0.05 603.00 0.05 602.50 0.05 602.00 0.05 601.50 0.05 601.00 0.05 600.50 0.05 600.00 0.05 599.50 0.05 599.00 0.05 598.50 0.05 598.00 0.05 597.50 0.05 597.00 0.05 596.50 0.05 596.00 0.05 595.50 0.05 595.00 0.05 594.50 0.05 594.00 0.05 593.50 0.05 593.00 0.05 592.50 0.05 592.00 0.05 591.50 0.05 591.00 0.05 590.50 0.05 590.00 0.05 589.50 0.05 589.00 0.05 588.50 0.05 588.00 0.05 587.50 0.05 587.00 0.05 586.50 0.05 586.00 0.05 585.50 0.05 585.00 0.05 584.50 0.05 584.00 0.05 583.50 0.05 583.00 0.05 582.50 0.05 582.00 0.05 581.50 0.05 581.00 0.05 580.50 0.05 580.00 0.05 579.50 0.05 579.00 0.05 578.50 0.05 578.00 0.05 577.50 0.05 577.00 0.05 576.50 0.05 576.00 0.05 575.50 0.05 575.00 0.05 574.50 0.05 574.00 0.05 573.50 0.05 573.00 0.05

609.50 0.00 609.00 0.00 608.50 0.00 608.00 0.00 607.50 0.00 607.00 0.00 606.50 0.00 606.00 0.00 605.50 0.00 605.00 0.00 604.50 0.00 604.00 0.00 603.50 0.00 603.00 0.00 602.50 0.00 602.00 0.00 601.50 0.00 601.00 0.00 600.50 0.00 600.00 0.00 599.50 0.00 599.00 0.00 598.50 0.00 598.00 0.00 597.50 0.00 597.00 0.00 596.50 0.00 596.00 0.00 595.50 0.00 595.00 0.00 594.50 0.00 594.00 0.00 593.50 0.00 593.00 0.00 592.50 0.00 592.00 0.00 591.50 0.00 591.00 0.00 590.50 0.00 590.00 0.00 589.50 0.00 589.00 0.00 588.50 0.00 588.00 0.00 587.50 0.00 587.00 0.00 586.50 0.00 586.00 0.00 585.50 0.00 585.00 0.00 584.50 0.00 584.00 0.00 583.50 0.00 583.00 0.00 582.50 0.00 582.00 0.00 581.50 0.00 581.00 0.00 580.50 0.00 580.00 0.00 579.50 0.00 579.00 0.00 578.50 0.00 578.00 0.00 577.50 0.00 577.00 0.00 576.50 0.00 576.00 0.00 575.50 0.00 575.00 0.00 574.50 0.00 574.00 0.00 573.50 0.00 573.00 0.00

609.50 0.00 609.00 0.00 608.50 0.00 608.00 0.00 607.50 0.00 607.00 0.00 606.50 0.00 606.00 0.00 605.50 0.00 605.00 0.00 604.50 0.00 604.00 0.00 603.50 0.00 603.00 0.00 602.50 0.00 602.00 0.00 601.50 0.00 601.00 0.00 600.50 0.00 600.00 0.00 599.50 0.00 599.00 0.00 598.50 0.00 598.00 0.00 597.50 0.00 597.00 0.00 596.50 0.00 596.00 0.00 595.50 0.00 595.00 0.00 594.50 0.00 594.00 0.00 593.50 0.00 593.00 0.00 592.50 0.00 592.00 0.00 591.50 0.00 591.00 0.00 590.50 0.00 590.00 0.00 589.50 0.00 589.00 0.00 588.50 0.00 588.00 0.00 587.50 0.00 587.00 0.00 586.50 0.00 586.00 0.00 585.50 0.00 585.00 0.00 584.50 0.00 584.00 0.00 583.50 0.00 583.00 0.00 582.50 0.00 582.00 0.00 581.50 0.00 581.00 0.00 580.50 0.00 580.00 0.00 579.50 0.00 579.00 0.00 578.50 0.00 578.00 0.00 577.50 0.00 577.00 0.00 576.50 0.00 576.00 0.00 575.50 0.00 575.00 0.00 574.50 0.00 574.00 0.00 573.50 0.00 573.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 86: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

66

572.50 99.99 572.00 99.99 571.50 99.99 571.00 100.00 570.50 99.99 570.00 99.99 569.50 100.00 569.00 100.00 568.50 100.00 568.00 99.99 567.50 99.98 567.00 99.98 566.50 99.96 566.00 99.96 565.50 99.98 565.00 99.99 564.50 100.00 564.00 99.99 563.50 99.99 563.00 99.99 562.50 99.99 562.00 100.00 561.50 99.99 561.00 99.99 560.50 100.00 560.00 100.00 559.50 99.99 559.00 99.96 558.50 99.96 558.00 99.99 557.50 99.98 557.00 99.98 556.50 100.00 556.00 100.00 555.50 100.00 555.00 99.99 554.50 99.98 554.00 99.99 553.50 100.00 553.00 100.00 552.50 100.00 552.00 99.99 551.50 99.99 551.00 99.99 550.50 99.99 550.00 99.99 549.50 99.96 549.00 99.96 548.50 99.98 548.00 99.98 547.50 99.98 547.00 99.98 546.50 99.98 546.00 99.98 545.50 99.98 545.00 99.98 544.50 99.98 544.00 99.98 543.50 99.98 543.00 99.98 542.50 99.98 542.00 99.98 541.50 99.99 541.00 99.99 540.50 99.98 540.00 99.98 539.50 99.98 539.00 99.99 538.50 100.00 538.00 100.00 537.50 99.99 537.00 99.98 536.50 99.99 536.00 100.00

572.50 3.96 572.00 3.97 571.50 3.97 571.00 3.97 570.50 3.98 570.00 3.99 569.50 3.99 569.00 4.00 568.50 4.00 568.00 4.02 567.50 4.02 567.00 4.03 566.50 4.03 566.00 4.04 565.50 4.04 565.00 4.05 564.50 4.06 564.00 4.08 563.50 4.08 563.00 4.09 562.50 4.09 562.00 4.10 561.50 4.11 561.00 4.11 560.50 4.13 560.00 4.13 559.50 4.14 559.00 4.14 558.50 4.15 558.00 4.16 557.50 4.16 557.00 4.17 556.50 4.17 556.00 4.17 555.50 4.19 555.00 4.20 554.50 4.21 554.00 4.21 553.50 4.21 553.00 4.22 552.50 4.22 552.00 4.25 551.50 4.26 551.00 4.26 550.50 4.27 550.00 4.28 549.50 4.28 549.00 4.30 548.50 4.31 548.00 4.31 547.50 4.32 547.00 4.32 546.50 4.33 546.00 4.33 545.50 4.35 545.00 4.36 544.50 4.36 544.00 4.37 543.50 4.38 543.00 4.38 542.50 4.38 542.00 4.41 541.50 4.42 541.00 4.42 540.50 4.43 540.00 4.43 539.50 4.44 539.00 4.46 538.50 4.46 538.00 4.47 537.50 4.48 537.00 4.48 536.50 4.49 536.00 4.50

572.50 0.05 572.00 0.05 571.50 0.05 571.00 0.05 570.50 0.05 570.00 0.05 569.50 0.05 569.00 0.05 568.50 0.05 568.00 0.05 567.50 0.05 567.00 0.05 566.50 0.05 566.00 0.05 565.50 0.05 565.00 0.05 564.50 0.05 564.00 0.05 563.50 0.05 563.00 0.05 562.50 0.05 562.00 0.05 561.50 0.05 561.00 0.05 560.50 0.05 560.00 0.05 559.50 0.05 559.00 0.05 558.50 0.05 558.00 0.05 557.50 0.05 557.00 0.05 556.50 0.05 556.00 0.05 555.50 0.05 555.00 0.05 554.50 0.05 554.00 0.05 553.50 0.05 553.00 0.05 552.50 0.05 552.00 0.05 551.50 0.05 551.00 0.05 550.50 0.05 550.00 0.05 549.50 0.05 549.00 0.05 548.50 0.05 548.00 0.05 547.50 0.05 547.00 0.05 546.50 0.05 546.00 0.05 545.50 0.05 545.00 0.05 544.50 0.05 544.00 0.05 543.50 0.05 543.00 0.05 542.50 0.05 542.00 0.05 541.50 0.05 541.00 0.05 540.50 0.05 540.00 0.05 539.50 0.05 539.00 0.04 538.50 0.04 538.00 0.05 537.50 0.05 537.00 0.05 536.50 0.05 536.00 0.05

572.50 0.00 572.00 0.00 571.50 0.00 571.00 0.00 570.50 0.00 570.00 0.00 569.50 0.00 569.00 0.00 568.50 0.00 568.00 0.00 567.50 0.00 567.00 0.00 566.50 0.00 566.00 0.00 565.50 0.00 565.00 0.00 564.50 0.00 564.00 0.00 563.50 0.00 563.00 0.00 562.50 0.00 562.00 0.00 561.50 0.00 561.00 0.00 560.50 0.00 560.00 0.00 559.50 0.00 559.00 0.00 558.50 0.00 558.00 0.00 557.50 0.00 557.00 0.00 556.50 0.00 556.00 0.00 555.50 0.00 555.00 0.00 554.50 0.00 554.00 0.00 553.50 0.00 553.00 0.00 552.50 0.00 552.00 0.00 551.50 0.00 551.00 0.00 550.50 0.00 550.00 0.00 549.50 0.00 549.00 0.00 548.50 0.00 548.00 0.00 547.50 0.00 547.00 0.00 546.50 0.00 546.00 0.00 545.50 0.00 545.00 0.00 544.50 0.00 544.00 0.00 543.50 0.00 543.00 0.00 542.50 0.00 542.00 0.00 541.50 0.00 541.00 0.00 540.50 0.00 540.00 0.00 539.50 0.00 539.00 0.00 538.50 0.00 538.00 0.00 537.50 0.00 537.00 0.00 536.50 0.00 536.00 0.00

572.50 0.00 572.00 0.00 571.50 0.00 571.00 0.00 570.50 0.00 570.00 0.00 569.50 0.00 569.00 0.00 568.50 0.00 568.00 0.00 567.50 0.00 567.00 0.00 566.50 0.00 566.00 0.00 565.50 0.00 565.00 0.00 564.50 0.00 564.00 0.00 563.50 0.00 563.00 0.00 562.50 0.00 562.00 0.00 561.50 0.00 561.00 0.00 560.50 0.00 560.00 0.00 559.50 0.00 559.00 0.00 558.50 0.00 558.00 0.00 557.50 0.00 557.00 0.00 556.50 0.00 556.00 0.00 555.50 0.00 555.00 0.00 554.50 0.00 554.00 0.00 553.50 0.00 553.00 0.00 552.50 0.00 552.00 0.00 551.50 0.00 551.00 0.00 550.50 0.00 550.00 0.00 549.50 0.00 549.00 0.00 548.50 0.00 548.00 0.00 547.50 0.00 547.00 0.00 546.50 0.00 546.00 0.00 545.50 0.00 545.00 0.00 544.50 0.00 544.00 0.00 543.50 0.00 543.00 0.00 542.50 0.00 542.00 0.00 541.50 0.00 541.00 0.00 540.50 0.00 540.00 0.00 539.50 0.00 539.00 0.00 538.50 0.00 538.00 0.00 537.50 0.00 537.00 0.00 536.50 0.00 536.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 87: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

67

535.50 99.99 535.00 99.96 534.50 99.98 534.00 100.00 533.50 100.00 533.00 100.00 532.50 99.99 532.00 99.98 531.50 99.98 531.00 99.98 530.50 99.98 530.00 99.99 529.50 100.00 529.00 100.00 528.50 100.00 528.00 100.00 527.50 99.99 527.00 99.98 526.50 99.96 526.00 99.96 525.50 99.98 525.00 100.00 524.50 100.00 524.00 100.00 523.50 100.00 523.00 99.99 522.50 99.99 522.00 100.00 521.50 100.00 521.00 100.00 520.50 100.00 520.00 99.99 519.50 99.98 519.00 99.98 518.50 99.99 518.00 99.99 517.50 99.98 517.00 99.98 516.50 99.99 516.00 100.00 515.50 100.00 515.00 99.99 514.50 99.98 514.00 99.99 513.50 100.00 513.00 100.00 512.50 100.00 512.00 100.00 511.50 100.00 511.00 99.99 510.50 99.99 510.00 99.99 509.50 99.98 509.00 99.98 508.50 99.98 508.00 99.99 507.50 100.00 507.00 100.00 506.50 99.99 506.00 99.98 505.50 99.98 505.00 99.98 504.50 99.99 504.00 99.99 503.50 99.98 503.00 99.98 502.50 99.98 502.00 99.98 501.50 99.96 501.00 99.98 500.50 99.99 500.00 99.99 499.50 99.99 499.00 99.98

535.50 4.50 535.00 4.52 534.50 4.53 534.00 4.53 533.50 4.54 533.00 4.55 532.50 4.55 532.00 4.57 531.50 4.57 531.00 4.58 530.50 4.59 530.00 4.60 529.50 4.60 529.00 4.61 528.50 4.63 528.00 4.64 527.50 4.65 527.00 4.66 526.50 4.66 526.00 4.68 525.50 4.68 525.00 4.69 524.50 4.70 524.00 4.70 523.50 4.71 523.00 4.72 522.50 4.74 522.00 4.74 521.50 4.75 521.00 4.76 520.50 4.77 520.00 4.80 519.50 4.80 519.00 4.81 518.50 4.81 518.00 4.82 517.50 4.83 517.00 4.85 516.50 4.85 516.00 4.86 515.50 4.87 515.00 4.88 514.50 4.90 514.00 4.91 513.50 4.91 513.00 4.93 512.50 4.94 512.00 4.96 511.50 4.96 511.00 4.97 510.50 4.98 510.00 4.99 509.50 5.00 509.00 5.02 508.50 5.03 508.00 5.03 507.50 5.04 507.00 5.05 506.50 5.07 506.00 5.07 505.50 5.09 505.00 5.10 504.50 5.10 504.00 5.11 503.50 5.13 503.00 5.14 502.50 5.15 502.00 5.16 501.50 5.18 501.00 5.19 500.50 5.20 500.00 5.21 499.50 5.22 499.00 5.24

535.50 0.05 535.00 0.05 534.50 0.05 534.00 0.05 533.50 0.04 533.00 0.04 532.50 0.05 532.00 0.05 531.50 0.05 531.00 0.05 530.50 0.05 530.00 0.05 529.50 0.05 529.00 0.05 528.50 0.05 528.00 0.05 527.50 0.05 527.00 0.05 526.50 0.05 526.00 0.05 525.50 0.05 525.00 0.05 524.50 0.05 524.00 0.05 523.50 0.05 523.00 0.05 522.50 0.05 522.00 0.05 521.50 0.05 521.00 0.05 520.50 0.05 520.00 0.05 519.50 0.05 519.00 0.05 518.50 0.05 518.00 0.05 517.50 0.05 517.00 0.05 516.50 0.05 516.00 0.05 515.50 0.05 515.00 0.05 514.50 0.05 514.00 0.05 513.50 0.05 513.00 0.05 512.50 0.05 512.00 0.05 511.50 0.05 511.00 0.05 510.50 0.05 510.00 0.05 509.50 0.05 509.00 0.05 508.50 0.05 508.00 0.05 507.50 0.05 507.00 0.05 506.50 0.06 506.00 0.05 505.50 0.05 505.00 0.05 504.50 0.05 504.00 0.05 503.50 0.05 503.00 0.05 502.50 0.05 502.00 0.05 501.50 0.05 501.00 0.06 500.50 0.05 500.00 0.05 499.50 0.05 499.00 0.05

535.50 0.00 535.00 0.00 534.50 0.00 534.00 0.00 533.50 0.00 533.00 0.00 532.50 0.00 532.00 0.00 531.50 0.00 531.00 0.00 530.50 0.00 530.00 0.00 529.50 0.00 529.00 0.00 528.50 0.00 528.00 0.00 527.50 0.00 527.00 0.00 526.50 0.00 526.00 0.00 525.50 0.00 525.00 0.00 524.50 0.00 524.00 0.00 523.50 0.00 523.00 0.00 522.50 0.00 522.00 0.00 521.50 0.00 521.00 0.00 520.50 0.00 520.00 0.00 519.50 0.00 519.00 0.00 518.50 0.00 518.00 0.00 517.50 0.00 517.00 0.00 516.50 0.00 516.00 0.00 515.50 0.00 515.00 0.00 514.50 0.00 514.00 0.00 513.50 0.00 513.00 0.00 512.50 0.00 512.00 0.00 511.50 0.00 511.00 0.00 510.50 0.00 510.00 0.00 509.50 0.00 509.00 0.00 508.50 0.00 508.00 0.00 507.50 0.00 507.00 0.00 506.50 0.00 506.00 0.00 505.50 0.00 505.00 0.00 504.50 0.00 504.00 0.00 503.50 0.00 503.00 0.00 502.50 0.00 502.00 0.00 501.50 0.00 501.00 0.00 500.50 0.00 500.00 0.00 499.50 0.00 499.00 0.00

535.50 0.00 535.00 0.00 534.50 0.00 534.00 0.00 533.50 0.00 533.00 0.00 532.50 0.00 532.00 0.00 531.50 0.00 531.00 0.00 530.50 0.00 530.00 0.00 529.50 0.00 529.00 0.00 528.50 0.00 528.00 0.00 527.50 0.00 527.00 0.00 526.50 0.00 526.00 0.00 525.50 0.00 525.00 0.00 524.50 0.00 524.00 0.00 523.50 0.00 523.00 0.00 522.50 0.00 522.00 0.00 521.50 0.00 521.00 0.00 520.50 0.00 520.00 0.00 519.50 0.00 519.00 0.00 518.50 0.00 518.00 0.00 517.50 0.00 517.00 0.00 516.50 0.00 516.00 0.00 515.50 0.00 515.00 0.00 514.50 0.00 514.00 0.00 513.50 0.00 513.00 0.00 512.50 0.00 512.00 0.00 511.50 0.00 511.00 0.00 510.50 0.00 510.00 0.00 509.50 0.00 509.00 0.00 508.50 0.00 508.00 0.00 507.50 0.00 507.00 0.00 506.50 0.00 506.00 0.00 505.50 0.00 505.00 0.00 504.50 0.00 504.00 0.00 503.50 0.00 503.00 0.00 502.50 0.00 502.00 0.00 501.50 0.00 501.00 0.00 500.50 0.00 500.00 0.00 499.50 0.00 499.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 88: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

68

498.50 99.98 498.00 99.99 497.50 100.00 497.00 100.00 496.50 99.99 496.00 99.96 495.50 99.98 495.00 100.00 494.50 100.00 494.00 100.00 493.50 100.00 493.00 100.00 492.50 100.00 492.00 100.00 491.50 99.99 491.00 99.99 490.50 100.00 490.00 100.00 489.50 99.99 489.00 99.98 488.50 99.98 488.00 99.98 487.50 99.99 487.00 99.99 486.50 99.99 486.00 100.00 485.50 100.00 485.00 99.99 484.50 99.96 484.00 99.96 483.50 99.96 483.00 99.99 482.50 99.99 482.00 99.99 481.50 99.99 481.00 99.98 480.50 99.99 480.00 99.99 479.50 99.98 479.00 99.98 478.50 99.99 478.00 100.00 477.50 100.00 477.00 100.00 476.50 100.00 476.00 100.00 475.50 100.00 475.00 100.00 474.50 100.00 474.00 100.00 473.50 99.98 473.00 99.96 472.50 99.98 472.00 99.99 471.50 99.98 471.00 99.99 470.50 100.00 470.00 100.00 469.50 99.99 469.00 99.99 468.50 100.00 468.00 99.99 467.50 99.99 467.00 99.99 466.50 99.98 466.00 99.98 465.50 99.93 465.00 99.83 464.50 99.88 464.00 99.98 463.50 99.99 463.00 100.00 462.50 99.99 462.00 99.96

498.50 5.25 498.00 5.26 497.50 5.27 497.00 5.29 496.50 5.30 496.00 5.30 495.50 5.31 495.00 5.32 494.50 5.33 494.00 5.35 493.50 5.36 493.00 5.37 492.50 5.38 492.00 5.40 491.50 5.41 491.00 5.42 490.50 5.43 490.00 5.44 489.50 5.46 489.00 5.47 488.50 5.48 488.00 5.49 487.50 5.52 487.00 5.53 486.50 5.54 486.00 5.55 485.50 5.57 485.00 5.58 484.50 5.59 484.00 5.59 483.50 5.60 483.00 5.63 482.50 5.64 482.00 5.65 481.50 5.66 481.00 5.66 480.50 5.68 480.00 5.68 479.50 5.69 479.00 5.70 478.50 5.71 478.00 5.73 477.50 5.74 477.00 5.76 476.50 5.77 476.00 5.77 475.50 5.79 475.00 5.81 474.50 5.82 474.00 5.83 473.50 5.85 473.00 5.86 472.50 5.87 472.00 5.90 471.50 5.91 471.00 5.91 470.50 5.93 470.00 5.94 469.50 5.96 469.00 5.97 468.50 5.98 468.00 5.99 467.50 6.01 467.00 6.02 466.50 6.03 466.00 6.04 465.50 6.07 465.00 6.08 464.50 6.09 464.00 6.10 463.50 6.10 463.00 6.12 462.50 6.14 462.00 6.15

498.50 0.05 498.00 0.05 497.50 0.05 497.00 0.05 496.50 0.05 496.00 0.05 495.50 0.05 495.00 0.05 494.50 0.05 494.00 0.05 493.50 0.05 493.00 0.05 492.50 0.05 492.00 0.05 491.50 0.05 491.00 0.05 490.50 0.05 490.00 0.05 489.50 0.05 489.00 0.05 488.50 0.05 488.00 0.05 487.50 0.05 487.00 0.05 486.50 0.05 486.00 0.05 485.50 0.05 485.00 0.05 484.50 0.05 484.00 0.05 483.50 0.05 483.00 0.05 482.50 0.05 482.00 0.05 481.50 0.05 481.00 0.05 480.50 0.05 480.00 0.05 479.50 0.05 479.00 0.05 478.50 0.05 478.00 0.05 477.50 0.05 477.00 0.05 476.50 0.05 476.00 0.05 475.50 0.05 475.00 0.05 474.50 0.05 474.00 0.05 473.50 0.05 473.00 0.05 472.50 0.05 472.00 0.05 471.50 0.05 471.00 0.05 470.50 0.05 470.00 0.06 469.50 0.06 469.00 0.06 468.50 0.06 468.00 0.06 467.50 0.05 467.00 0.05 466.50 0.05 466.00 0.05 465.50 0.05 465.00 0.05 464.50 0.05 464.00 0.05 463.50 0.05 463.00 0.05 462.50 0.05 462.00 0.05

498.50 0.00 498.00 0.00 497.50 0.00 497.00 0.00 496.50 0.00 496.00 0.00 495.50 0.00 495.00 0.00 494.50 0.00 494.00 0.00 493.50 0.00 493.00 0.00 492.50 0.00 492.00 0.00 491.50 0.00 491.00 0.00 490.50 0.00 490.00 0.00 489.50 0.00 489.00 0.00 488.50 0.00 488.00 0.00 487.50 0.00 487.00 0.00 486.50 0.00 486.00 0.00 485.50 0.00 485.00 0.00 484.50 0.00 484.00 0.00 483.50 0.00 483.00 0.00 482.50 0.00 482.00 0.00 481.50 0.00 481.00 0.00 480.50 0.00 480.00 0.00 479.50 0.00 479.00 0.00 478.50 0.00 478.00 0.00 477.50 0.00 477.00 0.00 476.50 0.00 476.00 0.00 475.50 0.00 475.00 0.00 474.50 0.00 474.00 0.00 473.50 0.00 473.00 0.00 472.50 0.00 472.00 0.00 471.50 0.00 471.00 0.00 470.50 0.00 470.00 0.00 469.50 0.00 469.00 0.00 468.50 0.00 468.00 0.00 467.50 0.00 467.00 0.00 466.50 0.00 466.00 0.00 465.50 0.00 465.00 0.00 464.50 0.00 464.00 0.00 463.50 0.00 463.00 0.00 462.50 0.00 462.00 0.00

498.50 0.00 498.00 0.00 497.50 0.00 497.00 0.00 496.50 0.00 496.00 0.00 495.50 0.00 495.00 0.00 494.50 0.00 494.00 0.00 493.50 0.00 493.00 0.00 492.50 0.00 492.00 0.00 491.50 0.00 491.00 0.00 490.50 0.00 490.00 0.00 489.50 0.00 489.00 0.00 488.50 0.00 488.00 0.00 487.50 0.00 487.00 0.00 486.50 0.00 486.00 0.00 485.50 0.00 485.00 0.00 484.50 0.00 484.00 0.00 483.50 0.00 483.00 0.00 482.50 0.00 482.00 0.00 481.50 0.00 481.00 0.00 480.50 0.00 480.00 0.00 479.50 0.00 479.00 0.00 478.50 0.00 478.00 0.00 477.50 0.00 477.00 0.00 476.50 0.00 476.00 0.00 475.50 0.00 475.00 0.00 474.50 0.00 474.00 0.00 473.50 0.00 473.00 0.00 472.50 0.00 472.00 0.00 471.50 0.00 471.00 0.00 470.50 0.00 470.00 0.00 469.50 0.00 469.00 0.00 468.50 0.00 468.00 0.00 467.50 0.00 467.00 0.00 466.50 0.00 466.00 0.00 465.50 0.00 465.00 0.00 464.50 0.00 464.00 0.00 463.50 0.00 463.00 0.00 462.50 0.00 462.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 89: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

69

461.50 99.96 461.00 99.98 460.50 99.99 460.00 100.00 459.50 100.00 459.00 99.99 458.50 99.99 458.00 99.98 457.50 99.96 457.00 99.99 456.50 100.00 456.00 100.00 455.50 99.99 455.00 99.99 454.50 99.99 454.00 99.98 453.50 99.98 453.00 99.98 452.50 99.99 452.00 99.99 451.50 99.96 451.00 99.96 450.50 99.98 450.00 99.98 449.50 99.96 449.00 99.96 448.50 99.98 448.00 99.99 447.50 100.00 447.00 99.99 446.50 99.99 446.00 100.00 445.50 99.99 445.00 99.98 444.50 99.99 444.00 100.00 443.50 99.99 443.00 99.99 442.50 100.00 442.00 100.00 441.50 100.00 441.00 100.00 440.50 100.00 440.00 99.98 439.50 99.96 439.00 99.96 438.50 99.98 438.00 99.99 437.50 99.98 437.00 99.96 436.50 99.99 436.00 99.99 435.50 99.98 435.00 99.96 434.50 99.96 434.00 99.98 433.50 99.99 433.00 99.99 432.50 99.98 432.00 99.98 431.50 99.98 431.00 99.98 430.50 99.98 430.00 99.99 429.50 99.99 429.00 99.98 428.50 99.98 428.00 99.98 427.50 99.98 427.00 99.98 426.50 99.98 426.00 99.99 425.50 99.99 425.00 99.98

461.50 6.18 461.00 6.19 460.50 6.20 460.00 6.21 459.50 6.24 459.00 6.25 458.50 6.26 458.00 6.27 457.50 6.30 457.00 6.31 456.50 6.34 456.00 6.35 455.50 6.36 455.00 6.37 454.50 6.40 454.00 6.42 453.50 6.42 453.00 6.45 452.50 6.47 452.00 6.48 451.50 6.49 451.00 6.51 450.50 6.53 450.00 6.54 449.50 6.56 449.00 6.58 448.50 6.59 448.00 6.60 447.50 6.62 447.00 6.64 446.50 6.65 446.00 6.67 445.50 6.69 445.00 6.70 444.50 6.71 444.00 6.74 443.50 6.75 443.00 6.77 442.50 6.79 442.00 6.80 441.50 6.81 441.00 6.84 440.50 6.85 440.00 6.86 439.50 6.88 439.00 6.90 438.50 6.91 438.00 6.93 437.50 6.95 437.00 6.96 436.50 6.97 436.00 6.99 435.50 7.02 435.00 7.03 434.50 7.04 434.00 7.06 433.50 7.07 433.00 7.09 432.50 7.10 432.00 7.12 431.50 7.14 431.00 7.17 430.50 7.18 430.00 7.19 429.50 7.21 429.00 7.23 428.50 7.24 428.00 7.26 427.50 7.28 427.00 7.30 426.50 7.31 426.00 7.34 425.50 7.35 425.00 7.36

461.50 0.05 461.00 0.05 460.50 0.05 460.00 0.05 459.50 0.05 459.00 0.05 458.50 0.05 458.00 0.05 457.50 0.05 457.00 0.05 456.50 0.05 456.00 0.05 455.50 0.05 455.00 0.05 454.50 0.05 454.00 0.05 453.50 0.05 453.00 0.05 452.50 0.05 452.00 0.05 451.50 0.05 451.00 0.05 450.50 0.05 450.00 0.05 449.50 0.04 449.00 0.05 448.50 0.05 448.00 0.05 447.50 0.05 447.00 0.04 446.50 0.04 446.00 0.05 445.50 0.05 445.00 0.05 444.50 0.04 444.00 0.04 443.50 0.05 443.00 0.05 442.50 0.05 442.00 0.05 441.50 0.05 441.00 0.05 440.50 0.04 440.00 0.04 439.50 0.04 439.00 0.04 438.50 0.04 438.00 0.04 437.50 0.05 437.00 0.05 436.50 0.04 436.00 0.04 435.50 0.04 435.00 0.05 434.50 0.04 434.00 0.04 433.50 0.04 433.00 0.04 432.50 0.04 432.00 0.05 431.50 0.04 431.00 0.04 430.50 0.04 430.00 0.04 429.50 0.04 429.00 0.04 428.50 0.04 428.00 0.04 427.50 0.04 427.00 0.04 426.50 0.04 426.00 0.04 425.50 0.04 425.00 0.05

461.50 0.00 461.00 0.00 460.50 0.00 460.00 0.00 459.50 0.00 459.00 0.00 458.50 0.00 458.00 0.00 457.50 0.00 457.00 0.00 456.50 0.00 456.00 0.00 455.50 0.00 455.00 0.00 454.50 0.00 454.00 0.00 453.50 0.00 453.00 0.00 452.50 0.00 452.00 0.00 451.50 0.00 451.00 0.00 450.50 0.00 450.00 0.00 449.50 0.00 449.00 0.00 448.50 0.00 448.00 0.00 447.50 0.00 447.00 0.00 446.50 0.00 446.00 0.00 445.50 0.00 445.00 0.00 444.50 0.00 444.00 0.00 443.50 0.00 443.00 0.00 442.50 0.00 442.00 0.00 441.50 0.00 441.00 0.00 440.50 0.00 440.00 0.00 439.50 0.00 439.00 0.00 438.50 0.00 438.00 0.00 437.50 0.00 437.00 0.00 436.50 0.00 436.00 0.00 435.50 0.00 435.00 0.00 434.50 0.00 434.00 0.00 433.50 0.00 433.00 0.00 432.50 0.00 432.00 0.00 431.50 0.00 431.00 0.00 430.50 0.00 430.00 0.00 429.50 0.00 429.00 0.00 428.50 0.00 428.00 0.00 427.50 0.00 427.00 0.00 426.50 0.00 426.00 0.00 425.50 0.00 425.00 0.00

461.50 0.00 461.00 0.00 460.50 0.00 460.00 0.00 459.50 0.00 459.00 0.00 458.50 0.00 458.00 0.00 457.50 0.00 457.00 0.00 456.50 0.00 456.00 0.00 455.50 0.00 455.00 0.00 454.50 0.00 454.00 0.00 453.50 0.00 453.00 0.00 452.50 0.00 452.00 0.00 451.50 0.00 451.00 0.00 450.50 0.00 450.00 0.00 449.50 0.00 449.00 0.00 448.50 0.00 448.00 0.00 447.50 0.00 447.00 0.00 446.50 0.00 446.00 0.00 445.50 0.00 445.00 0.00 444.50 0.00 444.00 0.00 443.50 0.00 443.00 0.00 442.50 0.00 442.00 0.00 441.50 0.00 441.00 0.00 440.50 0.00 440.00 0.00 439.50 0.00 439.00 0.00 438.50 0.00 438.00 0.00 437.50 0.00 437.00 0.00 436.50 0.00 436.00 0.00 435.50 0.00 435.00 0.00 434.50 0.00 434.00 0.00 433.50 0.00 433.00 0.00 432.50 0.00 432.00 0.00 431.50 0.00 431.00 0.00 430.50 0.00 430.00 0.00 429.50 0.00 429.00 0.00 428.50 0.00 428.00 0.00 427.50 0.00 427.00 0.00 426.50 0.00 426.00 0.00 425.50 0.00 425.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 90: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

70

424.50 99.99 424.00 100.00 423.50 99.99 423.00 99.98 422.50 99.99 422.00 100.00 421.50 99.98 421.00 99.96 420.50 99.96 420.00 99.98 419.50 99.96 419.00 99.96 418.50 99.96 418.00 99.98 417.50 99.98 417.00 99.98 416.50 99.99 416.00 100.00 415.50 99.99 415.00 99.96 414.50 99.98 414.00 99.99 413.50 99.99 413.00 99.99 412.50 99.99 412.00 99.99 411.50 99.98 411.00 99.99 410.50 99.99 410.00 99.98 409.50 99.98 409.00 99.98 408.50 99.99 408.00 99.99 407.50 99.96 407.00 99.96 406.50 99.98 406.00 99.98 405.50 99.99 405.00 99.98 404.50 99.96 404.00 99.98 403.50 99.98 403.00 99.98 402.50 99.98 402.00 99.99 401.50 100.00 401.00 100.00 400.50 100.00 400.00 99.98

424.50 7.37 424.00 7.40 423.50 7.41 423.00 7.43 422.50 7.45 422.00 7.46 421.50 7.48 421.00 7.50 420.50 7.51 420.00 7.53 419.50 7.56 419.00 7.57 418.50 7.59 418.00 7.60 417.50 7.62 417.00 7.64 416.50 7.67 416.00 7.69 415.50 7.70 415.00 7.71 414.50 7.74 414.00 7.76 413.50 7.78 413.00 7.79 412.50 7.81 412.00 7.84 411.50 7.85 411.00 7.86 410.50 7.87 410.00 7.90 409.50 7.92 409.00 7.93 408.50 7.93 408.00 7.96 407.50 7.98 407.00 8.00 406.50 8.02 406.00 8.03 405.50 8.04 405.00 8.06 404.50 8.07 404.00 8.09 403.50 8.12 403.00 8.13 402.50 8.14 402.00 8.15 401.50 8.18 401.00 8.22 400.50 8.23 400.00 8.23

424.50 0.04 424.00 0.04 423.50 0.04 423.00 0.04 422.50 0.04 422.00 0.04 421.50 0.04 421.00 0.04 420.50 0.04 420.00 0.04 419.50 0.05 419.00 0.04 418.50 0.04 418.00 0.05 417.50 0.04 417.00 0.04 416.50 0.04 416.00 0.04 415.50 0.04 415.00 0.04 414.50 0.04 414.00 0.05 413.50 0.04 413.00 0.04 412.50 0.04 412.00 0.05 411.50 0.04 411.00 0.04 410.50 0.04 410.00 0.04 409.50 0.04 409.00 0.04 408.50 0.04 408.00 0.04 407.50 0.04 407.00 0.04 406.50 0.04 406.00 0.04 405.50 0.04 405.00 0.04 404.50 0.04 404.00 0.04 403.50 0.04 403.00 0.02 402.50 0.02 402.00 0.02 401.50 0.04 401.00 0.02 400.50 0.02 400.00 0.02

424.50 0.00 424.00 0.00 423.50 0.00 423.00 0.00 422.50 0.00 422.00 0.00 421.50 0.00 421.00 0.00 420.50 0.00 420.00 0.00 419.50 0.00 419.00 0.00 418.50 0.00 418.00 0.00 417.50 0.00 417.00 0.00 416.50 0.00 416.00 0.00 415.50 0.00 415.00 0.00 414.50 0.00 414.00 0.00 413.50 0.00 413.00 0.00 412.50 0.00 412.00 0.00 411.50 0.00 411.00 0.00 410.50 0.00 410.00 0.00 409.50 0.00 409.00 0.00 408.50 0.00 408.00 0.00 407.50 0.00 407.00 0.00 406.50 0.00 406.00 0.00 405.50 0.00 405.00 0.00 404.50 0.00 404.00 0.00 403.50 0.00 403.00 0.00 402.50 0.00 402.00 0.00 401.50 0.00 401.00 0.00 400.50 0.00 400.00 0.00

424.50 0.00 424.00 0.00 423.50 0.00 423.00 0.00 422.50 0.00 422.00 0.00 421.50 0.00 421.00 0.00 420.50 0.00 420.00 0.00 419.50 0.00 419.00 0.00 418.50 0.00 418.00 0.00 417.50 0.00 417.00 0.00 416.50 0.00 416.00 0.00 415.50 0.00 415.00 0.00 414.50 0.00 414.00 0.00 413.50 0.00 413.00 0.00 412.50 0.00 412.00 0.00 411.50 0.00 411.00 0.00 410.50 0.00 410.00 0.00 409.50 0.00 409.00 0.00 408.50 0.00 408.00 0.00 407.50 0.00 407.00 0.00 406.50 0.00 406.00 0.00 405.50 0.00 405.00 0.00 404.50 0.00 404.00 0.00 403.50 0.00 403.00 0.00 402.50 0.00 402.00 0.00 401.50 0.00 401.00 0.00 400.50 0.00 400.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 91: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

LAMPIRAN II

DATA TRANSMITANSI

71

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 92: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

72

File Name: STD%T Created: 12:34 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: T% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) T% 900.00 100.00 899.50 99.99 899.00 100.00 898.50 100.00 898.00 100.00 897.50 100.00 897.00 100.00 896.50 100.00 896.00 100.00 895.50 100.00 895.00 100.00 894.50 100.00 894.00 100.00 893.50 100.00 893.00 100.00 892.50 100.00 892.00 100.00 891.50 100.00 891.00 100.00 890.50 99.99 890.00 99.99 889.50 100.00 889.00 99.99 888.50 99.99 888.00 100.00 887.50 100.00 887.00 100.00 886.50 100.00 886.00 99.99 885.50 99.99 885.00 100.00 884.50 100.00 884.00 100.00 883.50 99.99 883.00 99.99 882.50 100.00 882.00 100.00 881.50 100.00 881.00 99.99 880.50 99.99 880.00 100.00 879.50 100.00 879.00 99.99 878.50 99.99 878.00 99.99 877.50 99.99 877.00 100.00 876.50 100.00 876.00 100.00 875.50 99.99 875.00 99.99 874.50 100.00 874.00 100.00 873.50 100.00 873.00 100.00 872.50 100.00 872.00 100.00 871.50 100.00 871.00 99.99 870.50 99.99 870.00 99.99 869.50 100.00

File Name: %TCUP1 Created: 12:43 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: T% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) T% 900.00 3.31 899.50 3.31 899.00 3.31 898.50 3.31 898.00 3.31 897.50 3.32 897.00 3.32 896.50 3.32 896.00 3.32 895.50 3.33 895.00 3.33 894.50 3.33 894.00 3.33 893.50 3.33 893.00 3.33 892.50 3.33 892.00 3.33 891.50 3.34 891.00 3.34 890.50 3.34 890.00 3.34 889.50 3.36 889.00 3.36 888.50 3.34 888.00 3.34 887.50 3.36 887.00 3.36 886.50 3.36 886.00 3.37 885.50 3.37 885.00 3.37 884.50 3.37 884.00 3.37 883.50 3.37 883.00 3.37 882.50 3.37 882.00 3.37 881.50 3.37 881.00 3.38 880.50 3.38 880.00 3.38 879.50 3.38 879.00 3.38 878.50 3.39 878.00 3.38 877.50 3.38 877.00 3.38 876.50 3.39 876.00 3.39 875.50 3.39 875.00 3.39 874.50 3.41 874.00 3.41 873.50 3.41 873.00 3.39 872.50 3.39 872.00 3.41 871.50 3.41 871.00 3.41 870.50 3.41 870.00 3.41 869.50 3.42

File Name: %TCUP2 Created: 12:46 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: T% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) T% 900.00 0.04 899.50 0.04 899.00 0.04 898.50 0.04 898.00 0.04 897.50 0.04 897.00 0.04 896.50 0.04 896.00 0.04 895.50 0.04 895.00 0.04 894.50 0.04 894.00 0.04 893.50 0.04 893.00 0.04 892.50 0.04 892.00 0.04 891.50 0.04 891.00 0.04 890.50 0.04 890.00 0.04 889.50 0.04 889.00 0.04 888.50 0.04 888.00 0.04 887.50 0.04 887.00 0.04 886.50 0.04 886.00 0.04 885.50 0.04 885.00 0.04 884.50 0.04 884.00 0.04 883.50 0.04 883.00 0.04 882.50 0.04 882.00 0.04 881.50 0.04 881.00 0.04 880.50 0.04 880.00 0.04 879.50 0.04 879.00 0.04 878.50 0.04 878.00 0.04 877.50 0.04 877.00 0.04 876.50 0.04 876.00 0.04 875.50 0.04 875.00 0.04 874.50 0.04 874.00 0.04 873.50 0.04 873.00 0.04 872.50 0.04 872.00 0.04 871.50 0.04 871.00 0.04 870.50 0.04 870.00 0.04 869.50 0.04

File Name: %TCUP3 Created: 12:50 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: T% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) T% 900.00 0.00 899.50 0.00 899.00 0.00 898.50 0.00 898.00 0.00 897.50 0.00 897.00 0.00 896.50 0.00 896.00 0.00 895.50 0.00 895.00 0.00 894.50 0.00 894.00 0.00 893.50 0.00 893.00 0.00 892.50 0.00 892.00 0.00 891.50 0.00 891.00 0.00 890.50 0.00 890.00 0.00 889.50 0.00 889.00 0.00 888.50 0.00 888.00 0.00 887.50 0.00 887.00 0.00 886.50 0.00 886.00 0.00 885.50 0.00 885.00 0.00 884.50 0.00 884.00 0.00 883.50 0.00 883.00 0.00 882.50 0.00 882.00 0.00 881.50 0.00 881.00 0.00 880.50 0.00 880.00 0.00 879.50 0.00 879.00 0.00 878.50 0.00 878.00 0.00 877.50 0.00 877.00 0.00 876.50 0.00 876.00 0.00 875.50 0.00 875.00 0.00 874.50 0.00 874.00 0.00 873.50 0.00 873.00 0.00 872.50 0.00 872.00 0.00 871.50 0.00 871.00 0.00 870.50 0.00 870.00 0.00 869.50 0.00

File Name: %TCUP4 Created: 12:54 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: T% Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) T% 900.00 0.00 899.50 0.00 899.00 0.00 898.50 0.00 898.00 0.00 897.50 0.00 897.00 0.00 896.50 0.00 896.00 0.00 895.50 0.00 895.00 0.00 894.50 0.00 894.00 0.00 893.50 0.00 893.00 0.00 892.50 0.00 892.00 0.00 891.50 0.00 891.00 0.00 890.50 0.00 890.00 0.00 889.50 0.00 889.00 0.00 888.50 0.00 888.00 0.00 887.50 0.00 887.00 0.00 886.50 0.00 886.00 0.00 885.50 0.00 885.00 0.00 884.50 0.00 884.00 0.00 883.50 0.00 883.00 0.00 882.50 0.00 882.00 0.00 881.50 0.00 881.00 0.00 880.50 0.00 880.00 0.00 879.50 0.00 879.00 0.00 878.50 0.00 878.00 0.00 877.50 0.00 877.00 0.00 876.50 0.00 876.00 0.00 875.50 0.00 875.00 0.00 874.50 0.00 874.00 0.00 873.50 0.00 873.00 0.00 872.50 0.00 872.00 0.00 871.50 0.00 871.00 0.00 870.50 0.00 870.00 0.00 869.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 93: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

73

869.00 100.00 868.50 100.00 868.00 100.00 867.50 100.00 867.00 100.00 866.50 100.00 866.00 100.00 865.50 100.00 865.00 100.00 864.50 100.00 864.00 100.00 863.50 100.00 863.00 100.00 862.50 99.99 862.00 99.99 861.50 99.99 861.00 99.99 860.50 99.99 860.00 99.99 859.50 100.00 859.00 100.00 858.50 100.00 858.00 100.00 857.50 100.00 857.00 100.00 856.50 99.99 856.00 99.99 855.50 100.00 855.00 100.00 854.50 100.00 854.00 100.00 853.50 100.00 853.00 100.00 852.50 100.00 852.00 99.99 851.50 99.99 851.00 99.99 850.50 99.99 850.00 100.00 849.50 100.00 849.00 100.00 848.50 100.00 848.00 100.00 847.50 100.00 847.00 100.00 846.50 100.00 846.00 100.00 845.50 100.00 845.00 100.00 844.50 100.00 844.00 100.00 843.50 100.00 843.00 100.00 842.50 100.00 842.00 100.00 841.50 100.00 841.00 100.00 840.50 100.00 840.00 100.00 839.50 100.00 839.00 100.00 838.50 99.99 838.00 99.99 837.50 100.00 837.00 100.00 836.50 100.00 836.00 100.00 835.50 100.00 835.00 100.00 834.50 100.00 834.00 100.00 833.50 99.99 833.00 99.99

869.00 3.42 868.50 3.42 868.00 3.42 867.50 3.41 867.00 3.41 866.50 3.42 866.00 3.42 865.50 3.42 865.00 3.42 864.50 3.42 864.00 3.43 863.50 3.43 863.00 3.43 862.50 3.43 862.00 3.42 861.50 3.42 861.00 3.42 860.50 3.43 860.00 3.43 859.50 3.43 859.00 3.43 858.50 3.43 858.00 3.43 857.50 3.43 857.00 3.43 856.50 3.43 856.00 3.44 855.50 3.44 855.00 3.43 854.50 3.43 854.00 3.43 853.50 3.43 853.00 3.43 852.50 3.43 852.00 3.43 851.50 3.43 851.00 3.43 850.50 3.43 850.00 3.43 849.50 3.43 849.00 3.43 848.50 3.43 848.00 3.43 847.50 3.43 847.00 3.43 846.50 3.43 846.00 3.43 845.50 3.43 845.00 3.43 844.50 3.43 844.00 3.43 843.50 3.43 843.00 3.43 842.50 3.42 842.00 3.42 841.50 3.42 841.00 3.42 840.50 3.42 840.00 3.42 839.50 3.42 839.00 3.42 838.50 3.42 838.00 3.42 837.50 3.42 837.00 3.42 836.50 3.42 836.00 3.42 835.50 3.42 835.00 3.42 834.50 3.42 834.00 3.41 833.50 3.41 833.00 3.41

869.00 0.04 868.50 0.04 868.00 0.04 867.50 0.04 867.00 0.04 866.50 0.04 866.00 0.04 865.50 0.04 865.00 0.04 864.50 0.04 864.00 0.04 863.50 0.04 863.00 0.04 862.50 0.04 862.00 0.04 861.50 0.04 861.00 0.04 860.50 0.04 860.00 0.04 859.50 0.04 859.00 0.04 858.50 0.04 858.00 0.04 857.50 0.04 857.00 0.04 856.50 0.04 856.00 0.04 855.50 0.04 855.00 0.04 854.50 0.04 854.00 0.04 853.50 0.04 853.00 0.04 852.50 0.04 852.00 0.04 851.50 0.04 851.00 0.04 850.50 0.04 850.00 0.04 849.50 0.04 849.00 0.04 848.50 0.04 848.00 0.04 847.50 0.04

847.00 0.04 846.50 0.04 846.00 0.04 845.50 0.04 845.00 0.04 844.50 0.04 844.00 0.04 843.50 0.04 843.00 0.04 842.50 0.04 842.00 0.04 841.50 0.04 841.00 0.04 840.50 0.04 840.00 0.04 839.50 0.04 839.00 0.04 838.50 0.04 838.00 0.04 837.50 0.04 837.00 0.04 836.50 0.04 836.00 0.04 835.50 0.04 835.00 0.04 834.50 0.04 834.00 0.04 833.50 0.04 833.00 0.04

869.00 0.00 868.50 0.00 868.00 0.00 867.50 0.00 867.00 0.00 866.50 0.00 866.00 0.00 865.50 0.00 865.00 0.00 864.50 0.00 864.00 0.00 863.50 0.00 863.00 0.00 862.50 0.00 862.00 0.00 861.50 0.00 861.00 0.00 860.50 0.00 860.00 0.00 859.50 0.00 859.00 0.00 858.50 0.00 858.00 0.00 857.50 0.00 857.00 0.00 856.50 0.00 856.00 0.00 855.50 0.00 855.00 0.00 854.50 0.00 854.00 0.00 853.50 0.00 853.00 0.00 852.50 0.00 852.00 0.00 851.50 0.00 851.00 0.00 850.50 0.00 850.00 0.00 849.50 0.00 849.00 0.00 848.50 0.00 848.00 0.00 847.50 0.00 847.00 0.00 846.50 0.00 846.00 0.00 845.50 0.00 845.00 0.00 844.50 0.00 844.00 0.00 843.50 0.00 843.00 0.00 842.50 0.00 842.00 0.00 841.50 0.00 841.00 0.00 840.50 0.00 840.00 0.00 839.50 0.00 839.00 0.00 838.50 0.00 838.00 0.00 837.50 0.00 837.00 0.00 836.50 0.00 836.00 0.00 835.50 0.00 835.00 0.00 834.50 0.00 834.00 0.00 833.50 0.00 833.00 0.00

869.00 0.00 868.50 0.00 868.00 0.00 867.50 0.00 867.00 0.00 866.50 0.00 866.00 0.00 865.50 0.00 865.00 0.00 864.50 0.00 864.00 0.00 863.50 0.00 863.00 0.00 862.50 0.00 862.00 0.00 861.50 0.00 861.00 0.00 860.50 0.00 860.00 0.00 859.50 0.00 859.00 0.00 858.50 0.00 858.00 0.00 857.50 0.00 857.00 0.00 856.50 0.00 856.00 0.00 855.50 0.00 855.00 0.00 854.50 0.00 854.00 0.00 853.50 0.00 853.00 0.00 852.50 0.00 852.00 0.00 851.50 0.00 851.00 0.00 850.50 0.00 850.00 0.00 849.50 0.00 849.00 0.00 848.50 0.00 848.00 0.00 847.50 0.00 847.00 0.00 846.50 0.00 846.00 0.00 845.50 0.00 845.00 0.00 844.50 0.00 844.00 0.00 843.50 0.00 843.00 0.00 842.50 0.00 842.00 0.00 841.50 0.00 841.00 0.00 840.50 0.00 840.00 0.00 839.50 0.00 839.00 0.00 838.50 0.00 838.00 0.00 837.50 0.00 837.00 0.00 836.50 0.00 836.00 0.00 835.50 0.00 835.00 0.00 834.50 0.00 834.00 0.00 833.50 0.00 833.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 94: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

74

832.50 100.00 832.00 100.00 831.50 100.00 831.00 100.00 830.50 99.99 830.00 99.99 829.50 99.99 829.00 99.99 828.50 99.99 828.00 99.99 827.50 99.99 827.00 99.99 826.50 99.99 826.00 100.00 825.50 100.00 825.00 100.00 824.50 100.00 824.00 100.00 823.50 100.00 823.00 100.00 822.50 100.00 822.00 100.00 821.50 100.00 821.00 99.99 820.50 99.99 820.00 100.00 819.50 100.00 819.00 100.00 818.50 100.00 818.00 100.00 817.50 100.00 817.00 100.00 816.50 100.00 816.00 100.00 815.50 100.00 815.00 99.99 814.50 99.99 814.00 100.00 813.50 99.99 813.00 99.99 812.50 99.99 812.00 99.99 811.50 100.00 811.00 99.99 810.50 99.99 810.00 99.99 809.50 99.99 809.00 99.99 808.50 99.99 808.00 100.00 807.50 100.00 807.00 100.00 806.50 100.00 806.00 99.99 805.50 99.99 805.00 99.99 804.50 99.99 804.00 99.99 803.50 100.00 803.00 100.00 802.50 99.99 802.00 99.99 801.50 99.99 801.00 99.99 800.50 99.99 800.00 99.99 799.50 99.99 799.00 99.99 798.50 99.99 798.00 100.00 797.50 100.00 797.00 100.00 796.50 100.00

832.50 3.41 832.00 3.41 831.50 3.41 831.00 3.41 830.50 3.41 830.00 3.41 829.50 3.41 829.00 3.41 828.50 3.41 828.00 3.41 827.50 3.41 827.00 3.41 826.50 3.41 826.00 3.39 825.50 3.39 825.00 3.39 824.50 3.39 824.00 3.39 823.50 3.39 823.00 3.38 822.50 3.38 822.00 3.38 821.50 3.38 821.00 3.38 820.50 3.38 820.00 3.37 819.50 3.37 819.00 3.37 818.50 3.37 818.00 3.36 817.50 3.36 817.00 3.36 816.50 3.37 816.00 3.37 815.50 3.37 815.00 3.36 814.50 3.36 814.00 3.34 813.50 3.34 813.00 3.36 812.50 3.34 812.00 3.34 811.50 3.34 811.00 3.33 810.50 3.33 810.00 3.33 809.50 3.33 809.00 3.33 808.50 3.32 808.00 3.32 807.50 3.33 807.00 3.32 806.50 3.32 806.00 3.32 805.50 3.32 805.00 3.32 804.50 3.31 804.00 3.31 803.50 3.31 803.00 3.30 802.50 3.30 802.00 3.30 801.50 3.30 801.00 3.28 800.50 3.28 800.00 3.28 799.50 3.28 799.00 3.28 798.50 3.28 798.00 3.28 797.50 3.27 797.00 3.27 796.50 3.27

832.50 0.04 832.00 0.04 831.50 0.04 831.00 0.04 830.50 0.04 830.00 0.04 829.50 0.04 829.00 0.04 828.50 0.04 828.00 0.04 827.50 0.04 827.00 0.04 826.50 0.04 826.00 0.04 825.50 0.04 825.00 0.04 824.50 0.04 824.00 0.04 823.50 0.04 823.00 0.04 822.50 0.04 822.00 0.04 821.50 0.04 821.00 0.04 820.50 0.04 820.00 0.04 819.50 0.04 819.00 0.04 818.50 0.04 818.00 0.04 817.50 0.04 817.00 0.04 816.50 0.04 816.00 0.04 815.50 0.04 815.00 0.04 814.50 0.04 814.00 0.04 813.50 0.04 813.00 0.04 812.50 0.04 812.00 0.04 811.50 0.04 811.00 0.04 810.50 0.04 810.00 0.04 809.50 0.04 809.00 0.04 808.50 0.04 808.00 0.04 807.50 0.04 807.00 0.04 806.50 0.04 806.00 0.04 805.50 0.04 805.00 0.04 804.50 0.04 804.00 0.04 803.50 0.04 803.00 0.04 802.50 0.04 802.00 0.04 801.50 0.04 801.00 0.04 800.50 0.04 800.00 0.04 799.50 0.04 799.00 0.04 798.50 0.04 798.00 0.04 797.50 0.04 797.00 0.04 796.50 0.04

832.50 0.00 832.00 0.00 831.50 0.00 831.00 0.00 830.50 0.00 830.00 0.00 829.50 0.00 829.00 0.00 828.50 0.00 828.00 0.00 827.50 0.00 827.00 0.00 826.50 0.00 826.00 0.00 825.50 0.00 825.00 0.00 824.50 0.00 824.00 0.00 823.50 0.00 823.00 0.00 822.50 0.00 822.00 0.00 821.50 0.00 821.00 0.00 820.50 0.00 820.00 0.00 819.50 0.00 819.00 0.00 818.50 0.00 818.00 0.00 817.50 0.00 817.00 0.00 816.50 0.00 816.00 0.00 815.50 0.00 815.00 0.00 814.50 0.00 814.00 0.00 813.50 0.00 813.00 0.00 812.50 0.00 812.00 0.00 811.50 0.00 811.00 0.00 810.50 0.00 810.00 0.00 809.50 0.00 809.00 0.00 808.50 0.00 808.00 0.00 807.50 0.00 807.00 0.00 806.50 0.00 806.00 0.00 805.50 0.00 805.00 0.00 804.50 0.00 804.00 0.00 803.50 0.00 803.00 0.00 802.50 0.00 802.00 0.00 801.50 0.00 801.00 0.00 800.50 0.00 800.00 0.00 799.50 0.00 799.00 0.00 798.50 0.00 798.00 0.00 797.50 0.00 797.00 0.00 796.50 0.00

832.50 0.00 832.00 0.00 831.50 0.00 831.00 0.00 830.50 0.00 830.00 0.00 829.50 0.00 829.00 0.00 828.50 0.00 828.00 0.00 827.50 0.00 827.00 0.00 826.50 0.00 826.00 0.00 825.50 0.00 825.00 0.00 824.50 0.00 824.00 0.00 823.50 0.00 823.00 0.00 822.50 0.00 822.00 0.00 821.50 0.00 821.00 0.00 820.50 0.00 820.00 0.00 819.50 0.00 819.00 0.00 818.50 0.00 818.00 0.00 817.50 0.00 817.00 0.00 816.50 0.00 816.00 0.00 815.50 0.00 815.00 0.00 814.50 0.00 814.00 0.00 813.50 0.00 813.00 0.00 812.50 0.00 812.00 0.00 811.50 0.00 811.00 0.00 810.50 0.00 810.00 0.00 809.50 0.00 809.00 0.00 808.50 0.00 808.00 0.00 807.50 0.00 807.00 0.00 806.50 0.00 806.00 0.00 805.50 0.00 805.00 0.00 804.50 0.00 804.00 0.00 803.50 0.00 803.00 0.00 802.50 0.00 802.00 0.00 801.50 0.00 801.00 0.00 800.50 0.00 800.00 0.00 799.50 0.00 799.00 0.00 798.50 0.00 798.00 0.00 797.50 0.00 797.00 0.00 796.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 95: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

75

796.00 100.00 795.50 100.00 795.00 100.00 794.50 100.00 794.00 100.00 793.50 99.99 793.00 99.99 792.50 99.99 792.00 99.99 791.50 99.99 791.00 100.00 790.50 100.00 790.00 100.00 789.50 100.00 789.00 100.00 788.50 99.99 788.00 99.99 787.50 99.99 787.00 99.99 786.50 99.99 786.00 99.99 785.50 99.99 785.00 99.99 784.50 100.00 784.00 100.00 783.50 100.00 783.00 99.99 782.50 99.99 782.00 100.00 781.50 100.00 781.00 99.99 780.50 99.99 780.00 99.99 779.50 100.00 779.00 100.00 778.50 100.00 778.00 100.00 777.50 99.99 777.00 99.99 776.50 100.00 776.00 100.00 775.50 100.00 775.00 100.00 774.50 100.00 774.00 100.00 773.50 100.00 773.00 100.00 772.50 100.00 772.00 99.99 771.50 99.99 771.00 100.00 770.50 100.00 770.00 100.00 769.50 100.00 769.00 100.00 768.50 100.00 768.00 100.00 767.50 99.99 767.00 99.99 766.50 100.00 766.00 100.00 765.50 100.00 765.00 100.00 764.50 100.00 764.00 100.00 763.50 100.00 763.00 100.00 762.50 100.00 762.00 100.00 761.50 100.00 761.00 100.00 760.50 100.00 760.00 100.00

796.00 3.27 795.50 3.26 795.00 3.26 794.50 3.26 794.00 3.26 793.50 3.25 793.00 3.25 792.50 3.25 792.00 3.25 791.50 3.25 791.00 3.25 790.50 3.25 790.00 3.25 789.50 3.23 789.00 3.23 788.50 3.23 788.00 3.22 787.50 3.22 787.00 3.22 786.50 3.22 786.00 3.22 785.50 3.21 785.00 3.21 784.50 3.21 784.00 3.21 783.50 3.21 783.00 3.21 782.50 3.21 782.00 3.20 781.50 3.20 781.00 3.20 780.50 3.20 780.00 3.19 779.50 3.19 779.00 3.19 778.50 3.19 778.00 3.17 777.50 3.17 777.00 3.17 776.50 3.17 776.00 3.17 775.50 3.17 775.00 3.17 774.50 3.17 774.00 3.17 773.50 3.16 773.00 3.16 772.50 3.16 772.00 3.16 771.50 3.16 771.00 3.16 770.50 3.16 770.00 3.15 769.50 3.15 769.00 3.15 768.50 3.15 768.00 3.14 767.50 3.14 767.00 3.15 766.50 3.15 766.00 3.14 765.50 3.14 765.00 3.14 764.50 3.14 764.00 3.14 763.50 3.13 763.00 3.13 762.50 3.13 762.00 3.13 761.50 3.11 761.00 3.11 760.50 3.10 760.00 3.10

796.00 0.04 795.50 0.04 795.00 0.04 794.50 0.04 794.00 0.04 793.50 0.04 793.00 0.04 792.50 0.04 792.00 0.04 791.50 0.04 791.00 0.04 790.50 0.04 790.00 0.04 789.50 0.04 789.00 0.05 788.50 0.04 788.00 0.04 787.50 0.04 787.00 0.04 786.50 0.04 786.00 0.04 785.50 0.05 785.00 0.05 784.50 0.05 784.00 0.04 783.50 0.04 783.00 0.04 782.50 0.04 782.00 0.04 781.50 0.05 781.00 0.04 780.50 0.04 780.00 0.05 779.50 0.04 779.00 0.04 778.50 0.04 778.00 0.04 777.50 0.04 777.00 0.04 776.50 0.04 776.00 0.04 775.50 0.04 775.00 0.04 774.50 0.04 774.00 0.04 773.50 0.04 773.00 0.04 772.50 0.04 772.00 0.04 771.50 0.04 771.00 0.04 770.50 0.04 770.00 0.04 769.50 0.04 769.00 0.04 768.50 0.04 768.00 0.04 767.50 0.04 767.00 0.04 766.50 0.04 766.00 0.04 765.50 0.04 765.00 0.05 764.50 0.04 764.00 0.04 763.50 0.04 763.00 0.04 762.50 0.04 762.00 0.04 761.50 0.04 761.00 0.05 760.50 0.05 760.00 0.04

796.00 0.00 795.50 0.00 795.00 0.00 794.50 0.00 794.00 0.00 793.50 0.00 793.00 0.00 792.50 0.00 792.00 0.00 791.50 0.00 791.00 0.00 790.50 0.00 790.00 0.00 789.50 0.00 789.00 0.00 788.50 0.00 788.00 0.00 787.50 0.00 787.00 0.00 786.50 0.00 786.00 0.00 785.50 0.00 785.00 0.00 784.50 0.00 784.00 0.00 783.50 0.00 783.00 0.00 782.50 0.00 782.00 0.00 781.50 0.00 781.00 0.00 780.50 0.00 780.00 0.00 779.50 0.00 779.00 0.00 778.50 0.00 778.00 0.00 777.50 0.00 777.00 0.00 776.50 0.00 776.00 0.00 775.50 0.00 775.00 0.00 774.50 0.00 774.00 0.00 773.50 0.00 773.00 0.00 772.50 0.00 772.00 0.00 771.50 0.00 771.00 0.00 770.50 0.00 770.00 0.00 769.50 0.00 769.00 0.00 768.50 0.00 768.00 0.00 767.50 0.00 767.00 0.00 766.50 0.00 766.00 0.00 765.50 0.00 765.00 0.00 764.50 0.00 764.00 0.00 763.50 0.00 763.00 0.00 762.50 0.00 762.00 0.00 761.50 0.00 761.00 0.00 760.50 0.00 760.00 0.00

796.00 0.00 795.50 0.00 795.00 0.00 794.50 0.00 794.00 0.00 793.50 0.00 793.00 0.00 792.50 0.00 792.00 0.00 791.50 0.00 791.00 0.00 790.50 0.00 790.00 0.00 789.50 0.00 789.00 0.00 788.50 0.00 788.00 0.00 787.50 0.00 787.00 0.00 786.50 0.00 786.00 0.00 785.50 0.00 785.00 0.00 784.50 0.00 784.00 0.00 783.50 0.00 783.00 0.00 782.50 0.00 782.00 0.00 781.50 0.00 781.00 0.00 780.50 0.00 780.00 0.00 779.50 0.00 779.00 0.00 778.50 0.00 778.00 0.00 777.50 0.00 777.00 0.00 776.50 0.00 776.00 0.00 775.50 0.00 775.00 0.00 774.50 0.00 774.00 0.00 773.50 0.00 773.00 0.00 772.50 0.00 772.00 0.00 771.50 0.00 771.00 0.00 770.50 0.00 770.00 0.00 769.50 0.00 769.00 0.00 768.50 0.00 768.00 0.00 767.50 0.00 767.00 0.00 766.50 0.00 766.00 0.00 765.50 0.00 765.00 0.00 764.50 0.00 764.00 0.00 763.50 0.00 763.00 0.00 762.50 0.00 762.00 0.00 761.50 0.00 761.00 0.00 760.50 0.00 760.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 96: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

76

759.50 100.00 759.00 100.00 758.50 100.00 758.00 100.00 757.50 100.00 757.00 100.00 756.50 100.00 756.00 100.00 755.50 99.99 755.00 99.99 754.50 100.00 754.00 100.00 753.50 100.00 753.00 100.00 752.50 100.00 752.00 99.99 751.50 99.99 751.00 100.00 750.50 100.00 750.00 100.00 749.50 100.00 749.00 100.00 748.50 100.00 748.00 100.00 747.50 100.00 747.00 100.00 746.50 100.00 746.00 100.00 745.50 100.00 745.00 100.00 744.50 100.00 744.00 100.00 743.50 100.00 743.00 100.00 742.50 100.00 742.00 99.99 741.50 99.99 741.00 100.00 740.50 100.00 740.00 100.00 739.50 100.00 739.00 100.00 738.50 100.00 738.00 100.00 737.50 99.99 737.00 99.99 736.50 100.00 736.00 100.00 735.50 100.00 735.00 100.00 734.50 99.99 734.00 99.99 733.50 99.99 733.00 99.99 732.50 99.99 732.00 99.99 731.50 99.99 731.00 99.99 730.50 99.99 730.00 100.00 729.50 100.00 729.00 99.99 728.50 99.99 728.00 99.99 727.50 100.00 727.00 99.99 726.50 99.99 726.00 99.99 725.50 100.00 725.00 100.00 724.50 100.00 724.00 100.00 723.50 100.00

759.50 3.10 759.00 3.10 758.50 3.10 758.00 3.10 757.50 3.10 757.00 3.10 756.50 3.09 756.00 3.09 755.50 3.09 755.00 3.09 754.50 3.08 754.00 3.08 753.50 3.08 753.00 3.08 752.50 3.06 752.00 3.06 751.50 3.08 751.00 3.08 750.50 3.08 750.00 3.08 749.50 3.06 749.00 3.06 748.50 3.06 748.00 3.06 747.50 3.06 747.00 3.05 746.50 3.05 746.00 3.05 745.50 3.05 745.00 3.04 744.50 3.04 744.00 3.04 743.50 3.04 743.00 3.05 742.50 3.05 742.00 3.05 741.50 3.05 741.00 3.05 740.50 3.04 740.00 3.04 739.50 3.04 739.00 3.04 738.50 3.04 738.00 3.03 737.50 3.03 737.00 3.03 736.50 3.03 736.00 3.03 735.50 3.03 735.00 3.03 734.50 3.03 734.00 3.03 733.50 3.03 733.00 3.03 732.50 3.02 732.00 3.02 731.50 3.02 731.00 3.03 730.50 3.03 730.00 3.03 729.50 3.03 729.00 3.03 728.50 3.03 728.00 3.02 727.50 3.02 727.00 3.02 726.50 3.02 726.00 3.02 725.50 3.02 725.00 3.02 724.50 3.02 724.00 3.02 723.50 3.02

759.50 0.04 759.00 0.04 758.50 0.04 758.00 0.04 757.50 0.04 757.00 0.04 756.50 0.04 756.00 0.04 755.50 0.04 755.00 0.04 754.50 0.04 754.00 0.04 753.50 0.04 753.00 0.04 752.50 0.04 752.00 0.04 751.50 0.04 751.00 0.04 750.50 0.04 750.00 0.04 749.50 0.04 749.00 0.04 748.50 0.04 748.00 0.04 747.50 0.04 747.00 0.04 746.50 0.04 746.00 0.04 745.50 0.04 745.00 0.04 744.50 0.04 744.00 0.04 743.50 0.04 743.00 0.04 742.50 0.04 742.00 0.04 741.50 0.04 741.00 0.04 740.50 0.04 740.00 0.04 739.50 0.04 739.00 0.04 738.50 0.04 738.00 0.04 737.50 0.04 737.00 0.04 736.50 0.04 736.00 0.04 735.50 0.04 735.00 0.04 734.50 0.04 734.00 0.04 733.50 0.04 733.00 0.04 732.50 0.04 732.00 0.04 731.50 0.04 731.00 0.04 730.50 0.04 730.00 0.04 729.50 0.04 729.00 0.04 728.50 0.04 728.00 0.04 727.50 0.04 727.00 0.04 726.50 0.04 726.00 0.04 725.50 0.04 725.00 0.04 724.50 0.04 724.00 0.04 723.50 0.04

759.50 0.00 759.00 0.00 758.50 0.00 758.00 0.00 757.50 0.00 757.00 0.00 756.50 0.00 756.00 0.00 755.50 0.00 755.00 0.00 754.50 0.00 754.00 0.00 753.50 0.00 753.00 0.00 752.50 0.00 752.00 0.00 751.50 0.00 751.00 0.00 750.50 0.00 750.00 0.00 749.50 0.00 749.00 0.00 748.50 0.00 748.00 0.00 747.50 0.00 747.00 0.00 746.50 0.00 746.00 0.00 745.50 0.00 745.00 0.00 744.50 0.00 744.00 0.00 743.50 0.00 743.00 0.00 742.50 0.00 742.00 0.00 741.50 0.00 741.00 0.00 740.50 0.00 740.00 0.00 739.50 0.00 739.00 0.00 738.50 0.00 738.00 0.00 737.50 0.00 737.00 0.00 736.50 0.00 736.00 0.00 735.50 0.00 735.00 0.00 734.50 0.00 734.00 0.00 733.50 0.00 733.00 0.00 732.50 0.00 732.00 0.00 731.50 0.00 731.00 0.00 730.50 0.00 730.00 0.00 729.50 0.00 729.00 0.00 728.50 0.00 728.00 0.00 727.50 0.00 727.00 0.00 726.50 0.00 726.00 0.00 725.50 0.00 725.00 0.00 724.50 0.00 724.00 0.00 723.50 0.00

759.50 0.00 759.00 0.00 758.50 0.00 758.00 0.00 757.50 0.00 757.00 0.00 756.50 0.00 756.00 0.00 755.50 0.00 755.00 0.00 754.50 0.00 754.00 0.00 753.50 0.00 753.00 0.00 752.50 0.00 752.00 0.00 751.50 0.00 751.00 0.00 750.50 0.00 750.00 0.00 749.50 0.00 749.00 0.00 748.50 0.00 748.00 0.00 747.50 0.00 747.00 0.00 746.50 0.00 746.00 0.00 745.50 0.00 745.00 0.00 744.50 0.00 744.00 0.00 743.50 0.00 743.00 0.00 742.50 0.00 742.00 0.00 741.50 0.00 741.00 0.00 740.50 0.00 740.00 0.00 739.50 0.00 739.00 0.00 738.50 0.00 738.00 0.00 737.50 0.00 737.00 0.00 736.50 0.00 736.00 0.00 735.50 0.00 735.00 0.00 734.50 0.00 734.00 0.00 733.50 0.00 733.00 0.00 732.50 0.00 732.00 0.00 731.50 0.00 731.00 0.00 730.50 0.00 730.00 0.00 729.50 0.00 729.00 0.00 728.50 0.00 728.00 0.00 727.50 0.00 727.00 0.00 726.50 0.00 726.00 0.00 725.50 0.00 725.00 0.00 724.50 0.00 724.00 0.00 723.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 97: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

77

723.00 100.00 722.50 100.00 722.00 100.00 721.50 100.00 721.00 100.00 720.50 100.00 720.00 100.00 719.50 100.00 719.00 100.00 718.50 100.00 718.00 99.99 717.50 99.99 717.00 99.99 716.50 99.99 716.00 100.00 715.50 100.00 715.00 100.00 714.50 100.00 714.00 100.00 713.50 100.00 713.00 99.99 712.50 99.99 712.00 100.00 711.50 100.00 711.00 100.00 710.50 100.00 710.00 100.00 709.50 100.00 709.00 100.00 708.50 100.00 708.00 99.99 707.50 99.99 707.00 99.99 706.50 100.00 706.00 100.00 705.50 100.00 705.00 100.00 704.50 100.00 704.00 100.00 703.50 100.00 703.00 99.99 702.50 99.99 702.00 100.00 701.50 99.99 701.00 99.99 700.50 99.99 700.00 100.00 699.50 100.00 699.00 100.00 698.50 100.00 698.00 100.00 697.50 100.00 697.00 99.99 696.50 99.99 696.00 100.00 695.50 100.00 695.00 100.00 694.50 100.00 694.00 100.00 693.50 100.00 693.00 100.00 692.50 100.00 692.00 100.00 691.50 100.00 691.00 100.00 690.50 100.00 690.00 100.00 689.50 100.00 689.00 100.00 688.50 100.00 688.00 100.00 687.50 100.00 687.00 99.99

723.00 3.02 722.50 3.02 722.00 3.02 721.50 3.02 721.00 3.00 720.50 3.00 720.00 3.00 719.50 3.00 719.00 3.00 718.50 3.00 718.00 3.00 717.50 3.00 717.00 3.00 716.50 3.00 716.00 3.00 715.50 3.00 715.00 3.02 714.50 3.02 714.00 3.02 713.50 3.02 713.00 3.02 712.50 3.02 712.00 3.02 711.50 3.02 711.00 3.02 710.50 3.02 710.00 3.02 709.50 3.02 709.00 3.02 708.50 3.02 708.00 3.02 707.50 3.02 707.00 3.02 706.50 3.02 706.00 3.02 705.50 3.02 705.00 3.02 704.50 3.02 704.00 3.02 703.50 3.02 703.00 3.02 702.50 3.02 702.00 3.02 701.50 3.03 701.00 3.03 700.50 3.03 700.00 3.03 699.50 3.03 699.00 3.03 698.50 3.03 698.00 3.03 697.50 3.03 697.00 3.03 696.50 3.03 696.00 3.03 695.50 3.03 695.00 3.04 694.50 3.04 694.00 3.04 693.50 3.04 693.00 3.04 692.50 3.04 692.00 3.04 691.50 3.04 691.00 3.04 690.50 3.04 690.00 3.04 689.50 3.04 689.00 3.04 688.50 3.05 688.00 3.05 687.50 3.05 687.00 3.05

723.00 0.04 722.50 0.04 722.00 0.04 721.50 0.04 721.00 0.04 720.50 0.04 720.00 0.04 719.50 0.04 719.00 0.04 718.50 0.04 718.00 0.04 717.50 0.04 717.00 0.04 716.50 0.04 716.00 0.04 715.50 0.04 715.00 0.04 714.50 0.04 714.00 0.04 713.50 0.04 713.00 0.04 712.50 0.04 712.00 0.04 711.50 0.04 711.00 0.04 710.50 0.04 710.00 0.04 709.50 0.04 709.00 0.04 708.50 0.04 708.00 0.04 707.50 0.04 707.00 0.04 706.50 0.04 706.00 0.04 705.50 0.04 705.00 0.04 704.50 0.04 704.00 0.04 703.50 0.04 703.00 0.04 702.50 0.04 702.00 0.04 701.50 0.04 701.00 0.04 700.50 0.04 700.00 0.04 699.50 0.04 699.00 0.04 698.50 0.04 698.00 0.04 697.50 0.04

697.00 0.04 696.50 0.04 696.00 0.04 695.50 0.04 695.00 0.04 694.50 0.04 694.00 0.04 693.50 0.04 693.00 0.04 692.50 0.04 692.00 0.04 691.50 0.04 691.00 0.04 690.50 0.04 690.00 0.04 689.50 0.04 689.00 0.04 688.50 0.04 688.00 0.04 687.50 0.04 687.00 0.04

723.00 0.00 722.50 0.00 722.00 0.00 721.50 0.00 721.00 0.00 720.50 0.00 720.00 0.00 719.50 0.00 719.00 0.00 718.50 0.00 718.00 0.00 717.50 0.00 717.00 0.00 716.50 0.00 716.00 0.00 715.50 0.00 715.00 0.00 714.50 0.00 714.00 0.00 713.50 0.00 713.00 0.00 712.50 0.00 712.00 0.00 711.50 0.00 711.00 0.00 710.50 0.00 710.00 0.00 709.50 0.00 709.00 0.00 708.50 0.00 708.00 0.00 707.50 0.00 707.00 0.00 706.50 0.00 706.00 0.00 705.50 0.00 705.00 0.00 704.50 0.00 704.00 0.00 703.50 0.00 703.00 0.00 702.50 0.00 702.00 0.00 701.50 0.00 701.00 0.00 700.50 0.00 700.00 0.00 699.50 0.00 699.00 0.00 698.50 0.00 698.00 0.00 697.50 0.00 697.00 0.00 696.50 0.00 696.00 0.00 695.50 0.00 695.00 0.00 694.50 0.00 694.00 0.00 693.50 0.00 693.00 0.00 692.50 0.00 692.00 0.00 691.50 0.00 691.00 0.00 690.50 0.00 690.00 0.00 689.50 0.00 689.00 0.00 688.50 0.00 688.00 0.00 687.50 0.00 687.00 0.00

723.00 0.00 722.50 0.00 722.00 0.00 721.50 0.00 721.00 0.00 720.50 0.00 720.00 0.00 719.50 0.00 719.00 0.00 718.50 0.00 718.00 0.00 717.50 0.00 717.00 0.00 716.50 0.00 716.00 0.00 715.50 0.00 715.00 0.00 714.50 0.00 714.00 0.00 713.50 0.00 713.00 0.00 712.50 0.00 712.00 0.00 711.50 0.00 711.00 0.00 710.50 0.00 710.00 0.00 709.50 0.00 709.00 0.00 708.50 0.00 708.00 0.00 707.50 0.00 707.00 0.00 706.50 0.00 706.00 0.00 705.50 0.00 705.00 0.00 704.50 0.00 704.00 0.00 703.50 0.00 703.00 0.00 702.50 0.00 702.00 0.00 701.50 0.00 701.00 0.00 700.50 0.00 700.00 0.00 699.50 0.00 699.00 0.00 698.50 0.00 698.00 0.00 697.50 0.00 697.00 0.00 696.50 0.00 696.00 0.00 695.50 0.00 695.00 0.00 694.50 0.00 694.00 0.00 693.50 0.00 693.00 0.00 692.50 0.00 692.00 0.00 691.50 0.00 691.00 0.00 690.50 0.00 690.00 0.00 689.50 0.00 689.00 0.00 688.50 0.00 688.00 0.00 687.50 0.00 687.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 98: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

78

686.50 99.99 686.00 99.99 685.50 100.00 685.00 99.99 684.50 99.99 684.00 100.00 683.50 100.00 683.00 100.00 682.50 100.00 682.00 100.00 681.50 100.00 681.00 100.00 680.50 100.00 680.00 99.99 679.50 99.99 679.00 99.99 678.50 99.99 678.00 99.99 677.50 99.99 677.00 99.99 676.50 100.00 676.00 100.00 675.50 100.00 675.00 100.00 674.50 100.00 674.00 100.00 673.50 100.00 673.00 100.00 672.50 100.00 672.00 100.00 671.50 100.00 671.00 99.99 670.50 99.99 670.00 99.99 669.50 99.99 669.00 100.00 668.50 100.00 668.00 99.99 667.50 99.99 667.00 100.00 666.50 100.00 666.00 100.00 665.50 100.00 665.00 100.00 664.50 100.00 664.00 100.00 663.50 100.00 663.00 100.00 662.50 100.00 662.00 100.00 661.50 100.00 661.00 100.00 660.50 100.00 660.00 99.99 659.50 99.99 659.00 100.00 658.50 100.00 658.00 100.00 657.50 99.99 657.00 99.99 656.50 100.00 656.00 100.00 655.50 100.00 655.00 99.99 654.50 99.99 654.00 99.99 653.50 99.99 653.00 100.00 652.50 100.00 652.00 99.99 651.50 99.99 651.00 99.99 650.50 99.99

686.50 3.06 686.00 3.06 685.50 3.06 685.00 3.06 684.50 3.06 684.00 3.06 683.50 3.06 683.00 3.06 682.50 3.06 682.00 3.08 681.50 3.08 681.00 3.08 680.50 3.08 680.00 3.08 679.50 3.08 679.00 3.08 678.50 3.08 678.00 3.08 677.50 3.09 677.00 3.09 676.50 3.09 676.00 3.09 675.50 3.09 675.00 3.09 674.50 3.09 674.00 3.10 673.50 3.10 673.00 3.10 672.50 3.10 672.00 3.10 671.50 3.10 671.00 3.10 670.50 3.11 670.00 3.13 669.50 3.13 669.00 3.13 668.50 3.13 668.00 3.13 667.50 3.13 667.00 3.13 666.50 3.14 666.00 3.14 665.50 3.14 665.00 3.14 664.50 3.14 664.00 3.15 663.50 3.15 663.00 3.15 662.50 3.15 662.00 3.15 661.50 3.15 661.00 3.16 660.50 3.16 660.00 3.16 659.50 3.16 659.00 3.17 658.50 3.17 658.00 3.17 657.50 3.17 657.00 3.17 656.50 3.17 656.00 3.17 655.50 3.17 655.00 3.19 654.50 3.19 654.00 3.19 653.50 3.19 653.00 3.19 652.50 3.19 652.00 3.20 651.50 3.20 651.00 3.20 650.50 3.20

686.50 0.04 686.00 0.04 685.50 0.04 685.00 0.04 684.50 0.04 684.00 0.04 683.50 0.04 683.00 0.04 682.50 0.04 682.00 0.04 681.50 0.04 681.00 0.04 680.50 0.04 680.00 0.04 679.50 0.04 679.00 0.04 678.50 0.04 678.00 0.04 677.50 0.04 677.00 0.04 676.50 0.04 676.00 0.04 675.50 0.04 675.00 0.04 674.50 0.04 674.00 0.04 673.50 0.05 673.00 0.05 672.50 0.04 672.00 0.04 671.50 0.04 671.00 0.04 670.50 0.04 670.00 0.04 669.50 0.04 669.00 0.04 668.50 0.04 668.00 0.04 667.50 0.04 667.00 0.04 666.50 0.04 666.00 0.04 665.50 0.04 665.00 0.04 664.50 0.04 664.00 0.04 663.50 0.04 663.00 0.05 662.50 0.05 662.00 0.05 661.50 0.04 661.00 0.04 660.50 0.04 660.00 0.04 659.50 0.04 659.00 0.04 658.50 0.04 658.00 0.04 657.50 0.05 657.00 0.05 656.50 0.04 656.00 0.04 655.50 0.04 655.00 0.04 654.50 0.04 654.00 0.04 653.50 0.04 653.00 0.04 652.50 0.04 652.00 0.05 651.50 0.04 651.00 0.04 650.50 0.04

686.50 0.00 686.00 0.00 685.50 0.00 685.00 0.00 684.50 0.00 684.00 0.00 683.50 0.00 683.00 0.00 682.50 0.00 682.00 0.00 681.50 0.00 681.00 0.00 680.50 0.00 680.00 0.00 679.50 0.00 679.00 0.00 678.50 0.00 678.00 0.00 677.50 0.00 677.00 0.00 676.50 0.00 676.00 0.00 675.50 0.00 675.00 0.00 674.50 0.00 674.00 0.00 673.50 0.00 673.00 0.00 672.50 0.00 672.00 0.00 671.50 0.00 671.00 0.00 670.50 0.00 670.00 0.00 669.50 0.00 669.00 0.00 668.50 0.00 668.00 0.00 667.50 0.00 667.00 0.00 666.50 0.00 666.00 0.00 665.50 0.00 665.00 0.00 664.50 0.00 664.00 0.00 663.50 0.00 663.00 0.00 662.50 0.00 662.00 0.00 661.50 0.00 661.00 0.00 660.50 0.00 660.00 0.00 659.50 0.00 659.00 0.00 658.50 0.00 658.00 0.00 657.50 0.00 657.00 0.00 656.50 0.00 656.00 0.00 655.50 0.00 655.00 0.00 654.50 0.00 654.00 0.00 653.50 0.00 653.00 0.00 652.50 0.00 652.00 0.00 651.50 0.00 651.00 0.00 650.50 0.00

686.50 0.00 686.00 0.00 685.50 0.00 685.00 0.00 684.50 0.00 684.00 0.00 683.50 0.00 683.00 0.00 682.50 0.00 682.00 0.00 681.50 0.00 681.00 0.00 680.50 0.00 680.00 0.00 679.50 0.00 679.00 0.00 678.50 0.00 678.00 0.00 677.50 0.00 677.00 0.00 676.50 0.00 676.00 0.00 675.50 0.00 675.00 0.00 674.50 0.00 674.00 0.00 673.50 0.00 673.00 0.00 672.50 0.00 672.00 0.00 671.50 0.00 671.00 0.00 670.50 0.00 670.00 0.00 669.50 0.00 669.00 0.00 668.50 0.00 668.00 0.00 667.50 0.00 667.00 0.00 666.50 0.00 666.00 0.00 665.50 0.00 665.00 0.00 664.50 0.00 664.00 0.00 663.50 0.00 663.00 0.00 662.50 0.00 662.00 0.00 661.50 0.00 661.00 0.00 660.50 0.00 660.00 0.00 659.50 0.00 659.00 0.00 658.50 0.00 658.00 0.00 657.50 0.00 657.00 0.00 656.50 0.00 656.00 0.00 655.50 0.00 655.00 0.00 654.50 0.00 654.00 0.00 653.50 0.00 653.00 0.00 652.50 0.00 652.00 0.00 651.50 0.00 651.00 0.00 650.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 99: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

79

650.00 100.00 649.50 100.00 649.00 100.00 648.50 100.00 648.00 100.00 647.50 99.99 647.00 99.99 646.50 99.99 646.00 99.99 645.50 99.98 645.00 99.99 644.50 99.99 644.00 99.99 643.50 100.00 643.00 99.99 642.50 99.99 642.00 99.99 641.50 99.99 641.00 99.99 640.50 99.99 640.00 100.00 639.50 100.00 639.00 100.00 638.50 100.00 638.00 100.00 637.50 100.00 637.00 100.00 636.50 100.00 636.00 100.00 635.50 99.99 635.00 99.99 634.50 100.00 634.00 100.00 633.50 100.00 633.00 100.00 632.50 100.00 632.00 100.00 631.50 100.01 631.00 100.00 630.50 100.00 630.00 100.00 629.50 100.00 629.00 99.99 628.50 99.98 628.00 99.99 627.50 99.99 627.00 99.98 626.50 99.98 626.00 99.99 625.50 99.99 625.00 99.98 624.50 99.99 624.00 99.99 623.50 99.98 623.00 99.99 622.50 100.00 622.00 100.00 621.50 100.00 621.00 100.00 620.50 99.99 620.00 99.98 619.50 99.99 619.00 99.99 618.50 99.98 618.00 99.99 617.50 99.99 617.00 99.99 616.50 100.00 616.00 100.00 615.50 100.00 615.00 100.00 614.50 100.00 614.00 100.00

650.00 3.21 649.50 3.21 649.00 3.21 648.50 3.21 648.00 3.22 647.50 3.22 647.00 3.23 646.50 3.23 646.00 3.23 645.50 3.23 645.00 3.25 644.50 3.25 644.00 3.25 643.50 3.26 643.00 3.26 642.50 3.26 642.00 3.26 641.50 3.27 641.00 3.27 640.50 3.27 640.00 3.27 639.50 3.27 639.00 3.28 638.50 3.28 638.00 3.28 637.50 3.30 637.00 3.30 636.50 3.28 636.00 3.28 635.50 3.30 635.00 3.30 634.50 3.30 634.00 3.31 633.50 3.31 633.00 3.31 632.50 3.32 632.00 3.32 631.50 3.33 631.00 3.33 630.50 3.34 630.00 3.34 629.50 3.34 629.00 3.36 628.50 3.37 628.00 3.37 627.50 3.37 627.00 3.37 626.50 3.37 626.00 3.37 625.50 3.38 625.00 3.39 624.50 3.39 624.00 3.41 623.50 3.41 623.00 3.41 622.50 3.41 622.00 3.42 621.50 3.42 621.00 3.43 620.50 3.43 620.00 3.43 619.50 3.43 619.00 3.44 618.50 3.44 618.00 3.44 617.50 3.45 617.00 3.45 616.50 3.45 616.00 3.47 615.50 3.47 615.00 3.47 614.50 3.48 614.00 3.48

650.00 0.04 649.50 0.04 649.00 0.04 648.50 0.05 648.00 0.05 647.50 0.05 647.00 0.05 646.50 0.05 646.00 0.05 645.50 0.06 645.00 0.06 644.50 0.06 644.00 0.06 643.50 0.06 643.00 0.06 642.50 0.06 642.00 0.06 641.50 0.06 641.00 0.06 640.50 0.06 640.00 0.06 639.50 0.05 639.00 0.05 638.50 0.05 638.00 0.06 637.50 0.06 637.00 0.06 636.50 0.05 636.00 0.04 635.50 0.04 635.00 0.04 634.50 0.05 634.00 0.04 633.50 0.04 633.00 0.04 632.50 0.05 632.00 0.05 631.50 0.05 631.00 0.05 630.50 0.05 630.00 0.05 629.50 0.05 629.00 0.05 628.50 0.05 628.00 0.05 627.50 0.05 627.00 0.05 626.50 0.06 626.00 0.06 625.50 0.05 625.00 0.05 624.50 0.05 624.00 0.05 623.50 0.05 623.00 0.05 622.50 0.05 622.00 0.06 621.50 0.06 621.00 0.06 620.50 0.06 620.00 0.05 619.50 0.05 619.00 0.06 618.50 0.05 618.00 0.05 617.50 0.06 617.00 0.06 616.50 0.05 616.00 0.05 615.50 0.05 615.00 0.05 614.50 0.06 614.00 0.06

650.00 0.00 649.50 0.00 649.00 0.00 648.50 0.00 648.00 0.00 647.50 0.00 647.00 0.00 646.50 0.00 646.00 0.00 645.50 0.00 645.00 0.00 644.50 0.00 644.00 0.00 643.50 0.00 643.00 0.00 642.50 0.00 642.00 0.00 641.50 0.00 641.00 0.00 640.50 0.00 640.00 0.00 639.50 0.00 639.00 0.00 638.50 0.00 638.00 0.00 637.50 0.00 637.00 0.00 636.50 0.00 636.00 0.00 635.50 0.00 635.00 0.00 634.50 0.00 634.00 0.00 633.50 0.00 633.00 0.00 632.50 0.00 632.00 0.00 631.50 0.00 631.00 0.00 630.50 0.00 630.00 0.00 629.50 0.00 629.00 0.00 628.50 0.00 628.00 0.00 627.50 0.00 627.00 0.00 626.50 0.00 626.00 0.00 625.50 0.00 625.00 0.00 624.50 0.00 624.00 0.00 623.50 0.00 623.00 0.00 622.50 0.00 622.00 0.00 621.50 0.00 621.00 0.00 620.50 0.00 620.00 0.00 619.50 0.00 619.00 0.00 618.50 0.00 618.00 0.00 617.50 0.00 617.00 0.00 616.50 0.00 616.00 0.00 615.50 0.00 615.00 0.00 614.50 0.00 614.00 0.00

650.00 0.00 649.50 0.00 649.00 0.00 648.50 0.00 648.00 0.00 647.50 0.00 647.00 0.00 646.50 0.00 646.00 0.00 645.50 0.00 645.00 0.00 644.50 0.00 644.00 0.00 643.50 0.00 643.00 0.00 642.50 0.00 642.00 0.00 641.50 0.00 641.00 0.00 640.50 0.00 640.00 0.00 639.50 0.00 639.00 0.00 638.50 0.00 638.00 0.00 637.50 0.00 637.00 0.00 636.50 0.00 636.00 0.00 635.50 0.00 635.00 0.00 634.50 0.00 634.00 0.00 633.50 0.00 633.00 0.00 632.50 0.00 632.00 0.00 631.50 0.00 631.00 0.00 630.50 0.00 630.00 0.00 629.50 0.00 629.00 0.00 628.50 0.00 628.00 0.00 627.50 0.00 627.00 0.00 626.50 0.00 626.00 0.00 625.50 0.00 625.00 0.00 624.50 0.00 624.00 0.00 623.50 0.00 623.00 0.00 622.50 0.00 622.00 0.00 621.50 0.00 621.00 0.00 620.50 0.00 620.00 0.00 619.50 0.00 619.00 0.00 618.50 0.00 618.00 0.00 617.50 0.00 617.00 0.00 616.50 0.00 616.00 0.00 615.50 0.00 615.00 0.00 614.50 0.00 614.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 100: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

80

613.50 99.99 613.00 99.99 612.50 100.00 612.00 100.00 611.50 100.00 611.00 99.99 610.50 99.99 610.00 100.00 609.50 99.99 609.00 99.99 608.50 100.00 608.00 100.00 607.50 100.00 607.00 99.99 606.50 99.99 606.00 99.99 605.50 99.98 605.00 99.99 604.50 100.00 604.00 99.99 603.50 99.99 603.00 99.99 602.50 99.98 602.00 99.99 601.50 99.99 601.00 99.98 600.50 99.98 600.00 99.98 599.50 99.99 599.00 100.00 598.50 100.00 598.00 100.00 597.50 99.99 597.00 99.98 596.50 99.98 596.00 99.98 595.50 99.99 595.00 100.00 594.50 100.00 594.00 100.00 593.50 100.00 593.00 100.00 592.50 100.00 592.00 100.00 591.50 100.00 591.00 99.99 590.50 99.98 590.00 99.98 589.50 99.98 589.00 99.99 588.50 100.00 588.00 99.99 587.50 99.99 587.00 99.99 586.50 99.98 586.00 99.98 585.50 99.98 585.00 99.98 584.50 99.99 584.00 99.99 583.50 99.98 583.00 99.98 582.50 99.98 582.00 99.98 581.50 99.98 581.00 99.98 580.50 99.98 580.00 99.99 579.50 100.00 579.00 100.00 578.50 99.99 578.00 99.99 577.50 99.99

613.50 3.49 613.00 3.49 612.50 3.49 612.00 3.50 611.50 3.50 611.00 3.50 610.50 3.52 610.00 3.52 609.50 3.52 609.00 3.52 608.50 3.53 608.00 3.54 607.50 3.54 607.00 3.54 606.50 3.55 606.00 3.55 605.50 3.56 605.00 3.56 604.50 3.56 604.00 3.58 603.50 3.58 603.00 3.58 602.50 3.59 602.00 3.60 601.50 3.60 601.00 3.61 600.50 3.61 600.00 3.61 599.50 3.63 599.00 3.63 598.50 3.64 598.00 3.64 597.50 3.64 597.00 3.65 596.50 3.65 596.00 3.66 595.50 3.66 595.00 3.66 594.50 3.67 594.00 3.67 593.50 3.67 593.00 3.69 592.50 3.69 592.00 3.70 591.50 3.70 591.00 3.70 590.50 3.71 590.00 3.71 589.50 3.72 589.00 3.72 588.50 3.74 588.00 3.74 587.50 3.74 587.00 3.75 586.50 3.75 586.00 3.76 585.50 3.76 585.00 3.77 584.50 3.77 584.00 3.78 583.50 3.80 583.00 3.80 582.50 3.81 582.00 3.81 581.50 3.82 581.00 3.82 580.50 3.82 580.00 3.83 579.50 3.83 579.00 3.85 578.50 3.85 578.00 3.86 577.50 3.87

613.50 0.05 613.00 0.05 612.50 0.06 612.00 0.05 611.50 0.05 611.00 0.06 610.50 0.06 610.00 0.06 609.50 0.06 609.00 0.06 608.50 0.06 608.00 0.06 607.50 0.06 607.00 0.06 606.50 0.06 606.00 0.06 605.50 0.05 605.00 0.05 604.50 0.06 604.00 0.06 603.50 0.06 603.00 0.06 602.50 0.05 602.00 0.05 601.50 0.06 601.00 0.06 600.50 0.06 600.00 0.06 599.50 0.05 599.00 0.05 598.50 0.06 598.00 0.06 597.50 0.06 597.00 0.06 596.50 0.06 596.00 0.06 595.50 0.06 595.00 0.06 594.50 0.06 594.00 0.06 593.50 0.06 593.00 0.06 592.50 0.05 592.00 0.05 591.50 0.05 591.00 0.05 590.50 0.06 590.00 0.06 589.50 0.06 589.00 0.06 588.50 0.06 588.00 0.06 587.50 0.06 587.00 0.06 586.50 0.06 586.00 0.06 585.50 0.05 585.00 0.05 584.50 0.06 584.00 0.06 583.50 0.06 583.00 0.06 582.50 0.06 582.00 0.06 581.50 0.06 581.00 0.06 580.50 0.06 580.00 0.06 579.50 0.06 579.00 0.06 578.50 0.06 578.00 0.05 577.50 0.05

613.50 0.00 613.00 0.00 612.50 0.00 612.00 0.00 611.50 0.00 611.00 0.00 610.50 0.00 610.00 0.00 609.50 0.00 609.00 0.00 608.50 0.00 608.00 0.00 607.50 0.00 607.00 0.00 606.50 0.00 606.00 0.00 605.50 0.00 605.00 0.00 604.50 0.00 604.00 0.00 603.50 0.00 603.00 0.00 602.50 0.00 602.00 0.00 601.50 0.00 601.00 0.00 600.50 0.00 600.00 0.00 599.50 0.00 599.00 0.00 598.50 0.00 598.00 0.00 597.50 0.00 597.00 0.00 596.50 0.00 596.00 0.00 595.50 0.00 595.00 0.00 594.50 0.00 594.00 0.00 593.50 0.00 593.00 0.00 592.50 0.00 592.00 0.00 591.50 0.00 591.00 0.00 590.50 0.00 590.00 0.00 589.50 0.00 589.00 0.00 588.50 0.00 588.00 0.00 587.50 0.00 587.00 0.00 586.50 0.00 586.00 0.00 585.50 0.00 585.00 0.00 584.50 0.00 584.00 0.00 583.50 0.00 583.00 0.00 582.50 0.00 582.00 0.00 581.50 0.00 581.00 0.00 580.50 0.00 580.00 0.00 579.50 0.00 579.00 0.00 578.50 0.00 578.00 0.00 577.50 0.00

613.50 0.00 613.00 0.00 612.50 0.00 612.00 0.00 611.50 0.00 611.00 0.00 610.50 0.00 610.00 0.00 609.50 0.00 609.00 0.00 608.50 0.00 608.00 0.00 607.50 0.00 607.00 0.00 606.50 0.00 606.00 0.00 605.50 0.00 605.00 0.00 604.50 0.00 604.00 0.00 603.50 0.00 603.00 0.00 602.50 0.00 602.00 0.00 601.50 0.00 601.00 0.00 600.50 0.00 600.00 0.00 599.50 0.00 599.00 0.00 598.50 0.00 598.00 0.00 597.50 0.00 597.00 0.00 596.50 0.00 596.00 0.00 595.50 0.00 595.00 0.00 594.50 0.00 594.00 0.00 593.50 0.00 593.00 0.00 592.50 0.00 592.00 0.00 591.50 0.00 591.00 0.00 590.50 0.00 590.00 0.00 589.50 0.00 589.00 0.00 588.50 0.00 588.00 0.00 587.50 0.00 587.00 0.00 586.50 0.00 586.00 0.00 585.50 0.00 585.00 0.00 584.50 0.00 584.00 0.00 583.50 0.00 583.00 0.00 582.50 0.00 582.00 0.00 581.50 0.00 581.00 0.00 580.50 0.00 580.00 0.00 579.50 0.00 579.00 0.00 578.50 0.00 578.00 0.00 577.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 101: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

81

577.00 99.98 576.50 99.99 576.00 99.99 575.50 99.98 575.00 99.96 574.50 99.98 574.00 100.00 573.50 100.00 573.00 100.00 572.50 100.00 572.00 99.99 571.50 99.98 571.00 99.98 570.50 99.99 570.00 100.00 569.50 99.99 569.00 99.99 568.50 100.00 568.00 100.00 567.50 100.00 567.00 99.99 566.50 99.99 566.00 100.00 565.50 99.99 565.00 99.98 564.50 99.99 564.00 100.00 563.50 100.00 563.00 99.99 562.50 99.98 562.00 99.98 561.50 99.98 561.00 99.99 560.50 100.00 560.00 100.00 559.50 99.99 559.00 99.98 558.50 99.98 558.00 99.99 557.50 99.99 557.00 99.98 556.50 99.99 556.00 99.99 555.50 99.99 555.00 100.00 554.50 99.99 554.00 99.99 553.50 99.99 553.00 99.99 552.50 100.00 552.00 100.00 551.50 99.99 551.00 99.96 550.50 99.96 550.00 99.98 549.50 99.98 549.00 99.98 548.50 99.99 548.00 100.00 547.50 100.00 547.00 100.00 546.50 100.00 546.00 100.01 545.50 99.99 545.00 99.99 544.50 100.00 544.00 99.99 543.50 99.98 543.00 99.99 542.50 99.99 542.00 99.98 541.50 99.99 541.00 99.99

577.00 3.87 576.50 3.88 576.00 3.88 575.50 3.89 575.00 3.89 574.50 3.89 574.00 3.91 573.50 3.92 573.00 3.92 572.50 3.93 572.00 3.93 571.50 3.94 571.00 3.94 570.50 3.96 570.00 3.96 569.50 3.96 569.00 3.97 568.50 3.98 568.00 3.99 567.50 4.00 567.00 4.00 566.50 4.02 566.00 4.02 565.50 4.03 565.00 4.04 564.50 4.04 564.00 4.04 563.50 4.05 563.00 4.06 562.50 4.06 562.00 4.06 561.50 4.08 561.00 4.09 560.50 4.09 560.00 4.10 559.50 4.11 559.00 4.11 558.50 4.13 558.00 4.13 557.50 4.14 557.00 4.14 556.50 4.15 556.00 4.15 555.50 4.16 555.00 4.16 554.50 4.19 554.00 4.20 553.50 4.20 553.00 4.20 552.50 4.21 552.00 4.22 551.50 4.22 551.00 4.24 550.50 4.25 550.00 4.25 549.50 4.26 549.00 4.26 548.50 4.27 548.00 4.28 547.50 4.28 547.00 4.28 546.50 4.30 546.00 4.31 545.50 4.31 545.00 4.32 544.50 4.32 544.00 4.33 543.50 4.33 543.00 4.35 542.50 4.37 542.00 4.38 541.50 4.38 541.00 4.39

577.00 0.06 576.50 0.06 576.00 0.06 575.50 0.06 575.00 0.06 574.50 0.06 574.00 0.06 573.50 0.06 573.00 0.06 572.50 0.06 572.00 0.06 571.50 0.06 571.00 0.06 570.50 0.06 570.00 0.06 569.50 0.06 569.00 0.05 568.50 0.05 568.00 0.06 567.50 0.06 567.00 0.06 566.50 0.06 566.00 0.06 565.50 0.06 565.00 0.06 564.50 0.06 564.00 0.06 563.50 0.06 563.00 0.06 562.50 0.06 562.00 0.06 561.50 0.06 561.00 0.06 560.50 0.06 560.00 0.06 559.50 0.06 559.00 0.06 558.50 0.06 558.00 0.06 557.50 0.06 557.00 0.05 556.50 0.05 556.00 0.06 555.50 0.06 555.00 0.06 554.50 0.06 554.00 0.06 553.50 0.06 553.00 0.06 552.50 0.06 552.00 0.06 551.50 0.06 551.00 0.06 550.50 0.06 550.00 0.06 549.50 0.06 549.00 0.06 548.50 0.06 548.00 0.06 547.50 0.06 547.00 0.05 546.50 0.05 546.00 0.06 545.50 0.06 545.00 0.06 544.50 0.06 544.00 0.06 543.50 0.06 543.00 0.06 542.50 0.06 542.00 0.06 541.50 0.06 541.00 0.05

577.00 0.00 576.50 0.00 576.00 0.00 575.50 0.00 575.00 0.00 574.50 0.00 574.00 0.00 573.50 0.00 573.00 0.00 572.50 0.00 572.00 0.00 571.50 0.00 571.00 0.00 570.50 0.00 570.00 0.00 569.50 0.00 569.00 0.00 568.50 0.00 568.00 0.00 567.50 0.00 567.00 0.00 566.50 0.00 566.00 0.00 565.50 0.00 565.00 0.00 564.50 0.00 564.00 0.00 563.50 0.00 563.00 0.00 562.50 0.00 562.00 0.00 561.50 0.00 561.00 0.00 560.50 0.00 560.00 0.00 559.50 0.00 559.00 0.00 558.50 0.00 558.00 0.00 557.50 0.00 557.00 0.00 556.50 0.00 556.00 0.00 555.50 0.00 555.00 0.00 554.50 0.00 554.00 0.00 553.50 0.00 553.00 0.00 552.50 0.00 552.00 0.00 551.50 0.00 551.00 0.00 550.50 0.00 550.00 0.00 549.50 0.00 549.00 0.00 548.50 0.00 548.00 0.00 547.50 0.00 547.00 0.00 546.50 0.00 546.00 0.00 545.50 0.00 545.00 0.00 544.50 0.00 544.00 0.00 543.50 0.00 543.00 0.00 542.50 0.00 542.00 0.00 541.50 0.00 541.00 0.00

577.00 0.00 576.50 0.00 576.00 0.00 575.50 0.00 575.00 0.00 574.50 0.00 574.00 0.00 573.50 0.00 573.00 0.00 572.50 0.00 572.00 0.00 571.50 0.00 571.00 0.00 570.50 0.00 570.00 0.00 569.50 0.00 569.00 0.00 568.50 0.00 568.00 0.00 567.50 0.00 567.00 0.00 566.50 0.00 566.00 0.00 565.50 0.00 565.00 0.00 564.50 0.00 564.00 0.00 563.50 0.00 563.00 0.00 562.50 0.00 562.00 0.00 561.50 0.00 561.00 0.00 560.50 0.00 560.00 0.00 559.50 0.00 559.00 0.00 558.50 0.00 558.00 0.00 557.50 0.00 557.00 0.00 556.50 0.00 556.00 0.00 555.50 0.00 555.00 0.00 554.50 0.00 554.00 0.00 553.50 0.00 553.00 0.00 552.50 0.00 552.00 0.00 551.50 0.00 551.00 0.00 550.50 0.00 550.00 0.00 549.50 0.00 549.00 0.00 548.50 0.00 548.00 0.00 547.50 0.00 547.00 0.00 546.50 0.00 546.00 0.00 545.50 0.00 545.00 0.00 544.50 0.00 544.00 0.00 543.50 0.00 543.00 0.00 542.50 0.00 542.00 0.00 541.50 0.00 541.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 102: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

82

540.50 99.99 540.00 99.99 539.50 99.98 539.00 99.98 538.50 99.99 538.00 100.00 537.50 99.99 537.00 99.98 536.50 99.99 536.00 100.00 535.50 100.00 535.00 99.99 534.50 99.99 534.00 99.99 533.50 99.98 533.00 99.98 532.50 99.99 532.00 99.99 531.50 99.98 531.00 99.98 530.50 99.98 530.00 99.99 529.50 99.98 529.00 99.96 528.50 99.99 528.00 99.98 527.50 99.96 527.00 99.99 526.50 99.99 526.00 99.98 525.50 99.99 525.00 100.00 524.50 100.00 524.00 100.00 523.50 100.01 523.00 100.00 522.50 100.00 522.00 99.99 521.50 99.98 521.00 99.98 520.50 99.99 520.00 99.98 519.50 99.96 519.00 99.96 518.50 99.98 518.00 99.98 517.50 99.98 517.00 99.99 516.50 100.00 516.00 99.99 515.50 99.99 515.00 99.99 514.50 99.98 514.00 99.98 513.50 99.98 513.00 99.99 512.50 100.00 512.00 99.99 511.50 99.98 511.00 99.98 510.50 99.98 510.00 99.99 509.50 99.99 509.00 99.99 508.50 99.99 508.00 99.96 507.50 99.96 507.00 99.98 506.50 99.98 506.00 99.99 505.50 100.00 505.00 99.99 504.50 99.99

540.50 4.41 540.00 4.41 539.50 4.42 539.00 4.42 538.50 4.43 538.00 4.43 537.50 4.44 537.00 4.44 536.50 4.47 536.00 4.48 535.50 4.48 535.00 4.49 534.50 4.49 534.00 4.50 533.50 4.52 533.00 4.52 532.50 4.53 532.00 4.54 531.50 4.54 531.00 4.55 530.50 4.55 530.00 4.57 529.50 4.58 529.00 4.59 528.50 4.59 528.00 4.61 527.50 4.63 527.00 4.63 526.50 4.64 526.00 4.65 525.50 4.65 525.00 4.66 524.50 4.66 524.00 4.68 523.50 4.69 523.00 4.69 522.50 4.71 522.00 4.71 521.50 4.72 521.00 4.74 520.50 4.74 520.00 4.75 519.50 4.76 519.00 4.77 518.50 4.79 518.00 4.80 517.50 4.81 517.00 4.81 516.50 4.82 516.00 4.83 515.50 4.85 515.00 4.85 514.50 4.86 514.00 4.87 513.50 4.88 513.00 4.90 512.50 4.91 512.00 4.91 511.50 4.92 511.00 4.93 510.50 4.94 510.00 4.96 509.50 4.98 509.00 4.99 508.50 4.99 508.00 5.00 507.50 5.02 507.00 5.03 506.50 5.04 506.00 5.04 505.50 5.05 505.00 5.07 504.50 5.08

540.50 0.05 540.00 0.06 539.50 0.05 539.00 0.05 538.50 0.06 538.00 0.06 537.50 0.06 537.00 0.05 536.50 0.05 536.00 0.06 535.50 0.06 535.00 0.06 534.50 0.06 534.00 0.06 533.50 0.06 533.00 0.06 532.50 0.06 532.00 0.06 531.50 0.06 531.00 0.06 530.50 0.06 530.00 0.06 529.50 0.06 529.00 0.06 528.50 0.06 528.00 0.06 527.50 0.06 527.00 0.06 526.50 0.06 526.00 0.06 525.50 0.06 525.00 0.06 524.50 0.06 524.00 0.06 523.50 0.06 523.00 0.06 522.50 0.06 522.00 0.06 521.50 0.06 521.00 0.06 520.50 0.06 520.00 0.06 519.50 0.06 519.00 0.06 518.50 0.06 518.00 0.06 517.50 0.06 517.00 0.06 516.50 0.06 516.00 0.06 515.50 0.06 515.00 0.06 514.50 0.06 514.00 0.06 513.50 0.06 513.00 0.06 512.50 0.06 512.00 0.06 511.50 0.06 511.00 0.06 510.50 0.06 510.00 0.06 509.50 0.06 509.00 0.06 508.50 0.06 508.00 0.06 507.50 0.06 507.00 0.06 506.50 0.06 506.00 0.06 505.50 0.06 505.00 0.06 504.50 0.06

540.50 0.00 540.00 0.00 539.50 0.00 539.00 0.00 538.50 0.00 538.00 0.00 537.50 0.00 537.00 0.00 536.50 0.00 536.00 0.00 535.50 0.00 535.00 0.00 534.50 0.00 534.00 0.00 533.50 0.00 533.00 0.00 532.50 0.00 532.00 0.00 531.50 0.00 531.00 0.00 530.50 0.00 530.00 0.00 529.50 0.00 529.00 0.00 528.50 0.00 528.00 0.00 527.50 0.00 527.00 0.00 526.50 0.00 526.00 0.00 525.50 0.00 525.00 0.00 524.50 0.00 524.00 0.00 523.50 0.00 523.00 0.00 522.50 0.00 522.00 0.00 521.50 0.00 521.00 0.00 520.50 0.00 520.00 0.00 519.50 0.00 519.00 0.00 518.50 0.00 518.00 0.00 517.50 0.00 517.00 0.00 516.50 0.00 516.00 0.00 515.50 0.00 515.00 0.00 514.50 0.00 514.00 0.00 513.50 0.00 513.00 0.00 512.50 0.00 512.00 0.00 511.50 0.00 511.00 0.00 510.50 0.00 510.00 0.00 509.50 0.00 509.00 0.00 508.50 0.00 508.00 0.00 507.50 0.00 507.00 0.00 506.50 0.00 506.00 0.00 505.50 0.00 505.00 0.00 504.50 0.00

540.50 0.00 540.00 0.00 539.50 0.00 539.00 0.00 538.50 0.00 538.00 0.00 537.50 0.00 537.00 0.00 536.50 0.00 536.00 0.00 535.50 0.00 535.00 0.00 534.50 0.00 534.00 0.00 533.50 0.00 533.00 0.00 532.50 0.00 532.00 0.00 531.50 0.00 531.00 0.00 530.50 0.00 530.00 0.00 529.50 0.00 529.00 0.00 528.50 0.00 528.00 0.00 527.50 0.00 527.00 0.00 526.50 0.00 526.00 0.00 525.50 0.00 525.00 0.00 524.50 0.00 524.00 0.00 523.50 0.00 523.00 0.00 522.50 0.00 522.00 0.00 521.50 0.00 521.00 0.00 520.50 0.00 520.00 0.00 519.50 0.00 519.00 0.00 518.50 0.00 518.00 0.00 517.50 0.00 517.00 0.00 516.50 0.00 516.00 0.00 515.50 0.00 515.00 0.00 514.50 0.00 514.00 0.00 513.50 0.00 513.00 0.00 512.50 0.00 512.00 0.00 511.50 0.00 511.00 0.00 510.50 0.00 510.00 0.00 509.50 0.00 509.00 0.00 508.50 0.00 508.00 0.00 507.50 0.00 507.00 0.00 506.50 0.00 506.00 0.00 505.50 0.00 505.00 0.00 504.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 103: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

83

504.00 100.00 503.50 100.00 503.00 99.99 502.50 99.99 502.00 99.99 501.50 99.99 501.00 99.99 500.50 99.99 500.00 100.00 499.50 99.99 499.00 99.98 498.50 99.99 498.00 100.00 497.50 99.99 497.00 99.98 496.50 99.99 496.00 99.99 495.50 99.99 495.00 99.99 494.50 99.98 494.00 99.99 493.50 100.00 493.00 100.00 492.50 99.99 492.00 99.99 491.50 99.99 491.00 99.99 490.50 100.00 490.00 100.00 489.50 99.99 489.00 99.98 488.50 99.99 488.00 99.99 487.50 99.99 487.00 99.99 486.50 99.99 486.00 100.00 485.50 100.00 485.00 99.99 484.50 99.98 484.00 99.99 483.50 100.00 483.00 100.00 482.50 100.00 482.00 99.99 481.50 99.98 481.00 99.98 480.50 99.99 480.00 100.00 479.50 100.00 479.00 100.00 478.50 99.99 478.00 99.98 477.50 99.98 477.00 99.99 476.50 100.00 476.00 99.99 475.50 99.98 475.00 99.99 474.50 99.99 474.00 99.99 473.50 99.98 473.00 99.98 472.50 99.99 472.00 99.99 471.50 100.00 471.00 100.00 470.50 100.00 470.00 100.00 469.50 99.99 469.00 99.99 468.50 100.00 468.00 100.00

504.00 5.09 503.50 5.10 503.00 5.10 502.50 5.11 502.00 5.13 501.50 5.14 501.00 5.15 500.50 5.16 500.00 5.18 499.50 5.18 499.00 5.20 498.50 5.21 498.00 5.22 497.50 5.24 497.00 5.24 496.50 5.25 496.00 5.26 495.50 5.29 495.00 5.30 494.50 5.30 494.00 5.31 493.50 5.32 493.00 5.33 492.50 5.36 492.00 5.37 491.50 5.38 491.00 5.40 490.50 5.40 490.00 5.41 489.50 5.42 489.00 5.43 488.50 5.44 488.00 5.47 487.50 5.48 487.00 5.49 486.50 5.51 486.00 5.52 485.50 5.53 485.00 5.54 484.50 5.54 484.00 5.55 483.50 5.58 483.00 5.59 482.50 5.59 482.00 5.60 481.50 5.62 481.00 5.63 480.50 5.63 480.00 5.64 479.50 5.65 479.00 5.66 478.50 5.68 478.00 5.70 477.50 5.71 477.00 5.71 476.50 5.73 476.00 5.74 475.50 5.76 475.00 5.77 474.50 5.77 474.00 5.79 473.50 5.80 473.00 5.81 472.50 5.82 472.00 5.85 471.50 5.86 471.00 5.88 470.50 5.90 470.00 5.90 469.50 5.91 469.00 5.92 468.50 5.93 468.00 5.94

504.00 0.06 503.50 0.06 503.00 0.06 502.50 0.06 502.00 0.06 501.50 0.06 501.00 0.06 500.50 0.06 500.00 0.06 499.50 0.07 499.00 0.06 498.50 0.06 498.00 0.06 497.50 0.07 497.00 0.06 496.50 0.06 496.00 0.06 495.50 0.06 495.00 0.06 494.50 0.06 494.00 0.06 493.50 0.06 493.00 0.06 492.50 0.06 492.00 0.06 491.50 0.06 491.00 0.06 490.50 0.06 490.00 0.06 489.50 0.06 489.00 0.06 488.50 0.06 488.00 0.06 487.50 0.06 487.00 0.06 486.50 0.06 486.00 0.06 485.50 0.06 485.00 0.06 484.50 0.06 484.00 0.06 483.50 0.06 483.00 0.06 482.50 0.06 482.00 0.06 481.50 0.06 481.00 0.06 480.50 0.06 480.00 0.06 479.50 0.06 479.00 0.06 478.50 0.06 478.00 0.06 477.50 0.06 477.00 0.06 476.50 0.06 476.00 0.06 475.50 0.06 475.00 0.06 474.50 0.06 474.00 0.06 473.50 0.06 473.00 0.06 472.50 0.06 472.00 0.06 471.50 0.06 471.00 0.06 470.50 0.06 470.00 0.06 469.50 0.06 469.00 0.06 468.50 0.06 468.00 0.06

504.00 0.00 503.50 0.00 503.00 0.00 502.50 0.00 502.00 0.00 501.50 0.00 501.00 0.00 500.50 0.00 500.00 0.00 499.50 0.00 499.00 0.00 498.50 0.00 498.00 0.00 497.50 0.00 497.00 0.00 496.50 0.00 496.00 0.00 495.50 0.00 495.00 0.00 494.50 0.00 494.00 0.00 493.50 0.00 493.00 0.00 492.50 0.00 492.00 0.00 491.50 0.00 491.00 0.00 490.50 0.00 490.00 0.00 489.50 0.00 489.00 0.00 488.50 0.00 488.00 0.00 487.50 0.00 487.00 0.00 486.50 0.00 486.00 0.00 485.50 0.00 485.00 0.00 484.50 0.00 484.00 0.00 483.50 0.00 483.00 0.00 482.50 0.00 482.00 0.00 481.50 0.00 481.00 0.00 480.50 0.00 480.00 0.00 479.50 0.00 479.00 0.00 478.50 0.00 478.00 0.00 477.50 0.00 477.00 0.00 476.50 0.00 476.00 0.00 475.50 0.00 475.00 0.00 474.50 0.00 474.00 0.00 473.50 0.00 473.00 0.00 472.50 0.00 472.00 0.00 471.50 0.00 471.00 0.00 470.50 0.00 470.00 0.00 469.50 0.00 469.00 0.00 468.50 0.00 468.00 0.00

504.00 0.00 503.50 0.00 503.00 0.00 502.50 0.00 502.00 0.00 501.50 0.00 501.00 0.00 500.50 0.00 500.00 0.00 499.50 0.00 499.00 0.00 498.50 0.00 498.00 0.00 497.50 0.00 497.00 0.00 496.50 0.00 496.00 0.00 495.50 0.00 495.00 0.00 494.50 0.00 494.00 0.00 493.50 0.00 493.00 0.00 492.50 0.00 492.00 0.00 491.50 0.00 491.00 0.00 490.50 0.00 490.00 0.00 489.50 0.00 489.00 0.00 488.50 0.00 488.00 0.00 487.50 0.00 487.00 0.00 486.50 0.00 486.00 0.00 485.50 0.00 485.00 0.00 484.50 0.00 484.00 0.00 483.50 0.00 483.00 0.00 482.50 0.00 482.00 0.00 481.50 0.00 481.00 0.00 480.50 0.00 480.00 0.00 479.50 0.00 479.00 0.00 478.50 0.00 478.00 0.00 477.50 0.00 477.00 0.00 476.50 0.00 476.00 0.00 475.50 0.00 475.00 0.00 474.50 0.00 474.00 0.00 473.50 0.00 473.00 0.00 472.50 0.00 472.00 0.00 471.50 0.00 471.00 0.00 470.50 0.00 470.00 0.00 469.50 0.00 469.00 0.00 468.50 0.00 468.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 104: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

84

467.50 100.00 467.00 99.99 466.50 99.99 466.00 100.00 465.50 100.00 465.00 100.00 464.50 100.00 464.00 99.95 463.50 99.84 463.00 99.74 462.50 99.85 462.00 100.00 461.50 100.00 461.00 100.00 460.50 100.00 460.00 99.99 459.50 99.99 459.00 100.00 458.50 100.00 458.00 100.00 457.50 100.00 457.00 99.99 456.50 99.99 456.00 99.99 455.50 99.98 455.00 99.99 454.50 99.99 454.00 99.98 453.50 99.98 453.00 99.98 452.50 99.99 452.00 99.99 451.50 99.98 451.00 99.98 450.50 99.98 450.00 99.99 449.50 99.99 449.00 99.98 448.50 99.99 448.00 99.99 447.50 99.96 447.00 99.96 446.50 99.96 446.00 99.98 445.50 99.98 445.00 99.98 444.50 99.98 444.00 99.98 443.50 99.98 443.00 99.96 442.50 99.96 442.00 99.98 441.50 99.98 441.00 99.98 440.50 99.98 440.00 99.96 439.50 99.96 439.00 99.98 438.50 99.98 438.00 99.98 437.50 99.98 437.00 99.98 436.50 99.98 436.00 99.98 435.50 99.98 435.00 99.96 434.50 99.96 434.00 99.96 433.50 99.96 433.00 99.99 432.50 99.99 432.00 99.98 431.50 99.96

467.50 5.96 467.00 5.98 466.50 5.99 466.00 6.01 465.50 6.02 465.00 6.03 464.50 6.04 464.00 6.07 463.50 6.08 463.00 6.08 462.50 6.09 462.00 6.12 461.50 6.13 461.00 6.15 460.50 6.16 460.00 6.18 459.50 6.19 459.00 6.21 458.50 6.23 458.00 6.24 457.50 6.25 457.00 6.27 456.50 6.29 456.00 6.30 455.50 6.32 455.00 6.34 454.50 6.35 454.00 6.36 453.50 6.38 453.00 6.40 452.50 6.41 452.00 6.43 451.50 6.46 451.00 6.47 450.50 6.48 450.00 6.49 449.50 6.51 449.00 6.52 448.50 6.54 448.00 6.57 447.50 6.58 447.00 6.59 446.50 6.60 446.00 6.62 445.50 6.64 445.00 6.65 444.50 6.67 444.00 6.69 443.50 6.70 443.00 6.73 442.50 6.74 442.00 6.75 441.50 6.76 441.00 6.79 440.50 6.80 440.00 6.81 439.50 6.84 439.00 6.85 438.50 6.86 438.00 6.88 437.50 6.90 437.00 6.91 436.50 6.92 436.00 6.93 435.50 6.96 435.00 6.98 434.50 6.99 434.00 7.01 433.50 7.02 433.00 7.04 432.50 7.06 432.00 7.08 431.50 7.09

467.50 0.06 467.00 0.06 466.50 0.06 466.00 0.06 465.50 0.06 465.00 0.06 464.50 0.06 464.00 0.06 463.50 0.06 463.00 0.06 462.50 0.06 462.00 0.06 461.50 0.06 461.00 0.06 460.50 0.06 460.00 0.06 459.50 0.06 459.00 0.06 458.50 0.06 458.00 0.06 457.50 0.06 457.00 0.06 456.50 0.06 456.00 0.06 455.50 0.06 455.00 0.06 454.50 0.06 454.00 0.06 453.50 0.06 453.00 0.06 452.50 0.06 452.00 0.06 451.50 0.06 451.00 0.06 450.50 0.06 450.00 0.06 449.50 0.06 449.00 0.06 448.50 0.06 448.00 0.06 447.50 0.06 447.00 0.06 446.50 0.06 446.00 0.06 445.50 0.06 445.00 0.06 444.50 0.06 444.00 0.06 443.50 0.05 443.00 0.05 442.50 0.06 442.00 0.06 441.50 0.06 441.00 0.06 440.50 0.06 440.00 0.06 439.50 0.06 439.00 0.05 438.50 0.05 438.00 0.06 437.50 0.06 437.00 0.06 436.50 0.06 436.00 0.05 435.50 0.05 435.00 0.05 434.50 0.05 434.00 0.05 433.50 0.06 433.00 0.06 432.50 0.06 432.00 0.06 431.50 0.06

467.50 0.00 467.00 0.00 466.50 0.00 466.00 0.00 465.50 0.00 465.00 0.00 464.50 0.00 464.00 0.00 463.50 0.00 463.00 0.00 462.50 0.00 462.00 0.00 461.50 0.00 461.00 0.00 460.50 0.00 460.00 0.00 459.50 0.00 459.00 0.00 458.50 0.00 458.00 0.00 457.50 0.00 457.00 0.00 456.50 0.00 456.00 0.00 455.50 0.00 455.00 0.00 454.50 0.00 454.00 0.00 453.50 0.00 453.00 0.00 452.50 0.00 452.00 0.00 451.50 0.00 451.00 0.00 450.50 0.00 450.00 0.00 449.50 0.00 449.00 0.00 448.50 0.00 448.00 0.00 447.50 0.00 447.00 0.00 446.50 0.00 446.00 0.00 445.50 0.00 445.00 0.00 444.50 0.00 444.00 0.00 443.50 0.00 443.00 0.00 442.50 0.00 442.00 0.00 441.50 0.00 441.00 0.00 440.50 0.00 440.00 0.00 439.50 0.00 439.00 0.00 438.50 0.00 438.00 0.00 437.50 0.00 437.00 0.00 436.50 0.00 436.00 0.00 435.50 0.00 435.00 0.00 434.50 0.00 434.00 0.00 433.50 0.00 433.00 0.00 432.50 0.00 432.00 0.00 431.50 0.00

467.50 0.00 467.00 0.00 466.50 0.00 466.00 0.00 465.50 0.00 465.00 0.00 464.50 0.00 464.00 0.00 463.50 0.00 463.00 0.00 462.50 0.00 462.00 0.00 461.50 0.00 461.00 0.00 460.50 0.00 460.00 0.00 459.50 0.00 459.00 0.00 458.50 0.00 458.00 0.00 457.50 0.00 457.00 0.00 456.50 0.00 456.00 0.00 455.50 0.00 455.00 0.00 454.50 0.00 454.00 0.00 453.50 0.00 453.00 0.00 452.50 0.00 452.00 0.00 451.50 0.00 451.00 0.00 450.50 0.00 450.00 0.00 449.50 0.00 449.00 0.00 448.50 0.00 448.00 0.00 447.50 0.00 447.00 0.00 446.50 0.00 446.00 0.00 445.50 0.00 445.00 0.00 444.50 0.00 444.00 0.00 443.50 0.00 443.00 0.00 442.50 0.00 442.00 0.00 441.50 0.00 441.00 0.00 440.50 0.00 440.00 0.00 439.50 0.00 439.00 0.00 438.50 0.00 438.00 0.00 437.50 0.00 437.00 0.00 436.50 0.00 436.00 0.00 435.50 0.00 435.00 0.00 434.50 0.00 434.00 0.00 433.50 0.00 433.00 0.00 432.50 0.00 432.00 0.00 431.50 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 105: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

85

431.00 99.96 430.50 99.96 430.00 99.96 429.50 99.96 429.00 99.98 428.50 99.98 428.00 99.98 427.50 99.98 427.00 99.98 426.50 99.98 426.00 99.99 425.50 99.99 425.00 99.99 424.50 99.99 424.00 99.98 423.50 99.98 423.00 99.96 422.50 99.96 422.00 99.96 421.50 99.96 421.00 99.98 420.50 99.96 420.00 99.96 419.50 99.96 419.00 99.98 418.50 99.98 418.00 99.98 417.50 99.99 417.00 99.99 416.50 99.99 416.00 99.99 415.50 99.99 415.00 99.98 414.50 99.95 414.00 99.95 413.50 99.95 413.00 99.95 412.50 99.96 412.00 99.96 411.50 99.96 411.00 99.96 410.50 99.96 410.00 99.96 409.50 99.96 409.00 99.96 408.50 99.98 408.00 99.98 407.50 99.96 407.00 99.96 406.50 99.96 406.00 99.95 405.50 99.95 405.00 99.95 404.50 99.94 404.00 99.94 403.50 99.95 403.00 99.96 402.50 99.98 402.00 99.98 401.50 99.96 401.00 99.98 400.50 99.99 400.00 99.98

431.00 7.10 430.50 7.13 430.00 7.14 429.50 7.17 429.00 7.18 428.50 7.19 428.00 7.21 427.50 7.23 427.00 7.24 426.50 7.26 426.00 7.28 425.50 7.30 425.00 7.31 424.50 7.32 424.00 7.34 423.50 7.35 423.00 7.37 422.50 7.40 422.00 7.42 421.50 7.43 421.00 7.45 420.50 7.46 420.00 7.48 419.50 7.50 419.00 7.51 418.50 7.53 418.00 7.56 417.50 7.57 417.00 7.58 416.50 7.60 416.00 7.63 415.50 7.64 415.00 7.65 414.50 7.68 414.00 7.70 413.50 7.71 413.00 7.74 412.50 7.75 412.00 7.76 411.50 7.78 411.00 7.80 410.50 7.82 410.00 7.84 409.50 7.85 409.00 7.86 408.50 7.89 408.00 7.90 407.50 7.92 407.00 7.93 406.50 7.96 406.00 7.97 405.50 7.98 405.00 8.00 404.50 8.02 404.00 8.03 403.50 8.06 403.00 8.07 402.50 8.08 402.00 8.09 401.50 8.12 401.00 8.14 400.50 8.15 400.00 8.17

431.00 0.06 430.50 0.06 430.00 0.05 429.50 0.05 429.00 0.05 428.50 0.05 428.00 0.06 427.50 0.06 427.00 0.06 426.50 0.06 426.00 0.06 425.50 0.06 425.00 0.05 424.50 0.05 424.00 0.06 423.50 0.06 423.00 0.06 422.50 0.06 422.00 0.05 421.50 0.05 421.00 0.05 420.50 0.05 420.00 0.05 419.50 0.06 419.00 0.06 418.50 0.06 418.00 0.05 417.50 0.05 417.00 0.05 416.50 0.06 416.00 0.05 415.50 0.05 415.00 0.05 414.50 0.05 414.00 0.06 413.50 0.06 413.00 0.06 412.50 0.06 412.00 0.05 411.50 0.05 411.00 0.05 410.50 0.05 410.00 0.05 409.50 0.05 409.00 0.05 408.50 0.06 408.00 0.05 407.50 0.05 407.00 0.06 406.50 0.06 406.00 0.06 405.50 0.06 405.00 0.05 404.50 0.05 404.00 0.06 403.50 0.05 403.00 0.05 402.50 0.06 402.00 0.06 401.50 0.06 401.00 0.06 400.50 0.06 400.00 0.06

431.00 0.00 430.50 0.00 430.00 0.00 429.50 0.00 429.00 0.00 428.50 0.00 428.00 0.00 427.50 0.00 427.00 0.00 426.50 0.00 426.00 0.00 425.50 0.00 425.00 0.00 424.50 0.00 424.00 0.00 423.50 0.00 423.00 0.00 422.50 0.00 422.00 0.00 421.50 0.00 421.00 0.00 420.50 0.00 420.00 0.00 419.50 0.00 419.00 0.00 418.50 -0.01 418.00 -0.01 417.50 0.00 417.00 0.00 416.50 0.00 416.00 0.00 415.50 0.00 415.00 0.00 414.50 0.00 414.00 -0.01 413.50 -0.01 413.00 0.00 412.50 0.00 412.00 0.00 411.50 0.00 411.00 0.00 410.50 0.00 410.00 0.00 409.50 0.00 409.00 0.00 408.50 0.00 408.00 0.00 407.50 0.00 407.00 0.00 406.50 0.00 406.00 0.00 405.50 0.00 405.00 0.00 404.50 -0.01 404.00 -0.01 403.50 0.00 403.00 0.00 402.50 -0.01 402.00 -0.01 401.50 0.00 401.00 0.00 400.50 0.00 400.00 0.00

431.00 0.00 430.50 0.00 430.00 0.00 429.50 0.00 429.00 0.00 428.50 0.00 428.00 0.00 427.50 0.00 427.00 0.00 426.50 0.00 426.00 0.00 425.50 0.00 425.00 0.00 424.50 0.00 424.00 0.00 423.50 0.00 423.00 0.00 422.50 0.00 422.00 0.00 421.50 0.00 421.00 0.00 420.50 0.00 420.00 0.00 419.50 0.00 419.00 0.00 418.50 0.00 418.00 0.00 417.50 0.00 417.00 0.00 416.50 0.00 416.00 0.00 415.50 0.00 415.00 0.00 414.50 0.00 414.00 0.00 413.50 0.00 413.00 0.00 412.50 0.00 412.00 0.00 411.50 0.00 411.00 -0.01 410.50 -0.01 410.00 0.00 409.50 0.00 409.00 0.00 408.50 0.00 408.00 0.00 407.50 0.00 407.00 0.00 406.50 0.00 406.00 0.00 405.50 0.00 405.00 0.00 404.50 -0.01 404.00 -0.01 403.50 0.00 403.00 0.00 402.50 0.00 402.00 0.00 401.50 0.00 401.00 0.00 400.50 0.00 400.00 0.00

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 106: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

LAMPIRAN III

DATA ABSORBANSI

86

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 107: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

87

File Name: STDABS Created: 12:17 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: Abs. Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) Abs. 900.00 0.0001 899.50 0.0002 899.00 0.0002 898.50 0.0002 898.00 0.0001 897.50 0.0000 897.00 0.0001 896.50 0.0002 896.00 0.0002 895.50 0.0002 895.00 0.0001 894.50 0.0001 894.00 0.0002 893.50 0.0002 893.00 0.0002 892.50 0.0002 892.00 0.0001 891.50 0.0001 891.00 0.0002 890.50 0.0002 890.00 0.0002 889.50 0.0002 889.00 0.0002 888.50 0.0002 888.00 0.0002 887.50 0.0002 887.00 0.0002 886.50 0.0002 886.00 0.0002 885.50 0.0002 885.00 0.0002 884.50 0.0002 884.00 0.0002 883.50 0.0002 883.00 0.0002 882.50 0.0002 882.00 0.0002 881.50 0.0002 881.00 0.0002 880.50 0.0002 880.00 0.0002 879.50 0.0002 879.00 0.0002 878.50 0.0002 878.00 0.0002 877.50 0.0002 877.00 0.0001 876.50 0.0001 876.00 0.0002 875.50 0.0002 875.00 0.0002 874.50 0.0002 874.00 0.0002 873.50 0.0002 873.00 0.0001 872.50 0.0000 872.00 0.0000 871.50 0.0000 871.00 0.0000 870.50 0.0001 870.00 0.0001 869.50 0.0001 869.00 0.0001

File Name: CUP1 Created: 12:20 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: Abs. Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) Abs. 900.00 1.5034 899.50 1.5026 899.00 1.5018 898.50 1.5018 898.00 1.5010 897.50 1.5010 897.00 1.5018 896.50 1.5018 896.00 1.5018 895.50 1.5010 895.00 1.5002 894.50 1.5002 894.00 1.5002 893.50 1.4993 893.00 1.4984 892.50 1.4984 892.00 1.4984 891.50 1.4984 891.00 1.4984 890.50 1.4984 890.00 1.4976 889.50 1.4976 889.00 1.4976 888.50 1.4968 888.00 1.4968 887.50 1.4968 887.00 1.4960 886.50 1.4952 886.00 1.4960 885.50 1.4968 885.00 1.4960 884.50 1.4952 884.00 1.4952 883.50 1.4952 883.00 1.4944 882.50 1.4937 882.00 1.4937 881.50 1.4937 881.00 1.4928 880.50 1.4928 880.00 1.4937 879.50 1.4937 879.00 1.4937 878.50 1.4928 878.00 1.4919 877.50 1.4919 877.00 1.4919 876.50 1.4919 876.00 1.4911 875.50 1.4911 875.00 1.4919 874.50 1.4919 874.00 1.4911 873.50 1.4904 873.00 1.4904 872.50 1.4904 872.00 1.4904 871.50 1.4904 871.00 1.4895 870.50 1.4888 870.00 1.4888 869.50 1.4895 869.00 1.4904

File Name: CUP2 Created: 12:22 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: Abs. Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) Abs. 900.00 3.9999 899.50 3.9999 899.00 3.9999 898.50 3.9999 898.00 3.9999 897.50 3.9999 897.00 3.9999 896.50 3.9999 896.00 3.9999 895.50 3.9999 895.00 3.9999 894.50 3.9999 894.00 3.9999 893.50 3.9999 893.00 3.9999 892.50 3.9999 892.00 3.9999 891.50 3.9999 891.00 3.9999 890.50 3.9999 890.00 3.9999 889.50 3.9999 889.00 3.9999 888.50 3.9999 888.00 3.9999 887.50 3.9999 887.00 3.9999 886.50 3.9999 886.00 3.9999 885.50 3.9999 885.00 3.9999 884.50 3.9999 884.00 3.9999 883.50 3.9999 883.00 3.9999 882.50 3.9999 882.00 3.9999 881.50 3.9999 881.00 3.9999 880.50 3.9999 880.00 3.9999 879.50 3.9999 879.00 3.9999 878.50 3.9999 878.00 3.9999 877.50 3.9999 877.00 3.9999 876.50 3.9999 876.00 3.9999 875.50 3.9999 875.00 3.9999 874.50 3.9999 874.00 3.9999 873.50 3.9999 873.00 3.9999 872.50 3.9999 872.00 3.9999 871.50 3.9999 871.00 3.9999 870.50 3.9999 870.00 3.9999 869.50 3.9999 869.00 3.9999

File Name: CUP3 Created: 12:24 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: Abs. Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) Abs. 900.00 3.9999 899.50 3.9999 899.00 3.9999 898.50 3.9999 898.00 3.9999 897.50 3.9999 897.00 3.9999 896.50 3.9999 896.00 3.9999 895.50 3.9999 895.00 3.9999 894.50 3.9999 894.00 3.9999 893.50 3.9999 893.00 3.9999 892.50 3.9999 892.00 3.9999 891.50 3.9999 891.00 3.9999 890.50 3.9999 890.00 3.9999 889.50 3.9999 889.00 3.9999 888.50 3.9999 888.00 3.9999 887.50 3.9999 887.00 3.9999 886.50 3.9999 886.00 3.9999 885.50 3.9999 885.00 3.9999 884.50 3.9999 884.00 3.9999 883.50 3.9999 883.00 3.9999 882.50 3.9999 882.00 3.9999 881.50 3.9999 881.00 3.9999 880.50 3.9999 880.00 3.9999 879.50 3.9999 879.00 3.9999 878.50 3.9999 878.00 3.9999 877.50 3.9999 877.00 3.9999 876.50 3.9999 876.00 3.9999 875.50 3.9999 875.00 3.9999 874.50 3.9999 874.00 3.9999 873.50 3.9999 873.00 3.9999 872.50 3.9999 872.00 3.9999 871.50 3.9999 871.00 3.9999 870.50 3.9999 870.00 3.9999 869.50 3.9999 869.00 3.9999

File Name: CUP4 Created: 12:26 03/15/07 Data: Original Measuring Mode: Abs. Scan Speed: Fast Slit Width: 2.0 Sampling Interval: 0.5 Wavelength (nm.) Abs. 900.00 3.9999 899.50 3.9999 899.00 3.9999 898.50 3.9999 898.00 3.9999 897.50 3.9999 897.00 3.9999 896.50 3.9999 896.00 3.9999 895.50 3.9999 895.00 3.9999 894.50 3.9999 894.00 3.9999 893.50 3.9999 893.00 3.9999 892.50 3.9999 892.00 3.9999 891.50 3.9999 891.00 3.9999 890.50 3.9999 890.00 3.9999 889.50 3.9999 889.00 3.9999 888.50 3.9999 888.00 3.9999 887.50 3.9999 887.00 3.9999 886.50 3.9999 886.00 3.9999 885.50 3.9999 885.00 3.9999 884.50 3.9999 884.00 3.9999 883.50 3.9999 883.00 3.9999 882.50 3.9999 882.00 3.9999 881.50 3.9999 881.00 3.9999 880.50 3.9999 880.00 3.9999 879.50 3.9999 879.00 3.9999 878.50 3.9999 878.00 3.9999 877.50 3.9999 877.00 3.9999 876.50 3.9999 876.00 3.9999 875.50 3.9999 875.00 3.9999 874.50 3.9999 874.00 3.9999 873.50 3.9999 873.00 3.9999 872.50 3.9999 872.00 3.9999 871.50 3.9999 871.00 3.9999 870.50 3.9999 870.00 3.9999 869.50 3.9999 869.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 108: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

88

868.50 0.0001 868.00 0.0001 867.50 0.0001 867.00 0.0002 866.50 0.0002 866.00 0.0002 865.50 0.0002 865.00 0.0001 864.50 0.0001 864.00 0.0001 863.50 0.0001 863.00 0.0002 862.50 0.0002 862.00 0.0001 861.50 0.0001 861.00 0.0002 860.50 0.0002 860.00 0.0002 859.50 0.0002 859.00 0.0002 858.50 0.0002 858.00 0.0002 857.50 0.0002 857.00 0.0002 856.50 0.0002 856.00 0.0002 855.50 0.0002 855.00 0.0001 854.50 0.0001 854.00 0.0002 853.50 0.0002 853.00 0.0002 852.50 0.0002 852.00 0.0002 851.50 0.0002 851.00 0.0002 850.50 0.0002 850.00 0.0002 849.50 0.0002 849.00 0.0002 848.50 0.0002 848.00 0.0001 847.50 0.0001 847.00 0.0001 846.50 0.0000 846.00 0.0000 845.50 0.0001 845.00 0.0001 844.50 0.0000 844.00 0.0000 843.50 0.0000 843.00 0.0000 842.50 0.0000 842.00 0.0001 841.50 0.0002 841.00 0.0002 840.50 0.0002 840.00 0.0002 839.50 0.0001 839.00 0.0000 838.50 0.0001 838.00 0.0002 837.50 0.0002 837.00 0.0002 836.50 0.0002 836.00 0.0001 835.50 0.0001 835.00 0.0002 834.50 0.0002 834.00 0.0002 833.50 0.0002 833.00 0.0002 832.50 0.0002 832.00 0.0002

868.50 1.4904 868.00 1.4895 867.50 1.4888 867.00 1.4888 866.50 1.4888 866.00 1.4888 865.50 1.4888 865.00 1.4879 864.50 1.4872 864.00 1.4872 863.50 1.4879 863.00 1.4888 862.50 1.4888 862.00 1.4888 861.50 1.4879 861.00 1.4872 860.50 1.4872 860.00 1.4872 859.50 1.4872 859.00 1.4872 858.50 1.4872 858.00 1.4872 857.50 1.4872 857.00 1.4863 856.50 1.4863 856.00 1.4872 855.50 1.4872 855.00 1.4879 854.50 1.4879 854.00 1.4872 853.50 1.4872 853.00 1.4872 852.50 1.4872 852.00 1.4872 851.50 1.4872 851.00 1.4872 850.50 1.4872 850.00 1.4872 849.50 1.4872 849.00 1.4872 848.50 1.4872 848.00 1.4863 847.50 1.4855 847.00 1.4855 846.50 1.4855 846.00 1.4863 845.50 1.4872 845.00 1.4872 844.50 1.4872 844.00 1.4879 843.50 1.4879 843.00 1.4872 842.50 1.4879 842.00 1.4888 841.50 1.4888 841.00 1.4888 840.50 1.4888 840.00 1.4888 839.50 1.4888 839.00 1.4888 838.50 1.4888 838.00 1.4888 837.50 1.4888 837.00 1.4888 836.50 1.4888 836.00 1.4888 835.50 1.4888 835.00 1.4895 834.50 1.4904 834.00 1.4904 833.50 1.4904 833.00 1.4904 832.50 1.4904 832.00 1.4904

868.50 3.9999 868.00 3.9999 867.50 3.9999 867.00 3.9999 866.50 3.9999 866.00 3.9999 865.50 3.9999 865.00 3.9999 864.50 3.9999 864.00 3.9999 863.50 3.9999 863.00 3.9999 862.50 3.9999 862.00 3.9999 861.50 3.9999 861.00 3.9999 860.50 3.9999 860.00 3.9999 859.50 3.9999 859.00 3.9999 858.50 3.9999 858.00 3.9999 857.50 3.9999 857.00 3.9999 856.50 3.9999 856.00 3.9999 855.50 3.9999 855.00 3.9999 854.50 3.9999 854.00 3.9999 853.50 3.9999 853.00 3.9999 852.50 3.9999 852.00 3.9999 851.50 3.9999 851.00 3.9999 850.50 3.9999 850.00 3.9999 849.50 3.9999 849.00 3.9999 848.50 3.9999 848.00 3.9999 847.50 3.9999 847.00 3.9999 846.50 3.9999 846.00 3.9999 845.50 3.9999 845.00 3.9999 844.50 3.9999 844.00 3.9999 843.50 3.9999 843.00 3.9999 842.50 3.9999 842.00 3.9999 841.50 3.9999 841.00 3.9999 840.50 3.9999 840.00 3.9999 839.50 3.9999 839.00 3.9999 838.50 3.9999 838.00 3.9999 837.50 3.9999 837.00 3.9999 836.50 3.9999 836.00 3.9999 835.50 3.9999 835.00 3.9999 834.50 3.9999 834.00 3.9999 833.50 3.9999 833.00 3.9999 832.50 3.9999 832.00 3.9999

868.50 3.9999 868.00 3.9999 867.50 3.9999 867.00 3.9999 866.50 3.9999 866.00 3.9999 865.50 3.9999 865.00 3.9999 864.50 3.9999 864.00 3.9999 863.50 3.9999 863.00 3.9999 862.50 3.9999 862.00 3.9999 861.50 3.9999 861.00 3.9999 860.50 3.9999 860.00 3.9999 859.50 3.9999 859.00 3.9999 858.50 3.9999 858.00 3.9999 857.50 3.9999 857.00 3.9999 856.50 3.9999 856.00 3.9999 855.50 3.9999 855.00 3.9999 854.50 3.9999 854.00 3.9999 853.50 3.9999 853.00 3.9999 852.50 3.9999 852.00 3.9999 851.50 3.9999 851.00 3.9999 850.50 3.9999 850.00 3.9999 849.50 3.9999 849.00 3.9999 848.50 3.9999 848.00 3.9999 847.50 3.9999 847.00 3.9999 846.50 3.9999 846.00 3.9999 845.50 3.9999 845.00 3.9999 844.50 3.9999 844.00 3.9999 843.50 3.9999 843.00 3.9999 842.50 3.9999 842.00 3.9999 841.50 3.9999 841.00 3.9999 840.50 3.9999 840.00 3.9999 839.50 3.9999 839.00 3.9999 838.50 3.9999 838.00 3.9999 837.50 3.9999 837.00 3.9999 836.50 3.9999 836.00 3.9999 835.50 3.9999 835.00 3.9999 834.50 3.9999 834.00 3.9999 833.50 3.9999 833.00 3.9999 832.50 3.9999 832.00 3.9999

868.50 3.9999 868.00 3.9999 867.50 3.9999 867.00 3.9999 866.50 3.9999 866.00 3.9999 865.50 3.9999 865.00 3.9999 864.50 3.9999 864.00 3.9999 863.50 3.9999 863.00 3.9999 862.50 3.9999 862.00 3.9999 861.50 3.9999 861.00 3.9999 860.50 3.9999 860.00 3.9999 859.50 3.9999 859.00 3.9999 858.50 3.9999 858.00 3.9999 857.50 3.9999 857.00 3.9999 856.50 3.9999 856.00 3.9999 855.50 3.9999 855.00 3.9999 854.50 3.9999 854.00 3.9999 853.50 3.9999 853.00 3.9999 852.50 3.9999 852.00 3.9999 851.50 3.9999 851.00 3.9999 850.50 3.9999 850.00 3.9999 849.50 3.9999 849.00 3.9999 848.50 3.9999 848.00 3.9999 847.50 3.9999 847.00 3.9999 846.50 3.9999 846.00 3.9999 845.50 3.9999 845.00 3.9999 844.50 3.9999 844.00 3.9999 843.50 3.9999 843.00 3.9999 842.50 3.9999 842.00 3.9999 841.50 3.9999 841.00 3.9999 840.50 3.9999 840.00 3.9999 839.50 3.9999 839.00 3.9999 838.50 3.9999 838.00 3.9999 837.50 3.9999 837.00 3.9999 836.50 3.9999 836.00 3.9999 835.50 3.9999 835.00 3.9999 834.50 3.9999 834.00 3.9999 833.50 3.9999 833.00 3.9999 832.50 3.9999 832.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 109: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

89

831.50 0.0002 831.00 0.0002 830.50 0.0002 830.00 0.0002 829.50 0.0002 829.00 0.0002 828.50 0.0002 828.00 0.0002 827.50 0.0002 827.00 0.0002 826.50 0.0002 826.00 0.0001 825.50 0.0000 825.00 0.0001 824.50 0.0001 824.00 0.0001 823.50 0.0002 823.00 0.0002 822.50 0.0002 822.00 0.0002 821.50 0.0002 821.00 0.0002 820.50 0.0002 820.00 0.0002 819.50 0.0002 819.00 0.0002 818.50 0.0002 818.00 0.0002 817.50 0.0002 817.00 0.0002 816.50 0.0002 816.00 0.0002 815.50 0.0002 815.00 0.0002 814.50 0.0002 814.00 0.0002 813.50 0.0002 813.00 0.0002 812.50 0.0002 812.00 0.0002 811.50 0.0001 811.00 0.0001 810.50 0.0001 810.00 0.0001 809.50 0.0002 809.00 0.0002 808.50 0.0002 808.00 0.0002 807.50 0.0002 807.00 0.0002 806.50 0.0002 806.00 0.0002 805.50 0.0001 805.00 0.0001 804.50 0.0002 804.00 0.0002 803.50 0.0002 803.00 0.0001 802.50 0.0001 802.00 0.0002 801.50 0.0002 801.00 0.0002 800.50 0.0002 800.00 0.0002 799.50 0.0002 799.00 0.0002 798.50 0.0002 798.00 0.0001 797.50 0.0000 797.00 0.0001 796.50 0.0001 796.00 0.0000 795.50 0.0001 795.00 0.0002

831.50 1.4904 831.00 1.4911 830.50 1.4919 830.00 1.4919 829.50 1.4919 829.00 1.4919 828.50 1.4911 828.00 1.4904 827.50 1.4911 827.00 1.4919 826.50 1.4919 826.00 1.4919 825.50 1.4919 825.00 1.4919 824.50 1.4919 824.00 1.4928 823.50 1.4937 823.00 1.4937 822.50 1.4937 822.00 1.4937 821.50 1.4937 821.00 1.4937 820.50 1.4944 820.00 1.4952 819.50 1.4952 819.00 1.4952 818.50 1.4960 818.00 1.4968 817.50 1.4968 817.00 1.4968 816.50 1.4976 816.00 1.4984 815.50 1.4976 815.00 1.4968 814.50 1.4968 814.00 1.4968 813.50 1.4976 813.00 1.4984 812.50 1.4984 812.00 1.4984 811.50 1.4993 811.00 1.5002 810.50 1.5002 810.00 1.5002 809.50 1.5010 809.00 1.5018 808.50 1.5018 808.00 1.5018 807.50 1.5026 807.00 1.5034 806.50 1.5034 806.00 1.5026 805.50 1.5018 805.00 1.5026 804.50 1.5034 804.00 1.5034 803.50 1.5043 803.00 1.5051 802.50 1.5051 802.00 1.5051 801.50 1.5060 801.00 1.5070 800.50 1.5070 800.00 1.5078 799.50 1.5087 799.00 1.5087 798.50 1.5087 798.00 1.5087 797.50 1.5087 797.00 1.5087 796.50 1.5095 796.00 1.5104 795.50 1.5104 795.00 1.5104

831.50 3.9999 831.00 3.9999 830.50 3.9999 830.00 3.9999 829.50 3.9999 829.00 3.9999 828.50 3.9999 828.00 3.9999 827.50 3.9999 827.00 3.9999 826.50 3.9999 826.00 3.9999 825.50 3.9999 825.00 3.9999 824.50 3.9999 824.00 3.9999 823.50 3.9999 823.00 3.9999 822.50 3.9999 822.00 3.9999 821.50 3.9999 821.00 3.9999 820.50 3.9999 820.00 3.9999 819.50 3.9999 819.00 3.9999 818.50 3.9999 818.00 3.9999 817.50 3.9999 817.00 3.9999 816.50 3.9999 816.00 3.9999 815.50 3.9999 815.00 3.9999 814.50 3.9999 814.00 3.9999 813.50 3.9999 813.00 3.9999 812.50 3.9999 812.00 3.9999 811.50 3.9999 811.00 3.9999 810.50 3.9999 810.00 3.9999 809.50 3.9999 809.00 3.9999 808.50 3.9999 808.00 3.9999 807.50 3.9999 807.00 3.9999 806.50 3.9999 806.00 3.9999 805.50 3.9999 805.00 3.9999 804.50 3.9999 804.00 3.9999 803.50 3.9999 803.00 3.9999 802.50 3.9999 802.00 3.9999 801.50 3.9999 801.00 3.9999 800.50 3.9999 800.00 3.9999 799.50 3.9999 799.00 3.9999 798.50 3.9999 798.00 3.9999 797.50 3.9999 797.00 3.9999 796.50 3.9999 796.00 3.9999 795.50 3.9999 795.00 3.9999

831.50 3.9999 831.00 3.9999 830.50 3.9999 830.00 3.9999 829.50 3.9999 829.00 3.9999 828.50 3.9999 828.00 3.9999 827.50 3.9999 827.00 3.9999 826.50 3.9999 826.00 3.9999 825.50 3.9999 825.00 3.9999 824.50 3.9999 824.00 3.9999 823.50 3.9999 823.00 3.9999 822.50 3.9999 822.00 3.9999 821.50 3.9999 821.00 3.9999 820.50 3.9999 820.00 3.9999 819.50 3.9999 819.00 3.9999 818.50 3.9999 818.00 3.9999 817.50 3.9999 817.00 3.9999 816.50 3.9999 816.00 3.9999 815.50 3.9999 815.00 3.9999 814.50 3.9999 814.00 3.9999 813.50 3.9999 813.00 3.9999 812.50 3.9999 812.00 3.9999 811.50 3.9999 811.00 3.9999 810.50 3.9999 810.00 3.9999 809.50 3.9999 809.00 3.9999 808.50 3.9999 808.00 3.9999 807.50 3.9999 807.00 3.9999 806.50 3.9999 806.00 3.9999 805.50 3.9999 805.00 3.9999 804.50 3.9999 804.00 3.9999 803.50 3.9999 803.00 3.9999 802.50 3.9999 802.00 3.9999 801.50 3.9999 801.00 3.9999 800.50 3.9999 800.00 3.9999 799.50 3.9999 799.00 3.9999 798.50 3.9999 798.00 3.9999 797.50 3.9999 797.00 3.9999 796.50 3.9999 796.00 3.9999 795.50 3.9999 795.00 3.9999

831.50 3.9999 831.00 3.9999 830.50 3.9999 830.00 3.9999 829.50 3.9999 829.00 3.9999 828.50 3.9999 828.00 3.9999 827.50 3.9999 827.00 3.9999 826.50 3.9999 826.00 3.9999 825.50 3.9999 825.00 3.9999 824.50 3.9999 824.00 3.9999 823.50 3.9999 823.00 3.9999 822.50 3.9999 822.00 3.9999 821.50 3.9999 821.00 3.9999 820.50 3.9999 820.00 3.9999 819.50 3.9999 819.00 3.9999 818.50 3.9999 818.00 3.9999 817.50 3.9999 817.00 3.9999 816.50 3.9999 816.00 3.9999 815.50 3.9999 815.00 3.9999 814.50 3.9999 814.00 3.9999 813.50 3.9999 813.00 3.9999 812.50 3.9999 812.00 3.9999 811.50 3.9999 811.00 3.9999 810.50 3.9999 810.00 3.9999 809.50 3.9999 809.00 3.9999 808.50 3.9999 808.00 3.9999 807.50 3.9999 807.00 3.9999 806.50 3.9999 806.00 3.9999 805.50 3.9999 805.00 3.9999 804.50 3.9999 804.00 3.9999 803.50 3.9999 803.00 3.9999 802.50 3.9999 802.00 3.9999 801.50 3.9999 801.00 3.9999 800.50 3.9999 800.00 3.9999 799.50 3.9999 799.00 3.9999 798.50 3.9999 798.00 3.9999 797.50 3.9999 797.00 3.9999 796.50 3.9999 796.00 3.9999 795.50 3.9999 795.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 110: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

90

794.50 0.0002 794.00 0.0002 793.50 0.0001 793.00 0.0001 792.50 0.0001 792.00 0.0001 791.50 0.0002 791.00 0.0002 790.50 0.0002 790.00 0.0002 789.50 0.0002 789.00 0.0002 788.50 0.0002 788.00 0.0002 787.50 0.0002 787.00 0.0002 786.50 0.0002 786.00 0.0002 785.50 0.0002 785.00 0.0002 784.50 0.0002 784.00 0.0002 783.50 0.0002 783.00 0.0002 782.50 0.0002 782.00 0.0002 781.50 0.0002 781.00 0.0002 780.50 0.0002 780.00 0.0002 779.50 0.0002 779.00 0.0002 778.50 0.0002 778.00 0.0002 777.50 0.0002 777.00 0.0002 776.50 0.0002 776.00 0.0002 775.50 0.0002 775.00 0.0002 774.50 0.0002 774.00 0.0002 773.50 0.0001 773.00 0.0001 772.50 0.0002 772.00 0.0002 771.50 0.0002 771.00 0.0002 770.50 0.0002 770.00 0.0002 769.50 0.0002 769.00 0.0002 768.50 0.0001 768.00 0.0001 767.50 0.0002 767.00 0.0002 766.50 0.0002 766.00 0.0002 765.50 0.0002 765.00 0.0002 764.50 0.0002 764.00 0.0002 763.50 0.0002 763.00 0.0002 762.50 0.0002 762.00 0.0002 761.50 0.0002 761.00 0.0002 760.50 0.0002 760.00 0.0001 759.50 0.0000 759.00 0.0001 758.50 0.0002 758.00 0.0002

794.50 1.5111 794.00 1.5120 793.50 1.5120 793.00 1.5120 792.50 1.5128 792.00 1.5138 791.50 1.5138 791.00 1.5146 790.50 1.5155 790.00 1.5146 789.50 1.5138 789.00 1.5146 788.50 1.5155 788.00 1.5155 787.50 1.5155 787.00 1.5155 786.50 1.5162 786.00 1.5171 785.50 1.5171 785.00 1.5179 784.50 1.5189 784.00 1.5189 783.50 1.5198 783.00 1.5206 782.50 1.5206 782.00 1.5206 781.50 1.5206 781.00 1.5206 780.50 1.5206 780.00 1.5206 779.50 1.5214 779.00 1.5222 778.50 1.5222 778.00 1.5222 777.50 1.5231 777.00 1.5240 776.50 1.5240 776.00 1.5240 775.50 1.5249 775.00 1.5258 774.50 1.5258 774.00 1.5258 773.50 1.5258 773.00 1.5258 772.50 1.5258 772.00 1.5258 771.50 1.5266 771.00 1.5276 770.50 1.5276 770.00 1.5276 769.50 1.5276 769.00 1.5284 768.50 1.5293 768.00 1.5293 767.50 1.5302 767.00 1.5311 766.50 1.5311 766.00 1.5311 765.50 1.5320 765.00 1.5320 764.50 1.5311 764.00 1.5311 763.50 1.5311 763.00 1.5320 762.50 1.5330 762.00 1.5330 761.50 1.5338 761.00 1.5348 760.50 1.5348 760.00 1.5356 759.50 1.5365 759.00 1.5365 758.50 1.5365 758.00 1.5374

794.50 3.9999 794.00 3.9999 793.50 3.9999 793.00 3.9999 792.50 3.9999 792.00 3.9999 791.50 3.9999 791.00 3.9999 790.50 3.9999 790.00 3.9999 789.50 3.9999 789.00 3.9999 788.50 3.9999 788.00 3.9999 787.50 3.9999 787.00 3.9999 786.50 3.9999 786.00 3.9999 785.50 3.9999 785.00 3.9999 784.50 3.9999 784.00 3.9999 783.50 3.9999 783.00 3.9999 782.50 3.9999 782.00 3.9999 781.50 3.9999 781.00 3.9999 780.50 3.9999 780.00 3.9999 779.50 3.9999 779.00 3.9999 778.50 3.9999 778.00 3.9999 777.50 3.9999 777.00 3.9999 776.50 3.9999 776.00 3.9999 775.50 3.9999 775.00 3.9999 774.50 3.9999 774.00 3.9999 773.50 3.9999 773.00 3.9999 772.50 3.9999 772.00 3.9999 771.50 3.9999 771.00 3.9999 770.50 3.9999 770.00 3.9999 769.50 3.9999 769.00 3.9999 768.50 3.9999 768.00 3.9999 767.50 3.9999 767.00 3.9999 766.50 3.9999 766.00 3.9999 765.50 3.9999 765.00 3.9999 764.50 3.9999 764.00 3.9999 763.50 3.9999 763.00 3.9999 762.50 3.9999 762.00 3.9999 761.50 3.9999 761.00 3.9999 760.50 3.9999 760.00 3.9999 759.50 3.9999 759.00 3.9999 758.50 3.9999 758.00 3.9999

794.50 3.9999 794.00 3.9999 793.50 3.9999 793.00 3.9999 792.50 3.9999 792.00 3.9999 791.50 3.9999 791.00 3.9999 790.50 3.9999 790.00 3.9999 789.50 3.9999 789.00 3.9999 788.50 3.9999 788.00 3.9999 787.50 3.9999 787.00 3.9999 786.50 3.9999 786.00 3.9999 785.50 3.9999 785.00 3.9999 784.50 3.9999 784.00 3.9999 783.50 3.9999 783.00 3.9999 782.50 3.9999 782.00 3.9999 781.50 3.9999 781.00 3.9999 780.50 3.9999 780.00 3.9999 779.50 3.9999 779.00 3.9999 778.50 3.9999 778.00 3.9999 777.50 3.9999 777.00 3.9999 776.50 3.9999 776.00 3.9999 775.50 3.9999 775.00 3.9999 774.50 3.9999 774.00 3.9999 773.50 3.9999 773.00 3.9999 772.50 3.9999 772.00 3.9999 771.50 3.9999 771.00 3.9999 770.50 3.9999 770.00 3.9999 769.50 3.9999 769.00 3.9999 768.50 3.9999 768.00 3.9999 767.50 3.9999 767.00 3.9999 766.50 3.9999 766.00 3.9999 765.50 3.9999 765.00 3.9999 764.50 3.9999 764.00 3.9999 763.50 3.9999 763.00 3.9999 762.50 3.9999 762.00 3.9999 761.50 3.9999 761.00 3.9999 760.50 3.9999 760.00 3.9999 759.50 3.9999 759.00 3.9999 758.50 3.9999 758.00 3.9999

794.50 3.9999 794.00 3.9999 793.50 3.9999 793.00 3.9999 792.50 3.9999 792.00 3.9999 791.50 3.9999 791.00 3.9999 790.50 3.9999 790.00 3.9999 789.50 3.9999 789.00 3.9999 788.50 3.9999 788.00 3.9999 787.50 3.9999 787.00 3.9999 786.50 3.9999 786.00 3.9999 785.50 3.9999 785.00 3.9999 784.50 3.9999 784.00 3.9999 783.50 3.9999 783.00 3.9999 782.50 3.9999 782.00 3.9999 781.50 3.9999 781.00 3.9999 780.50 3.9999 780.00 3.9999 779.50 3.9999 779.00 3.9999 778.50 3.9999 778.00 3.9999 777.50 3.9999 777.00 3.9999 776.50 3.9999 776.00 3.9999 775.50 3.9999 775.00 3.9999 774.50 3.9999 774.00 3.9999 773.50 3.9999 773.00 3.9999 772.50 3.9999 772.00 3.9999 771.50 3.9999 771.00 3.9999 770.50 3.9999 770.00 3.9999 769.50 3.9999 769.00 3.9999 768.50 3.9999 768.00 3.9999 767.50 3.9999 767.00 3.9999 766.50 3.9999 766.00 3.9999 765.50 3.9999 765.00 3.9999 764.50 3.9999 764.00 3.9999 763.50 3.9999 763.00 3.9999 762.50 3.9999 762.00 3.9999 761.50 3.9999 761.00 3.9999 760.50 3.9999 760.00 3.9999 759.50 3.9999 759.00 3.9999 758.50 3.9999 758.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 111: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

91

757.50 0.0002 757.00 0.0001 756.50 0.0001 756.00 0.0002 755.50 0.0002 755.00 0.0002 754.50 0.0002 754.00 0.0002 753.50 0.0002 753.00 0.0002 752.50 0.0001 752.00 0.0001 751.50 0.0002 751.00 0.0002 750.50 0.0002 750.00 0.0002 749.50 0.0001 749.00 0.0000 748.50 0.0000 748.00 0.0001 747.50 0.0002 747.00 0.0002 746.50 0.0002 746.00 0.0002 745.50 0.0002 745.00 0.0002 744.50 0.0002 744.00 0.0002 743.50 0.0002 743.00 0.0002 742.50 0.0002 742.00 0.0001 741.50 0.0001 741.00 0.0002 740.50 0.0002 740.00 0.0002 739.50 0.0002 739.00 0.0002 738.50 0.0002 738.00 0.0002 737.50 0.0002 737.00 0.0002 736.50 0.0002 736.00 0.0002 735.50 0.0002 735.00 0.0002 734.50 0.0002 734.00 0.0002 733.50 0.0002 733.00 0.0002 732.50 0.0002 732.00 0.0002 731.50 0.0002 731.00 0.0002 730.50 0.0001 730.00 0.0001 729.50 0.0001 729.00 0.0001 728.50 0.0002 728.00 0.0002 727.50 0.0002 727.00 0.0002 726.50 0.0002 726.00 0.0002 725.50 0.0002 725.00 0.0002 724.50 0.0002 724.00 0.0002 723.50 0.0002 723.00 0.0002 722.50 0.0001 722.00 0.0000 721.50 0.0000 721.00 0.0000

757.50 1.5383 757.00 1.5383 756.50 1.5374 756.00 1.5374 755.50 1.5383 755.00 1.5383 754.50 1.5383 754.00 1.5392 753.50 1.5402 753.00 1.5402 752.50 1.5402 752.00 1.5402 751.50 1.5410 751.00 1.5420 750.50 1.5420 750.00 1.5420 749.50 1.5420 749.00 1.5428 748.50 1.5438 748.00 1.5428 747.50 1.5420 747.00 1.5420 746.50 1.5420 746.00 1.5428 745.50 1.5438 745.00 1.5438 744.50 1.5438 744.00 1.5438 743.50 1.5438 743.00 1.5447 742.50 1.5457 742.00 1.5457 741.50 1.5457 741.00 1.5457 740.50 1.5466 740.00 1.5476 739.50 1.5476 739.00 1.5476 738.50 1.5476 738.00 1.5476 737.50 1.5466 737.00 1.5457 736.50 1.5457 736.00 1.5466 735.50 1.5476 735.00 1.5476 734.50 1.5476 734.00 1.5476 733.50 1.5476 733.00 1.5476 732.50 1.5476 732.00 1.5485 731.50 1.5494 731.00 1.5485 730.50 1.5485 730.00 1.5494 729.50 1.5494 729.00 1.5494 728.50 1.5494 728.00 1.5494 727.50 1.5494 727.00 1.5494 726.50 1.5494 726.00 1.5494 725.50 1.5494 725.00 1.5494 724.50 1.5494 724.00 1.5494 723.50 1.5494 723.00 1.5494 722.50 1.5494 722.00 1.5494 721.50 1.5494 721.00 1.5494

757.50 3.9999 757.00 3.9999 756.50 3.9999 756.00 3.9999 755.50 3.9999 755.00 3.9999 754.50 3.9999 754.00 3.9999 753.50 3.9999 753.00 3.9999 752.50 3.9999 752.00 3.9999 751.50 3.9999 751.00 3.9999 750.50 3.9999 750.00 3.9999 749.50 3.9999 749.00 3.9999 748.50 3.9999 748.00 3.9999 747.50 3.9999 747.00 3.9999 746.50 3.9999 746.00 3.9999 745.50 3.9999 745.00 3.9999 744.50 3.9999 744.00 3.9999 743.50 3.9999 743.00 3.9999 742.50 3.9999 742.00 3.9999 741.50 3.9999 741.00 3.9999 740.50 3.9999 740.00 3.9999 739.50 3.9999 739.00 3.9999 738.50 3.9999 738.00 3.9999 737.50 3.9999 737.00 3.9999 736.50 3.9999 736.00 3.9999 735.50 3.9999 735.00 3.9999 734.50 3.9999 734.00 3.9999 733.50 3.9999 733.00 3.9999 732.50 3.9999 732.00 3.9999 731.50 3.9999 731.00 3.9999 730.50 3.9999 730.00 3.9999 729.50 3.9999 729.00 3.9999 728.50 3.9999 728.00 3.9999 727.50 3.9999 727.00 3.9999 726.50 3.9999 726.00 3.9999 725.50 3.9999 725.00 3.9999 724.50 3.9999 724.00 3.9999 723.50 3.9999 723.00 3.9999 722.50 3.9999 722.00 3.9999 721.50 3.9999 721.00 3.9999

757.50 3.9999 757.00 3.9999 756.50 3.9999 756.00 3.9999 755.50 3.9999 755.00 3.9999 754.50 3.9999 754.00 3.9999 753.50 3.9999 753.00 3.9999 752.50 3.9999 752.00 3.9999 751.50 3.9999 751.00 3.9999 750.50 3.9999 750.00 3.9999 749.50 3.9999 749.00 3.9999 748.50 3.9999 748.00 3.9999 747.50 3.9999 747.00 3.9999 746.50 3.9999 746.00 3.9999 745.50 3.9999 745.00 3.9999 744.50 3.9999 744.00 3.9999 743.50 3.9999 743.00 3.9999 742.50 3.9999 742.00 3.9999 741.50 3.9999 741.00 3.9999 740.50 3.9999 740.00 3.9999 739.50 3.9999 739.00 3.9999 738.50 3.9999 738.00 3.9999 737.50 3.9999 737.00 3.9999 736.50 3.9999 736.00 3.9999 735.50 3.9999 735.00 3.9999 734.50 3.9999 734.00 3.9999 733.50 3.9999 733.00 3.9999 732.50 3.9999 732.00 3.9999 731.50 3.9999 731.00 3.9999 730.50 3.9999 730.00 3.9999 729.50 3.9999 729.00 3.9999 728.50 3.9999 728.00 3.9999 727.50 3.9999 727.00 3.9999 726.50 3.9999 726.00 3.9999 725.50 3.9999 725.00 3.9999 724.50 3.9999 724.00 3.9999 723.50 3.9999 723.00 3.9999 722.50 3.9999 722.00 3.9999 721.50 3.9999 721.00 3.9999

757.50 3.9999 757.00 3.9999 756.50 3.9999 756.00 3.9999 755.50 3.9999 755.00 3.9999 754.50 3.9999 754.00 3.9999 753.50 3.9999 753.00 3.9999 752.50 3.9999 752.00 3.9999 751.50 3.9999 751.00 3.9999 750.50 3.9999 750.00 3.9999 749.50 3.9999 749.00 3.9999 748.50 3.9999 748.00 3.9999 747.50 3.9999 747.00 3.9999 746.50 3.9999 746.00 3.9999 745.50 3.9999 745.00 3.9999 744.50 3.9999 744.00 3.9999 743.50 3.9999 743.00 3.9999 742.50 3.9999 742.00 3.9999 741.50 3.9999 741.00 3.9999 740.50 3.9999 740.00 3.9999 739.50 3.9999 739.00 3.9999 738.50 3.9999 738.00 3.9999 737.50 3.9999 737.00 3.9999 736.50 3.9999 736.00 3.9999 735.50 3.9999 735.00 3.9999 734.50 3.9999 734.00 3.9999 733.50 3.9999 733.00 3.9999 732.50 3.9999 732.00 3.9999 731.50 3.9999 731.00 3.9999 730.50 3.9999 730.00 3.9999 729.50 3.9999 729.00 3.9999 728.50 3.9999 728.00 3.9999 727.50 3.9999 727.00 3.9999 726.50 3.9999 726.00 3.9999 725.50 3.9999 725.00 3.9999 724.50 3.9999 724.00 3.9999 723.50 3.9999 723.00 3.9999 722.50 3.9999 722.00 3.9999 721.50 3.9999 721.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 112: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

92

720.50 0.0000 720.00 0.0000 719.50 0.0000 719.00 0.0000 718.50 0.0000 718.00 0.0001 717.50 0.0002 717.00 0.0002 716.50 0.0001 716.00 0.0000 715.50 0.0000 715.00 0.0000 714.50 0.0000 714.00 0.0000 713.50 0.0001 713.00 0.0001 712.50 0.0000 712.00 0.0000 711.50 0.0000 711.00 0.0000 710.50 0.0001 710.00 0.0002 709.50 0.0002 709.00 0.0002 708.50 0.0002 708.00 0.0001 707.50 0.0000 707.00 0.0000 706.50 0.0000 706.00 0.0000 705.50 0.0000 705.00 0.0001 704.50 0.0001 704.00 0.0000 703.50 0.0000 703.00 0.0000 702.50 0.0000 702.00 0.0000 701.50 0.0001 701.00 0.0002 700.50 0.0001 700.00 0.0000 699.50 0.0000 699.00 0.0000 698.50 0.0000 698.00 0.0000 697.50 0.0001 697.00 0.0002 696.50 0.0001 696.00 0.0000 695.50 0.0001 695.00 0.0002 694.50 0.0001 694.00 0.0001 693.50 0.0001 693.00 0.0000 692.50 0.0000 692.00 0.0000 691.50 0.0000 691.00 0.0000 690.50 0.0000 690.00 0.0000 689.50 0.0000 689.00 0.0000 688.50 0.0000 688.00 0.0000 687.50 0.0000 687.00 0.0000 686.50 0.0000 686.00 0.0000 685.50 0.0000 685.00 0.0000 684.50 0.0000 684.00 0.0001

720.50 1.5494 720.00 1.5494 719.50 1.5494 719.00 1.5494 718.50 1.5494 718.00 1.5494 717.50 1.5494 717.00 1.5494 716.50 1.5494 716.00 1.5494 715.50 1.5494 715.00 1.5494 714.50 1.5494 714.00 1.5494 713.50 1.5494 713.00 1.5494 712.50 1.5494 712.00 1.5494 711.50 1.5494 711.00 1.5503 710.50 1.5503 710.00 1.5494 709.50 1.5494 709.00 1.5494 708.50 1.5494 708.00 1.5494 707.50 1.5485 707.00 1.5485 706.50 1.5485 706.00 1.5485 705.50 1.5485 705.00 1.5476 704.50 1.5476 704.00 1.5476 703.50 1.5476 703.00 1.5476 702.50 1.5485 702.00 1.5494 701.50 1.5485 701.00 1.5476 700.50 1.5476 700.00 1.5476 699.50 1.5485 699.00 1.5494 698.50 1.5485 698.00 1.5476 697.50 1.5476 697.00 1.5476 696.50 1.5476 696.00 1.5476 695.50 1.5476 695.00 1.5476 694.50 1.5466 694.00 1.5457 693.50 1.5457 693.00 1.5457 692.50 1.5457 692.00 1.5457 691.50 1.5457 691.00 1.5457 690.50 1.5457 690.00 1.5457 689.50 1.5457 689.00 1.5447 688.50 1.5438 688.00 1.5438 687.50 1.5438 687.00 1.5438 686.50 1.5438 686.00 1.5438 685.50 1.5438 685.00 1.5428 684.50 1.5428 684.00 1.5428

720.50 3.9999 720.00 3.9999 719.50 3.9999 719.00 3.9999 718.50 3.9999 718.00 3.9999 717.50 3.9999 717.00 3.9999 716.50 3.9999 716.00 3.9999 715.50 3.9999 715.00 3.9999 714.50 3.9999 714.00 3.9999 713.50 3.9999 713.00 3.9999 712.50 3.9999 712.00 3.9999 711.50 3.9999 711.00 3.9999 710.50 3.9999 710.00 3.9999 709.50 3.9999 709.00 3.9999 708.50 3.9999 708.00 3.9999 707.50 3.9999 707.00 3.9999 706.50 3.9999 706.00 3.9999 705.50 3.9999 705.00 3.9999 704.50 3.9999 704.00 3.9999 703.50 3.9999 703.00 3.9999 702.50 3.9999 702.00 3.9999 701.50 3.9999 701.00 3.9999 700.50 3.9999 700.00 3.9999 699.50 3.9999 699.00 3.9999 698.50 3.9999 698.00 3.9999 697.50 3.9999 697.00 3.9999 696.50 3.9999 696.00 3.9999 695.50 3.9999 695.00 3.9999 694.50 3.9999 694.00 3.9999 693.50 3.9999 693.00 3.9999 692.50 3.9999 692.00 3.9999 691.50 3.9999 691.00 3.9999 690.50 3.9999 690.00 3.9999 689.50 3.9999 689.00 3.9999 688.50 3.9999 688.00 3.9999 687.50 3.9999 687.00 3.9999 686.50 3.9999 686.00 3.9999 685.50 3.9999 685.00 3.9999 684.50 3.9999 684.00 3.9999

720.50 3.9999 720.00 3.9999 719.50 3.9999 719.00 3.9999 718.50 3.9999 718.00 3.9999 717.50 3.9999 717.00 3.9999 716.50 3.9999 716.00 3.9999 715.50 3.9999 715.00 3.9999 714.50 3.9999 714.00 3.9999 713.50 3.9999 713.00 3.9999 712.50 3.9999 712.00 3.9999 711.50 3.9999 711.00 3.9999 710.50 3.9999 710.00 3.9999 709.50 3.9999 709.00 3.9999 708.50 3.9999 708.00 3.9999 707.50 3.9999 707.00 3.9999 706.50 3.9999 706.00 3.9999 705.50 3.9999 705.00 3.9999 704.50 3.9999 704.00 3.9999 703.50 3.9999 703.00 3.9999 702.50 3.9999 702.00 3.9999 701.50 3.9999 701.00 3.9999 700.50 3.9999 700.00 3.9999 699.50 3.9999 699.00 3.9999 698.50 3.9999 698.00 3.9999 697.50 3.9999 697.00 3.9999 696.50 3.9999 696.00 3.9999 695.50 3.9999 695.00 3.9999 694.50 3.9999 694.00 3.9999 693.50 3.9999 693.00 3.9999 692.50 3.9999 692.00 3.9999 691.50 3.9999 691.00 3.9999 690.50 3.9999 690.00 3.9999 689.50 3.9999 689.00 3.9999 688.50 3.9999 688.00 3.9999 687.50 3.9999 687.00 3.9999 686.50 3.9999 686.00 3.9999 685.50 3.9999 685.00 3.9999 684.50 3.9999 684.00 3.9999

720.50 3.9999 720.00 3.9999 719.50 3.9999 719.00 3.9999 718.50 3.9999 718.00 3.9999 717.50 3.9999 717.00 3.9999 716.50 3.9999 716.00 3.9999 715.50 3.9999 715.00 3.9999 714.50 3.9999 714.00 3.9999 713.50 3.9999 713.00 3.9999 712.50 3.9999 712.00 3.9999 711.50 3.9999 711.00 3.9999 710.50 3.9999 710.00 3.9999 709.50 3.9999 709.00 3.9999 708.50 3.9999 708.00 3.9999 707.50 3.9999 707.00 3.9999 706.50 3.9999 706.00 3.9999 705.50 3.9999 705.00 3.9999 704.50 3.9999 704.00 3.9999 703.50 3.9999 703.00 3.9999 702.50 3.9999 702.00 3.9999 701.50 3.9999 701.00 3.9999 700.50 3.9999 700.00 3.9999 699.50 3.9999 699.00 3.9999 698.50 3.9999 698.00 3.9999 697.50 3.9999 697.00 3.9999 696.50 3.9999 696.00 3.9999 695.50 3.9999 695.00 3.9999 694.50 3.9999 694.00 3.9999 693.50 3.9999 693.00 3.9999 692.50 3.9999 692.00 3.9999 691.50 3.9999 691.00 3.9999 690.50 3.9999 690.00 3.9999 689.50 3.9999 689.00 3.9999 688.50 3.9999 688.00 3.9999 687.50 3.9999 687.00 3.9999 686.50 3.9999 686.00 3.9999 685.50 3.9999 685.00 3.9999 684.50 3.9999 684.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 113: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

93

683.50 0.0002 683.00 0.0001 682.50 0.0000 682.00 0.0000 681.50 0.0000 681.00 0.0000 680.50 0.0000 680.00 0.0001 679.50 0.0001 679.00 0.0001 678.50 0.0002 678.00 0.0002 677.50 0.0002 677.00 0.0002 676.50 0.0002 676.00 0.0002 675.50 0.0001 675.00 0.0000 674.50 0.0000 674.00 0.0000 673.50 0.0001 673.00 0.0002 672.50 0.0001 672.00 0.0001 671.50 0.0002 671.00 0.0002 670.50 0.0002 670.00 0.0001 669.50 0.0000 669.00 0.0000 668.50 0.0000 668.00 0.0000 667.50 0.0000 667.00 0.0001 666.50 0.0002 666.00 0.0001 665.50 0.0000 665.00 0.0000 664.50 0.0000 664.00 0.0000 663.50 0.0000 663.00 0.0001 662.50 0.0002 662.00 0.0001 661.50 0.0000 661.00 0.0000 660.50 0.0000 660.00 0.0001 659.50 0.0002 659.00 0.0002 658.50 0.0002 658.00 0.0002 657.50 0.0002 657.00 0.0002 656.50 0.0001 656.00 0.0001 655.50 0.0001 655.00 0.0001 654.50 0.0001 654.00 0.0000 653.50 0.0001 653.00 0.0002 652.50 0.0002 652.00 0.0002 651.50 0.0001 651.00 0.0001 650.50 0.0001 650.00 0.0000 649.50 0.0001 649.00 0.0001 648.50 0.0000 648.00 0.0001 647.50 0.0002 647.00 0.0002

683.50 1.5420 683.00 1.5420 682.50 1.5420 682.00 1.5420 681.50 1.5420 681.00 1.5420 680.50 1.5420 680.00 1.5420 679.50 1.5410 679.00 1.5402 678.50 1.5392 678.00 1.5383 677.50 1.5383 677.00 1.5383 676.50 1.5383 676.00 1.5383 675.50 1.5374 675.00 1.5365 674.50 1.5365 674.00 1.5365 673.50 1.5365 673.00 1.5365 672.50 1.5365 672.00 1.5365 671.50 1.5356 671.00 1.5348 670.50 1.5348 670.00 1.5348 669.50 1.5348 669.00 1.5348 668.50 1.5348 668.00 1.5338 667.50 1.5330 667.00 1.5330 666.50 1.5330 666.00 1.5330 665.50 1.5330 665.00 1.5330 664.50 1.5320 664.00 1.5311 663.50 1.5311 663.00 1.5311 662.50 1.5311 662.00 1.5311 661.50 1.5302 661.00 1.5293 660.50 1.5293 660.00 1.5293 659.50 1.5293 659.00 1.5293 658.50 1.5284 658.00 1.5276 657.50 1.5276 657.00 1.5266 656.50 1.5249 656.00 1.5240 655.50 1.5240 655.00 1.5240 654.50 1.5240 654.00 1.5231 653.50 1.5222 653.00 1.5222 652.50 1.5222 652.00 1.5222 651.50 1.5222 651.00 1.5214 650.50 1.5206 650.00 1.5206 649.50 1.5206 649.00 1.5206 648.50 1.5198 648.00 1.5189 647.50 1.5189 647.00 1.5189

683.50 3.9999 683.00 3.9999 682.50 3.9999 682.00 3.9999 681.50 3.9999 681.00 3.9999 680.50 3.9999 680.00 3.9999 679.50 3.9999 679.00 3.9999 678.50 3.9565 678.00 3.9133 677.50 3.9133 677.00 3.9133 676.50 3.9133 676.00 3.9133 675.50 3.9133 675.00 3.9133 674.50 3.9133 674.00 3.9133 673.50 3.9133 673.00 3.9133 672.50 3.9133 672.00 3.9133 671.50 3.9133 671.00 3.9133 670.50 3.9133 670.00 3.9133 669.50 3.9133 669.00 3.9133 668.50 3.9133 668.00 3.9133 667.50 3.9133 667.00 3.9133 666.50 3.9133 666.00 3.9133 665.50 3.9133 665.00 3.9133 664.50 3.9133 664.00 3.9133 663.50 3.9133 663.00 3.9133 662.50 3.9133 662.00 3.9133 661.50 3.9133 661.00 3.9133 660.50 3.9133 660.00 3.9133 659.50 3.9133 659.00 3.9133 658.50 3.9133 658.00 3.9133 657.50 3.9133 657.00 3.9133 656.50 3.9133 656.00 3.9133 655.50 3.9133 655.00 3.9133 654.50 3.9133 654.00 3.9133 653.50 3.9133 653.00 3.9133 652.50 3.9133 652.00 3.9133 651.50 3.9133 651.00 3.9133 650.50 3.9133 650.00 3.9133 649.50 3.9133 649.00 3.9133 648.50 3.9133 648.00 3.9133 647.50 3.9133 647.00 3.9133

683.50 3.9999 683.00 3.9999 682.50 3.9999 682.00 3.9999 681.50 3.9999 681.00 3.9999 680.50 3.9999 680.00 3.9999 679.50 3.9999 679.00 3.9999 678.50 3.9999 678.00 3.9999 677.50 3.9999 677.00 3.9999 676.50 3.9999 676.00 3.9999 675.50 3.9999 675.00 3.9999 674.50 3.9999 674.00 3.9999 673.50 3.9999 673.00 3.9999 672.50 3.9999 672.00 3.9999 671.50 3.9999 671.00 3.9999 670.50 3.9999 670.00 3.9999 669.50 3.9999 669.00 3.9999 668.50 3.9999 668.00 3.9999 667.50 3.9999 667.00 3.9999 666.50 3.9999 666.00 3.9999 665.50 3.9999 665.00 3.9999 664.50 3.9999 664.00 3.9999 663.50 3.9999 663.00 3.9999 662.50 3.9999 662.00 3.9999 661.50 3.9999 661.00 3.9999 660.50 3.9999 660.00 3.9999 659.50 3.9999 659.00 3.9999 658.50 3.9999 658.00 3.9999 657.50 3.9999 657.00 3.9999 656.50 3.9999 656.00 3.9999 655.50 3.9999 655.00 3.9999 654.50 3.9999 654.00 3.9999 653.50 3.9999 653.00 3.9999 652.50 3.9999 652.00 3.9999 651.50 3.9999 651.00 3.9999 650.50 3.9999 650.00 3.9999 649.50 3.9999 649.00 3.9999 648.50 3.9999 648.00 3.9999 647.50 3.9999 647.00 3.9999

683.50 3.9999 683.00 3.9999 682.50 3.9999 682.00 3.9999 681.50 3.9999 681.00 3.9999 680.50 3.9999 680.00 3.9999 679.50 3.9999 679.00 3.9999 678.50 3.9999 678.00 3.9999 677.50 3.9999 677.00 3.9999 676.50 3.9999 676.00 3.9999 675.50 3.9999 675.00 3.9999 674.50 3.9999 674.00 3.9999 673.50 3.9999 673.00 3.9999 672.50 3.9999 672.00 3.9999 671.50 3.9999 671.00 3.9999 670.50 3.9999 670.00 3.9999 669.50 3.9999 669.00 3.9999 668.50 3.9999 668.00 3.9999 667.50 3.9999 667.00 3.9999 666.50 3.9999 666.00 3.9999 665.50 3.9999 665.00 3.9999 664.50 3.9999 664.00 3.9999 663.50 3.9999 663.00 3.9999 662.50 3.9999 662.00 3.9999 661.50 3.9999 661.00 3.9999 660.50 3.9999 660.00 3.9999 659.50 3.9999 659.00 3.9999 658.50 3.9999 658.00 3.9999 657.50 3.9999 657.00 3.9999 656.50 3.9999 656.00 3.9999 655.50 3.9999 655.00 3.9999 654.50 3.9999 654.00 3.9999 653.50 3.9999 653.00 3.9999 652.50 3.9999 652.00 3.9999 651.50 3.9999 651.00 3.9999 650.50 3.9999 650.00 3.9999 649.50 3.9999 649.00 3.9999 648.50 3.9999 648.00 3.9999 647.50 3.9999 647.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 114: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

94

646.50 0.0002 646.00 0.0002 645.50 0.0004 645.00 0.0002 644.50 0.0002 644.00 0.0002 643.50 0.0001 643.00 0.0000 642.50 0.0001 642.00 0.0001 641.50 0.0000 641.00 0.0000 640.50 0.0001 640.00 0.0001 639.50 0.0000 639.00 0.0000 638.50 0.0000 638.00 0.0000 637.50 0.0000 637.00 0.0000 636.50 0.0000 636.00 0.0000 635.50 0.0000 635.00 0.0000 634.50 0.0000 634.00 0.0000 633.50 0.0000 633.00 0.0000 632.50 0.0000 632.00 0.0000 631.50 0.0000 631.00 0.0000 630.50 0.0000 630.00 0.0000 629.50 0.0001 629.00 0.0002 628.50 0.0002 628.00 0.0002 627.50 0.0002 627.00 0.0002 626.50 0.0002 626.00 0.0001 625.50 0.0001 625.00 0.0002 624.50 0.0001 624.00 0.0000 623.50 0.0001 623.00 0.0002 622.50 0.0001 622.00 0.0000 621.50 0.0000 621.00 0.0001 620.50 0.0002 620.00 0.0002 619.50 0.0002 619.00 0.0002 618.50 0.0002 618.00 0.0002 617.50 0.0002 617.00 0.0002 616.50 0.0001 616.00 0.0001 615.50 0.0002 615.00 0.0002 614.50 0.0004 614.00 0.0002 613.50 0.0002 613.00 0.0002 612.50 0.0001 612.00 0.0000 611.50 0.0000 611.00 0.0001 610.50 0.0002 610.00 0.0001

646.50 1.5179 646.00 1.5171 645.50 1.5171 645.00 1.5171 644.50 1.5162 644.00 1.5155 643.50 1.5155 643.00 1.5155 642.50 1.5146 642.00 1.5138 641.50 1.5138 641.00 1.5138 640.50 1.5138 640.00 1.5128 639.50 1.5120 639.00 1.5120 638.50 1.5111 638.00 1.5104 637.50 1.5104 637.00 1.5104 636.50 1.5095 636.00 1.5087 635.50 1.5087 635.00 1.5078 634.50 1.5070 634.00 1.5070 633.50 1.5070 633.00 1.5060 632.50 1.5051 632.00 1.5051 631.50 1.5043 631.00 1.5034 630.50 1.5034 630.00 1.5018 629.50 1.5002 629.00 1.5002 628.50 1.5002 628.00 1.5002 627.50 1.5002 627.00 1.4985 626.50 1.4968 626.00 1.4968 625.50 1.4968 625.00 1.4968 624.50 1.4960 624.00 1.4952 623.50 1.4952 623.00 1.4944 622.50 1.4937 622.00 1.4937 621.50 1.4928 621.00 1.4919 620.50 1.4919 620.00 1.4911 619.50 1.4904 619.00 1.4895 618.50 1.4888 618.00 1.4888 617.50 1.4888 617.00 1.4879 616.50 1.4872 616.00 1.4863 615.50 1.4855 615.00 1.4855 614.50 1.4846 614.00 1.4839 613.50 1.4839 613.00 1.4830 612.50 1.4823 612.00 1.4816 611.50 1.4808 611.00 1.4808 610.50 1.4800 610.00 1.4784

646.50 3.9133 646.00 3.9133 645.50 3.9133 645.00 3.9133 644.50 3.9133 644.00 3.9133 643.50 3.9133 643.00 3.9133 642.50 3.9133 642.00 3.9133 641.50 3.9133 641.00 3.9133 640.50 3.9133 640.00 3.9133 639.50 3.9133 639.00 3.9133 638.50 3.9133 638.00 3.9133 637.50 3.9133 637.00 3.9133 636.50 3.9133 636.00 3.9133 635.50 3.9133 635.00 3.9133 634.50 3.9133 634.00 3.9133 633.50 3.9133 633.00 3.9133 632.50 3.9133 632.00 3.9133 631.50 3.9133 631.00 3.9133 630.50 3.9133 630.00 3.9133 629.50 3.9133 629.00 3.9133 628.50 3.9133 628.00 3.9133 627.50 3.9133 627.00 3.9133 626.50 3.9133 626.00 3.9133 625.50 3.9133 625.00 3.9133 624.50 3.9133 624.00 3.9133 623.50 3.9133 623.00 3.9133 622.50 3.9133 622.00 3.9133 621.50 3.9133 621.00 3.9133 620.50 3.9133 620.00 3.9133 619.50 3.9133 619.00 3.9133 618.50 3.9133 618.00 3.9133 617.50 3.9133 617.00 3.9133 616.50 3.9133 616.00 3.9133 615.50 3.9133 615.00 3.9133 614.50 3.9133 614.00 3.9133 613.50 3.9133 613.00 3.9133 612.50 3.9133 612.00 3.9133 611.50 3.9133 611.00 3.9133 610.50 3.9133 610.00 3.9133

646.50 3.9999 646.00 3.9999 645.50 3.9999 645.00 3.9999 644.50 3.9999 644.00 3.9999 643.50 3.9999 643.00 3.9999 642.50 3.9999 642.00 3.9999 641.50 3.9999 641.00 3.9999 640.50 3.9999 640.00 3.9999 639.50 3.9999 639.00 3.9999 638.50 3.9999 638.00 3.9999 637.50 3.9999 637.00 3.9999 636.50 3.9999 636.00 3.9999 635.50 3.9999 635.00 3.9999 634.50 3.9999 634.00 3.9999 633.50 3.9999 633.00 3.9999 632.50 3.9999 632.00 3.9999 631.50 3.9999 631.00 3.9999 630.50 3.9999 630.00 3.9999 629.50 3.9999 629.00 3.9999 628.50 3.9999 628.00 3.9999 627.50 3.9999 627.00 3.9999 626.50 3.9999 626.00 3.9999 625.50 3.9999 625.00 3.9999 624.50 3.9999 624.00 3.9999 623.50 3.9999 623.00 3.9999 622.50 3.9999 622.00 3.9999 621.50 3.9999 621.00 3.9999 620.50 3.9999 620.00 3.9999 619.50 3.9999 619.00 3.9999 618.50 3.9999 618.00 3.9999 617.50 3.9999 617.00 3.9999 616.50 3.9999 616.00 3.9999 615.50 3.9999 615.00 3.9999 614.50 3.9999 614.00 3.9999 613.50 3.9999 613.00 3.9999 612.50 3.9999 612.00 3.9999 611.50 3.9999 611.00 3.9999 610.50 3.9999 610.00 3.9999

646.50 3.9999 646.00 3.9999 645.50 3.9999 645.00 3.9999 644.50 3.9999 644.00 3.9999 643.50 3.9999 643.00 3.9999 642.50 3.9999 642.00 3.9999 641.50 3.9999 641.00 3.9999 640.50 3.9999 640.00 3.9999 639.50 3.9999 639.00 3.9999 638.50 3.9999 638.00 3.9999 637.50 3.9999 637.00 3.9999 636.50 3.9999 636.00 3.9999 635.50 3.9999 635.00 3.9999 634.50 3.9999 634.00 3.9999 633.50 3.9999 633.00 3.9999 632.50 3.9999 632.00 3.9999 631.50 3.9999 631.00 3.9999 630.50 3.9999 630.00 3.9999 629.50 3.9999 629.00 3.9999 628.50 3.9999 628.00 3.9999 627.50 3.9999 627.00 3.9999 626.50 3.9999 626.00 3.9999 625.50 3.9999 625.00 3.9999 624.50 3.9999 624.00 3.9999 623.50 3.9999 623.00 3.9999 622.50 3.9999 622.00 3.9999 621.50 3.9999 621.00 3.9999 620.50 3.9999 620.00 3.9999 619.50 3.9999 619.00 3.9999 618.50 3.9999 618.00 3.9999 617.50 3.9999 617.00 3.9999 616.50 3.9999 616.00 3.9999 615.50 3.9999 615.00 3.9999 614.50 3.9999 614.00 3.9999 613.50 3.9999 613.00 3.9999 612.50 3.9999 612.00 3.9999 611.50 3.9999 611.00 3.9999 610.50 3.9999 610.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 115: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

95

609.50 0.0001 609.00 0.0002 608.50 0.0001 608.00 0.0001 607.50 0.0001 607.00 0.0001 606.50 0.0002 606.00 0.0001 605.50 0.0001 605.00 0.0002 604.50 0.0001 604.00 0.0001 603.50 0.0001 603.00 0.0001 602.50 0.0002 602.00 0.0001 601.50 0.0001 601.00 0.0002 600.50 0.0001 600.00 0.0000 599.50 0.0000 599.00 0.0001 598.50 0.0001 598.00 0.0000 597.50 0.0000 597.00 0.0000 596.50 0.0000 596.00 0.0000 595.50 0.0000 595.00 0.0001 594.50 0.0001 594.00 0.0000 593.50 0.0000 593.00 0.0001 592.50 0.0001 592.00 0.0001 591.50 0.0002 591.00 0.0002 590.50 0.0001 590.00 0.0000 589.50 0.0001 589.00 0.0002 588.50 0.0001 588.00 0.0000 587.50 0.0000 587.00 0.0001 586.50 0.0001 586.00 0.0000 585.50 0.0001 585.00 0.0002 584.50 0.0001 584.00 0.0001 583.50 0.0002 583.00 0.0002 582.50 0.0004 582.00 0.0002 581.50 0.0002 581.00 0.0002 580.50 0.0002 580.00 0.0002 579.50 0.0002 579.00 0.0002 578.50 0.0002 578.00 0.0001 577.50 0.0001 577.00 0.0002 576.50 0.0001 576.00 0.0001 575.50 0.0001 575.00 0.0000 574.50 0.0000 574.00 0.0000 573.50 0.0001 573.00 0.0001

609.50 1.4775 609.00 1.4775 608.50 1.4767 608.00 1.4760 607.50 1.4752 607.00 1.4745 606.50 1.4736 606.00 1.4729 605.50 1.4729 605.00 1.4729 604.50 1.4722 604.00 1.4714 603.50 1.4706 603.00 1.4698 602.50 1.4698 602.00 1.4690 601.50 1.4681 601.00 1.4681 600.50 1.4674 600.00 1.4667 599.50 1.4659 599.00 1.4652 598.50 1.4652 598.00 1.4644 597.50 1.4636 597.00 1.4629 596.50 1.4622 596.00 1.4622 595.50 1.4622 595.00 1.4613 594.50 1.4598 594.00 1.4591 593.50 1.4591 593.00 1.4584 592.50 1.4568 592.00 1.4552 591.50 1.4545 591.00 1.4545 590.50 1.4537 590.00 1.4530 589.50 1.4523 589.00 1.4515 588.50 1.4515 588.00 1.4508 587.50 1.4501 587.00 1.4492 586.50 1.4485 586.00 1.4478 585.50 1.4470 585.00 1.4463 584.50 1.4456 584.00 1.4456 583.50 1.4448 583.00 1.4441 582.50 1.4434 582.00 1.4426 581.50 1.4419 581.00 1.4412 580.50 1.4404 580.00 1.4397 579.50 1.4397 579.00 1.4390 578.50 1.4376 578.00 1.4369 577.50 1.4369 577.00 1.4362 576.50 1.4347 576.00 1.4340 575.50 1.4332 575.00 1.4318 574.50 1.4303 574.00 1.4297 573.50 1.4290 573.00 1.4282

609.50 3.9133 609.00 3.9133 608.50 3.9133 608.00 3.9133 607.50 3.9133 607.00 3.9133 606.50 3.9133 606.00 3.9133 605.50 3.9133 605.00 3.9133 604.50 3.9133 604.00 3.9133 603.50 3.9133 603.00 3.9133 602.50 3.9133 602.00 3.9133 601.50 3.9133 601.00 3.9133 600.50 3.9133 600.00 3.9133 599.50 3.9133 599.00 3.9133 598.50 3.9133 598.00 3.9133 597.50 3.9133 597.00 3.9133 596.50 3.9133 596.00 3.9133 595.50 3.9133 595.00 3.9133 594.50 3.9133 594.00 3.9133 593.50 3.9133 593.00 3.9133 592.50 3.9133 592.00 3.9133 591.50 3.9133 591.00 3.9133 590.50 3.9133 590.00 3.9133 589.50 3.9133 589.00 3.9133 588.50 3.9133 588.00 3.9133 587.50 3.9133 587.00 3.9133 586.50 3.9133 586.00 3.9133 585.50 3.9133 585.00 3.9133 584.50 3.9133 584.00 3.9133 583.50 3.9133 583.00 3.9133 582.50 3.9133 582.00 3.9133 581.50 3.9133 581.00 3.9133 580.50 3.9133 580.00 3.9133 579.50 3.9133 579.00 3.9133 578.50 3.9133 578.00 3.9133 577.50 3.9133 577.00 3.9133 576.50 3.9133 576.00 3.9133 575.50 3.9133 575.00 3.9133 574.50 3.9133 574.00 3.9133 573.50 3.9133 573.00 3.9133

609.50 3.9999 609.00 3.9999 608.50 3.9999 608.00 3.9999 607.50 3.9999 607.00 3.9999 606.50 3.9999 606.00 3.9999 605.50 3.9999 605.00 3.9999 604.50 3.9999 604.00 3.9999 603.50 3.9999 603.00 3.9999 602.50 3.9999 602.00 3.9999 601.50 3.9999 601.00 3.9999 600.50 3.9999 600.00 3.9999 599.50 3.9999 599.00 3.9999 598.50 3.9999 598.00 3.9999 597.50 3.9999 597.00 3.9999 596.50 3.9999 596.00 3.9999 595.50 3.9999 595.00 3.9999 594.50 3.9999 594.00 3.9999 593.50 3.9999 593.00 3.9999 592.50 3.9999 592.00 3.9999 591.50 3.9999 591.00 3.9999 590.50 3.9999 590.00 3.9999 589.50 3.9999 589.00 3.9999 588.50 3.9999 588.00 3.9999 587.50 3.9999 587.00 3.9999 586.50 3.9999 586.00 3.9999 585.50 3.9999 585.00 3.9999 584.50 3.9999 584.00 3.9999 583.50 3.9999 583.00 3.9999 582.50 3.9999 582.00 3.9999 581.50 3.9999 581.00 3.9999 580.50 3.9999 580.00 3.9999 579.50 3.9999 579.00 3.9999 578.50 3.9999 578.00 3.9999 577.50 3.9999 577.00 3.9999 576.50 3.9999 576.00 3.9999 575.50 3.9999 575.00 3.9999 574.50 3.9999 574.00 3.9999 573.50 3.9999 573.00 3.9999

609.50 3.9999 609.00 3.9999 608.50 3.9999 608.00 3.9999 607.50 3.9999 607.00 3.9999 606.50 3.9999 606.00 3.9999 605.50 3.9999 605.00 3.9999 604.50 3.9999 604.00 3.9999 603.50 3.9999 603.00 3.9999 602.50 3.9999 602.00 3.9999 601.50 3.9999 601.00 3.9999 600.50 3.9999 600.00 3.9999 599.50 3.9999 599.00 3.9999 598.50 3.9999 598.00 3.9999 597.50 3.9999 597.00 3.9999 596.50 3.9999 596.00 3.9999 595.50 3.9999 595.00 3.9999 594.50 3.9999 594.00 3.9999 593.50 3.9999 593.00 3.9999 592.50 3.9999 592.00 3.9999 591.50 3.9999 591.00 3.9999 590.50 3.9999 590.00 3.9999 589.50 3.9999 589.00 3.9999 588.50 3.9999 588.00 3.9999 587.50 3.9999 587.00 3.9999 586.50 3.9999 586.00 3.9999 585.50 3.9999 585.00 3.9999 584.50 3.9999 584.00 3.9999 583.50 3.9999 583.00 3.9999 582.50 3.9999 582.00 3.9999 581.50 3.9999 581.00 3.9999 580.50 3.9999 580.00 3.9999 579.50 3.9999 579.00 3.9999 578.50 3.9999 578.00 3.9999 577.50 3.9999 577.00 3.9999 576.50 3.9999 576.00 3.9999 575.50 3.9999 575.00 3.9999 574.50 3.9999 574.00 3.9999 573.50 3.9999 573.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 116: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

96

572.50 0.0000 572.00 0.0001 571.50 0.0002 571.00 0.0002 570.50 0.0002 570.00 0.0002 569.50 0.0002 569.00 0.0002 568.50 0.0002 568.00 0.0002 567.50 0.0002 567.00 0.0002 566.50 0.0002 566.00 0.0002 565.50 0.0002 565.00 0.0004 564.50 0.0002 564.00 0.0002 563.50 0.0002 563.00 0.0002 562.50 0.0002 562.00 0.0002 561.50 0.0002 561.00 0.0002 560.50 0.0001 560.00 0.0001 559.50 0.0002 559.00 0.0002 558.50 0.0002 558.00 0.0001 557.50 0.0001 557.00 0.0001 556.50 0.0000 556.00 0.0001 555.50 0.0001 555.00 0.0001 554.50 0.0002 554.00 0.0001 553.50 0.0000 553.00 0.0001 552.50 0.0001 552.00 0.0001 551.50 0.0002 551.00 0.0001 550.50 0.0000 550.00 0.0000 549.50 0.0001 549.00 0.0001 548.50 0.0000 548.00 0.0000 547.50 0.0000 547.00 0.0001 546.50 0.0002 546.00 0.0001 545.50 0.0001 545.00 0.0002 544.50 0.0001 544.00 0.0001 543.50 0.0002 543.00 0.0002 542.50 0.0002 542.00 0.0002 541.50 0.0002 541.00 0.0002 540.50 0.0002 540.00 0.0001 539.50 0.0000 539.00 0.0001 538.50 0.0001 538.00 0.0001 537.50 0.0002 537.00 0.0002 536.50 0.0001 536.00 0.0001

572.50 1.4282 572.00 1.4275 571.50 1.4260 571.00 1.4254 570.50 1.4247 570.00 1.4240 569.50 1.4232 569.00 1.4226 568.50 1.4219 568.00 1.4211 567.50 1.4204 567.00 1.4197 566.50 1.4189 566.00 1.4183 565.50 1.4176 565.00 1.4161 564.50 1.4155 564.00 1.4148 563.50 1.4135 563.00 1.4121 562.50 1.4115 562.00 1.4108 561.50 1.4102 561.00 1.4094 560.50 1.4087 560.00 1.4080 559.50 1.4066 559.00 1.4060 558.50 1.4053 558.00 1.4047 557.50 1.4039 557.00 1.4032 556.50 1.4025 556.00 1.4019 555.50 1.4011 555.00 1.3999 554.50 1.3993 554.00 1.3993 553.50 1.3986 553.00 1.3972 552.50 1.3966 552.00 1.3959 551.50 1.3945 551.00 1.3939 550.50 1.3926 550.00 1.3914 549.50 1.3906 549.00 1.3900 548.50 1.3893 548.00 1.3879 547.50 1.3873 547.00 1.3873 546.50 1.3866 546.00 1.3853 545.50 1.3840 545.00 1.3835 544.50 1.3828 544.00 1.3822 543.50 1.3815 543.00 1.3809 542.50 1.3801 542.00 1.3789 541.50 1.3784 541.00 1.3777 540.50 1.3763 540.00 1.3751 539.50 1.3739 539.00 1.3733 538.50 1.3726 538.00 1.3713 537.50 1.3700 537.00 1.3694 536.50 1.3682 536.00 1.3676

572.50 3.9133 572.00 3.9133 571.50 3.9133 571.00 3.9133 570.50 3.9133 570.00 3.9133 569.50 3.9133 569.00 3.9133 568.50 3.9133 568.00 3.9133 567.50 3.9133 567.00 3.9133 566.50 3.9133 566.00 3.9133 565.50 3.9133 565.00 3.9133 564.50 3.9133 564.00 3.9133 563.50 3.9133 563.00 3.9133 562.50 3.9133 562.00 3.9133 561.50 3.9133 561.00 3.9133 560.50 3.9133 560.00 3.9133 559.50 3.9133 559.00 3.9133 558.50 3.9133 558.00 3.9133 557.50 3.9133 557.00 3.9133 556.50 3.9133 556.00 3.9133 555.50 3.9133 555.00 3.9133 554.50 3.9133 554.00 3.9133 553.50 3.9133 553.00 3.9133 552.50 3.9133 552.00 3.9133 551.50 3.9133 551.00 3.9133 550.50 3.9133 550.00 3.9133 549.50 3.9133 549.00 3.9133 548.50 3.9133 548.00 3.9133 547.50 3.9133 547.00 3.9133 546.50 3.9133 546.00 3.7628 545.50 3.7628 545.00 3.9133 544.50 3.9133 544.00 3.9133 543.50 3.7628 543.00 3.7628 542.50 3.9133 542.00 3.9133 541.50 3.9133 541.00 3.9133 540.50 3.9133 540.00 3.9133 539.50 3.9133 539.00 3.9133 538.50 3.9133 538.00 3.9133 537.50 3.9133 537.00 3.9133 536.50 3.9133 536.00 3.9133

572.50 3.9999 572.00 3.9999 571.50 3.9999 571.00 3.9999 570.50 3.9999 570.00 3.9999 569.50 3.9999 569.00 3.9999 568.50 3.9999 568.00 3.9999 567.50 3.9999 567.00 3.9999 566.50 3.9999 566.00 3.9999 565.50 3.9999 565.00 3.9999 564.50 3.9999 564.00 3.9999 563.50 3.9999 563.00 3.9999 562.50 3.9999 562.00 3.9999 561.50 3.9999 561.00 3.9999 560.50 3.9999 560.00 3.9999 559.50 3.9999 559.00 3.9999 558.50 3.9999 558.00 3.9999 557.50 3.9999 557.00 3.9999 556.50 3.9999 556.00 3.9999 555.50 3.9999 555.00 3.9999 554.50 3.9999 554.00 3.9999 553.50 3.9999 553.00 3.9999 552.50 3.9999 552.00 3.9999 551.50 3.9999 551.00 3.9999 550.50 3.9999 550.00 3.9999 549.50 3.9999 549.00 3.9999 548.50 3.9999 548.00 3.9999 547.50 3.9999 547.00 3.9999 546.50 3.9999 546.00 3.9999 545.50 3.9999 545.00 3.9999 544.50 3.9999 544.00 3.9999 543.50 3.9999 543.00 3.9999 542.50 3.9999 542.00 3.9999 541.50 3.9999 541.00 3.9999 540.50 3.9999 540.00 3.9999 539.50 3.9999 539.00 3.9999 538.50 3.9999 538.00 3.9999 537.50 3.9999 537.00 3.9999 536.50 3.9999 536.00 3.9999

572.50 3.9999 572.00 3.9999 571.50 3.9999 571.00 3.9999 570.50 3.9999 570.00 3.9999 569.50 3.9999 569.00 3.9999 568.50 3.9999 568.00 3.9999 567.50 3.9999 567.00 3.9999 566.50 3.9999 566.00 3.9999 565.50 3.9999 565.00 3.9999 564.50 3.9999 564.00 3.9999 563.50 3.9999 563.00 3.9999 562.50 3.9999 562.00 3.9999 561.50 3.9999 561.00 3.9999 560.50 3.9999 560.00 3.9999 559.50 3.9999 559.00 3.9999 558.50 3.9999 558.00 3.9999 557.50 3.9999 557.00 3.9999 556.50 3.9999 556.00 3.9999 555.50 3.9999 555.00 3.9999 554.50 3.9999 554.00 3.9999 553.50 3.9999 553.00 3.9999 552.50 3.9999 552.00 3.9999 551.50 3.9999 551.00 3.9999 550.50 3.9999 550.00 3.9999 549.50 3.9999 549.00 3.9999 548.50 3.9999 548.00 3.9999 547.50 3.9999 547.00 3.9999 546.50 3.9999 546.00 3.9999 545.50 3.9999 545.00 3.9999 544.50 3.9999 544.00 3.9999 543.50 3.9999 543.00 3.9999 542.50 3.9999 542.00 3.9999 541.50 3.9999 541.00 3.9999 540.50 3.9999 540.00 3.9999 539.50 3.9999 539.00 3.9999 538.50 3.9999 538.00 3.9999 537.50 3.9999 537.00 3.9999 536.50 3.9999 536.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 117: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

97

535.50 0.0001 535.00 0.0001 534.50 0.0002 534.00 0.0002 533.50 0.0002 533.00 0.0004 532.50 0.0002 532.00 0.0002 531.50 0.0002 531.00 0.0002 530.50 0.0002 530.00 0.0002 529.50 0.0002 529.00 0.0001 528.50 0.0001 528.00 0.0002 527.50 0.0001 527.00 0.0001 526.50 0.0002 526.00 0.0002 525.50 0.0002 525.00 0.0001 524.50 0.0001 524.00 0.0002 523.50 0.0002 523.00 0.0002 522.50 0.0001 522.00 0.0000 521.50 0.0001 521.00 0.0002 520.50 0.0002 520.00 0.0002 519.50 0.0004 519.00 0.0004 518.50 0.0004 518.00 0.0002 517.50 0.0002 517.00 0.0002 516.50 0.0002 516.00 0.0002 515.50 0.0002 515.00 0.0004 514.50 0.0002 514.00 0.0002 513.50 0.0002 513.00 0.0001 512.50 0.0001 512.00 0.0002 511.50 0.0002 511.00 0.0002 510.50 0.0001 510.00 0.0000 509.50 0.0001 509.00 0.0001 508.50 0.0001 508.00 0.0002 507.50 0.0002 507.00 0.0002 506.50 0.0002 506.00 0.0001 505.50 0.0001 505.00 0.0002 504.50 0.0002 504.00 0.0001 503.50 0.0000 503.00 0.0001 502.50 0.0002 502.00 0.0002 501.50 0.0002 501.00 0.0001 500.50 0.0000 500.00 0.0000 499.50 0.0001 499.00 0.0002

535.50 1.3676 535.00 1.3669 534.50 1.3656 534.00 1.3644 533.50 1.3638 533.00 1.3633 532.50 1.3627 532.00 1.3613 531.50 1.3607 531.00 1.3601 530.50 1.3590 530.00 1.3584 529.50 1.3577 529.00 1.3564 528.50 1.3558 528.00 1.3552 527.50 1.3547 527.00 1.3541 526.50 1.3530 526.00 1.3512 525.50 1.3500 525.00 1.3494 524.50 1.3489 524.00 1.3477 523.50 1.3464 523.00 1.3458 522.50 1.3453 522.00 1.3447 521.50 1.3435 521.00 1.3423 520.50 1.3412 520.00 1.3406 519.50 1.3400 519.00 1.3389 518.50 1.3383 518.00 1.3376 517.50 1.3358 517.00 1.3341 516.50 1.3329 516.00 1.3318 515.50 1.3312 515.00 1.3307 514.50 1.3296 514.00 1.3284 513.50 1.3271 513.00 1.3260 512.50 1.3256 512.00 1.3250 511.50 1.3239 511.00 1.3232 510.50 1.3221 510.00 1.3204 509.50 1.3193 509.00 1.3188 508.50 1.3182 508.00 1.3171 507.50 1.3160 507.00 1.3149 506.50 1.3145 506.00 1.3138 505.50 1.3121 505.00 1.3105 504.50 1.3101 504.00 1.3094 503.50 1.3083 503.00 1.3073 502.50 1.3068 502.00 1.3057 501.50 1.3041 501.00 1.3036 500.50 1.3025 500.00 1.3008 499.50 1.2998 499.00 1.2987

535.50 3.9133 535.00 3.9133 534.50 3.9133 534.00 3.9133 533.50 3.9133 533.00 3.9133 532.50 3.9133 532.00 3.9133 531.50 3.9133 531.00 3.9133 530.50 3.9133 530.00 3.9133 529.50 3.9133 529.00 3.9133 528.50 3.9133 528.00 3.9133 527.50 3.7628 527.00 3.7628 526.50 3.9133 526.00 3.7628 525.50 3.7628 525.00 3.7628 524.50 3.7628 524.00 3.7628 523.50 3.7628 523.00 3.7628 522.50 3.7628 522.00 3.7628 521.50 3.7628 521.00 3.9133 520.50 3.9133 520.00 3.9133 519.50 3.9133 519.00 3.9133 518.50 3.9133 518.00 3.9133 517.50 3.9133 517.00 3.9133 516.50 3.9133 516.00 3.7628 515.50 3.7628 515.00 3.9133 514.50 3.9133 514.00 3.7628 513.50 3.7628 513.00 3.9133 512.50 3.7628 512.00 3.7628 511.50 3.7628 511.00 3.7628 510.50 3.7628 510.00 3.7628 509.50 3.9133 509.00 3.9133 508.50 3.9133 508.00 3.9133 507.50 3.9133 507.00 3.7628 506.50 3.7628 506.00 3.7628 505.50 3.7628 505.00 3.9133 504.50 3.9133 504.00 3.9133 503.50 3.9133 503.00 3.9133 502.50 3.9133 502.00 3.7628 501.50 3.7628 501.00 3.9133 500.50 3.9133 500.00 3.9133 499.50 3.9133 499.00 3.9133

535.50 3.9999 535.00 3.9999 534.50 3.9999 534.00 3.9999 533.50 3.9999 533.00 3.9999 532.50 3.9999 532.00 3.9999 531.50 3.9565 531.00 3.9565 530.50 3.9999 530.00 3.9999 529.50 3.9999 529.00 3.9999 528.50 3.9999 528.00 3.9999 527.50 3.9565 527.00 3.9565 526.50 3.9999 526.00 3.9999 525.50 3.9999 525.00 3.9999 524.50 3.9999 524.00 3.9999 523.50 3.9999 523.00 3.9999 522.50 3.9999 522.00 3.9999 521.50 3.9999 521.00 3.9999 520.50 3.9999 520.00 3.9999 519.50 3.9565 519.00 3.9565 518.50 3.9999 518.00 3.9999 517.50 3.9565 517.00 3.9565 516.50 3.9999 516.00 3.9999 515.50 3.9999 515.00 3.9999 514.50 3.9999 514.00 3.9999 513.50 3.9999 513.00 3.9999 512.50 3.9999 512.00 3.9999 511.50 3.9565 511.00 3.9565 510.50 3.9999 510.00 3.9999 509.50 3.9999 509.00 3.9999 508.50 3.9999 508.00 3.9999 507.50 3.9999 507.00 3.9999 506.50 3.9999 506.00 3.9565 505.50 3.9565 505.00 3.9565 504.50 3.9565 504.00 3.9999 503.50 3.9999 503.00 3.9999 502.50 3.9999 502.00 3.9999 501.50 3.9999 501.00 3.9999 500.50 3.9999 500.00 3.9999 499.50 3.9999 499.00 3.9999

535.50 3.9999 535.00 3.9999 534.50 3.9999 534.00 3.9999 533.50 3.9999 533.00 3.9999 532.50 3.9999 532.00 3.9565 531.50 3.9565 531.00 3.9999 530.50 3.9999 530.00 3.9999 529.50 3.9999 529.00 3.9999 528.50 3.9999 528.00 3.9999 527.50 3.9999 527.00 3.9999 526.50 3.9999 526.00 3.9999 525.50 3.9999 525.00 3.9999 524.50 3.9999 524.00 3.9999 523.50 3.9999 523.00 3.9999 522.50 3.9999 522.00 3.9999 521.50 3.9999 521.00 3.9999 520.50 3.9999 520.00 3.9999 519.50 3.9999 519.00 3.9999 518.50 3.9999 518.00 3.9999 517.50 3.9999 517.00 3.9999 516.50 3.9999 516.00 3.9999 515.50 3.9999 515.00 3.9999 514.50 3.9999 514.00 3.9999 513.50 3.9999 513.00 3.9999 512.50 3.9999 512.00 3.9999 511.50 3.9999 511.00 3.9999 510.50 3.9999 510.00 3.9999 509.50 3.9999 509.00 3.9999 508.50 3.9999 508.00 3.9999 507.50 3.9999 507.00 3.9999 506.50 3.9999 506.00 3.9999 505.50 3.9999 505.00 3.9999 504.50 3.9999 504.00 3.9999 503.50 3.9999 503.00 3.9999 502.50 3.9999 502.00 3.9999 501.50 3.9999 501.00 3.9999 500.50 3.9999 500.00 3.9999 499.50 3.9999 499.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 118: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

98

498.50 0.0002 498.00 0.0002 497.50 0.0001 497.00 0.0000 496.50 0.0000 496.00 0.0000 495.50 0.0000 495.00 0.0000 494.50 0.0000 494.00 0.0000 493.50 0.0001 493.00 0.0002 492.50 0.0002 492.00 0.0002 491.50 0.0001 491.00 0.0000 490.50 0.0000 490.00 0.0001 489.50 0.0002 489.00 0.0002 488.50 0.0002 488.00 0.0002 487.50 0.0001 487.00 0.0001 486.50 0.0002 486.00 0.0001 485.50 0.0000 485.00 0.0001 484.50 0.0001 484.00 0.0001 483.50 0.0002 483.00 0.0002 482.50 0.0002 482.00 0.0001 481.50 0.0001 481.00 0.0002 480.50 0.0001 480.00 0.0001 479.50 0.0002 479.00 0.0002 478.50 0.0001 478.00 0.0000 477.50 0.0000 477.00 0.0001 476.50 0.0002 476.00 0.0002 475.50 0.0002 475.00 0.0002 474.50 0.0002 474.00 0.0001 473.50 0.0000 473.00 0.0000 472.50 0.0000 472.00 0.0000 471.50 0.0000 471.00 0.0000 470.50 0.0000 470.00 0.0000 469.50 0.0001 469.00 0.0002 468.50 0.0002 468.00 0.0002 467.50 0.0002 467.00 0.0002 466.50 0.0001 466.00 0.0000 465.50 0.0000 465.00 0.0000 464.50 0.0001 464.00 0.0004 463.50 0.0007 463.00 0.0011 462.50 0.0006 462.00 0.0001

498.50 1.2981 498.00 1.2976 497.50 1.2955 497.00 1.2939 496.50 1.2935 496.00 1.2924 495.50 1.2913 495.00 1.2908 494.50 1.2897 494.00 1.2882 493.50 1.2871 493.00 1.2861 492.50 1.2850 492.00 1.2841 491.50 1.2831 491.00 1.2826 490.50 1.2815 490.00 1.2800 489.50 1.2795 489.00 1.2791 488.50 1.2781 488.00 1.2765 487.50 1.2755 487.00 1.2749 486.50 1.2739 486.00 1.2729 485.50 1.2720 485.00 1.2710 484.50 1.2700 484.00 1.2690 483.50 1.2686 483.00 1.2675 482.50 1.2660 482.00 1.2651 481.50 1.2646 481.00 1.2632 480.50 1.2612 480.00 1.2603 479.50 1.2598 479.00 1.2593 478.50 1.2583 478.00 1.2573 477.50 1.2565 477.00 1.2555 476.50 1.2540 476.00 1.2532 475.50 1.2526 475.00 1.2516 474.50 1.2507 474.00 1.2498 473.50 1.2488 473.00 1.2479 472.50 1.2469 472.00 1.2461 471.50 1.2451 471.00 1.2441 470.50 1.2428 470.00 1.2413 469.50 1.2410 469.00 1.2405 468.50 1.2391 468.00 1.2383 467.50 1.2368 467.00 1.2350 466.50 1.2346 466.00 1.2341 465.50 1.2328 465.00 1.2310 464.50 1.2301 464.00 1.2291 463.50 1.2286 463.00 1.2278 462.50 1.2261 462.00 1.2252

498.50 3.9133 498.00 3.9133 497.50 3.9133 497.00 3.9133 496.50 3.9133 496.00 3.9133 495.50 3.9133 495.00 3.9133 494.50 3.9133 494.00 3.9133 493.50 3.9133 493.00 3.9133 492.50 3.9133 492.00 3.9133 491.50 3.9133 491.00 3.9133 490.50 3.9133 490.00 3.9133 489.50 3.9133 489.00 3.9133 488.50 3.9133 488.00 3.9133 487.50 3.9133 487.00 3.9133 486.50 3.9133 486.00 3.9133 485.50 3.9133 485.00 3.9133 484.50 3.9133 484.00 3.9133 483.50 3.9133 483.00 3.9133 482.50 3.9133 482.00 3.9133 481.50 3.9133 481.00 3.9133 480.50 3.9133 480.00 3.9133 479.50 3.9133 479.00 3.9133 478.50 3.9133 478.00 3.9133 477.50 3.9133 477.00 3.9133 476.50 3.9133 476.00 3.9133 475.50 3.9133 475.00 3.9133 474.50 3.9133 474.00 3.9133 473.50 3.9133 473.00 3.9133 472.50 3.9133 472.00 3.9133 471.50 3.9133 471.00 3.9133 470.50 3.9133 470.00 3.9133 469.50 3.9133 469.00 3.9133 468.50 3.9133 468.00 3.9133 467.50 3.9133 467.00 3.9133 466.50 3.9133 466.00 3.9133 465.50 3.9133 465.00 3.7628 464.50 3.7628 464.00 3.9133 463.50 3.7628 463.00 3.7628 462.50 3.9133 462.00 3.9133

498.50 3.9999 498.00 3.9999 497.50 3.9999 497.00 3.9999 496.50 3.9999 496.00 3.9999 495.50 3.9999 495.00 3.9999 494.50 3.9999 494.00 3.9999 493.50 3.9999 493.00 3.9565 492.50 3.9565 492.00 3.9999 491.50 3.9565 491.00 3.9565 490.50 3.9999 490.00 3.9999 489.50 3.9999 489.00 3.9999 488.50 3.9999 488.00 3.9999 487.50 3.9999 487.00 3.9999 486.50 3.9565 486.00 3.9565 485.50 3.9999 485.00 3.9999 484.50 3.9999 484.00 3.9999 483.50 3.9999 483.00 3.9999 482.50 3.9999 482.00 3.9999 481.50 3.9999 481.00 3.9999 480.50 3.9999 480.00 3.9999 479.50 3.9565 479.00 3.9565 478.50 3.9999 478.00 3.9565 477.50 3.9565 477.00 3.9565 476.50 3.9565 476.00 3.9999 475.50 3.9999 475.00 3.9999 474.50 3.9999 474.00 3.9565 473.50 3.9565 473.00 3.9999 472.50 3.9999 472.00 3.9999 471.50 3.9999 471.00 3.9999 470.50 3.9999 470.00 3.9999 469.50 3.9999 469.00 3.9999 468.50 3.9999 468.00 3.9999 467.50 3.9999 467.00 3.9999 466.50 3.9999 466.00 3.9999 465.50 3.9999 465.00 3.9999 464.50 3.9999 464.00 3.9565 463.50 3.9565 463.00 3.9565 462.50 3.9565 462.00 3.9999

498.50 3.9999 498.00 3.9999 497.50 3.9999 497.00 3.9999 496.50 3.9999 496.00 3.9999 495.50 3.9999 495.00 3.9999 494.50 3.9999 494.00 3.9999 493.50 3.9999 493.00 3.9999 492.50 3.9999 492.00 3.9999 491.50 3.9999 491.00 3.9999 490.50 3.9999 490.00 3.9999 489.50 3.9999 489.00 3.9999 488.50 3.9999 488.00 3.9999 487.50 3.9999 487.00 3.9999 486.50 3.9999 486.00 3.9999 485.50 3.9999 485.00 3.9999 484.50 3.9999 484.00 3.9999 483.50 3.9999 483.00 3.9999 482.50 3.9999 482.00 3.9999 481.50 3.9999 481.00 3.9999 480.50 3.9999 480.00 3.9999 479.50 3.9999 479.00 3.9999 478.50 3.9999 478.00 3.9999 477.50 3.9999 477.00 3.9999 476.50 3.9999 476.00 3.9999 475.50 3.9999 475.00 3.9999 474.50 3.9999 474.00 3.9999 473.50 3.9999 473.00 3.9999 472.50 3.9999 472.00 3.9999 471.50 3.9999 471.00 3.9999 470.50 3.9999 470.00 3.9999 469.50 3.9999 469.00 3.9999 468.50 3.9999 468.00 3.9999 467.50 3.9999 467.00 3.9999 466.50 3.9999 466.00 3.9999 465.50 3.9999 465.00 3.9999 464.50 3.9999 464.00 3.9999 463.50 3.9999 463.00 3.9999 462.50 3.9999 462.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 119: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

99

461.50 0.0002 461.00 0.0002 460.50 0.0001 460.00 0.0001 459.50 0.0002 459.00 0.0001 458.50 0.0000 458.00 0.0001 457.50 0.0002 457.00 0.0002 456.50 0.0001 456.00 0.0001 455.50 0.0002 455.00 0.0001 454.50 0.0001 454.00 0.0004 453.50 0.0004 453.00 0.0004 452.50 0.0004 452.00 0.0004 451.50 0.0004 451.00 0.0004 450.50 0.0004 450.00 0.0002 449.50 0.0002 449.00 0.0004 448.50 0.0002 448.00 0.0002 447.50 0.0002 447.00 0.0002 446.50 0.0001 446.00 0.0001 445.50 0.0002 445.00 0.0002 444.50 0.0002 444.00 0.0002 443.50 0.0002 443.00 0.0002 442.50 0.0002 442.00 0.0002 441.50 0.0002 441.00 0.0002 440.50 0.0002 440.00 0.0002 439.50 0.0004 439.00 0.0004 438.50 0.0004 438.00 0.0004 437.50 0.0004 437.00 0.0004 436.50 0.0004 436.00 0.0004 435.50 0.0004 435.00 0.0004 434.50 0.0004 434.00 0.0004 433.50 0.0002 433.00 0.0002 432.50 0.0002 432.00 0.0002 431.50 0.0002 431.00 0.0002 430.50 0.0004 430.00 0.0002 429.50 0.0002 429.00 0.0002 428.50 0.0002 428.00 0.0002 427.50 0.0004 427.00 0.0004 426.50 0.0002 426.00 0.0002 425.50 0.0002 425.00 0.0004

461.50 1.2242 461.00 1.2234 460.50 1.2220 460.00 1.2207 459.50 1.2200 459.00 1.2191 458.50 1.2179 458.00 1.2161 457.50 1.2152 457.00 1.2140 456.50 1.2123 456.00 1.2113 455.50 1.2106 455.00 1.2094 454.50 1.2080 454.00 1.2072 453.50 1.2059 453.00 1.2046 452.50 1.2037 452.00 1.2029 451.50 1.2015 451.00 1.2000 450.50 1.1987 450.00 1.1979 449.50 1.1970 449.00 1.1962 448.50 1.1954 448.00 1.1942 447.50 1.1925 447.00 1.1913 446.50 1.1904 446.00 1.1897 445.50 1.1890 445.00 1.1877 444.50 1.1862 444.00 1.1849 443.50 1.1841 443.00 1.1829 442.50 1.1821 442.00 1.1813 441.50 1.1802 441.00 1.1790 440.50 1.1779 440.00 1.1766 439.50 1.1753 439.00 1.1746 438.50 1.1738 438.00 1.1726 437.50 1.1715 437.00 1.1708 436.50 1.1692 436.00 1.1681 435.50 1.1672 435.00 1.1660 434.50 1.1653 434.00 1.1641 433.50 1.1630 433.00 1.1622 432.50 1.1606 432.00 1.1592 431.50 1.1584 431.00 1.1577 430.50 1.1570 430.00 1.1563 429.50 1.1550 429.00 1.1538 428.50 1.1527 428.00 1.1516 427.50 1.1505 427.00 1.1494 426.50 1.1487 426.00 1.1475 425.50 1.1464 425.00 1.1456

461.50 3.9133 461.00 3.9133 460.50 3.9133 460.00 3.9133 459.50 3.9133 459.00 3.9133 458.50 3.9133 458.00 3.9133 457.50 3.9133 457.00 3.9133 456.50 3.9133 456.00 3.9133 455.50 3.9133 455.00 3.9133 454.50 3.9133 454.00 3.9133 453.50 3.9133 453.00 3.9133 452.50 3.9133 452.00 3.9133 451.50 3.9133 451.00 3.9133 450.50 3.9133 450.00 3.9133 449.50 3.9133 449.00 3.9133 448.50 3.9565 448.00 3.9565 447.50 3.9133 447.00 3.9133 446.50 3.9133 446.00 3.9133 445.50 3.9133 445.00 3.9133 444.50 3.9133 444.00 3.9133 443.50 3.9133 443.00 3.9133 442.50 3.9133 442.00 3.9565 441.50 3.9565 441.00 3.9565 440.50 3.9999 440.00 3.9565 439.50 3.9133 439.00 3.9133 438.50 3.9565 438.00 3.9565 437.50 3.9133 437.00 3.9565 436.50 3.9565 436.00 3.9133 435.50 3.9133 435.00 3.9133 434.50 3.9133 434.00 3.9133 433.50 3.9133 433.00 3.9133 432.50 3.9133 432.00 3.9133 431.50 3.9133 431.00 3.9133 430.50 3.9133 430.00 3.9133 429.50 3.9133 429.00 3.9133 428.50 3.9133 428.00 3.9133 427.50 3.9133 427.00 3.9133 426.50 3.9565 426.00 3.9565 425.50 3.9133 425.00 3.9133

461.50 3.9999 461.00 3.9999 460.50 3.9999 460.00 3.9999 459.50 3.9999 459.00 3.9999 458.50 3.9999 458.00 3.9999 457.50 3.9999 457.00 3.9999 456.50 3.9999 456.00 3.9999 455.50 3.9999 455.00 3.9999 454.50 3.9999 454.00 3.9999 453.50 3.9999 453.00 3.9999 452.50 3.9999 452.00 3.9999 451.50 3.9999 451.00 3.9999 450.50 3.9999 450.00 3.9999 449.50 3.9999 449.00 3.9999 448.50 3.9999 448.00 3.9999 447.50 3.9999 447.00 3.9999 446.50 3.9999 446.00 3.9999 445.50 3.9999 445.00 3.9999 444.50 3.9999 444.00 3.9999 443.50 3.9999 443.00 3.9999 442.50 3.9999 442.00 3.9999 441.50 3.9999 441.00 3.9999 440.50 3.9999 440.00 3.9999 439.50 3.9999 439.00 3.9999 438.50 3.9999 438.00 3.9999 437.50 3.9999 437.00 3.9999 436.50 3.9999 436.00 3.9999 435.50 3.9999 435.00 3.9999 434.50 3.9999 434.00 3.9999 433.50 3.9999 433.00 3.9999 432.50 3.9999 432.00 3.9999 431.50 3.9999 431.00 3.9999 430.50 3.9999 430.00 3.9999 429.50 3.9999 429.00 3.9999 428.50 3.9999 428.00 3.9999 427.50 3.9999 427.00 3.9999 426.50 3.9999 426.00 3.9999 425.50 3.9999 425.00 3.9999

461.50 3.9999 461.00 3.9999 460.50 3.9999 460.00 3.9999 459.50 3.9999 459.00 3.9999 458.50 3.9999 458.00 3.9999 457.50 3.9999 457.00 3.9999 456.50 3.9999 456.00 3.9999 455.50 3.9999 455.00 3.9999 454.50 3.9999 454.00 3.9999 453.50 3.9999 453.00 3.9999 452.50 3.9999 452.00 3.9999 451.50 3.9999 451.00 3.9999 450.50 3.9999 450.00 3.9999 449.50 3.9999 449.00 3.9999 448.50 3.9999 448.00 3.9999 447.50 3.9999 447.00 3.9999 446.50 3.9999 446.00 3.9999 445.50 3.9999 445.00 3.9999 444.50 3.9999 444.00 3.9999 443.50 3.9999 443.00 3.9999 442.50 3.9999 442.00 3.9999 441.50 3.9999 441.00 3.9999 440.50 3.9999 440.00 3.9999 439.50 3.9999 439.00 3.9999 438.50 3.9999 438.00 3.9999 437.50 3.9999 437.00 3.9999 436.50 3.9999 436.00 3.9999 435.50 3.9999 435.00 3.9999 434.50 3.9999 434.00 3.9999 433.50 3.9999 433.00 3.9999 432.50 3.9999 432.00 3.9999 431.50 3.9999 431.00 3.9999 430.50 3.9999 430.00 3.9999 429.50 3.9999 429.00 3.9999 428.50 3.9999 428.00 3.9999 427.50 3.9999 427.00 3.9999 426.50 3.9999 426.00 3.9999 425.50 3.9999 425.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 120: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

100

424.50 0.0002 424.00 0.0002 423.50 0.0004 423.00 0.0004 422.50 0.0004 422.00 0.0004 421.50 0.0004 421.00 0.0004 420.50 0.0004 420.00 0.0004 419.50 0.0004 419.00 0.0004 418.50 0.0004 418.00 0.0004 417.50 0.0004 417.00 0.0004 416.50 0.0004 416.00 0.0004 415.50 0.0004 415.00 0.0004 414.50 0.0004 414.00 0.0004 413.50 0.0004 413.00 0.0004 412.50 0.0002 412.00 0.0002 411.50 0.0004 411.00 0.0004 410.50 0.0002 410.00 0.0002 409.50 0.0002 409.00 0.0004 408.50 0.0004 408.00 0.0004 407.50 0.0004 407.00 0.0004 406.50 0.0004 406.00 0.0001 405.50 0.0001 405.00 0.0004 404.50 0.0004 404.00 0.0004 403.50 0.0004 403.00 0.0004 402.50 0.0004 402.00 0.0004 401.50 0.0004 401.00 0.0002 400.50 0.0002 400.00 0.0002

424.50 1.1445 424.00 1.1434 423.50 1.1423 423.00 1.1412 422.50 1.1401 422.00 1.1390 421.50 1.1383 421.00 1.1376 420.50 1.1366 420.00 1.1351 419.50 1.1337 419.00 1.1326 418.50 1.1318 418.00 1.1307 417.50 1.1296 417.00 1.1290 416.50 1.1272 416.00 1.1257 415.50 1.1254 415.00 1.1244 414.50 1.1233 414.00 1.1226 413.50 1.1218 413.00 1.1205 412.50 1.1190 412.00 1.1183 411.50 1.1173 411.00 1.1162 410.50 1.1155 410.00 1.1145 409.50 1.1130 409.00 1.1124 408.50 1.1118 408.00 1.1108 407.50 1.1097 407.00 1.1084 406.50 1.1077 406.00 1.1069 405.50 1.1056 405.00 1.1050 404.50 1.1042 404.00 1.1033 403.50 1.1018 403.00 1.1005 402.50 1.1002 402.00 1.0992 401.50 1.0983 401.00 1.0972 400.50 1.0958 400.00 1.0956

424.50 3.9133 424.00 3.9565 423.50 3.9565 423.00 3.9565 422.50 3.9999 422.00 3.9565 421.50 3.9133 421.00 3.9133 420.50 3.9133 420.00 3.9133 419.50 3.9133 419.00 3.9133 418.50 3.9565 418.00 3.9565 417.50 3.9565 417.00 3.9565 416.50 3.9133 416.00 3.9565 415.50 3.9565 415.00 3.9565 414.50 3.9565 414.00 3.9133 413.50 3.9133 413.00 3.9133 412.50 3.9565 412.00 3.9999 411.50 3.9999 411.00 3.9565 410.50 3.9133 410.00 3.9133 409.50 3.9133 409.00 3.9133 408.50 3.9133 408.00 3.9133 407.50 3.9133 407.00 3.9133 406.50 3.9133 406.00 3.9133 405.50 3.9133 405.00 3.9133 404.50 3.9565 404.00 3.9565 403.50 3.9133 403.00 3.9133 402.50 3.9133 402.00 3.9565 401.50 3.8060 401.00 3.8060 400.50 3.9565 400.00 3.9133

424.50 3.9999 424.00 3.9999 423.50 3.9999 423.00 3.9999 422.50 3.9999 422.00 3.9999 421.50 3.9999 421.00 3.9999 420.50 3.9999 420.00 3.9999 419.50 3.9999 419.00 3.9999 418.50 3.9999 418.00 3.9999 417.50 3.9999 417.00 3.9999 416.50 3.9999 416.00 3.9999 415.50 3.9999 415.00 3.9999 414.50 3.9999 414.00 3.9999 413.50 3.9999 413.00 3.9999 412.50 3.9999 412.00 3.9999 411.50 3.9999 411.00 3.9999 410.50 3.9999 410.00 3.9999 409.50 3.9999 409.00 3.9999 408.50 3.9999 408.00 3.9999 407.50 3.9999 407.00 3.9999 406.50 3.9999 406.00 3.9999 405.50 3.9999 405.00 3.9999 404.50 3.9999 404.00 3.9999 403.50 3.9999 403.00 3.9999 402.50 3.9999 402.00 3.9999 401.50 3.9999 401.00 3.9999 400.50 3.9999 400.00 3.9999

424.50 3.9999 424.00 3.9999 423.50 3.9999 423.00 3.9999 422.50 3.9999 422.00 3.9999 421.50 3.9999 421.00 3.9999 420.50 3.9999 420.00 3.9999 419.50 3.9999 419.00 3.9999 418.50 3.9999 418.00 3.9999 417.50 3.9999 417.00 3.9999 416.50 3.9999 416.00 3.9999 415.50 3.9999 415.00 3.9999 414.50 3.9999 414.00 3.9999 413.50 3.9999 413.00 3.9999 412.50 3.9999 412.00 3.9999 411.50 3.9999 411.00 3.9999 410.50 3.9999 410.00 3.9999 409.50 3.9999 409.00 3.9999 408.50 3.9999 408.00 3.9999 407.50 3.9999 407.00 3.9999 406.50 3.9999 406.00 3.9999 405.50 3.9999 405.00 3.9999 404.50 3.9999 404.00 3.9999 403.50 3.9999 403.00 3.9999 402.50 3.9999 402.00 3.9999 401.50 3.9999 401.00 3.9999 400.50 3.9999 400.00 3.9999

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 121: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

LAMPIRAN IV

DATA INDEKS BIAS

101

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 122: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

102

Panjang gelombang

(nm)

Reflektansi cuplikan1

Indeks bias cuplikan1

Reflektansi cuplikan2

Indeks bias cuplikan2

900 890 880 870 860 850 840 830 820 810 800 790 780 770 760 750 740 730 720 710 700 690 680 670 660 650 640 630 620 610 600 590 580 570 560 550 540 530 520 510 500 490 480 470 460 450 440

0.0333 0.0336 0.0339 0.0343 0.0345 0.0345 0.0344 0.0343 0.0339 0.0336 0.0331 0.0325 0.0321 0.0317 0.0313 0.0308 0.0306 0.0304 0.0303 0.0304 0.0305 0.0306

0.031 0.0314 0.0319 0.0323

0.033 0.0337 0.0345 0.0354 0.0364 0.0375 0.0385 0.0399 0.0413 0.0428 0.0443

0.046 0.048

0.0499 0.0521 0.0544 0.0568 0.0594 0.0621 0.0654 0.0686

1.2662311.2666111.2669921.2674991.2677531.2677531.2676261.2674991.2669921.2666111.2659781.2652171.2647111.2642051.2636991.2630661.2628131.2625611.2624341.2625611.2626871.2628131.2633191.2638251.2644581.2649641.2658511.2667381.2677531.2688961.2701671.2715671.2728411.2746271.2764161.2783351.2802581.2824411.2850141.2874641.2903061.2932861.296403

1.299791.3033171.3076431.311853

0.00020.00020.00020.00020.00020.00020.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00040.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00050.00060.00050.00050.0004

1.22499 1.22499 1.22499 1.22499 1.22499 1.22499

1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225235 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357 1.225357

1.22548 1.225357 1.225357 1.225235

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI

Page 123: DEPOSISI LAPISAN TIPI S ALUMINIUM (Al) PADA SUBSTRAT … · yang diuapkan 10,5 cm dan lama proses evaporasi 2 s/d 3 jam dengan berat ... Gita, Frida, Iman, Ridwan, Adit, Adet, Try,

103

430 420 410 400

0.0719 0.0753

0.079 0.0823

1.3162111.3207181.3256431.330053

0.00040.00040.00040.0002

1.225235 1.225235 1.225235

1.22499

PLAGIAT MERUPAKAN TINDAKAN TIDAK TERPUJI